JP2708505B2 - Flexible metal foil laminate - Google Patents

Flexible metal foil laminate

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JP2708505B2
JP2708505B2 JP63285718A JP28571888A JP2708505B2 JP 2708505 B2 JP2708505 B2 JP 2708505B2 JP 63285718 A JP63285718 A JP 63285718A JP 28571888 A JP28571888 A JP 28571888A JP 2708505 B2 JP2708505 B2 JP 2708505B2
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metal foil
heat
resistant polymer
layer
polymer film
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守次 森田
俊爾 芳田
健二 田辺
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三井東圧化学株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、電子工業分野において普及しつつあるフレ
キシブル金属箔積層板(Flexible Copper Clad Laminat
e、以下FMCLと略す)に関するものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Industrial Application Field] The present invention relates to a flexible copper foil laminate (Flexible Copper Clad Laminat) which is becoming widespread in the electronics industry.
e, hereinafter abbreviated as FMCL).

[従来の技術] FMCLは、主として可撓性を有するプリント配線板用の
基材として使用されるが、その他電磁波シールド用材
料、面発熱体、フラットケーブル、包装材料等に使用さ
れる。
2. Description of the Related Art FMCL is mainly used as a base material for a flexible printed wiring board, but is also used as a material for electromagnetic wave shielding, a surface heating element, a flat cable, a packaging material, and the like.

近年においては、プリント配線板が収容されるケール
類がコンパクトになるなどのために、FMCLのプリント配
線板用の基材としての利用が増大している。
In recent years, the use of FMCL as a base material for printed wiring boards has been increasing due to, for example, a reduction in the size of kales that house the printed wiring boards.

このようなFMCLは従来、通常は厚さ5μm以上の有機
重合体からなる接着剤を用いて金属箔に耐熱性重合体フ
ィルムを張り合わせることにより製造されている。しか
し、この接着剤を使用したFMCLは、その接着剤の特性が
不十分であるため耐熱性重合体フィルムの優れた特性を
十分に生かさることができず、特に耐熱性の点で問題が
あった。
Conventionally, such an FMCL is usually manufactured by bonding a heat-resistant polymer film to a metal foil using an adhesive made of an organic polymer having a thickness of 5 μm or more. However, FMCL using this adhesive cannot fully utilize the excellent properties of the heat-resistant polymer film due to insufficient properties of the adhesive, and there is a problem in particular in terms of heat resistance. Was.

そのために、耐熱性重合体フィルムと金属箔が接着剤
を介することなく直接的に固着させられてFMCLとする方
法が従来から検討されている。たとえば、米国特許第3,
179,634、同3,736,170号、特開昭49−129,862号、同58
−190,091号、同59−162,044号などがある。
For this purpose, a method in which a heat-resistant polymer film and a metal foil are directly fixed without using an adhesive to form an FMCL has been conventionally studied. For example, U.S. Pat.
179,634, 3,736,170, JP-A-49-129,862, 58
-190,091 and 59-162,044.

しかしながら、これらの方法による接着剤不使用のFM
CLはプリント配線板に使用する際、多くの場合に半田浸
漬されるが、この時熱収縮のためにカール、皺、凹凸等
が生じ、実用上は欠点があった。特に、耐熱性重合体の
中でもポリイミドとポリアミドイミドの場合は、種々の
原因により熱収縮率を小さくすることは難しい。
However, adhesive free FM by these methods
When CL is used for a printed wiring board, it is often immersed in solder. However, at this time, curl, wrinkles, irregularities, and the like are generated due to heat shrinkage, and there is a defect in practical use. In particular, in the case of polyimide and polyamideimide among the heat-resistant polymers, it is difficult to reduce the heat shrinkage due to various causes.

[発明が解決しようとする課題] ポリイミドフィルムが厚さ5μm以上のエポキシ樹
脂、アクリル樹脂等の有機重合体からなる接着剤層を介
して金属箔に張り合わせられたFMCLはすでに提案されて
いるが、そのような有機重合体からなる接着剤を使用す
る既存のFMCLは、その特性は多くの点において要求水準
に達していない。また、接着剤層の存在しないFMCLは耐
熱性の点では接着剤層の存在するFMCLに比べて優れてい
るが、熱収縮についての検討は十分に行なわれてきたと
は言えない。
[Problems to be Solved by the Invention] FMCL in which a polyimide film is bonded to a metal foil via an adhesive layer made of an organic polymer such as an epoxy resin or an acrylic resin having a thickness of 5 μm or more has already been proposed. Existing FMCLs using adhesives made of such organic polymers do not attain the required properties in many respects. Further, FMCL without an adhesive layer is superior to FMCL with an adhesive layer in terms of heat resistance, but it cannot be said that heat shrinkage has been sufficiently studied.

かかる状況に鑑み、本発明は耐熱性重合体フィルムの
優れた特性が活用される状況を維持しながら、耐熱性重
合体フィルムが金属箔に強固に安定に接着されられ、か
つ熱収縮率の小さい優れたFMCLを提供するものであり、
このようなFMCLは産業状、特に電子工業上極めて有用な
ものである。
In view of such a situation, the present invention maintains the situation in which the excellent properties of the heat-resistant polymer film are utilized, while the heat-resistant polymer film is firmly and stably bonded to the metal foil, and has a small heat shrinkage. Providing excellent FMCL,
Such FMCLs are extremely useful in industrial settings, especially in the electronics industry.

[課題を解決するための手段] すなわち、本発明は、 (1)耐熱性重合体フイルム層と、該耐熱性重合体フイ
ルム層の少なくとも一方の表面上に金属箔層を有するフ
レキシブル金属箔積層板において、該耐熱性重合体フイ
ルム層の260℃での熱収縮率が0.1%以下であり、かつ、
該金属箔層が圧縮塑性変形させられ、続いて該耐熱性重
合体フイルム層のガラス転移温度以下の温度で30秒以上
加熱されたものであることを特徴とするフレキシブル金
属箔積層板、 (2)フレキシブル金属箔積層板が加熱された後、該フ
レキシブル金属箔積層板の該金属箔層がさらに圧縮塑性
変形されたものである上記(1)記載のフレキシブル金
属箔積層板、及び (3)金属箔層が圧縮塑性変形された後に、該金属箔が
全面的にエッチングされたとき、該金属箔層が圧縮塑性
変形させられたことにより、該重合体フイルム層の収縮
率が、エッチング前の該積層板の寸法を基準として、±
0.3%以内である上記(2)記載のフレキシブル金属箔
積層板である。
Means for Solving the Problems That is, the present invention provides: (1) a heat-resistant polymer film layer, and a flexible metal foil laminate having a metal foil layer on at least one surface of the heat-resistant polymer film layer In the above, the heat shrinkage of the heat-resistant polymer film layer at 260 ° C. is 0.1% or less, and
A flexible metal foil laminate, wherein the metal foil layer is subjected to compression plastic deformation and subsequently heated at a temperature not higher than the glass transition temperature of the heat-resistant polymer film layer for 30 seconds or more; (3) The flexible metal foil laminate according to the above (1), wherein after the flexible metal foil laminate is heated, the metal foil layer of the flexible metal foil laminate is further subjected to compression plastic deformation. When the metal foil is completely etched after the foil layer is compression-plastically deformed, the shrinkage of the polymer film layer is reduced by the compression-plastic deformation of the metal foil layer before etching. ± based on the dimensions of the laminate
The flexible metal foil laminate according to the above (2), which is within 0.3%.

すなわち、本発明の要旨は、 金属箔の表面上に金属箔との接着力が大きい耐熱性重
合体フィルム層が形成されてFMCLが作成された後に、加
熱によりアニールせしめて熱収縮率が顕著に低減された
FMCLとする点にある。
That is, the gist of the present invention is that, after a heat-resistant polymer film layer having a large adhesive force with a metal foil is formed on the surface of the metal foil to form an FMCL, the FMCL is annealed by heating to significantly reduce the heat shrinkage. Reduced
The point is FMCL.

以下、本発明を詳細に説明する。 Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明において使用される耐熱性重合体フィルム層
は、イミド結合を有する耐熱ポリマー、および/または
イミド結合以外の複素環を有する耐熱ポリマーからなる
ものであり、イミド結合を有するポリマーとしては、ポ
リイミド、ポリアミドイミド、ポリヒダントイン、ポリ
パラバン酸、ポリオキサジンオンなどであり、またイミ
ド結合以外の複素環保有耐熱ポリマーとしてはポリベン
ゾイミダゾール、ポリイミダゾピロロン、トリアジン誘
導体等が挙げられる。
The heat-resistant polymer film layer used in the present invention is made of a heat-resistant polymer having an imide bond, and / or a heat-resistant polymer having a heterocyclic ring other than the imide bond. Examples of the polymer having an imide bond include polyimide, Examples thereof include polyamideimide, polyhydantoin, polyparabanic acid, and polyoxazineone. Examples of the heat-resistant polymer having a heterocyclic ring other than the imide bond include polybenzimidazole, polyimidazopyrrolone, and a triazine derivative.

本発明においては、イミド結合を有する耐熱ポリマー
が好ましく、さらに好ましくはポリイミド、ポリアミド
イミドと称されるもののであり、これらは複合されても
よい。
In the present invention, a heat-resistant polymer having an imide bond is preferred, more preferably a polyimide or a polyamideimide, and these may be combined.

ポリイミドの代表的なものは、その構造式が次に示さ
れるものである。
A typical polyimide is represented by the following structural formula.

また、ポリアミドイミドとしては、その構造式が次に
示されるものである。
The structural formula of the polyamideimide is shown below.

また、構造式(1)にて表される反復単位を有するピ
ロメリット酸二無水物と芳香族ジアミンとから得られる
重合体、構造式(2)にて表される反復単位を有する3,
3′,4,4′−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物
と芳香族ジアミンから得られる重合体、および構造式
(3)にて表される反復単位を有する3,3′,4,4′−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物と芳香族ジアミンと
から得られる重合体も適している。
Further, a polymer obtained from pyromellitic dianhydride having a repeating unit represented by the structural formula (1) and an aromatic diamine, a polymer having a repeating unit represented by a structural formula (2),
Polymer obtained from 3 ', 4,4'-benzophenonetetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine, and 3,3', 4,4'- having a repeating unit represented by structural formula (3) Also suitable are polymers obtained from biphenyltetracarboxylic dianhydrides and aromatic diamines.

上記構造式において、Rは原料であるジアミンのアミ
ノ基を除いた残基であり、原料となるRを含むジアミン
の例としては、o,m,p−フェニレンジアミン、4,4′−ジ
アミノジフェニルメタン、3,3′−ジアミノジフェニル
メタン、4,4′−ジアミノビフェニル、3,3′−ジアミノ
ビフェニル、4,4′−ジアミノターフェニル、3,3′−ジ
アミノターフェニル、4,4′−ジアミノジフェニルエー
テル、3,3′−ジアミノジフェニルエーテル、4,4′ジア
ミノジフェニルスルホン、3,3′ジアミノジフェニルス
ルホン、4,4′−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3′
−ジアミノジフェニルスルフィド、4,4′−ジアミノジ
フェニルスルフォキシド、3,3′−ジアミノジフェニル
スルフォキシド、4,4′−ジアミノベンゾフェノン、3,
3′−ジアミノベンゾフェノン、2,2−ビス(4−アミノ
フェニル)プロパン、2,2−ビス(3−アミノフェニ
ル)プロパン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フ
ェニル]メタン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)
フェニル]メタン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェ
ノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−
アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス
[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,
3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(3−
アミノフェノキシ)フェニル]1,1,1,3,3,3−ヘキサフ
ルオロプロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)
ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼ
ン、4,4′−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、4,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェニ
ル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ケ
トン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]
ケトン、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニ
ル]スルフィド、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)
フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−アミノフェノ
キシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−アミノフ
ェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−
(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビ
ス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]エーテ
ル、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]エ
ーテル、4,4′−ビス(4−アミノフェニルスルホニ
ル)ジフェニルエーテル、4,4′−ビス(3−アミノフ
ェニルスルホニル)ジフェニルエーテル、4,4′−ビス
(4−アミノチオフェノキシ)ジフェニルスルホン、4,
4′−ビス(3−アミノチオフェノキシ)ジフェニルス
ルホン、1,4−ビス[4−(3−アミノフェノキシ)ベ
ンゾイル]ベンゼン等の対称のジアミンが挙げられ、こ
れらは単独あるいは二種以上混合したり、共重合体とし
て用いることができる。
In the above structural formula, R is a residue excluding the amino group of the starting diamine, and examples of the diamine containing R as the starting material include o, m, p-phenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane , 3,3'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminobiphenyl, 3,3'-diaminobiphenyl, 4,4'-diaminoterphenyl, 3,3'-diaminoterphenyl, 4,4'-diaminodiphenyl ether , 3,3'-diaminodiphenyl ether, 4,4'diaminodiphenylsulfone, 3,3'diaminodiphenylsulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfide, 3,3 '
-Diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulphoxide, 3,3'-diaminodiphenyl sulphoxide, 4,4'-diaminobenzophenone, 3,
3'-diaminobenzophenone, 2,2-bis (4-aminophenyl) propane, 2,2-bis (3-aminophenyl) propane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] methane, bis [4- (3-aminophenoxy)
Phenyl] methane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (3-
Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] -1,1,1,3,
3,3-hexafluoropropane, 2,2-bis [4- (3-
Aminophenoxy) phenyl] 1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, 1,3-bis (4-aminophenoxy)
Benzene, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4- Aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl]
Ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy)
Phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4-
(3-aminophenoxy) phenyl] sulfoxide, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether, 4,4′-bis (4-aminophenylsulfonyl) ) Diphenyl ether, 4,4'-bis (3-aminophenylsulfonyl) diphenyl ether, 4,4'-bis (4-aminothiophenoxy) diphenylsulfone,
Symmetric diamines such as 4'-bis (3-aminothiophenoxy) diphenylsulfone and 1,4-bis [4- (3-aminophenoxy) benzoyl] benzene are mentioned, and these may be used alone or in combination of two or more. And a copolymer.

上記の耐熱性重合体を合成するには、有機溶媒中たと
えばN−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミ
ド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシ
ド、γ−ブチロラクトン、クレゾール、フェノール、ハ
ロゲン化フェノール等の溶媒中で行なわれることが好ま
しい。
To synthesize the above heat-resistant polymer, an organic solvent such as N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, γ-butyrolactone, cresol, phenol, halogenated phenol, etc. It is preferably carried out in a solvent of

本発明においては通常、耐熱性重合体を金属箔上に形
成させるが、この耐熱性重合体は溶媒に溶解した状態で
金属箔上に塗布されるか、耐熱性重合体の前駆体が溶媒
に溶解した状態で金属箔上に塗布される。塗布する方法
には特に限定はないが、コンマコーター、ナイフコータ
ー、ロールコーター、リバースコーター等公知の塗布装
置を使用することができる。
In the present invention, usually, a heat-resistant polymer is formed on a metal foil, and the heat-resistant polymer is applied on the metal foil in a state of being dissolved in a solvent, or a precursor of the heat-resistant polymer is dissolved in the solvent. It is applied on a metal foil in a dissolved state. There is no particular limitation on the method of coating, but a known coating device such as a comma coater, a knife coater, a roll coater, or a reverse coater can be used.

この後に耐熱性重合体またはその前駆体が塗布乾燥さ
れ耐熱性重合体フィルムが形成された後、金属箔は加熱
されるが、その加熱方法には熱窒素、遠赤外線、高周波
等公知の方法を使用することができる。このようにして
得られたFMCLの耐熱性重合体フィルムの残溶媒濃度は、
1%以下、好ましくは0.1%以下、さらに好ましくは0.0
5%以下であり、最も好ましくは、実質的に0である。
After this, a heat-resistant polymer or a precursor thereof is applied and dried to form a heat-resistant polymer film, and then the metal foil is heated.The heating method may be a known method such as hot nitrogen, far infrared rays, and high frequency. Can be used. The residual solvent concentration of the heat-resistant polymer film of FMCL thus obtained is
1% or less, preferably 0.1% or less, more preferably 0.0%
5% or less, most preferably substantially zero.

なお本発明において金属箔上に形成される耐熱性重合
体は、二層以上の耐熱性重合体から構成されてもよい。
たとえば、金属箔上に第一層目の耐熱性重合体を形成さ
せた後、第一層目の耐熱性重合体とは異なる組成の第二
層目の耐熱性重合体を形成させてもよい。このような場
合にも、耐熱性重合体の塗布方法、加熱方法には特に限
定はないが、上述のような公知の装置を使用することが
できる。
In the present invention, the heat-resistant polymer formed on the metal foil may be composed of two or more layers of the heat-resistant polymer.
For example, after forming the first layer of the heat-resistant polymer on the metal foil, a second layer of the heat-resistant polymer having a composition different from that of the first layer of the heat-resistant polymer may be formed. . In such a case as well, the method of applying the heat-resistant polymer and the method of heating are not particularly limited, but the above-mentioned known devices can be used.

金属箔の厚さは任意に選択可能であるが、通常10〜10
0μmの範囲内であり、好ましくは10〜50μmの範囲内
のものである。
The thickness of the metal foil can be arbitrarily selected, but usually 10 to 10
It is in the range of 0 μm, preferably in the range of 10 to 50 μm.

また、金属箔に直接接している耐熱性重合体と金属箔
との接着力を大きくさせるために金属箔上に金属単体や
その酸化物、合金、たとえば金属箔が銅箔の場合には銅
単体をはじめ酸化銅、ニッケル−銅合金、亜鉛−銅合金
等の無機物を形成させることも好ましい。また、無機物
以外にもアミノシラン、エポキシシラン、メルカプトシ
ラン等のカップリング剤を金属箔上に形成したり、耐熱
性重合体またはその前駆体溶液中に上記カップリング剤
を混合することにより耐熱性重合体と金属箔との接着力
を向上することも可能である。
In addition, in order to increase the adhesive strength between the heat-resistant polymer and the metal foil which are in direct contact with the metal foil, a simple metal or an oxide or alloy thereof on the metal foil, for example, a simple copper when the metal foil is a copper foil It is also preferable to form an inorganic substance such as copper oxide, a nickel-copper alloy, and a zinc-copper alloy. Further, in addition to inorganic substances, a coupling agent such as aminosilane, epoxysilane, mercaptosilane or the like is formed on a metal foil, or a heat-resistant polymer or a precursor solution thereof is mixed with the above-mentioned coupling agent to form a heat-resistant polymer. It is also possible to improve the adhesive strength between the coalesced and the metal foil.

上記のようにして作成したFMCLは、金属箔と耐熱性重
合体との熱膨張率の差や、耐熱性重合体の乾燥収縮等に
より、耐熱性重合体と金属箔の間に寸法の差が生じてい
ることがある。このような場合、本願出願人の出願にか
かる特願昭62−238864号に示されるように、FMCLの金属
箔層を、層の厚み方向ではなく、層に沿ってその長手方
向(面方向)に収縮(圧縮)塑性変形させることによ
り、金属箔層と耐熱性重合体フィルム層との間の寸法差
を減少させることも好ましい。この操作により、金属箔
層と耐熱性重合体フィルム層との間の寸法差を好ましく
は、±0.3%以内とすることができる。
The FMCL prepared as described above has a difference in dimension between the heat-resistant polymer and the metal foil due to a difference in the coefficient of thermal expansion between the metal foil and the heat-resistant polymer, and a drying shrinkage of the heat-resistant polymer. May have occurred. In such a case, as shown in Japanese Patent Application No. 62-238864, filed by the present applicant, the metal foil layer of the FMCL is formed not in the thickness direction of the layer but in the longitudinal direction (plane direction) along the layer. It is also preferable to reduce the dimensional difference between the metal foil layer and the heat-resistant polymer film layer by shrinking (compressing) plastic deformation. By this operation, the dimensional difference between the metal foil layer and the heat-resistant polymer film layer can be made preferably within ± 0.3%.

上記のようにして得られたFMCLは、多くの場合に回路
加工された後に半田浴中に浸漬される。この時、このFM
CLでは残留応力、残溶媒等のために耐熱性重合体フィル
ム層が収縮して仕舞うことが多い。このような場合に本
発明では、金属箔上に耐熱性重合体が形成された後に、
この耐熱性重合体フィルム層のガラス転移温度以下の温
度で少なくとも30秒以上加熱して熱収縮率を減少させる
ことが好ましい。本来FMCLは、プリント配線板として使
用する場合には、熱収縮率が小さく、かつ金属箔層と耐
熱性重合体フィルム層との寸法の差が小さいものが適し
ているため、たとえば上記のような操作を行なうのであ
る。
The FMCL obtained as described above is often immersed in a solder bath after circuit processing. At this time, this FM
In CL, the heat-resistant polymer film layer often shrinks due to residual stress, residual solvent, and the like. In such a case, in the present invention, after the heat-resistant polymer is formed on the metal foil,
It is preferable to reduce the heat shrinkage by heating at least 30 seconds or more at a temperature lower than the glass transition temperature of the heat-resistant polymer film layer. Originally, when used as a printed wiring board, FMCL is suitable because it has a small heat shrinkage and a small difference in size between the metal foil layer and the heat-resistant polymer film layer. Perform the operation.

なお、熱収縮率は、260で加熱した後、常温に戻して
1時間後に測定した値である。温度以外の測定条件は、
IPC−TM−650 method 2.2.4 method cに準ずる。
The heat shrinkage is a value measured after heating at 260, returning to room temperature and 1 hour later. Measurement conditions other than temperature
IPC-TM-650 method 2.2.4 Method c.

上記のような加熱操作を行なった後に、金属箔層と耐
熱性重合体フィルム層との間の寸法差が拡大している場
合がある。このような場合には、再び特願昭62−238864
号に示されるようなFMCLの金属箔層を収縮(圧縮)塑性
変形させることにより寸法差を減少させることも好まし
い。
After performing the heating operation as described above, the dimensional difference between the metal foil layer and the heat-resistant polymer film layer may increase. In such a case, Japanese Patent Application No. 62-238864 is again filed.
It is also preferable to reduce the dimensional difference by shrinking (compressing) plastically deforming the metal foil layer of the FMCL as shown in the above item.

次に実施例を示してさらに本発明を説明する。 Next, the present invention will be further described with reference to examples.

実施例1 (1)ポリアミド酸ワニスの合成 撹拌機、還流冷却器および窒素導入管を備えた容器中
において4,4′−ビス(3−アミノフェノキシ)ビフェ
ニル147g(0.40モル)および4,4′−ジアミノジフェニ
ルエーテル320g(1.60モル)をN,N−ジメチルアセトア
ミド3500mlに溶解し、0℃付近まで冷却し、窒素雰囲気
下においてピロメリット酸二無水物436g(2.0モル)を
加え、0℃付近で2時間撹拌した。次に上記溶液を室温
に戻し、窒素雰囲気下で約20時間撹拌を行なった。こう
して得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.7dl/gで
あった。このポリアミド酸溶液をN,N−ジメチルアセト
アミドで19%まで希釈し、回転粘度を120,000cpsに調節
した。ガラス転移温度は370℃である。
Example 1 (1) Synthesis of polyamic acid varnish 147 g (0.40 mol) of 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl and 4,4 'in a vessel equipped with a stirrer, a reflux condenser and a nitrogen inlet tube. Dissolve 320 g (1.60 mol) of diaminodiphenyl ether in 3500 ml of N, N-dimethylacetamide, cool to about 0 ° C., add 436 g (2.0 mol) of pyromellitic dianhydride under nitrogen atmosphere, and add Stirred for hours. Next, the solution was returned to room temperature and stirred under a nitrogen atmosphere for about 20 hours. The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained was 1.7 dl / g. This polyamic acid solution was diluted to 19% with N, N-dimethylacetamide, and the rotational viscosity was adjusted to 120,000 cps. The glass transition temperature is 370 ° C.

こうして得られたポリアミド酸溶液の対数粘度は1.8d
l/gであった。
The logarithmic viscosity of the polyamic acid solution thus obtained is 1.8 d
l / g.

(2)FMCLの作成 (1)で得られたポリアミド酸溶液を、電解銅箔(三
井金属鉱業(株)製、3EC−III、厚さ35μm)上に均一
に流延塗布し、135℃で5分間、さらに180℃で4分間加
熱乾燥した後、250℃の窒素雰囲気中で5分間加熱して
銅箔上にポリイミド層を有するFMCLを得た。こうして得
られたFMCLの総厚は65μmであった。
(2) Preparation of FMCL The polyamic acid solution obtained in (1) was uniformly cast and applied on an electrolytic copper foil (3EC-III, manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd., thickness 35 μm), and heated at 135 ° C. After heating and drying at 180 ° C. for 5 minutes and further at 250 ° C. for 5 minutes, FMCL having a polyimide layer on a copper foil was obtained by heating in a nitrogen atmosphere at 250 ° C. for 5 minutes. The total thickness of the FMCL thus obtained was 65 μm.

上記で得られたFMCLの銅箔層を、特願昭62−238864号
に示された方法で収縮(圧縮)塑性変形させて、銅箔層
と耐熱性重合体フィルム層の寸法差を±0.3%とした。
The copper foil layer of the FMCL obtained above was shrunk (compressed) and plastically deformed by the method shown in Japanese Patent Application No. 62-238864, so that the dimensional difference between the copper foil layer and the heat-resistant polymer film layer was ± 0.3. %.

上記で得られたFMCLを、ガラス転移温度である260℃
の雰囲気で1分間加熱した。こうして得られたFMCLの銅
箔をエッチングにより除去したフィルムを260℃の雰囲
気で1分間加熱して常温に戻すと、加熱前のフィルムに
比べて0.05%収縮していた。すなわち、こうして得られ
たFMCLの耐熱性重合体フィルム層の熱収縮率は0.05%で
ある。なお、熱収縮率の測定方法は、加熱温度および時
間を除いてIPC−TM−650 method 2.2.4 method cに準じ
た。
The FMCL obtained above was converted to a glass transition temperature of 260 ° C.
For 1 minute. When the film obtained by removing the copper foil of the FMCL obtained by etching was heated at 260 ° C. for 1 minute and returned to room temperature, the film shrunk by 0.05% compared to the film before heating. That is, the heat shrinkage of the heat-resistant polymer film layer of the FMCL thus obtained is 0.05%. The method of measuring the heat shrinkage was in accordance with IPC-TM-650 method 2.2.4 method c except for the heating temperature and time.

この後、このFMCLの銅箔層は特願昭62−238864号に示
された方法で収縮塑性変形された。このFMCLは、回路形
成させられた後に260℃の半田浴中に浸漬されても皺、
縮れ、凹凸等のほとんどない良好なプリント配線板とな
ることが確認された。
Thereafter, the copper foil layer of this FMCL was subjected to shrinkage plastic deformation by the method shown in Japanese Patent Application No. 62-238864. This FMCL is wrinkled even when immersed in a solder bath at 260 ° C after the circuit is formed.
It was confirmed that a good printed wiring board having almost no shrinkage, unevenness, etc. was obtained.

比較例1 実施例1において、銅箔上に耐熱性重合体フィルム層
を形成させてFMCLとし、銅箔層を収縮(圧縮)塑性変形
させた後に、260℃の雰囲気で加熱を行なわずに回路形
成し、260℃の半田浴中に浸漬すると皺、縮れ、凹凸が
生じてしまった。また、このFMCLの銅箔をエッチングに
より除去したフィルムを260℃の雰囲気で1分間加熱し
て常温に戻すと、加熱前のフィルムに比べて0.25%収縮
していた。
Comparative Example 1 In Example 1, a heat-resistant polymer film layer was formed on a copper foil to form an FMCL. After the copper foil layer was subjected to shrinkage (compression) plastic deformation, the circuit was heated at 260 ° C. without heating. When formed and immersed in a 260 ° C. solder bath, wrinkles, shrinkage, and irregularities occurred. When the film from which the copper foil of the FMCL was removed by etching was heated to 260 ° C. for 1 minute and returned to room temperature, the film shrank by 0.25% compared to the film before heating.

[発明の効果] 本発明により提案された、耐熱性重合体フィルム層の
熱収縮率が0.1%以内であるFMCLは、回路形成後の半田
浸漬後に生じる皺、縮れ、凹凸等が極めて少ないFMCLと
なることができる。
[Effect of the Invention] The FMCL proposed by the present invention, in which the heat-shrinkage rate of the heat-resistant polymer film layer is within 0.1%, is the same as the FMCL in which wrinkles, shrinkage, irregularities and the like generated after immersion of solder after circuit formation are extremely small. Can be.

このようなFMCLは、接着剤層を有さないために耐熱性
は良好であり、接着性、また接着性の熱劣化性、耐折性
等に優れたものである。
Such FMCL has good heat resistance because it does not have an adhesive layer, and is excellent in adhesiveness, heat deterioration property of adhesiveness, folding resistance and the like.

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】耐熱性重合体フイルム層と、該耐熱性重合
体フイルム層の少なくとも一方の表面上に金属箔層を有
するフレキシブル金属箔積層板において、該耐熱性重合
体フイルム層の260℃での熱収縮率が0.1%以下であり、
かつ、該金属箔層が圧縮塑性変形させられ、続いて該耐
熱性重合体フイルム層のガラス転移温度以下の温度で30
秒以上加熱されたものであることを特徴とするフレキシ
ブル金属箔積層板。
A flexible metal foil laminate having a heat-resistant polymer film layer and a metal foil layer on at least one surface of the heat-resistant polymer film layer, wherein the heat-resistant polymer film layer has a temperature of 260 ° C. Has a heat shrinkage of 0.1% or less,
And, the metal foil layer is compression-plastically deformed, and subsequently, at a temperature equal to or lower than the glass transition temperature of the heat-resistant polymer film layer, for 30 seconds.
A flexible metal foil laminate characterized by being heated for at least two seconds.
【請求項2】フレキシブル金属箔積層板が加熱された
後、該フレキシブル金属箔積層板の該金属箔層がさらに
圧縮塑性変形されたものである請求項1記載のフレキシ
ブル金属箔積層板。
2. The flexible metal foil laminate according to claim 1, wherein the metal foil layer of the flexible metal foil laminate is further compression-plastically deformed after the flexible metal foil laminate is heated.
【請求項3】金属箔層が圧縮塑性変形された後に、該金
属箔が全面的にエッチングされたとき、該金属箔層が圧
縮塑性変形させられたことにより、該重合体フイルム層
の収縮率が、エッチング前の該積層板の寸法を基準とし
て、±0.3%以内である請求項(2)記載のフレキシブ
ル金属箔積層板。
3. When the metal foil layer is completely etched after the metal foil layer is compression-plastically deformed, the shrinkage of the polymer film layer is caused by the compression-plastic deformation of the metal foil layer. 3. The flexible metal foil laminate according to claim 2, wherein (a) is within ± 0.3% based on the dimensions of the laminate before etching.
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