JP2610532B2 - 容量性圧力センサ - Google Patents

容量性圧力センサ

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JP2610532B2
JP2610532B2 JP1504987A JP50498789A JP2610532B2 JP 2610532 B2 JP2610532 B2 JP 2610532B2 JP 1504987 A JP1504987 A JP 1504987A JP 50498789 A JP50498789 A JP 50498789A JP 2610532 B2 JP2610532 B2 JP 2610532B2
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シユケデイ，ズヴイ
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エイチ． マツコーマツク，ウイリアム
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アライド・シグナル・インコーポレーテツド
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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
    • G01L19/02—Arrangements for preventing, or for compensating for, effects of inclination or acceleration of the measuring device; Zero-setting means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0075—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a ceramic diaphragm, e.g. alumina, fused quartz, glass

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は可変の気圧を示す可変キヤパシタンスを有し
た圧力センサ、特に外部から受ける圧力を極めて正確に
示す可変のデユアルキヤパシタンスを有した容量性圧力
センサに関する。
（背景技術） 航空機の状態に関する空気圧力を検出し、例えば航空
機の高度、マツハ数、空気速度、迎え角、片揺れ角を示
すキヤパシタンス信号を発生する圧力センサは航空分野
では周知である。これにより得られた情報は極めて精度
の高いことが要求され、センサの精度または信頼性も高
くする要があり、センサが受ける電気干渉の影響も小さ
いことが必要である。圧力を測定するシステムには通
常、外部に取り付けられるピトー管、圧力管、圧力管の
圧力を受ける容量性センサ、及び圧力センサから可変キ
ヤパシタンスを入力として受ける電子回路は包有され
る。技術の向上により従来のセンサシステムの容積は５
〜10立方インチ（82〜164cm2）に減少されている。更に
シリコンの微細加工技術の進歩により、集積回路のサイ
ズに匹敵する容量性圧力センサの製造も可能となつてい
る。
（発明の開示） 本発明によれば、コンプライアンスが整合される第１
及び第２の離間されたダイヤフラムを含むハウジングが
振動力あるいは加速力に応答して実質的に一体に振動し
たりたわみを生じ、第１のダイヤフラムが外圧に応答す
るダイヤフラムであり、ハウジングと可動状態で協働し
て基準圧力室を区画し、基準圧力室内には第２のダイヤ
フラムが可動に配設され、第２のダイヤフラムの、第１
のダイヤフラムと対向面には第１の対をなす離間平坦電
極と第１の平坦なシールド電極とが具備され、各対電極
は所定の幾何学的形状を有し、シールド電極は対電極を
囲繞する環形部と対電極間に配置されるクロスバー部と
を有し、第１のダイヤフラムの第２のダイヤフラムとの
対向面には所定の幾何学的形状を有し第２の対をなす離
間平坦電極が形成され、第１の対電極及び第２の対電極
は整合されて夫々一対の可変コンデンサを形成し、コン
デンサのキヤパシタンス値は実質的に同一であり、外部
流圧に応じて第１のダイヤフラムが変位する際同時に一
体的に変化し、これにより外部流圧を受けたときも可変
コンデンサの値が実質的に同一に維持され、キヤパシタ
ンス値が振動力あるいは加速力の影響を受けない容量性
圧力センサが提供される。
望ましくは、第２のダイヤフラムの第１のダイヤフラ
ムから離間した対向面にも各々所定の幾何学的形状の第
３の対の離間平坦電極と第２の平坦シールド電極とが形
成され、第１の対の電極及び第３の対の電極が電気的に
接続され、第２のシールド電極が第３の対電極及び第３
の対電極間を直径方向に横切るクロスバー部を有し、第
１のシールド電極及び第２のシールド電極が電気的に接
続される。
また、第２のダイヤフラムには一対の貫通路が形成さ
れ、各貫通路は反対端部において第１及び第３の対電極
の位置で開口され、一対の貫通路には各対の電極の一と
各対の内の他方の対の電極の他とを電気的に接続する導
通性金属が塗布されることが好ましい。
一般に、本発明の好ましい実施例によれば、互いに対
向する２対の電極が減圧されたハウジング内に装着され
る。ハウジングは等質の融解シリカガラス若しくは融解
石英材料で作られ、密封シールドされる。本発明による
センサには外部にシリコン単結晶材料あるいは絶縁金属
材料をも含む各種材料が使用され得る。また対向電極に
よりコンデンサプレートが構成される。ハウジングが外
圧を受けて物理的に変形されると、各対の電極が物理的
に分離される。従つて外圧の変化によりキヤパシタンス
が変化されることになる。ハウジングの受ける全体の設
計圧力の範囲に亙り、各対の電極によるキヤパシタンス
が同時に変化するので、対の電極のキヤパシタンス値が
実質的に同一になる。
更に詳述するに、本発明の特に好ましい実施例によれ
ば、圧力センサのハウジングには外部の圧力を受けて動
作するダイヤフラムと内部の加速補償ダイヤフラムとが
具備され、各ダイヤフラムには互いに対向する面に金属
被膜が施される。２つのダイヤフラムの対向面の金属面
は２つの整合する半円部分に分割される。これらの半円
部分により１対のコンデンサが構成され、このコンデン
サのキヤパシタンス値が２つのダイヤフラム間の間隔の
変化に応じて変化する。金属面の他の部分にはシールド
部分が形成され、コンデンサ内の電磁干渉が防止され
る。また、このシールド部分により、コンデンサ電極間
の相対的な動作が抑止され、センサのキヤパシタンス変
化による電化保持構造の形成が阻止される。
センサの２つのダイヤフラムのコンプライアンスが正
確に整合されるので、加速若しくは振動によりダイヤフ
ラムが個別ではなく一体に移動される。この結果、対の
コンデンサのキヤパシタンス値が振動力あるいは加速力
の影響を実質的に受けない。また圧力センサ内の基準圧
力に対し外側のダイヤフラムの受ける外圧に応じて２つ
のコンデンサのキヤパシタンス値が同時に同量だけ変化
することになる。従つて対のコンデンサのキヤパシタン
ス値は常に実質的に同一である。
本発明の他の利点は以下の説明、特許請求の範囲及び
添付図面から明らかとなろう。
図面の簡単な説明 第１図は本発明による容量性圧力変換器の側面図、第
２図は第１図の容量性圧力変換器の分解斜視図、第３図
は第１図の容量性圧力変換器の線３−３から見た内部正
面図、第４図は第１図の容量性圧力変換器の線４−４か
ら見た正面図、第５図は第１図の容量性圧力変換器の線
５−５から見た内部底面図、第６図は第１図の容量性圧
力変換器の線６−６から見た内部底面図、第７図は第１
図の容量性圧力変換器の底面図、第８図は第７図の線８
−８に沿つた、第１図及び第７図の容量性圧力変換器の
部分簡略断面図、第９図は第７図の線９−９に沿つた、
第１図及び第７図の容量性圧力変換器の部分簡略断面
図、第10図は第７図の線９−９に沿つた、第１図及び第
７図の容量性圧力変換器の部分簡略断面図である。
（発明を実施するための最良の形態） 第１図を参照するに、本発明を具現化したセンサ10の
側面図が示されている。センサ10の本体12は全体として
円筒状であり、平坦な上面14と平坦な下面16とを有して
いる。取付ステム部材18は本体12の中央部に本体12の下
面16から軸方向に突出して配置され、回路板若しくはシ
ヤーシのような取付構造体に対しセンサ10を物理的に付
設可能な手段を構成している。本体12の下面16からは更
に複数のリード線若しくは端子ピンを取り付ける端子ピ
ン取付アンカ20が突出され、各端子ピン取付アンカ20に
は軸方向に延びるリード線22若しくはピンが支承され
る。端子ピン取付アンカ20及びリード線22の数は５個で
あり、各リード線22には軸方向に延びる形状保持部24が
付設される。リード線22には後述するように、軸方向及
び半径方向にフレキシブルにする手段が具備され得る。
更に第１図〜第７図を参照するに、センサ10の外面の
バンド26は金属で作られ、下面16に近接する本体12の側
面28を囲繞する。金属バンド26は外周部に沿つて一連に
なるように設けられ、直径方向に対向し軸方向に延びる
一対の金属外面部30（第１図にはその一方のみが図示さ
れる）がバンド26に連設される。この金属外面部30は側
面28に沿つて軸方向に上面14へ向かつて延びる。後述の
如く金属によりセンサ10の下面16の殆ど全て並びに上面
14の殆んど全てが被覆される。センサ10上に被覆された
金属外面は端子ピン取付アンカ20の一及び端子ピン取付
アンカ20から延びる各リード線22と電気的に接続されて
いる。
本体12は軸方向に積み重ねられ、密封せしめられて連
結された３つの部分、即ち下面層32、中間層34、上面層
36からなることは第１図〜第７図より理解されよう。下
面層32には端子ピン取付アンカ20、取付ステム部材18及
び金属バンド26が支承される。下面層32の上には中間層
34及び上面層36が順次積層される。中間層34の軸方向の
厚さは下面層32の厚さより大幅に小さくされる。上面層
36の軸方向の寸法は実質的に中間層34と同一である。
ここで特に第２図を参照するに、下面層32の上面38は
中間層34と対向することが理解されよう。下面層32には
円周方向に離間した５つの貫通路40が形成され、貫通路
40は下面16まで貫通して延びる。貫通路40の各々がこれ
と対応する端子ピン取付アンカ20に連通されることは以
下に詳述する。５つの貫通路40にはこれと対応する５本
のフレキシブルなリード線42が通される。リード線42は
これと対応する端子ピン取付アンカ20及びリード線22と
電気的に接続される。第２図に示す如く中間層34には半
径方向外側の外リム部44と上面層36と対向する中央上溝
46とが包有される。上面層36の中央外面部48に対設され
半径方向に延びる一対の金属面部50を介し、軸方向に延
びる外側の金属外面部30に電気的に接続される。
第１図及び第２図に関連して上述したことに留意して
特に第３図〜第６図を参照するに、中間層34の、上面層
36と対向する上面には電気的に絶縁された３個の分離金
属面部52、54、56が形成される（特に第４図参照）。こ
こで分離金属面部52、54は周縁が弧状に設けられると共
に離間分離される、即ち夫々半円状をなして対設されて
いる。一方、これらと分離した金属面部56は環形部58と
環形部58を連結するクロスバー部60とで構成され、クロ
スバー部60を介在させて金属面部52及び54が分離され
る。一方センサの下面層32のリード線22と内部の各部分
との間の電気的接続を与える特徴構成を容易に理解し得
るよう、第３図〜第６図にはアルフアベツト文字を付し
て示してある。
中間層34の下面にも中間層34の反対側の上面の外リム
部44と同様な環形リム部62が設けられていることが第５
図から理解されよう。同様に、中間層34の下面には環形
リム部62内に設けられた溝部64と３つの金属面66、68、
70が形成される。３つの金属面66、68、70の形状は中間
層34の上面の金属面部52、54、56と実質的に同一であ
る。一方金属面66、68には半径方向に延びる突出部72、
74が夫々設けられており、下面層32の貫通路40と整合さ
れてフレキシブルなリード線42（整合番号“a"と“b"
の）と電気的に接続される。金属面部56と同様に金属面
70にも環形部76とクロスバー部材78が包有されることは
理解されよう。第５図を参照するに、クロスバー部材78
の右端部と金属面70の環形部76との交差部が下面層32の
貫通路40（整合番号“c"）に相当することは理解されよ
う。従つてこの貫通路40に通されるリード線42はこの交
差部の近傍において金属面70に接続される。
中間層34には４つの貫通路80、82、84、86が形成され
ることも理解されよう。この内の２つの貫通路80、82は
夫々金属面部52、66及び金属面部54、68において開口さ
れる。これら金属面部を電気的に接続するため、２つの
貫通路80、82の円筒状面にも金属被覆が施される。残り
の２つの貫通路84、86は金属面部56、70の環形部と連結
されることは理解されよう。貫通路84、86の直径は貫通
路80、82より大きく、貫通路84、86には中間層34の対向
面に近接してチヤンバ領域が形成される。金属面部56、
70を電気的に接続するため、貫通路84、86の円錐状のチ
ヤンバ面にも金属が被覆される。
次に第６図を参照するに、上面層36の上側には環形リ
ム88が包有されることは理解されよう。環形リム部88内
には、中間層34の中央の溝48、64と整合する溝90が形成
される。上面層36の溝90内には２つの金属面92、94が設
けられ、これら金属面の形状は同一の半円にされ、金属
面部52、54と対向して配置され、少なくとも一部、金属
面部56と重なるように構成されている。金属面66、68と
同様に金属面92、94には中間層34の貫通路84、86と整合
する整合面96、98が包有されており、リード線42と金属
面92、94との電気的接続を行うように構成される（参照
符号“d"と“e"の位置）。
更に一部上述した整合構成を考察するに、第３図の文
字“a"は貫通路40あるいはリード線42の位置を示し、第
５図に示した金属面66の半径方向に延びる突出部72と整
合するので、リード線42は突出部72に接続される。同様
に第３図の文字“b"は、第５図の金属面68の突出部74と
整合する貫通路40あるいはリード線42の位置を示してい
るので、リード線42が突出部74に接続される。第３図に
文字“c"で示される貫通路40あるいはリード線42は第５
図の金属面70のクロスバー部材78と環形部76との交差部
と整合するので、リード線42は交差部に接続される。第
３図に示される文字“d"と“e"は貫通路40あるいはリー
ド線42の位置を示しており、第３図及び第５図に示すよ
うに中間層34の貫通路84および貫通路86と各々整合し、
貫通路84あるいは貫通路86を貫通して第６図に示すよう
に上面層36の金属面92、94の整合面96、98に接続され
る。
センサ10の構造説明の最後段として第７図に注目する
に、センサの下側からみた図が示される。各リード線22
は、軸方向に延びる形状保持部24と湾曲部102と形状保
持部24並びに湾曲部102間を連結する直線部100とからな
ることは第７図から理解されよう。湾曲部102は端子ピ
ン取付アンカ20から離間されて、連結部104において機
械的及び電気的に連結される前に実質的に360度に亙り
端子ピン取付アンカ20の周囲を囲繞するように延びてい
る。リード線22がこのように構成されることにより、端
子ピン取付アンカ20に対しセンサ10の本体12内に大きな
荷重を与える事なく、軸方向に延びる形状保持部24が半
径方向及び軸方向に移動可能になる。
次いで第８図、第９図及び第10図を参照するに、セン
サ10の構造及び各構成部材の機能動作を説明するためセ
ンサ10の断面図が幾分簡略化して示されている。容易に
理解出来るよう第３図〜第６図に沿う説明で上述した整
合文字“a"〜“e"が第８図〜第10図においても使用され
ている。第８図〜第10図に示す如く、中間層34のクロス
バー部60は下面層32の平坦な上面38と協働し、チヤンバ
106が区画される。同様に中間層34及び上面層36の中央
の溝46及び溝90が協働してチヤンバ108が区画される。
この場合、チヤンバ106、108は貫通路80、貫通路82、貫
通路84、86を経て互いに連通される。チヤンバ106、108
は協働してセンサ10の基準圧力室を構成する。チヤンバ
106、108から一部抽気されることにより、センサのキヤ
パシタンス値はセンサに加わる絶対圧力レベルを示すこ
とになる。チヤンバ106、108内の圧力はできる限り理想
的な真空に近い状態に保つことが好ましい。
図示の端子ピン取付アンカ20はセンサ10の下面層32の
下面16に対し密封して連結され、貫通路40及びチヤンバ
106、108を大気圧に近ずける導通カツプ部材をなすこと
が第８図〜第10図から理解されよう。センサ10の下面16
は実質的に完全に外金属面110で被覆され、外金属面110
は金属バンド26と連設される。外金属面110は整合文字
“c"の部分においてはその貫通路40に近接し、これを囲
繞している。この貫通路の端子ピン取付アンカ20は外金
属面110に対し固設され、リード線42は中間層34の金属
面70に接続される。従つて金属バンド26、金属外面部3
0、中央外面部48、金属面部50、分離金属面部56、金属
面70を含むアースシールド構造体が形成される。
外金属面110が貫通路40の周囲を所定の距離離間して
囲繞する。残りの各貫通路40（整合文字“a"、“b"、
“d"、“e"）の周囲は環形金属面部112で囲繞される。
各貫通路の端子ピン取付アンカ20はそのリード線42と共
に夫々の金属面に固定される。このとき、第１図及び第
７図のリード線22は上述した様に端子ピン取付アンカ20
の外面に接続されることは理解されよう。
特に第10図を参照するに、センサの上面層36において
溝90間はフレキシブルなダイヤフラム部材114が形成さ
れることは理解されよう。同様に中間層34には中央の溝
46にクロスバー部60との間にダイヤフラム部材116が形
成される。フレキシブルなダイヤフラム部材114、116は
実質的に同一の柔軟度を有する。従つて第10図のセンサ
10が図の垂直方向の加速力あるいは振動力を受けると、
ダイヤフラム部材114、116は実質的に一体的に偏位ある
いは振動を行う。このため、中間層34及び上面層36上の
金属部間の間隔は変化しない。よつてセンサ10は振動力
あるいは加速力の影響を受けないことが理解されよう。
一方センサ10が矢印118のような流圧を受けると、上
面層36のダイヤフラム部材114はチヤンバ108に向かつて
内側へ湾曲し、その結果ダイヤフラム部材上の金属層が
互いに接近するような力をうけることは容易に理解され
よう。このとき互いに整合した各金属部によつて形成さ
れる可変コンデンサのキヤパシタンスの値がセンサ10に
対し外部から与えられる流圧レベルに従つて変化するも
のと考えられる。更に金属層により形成されるコンデン
サは対抗するコンデンサプレート面積に対し実質的に同
一であり、外部圧力に応答するこれらコンデンサプレー
トの間隔変化が２つの各コンデンサに対し実質的に同一
であることが理解されよう。従つて、対をなすコンデン
サのキヤパシタンス値が同量、変化するため、センサ10
の全設計流圧範囲に亙り常にキヤパシタンス値が実質的
に同一になる。
加えて各ダイヤフラム部材114、116の対抗する金属面
の面積が実質的に等しいことが理解されよう。この特徴
は金属フイルムがエージングを受け、応力も低下するの
で、変換器における所定時間に対する校正を維持する際
重要になる。２つの対向する金属面面積が実質的に等し
い場合、ダイヤフラムは金属フイルムの応力が時間と共
に低下しても、バイメタル効果に応答して湾曲する。本
発明によれば、実質的に等しい金属面積のダイヤフラム
が提供される。またダイヤフラムのクロスバー部60、78
がセンサ10の左右同型の対称な平面上にあることが理解
されよう。即ち平面の片側のクロスバー部は他方の側の
クロスバー部に実質的に重なる。この特徴はセンサに加
わる外圧が変化しても可変コンデンサのキヤパシタンス
値変化を等しくする場合に重要となる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マツコーマツク，ウイリアム エイチ. アメリカ合衆国 アリゾナ州 85718, タスカン，イースト ラパロマ ドライ ブ 4151 (56)参考文献 特表 昭60−501177（ＪＰ，Ａ) 米国特許3962921（ＵＳ，Ａ) 欧州公開210843（ＥＰ，Ａ２)

Claims (10)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】コンプライアンスが整合される第１及び第
    ２の互いに離間されたダイヤフラムを含むハウジングが
    振動力あるいは加速力に応答して実質的に一体に振動し
    たりたわみを生じ、第１のダイヤフラムが外圧に応答す
    るダイヤフラムであり、ハウジングと可動状態で協働し
    て基準圧力室を区画し、基準圧力室内には第２のダイヤ
    フラムが可動に配設され、第２のダイヤフラムの、第１
    のダイヤフラムとの対向面には第１の対をなす離間平坦
    電極と第１の平坦なシールド電極とが具備され、各対電
    極は所定の幾何学的形状を有し、シールド電極は対電極
    を囲繞する環状部と対電極間に配設されるクロスバー部
    とを有し、第１のダイヤフラムの第２のダイヤフラムと
    の対向面には所定の幾何学的形状を有し第２の対をなす
    離間平坦電極が形成され、第１の対電極及び第２の対電
    極は互いに整合されて夫々一対の可変コンデンサを形成
    し、コンデンサのキヤパシタンス値は実質的に同一であ
    り外部流圧に応じて第１のダイヤフラムが変位するとき
    同時に一体的に変化し、これにより外部流圧を受けたと
    きも可変コンデンサの値が実質的に同一に維持され、キ
    ヤパシタンス値が振動力あるいは加速力の影響を受けな
    い容量性圧力センサ。
  2. 【請求項２】第２のダイヤフラムの第１のダイヤフラム
    から離間した対向面にも各々所定の幾何学的形状の第３
    の対の離間平坦電極と第２の平坦シールド電極とが形成
    され、第１の対の電極及び第３の対の電極が電気的に接
    続され、第２のシールド電極が第３の対電極及び第３の
    対電極間を直径方向に横切るクロスバー部を有し、第１
    のシールド電極及び第２のシールド電極が電気的に接続
    されてなることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    のセンサ。
  3. 【請求項３】第２のダイヤフラムには一対の貫通路が形
    成され、各貫通路は反対端部において第１及び第３の対
    電極の位置で開口され、一対の貫通路には各対の電極の
    一と各対の内の他方の対電極の他とを電気的に接続する
    導通性金属が塗布されることを特徴とする特許請求の範
    囲第２項記載のセンサ。
  4. 【請求項４】金属フイルムシールド電極によりハウジン
    グの外面の少なくとも一部が覆われることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項〜第３項のいずれか一項記載のセ
    ンサ。
  5. 【請求項５】金属フイルムシールド電極が第１のダイヤ
    フラムに形成され、第１及び第２の対電極と整合される
    金属面でなることを特徴とする特許請求の範囲第４項記
    載のセンサ。
  6. 【請求項６】第２のダイヤフラムには貫通路が形成さ
    れ、貫通路の反対端部が第１及び第２のシールド電極の
    位置で開口され、貫通路に塗布された金属フイルムとシ
    ールド電極とが電気的に接続されることを特徴とする特
    許請求の範囲第２項記載のセンサ。
  7. 【請求項７】ハウジングにはデイスク状ベース部と降状
    可能なデイスク状中間部とデイスク状で降状可能な上部
    とが包有され、これらのベース部、中間部及び上部は積
    み重ねて密封連結され基準圧力室を区画し、上部には第
    １のダイヤフラムが形成され中間部には第２のダイヤフ
    ラムが形成されることを特徴とする特許請求の範囲第１
    項〜第６項のいずれか一項記載のセンサ。
  8. 【請求項８】ベース部には、第１及び第２の対電極、更
    に第１及び第２のシールド電極と各々電気的に接続する
    電気接続手段が具備されることを特徴とする特許請求の
    範囲第７項記載のセンサ。
  9. 【請求項９】電気接続手段には、ベース部に形成される
    複数の貫通路と、これと対応する貫通路内に通され、内
    端部が電極と電気的に接続される同一数の複数のフレキ
    シブルな導線と、各々ベース部と密封されて係合され貫
    通路をふさぎ、フレキシブルな導線の外端部と内部にお
    いて電気的に接続する同一数の複数のカツプ状アンカ部
    材とが包有されることを特徴とする特許請求の範囲第８
    項記載のセンサ。
  10. 【請求項１０】電気接続手段には更にアンカ部材と接続
    される電気リード線が包有され、リード線は軸方向に延
    びセンサと外部回路とのインターフエースをなす自由端
    部を有した形状保持部と、形状保持部と連結される湾曲
    弾性部と内連結部とからなり、湾曲弾性部がアンカ部材
    の周囲を実質的に360度に亙り円形状に巻かれ且つアン
    カ部材から離間し形状保持部に対し軸方向及び半径方向
    にフレキシブルに移動可能にし、内連結部を介し湾曲弾
    性部が外側のアンカ部材に係止されることを特徴とする
    特許請求の範囲第９項記載のセンサ。
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