JP2699081B2

JP2699081B2 - レーザの波長制御方法

Info

Publication number: JP2699081B2
Application number: JP7952688A
Authority: JP
Inventors: 理若林; 雅彦小若
Original assignee: Komatsu Ltd
Current assignee: Komatsu Ltd
Priority date: 1988-03-31
Filing date: 1988-03-31
Publication date: 1998-01-19
Anticipated expiration: 2013-01-19
Also published as: JPH01251770A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明はレーザの波長制御方法に関し、特に縮小投
影露光装置の光源として用いる狭帯域発振エキシマレー
ザの波長制御方法に関する。

〔従来の技術〕

集積回路等の回路パターンを半導体ウエハ上に露光す
る縮小投影露光装置の光源としてエキシマレーザの利用
が注目されている。これはエキシマレーザの波長が短い
（KrFレーザの波長は約248.4nm）ことから光露光の分解
能の限界を0.5μｍ以下に延ばせる可能性があること、
同じ解像度なら従来用いていた水銀ランプのｇ線やｉ線
に比較して焦点深度が深いこと、レンズの開口数（NA）
が小さくてすみ、露光領域を大きくできること、大きな
パワーが得られること等の多くの優れた利点が期待でき
るからである。

しかしエキシマレーザはその波長が248.35nmと短いた
め、この波長を透過する材料が石英、CaF₂およびMgF₂等
しかなく、しかも均一性および加工精度等の点でレンズ
素材として石英しか用いることができない。そこで色収
差補正をした縮小投影レンズの設計は困難である。この
ため、エキシマレーザを縮小投影露光装置の光源として
用いるにはこの色収差が無視しうる程度までの狭帯域化
が必要となる。

エキシマレーザの狭帯域化のために、発明者等は、エ
キシマレーザのリアミラーとレーザチャンバとの間に複
数の波長選択素子を配設し、この複数の波長選択素子の
選択中心波長を制御する中心波長制御を行うとともにこ
の複数の波長選択素子の透過中心波長を重ね合せる重ね
合せ制御を実行するという構成を提案している。

ところでエキシマレーザはパルス発振するガスレーザ
であるため、各パルスエネルギーにはある程度バラツキ
がある。従ってレーザパワーの変化をモニタする場合、
複数のレーザ出力パルスをサンプリングし、平均化して
レーザパワーを評価することがおこなわれており、上記
重ね合せ制御における中心波長のレーザパワーのモニタ
も複数のレーザ出力パルスをサンプリングし、これを平
均化することにより行なわれる。

このような狭帯域発振エキシマレーザの場合、一般に
起動時には、波長選択素子の重ね合せ状態は不良であ
り、したがってレーザパワーが極めて低く、場合によっ
てはレーザ発振がおこなわれなかったり、レーザ発振さ
れたとしてもパワーモニタのレザーパワー検出限界より
低いパワーでしか発振せず、レーザパワーを検出できな
いこともあった。

そこで発明者等は、レーザ起動時まず重ね合せ制御を
行ないこの重ね合せ制御終了後に中心波長制御及びパワ
ー制御を実行するようにして、速やかに所望の波長とパ
ワーを得る方法を提案している。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、レーザ起動時、まず重ね合せ制御を行うに
あたり、この重ね合せ制御の終了をいかにして検出する
かが問題である。ここで単純に中心波長のパワーが最大
になるような制御のみでは特にパワーの不安定なレーザ
起動時において重ね合せ制御の終了を迅速に検出するこ
とはできない。

そこで、この発明は重ね合せ制御の終了を速やかに検
出することができるレーザの波長制御方法を提供するこ
とを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

そこで、この発明においては、レーザ共振器内に少な
くとも２個の波長選択素子を配置し、これら波長選択素
子の波長選択特性を重ね合せる重ね合せ制御を実行する
レーザの波長制御方法において、前記波長選択素子のう
ちの所定の波長選択素子の透過波長を一定量シフトさせ
てシフト前の中心波長パワーとシフト後の中心波長パワ
ーとを比較し、シフト後の中心波長パワーがシフト前の
中心波長パワーよりも増加した場合は前記波長選択素子
の透過波長を更に前回と同一方向に一定量シフトさせ、
減少した場合は前回と逆方向に一定量シフトさせ、透過
波長のシフト方向の変更が所定回数生じたことにより前
記波長選択素子の波長選択特性が一致したとして検出す
ることを特徴とする。

また、レーザ共振器内に少なくとも２個の波長選択素
子を配置し、これら波長選択素子の波長選択特性を重ね
合せる重ね合せ制御を実行するレーザの波長制御方法に
おいて、前記波長選択素子のうちの所定の波長選択素子
の透過波長を一定量シフトさせてシフト前の中心波長パ
ワーとシフト後の中心波長パワーとを比較して、中心波
長パワーの変化量を算出し、この変化量が少なくとも１
回所定の値以下になったことにより前記波長選択素子の
波長選択特性が一致したとして検出することを特徴とす
る。

〔作用〕

波長選択素子のうちの所定の波長選択素子の透過波長
を一定量シフトさせ、前回の中心波長パワーと今回の中
心波長パワーとを比較し、増加した場合は前回と同一に
シフトさせ、減少した場合は前回と逆方向にシフトさせ
る制御を行ない、シフト方向の変更が所定回数生じると
重ね合せ制御が終了したとして検出する。

また、波長選択素子のうちの所定の波長選択素子の透
過波長を一定量シフトさせる制御を行ない、前回の中心
波長パワーと今回の中心波長パワーの変化量を求め、こ
の変化量が少なくとも１回所定の値以下になると重ね合
せ制御が完了したとして検出する。

〔実施例〕

第１図は、この発明の一実施例をブロック図で示した
ものである。この実施例ではレーザチャンバ107とリア
ミラー106との間に２枚のエタロン101,102を配設するこ
とによって構成される。

この実施例の装置はレーザ出力パワーをレーザチャン
バ107内のレーザ媒質ガスの成分制御およびレーザ媒質
の励起強度制御、（放電電圧制御）によってコントロー
ルするパワー制御系200と、レーザ出力中心波長を制御
する中心波長制御およびエタロン101と102との透過中心
波長の重ね合せを行なう重ね合せ制御を同時にもしくは
交互に実行する波長制御系300とを有している。

まず、定常状態におけるパワー制御系200と波長制御
系300の動作について説明する。エキシマレーザに用い
るレーザ媒質ガスは時間経過と共にそのレーザ媒質とし
ての性質が徐々に劣化し、レーザパワーが低下する。そ
こで励起強度制御系200ではレーザ媒質の成分制御、す
なわちガス交換を行うとともにレーザ媒質の励起強度す
なわち放電電圧を制御することによってレーザ出力を一
定に保つ出力制御がおこなわれている。すなわち第１図
に示すように発振されたレーザ光の一部をビームスプリ
ッタ104で分岐させパワーモニタ202に入射し、レーザパ
ワーの変化をモニタし、CPU203がレーザ電源204を介し
て、レーザ媒質の励起強度を変化させたり、あるいはガ
スコントローラ205を介してレーザ媒質ガスの部分的交
換を実施するなどして、レーザ出力を一定に保つ出力制
御をおこなう。

また、発振されたレーザ光の一部はビームスプリッタ
103でサンプル光として分岐され、発振中心波長及び中
心波長パワー検知器301に加えられる。発振中心波長及
び中心波長パワー検知器301はサンプル光に含まれるエ
キシマレーザ10の発振中心波長λと中心波長のパワーＰ
λを検出する。ここで中心波長のパワーＰλの検出は予
め設定された所定数のレーザ出力パルスをサンプリング
し、これを平均化することによって行われる。

発振中心波長及び中心波長パワー検知器301で検出さ
れたサンプル光の中心波長λおよび中心波長パワーＰλ
は波長コントローラを構成する中央処理装置（CPU）302
に入力される。

CPU302はドライバ303,304を介してエタロン101,102の
波長選択特性（透過中心波長および選択中心波長）を制
御し、サンプル光、すなわちエキシマレーザの出力光の
中心波長が予め設定された所望の波長に一致し（中心波
長制御）、かつ中心波長パワーが最大となるようにする
（重ね合せ制御）。ここでドライバ303,304によるエタ
ロン101,102の波長選択特性の制御はエタロンの温度の
制御、角度の制御、エアギャップ内の圧力の制御、ギャ
ップ間隔の制御等によって行なう。

中心波長制御は、具体的にはエタロン101,102のうち
少なくともフリースペクトラルレンジの小さい方のエタ
ロンの角度等を制御して該エタロンの透過波長をシフト
させ、これにより出力中心波長すなわち発振中心波長及
び中心波長パワー検知器301で所望の波長となるように
制御する。また重ね合せ制御は、上述したフリースペク
トラルレンジの小さい方のエタロン以外のエタロン、す
なわち、フリースペクトラルレンジの大きい方のエタロ
ンの透過中心波長を所定単位波長づつシフトし、エタロ
ン101,102の透過中心波長が重なり、発振中心波長およ
び中心波長パワー検知器301で検出された中心波長パワ
ーが最大となるように制御する。

第２図は、第１図に示した構成をとる狭帯域エキシマ
レーザの起動時における制御の一実施例を示したもので
ある。レーザ起動時にはエタロン101,102の重ね合せ状
態は良好とはいえず、この状態のレーザ光はそのまま図
示しない露光装置の光源として用いることはできない。
そこでレーザ起動時にはレーザパワーが安定するまで第
１図に示すシャッタ108を閉じ、露光装置へ出力される
レーザ光を遮断する（ステップ401）。

続いて、この装置の発振が開始される（ステップ40
2）。発振が開始されると、まず重ね合せ制御が実行さ
れる。（サブルーチン403）。この重ね合せ制御はエタ
ロン101,102のうちフリースペクトラルレンジの大きい
エタロンの透過中心波長を所定単位波長づつ順次シフト
することにより行なう。ここで重ね合せ制御の迅速化を
はかるためにエタロンの中心波長の単位シフト量は定常
状態の重ね合せ制御における単位シフト量より大きく設
定されている。また中心波長パワーは前述したように所
定数のレーザ出力パルスをサンプリングし、これを平均
化することにより検出しているが、レーザ起動時におい
ては、重ね合せ制御の迅速化のために上記サンプリング
パルス数を定常時のサンプリングパルス数より少なく設
定し、レーザ出力パワーの検出が素速く行なわれるよう
にしている。

サブルーチン403の詳細は第３図に示される。まず、
ステップ501において、中心波長パワーを読み込む。こ
こでは発振されたレーザパルスを所定数サンプリング
し、平均化して中心波長パワーを算出している。この
ような処理を実行する理由は、エキシマレーザがパルス
ガスレーザであるため、パスス毎に出力レーザ光パワー
のバラツキがあるためである。

次に、ステップ502において今回サンプリングした
（読み込んだ）中心波長パワーλと前回サンプリング
した中心波長パワーλ−１との差Δλを算出する。
（Δλ＝λ−λ−１）。

次にステップ503において、ステップ502で算出した値
Δλが正（Δλ＞０）であるか否かの判断がなされ
る。ここでΔλ＞０であると、ステップ504に分岐
し、前回制御時（サンプリング時）にエタロン101,102
のうちフリースペクトラルレンジの大きいエタロン（以
下これを＃E₂という）の透過波長を短波長側にシフトし
たか否かの判断がなされる。この判断において短波長側
にシフトしたと判断されるとステップ505に分岐し、エ
タロン＃E₂の透過波長を更に所定量（単位シフト量）短
波長側にシフトさせる。また、ステップ504において前
回エタロン＃E₂の透過波長を長波長側にシフトしたと判
断されるとステップ506に移行し、エタロン＃E₂の透過
波長を所定量（単位シフト量）長波長側にシフトさせ
る。

また、ステップ503において、Δλ≦０と判断され
るとステップ507に移行する。ステップ507では前回の制
御時（サンプリング時）にエタロン＃E₂の透過波長を短
波長側にシフトしたか否かの判断がなされる。ここで短
波長側にシフトしたと判断されるとステップ508に分岐
し、エタロン＃E₂の透過波長を所定量（単位シフト量）
長波長側にシフトさせる。また、ステップ507におい
て、前回エタロン＃E₂の透過波長を長波長側にシフトし
たと判断されると、ステップ509に移行し、エタロン＃E
₂のと透過波長を所定量（単位シフト量）短波長側にシ
フトさせる。

このように、重ね合せ制御サブルーチン403において
は、値Δλの符号と前回の透過波長のシフト方向とに
もとづき出力レーザ光パワーを増大させるエタロン＃E₂
の透過波長シフト方向を判断し、この判断した方向にエ
タロン＃E₂の透過波長を単位シフト量シフトさせる。

なお、この重ね合せ制御サブルーチン403において重
ね合せ制御の迅速化をはかるため、上記単位シフト量は
定常状態の重ね合せ制御における単位シフト量より大き
く設定されている。

ところで、重ね合せ制御における中心波長パワーの検
出は前述したように所定数のレーザ出力パルスをサンプ
リングし、これを平均化することにより行なわれるが、
レーザ起動時においては、重ね合せ制御の迅速化のため
に上記サンプリング数を定常時のサンプリング数より少
なく設定される。サンプリング数を少なくすることによ
りサンプリングに要する時間は短くなり、これによって
も重ね合せ制御に要する時間は大幅に短縮される。

なお、上述したように単位シフト量を大きくした場合
Δλが大きくなるため、サンプリング数を少なくして
もΔλの変化を充分に検知することができる。

なお、上述した重ね合せ制御サブルーチン404におい
てはエタロン101,102のうちフリースペクトラルレンジ
の大きい方のエタロン＃E₂の透過波長を単位シ量ずつシ
フトするように構成したが、エタロン101,102のうちフ
リースペクトラルレンジの小さい方のエタロン（以下こ
れを＃E₁という）の透過波長をシフトするように構成し
てもよい。

第４図はこのように構成したサブルーチン403の他の
構成例を示したものである。このサブルーチンはステッ
プ504′,507′における判別対象がエタロン＃E₂からエ
タロン＃E₁に代わり、ステップ505′,506′,508′,50
9′における処理対象がエタロン＃E₂からエタロン＃E₁
に代わるだけであとの判断内容、処理内容は第３図に示
したものと同様である。

また、第３図に示した重ね合せ制御においてはエタロ
ン101,102のうちフリースペクトラルレンジの大きい方
のエタロン＃E₂の透過波長を単位シフト量ずつシフトす
るように構成し、第４図に示した重ね合せ制御において
はエタロン101,102のうちフリースペクトラルレンジの
小さい方のエタロン＃E₁の透過波長を単位シフト量ずつ
シフトするように構成したが、エタロン101とエタロン1
02の相対位置を変化させれば重ね合せ制御が可能で、例
えばエタロン101,102の両者の透過波長を、同時に、互
いに異なるシフト量ずつシフトするように構成してもよ
い。

重ね合せ制御が終了したか否かはサブルーチン404で
判断される。

サブルーチン404の詳細を説明する前にサブルーチン4
04における重ね合せ制御終了の検出原理について説明す
る。このサブルーチン404においては波長のシフト方向
を変更した回数を計数し、この計数値が所定の値ｋ（≧
１）に達したときに重ね合せ制御が終了したと判断す
る。

第５図はこのサブルーチン404における重ね合せ制御
終了の判断の様子を示したものである。なお、第５図に
おいては値ｋを１として示してある。まず、第５図
（ａ）に示すようにエタロン＃E₁とエタロン＃E₂の重ね
合せが不良であり、レーザ発振光のパワーは小さいとす
る。この状態で第３図に示す重ね合せサブルーチン403
が実行されると、フリースペクトラルレンジの大きいエ
タロン＃E₂の透過波長が所定のシフト量づつ矢印方向に
順次シフトされる（第５図（ｂ）〜（ｅ））。第５図
（ｅ）の状態になるとレーザの出力パワーは第５図
（ｄ）の状態に比較して減少するので、次にはシフト方
向が逆となり、エタロン＃E₂の透過波長は第５図（ｆ）
に示すように今までと逆の方向にシフトされる。この逆
方向のシフトにより重ね合せ終了と判断する。なお、上
述した説明は値ｋが１の場合を示しているが、ｋが２以
上の場合は複数回（ｋ回）シフト方向が変更された後重
ね合せ終了と判断する。

このサブルーチン404の詳細は第６図に示される。第
６図において、まず値Ｎを０にクリアする（ステップ60
1）。続いて前回とシフト方向を変更したか否かの判断
を行なう（ステップ602）。ここでシフト方向を変更し
ないと判断されると値Ｍを０にクリアする。値Ｍは後述
する説明から明らかなになるようにシフト方向を変更し
た数を示す。ステップ602で前回とシフト方向を変更し
たと判断されると値Ｎを１として（ステップ604）、続
いて値ＭにＮを加算し、これを新たな値Ｍにする処理を
実行する（ステップ605）。

次に値Ｍが所定の値ｋより大きいか否かの判断を行な
う（ステップ606）。ここでＭ≧ｋが成立すると値Ｍを
０にクリアし（ステップ608）、続いて、このときの中
心波長パワーＰが所定の値ｉよりも大きいか否かの判断
を行なう（ステップ609）。ここでＰ≧ｉが成立すると
重ね合せ終了と判断する（ステップ611）。ただし、ス
テップ606でＭ≧ｋが成立しなかった場合およびステッ
プ609でＰ≧ｉが成立しなかった場合は重ね合せ不十分
（ステップ607,610）としてステップ601に戻る。なおス
テップ609でＰ≧ｉの判断を行なうのは、パワーが十分
でないとノイズのために誤判断することがあるからであ
る。

第７図は、サブルーチン404の他の例を示したもので
ある。この例において前回と今回の中心波長パワーの変
化分ΔＰλを算出し、この変化分ΔＰλが所定の値ΔP₀
以下になった回数がｋ（≧１）回に達すると重ね合せ制
御終了と判断している。この判断の様子を第７図に示
す。第７図（ａ）の状態において第３図に示す重ね合せ
サブルーチン403が実行されると、フリースペクトラル
レンジの大きいエタロン＃E₂の透過波長が所定のシフト
量づつ矢印方向に順次シフトされ（第５図（ｂ）〜
（ｄ））、これに応じて中心波長パワーの変化分ΔＰは
順次小さくなる。第５図（ｄ）の状態になり中心波長パ
ワーの変化分｜ΔP|が所定の値ΔP₀以下となると重ね合
せ終了と判断する。なお、上述した説明は値ｋが１の場
合を示しているが値ｋが２以上の場合は｜ΔP|≦ΔP₀が
ｋ回成立した後重ね合せ終了と判断する。

この場合のサブルーチン404の詳細は第８図に示され
る。まず値Ａを０にクリアする（ステップ612）。続い
て中心波長パワーの変化分｜ΔP|が所定の値ΔP₀よりも
小さいか否かの判断を行なう（ステップ613）。ここで
｜ΔP|≦ΔP₀でないと判断されると値Ｂを０にクリアす
る。値Ｂは後述する説明から明らかになるように｜ΔP|
≦ΔP₀が成立した回数を示す。ステップ613でΔＰ≦ΔP
₀が成立すると判断されると値Ａを１として（ステップ6
15）、続いて値ＢにＡを加算し、これを新たな値Ｂにす
る処理を実行する（ステップ616）。

次に値Ｂが所定の値ｈより大きいか否かの判断を行な
う（ステップ617）。ここでＢ≧ｈが成立すると値Ｂを
０にクリアし（ステップ619）、続いて、このときのレ
ーザ出力パワーＰが所定の値ｉよりも大きいか否かの判
断を行なう（ステップ620）。ここでＰ≧ｉが成立する
と重ね合せ終了と判断する（ステップ622）。ただし、
ステップ617でＢ≧ｈが成立しなかった場合およびステ
ップ620でＰ≧ｉが成立しなかった場合は重ね合せ不十
分（ステップ618,621）としてステップ621に戻る。なお
ステップ620でＰ≧ｉの判断を行なうのは、パワーが十
分でないとノイズのために誤判断することがあるからで
ある。

第９図は重ね合せ終了サブルーチン404の更に他の例
を示したものである。この例においては、シフト方向の
変更の回数と、中心波長パワーの変化分｜ΔP|が所定の
値ΔP₀より小さくなった回数とにもとづき重ね合せ制御
の終了を判断している。このフローはステップ601から6
08までが第６図に示したステップ601から608までと同一
であり、ステップ612からステップ622までが第８図に示
したステップ612からステップ622までと同一である。各
ステップの処理は第６図、第８図を参照するものとし説
明は省略する。

重ね合せ終了サブルーチン404によって重ね合せ制御
が終了したと判断される中心波長を所望の波長に一致さ
せる中心波長制御を実行し（ステップ405）、所望の波
長になると（ステップ406）、次に出力パワーを所定の
パワーに固定するパワー制御を実行する（ステップ40
7）。このパワー制御により出力パワーが所望のパワー
になると定常時制御サブルーチン409に移行する。この
定常時制御サブルーチン409の詳細は第10図に示され
る。

定常時制御サブルーチン409は、発振中心波長を所定
波長に固定する中心波長制御700、エタロン101と102の
透過波長を重ね合せる重ね合せ制御710および、レーザ
の平均パルスエネルギを一定に制御するパワー制御720
を平行して行なう。

中心波長制御700は、まず、中心波長が許容範囲にあ
るか否かを判断し（ステップ701）、許容範囲にある
と、シャッタ108を開にして（ステップ702）、中心波長
を所望の波長に一致するように制御する中心波長制御を
実行する（ステップ703）。また、ステップ701で中心波
長が許容範囲にないと判断された場合は波長異常出力を
発生し（ステップ704）、シャッタ108を閉にし（ステッ
プ705）、その後中心波長制御ステップ703に移行する。

重ね合せ制御710は、まず、重ね合せサブルーチン711
を実行する。この重ね合せサブルーチン711は第３図ま
たは第４図に示したものと同様のものである。重ね合せ
サブルーチン711が終了すると重ね合せ終了サブルーチ
ン712に移行する。この重ね合せ終了サブルーチン712は
第６図、第８図または第９図に示したものと同様であ
る。重ね合せサブルーチン717で重ね合せ制御が終了し
たと判断されると、シャッタ108を開き（ステップ71
3）、重ね合せサブルーチン711に戻る。また重ね合せサ
ブルーチン712で重ね合せ制御が終了していないと判断
されると、重ね合せ異常出力を発生し（ステップ71
4）、シャッタ108を閉じ（ステップ715）、その後再び
重ね合せサブルーチン711に移行する。

パワー制御720は、まず、レーザ出力パワーが許容範
囲か否かの判断を行ない（ステップ721）、許容範囲に
あると、続いてレーザ出力パワーを所望のパワーにロッ
クするパワーロック制御を行ない（ステップ722）、そ
の後シャッタ108を開にする（ステップ723）。また、ス
テップ721でパワーが許容範囲にないと判断されると、
パワー異常出力を発生し（ステップ724）、シャッタ108
を閉じる（ステップ725）。

定常時制御サブルーチン409の実行により、所望の波
長及びパワーになると（ステップ410）、露光準備完了
信号を出力し（ステップ411）、その後シャッタ108を開
にする（ステップ412）。

なお、以上の実施例では、レーザチャンバとリアミラ
ーの間にフリースペクトラルレンジの小さなエタロンと
フリースペクトラルレンジの大きなエタロンの２枚を配
設して狭帯域発振するように構成しているが２枚以上の
エタロンを配設してもよく、またエタロン２枚のかわり
に１つのエタロンと１つの回折格子を用いても同様に構
成することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したようにこの発明によれば重ね合せ制御の
終了を迅速かつ、確実に検出することができレーザ起動
に要する時間を大幅に短縮することができる。またこの
発明の方法によって定常状態における重ね合せ状態も検
知することができ、効率的なレーザ発振が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すブロック図、第２図
乃至第４図および第６図、第８図、第９図、第10図はこ
の実施例の動作を説明するフローチャート、第５図、第
７図はこの実施例の動作を説明するスペクトル図であ
る。 101,102……エタロン、200……パワー、203……CPU、20
4……レーザ電源、205……ガスコントローラ、300……
波長制御系。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】レーザ共振器内に少なくとも２個の波長選
択素子を配置し、これら波長選択素子の波長選択特性を
重ね合せる重ね合せ制御を実行するレーザの波長制御方
法において、前記波長選択素子のうちの所定の波長選択素子の透過波
長を一定量シフトさせてシフト前の中心波長パワーとシ
フト後の中心波長パワーとを比較し、シフト後の中心波
長パワーがシフト前の中心波長パワーよりも増加した場
合は前記波長選択素子の透過波長を更に前回と同一方向
に一定量シフトさせ、減少した場合は前回と逆方向に一
定量シフトさせ、透過波長のシフト方向の変更が所定回
数生じたことにより前記波長選択素子の波長選択特性が
一致したとして検出することを特徴とするレーザの波長
制御方法。
【請求項２】レーザ共振器内に少なくとも２個の波長選
択素子を配置し、これら波長選択素子の波長選択特性を
重ね合せる重ね合せ制御を実行するレーザの波長制御方
法において、前記波長選択素子のうちの所定の波長選択素子の透過波
長を一定量シフトさせてシフト前の中心波長パワーとシ
フト後の中心波長パワーとを比較して、中心波長パワー
の変化量を算出し、この変化量が少なくとも１回所定の
値以下になったことにより前記波長選択素子の波長選択
特性が一致したとして検出することを特徴とするレーザ
の波長制御方法。