JP2021194765A - Fastening control device and fastening control method - Google Patents

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Jinyeong Park
寛祐 金
Kan Yu Kim
ジンウク キム
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Abstract

To provide a fastening control device that can suppress operational errors in fastening a member, and to provide a fastening control method.SOLUTION: A fastening control device includes an indication part, a fastening tool, a detector and a control unit. The indication part indicates a position of a fastening part to a member including multiple fastening parts in accordance with a fastening order. The fastening tool fastens a faster in the fastening part. The detector detects a position of the fastening tool. The control unit instructs a position of a fastening part to be fastened next to the indication part on the basis of the position of the fastening tool that is detected by the detector.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本開示は、締結管理装置および締結管理方法に関する。 The present disclosure relates to a fastening management device and a fastening management method.

プラズマ処理装置では、上部電極や基板を載置する載置台等のネジ止めされている部材がある。これらの部材は、例えば、複数本のネジのそれぞれを作業者が締めることで固定されている。 In the plasma processing apparatus, there are screwed members such as an upper electrode and a mounting table on which a substrate is placed. These members are fixed, for example, by an operator tightening each of a plurality of screws.

特開2019−197830号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-197830

本開示は、部材の締結時における作業ミスを抑制することができる締結管理装置および締結管理方法を提供する。 The present disclosure provides a fastening management device and a fastening management method capable of suppressing work mistakes when fastening members.

本開示の一態様による締結管理装置は、指示部と、締結工具と、検出部と、制御部とを有する。指示部は、複数の締結部分を有する部材に対し、締結順序に応じた締結部分の位置を示す。締結工具は、締結部分において締結具を締結する。検出部は、締結工具の位置を検出する。制御部は、検出部で検出された締結工具の位置に基づいて、次に締結する締結部分の位置を指示部に指示する。 The fastening management device according to one aspect of the present disclosure includes an instruction unit, a fastening tool, a detection unit, and a control unit. The indicator indicates the position of the fastening portion according to the fastening order with respect to the member having the plurality of fastening portions. The fastening tool fastens the fastener at the fastening portion. The detection unit detects the position of the fastening tool. The control unit instructs the instruction unit of the position of the fastening portion to be fastened next based on the position of the fastening tool detected by the detection unit.

本開示によれば、部材の締結時における作業ミスを抑制することができる。 According to the present disclosure, it is possible to suppress work mistakes when fastening members.

図1は、本開示の一実施形態における締結管理装置の一例を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an example of a fastening management device according to an embodiment of the present disclosure. 図2は、本実施形態におけるガイド治具の構成の一例を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing an example of the configuration of the guide jig in the present embodiment. 図3は、ガイド治具の一部を拡大した一例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an enlarged example of a part of the guide jig. 図4は、ガイド治具の一部を拡大した一例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an enlarged example of a part of the guide jig. 図5は、上部電極の取り付け時におけるガイド治具の位置の一例を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of the position of the guide jig when the upper electrode is attached. 図6は、カバーの取り付け時におけるガイド治具の位置の一例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of the position of the guide jig when the cover is attached. 図7は、本実施形態における締結管理処理の一例を示すフローチャートである。FIG. 7 is a flowchart showing an example of the conclusion management process in the present embodiment. 図8は、LEDの点灯状態の遷移の一例を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing an example of the transition of the lighting state of the LED. 図9は、適切でないネジが挿入される場合の一例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing an example of a case where an inappropriate screw is inserted. 図10は、変形例1における締結管理処理の一例を示すフローチャートである。FIG. 10 is a flowchart showing an example of the fastening management process in the modified example 1.

以下に、開示する締結管理装置および締結管理方法の実施形態について、図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態により開示技術が限定されるものではない。 Hereinafter, embodiments of the fastening management device and the fastening management method to be disclosed will be described in detail with reference to the drawings. The disclosed technology is not limited by the following embodiments.

複数本のネジを用いて固定されている上部電極や基板を載置する載置台等の部材は、ネジの締結順序やトルク値が適切でない場合、取り付け精度上の問題、例えば中心位置のずれや、傾きによる上部電極と載置台間のギャップの変化が発生する。これらの取り付け精度が所定の範囲外となった場合、パーティクルの発生や、プラズマ処理における不良の発生といった問題が発生する虞がある。この様な部材の取り付け精度の悪化は、例えば、作業者がネジを締め忘れたり、トルク不足による締結不良といった作業ミスに起因する場合がある。そこで、部材の締結時における作業ミスを抑制することが期待されている。 Members such as the upper electrode fixed using multiple screws and the mounting table on which the board is placed have problems with mounting accuracy, such as misalignment of the center position, if the screw fastening order and torque value are not appropriate. , The gap between the upper electrode and the mounting table changes due to the inclination. If the mounting accuracy is out of the predetermined range, problems such as generation of particles and generation of defects in plasma processing may occur. Such deterioration of the mounting accuracy of the member may be caused by a work error such as an operator forgetting to tighten the screw or a poor fastening due to insufficient torque. Therefore, it is expected to suppress work mistakes when fastening the members.

[締結管理装置1の構成]
図1は、本開示の一実施形態における締結管理装置の一例を示す図である。図1に示すように、締結管理装置1は、ガイド治具10と、トルクドライバ30と、端末50とを有する。ガイド治具10と端末50との間、および、トルクドライバ30と端末50との間は、無線または有線で相互に通信可能に接続される。これらの間の接続には、例えば、Bluetooth(登録商標)や無線LAN(Local Area Network)等を用いることができる。
[Configuration of fastening management device 1]
FIG. 1 is a diagram showing an example of a fastening management device according to an embodiment of the present disclosure. As shown in FIG. 1, the fastening management device 1 has a guide jig 10, a torque driver 30, and a terminal 50. The guide jig 10 and the terminal 50, and the torque driver 30 and the terminal 50 are connected to each other so as to be able to communicate with each other wirelessly or by wire. For the connection between them, for example, Bluetooth (registered trademark), wireless LAN (Local Area Network), or the like can be used.

本実施形態に係る締結管理装置1は、例えば、プラズマ処理装置の上部電極を電極支持体に取り付ける際に、ネジの締結順序とトルクを管理するために使用する。この場合、作業者は、まず、上部電極を覆うようにガイド治具10を設置する。次に、作業者は、ガイド治具10の指示に従ってトルクドライバ30でネジを締め、上部電極を電極支持体に取り付ける。 The fastening management device 1 according to the present embodiment is used, for example, to control the screw fastening order and torque when the upper electrode of the plasma processing device is attached to the electrode support. In this case, the operator first installs the guide jig 10 so as to cover the upper electrode. Next, the operator tightens the screw with the torque driver 30 according to the instruction of the guide jig 10, and attaches the upper electrode to the electrode support.

図2は、本実施形態におけるガイド治具の構成の一例を示す図である。図2に示すように、ガイド治具10は、上部電極の外周部を覆うように設置するために、円環状となっている。ガイド治具10は、指示部の一例である。図2は、ガイド治具10を上部電極と接する面と反対側の面11から見た図である。面11には、複数の第1のガイド12と、複数の第2のガイド13と、ネジの締結順序を示す作業番号14と、複数の状態表示ランプ15とが設けられる。また、ガイド治具10は、図示しない通信部として、例えば、Bluetooth(登録商標)モジュールを有する。 FIG. 2 is a diagram showing an example of the configuration of the guide jig in the present embodiment. As shown in FIG. 2, the guide jig 10 has an annular shape in order to cover the outer peripheral portion of the upper electrode. The guide jig 10 is an example of an indicator. FIG. 2 is a view of the guide jig 10 as viewed from the surface 11 on the side opposite to the surface in contact with the upper electrode. The surface 11 is provided with a plurality of first guides 12, a plurality of second guides 13, a work number 14 indicating a screw fastening order, and a plurality of status indicator lamps 15. Further, the guide jig 10 has, for example, a Bluetooth (registered trademark) module as a communication unit (not shown).

第1のガイド12は、ガイド治具10の内周側に設けられ、上部電極を電極支持体に取り付けるためのネジを締結部分の位置にガイドするための穴である。第1のガイド12は、穴の内壁に透過型または反射型フォトセンサ(フォトインタラプタ)を有し、第1のガイド12内をネジまたはトルクドライバ30が通過することにより、トルクドライバ30の位置を検出する。第1のガイド12で検出したトルクドライバ30の位置は、図示しない通信部を介して端末50に送信される。 The first guide 12 is provided on the inner peripheral side of the guide jig 10 and is a hole for guiding a screw for attaching the upper electrode to the electrode support to the position of the fastening portion. The first guide 12 has a transmissive or reflective photosensor (photointerruptor) on the inner wall of the hole, and the position of the torque driver 30 is determined by the screw or torque driver 30 passing through the first guide 12. To detect. The position of the torque driver 30 detected by the first guide 12 is transmitted to the terminal 50 via a communication unit (not shown).

第2のガイド13は、ガイド治具10の外周側に設けられ、第1のガイド12に対応する内周側のネジおよびネジ穴を覆うカバーを、上部電極に取り付けるためのネジを締結部分の位置にガイドするための穴である。第2のガイド13は、第1のガイド12と同様に、穴の内壁に透過型または反射型フォトセンサ(フォトインタラプタ)を有し、第2のガイド13内をネジまたはトルクドライバ30が通過することにより、トルクドライバ30の位置を検出する。第2のガイド13で検出したトルクドライバ30の位置は、図示しない通信部を介して端末50に送信される。つまり、第1のガイド12および第2のガイド13は、検出部の一例であり、作業者がどの締結部分の位置のネジを閉めようとしているかを検出する。 The second guide 13 is provided on the outer peripheral side of the guide jig 10, and the screw for fastening the screw for attaching the cover covering the screw and the screw hole on the inner peripheral side corresponding to the first guide 12 to the upper electrode is fastened. It is a hole for guiding to the position. Like the first guide 12, the second guide 13 has a transmissive or reflective photosensor (photointerruptor) on the inner wall of the hole, and the screw or torque driver 30 passes through the second guide 13. Thereby, the position of the torque driver 30 is detected. The position of the torque driver 30 detected by the second guide 13 is transmitted to the terminal 50 via a communication unit (not shown). That is, the first guide 12 and the second guide 13 are examples of the detection unit, and detect which position of the fastening portion the operator is trying to close the screw.

作業番号14は、第1のガイド12および第2のガイド13のそれぞれに通し番号が付与され、作業者がネジを締める締結順序(締結#1〜ネジ穴の個数)を示している。作業番号14は、例えば、上部電極がなるべく均等に締め付けられるような順番で付与されている。 The work number 14 is assigned a serial number to each of the first guide 12 and the second guide 13, and indicates the fastening order (fastening # 1 to the number of screw holes) in which the operator tightens the screws. Work numbers 14 are assigned in an order in which, for example, the upper electrodes are tightened as evenly as possible.

状態表示ランプ15は、第1のガイド12および第2のガイド13の一組ごとに設けられ、次にネジを締める位置を示す。また、状態表示ランプ15は、図示しない通信部を介して端末50から受信した、所定のトルクでネジを締めたか、および、何回ネジを締めたかといった各種の情報を表示する。状態表示ランプ15は、例えば、5つのLED(Light Emitting Diode)を有し、点灯する個数で締結回数を表し、次にネジを締める位置を点滅で表す。 The status indicator lamp 15 is provided for each set of the first guide 12 and the second guide 13, and indicates the position where the screw is to be tightened next. Further, the status display lamp 15 displays various information received from the terminal 50 via a communication unit (not shown), such as whether the screw is tightened with a predetermined torque and how many times the screw is tightened. The status display lamp 15 has, for example, five LEDs (Light Emitting Diodes), and the number of lights indicates the number of fastenings, and then the position where the screw is tightened is indicated by blinking.

図3および図4は、ガイド治具の一部を拡大した一例を示す図である。図3および図4に示すように、ガイド治具10は、さらに、転換スイッチ16と、電源ランプ17と、接続状態ランプ18と、充電ポート19と、電源スイッチ20とを有する。 3 and 4 are views showing an enlarged example of a part of the guide jig. As shown in FIGS. 3 and 4, the guide jig 10 further includes a conversion switch 16, a power lamp 17, a connection status lamp 18, a charging port 19, and a power switch 20.

転換スイッチ16は、第1のガイド12と、第2のガイド13とのどちらを用いて作業を行うかを切り替えるスイッチである。転換スイッチ16の状態は、図示しない通信部を介して端末50に送信される。電源ランプ17は、通電状態を示すランプである。接続状態ランプ18は、図示しない通信部を用いた端末50との接続状態を示す。充電ポート19は、例えば、USB(Universal Serial Bus)のミニUSB仕様、マイクロUSB仕様やUSB Type−C仕様のソケット等を用いて外部電源から電力の供給を受け付け、内蔵バッテリを充電するためのポートである。電源スイッチ20は、ガイド治具10の電源を投入/切断するためのスイッチである。 The conversion switch 16 is a switch for switching whether the work is performed using the first guide 12 or the second guide 13. The state of the conversion switch 16 is transmitted to the terminal 50 via a communication unit (not shown). The power lamp 17 is a lamp indicating an energized state. The connection status lamp 18 indicates a connection status with the terminal 50 using a communication unit (not shown). The charging port 19 is a port for receiving power supply from an external power source and charging the built-in battery by using, for example, a USB (Universal Serial Bus) mini USB specification, a micro USB specification, or a USB Type-C specification socket. Is. The power switch 20 is a switch for turning on / off the power of the guide jig 10.

図1の説明に戻る。トルクドライバ30は、締結工具の一例であり、設定されたトルク値でネジ(締結具)を締めることができるドライバである。トルクドライバ30は、トルク計と、図示しない通信部として、例えば、Bluetooth(登録商標)モジュールとを有する。トルクドライバ30は、ネジを締め終えた時にトルク計で計測したトルク値を、通信部を介して端末50に送信する。また、トルクドライバ30は、端末50から受信したトルク値を設定するようにしてもよい。すなわち、トルクドライバ30は、端末50から締結1回目のトルク値「10N・m」、締結2回目のトルク値「20N・m」といったトルク値を受信し、締結回数に応じてセットするようにしてもよい。なお、トルクドライバ30は、締結具に応じてトルクレンチ等の他のトルク管理が可能な締結工具を用いてもよい。 Returning to the description of FIG. The torque driver 30 is an example of a fastening tool, and is a driver capable of tightening a screw (fastener) with a set torque value. The torque driver 30 has a torque meter and, for example, a Bluetooth (registered trademark) module as a communication unit (not shown). The torque driver 30 transmits the torque value measured by the torque meter when the screw is finished tightened to the terminal 50 via the communication unit. Further, the torque driver 30 may set the torque value received from the terminal 50. That is, the torque driver 30 receives torque values such as the torque value "10 Nm" for the first fastening and the torque value "20 Nm" for the second fastening from the terminal 50, and sets the torque values according to the number of fastenings. It is also good. The torque driver 30 may use another fastening tool such as a torque wrench that can manage torque depending on the fastener.

端末50は、ガイド治具10およびトルクドライバ30を制御する制御部の一例である。端末50の一例としては、タブレット型のパーソナルコンピュータを採用できる。端末50には、上記のタブレット型のパーソナルコンピュータのみならず、据置型や携帯型のパーソナルコンピュータや、各種の携帯端末装置を端末50として採用することもできる。例えば、携帯端末装置の一例として、スマートフォンなどの移動体通信端末などが挙げられる。 The terminal 50 is an example of a control unit that controls the guide jig 10 and the torque driver 30. As an example of the terminal 50, a tablet-type personal computer can be adopted. As the terminal 50, not only the tablet-type personal computer described above, but also a stationary or portable personal computer and various mobile terminal devices can be adopted as the terminal 50. For example, an example of a mobile terminal device is a mobile communication terminal such as a smartphone.

端末50は、例えば、図示しない処理部(CPU:Central Processing Unit)、記憶部、通信部および表示操作部を有する。処理部は、記憶部に格納されたプログラムに基づいて種々の制御動作を行う。記憶部は、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)、HDD(Hard Disk Drive)、SSD(Solid State Drive)、またはこれらの組み合わせを用いることができる。通信部は、例えば、Bluetooth(登録商標)モジュールを用いることができる。表示操作部は、例えば、タッチパネル付きの液晶ディスプレイを用いることができる。端末50は、通信部を介してガイド治具10およびトルクドライバ30と各種の情報を送受する。また、端末50は、表示操作部で作業者の操作を受け付けるとともに、記憶部に記憶された作業ログ等を表示する。 The terminal 50 has, for example, a processing unit (CPU: Central Processing Unit), a storage unit, a communication unit, and a display operation unit (not shown). The processing unit performs various control operations based on the program stored in the storage unit. As the storage unit, a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read Only Memory), an HDD (Hard Disk Drive), an SSD (Solid State Drive), or a combination thereof can be used. As the communication unit, for example, a Bluetooth (registered trademark) module can be used. As the display operation unit, for example, a liquid crystal display with a touch panel can be used. The terminal 50 transmits and receives various information to and from the guide jig 10 and the torque driver 30 via the communication unit. Further, the terminal 50 accepts the operator's operation in the display operation unit and displays the work log or the like stored in the storage unit.

端末50は、制御部として締結管理処理および各種の処理を実行する。端末50は、第1のガイド12または第2のガイド13で検出されたトルクドライバ30の位置に基づいて、次に締結する締結部分の位置に対応する第1のガイド12または第2のガイド13をガイド治具10に指示する。また、端末50は、トルクドライバ30の位置が、締結順序に応じた締結部分の位置に対応する第1のガイド12または第2のガイド13ではない場合、警告情報を出力する。警告情報の出力は、例えば、端末50から警告音等の音声を出力したり、視覚情報としてガイド治具10の状態表示ランプ15の全部のLEDを点滅させたりする。また、端末50は、トルクドライバ30から受信したトルク値について、対応する第1のガイド12または第2のガイド13や作業者のID等と対応付けて作業ログを生成して記憶部に記憶する。 The terminal 50 executes the conclusion management process and various processes as a control unit. The terminal 50 is based on the position of the torque driver 30 detected by the first guide 12 or the second guide 13, and the first guide 12 or the second guide 13 corresponding to the position of the fastening portion to be fastened next. Is instructed to the guide jig 10. Further, the terminal 50 outputs warning information when the position of the torque driver 30 is not the first guide 12 or the second guide 13 corresponding to the position of the fastening portion according to the fastening order. For the output of the warning information, for example, a sound such as a warning sound is output from the terminal 50, or all the LEDs of the status display lamp 15 of the guide jig 10 are blinked as visual information. Further, the terminal 50 generates a work log in association with the corresponding first guide 12, the second guide 13, the worker's ID, and the like with respect to the torque value received from the torque driver 30, and stores it in the storage unit. ..

次に、図5および図6を用いてガイド治具の設置例を説明する。図5は、上部電極の取り付け時におけるガイド治具の位置の一例を示す断面図である。図5に示すように、上部電極60は、電極支持体70に取り付けられる。ガイド治具10は、上部電極60の外周部を覆うように設置される。なお、ガイド治具10は、上部電極60と接続して脱落を防止するストッパ部を有する。上部電極60は、自身を電極支持体70に取り付けるためのネジが貫通する複数の貫通穴61と、後述するカバーを上部電極60に取り付けるための複数のネジ穴62とを有する。電極支持体70は、上部電極60を自身に取り付けるための、複数の貫通穴61にそれぞれ対応する複数のネジ穴71を有する。 Next, an installation example of the guide jig will be described with reference to FIGS. 5 and 6. FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of the position of the guide jig when the upper electrode is attached. As shown in FIG. 5, the upper electrode 60 is attached to the electrode support 70. The guide jig 10 is installed so as to cover the outer peripheral portion of the upper electrode 60. The guide jig 10 has a stopper portion that is connected to the upper electrode 60 to prevent it from falling off. The upper electrode 60 has a plurality of through holes 61 through which a screw for attaching itself to the electrode support 70 penetrates, and a plurality of screw holes 62 for attaching a cover described later to the upper electrode 60. The electrode support 70 has a plurality of screw holes 71 corresponding to the plurality of through holes 61 for attaching the upper electrode 60 to itself.

ガイド治具10が上部電極60の外周部を覆うように設置された状態において、第1のガイド12のそれぞれは、貫通穴61およびネジ穴71のそれぞれに対応する場所に位置し、第2のガイド13のそれぞれは、ネジ穴62のそれぞれに対応する場所に位置する。この状態で作業者は、状態表示ランプ15が示す第1のガイド12、貫通穴61およびネジ穴71にネジを挿入してトルクドライバ30を用いてネジを締める。全ての貫通穴61およびネジ穴71のネジを締め終えると、ガイド治具10を上部電極60から一旦外す。 In a state where the guide jig 10 is installed so as to cover the outer peripheral portion of the upper electrode 60, each of the first guides 12 is located at a position corresponding to each of the through hole 61 and the screw hole 71, and the second guide 12 is located. Each of the guides 13 is located at a location corresponding to each of the screw holes 62. In this state, the operator inserts a screw into the first guide 12, the through hole 61, and the screw hole 71 indicated by the status indicator lamp 15, and tightens the screw using the torque driver 30. After tightening the screws of all the through holes 61 and the screw holes 71, the guide jig 10 is temporarily removed from the upper electrode 60.

次に、上部電極60の外周部にカバー80が設置され、カバー80を覆うようにガイド治具10が設置される。カバー80は、ネジ穴62のそれぞれに対応する場所に、それぞれ貫通穴81を有する。上部電極60の貫通穴61およびネジの頭部は、カバー80に覆われた状態となる。この状態において、第2のガイド13のそれぞれは、貫通穴81およびネジ穴62のそれぞれに対応する場所に位置する。作業者は、状態表示ランプ15が示す第2のガイド13、貫通穴81およびネジ穴62にネジを挿入してトルクドライバ30を用いてネジを締める。全ての貫通穴81およびネジ穴62のネジを締め終えると、ガイド治具10をカバー80から外し、作業を終了する。 Next, the cover 80 is installed on the outer peripheral portion of the upper electrode 60, and the guide jig 10 is installed so as to cover the cover 80. The cover 80 has a through hole 81 at a position corresponding to each of the screw holes 62. The through hole 61 of the upper electrode 60 and the head of the screw are covered with the cover 80. In this state, each of the second guides 13 is located at a position corresponding to each of the through hole 81 and the screw hole 62. The operator inserts a screw into the second guide 13, the through hole 81, and the screw hole 62 indicated by the status indicator lamp 15, and tightens the screw using the torque driver 30. After tightening the screws of all the through holes 81 and the screw holes 62, the guide jig 10 is removed from the cover 80, and the work is completed.

[締結管理方法]
次に、本実施形態に係る締結管理方法について説明する。図7は、本実施形態における締結管理処理の一例を示すフローチャートである。
[Conclusion management method]
Next, the conclusion management method according to the present embodiment will be described. FIG. 7 is a flowchart showing an example of the conclusion management process in the present embodiment.

まず、作業者によってガイド治具10が上部電極60にセットされ、ガイド治具10の電源が投入される(ステップS1)。また、転換スイッチ16が内周側である第1のガイド12側に設定される。端末50は、ガイド治具10およびトルクドライバ30と通信を確立する。端末50は、締結順序および締結を行った回数を表す変数を、締結#m=1、締結回数n=1に初期化する(ステップS2)。 First, the guide jig 10 is set on the upper electrode 60 by the operator, and the power of the guide jig 10 is turned on (step S1). Further, the conversion switch 16 is set on the first guide 12 side, which is the inner peripheral side. The terminal 50 establishes communication with the guide jig 10 and the torque driver 30. The terminal 50 initializes the variables representing the fastening order and the number of fastenings to the fastening # m = 1 and the number of fastenings n = 1 (step S2).

端末50は、締結#mに対応する状態表示ランプ15のLEDを1つ点滅させ、締結#mに対応する第1のガイド12の指示を開始する(ステップS3)。端末50は、トルクドライバ30が指示された締結#mの第1のガイド12を通過したか否かを判定する(ステップS4)。端末50は、トルクドライバ30が指示された締結#mの第1のガイド12を通過せず、他の第1のガイド12または第2のガイド13を通過したと判定した場合(ステップS4:No)、警告音の出力や状態表示ランプ15のLEDを全部点滅させる等の警告を所定時間実行する(ステップS5)。端末50は、警告の後、状態表示ランプ15の状態を指示中の状態に戻し、ステップS4の処理に戻る。 The terminal 50 blinks one LED of the status display lamp 15 corresponding to the fastening #m, and starts the instruction of the first guide 12 corresponding to the fastening #m (step S3). The terminal 50 determines whether or not the torque driver 30 has passed the first guide 12 of the indicated fastening #m (step S4). When the terminal 50 determines that the torque driver 30 has not passed the first guide 12 of the instructed fastening #m but has passed the other first guide 12 or the second guide 13 (step S4: No). ), A warning such as an output of a warning sound or blinking all the LEDs of the status display lamp 15 is executed for a predetermined time (step S5). After the warning, the terminal 50 returns the state of the status display lamp 15 to the state being instructed, and returns to the process of step S4.

端末50は、トルクドライバ30が指示された締結#mの第1のガイド12を通過したと判定した場合(ステップS4:Yes)、所定のトルクでネジが締められたか否かを判定する(ステップS6)。端末50は、所定のトルクでネジが締められていないと判定した場合(ステップS6:No)、ステップS6の判定を繰り返し、作業者によるネジの締付け作業の完了を待機する。 When the terminal 50 determines that the torque driver 30 has passed the first guide 12 of the instructed fastening # m (step S4: Yes), the terminal 50 determines whether or not the screw is tightened with a predetermined torque (step). S6). When the terminal 50 determines that the screw is not tightened with a predetermined torque (step S6: No), the terminal 50 repeats the determination in step S6 and waits for the operator to complete the screw tightening work.

端末50は、所定のトルクでネジが締められたと判定した場合(ステップS6:Yes)、締結#mに対応する状態表示ランプ15のLEDを点滅から点灯に変更する(ステップS7)。端末50は、トルクドライバ30からネジを締め終えた時のトルク値を取得し、取得したトルク値と、対応する第1のガイド12の締結#mと、作業者のIDとを対応付けて作業ログを生成し、生成した作業ログを記憶部に記憶する(ステップS8)。 When the terminal 50 determines that the screw is tightened with a predetermined torque (step S6: Yes), the terminal 50 changes the LED of the status display lamp 15 corresponding to the fastening #m from blinking to lighting (step S7). The terminal 50 acquires the torque value when the screw is finished tightened from the torque driver 30, and works by associating the acquired torque value with the fastening #m of the corresponding first guide 12 and the ID of the operator. A log is generated, and the generated work log is stored in the storage unit (step S8).

端末50は、締結#mがネジ穴の個数と同じであるか否かを判定する(ステップS9)。端末50は、締結#mがネジ穴の個数と同じでない、つまり締結#mがネジ穴の個数未満であると判定した場合(ステップS9:No)、mをインクリメントして(ステップS10)、ステップS3に戻る。 The terminal 50 determines whether or not the fastening #m is the same as the number of screw holes (step S9). When the terminal 50 determines that the fastening #m is not the same as the number of screw holes, that is, the fastening #m is less than the number of screw holes (step S9: No), the terminal 50 increments m (step S10) and steps. Return to S3.

端末50は、締結#mがネジ穴の個数と同じであると判定した場合(ステップS9:Yes)、締結回数nが予め定めた所定回数と同じであるか否かを判定する(ステップS11)。端末50は、締結回数nが所定回数と同じでない、つまり締結回数nが所定回数未満であると判定した場合(ステップS11:No)、m=1に初期化し、nをインクリメントして(ステップS12)、ステップS3に戻る。 When the terminal 50 determines that the number of fastening #m is the same as the number of screw holes (step S9: Yes), the terminal 50 determines whether or not the number of fastenings n is the same as a predetermined number of fastenings (step S11). .. When the terminal 50 determines that the number of fastenings n is not the same as the predetermined number of times, that is, the number of fastenings n is less than the predetermined number of times (step S11: No), the terminal 50 initializes to m = 1 and increments n (step S12). ), Return to step S3.

端末50は、締結回数nが所定回数と同じであると判定した場合(ステップS11:Yes)、上部電極60の取り付けが完了したとして締結管理処理を終了する。その後、作業者によってカバー80が上部電極60にセットされ、カバー80を覆うようにガイド治具10がセットされる。また、転換スイッチ16が外周側である第2のガイド13側に設定される。端末50は、第2のガイド13側についても第1のガイド12側と同様に締結管理処理を実行する。これにより、上部電極60やカバー80といった部材の締結時における作業ミスを抑制することができる。 When the terminal 50 determines that the number of times of fastening n is the same as the predetermined number of times (step S11: Yes), the terminal 50 terminates the fastening management process assuming that the attachment of the upper electrode 60 is completed. After that, the cover 80 is set on the upper electrode 60 by the operator, and the guide jig 10 is set so as to cover the cover 80. Further, the conversion switch 16 is set on the second guide 13 side, which is the outer peripheral side. The terminal 50 also executes the fastening management process on the second guide 13 side in the same manner as on the first guide 12 side. This makes it possible to suppress work mistakes when fastening members such as the upper electrode 60 and the cover 80.

[状態表示ランプ15の点灯状態の遷移]
続いて、図8を用いて状態表示ランプ15のLEDの点灯状態の遷移について説明する。図8は、LEDの点灯状態の遷移の一例を示す図である。図8に示す状態101は、ネジがネジ穴に挿入されていない状態であり、全てのLEDが消灯している状態である。状態102は、LEDが1つ点滅している状態であり、現在の締結部分の位置であることを示している。
[Transition of lighting state of status display lamp 15]
Subsequently, the transition of the lighting state of the LED of the state display lamp 15 will be described with reference to FIG. FIG. 8 is a diagram showing an example of the transition of the lighting state of the LED. The state 101 shown in FIG. 8 is a state in which the screw is not inserted into the screw hole, and all the LEDs are turned off. The state 102 is a state in which one LED is blinking, indicating that it is the position of the current fastening portion.

状態103は、LEDが1つ点灯している状態であり、ネジが所定のトルクで締結されたことを示している。その後、残りの締結部分の位置について同様にネジが締結されると、全ての状態表示ランプ15のLEDが、それぞれ1つ点灯した状態となる。つまり、1回目の締結作業が完了した状態となる。 The state 103 is a state in which one LED is lit, and indicates that the screws are fastened with a predetermined torque. After that, when the screws are similarly fastened at the positions of the remaining fastening portions, one LED of each of the status indicator lamps 15 is turned on. That is, the first fastening work is completed.

次に、状態104に示すように、2回目の締結作業の1箇所目の締結部分の位置について、2つ目のLEDが点滅している状態となり、現在の締結部分の位置であることを示す。このとき、1回目の締結作業に対応するLEDは点灯したままである。以下、1回目の締結作業と同様に、順次増し締めを行うネジの位置(締結部分の位置)が示されていく。その後、予め設定された締結回数まで順番にLEDが点滅および点灯していくことで、ネジの締結順序と増し締めの回数を可視化することができる。なお、状態表示ランプ15のLEDは5つとしたが、1つ以上であれば個数は限定されない。また、例えば、LEDの色を、1回目を赤、2回目をオレンジ、3回目を緑といったように変更することで回数を表してもよい。 Next, as shown in the state 104, regarding the position of the first fastening portion of the second fastening operation, the second LED is in a blinking state, indicating that the position is the current fastening portion. .. At this time, the LED corresponding to the first fastening operation remains lit. Hereinafter, as in the first fastening operation, the positions of the screws for sequentially retightening (positions of the fastening portions) are shown. After that, the LEDs blink and light in order up to the preset number of fastenings, so that the screw fastening order and the number of retightenings can be visualized. The number of LEDs of the status display lamp 15 is five, but the number is not limited as long as it is one or more. Further, for example, the number of times may be expressed by changing the color of the LED such that the first time is red, the second time is orange, and the third time is green.

[変形例1]
上記した実施形態では、ネジの締結順序とトルクを管理したが、ネジ穴に挿入されたネジが、当該ネジ穴に対して適切なネジであるか否かをさらに判定してもよく、この場合について変形例1として説明する。
[Modification 1]
In the above-described embodiment, the screw fastening order and torque are controlled, but it may be further determined whether or not the screw inserted in the screw hole is an appropriate screw for the screw hole. Will be described as a modification 1.

図9は、適切でないネジが挿入される場合の一例を示す図である。図9に示すように、例えば、カバー80を取り付ける際に、本来の規格のネジ90と規格の異なるネジ91を作業者が間違って用いる可能性がある。同様に、上部電極60を取り付ける際にも本来の規格のネジと規格の異なるネジを作業者が間違って用いる可能性がある。図9に示すように、本来の規格のネジ90よりも長いネジ91を間違って用いた場合、所定のトルクでネジ91が締められたと判定しても、実際にはネジ91の頭がカバー80の表面から飛び出した状態で締結が完了しておらず、カバー80が脱落してしまう可能性がある。 FIG. 9 is a diagram showing an example of a case where an inappropriate screw is inserted. As shown in FIG. 9, for example, when attaching the cover 80, there is a possibility that the operator mistakenly uses a screw 91 having a different standard from the screw 90 of the original standard. Similarly, when attaching the upper electrode 60, there is a possibility that the operator mistakenly uses a screw having a different standard from the screw of the original standard. As shown in FIG. 9, when a screw 91 longer than the original standard screw 90 is mistakenly used, even if it is determined that the screw 91 is tightened with a predetermined torque, the head of the screw 91 is actually the cover 80. There is a possibility that the cover 80 may fall off because the fastening is not completed in a state of protruding from the surface of the cover 80.

これに対し、変形例1では、ネジ90,91にタグを付与し、ガイド治具10またはトルクドライバ30でタグを読み取ることで、正しいネジが用いられているか否かを判定する。ネジ90,91に付与するタグは、例えば、RFID(Radio Frequency IDentifier)等の電子タグを用いることができる。ガイド治具10またはトルクドライバ30には、電子タグを読み取るための図示しない電子タグリーダがさらに設けられる。 On the other hand, in the modification 1, a tag is attached to the screws 90 and 91, and the tag is read by the guide jig 10 or the torque driver 30 to determine whether or not the correct screw is used. As the tag attached to the screws 90 and 91, for example, an electronic tag such as RFID (Radio Frequency IDentifier) can be used. The guide jig 10 or the torque driver 30 is further provided with an electronic tag reader (not shown) for reading the electronic tag.

ガイド治具10またはトルクドライバ30は、締結部分の第1のガイド12または第2のガイド13に挿入されたネジの電子タグを、電子タグリーダで読み取る。ガイド治具10またはトルクドライバ30は、電子タグリーダで読み取ったネジの電子タグの情報を端末50に送信する。端末50は、受信した電子タグの情報に基づいて、挿入されたネジが適切なネジであるか否かを判定する。端末50は、挿入されたネジが適切なネジではない場合、警告情報を出力する。警告情報の出力は、締結順序に応じた締結部分の位置の判定の場合と同様に、例えば、端末50から警告音等の音声を出力したり、視覚情報としてガイド治具10の状態表示ランプ15の全部のLEDを点滅させたりする。図9の例では、貫通穴81およびネジ穴62に対応する第2のガイド13に挿入されるネジが適切なネジ90である場合は警告情報を出力せず、ネジ90と異なる規格のネジ、例えばネジ90よりも長いネジ91である場合は警告情報を出力する。なお、ネジの規格としては、長さの他にも、直径、ピッチ、頭部形状、歯の形状等が挙げられる。 The guide jig 10 or the torque driver 30 reads the electronic tag of the screw inserted in the first guide 12 or the second guide 13 of the fastening portion with the electronic tag reader. The guide jig 10 or the torque driver 30 transmits the information of the electronic tag of the screw read by the electronic tag reader to the terminal 50. The terminal 50 determines whether or not the inserted screw is an appropriate screw based on the information of the received electronic tag. The terminal 50 outputs warning information if the inserted screw is not an appropriate screw. The warning information is output, for example, a voice such as a warning sound is output from the terminal 50, or a status display lamp 15 of the guide jig 10 is output as visual information, as in the case of determining the position of the fastening portion according to the fastening order. It blinks all the LEDs of. In the example of FIG. 9, if the screw inserted into the second guide 13 corresponding to the through hole 81 and the screw hole 62 is an appropriate screw 90, no warning information is output, and a screw having a standard different from that of the screw 90. For example, if the screw 91 is longer than the screw 90, warning information is output. In addition to the length, the screw standard includes diameter, pitch, head shape, tooth shape, and the like.

また、ガイド治具10またはトルクドライバ30にカメラを設置し、画像認識によりネジ穴に挿入されるネジ90,91が適切なネジか否かを判定してもよい。この場合、ガイド治具10またはトルクドライバ30は、締結部分の第1のガイド12または第2のガイド13に挿入されたネジを撮像し、撮像した画像を端末50に送信する。なお、ガイド治具10またはトルクドライバ30は、締結部分の第1のガイド12または第2のガイド13に挿入される前のネジを撮像し、撮像した画像を端末50に送信するようにしてもよい。端末50は、受信した画像に基づいて画像認識によりネジを検出し、検出したネジが適切なネジであるか否かを判定する。端末50は、挿入されたネジが適切なネジではない場合、警告情報を出力する。なお、ガイド治具10およびトルクドライバ30の両方に電子タグリーダやカメラを設けるようにしてもよい。 Further, a camera may be installed on the guide jig 10 or the torque driver 30, and it may be determined by image recognition whether or not the screws 90 and 91 inserted into the screw holes are appropriate screws. In this case, the guide jig 10 or the torque driver 30 captures an image of the screw inserted in the first guide 12 or the second guide 13 of the fastening portion, and transmits the captured image to the terminal 50. The guide jig 10 or the torque driver 30 may capture an image of the screw before being inserted into the first guide 12 or the second guide 13 of the fastening portion, and transmit the captured image to the terminal 50. good. The terminal 50 detects a screw by image recognition based on the received image, and determines whether or not the detected screw is an appropriate screw. The terminal 50 outputs warning information if the inserted screw is not an appropriate screw. An electronic tag reader or a camera may be provided on both the guide jig 10 and the torque driver 30.

次に、変形例1に係る締結管理方法について説明する。図10は、変形例1における締結管理処理の一例を示すフローチャートである。以下の説明では、締結管理処理のステップS1〜S12の処理は、実施形態と同様であるので、その説明を省略する。 Next, the fastening management method according to the first modification will be described. FIG. 10 is a flowchart showing an example of the fastening management process in the modified example 1. In the following description, the processing of steps S1 to S12 of the fastening management processing is the same as that of the embodiment, and thus the description thereof will be omitted.

端末50は、ステップS3の処理に続いて、受信した電子タグの情報、例えばネジの規格に関する情報に基づいて、挿入されたネジが適切なネジであるか否かを判定する(ステップS21)。端末50は、挿入されたネジが適切なネジでないと判定した場合(ステップS21:No)、警告音の出力や状態表示ランプ15のLEDを全部点滅させる等の警告を所定時間実行する(ステップS22)。端末50は、警告の後、状態表示ランプ15の状態を指示中の状態に戻し、ステップS21の処理に戻る。 Following the process in step S3, the terminal 50 determines whether or not the inserted screw is an appropriate screw based on the received electronic tag information, for example, information on the screw standard (step S21). When the terminal 50 determines that the inserted screw is not an appropriate screw (step S21: No), the terminal 50 executes a warning such as outputting a warning sound and blinking all the LEDs of the status display lamp 15 for a predetermined time (step S22). ). After the warning, the terminal 50 returns the state of the status display lamp 15 to the state being instructed, and returns to the process of step S21.

端末50は、挿入されたネジが適切なネジであると判定した場合(ステップS21:Yes)、ステップS4の処理へと進む。なお、端末50は、ステップS21の判定において、ネジを撮像した画像に基づいて画像認識によりネジを検出し、検出したネジが適切なネジであるか否かを判定するようにしてもよい。このように、変形例1では、締結部分の第1のガイド12または第2のガイド13に挿入されたネジが適切でない場合に警告を行うので、ネジの取り違えといった作業ミスを抑制することができる。 When the terminal 50 determines that the inserted screw is an appropriate screw (step S21: Yes), the terminal 50 proceeds to the process of step S4. In the determination of step S21, the terminal 50 may detect the screw by image recognition based on the image obtained by capturing the screw, and may determine whether or not the detected screw is an appropriate screw. As described above, in the modified example 1, a warning is given when the screw inserted into the first guide 12 or the second guide 13 of the fastening portion is not appropriate, so that it is possible to suppress a work error such as a screw mistake. ..

[変形例2]
上記した実施形態では、指示部としてガイド治具10を用いたが、これに限定されない。例えば、上部電極60の下面から所定距離離れた位置、つまり部材の近傍に、レーザポインタによって締結部分の位置を指し示す指示部を用いてもよい。この場合、例えば、レーザポインタを雲台に設置して、レーザポインタで指し示す締結部分の位置を移動させることで、次の締結部分の位置を示すといった動作となる。
[Modification 2]
In the above-described embodiment, the guide jig 10 is used as the indicator, but the present invention is not limited to this. For example, an indicator portion indicating the position of the fastening portion by a laser pointer may be used at a position separated from the lower surface of the upper electrode 60 by a predetermined distance, that is, in the vicinity of the member. In this case, for example, by installing a laser pointer on a pan head and moving the position of the fastening portion pointed to by the laser pointer, the position of the next fastening portion is indicated.

また、指示部は、締結工具を操作する作業者が装着するスマートグラスといった透過型の表示部を有するウェアラブル端末を用いて、現実の部材に締結部分の位置を指し示すAR(Augmented Reality)オブジェクトを重畳表示するようにしてもよい。 Further, the instruction unit superimposes an AR (Augmented Reality) object indicating the position of the fastening portion on an actual member by using a wearable terminal having a transparent display unit such as a smart glass worn by an operator who operates the fastening tool. It may be displayed.

また、上記した実施形態では、締結工具(トルクドライバ30)の位置を第1のガイド12または第2のガイド13に設けた透過型または反射型フォトセンサで検出したが、これに限定されない。例えば、締結工具に超音波または電波を発信する発信機を設け、部材の近傍に設けた受信アンテナで受信した超音波または電波の伝搬時間に基づいて、三角測距によって締結工具の位置を検出するようにしてもよい。この場合、例えば、マップマッチング等により締結工具の位置と締結部分の位置との関係を検出することができる。 Further, in the above-described embodiment, the position of the fastening tool (torque driver 30) is detected by the transmissive type or reflective photosensor provided on the first guide 12 or the second guide 13, but the present invention is not limited to this. For example, a transmitter that emits ultrasonic waves or radio waves is provided in the fastening tool, and the position of the fastening tool is detected by triangular ranging based on the propagation time of the ultrasonic waves or radio waves received by the receiving antenna provided near the member. You may do so. In this case, for example, the relationship between the position of the fastening tool and the position of the fastening portion can be detected by map matching or the like.

また、上記した実施形態では、制御部として端末50を用いたが、これに限定されない。例えば、ガイド治具10等の指示部や、締結工具に内蔵したコンピュータを制御部として用いてもよい。 Further, in the above-described embodiment, the terminal 50 is used as the control unit, but the present invention is not limited to this. For example, an instruction unit such as the guide jig 10 or a computer built in the fastening tool may be used as the control unit.

また、上記した実施形態では、締結具としてネジを用いたが、これに限定されない。例えば、ボルト、C型クランプ、および、カムロッククランプ等の各種の締結具を用いてもよい。なお、カムロッククランプは、端部の直径が大きいスタッドをソケットに差し込み、ソケットを回転させることで内部の偏心した空間に沿ってスタッドの端部が締め付ける方向に移動することで締結を行うものである。 Further, in the above-described embodiment, the screw is used as the fastener, but the present invention is not limited to this. For example, various fasteners such as bolts, C-clamps, and cam lock clamps may be used. The cam lock clamp is fastened by inserting a stud with a large diameter at the end into the socket and rotating the socket to move the end of the stud in the tightening direction along the internal eccentric space. ..

また、上記した実施形態では、カバー80を上部電極60の下面にネジで締結したが、これに限定されない。例えば、上部電極60の側面にネジで締結するようにしてもよい。さらに、締結管理を行う締結部分は上部電極60だけでなく、プラズマ処理装置の他の部材における締結部分であってもよい。 Further, in the above-described embodiment, the cover 80 is fastened to the lower surface of the upper electrode 60 with screws, but the present invention is not limited to this. For example, it may be fastened to the side surface of the upper electrode 60 with a screw. Further, the fastening portion for performing fastening management may be not only the upper electrode 60 but also the fastening portion in other members of the plasma processing apparatus.

以上、本実施形態によれば、締結管理装置1は、指示部(ガイド治具10)と、締結工具(トルクドライバ30)と、検出部(第1のガイド12,第2のガイド13)と、制御部(端末50)とを有する。指示部は、複数の締結部分を有する部材(上部電極60)に対し、締結順序に応じた締結部分(貫通穴61)の位置を示す。締結工具は、締結部分において締結具(ネジ)を締結する。検出部は、締結工具の位置を検出する。制御部は、検出部で検出された締結工具の位置に基づいて、次に締結する締結部分の位置を指示部に指示する。その結果、部材の締結時における作業ミスを抑制することができる。つまり、ネジの締め忘れを防止することができる。また、ネジを均一に締めることができる。 As described above, according to the present embodiment, the fastening management device 1 includes an indicator unit (guide jig 10), a fastening tool (torque driver 30), and a detection unit (first guide 12, second guide 13). , With a control unit (terminal 50). The indicator indicates the position of the fastening portion (through hole 61) according to the fastening order with respect to the member (upper electrode 60) having the plurality of fastening portions. The fastening tool fastens the fastener (screw) at the fastening portion. The detection unit detects the position of the fastening tool. The control unit instructs the instruction unit of the position of the fastening portion to be fastened next based on the position of the fastening tool detected by the detection unit. As a result, it is possible to suppress work mistakes when fastening the members. That is, it is possible to prevent forgetting to tighten the screw. In addition, the screws can be tightened evenly.

また、本実施形態によれば、指示部は、部材に接続可能な治具であり、締結部分の位置をランプ(状態表示ランプ15)で示す。その結果、作業者が次にネジを締める箇所を容易に把握することができる。 Further, according to the present embodiment, the indicator portion is a jig that can be connected to the member, and the position of the fastening portion is indicated by a lamp (status display lamp 15). As a result, the operator can easily grasp the place where the screw is to be tightened next.

また、本実施形態によれば、検出部は、治具の締結部分に対応する部分(第1のガイド12,第2のガイド13)に設けられたセンサである。その結果、ネジを締める作業を行っていることと、ネジを締めている締結部分とを検出することができる。 Further, according to the present embodiment, the detection unit is a sensor provided in a portion (first guide 12, second guide 13) corresponding to the fastening portion of the jig. As a result, it is possible to detect that the screw is being tightened and the fastening portion where the screw is being tightened.

また、本実施形態によれば、指示部は、部材の近傍に設置され、締結部分の位置をポインタで示す。その結果、作業者が次にネジを締める箇所を容易に把握することができる。 Further, according to the present embodiment, the indicator portion is installed in the vicinity of the member, and the position of the fastening portion is indicated by a pointer. As a result, the operator can easily grasp the place where the screw is to be tightened next.

また、本実施形態によれば、指示部は、締結工具を操作する作業者が装着する表示部であり、締結部分の位置をAR(Augmented Reality)オブジェクトで示す。その結果、治具やポインタの設置が難しい場所であっても、作業者が次にネジを締める箇所を容易に把握することができる。 Further, according to the present embodiment, the instruction unit is a display unit worn by an operator who operates the fastening tool, and the position of the fastening portion is indicated by an AR (Augmented Reality) object. As a result, even in a place where it is difficult to install a jig or a pointer, the operator can easily grasp the place where the screw is to be tightened next.

また、本実施形態によれば、検出部は、締結工具に設けられた発信機の出力に基づいて、締結工具の位置を検出する。その結果、ネジを締めている締結部分を検出することができる。 Further, according to the present embodiment, the detection unit detects the position of the fastening tool based on the output of the transmitter provided on the fastening tool. As a result, it is possible to detect the fastening portion where the screw is tightened.

また、本実施形態によれば、制御部は、締結工具の位置が、締結順序に応じた締結部分の位置ではない場合、警告情報を出力する。その結果、部材の締結時における作業ミスを抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, the control unit outputs warning information when the position of the fastening tool is not the position of the fastening portion according to the fastening order. As a result, it is possible to suppress work mistakes when fastening the members.

また、本実施形態によれば、指示部および締結工具のうち1つまたは複数は、さらに電子タグリーダを備え、制御部は、締結具に付された電子タグが電子タグリーダで読み込まれて取得された情報に基づいて、締結具が締結部分に対して適切な締結具でない場合、警告情報を出力する。その結果、締結具の取り違えといった作業ミスを抑制することができる。 Further, according to the present embodiment, one or more of the indicator and the fastening tool are further provided with an electronic tag reader, and the control unit is acquired by reading the electronic tag attached to the fastener with the electronic tag reader. Based on the information, if the fastener is not suitable for the fastener, warning information is output. As a result, it is possible to suppress work mistakes such as mistaken fasteners.

また、本実施形態によれば、警告情報は、音声および視覚情報のうち、1つまたは複数である。その結果、作業者に作業ミスを報知することができる。 Further, according to the present embodiment, the warning information is one or more of the audio and visual information. As a result, the worker can be notified of the work error.

また、本実施形態によれば、締結工具は、トルクドライバであり、締結具を締結したトルク値を制御部に出力する。その結果、トルク値を管理することができる。 Further, according to the present embodiment, the fastening tool is a torque driver, and the torque value at which the fastener is fastened is output to the control unit. As a result, the torque value can be managed.

また、本実施形態によれば、制御部は、トルク値について、対応する締結部分、および、締結工具を操作する作業者のうち、1つまたは複数と対応付けて記憶部に記憶する。その結果、作業ログを記録することで、作業を可視化することができる。また、作業履歴を管理することができる。 Further, according to the present embodiment, the control unit stores the torque value in the storage unit in association with one or more of the corresponding fastening portion and the operator who operates the fastening tool. As a result, the work can be visualized by recording the work log. In addition, work history can be managed.

今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。上記の実施形態は、添付の請求の範囲およびその主旨を逸脱することなく、様々な形体で省略、置換、変更されてもよい。 The embodiments disclosed this time should be considered to be exemplary in all respects and not restrictive. The above embodiments may be omitted, replaced or modified in various forms without departing from the scope of the appended claims and their gist.

1 締結管理装置
10 ガイド治具
12 第1のガイド
13 第2のガイド
15 状態表示ランプ
30 トルクドライバ
50 端末
60 上部電極(部材)
61,81 貫通穴
62,71 ネジ穴
70 電極支持体
80 カバー
1 Fastening management device 10 Guide jig 12 1st guide 13 2nd guide 15 Status indicator lamp 30 Torque driver 50 Terminal 60 Upper electrode (member)
61,81 Through hole 62,71 Screw hole 70 Electrode support 80 Cover

Claims (12)

複数の締結部分を有する部材に対し、締結順序に応じた前記締結部分の位置を示す指示部と、
前記締結部分において締結具を締結する締結工具と、
前記締結工具の位置を検出する検出部と、
前記検出部で検出された前記締結工具の位置に基づいて、次に締結する前記締結部分の位置を前記指示部に指示する制御部と、
を有する、締結管理装置。
For a member having a plurality of fastening portions, an indicator indicating the position of the fastening portion according to the fastening order, and
A fastening tool for fastening the fastener at the fastening portion,
A detection unit that detects the position of the fastening tool, and
A control unit that indicates to the instruction unit the position of the fastening portion to be fastened next based on the position of the fastening tool detected by the detection unit.
Has a fastening management device.
前記指示部は、前記部材に接続可能な治具であり、前記締結部分の位置をランプで示す、
請求項1に記載の締結管理装置。
The indicator is a jig that can be connected to the member, and the position of the fastening portion is indicated by a lamp.
The fastening management device according to claim 1.
前記検出部は、前記治具の前記締結部分に対応する部分に設けられたセンサである、
請求項2に記載の締結管理装置。
The detection unit is a sensor provided in a portion corresponding to the fastening portion of the jig.
The fastening management device according to claim 2.
前記指示部は、前記部材の近傍に設置され、前記締結部分の位置をポインタで示す、
請求項1に記載の締結管理装置。
The indicator is installed in the vicinity of the member, and the position of the fastening portion is indicated by a pointer.
The fastening management device according to claim 1.
前記指示部は、前記締結工具を操作する作業者が装着する表示部であり、前記締結部分の位置をAR(Augmented Reality)オブジェクトで示す、
請求項1に記載の締結管理装置。
The instruction unit is a display unit worn by an operator who operates the fastening tool, and the position of the fastening portion is indicated by an AR (Augmented Reality) object.
The fastening management device according to claim 1.
前記検出部は、前記締結工具に設けられた発信機の出力に基づいて、前記締結工具の位置を検出する、
請求項4または5に記載の締結管理装置。
The detection unit detects the position of the fastening tool based on the output of the transmitter provided on the fastening tool.
The fastening management device according to claim 4 or 5.
前記制御部は、前記締結工具の位置が、前記締結順序に応じた前記締結部分の位置ではない場合、警告情報を出力する、
請求項1〜6のいずれか1つに記載の締結管理装置。
The control unit outputs warning information when the position of the fastening tool is not the position of the fastening portion according to the fastening order.
The fastening management device according to any one of claims 1 to 6.
前記指示部および前記締結工具のうち1つまたは複数は、さらに電子タグリーダを備え、
前記制御部は、前記締結具に付された電子タグが前記電子タグリーダで読み込まれて取得された情報に基づいて、前記締結具が前記締結部分に対して適切な締結具でない場合、警告情報を出力する、
請求項1〜7のいずれか1つに記載の締結管理装置。
The indicator and one or more of the fastening tools are further equipped with an electronic tag reader.
Based on the information obtained by reading the electronic tag attached to the fastener with the electronic tag reader, the control unit provides warning information when the fastener is not an appropriate fastener for the fastener. Output,
The fastening management device according to any one of claims 1 to 7.
前記警告情報は、音声および視覚情報のうち、1つまたは複数である、
請求項7または8に記載の締結管理装置。
The warning information is one or more of audio and visual information.
The fastening management device according to claim 7 or 8.
前記締結工具は、トルクドライバであり、前記締結具を締結したトルク値を前記制御部に出力する、
請求項1〜9のいずれか1つに記載の締結管理装置。
The fastening tool is a torque driver, and outputs a torque value for fastening the fastener to the control unit.
The fastening management device according to any one of claims 1 to 9.
前記制御部は、前記トルク値について、対応する前記締結部分、および、前記締結工具を操作する作業者のうち、1つまたは複数と対応付けて記憶部に記憶する、
請求項10に記載の締結管理装置。
The control unit stores the torque value in the storage unit in association with one or more of the corresponding fastening portion and the operator who operates the fastening tool.
The fastening management device according to claim 10.
複数の締結部分を有する部材に対し、締結順序に応じた前記締結部分の位置を示す工程と、
前記締結部分において締結具を締結する締結工具の位置を検出する工程と、
検出された前記締結工具の位置に基づいて、次に締結する前記締結部分の位置を示す工程と、
を有する、締結管理方法。
A step of indicating the position of the fastening portion according to the fastening order for a member having a plurality of fastening portions, and
The process of detecting the position of the fastening tool for fastening the fastener at the fastening portion, and
A step of indicating the position of the fastening portion to be fastened next based on the detected position of the fastening tool, and
Has a fastening management method.
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