JP2995960B2 - 赤外線ｃｃｄ - Google Patents
赤外線ｃｃｄInfo
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- JP2995960B2 JP2995960B2 JP3279784A JP27978491A JP2995960B2 JP 2995960 B2 JP2995960 B2 JP 2995960B2 JP 3279784 A JP3279784 A JP 3279784A JP 27978491 A JP27978491 A JP 27978491A JP 2995960 B2 JP2995960 B2 JP 2995960B2
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- Japan
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- ccd
- infrared
- hole
- light receiving
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、裏面入射型のインター
ラインタイプの赤外線ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌ
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
ラインタイプの赤外線ＣＣＤ（ＣｈａｒｇｅＣｏｕｐｌ
ｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）に関する。
【０００２】
【従来の技術】裏面入射型のインターラインタイプの赤
外線ＣＣＤは、個々の受光部を２次元に配置し、受光部
の列の間に垂直ＣＣＤを形成している。垂直ＣＣＤによ
って転送された信号電荷は、さらに水平ＣＣＤへ転送さ
れ、出力される。この種の赤外線ＣＣＤの受光部と垂直
ＣＣＤとを含んだセルの構造は、図２に示すように、受
光センサ部２とＣＣＤ電極（ポリシリコン電極）４がウ
ェハ（ｐ型ポリシリコン基板）５上に平面的に配置さ
れ、デバイスの形成されていない裏面から赤外線の入射
を受ける。図中１は保護膜としての酸化膜、３はｎ型拡
散層である。
外線ＣＣＤは、個々の受光部を２次元に配置し、受光部
の列の間に垂直ＣＣＤを形成している。垂直ＣＣＤによ
って転送された信号電荷は、さらに水平ＣＣＤへ転送さ
れ、出力される。この種の赤外線ＣＣＤの受光部と垂直
ＣＣＤとを含んだセルの構造は、図２に示すように、受
光センサ部２とＣＣＤ電極（ポリシリコン電極）４がウ
ェハ（ｐ型ポリシリコン基板）５上に平面的に配置さ
れ、デバイスの形成されていない裏面から赤外線の入射
を受ける。図中１は保護膜としての酸化膜、３はｎ型拡
散層である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の赤外線
ＣＣＤは、センサ部２が裏面の入射面からウェハ５の厚
さだけ離れているため、赤外線がウェハ５を透過して受
光センサ部２に達するまでに吸収され、その分感度が悪
くなったり、赤外線センサのセルと呼ばれる一画素部分
について受光部からの信号電荷を転送するＣＣＤ電極面
積のセルに占める割合が比較的大きく、フィルファクタ
ーが小さいため、感度がよくなかったり、赤外線ＣＣＤ
のセルの面積が大きくなってしまうため、チップの寸法
の縮小が困難であるという欠点がある。
ＣＣＤは、センサ部２が裏面の入射面からウェハ５の厚
さだけ離れているため、赤外線がウェハ５を透過して受
光センサ部２に達するまでに吸収され、その分感度が悪
くなったり、赤外線センサのセルと呼ばれる一画素部分
について受光部からの信号電荷を転送するＣＣＤ電極面
積のセルに占める割合が比較的大きく、フィルファクタ
ーが小さいため、感度がよくなかったり、赤外線ＣＣＤ
のセルの面積が大きくなってしまうため、チップの寸法
の縮小が困難であるという欠点がある。
【０００４】本発明の目的は、感度を向上し、しかもチ
ップの小型化を実現した赤外線ＣＣＤを提供することに
ある。
ップの小型化を実現した赤外線ＣＣＤを提供することに
ある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る赤外線ＣＣＤは、穴と、センサ部と、
ＣＣＤ電極と、保護膜とを有する裏面入射型インターラ
インタイプの赤外線ＣＣＤであって、前記穴は、赤外線
センサ部の受光部に相当するウエハの領域に表面側から
開口されたものであり、前記センサ部は、穴の底に形成
されたものであり、前記ＣＣＤ電極は、ウエハの上面と
穴の側面一部にまたがって形成されたものであり、前記
保護膜は、前記センサ部及びＣＣＤ電極表面を覆う酸化
膜である。
め、本発明に係る赤外線ＣＣＤは、穴と、センサ部と、
ＣＣＤ電極と、保護膜とを有する裏面入射型インターラ
インタイプの赤外線ＣＣＤであって、前記穴は、赤外線
センサ部の受光部に相当するウエハの領域に表面側から
開口されたものであり、前記センサ部は、穴の底に形成
されたものであり、前記ＣＣＤ電極は、ウエハの上面と
穴の側面一部にまたがって形成されたものであり、前記
保護膜は、前記センサ部及びＣＣＤ電極表面を覆う酸化
膜である。
【０００６】
【作用】受光センサ部は、ウェハに開口された穴の底に
形成されるため、ウェハの裏面から入射される赤外線入
射光がセンサ部に達するまでの吸収による減衰が少な
い。また、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部
とにまたがって形成されるため、チャネル幅が拡大す
る。
形成されるため、ウェハの裏面から入射される赤外線入
射光がセンサ部に達するまでの吸収による減衰が少な
い。また、ＣＣＤ電極は、ウェハの上面と穴の側面一部
とにまたがって形成されるため、チャネル幅が拡大す
る。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の実施例を図によって説明す
る。
る。
【０００８】裏面入射型のインターラインタイプの赤外
線ＣＣＤは、デバイスが形成されていない裏面から赤外
線を入射させ、受光部等のデバイスが形成されている表
面で赤外線を感知させるデバイスである。本発明では、
２次元のマトリクス状に配置されている受光部の各々に
対してチップの表面から穴をあけ、穴の底部には、受光
部を形成し、チップ上および穴の側面の一部にはＣＣＤ
電極を形成したものである。
線ＣＣＤは、デバイスが形成されていない裏面から赤外
線を入射させ、受光部等のデバイスが形成されている表
面で赤外線を感知させるデバイスである。本発明では、
２次元のマトリクス状に配置されている受光部の各々に
対してチップの表面から穴をあけ、穴の底部には、受光
部を形成し、チップ上および穴の側面の一部にはＣＣＤ
電極を形成したものである。
【０００９】図１は、受光部を含んだセルの断面付の図
である。図において、ウェハ（ｐ型シリコン基板）５に
穴６があけられ、穴６の底部に受光部としてＰｔＳｉ膜
によるセンサ部２が形成されている。ｎ型拡散層３を介
して積層されたＣＣＤのポリシリコン電極４は、穴６の
上面から側面にまたがって形成され、チャネル幅を広げ
ている。センサ部２とポリシリコン電極４とは、酸化膜
１で覆われ、外部から保護されている。
である。図において、ウェハ（ｐ型シリコン基板）５に
穴６があけられ、穴６の底部に受光部としてＰｔＳｉ膜
によるセンサ部２が形成されている。ｎ型拡散層３を介
して積層されたＣＣＤのポリシリコン電極４は、穴６の
上面から側面にまたがって形成され、チャネル幅を広げ
ている。センサ部２とポリシリコン電極４とは、酸化膜
１で覆われ、外部から保護されている。
【００１０】本発明においても裏面から入射された赤外
線は、穴６内のセンサ部２に感知されるが、裏面からの
入射光がセンサ部２に達するまでの吸収量が減少し、受
光感度が向上する。
線は、穴６内のセンサ部２に感知されるが、裏面からの
入射光がセンサ部２に達するまでの吸収量が減少し、受
光感度が向上する。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、赤外線セ
ンサ部の受光部に相当する領域に穴をあけ、穴の底部に
受光部を形成し、穴の側面の一部をもＣＣＤ電極として
利用し、保護膜でカバーした構造としたため、裏面から
の入射光が受光部へ達するまでの吸収による減衰を減少
させて受光感度を向上させることができる。
ンサ部の受光部に相当する領域に穴をあけ、穴の底部に
受光部を形成し、穴の側面の一部をもＣＣＤ電極として
利用し、保護膜でカバーした構造としたため、裏面から
の入射光が受光部へ達するまでの吸収による減衰を減少
させて受光感度を向上させることができる。
【００１２】また、赤外線センサのセル１個におけるＣ
ＣＤ部分の面積がセルに占める割合を減少させることが
でき、フィルファクターを増加させて感度を向上させる
と同時に、赤外線センサ部の面積を従来より縮小するこ
とが可能となり、チップ寸法は小さくて済み、赤外線Ｃ
ＣＤチップを小型化できる効果がある。
ＣＤ部分の面積がセルに占める割合を減少させることが
でき、フィルファクターを増加させて感度を向上させる
と同時に、赤外線センサ部の面積を従来より縮小するこ
とが可能となり、チップ寸法は小さくて済み、赤外線Ｃ
ＣＤチップを小型化できる効果がある。
【図１】本発明の赤外線ＣＣＤのセル部の一実施例を示
す縦断面斜視図である。
す縦断面斜視図である。
【図２】従来の赤外線ＣＣＤのセル部の縦断面図であ
る。
る。
１ 酸化膜 ２ ＰｔＳｉ膜によるセンサ部 ３ ｎ型拡散層 ４ ポリシリコン電極（ＣＣＤ電極） ５ ｐ型シリコン基板（ウェハ）
Claims (1)
- 【請求項１】 穴と、センサ部と、ＣＣＤ電極と、保護
膜とを有する裏面入射型インターラインタイプの赤外線
ＣＣＤであって、前記 穴は、赤外線センサ部の受光部に相当するウエハの
領域に表面側から開口されたものであり、前記 センサ部は、穴の底に形成されたものであり、前記 ＣＣＤ電極は、ウエハの上面と穴の側面一部にまた
がって形成されたものであり、前記 保護膜は、前記センサ部及びＣＣＤ電極表面を覆う
酸化膜であることを特徴とする赤外線ＣＣＤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3279784A JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3279784A JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05121711A JPH05121711A (ja) | 1993-05-18 |
| JP2995960B2 true JP2995960B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=17615871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3279784A Expired - Fee Related JP2995960B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | 赤外線ｃｃｄ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2995960B2 (ja) |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4317280B2 (ja) * | 1998-11-02 | 2009-08-19 | 浜松ホトニクス株式会社 | 半導体エネルギー検出器 |
| JP4220818B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
| JP4220819B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | 放射線検出器 |
| JP4220817B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2009-02-04 | 浜松ホトニクス株式会社 | ホトダイオードアレイおよびその製造方法並びに放射線検出器 |
| US8074248B2 (en) | 2005-07-26 | 2011-12-06 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for providing video content associated with a source image to a television in a communication network |
| US9042454B2 (en) | 2007-01-12 | 2015-05-26 | Activevideo Networks, Inc. | Interactive encoded content system including object models for viewing on a remote device |
| US9826197B2 (en) | 2007-01-12 | 2017-11-21 | Activevideo Networks, Inc. | Providing television broadcasts over a managed network and interactive content over an unmanaged network to a client device |
| AU2011315950B2 (en) | 2010-10-14 | 2015-09-03 | Activevideo Networks, Inc. | Streaming digital video between video devices using a cable television system |
| WO2012138660A2 (en) | 2011-04-07 | 2012-10-11 | Activevideo Networks, Inc. | Reduction of latency in video distribution networks using adaptive bit rates |
| US10409445B2 (en) | 2012-01-09 | 2019-09-10 | Activevideo Networks, Inc. | Rendering of an interactive lean-backward user interface on a television |
| US9123084B2 (en) | 2012-04-12 | 2015-09-01 | Activevideo Networks, Inc. | Graphical application integration with MPEG objects |
| WO2014145921A1 (en) | 2013-03-15 | 2014-09-18 | Activevideo Networks, Inc. | A multiple-mode system and method for providing user selectable video content |
| US9219922B2 (en) | 2013-06-06 | 2015-12-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
| EP3005712A1 (en) | 2013-06-06 | 2016-04-13 | ActiveVideo Networks, Inc. | Overlay rendering of user interface onto source video |
| US9294785B2 (en) | 2013-06-06 | 2016-03-22 | Activevideo Networks, Inc. | System and method for exploiting scene graph information in construction of an encoded video sequence |
-
1991
- 1991-10-25 JP JP3279784A patent/JP2995960B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05121711A (ja) | 1993-05-18 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071029 Year of fee payment: 8 |
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