JP2904248B2 - Calibration method of rotary table for coordinate measuring machine - Google Patents
Calibration method of rotary table for coordinate measuring machineInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は座標測定機のロータリ
テーブルの校正方法に係り、特にワークの測定値を補正
するために使用されるロータリテーブルの校正用データ
を求める座標測定機のロータリテーブルの校正方法に関
する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of calibrating a rotary table of a coordinate measuring machine, and more particularly to a method of calibrating a rotary table of a coordinate measuring machine for obtaining calibration data of a rotary table used for correcting a measured value of a work. Related to the calibration method.
【０００２】[0002]
【従来の技術】直交三軸とベーステーブルにロータリテ
ーブルを備えた三次元座標測定機でワーク形状等を測定
する場合、ロータリテーブルの回転中心及び傾きを求め
て、これらのデータをロータリテーブルの校正データと
して使用する。ロータリテーブルの校正は、三次元座標
測定機を初めて使用する時、または周囲温度環境等が変
化した場合に、行われるのが一般的である。2. Description of the Related Art When measuring a workpiece shape or the like with a three-dimensional coordinate measuring machine having a three-axis orthogonal axis and a rotary table on a base table, the rotation center and inclination of the rotary table are obtained, and these data are calibrated to the rotary table. Use as data. The calibration of the rotary table is generally performed when the three-dimensional coordinate measuring machine is used for the first time, or when the ambient temperature environment changes.
【０００３】そして、ロータリテーブルの校正データを
求める方法として、以下の２つの方法が知られている。
第１の校正方法を図３に基づいて説明する。先ず、ロー
タリテーブル１０上の所定位置に校正用の基準球１２を
常設し、ロータリテーブル１０を任意の角度に回転させ
た後、基準球１２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブルの回転角度を変え
て複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくとも３
つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標から、
複数の中心座標を通る平面１４の傾きＶ1 と円１６の中
心座標Ｏ1 を算出する。そして、平面１４の傾きＶ1 と
円１６の中心座標Ｏ1のデータを、ロータリテーブルの
校正データとする。The following two methods are known as methods for obtaining calibration data of a rotary table.
The first calibration method will be described with reference to FIG. First, a reference sphere 12 for calibration is permanently provided at a predetermined position on the rotary table 10, and after rotating the rotary table 10 at an arbitrary angle, the reference sphere 12 is measured to determine the center coordinates thereof. Next, the above-described measurement is performed a plurality of times while changing the rotation angle of the rotary table, and a plurality of center coordinates are obtained (at least 3 coordinates).
Or more). From the plurality of center coordinates obtained in this way,
The inclination V 1 of the plane 14 passing through the plurality of center coordinates and the center coordinate O 1 of the circle 16 are calculated. The data of the inclination V 1 of the plane 14 and the center coordinates O 1 of the circle 16 are used as calibration data of the rotary table.
【０００４】尚、求められた中心座標が４点以上の場合
は、最小自乗法で適切な平面１４と円１６の中心座標を
求める。しかしながら、第１の校正方法には以下の欠点
がある。すなわち、三次元測定機には測定誤差要因とな
る機械的運動誤差（いわゆる、ピッチング、ヨーイン
グ、ローリング、真直度、直角度及び指示誤差）があ
り、図３上の基準球１２の中心座標にも自ずと誤差が含
まれ、平面１４の傾きＶ1 と円１６の中心座標Ｏ1 は誤
差を持ったデータとなる。従って、ロータリテーブルの
校正データとしては不正確となる。特に、平面１４の傾
きＶ1 の誤差については、基準球１２の測定高さ近傍で
はその誤差の影響がすくないが、離れた高さ位置では、
その影響が大きい。If the obtained center coordinates are four or more, appropriate center coordinates of the plane 14 and the circle 16 are obtained by the least square method. However, the first calibration method has the following disadvantages. That is, the coordinate measuring machine has a mechanical motion error (so-called pitching, yawing, rolling, straightness, squareness, and pointing error) that is a measurement error factor, and the coordinate of the center of the reference sphere 12 in FIG. An error is naturally included, and the inclination V 1 of the plane 14 and the center coordinate O 1 of the circle 16 are data having an error. Therefore, the calibration data of the rotary table is inaccurate. In particular, regarding the error of the inclination V 1 of the plane 14, the influence of the error is small near the measurement height of the reference sphere 12, but at a distant height position,
The effect is great.
【０００５】ここで、三次元測定機は比較的狭い運動範
囲では機械的運動誤差が少ないことが一般的である。ま
た、第１の校正方法のように１つの基準球を測定して傾
きと中心座標を求めた場合、校正用基準球を測定した位
置の機械的運動誤差が測定範囲全体に影響する。従っ
て、第２の校正方法は、この影響を防ぐ目的から広い高
さ間隔でロータリテーブルの回転中心近くに配設された
２つの基準球を測定してロータリテーブルの傾きと回転
中心を求めるようにした。Here, a three-dimensional measuring machine generally has a small mechanical movement error in a relatively narrow movement range. When the inclination and the center coordinates are obtained by measuring one reference sphere as in the first calibration method, the mechanical motion error at the position where the calibration sphere is measured affects the entire measurement range. Therefore, the second calibration method measures two reference spheres disposed near the center of rotation of the rotary table at a wide height interval to obtain the inclination and the center of rotation of the rotary table in order to prevent this effect. did.
【０００６】以下、第２の校正方法を図４に基づいて説
明する。先ず、ロータリテーブル１０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２を配設
する。次に、第１の基準球２０について第１の校正方法
と同様に測定して複数個の測定中心座標から円２０Ａの
中心座標Ｏ2 を求め、次いで、第２の基準球２２につい
て第１の校正方法と同様に測定して複数個の測定中心座
標から円２２Ａの中心座標Ｏ3 を求める。続いて、求め
られた中心座標Ｏ2、Ｏ3 を通る直線の傾きＶ2 を、ロ
ータリテーブル１０の傾きとし、第１、第２の基準球の
中心座標Ｏ2 、Ｏ3 のいずれか一方をロータリテーブル
の回転中心とする。Hereinafter, a second calibration method will be described with reference to FIG. First, near the center of rotation of the rotary table 10, first and second reference spheres 20, 22 having different heights are arranged. Next, the first reference sphere 20 is measured in the same manner as in the first calibration method to determine the center coordinate O 2 of the circle 20A from the plurality of measurement center coordinates. Measurement is performed in the same manner as the calibration method, and the center coordinate O 3 of the circle 22A is obtained from the plurality of measurement center coordinates. Subsequently, the inclination V 2 of the straight line passing through the obtained center coordinates O 2 and O 3 is defined as the inclination of the rotary table 10, and one of the center coordinates O 2 and O 3 of the first and second reference spheres is determined. The rotation center of the rotary table.
【０００７】このように、ロータリテーブル１０の回転
中心近くに高さの異なる第１、第２の基準球２０、２２
を配設し、ロータリテーブルの校正データを求めること
により機械的運動誤差の測定範囲全体に対する影響を少
なくすることができる。As described above, the first and second reference spheres 20 and 22 having different heights are provided near the rotation center of the rotary table 10.
And the effect of the mechanical motion error on the entire measurement range can be reduced by obtaining the calibration data of the rotary table.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、一般に
ロータリテーブルの回転中心近傍には被測定物を固定す
るための固定用治具が取り付けられているので、図４に
示すような位置に２つの基準球を配設するためには固定
用治具を除去する必要がある。従って、ロータリテーブ
ルを校正する度に固定用治具を除去しなければならない
という問題がある。However, since a fixing jig for fixing an object to be measured is generally mounted near the center of rotation of the rotary table, two reference positions are provided at positions shown in FIG. In order to dispose the sphere, it is necessary to remove the fixing jig. Therefore, there is a problem that the fixing jig must be removed every time the rotary table is calibrated.
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、固定用治具を除去せずに、ロータリテーブルを
高精度に校正することができる座標測定機用ロータリテ
ーブルの校正方法を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a method of calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine that can calibrate a rotary table with high accuracy without removing a fixing jig. The purpose is to do.
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成する為に、三軸方向に移動自在なプローブが設けられ
ると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられた
座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球の回転中心を求め、ロ
ータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転中
心近傍に設けられた第１の基準球と高さの異なる第２の
基準球の回転中心を求め、第１、第２の基準球の回転中
心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と設定
し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直線の
傾きをロータリテーブルの傾きと設定し、ロータリテー
ブルを回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定
治具を回避して設けられた第３の基準球の回転中心を予
め求め、記憶する。周囲の温度環境が変化するなどで、
ロータリテーブルの新たな校正が必要となった時、新た
にロータリテーブルを回転して、ロータリテーブル上に
被測定物の固定治具を回避して設けられた第３の基準球
の新たな回転中心を求め、前記予め求められた第３の基
準球の回転中心と第３の基準球の新たな回転中心との座
標差を求め、該求められた座標差で前記求めたロータリ
テーブルの回転中心を補正して新たなロータリテーブル
の回転中心を求め、前記求め記憶したロータリテーブル
の傾き及び新たに求めたロータリテーブルの回転中心を
被測定物測定時のロータリテーブルの校正用データとす
ることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION In order to achieve the above object, the present invention provides a calibration of a rotary table for a coordinate measuring machine in which a probe movable in three axial directions is provided and a rotary table is provided on a measurement table. In the method, the rotary table is rotated to determine the rotation center of a first reference sphere provided near the rotation center of the rotary table, and the rotary table is rotated to obtain a first reference sphere provided near the rotation center of the rotary table. The rotation center of the second reference sphere having a height different from that of the reference sphere is determined, and either one of the rotation centers of the first and second reference spheres is set as the rotation center of the rotary table, and the first and second reference spheres are set. The inclination of a straight line passing through the center of rotation of the reference sphere 2 is set as the inclination of the rotary table, and the rotary table is rotated so that the jig for fixing the object to be measured is set on the rotary table. It is a third pre-determined rotation center of the reference sphere of the stores. Due to changes in the surrounding temperature environment,
When a new calibration of the rotary table is required, the rotary table is newly rotated, and a new rotation center of the third reference sphere provided on the rotary table so as to avoid the fixture for the object to be measured. Is calculated, and the coordinate difference between the previously obtained rotation center of the third reference sphere and the new rotation center of the third reference sphere is obtained, and the obtained rotation difference of the rotary table is used as the rotation center of the rotary table. The correction is performed to obtain a new rotation center of the rotary table, and the obtained and stored inclination of the rotary table and the newly obtained rotation center of the rotary table are used as calibration data of the rotary table when measuring an object to be measured. I do.
【００１１】[0011]
【作用】本発明によれば、ロータリテーブルを回転し
て、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられた第１
の基準球の回転中心を求め、次に、ロータリテーブルを
回転して、ロータリテーブルの回転中心近傍に設けられ
た第１の基準球と高さの異なる第２の基準球の回転中心
を求める。そして、求められた第１、第２の基準球の回
転中心のいずれか一方をロータリテーブルの回転中心と
設定し、かつ、第１、第２の基準球の回転中心を通る直
線の傾きをロータリテーブルの傾きと設定して、これら
のデータを記憶する。次いで、ロータリテーブルを回転
して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避
して設けられた第３の基準球の回転中心を予め求めて、
予め求められたデータを記憶する。周囲温度環境が変化
するなどの理由で、新たにロータリテーブルを回転し
て、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を回避し
て設けられた第３の基準球の新たな回転中心を求める。
そして、予め求められた第３の基準球の回転中心と第３
の基準球の新たな回転中心との座標差を求め、求められ
た座標差でロータリテーブルの回転中心を補正する。According to the present invention, the rotary table is rotated and the first table provided near the center of rotation of the rotary table is rotated.
Then, the rotary table is rotated, and then the rotary table is rotated to determine the rotation center of the second reference sphere, which is different in height from the first reference sphere provided near the rotation center of the rotary table. Then, one of the determined rotation centers of the first and second reference spheres is set as the rotation center of the rotary table, and the inclination of a straight line passing through the rotation centers of the first and second reference spheres is determined by the rotary. These data are stored by setting the inclination of the table. Next, by rotating the rotary table, a rotation center of a third reference sphere provided on the rotary table while avoiding the fixture for the object to be measured is obtained in advance,
The data obtained in advance is stored. The rotary table is newly rotated, for example, due to a change in the ambient temperature environment, and a new rotation center of the third reference sphere provided on the rotary table while avoiding the fixture for the object to be measured is obtained. .
Then, the rotation center of the third reference sphere obtained in advance and the third
Of the reference sphere with respect to the new rotation center, and corrects the rotation center of the rotary table with the obtained coordinate difference.
【００１２】このように、第３の基準球に基づいて予め
求められた回転中心と、新たに求められた第３の基準球
の回転中心との座標差を求め、この座標差でロータリテ
ーブルの回転中心をを補正することにより、第１、第２
の基準球を使用せずにロータリテーブルを高精度に校正
することができる。As described above, the coordinate difference between the rotation center previously obtained based on the third reference sphere and the rotation center of the newly obtained third reference sphere is obtained, and the coordinate difference is used to calculate the rotation table of the rotary table. By correcting the rotation center, the first and second
The rotary table can be calibrated with high accuracy without using the reference sphere.
【００１３】[0013]
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る座標測定
機用ロータリテーブルの校正方法について詳説する。図
１にはロータリテーブルを備えた三次元座標測定機の斜
視図が示されている。同図に示すように三次元座標測定
機３０の本体３２にはＹキャリッジ３４がＹ軸方向に移
動自在に設けられている。Ｙキャリッジ３４の上端部に
はＸ軸ガイド３６が固定されていて、Ｘ軸ガイド３６に
はＸキャリッジ３８が移動自在に設けられている。ま
た、Ｘキャリッジ３８にはＺキャリッジ４０がＺ軸方向
に移動自在に設けられている。Ｚキャリッジ４０の下端
部にはプローブ４２が設けられている。従って、プロー
ブ４２はＸ、Ｙ、Ｚ軸の３軸方向に移動することができ
るので、プローブ４２でワークの形状等を測定すること
ができる。そして、後述するロータリテーブル５０は三
次元座標測定機３０の測定テーブル３２Ａに設けられて
いる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A method for calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a perspective view of a three-dimensional coordinate measuring machine provided with a rotary table. As shown in the drawing, a Y carriage 34 is provided on a main body 32 of the three-dimensional coordinate measuring machine 30 so as to be movable in the Y-axis direction. An X-axis guide 36 is fixed to the upper end of the Y carriage 34, and an X carriage 38 is movably provided on the X-axis guide 36. The X carriage 38 is provided with a Z carriage 40 movably in the Z axis direction. A probe 42 is provided at the lower end of the Z carriage 40. Therefore, the probe 42 can move in three X-, Y-, and Z-axis directions, so that the probe 42 can measure the shape and the like of the workpiece. A rotary table 50 described later is provided on the measurement table 32A of the three-dimensional coordinate measuring machine 30.
【００１４】図２には本発明に係る座標測定機用ロータ
リテーブルの校正方法に使用される座標測定機用ロータ
リテーブルの斜視図が示されている。同図に示すように
ロータリテーブル５０には校正用の基準球（第３の基準
球）５２が配設されている。基準球５２は被測定物（図
示せず）を固定するための固定用治具５４を回避してロ
ータリテーブル５０に取り付けられている。FIG. 2 is a perspective view of a rotary table for a coordinate measuring machine used in the method for calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine according to the present invention. As shown in the figure, a reference sphere (third reference sphere) 52 for calibration is provided on the rotary table 50. The reference sphere 52 is attached to the rotary table 50 while avoiding a fixing jig 54 for fixing an object to be measured (not shown).
【００１５】このロータリテーブル５０から固定用治具
５４を除去して、ロータリテーブル５０の回転中心近傍
に、高さの異なる第１、第２の基準球５６、５８を配設
する。そして、ロータリテーブル５０を任意の角度に回
転させた後、第１の基準球５６を測定してその中心座標
を求める。次に、第１の基準球５６について上述した測
定をロータリテーブルの回転角度を変えて複数回行い、
複数の中心座標を求める（少なくとも３つ以上）。この
ようにして求めた複数の中心座標から円６０の中心座標
Ｏ4 を算出する。The fixing jig 54 is removed from the rotary table 50, and first and second reference spheres 56 and 58 having different heights are arranged near the center of rotation of the rotary table 50. Then, after rotating the rotary table 50 to an arbitrary angle, the first reference sphere 56 is measured to determine the center coordinates thereof. Next, the above-described measurement is performed on the first reference sphere 56 a plurality of times while changing the rotation angle of the rotary table,
A plurality of center coordinates are obtained (at least three or more). The center coordinates O 4 of the circle 60 are calculated from the plurality of center coordinates thus obtained.
【００１６】次いで、第１の基準球５６と同様に第２の
基準球５８について複数の中心座標を求め、求められた
複数の中心座標から円６２の中心座標Ｏ5 を算出する。
続いて、求められた中心座標Ｏ4 、Ｏ5 を通る直線の傾
きＶ3 を、ロータリテーブル５０の傾きとし、第１、第
２の基準球の中心座標Ｏ4 、Ｏ5 のいずれか一方をロー
タリテーブル５０の回転中心とする。そして、この実施
例においては中心座標Ｏ4 をロータリテーブル５０の回
転中心と設定して、これらのデータをロータリテーブル
５０の校正データとして記憶する。[0016] Then, determine the plurality of center coordinates for the second reference sphere 58 in the same manner as the first reference sphere 56, and calculates the center coordinates O 5 circles 62 from a plurality of center coordinates obtained.
Subsequently, the inclination V 3 of the straight line passing through the obtained center coordinates O 4 and O 5 is defined as the inclination of the rotary table 50, and one of the center coordinates O 4 and O 5 of the first and second reference spheres is determined. The rotation center of the rotary table 50 is set as the rotation center. In this embodiment, the center coordinate O 4 is set as the rotation center of the rotary table 50, and these data are stored as calibration data of the rotary table 50.
【００１７】続いて、基準球５２について第１、第２の
基準球５６、５８と同様に中心座標Ｏ6 を求める。すな
わち、ロータリテーブル５０を任意の角度に回転させた
後、基準球５２を測定してその中心座標を求める。次
に、上述した測定をロータリテーブル５０の回転角度を
変えて複数回行い、複数の中心座標を求める（少なくと
も３つ以上）。このようにして求めた複数の中心座標か
ら円６４の中心座標Ｏ6を算出して、算出された中心座
標Ｏ6 を記憶する。Subsequently, the center coordinates O 6 of the reference sphere 52 are obtained in the same manner as the first and second reference spheres 56 and 58. That is, after rotating the rotary table 50 to an arbitrary angle, the reference sphere 52 is measured and its center coordinate is obtained. Next, the above-described measurement is performed a plurality of times while changing the rotation angle of the rotary table 50, and a plurality of center coordinates are obtained (at least three or more). The center coordinates O 6 of the circle 64 are calculated from the plurality of center coordinates thus obtained, and the calculated center coordinates O 6 are stored.
【００１８】記憶完了後、第１、第２の基準球５６、５
８をロータリテーブル５０から除去して、固定用治具５
４を所定位置に取り付ける。この状態で、固定用治具５
４にワークを固定して三次元座標測定機３０のプローブ
４２でワークの形状等を測定する。そして、三次元座標
測定機の周囲の温度環境の変化等でロータリテーブル５
０の新たな校正が必要な場合、ロータリテーブル５０を
任意の角度に回転させた後、基準球５２を測定してその
中心座標を求める。次に、上述した測定をロータリテー
ブル５０の回転角度を変えて複数回行い、複数の中心座
標を求める（少なくとも３つ以上）。このようにして求
めた複数の中心座標から円の新たな中心座標Ｏ7 （図示
せず）を算出する。After the storage is completed, the first and second reference spheres 56, 5
8 is removed from the rotary table 50 and the fixing jig 5 is removed.
4 is attached in a predetermined position. In this state, the fixing jig 5
4 and the shape of the work is measured by the probe 42 of the three-dimensional coordinate measuring machine 30. Then, when the temperature environment around the three-dimensional coordinate measuring machine changes, the rotary table 5 is changed.
If a new calibration of 0 is necessary, the rotary table 50 is rotated to an arbitrary angle, and then the reference sphere 52 is measured to determine the center coordinates. Next, the above-described measurement is performed a plurality of times while changing the rotation angle of the rotary table 50, and a plurality of center coordinates are obtained (at least three or more). A new center coordinate O 7 (not shown) of the circle is calculated from the plurality of center coordinates thus obtained.
【００１９】そして、記憶されている中心座標Ｏ6 と新
たな中心座標Ｏ7 の座標差を求める。次に、ロータリテ
ーブル５０の回転中心Ｏ4 を求められた座標差分シフト
して、シフト後の中心座標をロータリテーブル５０の新
たな回転中心と設定する。この新たな回転中心とロータ
リテーブル５０の傾きＶ3 をロータリテーブル５０の校
正データとする。Then, a coordinate difference between the stored center coordinate O 6 and the new center coordinate O 7 is obtained. Next, the rotation center O 4 of the rotary table 50 is shifted by the determined coordinate difference, and the shifted center coordinates are set as a new rotation center of the rotary table 50. The inclination V 3 of the new center of rotation and the rotary table 50 and calibration data of the rotary table 50.
【００２０】前記実施例では，基準球を使用して中心座
標を求めたが、これに限らず、基準円筒での代用が可能
である。この場合、基準円筒を円として、円の中心とそ
の時の測定高さを、基準球の中心に置き換えればよい。In the above embodiment, the center coordinates are obtained using the reference sphere. However, the present invention is not limited to this, and a reference cylinder can be used instead. In this case, the reference cylinder may be a circle, and the center of the circle and the measured height at that time may be replaced with the center of the reference sphere.
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る座標測
定機用ロータリテーブルの校正方法によれば、第３の基
準球に基づいて予め求められた回転中心と、新たに求め
られた第３の基準球の回転中心との座標差を求め、この
座標差でロータリテーブルの回転中心をを補正すること
により、第１、第２の基準球を使用せずにロータリテー
ブルを高精度に校正することができる。As described above, according to the method for calibrating the rotary table for a coordinate measuring machine according to the present invention, the rotation center previously obtained based on the third reference sphere and the newly obtained third center are obtained. Of the rotation center of the reference sphere is corrected, and the rotation center of the rotary table is corrected using the difference in coordinates, so that the rotary table is calibrated with high accuracy without using the first and second reference spheres. be able to.
【００２２】従って、固定用治具を除去せずに、ロータ
リテーブルを高精度に校正することができる。Therefore, the rotary table can be calibrated with high accuracy without removing the fixing jig.
【図１】本発明に係る座標測定機用ロータリテーブルの
校正方法に使用されるロータリテーブルを備えた三次元
座標測定機の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a three-dimensional coordinate measuring machine provided with a rotary table used in a method of calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine according to the present invention.
【図２】本発明に係る座標測定機用ロータリテーブルの
校正方法に使用されるロータリテーブルの斜視図FIG. 2 is a perspective view of a rotary table used in the method for calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine according to the present invention.
【図３】従来の座標測定機用ロータリテーブルの校正方
法に使用されるロータリテーブルの斜視図FIG. 3 is a perspective view of a rotary table used in a conventional method of calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine.
【図４】従来の座標測定機用ロータリテーブルの校正方
法に使用されるロータリテーブルの斜視図FIG. 4 is a perspective view of a rotary table used in a conventional method of calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine.
４２…プローブ ５０…ロータリテーブル ５２…第３の基準球 ５４…固定治具 ５６…第１の基準球 ５８…第２の基準球 Ｏ4 …第１の基準球の回転中心（ロータリテーブルの回
転中心） Ｏ5 …第２の基準球の回転中心 Ｏ6 …予め求められた第３の基準球の回転中心 Ｏ7 …第３の基準球の新たな回転中心 Ｖ3 …ロータリテーブルの傾き42 ... probe 50 ... rotary table 52 ... third reference sphere 54 ... fixing jigs 56 ... first reference sphere 58 ... second reference sphere O 4 ... center of rotation of the first reference sphere (the center of rotation of the rotary table ) O 5 ... inclination of the second third rotational center O 7 ... third reference sphere of a new center of rotation V 3 ... rotary table of the reference sphere determined rotational center O 6 ... in advance of the reference sphere
Claims (1)
れると共に測定テーブルにロータリテーブルが設けられ
た座標測定機用ロータリテーブルの校正方法において、 ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転
中心近傍に除去可能に設けられた第１の基準部材の回転
中心を求めるとともに、 ロータリテーブルを回転して、ロータリテーブルの回転
中心近傍に除去可能に設けられた前記第１の基準部材と
高さの異なる第２の基準部材の回転中心を求め、次に 第１、第２の基準部材の回転中心のいずれか一方を
ロータリテーブルの回転中心と設定し、かつ、第１、第
２の基準部材の回転中心を通る直線の傾きをロータリテ
ーブルの傾きと設定し、 周囲の温度環境の変化等で、ロータリテーブルの回転中
心の校正が必要となった時、新たにロータリテーブルを
回転して、ロータリテーブル上に被測定物の固定治具を
回避して設けられた第３の基準部材の回転中心を求め、該 設けられた第３の基準部材の回転中心を、前記ロータ
リテーブルの回転中心の代わりに、新たなロータリテー
ブルの回転中心として設定することを特徴とする座標測
定機用ロータリテーブルの校正方法。1. A method for calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine comprising a probe movable in three axial directions and a rotary table provided on a measurement table, the method comprising: rotating the rotary table so as to be in the vicinity of the center of rotation of the rotary table. obtains the rotation center of the first reference member provided removable Rutotomoni, by rotating the rotary table, the rotary table rotating around the center removably provided with the first reference member and the height A different rotation center of the second reference member is obtained, and then either one of the rotation centers of the first and second reference members is set as the rotation center of the rotary table, and the rotation center of the first and second reference members is set. the slope of the straight line passing through the center of rotation to set the inclination of the rotary table, with changes in the ambient temperature environment, during rotation of the rotary table
When mind calibration is needed, new by rotating the rotary table, it obtains the rotational center of the third reference member provided to avoid the fixture of the object on the rotary table, the provided was the center of rotation of the third reference member, said rotor
A method of calibrating a rotary table for a coordinate measuring machine, wherein a new rotation center of a rotary table is set instead of a rotation center of a resettable.
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