JP3004858B2 - Absolute measurement encoder - Google Patents

Absolute measurement encoder

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JP3004858B2
JP3004858B2 JP5344906A JP34490693A JP3004858B2 JP 3004858 B2 JP3004858 B2 JP 3004858B2 JP 5344906 A JP5344906 A JP 5344906A JP 34490693 A JP34490693 A JP 34490693A JP 3004858 B2 JP3004858 B2 JP 3004858B2
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absolute displacement
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哲郎 桐山
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、原点位置調整のための
基準位置信号を出力する機能、及び内部状態をモニタす
るためのデータ通信機能を有する絶対測定用エンコーダ
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an encoder for absolute measurement having a function of outputting a reference position signal for adjusting an origin position and a data communication function of monitoring an internal state.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、測長機,測角機等として用い
られる例えば静電容量式の絶対測定用エンコーダが知ら
れている。この種の絶対測定用エンコーダにおいて、保
守や内部定数設定等のためにデータの入出力機能を持た
せたものがある。また絶対原点位置や計数方向を変更す
るために基準位置信号を発生する機能を持たせたものが
ある。
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a capacitance type absolute measuring encoder used as a length measuring machine, a goniometer or the like has been known. Some types of absolute measurement encoders have a data input / output function for maintenance or setting of internal constants. There is also a device having a function of generating a reference position signal for changing the absolute origin position and the counting direction.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】このように、絶対測定
用エンコーダの機能が増えて、出力する情報量が増える
と、これに従い信号線の数も増える。一方、機器の小型
化が進むと、信号線接続部の占める割合が高くなり、信
号線の効率的な利用が要求されるようになっている。本
発明は、このような事情を考慮してなされたもので、信
号線の効率的利用により機器の小型化を可能とした絶対
測定用エンコーダを提供することを目的としている。
As described above, as the function of the encoder for absolute measurement increases and the amount of information to be output increases, the number of signal lines increases accordingly. On the other hand, as devices become smaller, the proportion occupied by signal line connection portions increases, and efficient use of signal lines is required. The present invention has been made in view of such circumstances, and has as its object to provide an absolute measurement encoder that can reduce the size of a device by efficiently using signal lines.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、原点位置調整
のための基準位置信号を出力する基準位置信号発生手段
と、移動方向を決定するための2相方形波信号を出力す
る2相方形波信号出力手段と、内部状態をモニタするた
めのデータ入力手段及びデータ出力手段とを有する絶対
測定用エンコーダにおいて、基準位置信号出力線、2相
方形波信号出力線のうちいずれか一つとデータ出力信号
線とを共通信号線とし、動作モードに応じて前記データ
出力手段の出力端子と前記基準位置信号発生手段の出力
端子のいずれかを選択的に前記共通信号線に切替え接続
する切替え手段を有することを特徴としている。
The present invention provides a reference position signal generating means for outputting a reference position signal for adjusting the origin position, and a two-phase square signal for outputting a two-phase square wave signal for determining a moving direction. An absolute measurement encoder having a wave signal output means, a data input means for monitoring an internal state, and a data output means, wherein one of a reference position signal output line and a two-phase square wave signal output line is connected to a data output terminal. A signal line serving as a common signal line, and switching means for selectively switching and connecting one of the output terminal of the data output means and the output terminal of the reference position signal generating means to the common signal line in accordance with an operation mode. It is characterized by:

【0005】本発明による絶対測定用エンコーダはま
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール及びピックアップ上の
基準位置パターンを光電的に検出する光電検出手段と、
この光電検出手段の出力を処理して基準位置信号を出力
する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じてこの
基準位置信号発生手段の出力端子と前記データ出力手段
の出力端子のいずれかを選択的に共通信号線に接続する
切替え手段とを有することを特徴とする。
The absolute measuring encoder according to the present invention also has a main scale and a pickup in which electrodes of a predetermined pattern are formed and moved relative to each other, and detects a different capacitance depending on their facing position to detect the absolute displacement. Capacitance type absolute displacement detecting means for detecting,
Data input means for receiving serial data from the outside in order to monitor the state of the absolute displacement detecting means, data processing means for performing data processing such as state check based on the input data, and serial data Data output means, and photoelectric detection means that is formed integrally with the absolute displacement detection means and photoelectrically detects a reference position pattern on the scale and pickup,
A reference position signal generating means for processing an output of the photoelectric detecting means to output a reference position signal; and selecting one of an output terminal of the reference position signal generating means and an output terminal of the data output means according to an operation mode. Switching means connected to the common signal line.

【0006】本発明による絶対測定用エンコーダはま
た、それぞれ所定パターンの電極が配列形成されて相対
移動するメインスケールとピックアップを有し、それら
の対向位置により異なる静電容量を検出することにより
絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検出手段と、
この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、入力
されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理を行
うデータ処理手段と、データ処理結果をシリアルデータ
として出力するデータ出力手段と、前記絶対変位検出手
段と一体形成されて前記スケール上のパターンを光電的
に検出して移動方向を決定するための2相方形波信号を
出力する光電検出手段と、この光電検出手段の出力及び
前記絶対変位検出手段の出力を処理して基準位置信号を
出力する基準位置信号発生手段と、動作モードに応じて
前記2相方形波信号の出力端子のいずれか一方と前記デ
ータ出力手段の出力端子のいずれかを選択して共通信号
線に接続する切替え手段とを有することを特徴とする。
The absolute measuring encoder according to the present invention also has a main scale and a pickup in which electrodes of a predetermined pattern are formed and moved relative to each other, and detects a different capacitance depending on their facing position to detect the absolute displacement. Capacitance type absolute displacement detecting means for detecting,
Data input means for receiving serial data from the outside in order to monitor the state of the absolute displacement detecting means, data processing means for performing data processing such as state check based on the input data, and serial data Data output means, and photoelectric detection means which is formed integrally with the absolute displacement detection means and outputs a two-phase square wave signal for photoelectrically detecting a pattern on the scale to determine a moving direction, A reference position signal generating unit that processes an output of the photoelectric detection unit and an output of the absolute displacement detection unit to output a reference position signal; and one of output terminals of the two-phase square wave signal according to an operation mode. Switching means for selecting one of the output terminals of the data output means and connecting to a common signal line.

【0007】[0007]

【作用】本発明によると、データ出力信号線を、基準位
置信号出力線あるいは2相方形波信号線の一つと共通信
号線として、これらを通常動作モードとデータ入出力モ
ードとで切替えて使用するようにしている。基準位置信
号線や2相方形波信号線はエンコーダの通常使用時に必
要な信号を出力するために用いられ、一方データ出力信
号線は、内部状態をモニタするためにデータの入出力を
行うときにのみ使用されるから、これらを共有として、
機器の使用状態に応じて使い分けることにより、信号線
の数を減らすことができる。
According to the present invention, the data output signal line is used as one of the reference position signal output line or the two-phase square wave signal line and the common signal line, and is used by switching between the normal operation mode and the data input / output mode. Like that. The reference position signal line and the two-phase square wave signal line are used to output necessary signals during normal use of the encoder, while the data output signal line is used when inputting and outputting data to monitor the internal state. These are shared only,
The number of signal lines can be reduced by selectively using them according to the use state of the device.

【0008】[0008]

【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例を説
明する。図1は本発明の一実施例に係る絶対測定用リニ
アエンコーダの構成であり、図2はその検出器本体部の
構成である。検出器本体は、それぞれ所定パターンの電
極が配列形成されて相対移動するメインスケール1とピ
ックアップ(スライダ)2とから構成される。ピックア
ップ2上にはそれぞれ所定パターンの送信電極5と受信
電極6が形成されている。メインスケール1上にはそれ
ぞれ所定パターンの第1伝達電極3とこれに電気的につ
ながる第2伝達電極4が形成されている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the configuration of a linear encoder for absolute measurement according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 shows the configuration of the detector main body. The detector main body is composed of a main scale 1 and a pickup (slider) 2 in which electrodes of a predetermined pattern are arranged and formed and move relative to each other. A transmission electrode 5 and a reception electrode 6 having a predetermined pattern are formed on the pickup 2 respectively. On the main scale 1, a first transmission electrode 3 having a predetermined pattern and a second transmission electrode 4 electrically connected to the first transmission electrode 3 are formed.

【0009】ピックアップ2上の送信電極5とメインス
ケール1上の第1伝達電極3とは、ピックアップ2とメ
インスケール1の相対位置により異なる容量結合状態と
なり、またメインスケール1上の第2伝達電極4とピッ
クアップ2上の受信電極6とが容量結合している。送信
電極5に所定の駆動信号を供給して受信電極6から検出
される信号を検出回路11で処理することにより、メイ
ンスケール1とピックアップ2の相対位置により決まる
容量結合の大きさから、絶対変位量(位置)検出が可能
となっている。この静電容量式変位測定の原理は例え
ば、本出願人による特願平2−132434号あるいは
特願平2−169654号等に記載されている。
The transmission electrode 5 on the pickup 2 and the first transmission electrode 3 on the main scale 1 are in different capacitive coupling states depending on the relative positions of the pickup 2 and the main scale 1. 4 and the receiving electrode 6 on the pickup 2 are capacitively coupled. By supplying a predetermined drive signal to the transmission electrode 5 and processing the signal detected from the reception electrode 6 by the detection circuit 11, the absolute displacement is determined from the magnitude of the capacitive coupling determined by the relative position of the main scale 1 and the pickup 2. The amount (position) can be detected. The principle of the capacitance type displacement measurement is described in, for example, Japanese Patent Application No. 2-132434 or Japanese Patent Application No. 2-169654 filed by the present applicant.

【0010】このような静電容量式絶対変位検出器本体
に、基準位置信号発生のために用いられる光電式の位置
検出器が一体形成されている。即ちピックアップ2に一
体的にスリット板7が取り付けられ、これに点光源とな
る一つの発光ダイオード8と、これを取り囲む4個の受
光ダイオード91 〜94 が設けられている。メインスケ
ール1及びピックアップ2上には基準位置パターンが形
成されていて、発光ダイオード8からの拡散光がこれに
照射され、変調されたその反射光は4個の受光ダイオー
ド91 〜94 により検出される。
A photoelectric position detector used for generating a reference position signal is integrally formed with such a capacitance type absolute displacement detector main body. That is, a slit plate 7 is integrally attached to the pickup 2, and one light emitting diode 8 serving as a point light source and four light receiving diodes 91 to 94 surrounding the slit plate 7 are provided on the slit plate 7. A reference position pattern is formed on the main scale 1 and the pickup 2, and the diffused light from the light emitting diode 8 is applied to the reference position pattern. The modulated reflected light is detected by the four light receiving diodes 91 to 94. .

【0011】4個の受光ダイオード91 〜94 は、スケ
ール1とピックアップ2間のギャップの不均一や温度変
動の影響を除いて、スケール移動にともなって所定ピッ
チの正弦波信号を得るために設けられている。これらの
受光ダイオード91 〜94 の出力信号を処理してスケー
ル移動方向を決定するための2相方形波信号を出力する
のが、光電式検出回路12であり、その出力から位置基
準信号Yを発生するのが基準位置信号発生回路17であ
る。この光電式の位置検出の原理は例えば、特開平1−
187413号に記載されたものと同じであり、詳細説
明は省略する。
The four light receiving diodes 91 to 94 are provided to obtain a sine wave signal of a predetermined pitch as the scale moves, excluding the influence of unevenness of the gap between the scale 1 and the pickup 2 and the effect of temperature fluctuation. ing. It is the photoelectric detection circuit 12 that processes the output signals of the light receiving diodes 91 to 94 and outputs a two-phase square wave signal for determining the scale moving direction, and generates the position reference signal Y from the output. The reference position signal generation circuit 17 performs this operation. The principle of this photoelectric position detection is described in, for example,
This is the same as that described in Japanese Patent No. 187413, and the detailed description is omitted.

【0012】この絶対測定用エンコーダは、内部状態の
チェックや内部定数設定のために、外部端末との間でシ
リアルデータの授受を行う機能を有する。そのために図
1に示すように、入力端子がデータ入力信号線20につ
ながるシリアルデータ入力回路14、入力されたデータ
に基づいて所定のデータ処理を行うデータ処理回路1
3、及び処理結果を出力するシリアルデータ出力回路1
6を有する。データ処理回路13の出力にはまた、シリ
アルデータの出力が必要か否かを判定するデータ出力判
定回路15が設けられている。このデータ入出力機能は
通常ユーザーが使用するものではなく、保守点検や出荷
前の内部定数設定のために用いられるものである。
The absolute measuring encoder has a function of transmitting and receiving serial data to and from an external terminal for checking an internal state and setting an internal constant. For this purpose, as shown in FIG. 1, a serial data input circuit 14 whose input terminal is connected to a data input signal line 20, a data processing circuit 1 for performing predetermined data processing based on input data
3, and a serial data output circuit 1 for outputting a processing result
6. The output of the data processing circuit 13 is also provided with a data output determination circuit 15 for determining whether serial data output is necessary. This data input / output function is not normally used by the user, but is used for maintenance and inspection and setting internal constants before shipment.

【0013】データ出力回路16の出力端子と基準位置
信号発生回路17の出力端子は、出力判定回路15によ
り制御される切替え回路18により選択されて共通信号
線21に接続される。この共通信号線21は、データ出
力信号線兼基準位置出力信号線となっている。また光電
式検出回路12のデータから得られる移動方向を決定す
るために用いられる2相方形波信号X0 ,X1 は、それ
ぞれ2相方形波信号出力線22から出力される。なおシ
リアルデータとして出力する情報には、光電式検出回路
12の情報を含む場合もある。具体的にこれらのシリア
ルデータ情報として、静電容量式検出回路11と光電
式検出回路12の各位置データ、またはこれらを合成し
た位置データ、各検出回路の自己診断結果、データ
処理回路13自身の自己診断結果等も含まれる。
An output terminal of the data output circuit 16 and an output terminal of the reference position signal generation circuit 17 are selected by a switching circuit 18 controlled by an output determination circuit 15 and connected to a common signal line 21. The common signal line 21 is a data output signal line and a reference position output signal line. Further, the two-phase square wave signals X0 and X1 used to determine the moving direction obtained from the data of the photoelectric detection circuit 12 are output from the two-phase square wave signal output line 22, respectively. The information output as serial data may include information of the photoelectric detection circuit 12 in some cases. More specifically, as the serial data information, position data of the capacitance detection circuit 11 and the photoelectric detection circuit 12 or position data obtained by combining them, the self-diagnosis result of each detection circuit, and the data processing circuit 13 itself Self-diagnosis results are also included.

【0014】このような構成として、例えば測長機とし
て通常の使用を行う通常動作モードでは、切替え回路1
8は、共通信号線21につながる端子Cが基準位置信号
発生回路17側の端子Bに接続されるように接点が切替
えられており、基準位置信号が共通信号線21に出力さ
れる。内部状態チェックのためにシリアルデータの入出
力を行うデータ入出力モードでは、外部からシリアルデ
ータが入力され、データ処理回路13で所定の処理がな
される。このとき出力判定回路15はデータ入出力処理
を行っていることを判定して切替え回路18を制御す
る。これにより切替え回路18は、共通信号線21につ
ながる端子Cが基準シリアルデータ出力回路16側の端
子Aに接続されるように接点が自動的に切替えられ、シ
リアル出力データが共通信号線21に出力される。
In such a configuration, for example, in a normal operation mode in which the device is normally used as a length measuring device, the switching circuit 1
In 8, the contacts are switched such that the terminal C connected to the common signal line 21 is connected to the terminal B on the reference position signal generation circuit 17 side, and the reference position signal is output to the common signal line 21. In a data input / output mode in which serial data is input / output for checking the internal state, serial data is input from the outside, and the data processing circuit 13 performs predetermined processing. At this time, the output determination circuit 15 determines that data input / output processing is being performed, and controls the switching circuit 18. Thereby, the switching circuit 18 automatically switches the contacts so that the terminal C connected to the common signal line 21 is connected to the terminal A on the reference serial data output circuit 16 side, and outputs the serial output data to the common signal line 21. Is done.

【0015】出力判定回路15による切替え回路18の
制御のアルゴリズムは例えば、図3のようになる。電源
がオンになると、切替え回路18では基準位置信号を発
生する通常動作モード(B−C接続)となる(S1
1)。そしてシリアルデータ通信を行うか否かを、例え
ば外部から入力されるシリアルデータあるいはこれに含
まれるデータ要求信号等に基づいて出力判定回路15が
判定する(S12)。シリアルデータ通信を行わない通
常動作では、前述のように基準位置信号が出力される。
シリアルデータ通信を行う場合には、その判定結果によ
り切替え回路18はシリアルデータ通信モード(A−C
接続)になる(S13)。そしてシリアルデータ通信が
終了すると(S14)、自動的に通常動作モードに切替
えられる(S15)。
An algorithm for controlling the switching circuit 18 by the output determination circuit 15 is, for example, as shown in FIG. When the power is turned on, the switching circuit 18 enters a normal operation mode (BC connection) for generating a reference position signal (S1).
1). Then, the output determination circuit 15 determines whether or not to perform serial data communication based on, for example, serial data input from the outside or a data request signal included therein (S12). In the normal operation without performing the serial data communication, the reference position signal is output as described above.
When performing the serial data communication, the switching circuit 18 determines the serial data communication mode (A-C
Connection) (S13). When the serial data communication ends (S14), the mode is automatically switched to the normal operation mode (S15).

【0016】以上の動作モード切替え制御は例えば、端
末からのシリアルデータに通信終了コマンドを乗せて、
図4のような制御フローによってもよい。電源がオンに
なると、切替え回路18では基準位置信号を発生する通
常動作モード(B−C接続)となる(S21)。そして
通信終了コマンド検出を行い(S22)、コマンド検出
がされず、シリアルデータ通信が判定されると(S2
4)、その判定結果により切替え回路18はシリアルデ
ータ通信モード(A−C接続)になり(S25)、シリ
アルデータ送信がなされる(S26)。ステップS22
で通信終了コマンドが検出されると、この検出結果によ
り通常動作モードへの切替えがなされる(S23)。
The above operation mode switching control is performed, for example, by adding a communication end command to serial data from a terminal,
A control flow as shown in FIG. When the power is turned on, the switching circuit 18 enters a normal operation mode (BC connection) in which a reference position signal is generated (S21). Then, a communication end command is detected (S22). When the command is not detected and serial data communication is determined (S2).
4), the switching circuit 18 enters the serial data communication mode (AC connection) according to the determination result (S25), and serial data transmission is performed (S26). Step S22
When the communication end command is detected in step S23, the mode is switched to the normal operation mode based on the detection result (S23).

【0017】図5は本発明の別の実施例の構成である。
図1と対応する部分には図1と同一符号を付して詳細な
説明は省く。上の実施例では、メインスケール1とピッ
クアップ2上に基準位置コードパターンが形成されてい
て、光電検出回路12の出力から直接基準位置信号Yが
得られる場合を説明した。この実施例では特別の基準位
置コードパターンがなく、静電容量式検出回路11で上
位桁を得、光電式検出回路12で下位桁を得て、基準位
置信号発生回路17はこれらを合成することにより基準
位置信号Yを出力する場合を示している。
FIG. 5 shows the configuration of another embodiment of the present invention.
1 are given the same reference numerals as in FIG. 1 and detailed description is omitted. In the above embodiment, the case where the reference position code pattern is formed on the main scale 1 and the pickup 2 and the reference position signal Y is directly obtained from the output of the photoelectric detection circuit 12 has been described. In this embodiment, there is no special reference position code pattern, the upper digit is obtained by the capacitance detection circuit 11, the lower digit is obtained by the photoelectric detection circuit 12, and the reference position signal generation circuit 17 synthesizes these. Shows a case where the reference position signal Y is output.

【0018】またこの実施例では、基準位置信号Yは、
切替え回路を通らず基準位置信号出力線23に出力され
る。切替え回路18は、光電式検出回路12から得られ
る2相方形波信号X0 ,X1 のうちの一方X0 とシリア
ルデータ出力とを切替えて共通信号線24に出力し、残
りの方形波信号X1 はそのまま方形波信号出力線25に
出すようにしている。この実施例によっても先の実施例
と同様に信号線の共有によるエンコーダの小型化という
効果が得られる。
In this embodiment, the reference position signal Y is
The signal is output to the reference position signal output line 23 without passing through the switching circuit. The switching circuit 18 switches between one of the two-phase square wave signals X0 and X1 obtained from the photoelectric detection circuit 12 and the serial data output and outputs the same to the common signal line 24, and the remaining square wave signal X1 remains unchanged. The signal is output to a square wave signal output line 25. According to this embodiment, similarly to the previous embodiment, the effect of reducing the size of the encoder by sharing the signal lines can be obtained.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、シリ
アルデータ出力信号線と基準位置信号出力線あるいは2
相方形波信号出力線とを共用することにより、信号線を
減らして、絶対測定用エンコーダの小型化を図ることが
できる。
As described above, according to the present invention, the serial data output signal line and the reference position signal output line or 2
By sharing the phase square wave signal output line, the number of signal lines can be reduced, and the absolute measurement encoder can be downsized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明の一実施例の絶対変位測定用エンコー
ダの構成を示す。
FIG. 1 shows a configuration of an encoder for measuring absolute displacement according to an embodiment of the present invention.

【図2】 同実施例の検出器本体部の構成を示す。FIG. 2 shows a configuration of a detector main body of the embodiment.

【図3】 同実施例のモード切替え制御アルゴリズムを
示す。
FIG. 3 shows a mode switching control algorithm of the embodiment.

【図4】 他のモード切替え制御アルゴリズムを示す。FIG. 4 shows another mode switching control algorithm.

【図5】 他の実施例の絶対変位測定用エンコーダの構
成を示す。
FIG. 5 shows a configuration of an encoder for measuring absolute displacement according to another embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…メインスケール、2…ピックアップ、3…第1伝達
電極、4…第2伝達電極、5…送信電極、6…受信電
極、7…スリット板、8…発光ダイオード、91 〜94
…受光ダイオード、11…静電容量式検出回路、12…
光電式検出回路、13…データ処理回路、14…データ
入力回路、15…出力判定回路15、16…データ出力
回路、17…基準位置信号発生回路、18…切替え回
路、20…データ入力信号線、21,24…共通信号
線。
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Main scale, 2 ... Pickup, 3 ... First transmission electrode, 4 ... Second transmission electrode, 5 ... Transmission electrode, 6 ... Reception electrode, 7 ... Slit plate, 8 ... Light emitting diode, 91-94
... Light receiving diode, 11 ... Capacitance type detection circuit, 12 ...
Photoelectric detection circuit, 13 data processing circuit, 14 data input circuit, 15 output determination circuit 15, 16 data output circuit, 17 reference position signal generation circuit, 18 switching circuit, 20 data input signal line, 21, 24 ... common signal lines.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平4−297817(JP,A) 特開 平5−71985(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01D 5/00 - 5/62 ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (56) References JP-A-4-297817 (JP, A) JP-A-5-71985 (JP, A) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) G01D 5/00-5/62

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 原点位置調整のための基準位置信号を出
力する基準位置信号発生手段と、移動方向を決定するた
めの2相方形波信号を出力する2相方形波信号出力手段
と、内部状態をモニタするためのデータ入力手段及びデ
ータ出力手段とを有する絶対測定用エンコーダにおい
て、 基準位置信号出力線、2相方形波信号出力線のうちいず
れか一つとデータ出力信号線とを共通信号線とし、 動作モードに応じて前記データ出力手段の出力端子と前
記基準位置信号発生手段の出力端子のいずれかを選択し
て前記共通信号線に切替え接続する切替え手段を有する
ことを特徴とする絶対測定用エンコーダ。
1. A reference position signal generating means for outputting a reference position signal for adjusting an origin position, a two-phase square wave signal output means for outputting a two-phase square wave signal for determining a moving direction, and an internal state An absolute measurement encoder having a data input means and a data output means for monitoring a signal, wherein one of a reference position signal output line, a two-phase square wave signal output line and a data output signal line are used as a common signal line. A switching means for selecting one of an output terminal of the data output means and an output terminal of the reference position signal generating means in accordance with an operation mode and switching and connecting to the common signal line. Encoder.
【請求項2】 それぞれ所定パターンの電極が配列形成
されて相対移動するメインスケールとピックアップを有
し、それらの対向位置により異なる静電容量を検出する
ことにより絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検
出手段と、 この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、 入力されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理
を行うデータ処理手段と、 データ処理結果をシリアルデータとして出力するデータ
出力手段と、 前記絶対変位検出手段と一体形成されて前記スケール及
びピックアップ上に形成された基準位置パターンを光電
的に検出する光電検出手段と、 この光電検出手段の出力を処理して基準位置信号を出力
する基準位置信号発生手段と、 動作モードに応じて前記基準位置信号発生手段の出力端
子と前記データ出力手段の出力端子のいずれかを選択し
て共通信号線に接続する切替え手段とを有することを特
徴とする絶対測定用エンコーダ。
2. An electrostatic capacitance type which has a main scale and a pickup in which electrodes of a predetermined pattern are formed and move relative to each other, and detects an absolute displacement by detecting different electrostatic capacitances depending on their facing positions. Absolute displacement detection means, data input means for receiving serial data from the outside to monitor the state of the absolute displacement detection means, data processing means for performing data processing such as state check based on the input data, Data output means for outputting a data processing result as serial data; photoelectric detection means integrally formed with the absolute displacement detection means for photoelectrically detecting a reference position pattern formed on the scale and the pickup; A reference position signal generating means for processing the output of the means and outputting a reference position signal; and Switching means for selecting one of the output terminal of the reference position signal generating means and the output terminal of the data output means and connecting to a common signal line.
【請求項3】 それぞれ所定パターンの電極が配列形成
されて相対移動するメインスケールとピックアップを有
し、それらの対向位置により異なる静電容量を検出する
ことにより絶対変位検出を行う静電容量式の絶対変位検
出手段と、 この絶対変位検出手段の状態をモニタするために外部か
らのシリアルデータを受信するデータ入力手段と、 入力されたデータに基づき状態チェック等のデータ処理
を行うデータ処理手段と、 データ処理結果をシリアルデータとして出力するデータ
出力手段と、 前記絶対変位検出手段と一体形成されて前記スケール上
のパターンを光電的に検出して移動方向を決定するため
の2相方形波信号を出力する光電検出手段と、 この光電検出手段の出力と前記絶対変位検出手段の出力
を処理して基準位置信号を出力する基準位置信号発生手
段と、 動作モードに応じて前記2相方形波信号の出力端子のい
ずれか一方と前記データ出力手段の出力端子のいずれか
を選択して共通信号線に接続する切替え手段とを有する
ことを特徴とする絶対測定用エンコーダ。
3. An electrostatic capacitance type having a main scale and a pickup in which electrodes of a predetermined pattern are formed and moved relatively to each other, and detecting an absolute displacement by detecting different electrostatic capacitances depending on their opposing positions. Absolute displacement detection means, data input means for receiving serial data from the outside to monitor the state of the absolute displacement detection means, data processing means for performing data processing such as state check based on the input data, A data output means for outputting a data processing result as serial data; and a two-phase square wave signal integrally formed with the absolute displacement detection means for photoelectrically detecting a pattern on the scale to determine a moving direction. And a reference position signal by processing the output of the photoelectric detection unit and the output of the absolute displacement detection unit. Reference position signal generating means, and switching means for selecting one of the output terminals of the two-phase square wave signal and one of the output terminals of the data output means and connecting to a common signal line according to an operation mode. An encoder for absolute measurement, comprising:
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DE19711216C1 (en) * 1997-03-18 1998-05-07 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Transmitting data between position measuring device and analysis unit, e.g. in machine tool
JP5865329B2 (en) * 2003-10-01 2016-02-17 オリンパス株式会社 Encoder
JP2006311719A (en) * 2005-04-28 2006-11-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd Motor control system
WO2015067506A1 (en) * 2013-11-05 2015-05-14 Renishaw Plc Position measurement encoder calibration
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