JP2589986B2 - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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JP2589986B2
JP2589986B2 JP19802987A JP19802987A JP2589986B2 JP 2589986 B2 JP2589986 B2 JP 2589986B2 JP 19802987 A JP19802987 A JP 19802987A JP 19802987 A JP19802987 A JP 19802987A JP 2589986 B2 JP2589986 B2 JP 2589986B2
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は磁気記録媒体に関するものである。Description: TECHNICAL FIELD The present invention relates to a magnetic recording medium.

[従来の技術] 磁気ディスク用基板と、その上にスパッタ,メッキ,
蒸着等のプロセスにより形成した磁性膜及び保護膜から
なる構成体は、磁気記録媒体(以下、メディアと称す
る)と呼ばれる。
[Prior art] A substrate for a magnetic disk and sputtering, plating,
A structure composed of a magnetic film and a protective film formed by a process such as vapor deposition is called a magnetic recording medium (hereinafter, referred to as a medium).

磁気記憶装置は、このメディアと記録再生磁気ヘッド
(以下ヘッドと称する)を主構成部とし、操作開始時に
はヘッドとメディアは接触状態でセットしたあと、前記
のメディアに所要の回転を与えることにより、前記ヘッ
ドとメディア面との間に空気層分の空間を作り、この状
態で記録再生動作を行う。又、操作終了時にはメディア
の回転が止まり、この時ヘッドとメディアは操作開始時
と同様に接触状態に戻る(このような起動・停止の方式
をコンタクト・スタート・ストップCSSと云う)。
The magnetic storage device includes the medium and a recording / reproducing magnetic head (hereinafter, referred to as a head) as main components. At the start of the operation, the head and the medium are set in contact with each other, and then the medium is rotated as required to provide a required rotation. A space corresponding to an air layer is created between the head and the media surface, and recording and reproducing operations are performed in this state. At the end of the operation, the rotation of the medium stops, and at this time, the head and the medium return to the contact state as in the start of the operation (such a start / stop method is called a contact / start / stop CSS).

このように、装置の起動時及び停止時にヘッドとメデ
ィアの間に生ずる接触摩擦力は、ヘッドおよびメディア
を摩耗させ磁気特性の劣化原因となる。
As described above, the contact frictional force generated between the head and the medium when the apparatus is started and stopped causes the head and the medium to be worn and causes deterioration of magnetic characteristics.

又、多湿雰囲気中でメディアを放置してメディア表面
に水分が吸着している状態では、ヘッドとメディアの間
に水が入り込み、凝着現象を引き起こす。したがって、
この状態で起動すると、ヘッドおよびメディアに大きな
抵抗力を生じ、ヘッドの損傷やメディアの破壊を招くこ
とがある(これをヘッド・スティックあるいはヘッド・
クラッシュと通称している)。
Further, when the medium is left in a humid atmosphere and moisture is adsorbed on the surface of the medium, water enters between the head and the medium, causing an adhesion phenomenon. Therefore,
If started in this state, a large resistance will be applied to the head and the medium, which may cause damage to the head and destruction of the medium.
Crash).

一般にガラスは表面の平滑性に優れ、硬く、変形抵抗
が大きく、かつ表面欠陥が少ない等の理由から高密度化
に適した磁気ディスク用基板として注目されている(特
開昭49−122707号、特開昭52−18002号)。
Generally, glass has attracted attention as a magnetic disk substrate suitable for high density because of its excellent surface smoothness, hardness, large deformation resistance, and few surface defects (Japanese Patent Application Laid-Open No. 49-122707, JP-A-52-18002).

しかしながら、上述した耐CSS性およびヘッドスティ
ック性に対しては、ガラスは鏡面性が優れているが故
に、ガラス基板を用いたメディアは、他の平滑性の劣る
基板を用いたメディアに比べ、ヘッドとメディアの接触
面積が増大するため摩擦抵抗の増加や凝着力の増大を招
くことから問題があった。
However, for the above-described CSS resistance and head stick property, glass has excellent mirror finish, so the media using a glass substrate has a higher head than the media using other substrates having poor smoothness. However, there is a problem in that the contact area between the media and the media increases, thereby increasing the frictional resistance and the adhesive force.

このような欠点を解消するために、表面に機械的方法
あるいは化学的方法あるいはそれらを併用する方法によ
り微小な凹凸を形成させたガラス基板を用いることによ
り、ヘッドとメディアの間に生ずる摩擦力および凝着力
を低減させる方法が提案されている。
In order to eliminate such drawbacks, the use of a glass substrate having fine irregularities formed on the surface by a mechanical method or a chemical method or a method using a combination of these methods allows the frictional force generated between the head and the medium to be reduced. Methods for reducing the adhesive force have been proposed.

またガラス基板として比較的安価なアルカリを含むガ
ラス例えばソーダライムシリカガラスを用いた場合、多
湿環境下において磁性膜のピンホール部あるいは磁性膜
の周縁部などガラスが露出した部分からアルカリイオン
が溶出しこれが引き金となって磁性膜が腐食あるいは変
質することが見出されている。
When a relatively inexpensive glass containing alkali such as soda lime silica glass is used as the glass substrate, alkali ions are eluted from the exposed portion of the glass such as a pinhole portion of the magnetic film or a peripheral portion of the magnetic film in a humid environment. It has been found that this triggers the corrosion or deterioration of the magnetic film.

また一方ガラス基板は従来のアルミニウム合金等の基
板に比べ破壊強度が低い。従ってスピンドルへの装着そ
の他取扱い時における破損などに対する防止策として強
度の高いガラス基板、例えば強化処理したガラス基板を
用いることが望ましい。
On the other hand, a glass substrate has a lower breaking strength than a substrate made of a conventional aluminum alloy or the like. Therefore, it is desirable to use a glass substrate having high strength, for example, a glass substrate that has been subjected to a strengthening treatment, as a measure for preventing damage to the spindle during mounting or other handling.

[発明の解決しようとする問題点] 前述のようにガラス基板には(1)多湿環境下あるい
はエイジングによる磁性膜の劣化を生起させないこと、
(2)実用上充分な強度を有すること、(3)表面に均
一な凹凸を形成し得ることが要求される。
[Problems to be Solved by the Invention] As described above, the glass substrate must (1) not deteriorate the magnetic film due to humid environment or aging;
(2) It is required to have sufficient strength for practical use, and (3) to be able to form uniform irregularities on the surface.

前記したようにガラス基板として比較的安価なアルカ
リを含むガラスを用いた場合には、アルカリイオンのガ
ラス表面における存在あるいは多湿環境もしくは長期使
用によるガラス内部からのアルカリイオンの表面への移
動・析出が磁性膜劣化を誘起するから、これを回避する
ためにはアルカリ含有量の極めて低いガラス例えばノン
アルカリガラスを用いればよい訳であるが、その場合ガ
ラス製造時の溶解性が低下するなどの問題があり、安価
なガラスが得られにくい。
As described above, when a relatively inexpensive alkali-containing glass is used as the glass substrate, the presence / presence of alkali ions on the glass surface or the migration / precipitation of alkali ions from the inside of the glass to the surface due to a humid environment or long-term use is prevented. In order to avoid the magnetic film deterioration, it is only necessary to use a glass having an extremely low alkali content, for example, a non-alkali glass.However, in that case, there is a problem such as a decrease in solubility during glass production. Yes, it is difficult to obtain inexpensive glass.

一方実用上充分な強度を得るために施すガラスの強化
処理としては風冷強化、液冷強化あるいはイオン交換強
化がある。厚さの薄いディスク用ガラス基板の平坦性を
損う危険性の低い強化処理としては、いわゆる低温型イ
オン交換処理が好ましい。Naを含むガラスの低温型イオ
ン交換処理とは、ガラスの転移温度以下の温度でガラス
中のNa+イオンをそれよりイオン半径の大きいK+イオン
と交換する処理である。
On the other hand, as a tempering treatment of the glass to obtain a practically sufficient strength, there are air cooling strengthening, liquid cooling strengthening and ion exchange strengthening. A so-called low-temperature ion exchange treatment is preferable as the strengthening treatment with a low risk of impairing the flatness of the thin glass substrate for a disk. The low-temperature ion exchange treatment of Na-containing glass is a treatment in which Na + ions in glass are exchanged with K + ions having a larger ion radius at a temperature lower than the glass transition temperature.

ガラスに含有されるアルカリは上記したようにイオン
交換される成分であるから、ノンアルカリガラスはイオ
ン交換強化の対象になり得ない。またアルカリを含むガ
ラスであってもアルカリの含有量が低いと、イオン交換
によってガラス表面に充分な厚さの圧縮応力層や充分な
圧縮応力が得られず、実用上充分な強度が得られない。
従って低温型イオン交換処理を行う以上は基板ガラスは
アルカリを含むガラスでなければならない。
Since the alkali contained in the glass is a component that is ion-exchanged as described above, non-alkali glass cannot be a target of ion exchange strengthening. In addition, even if the glass contains an alkali, if the alkali content is low, a sufficient thickness of a compressive stress layer or a sufficient compressive stress cannot be obtained on the glass surface by ion exchange, and a practically sufficient strength cannot be obtained. .
Therefore, the substrate glass must be a glass containing alkali before the low-temperature ion exchange treatment is performed.

また前述したガラス基板の表面の凹凸は極端に大きい
凹凸を含まず、微小で均一性が要求され、凹凸加工につ
いても再現性、安定性が求められる。また凹凸形成後の
ガラス表面のピットや微細なクラックの存在もでき得る
限り少ないことが要求される。
In addition, the above-described irregularities on the surface of the glass substrate do not include extremely large irregularities, and are required to be minute and uniform, and reproducibility and stability are also required for irregularities processing. Further, it is required that pits and fine cracks on the glass surface after the formation of the irregularities are as small as possible.

[問題点を解決するための手段] 本発明は前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、化学組成が重量%表示で実質的にSiO2 65〜75,Al2
O3 4〜9,B2O3 5〜10,Na2O 5〜9.5,K2O 0〜3,Ba
O 3〜6,ZnO 0.5〜3であるガラスからなり、主表面
に均一で微小な凹凸が形成されたガラス基板上に磁性膜
が設けられていることを特徴とする磁気記録媒体を提供
するものである。
[Means for Solving the Problems] The present invention has been made to solve the above problems, and has a chemical composition of substantially SiO 2 65 to 75, Al 2
O 3 4-9, B 2 O 3 5-10, Na 2 O 5-9.5, K 2 O 0-3, Ba
A magnetic recording medium provided with a magnetic film on a glass substrate made of glass of O 3 to 6 and ZnO 0.5 to 3 and having uniform and minute irregularities formed on a main surface. It is.

本発明におけるガラス基板の各化学成分の限定理由は
次の通りである。
The reasons for limiting each chemical component of the glass substrate in the present invention are as follows.

SiO2はガラスのネットワークフォーマーであり、65%
未満では化学的耐久性が低下し、75%を越えると溶解が
困難となるので、いずれも好ましくない。Al2O3はガラ
スの化学的耐久性を向上させると同時に、ガラス表層部
のアルカリ金属をよりイオン半径の大きいアルカリ金属
で置換するイオン交換の速度を増大させ、而して、深い
圧縮応力層を形成させやすくする作用があり、4%以上
は必須である。一方、9%を越えると、溶解が困難とな
るため、好ましくない。B2O3はガラスの粘性を下げ、溶
解性、成形性を向上させるために、5%以上は必要であ
り、また、10%を越えると、ガラスが分相しやすくな
り、また、化学的耐久性が低下するので好ましくない。
Na2Oはガラス溶解時のフラックスとして作用すると同時
に、イオン交換を行う時に、イオン交換される主たる成
分である。5%未満では、ガラスの溶解性が低下すると
同時に、イオン交換により十分な厚さの圧縮応力層が得
られないので好ましくなく、また、9.5%を越えると化
学的耐久性が低下するだけでなく、Na+イオンのガラス
基板表面への析出量の増加に基づき磁性膜劣化の傾向が
増大するので好ましくない。K2Oは必須成分ではない
が、添加することにより、ガラスの溶解性を向上させ、
更に、イオン交換の速度を向上させることができる。し
かしながら、過度の添加はバッチコストを上昇させ、か
つ、化学的耐久性を低下させるので、3%以内にすべき
である。BaOはガラス溶解時にフラックスとして作用
し、また、化学的耐久性を向上させるので、3%以上含
ませるべきだが、6%を越えると失透しやすくなり、更
に、イオン交換速度が低下するので好ましくない。ZnO
は化学的耐久性を向上させる効果がある。0.5%未満で
は該効果が不十分であり、一方、3%を越えると溶解
性、イオン交換速度が低下するので、いずれも好ましく
ない。したがって、ZnOは0.5〜3%の範囲がより望まし
い。CaOおよびMgOは通常の原料、工程中より混入する不
純物としていずれも0.5%以下であれば、あっても構わ
ないが、それを越えると、イオン交換速度が低下するの
で好ましくない。
SiO 2 is a glass network former, 65%
If it is less than 75%, the chemical durability decreases, and if it exceeds 75%, it becomes difficult to dissolve it. Al 2 O 3 not only improves the chemical durability of the glass, but also increases the rate of ion exchange in which the alkali metal on the glass surface is replaced with an alkali metal having a larger ionic radius, and thus a deep compressive stress layer. And has an effect of easily forming, and 4% or more is essential. On the other hand, if it exceeds 9%, dissolution becomes difficult, which is not preferable. B 2 O 3 is required to be 5% or more in order to lower the viscosity of the glass and to improve the solubility and moldability. It is not preferable because durability is reduced.
Na 2 O acts as a flux at the time of glass melting and is a main component that is ion-exchanged when performing ion exchange. If it is less than 5%, the solubility of the glass is lowered, and at the same time, a sufficiently thick compressive stress layer cannot be obtained by ion exchange, which is not preferable. In addition, the tendency of magnetic film deterioration is increased due to the increase in the amount of Na + ions deposited on the glass substrate surface, which is not preferable. K 2 O is not an essential component, but by adding it improves the solubility of the glass,
Further, the speed of ion exchange can be improved. However, it should be within 3%, since excessive addition increases batch cost and reduces chemical durability. BaO acts as a flux at the time of glass melting and improves the chemical durability, so it should be contained at least 3%. If it exceeds 6%, it tends to be devitrified, and furthermore, the ion exchange rate is lowered, so it is preferable. Absent. ZnO
Has the effect of improving chemical durability. If the amount is less than 0.5%, the effect is insufficient. On the other hand, if it exceeds 3%, the solubility and the ion exchange rate decrease, so that both are not preferred. Therefore, ZnO is more preferably in the range of 0.5 to 3%. CaO and MgO may be present as impurities mixed from ordinary raw materials and during the process, as long as they are each 0.5% or less.

本発明によるガラスは上記成分で97%以上を占めるも
のであり、残り3%未満については、Li2O、あるいは通
常用いられる清澄剤、着色剤等を含有することができ
る。Li2Oは、上記した本発明の組成のガラスに対し添加
することによってガラスの溶解性を向上させることがで
きるが、高価であるため、添加するにしても0.5%以
内、即ち0〜0.5%が望ましい。本発明における上記し
た化学組成のガラスは例えばフロート法により製造する
ことができる。
The glass according to the present invention accounts for 97% or more of the above components, and the remaining less than 3% can contain Li 2 O or a commonly used fining agent, colorant, and the like. Li 2 O can improve the solubility of glass by being added to the glass having the composition of the present invention described above, but is expensive, so even if added, it is within 0.5%, that is, 0 to 0.5%. Is desirable. The glass having the above-mentioned chemical composition in the present invention can be produced by, for example, a float method.

本発明におけるガラス基板は、上記した化学組成をも
つ板状のガラス(これをガラス素板という)の主表面に
均一で微小な凹凸が形成されたものである。
The glass substrate in the present invention is a plate-like glass having the above-mentioned chemical composition (this is referred to as a glass base plate) in which uniform and minute irregularities are formed on the main surface.

上記した微小な凹凸は、該凹凸からなる表面粗さの最
大高さ(Rmax)が基準長さ250μmにおいて700Å以下で
あり、かつ基準長さ50μmにおいて50Å以上であること
が望ましい。ここに表面粗さは、JIS B 0601[表面粗
さ]に準拠しており、触針式の表面粗さ計で触針の公称
半径2.5μmのものを用い、針荷重25mg、充分遅い走査
速度で測定して得られるものを採用することにする。
It is desirable that the above-mentioned minute unevenness has a maximum surface roughness height (Rmax) of 700 ° or less at a reference length of 250 μm and 50 ° or more at a reference length of 50 μm. The surface roughness here conforms to JIS B 0601 [Surface roughness]. Use a stylus type surface roughness meter with a nominal radius of 2.5 μm for the stylus, needle load 25 mg, sufficiently slow scanning speed The one obtained by the measurement will be adopted.

Rmaxが50Å未満の場合、メディアの静止摩擦特性やCS
S特性および磁気ヘッドの安定した浮上性に問題が生じ
る。一方、メディアに要求されるS/N比、ディフェクト
等の磁気特性および磁気ヘッドの低浮上化を満足させる
ためにはRmaxが1000Å程度以下、望ましくは700Å以下
がよい。
When Rmax is less than 50 °, the static friction characteristics of media and CS
Problems arise in the S characteristics and the stable flying characteristics of the magnetic head. On the other hand, in order to satisfy the magnetic characteristics such as the S / N ratio and the defect required for the medium and the low flying height of the magnetic head, Rmax is preferably about 1000 ° or less, and more preferably 700 ° or less.

該凹凸の形成方法としては、フッ酸水溶液、アルカリ
フッ化物、アルカリケイフッ化物等のフッ素を含む薬液
またはフッ化水素ガスを用いる化学的エッチング法、Si
C、Al2O3などの自由砥粒と定盤による研磨やラッピング
テープによる研磨等の機械的方法または化学的方法と機
械的方法の併用などが挙げられる。
Examples of the method of forming the irregularities include a hydrofluoric acid aqueous solution, an alkali fluoride, a chemical solution containing fluorine such as an alkali silicon fluoride or a chemical etching method using a hydrogen fluoride gas, Si
A mechanical method such as polishing with free abrasive grains such as C and Al 2 O 3 and a surface plate, or polishing with a lapping tape, or a combination of a chemical method and a mechanical method is used.

本発明の磁気記録媒体は上記ガラス基板の主表面にス
パッタ、メッキ、蒸着等のプロセスにより形成した磁性
膜および保護膜からなる。また該保護膜の上部を潤滑剤
で被覆することもできる。また必要によりガラス基板と
磁性膜の間にCrなどの下地層を設けることがある。磁性
膜としては、Co合金、Co−Ni合金、Co−Cr合金、Co−Pt
合金、Co−Pt−Ni合金等、保護膜としてはC,TiC,SiO2
ど、また潤滑剤としてはパーフルオロポリエーテル、パ
ーフルオロカルボン酸、パーフルオロカルボン酸のアル
キルエステルなどが使用できる。
The magnetic recording medium of the present invention comprises a magnetic film and a protective film formed on the main surface of the glass substrate by a process such as sputtering, plating, or vapor deposition. Further, the upper part of the protective film can be covered with a lubricant. If necessary, an underlayer such as Cr may be provided between the glass substrate and the magnetic film. As the magnetic film, Co alloy, Co-Ni alloy, Co-Cr alloy, Co-Pt
Alloy, Co-Pt-Ni alloy or the like, as the protective film C, TiC, etc. SiO 2, and as the lubricant perfluoropolyether, perfluoro carboxylic acids, alkyl esters of perfluorocarboxylic acids can be used.

[実施例] 実施例1.板状ガラスの作成 第1表に示したNO.1〜NO.6の6種類の組成のガラスが
得られるように常法に従い調合・混合し、ガラスバッチ
を調整した。次いで容量約500mlのPt−Rh10%坩堝に該
ガラスバッチを入れ、1500℃で均質化のための約1時間
の撹拌を含め約4時間溶融し、カーボン板上に流し出し
て板状とし徐冷後常法に従い切截・研磨して約1.9mm厚
の板状ガラスサンプルを得た。
[Examples] Example 1. Preparation of sheet glass Glass is prepared and mixed according to a conventional method so as to obtain glasses having six kinds of compositions No. 1 to No. 6 shown in Table 1, and a glass batch is adjusted. did. Next, the glass batch is put into a Pt-Rh 10% crucible having a capacity of about 500 ml, melted at 1500 ° C. for about 4 hours including stirring for about 1 hour for homogenization, poured out onto a carbon plate to form a plate, and gradually cooled. Thereafter, it was cut and polished according to a conventional method to obtain a sheet glass sample having a thickness of about 1.9 mm.

上記板状ガラスサンプルおよび同じ厚さのソーダライ
ムシリカガラス(NO.7、比較例)より切り出した試料を
KNO3熔融塩浴に12時間浸漬することによりイオン交換強
化処理を行った後、該試料の小片を切り出し、偏光顕微
鏡により圧縮応力層の深さを測定した。その値を第1表
に示す。またNO.1〜NO.7試料の歪点の測定値も第1表に
示した。
Samples cut from the above plate-shaped glass sample and the same thickness of soda lime silica glass (NO.7, Comparative Example)
After performing ion exchange strengthening treatment by immersing in a KNO 3 molten salt bath for 12 hours, a small piece of the sample was cut out, and the depth of the compressive stress layer was measured by a polarizing microscope. The values are shown in Table 1. Table 1 also shows the measured values of the strain points of the samples No. 1 to No. 7.

実施例2.磁気記録媒体の耐湿テスト(1) 実施例1で得たNO.1〜NO.6の板状ガラスサンプルおよ
びNO.7の板状ガラスを切截・研磨して外径130×内径40
×厚さ1.9mmのガラスディスクを作成した。ガラスディ
スクNO.1〜NO.7を洗浄・乾燥させた後フッ化カリウムと
フッ酸を含む水溶液を用いて化学エッチング処理するこ
とにより該ディスクの主表面に凹凸の形成されたガラス
基板NO.1〜NO.7をそれぞれ複数枚つくった(未強化品あ
るいは未強化品NO.1〜NO.7と呼ぶ)。
Example 2. Moisture resistance test of a magnetic recording medium (1) The sheet glass samples No. 1 to No. 6 and the sheet glass No. 7 obtained in Example 1 were cut and polished to obtain an outer diameter of 130 ×. Inner diameter 40
X A glass disk having a thickness of 1.9 mm was prepared. After cleaning and drying the glass disks NO.1 to NO.7, the glass substrate NO.1 having an irregular surface formed on the main surface of the disk by chemically etching using an aqueous solution containing potassium fluoride and hydrofluoric acid. ~ No. 7 were made respectively (referred to as unreinforced products or unreinforced products NO. 1 to NO. 7).

これらのガラス基板NO.1〜NO.7の表面粗さの最大高さ
(Rmax)は基準長さ250μmで測定して500Å以内、基準
長さ50μmで測定して100Å以上の範囲に入っていた。
なお、この表面粗さの測定に当っては半径2.5μmの触
針を使用し針荷重25mg、十分遅い走査速度で測定した。
The maximum height (Rmax) of the surface roughness of these glass substrates NO.1 to NO.7 was within 500 mm when measured at a reference length of 250 μm, and was within 100 mm when measured at a reference length of 50 μm. .
The surface roughness was measured using a stylus having a radius of 2.5 μm, with a needle load of 25 mg and a sufficiently low scanning speed.

またかくして得られた未強化品NO.1〜NO.7の各一部に
KNO3浴(460℃×12時間)による低温型イオン交換処理
を施し、強化されたガラス基板NO.1〜NO.7を作成した
(強化品あるいは強化品NO.1〜NO.7と呼ぶ)。
In addition, each part of the unreinforced products NO.1 to NO.7 thus obtained
A low-temperature ion exchange treatment was performed in a KNO 3 bath (460 ° C × 12 hours) to produce reinforced glass substrates NO.1 to NO.7 (referred to as reinforced or reinforced products NO.1 to NO.7) .

上記未強化品および強化品のそれぞれの主面上にスパ
ッタ法により厚さ約1500ÅのCrから成る下地層を形成し
たのち厚さ約600ÅのCo−30原子%Ni合金磁性層を形成
し、その上に厚さ約300Åのカーボン保護層を形成しさ
らにその上にプラズマ重合法により固体の潤滑層を形成
することにより磁気記録媒体を得た(未強化品磁気記録
媒体あるいは強化品磁気記録媒体と呼ぶ)。
On the main surface of each of the unreinforced product and the reinforced product, an underlayer made of about 1500 mm thick Cr is formed by sputtering, and then a Co-30 atomic% Ni alloy magnetic layer about 600 mm thick is formed. A magnetic recording medium was obtained by forming a carbon protective layer with a thickness of about 300 mm on top of it, and then forming a solid lubricating layer by plasma polymerization on the carbon protective layer (unreinforced magnetic recording medium or reinforced magnetic recording medium. Call).

これらについて80℃90%RHの雰囲気条件で耐湿テスト
を実施したところ、100時間後NO.7未強化品磁気記録媒
体はディスクの内周および外周の周縁部から1〜2mmの
範囲にわたってCo−Ni合金層のカーボン層との界面に変
色が認められた。NO.7強化品磁気記録媒体は同様に上記
周縁部から0.5〜1.5mmの範囲にわたって変色が認められ
た。これに対しNO.1〜NO.6磁気記録媒体は未強化品、強
化品共に変色が全く認められなかった。
A moisture resistance test was carried out on these at 80 ° C. and 90% RH. After 100 hours, the No. 7 unreinforced magnetic recording medium showed Co-Ni over a range of 1 to 2 mm from the inner and outer peripheral edges of the disk. Discoloration was observed at the interface between the alloy layer and the carbon layer. Similarly, discoloration of the NO. 7 reinforced magnetic recording medium was observed over a range of 0.5 to 1.5 mm from the peripheral portion. On the other hand, no color change was recognized in both the unreinforced product and the reinforced product of the magnetic recording media No. 1 to No. 6.

実施例3.磁気記録媒体の耐湿テスト(2) 実施例2と同様にして作成したガラスディスクNO.1〜
NO.7を洗浄・乾燥させた後#3000SiCラッピングテープ
を用いて該ディスクの主表面に同心円状の凹部および凸
部を形成させることによりガラス基板NO.1〜NO.7をそれ
ぞれ複数枚つくった(未強化品あるいは未強化品NO.1〜
NO.7と呼ぶ)。
Example 3 Moisture resistance test of magnetic recording medium (2) Glass disks NO.
After washing and drying NO.7, a plurality of glass substrates NO.1 to NO.7 were made by forming concentric concave and convex portions on the main surface of the disk using # 3000 SiC wrapping tape. (Unreinforced or unreinforced products NO.1 ~
NO.7).

これらのガラス基板NO.1〜NO.7の表面粗さの最大高さ
(Rmax)は基準長さ250μmで測定して500Å以下、基準
長さ50μmで測定して100Å以上の範囲に入っていた。
なお、この表面粗さの測定に当っては半径2.5μmの触
針を使用し、針荷重25mg、十分遅い走査速度で測定し
た。
The maximum height (Rmax) of the surface roughness of these glass substrates NO.1 to NO.7 was within 500 ° or less when measured at a reference length of 250 μm and within 100 ° or more when measured at a reference length of 50 μm. .
The surface roughness was measured using a stylus having a radius of 2.5 μm, a needle load of 25 mg, and a sufficiently low scanning speed.

かくして得られた未強化品NO.1〜NO.7の各一部から実
施例2と同様なイオン交換処理により強化されたガラス
基板NO.1〜NO.7を作成した(強化品あるいは強化品NO.1
〜NO.7と呼ぶ)。
Glass substrates NO.1 to NO.7 reinforced by the same ion exchange treatment as in Example 2 were produced from each of the thus obtained unreinforced products NO.1 to NO.7 (reinforced products or reinforced products). NO.1
~ NO.7).

上記未強化品および強化品のそれぞれの主表面に実施
例2と同様な方法によりほぼ同じ厚さのCrからなる下地
層、Co−Ni合金磁性層さらにカーボン保護層を形成し、
その上にパーフルオロポリエーテルから成る液体潤滑層
を設け磁気記録媒体を得た(それぞれ未強化品磁気記録
媒体あるいは強化品磁気記録媒体と呼ぶ)。
Forming an underlayer, a Co-Ni alloy magnetic layer, and a carbon protective layer of Cr having substantially the same thickness on the main surfaces of the unreinforced product and the reinforced product, respectively, in the same manner as in Example 2;
A liquid lubricating layer made of perfluoropolyether was provided thereon to obtain a magnetic recording medium (referred to as an unreinforced magnetic recording medium or a reinforced magnetic recording medium, respectively).

かくして得られた磁気記録媒体について実施例2と同
様の条件で耐湿テストを実施した。NO.7は未強化品およ
び強化品共にディスクの内周および外周の周縁部の変色
と主表面内のテクスチャに沿ってほぼ全面に青色の変色
が認められた。これに対してNO.1〜NO.6磁気記録媒体は
未強化品、強化品何れも内外周、面内共に変色が全く認
められなかった。
The magnetic recording medium thus obtained was subjected to a moisture resistance test under the same conditions as in Example 2. In the case of NO.7, both the unreinforced product and the reinforced product showed discoloration of the inner and outer peripheral edges of the disc and blue discoloration on almost the entire surface along with the texture in the main surface. On the other hand, in the case of the magnetic recording media No. 1 to No. 6, no discoloration was recognized at all on the inner and outer circumferences and in the plane of the unreinforced product and the reinforced product.

実施例4.ガラス基板の強度テスト 前記した凹凸の形成されたガラス基板の未強化品およ
び強化品についてディスクの外周全周を支持し、内周部
に荷重をかける曲げ強度テストを行った。NO.7の曲げ強
度は、未強化品が約14.5kg/mm2であるのに対し、深さ約
20μmの圧縮応力層をもつ強化品は、約45kg/mm2であっ
た。
Example 4 Strength Test of Glass Substrate The unstrengthened and strengthened glass substrate having the above-mentioned irregularities was supported on the entire outer periphery of the disk and subjected to a bending strength test in which a load was applied to the inner periphery. Flexural strength of NO.7, compared to unreinforced product is about 14.5 kg / mm 2, about the depth
The reinforced product having a 20 μm compressive stress layer was about 45 kg / mm 2 .

これに比べ、NO.1〜NO.6の未強化品は約14.5kg/mm2
あるのに対し、同じく強化品は460℃×12Hrs.処理品が
約35kg/mm2,480℃×12Hrs.処理品が約36kg/mm2であっ
た。
In contrast, whereas unreinforced articles NO.1~NO.6 is about 14.5 kg / mm 2, likewise reinforced article 460 ° C. × 12hrs. Treated product of about 35kg / mm 2, 480 ℃ × 12Hrs The processed product was about 36 kg / mm 2 .

ディスク状磁気記録媒体(磁気ディスク)の高速度回
転に基づく応力は、内周部で最大であり切線方向の引張
応力である。5 1/4インチサイズのソーダライムガラスN
O.7のディスクの場合、この引張応力は3600r.p.m.で0.1
25kg/mm2程度である。傷のあるガラスの平均引張強度約
7kg/mm2に比べこの値は著しく低いので、単なる回転に
よりガラスが破損する可能性が低いと云える。
The stress based on the high-speed rotation of the disk-shaped magnetic recording medium (magnetic disk) is the maximum at the inner periphery and is the tensile stress in the direction of the dashed line. 5 1/4 inch size soda lime glass N
For O.7 disks, this tensile stress is 0.1 at 3600 rpm.
It is 25kg / mm 2 about. Average tensile strength of scratched glass
Since this value is significantly lower than 7 kg / mm 2 , it can be said that the glass is unlikely to be damaged by simple rotation.

ガラス基板磁気ディスクが破損するとしたら、それは
該磁気ディスクをドライブ装置に組込むまでの工程中に
その可能性があると云える。ガラスは実際上塑性変形を
しないので集中的な応力が働くとA1ディスクに比べて破
損し易いため、そのような力が作用しないよう強い力が
加わる可能性のあるドライブシャフト,スペーサ,締結
金具等との接触部分にプラスチック等の材料を介在させ
るか強い力が加わらない工夫が望ましい。一方、Alディ
スクも高い精度の寸法を維持する必要性から塑性変形を
伴うような取扱いは好ましくない。
If the glass substrate magnetic disk is damaged, it may be during the process until the magnetic disk is assembled into a drive device. Since glass does not actually undergo plastic deformation, it is more likely to be damaged than a A1 disc when concentrated stress is applied. Therefore, drive shafts, spacers, fasteners, etc., which may be subjected to strong forces to prevent such forces from acting. It is desirable that a material such as plastic is interposed in the contact portion with the material, or that a strong force is not applied. On the other hand, it is not preferable to handle the Al disk with plastic deformation due to the necessity of maintaining high precision dimensions.

この点からガラス基板磁気ディスクに要求される強度
としてAlの降伏強度10Kg/mm2以上が目安になる。
From this point, a yield strength of Al of 10 kg / mm 2 or more can be used as a guide as a strength required for the glass substrate magnetic disk.

前記実施例4の結果によれば、本発明の磁気記録媒体
の強度は上記10Kg/mm2に比べて数倍高く、実用上必要な
強度をもつものと認められる。
According to the results of Example 4, the strength of the magnetic recording medium of the present invention is several times higher than the above 10 kg / mm 2 , and it is recognized that the magnetic recording medium has the strength necessary for practical use.

実施例5.CSSテスト 実施例2および実施例3で得た本発明NO.1〜NO.6およ
び比較例NO.7の磁気記録媒体についてCSS特性,ヘッド
スティック性,S/N比およびミッシングパルスを評価し
た。その結果を第2表に示す。
Example 5. CSS test CSS characteristics, head stick property, S / N ratio, and missing pulse of the magnetic recording media of the present invention Nos. 1 to 6 and Comparative Example No. 7 obtained in the examples 2 and 3 Was evaluated. Table 2 shows the results.

[発明の効果] 1) 本発明の磁気記録媒体は汎用のソーダライムシリ
カガラスを基板とした磁気記録媒体に比べ、耐湿性、耐
エージング性が極めて優れている。
[Effects of the Invention] 1) The magnetic recording medium of the present invention is extremely excellent in moisture resistance and aging resistance as compared with a magnetic recording medium using a general-purpose soda lime silica glass as a substrate.

2) 本発明の磁気記録媒体は実際使用上充分な機械的
強度を有する。
2) The magnetic recording medium of the present invention has sufficient mechanical strength for practical use.

3) 本発明におけるガラス基板は再現性,安定性のあ
る表面凹凸形成加工ができ、該基板の主面に均一な凹凸
を設けることができる。
3) The surface unevenness of the glass substrate of the present invention can be formed with reproducibility and stability, and uniform unevenness can be provided on the main surface of the substrate.

4) 本発明の磁気記録媒体はCSS特性,ヘッドスティ
ック性,S/N比およびディフェクト評価において汎用のソ
ーダライムシリカガラスを基板とした磁気記録媒体に比
べ同等以上である。
4) The magnetic recording medium of the present invention is equal to or more than a magnetic recording medium using a general-purpose soda lime silica glass as a substrate in CSS characteristics, head stick properties, S / N ratio and defect evaluation.

5) 本発明は、耐湿・耐エイジング性,機械的強度な
らびに磁気ディスク記録媒体に要求される諸特性が実用
上バランスよく総合された優れた磁気記録媒体を提供す
るものである。
5) The present invention provides an excellent magnetic recording medium in which moisture resistance, aging resistance, mechanical strength, and various characteristics required for a magnetic disk recording medium are practically balanced in a well-balanced manner.

フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭61−77638(JP,A) 特開 昭62−65954(JP,A) 特開 昭61−63542(JP,A) 特開 昭62−43819(JP,A)Continuation of front page (56) References JP-A-61-77638 (JP, A) JP-A-62-65954 (JP, A) JP-A-61-63542 (JP, A) JP-A-62-43819 (JP) , A)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】化学組成が重量%表示で実質的にSiO2 65
〜75、Al2O3 4〜9、B2O3 5〜10、Na2O 5〜9.5、
K2O 0〜3、BaO 3〜6、ZnO 0.5〜3であるガラス
からなり、主表面に均一で微小な凹凸が形成されたガラ
ス基板上に磁性膜が設けられていることを特徴とする磁
気記録媒体。
2. The method according to claim 1, wherein the chemical composition is substantially SiO 2 65 in weight%.
~75, Al 2 O 3 4~9, B 2 O 3 5~10, Na 2 O 5~9.5,
K 2 O 0~3, BaO 3~6, made of glass is a ZnO 0.5 to 3, characterized in that it magnetic film is provided on the uniform minute irregularities glass substrate formed on the main surface Magnetic recording medium.
【請求項2】化学組成が重量%表示で実質的にSiO2 65
〜75、Al2O3 4〜9、B2O3 5〜10、Na2O 5〜9.5、
K2O 0〜3、BaO 3〜6、ZnO 0.5〜3であるガラス
からなり主表面に均一で微小な凹凸が形成されたガラス
基板にイオン交換強化処理を施して得られたガラス基板
上に磁性膜が設けられていることを特徴とする特許請求
の範囲第1項の磁気記録媒体。
2. The composition according to claim 1, wherein the chemical composition is substantially SiO 2 65% by weight.
~75, Al 2 O 3 4~9, B 2 O 3 5~10, Na 2 O 5~9.5,
On a glass substrate obtained by subjecting a glass substrate made of glass of K 2 O 0-3, BaO 3-6, and ZnO 0.5-3 to uniform and fine irregularities on the main surface to an ion exchange strengthening treatment, 2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a magnetic film is provided.
【請求項3】上記した均一で微小な凹凸からなる表面粗
さの最大高さが、基準長さ250μmにおいて700Å以下で
あり、かつ基準長さ50μmにおいて50Å以上であること
を特徴とする特許請求の範囲第1項または第2項の磁気
記録媒体。
3. The method according to claim 1, wherein the maximum height of the surface roughness comprising the uniform and minute unevenness is 700 ° or less at a reference length of 250 μm and 50 ° or more at a reference length of 50 μm. Item 3. The magnetic recording medium according to Item 1 or 2.
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