JP2695623B2 - 光学式エンコーダ - Google Patents

光学式エンコーダ

Info

Publication number
JP2695623B2
JP2695623B2 JP6315563A JP31556394A JP2695623B2 JP 2695623 B2 JP2695623 B2 JP 2695623B2 JP 6315563 A JP6315563 A JP 6315563A JP 31556394 A JP31556394 A JP 31556394A JP 2695623 B2 JP2695623 B2 JP 2695623B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
scale
uniform
width
optical encoder
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP6315563A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH08145724A (ja
Inventor
辰彦 松浦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitutoyo Corp
Original Assignee
Mitutoyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=18066855&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2695623(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by Mitutoyo Corp filed Critical Mitutoyo Corp
Priority to JP6315563A priority Critical patent/JP2695623B2/ja
Priority to DE69521270T priority patent/DE69521270T2/de
Priority to EP95308004A priority patent/EP0714015B1/en
Priority to US08/559,113 priority patent/US5604345A/en
Priority to CN95119694.4A priority patent/CN1084882C/zh
Publication of JPH08145724A publication Critical patent/JPH08145724A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2695623B2 publication Critical patent/JP2695623B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/36—Forming the light into pulses
    • G01D5/366—Particular pulse shapes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この本発明は、光学式エンコーダ
に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学式エンコーダは通常、それぞれ所定
ピッチの格子が形成されて相対変位するメインスケール
とインデックススケールが平行配置され、これらに平行
光を照射する光源と、両スケールの重なり状態により変
化する明暗パターン出力光を検出する受光素子とから構
成される。スケールの格子は一般に、透過部と不透過部
とが１：１の幅で交互に一定ピッチで配列されたものと
する。この場合、各スケールに平行光を照射したとき、
回折等を考慮しなければ、その透過光量パターンは矩形
波分布となる。これを矩形波格子という。
【０００３】メインスケールとインデックススケールが
相対変位したときに、それらの矩形波格子の重なり具合
に応じて得られる出力光量は、本来的には三角波信号に
なるはずであるが、実際には回折等があるために疑似的
な正弦波状になる。この正弦波出力信号を変位信号とし
て相対位置検出が行われる。一般には、インデックスス
ケールとして、互いに９０°位相のずれたいわゆるＡ相
とＢ相の正弦波信号を得るように、一対のスケールが用
意される。
【０００４】上述した疑似正弦波信号からなる変位信号
は、理想的な正弦波信号波形からのズレ、即ち波形歪が
大きく、且つその歪率は特にメインスケールとインデッ
クススケールの間隔の変動により大きく変動する。この
歪率の変動は、主要には変位信号に含まれる奇数次（３
次，５次，…）の高調波成分によるものであり、このよ
うな歪率変動のある変位信号を用いて位置測定を行う
と、大きな測定誤差が発生する。
【０００５】このような変位信号の波形歪に伴う測定誤
差を低減する技術は、いくつか提案されている。例え
ば、スケール上に僅かに位相をずらした二つの矩形波格
子パターン部を設けて、それらの出力を加算して丁度高
調波成分を相殺するようにしたものがある（特開平３−
４８１２２号公報参照）。また、一方のスケール上の格
子パターン自体を正弦波状として、高調波成分が出力に
含まれないようにしたものも提案されている（米国特許
第４，７８２，２２９号参照）。このように矩形波格子
との組み合わせで基本的に正弦波出力のみが得られるよ
うにパターン形成した格子を、以下では正弦波格子とい
う。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来技
術では、ある程度波形歪が低減できるが、例えば精密機
械工作等における位置測定に適用するにはまだ十分に高
精度化できていない。また格子パターンそのものを正弦
波状に形成することは、微細ピッチの場合特に製造技術
的に難しい。
【０００７】この発明は、上記事情を考慮してなされた
もので、スケール格子幅の制御のみで効果的に位相信号
の高調波歪を除去して高精度化を図った光学式エンコー
ダを提供することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明は、それぞれに
所定ピッチで格子が形成されて互いに平行配置されて相
対変位する第１，第２のスケールと、前記第１のスケー
ルに平行光を照射する光源と、前記第１のスケールの透
過光または反射光による前記第２のスケールの透過光を
検出する受光手段とを有する光学式エンコーダにおい
て、前記第１，第２のスケールの一方は、透過部と不透
過部の幅及び配列ピッチが一定の均一格子であり、前記
第１，第２のスケールの他方は、前記均一格子の配列ピ
ッチと同じ周期の正弦波波形の振幅を３以上の複数レベ
ルで分割したときの各レベルで得られる幅を複数個の不
透過部又は透過部の幅として割り当てて透過部と不透過
部を前記均一格子と同じ配列ピッチで配列した不均一格
子であることを特徴としている。
【０００９】この発明はまた、上記光学式エンコーダに
おいて、第１のスケールはメインスケールであり、第２
のスケールは、メインスケールとの関係で互いに９０°
位相がずれた正弦波出力が得られるように配置された一
対のインデックススケールであることを特徴としてい
る。この発明はまた、上記光学式エンコーダにおいて、
第１のスケールはメインスケールであり、受光手段は第
２のスケールを兼ねた受光素子アレイであることを特徴
としている。この発明は更に、上記光学式エンコーダに
おいて、不均一格子は、幅の異なる複数の不透過部を、
透過部の幅のばらつきが小さくなるように、あるいは幅
の異なる複数の透過部を、不透過部の幅のばらつきが小
さくなるように分散させて配置して構成されていること
を特徴としている。
【００１０】
【作用】この発明によると、一方のスケールは均一格
子、即ち通常の矩形波格子であり、他方のスケールは、
均一格子の配列ピッチと同じ周期の正弦波波形の振幅を
３以上の複数レベルで分割したときの各レベルで得られ
る幅を複数個の不透過部又は透過部の幅として割り当て
て透過部と不透過部を前記均一格子と同じ配列ピッチで
配列した不均一格子としている。この不均一格子はいわ
ば、正弦波波形の振幅情報をパルス幅に持たせたものと
いうことができ、正弦波格子と実質同じ働きをする。こ
のような均一格子のスケールと不均一格子のスケールの
組み合わせにより、高調波成分を除いた正弦波の変位信
号を出力することができ、この変位信号を用いて高精度
の位置測定が可能になる。これら均一格子のスケールと
不均一格子のスケールは、いずれか一方をメインスケー
ル、他方をインデックススケールとすればよい。
【００１１】またこの発明によると、スケールの製造に
正弦波パターンの加工を必要とせず、従って容易に高精
度の格子パターンを持つスケールを作ることができる。
これは、光学式エンコーダの位置測定精度の向上につな
がる。更に、不均一格子のレイアウトとして、幅の異な
る複数の不透過部を、透過部の幅のばらつきが小さくな
るように分散させて配置すると、透過部の幅が均一化さ
れて空間的な出力光量分布の均一化が図られる。逆に、
幅の異なる複数の透過部を、不透過部の幅のばらつきが
小さくなるように分散させて配置すると、不透過部の幅
が均一化される。これは、インデックススケールを兼ね
た受光素子アレイを形成する場合に、受光素子の配線領
域を確保する上で有利になる。またこれらの分散配置を
行うと、微細なスケールピッチの場合にも高い加工精度
が得られる。これも、位置測定精度の向上につながる。
【００１２】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の実施例を
説明する。図１は、この発明の一実施例に係る透過型の
リニアエンコーダの構成である。メインスケール１１と
インデックススケール１２（１２ａ，１２ｂ）とが平行
に配置されて、例えばメインスケール１１が図の矢印で
示す方向に変位できるようになっている。メインスケー
ル１１の上方に平行光を照射する光源が配置され、イン
デックススケール１２の後方に透過光の光量を検出する
受光素子１３（１３ａ，１３ｂ）が配置されている。受
光素子１３はフォトダイオード又はフォトトランジスタ
等である。
【００１３】図２は、メインスケール１１とインデック
ススケール１２の格子パターン例を示している。図示の
ようにメインスケール１１は、光透過部１４とＣｒ膜蒸
着による不透過部１５とが１０μm ずつ交互に配列され
た２０μm ピッチの均一格子、即ち矩形波格子である。
これに対してインデックススケール１２は、光透過部１
６と不透過部１７の幅を各部で異ならせた不均一格子と
なっている。各部の幅は、これが実質正弦波格子として
機能するように一定の規則に従って定められるが、この
点は後述する。
【００１４】インデックススケール１２は不均一格子で
あるが、格子ピッチはメインスケール１１と同じであ
り、図２の例では２０μm ピッチである。またインデッ
クススケール１２は、図２に示すように、隣接する不透
過部と透過部を１格子として、１０格子で１セットを構
成している。そして対をなす各スケール１２ａ，１２ｂ
共に、任意のｎ（≧１）セットの格子で構成され、受光
素子１３はこれらｎセットの格子群の出力をカバーする
ように受光面が構成される。
【００１５】図２では、メインスケール１１とインデッ
クススケール１２の一般的相対位相関係を示している
が、図１に示すように実際には対をしてインデックスス
ケール１２ａ，１２ｂが配置される。これらのスケール
対１２ａ，１２ｂは、メインスケール１１との関係で互
いに９０°位相がずれた状態に配置され、これにより、
受光素子１３ａ，１３ｂには互いに９０°位相がずれ
た、いわゆるＡ相出力とＢ相出力が得られるようになっ
ている。
【００１６】インデックススケール１２の不均一格子の
具体的な設計法を次に説明する。まず図３に示すよう
に、スケール格子ピッチ２０μm の範囲を１周期とする
正弦波波形を描く。この正弦波波形を振幅方向に、この
例では１０等分して、正弦波波形を近似する階段波を描
く。そして各振幅レベルの階段波の幅、即ち図３に示す
３μm ，５μm ，６．６μm ，…を図２に示すように不
透過部１７の幅として展開して、２０μm ピッチで配列
する。
【００１７】図２のインデックススケール１２の不均一
格子配列は、正弦波波形の振幅情報をパルス幅の情報と
して、１０格子に分散させたものということができる。
従って、図２に示したメインスケール１１とインデック
ススケール１２の関係は、図４に示すような２０μm ピ
ッチの矩形波格子からなるメインスケールと同じく２０
μm 周期の正弦波格子からなるインデックススケールの
関係と等価である。これにより、高調波成分が除去され
た正弦波出力が得られることを次に説明する。
【００１８】いま、図４に示すメインスケールとインデ
ックススケールを考える。インデックススケールがメイ
ンスケールと同じ矩形波格子であると仮定して、例えば
インデックススケールを図４の矢印ｘ方向に相対変位さ
せたとき、これらに平行光を照射したときの透過光量変
化Ｉ（ｘ）は、次式数１で表される。
【００１９】
【数１】
【００２０】ただし数１では、直流成分は、最終的に反
転相の差動により相殺されるので無視している。数１の
Ｐは格子ピッチ、Ａn は第ｎ項の振幅である。この数１
で表される光量変化Ｉ（ｘ）は、図５のようになる。ｎ
＝１が基本波であり、ｎ＝２（３次高調波）、ｎ＝３
（５次高調波）までを図示している。
【００２１】このような光量変化に対して、図４に示す
ような正弦波格子のインデックススケールを用いた場
合、図５に示すようなフィルタがかかることになり、ス
ケール格子ピッチの基本波出力のみが得られる。即ち正
弦波出力は、数１において、ｎ＝１とおいて、数２のよ
うになる。
【００２２】
【数２】
【００２３】また、数１において、ｎ＝２，３，４，…
のときは、Ｉ（ｘ）＝０となり、高調波成分が０とな
る。以上のようにこの実施例によると、均一格子による
メインスケールと不均一格子によるインデックススケー
ルの組み合わせにより、高調波歪を低減した正弦波出力
信号を得ることができる。図２のインデックススケール
１２において、透過部１６と不透過部１７の関係を逆に
しても、同様である。
【００２４】図２では、不均一格子のインデックススケ
ール１２は、図３に示した正弦波の１０等分した振幅情
報の高い方から順にその幅の情報を不透過部の幅として
割り当てたが、正弦波１周期の情報を含む１セットの格
子群の中での不透過部の配置は、任意である。図２から
明らかなように、均一格子であるメインスケール１１と
の関係で、インデックススケール１２の不透過部を任意
に分散配置しても、１ピッチ変位する間に１セット単位
で同じ出力変化が得られるからである。
【００２５】図６は、図２に示すインデックススケール
１２より好ましい格子レイアウト例を示している。図６
（ａ）は、幅の最も狭い不透過部と幅の最も広い不透過
部とを隣接させ、２番目に狭い不透過部と２番目に広い
不透過部を隣接させる、という方法で、不透過部を分散
配置したものである。このような分散配置を行うことに
より、１セット全体として、透過部の幅を図２に比べて
均一化することができる。これは１セット内での空間的
光量分布を均一にする。また、製造上も微細なスリット
がなくなるため、有利である。
【００２６】図６（ｂ）は、図２のインデックススケー
ル１２の透過部１６と不透過部１７を逆にした場合に、
幅の最も狭い透過部と幅の最も広い透過部とを隣接さ
せ、２番目に狭い透過部と２番目に広い透過部を隣接さ
せる、という方法で、透過部を分散配置したものであ
る。このような分散配置を行うと、１セット全体とし
て、不透過部の幅を均一化することができる。
【００２７】図７は、この発明を反射型のリニアエンコ
ーダに適用した実施例である。メインスケール２１は、
先の実施例と同様に透過部と不透過部（即ち反射部）が
１：１の幅で配列された均一格子である。インデックス
スケール２２（２２ａ，２２ｂ）は、先の実施例と同様
の不均一格子である。インデックススケール２２と同じ
側にＬＥＤ等の光源２４と回折格子２５が配置される。
【００２８】回折格子２５は均一格子であって、これを
通して±１次回折光がメインスケール２１に照射され、
メインスケール２１からの反射光がインデックススケー
ル２２に入る。このインデックススケール２２の透過光
が受光素子２３（２３ａ，２３ｂ）で受光される。この
実施例によっても、先の実施例と同様に高調波歪のない
正弦波出力信号を得ることができる。
【００２９】図８は、インデックススケールを省いた実
施例のリニアエンコーダである。メインスケール３１
は、先の実施例と同様に透過部と不透過部が１：１の幅
で配列された均一格子とする。これに対して、その透過
光を検出する受光素子アレイ３２が配置される。受光素
子アレイ３２は、その各受光面の配列がインデックスス
ケールを兼ねるのであって、これを先の実施例のインデ
ックススケールと同様の不均一格子の配列とする。これ
により、先の実施例と同様に、高調波歪のない正弦波出
力を得ることができる。
【００３０】図８の実施例においては、インデックスス
ケールを兼ねる受光素子アレイ３２の受光面配列につい
て、図６（ｂ）の分散配置を適用することが好ましい。
このとき図６（ｂ）の透過部１６が受光面となり、不透
過部１７が配線領域となる。従って、図２で説明したレ
イアウトに比べて、受光素子の配線領域を広く確保する
ことができる。
【００３１】図９は、この発明をロータリーエンコーダ
に適用した実施例である。図示のようにこのエンコーダ
は、回転するメインスケール４１と、インデックススケ
ール４２（４２ａ，４２ｂ）と、受光素子４３（４３
ａ，４３ｂ）とにより構成される。先の実施例と同様
に、メインスケール４１を均一格子とし、インデックス
スケール４２を不均一格子とすることにより、やはり高
調波歪のない出力を得ることができる。
【００３２】以上の実施例では、メインスケール側を均
一格子とし、インデックススケール側を不均一格子とし
たが、これを逆にすることもできる。また実施例では、
不均一格子の構成例として、正弦波振幅を１０等分して
その情報を１０格子に分散させて１セットとしたが、分
割数は３以上の範囲で任意に選ぶことができる。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたようにこの発明による光学式
エンコーダでは、一方のスケールを均一格子とし、他方
のスケールは、均一格子の配列ピッチと同じ周期の正弦
波波形の振幅を複数レベルで分割したときの各レベルで
得られる幅を複数個の不透過部又は透過部の幅として割
り当てて透過部と不透過部を配列した不均一格子とし
て、高調波成分を除いた正弦波の変位信号を出力するこ
とができるようにしている。従ってこの変位信号を用い
て高精度の位置測定が可能になる。この発明ではまた、
スケールの製造に正弦波パターンの加工を必要としない
から、容易に高精度の格子パターンを持つスケールを作
ることができ、これも光学式エンコーダの位置測定精度
の向上につながる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の一実施例に係る透過型リニアエン
コーダを示す。
【図２】 同実施例のメインスケールとインデックスス
ケールの格子パターンを示す。
【図３】 同実施例のメインスケール設計法を説明する
ための図である。
【図４】 実施例と等価のスケール構成を示す。
【図５】 矩形波格子の透過光量変化を示す。
【図６】 他の実施例のインデックススケールの格子パ
ターンを示す。
【図７】 他の実施例の反射型リニアエンコーダを示
す。
【図８】 他の実施例の透過型リニアエンコーダを示
す。
【図９】 他の実施例のロータリーエンコーダを示す。
【符号の説明】
１１…メインスケール、１２ａ，１２ｂ…インデックス
スケール、１３ａ，１３ｂ…受光素子、１４，１６…透
過部、１５，１７…不透過部、２１…メインスケール、
２２ａ，２２ｂ…インデックススケール、２３ａ，２３
ｂ…受光素子、２４…光源、２５…回折格子、３１…メ
インスケール、３２…受光素子アレイ、４１…メインス
ケール、４２ａ，４２ｂ…インデックススケール、４３
ａ，４３ｂ…受光素子。

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 それぞれに所定ピッチで格子が形成され
    て互いに平行配置されて相対変位する第１，第２のスケ
    ールと、前記第１のスケールに平行光を照射する光源
    と、前記第１のスケールの透過光または反射光による前
    記第２のスケールの透過光を検出する受光手段とを有す
    る光学式エンコーダにおいて、 前記第１，第２のスケールの一方は、透過部と不透過部
    の幅及び配列ピッチが一定の均一格子であり、 前記第１，第２のスケールの他方は、前記均一格子の配
    列ピッチと同じ周期の正弦波波形の振幅を３以上の複数
    レベルで分割したときの各レベルで得られる幅を複数個
    の不透過部又は透過部の幅として割り当てて透過部と不
    透過部を前記均一格子と同じ配列ピッチで配列した不均
    一格子であることを特徴とする光学式エンコーダ。
  2. 【請求項２】 前記第１のスケールはメインスケールで
    あり、前記第２のスケールは、メインスケールとの関係
    で互いに９０°位相がずれた正弦波出力が得られるよう
    に配置された一対のインデックススケールであることを
    特徴とする請求項１記載の光学式エンコーダ。
  3. 【請求項３】 前記第１のスケールはメインスケールで
    あり、前記受光手段は前記第２のスケールを兼ねた受光
    素子アレイであることを特徴とする請求項１記載の光学
    式エンコーダ。
  4. 【請求項４】 前記不均一格子は、幅の異なる複数の不
    透過部又は透過部を、透過部又は不透過部の幅のばらつ
    きが小さくなるように分散させて配置して構成されてい
    ることを特徴とする請求項１記載の光学式エンコーダ。
JP6315563A 1994-11-25 1994-11-25 光学式エンコーダ Expired - Fee Related JP2695623B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6315563A JP2695623B2 (ja) 1994-11-25 1994-11-25 光学式エンコーダ
DE69521270T DE69521270T2 (de) 1994-11-25 1995-11-09 Optischer Kodierer
EP95308004A EP0714015B1 (en) 1994-11-25 1995-11-09 Optical encoder
US08/559,113 US5604345A (en) 1994-11-25 1995-11-16 Optical encoder having a combination of a uniform grating and a non-uniform grating
CN95119694.4A CN1084882C (zh) 1994-11-25 1995-11-24 光编码器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP6315563A JP2695623B2 (ja) 1994-11-25 1994-11-25 光学式エンコーダ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH08145724A JPH08145724A (ja) 1996-06-07
JP2695623B2 true JP2695623B2 (ja) 1998-01-14

Family

ID=18066855

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP6315563A Expired - Fee Related JP2695623B2 (ja) 1994-11-25 1994-11-25 光学式エンコーダ

Country Status (5)

Country Link
US (1) US5604345A (ja)
EP (1) EP0714015B1 (ja)
JP (1) JP2695623B2 (ja)
CN (1) CN1084882C (ja)
DE (1) DE69521270T2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1647810A1 (en) 2004-10-13 2006-04-19 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
EP1647811A1 (en) 2004-10-13 2006-04-19 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
JP2007064664A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Canon Inc 変位測定方法およびその方法を用いた装置
JP2011075581A (ja) * 2011-01-17 2011-04-14 Canon Inc 光学式エンコーダ

Families Citing this family (56)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6166723A (en) * 1995-11-17 2000-12-26 Immersion Corporation Mouse interface device providing force feedback
US5701525A (en) * 1995-12-21 1997-12-23 Polaroid Corporation Camera encoder assembly, system and method thereof
JPH09196705A (ja) * 1996-01-23 1997-07-31 Mitsutoyo Corp 変位測定装置
US6374255B1 (en) * 1996-05-21 2002-04-16 Immersion Corporation Haptic authoring
DE19628602A1 (de) * 1996-07-16 1998-01-22 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Vorrichtung zur Filterung von Oberwellen-Signalanteilen
DE59806597D1 (de) * 1997-08-07 2003-01-23 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtasteinheit für eine optische Positionsmesseinrichtung
US6256011B1 (en) * 1997-12-03 2001-07-03 Immersion Corporation Multi-function control device with force feedback
US6704683B1 (en) 1998-04-28 2004-03-09 Immersion Corporation Direct velocity estimation for encoders using nonlinear period measurement
AU3767999A (en) * 1998-04-30 1999-11-16 Immersion Corporation Encoder with improved sensing resolution
JP4027512B2 (ja) * 1998-09-29 2007-12-26 フジノン株式会社 パターン投影計測用格子
DE19859670A1 (de) * 1998-12-23 2000-06-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Abtastkopf und Verfahren zu dessen Herstellung
TW452740B (en) * 1999-08-09 2001-09-01 Ind Tech Res Inst Diffraction type anti-counterfeiting tag for both of bare eye reading and machine reading
US6564168B1 (en) 1999-09-14 2003-05-13 Immersion Corporation High-resolution optical encoder with phased-array photodetectors
US6279248B1 (en) 1999-09-22 2001-08-28 Central Purchasing, Inc. Digital measuring system having a multi-row encoder disk
US6693626B1 (en) * 1999-12-07 2004-02-17 Immersion Corporation Haptic feedback using a keyboard device
US6664538B1 (en) * 2000-05-11 2003-12-16 Infineon Technologies North America Corp Mismatching of gratings to achieve phase shift in an optical position detector
US6660997B2 (en) 2001-04-26 2003-12-09 Creo Srl Absolute position Moiré type encoder for use in a control system
US6904823B2 (en) * 2002-04-03 2005-06-14 Immersion Corporation Haptic shifting devices
WO2004036405A2 (en) 2002-10-15 2004-04-29 Immersion Corporation Products and processes for providing force sensations in a user interface
JP2004163302A (ja) * 2002-11-14 2004-06-10 Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd 光学式エンコーダ
US20040135076A1 (en) * 2003-01-15 2004-07-15 Xerox Corporation Method and apparatus for obtaining a high quality sine wave from an analog quadrature encoder
WO2004111819A1 (en) * 2003-06-09 2004-12-23 Immersion Corporation Interactive gaming systems with haptic feedback
US6972403B2 (en) * 2003-06-26 2005-12-06 Xerox Corporation Position encoder
US20040262503A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-30 Xerox Corporation Position encoder
US20040262502A1 (en) * 2003-06-26 2004-12-30 Xerox Corporation Position encoder
DE10338991A1 (de) * 2003-08-18 2005-03-17 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Positionsmesseinrichtung
US7145126B2 (en) 2004-03-16 2006-12-05 Wai-Hon Lee Optical position encoder device using incoherent light source
US7242466B2 (en) * 2004-03-31 2007-07-10 Microsoft Corporation Remote pointing system, device, and methods for identifying absolute position and relative movement on an encoded surface by remote optical method
US7048198B2 (en) * 2004-04-22 2006-05-23 Microsoft Corporation Coded pattern for an optical device and a prepared surface
JP2005337843A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Canon Inc 光学式エンコーダ
JP2005337886A (ja) * 2004-05-27 2005-12-08 Nok Corp エンコーダー
DE102004041950A1 (de) 2004-08-31 2006-03-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Optische Positionsmesseinrichtung
JP2006153676A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Ricoh Co Ltd 光学式エンコーダ装置及び画像形成装置
US20070024865A1 (en) * 2005-07-26 2007-02-01 Mitchell Donald K Optical encoder having slanted optical detector elements for harmonic suppression
US7485845B2 (en) 2005-12-06 2009-02-03 Mitutoyo Corporation Photoelectric encoder capable of effectively removing harmonic components
JP4918593B2 (ja) * 2006-08-21 2012-04-18 ジーエスアイ・グループ・コーポレーション 共用レチクル基板を有する複数のサブエンコーダを利用する光学式回転エンコーダ
JP5748956B2 (ja) 2006-09-13 2015-07-15 イマージョン コーポレーションＩｍｍｅｒｓｉｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ カジノゲーム用のハプティクスのためのシステム及び方法
US9486292B2 (en) 2008-02-14 2016-11-08 Immersion Corporation Systems and methods for real-time winding analysis for knot detection
US7834310B2 (en) * 2008-06-23 2010-11-16 Xerox Corporation Position encoder's signal processing method and system
US7934657B2 (en) * 2008-06-25 2011-05-03 Xerox Corporation Encoder home position sensing method and system
US9104791B2 (en) * 2009-05-28 2015-08-11 Immersion Corporation Systems and methods for editing a model of a physical system for a simulation
JP5378316B2 (ja) * 2009-07-29 2013-12-25 山洋電気株式会社 光学式エンコーダ装置
US8309906B2 (en) * 2010-06-10 2012-11-13 Mitutoyo Corporation Absolute optical encoder with long range intensity modulation on scale
US9103973B2 (en) 2011-04-20 2015-08-11 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Sub-wavelength grating-based optical elements
US9522819B2 (en) 2011-04-20 2016-12-20 Hewlett Packard Enterprise Development Lp Light detection system including a chiral optical element and optical elements with sub-wavelength gratings having posts with varying cross-sectional dimensions
KR101321591B1 (ko) 2012-02-02 2013-10-28 알에스오토메이션주식회사 광학 인코더
JP5964162B2 (ja) * 2012-07-18 2016-08-03 株式会社ミツトヨ エンコーダ
CN102944254B (zh) * 2012-11-30 2015-11-25 欧姆龙(上海)有限公司 旋转编码器
GB201301186D0 (en) 2012-12-20 2013-03-06 Renishaw Plc Optical element
CN104937463A (zh) 2013-01-30 2015-09-23 惠普发展公司，有限责任合伙企业 具有清洁元件的光学连接器
US9866924B2 (en) 2013-03-14 2018-01-09 Immersion Corporation Systems and methods for enhanced television interaction
JP6138664B2 (ja) * 2013-10-30 2017-05-31 オークマ株式会社 光学式エンコーダ
US11061338B2 (en) * 2014-04-17 2021-07-13 Nikon Corporation High-resolution position encoder with image sensor and encoded target pattern
US10185303B2 (en) * 2015-02-21 2019-01-22 Kla-Tencor Corporation Optimizing computational efficiency by multiple truncation of spatial harmonics
US11486741B2 (en) * 2016-11-02 2022-11-01 Precilabs Sa Detector device, positioning code and position detecting method
ES2928745T3 (es) * 2018-02-14 2022-11-22 Hohner Automation S L Métodos para calcular la forma de rendijas de una máscara de un codificador incremental óptico

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3616144A1 (de) * 1986-05-14 1987-11-19 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Fotoelektrische messeinrichtung
JP2539269B2 (ja) * 1989-07-17 1996-10-02 オークマ株式会社 光学式エンコ―ダ
JP2575935B2 (ja) * 1990-07-30 1997-01-29 オークマ株式会社 位置検出装置
EP0541827B1 (de) * 1991-11-04 1995-04-12 Dr. Johannes Heidenhain GmbH Vorrichtung zur Erzeugung oberwellenfreier periodischer Signale

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1647810A1 (en) 2004-10-13 2006-04-19 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
EP1647811A1 (en) 2004-10-13 2006-04-19 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
EP2302329A2 (en) 2004-10-13 2011-03-30 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
EP3401644A1 (en) 2004-10-13 2018-11-14 Mitutoyo Corporation Encoder output signal correction apparatus and method
JP2007064664A (ja) * 2005-08-29 2007-03-15 Canon Inc 変位測定方法およびその方法を用いた装置
JP4724495B2 (ja) * 2005-08-29 2011-07-13 キヤノン株式会社 光学式エンコーダ
JP2011075581A (ja) * 2011-01-17 2011-04-14 Canon Inc 光学式エンコーダ

Also Published As

Publication number Publication date
CN1142056A (zh) 1997-02-05
EP0714015A2 (en) 1996-05-29
EP0714015B1 (en) 2001-06-13
CN1084882C (zh) 2002-05-15
US5604345A (en) 1997-02-18
DE69521270D1 (de) 2001-07-19
DE69521270T2 (de) 2001-11-15
EP0714015A3 (en) 1997-06-18
JPH08145724A (ja) 1996-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2695623B2 (ja) 光学式エンコーダ
US7348546B2 (en) Position measuring system with a scanning unit having a reference pulse signal detection unit
US6452159B2 (en) Position measuring system
US7154609B2 (en) Interferential position measuring arrangement
JP2501714B2 (ja) 干渉位置測定装置
JP4503799B2 (ja) 光学的位置測定装置
JPH0131127B2 (ja)
JP3209914B2 (ja) 光学式エンコーダ
JPH09196705A (ja) 変位測定装置
JPH0749970B2 (ja) 測定装置
US6552810B1 (en) Optical measuring system
JP3278361B2 (ja) 光学式エンコーダ
US7112782B2 (en) Optical position measuring system
JPH074993A (ja) エンコーダ装置
US5748373A (en) Scale and encoder including differently spaced pattern lines
JP2888482B2 (ja) 高調波信号成分を濾波する装置
JP2562479B2 (ja) 反射式ｘｙエンコーダ
US6094307A (en) Optical grating and encoder
JPH0151926B2 (ja)
JP3015962B2 (ja) 光学式エンコーダの目盛板及びこの目盛板を用いた光学式エンコーダ
JPH0599638A (ja) 測角装置
JP3184419B2 (ja) 光学格子およびエンコーダ
EP0486050A2 (en) Method and apparatus for measuring displacement
JPS62200224A (ja) 変位測定装置
JP2549514B2 (ja) 光電式エンコ−ダの基準点信号発生機構

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees