JP2558632B2 - Magnetic recording media - Google Patents

Magnetic recording media

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JP2558632B2
JP2558632B2 JP61054003A JP5400386A JP2558632B2 JP 2558632 B2 JP2558632 B2 JP 2558632B2 JP 61054003 A JP61054003 A JP 61054003A JP 5400386 A JP5400386 A JP 5400386A JP 2558632 B2 JP2558632 B2 JP 2558632B2
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、情報産業分野等に応用される高記録密度の
磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a high recording density magnetic recording medium applied to the information industry field and the like.

従来の技術 磁気ディスク、磁気テープ等に供せられる磁気記録媒
体の開発を目的に、従来γ−Fe2O3,Co含有γ−Fe2O3
たはCrO2等の強磁性粉末を有機バインダー中に分散して
作製する塗布型磁気記録媒体に代わり、現在さらに高密
度化を目的として、非磁性基板上に直接強磁性金属薄膜
をメッキ法、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプ
レーティング法等によって形成する金属薄膜型磁気記録
媒体が活発に研究されている。
Conventional technology In order to develop magnetic recording media for magnetic disks, magnetic tapes, etc., conventional γ-Fe 2 O 3 , Co-containing γ-Fe 2 O 3 or ferromagnetic powder such as CrO 2 in an organic binder. In place of the coating type magnetic recording medium prepared by dispersing in, the ferromagnetic metal thin film is directly plated on the non-magnetic substrate by the plating method, the sputtering method, the vacuum deposition method, the ion plating method, etc. for the purpose of further increasing the density. Metal thin film magnetic recording media to be formed have been actively researched.

しかしながら、前記の金属薄膜型磁気記録媒体は、信
号の記録再生の際、高速相対運動下で磁気ヘッド等との
接触により、摩擦や摩耗によって不安定な走行性が生
じ、あるいは摩耗粉や破損が発生し易く長期の使用に耐
えない。従って、磁気記録媒体は円滑な走行性と耐摩耗
性が使用環境条件下において持続することが実用化にお
いて強く望まれている。
However, the above-mentioned metal thin film type magnetic recording medium causes unstable running property due to friction or wear due to contact with a magnetic head or the like under high-speed relative motion at the time of signal recording / reproduction, or abrasion powder or damage. It easily occurs and cannot withstand long-term use. Therefore, it is strongly desired for practical use that the magnetic recording medium keeps smooth running property and wear resistance under the use environment condition.

このため、従来強磁性金属薄膜上に保護膜を設けて耐
摩擦耐摩耗性の改良を行うことにより改善がなされてお
り、種々の提案の中でも例えばシランカップリング剤で
表面処理した後、高級脂肪酸やフッ素系ポリマー等でさ
らに保護膜を積層している事例がある(特開昭59-17215
9号報、特開昭59-167848号報)。
Therefore, it has been conventionally improved by providing a protective film on a ferromagnetic metal thin film to improve friction and wear resistance. Among various proposals, for example, after surface treatment with a silane coupling agent, a higher fatty acid is used. There is a case that a protective film is further laminated with a fluoropolymer or a fluoropolymer (Japanese Patent Laid-Open No. 59-17215).
No. 9, JP-A-59-167848).

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、これらは確かに走行性にやや改良が見
られるもののやがてはこれらが剥離したりあるいは変質
するなどの現象が見られる不十分な点が多い。
Problems to be Solved by the Invention However, although there are certainly some improvements in running performance, there are many insufficient points in which phenomena such as peeling or deterioration of the properties are observed.

したがって、本発明にかかる点にかんがみ、磁気ヘッ
ド等との良好な潤滑性と、耐摩耗にすぐれた保護膜と、
これと金属薄膜との接着性を高める中間膜を介在させる
ことによって、走行安定性と耐久性がさらにすぐれた磁
気記録媒体を提供することを目的としている。
Therefore, in consideration of the points according to the present invention, good lubricity with a magnetic head and the like, a protective film excellent in wear resistance,
It is an object of the present invention to provide a magnetic recording medium which is further excellent in running stability and durability by interposing an intermediate film which enhances the adhesiveness between this and a metal thin film.

問題点を解決するための手段 非磁性基板上に設けた強磁性金属薄膜の表面部にシラ
ン系またはチタン系カップリング剤を含有した中間膜を
設け、さらにp−キシリレンまたはその誘導体の重合膜
を保護膜として積層する。
Means for Solving the Problems An intermediate film containing a silane-based or titanium-based coupling agent is provided on the surface of a ferromagnetic metal thin film provided on a non-magnetic substrate, and a polymer film of p-xylylene or its derivative is further provided. Laminate as a protective film.

作用 前記保護膜と金属薄膜を強固に接着させる中間膜の介
在と、保護膜自身が有する低摩擦性および耐摩耗性の特
性により、良好な走行性と耐久性にすぐれた磁気記録媒
体が得られる。
Action Due to the interposition of the intermediate film that firmly adheres the protective film and the metal thin film, and the low-friction and abrasion-resistant properties of the protective film itself, a magnetic recording medium excellent in running property and durability can be obtained. .

このことはおそらく、中間膜のカップリング剤が金属
膜表面と化学結合する一方、p−キシリレンまたはその
誘導体が中間膜の表面で重合する際、ラジカル反応など
で強く結合しまたそれ自身が有する機械的強度と接着力
の向上が寄与しているものと考えられる。
This is probably because the coupling agent of the interlayer film is chemically bonded to the surface of the metal film, while p-xylylene or a derivative thereof is strongly bonded by a radical reaction or the like when polymerized on the surface of the interlayer film. It is considered that the improvement of the physical strength and the adhesive force contributes.

実施例 図は、本発明の磁気記録媒体の断面図である。図にお
いて1は非磁性基板、2は強磁性金属薄膜3はシラン系
またはチタン系カップリング剤を含有する中間膜、4は
p−キシリレンまたはその誘導体の重合膜からなる保護
膜である。
Example FIG. 1 is a sectional view of a magnetic recording medium of the present invention. In the figure, 1 is a non-magnetic substrate, 2 is a ferromagnetic metal thin film 3, 3 is an intermediate film containing a silane-based or titanium-based coupling agent, and 4 is a protective film made of a polymerized film of p-xylylene or its derivative.

本発明の磁気記録媒体に使用し得る非磁性基板1とし
ては、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリ
カーボネート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリ酢酸セルロース、およびポ
リ塩化ビニル等の高分子材料、非磁性金属材料、ガラ
ス、磁器等のセラミック材料等周知の材料からなるフィ
ルム、板等がある。
Examples of the non-magnetic substrate 1 that can be used in the magnetic recording medium of the present invention include polymer materials such as polyamide, polyimide, polysulfone, polycarbonate, polypropylene, polyethylene, polyethylene terephthalate, poly (cellulose acetate), and polyvinyl chloride, non-magnetic metal. There are films, plates and the like made of known materials such as materials, glass, ceramic materials such as porcelain.

また強磁性金属薄膜2を形成する強磁性材料として
は、Fe,Co,Niから選ばれる少なくとも1種の金属、また
はこれらとMn,Cr,Ti,P,V,Sm,Bi等またはこれらの酸化物
を組み合わせた合金があり、中でもCo,Cr,Niから選ばれ
る少なくとも2種の元素で構成される金属薄膜は高い磁
気異方性エネルギーを有していることや耐食性などので
好ましく、これらは真空蒸着法、スパッタリング法、イ
オンプレーティング法、メッキ法等の方法で形成させる
ことができる。なお本発明に用いる強磁性金属薄膜2は
当然前記の組成に限定されないことは言うまでもない。
As the ferromagnetic material forming the ferromagnetic metal thin film 2, at least one metal selected from Fe, Co, Ni, or Mn, Cr, Ti, P, V, Sm, Bi, etc., or an oxide of these metals is selected. There are alloys that combine materials, and among them, metal thin films composed of at least two elements selected from Co, Cr, and Ni are preferable because they have high magnetic anisotropy energy and corrosion resistance. It can be formed by a vapor deposition method, a sputtering method, an ion plating method, a plating method, or the like. Needless to say, the ferromagnetic metal thin film 2 used in the present invention is not limited to the above composition.

本発明において、中間膜3に用いるカップリング剤は
シラン系ではビニルトリクロロシラン、トリメトキシビ
ニルシラン、ジメトキシ−3−メルカプトプロピルメチ
ルシラン、トリエトキシビニルシラン、3−クロロプロ
ピルジメトキシメチルシラン、トリス(2−メトキシエ
トキシ)ビニルシラン、3−グリシドオキシプロピルト
リメトキシシラン、3−メタクリルオキシプロピルトリ
メトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシ
シラン、ジエトキシ−3−グリシドオキシプロピルメチ
ルシラン、3−(2−アミノエチルアミノプロピル)ジ
メトキシメチルシラン、3−クロロプロピルトリメトキ
シシランまたはトリアセトキシビニルシランなどであ
り、チタン系では、イソプロピルトリイソステアロイル
チタネート、イソプロピルトリデシルベンゼンスルホニ
ルチタネート、ジ(メタクリル)オキシアセテートチタ
ネート、ジ(オクチルバイロホスフェート)エチレンチ
タネート、イソプロピルジ(4−アミノベンゾイル)ス
テアロイルチタネート、イソプロピルトリメタクリルチ
タネート、イソプロピルトリアクリルチタネートまたは
ジ(アクリル)エチレンチタネートなどを含むが、本発
明に述べる効果は当然前記の物質に限定されるものでは
ない。
In the present invention, the coupling agent used for the intermediate film 3 is a silane-based coupling agent such as vinyltrichlorosilane, trimethoxyvinylsilane, dimethoxy-3-mercaptopropylmethylsilane, triethoxyvinylsilane, 3-chloropropyldimethoxymethylsilane, tris (2-methoxy). (Ethoxy) vinylsilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, diethoxy-3-glycidoxypropylmethylsilane, 3- (2-aminoethylamino) Propyl) dimethoxymethylsilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, triacetoxyvinylsilane, etc., and titanium-based compounds such as isopropyltriisostearoyl titanate and isoprotonyl. Lutridecylbenzenesulfonyl titanate, di (methacryl) oxyacetate titanate, di (octylbairophosphate) ethylene titanate, isopropyl di (4-aminobenzoyl) stearoyl titanate, isopropyl trimethacry titanate, isopropyl triacrylic titanate or di (acryl) ethylene titanate. However, the effects described in the present invention are not limited to the above substances.

一方、保護膜4はp−キシリレンまたはその誘導体の
重合膜であり、下記の一般式 で示され、Rは-CH3,-C2H5,-C3H7などのアルキル基、-C
H2OH,-C2H5OHなどのヒドロキシアルキル基、-CH2OCH3,-
CH2OC2H5,-C2H5OCH3などのアルコキシアルキル基、-OCH
3,-OC2H5などのアルコキシ基、-COOCH3,-COOC2H5などの
カルボアルコキシ基、カルボキシル基、水酸基、-CH2NH
2,-NH2,-C2H5NH2などのアミノ基、シアノ基、ニトロ
基、F,Cl,Br,Iのハロゲン基、アリール基またはアルケ
ニル基であり、それぞれを単独または複数個有している
重合膜である。nは10〜10000であり好ましくは4000以
上である。そしてこれらは気相熱分解法によって容易に
室温で成膜されるため記録媒体に損傷を与えることなく
所望の膜厚に形成される。
On the other hand, the protective film 4 is a polymerized film of p-xylylene or its derivative, and has the following general formula: And R is an alkyl group such as -CH 3 , -C 2 H 5 , or -C 3 H 7 , or -C
Hydroxyalkyl group such as H 2 OH, -C 2 H 5 OH, -CH 2 OCH 3 ,,-
CH 2 OC 2 H 5 ,, -C 2 H 5 OCH 3 and other alkoxyalkyl groups, -OCH
Alkoxy group such as 3 , -OC 2 H 5 , carboalkoxy group such as -COOCH 3 , -COOC 2 H 5 , carboxyl group, hydroxyl group, -CH 2 NH
2 , -NH 2 , -C 2 H 5 NH 2 and other amino groups, cyano groups, nitro groups, F, Cl, Br, I halogen groups, aryl groups or alkenyl groups, each of which may be used alone or in combination. It is a polymerized film. n is 10 to 10000, and preferably 4000 or more. Since these are easily formed at room temperature by the vapor phase pyrolysis method, they are formed to have a desired film thickness without damaging the recording medium.

これらの重合膜は引張り強度や分子凝集エネルギーが
高いことから物理的にも良く、また化学的安定性や耐環
境性にも良いことからすぐれた特性が得られるものと思
われる。
It is considered that these polymerized films have good physical properties because they have high tensile strength and molecular cohesive energy, and also have good properties because they have good chemical stability and environmental resistance.

なお、中間膜と保護膜の膜厚については、両者合わせ
て500A以下が好ましい。
The total thickness of the intermediate film and the protective film is preferably 500 A or less.

以下、実施例で詳述する。 Hereinafter, detailed description will be made in Examples.

実施例1 膜厚12μmのポリアミドフイルム基板上に、真空連続
蒸着法でCo-Cr(原子数比Co:Cr=8:2)で膜厚1300A(AE
S分析)の強磁性金属薄膜を作製した(サンプルNo.
1)。サンプルNo.1の金属薄膜上に3−メタクリルオキ
シプロピルトリメトキシシラン(水溶液1:5v/v比)をメ
タノールで約1000倍(v/v比)にした液でスピンコート
し100℃で加熱乾燥した後、厚み約50Aでカップリング処
理した。さらにこれにポリ(p−キシリレン)膜をおよ
そ350A形成(気相熱分解法によってp−キシリレンダイ
マーを0.5Torr,680℃の条件で熱分解し25℃,0.1Torr下
で積層)した(サンプルNo.2)。比較例としてポリ(p
−キシリレン)膜の代わりにステアリン酸〔クロロホル
ムで10倍(wt%)希釈〕溶液またはポリフロロポリエー
テル(klytox157FS,Dupont)〔トリクロロトリフロロエ
タンで100倍(wt%)希釈〕溶液をスピンコート(膜厚3
20Aまたは370A)し、それぞれサンプルNo.3,4を作製し
た。
Example 1 On a polyamide film substrate having a film thickness of 12 μm, Co—Cr (atomic ratio Co: Cr = 8: 2) was used to form a film having a film thickness of 1300 A (AE
A ferromagnetic metal thin film of S analysis was prepared (Sample No.
1). 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane (aqueous solution 1: 5 v / v ratio) was spin-coated on the metal thin film of Sample No. 1 with methanol approximately 1000 times (v / v ratio) and dried by heating at 100 ° C. After that, a coupling treatment was performed at a thickness of about 50A. Further, a poly (p-xylylene) film was formed on this by about 350 A (p-xylylene dimer was pyrolyzed by vapor phase pyrolysis under conditions of 0.5 Torr and 680 ° C. and laminated at 25 ° C. and 0.1 Torr) (sample). No.2). As a comparative example, poly (p
-Xylylene) Instead of a film, stearic acid [diluted 10 times (wt%) with chloroform] solution or polyfluoropolyether (klytox157FS, Dupont) [diluted 100 times (wt%) with trichlorotrifluoroethane] solution was spin coated ( Film thickness 3
20A or 370A) to produce sample Nos. 3 and 4, respectively.

以上のサンプルを、動摩擦係数の測定で比較評価し、
その結果を第1表に示す。
The above samples were compared and evaluated by measuring the dynamic friction coefficient,
The results are shown in Table 1.

なお評価装置は、往復動型の動摩擦係数計であり、ヘッ
ドにφ6.3mmの鋼球(SUJ2)を用い、荷重(P)=5gf,
走行速度(v)=10mm/secで試験した。
The evaluation device was a reciprocating dynamic friction coefficient meter, using a steel ball (SUJ2) of φ6.3 mm for the head, load (P) = 5 gf,
The test was performed at a running speed (v) = 10 mm / sec.

第1表によると、未処理のサンプルNo.1は、初期から
μ値が大きく、走行途中約30Passで傷が明確になりμ値
の変動が生じ始め、やがてはμ=0.65と上昇して金属の
摩耗粉が激しく見られた。そして、サンプルNo.3,4は耐
摩耗性こそ0.2以下と小さく改良されるもの走行が継続
するにつれ傷が発生し、300Passではともにμ値が上昇
するなど良くなかった。
According to Table 1, the untreated sample No. 1 had a large μ value from the beginning, and scratches became clear after about 30 passes during running, and the μ value began to fluctuate, eventually increasing to μ = 0.65 and increasing to metal. Abrasion powder of was strongly seen. The samples Nos. 3 and 4 were improved in wear resistance to 0.2 or less, but scratches occurred as the running continued, and the μ value increased with 300 Pass, which was not good.

ところが、サンプルNo.2では、初期からμ値が小さく
300Pass後においても、0.19でほとんど変化なく、かつ
表面観察においても傷がほとんどみられないなど良好な
結果であった。
However, in sample No. 2, the μ value was small from the beginning.
Even after 300 passes, there was almost no change at 0.19, and there were almost no scratches on the surface observation, which was a good result.

従って、強磁性金属薄膜の上にシランカップリング剤
の中間膜とポリ(p−キシリレン)を保護膜として構成
された記録媒体は走行性の良い耐久性にすぐれた磁気記
録媒体であることが分かる。
Therefore, it is understood that the recording medium constituted by the intermediate film of the silane coupling agent and the poly (p-xylylene) as the protective film on the ferromagnetic metal thin film is a magnetic recording medium having good running property and excellent durability. .

実施例2 膜厚30μmのポリイミドフイルム基板上に実施例1と
同様の金属組成で、膜厚1250Aの強磁性金属薄膜を形成
した。なお強磁性金属薄膜の蒸着中、酸素を導入し250A
の酸化被膜層を形成した(サンプルNo.5)。
Example 2 A ferromagnetic metal thin film having a film thickness of 1250A was formed on a polyimide film substrate having a film thickness of 30 μm with the same metal composition as in Example 1. During the deposition of the ferromagnetic metal thin film, oxygen was introduced to reach 250 A
An oxide film layer of No. 5 was formed (Sample No. 5).

サンプルNo.5の金属薄膜の表面にトリアセトキシビニル
シランまたは3−(2−アミノエチルアミノプロピル)
ジメトキシジメチルシランの水溶液(10vol%)をイソ
プロピルアルコールで500倍希釈した溶液とを約80Aの厚
みにスピンコートし、さらにポリ(ジクロロ−p−キシ
リレン)を300A積層した(サンプルNo.6,7)。同様にサ
ンプルNo.5の金属薄膜の表面にジ(メタクリル)オキシ
アセテートチタネートまたはイソプロピルトリアクリル
チタネートをトルエンで100倍希釈した溶液をそれぞれ
約80Aの厚みでスピンコートし、さらにその上にポリ
(ジクロロ−p−キシリレン)を300A積層した(サンプ
ルNo.8,9)。そして比較のため前記のトリアセトキシビ
ニルシランを塗布したサンプル上にステアリン酸を10-4
Torr下、室温でおよそ300A蒸着した(サンプルNo.1
0)。
Triacetoxyvinylsilane or 3- (2-aminoethylaminopropyl) on the surface of the metal thin film of sample No.5
A solution of dimethoxydimethylsilane aqueous solution (10 vol%) diluted 500 times with isopropyl alcohol was spin-coated to a thickness of about 80A, and further 300A of poly (dichloro-p-xylylene) was laminated (Sample No. 6,7). . Similarly, a solution of di (methacryl) oxyacetate titanate or isopropyltriacryl titanate diluted 100 times with toluene was spin-coated at a thickness of about 80 A on the surface of the metal thin film of Sample No. 5, and poly (dichlorodichloromethane) was further coated thereon. -P-xylylene) was laminated at 300 A (Sample Nos. 8 and 9). For comparison, stearic acid was added to the sample coated with triacetoxyvinylsilane by 10 -4.
Approximately 300 A was deposited at room temperature under Torr (Sample No. 1
0).

そしてこれらを接触角の測定とともに、第2表に示す
試験条件で動摩擦係数を測定した これらの中で、サンプルNo.5は実施例1と同様にμ値
が高く摩耗粉も多くし良くなかったのに対し、サンプル
No.10は接触角が高いにもかかわらず耐摩耗性に欠けて
いるため良好な走行性に持続性が見られずμ値が上昇し
不十分な特性である。これに対しサンプルNo.6〜9は接
触角も88°〜90°と高く走行後においても摩耗粉が発生
せず耐摩擦耐摩耗性にもすぐれていた。
Then, together with the measurement of the contact angle, the dynamic friction coefficient was measured under the test conditions shown in Table 2. Among them, Sample No. 5 had a high μ value and a large amount of abrasion powder as in Example 1, whereas Sample No. 5 was not good.
No. 10 has insufficient contact resistance, but lacks abrasion resistance, so good running performance is not sustained and the μ value increases, resulting in insufficient characteristics. On the other hand, sample Nos. 6 to 9 had a high contact angle of 88 ° to 90 °, and no abrasion powder was generated even after running, and the abrasion resistance was excellent.

このことからポリ(ジクロロ−p−キシリレン)のよ
うなp−キシリレンの誘導体から成膜される重合膜を保
護膜とし、シラン系又はチタン系カップリング剤を中間
膜とした磁気記録媒体は耐摩擦、耐摩耗性にすぐれた記
録媒体として実現でき、また強磁性金属薄膜の表面部を
酸化処理した場合でも同様の効果が得られることが明ら
かとなった。
Therefore, a magnetic recording medium having a polymer film formed from a derivative of p-xylylene such as poly (dichloro-p-xylylene) as a protective film and a silane- or titanium-based coupling agent as an intermediate film is resistant to abrasion. It was clarified that it can be realized as a recording medium having excellent wear resistance, and that the same effect can be obtained even when the surface portion of the ferromagnetic metal thin film is oxidized.

実施例3 第3表に示す構成のサンプルをピン−ディスク型の試
験機で評価した。この時、サンプルNo.12,15においては
金属薄膜を表面酸化したものであり、中間膜はそれぞれ
に示す物質を前記実施例1,2と同様にスピンコートまた
は蒸着し、保護膜のポリ(p−キシリレン)は一般式の
置換基Rのみを変えた重合膜で形成し、それぞれ組成の
下にその時の膜厚を()であらわしている。また試験条
件は、φ3mmSUJ2,P=5gf,v=1.0m/sで、120min後のμ値
と表面観察をおこなった。
Example 3 The samples having the configurations shown in Table 3 were evaluated by a pin-disk type tester. At this time, in Samples Nos. 12 and 15, the metal thin film was surface-oxidized, and the intermediate film was spin-coated or vapor-deposited with the materials shown in the same manner as in Examples 1 and 2, and the poly (p -Xylylene) is formed by a polymer film in which only the substituent R in the general formula is changed, and the film thickness at that time is represented by () under the composition. The test conditions were φ3 mm SUJ2, P = 5 gf, v = 1.0 m / s, and the μ value after 120 min and surface observation were performed.

第3表によるとサンプルNo.11からNo.16のいずれもμ
値が0.2前後で小さく、また表面観察においても走行傷
がほとんどみられないなどすぐれた特性を有している。
このことが膜厚500A以内の保護膜で達せられることから
スペーシングロスに影響を与えない範囲で有効であり、
実用化に十分可能な磁気記録媒体であると言える。
According to Table 3, all samples No. 11 to 16 are μ
It has excellent properties such as a small value of around 0.2 and almost no running scratches observed on the surface.
Since this can be achieved with a protective film within a film thickness of 500 A, it is effective in a range that does not affect spacing loss.
It can be said that this is a magnetic recording medium that can be put to practical use.

発明の効果 本発明によれば、実用化に可能な耐摩擦、耐摩耗性が
改良された磁気記録媒体が得られる。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the present invention, a magnetic recording medium having improved friction resistance and wear resistance that can be put to practical use can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

図は本発明の実施例における磁気記録媒体の断面図であ
る。 1……非磁性基板、2……強磁性金属薄膜、3……中間
膜、4……保護膜。
The figure is a cross-sectional view of a magnetic recording medium in an example of the present invention. 1 ... Non-magnetic substrate, 2 ... Ferromagnetic metal thin film, 3 ... Intermediate film, 4 ... Protective film.

Claims (2)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】非磁性基板上に設けた強磁性金属薄膜の表
面にシラン系又はチタン系カップリング剤を含有した中
間膜を設け、さらにその上にp−キシリレンまたはその
誘導体の重合膜を保護膜として積層したことを特徴とす
る磁気記録媒体。
1. An intermediate film containing a silane-based or titanium-based coupling agent is provided on the surface of a ferromagnetic metal thin film provided on a non-magnetic substrate, and a polymer film of p-xylylene or its derivative is further protected thereon. A magnetic recording medium characterized by being laminated as a film.
【請求項2】中間膜および保護膜の膜厚の合計が500A以
下である特許請求の範囲第1項に記載の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the total thickness of the intermediate film and the protective film is 500 A or less.
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