JP2022127375A

JP2022127375A - rotary reciprocating drive actuator

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Publication number: JP2022127375A
Application number: JP2021025491A
Authority: JP
Inventors: 勇樹高橋; Yuuki Takahashi; 雅春加賀美; Masaharu Kagami; 泰隆北村; Yasutaka Kitamura; 裕樹大塚; Hiroki Otsuka
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2021-02-19
Filing date: 2021-02-19
Publication date: 2022-08-31

Abstract

To provide a rotary reciprocating drive actuator capable of increasing a size and amplitude of a movable object such as a mirror and stabilizing a drive performance.SOLUTION: A rotary reciprocating drive actuator includes a movable portion including a rotating shaft, a fixing portion that supports the rotating shaft, and a driving portion having a coil and a core arranged on the fixing portion and a magnet arranged on the rotating shaft, and rotating the fixing portion around the rotating shaft using electromagnetic interaction. The fixing portion has a first support and a second support that are arranged to face each other across the magnet in the axial direction, and the rotating shaft is rotatably attached to the first support and the second support via a first bearing and a second bearing, one of the first bearing and the second bearing is a rolling bearing, and the other thereof is a rolling bearing.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、回転往復駆動アクチュエーターに関する。 The present invention relates to rotary reciprocating drive actuators.

従来、複合機、レーザービームプリンタ等のスキャナーに使用されるアクチュエーターとして、回転往復駆動式のアクチュエーター（以下、「回転往復駆動アクチュエーター」と称する）が知られている。回転往復駆動アクチュエーターは、例えば、可動体である回転軸と、コイルマグネットを有する駆動部を備えており、コイルに通電して回転軸を往復回転駆動させることで、回転軸に取り付けられたミラーによるレーザー光の反射角度を変更して対象物に対する光走査を実現する。このような回転往復駆動アクチュエーターには、回転軸にコイルが配置されているムービングコイルタイプと、回転軸にマグネットが配置されているムービングマグネットタイプとがある（例えば、特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art Conventionally, rotary reciprocating actuators (hereinafter referred to as "rotational reciprocating actuators") are known as actuators used in scanners such as multifunction machines and laser beam printers. A rotary reciprocating drive actuator includes, for example, a rotating shaft, which is a movable body, and a driving unit having a coil magnet. By changing the reflection angle of the laser beam, the optical scanning of the object is realized. Such rotary reciprocating actuators include a moving coil type in which a coil is arranged on a rotating shaft and a moving magnet type in which a magnet is arranged on a rotating shaft (see, for example, Patent Document 1).

特許第４７２７５０９号公報Japanese Patent No. 4727509

ところで、ムービングコイルタイプの回転往復駆動アクチュエーターにおいては、駆動時（通電時）のコイルの発熱により、ミラーの表面状態、回転軸へのミラーの接合状態、反りを含むミラーの形状等に悪影響を与える虞がある。また、駆動時のコイルの発熱を考慮すると、コイルへの入力電流も大きくしにくく、可動対象物であるミラーの大型化や高振幅化が困難であるという問題がある。さらに、回転軸に配置されているコイルへの配線を固定体側に引き出す必要があり、組立性が悪いという問題がある。 By the way, in a moving coil type rotary reciprocating drive actuator, the heat generated by the coil during driving (when energized) adversely affects the surface condition of the mirror, the connection condition of the mirror to the rotation axis, and the shape of the mirror including warpage. There is fear. In addition, considering the heat generated by the coil during driving, it is difficult to increase the input current to the coil, and it is difficult to increase the size and amplitude of the mirror, which is the movable object. Furthermore, it is necessary to draw out the wiring to the coil arranged on the rotating shaft to the stationary body side, which poses a problem of poor assembly.

一方、ムービングマグネットタイプの回転往復駆動アクチュエーターの場合、上述したコイル発熱やコイル配線に関する問題は解消できる。しかしながら、特許文献１に開示の構造では、回転軸においてミラーが配置されている領域と同じ領域にマグネットが配置され、コイルが巻回されたヨークがマグネットを取り囲むように配置されているので、回転軸が回転したときに可動対象物であるミラーとヨークが干渉しやすい。そのため、ミラーの大型化や高振幅化が困難である。 On the other hand, in the case of a moving magnet type rotary reciprocating actuator, the above-described problems related to coil heat generation and coil wiring can be resolved. However, in the structure disclosed in Patent Document 1, the magnet is arranged in the same region as the mirror is arranged on the rotation axis, and the yoke around which the coil is wound is arranged so as to surround the magnet. When the shaft rotates, the mirror and the yoke, which are movable objects, tend to interfere with each other. Therefore, it is difficult to increase the size and amplitude of the mirror.

本発明の目的は、ミラー等の可動対象物の大型化及び高振幅化を図ることができるとともに、駆動性能の安定化を図ることができる回転往復駆動アクチュエーターを提供することである。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a rotary reciprocating actuator capable of increasing the size and amplitude of a movable object such as a mirror and stabilizing the driving performance.

本発明に係る回転往復駆動アクチュエーターは、
可動対象物が配置される回転軸を含む可動部と、
前記回転軸を支持する固定部と、
前記固定部に配置されるコイル及びコア、並びに前記回転軸に配置されるマグネットを有し、電磁相互作用を利用して前記固定部に対して前記回転軸を軸中心に回転させる駆動部と、
を備える回転往復駆動アクチュエーターであって、
前記マグネットは、外周面においてＳ極及びＮ極が周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、
前記コアは、前記コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、前記回転軸を前記固定部に取り付けたときに、前記磁極部と前記マグネットの前記外周面とがエアギャップを介して対向するように配置され、
前記マグネットの磁極の数と前記磁極部の数は等しく、
前記マグネットとエアギャップを介して対向するように前記固定部に配置され、前記マグネットとの間で生じる磁気吸引力により前記回転軸の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部をさらに備え、
前記固定部は、軸方向において前記マグネットを挟んで対向して配置される第１支持体及び第２支持体を有し、
前記回転軸は、第１軸受及び第２軸受を介して、前記第１支持体及び前記第２支持体に、回転自在に取り付けられており、
前記第１軸受及び前記第２軸受の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。 A rotary reciprocating drive actuator according to the present invention includes:
a movable part including a rotation axis on which the movable object is arranged;
a fixed portion that supports the rotating shaft;
a driving unit having a coil and a core arranged on the fixed portion and a magnet arranged on the rotating shaft, and rotating the rotating shaft with respect to the fixed portion using electromagnetic interaction;
A rotary reciprocating drive actuator comprising:
The magnet is a ring-shaped magnet in which S poles and N poles are alternately arranged in the circumferential direction on the outer peripheral surface,
The core has a magnetic pole portion that is excited by energization of the coil and generates a polarity. are placed facing each other,
The number of magnetic poles of the magnet is equal to the number of the magnetic pole portions,
A rotation angle position holding part is disposed on the fixed part so as to face the magnet via an air gap, and holds the rotation angle position of the rotating shaft at a neutral position by a magnetic attraction force generated between the magnet and the magnet. prepared,
The fixed part has a first support and a second support arranged facing each other across the magnet in the axial direction,
The rotating shaft is rotatably attached to the first support and the second support via a first bearing and a second bearing,
One of the first bearing and the second bearing is a rolling bearing and the other is a sliding bearing.

本発明によれば、ミラー等の可動対象物の大型化及び高振幅化を図ることができるとともに、駆動性能の安定化を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to increase the size and amplitude of a movable object such as a mirror, and to stabilize the driving performance.

図１は、実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーターの外観斜視図である。FIG. 1 is an external perspective view of a rotary reciprocating drive actuator according to an embodiment. 図２は、回転往復駆動アクチュエーターの分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a rotary reciprocating drive actuator. 図３は、回転往復駆動アクチュエーターの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a rotary reciprocating drive actuator. 図４は、コアユニットの構成を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the core unit. 図５Ａ、図５Ｂは、回転往復駆動アクチュエーターの磁気回路の動作の説明に供する図である。5A and 5B are diagrams for explaining the operation of the magnetic circuit of the rotary reciprocating actuator. 回転往復駆動アクチュエーターを用いた光走査装置の要部構成を示すブロック図である。FIG. 10 is a block diagram showing the main configuration of an optical scanning device using a rotary reciprocating drive actuator;

以下、本発明の実施の形態を、図面を参照して説明する。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、実施の形態の回転往復駆動アクチュエーター１の外観斜視図である。図２は、回転往復駆動アクチュエーター１の分解斜視図である。図３は、回転往復駆動アクチュエーター１の断面図である。 FIG. 1 is an external perspective view of a rotary reciprocating drive actuator 1 according to an embodiment. FIG. 2 is an exploded perspective view of the rotary reciprocating drive actuator 1. FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the rotary reciprocating drive actuator 1. As shown in FIG.

回転往復駆動アクチュエーター１は、例えば、ライダー（ＬＩＤＡＲ：Laser Imaging Detection and Ranging）装置に用いられる。なお、回転往復駆動アクチュエーター１は、複合機、レーザービームプリンタ等の光走査装置にも適用可能である。 The rotary reciprocating drive actuator 1 is used, for example, in a LIDAR (Laser Imaging Detection and Ranging) device. The rotary reciprocating drive actuator 1 can also be applied to an optical scanning device such as a multifunction machine and a laser beam printer.

回転往復駆動アクチュエーター１は、大きく分けて、可動部１０と、可動部１０を回転自在に支持する固定部２０と、固定部２０に対して可動部１０を往復回転駆動する駆動部３０と、を備える。 The rotary reciprocating drive actuator 1 is roughly divided into a movable portion 10, a fixed portion 20 that rotatably supports the movable portion 10, and a drive portion 30 that reciprocally rotates the movable portion 10 with respect to the fixed portion 20. Prepare.

可動部１０は、回転軸１１及びミラー部１２を有する。
ミラー部１２は、回転往復駆動アクチュエーター１における可動対象物であり、回転軸１１に取り付けられる。ミラー部１２は、例えば、ミラーホルダー１２２の一面にミラー１２１を貼り付けることで形成される。回転軸１１は、ミラーホルダー１２２の挿通孔１２２ａに挿通され、固着される。 The movable section 10 has a rotating shaft 11 and a mirror section 12 .
The mirror part 12 is a movable object in the rotary reciprocating actuator 1 and is attached to the rotating shaft 11 . The mirror section 12 is formed by attaching the mirror 121 to one surface of the mirror holder 122, for example. The rotary shaft 11 is inserted through the insertion hole 122a of the mirror holder 122 and fixed.

固定部２０は、ベース２１、第２軸受２２及び第３軸受２３を有する。
ベース２１は、対向して配置された左側壁部２１１及び右側壁部２１２を有する。左側壁部２１１及び右側壁部２１２は、平板状の底部２１３の軸方向両端に立設されている。すなわち、ベース２１は、断面が略コ字状（Ｕ字状）に形成されている。 The fixed part 20 has a base 21 , a second bearing 22 and a third bearing 23 .
The base 21 has a left side wall portion 211 and a right side wall portion 212 facing each other. The left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 are erected on both axial ends of the flat bottom portion 213 . That is, the base 21 is formed to have a substantially U-shaped cross section.

左側壁部２１１及び右側壁部２１２には、それぞれ、回転軸１１が挿通される挿通孔２１１ａ、２１２ａが形成されている。また、左側壁部２１１及び右側壁部２１２には、それぞれ、挿通孔２１１ａ、２１２ａと左側壁部２１１、右側壁部２１２の外縁とを連通する切欠部２１１ｂ、２１２ｂが形成されている。 The left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 are formed with insertion holes 211a and 212a through which the rotating shaft 11 is inserted, respectively. The left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 are formed with notch portions 211b and 212b that communicate the insertion holes 211a and 212a with the outer edges of the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212, respectively.

ミラー部１２が取り付けられた回転軸１１は、外側から切欠部２１１ｂ、２１２ｂを通って挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置される。切欠部２１１ｂ、２１２ｂがない場合には、左側壁部２１１と右側壁部２１２の間にミラー部１２を配置させた状態で、例えば、回転軸１１を左側壁部２１１の挿通孔２１１ａ、ミラーホルダー１２２の挿通孔１２２ａ、右側壁部２１２の挿通孔２１２ａの順に挿通し、さらに回転軸１１とミラーホルダー１２２を固着させるといった煩雑な組立て作業が必要となる。これに対して、本実施の形態においては、左側壁部２１１及び右側壁部２１２に切欠部２１１ｂ、２１２ｂが形成されているので、予めミラー部１２が取り付けられた回転軸１１を、切欠部２１１ｂ、２１２ｂを通して簡単に挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置することができる。 The rotating shaft 11 to which the mirror portion 12 is attached is arranged in the insertion holes 211a and 212a through the notches 211b and 212b from the outside. If there are no cutouts 211b and 212b, the mirror 12 is placed between the left side wall 211 and the right side wall 212. For example, the rotating shaft 11 is inserted through the insertion hole 211a of the left side wall 211 and the mirror holder. 122 and the insertion hole 212a of the right side wall portion 212 in that order, and then fix the rotating shaft 11 and the mirror holder 122, which is a complicated assembly work. On the other hand, in the present embodiment, the notches 211b and 212b are formed in the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212, so that the rotating shaft 11, to which the mirror portion 12 is attached in advance, is inserted into the notch portion 211b. , 212b can be easily arranged in the insertion holes 211a, 212a.

第２軸受２２及び第３軸受２３は、転がり軸受（例えば、ボールベアリング）で構成される。転がり軸受は、摩擦係数が低く、回転軸１１をスムーズに回転させることができるので、回転往復駆動アクチュエーター１の駆動性能が向上する。 The second bearing 22 and the third bearing 23 are rolling bearings (for example, ball bearings). Since the rolling bearing has a low coefficient of friction and can rotate the rotating shaft 11 smoothly, the driving performance of the rotary reciprocating actuator 1 is improved.

第２軸受２２及び第３軸受２３は、それぞれ、左側壁部２１１及び右側壁部２１２の挿通孔２１１ａ、２１２ａに連設された軸受取付部（符号略）に配置される。具体的には、第２軸受２２及び第３軸受２３は、回転軸１１の軸方向両側から挿通され、回転軸１１が挿通孔２１１ａ、２１２ａに配置された後、軸受取付部に取り付けられる。このように、回転軸１１は、第２軸受２２及び第３軸受２３を介して、回転自在にベース２１に取り付けられる。 The second bearing 22 and the third bearing 23 are arranged in bearing mounting portions (reference numerals omitted) that are connected to the insertion holes 211a and 212a of the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212, respectively. Specifically, the second bearing 22 and the third bearing 23 are inserted from both sides in the axial direction of the rotating shaft 11, and after the rotating shaft 11 is arranged in the insertion holes 211a and 212a, they are attached to the bearing attachment portions. Thus, the rotating shaft 11 is rotatably attached to the base 21 via the second bearing 22 and the third bearing 23 .

駆動部３０は、コアユニット３１及びマグネット３２を有する。 The drive section 30 has a core unit 31 and a magnet 32 .

コアユニット３１は、第１コア４１、４２、第２コア（中継コア）４３、コイル４４、４５、回転角度位置保持部４８、第１シールド部材５１、第２シールド部材５２、及び第１軸受５３等を有する。図４は、コアユニット３１の構成（第１シールド部材５１、第２シールド部材５２及び第１軸受５３を除く）を示す斜視図である。図４等に示すように、コアユニット３１は、本実施の形態では、略直方体状に形成されている。コアユニット３１は、ベース２１に固着され、固定部２０の一部をなす。 The core unit 31 includes first cores 41 and 42, a second core (relay core) 43, coils 44 and 45, a rotation angle position holding portion 48, a first shield member 51, a second shield member 52, and a first bearing 53. etc. FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the core unit 31 (excluding the first shield member 51, the second shield member 52 and the first bearing 53). As shown in FIG. 4 and the like, the core unit 31 is formed in a substantially rectangular parallelepiped shape in this embodiment. The core unit 31 is fixed to the base 21 and forms part of the fixed part 20 .

第１コア４１、４２及び第２コア４３は、一体化されて一つのコア体Ｃをなし、コイル４４、４５に通電したときの磁気回路を形成する。第１コア４１、４２及び第２コア４３は、例えば、ケイ素鋼板等の電磁鋼板を積層してなる積層コアで構成される。 The first cores 41 and 42 and the second core 43 are integrated to form one core body C and form a magnetic circuit when the coils 44 and 45 are energized. The first cores 41 and 42 and the second core 43 are composed of laminated cores formed by laminating electromagnetic steel plates such as silicon steel plates, for example.

第１コア４１、４２は、それぞれ、コイル４４、４５への通電により励磁したときに通電方向に応じた極性を生じる磁極部４１ａ、４２ａと、磁極部４１ａ、４２ａから下方に延在する脚部４１ｂ、４２ｂを有する。
磁極部４１ａ、４２ａのマグネット３２と対向する部分は、マグネット３２の外周面に沿って湾曲する形状を有している。脚部４１ｂ、４２ｂには、それぞれ、コイル４４、４５が配置される。第１コア４１、４２は、磁極部４１ａ、４２ａが対向し、かつ、脚部４１ｂ、４２ｂが平行となる姿勢で、第２コア４３に固定される。 The first cores 41 and 42 have magnetic pole portions 41a and 42a that generate polarities corresponding to the direction of current flow when excited by energizing the coils 44 and 45, respectively, and leg portions that extend downward from the magnetic pole portions 41a and 42a. 41b and 42b.
The portions of the magnetic pole portions 41 a and 42 a that face the magnet 32 have a curved shape along the outer peripheral surface of the magnet 32 . Coils 44 and 45 are arranged on the legs 41b and 42b, respectively. The first cores 41 and 42 are fixed to the second core 43 in such a posture that the magnetic pole portions 41a and 42a face each other and the leg portions 41b and 42b are parallel to each other.

第２コア４３は、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂを連絡し、磁極部４１ａ、４２ａ間を結ぶ磁気回路の中間部分を形成する。すなわち、第１コア４１、４２は、第２コア４３を介して一体的に接続されている。本実施の形態では、第２コア４３は、Ｕ字状に形成されており、脚部４３ａ、４３ｂの開放端部の内側に、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂの端部が接続されている。つまり、第１コア４１、４２は、第２コア４３によって、回転軸１１と直交する３方（左側、右側及び上側）から取り囲まれている。なお、第２コア４３の屈曲部分（脚部４３ａ、４３ｂと橋架部４３ｃとの連結部分）は、丸みを帯びたＲ形状を有していてもよいし、直線的に折れ曲がる形状を有していてもよい。 The second core 43 connects the legs 41b and 42b of the first cores 41 and 42 and forms an intermediate portion of a magnetic circuit connecting the magnetic pole portions 41a and 42a. That is, the first cores 41 and 42 are integrally connected via the second core 43 . In this embodiment, the second core 43 is formed in a U shape, and the ends of the legs 41b and 42b of the first cores 41 and 42 are located inside the open ends of the legs 43a and 43b. It is connected. That is, the first cores 41 and 42 are surrounded by the second core 43 from three directions (left side, right side, and upper side) perpendicular to the rotating shaft 11 . The bent portion of the second core 43 (connection portion between the leg portions 43a and 43b and the bridge portion 43c) may have a rounded R shape, or may have a linearly bent shape. may

回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、磁極部４１ａ、４２ａで囲まれた空間に回転軸１１が挿通される。また、この空間に、回転軸１１に取り付けられたマグネット３２が位置し、磁極部４１ａ、４２ａとエアギャップを介して対向する。 In the state where the rotary reciprocating drive actuator 1 is assembled, the rotary shaft 11 is inserted through a space surrounded by the magnetic pole portions 41a and 42a. A magnet 32 attached to the rotating shaft 11 is positioned in this space and faces the magnetic pole portions 41a and 42a via an air gap.

コアユニット３１において、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａと第２コア４３の脚部４３ａ、４３ｂの間には、スペーサー４９が配置される。スペーサー４９は、例えば、第１コア４１、４２及び第２コア４３に、接着又は溶接により固定される。スペーサー４９は、例えば、真鍮若しくはアルミニウム等の非磁性体で形成される。 Spacers 49 are arranged between the magnetic pole portions 41 a and 42 a of the first cores 41 and 42 and the leg portions 43 a and 43 b of the second core 43 in the core unit 31 . The spacer 49 is fixed to the first cores 41, 42 and the second core 43 by adhesion or welding, for example. The spacer 49 is made of non-magnetic material such as brass or aluminum.

自由端である磁極部４１ａ、４２ａと第２コア４３との間にスペーサー４９を介在させることにより、コアユニット３１の剛性を高めることができ、マグネット３２との間に生じる磁気力や衝撃によって第１コア４１、４２が変形或いは破損するのを抑制することができる。また、スペーサー４９を非磁性体で形成することにより、コアユニット３１における磁束経路を規制することができる。 The rigidity of the core unit 31 can be increased by interposing the spacer 49 between the magnetic pole portions 41a and 42a, which are free ends, and the second core 43, and the magnetic force and impact generated between the magnet 32 and the second core unit 32 can increase the rigidity of the core unit 31. It is possible to suppress deformation or breakage of the single cores 41 and 42 . Also, by forming the spacer 49 from a non-magnetic material, the magnetic flux path in the core unit 31 can be regulated.

コイル４４、４５は、筒状のボビン４６、４７に巻回される。コイル４４、４５及びボビン４６，４７からなるコイルユニットが、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂに外挿されることにより、コイル４４、４５は、第１コア４１、４２の脚部４１ｂ、４２ｂを巻回するように配置される。コイル４４、４５の巻線方向は、通電が行われた際に、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａの一方から他方に向かって好適に磁束が生じるように設定される。 Coils 44 and 45 are wound on cylindrical bobbins 46 and 47 . A coil unit consisting of coils 44, 45 and bobbins 46, 47 is extrapolated to the legs 41b, 42b of the first cores 41, 42, whereby the coils 44, 45 are attached to the legs 41b of the first cores 41, 42. , 42b. The winding directions of the coils 44 and 45 are set so that magnetic flux is favorably generated from one of the magnetic pole portions 41a and 42a of the first cores 41 and 42 toward the other when energized.

回転角度位置保持部４８は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、マグネット３２とエアギャップを介して対向するようにコアユニット３１に組み込まれる。回転角度位置保持部４８は、例えば、第２コア４３の橋架部４３ｃ（第１コア４１、４２の上方の部分）に、磁極がマグネット３２に対向する姿勢で取り付けられる。 The rotation angle position holding part 48 is incorporated in the core unit 31 so as to face the magnet 32 via an air gap in the state where the rotary reciprocating drive actuator 1 is assembled. The rotation angle position holding portion 48 is attached, for example, to the bridge portion 43 c of the second core 43 (the portion above the first cores 41 and 42 ) so that the magnetic poles face the magnet 32 .

回転角度位置保持部４８は、例えば、マグネットにより構成され、マグネット３２との間に磁気吸引力を生じる。すなわち、回転角度位置保持部４８は、第１コア４１、４２とともに、マグネット３２との間に磁気バネを形成する。この磁気バネにより、コイル４４、４５への通電が行われていない常態時（非通電時）には、マグネット３２の回転角度位置、すなわち、回転軸１１の回転角度位置が中立位置に保持される。 The rotation angle position holding unit 48 is composed of, for example, a magnet, and generates a magnetic attraction force with the magnet 32 . That is, the rotation angle position holding portion 48 forms a magnetic spring between the first cores 41 and 42 and the magnet 32 . Due to this magnetic spring, when the coils 44 and 45 are not energized (during non-energization), the rotational angular position of the magnet 32, that is, the rotational angular position of the rotating shaft 11, is held at the neutral position. .

中立位置とは、マグネット３２の回転往復動作の基準位置、すなわち、揺動の中心である。マグネット３２が中立位置に保持されているとき、マグネット３２の磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、第１コア４１、４２の磁極部４１ａ、４２ａと正対する。また、マグネット３２が中立位置にある状態を基準にして、ミラー部１２の取付け姿勢が調整される。 The neutral position is the reference position of the reciprocating rotation of the magnet 32, that is, the center of swing. When the magnet 32 is held at the neutral position, the magnetic pole switching portions 32c and 32d of the magnet 32 face the magnetic pole portions 41a and 42a of the first cores 41 and . Also, the mounting posture of the mirror section 12 is adjusted based on the state where the magnet 32 is in the neutral position.

コアユニット３１の軸方向の両側には、電気伝導材からなる第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２が配置されている。第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２により、外部からコアユニット３１へのノイズの入射及びコアユニット３１から外部へのノイズの出射を抑制することができる。 A first shield member 51 and a second shield member 52 made of an electrically conductive material are arranged on both sides of the core unit 31 in the axial direction. The first shield member 51 and the second shield member 52 can suppress noise from entering the core unit 31 from the outside and noise from exiting the core unit 31 to the outside.

第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２は、アルミ合金により形成されるのが好ましい。アルミ合金は設計の自由度が高く、容易に所望の剛性を付与することができる。したがって、回転軸１１を支持する支持体として第１シールド部材５１を機能させる場合に好適である。 The first shield member 51 and the second shield member 52 are preferably made of an aluminum alloy. Aluminum alloys have a high degree of freedom in design and can be easily imparted with desired rigidity. Therefore, it is suitable when the first shield member 51 functions as a support for supporting the rotating shaft 11 .

第１シールド部材５１には、第１軸受５３を介して、回転軸１１が回転自在に取り付けられる。第１軸受５３は、第１シールド部材５１に形成された軸受取付部５１ａに配置される。第１軸受５３は、回転軸１１が挿通される筒状の胴部５３ｂと、胴部５３ｂの一端部に配置されたフランジ部５３ａと、を有する。第１軸受５３の胴部５３ｂは第１シールド部材５１の軸受取付部５１ａに嵌入され、フランジ部５３ａは第１シールド部材５１の外側面に係止される。第１軸受５３は、第１シールド部材５１の軸受取付部５１ａに回転軸１１を挿通した後、第１シールド部材５１から突出した回転軸１１の端部から挿通され、軸受取付部５１ａに嵌着される。このように、回転軸１１のマグネット３２が配置される側の端部を、容易に第１シールド部材５１に取り付けることができる。 The rotary shaft 11 is rotatably attached to the first shield member 51 via a first bearing 53 . The first bearing 53 is arranged in a bearing mounting portion 51 a formed in the first shield member 51 . The first bearing 53 has a cylindrical body portion 53b through which the rotating shaft 11 is inserted, and a flange portion 53a arranged at one end of the body portion 53b. The body portion 53 b of the first bearing 53 is fitted into the bearing mounting portion 51 a of the first shield member 51 , and the flange portion 53 a is locked to the outer surface of the first shield member 51 . After the rotating shaft 11 is inserted through the bearing mounting portion 51a of the first shield member 51, the first bearing 53 is inserted from the end portion of the rotating shaft 11 protruding from the first shield member 51 and fitted to the bearing mounting portion 51a. be done. In this manner, the end of the rotation shaft 11 on the side where the magnet 32 is arranged can be easily attached to the first shield member 51 .

第１軸受５３は、例えば、滑り軸受で構成される。具体的には、第１軸受５３は、フッ素樹脂等の樹脂成型品であることが好ましい。第１軸受５３を滑り軸受で構成することにより、減衰部として機能させ、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。また、第１軸受５３を樹脂成型品とすることにより、形状の自由度が高く、低コストで作製することができる。特に、フッ素樹脂成型品とした場合、環境温度による膨張収縮を抑制できるので、回転往復駆動アクチュエーター１を高温環境下で使用される場合に好適である。また、フッ素樹脂成型品は、加工精度が高く、適度な摺動特性を実現することができるので、回転軸１１の回転往復動作を妨げることなく、回転軸１１を安定して支持することができ、軸受として好適である。 The first bearing 53 is composed of, for example, a slide bearing. Specifically, it is preferable that the first bearing 53 be a molded resin product such as a fluororesin. By configuring the first bearing 53 as a sliding bearing, it can function as a damping section and suppress driving noise (resonance noise of the movable section 10). Moreover, by forming the first bearing 53 as a resin molded product, the degree of freedom in shape is high, and it can be manufactured at low cost. In particular, when a fluororesin molded product is used, expansion and contraction due to environmental temperature can be suppressed, so it is suitable when the rotary reciprocating drive actuator 1 is used in a high temperature environment. In addition, since the fluororesin molded product has high processing accuracy and can achieve appropriate sliding characteristics, the rotary shaft 11 can be stably supported without interfering with the reciprocating motion of the rotary shaft 11. , are suitable as bearings.

第２シールド部材５２は、マグネット３２の外形よりも大きい、挿通孔５２ａを有する。マグネット３２を装着した回転軸１１は、第２シールド部材５２の挿通孔５２ａを介して、コアユニット３１内に挿入される。 The second shield member 52 has an insertion hole 52 a that is larger than the outer shape of the magnet 32 . The rotating shaft 11 with the magnet 32 mounted thereon is inserted into the core unit 31 through the insertion hole 52 a of the second shield member 52 .

第１コア４１、４２及び第２コア４３からなるコア体Ｃは、第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２によって挟持され、止着材６１により固定されて、コアユニット３１として一体化される。また、コアユニット３１は、止着材６２によりベース２１の左側壁部２１１に固定され、ベース２１と一体化される。 A core body C composed of the first cores 41 and 42 and the second core 43 is sandwiched between the first shield member 51 and the second shield member 52 and fixed by the fastening material 61 to be integrated as the core unit 31. . Further, the core unit 31 is fixed to the left side wall portion 211 of the base 21 by the fastening material 62 and integrated with the base 21 .

マグネット３２は、Ｓ極３２ａ及びＮ極３２ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットである。マグネット３２は、回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、コアユニット３１の磁極部４１ａ、４２ａで囲まれた空間に位置するように、回転軸１１の周面に取り付けられる。コイル４４、４５に通電が行われると、第１コア４１、４２及び第２コア４３が励磁されて磁極部４１ａ、４２ａに通電方向に応じた極性が生じ、磁極部４１ａ、４２ａとマグネット３２との間で磁気力（吸引力及び反発力）が生じる。 The magnet 32 is a ring-shaped magnet in which S poles 32a and N poles 32b are alternately arranged in the circumferential direction. The magnet 32 is attached to the peripheral surface of the rotary shaft 11 so as to be positioned in a space surrounded by the magnetic pole portions 41 a and 42 a of the core unit 31 in the assembled state of the rotary reciprocating drive actuator 1 . When the coils 44 and 45 are energized, the first cores 41 and 42 and the second core 43 are excited, and the magnetic pole portions 41a and 42a are polarized according to the energizing direction. Magnetic forces (attraction and repulsion) are generated between

本実施の形態では、マグネット３２は、回転軸１１の軸方向に沿う平面を境界として異なる極性に着磁されている。すなわち、マグネット３２は、Ｓ極３２ａとＮ極３２ｂに等分割されるように着磁された２極マグネットである。マグネット３２の磁極の数（本実施の形態では２つ）は、コアユニット３１の磁極部４１ａ、４２ａの数と等しい。なお、マグネット３２は、可動時の振幅に応じて２極以上に着磁されていてもよい。この場合、コアユニット３１の磁極部は、マグネット３２の磁極に対応して設けられる。 In the present embodiment, the magnets 32 are magnetized with different polarities with a plane along the axial direction of the rotating shaft 11 as a boundary. That is, the magnet 32 is a two-pole magnet magnetized so as to be equally divided into an S pole 32a and an N pole 32b. The number of magnetic poles of magnet 32 (two in this embodiment) is equal to the number of magnetic pole portions 41 a and 42 a of core unit 31 . It should be noted that the magnet 32 may be magnetized with two or more poles depending on the amplitude during movement. In this case, the magnetic pole portions of the core unit 31 are provided corresponding to the magnetic poles of the magnet 32 .

マグネット３２は、Ｓ極３２ａとＮ極３２ｂとの境界部分３２ｃ、３２ｄ（以下、「磁極切替部」と称する）で極性が切り替わる。磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、マグネット３２が中立位置で保持されているとき、磁極部４１ａ、４２ａのそれぞれと正対する。 The polarity of the magnet 32 is switched at boundary portions 32c and 32d (hereinafter referred to as "magnetic pole switching portions") between the S pole 32a and the N pole 32b. The magnetic pole switching portions 32c and 32d face the magnetic pole portions 41a and 42a, respectively, when the magnet 32 is held at the neutral position.

中立位置において、マグネット３２の磁極切替部３２ｃ、３２ｄが、磁極部４１ａ、４２ａと正対することにより、駆動部３０は最大トルクを発生して可動部１０を安定して駆動することができる。また、マグネット３２を２極マグネットで構成することにより、コアユニット３１との協働により、可動対象物を高振幅で駆動しやすくなるとともに、駆動性能の向上を図ることができる。なお、実施の形態では、マグネット３２が一対の磁極切替部３２ｃ、３２ｄを有する場合について説明したが、二対以上の磁極切替部を有していてもよい。 At the neutral position, the magnetic pole switching portions 32c and 32d of the magnet 32 face the magnetic pole portions 41a and 42a, so that the drive portion 30 can generate maximum torque and drive the movable portion 10 stably. Further, by configuring the magnet 32 with a two-pole magnet, it becomes easier to drive the movable object with a high amplitude in cooperation with the core unit 31, and the driving performance can be improved. In the embodiment, the case where the magnet 32 has a pair of magnetic pole switching portions 32c and 32d has been described, but the magnet 32 may have two or more pairs of magnetic pole switching portions.

ミラー部１２及びマグネット３２が装着された回転軸１１は、第２軸受２２及び第３軸受２３を介してベース２１に固定される。ミラー部１２は、ベース２１の左側壁部２１１と右側壁部２１２に挟まれた空間に位置し、マグネット３２は、ベース２１の左側壁部２１１よりも外側（左側）に位置する。 The rotating shaft 11 on which the mirror part 12 and the magnet 32 are mounted is fixed to the base 21 via the second bearing 22 and the third bearing 23 . The mirror portion 12 is positioned in a space sandwiched between the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 of the base 21 , and the magnet 32 is positioned outside (left side) of the left side wall portion 211 of the base 21 .

回転軸１１の左側壁部２１１から露出している部分（マグネット３２が配置されている部分）には、軸方向からコアユニット３１が挿入され、第１軸受５３を介して第１シールド部材５１に固定される。マグネット３２は、コアユニット３１内、すなわち、第１シールド部材５１とベース２１の左側壁部２１１に挟まれた空間に位置する。 The core unit 31 is axially inserted into the portion exposed from the left side wall portion 211 of the rotating shaft 11 (the portion where the magnet 32 is arranged), and is attached to the first shield member 51 via the first bearing 53 . Fixed. The magnet 32 is positioned inside the core unit 31 , that is, in the space sandwiched between the first shield member 51 and the left side wall portion 211 of the base 21 .

回転往復駆動アクチュエーター１を組み立てた状態において、回転軸１１のミラー部１２が配置されている部分は、左側壁部２１１と右側壁部２１２によって２点支持されているので、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合に比較して支持強度が高く、ミラー部１２が大型化して重量が増加しても、回転軸１１の直線性を確保することができる。 When the rotary reciprocating drive actuator 1 is assembled, the portion of the rotating shaft 11 where the mirror portion 12 is arranged is supported by the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 at two points. The support strength is higher than in the case of being supported and cantilevered, and the linearity of the rotating shaft 11 can be ensured even if the mirror section 12 is enlarged and the weight is increased.

また、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分は、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって２点支持されているので、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。つまり、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸１１が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。 Further, since the portion of the rotary shaft 11 where the magnet 32 is arranged is supported at two points by the first shield member 51 and the left side wall portion 211, magnetic attraction between the magnet 32 and the rotation angle position holding portion 48 is achieved. The linearity of the rotating shaft 11 can be ensured even if the force increases. That is, when the portion of the rotating shaft 11 where the magnet 32 is arranged is supported only by the left side wall portion 211 and is cantilevered, the magnetic attraction force between the magnet 32 and the rotation angle position holding portion 48 is increases, the rotating shaft 11 may be bent toward the rotation angle position holding portion 48 and the linearity may be deteriorated. However, such a problem does not occur.

次に、回転往復駆動アクチュエーター１の動作について、図５Ａ、図５Ｂを用いて説明する。図５Ａ、図５Ｂは、回転往復駆動アクチュエーター１の磁気回路の動作の説明に供する図である。 Next, the operation of the rotary reciprocating drive actuator 1 will be described with reference to FIGS. 5A and 5B. 5A and 5B are diagrams for explaining the operation of the magnetic circuit of the rotary reciprocating drive actuator 1. FIG.

コア体Ｃの２つの磁極部４１ａ、４２ａは、エアギャップＧを空けてマグネット３２を挟むように配置されている。コイル４４、４５への非通電時は、図５Ａに示すように、マグネット３２は、回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力により、中立位置に保持される。 The two magnetic pole portions 41a and 42a of the core body C are arranged so as to sandwich the magnet 32 with an air gap G therebetween. When the coils 44 and 45 are not energized, the magnet 32 is held at the neutral position by the magnetic attraction force with the rotation angle position holding portion 48 as shown in FIG. 5A.

この中立位置では、マグネット３２のＳ極３２ａ及びＮ極３２ｂの一方（図５ＡでＳ極３２ａ）が回転角度位置保持部４８に吸引される。このとき、磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、コア体Ｃの磁極部４１ａ、４２ａの中心位置と対向する。 At this neutral position, one of the S pole 32 a and the N pole 32 b of the magnet 32 (the S pole 32 a in FIG. 5A) is attracted to the rotation angle position holding portion 48 . At this time, the magnetic pole switching portions 32c and 32d are opposed to the central positions of the magnetic pole portions 41a and 42a of the core body C, respectively.

コイル４４、４５に対して通電が行われると、コア体Ｃが励磁され、磁極部４１ａ、４２ａに通電方向に応じた極性が生じる。図５Ｂに示すようにコイル４４、４５への通電が行われると、コア体Ｃの内部に磁束が生じ、磁極部４１ａはＳ極、磁極部４２ａはＮ極となる。これにより、Ｓ極に磁化された磁極部４１ａは、マグネット３２のＮ極３２ｂと引き合い、Ｎ極に磁化された磁極部４２ａは、マグネット３２のＳ極３２ａと引き合い、マグネット３２には回転軸１１の軸回りにＦ方向のトルクが発生し、マグネット３２はＦ方向に回転する。これに伴い、回転軸１１もＦ方向に回転し、回転軸１１に固定されているミラー部１２もＦ方向に回転する。 When the coils 44 and 45 are energized, the core body C is magnetized, and the magnetic pole portions 41a and 42a are polarized according to the energization direction. As shown in FIG. 5B, when the coils 44 and 45 are energized, magnetic flux is generated inside the core body C, the magnetic pole portion 41a becomes the S pole, and the magnetic pole portion 42a becomes the N pole. As a result, the magnetic pole portion 41a magnetized to the south pole is attracted to the north pole 32b of the magnet 32, the magnetic pole portion 42a magnetized to the north pole is attracted to the south pole 32a of the magnet 32, and the magnet 32 is connected to the rotation shaft 11. A torque in the F direction is generated around the axis of , and the magnet 32 rotates in the F direction. Along with this, the rotating shaft 11 also rotates in the F direction, and the mirror section 12 fixed to the rotating shaft 11 also rotates in the F direction.

一方、図示を省略するが、コイル４４、４５に対して図５Ｂとは逆向きに通電が行われると、コア体Ｃの内部に磁束が生じ、磁極部４１ａはＮ極、磁極部４２ａはＳ極となる。これにより、Ｎ極に磁化された磁極部４１ａは、マグネット３２のＳ極３２ａと引き合い、Ｓ極に磁化された磁極部４２ａは、マグネット３２のＮ極３２ｂと引き合い、マグネット３２には回転軸１１の軸回りにＦ方向とは逆向きのトルクが発生し、マグネット３２は－Ｆ方向に回転する。これに伴い、回転軸１１も回転し、回転軸１１に固定されるミラー部１２も回転する。
回転往復駆動アクチュエーター１は、以上の動作を繰り返すことで、ミラー部１２を回転往復駆動する。 On the other hand, although not shown, when the coils 44 and 45 are energized in the direction opposite to that in FIG. become the pole. As a result, the N-pole magnetized magnetic pole portion 41a is attracted to the S-pole 32a of the magnet 32, and the S-pole-magnetized magnetic pole portion 42a is attracted to the N pole 32b of the magnet 32. A torque opposite to the F direction is generated around the axis of , and the magnet 32 rotates in the -F direction. Along with this, the rotating shaft 11 also rotates, and the mirror section 12 fixed to the rotating shaft 11 also rotates.
The rotary reciprocating drive actuator 1 rotates and reciprocates the mirror section 12 by repeating the above operation.

実際上、回転往復駆動アクチュエーター１は、電源供給部（例えば図６の駆動信号供給部１０３に相当）からコイル４４、４５に入力される交流波によって駆動される。つまり、コイル４４、４５の通電方向は周期的に切り替わる。通電方向の切り替わり時には、回転角度位置保持部４８とマグネット３２との間の磁気吸引力、つまり磁気バネの復元力により、マグネット３２は中立位置に戻るように付勢されるので、可動部１０には、軸回りにＦ方向のトルクと、Ｆ方向とは逆の方向（－Ｆ方向）のトルクが交互に作用する。これにより、可動部１０は、回転往復駆動される。 In practice, the rotary reciprocating drive actuator 1 is driven by AC waves input to the coils 44 and 45 from a power supply section (corresponding to the drive signal supply section 103 in FIG. 6, for example). That is, the energization directions of the coils 44 and 45 are periodically switched. When the energization direction is switched, the magnet 32 is urged to return to the neutral position by the magnetic attraction force between the rotation angle position holding portion 48 and the magnet 32, that is, the restoring force of the magnetic spring. , torque in the F direction and torque in the direction opposite to the F direction (-F direction) act alternately around the axis. Thereby, the movable part 10 is rotationally reciprocatingly driven.

以下に、回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理について簡単に説明する。本実施の形態の回転往復駆動アクチュエーター１では、可動体（可動部１０）の慣性モーメントをＪ［ｋｇ・ｍ^２］、磁気バネ（磁極部４１ａ、４２ａ、回転角度位置保持部４８及びマグネット３２）のねじり方向のバネ定数をＫ_ｓｐとした場合、可動体は、固定体（固定部２０）に対して、式（１）によって算出される共振周波数Ｆ_ｒ［Ｈｚ］で振動（往復回転）する。 The drive principle of the rotary reciprocating drive actuator 1 will be briefly described below. In the rotary reciprocating drive actuator 1 of the present embodiment, the moment of inertia of the movable body (movable portion 10) is J [kg·m ² ], the magnetic springs (magnetic pole portions 41a and 42a, rotation angle position holding portion 48 and magnet 32) When the spring constant in the torsional direction is K _sp , the movable body vibrates (reciprocates) with respect to the fixed body (fixed part 20) at the resonance frequency F _r [Hz] calculated by Equation (1). .

可動体は、バネマス系の振動モデルにおけるマス部を構成するので、コイル４４、４５に可動体の共振周波数Ｆ_ｒに等しい周波数の交流波が入力されると、可動体は共振状態となる。すなわち、電源供給部からコイル４４、４５に対して、可動体の共振周波数Ｆ_ｒと略等しい周波数の交流波を入力することにより、可動体を効率良く振動させることができる。 Since the movable body constitutes a mass portion in the vibration model of the spring-mass system, when AC waves having a frequency equal to the resonance frequency _Fr of the movable body are input to the coils 44 and 45, the movable body enters a resonant state. That is, by inputting AC waves having a frequency substantially equal to the resonance frequency _Fr of the movable body from the power supply unit to the coils 44 and 45, the movable body can be vibrated efficiently.

回転往復駆動アクチュエーター１の駆動原理を示す運動方程式及び回路方程式を以下に示す。回転往復駆動アクチュエーター１は、式（２）で示す運動方程式及び式（３）で示す回路方程式に基づいて駆動する。 Equations of motion and circuit equations showing the driving principle of the rotary reciprocating actuator 1 are shown below. The rotary reciprocating actuator 1 is driven based on the equation of motion shown in Equation (2) and the circuit equation shown in Equation (3).

すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１における可動体の慣性モーメントＪ［ｋｇ・ｍ^２］、回転角度θ（ｔ）［ｒａｄ］、トルク定数Ｋ_ｔ［Ｎ・ｍ／Ａ］、電流ｉ（ｔ）［Ａ］、バネ定数Ｋ_ｓｐ［Ｎ・ｍ／ｒａｄ］、減衰係数Ｄ［Ｎ・ｍ／（ｒａｄ／ｓ）］、負荷トルクＴ_Ｌｏｓｓ［Ｎ・ｍ］等は、式（２）を満たす範囲内で適宜変更できる。また、電圧ｅ（ｔ）［Ｖ］、抵抗Ｒ［Ω］、インダクタンスＬ［Ｈ］、逆起電力定数Ｋ_ｅ［Ｖ／（ｒａｄ／ｓ）］は、式（３）を満たす範囲内で適宜変更できる。 That is, the moment of inertia J [kg·m ² ] of the movable body in the rotary reciprocating drive actuator 1, the rotation angle θ(t) [rad], the torque constant K _t [N·m/A], the current i(t) [A ], spring constant K _sp [N・m/rad], damping coefficient D [N・m/(rad/s)], load torque T _Loss [N・m], etc. are within the range satisfying formula (2) Can be changed as appropriate. In addition, the voltage e(t) [V], the resistance R [Ω], the inductance L [H], and the back electromotive force constant K _e [V/(rad/s)] are appropriately can be changed.

このように、回転往復駆動アクチュエーター１は、可動体の慣性モーメントＪと磁気バネのバネ定数Ｋ_ｓｐにより決まる共振周波数Ｆ_ｒに対応する交流波によりコイルへの通電を行った場合に、効率良い大きな振動出力を得ることができる。 As described above, the rotary reciprocating drive actuator 1 can efficiently generate a large amount of current when the coil is energized by an AC wave corresponding to the resonance frequency _Fr determined by the moment of inertia J of the movable body and the spring constant _Ksp of the magnetic spring. Vibration output can be obtained.

なお、回転往復駆動アクチュエーター１は、回転軸１１の回転角度を検出する角度センサー６０（図６参照）を備えていてもよい。角度センサー６０は、例えば、ベース２１の右側壁部２１２に固定される。 Note that the rotary reciprocating drive actuator 1 may include an angle sensor 60 (see FIG. 6) that detects the rotation angle of the rotary shaft 11 . The angle sensor 60 is fixed to the right side wall portion 212 of the base 21, for example.

角度センサー６０は、例えば、光センサー及びエンコーダーディスクを有する。エンコーダーディスクは、回転軸１１に取り付けられ、マグネット３２及びミラー部１２と一体に回転する。つまり、エンコーダーディスクの回転位置が回転軸１１の回転位置と同一となる。光センサーは、エンコーダーディスクに光を出射しその反射光に基づいてエンコーダーディスクの回転位置（角度）を検出する。これにより、マグネット３２及びミラー部１２の回転位置を検出できる。
角度センサー６０を備えることにより、マグネット３２及び回転軸１１を含む可動部１０の回転角度を検知可能となり、駆動時の可動体、具体的には、可動対象物であるミラー部１２の回転角度位置及び回転速度を制御することができる。 Angle sensor 60 comprises, for example, an optical sensor and an encoder disc. The encoder disk is attached to the rotating shaft 11 and rotates together with the magnet 32 and the mirror section 12 . In other words, the rotational position of the encoder disk is the same as the rotational position of the rotary shaft 11 . The optical sensor emits light to the encoder disk and detects the rotational position (angle) of the encoder disk based on the reflected light. Thereby, the rotational positions of the magnet 32 and the mirror section 12 can be detected.
By providing the angle sensor 60, the rotation angle of the movable part 10 including the magnet 32 and the rotation shaft 11 can be detected, and the rotation angle position of the movable body, specifically the mirror part 12, which is the movable object, during driving can be detected. and rotation speed can be controlled.

図６は、回転往復駆動アクチュエーター１を用いた光走査装置の要部構成を示すブロック図である。 FIG. 6 is a block diagram showing the main configuration of an optical scanning device using the rotary reciprocating drive actuator 1. As shown in FIG.

光走査装置Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１に加えて、レーザー発光部１０１、レーザー制御部１０２、駆動信号供給部１０３及び位置制御信号計算部１０４を有する。 The optical scanning device A has a laser emitting unit 101 , a laser control unit 102 , a drive signal supply unit 103 and a position control signal calculation unit 104 in addition to the rotary reciprocating actuator 1 .

レーザー発光部１０１は、例えば、光源となるＬＤ（レーザーダイオード）と、この光源から出力されるレーザー光を収束するためのレンズ系などを有する。レーザー制御部１０２は、レーザー発光部１０１を制御する。レーザー発光部１０１から照射されたレーザー光は、回転往復駆動アクチュエーター１のミラー１２１に入射される。 The laser emitting unit 101 has, for example, an LD (laser diode) as a light source and a lens system for converging the laser light output from the light source. A laser control unit 102 controls the laser emission unit 101 . A laser beam emitted from the laser emitting unit 101 is incident on the mirror 121 of the rotary reciprocating actuator 1 .

位置制御信号計算部１０４は、角度センサー６０により取得された回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置と、目標角度位置とを参照して、回転軸１１（ミラー１２１）を目標角度位置となるように制御する駆動信号を生成して出力する。例えば、位置制御信号計算部１０４は、取得した回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置と、図示しない波形メモリに格納されているのこぎり波形データ等を用いて変換された目標角度位置を示す信号とに基づいて位置制御信号を生成して、この位置制御信号を駆動信号供給部１０３に出力する。 The position control signal calculator 104 refers to the angular position of the rotating shaft 11 (mirror 121) acquired by the angle sensor 60 and the target angular position, and adjusts the rotating shaft 11 (mirror 121) to the target angular position. to generate and output a drive signal to control the For example, the position control signal calculator 104 generates a signal indicating the acquired angular position of the rotating shaft 11 (mirror 121) and a target angular position converted using sawtooth waveform data or the like stored in a waveform memory (not shown). and outputs the position control signal to the drive signal supply unit 103 .

駆動信号供給部１０３は、位置制御信号に基づいて、回転往復駆動アクチュエーター１のコイル４４、４５に、回転軸１１（ミラー１２１）の角度位置が所望の角度位置となるような駆動信号を供給する。これにより、光走査装置Ａは、回転往復駆動アクチュエーター１から所定の走査領域に走査光を出射することができる。 Based on the position control signal, the drive signal supply unit 103 supplies the coils 44 and 45 of the rotary reciprocating drive actuator 1 with a drive signal such that the angular position of the rotating shaft 11 (mirror 121) becomes a desired angular position. . As a result, the optical scanning device A can emit scanning light from the rotary reciprocating drive actuator 1 to a predetermined scanning area.

本実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、以下の特徴を有している。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１は、ミラー部１２（可動対象物）が配置される回転軸１１を含む可動部１０と、回転軸１１を支持する固定部２０と、固定部２０に配置されるコイル４４、４５及びコア４１～４３、並びに回転軸１１に配置されるマグネット３２を有し、電磁相互作用を利用して固定部２０に対して回転軸１１を軸中心に回転させる駆動部３０と、を備える。
また、マグネット３２は、外周面においてＳ極３２ａ及びＮ極３２ｂが周方向に交互に配置されているリング型マグネットであり、コア４１～４３は、コイル４４、４５への通電により励磁され極性を生じる磁極部４１ａ、４２ａを有し、回転軸１１を固定部２０に取り付けたときに、磁極部４１ａ、４２ａとマグネット３２の外周面とがエアギャップＧを介して対向するように配置されており、マグネット３２の磁極の数と磁極部４１ａ、４２ａの数は等しく、マグネット３２とエアギャップＧを介して対向するように固定部２０に配置され、マグネット３２との間で生じる磁気吸引力により回転軸１１の回転角度位置を中立位置に保持する回転角度位置保持部４８をさらに備える。
これにより、コイル４４、４５への通電方向が切り替わる度に、マグネット３２が回転角度位置保持部４８によって磁気吸引され、中立位置（動作基準位置）に戻るように付勢されるので、エネルギー効率及び応答性が良く、かつ高振幅の回転往復駆動が実現される。また、ムービングコイルタイプの回転往復駆動アクチュエーターと比較して、コイルでの発熱が可動対象物に伝わりにくいので、可動対象物がミラーである場合に、ミラーに対して熱による悪影響（接合劣化、反りなど）が及ぶことを回避できる。 The rotary reciprocating drive actuator 1 according to this embodiment has the following features.
That is, the rotary reciprocating drive actuator 1 includes a movable part 10 including a rotary shaft 11 on which a mirror part 12 (movable object) is arranged, a fixed part 20 that supports the rotary shaft 11, and a coil arranged on the fixed part 20. 44, 45, cores 41 to 43, and a magnet 32 arranged on the rotating shaft 11, and a driving unit 30 that rotates the fixed unit 20 around the rotating shaft 11 using electromagnetic interaction; Prepare.
The magnet 32 is a ring-shaped magnet in which S poles 32a and N poles 32b are alternately arranged in the circumferential direction on the outer peripheral surface. The magnetic pole portions 41a and 42a and the outer peripheral surface of the magnet 32 are arranged so as to face each other with an air gap G therebetween when the rotating shaft 11 is attached to the fixed portion 20. , the number of the magnetic poles of the magnet 32 and the number of the magnetic pole portions 41a and 42a are the same, and are arranged on the fixed portion 20 so as to face the magnet 32 with an air gap G therebetween. A rotation angle position holding portion 48 is further provided for holding the rotation angle position of the shaft 11 at a neutral position.
As a result, the magnet 32 is magnetically attracted by the rotation angle position holding portion 48 and urged to return to the neutral position (operation reference position) each time the direction of energization of the coils 44 and 45 is switched. Rotational reciprocating drive with good responsiveness and high amplitude is realized. In addition, compared to a moving coil type rotary reciprocating drive actuator, the heat generated by the coil is less likely to be transmitted to the movable object. etc.) can be avoided.

さらに、固定部２０は、軸方向においてマグネット３２を挟んで対向して配置される第１シールド部材５１（第１支持体）及びベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）を有し、回転軸１１は、第１軸受５３及び第２軸受２２を介して、第１シールド部材５１及び左側壁部２１１に、回転自在に取り付けられており、第１軸受５３及び第２軸受２２の一方は転がり軸受であり、他方は滑り軸受である。
本実施の形態では、第１軸受５３が滑り軸受であり、第２軸受２２が転がり軸受である。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。つまり、回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、左側壁部２１１だけで支持され片持ちとなっている場合には、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなると、回転軸１１が回転角度位置保持部４８側に撓んで直線性が低下する虞があるが、このような問題は生じない。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。
さらに、第１軸受５３が滑り軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、第１軸受５３が転がり軸受、第２軸受２２が滑り軸受で構成され、第２軸受２２が減衰部として機能するようにしてもよい。 Furthermore, the fixed portion 20 has a first shield member 51 (first support) and a left side wall portion 211 (second support) of the base 21 which are arranged to face each other across the magnet 32 in the axial direction, The rotating shaft 11 is rotatably attached to the first shield member 51 and the left side wall portion 211 via the first bearing 53 and the second bearing 22. One of the first bearing 53 and the second bearing 22 is One is a rolling bearing and the other is a sliding bearing.
In this embodiment, the first bearing 53 is a sliding bearing and the second bearing 22 is a rolling bearing.
Since the portion of the rotating shaft 11 where the magnet 32 is arranged is supported by the first shield member 51 and the left side wall portion 211, the magnetic attraction force between the magnet 32 and the rotation angle position holding portion 48 is large. Even if it becomes, the linearity of the rotating shaft 11 can be ensured. That is, when the portion of the rotating shaft 11 where the magnet 32 is arranged is supported only by the left side wall portion 211 and is cantilevered, the magnetic attraction force between the magnet 32 and the rotation angle position holding portion 48 is increases, the rotating shaft 11 may bend toward the rotation angle position holding portion 48 and the linearity may deteriorate. However, such a problem does not occur.
Therefore, by increasing the size of the magnet 32 to increase the drive torque, it is possible to cope with an increase in the size of the movable object, and by increasing the diameter of the magnet 32, it is possible to increase the amplitude of the movable object. . In addition, since the linearity of the rotating shaft 11 can be ensured, the driving performance can be stabilized.
Furthermore, since the first bearing 53 is a sliding bearing, it functions as a damping section and can suppress drive noise (resonance noise of the movable section 10). Alternatively, the first bearing 53 may be a rolling bearing, the second bearing 22 may be a slide bearing, and the second bearing 22 may function as a damping portion.

また、第１軸受５３は、回転軸１１が挿通される筒状の胴部５３ｂと、胴部５３ｂの端部に配置されたフランジ部５３ａと、を有し、胴部５３ｂが第１シールド部材５１（第１支持体）に形成された軸受取付部５１ａに嵌入され、フランジ部５３ａが第１シールド部材５１の外側面に係止される。これにより、回転軸１１のマグネット３２が配置される側の端部を、容易に第１シールド部材５１に取り付けることができる。 Further, the first bearing 53 has a cylindrical body portion 53b through which the rotating shaft 11 is inserted, and a flange portion 53a arranged at an end portion of the body portion 53b. The flange portion 53a is engaged with the outer surface of the first shield member 51 by being fitted into the bearing mounting portion 51a formed on the first support member 51 . As a result, the end of the rotation shaft 11 on the side where the magnet 32 is arranged can be easily attached to the first shield member 51 .

また、第１軸受５３は、樹脂成型品である。これにより、第１軸受５３の形状の自由度が高く、低コストで作製することができる。
また、第１軸受５３は、フッ素樹脂で形成される。これにより、第１軸受５３の環境温度による膨張収縮を抑制でき、また、加工精度が高く、適度な摺動特性を実現することができる。したがって、回転往復駆動アクチュエーター１の高温環境下での使用にも対応できるとともに、回転往復動作を妨げることなく回転軸１１を安定して支持することができ、信頼性が向上する。 Also, the first bearing 53 is a molded resin product. Thereby, the degree of freedom of the shape of the first bearing 53 is high, and it can be manufactured at low cost.
Further, the first bearing 53 is made of fluororesin. As a result, it is possible to suppress the expansion and contraction of the first bearing 53 due to the environmental temperature, and it is possible to achieve high processing accuracy and appropriate sliding characteristics. Therefore, the rotary reciprocating drive actuator 1 can be used in a high-temperature environment, and the rotating shaft 11 can be stably supported without impeding the rotary reciprocating motion, thereby improving reliability.

また、マグネット３２は、２極マグネットであり、マグネット３２の２つの磁極切替部３２ｃ、３２ｄは、マグネット３２が中立位置で保持されているとき、磁極部４１ａ、４２ａと正対する。これにより、マグネット３２、つまり、回転軸１１を含む可動体が、軸回りの一方と他方とに、中立位置から同じ角度範囲で回転往復移動することとなり、駆動トルクを最大化でき、かつ、駆動トルクの向きを安定化できる。 The magnet 32 is a two-pole magnet, and the two magnetic pole switching portions 32c and 32d of the magnet 32 face the magnetic pole portions 41a and 42a when the magnet 32 is held at the neutral position. As a result, the magnet 32, that is, the movable body including the rotating shaft 11 rotates and reciprocates in the same angular range from the neutral position on one side and the other side around the shaft. The direction of torque can be stabilized.

また、コア４１～４３及びコイル４４、４５を含むコアユニット３１の軸方向における両側に、電気伝導材からなる第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２が配置されている。これにより、外部からコアユニット３１へのノイズの入射及びコアユニット３１から外部へのノイズの出射が抑制されるので、回転往復駆動アクチュエーター１の信頼性が向上する。
なお、第１シールド部材５１及び第２シールド部材５２の一方が設けられていればよく、例えば、第２シールド部材５２は配置されていなくてもよい。 A first shield member 51 and a second shield member 52 made of an electrically conductive material are arranged on both sides in the axial direction of the core unit 31 including the cores 41 to 43 and the coils 44 and 45 . This suppresses noise from entering the core unit 31 from the outside and emitting noise from the core unit 31 to the outside, thereby improving the reliability of the rotary reciprocating actuator 1 .
One of the first shield member 51 and the second shield member 52 may be provided. For example, the second shield member 52 may not be provided.

また、第１支持体は、第１シールド部材５１で構成される。つまり、第１シールド部材５１は、コアユニット３１におけるノイズの出入りを抑制するシールドとして機能するとともに、回転軸１１を支持する支持体として機能する。これにより、部品点数を低減でき、省スペース化を図ることができる。なお、第１シールド部材５１とは別に、回転軸１１を支持する支持体を設けてもよい。 Also, the first support is composed of the first shield member 51 . That is, the first shield member 51 functions as a shield that suppresses the entry and exit of noise in the core unit 31 and also functions as a support that supports the rotating shaft 11 . As a result, the number of parts can be reduced, and space can be saved. A support for supporting the rotating shaft 11 may be provided separately from the first shield member 51 .

また、第１シールド部材５１は、アルミ合金で形成される。これにより、設計の自由度が高く、十分な剛性を付与することができるので、第１シールド部材５１を可動部１０の支持体として機能させることができる。 Also, the first shield member 51 is made of an aluminum alloy. As a result, the degree of freedom in design is high and sufficient rigidity can be imparted, so that the first shield member 51 can function as a support for the movable portion 10 .

また、可動対象物は、走査光を反射するミラー１２１である。これにより、回転往復駆動アクチュエーター１を、光走査を行うスキャナーの用途に使用することができる。 Also, the movable object is the mirror 121 that reflects the scanning light. As a result, the rotary reciprocating drive actuator 1 can be used as a scanner for optical scanning.

また、実施の形態に係る回転往復駆動アクチュエーター１は、以下の特徴も有している。
すなわち、回転往復駆動アクチュエーター１において、固定部２０は、軸方向においてマグネット３２を挟んで対向して配置される第１シールド部材５１（第１支持体）及びベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）と、左側壁部２１１とミラー部１２（可動対象物）を挟んで対向して配置される右側壁部２１２（第３支持体）と、を有し、回転軸１１は、第１シールド部材５１、左側壁部２１１及び右側壁部２１２の３か所で、回転自在に支持されている。
回転軸１１のマグネット３２が配置されている部分が、第１シールド部材５１と左側壁部２１１によって２点支持されていることにより、マグネット３２と回転角度位置保持部４８との間の磁気吸引力が大きくなっても、回転軸１１の直線性を確保することができる。また、回転軸１１のミラー部１２が配置されている部分が、左側壁部２１１と右側壁部２１２によって２点支持されていることにより、ミラー部１２が大型化して重量が増加しても、回転軸１１の直線性を確保することができる。
したがって、マグネット３２を大型化して駆動トルクを増大させ、可動対象物の大型化に対応することができるとともに、マグネット３２を大径化することで、可動対象物の高振幅化を図ることもできる。また、回転軸１１の直線性を確保できるので、駆動性能の安定化を図ることができる。 Further, the rotary reciprocating drive actuator 1 according to the embodiment also has the following features.
That is, in the rotary reciprocating drive actuator 1, the fixed portion 20 is composed of the first shield member 51 (first support) and the left side wall portion 211 (second and a right side wall portion 212 (third support) arranged to face the left side wall portion 211 and the mirror portion 12 (movable object). It is rotatably supported at three points, the shield member 51 , the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212 .
A portion of the rotating shaft 11 where the magnet 32 is arranged is supported by the first shield member 51 and the left side wall portion 211 at two points, so that a magnetic attraction force between the magnet 32 and the rotation angle position holding portion 48 is generated. becomes large, the linearity of the rotating shaft 11 can be ensured. Further, since the portion of the rotating shaft 11 where the mirror portion 12 is arranged is supported at two points by the left side wall portion 211 and the right side wall portion 212, even if the mirror portion 12 is enlarged and its weight is increased, The linearity of the rotating shaft 11 can be ensured.
Therefore, by increasing the size of the magnet 32 to increase the drive torque, it is possible to cope with an increase in the size of the movable object, and by increasing the diameter of the magnet 32, it is possible to increase the amplitude of the movable object. . In addition, since the linearity of the rotating shaft 11 can be ensured, the driving performance can be stabilized.

また、回転軸１１は、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を介して、第１シールド部材５１（第１支持体）、ベース２１の左側壁部２１１（第２支持体）及び右側壁部２１２（第３支持体）に、回転自在に取り付けられ、第１軸受５３は、滑り軸受であり、第２軸受２２及び前記第３軸受２３は、転がり軸受である。第２軸受２２及び第３軸受２３が転がり軸受であることにより、可動対象物が装着された回転軸１１を、２か所の転がり軸受で安定して保持することができ、回転往復駆動アクチュエーター１としての耐久性に関して信頼性の向上を図ることができる。また、第１軸受５３がり軸受であることにより、減衰部として機能し、駆動音（可動部１０の共振音）を抑制することができる。なお、駆動性能の安定性の観点からは、第１軸受５３、第２軸受２２及び第３軸受２３を、すべて転がり軸受としてもよい。 Further, the rotating shaft 11 is connected to the first shield member 51 (first support) and the left side wall portion 211 (second support) of the base 21 via the first bearing 53, the second bearing 22, and the third bearing 23. and the right side wall portion 212 (third support), the first bearing 53 is a sliding bearing, and the second bearing 22 and the third bearing 23 are rolling bearings. Since the second bearing 22 and the third bearing 23 are rolling bearings, the rotary shaft 11 on which the movable object is mounted can be stably held by the rolling bearings at the two locations. It is possible to improve reliability with respect to durability as. Further, since the first bearing 53 is a rolling bearing, it functions as a damping section and can suppress drive noise (resonance noise of the movable section 10). From the viewpoint of stability of driving performance, the first bearing 53, the second bearing 22 and the third bearing 23 may all be rolling bearings.

以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づいて具体的に説明したが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。 Although the invention made by the inventor of the present invention has been specifically described above based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and can be changed without departing from the scope of the invention.

例えば、実施の形態では、可動対象物がミラー部１２である場合について述べたが、可動対象物はこれに限らない。可動対象物は、例えば、カメラなどの撮像装置であってもよい。 For example, in the embodiment, the movable object is the mirror unit 12, but the movable object is not limited to this. The movable object may be, for example, an imaging device such as a camera.

また例えば、実施の形態では、回転往復駆動アクチュエーター１を共振駆動する場合について説明したが、本発明は、非共振駆動する場合にも適用できる。 Further, for example, in the embodiment, the case of resonantly driving the rotary reciprocating drive actuator 1 has been described, but the present invention can also be applied to the case of non-resonantly driving.

また、駆動部３０の構成は、実施の形態で説明したものに限定されない。例えば、コアは、コイルへの通電により励磁され極性を生じる磁極部を有し、回転軸を固定部に取り付けたときに、磁極部とマグネットの外周面とがエアギャップを介して対向するようになっていればよい。また例えば、コイルは、通電したときに、コアの磁極部の一方から他方に向かって好適に磁束を生じさせる構成を有していればよい。 Moreover, the configuration of the drive unit 30 is not limited to that described in the embodiment. For example, the core has a magnetic pole portion that is excited by energization of the coil and generates polarity, and when the rotating shaft is attached to the fixed portion, the magnetic pole portion and the outer peripheral surface of the magnet face each other with an air gap therebetween. It is good if it is. Further, for example, the coil may have a configuration that suitably generates a magnetic flux from one of the magnetic pole portions of the core toward the other when energized.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be considered that the embodiments disclosed this time are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the scope of the claims rather than the above description, and is intended to include all modifications within the meaning and range of equivalents of the scope of the claims.

１回転往復駆動アクチュエーター
１０可動部
１１回転軸
１２ミラー部（可動対象物）
２０固定部
２１ベース
２１１左側壁部（第２支持体）
２１２右側壁部（第３支持体）
２２第２軸受
２３第３軸受
３０駆動部
３１コアユニット
３２マグネット
４１、４２第１コア（コア）
４３第２コア（コア）
４４、４５コイル
４８回転角度位置保持部
５１第１シールド部材（第１支持体）
５２第２シールド部材
５３第１軸受
Ａ光走査装置 REFERENCE SIGNS LIST 1 rotary reciprocating actuator 10 movable part 11 rotating shaft 12 mirror part (movable object)
20 fixed part 21 base 211 left side wall part (second support)
212 right side wall (third support)
22 second bearing 23 third bearing 30 driving part 31 core unit 32 magnet 41, 42 first core (core)
43 second core (core)
44, 45 coil 48 rotation angle position holder 51 first shield member (first support)
52 Second shield member 53 First bearing A Optical scanning device

Claims

a movable part including a rotation axis on which the movable object is arranged;
a fixed portion that supports the rotating shaft;
a driving unit having a coil and a core arranged on the fixed portion and a magnet arranged on the rotating shaft, and rotating the rotating shaft with respect to the fixed portion using electromagnetic interaction;
A rotary reciprocating drive actuator comprising:
The magnet is a ring-shaped magnet in which S poles and N poles are alternately arranged in the circumferential direction on the outer peripheral surface,
The core has a magnetic pole portion that is excited by energization of the coil and generates a polarity. are placed facing each other,
The number of magnetic poles of the magnet is equal to the number of the magnetic pole portions,
A rotation angle position holding part is disposed on the fixed part so as to face the magnet via an air gap, and holds the rotation angle position of the rotating shaft at a neutral position by a magnetic attraction force generated between the magnet and the magnet. prepared,
The fixed part has a first support and a second support arranged facing each other across the magnet in the axial direction,
The rotating shaft is rotatably attached to the first support and the second support via a first bearing and a second bearing,
one of the first bearing and the second bearing is a rolling bearing and the other is a sliding bearing;
Rotary reciprocating drive actuator.

The first bearing is a slide bearing,
wherein the second bearing is a rolling bearing;
2. The rotary reciprocating drive actuator of claim 1.

The first bearing is
Having a cylindrical body portion through which the rotating shaft is inserted, and a flange portion disposed at an end of the body portion,
The cylindrical body is fitted into a bearing mounting portion formed on the first support, and the flange is locked to the outer surface of the first support.
3. The rotary reciprocating drive actuator of claim 2.

The first bearing is a resin molded product,
4. A rotary reciprocating drive actuator according to claim 3.

The first bearing is made of fluororesin,
5. A rotary reciprocating drive actuator according to claim 4.

The magnet is a two-pole magnet,
The two magnetic pole switching portions of the magnet face the magnetic pole portion when the magnet is held at the neutral position,
6. A rotary reciprocating drive actuator according to any one of claims 1-5.

A shield member made of an electrically conductive material is disposed on at least one side in the axial direction of a core unit including the core and the coil,
7. A rotary reciprocating drive actuator according to any one of claims 1-6.

wherein the first support is composed of the shield member;
8. A rotary reciprocating drive actuator according to claim 7.

The shield member is formed of an aluminum alloy,
A rotary reciprocating drive actuator according to claim 7 or 8.

wherein the movable object is a mirror that reflects scanning light;
10. A rotary reciprocating drive actuator according to any one of claims 1-9.