JP3025562B2 - 明暗照明による表面状態検査方法 - Google Patents

明暗照明による表面状態検査方法

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JP3025562B2
JP3025562B2 JP3259824A JP25982491A JP3025562B2 JP 3025562 B2 JP3025562 B2 JP 3025562B2 JP 3259824 A JP3259824 A JP 3259824A JP 25982491 A JP25982491 A JP 25982491A JP 3025562 B2 JP3025562 B2 JP 3025562B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は表面状態検査方法、特
に光照射手段により被検査面に光を照射し、その被検査
面からの反射光を撮像手段で捕らえて受光画像を作成し
て、該受光画像中の明度差に基づいて被検査面の表面状
態を検査する表面状態検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】自動車ボディの塗装面などの表面状態を
検査する技術として、例えば特開昭62−233710
号公報には、検査対象物の被検査面に光を照射して、そ
の反射光をスクリーン状に投影させ、その投影像の鮮映
度から被検査面の表面状態を自動的に検出する技術が開
示されている。
【0003】ところで、上記のように被検査面に光を照
射し、その反射光を捕らえて画像処理を行うことにより
表面欠陥を検出する技術の一例として、表面欠陥の検出
に適した所定の勾配で光度が次第に変化する明暗光を被
検査面に照射し、被検査面から反射される反射光をCC
Dカメラなどの撮像手段で捕らえて受光画像を作成する
と共に、この受光画像の水平走査によって出力される受
光量の明度変化に基づいて表面欠陥を検出することが考
えられている。その場合には、例えば上記撮像手段から
出力される受光量に対応するビデオ信号の所定ピッチあ
たりの変化量が、所定の欠陥検知用の判定値を超えるよ
うな値を示すか否かの判定が行われて、上記信号の変化
量が上記判定値を超えるような変化を示すときに表面欠
陥であると判定されることになる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように撮像手段から出力されるビデオ信号に基づいて表
面欠陥の判定を行うにあたっては、欠陥検出用の判定値
をどのように設定するかが問題となる。つまり、被検査
面に一定勾配の明暗光を照射したとしても、撮像手段に
は正規の反射光以外に外乱光も入射されることになるの
で、撮像手段の受光画像における明暗勾配は、被検査面
に実際に照射される明暗光の変化を正確に反映するとは
限らない。その場合に、被検査面における欠陥部の大き
さが一定であったとしても、図23に示すようにビデオ
信号の信号レベルで見た明暗勾配A,B,Cが大きいほ
ど、例えば欠陥部を示すビデオ信号の高低差AH,BH
Hも大きくなる傾向がある。
【0005】したがって、勾配の大きい明暗勾配Cに対
応させて欠陥検出用判定値を大きめに設定すると、勾配
が小さい明暗勾配Aのときには高低差AHも小さいこと
から欠陥を見逃すおそれがあり、信頼性の点で問題があ
る。これに対処すべく欠陥検出用判定値を小さく設定し
て検出感度を高めようとすると、明暗勾配が大きいとき
には品質に支障のない程度の微小な凹凸部分についても
ビデオ信号の高低差が拡大されることから、この高低差
が欠陥検出用判定値よりも大きい場合には欠陥と判定さ
れることになって、判定精度の点で問題が生じることに
なる。
【0006】特に、反射光の強度が一定しない湾曲部分
においては上記の問題が顕著となる。
【0007】この発明は被検査面からの反射光を検出し
た明暗データと欠陥検出用判定値との比較によって表面
状態を検査する表面状態検査方法における上記の問題に
対処するもので、表面状態を適切に検査し得るようにす
ることを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】すなわち、本願の請求項
1の発明(以下、第1発明という)に係る明暗照明によ
る表面状態検査方法は、所定方向に沿って明度が徐々に
変化する明暗光を被検査面に照射し、その被検査面から
の反射光を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受
光画像を明暗変化の方向に走査し、検出された明暗デー
タと所定の欠陥検出用判定値とを比較することにより被
検査面における表面状態を検査する表面状態検査方法に
おいて、上記受光画像の走査によって得られた明暗デー
タに応じて上記欠陥検出用判定値を変化させることを特
徴とする。
【0009】そして、本願の請求項2の発明(以下、第
2発明という)に係る明暗照明による表面状態検査方法
は、所定方向に沿って明度が徐々に変化する明暗光を被
検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕らえて
受光画像を作成すると共に、この受光画像を明暗変化の
方向に走査し、検出された明暗データと所定の欠陥検出
用判定値とを比較することにより被検査面における表面
状態を検査する表面状態検査方法において、上記受光画
像の走査によって得られた明暗データから算出した明暗
勾配と、該データから算出した欠陥の大きさとに応じて
上記欠陥検出用判定値を変化させることを特徴とする。
【0010】また、本願の請求項3の発明(以下、第3
発明という)に係る明暗照明による表面状態検査方法
は、所定方向に沿って明度が徐々に変化する明暗光を被
検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕らえて
受光画像を作成すると共に、この受光画像を明暗変化の
方向に走査し、検出された明暗データと所定の欠陥検出
用判定値とを比較することにより被検査面における表面
状態を検査する表面状態検査方法において、上記明暗デ
ータに対する欠陥検出用判定値の設定傾向が決められた
決定規則を予め設定しておき、上記受光画像の走査によ
って得られた明暗データと上記決定規則とに基づいて欠
陥検出用判定値の適合度合を算出して、この適合度合に
応じて上記欠陥検出用判定値を変化させることを特徴と
する。
【0011】さらに、本願の請求項4の発明(以下、第
4発明という)に係る明暗照明による表面状態検査方法
は、所定方向に沿って明度が徐々に変化する明暗光を被
検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕らえて
受光画像を作成すると共に、この受光画像を明暗変化の
方向に走査し、検出された明暗データと所定の欠陥検出
用判定値とを比較することにより被検査面における表面
状態を検査する表面状態検査方法において、明暗勾配と
欠陥の大きさとに対応して欠陥検出用判定値の設定傾向
が決められた決定規則を予め設定しておき、上記受光画
像の走査によって得られた明暗データから算出した明暗
勾配と該データから算出した欠陥の大きさと上記決定規
則とに基づいて欠陥検出用判定値の適合度合を算出し
て、この適合度合に応じて上記欠陥検出用判定値を変化
させることを特徴とする。
【0012】そして、本願の請求項5の発明(以下、第
5発明という)に係る明暗照明による表面状態検査方法
は、所定方向に沿って明度が繰り返して変化する明暗光
を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光を捕ら
えて受光画像を作成すると共に、この受光画像を明暗変
化の方向に走査し、検出された明暗データと所定の欠陥
検出用判定値とを比較することにより被検査面における
表面状態を検査する表面状態検査方法において、上記受
光画像の走査によって得られた明暗データに応じて上記
欠陥検出用判定値を変化させることを特徴とする。
【0013】
【作用】まず、第1発明によれば、例えば明暗勾配によ
って欠陥検出用判定値が変更されることになるので、明
暗勾配が変化しても表面検査が精度良く行われることに
なる。
【0014】そして、第2発明によれば、明暗勾配及び
欠陥の大きさによって欠陥検出用判定値が変更されるこ
とになるので、被検査面の湾曲などに起因する外乱に影
響されることなく表面検査が精度良く行われることにな
る。
【0015】また、第3,第4発明によれば、明暗勾配
などに対する欠陥検出用判定値の設定傾向を示す簡単な
決定規則を記憶させておくだけでよいからメモリ容量が
節約されると共に、直線等で代表された回帰式を用いて
欠陥検出用判定値の近似計算を行う場合に比べて、該判
定値をより高精度に設定することが可能となる。
【0016】さらに、第5発明によれば、明暗光の勾配
が変化したとしても適切な欠陥検出用判定値が設定され
ることになり、検出精度が向上することになる。
【0017】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0018】まず、本発明に係る表面状態検査方法によ
り自動車の車体塗装面を検査するように構成された表面
状態検査装置について説明すると、図1に示すように、
塗装検査ステーションSに搬送された車体1の近傍に
は、該車体1の塗膜面1aを検査して塗装欠陥の有無を
検出する表面状態検査装置2が配置されており、この検
査装置2は、台座3に載置されたロボット装置4を有
し、該ロボット装置4の先端アーム4aに光源5と、C
CDカメラ6とが支持金具7を介して取り付けられ、こ
れらの光源5とCCDカメラ6とが、塗装ステーション
Sに搬入された車体1の表面、すなわち該車体1の塗膜
面1aをトレースし、その際、上記光源5により照射さ
れた光が車体1の塗膜面1aで反射されてCCDカメラ
6に受光されるようになっている。
【0019】また、上記のような光源5とCCDカメラ
6とによる塗装欠陥検査においては、ホストコンピュー
タ8によって与えられる指令によりロボットコントロー
ラ9で制御され、このロボットコントローラ9の信号が
ロボット装置4に送られて、該ロボット装置4に内蔵さ
れた所定のアクチュエータ(図示せず)が駆動され、こ
れにより、ロボット装置4は光源5およびCCDカメラ
6が車体1の塗膜面1aをなぞるようにそれらを移動さ
せると共に、上記CCDカメラ6により得られる受光画
像を画像処理プロセッサ10に送る。そして、この画像
処理プロセッサ10は、CCDカメラ6からのビデオ信
号を増幅した後、該信号が示す受光画像の明るさのレベ
ル差を識別することにより画像処理を行い、その明暗デ
ータをホストコンピュータ8に伝送して解析させ、これ
により、車体1の塗膜面1a上の塗装欠陥の有無ならび
に欠陥箇所の座標および塗装欠陥の形状、その大小を検
出するように構成されている。
【0020】次に、上記光源5の構成について説明する
と、この光源5は、図2に示すように、一側面が開放さ
れたボックス11内に設けられた複数の蛍光灯(特に蛍
光灯に限定されるものではない)12…12と、これら
の蛍光灯12の前面に設けられてボックス11の一側面
を閉塞する光フィルタ13及び拡散スクリーン14とで
構成されている。そして、上記光フィルタ13は、各蛍
光灯12により照射される光を、例えば明度が暗から明
へ次第に変化する明暗光に変換し得るように、透過場所
によって光の透過率が異なるように構成されている。す
なわち、本実施例においては、図2に示す互いに直交す
るx,y方向のうちx方向についてのみ透過率が小から
大に繰り返し変化するように構成されており、この光フ
ィルタ13により、図3に示すように、上記x方向に沿
って所定の明暗勾配で明度が変化する明暗光が形成さ
れ、この明暗光が上記車体1の塗膜面1aに照射される
ようになっている。
【0021】また、上記拡散スクリーン14は、光フィ
ルタ13を透過した光を拡散させて車体1の塗膜面1a
にムラなく明暗光を照射するためのものである。
【0022】以上のように構成された表面状態検査装置
2では、塗装ステーションSに塗装済みの車体1が搬入
されるのに伴い欠陥検査作業が開始されることになる。
すなわち、上記ロボット装置4が、ロボットコントロー
ラ9で制御されて、光源5とCCDカメラ6とを一定の
間隔で保った状態で、かつ両者を塗膜面1aに対して適
切な距離を確保した状態で該塗膜面1aに沿って移動さ
せる。そして、そのときに上記光源5により、図4に示
すように、CCDカメラ6の視野Fをカバーする比較的
広い塗膜面1aに対してx方向に暗から明へ明度が次第
に変化する明暗光5aが照射される。このため、塗膜面
1aには暗から明へ明度が次第に変化する光照射領域が
形成される。そして、図5に示すように、上記光照射領
域からの反射光を受光するCCDカメラ6の受光画像1
5においては、上記明暗光5aの暗から明への変化方向
xに対応して矢印Xで示す方向に、明度が暗から明に次
第に変化することになる。なお、図5において、線の密
度が粗であるほど明度が大きく、また線の密度が密であ
るほど明度が小さいことを示している。
【0023】したがって、車体1の塗膜面1aの光照射
領域に例えば図4に示すように凸欠陥zがあると、上記
受光画像15中の対応する位置に周辺とは明度が異なる
凸欠陥部Zが生成されることになる。
【0024】そして、CCDカメラ6は、上記受光画像
15をX方向に沿った走査線ごとにY方向に順次走査
し、その明るさの変化に応じて変化するビデオ信号を画
像処理プロセッサ10に出力する。画像処理プロセッサ
10は、入力したビデオ信号を増幅した後、所定の画像
処理を行って明暗データに変換してホストコンピュータ
8に出力する。そして、ホストコンピュータ8は画像処
理プロセッサ10から取り込んだ明暗データの変化に基
づいて塗装欠陥の位置の座標、形状および大きさを検出
し、これをメモリに記憶する。そして、塗装欠陥の補修
時には、上記メモリ内の記憶内容を取り出し、その欠陥
の種類に応じた所定の補修動作が実行されることにな
る。
【0025】次に、本発明の特徴部分である表面欠陥検
出処理を説明すると、この表面欠陥検出処理は、具体的
には図6のフローチャートに従って次のように行われ
る。
【0026】まず、ホストコンピュータ8はステップS
1で欠陥検出用の最小判定値を設定する。なお、欠陥検
出用の判定値としては、例えば図7の破線で示すよう
に、明暗データの上限を示す欠陥検出上限レベルUL
と、該データの下限を示す欠陥検出下限レベルDLとが
設定されることになる。
【0027】次いで、ホストコンピュータ8は、ステッ
プS2,S3で明暗データの検出区間Dを設定した後、
その検出区間Dに応じた明暗データを図5の受光画像1
5におけるX方向に沿って読み込む。そして、ステップ
S4で読み込んだ明暗データを遅延させると共に、ステ
ップS5で欠陥検出用判定値と明暗データとの比較によ
って欠陥を検知する。つまり、ホストコンピュータ8は
画像処理プロセッサ10を介してCCDカメラ6から取
り込んだ1検出区間あたりの明暗データの信号レベルL
が、欠陥検出上限レベルULよりも大きいか、欠陥検出
下限レベルDLよりも小さいと認識したときに欠陥であ
ると仮に判定し、続いてステップS6で明暗データが2
区間分遅延されているか否かを判定して、NOと判定し
たときにはステップS3に戻って次の検出区間Dの明暗
データを読み込み、ステップS4で明暗データを遅延さ
せると共に、ステップS5で上記最小判定値を用いて欠
陥が否かを判定する。つまり、最初の欠陥検知時におい
ては誤判定を防止するために外乱であるとみなすように
なっているのである。
【0028】なお、スタート直後の欠陥検出用判定値と
しては上記ステップS1において設定された最小判定値
が用いられることになる。
【0029】一方、ホストコンピュータ8は上記ステッ
プS6において明暗データが2区間分遅延していると判
定したときには、ステップS7を実行して明暗勾配を算
出する。この明暗勾配は、具体的には検出区間の長さに
対する信号レベルLの変化量として求められる。つま
り、図7に示すように、1検出区間Dに対して信号レベ
ルLがδLだけ変化したときの勾配角をαと定義する
と、明暗勾配を示すtanαは、次の関係式、 tanα=δL/D … に基づいて算出されることになる。
【0030】したがって、明暗データが2区間分遅延し
ているときには、明暗勾配は、次式、 tanα=δL´/2D … で求められる。なお、上記式におけるδL´は2区間
分における信号レベルLの変化量を示している。
【0031】次に、ホストコンピュータ8はステップS
8で欠陥検出用最適判定値を決定するのであるが、この
実施例においてはファジー推論によって上記最適判定値
を決定するようになっている。
【0032】つまり、ホストコンピュータ8のメモリに
は、図8に示すように、ビデオ信号が示す欠陥の立ち上
り高さFH、欠陥の立ち下がり高さDH、欠陥の高低差
PH、欠陥の変化幅W及び明暗勾配の勾配角αに応じて
予め設定された欠陥検出用上限レベルUL及び欠陥検出
用下限レベルDLの設定傾向を示す複数の決定規則が記
憶されている。
【0033】上記決定規則を構成する前件部の一つであ
る欠陥の立ち上り高さFHについては、図9(a)に示
すよう、3つの三角形状のメンバーシップ関数が設定さ
れている。つまり、立ち上り高さFHが小さいときには
左側の関数SMが、普通のときには中央の関数MMが、
少し大きいときには右側の関数MLがそれぞれ選択され
るようになっている。
【0034】同様にして、欠陥の立ち下がり高さDH、
欠陥の高低差PH、欠陥の変化幅W及び明暗勾配の勾配
角αについても、それぞれ図9(b)〜(e)に示すよ
うなメンバーシップ関数が設定されている。
【0035】ここで、上記メンバーシップ関数を示す記
号をまとめて説明すると、次の表1に示すようになる。
【0036】
【表1】 一方、後件部である欠陥検出上限レベルULについて
は、図10に示すようにメンバーシップ関数が設定さ
れ、また欠陥検出下限レベルDLについても、図11に
示すように欠陥検出上限レベルULと同様なメンバーシ
ップ関数が設定されている。
【0037】そして、前件部と後件部とを結びつける決
定規則としては、次の表2に示すように16通りの決定
規則が設定されている。
【0038】
【表2】 上記表2においては、例えばルール番号が1番の決定規
則は、欠陥の立ち上り高さFHが関数SMに帰属し、か
つ欠陥の変化幅Wが関数GTに帰属するときには、例え
ば欠陥検出上限レベルULのメンバーシップ関数として
上記図10における関数SAが選択されることを示して
いる。
【0039】つまり、ビデオ信号が示す立ち上り高さF
Hが、図9(a)に示すようにFH1を示すときには、
メンバーシップ関数として関数SMが採用されると共
に、その適合値(グレード)として上記FH1に対応す
る0.8が求められる。
【0040】同様にして、同図(b)に示すように立ち
下がり高さDHがDH1を示すときには、メンバーシッ
プ関数として関数MMが採用されると共に、その適合値
として上記DH1に対応する0.2が求められ、同図9
(c)に示すように高低差PHがPH1を示すときに
は、メンバーシップ関数として関数LAが採用されると
共に、その適合値として上記PH1に対応する0.3が
求められ、同図(d)に示すように変化幅WがW1を示
すときには、メンバーシップ関数として関数GTが採用
されると共に、その適合値として上記W1に対応する
0.5が求められることになる。また、同図(e)に示
すように明暗勾配の勾配角αがα1を示すときには、メ
ンバーシップ関数として関数MMが採用されると共に、
その適合値として上記α1に対応する0.3が求められ
ることになる。
【0041】その場合に、上記したように立ち上り高さ
FHのメンバーシップ関数として関数SMが採用されて
いることから、表2の関係からルール番号1番の決定規
則に従って関数SAが選択されると共に、該関数SAを
図12(a)の斜線領域で示すように、立ち上り高さF
H及び変化幅Wの適合値の小さいほうの0.5で頭切り
した部分がメンバーシップ関数として採用される。
【0042】同様にして、立ち下がり高さDHと変化幅
Wとの関係から、表2のルール番号5番の決定規則に従
って関数SMが選択されると共に、図12(b)の斜線
領域で示すように両者の適合値の小さいほうの0.2で
頭切りした部分がメンバーシップ関数として採用され、
また高低差PHと変化幅Wとの関係から、表2のルール
番号10番の決定規則に従って関数LAが選択されると
共に、図12(c)の斜線領域で示すように両者の適合
値の小さいほうの0.3で頭切りした部分がメンバーシ
ップ関数として採用され、さらに勾配角αと変化幅Wと
の関係から、表2のルール番号13番の決定規則に従っ
て関数MMが選択されると共に、図12(d)の斜線領
域で示すように両者の適合値の小さいほうの0.3で頭
切りした部分がメンバーシップ関数として採用されるこ
とになる。
【0043】そして、ホストコンピュータ8は、図13
の斜線領域で示すように、上記各メンバーシップ関数の
和集合を欠陥検出上限レベルULの最終メンバーシップ
関数とすると共に、そのメンバーシップ関数の重心位置
1に対応する欠陥検出上限レベルULの値を最適欠陥
検出上限レベルUL1として決定する。
【0044】なお、同様にして最適欠陥検出下限レベル
DL1も決定されることになる。
【0045】最適欠陥検出上限レベルUL1と最適欠陥
検出下限レベルDL1とを決定したホストコンピュータ
8は、上記図6のフローチャートのステップS9を実行
し、これらの最適欠陥検出上限レベルUL1及び最適欠
陥検出下限レベルDL1と遅延しておいた明暗データと
を比較することにより欠陥検出演算を行うと共に、ステ
ップS10で欠陥か否かを判定して、YESと判定した
ときにステップS11,S12で欠陥の種類、大きさを
計測して、そのデータをメモリの所定エリアに格納す
る。つまり、ホストコンピュータ8は、例えば図14に
示すように、最適欠陥検出上限レベルUL1を基準とし
て欠陥の大きさ、例えば立ち上り高さFH、立ち下がり
高さDH、変化幅Wの再評価を行い、それに従って欠陥
か否かを判定することになる。
【0046】そして、ホストコンピュータ8は、ステッ
プS13で水平走査が終端まで行われたか否かを判定
し、YESと判定したときにステップS14で水平走査
を1ライン更新すると共に、ステップS15で受光画像
15の1画面が終了したと判定するまで上記の各ステッ
プを実行する。
【0047】したがって、図7に示すように、CCDカ
メラ6から出力されるビデオ信号を適切に反映するよう
な欠陥検出上限レベルULと欠陥検出下限レベルDLと
が得られることになる。
【0048】次に、ニューラルネットワークを利用した
表面欠陥検出処理の実施例を説明する。
【0049】すなわち、ホストコンピュータ8は上記フ
ァジー推論の実施例と同様に、欠陥検出用の最小判定値
を設定した上で、図15に示すように、明暗データの検
出区間Dを設定し、その検出区間Dに応じた明暗データ
を読み込む。そして、読み込んだ明暗データを遅延させ
ると共に、欠陥検出用判定値と明暗データとの比較によ
って欠陥を検知し、明暗データが2区間分遅延されてい
るときに明暗勾配を算出することになる。なお、この場
合においても、明暗勾配は検出区間Dあたりの信号レベ
ルLの変化量δLとして求められることになる。
【0050】次に、ホストコンピュータ8は欠陥検出用
最適判定値、つまり欠陥検出上限レベルULと欠陥検出
下限レベルDLとを決定するに当たって、例えば図16
に示すように、欠陥の高低差Hと、欠陥の変化幅Wと、
明暗勾配の勾配角αとを求め、これらの値を、図17に
示すように、ニューラルネットワークの入力層に入力信
号I1 1,I1 2,I1 3としてそれぞれ入力する。
【0051】このニューラルネットワークは、上記入力
信号I1 1,I1 2,I1 3が入力される入力層に接続された
中間層と、この中間層に接続された出力層とを有すると
共に、出力層からは最適欠陥検出上限レベルUL1と最
適欠陥検出下限レベルDL1とを示す出力信号とがそれ
ぞれ出力されるようになっている。
【0052】ここで、このニューラルネットワークの特
徴パラメータui j(i=1〜3;j=1〜3),θ
i j(i=1〜3;j=1〜3),w12 ij(i=1〜3;
j=1〜3)は、事前に教示データ(入力信号I1 1,I
1 2,I1 3)を入力したときに出力信号O1 1,O1 2として
最適欠陥検出上限レベルUL1と最適欠陥検出下限レベ
ルDL1とが出力されるように、例えば誤差逆伝播法を
用いて学習決定されている。
【0053】したがって、入力層に入力信号I1 1
1 2,I1 3として欠陥の高低差Hと、欠陥の変化幅W
と、明暗勾配の勾配角αとを入力したときには、出力層
からはそれに対応した最適欠陥検出上限レベルUL1
最適欠陥検出下限レベルDL1とが出力されることにな
る。
【0054】これにより、ホストコンピュータ8は、例
えば図18に示すように、最適欠陥検出上限レベルUL
1を基準として欠陥の大きさ、例えば変化幅Wの再評価
を行い、それに従って欠陥か否かを判定することにな
る。
【0055】したがって、この実施例においても、図1
5に示すように、CCDカメラ6から出力されるビデオ
信号を適切に反映するような欠陥検出上限レベルULと
欠陥検出下限レベルDLとが得られることになる。
【0056】次に、本発明が適用される光源の別の実施
例を図19に基づいて説明すると、この光源5´は、図
2で示した実施例と同様に、一側面が開放されたボック
ス11´内に設けられた複数の蛍光灯(特に蛍光灯に限
定されるものではない)12´…12´と、これらの蛍
光灯12´の前面に設けられてボックス11´の一側面
を閉塞する光フィルタ13´及び拡散スクリーン14´
とで構成されている。そして、この実施例においては、
上記光フィルタ13´が、各蛍光灯12´により照射さ
れる光を、明度が例えば暗から明への変化が繰り返され
る明暗光に変換し得るように、透過場所によって光の透
過率が異なるように構成されている。すなわち、この実
施例においては、図19に示す互いに直交するx,y方
向のうちx方向についてのみ透過率が小から大に繰り返
し変化するように構成されており、この光フィルタ13
´により、図20に示すように、上記x方向に沿って所
定の勾配で暗から明への変化が繰り返される明暗光が形
成され、この明暗光が上記車体1の塗膜面1aに照射さ
れるようになっている。つまり、図21に示すように、
CCDカメラ6´の視野F´をカバーする比較的広い塗
膜面1a´に対してx方向に暗から明へ明度が繰り返し
て変化する明暗光5a´が照射されることになる。この
ため、塗膜面1a´には暗から明への変化が繰り返され
る光照射領域が形成される。そして、図19に示すよう
に、上記光照射領域からの反射光を受光するCCDカメ
ラ6´の受光画像15´においては、上記明暗光5a´
の暗から明への変化方向xに対応して矢印Xで示す方向
に、明度が繰り返して変化することになる。なお、図2
2において、符号X1は、暗から明への変化が繰り返さ
れている明暗光5a´中における暗から明への一変化領
域を示し、また、各領域X1において線の密度が粗であ
るほど明度が大きく、また線の密度が密であるほど明度
が小さいことを示している。
【0057】したがって、例えば図21に示すように、
車体1´の塗膜面1a´の光照射領域に凸欠陥z´があ
ると、上記受光画像15´中の対応する位置に周辺とは
明度が異なる凸欠陥部Z´が生成されることになる。
【0058】このように車体1´の塗膜面1a´に照射
される明暗光の明度が繰り返して変化する場合において
も本発明を適用することができる。その場合には、上記
受光画像15´における各変化領域X1…X1に対応する
最適な欠陥検出用判定値が自動的に学習設定されること
になる。
【0059】
【発明の効果】以上のように本発明に係る表面状態検出
方法によれば、例えば明暗勾配によって欠陥検出用判定
値が変更されることになるので、明暗勾配が変化しても
表面検査が精度良く行われることになる。
【0060】そして、第2発明によれば、明暗勾配及び
欠陥の大きさによって欠陥検出用判定値が変更されるこ
とになるので、被検査面の湾曲などに起因する外乱に影
響されることなく表面検査が精度良く行われることにな
る。
【0061】また、第3,第4発明によれば、明暗勾配
などに対する欠陥検出用判定値の設定傾向を示す簡単な
決定規則を記憶させておくだけでよいからメモリ容量が
節約されると共に、直線等で代表された回帰式を用いて
欠陥検出用判定値を近似計算を行う場合に比べて、該判
定値をより高精度に設定することが可能となる。
【0062】さらに、第5発明によれば、明暗光の勾配
が変化したとしても適切な欠陥検出用判定値が設定され
ることになり、検出精度が向上することになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 表面状態検査装置の斜視図である。
【図2】 光源の分解斜視図である。
【図3】 明暗勾配のパターンを示すグラフである。
【図4】 光源による照射状態とCCDカメラによる受
光状態を示す拡大図である。
【図5】 受光画像の部分拡大図である。
【図6】 表面状態検出処理を示すフローチャート図で
ある。
【図7】 ホストコンピュータに入力される明暗データ
の信号レベルの変化を示すグラフである。
【図8】 学習前の欠陥部分の信号レベルの変化を示す
グラフである。
【図9】 ファジー推論で用いる前件部のメンバーシッ
プ関数の設定例を示すグラフである。
【図10】 欠陥検出上限レベルのメンバーシップ関数
の設定例を示すグラフである。
【図11】 欠陥検出下限レベルのメンバーシップ関数
の設定例を示すグラフである。
【図12】 欠陥検出上限レベルの推論演算の途中を示
す模式図である。
【図13】 欠陥検出上限レベルの推論演算の最終過程
を示す模式図である。
【図14】 学習後の欠陥部分の信号レベルの変化を示
すグラフである。
【図15】 ニューラルネットワークを用いる場合にお
けるホストコンピュータに入力される明暗データの信号
レベルの変化を示すグラフである。
【図16】 学習前の欠陥部分の信号レベルの変化を示
すグラフである。
【図17】 ニューラルネットワークの模式図である。
【図18】 学習後の学習前の欠陥部分の信号レベルの
変化を示すグラフである。
【図19】 別の実施例における光源の分解斜視図であ
る。
【図20】 該実施例における明暗勾配のパターンを示
すグラフである。
【図21】 光源による照射状態とCCDカメラによる
受光状態を示す拡大図である。
【図22】 受光画像の部分拡大図である。
【図23】 従来例の問題点の説明図である。
【符号の説明】
1 車体 1a 塗膜面 2 表面状態検査装置 5 光源 6 CCDカメラ 8 ホストコンピュータ 10 画像処理プロセッサ 15 受光画像 z 凸欠陥
フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01N 21/84 G01B 11/30 G01N 21/88 G06T 7/00 H04N 7/18

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 所定方向に沿って明度が徐々に変化する
    明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光
    を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画像を
    明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと所定
    の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査面に
    おける表面状態を検査する表面状態検査方法であって、
    上記受光画像の走査によって得られた明暗データに応じ
    て上記欠陥検出用判定値を変化させることを特徴とする
    明暗照明による表面状態検査方法。
  2. 【請求項2】 所定方向に沿って明度が徐々に変化する
    明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光
    を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画像を
    明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと所定
    の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査面に
    おける表面状態を検査する表面状態検査方法であって、
    上記受光画像の走査によって得られた明暗データから算
    出した明暗勾配と、該データから算出した欠陥の大きさ
    とに応じて上記欠陥検出用判定値を変化させることを特
    徴とする明暗照明による表面状態検査方法。
  3. 【請求項3】 所定方向に沿って明度が徐々に変化する
    明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光
    を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画像を
    明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと所定
    の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査面に
    おける表面状態を検査する表面状態検査方法であって、
    上記明暗データに対する欠陥検出用判定値の設定傾向が
    決められた決定規則を予め設定しておき、上記受光画像
    の走査によって得られた明暗データと上記決定規則とに
    基づいて欠陥検出用判定値の適合度合を算出して、この
    適合度合に応じて上記欠陥検出用判定値を変化させるこ
    とを特徴とする明暗照明による表面状態検査方法。
  4. 【請求項4】 所定方向に沿って明度が徐々に変化する
    明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反射光
    を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画像を
    明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと所定
    の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査面に
    おける表面状態を検査する表面状態検査方法であって、
    明暗勾配と欠陥の大きさとに対応して欠陥検出用判定値
    の設定傾向が決められた決定規則を予め設定しておき、
    上記受光画像の走査によって得られた明暗データから算
    出した明暗勾配と該データから算出した欠陥の大きさと
    上記決定規則とに基づいて欠陥検出用判定値の適合度合
    を算出して、この適合度合に応じて上記欠陥検出用判定
    値を変化させることを特徴とする明暗照明による表面状
    態検査方法。
  5. 【請求項5】 所定方向に沿って明度が繰り返して変化
    する明暗光を被検査面に照射し、その被検査面からの反
    射光を捕らえて受光画像を作成すると共に、この受光画
    像を明暗変化の方向に走査し、検出された明暗データと
    所定の欠陥検出用判定値とを比較することにより被検査
    面における表面状態を検査する表面状態検査方法であっ
    て、上記受光画像の走査によって得られた明暗データに
    応じて上記欠陥検出用判定値を変化させることを特徴と
    する明暗照明による表面状態検査方法。
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