JP2895693B2 - Laser distance measuring device - Google Patents
Laser distance measuring deviceInfo
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Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はＦＡ（ファクトリーオー
トメーション）などに用いられるレーザ測距装置に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser distance measuring apparatus used for factory automation (FA) and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、レーザ測距方法として、周波数を
周期的に変調したレーザ光を測定光と参照光とに分割
し、各々の光を測定対象物と光学的距離が既知であるよ
うに置かれた反射体とに照射して、得られる反射光をコ
ヒーレントヘテロダイン検波して測定対象物までの距離
を測定する方法が知られている。上記のようなレーザ測
距方法においては、測定対象物に照射される測定光と上
記反射体に照射される参照光との光路差によって生じる
周波数差からビート信号が得られ、このビート信号から
測定対象物までの離隔距離を算出することができる。2. Description of the Related Art Conventionally, as a laser ranging method, a laser beam whose frequency is periodically modulated is divided into a measuring beam and a reference beam so that each beam has a known optical distance from an object to be measured. There is known a method of irradiating a placed reflector with a coherent heterodyne detection of the obtained reflected light to measure a distance to an object to be measured. In the laser ranging method as described above, a beat signal is obtained from a frequency difference caused by an optical path difference between the measurement light applied to the measurement target and the reference light applied to the reflector, and the beat signal is measured from the beat signal. The separation distance to the object can be calculated.
【０００３】上記のようなレーザ測距方法に用いられる
レーザ測距装置の基本的構成と原理とを図９に示す。こ
のレーザ測距装置においては、レーザ光の周波数を周期
的に三角波状または鋸波状にＦＭ変調させて出射させる
レーザ９０１が設けられている。このように周波数を変
調させる方法としては、例えば、半導体レーザへの電流
注入量を変化させることにより、生じる発振波長を変化
させる方法などが用いられる。このレーザ９０１から出
射される、周波数が周期的に変調されたレーザ光は、コ
リメータレンズ９０２を通して平行光とされ、ビームス
プリッタ９０３を介して分割される。一方は参照光とし
て光学的距離が既知であるように置かれた反射体９０４
によって反射され、他方は測定光として測定対象物９０
７に照射されて反射または散乱される。各々の光は、再
びビームスプリッター９０３により合成されて光検出器
９０５上に入射されて、コヒーレントヘテロダイン検波
される。この時、光検出器９０５には干渉縞が生じ、測
定光と参照光との光路差による周波数差に応じて干渉縞
は時間変動する。そして、光検出器９０５の出力として
ビート信号が出力される。このビート信号はカウンター
９０６により計測される。FIG. 9 shows the basic configuration and principle of a laser distance measuring apparatus used in the above-described laser distance measuring method. This laser distance measuring apparatus is provided with a laser 901 for periodically FM-modulating the frequency of a laser beam into a triangular or sawtooth wave and emitting the same. As a method of modulating the frequency in this manner, for example, a method of changing a generated oscillation wavelength by changing a current injection amount to a semiconductor laser is used. The laser light whose frequency is periodically modulated, emitted from the laser 901, is converted into parallel light through a collimator lens 902, and is split via a beam splitter 903. One is a reflector 904 placed so that the optical distance is known as reference light.
And the other as the measurement light
7 is reflected or scattered. The respective lights are combined again by the beam splitter 903, incident on the photodetector 905, and subjected to coherent heterodyne detection. At this time, interference fringes occur on the photodetector 905, and the interference fringes change with time according to the frequency difference due to the optical path difference between the measurement light and the reference light. Then, a beat signal is output as an output of the photodetector 905. This beat signal is measured by the counter 906.
【０００４】上記ビート信号の周波数は下記式（１）で
与えられる。The frequency of the beat signal is given by the following equation (1).
【０００５】[0005]
【数１】 (Equation 1)
【０００６】ここで、ｆｂはビート信号周波数、τは測
定光と参照光との時間遅れ、ｆｍは変調周波数、Δν
（ＧＨｚ／ｍＡ）はレーザの周波数変調量、Ｒは参照光
の光路長、Ｌは測定対象物までの離隔距離、ｃは光速で
ある。Here, fb is the beat signal frequency, τ is the time delay between the measurement light and the reference light, fm is the modulation frequency, Δν
(GHz / mA) is the frequency modulation amount of the laser, R is the optical path length of the reference light, L is the separation distance to the object to be measured, and c is the speed of light.
【０００７】また、レーザの周波数掃引の時間間隔Ｔ
（＝１／ｆｍ）中に生じるビート信号の位相変位（積分
値）は下記式（２）で与えられる。Further, the time interval T of the laser frequency sweep
The phase displacement (integral value) of the beat signal occurring during (= 1 / fm) is given by the following equation (2).
【０００８】[0008]
【数２】 (Equation 2)
【０００９】ここで、ビート信号の波数Ｎ＝（φ／２
π）とおくことができるので、下記式（３）が得られ
る。Here, the wave number of the beat signal N = (φ / 2
π), the following equation (3) is obtained.
【００１０】[0010]
【数３】 (Equation 3)
【００１１】よって、ビート信号の波数および波数の位
相変化量を測定することにより、測距情報が得られる。Thus, by measuring the wave number of the beat signal and the amount of phase change of the wave number, distance measurement information can be obtained.
【００１２】上記のレーザ測距方法においては、測定の
ダイナミックレンジが広く、測定精度が高いという利点
がある。The laser ranging method described above has the advantage that the dynamic range of measurement is wide and the measurement accuracy is high.
【００１３】上記のレーザ測距方法において、図９に示
すようなレーザ測距装置を用いた場合には、測距精度を
高めるためにレーザの周波数変調量Δνが一定となるよ
うに高精度に制御する必要がある。しかし、実際には、
レーザの周波数変調量Δνは周囲の温度変化などにより
変化するため、測定誤差の原因となっていた。In the above laser distance measuring method, when a laser distance measuring apparatus as shown in FIG. 9 is used, in order to increase the distance measuring accuracy, the laser frequency modulation amount .DELTA..nu. You need to control. But actually,
Since the frequency modulation amount Δν of the laser changes due to a change in the surrounding temperature or the like, this causes a measurement error.
【００１４】この周波数変調量による測定誤差を防ぐた
めに、特開昭６１−２２３５７７号公報（レーザ光線を
利用した測距方法 小林喬郎）および電子情報通信学会
技術研究報告会（ＯＱＥ８７−１５３， 半導体レーザ
によるＦＭヘテロダイン測長器 小林喬郎他）におい
て、図１０に示すようなレーザ測距装置が提案されてい
る。In order to prevent the measurement error due to the amount of frequency modulation, Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 61-223577 (Takao Kobayashi, a distance measuring method using a laser beam) and the IEICE Technical Report (OQE87-153, Semiconductor) A laser distance measuring device as shown in FIG. 10 has been proposed in an FM heterodyne length measuring device by laser Takao Kobayashi et al.).
【００１５】このレーザ測距装置において、レーザ１０
０１から出射されるレーザ光は、コリメータレンズ１０
０２を通して平行光にされ、ビームスプリッタ１００３
を介して分割される。一方は基準光として安定な基準と
なる光路差を有する基準光学系に入射される。この基準
光学系には、入射光を参照光と測定光とに分割するビー
ムスプリッター１００７が設けられており、各々の光は
光学距離が既知であるように置かれた反射体１００８、
１００９で反射される。そして、各々の光は、再びビー
ムスプリッター１００７で合成され光検出器１０１０上
に入射されて、ビート信号が得られる。ビームスプリッ
ター１００３で分割された他方の光は、測距光学系に入
射される。測距光学系も基準光学系と同様の構成となっ
ている。入射光はビームスプリッター１００４によって
分割され、参照光は光学距離が既知であるように置かれ
た反射体１００５に反射され、測定光は測定対象物１０
０６によって反射または散乱される。そして、各々の光
は再びビームスプリッター１００４によって合成され、
光検出器１０１１上に入射されて、ビート信号が得られ
る。各々の光検出器１０１０、１０１１から得られるビ
ート信号はアンプ１０１２で増幅され、カウンター１０
１３で計測されて、コンピューター１０１４により測定
対象物までの距離が計算される。In this laser distance measuring apparatus, the laser 10
Laser light emitted from the collimator lens 10
No. 02, the light is collimated and the beam splitter 1003
Is divided via One is incident on a reference optical system having an optical path difference serving as a stable reference as reference light. This reference optical system is provided with a beam splitter 1007 for splitting incident light into reference light and measurement light, and each light is a reflector 1008 placed such that the optical distance is known,
It is reflected at 1009. Then, the respective lights are combined again by the beam splitter 1007 and incident on the photodetector 1010 to obtain a beat signal. The other light split by the beam splitter 1003 is incident on a distance measuring optical system. The ranging optical system has the same configuration as the reference optical system. The incident light is split by a beam splitter 1004, the reference light is reflected by a reflector 1005 placed so that the optical distance is known, and the measurement light is reflected by the object 10 to be measured.
06 are reflected or scattered. Then, each light is synthesized again by the beam splitter 1004,
The light is incident on the photodetector 1011 and a beat signal is obtained. Beat signals obtained from the respective photodetectors 1010 and 1011 are amplified by an amplifier 1012,
The distance to the object to be measured is calculated by the computer 1014.
【００１６】上記のようなレーザ測距装置を用いたレー
ザ測距方法においては、測定対象物までの距離Ｌは、下
記式（４）で与えられる。In the laser distance measuring method using the laser distance measuring apparatus as described above, the distance L to the object to be measured is given by the following equation (4).
【００１７】[0017]
【数４】 (Equation 4)
【００１８】ここで、Ｎｓは測距光学系で得られたビー
ト信号の波数、Ｎｒは基準光学系で得られたビート信号
の波数、Ｒｒは基準光学系の参照光の光路長、Ｌｒは基
準光学系の測定光の光路長である。Here, Ns is the wave number of the beat signal obtained by the distance measuring optical system, Nr is the wave number of the beat signal obtained by the reference optical system, Rr is the optical path length of the reference light of the reference optical system, and Lr is the reference. This is the optical path length of the measurement light of the optical system.
【００１９】上記式（４）から理解されるように、上記
のような基準光学系を設けたレーザ測距装置において
は、測定対象物までの距離Ｌの計算値はレーザの周波数
変調量Δνにより影響されることはない。よって、周波
数変調量による誤差が生じない測定精度の高いレーザ測
距装置が得られる。As understood from the above equation (4), in the laser distance measuring apparatus provided with the above-mentioned reference optical system, the calculated value of the distance L to the object to be measured is determined by the frequency modulation amount Δν of the laser. It will not be affected. Therefore, it is possible to obtain a laser distance measuring device with high measurement accuracy in which no error due to the frequency modulation amount occurs.
【００２０】[0020]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のような
レーザ測距装置においては、測距光学系に加えて基準光
学系を設けているために、従来のレーザ測距装置に比べ
て装置の大きさが２倍になってしまい、小型化が困難で
ある。また、ビームスプリッター、反射体などの部品点
数が増えるためにコストアップし、また光学部品におけ
る光学調整の必要も増大して調整が困難になるという問
題点が生じていた。However, in the above-mentioned laser distance measuring apparatus, since a reference optical system is provided in addition to the distance measuring optical system, the laser distance measuring apparatus has a larger size than the conventional laser distance measuring apparatus. The size is doubled, and miniaturization is difficult. In addition, the number of components such as a beam splitter and a reflector is increased, so that the cost is increased. In addition, the necessity of optical adjustment in optical components is also increased, which causes a problem that adjustment becomes difficult.
【００２１】本発明は上記問題点を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、光学部品の削減ができ、
一体化・小型化でき、光学調整が容易で、測定精度の高
いレーザ測距装置を提供することである。The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and its object is to reduce the number of optical components.
An object of the present invention is to provide a laser distance measuring apparatus that can be integrated and miniaturized, can easily perform optical adjustment, and has high measurement accuracy.
【００２２】[0022]
【課題を解決するための手段】本発明のレーザ測距装置
は、周波数を周期的に変調したレーザ光を出射する光源
と、該光源から出射されたレーザ光を基準光学系用測定
光と基準光学系用参照光とに分割し、該基準光学系用測
定光を基準光学系用測定光反射体に向けて出射すると共
に、該基準光学系用参照光を基準光学系用参照光反射体
に向けて出射し、反射して戻ってきた基準光学系用測定
光と基準光学系用参照光とを合成し、かつ、該レーザ光
を測距光学系用測定光と測距光学系用参照光とに分割
し、該測距光学系用測定光を測定対象物に向けて出射す
ると共に、該測距光学系用参照光を測距光学系用参照光
反射体に向けて出射し、反射して戻ってきた測距光学系
用測定光と測距光学系用参照光とを合成する光分割合成
手段と、該光分割合成手段により合成された光を受光
し、受光した光に基づいて該測定対象物までの離隔距離
を検出する検出器とを有し、該基準光学系用測定光反射
体、該基準光学系用参照光反射体および該測距光学系用
参照光反射体は、それぞれが１または複数で構成される
と共に該光分割合成手段からの光学的距離が既知に設け
られており、そのことにより上記目的が達成される。The laser distance measuring apparatus of the present invention According to an aspect of the light source and the reference optical system for measurement light the laser light emitted from the light source and the reference for emitting laser light periodically modulated frequency Into the reference light for the optical system , and
When the constant light is emitted toward the measurement light reflector for the reference optical system,
The reference light for the reference optical system is used as a reference light reflector for the reference optical system.
For the reference optics that exits, reflects, and returns
Combining the light and the reference light for the reference optical system, and
Is divided into measuring light for the ranging optical system and reference light for the ranging optical system
And emits the measuring light for the ranging optical system toward the object to be measured.
And the reference light for the ranging optical system is referred to as a reference light for the ranging optical system.
Distance measuring optical system that is emitted toward the reflector and reflected back
Light splitting / combining means for synthesizing the measuring light for use with the reference light for the distance measuring optical system, and receiving the light combined by the light splitting / combining means, to the object to be measured based on the received light. And a detector for detecting a separation distance of the reference optical system.
Body, reference light reflector for reference optical system and for distance measuring optical system
Each of the reference light reflectors is composed of one or more.
And the optical distance from the light splitting / combining means is known.
It is and, above objects can be achieved.
【００２３】前記基準光学系用測定光反射体が、前記光
分割合成手段に対して光学的距離を各々異ならせ、か
つ、間に光学媒体を介して複数設けられ、各光学媒体が
その熱膨張率を異ならせたものからなっていてもよい。A plurality of measurement light reflectors for the reference optical system are provided with a plurality of optical distances different from each other with respect to the light splitting / combining means, and an optical medium is provided therebetween. It may consist of different rates.
【００２４】また、前記基準光学系用測定光反射体、前
記基準光学系用参照光反射体および前記測距光学系用参
照光反射体の一部または全部が、前記光分割合成手段の
外表面に直接または間に光学媒体を介して貼着されてい
てもよい。また、前記光分割合成手段が三角プリズムで
あり、該三角プリズムの光分割合成を行う面に所望の光
分割を行うための単層膜または多層膜が形成されていて
もよい。 また、前記光分割合成手段の前記基準光学系用
測定光および前記基準光学系用参照光の出射端面と、前
記測距光学系用測定光および前記測距光学系用参照光の
出射端面に光の偏波面を変換する偏光板を設け、前記検
出器と前記光分割合成手段の間に偏光板を設けてもよ
い。 また、前記基準光学系用参照光反射体と前記測距光
学系用参照光反射体とを一体化にして共用する構成とし
てもよい。 Further, the reference optical system for measurement light reflector, before
A reference light reflector for the reference optical system and a reference light for the distance measuring optical system.
Part or all of the illuminating reflector may be attached to the outer surface of the light splitting / combining means directly or via an optical medium. Further, the light splitting / combining means is a triangular prism.
There is a desired light on the surface of the triangular prism where the light
A single-layer film or a multi-layer film for dividing is formed.
Is also good. Further, for the reference optical system of the light splitting / combining means,
The emission end faces of the measurement light and the reference light for the reference optical system, and
Measuring light for the distance measuring optical system and the reference light for the distance measuring optical system
A polarizing plate for converting the plane of polarization of light is provided on the exit end face,
A polarizing plate may be provided between the output device and the light splitting / combining means.
No. Further, the reference light reflector for the reference optical system and the distance measuring light
Integrated with the academic reference light reflector for common use
You may.
【００２５】[0025]
【作用】本発明のレーザ測距装置には、基準光学系用測
定光反射体が基準光学系用測定光の光路上に設けられて
いる。基準光学系が設けられているので、周波数変調量
の変化によって生じる誤差を防ぐことができる。そし
て、基準光学系と測距光学系とにおいて光学部品を共有
し、または、同一光学部品の各部分を使用している。こ
のため、装置の小型化および部品点数の削減が可能とな
る。また、光分割合成手段に各反射体を一体化させるこ
ともでき、光学部品の調整が容易となる。さらに、複数
の基準光学系用測定光反射体を設けて、各々の基準光学
系用測定光反射体から光分割合成手段までの光学的距離
および光学媒体の熱膨張量を異なるものとすることがで
きる。よって、各光学部品の熱膨張量を補正して、さら
に測定精度の高いレーザ測距装置とすることができる。The laser distance measuring apparatus of the present invention, measurement reference optical system
A constant light reflector is provided on the optical path of the measurement light for the reference optical system. Since the reference optical system is provided, an error caused by a change in the amount of frequency modulation can be prevented. The optical components are shared by the reference optical system and the distance measuring optical system, or each part of the same optical component is used. Therefore, it is possible to reduce the size of the device and the number of parts. In addition, each reflector can be integrated with the light dividing / synthesizing means, and the adjustment of the optical components becomes easy. Further, a plurality of reference optical system measurement light reflectors may be provided so that the optical distance from each of the reference optical system measurement light reflectors to the light splitting / combining means and the thermal expansion amount of the optical medium are different. it can. Therefore, the thermal expansion amount of each optical component is corrected, and a laser distance measuring device with higher measurement accuracy can be obtained.
【００２６】[0026]
【実施例】以下に、本発明の実施例について図面を参照
しながら説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【００２７】（実施例１）図１（ａ）に、本発明のレー
ザ測距装置の一実施例を示す。(Embodiment 1) FIG. 1A shows an embodiment of a laser distance measuring apparatus according to the present invention.
【００２８】このレーザ測距装置は、レーザ１０１の注
入電流を三角波状または鋸波状に駆動することにより、
レーザ光の周波数を三角波状または鋸波状に変調させて
いる。このレーザ光をコリメータレンズ１０２を通して
平行光とし、マイケルソン干渉系の光学系に導く。そし
て、このレーザ光はビームスプリッタ１０３により測距
光学系用測定光および参照光と、基準光学系用測定光お
よび参照光とに分割される。This laser distance measuring device drives the injection current of the laser 101 in a triangular or sawtooth waveform,
The frequency of the laser light is modulated in a triangular or sawtooth waveform. This laser light is converted into parallel light through a collimator lens 102 and guided to an optical system of a Michelson interference system. Then, this laser light is split by the beam splitter 103 into measurement light and reference light for a distance measuring optical system, and measurement light and reference light for a reference optical system.
【００２９】測距光学系用測定光（光線４）は、測定対
象物１０８に照射されて反射または散乱され、測距光学
系用参照光（光線１）は、光学的距離が既知であるよう
に置かれた反射体１０４に反射されて、各光は再度ビー
ムスプリッター１０３を通って合成され、光検出器１０
６上に入射される。The measuring light (light beam 4) for the distance measuring optical system is irradiated on the object to be measured 108 and reflected or scattered. The reference light (light beam 1) for the distance measuring optical system has a known optical distance. Each light is reflected by the reflector 104 placed in the photodetector 10 again.
6 is incident.
【００３０】基準光学系用測定光（光線３）は、光学的
距離が既知であるように置かれた反射体１０５に反射さ
れ、基準光学系用参照光（光線２）は、光学的距離が既
知であるように置かれた反射体１０４に反射されて、各
光は再度ビームスプリッター１０３を通って合成され、
光検出器１０６によって受光される。The measurement light for the reference optical system (light beam 3) is reflected by the reflector 105 placed so that the optical distance is known, and the reference light for the reference optical system (light beam 2) has an optical distance. Reflected by a reflector 104 placed as known, each light is again combined through the beam splitter 103,
The light is received by the photodetector 106.
【００３１】光検出器１０６では、光線４と光線１との
光路差から周波数差が生じて図１（ｂ）に示すようなビ
ート信号（ｆ２）が検出され、光線２と光線３との光路
差から周波数差が生じてビート信号（ｆ１）が検出され
る。この２つのビート信号から、上記式（４）を用いて
測定対象物までの離隔距離を算出する。The photodetector 106 detects a beat signal (f2) as shown in FIG. 1 (b) due to a frequency difference from the optical path difference between the light beam 4 and the light beam 1, and detects the light path between the light beam 2 and the light beam 3. A frequency difference is generated from the difference, and a beat signal (f1) is detected. From these two beat signals, the separation distance to the object to be measured is calculated using the above equation (4).
【００３２】この実施例においては、基準光学系と測距
光学系とが設けられているので、周波数変調量の変化に
よって生じる誤差を防ぐことができる。また、基準光学
系用反射体と測距光学系用反射体として反射体１０４を
共有し、光分割合成手段としてビームスプリッター１０
３の各部分を使用しているので、小型化および部品点数
の削減が可能である。In this embodiment, since the reference optical system and the distance measuring optical system are provided, an error caused by a change in the amount of frequency modulation can be prevented. Further, the reflector 104 is shared as a reflector for the reference optical system and a reflector for the distance measuring optical system, and the beam splitter 10 is used as a light splitting / combining means.
Since each part of No. 3 is used, it is possible to reduce the size and the number of parts.
【００３３】（実施例２）図２に、本発明のレーザ測距
装置の他の実施例を示す。(Embodiment 2) FIG. 2 shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００３４】このレーザ測距装置には、ビームスプリッ
ター２０３の端面に測距光学系用参照光（光線１）およ
び基準光学系用参照光（光線２）を反射させる反射体と
なる反射鏡２０４が設けられている。また、ビームスプ
リッター２０３の他の端面には、基準光学系用測定光
（光線３）を反射させる反射鏡２０５を備えた光学媒体
２０６が張り合わせられ、または一体化されている。そ
の他の構成は実施例１と同様なものとすることができ
る。In this laser distance measuring apparatus, a reflecting mirror 204 serving as a reflector for reflecting the reference light for the distance measuring optical system (light 1) and the reference light for the reference optical system (light 2) is provided on the end face of the beam splitter 203. Is provided. An optical medium 206 having a reflecting mirror 205 for reflecting the reference optical system measurement light (light beam 3) is attached to or integrated with the other end surface of the beam splitter 203. Other configurations can be the same as those of the first embodiment.
【００３５】本実施例においては、光分割合成手段であ
るビームスプリッターに各反射体を一体化させているの
で、光学部品の調整が容易である。In this embodiment, since each reflector is integrated with the beam splitter, which is a light splitting / combining means, it is easy to adjust optical components.
【００３６】上記反射体としては、反射鏡２０４、２０
５に限られず、コーナキューブ鏡や三角プリズムなどを
用いてもよい。その場合には、反射鏡に要求される微妙
な角度調整が不要であるため、さらに光学部品の調整が
容易となる。As the reflector, the reflecting mirrors 204 and 20 are used.
The number is not limited to five, and a corner cube mirror, a triangular prism, or the like may be used. In that case, fine adjustment of the angle required for the reflecting mirror is not required, so that the adjustment of the optical components is further facilitated.
【００３７】（実施例３）図３に、本発明のレーザ測距
装置の他の実施例を示す。(Embodiment 3) FIG. 3 shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００３８】このレーザ測距装置においては、ビームス
プリッター３０３の端面に測距光学系用参照光（光線
１）および基準光学系用参照光（光線２）を反射させる
反射体３０４、３０４を備えた光学媒体３０６が張り合
わせられ、または一体化されている。反射体３０４、３
０４は、基準光学系および測距光学系に光路差が生じる
ように、位置を異ならせて設けられている。また、ビー
ムスプリッター３０３の他の端面には、基準光学系用測
定光（光線３）を反射させる反射体３０５が設けられて
いる。その他の構成は実施例１と同様なものとすること
ができる。In this laser distance measuring apparatus, reflectors 304, 304 for reflecting the reference light for the distance measuring optical system (light beam 1) and the reference light for the reference optical system (light beam 2) are provided on the end face of the beam splitter 303. An optical medium 306 is attached or integrated. Reflectors 304, 3
The reference numeral 04 is provided at different positions so that an optical path difference occurs between the reference optical system and the distance measuring optical system. A reflector 305 that reflects the reference optical system measurement light (light beam 3) is provided on the other end surface of the beam splitter 303. Other configurations can be the same as those of the first embodiment.
【００３９】本実施例においては、実施例２と同様に、
光分割合成手段であるビームスプリッターに各反射体を
一体化させているので、光学部品の調整が容易となる。In this embodiment, similar to the second embodiment,
Since each reflector is integrated with the beam splitter, which is a light splitting / synthesizing unit, adjustment of optical components is facilitated.
【００４０】（実施例４）図４に、本発明のレーザ測距
装置の他の実施例を示す。(Embodiment 4) FIG. 4 shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００４１】このレーザ測距装置においては、光分割合
成手段として三角プリズム４０３が設けられている。こ
の三角プリズム４０３には、斜面に入射光を任意の分割
比で分割するような単層膜または多層膜４０７が形成さ
れている。そして、三角プリズム４０３の端面に測距光
学系用参照光（光線１）および基準光学系用参照光（光
線２）を反射させる反射体４０４が設けられている。ま
た、三角プリズム４０３の斜面には、基準光学系用測定
光を反射させる反射体４０５を備えた光学媒体４０６が
張り合わせられ、または一体化されている。その他の構
成は実施例１と同様なものとすることができる。In this laser distance measuring apparatus, a triangular prism 403 is provided as a light splitting / combining means. The triangular prism 403 has a single-layer film or a multi-layer film 407 that divides incident light at an arbitrary division ratio on the slope. A reflector 404 is provided on an end face of the triangular prism 403 to reflect the reference light for the distance measuring optical system (light beam 1) and the reference light for the reference optical system (light beam 2). An optical medium 406 provided with a reflector 405 for reflecting the reference optical system measurement light is bonded to or integrated with the slope of the triangular prism 403. Other configurations can be the same as those of the first embodiment.
【００４２】本実施例においては、光分割合成手段とし
て三角プリズムを用いているので、立方体のビームスプ
リッターを用いた時に生じるような、ビームスプリッタ
ーの平行な２組の端面による内部多重反射が生じない。
よって、多重ビート信号による測定誤差が生じず、さら
に測定精度を高めることができる。In this embodiment, since a triangular prism is used as the light splitting / combining means, internal multiple reflection does not occur due to two parallel end faces of the beam splitter, which occurs when a cubic beam splitter is used. .
Therefore, a measurement error due to the multiplex beat signal does not occur, and the measurement accuracy can be further improved.
【００４３】（実施例５）図５に、本発明のレーザ測距
装置の他の実施例を示す。(Embodiment 5) FIG. 5 shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００４４】このレーザ測距装置においては、光分割合
成手段として偏光ビームスプリッター５０３が設けられ
ている。この偏光ビームスプリッター５０３には、端面
にλ／４偏光板５０４、５０５が設けられている。そし
て、偏光ビームスプリッター５０３によって適切な分割
比で分割されるようにレーザ光の偏光面が調節されて、
偏光ビームスプリッター５０３に入射される。In this laser distance measuring apparatus, a polarizing beam splitter 503 is provided as a light splitting / combining means. The polarization beam splitter 503 is provided with λ / 4 polarizing plates 504 and 505 on the end surface. Then, the polarization plane of the laser beam is adjusted by the polarization beam splitter 503 so as to be split at an appropriate split ratio,
The light enters the polarization beam splitter 503.
【００４５】偏光ビームスプリッター５０３によって反
射された測距光学系用参照光（光線１）および基準光学
系用参照光（光線２）はＰ波に偏光されている。Ｐ波に
偏光された各光はλ／４偏光板５０４を透過して円偏光
となり、反射体５０６によって反射される。反射された
各光はλ／４偏光板５０４を再び透過してＳ波に偏光さ
れ、ビームスプリッター５０３を透過する。The reference light for the distance measuring optical system (light beam 1) and the reference light for the reference optical system (light beam 2) reflected by the polarizing beam splitter 503 are polarized into P waves. Each light polarized to the P-wave passes through the λ / 4 polarizing plate 504 to become circularly polarized light, and is reflected by the reflector 506. Each reflected light passes through the λ / 4 polarizing plate 504 again, is polarized into an S wave, and passes through the beam splitter 503.
【００４６】偏光ビームスプリッター５０３を透過した
測距光学系用測定光（光線４）および基準光学系用測定
光（光線３）はＳ波に偏光されており、λ／４偏光板５
０５を透過して円偏光となる。光線４は測定対象物５１
２によって反射され、光線３は反射体５０７によって反
射される。反射された各光はλ／４偏光板５０５を再び
透過してＰ波に偏光され、ビームスプリッター５０３に
よって反射される。The measuring light for the distance measuring optical system (light beam 4) and the measuring light for the reference optical system (light beam 3) that have passed through the polarizing beam splitter 503 are polarized into S-waves.
05 and becomes circularly polarized light. The light beam 4 is the object 51 to be measured.
2 and light beam 3 is reflected by reflector 507. Each reflected light passes through the λ / 4 polarizing plate 505 again, is polarized into a P wave, and is reflected by the beam splitter 503.
【００４７】各々の光をλ／４偏光板５０９によって円
偏光とし、光検出器５１０によって受光される。光検出
器５１０では、光線４と光線１との光路差から周波数差
が生じてビート信号が検出され、光線２と光線３との光
路差から周波数差が生じてビート信号が検出される。こ
の２つのビート信号から、上記式（４）を用いて測定対
象物までの離隔距離を算出する。Each light is circularly polarized by the λ / 4 polarizing plate 509 and received by the photodetector 510. The photodetector 510 detects a beat signal by generating a frequency difference from the optical path difference between the light beams 4 and 1, and detects a beat signal by generating a frequency difference from the optical path difference between the light beams 2 and 3. From these two beat signals, the separation distance to the object to be measured is calculated using the above equation (4).
【００４８】この実施例においては、光分割合成手段と
して偏光ビームスプリッターを用いているので、無偏光
ビームスプリッターを用いた時のように、測定光の反射
光がビームスプリッターにより９０度反射される時に透
過光として損失されることがない。また、参照光の反射
光がビームスプリッターを透過する時に９０度反射光と
して損失されることがない。このため、レーザ光の強度
の有効利用を図ることができる。In this embodiment, since the polarizing beam splitter is used as the light splitting / combining means, when the reflected light of the measuring light is reflected by the beam splitter at 90 degrees, such as when a non-polarizing beam splitter is used. There is no loss as transmitted light. Further, when the reflected light of the reference light passes through the beam splitter, it is not lost as 90 ° reflected light. For this reason, it is possible to effectively use the intensity of the laser light.
【００４９】（実施例６）図６（ａ）に、本発明のレー
ザ測距装置の他の実施例を示す。(Embodiment 6) FIG. 6A shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００５０】このレーザ測距装置においては、ビームス
プリッター６０３の端面に測距光学系用参照光（光線
１）および基準光学系用参照光（光線２）を反射させる
反射体となる反射鏡６０４が設けられている。また、ビ
ームスプリッター６０３の他の端面には、基準光学系用
測定光（光線３）を反射させる反射鏡６０５を備えた光
学媒体６０６が張り合わせられ、または一体化されてい
る。その他の構成は実施例１と同様なものとすることが
できる。In this laser distance measuring apparatus, a reflecting mirror 604 serving as a reflector for reflecting the reference light for the distance measuring optical system (light beam 1) and the reference light for the reference optical system (light beam 2) is provided on the end face of the beam splitter 603. Is provided. An optical medium 606 provided with a reflecting mirror 605 for reflecting the reference optical system measurement light (light beam 3) is bonded to or integrated with the other end face of the beam splitter 603. Other configurations can be the same as those of the first embodiment.
【００５１】半導体レーザの遠視野像は、通常、楕円の
光強度分布を有しており、Ｎ．Ａ（Numerical Aperture
開口数）の大きいコリメーターレンズを用いて平行光
にすると、図６（ｂ）に示すような光強度分布となる。
通常は、この楕円上の光強度の強い部分をプリズムレン
ズなどによりビーム整形して、一様な光強度の平行光を
得ている。この実施例においては、図６（ｂ）に示す光
強度の弱い部分を基準光学系用に使用できるように、図
６（ｃ）に示すような反射体６０５を設けている。この
ことにより、光の有効利用が図れ、プリズムレンズなど
の部品点数の削減が可能となる。この方法においては基
準光学系用として光強度の弱い部分を用いているので、
光強度が弱いという問題点が考えられる。しかし、この
実施例においては、光学媒体６０６までの光学的距離を
短くし、さらに、反射体６０５として全反射体を用いて
散乱による損失を防いでいる。このため、ビート信号を
得るのに充分な光量を得ることができる。A far-field image of a semiconductor laser usually has an elliptical light intensity distribution. A (Numerical Aperture
When the light is collimated using a collimator lens having a large numerical aperture, a light intensity distribution as shown in FIG. 6B is obtained.
Normally, a beam having a high light intensity on the ellipse is shaped by a prism lens or the like to obtain parallel light having a uniform light intensity. In this embodiment, a reflector 605 as shown in FIG. 6C is provided so that the portion having a low light intensity shown in FIG. 6B can be used for the reference optical system. As a result, light can be effectively used, and the number of components such as a prism lens can be reduced. In this method, since a portion having a low light intensity is used for the reference optical system,
There is a problem that the light intensity is weak. However, in this embodiment, the optical distance to the optical medium 606 is reduced, and furthermore, a total reflector is used as the reflector 605 to prevent loss due to scattering. For this reason, a light quantity sufficient to obtain a beat signal can be obtained.
【００５２】（実施例７）図７（ａ）に、本発明のレー
ザ測距装置の他の実施例を示す。(Embodiment 7) FIG. 7A shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００５３】このレーザ測距装置においては、ビームス
プリッター７０３の端面に測距光学系用参照光（光線
２）および２つの基準光学系用参照光（光線１および光
線３）を反射させる反射体となる反射鏡７０４が設けら
れている。また、ビームスプリッター７０３の他の端面
には、１つの基準光学系用測定光（光線４）を反射させ
る反射鏡７０５ａを備えた光学媒体７０６と、他の基準
光学系用測定光（光線６）を反射させる反射鏡７０５ｂ
を備えた光学媒体７０７とが張り合わせられ、または一
体化されている。光学媒体７０６と７０７とは、それぞ
れ、熱膨張率が異なるものを用いている。また、反射鏡
７０５ａ、７０５ｂまでの光学的距離は異なるようにさ
れている。その他の構成は、実施例１と同様なものとす
ることができる。In this laser distance measuring device, a reflector for reflecting the reference light for the distance measuring optical system (light 2) and the two reference lights for the reference optical system (light 1 and light 3) is provided on the end face of the beam splitter 703. Is provided. On the other end face of the beam splitter 703, an optical medium 706 having a reflecting mirror 705a for reflecting one reference optical system measurement light (light beam 4) and another reference optical system measurement light (light beam 6) Mirror 705b that reflects light
And an optical medium 707 provided with Optical media 706 and 707 having different coefficients of thermal expansion are used. Further, the optical distances to the reflecting mirrors 705a and 705b are different. Other configurations can be the same as those in the first embodiment.
【００５４】光検出器７０８では、光線５と光線２との
光路差から周波数差が生じて図７（ｂ）に示すようなビ
ート信号（ｆ３）が検出され、光線３と光線４との光路
差から周波数差が生じてビート信号（ｆ１）が検出さ
れ、光線１と光線６との周波数差からビート信号（ｆ
２）が検出される。この２つのビート信号の周波数の比
ｆ１／ｆ２は、２つの基準光学系の光学的距離によって
決まり、レーザの周波数変調量Δνには影響されない。The photodetector 708 detects a beat signal (f3) as shown in FIG. 7B due to a frequency difference from the optical path difference between the light beam 5 and the light beam 2, and detects the optical signal between the light beam 3 and the light beam 4. A beat signal (f1) is detected due to the frequency difference from the difference, and the beat signal (f1) is detected from the frequency difference between the light beam 1 and the light beam 6.
2) is detected. The frequency ratio f1 / f2 of the two beat signals is determined by the optical distance between the two reference optical systems, and is not affected by the frequency modulation amount Δν of the laser.
【００５５】この実施例においては、光学媒体７０６、
７０７として熱膨張率の異なるものを用いている。よっ
て、レーザ測距装置の環境温度が変化して光学部品が熱
膨張した場合に、ビート信号周波数比ｆ１／ｆ２は、図
６（ｃ）に示すように変化する。このビート信号周波数
比ｆ１／ｆ２から各光学媒体７０６、７０７の熱膨張量
を算出して、熱膨張量を補正することができる。このた
め、レーザ測距装置の環境温度に影響されることがな
く、さらに測定精度の高いレーザ測距装置とすることが
できる。In this embodiment, the optical medium 706,
707 having different coefficients of thermal expansion is used. Therefore, when the ambient temperature of the laser range finder changes and the optical component thermally expands, the beat signal frequency ratio f1 / f2 changes as shown in FIG. 6C. The thermal expansion amount of each of the optical media 706 and 707 can be calculated from the beat signal frequency ratio f1 / f2, and the thermal expansion amount can be corrected. For this reason, it is possible to provide a laser distance measuring apparatus that is not affected by the ambient temperature of the laser distance measuring apparatus and has higher measurement accuracy.
【００５６】（実施例８）図８に、本発明のレーザ測距
装置の他の実施例を示す。(Embodiment 8) FIG. 8 shows another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【００５７】このレーザ測距装置においては、測距光学
系用測定光（光線４）および参照光（光線１）をコヒー
レントヘテロダイン検波する光検出器８０８およびカウ
ンター８１１と、基準光学系用測定光（光線３）および
参照光（光線２）をコヒーレントヘテロダイン検波する
光検出器８０９およびカウンター８１２とが別に設けら
れている。その他の構成は実施例４と同様なものとする
ことができる。In this laser distance measuring apparatus, a photodetector 808 and a counter 811 for coherent heterodyne detection of the measuring light for the distance measuring optical system (light beam 4) and the reference light (light beam 1), and the measuring light for the reference optical system (light beam 4). A light detector 809 and a counter 812 for coherent heterodyne detection of the light beam 3) and the reference light beam (light beam 2) are provided separately. Other configurations can be the same as those of the fourth embodiment.
【００５８】この実施例においては、２つの光検出器で
各々のビート信号を検出し、２つのカウンターで各々の
ビート信号の周波数を検出することができるので、高価
な周波数測定器を用いる必要がなく、装置の低価格化を
図ることができる。In this embodiment, since two beat detectors can detect each beat signal and two counters can detect the frequency of each beat signal, it is necessary to use an expensive frequency measuring device. Therefore, the cost of the apparatus can be reduced.
【００５９】[0059]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のレーザ測距装置においては、基準光学系が設けられて
いるので、レーザ測距装置の環境温度の変化などによる
周波数変調量Δνの変化量による誤差を防ぐことができ
る。基準光学系と測距光学系とにおいて反射体や光分割
合成手段などの光学部品を共有し、同一光学部品の各部
分を使用することにより、小型化および部品点数の削減
が可能となり、光学部品の調整も容易となる。また、従
来のレーザ測距装置では、基準光学系および測距光学系
に光を分割しているために光分割合成手段による光の損
失が大きかったが、その損失を防ぐこともできる。本発
明のレーザ測距装置においては、測距光学系用測定光と
基準光学系用測定光との比を任意のビーム面積で調整す
ることができるので、基準光学系に比べて測距光学系の
測定光出力を大きくして、測定可能な距離および測定精
度を向上させることができる。さらに、複数の基準光学
系を設け、各々の基準光学系における光学的距離および
光学媒体の熱膨張量を異なるものとすることにより、各
光学部品の熱膨張量を補正することができ、さらに測定
精度の高いレーザ測距装置が得ることができる。As is apparent from the above description, since the laser distance measuring apparatus of the present invention is provided with the reference optical system, the frequency modulation amount Δν due to a change in the ambient temperature of the laser distance measuring apparatus or the like is obtained. An error due to the amount of change can be prevented. The optical components such as the reflector and the light splitting / combining means are shared between the reference optical system and the distance measuring optical system, and the use of the same optical components makes it possible to reduce the size and the number of components. Adjustment becomes easy. Further, in the conventional laser distance measuring apparatus, since light is divided into the reference optical system and the distance measuring optical system, the loss of light by the light dividing / combining means is large. However, the loss can be prevented. In the laser distance measuring apparatus of the present invention, the ratio between the measuring light for the distance measuring optical system and the measuring light for the reference optical system can be adjusted with an arbitrary beam area. Can be increased to improve the measurable distance and the measurement accuracy. Furthermore, by providing a plurality of reference optical systems and making the optical distance and the amount of thermal expansion of the optical medium different in each reference optical system, the amount of thermal expansion of each optical component can be corrected, and the measurement can be further performed. A highly accurate laser distance measuring device can be obtained.
【図１】本発明のレーザ測距装置の一実施例を示す図で
ある。FIG. 1 is a diagram showing an embodiment of a laser distance measuring apparatus according to the present invention.
【図２】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 2 is a diagram showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図３】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 3 is a diagram showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図４】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図５】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 5 is a view showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図６】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 6 is a diagram showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図７】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 7 is a diagram showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図８】本発明のレーザ測距装置の他の実施例を示す図
である。FIG. 8 is a view showing another embodiment of the laser distance measuring apparatus of the present invention.
【図９】レーザ測距装置の基本構成を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a basic configuration of a laser distance measuring device.
【図１０】従来のレーザ測距装置を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a conventional laser distance measuring device.
１０１、２０１、３０１、４０１、５０１、６０１、７
０１、８０１ レーザ １０２、２０２、３０２、４０２、５０２、６０２、７
０２、８０２ コリメーターレンズ １０３、２０３、３０３、４０３、５０３、６０３、７
０３、８０３ 光学分割合成手段 １０４、１０５、２０４、２０５、３０４、３０５、４
０４、４０５、５０６、５０７、６０４、６０５、７０
４、７０５、８０４、８０５ 反射体 １０６、２０７、３０７、４０８、５１０、６０７、７
０８、８０８、８０９光検出器 １０７、２０８、３０８、４０９、５１１、６０８、７
０９、８１１、８１２カウンター １０８、２０９、３０９、４１０、５１２、６０９、７
１０、８１０ 測定対象物 ２０６、３０６、４０６、５０８、６０６、７０６、７
０７、８０６ 光学媒体 ４０７、８０７ 多層膜（単層膜） ５０４、５０５、５０９ λ／４偏光板101, 201, 301, 401, 501, 601, 7
01,801 laser 102,202,302,402,502,602,7
02, 802 Collimator lens 103, 203, 303, 403, 503, 603, 7
03, 803 Optical division and synthesis means 104, 105, 204, 205, 304, 305, 4
04, 405, 506, 507, 604, 605, 70
4, 705, 804, 805 Reflectors 106, 207, 307, 408, 510, 607, 7
08, 808, 809 Photodetectors 107, 208, 308, 409, 511, 608, 7
09, 811, 812 Counter 108, 209, 309, 410, 512, 609, 7
10,810 Measurement object 206, 306, 406, 508, 606, 706, 7
07, 806 Optical media 407, 807 Multilayer film (single-layer film) 504, 505, 509 λ / 4 polarizing plate
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 瀧口 治久 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シャープ株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G01S 7/48 - 7/51 G01S 17/00 - 17/95 G01B 9/02 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuation of front page (72) Inventor Haruhisa Takiguchi 22-22 Nagaikecho, Abeno-ku, Osaka-shi, Osaka Inside Sharp Corporation (58) Field surveyed (Int.Cl. 6 , DB name) G01S 7/48- 7/51 G01S 17/00-17/95 G01B 9/02
Claims (6)
射する光源と、 該光源から出射されたレーザ光を基準光学系用測定光と
基準光学系用参照光とに分割し、該基準光学系用測定光
を基準光学系用測定光反射体に向けて出射すると共に、
該基準光学系用参照光を基準光学系用参照光反射体に向
けて出射し、反射して戻ってきた基準光学系用測定光と
基準光学系用参照光とを合成し、 かつ、該レーザ光を測距光学系用測定光と測距光学系用
参照光とに分割し、該測距光学系用測定光を測定対象物
に向けて出射すると共に、該測距光学系用参照光を測距
光学系用参照光反射体に向けて出射し、反射して戻って
きた測距光学系用測定光と測距光学系用参照光とを合成
する 光分割合成手段と、 該光分割合成手段により合成された光を受光し、受光し
た光に基づいて該測定対象物までの離隔距離を検出する
検出器とを有し、 該基準光学系用測定光反射体、該基準光学系用参照光反
射体および該測距光学系用参照光反射体は、それぞれが
１または複数で構成されると共に該光分割合成手段から
の光学的距離が既知に設けられている レーザ測距装置。1. A light source for emitting a laser light periodically modulated frequency, and the reference optical system for measurement light the laser light emitted from the light source
Divided into reference light for reference optical system, and measured light for reference optical system
Out toward the reference optical system measurement light reflector,
The reference light for the reference optical system is directed to the reference light reflector for the reference optical system.
With the measuring light for the reference optical system
The reference light for the reference optical system is synthesized, and the laser light is used for the measurement light for the distance measuring optical system and for the distance measuring optical system.
The measurement light for the distance measuring optical system is divided into a reference light and the measurement light.
And distance measuring the reference light for the distance measuring optical system.
Emitted toward the optical system reference light reflector, reflected and returned
Combines the measuring beam for the ranging optical system and the reference beam for the ranging optical system
To the light splitting combining unit receives the light synthesized by the light dividing and synthesizing means, on the basis of the received light have a detector for detecting the distance to the measurement object, for the reference optical system Measurement light reflector, reference light beam for the reference optical system
The projectile and the reference light reflector for the ranging optical system are respectively
One or a plurality of light splitting / combining means.
A laser distance measuring device provided with a known optical distance .
分割合成手段に対して光学的距離を各々異ならせ、か
つ、間に光学媒体を介して複数設けられ、各光学媒体が
その熱膨張率を異ならせたものからなる請求項１記載の
レーザ測距装置。2. A plurality of measurement light reflectors for the reference optical system are provided with a plurality of optical distances different from each other with respect to the light dividing / synthesizing means, and an optical medium is provided therebetween. 2. The laser distance measuring device according to claim 1, wherein the laser distance measuring device has different expansion coefficients.
準光学系用参照光反射体および前記測距光学系用参照光
反射体の一部または全部が、前記光分割合成手段の外表
面に直接または間に光学媒体を介して貼着されている請
求項１記載のレーザ測距装置。Wherein said reference optical system for measurement light reflector, the group
Reference light reflector for quasi-optical system and reference light for the ranging optical system
2. The laser distance measuring apparatus according to claim 1, wherein a part or all of the reflector is adhered to an outer surface of the light splitting / combining means directly or via an optical medium.
り、該三角プリズムの光分割合成を行う面に所望の光分
割を行うための単層膜または多層膜が形成されているこ
とを特徴とする請求項１記載のレーザ測距装置。4. The light splitting / combining means is a triangular prism, and a single-layer film or a multilayer film for performing desired light splitting is formed on a surface of the triangular prism on which light splitting / combining is performed. The laser distance measuring device according to claim 1.
測定光および前記基準光学系用参照光の出射端面と、前
記測距光学系用測定光および前記測距光学系用参照光の
出射端面に光の偏波面を変換する偏光板が設けられ、前
記検出器と前記光分割合成手段の間に偏光板を設けてい
ることを特徴とする請求項１記載のレーザ測距装置。Wherein said reference optical system for measurement light and the outgoing end surface of the reference optical system for reference light of the light splitting combining unit, before
Serial polarizing plate for converting the polarization plane of the light is provided on the emitting end surface of the distance-measuring optical system for measurement light and the distance measuring optical system for reference light, a polarizing plate is provided between said light splitting combining unit and the detector 2. The laser distance measuring apparatus according to claim 1, wherein:
距光学系用参照光反射体とを一体化にして共用する構成Integrating and sharing the reference light reflector for the distance optical system
とした請求項１〜請求項５のいずれかに記載のレーザ測The laser measurement according to any one of claims 1 to 5,
距装置。Distance device.
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