JP2803388B2 - 部品検査装置 - Google Patents
部品検査装置Info
- Publication number
- JP2803388B2 JP2803388B2 JP3096750A JP9675091A JP2803388B2 JP 2803388 B2 JP2803388 B2 JP 2803388B2 JP 3096750 A JP3096750 A JP 3096750A JP 9675091 A JP9675091 A JP 9675091A JP 2803388 B2 JP2803388 B2 JP 2803388B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- inspection
- value
- variance value
- variance
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、部品検査装置に関
し、例えば透明なモールドが施されたＩＣの表面の傷，
ボイド，異物混入の検査など、透明状の部品の表面及び
内部欠陥検査を行うものに関する。
し、例えば透明なモールドが施されたＩＣの表面の傷，
ボイド，異物混入の検査など、透明状の部品の表面及び
内部欠陥検査を行うものに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、透明状の部品を対象とし、その表
面以外に内部の検査も同時に行なえる部品検査装置はな
かった。検査方式からみた類似例は、例えば電子通信学
会論文誌，１９８５年，７月，第Ｊ６８−Ｄ巻，第７
号，「画像分割型頻度分布に基づくプラスチック部品表
面の欠陥検出手法」がある。そこに述べられた方法は、
プラスチック部品の表面の濃淡画像をカメラで撮像し、
その濃淡値の（最大値−最小値），及び（最頻値−最小
値）を計算し、それらのうちどちらかが設定されたしき
い値を越えれば不良とするものである。
面以外に内部の検査も同時に行なえる部品検査装置はな
かった。検査方式からみた類似例は、例えば電子通信学
会論文誌，１９８５年，７月，第Ｊ６８−Ｄ巻，第７
号，「画像分割型頻度分布に基づくプラスチック部品表
面の欠陥検出手法」がある。そこに述べられた方法は、
プラスチック部品の表面の濃淡画像をカメラで撮像し、
その濃淡値の（最大値−最小値），及び（最頻値−最小
値）を計算し、それらのうちどちらかが設定されたしき
い値を越えれば不良とするものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
検査方法では、ピントのぼけた傷やボイドなど、透明状
部品の内部欠陥によく見られる特徴、即ち濃淡値自体は
最頻値から大きくはずれるものではないが濃淡値が緩や
かに変化していることにより欠陥と判定されるものにつ
いてはうまく検査できないという不具合があった。
検査方法では、ピントのぼけた傷やボイドなど、透明状
部品の内部欠陥によく見られる特徴、即ち濃淡値自体は
最頻値から大きくはずれるものではないが濃淡値が緩や
かに変化していることにより欠陥と判定されるものにつ
いてはうまく検査できないという不具合があった。
【０００４】また、上記の検査方法では画像を複数の領
域に分割してそれぞれに濃淡値の最大値，最小値，最頻
値を計算しており、これは画像を重なりの無い領域に分
割して上述の特徴量を考えることによって、シェーディ
ングなどの照明むらに対処するためである。ところが、
この小領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合に
は、小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくな
ってしまうのでうまく検査できないという不具合があっ
た。
域に分割してそれぞれに濃淡値の最大値，最小値，最頻
値を計算しており、これは画像を重なりの無い領域に分
割して上述の特徴量を考えることによって、シェーディ
ングなどの照明むらに対処するためである。ところが、
この小領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合に
は、小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくな
ってしまうのでうまく検査できないという不具合があっ
た。
【０００５】この発明は、以上のような問題点を解消す
るためになされたものであり、ある小領域の全体にわた
って欠陥が生じたとしても、この欠陥を検出できる部品
検査装置を得ることを目的とする。更には、透明状部品
の表面，及び内部の欠陥を同時に検査できる部品検査装
置を提供することを目的とする。
るためになされたものであり、ある小領域の全体にわた
って欠陥が生じたとしても、この欠陥を検出できる部品
検査装置を得ることを目的とする。更には、透明状部品
の表面，及び内部の欠陥を同時に検査できる部品検査装
置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る部品検査
装置は、被検査物を照明する照明装置と、被検査物の濃
淡画像を撮像するテレビカメラと、このテレビカメラに
よって撮像された濃淡画像を記憶する画像メモリと、画
像メモリに記憶されている濃淡画像から検査対象部分の
濃淡値の分散値を計算する計測部と、分散値から検査結
果を出力する判定部とを備えた部品検査装置において、
計測部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領
域に分割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
るものとし、判定部は小領域の分散値および大きな領域
の分散値を用いて検査結果を出力するように構成したこ
とを特徴とするものである。
装置は、被検査物を照明する照明装置と、被検査物の濃
淡画像を撮像するテレビカメラと、このテレビカメラに
よって撮像された濃淡画像を記憶する画像メモリと、画
像メモリに記憶されている濃淡画像から検査対象部分の
濃淡値の分散値を計算する計測部と、分散値から検査結
果を出力する判定部とを備えた部品検査装置において、
計測部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領
域に分割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
るものとし、判定部は小領域の分散値および大きな領域
の分散値を用いて検査結果を出力するように構成したこ
とを特徴とするものである。
【０００７】この発明に係る部品検査装置は、検査対象
部分を透明状の部品の表面およびその内部としたことを
特徴とするものである。
部分を透明状の部品の表面およびその内部としたことを
特徴とするものである。
【０００８】
【作用】この発明に係る部品検査装置において、計測部
は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領域に分
割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、小領域
を併合した大きな領域についても分散値を計算するもの
とし、判定部は小領域の分散値および大きな領域の分散
値を用いて検査結果を出力するように構成したので、計
測部は不透明な異物などの画像に陰影を与える欠陥が、
ある小領域の全体にわたって生じたとしても、この小領
域を併合した大きな領域の分散値が変化するため、判定
部は異物の大きさに関わらず敏感に反応する。
は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領域に分
割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、小領域
を併合した大きな領域についても分散値を計算するもの
とし、判定部は小領域の分散値および大きな領域の分散
値を用いて検査結果を出力するように構成したので、計
測部は不透明な異物などの画像に陰影を与える欠陥が、
ある小領域の全体にわたって生じたとしても、この小領
域を併合した大きな領域の分散値が変化するため、判定
部は異物の大きさに関わらず敏感に反応する。
【０００９】この発明に係る部品検査装置は、検査対象
部分を透明状の部品の表面およびその内部としたので、
判定部は、ピントのぼけた傷、またはボイドなど画像に
薄い陰影を残す画像に対しても、敏感に反応する。
部分を透明状の部品の表面およびその内部としたので、
判定部は、ピントのぼけた傷、またはボイドなど画像に
薄い陰影を残す画像に対しても、敏感に反応する。
【００１０】
【実施例】実施例１． 以下、この発明の一実施例を図について説明する。図１
はこの発明の一実施例による部品検査装置を示す構成図
である。図において、２３は検査対象である透明状の部
品、２４は透明状の被検査物２３を照明する照明装置、
２５は被検査物２３の濃淡画像を撮像するテレビカメ
ラ、２６はテレビカメラ２５で撮像した濃淡画像を記憶
する画像メモリ、２７は画像メモリ２６に記憶された濃
淡画像から検査対象部分の濃淡値の分散値の計算を行う
計測部、２９は分散値のデータ２８から検査結果として
透明状部品の良否を出力する判定部、３０は判定結果で
ある。照明装置２４は図１では落射照明として示されて
いるが、これに限らず同軸照明や透過照明でもよい。
はこの発明の一実施例による部品検査装置を示す構成図
である。図において、２３は検査対象である透明状の部
品、２４は透明状の被検査物２３を照明する照明装置、
２５は被検査物２３の濃淡画像を撮像するテレビカメ
ラ、２６はテレビカメラ２５で撮像した濃淡画像を記憶
する画像メモリ、２７は画像メモリ２６に記憶された濃
淡画像から検査対象部分の濃淡値の分散値の計算を行う
計測部、２９は分散値のデータ２８から検査結果として
透明状部品の良否を出力する判定部、３０は判定結果で
ある。照明装置２４は図１では落射照明として示されて
いるが、これに限らず同軸照明や透過照明でもよい。
【００１１】照明装置２４で透明状部品２３の検査対象
部分に光を照射し、テレビカメラ２５により濃淡画像を
撮像する。その濃淡画像を画像メモリ２６に記憶する。
計測部２７はこの画像メモリ２６に記憶されている濃淡
画像から検査対象部分の濃淡値の分散値データ２８を計
算する。判定部２９は分散値データ２８から検査結果と
して良否を判定し、判定結果３０を出力する。
部分に光を照射し、テレビカメラ２５により濃淡画像を
撮像する。その濃淡画像を画像メモリ２６に記憶する。
計測部２７はこの画像メモリ２６に記憶されている濃淡
画像から検査対象部分の濃淡値の分散値データ２８を計
算する。判定部２９は分散値データ２８から検査結果と
して良否を判定し、判定結果３０を出力する。
【００１２】計測部２７で計算される濃淡画像の分散値
を下に示す式に基いて計算する。
を下に示す式に基いて計算する。
【００１３】
【数１】
【００１４】この分散値は、不透明な異物などの画像に
濃い陰影を与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだ
けでなく、ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰
影をのこす欠陥に対しても敏感に反応する。これは分散
値が欠陥部と全体の平均の濃淡値の差の２乗和に比例す
る値であること、即ち欠陥部の濃淡値が正常部の濃淡値
に比べてどれだけ異なるかを示す物理量の近似となって
いることによる。従ってこの分散値を検査対象部分につ
いて計算し、その値が大きければ不良とするように判定
に用いれば従来困難であった薄い陰影を与える欠陥の検
査を容易に行うことができる。
濃い陰影を与える欠陥に対して非常に大きな値を示すだ
けでなく、ピントのぼけた傷やボイドなど画像に薄い陰
影をのこす欠陥に対しても敏感に反応する。これは分散
値が欠陥部と全体の平均の濃淡値の差の２乗和に比例す
る値であること、即ち欠陥部の濃淡値が正常部の濃淡値
に比べてどれだけ異なるかを示す物理量の近似となって
いることによる。従ってこの分散値を検査対象部分につ
いて計算し、その値が大きければ不良とするように判定
に用いれば従来困難であった薄い陰影を与える欠陥の検
査を容易に行うことができる。
【００１５】また、この分散値を用いる方法は、従来の
ように単に濃淡値の最大値や最小値を用いる方法に比べ
て、ノイズなどに対する安定性が高く検査の信頼性を高
めることができる。
ように単に濃淡値の最大値や最小値を用いる方法に比べ
て、ノイズなどに対する安定性が高く検査の信頼性を高
めることができる。
【００１６】また、検査対象部分を重なりのない小領域
にわけて分散値を計算することによって小さな欠陥に対
する分散値の感度を上げることができる。しかしある小
領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には、この
小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなって
しまうので分散値は小さくなり所期の目的を果たさな
い。そこでこの事態に対処するために、これらの小領域
以外に小領域をいくつか併合して正常部を含むような大
きな領域においても分散値を計算する。この領域は正常
部を含んでいるので、もはや分散値は小さくならず欠陥
を分散値にうまく反映させることができる。
にわけて分散値を計算することによって小さな欠陥に対
する分散値の感度を上げることができる。しかしある小
領域の全体にわたる大きな欠陥が生じた場合には、この
小領域内全体の濃淡値は欠陥のそれとほぼ等しくなって
しまうので分散値は小さくなり所期の目的を果たさな
い。そこでこの事態に対処するために、これらの小領域
以外に小領域をいくつか併合して正常部を含むような大
きな領域においても分散値を計算する。この領域は正常
部を含んでいるので、もはや分散値は小さくならず欠陥
を分散値にうまく反映させることができる。
【００１７】上記の分散値の計算について図に基ずいて
説明する。図２はある小領域６の全体にわたる大きな異
物２２が生じている例である。この場合、小領域６は全
面が覆われているためにかえって分散値が低くなり、欠
陥なしという誤判定をまねく可能性がある。そこで、例
えば図３に示すような領域１７、１８、１９、２０、２
１を新たに考え，それらについて分散値を計算すること
にする。領域１７は小領域１、２、５、６を併合したも
のであるが，小領域６と異なり正常部を含む割合が高い
ので分散値が大きくなるので、欠陥なしという誤判定を
防ぐことができる。
説明する。図２はある小領域６の全体にわたる大きな異
物２２が生じている例である。この場合、小領域６は全
面が覆われているためにかえって分散値が低くなり、欠
陥なしという誤判定をまねく可能性がある。そこで、例
えば図３に示すような領域１７、１８、１９、２０、２
１を新たに考え，それらについて分散値を計算すること
にする。領域１７は小領域１、２、５、６を併合したも
のであるが，小領域６と異なり正常部を含む割合が高い
ので分散値が大きくなるので、欠陥なしという誤判定を
防ぐことができる。
【００１８】このように、計測部２７において分散値を
計算する際、検査対象部分の画像を重なりの無い小領域
に分けて小領域の各々で分散値を計算すると共に、その
小領域を併合したさらに大きな領域についても分散値を
計算し、判定部２９に送るデータ２８とすることによっ
て、検査の信頼性をより高めることができる。
計算する際、検査対象部分の画像を重なりの無い小領域
に分けて小領域の各々で分散値を計算すると共に、その
小領域を併合したさらに大きな領域についても分散値を
計算し、判定部２９に送るデータ２８とすることによっ
て、検査の信頼性をより高めることができる。
【００１９】また、判定部２９は分散値の大きいものが
あれば不良品と判定するように構成する。例えば、各々
の分散値データ２８に対して所定のしきい値を用意し、
これを１つでも越えれば不良であると判定するように構
成する。これを図４を用いて説明する。図において、３
１は分散値データ２８の入力に対して所定のしきい値を
こえるならば１，そうでなければ０を出力する比較装
置、３２は入力の論理和を出力する装置である。この構
成の場合、判定結果３０が０の場合良品であり、１の場
合不良品となる。
あれば不良品と判定するように構成する。例えば、各々
の分散値データ２８に対して所定のしきい値を用意し、
これを１つでも越えれば不良であると判定するように構
成する。これを図４を用いて説明する。図において、３
１は分散値データ２８の入力に対して所定のしきい値を
こえるならば１，そうでなければ０を出力する比較装
置、３２は入力の論理和を出力する装置である。この構
成の場合、判定結果３０が０の場合良品であり、１の場
合不良品となる。
【００２０】
【発明の効果】この発明に係る部品検査装置によれば、
計測部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領
域に分割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
るものとし、判定部は小領域の分散値および大きな領域
の分散値から検査結果を出力するように構成したので、
計測部は不透明な異物などの画像に陰影を与える欠陥
が、ある小領域の全体にわたってが生じた場合でも、こ
の小領域を併合した大きな領域の分散値が変化するの
で、判定部は異物の大きさに関わらず敏感に反応し、正
確な検査結果を出力できるようになり、装置の信頼性が
向上する。
計測部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い小領
域に分割してその小領域の各々で分散値を計算しかつ、
小領域を併合した大きな領域についても分散値を計算す
るものとし、判定部は小領域の分散値および大きな領域
の分散値から検査結果を出力するように構成したので、
計測部は不透明な異物などの画像に陰影を与える欠陥
が、ある小領域の全体にわたってが生じた場合でも、こ
の小領域を併合した大きな領域の分散値が変化するの
で、判定部は異物の大きさに関わらず敏感に反応し、正
確な検査結果を出力できるようになり、装置の信頼性が
向上する。
【００２１】この発明に係る部品検査装置によれば、検
査対象部分を透明状の部品の表面およびその内部とした
ので、判定部は、ピントのぼけた傷、またはボイドなど
画像に薄い陰影を残す画像に対しても、敏感に反応する
ため、透明状部品の表面およびその内部に対する欠陥を
同時に検査できる。
査対象部分を透明状の部品の表面およびその内部とした
ので、判定部は、ピントのぼけた傷、またはボイドなど
画像に薄い陰影を残す画像に対しても、敏感に反応する
ため、透明状部品の表面およびその内部に対する欠陥を
同時に検査できる。
【図１】 この発明の一実施例による部品検査装置を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】この発明の一実施例に係り、計測部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図３】この発明の一実施例に係り、計測部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図４】この発明の一実施例に係り、判定部の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
２２ 異物 ２３ 透明状部品 ２４ 照明装置 ２５ テレビカメラ ２６ 画像メモリ ２７ 計測部 ２８ 分散値データ ２９ 判定部 ３０ 判定結果
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/66 G01B 11/30 102 G01R 31/26
Claims (2)
- 【請求項１】 被検査物を照明する照明装置と、 上記被検査物の濃淡画像を撮像するテレビカメラと、 このテレビカメラによって撮像された濃淡画像を記憶す
る画像メモリと、 上記画像メモリに記憶されている濃淡画像から検査対象
部分の濃淡値の分散値を計算する計測部と、 上記分散値から検査結果を出力する判定部とを備えた部
品検査装置において、 上記計測部は、検査対象部分の濃淡画像を重なりの無い
小領域に分割してその小領域の各々で分散値を計算しか
つ、上記小領域を併合した大きな領域についても分散値
を計算するものとし、 上記判定部は上記小領域の分散値および上記大きな領域
の分散値を用いて検査結果を出力するように構成したこ
とを特徴とする部品検査装置。 - 【請求項２】 検査対象部分を透明状の部品の表面およ
びその内部としたことを特徴とする請求項１に記載の部
品検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096750A JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3096750A JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326743A JPH04326743A (ja) | 1992-11-16 |
| JP2803388B2 true JP2803388B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=14173351
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3096750A Expired - Lifetime JP2803388B2 (ja) | 1991-04-26 | 1991-04-26 | 部品検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2803388B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR3045156B1 (fr) * | 2015-12-11 | 2017-12-22 | Soitec Silicon On Insulator | Procede de detection de defauts et dispositif associe |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60124783A (ja) * | 1983-12-10 | 1985-07-03 | Meidensha Electric Mfg Co Ltd | 画像処理装置 |
| JPH07104934B2 (ja) * | 1984-11-20 | 1995-11-13 | 株式会社明電舍 | 画像処理装置 |
| JPH01284743A (ja) * | 1988-05-10 | 1989-11-16 | Toshiba Corp | 半導体装置の樹脂モールドの外観検査方法とその検査装置 |
-
1991
- 1991-04-26 JP JP3096750A patent/JP2803388B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04326743A (ja) | 1992-11-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8472697B2 (en) | Method and apparatus for visual inspection | |
| KR20080073281A (ko) | 화상 결함 검사 장치, 화상 결함 검사 시스템 및 화상 결함검사 방법 | |
| US20080260236A9 (en) | Image defect inspection method, image defect inspection apparatus, and appearance inspection apparatus | |
| US20060222232A1 (en) | Appearance inspection apparatus and appearance inspection method | |
| JP3324699B2 (ja) | 繊維の径分布測定方法および装置 | |
| JP2006155579A (ja) | 画像処理方法および画像処理装置 | |
| US20190355110A1 (en) | Cross talk reduction | |
| JP2803388B2 (ja) | 部品検査装置 | |
| JP3788586B2 (ja) | パターン検査装置および方法 | |
| JP3332096B2 (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
| KR20070101669A (ko) | 마운팅 플레이트 어셈블리의 비전 검사장치 및 검사방법 | |
| JP2007081513A (ja) | 固体撮像素子のシミ欠陥検査方法 | |
| JP4956077B2 (ja) | 欠陥検査装置及び欠陥検査方法 | |
| KR100484812B1 (ko) | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 | |
| JPH0431974A (ja) | 矩形部材の不良検査装置 | |
| JPH05130512A (ja) | 固体撮像素子の画素欠陥測定装置 | |
| JP2756738B2 (ja) | 半導体装置の外観検査装置 | |
| JP2638121B2 (ja) | 表面欠陥検査装置 | |
| JPH04364446A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JP3216669B2 (ja) | 光ディスク欠陥検査方法 | |
| JPH10206344A (ja) | 光学的むら検査装置および光学的むら検査方法 | |
| JPH07301609A (ja) | 欠陥検査方法 | |
| JP4093338B2 (ja) | 印刷物の自動評価装置 | |
| JP3022627B2 (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPH10170451A (ja) | 欠陥検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070717 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080717 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090717 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100717 Year of fee payment: 12 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110717 Year of fee payment: 13 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |