JP2714316B2 - Method and apparatus for manufacturing magnetic disk medium - Google Patents

Method and apparatus for manufacturing magnetic disk medium

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JP2714316B2
JP2714316B2 JP4107332A JP10733292A JP2714316B2 JP 2714316 B2 JP2714316 B2 JP 2714316B2 JP 4107332 A JP4107332 A JP 4107332A JP 10733292 A JP10733292 A JP 10733292A JP 2714316 B2 JP2714316 B2 JP 2714316B2
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magnetic disk
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polishing medium
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順 文岡
昌明 今村
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  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク媒体の製
造方法及び装置に係り、特に磁気ディスク表面に存在す
る微小突起を効率良く除去することができる仕上加工方
及び装置に関する。 【0002】 【従来の技術】磁気ディスク媒体は、磁気ディスク装置
の記録媒体として使用されるもので、磁気ディスクをス
ピンドルに対し一または複数枚搭載し、所定の回転数で
回転させ、この磁気ディスク媒体に対し磁気ヘッドを該
磁気ディスクの回転により生じる空気流により所定間隔
で浮上させて磁気ディスクに対して記録再生を行う。こ
のような磁気ディスク装置においては、磁気ディスクと
磁気ヘッドの浮上間隔は、1ミクロン以下と非常に狭い
ため磁気ディスク媒体表面は、高精度の平滑性が要求さ
れている。また、最近、磁気ディスク媒体の回転の開始
時と、停止時には、磁気ヘッドが磁気ディスク媒体とコ
ンタクトを行うコンタクトスタートストップ(CSS)
方式の磁気ディスク装置が主流となっているが、この装
置においては、さらに磁気ディスク媒体の表面の平滑性
が要求されている。現在このような磁気ディスク媒体の
塗膜表面は、以下の方法で仕上加工されている。従来の
ポリッシングテープを用いた磁気ディスク媒体の表面仕
上加工法を第3図及び第4図により説明する。クラウニ
ング形状のコンタクトゴムローラ4の中心軸を磁気ディ
スク媒体である円板1の半径方向に往復摺動させ、コン
タクトゴムローラ4と円板1との間に介在するポリッシ
ングテープ12を走行させ、常に新しい砥粒切刃で規定
の膜厚と表面の平滑性を得る両面同時の塗膜表面仕上加
工方式である。 【0003】 【発明が解決しようとする課題】この方法で仕上加工し
た媒体表面には、次工程のバニッシュ工程でも完全には
除去できない微小突起が介在し、CSS方式を特徴とす
る磁気ディスク装置においては、ヘッドに大きなダメー
ジを与えて発生するエラーや、ヘッドとこの微小突起が
衝突することによりヘッド浮上高さの変動が生じて発生
するエラーの原因となっている。この微小突起のみを効
率良く除去するための加工の重要なポイントは、ディス
ク媒体加工時の周速の最適化である。上記ポリッシング
テープヘッドによる仕上加工方法においては、コンタク
トゴムローラ4、ポリッシングテープ12、制動リール
15、巻取りリール10、及び、このポリッシングテー
プを走行させる駆動モータ11が一体構造となった2ヶ
のテープヘッドを、コイルバネ9によって磁気ディスク
媒体1の両面に加圧する方式のため、このテープヘッド
系の重量が重くなる。従って、このテープヘッド系が有
する固有振動数が媒体回転時の振動数に比べ小さくなる
ため、追従性不足や加工圧力が変動する等の欠点があ
る。第1図は、テープヘッド重量1.5Kg(現状タイ
プ)の場合の加工周速と微小突起高さ(Rp)について
実験的にめた関係を示す。この図からも明らかなよう
に周速250m/minまでは、効率良く微小突起を除
去できるが、それ以上に周速を上げてもほとんど変わら
ない反面、追従性不足や加工圧力変動による加工のバラ
ツキが大きくなったり、加工摩擦熱によるディスク媒体
面の炭化やポリッシングテープの焼切れの原因になる。
このように現在の仕上工程では、種々の欠点があった。
本発明の目的は、磁気ディスク媒体表面に存在する微小
突起を効率良く除去することができる磁気ディスク媒体
の製造方法及び装置を提供することにある。 【0004】 【課題を解決するための手段】回転する磁気ディスクの
表面に、テープ状研磨媒体をディスクの振動に追従可能
であって、突起に接触する程度の荷重で押し当て、テー
プ状研磨媒体を走行させながら磁気ディスク表面の突起
を削る。 【0005】 【作用】テープ状研磨媒体をディスクの振動に追従可能
であって、突起に接触する程度の荷重でディスク表面に
押し当てるので、テープ状研磨媒体はディスクの振動
(面振れ)に追従するように動作し、突起にのみ軽く接
触する。 【0006】 【実施例】ディスクの表面を研磨加工するテープヘッド
系の固有振動数fは、1/2π√k/mの式で求められ
る(m:テープヘッドの重量W/重力加速度gで求まる
質量、k:バネ定数)。この式においてfの値を大きく
するためには、テープヘッドの重量Wを軽減し、加圧源
のバネ定数kの値を大きくとることであり、このために
は、ポリッシングテープ幅を極力小さくしてコンタクト
ゴムローラの重量を軽くすると同時に、コンタクトゴム
ローラ部とポリッシングテープ走行用駆動部を切り離
し、テープヘッド系を軽量にすることである。すなわ
ち、テープヘッド系の固有振動数を大きくすることであ
る。これにより、磁気ディスク媒体の回転時の振動に追
従可能なテープヘッド系を得ることができる。 【0007】以下、第5図、第6図により詳細に説明す
る。第5図は、本発明のテープヘッド構造、第6図は、
ポリッシングテープの走行経路の一実施例を示す。1は
磁気ディスク媒体の円板であり該円板は、スピンドル7
にチャックホルダー2によってチャックされ回転する。
コンタクトゴムローラ4は、バネ定数kの値を上げるの
に有利な平行板バネ5によって保持され、2ヶのスライ
ドバー8上をエアシリンダー16に設けたテーパコマ6
の作動によって開閉し、15mm巾以下のポリッシング
テープ12を円板1の両面に加圧する。引張バネ9は、
加圧を解除したときのコンタクトゴムローラ4の戻り用
として設けられている。ポリッシングテープ12を走行
させるための巻取りリール10は、駆動モータ11の回
転軸に固定される。この駆動モータ11を支持している
モータプレート14は、テープヘッド系の軽量化のた
め、コンタクトゴムローラ4と切り離して単独に、か
つ、コンタクトゴムローラ4と巻取りリール10の位置
関係がずれない位置に設置される。ポリッシングテープ
12は、制動リール15より円板1とコンタクトゴムロ
ーラ4との間をガイドローラ13にガイドされて通り巻
取りリール10に巻取られることにより、円板1の表面
を仕上加工する。テンションローラ17は、コンタクト
ゴムローラ4とモータープレート14が一体構造でない
ために生じるポリッシングテープ12のゆるみを防止す
るために設けたローラである。本実施例によれば、テー
プヘッドの重量は、平行板バネ5に固定されたコンタク
トゴムローラ4のみであり約0.04Kgとなる。従っ
て、現状タイプのテープヘッドに比べ重量Wが約1/4
0以下、バネ定数kが約2倍となり、テープヘッド系の
固有振動数を約20倍に上げることができ、磁気ディス
ク媒体の回転時の振動に対するテープヘッド系の追従性
を大幅に向上させることができる。本発明による0.0
Kgの軽荷重タイプのテープヘッドを用いれば、第2
図で示すように周速250m/minにおいても十分に
追従可能な固有振動数を有するため、微小突起(Rp)
のみを効率良く、かつ、ムラなく均一に取り除くことが
できる。従って、従来の仕上加工工程後に本発明による
仕上加工工程を追加することにより媒体表面に存在する
微小突起の高さを0.15μm以下に管理できるので、
CSS方式に対応できる磁気ディスク媒体の生産が可能
となる。 【0008】 【発明の効果】以上の説明の如く本発明によれば、磁気
ディスク表面に存在する微小突起を削ることができるの
で、表面の平滑性に優れた磁気ディスク媒体を製造する
ことができる。
Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and an apparatus for manufacturing a magnetic disk medium, and more particularly to a finish capable of efficiently removing minute projections present on the surface of a magnetic disk. The present invention relates to a processing method and an apparatus . 2. Description of the Related Art A magnetic disk medium is used as a recording medium of a magnetic disk drive. One or a plurality of magnetic disks are mounted on a spindle and rotated at a predetermined rotation speed. Recording and reproduction are performed on the magnetic disk by floating the magnetic head on the medium at predetermined intervals by an air flow generated by rotation of the magnetic disk. In such a magnetic disk device, the flying distance between the magnetic disk and the magnetic head is very narrow, 1 micron or less, so that the surface of the magnetic disk medium is required to have high-precision smoothness. Recently, at the start and stop of the rotation of the magnetic disk medium, a contact start / stop (CSS) in which the magnetic head makes contact with the magnetic disk medium
The magnetic disk device of the system is mainly used, but in this device, the smoothness of the surface of the magnetic disk medium is further required. At present, the coating film surface of such a magnetic disk medium is finished by the following method. A conventional surface finishing method for a magnetic disk medium using a polishing tape will be described with reference to FIGS. 3 and 4. FIG. The center axis of the crowning-shaped contact rubber roller 4 is reciprocally slid in the radial direction of the disk 1 which is a magnetic disk medium, and the polishing tape 12 interposed between the contact rubber roller 4 and the disk 1 is run, so that a new grinding wheel is always provided. This is a method of finishing both surfaces of the coating film simultaneously to obtain a specified film thickness and surface smoothness with a grain cutting blade. [0003] On the medium surface finished by this method, minute projections which cannot be completely removed even in the subsequent burnishing step are interposed. This is a cause of an error caused by causing a large damage to the head and an error caused by a fluctuation in the head flying height caused by collision of the head with the minute projection. An important point of the processing for efficiently removing only the minute projections is optimization of the peripheral speed when processing the disk medium. In the finishing method using the polishing tape head, two tape heads having an integrated structure of a contact rubber roller 4, a polishing tape 12, a braking reel 15, a take-up reel 10, and a drive motor 11 for running the polishing tape are provided. Is applied to both sides of the magnetic disk medium 1 by the coil spring 9, so that the weight of the tape head system increases. Therefore, since the natural frequency of the tape head system is lower than the frequency of the medium during rotation, there are drawbacks such as insufficient followability and fluctuations in processing pressure. Figure 1 shows the experimentally determined meth relationship for the tape head weight 1.5Kg machining circumferential speed and the minute projection height of the case (current type) (Rp). As is clear from this figure, fine protrusions can be efficiently removed up to a peripheral speed of 250 m / min. However, even if the peripheral speed is further increased, the projections hardly change, but the processing variation due to lack of followability and fluctuation of the processing pressure. Or carbonization of the disk medium surface due to the heat of processing and burning of the polishing tape.
Thus, the current finishing process has various drawbacks.
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method and an apparatus for manufacturing a magnetic disk medium capable of efficiently removing minute projections present on the surface of the magnetic disk medium. [0004] A tape-like polishing medium can follow the disk vibration on the surface of a rotating magnetic disk.
And press it with a load that touches the protrusion,
Cutting the projections of the magnetic disk surface while traveling looped polishing media. [0005] The tape-like polishing medium can follow the vibration of the disk
Since the tape-like polishing medium is pressed against the surface of the disk with a load enough to contact the projection , the tape-shaped polishing medium operates so as to follow the vibration (runout) of the disk, and lightly contacts only the projection. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The natural frequency f of a tape head system for polishing the surface of a disk is obtained by the formula of 1 / 2π√k / m (m: weight of tape head W / gravity acceleration g). Mass, k: spring constant). In order to increase the value of f in this equation, it is necessary to reduce the weight W of the tape head and to increase the value of the spring constant k of the pressure source. To this end, the width of the polishing tape is reduced as much as possible. In this case, the weight of the contact rubber roller is reduced, and at the same time, the contact rubber roller portion is separated from the drive unit for running the polishing tape, thereby reducing the weight of the tape head system. That is, the natural frequency of the tape head system is increased. Thus, it is possible to obtain a tape head system that can follow the vibration of the magnetic disk medium during rotation. Hereinafter, a detailed description will be given with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a tape head structure of the present invention, and FIG.
1 shows an embodiment of a traveling path of a polishing tape. Reference numeral 1 denotes a disk of a magnetic disk medium, and the disk is a spindle 7
And is rotated by the chuck holder 2.
The contact rubber roller 4 is held by a parallel leaf spring 5 which is advantageous for increasing the value of the spring constant k, and a taper piece 6 provided on an air cylinder 16 on two slide bars 8.
Is opened and closed, and a polishing tape 12 having a width of 15 mm or less is pressed against both surfaces of the disc 1. The tension spring 9 is
The contact rubber roller 4 is provided for returning when the pressurization is released. A take-up reel 10 for running the polishing tape 12 is fixed to a rotation shaft of a drive motor 11. The motor plate 14 supporting the drive motor 11 is separated from the contact rubber roller 4 alone and at a position where the positional relationship between the contact rubber roller 4 and the take-up reel 10 does not shift to reduce the weight of the tape head system. Will be installed. The polishing tape 12 is guided by the guide roller 13 between the disc 1 and the contact rubber roller 4 from the braking reel 15 and is wound on the take-up reel 10, thereby finishing the surface of the disc 1. The tension roller 17 is a roller provided to prevent the polishing tape 12 from becoming loose because the contact rubber roller 4 and the motor plate 14 are not integrated. According to the present embodiment, the weight of the tape head is only the contact rubber roller 4 fixed to the parallel leaf spring 5 and is about 0.04 kg. Therefore, the weight W is about 1/4 compared to the current type of tape head.
When the value is 0 or less, the spring constant k is approximately doubled, the natural frequency of the tape head system can be increased to approximately 20 times, and the followability of the tape head system to the vibration during rotation of the magnetic disk medium is greatly improved. Can be. 0.0 according to the invention
If a 4 kg light-weight tape head is used, the second
As shown in the figure, since it has a natural frequency that can sufficiently follow even at a peripheral speed of 250 m / min, the minute protrusion (Rp)
Only can be efficiently and uniformly removed. Therefore, by adding the finishing step according to the present invention after the conventional finishing step, the height of the minute projections existing on the medium surface can be controlled to 0.15 μm or less.
It becomes possible to produce a magnetic disk medium compatible with the CSS method. As described above, according to the present invention, it is possible to cut the fine protrusions present on the surface of the magnetic disk, so that a magnetic disk medium having excellent surface smoothness can be manufactured. .

【図面の簡単な説明】 【図1】第1図は、加工周速と微小突起高さ(Rp)の
関係を示す線図、 【図2】第2図は、テープヘッド量と微小突起高さの関
係を示す線図、 【図3】第3図は、現状タイプのテープヘッド構造を示
す平面図、 【図4】第4図は、第3図の正面図、 【図5】第5図は、本発明によるテープヘッド構造を示
す平面図、 【図6】第6図は、第5図の正面図である。 【符号の説明】 1……磁気ディスク媒体 2……チャックホルダー 3……アーム 4……コンタクトゴムローラ 5……平行板バネ 6……テーパコマ 7……スピンドル 8……スライドバー 9……引張バネ 10……巻取りリール 11……駆動モータ 12……ポリッシングテープ 13……ガイドローラ 14……モータープレート 15……制動リール 16……エアシリンダー 17……テンションローラ
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a relationship between a processing peripheral speed and a minute projection height (Rp). FIG. 2 is a tape head amount and a minute projection height. FIG. 3 is a plan view showing a tape head structure of the current type, FIG. 4 is a front view of FIG. 3, and FIG. FIG. 6 is a plan view showing a tape head structure according to the present invention. FIG. 6 is a front view of FIG. [Description of Signs] 1 ... Magnetic disk medium 2 ... Chuck holder 3 ... Arm 4 ... Contact rubber roller 5 ... Parallel leaf spring 6 ... Taper piece 7 ... Spindle 8 ... Slide bar 9 ... Tension spring 10 ... Take-up reel 11 ... Drive motor 12 ... Polishing tape 13 ... Guide roller 14 ... Motor plate 15 ... Brake reel 16 ... Air cylinder 17 ... Tension roller

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久世 務 神奈川県小田原市国府津2880番地株式会 社日立製作所小田原工場内 (56)参考文献 特開 昭51−56602(JP,A) 特開 昭57−150139(JP,A)   ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page    (72) Inventor Tsutomu Kuze               2880 Kozu, Odawara-shi, Kanagawa Stock Association               Inside Odawara Plant of Hitachi, Ltd.                (56) References JP-A-51-56602 (JP, A)                 JP-A-57-150139 (JP, A)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 1.回転する磁気ディスクの表面に、テープ状研磨媒体
を当該磁気ディスクの振動に追従可能であって、突起に
接触する程度の加工圧力で押し当て、該テープ状研磨媒
体を走行させながら磁気ディスク表面の突起を削ること
を特徴とする磁気ディスク媒体の製造方法。 2.磁気ディスクの表面を研磨媒体を用いて加工した
後、該磁気ディスクを回転させながらその表面に、テー
プ状研磨媒体を当該磁気ディスクの振動に追従可能であ
って、突起に接触する程度の加工圧力で押し当て、該テ
ープ状研磨媒体を走行させながら磁気ディスク表面の突
起を削ることを特徴とする磁気ディスク媒体の製造方
法。 3.磁気ディスクを保持し回転させる手段と、該磁気デ
ィスクの表面にテープ状研磨媒体を当該磁気ディスクの
振動に追従可能であって、突起に接触する程度の加工圧
力で押し当てる押圧手段と、該テープ状研磨媒体を走行
させる手段と、該テープ状研磨媒体を前記磁気ディスク
の半径方向に移動させる手段とを具備することを特徴と
する磁気ディスク媒体の製造装置。
(57) [Claims] The tape-shaped polishing medium can follow the vibration of the magnetic disk on the surface of the rotating magnetic disk and is pressed with a processing pressure enough to come into contact with the projections. A method for manufacturing a magnetic disk medium, comprising: shaping a projection. 2. After processing the surface of the magnetic disk using the polishing medium, the processing pressure is such that the tape-shaped polishing medium can follow the vibration of the magnetic disk and contact the protrusions while rotating the magnetic disk. A method for manufacturing a magnetic disk medium, wherein the protrusions on the surface of the magnetic disk are shaved while the tape-shaped polishing medium is running by pressing. 3. Means for holding and rotating the magnetic disk, pressing means capable of following the vibration of the magnetic disk with a tape-shaped polishing medium on the surface of the magnetic disk, and pressing the polishing medium with a processing pressure sufficient to contact the protrusion; and An apparatus for manufacturing a magnetic disk medium, comprising: means for running a tape-shaped polishing medium; and means for moving the tape-shaped polishing medium in a radial direction of the magnetic disk.
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DE3103874A1 (en) * 1981-02-05 1982-09-09 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen METHOD AND DEVICE FOR PROCESSING THE SURFACE OF MAGNETIC RECORDING CARRIERS

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