JP2597598B2 - Nozzle check device in laser beam machine - Google Patents

Nozzle check device in laser beam machine

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JP2597598B2
JP2597598B2 JP62235976A JP23597687A JP2597598B2 JP 2597598 B2 JP2597598 B2 JP 2597598B2 JP 62235976 A JP62235976 A JP 62235976A JP 23597687 A JP23597687 A JP 23597687A JP 2597598 B2 JP2597598 B2 JP 2597598B2
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和裕 森川
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Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、レーザ加工機におけるノズルチェック装置
に関し、特にノズルと一体型のギャップセンサを備えた
ものにおいて、そのセンサ機能をチェックしようとする
ものである。
Description: FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a nozzle check device in a laser processing machine, and particularly to a device provided with a gap sensor integrated with a nozzle, in which the sensor function is to be checked. It is.

(従来技術とその問題点) 従来、レーザ加工において、最適な加工状態を得るた
めにレーザ光の焦点をワークに対し、常に一定高さ位置
に保つよう、レーザノズルとワークとの間の距離すなわ
ちギャップ量を常に一定に保持するギャップ量一定制御
いわゆるギャップコントロールか行なわれている。
(Prior art and its problems) Conventionally, in laser processing, the distance between the laser nozzle and the work, that is, the focus of the laser beam is always kept at a constant height with respect to the work in order to obtain the optimum processing state. A so-called gap control, in which a constant gap amount is always maintained constant, is performed.

このためのギャップセンサとしては、レーザノズルの
側方近傍位置に接触式或は非接触式の距離センサを設け
ているものがある。しかし、加工位置とは幾分ずれた位
置でギャップ検出を行っているため、加工位置における
適正なギャップ量の測定ができず、結果的には良好な加
工状態が得られなかった。
As a gap sensor for this purpose, there is a gap sensor provided with a contact type or non-contact type distance sensor at a position near the side of the laser nozzle. However, since the gap is detected at a position slightly deviated from the processing position, an appropriate gap amount cannot be measured at the processing position, and as a result, a good processing state cannot be obtained.

このため、静電容量式等の電磁的ギャップセンサを、
ノズルと一体化或はノズルの先端部に溶着して、加工位
置におけるギャップ量を非接触式に検出するようにした
ものが一般的に用いられている。
For this reason, an electromagnetic gap sensor such as a capacitance type,
Generally, a nozzle integrated with a nozzle or welded to the tip of the nozzle to detect a gap amount at a processing position in a non-contact manner is used.

しかし、レーザ照射によってワーク面から激しく跳ね
上がるスパッタSや高反射熱がふりかかると、ノズル先
端すなわちセンサ部分が熱溶融したり、或は摩耗や熱変
形によって、センサ機能の劣化を免れなかった。
However, when spatter S or high reflection heat which jumps violently from the work surface due to the laser irradiation is applied, the nozzle tip, that is, the sensor portion is melted by heat, or the deterioration of the sensor function cannot be avoided due to abrasion or thermal deformation.

この結果、ギャップ量に対するセンサ出力特性が、当
初のセンサ出力特性(例えば第5図A線)に比して、実
際のギャップ量と異なる例えばはるかに低いカーブの出
力特性(例えば第5図C線)に変化してしまう。
As a result, the sensor output characteristic with respect to the gap amount is different from the actual sensor output characteristic (for example, line A in FIG. 5), and is different from the actual gap amount. ).

こうなると、適正なギャップコントロールができなく
なり、加工状態も悪化してしまうため、適正な当初のセ
ンサ出力特性を備えたノズルと交換する必要性が出てく
る。
In such a case, proper gap control cannot be performed, and the processing state deteriorates. Therefore, it is necessary to replace the nozzle with a nozzle having proper initial sensor output characteristics.

しかし、従来では、このようなセンサ機能の劣化は、
実際に加工されたワークの加工状態を見てから知ること
が多く、作業者は加工状態を常に観察していなければな
らなかった。また、ワークの加工状態が悪いことが、一
概にノズルのセンサ機能の劣化に起因しているとも限ら
ず、まだ劣化していない適正な機能を備えているノズル
までも取り外して新なノズルに交換したりするなど無駄
な処置をとってしまうことがあり、作業効率を低下させ
る原因にもなっていた。
However, conventionally, such deterioration of the sensor function is caused by
In many cases, it is known after looking at the processing state of the actually processed work, and the operator must always observe the processing state. In addition, the poor processing condition of the work is not necessarily due to the deterioration of the sensor function of the nozzle, and even a nozzle that has a proper function that has not deteriorated is removed and replaced with a new nozzle In some cases, wasteful measures such as doing so may be taken, which has been a cause of lowering work efficiency.

また、ノズルの劣化を見述がしたまま同一ノズルで加
工を続けてしまうと、センサ出力特性の変化により正し
いギャップ量測定ができず、その結果適正なギャップコ
ントロールが行えず、加工不良を続出してしまう虞れも
あった。
In addition, if processing is continued with the same nozzle while considering the deterioration of the nozzle, the correct gap amount cannot be measured due to changes in the sensor output characteristics, and as a result, proper gap control cannot be performed and processing defects will continue. There was also a risk that

このような理由から、適宜、ノズルのセンサ出力をチ
ェックし、ノズルの劣化を的確に知ることによって、す
ぐにノズル交換の処置をとるなど、適正なギャップコン
トロールを維持し、上記問題点を解決しようとするもの
である。
For this reason, by properly checking the sensor output of the nozzle and accurately knowing the deterioration of the nozzle, it is possible to take appropriate measures such as immediately replacing the nozzle, maintain appropriate gap control, and solve the above problems. It is assumed that.

(問題点を解決するための手段) そこで、本発明はノズルと一体化した非接触式ギャッ
プセンサを備えたものにおいて、ノズルを所定のチェッ
ク基準位置に位置決めし、その位置でのノズルのセンサ
出力を測定し、その測定値の良否を判定する手段を設け
るとともに、その判定結果を表示させる手段を設けるこ
とにより、例えばチェック指令スイッチを押すだけで自
動的にノズルがチェック基準位置に位置決めされ、その
位置でのセンサ出力が測定されて、そのセンサ出力が予
め設定された基準出力の範囲内であるか否かによって、
ノズルの良否が判定され表示されるので、作業者は、適
宜ノズルチェックをかけることにより、ノズルのセンサ
機能を劣化しているかどうかを簡単にかつ正確に知るこ
とができ、すぐにノズル交換等の処置をとることによっ
て、正しいギャップ量測定で適正なギャップコントロー
ルを維持させるようにしたものである。
(Means for Solving the Problems) Accordingly, the present invention provides a non-contact type gap sensor integrated with a nozzle, in which the nozzle is positioned at a predetermined check reference position, and the sensor output of the nozzle at that position is determined. Is provided, and means for determining the quality of the measured value are provided, and by providing means for displaying the determination result, for example, the nozzle is automatically positioned at the check reference position simply by pressing a check command switch, The sensor output at the position is measured, and depending on whether the sensor output is within a range of a preset reference output,
Since the quality of the nozzle is determined and displayed, the operator can easily and accurately know whether or not the sensor function of the nozzle has deteriorated by appropriately performing a nozzle check, and immediately perform nozzle replacement or the like. By taking measures, proper gap control is maintained with correct gap amount measurement.

すなわち、本発明は、ノズル先端に、ノズル先端とワ
ークとの間のギャップ量を非接触式に検出するギャップ
センサを備え、このギャップセンサによって検出された
ギャップ量に基づいてギャップ量一定制御を行いながら
加工を行うレーザ加工機において、ノズルチェック指令
手段と、ノズルチェック指令によって、ギャップ量一定
制御OFF状態においてノズルを所定のチェック基準位置
に位置決めするノズル位置決め手段と、上記チェック基
準位置に対する基準出力範囲を設定する基準出力設定手
段と、上記チェック基準位置での上記ギャップセンサの
センサ出力を測定しその値が上記基準出力範囲内であれ
ばOKとして基準出力範囲外であればNGと判定するノズル
良否判定手段と、このノズル良否判定手段による判定結
果を表示する表示手段とから構成したものである。
That is, the present invention includes a gap sensor at the tip of the nozzle that detects the gap between the nozzle tip and the work in a non-contact manner, and performs a constant gap amount control based on the gap amount detected by the gap sensor. In a laser beam machine that performs processing, a nozzle check command unit, a nozzle positioning unit that positions a nozzle at a predetermined check reference position in a gap amount constant control OFF state by the nozzle check command, a reference output range with respect to the check reference position A reference output setting means for setting the sensor output of the gap sensor at the check reference position, and if the value is within the reference output range, the result is OK. Determination means, and display means for displaying a determination result by the nozzle quality determination means It consists of.

(実施例) 次に本発明の具体的一実施例を図面に基づいて説明す
る。
(Example) Next, a specific example of the present invention will be described with reference to the drawings.

本実施例は、X軸方向に送り移動されるワークに対
し、レーザ加工ヘッドをY軸およびZ軸方向に送り移動
し、例えば平板加工に用いられるレーザ加工機に関す
る。
The present embodiment relates to a laser processing machine used for, for example, flat plate processing, in which a laser processing head is moved in a Y-axis direction and a Z-axis direction with respect to a workpiece fed and moved in an X-axis direction.

ノズル1は、上記の図示しないレーザ加工ヘッドに装
着され、光軸をZ軸と一致させている。ノズル1自体が
ギャップセンサとしての静電容量センサを形成してお
り、ノズル先端とワークWとの間の静電容量CLを検出す
ることにより、両者間のギャップ量を非接触式に測定す
るようにになっている。
The nozzle 1 is mounted on the laser processing head (not shown), and the optical axis is aligned with the Z axis. And nozzle 1 itself forms a capacitance sensor as the gap sensor, by detecting the electrostatic capacitance C L between the nozzle tip and the workpiece W, for measuring the amount of gap therebetween in a non-contact It is as follows.

また、このレーザ加工機は、第1図のフローで示すよ
うなセンサ出力サンプリング機能、第2図のフローで示
すようなギャップ量一定制御なるギャップコントロール
機能および第3図のフローで示すようなノズルチェック
機能を備えている。
In addition, this laser processing machine has a sensor output sampling function as shown in the flow of FIG. 1, a gap control function for constant gap amount control as shown in the flow of FIG. 2, and a nozzle as shown in the flow of FIG. It has a check function.

ノズルを最初に装着したとき、或は加工不良に気がつ
いたとき、或は任意時に、サンプリング指令を出すと、
ギャップ量一定制御OFF状態において、第1図のサンプ
リング制御フローに示すように、ノズル1が例えば基準
ブロックに対応する所定のサンプリング基準位置から
(例えばノズル先端と基準ブロック間のギャップ量が0
の位置から)光軸方向に、規定量例えば0.1mmずつ上昇
送りされる。すなわち、この各高さ位置が、ギャップ量
を0.1mm、0.2mm、0.3mm、…と実際に変化させた位置で
ある。
When the nozzle is first installed, or when you notice processing defects, or at any time, issue a sampling command,
In the gap amount constant control OFF state, as shown in the sampling control flow of FIG. 1, the nozzle 1 is moved from a predetermined sampling reference position corresponding to the reference block (for example, when the gap amount between the nozzle tip and the reference block is 0).
Is moved upward in the optical axis direction by a specified amount, for example, 0.1 mm. That is, these height positions are positions where the gap amount is actually changed to 0.1 mm, 0.2 mm, 0.3 mm,....

この各ギャップ量に移動される毎に、ノズル1からの
センサ出力がサンプリングされ、後述するサンプリング
データ記憶回路4へ書き込まれる。このサンプリングデ
ータをグラフ化すると、例えば第5図A線のような特性
曲線が得られる。
Each time the gap is moved, the sensor output from the nozzle 1 is sampled and written to a sampling data storage circuit 4 described later. If this sampling data is graphed, a characteristic curve such as the line A in FIG. 5 is obtained.

そして、ギャップ量一定制御ONのギャップコントロー
ル時には、第2図のギャップコントロール制御フローに
示すように、ノズル1のセンサのセンサ出力に基づい
て、上記サンプリングデータ記憶回路4に記憶されてい
る対応するギャップ量を読み出し、このギャップ量と予
め設定されたコントロール基準値としての設定ギャップ
量とを比較し、その偏差量分をギャップコントロール信
号として送られ、ノズル1先端とワークWとの間のギャ
ップ量が上記設定ギャップ量と一致するようにノズル1
を光軸方向にコントロールするようになっている。
At the time of the gap control with the gap amount constant control ON, as shown in the gap control control flow of FIG. 2, the corresponding gap stored in the sampling data storage circuit 4 is based on the sensor output of the sensor of the nozzle 1. The gap amount is read, the gap amount is compared with a preset gap amount as a control reference value, and the deviation amount is sent as a gap control signal, and the gap amount between the tip of the nozzle 1 and the work W is determined. Nozzle 1 so that it matches the above set gap amount.
Is controlled in the optical axis direction.

すなわち、第4図において、ノズル1からのセンサ出
力は、センサ回路2によって直流電圧に変換され、デー
タ処理回路3へ送られる。データ処理回路3には、サン
プリングデータ記憶回路4、ギャップ量表示回路5、デ
ータ比較回路6、Z軸駆動パルス発生回路7及びノズル
良否判定手段としての出力チェック回路8が設けられて
いる。
That is, in FIG. 4, the sensor output from the nozzle 1 is converted into a DC voltage by the sensor circuit 2 and sent to the data processing circuit 3. The data processing circuit 3 is provided with a sampling data storage circuit 4, a gap amount display circuit 5, a data comparison circuit 6, a Z-axis drive pulse generation circuit 7, and an output check circuit 8 as a nozzle quality judgment unit.

サンプリングデータ記憶回路4には、例えば、0.1m
m、0.2mm、0.3mm……と、0.1mm毎のギャップ量データが
予め登録されており、この各ギャップ量に対応する図示
しないセンサ出力記憶部には、上記センサ回路2からの
センサ出力電圧が各ギャップ量データに対応して記憶さ
れ、しかも、サンプリング毎に逐次新しいサンプリング
データに書き換えられる。
In the sampling data storage circuit 4, for example, 0.1 m
.., 0.2 mm, 0.3 mm..., and gap amount data for each 0.1 mm are registered in advance, and the sensor output voltage from the sensor circuit 2 is stored in a sensor output storage unit (not shown) corresponding to each gap amount. Is stored in correspondence with each gap amount data, and is rewritten successively with new sampling data at each sampling.

サンプリング完了後に、ノズルからのセンサ出力に基
づいてサンプリングデータ記憶回路4から出力されるギ
ャップ量データは、上記データ比較回路6へ送られ、操
作部に設けたギャップ量設定手段9によって予め設定さ
れた設定ギャップ量と比較される。この両者間の偏差量
がギャップコントロール信号として上記Z軸駆動パルス
発生回路7へ送られ、NC装置10内の割込み回路11を介し
てZ軸モータ駆動制御回路12へ送られ、Z軸コントロー
ルが行なわれ、ノズル1が光軸方向に移動制御される。
After the completion of the sampling, the gap amount data output from the sampling data storage circuit 4 based on the sensor output from the nozzle is sent to the data comparison circuit 6 and set in advance by the gap amount setting means 9 provided in the operation unit. This is compared with the set gap amount. The deviation between the two is sent to the Z-axis drive pulse generation circuit 7 as a gap control signal, and is sent to the Z-axis motor drive control circuit 12 via an interrupt circuit 11 in the NC device 10 to perform Z-axis control. The nozzle 1 is controlled to move in the optical axis direction.

また、上記サンプリングデータ記憶回路4から出力さ
れるギャップ量データは上記ギャップ量表示回路5を介
してそのままギャップ量表示器13に数値表示される。
Further, the gap amount data output from the sampling data storage circuit 4 is numerically displayed on the gap amount display 13 via the gap amount display circuit 5 as it is.

NC装置10には、ノズル1および図示しないスライドテ
ーブルをX、Y、Z軸方向に加工送りするための通常の
加工プログラム14と、ノズル位置決め手段となるノズル
チェックプログラム15とが組み込まれ、それぞれ加工指
令16およびノズルチェック指令手段17からのチェック指
令によって選択的に実行される。
The NC apparatus 10 incorporates a normal processing program 14 for processing and feeding the nozzle 1 and a slide table (not shown) in the X, Y, and Z-axis directions, and a nozzle check program 15 serving as a nozzle positioning means. It is selectively executed by the command 16 and a check command from the nozzle check command means 17.

加工プログラム14からのZ軸送り制御信号は上記割込
み回路11を介してZ軸モータ駆動制御回路12へ送られ、
Z軸モータ18を駆動制御し、ノズル1を光軸方向に送り
制御する。
The Z-axis feed control signal from the machining program 14 is sent to the Z-axis motor drive control circuit 12 via the interrupt circuit 11,
The drive control of the Z-axis motor 18 controls the feed of the nozzle 1 in the optical axis direction.

ノズルチェックプログラム15は、ギャップ量一定制御
OFF状態において、第3図のノズルチェック制御フロー
に示すように、まずノズル1を例えば基準ブロックに対
応する所定のチェック基準位置に自動的に位置決めす
る。このチェック基準位置は、例えばZ軸方向にノズル
先端と基準ブロック間のギャップ量が4.0mmとなる位置
に設定されている。この位置でのノズル1からのセンサ
出力は、上記出力チェック回路8に送られ、操作部に設
けた基準出力設定手段19によって予め設定された基準出
力の範囲内にあるか否かが判定される。
Nozzle check program 15 controls gap amount constant
In the OFF state, as shown in the nozzle check control flow of FIG. 3, first, the nozzle 1 is automatically positioned at a predetermined check reference position corresponding to, for example, a reference block. The check reference position is set, for example, at a position where the gap amount between the nozzle tip and the reference block is 4.0 mm in the Z-axis direction. The sensor output from the nozzle 1 at this position is sent to the output check circuit 8, and it is determined whether or not the output is within a reference output range set in advance by reference output setting means 19 provided in the operation unit. .

この基準出力は、第5図斜線範囲で示すように、チェ
ック基準ギャップが4.0mmで、例えば6.2V〜7.4Vと範囲
設定し、チェック時におけるセンサ出力がこの範囲内に
あれば、例えば第5図a、b点では“OK"を、範囲外で
あれば、例えば第5図c点では“NG"を、ノズル良否表
示手段20で表示する。
As shown by the hatched range in FIG. 5, the reference output is set to a range of, for example, 6.2 V to 7.4 V with a check reference gap of 4.0 mm. The nozzle OK / NG display means 20 displays “OK” at points a and b, and “NG” at point c in FIG.

“OK"の場合は、そのままのサンプリングデータでギ
ャップコントロールを続行でき、“NG"の場合は、警報
ランプ或はアラーム等で作業者に確実に警告し、ノズル
1を交換するか、或はサンプリングデータの書き換えを
促す。
In the case of "OK", the gap control can be continued with the sampling data as it is, and in the case of "NG", a warning lamp or an alarm is given to the operator without fail, and the nozzle 1 is replaced or sampling is performed. Encourage data rewriting.

サンプリングデータの書き換えは、サンプリング手段
21を操作することによって、サンプリング駆動手段とな
るZ軸駆動パルス発生回路7からZ軸を0.1mmずつ上昇
させるような駆動パルスが発生され、ノズル先端と基準
ブロック間のギャップ量を0から0.1mmずつ増加させ
て、その各位置でノズル1が静電容量を検出し、そのセ
ンサ出力がセンサ回路2を介してサンプリングデータ記
憶回路4へ送られ、各ギャップ量データに対応するセン
サ出力電圧のサンプリングデータが古いデータから新し
いデータに書き換えられる。
Sampling data rewriting
By operating 21, a driving pulse for raising the Z-axis by 0.1 mm is generated from a Z-axis driving pulse generating circuit 7 serving as a sampling driving means, and the gap between the nozzle tip and the reference block is reduced from 0 to 0.1 mm. The nozzle 1 detects the capacitance at each position, the sensor output is sent to the sampling data storage circuit 4 via the sensor circuit 2, and the sampling of the sensor output voltage corresponding to each gap amount data is performed. Data is rewritten from old data to new data.

このように、現在のノズル1のセンサ出力特性がサン
プリングされ、加工時はセンサ出力に基づいてこのサン
プリングデータから実際のギャップ量と相応したギャッ
プ量データを得、データ比較回路6へ送られて、ノズル
先端とワークWとの間のギャップ量が常に設定ギャップ
量と一致して一定になるようにギャップコントロールが
行なわれる。
In this way, the current sensor output characteristics of the nozzle 1 are sampled, and during processing, gap amount data corresponding to the actual gap amount is obtained from the sampled data based on the sensor output, and sent to the data comparison circuit 6. The gap control is performed so that the gap amount between the nozzle tip and the work W always coincides with the set gap amount and becomes constant.

なお、NC装置10に、加工プログラム14が何回かなされ
たのち自動的にノズルチェック指令手段17からチェック
指令が出されるような指令プログラムを組み込んでおく
ことも容易に可能であり、この場合、設定されたサイク
ルで必ずノズルチェックがかかるため、例えば作業者が
センサ出力特性が劣化したにもかかわらず、ノズルチェ
ックをかけるのを見述がしてしまって、予期しない加工
不良をおこしたりするのを未然に防止することができ
る。
Incidentally, it is also possible to easily incorporate a command program such that a check command is automatically issued from the nozzle check command means 17 after the machining program 14 has been executed several times in the NC device 10, and in this case, Since the nozzle check is always performed in the set cycle, for example, even though the operator has degraded the sensor output characteristics, the worker may make a statement that the nozzle check will be performed, causing unexpected machining failure. Can be prevented beforehand.

さらに、NC装置10、にサンプリング指令で実行される
サンプリングプログラムを組み込み、ノズルチェックプ
ログラム15と同様に割込み回路11へ接続するような構成
とすることも容易に可能であり、この場合、サンプリン
グ指令によってNC装置10にてノズル1を自動的にサンプ
リング基準位置に送り移動させ、すぐにZ軸を規定量ず
つ送り駆動し、サンプリングを実行することができるの
で、作業性を向上できるものとなる。また、この場合、
ノズルチェックによるNG出力信号を取り入れて、NGのと
きに自動的に上記サンプリングプログラムを実行させる
ようにすることもできる。
Furthermore, it is also possible to easily incorporate a sampling program executed by a sampling command into the NC device 10 and connect it to the interrupt circuit 11 similarly to the nozzle check program 15. The nozzle 1 is automatically sent to the sampling reference position by the NC device 10, and the Z-axis can be immediately fed and driven by a predetermined amount to perform sampling, thereby improving workability. Also, in this case,
It is also possible to take in the NG output signal from the nozzle check and automatically execute the sampling program when NG is detected.

また、ギャップセンサは、静電容量式センサに限ら
ず、磁気センサ等他の非接触センサを用いたものでもよ
い。
Further, the gap sensor is not limited to the capacitance type sensor, and may use another non-contact sensor such as a magnetic sensor.

さらに、レーザ加工ヘッドに、Z軸のみでなく他に2
本の回転主軸を設けて照射端の光軸の向きを制御できる
5軸レーザ加工機においても、Z軸モータとは別のギャ
ップコントロール用モータを設けるとともにノズル部分
のみを光軸方向に移動可能とさせる機構を設け、かつ上
記データ比較回路6の信号をZ軸駆動パルス発生回路7
へ送るかわりに、上記コントロール用モータの駆動制御
部へ送ることにより、加工プログラムによる加工送りの
他にノズル先端のギャップコントロールを付加した送り
制御が容易に可能となる。また、ノズルのサンプリング
駆動も、上記コントロールモータを駆動制御して、ノズ
ルを光軸方向に規定量ずつ移動させるようにすることも
可能である。
In addition, the laser processing head has two additional
In a 5-axis laser beam machine that can control the direction of the optical axis at the irradiation end by providing a rotating main shaft, a gap control motor separate from the Z-axis motor is provided, and only the nozzle part can be moved in the optical axis direction. And a Z-axis drive pulse generation circuit 7
By sending the data to the drive control unit of the control motor instead of sending the data to the control motor, the feed control can be easily performed by adding the gap control at the tip of the nozzle in addition to the processing feed by the processing program. In the sampling driving of the nozzle, the control motor may be driven and controlled to move the nozzle by a predetermined amount in the optical axis direction.

また、ノズル構造も、ノズル自体をギャップセンサと
して構成したもの、ノズル先端部にギャップセンサとし
ての電極を溶着したもの、或は、ギャップ検出用の第1
電極およびこの第1電極の側面部を覆って設けられ立体
ワークによるノズル側部からのセンサ出力の影響をなく
すための第2電極を設けた構造でもよく、その他非接触
式のいかなるセンサ構造においても本発明を適用するこ
とができる。
In addition, the nozzle structure may be one in which the nozzle itself is configured as a gap sensor, one in which an electrode as a gap sensor is welded to the tip of the nozzle, or the first for gap detection.
The electrode and the second electrode provided to cover the side surface of the first electrode to eliminate the influence of the sensor output from the nozzle side by the three-dimensional work may be provided, and any other non-contact type sensor structure may be used. The present invention can be applied.

(発明の効果) 以上のように、本発明によれば、例えばノズルと一体
化した非接触式ギャップセンサを備えたものにおいて、
ノズルを所定のチェック基準位置に位置決めし、その位
置でのノズルのセンサ出力を測定し、その測定値の良否
を判定する手段を設けるとともに、その判定結果を表示
させる手段を設けたので、例えばチェック指令スイッチ
を押すだけで自動的にノズルがチェック基準位置に位置
決めされ、その位置でのセンサ出力が測定されて、その
センサ出力が予め設定された基準出力の範囲内であるか
否かによって、ノズルの良否が判定され表示される。こ
れにより、作業者は、所定時間毎に、或は適宜ノズルチ
ェックをかけることにより、ノズルのセンサ機能が劣化
しているかどうかを容易にかつ正確に知ることができ、
すぐにノズル交換等の処理をとることによって、正しい
ギャップ量測定による適正なギャップ量一定制御を続行
させることができる。
(Effect of the Invention) As described above, according to the present invention, for example, in a device provided with a non-contact type gap sensor integrated with a nozzle,
Since the nozzle is positioned at a predetermined check reference position, the sensor output of the nozzle at that position is measured, and means for determining the quality of the measured value are provided, and means for displaying the determination result are provided. By simply pressing the command switch, the nozzle is automatically positioned at the check reference position, the sensor output at that position is measured, and the nozzle is determined based on whether the sensor output is within a preset reference output range. Is judged and displayed. Thereby, the operator can easily and accurately know whether or not the sensor function of the nozzle has deteriorated by performing the nozzle check at predetermined time intervals or as appropriate.
By immediately performing processing such as nozzle replacement, it is possible to continue appropriate gap amount constant control by correct gap amount measurement.

また、ノズルチェック指令を、例えばNC装置により、
所定のサイクルごとに自動的に出力させるようにすれ
ば、作業者が操作しなくてもノズルのセンサ機能が確実
にチェックされ、作業者はノズルの劣化を見逃すことな
く、しかもワークの加工不良を出すようなこともなくな
り、安心した作業が行えるものである。
In addition, a nozzle check command is issued by, for example, an NC device.
By automatically outputting the output every predetermined cycle, the sensor function of the nozzle can be reliably checked without the operator's operation. There is no need to put it out, and you can work with peace of mind.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は本発明に係るレーザ加工機におけるサンプリン
グ制御フロー図、第2図は同上ギャップコントロール制
御フロー図、第3図は同上ノズルチェック制御フロー
図、第4図は本発明の具体的制御回路の一実施例を示す
ブロック図、第5図はセンサ出力特性の変化と基準出力
範囲を示す図である。 1……ギャップセンサを一体化したノズル、8……ノズ
ル良否判定手段としての出力チェック回路、15……ノズ
ル位置決め手段としてのノズルチェックプログラム、17
……ノズルチェック指令手段、19……基準出力設定手
段、20……ノズル良否表示手段、W……ワーク。
FIG. 1 is a sampling control flow chart in the laser beam machine according to the present invention, FIG. 2 is a gap control control flow chart of the above, FIG. 3 is a nozzle check control flow chart of the same, and FIG. 4 is a specific control circuit of the present invention. FIG. 5 is a diagram showing a change in sensor output characteristics and a reference output range. 1 ... nozzle integrated with gap sensor; 8 ... output check circuit as nozzle quality judgment means; 15 ... nozzle check program as nozzle positioning means; 17
…… Nozzle check command means, 19 …… Reference output setting means, 20 …… Nozzle pass / fail indication means, W …… Work.

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】ノズル先端に、ノズル先端とワークとの間
のギャップ量を非接触式に検出するギャップセンサを備
え、このギャップセンサによって検出されたギャップ量
に基づいてギャップ量一定制御を行いながら加工を行う
レーザ加工機において、ノズルチェック指令手段と、ノ
ズルチェック指令によって、ギャップ量一定制御OFF状
態においてノズルを所定のチェック基準位置に位置決め
するノズル位置決め手段と、上記チェック基準位置に対
する基準出力範囲を設定する基準出力設定手段と、上記
チェック基準位置での上記ギャップセンサのセンサ出力
を測定しその値が上記基準出力範囲内であればOKとし基
準出力範囲外であればNGと判定するノズル良否判定手段
と、このノズル良否判定手段による判定結果を表示する
表示手段とを具備したことを特徴とするレーザ加工機に
おけるノズルチェック装置。
A gap sensor for detecting a gap amount between a nozzle tip and a work in a non-contact manner at a nozzle tip, and performing constant gap amount control based on the gap amount detected by the gap sensor. In a laser beam machine for processing, a nozzle check command means, a nozzle check command, a nozzle positioning means for positioning a nozzle at a predetermined check reference position in a gap amount constant control OFF state, and a reference output range with respect to the check reference position. A reference output setting means to be set, and a sensor output of the gap sensor at the check reference position is measured. If the value is within the reference output range, OK is determined, and if the value is outside the reference output range, NG is determined. Means, and a display means for displaying a result of the determination by the nozzle quality determination means. A nozzle check device in a laser beam machine.
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