JP2020163543A - Wire saw - Google Patents

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Abstract

To provide a wire saw which has highly accurate workpiece feeding accuracy.SOLUTION: A wire saw 1 includes a workpiece feeding mechanism 4 which moves a workpiece W between a machining position P1 for cutting the workpiece W by a wire 33 and a workpiece replacement position P2 for replacing the workpiece W. The workpiece feeding mechanism 4 has a workpiece tool 23 for mounting the workpiece W, a link 46 provided in the workpiece tool 23, a first arm 44 rotatably connected to one end side of the link 46, a second arm 45 rotatably connected to the other end of the link 46, and driving means for rotating at least one of the first arm 44 and the second arm 45. The first arm 44, the second arm 45, and the link 46 constitutes a link mechanism. The link 46 and the workpiece tool 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、ワーク送り機構を備えたワイヤソーに関する。 The present invention relates to a wire saw provided with a work feed mechanism.

一般に、半導体材料や磁性材料等のワークをワイヤで切断するワイヤソーは、ワークの加工が行われる加工位置と、ワークの着脱が行われるワーク交換位置と、にワークを送るワーク送り機構（ワーク支持装置）を備えている（例えば、特許文献１参照）。 In general, a wire saw that cuts a work such as a semiconductor material or a magnetic material with a wire is a work feed mechanism (work support device) that sends the work to a processing position where the work is processed and a work exchange position where the work is attached / detached. ) (See, for example, Patent Document 1).

特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、機台に設けられた回転駆動手段と、回転駆動手段によって回動するスイングアームと、スイングアームの先端に設置されてワークを保持するワークホルダと、を備えている。 In the work support device of the wire saw described in Patent Document 1, a rotary drive means provided on the machine base, a swing arm rotated by the rotary drive means, and a work holder installed at the tip of the swing arm to hold the work. , Is equipped.

特開平７−２３７１０９号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-237109

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、スイングアームによってワークを移動させると、ワークの姿勢が、取り付け位置・取り外し位置のときの姿勢と、切断位置のときの姿勢と、で大きく（１８０°）変化する。このため、ワーク（ウエハ）は、切断後に取り付け位置・取り外し位置へ移動中に、割れることがあった。 However, in the work support device of the wire saw described in Patent Document 1, when the work is moved by the swing arm, the posture of the work becomes large depending on the posture at the attachment / detachment position and the posture at the cutting position. (180 °) changes. Therefore, the work (wafer) may be cracked while moving to the attachment / detachment position after cutting.

そこで、本発明は、前記した問題点を解決して、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することを課題とする。 Therefore, the present invention solves the above-mentioned problems, and when the work is moved to the machining position and the work exchange position, the wire saw can be moved so as not to break without changing the posture of the work. The challenge is to provide.

前記課題を解決するため、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、前記ワーク治具に回動自在に設けられリンクと、前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、前記第１アーム及び前記第２アームの少なくとも一方を回動させる駆動手段と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention is a wire saw provided with a work feed mechanism for moving a work between a machining position where the work is cut by a wire and a work exchange position where the work is exchanged. The work feed mechanism includes a work jig to which the work is attached, a link rotatably provided on the work jig, a first arm rotatably connected to one end side of the link, and the link. The first arm and the second arm are provided with a second arm rotatably connected to the other end side of the above and a driving means for rotating at least one of the first arm and the second arm. The link constitutes a link mechanism, and the link and the work jig are characterized in that the vertical state is maintained even if the link mechanism is displaced.

また、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。 Further, the present invention is a wire saw provided with a work feed mechanism for moving a work between a machining position where the work is cut by a wire and a work exchange position where the work is exchanged, and the work feed mechanism. Is a drive gear that is rotationally driven by a motor, a first driven gear and a second driven gear that are driven by the rotation of the drive gear, a first arm that is rotated by the rotation of the first driven gear, and the above. A second arm that is rotated by the rotation of the second driven gear, a link that rotatably connects the tip of the first arm and the tip of the second arm, and a work provided on the link. The first arm, the second arm, and the link form a link mechanism, and the link and the work jig are vertical even if the link mechanism is displaced. It is characterized in that the state is maintained.

本発明は、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can provide a wire saw capable of moving a work between a machining position and a work replacement position so as not to break without changing the posture of the work.

本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す図であり、（ａ）はワークをワーク交換位置に配置したときの状態を示す要部概略斜視図、（ｂ）は、ワークをワーク加工位置に配置するときの状態を示す要部概略斜視図である。It is a figure which shows the wire saw which concerns on embodiment of this invention. FIG. It is a schematic perspective view of the main part which shows the state at the time. ワーク送り機構を示す要部概略拡大側面図である。It is the schematic enlarged side view of the main part which shows the work feed mechanism. ワーク送り機構を示す要部概略拡大正面図である。It is the schematic enlarged front view of the main part which shows the work feed mechanism.

本発明の実施形態に係るワイヤソーを図１〜図３を参照して説明する。
本実施形態において、図１に示す仮置台１１がある方向を前（Ｆ）、仮置台１１の後方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図面左方向を左（Ｌ）、図面右方向を右（Ｒ）として適宜説明する。 The wire saw according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
In the present embodiment, the direction in which the temporary stand 11 shown in FIG. 1 is located is the front (F), the rear direction of the temporary stand 11 is the rear (B), the vertically upper side is the upper (U), and the vertically lower side is the lower (D). , The left direction of the drawing is left (L), and the right direction of the drawing is right (R).

まず、ワイヤソー１を説明する前に、ワイヤソー１に使用されるワークＷについて説明する。
また、ワイヤソー１は、図３に示すように、略左右対称に形成されているため、適宜その一方を説明して他方の説明を省略する。 First, before explaining the wire saw 1, the work W used for the wire saw 1 will be described.
Further, since the wire saw 1 is formed substantially symmetrically as shown in FIG. 3, one of them will be described as appropriate and the other will be omitted.

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置３（図２参照）のワイヤ３３に押し当てることで切削して切断される。 <Work>
As shown in FIG. 1, the work W is made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, and a ceramic. The work W is cut by pressing against the wire 33 of the processing apparatus 3 (see FIG. 2) arranged on the wire saw 1.

＜ワイヤソー＞
図２に示すワイヤソー１は、加工装置３のワイヤ３３によってワークＷを切断する切断装置である。図１に示すように、ワイヤソー１は、仮置台１１と、基台１２と、支持部１３と、クランプ装置２と、加工装置３と、ワーク送り機構４と、を主に備えて構成されている。 <Wire saw>
The wire saw 1 shown in FIG. 2 is a cutting device that cuts the work W by the wire 33 of the processing device 3. As shown in FIG. 1, the wire saw 1 is mainly composed of a temporary stand 11, a base 12, a support portion 13, a clamp device 2, a processing device 3, and a work feed mechanism 4. There is.

＜仮置台＞
仮置台１１は、未加工のワークＷを載置面に直接触れないように仮置きしたり、加工完了後のワークＷを載置面に直接触れないように載置したりするための載置台である。仮置台１１は、ワイヤソー１の加工室外の前側に配置されている。 <Temporary stand>
The temporary mounting table 11 is a mounting table for temporarily placing the unprocessed work W so as not to directly touch the mounting surface, or mounting the finished work W so as not to directly touch the mounting surface. Is. The temporary stand 11 is arranged on the front side of the wire saw 1 outside the processing room.

＜クランプ装置＞
図３に示すように、クランプ装置２は、加工装置３でワークＷを加工する際に、加工室に搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、加工室外のワーク交換位置Ｐ２に搬送された未加工のワークＷをクランプしてから、そのワークＷを加工室の加工位置Ｐ１に搬入して加工装置３のワイヤ３３に押し当てて加工し、加工完了後のワークＷをワーク交換位置Ｐ２でアンクランプさせるまで、ワークＷを保持する。 <Clamp device>
As shown in FIG. 3, the clamp device 2 is a holding mechanism for clamping the unprocessed work W carried into the processing chamber when the work W is processed by the processing device 3. That is, the clamp device 2 clamps the unprocessed work W conveyed to the work exchange position P2 outside the processing chamber, and then carries the work W to the processing position P1 in the processing chamber to the wire 33 of the processing device 3. The work W is pressed and machined, and the work W is held until the work W after the machining is completed is unclamped at the work replacement position P2.

クランプ装置２は、複数のクランプ部材２５と、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２５を保持したワーク保持部材２６と、備えている。 The clamp device 2 includes a plurality of clamp members 25 and a work holding member 26 that holds a plurality of (for example, four) clamp members 25.

ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能にボルト締めされている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材（図示省略）が設けられている。 A metal work jig 23 is detachably bolted to the upper surface of the work W via a glass plate 21 and a metal plate 22. A plurality of members to be clamped (not shown) are provided on the upper surface of the work jig 23.

ワーク治具２３は、ワークＷの上面に取り付けられて、ワークＷを上側から保持するための部材である。ワーク治具２３は、図２に示すように、ワーク送り機構４が前後方向に回動することによって、加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２との間を往復移動可能に配置されている。 The work jig 23 is a member that is attached to the upper surface of the work W and holds the work W from above. As shown in FIG. 2, the work jig 23 is arranged so as to be reciprocally movable between the machining position P1 and the work exchange position P2 by rotating the work feed mechanism 4 in the front-rear direction.

図３に示すように、ワーク保持部材２６は、加工用ローラ３１，３２（図２参照）間に掛装されたワイヤ３３の上方において、クランプ装置２の下端にボルト締めされて、ワーク送り機構４によって移動（昇降）可能に配置されている。ワーク保持部材２６の下面には、被クランプ部材（図示省略）に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２５が取り付けられている。 As shown in FIG. 3, the work holding member 26 is bolted to the lower end of the clamp device 2 above the wire 33 hung between the processing rollers 31 and 32 (see FIG. 2), and the work feeding mechanism. It is arranged so that it can be moved (elevated) by 4. A plurality of clamp members 25 that can be engaged with and separated from the clamped member (not shown) are attached to the lower surface of the work holding member 26.

＜ワーク送り機構＞
図２に示すように、ワーク送り機構４は、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、加工済のワークＷと未加工のワークＷとの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２と、の間を移動させるための移送装置である。また、ワーク送り機構４は、ワーク交換位置Ｐ２側に配置されたワークＷを加工位置Ｐ１に搬入する搬入装置と、加工完了後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させる搬出装置と、の機能を果たす。さらに、ワーク送り機構４は、ワークＷを加工する際に、ワークＷを昇降させる昇降装置の機能も果たす。 <Work feed mechanism>
As shown in FIG. 2, the work feed mechanism 4 has a machining position P1 for cutting the work W by a wire 33 and a work exchange position where the machined work W and the unmachined work W are exchanged. It is a transfer device for moving between P2 and P2. Further, the work feed mechanism 4 is a carry-in device for carrying the work W arranged on the work exchange position P2 side to the machining position P1 and a carry-out device for carrying out the work W after the machining is completed from the machining position P1 to the work replacement position P2. And fulfill the function of. Further, the work feed mechanism 4 also functions as an elevating device for raising and lowering the work W when processing the work W.

ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）と、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、ワーク治具２３と、をそれぞれ左右一対に配置して構成されている。 The work feed mechanism 4 includes a motor (not shown), a drive gear 41, a first driven gear 42, a second driven gear 43, a first arm 44, a second arm 45, a link 46, and a work jig. The tool 23 and the tool 23 are arranged in pairs on the left and right sides, respectively.

モータ（図示省略）は、駆動歯車４１を回転駆動させて、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３を介在して第１アーム４４及び第２アーム４５を揺動させるための駆動源である。モータ（図示省略）には、駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１を回転駆動させるロータ歯車（図示省略）が設けられている。モータ（図示省略）は、不図示の制御装置を介して電源に接続されている。 The motor (not shown) is a drive source for rotationally driving the drive gear 41 to swing the first arm 44 and the second arm 45 via the first driven gear 42 and the second driven gear 43. .. The motor (not shown) is provided with a rotor gear (not shown) that meshes with the drive gear 41 to rotate and drive the drive gear 41. The motor (not shown) is connected to the power supply via a control device (not shown).

図２に示すように、駆動歯車４１は、そのモータによって回転駆動される歯車である。駆動歯車４１、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３は、支持部１３に設けられた歯車設置部１４に回転自在に軸支されている。 As shown in FIG. 2, the drive gear 41 is a gear that is rotationally driven by the motor. The drive gear 41, the first driven gear 42, and the second driven gear 43 are rotatably supported by a gear installation portion 14 provided on the support portion 13.

第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１によって同回転される。第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、互いに上下方向に長さＬ１離間して歯車設置部１４に配置されている。図３に示すように、第１従動歯車４２は、第１アーム４４に連結されて一体に回動する。また、第２従動歯車４３は、第２アーム４５に連結されて一体に回動する。このため、リンク機構から成るワーク送り機構４において、歯車設置部１４は、図２に示すように、固定リンクの役目を果たす。 The first driven gear 42 and the second driven gear 43 mesh with the drive gear 41 and are rotated in the same manner by the drive gear 41. The first driven gear 42 and the second driven gear 43 are arranged in the gear installation portion 14 so as to be separated from each other by a length L1 in the vertical direction. As shown in FIG. 3, the first driven gear 42 is connected to the first arm 44 and rotates integrally. Further, the second driven gear 43 is connected to the second arm 45 and rotates integrally. Therefore, in the work feed mechanism 4 including the link mechanism, the gear installation portion 14 serves as a fixed link as shown in FIG.

第１アーム４４は、第１従動歯車４２の軸部４２ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材から成る。第２アーム４５は、第２従動歯車４３の軸部４３ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材である。リンク４６は、第２アーム４５の先端部と、第１アーム４４の先端部と、ワーク保持部材２６とを回動自在に連結したリンク部材である。第１アーム４４の基端部と、第２アーム４５の基端部とは、上下方向に長さＬ１離間している。第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成る。その左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている（図３参照）。 The first arm 44 is composed of a link member rotatably arranged around a shaft portion 42a of the first driven gear 42. The second arm 45 is a link member rotatably arranged around the shaft portion 43a of the second driven gear 43. The link 46 is a link member that rotatably connects the tip of the second arm 45, the tip of the first arm 44, and the work holding member 26. The base end portion of the first arm 44 and the base end portion of the second arm 45 are separated by a length L1 in the vertical direction. The first arm 44 and the second arm 45 are each composed of a pair of left and right members having the same length. The pair of left and right first arms 44 are arranged inside the pair of left and right second arms 45 in the axial direction (see FIG. 3).

第１アーム４４の先端部の連結軸４４ａと、第２アーム４５の先端部の連結軸４５ａと
は、上下方向に長さＬ２離間してリンク４６に回動自在に軸支されている。長さＬ１は、長さＬ２と同じ長さである。第１アーム４４と、第２アーム４５とは、平行に配置され、上方向に回動したときに、側面視して互いに重ねるように配置されている。つまり、ワーク送り機構４において、歯車設置部１４と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６とは、長方形（平行四辺形）の平行クランク機構を形成する。その結果、リンク４６と、リンク４６にクランプ装置２を介在して連結されたワーク治具２３（ワークＷ）とは、ワーク送り機構４が変位しても、常に垂直状態に配置された状態が維持されている。 The connecting shaft 44a at the tip of the first arm 44 and the connecting shaft 45a at the tip of the second arm 45 are rotatably supported by the link 46 with a length L2 separated in the vertical direction. The length L1 is the same length as the length L2. The first arm 44 and the second arm 45 are arranged in parallel, and when rotated upward, they are arranged so as to overlap each other in a side view. That is, in the work feed mechanism 4, the gear installation portion 14, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a rectangular (parallelogram) parallel crank mechanism. As a result, the link 46 and the work jig 23 (work W) connected to the link 46 via the clamp device 2 are always arranged in a vertical state even if the work feed mechanism 4 is displaced. It is maintained.

図３に示すように、ワーク治具２３は、ワークＷを、左右一対のリンク４６の下端部に設けられたクランプ装置２に取り付けるための治具である。ワーク治具２３は、上端がリンク４６の下端に設けられたクランプ装置２のクランプ部材２５に連結されて、下端部がワークＷの上端にガラスプレート２１及び金属プレート２２を介在して取り付けられている。 As shown in FIG. 3, the work jig 23 is a jig for attaching the work W to the clamp device 2 provided at the lower end of the pair of left and right links 46. The upper end of the work jig 23 is connected to the clamp member 25 of the clamp device 2 provided at the lower end of the link 46, and the lower end is attached to the upper end of the work W with the glass plate 21 and the metal plate 22 interposed therebetween. There is.

このため、ワークＷは、図２に示すように、ワーク送り機構４によってリンク４６が加工位置Ｐ１に移動したときは、リンク４６と共に加工位置Ｐ１に搬送され、リンク４６がワーク交換位置Ｐ２に移動したときは、リンク４６と共にワーク交換位置Ｐ２に搬送される。 Therefore, as shown in FIG. 2, when the link 46 is moved to the machining position P1 by the work feed mechanism 4, the work W is conveyed to the machining position P1 together with the link 46, and the link 46 is moved to the work replacement position P2. When this happens, it is conveyed to the work exchange position P2 together with the link 46.

＜加工装置＞
図２に示すように、加工装置３は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置３は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ３１，３２と、加工用ローラ３１と加工用ローラ３２とに巻き掛けられたワイヤ３３と、加工用ローラ３１，３２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて成る。加工装置３は、基台１２上のコラムに設けられている。 <Processing equipment>
As shown in FIG. 2, the processing device 3 is a cutting mechanism for processing the unprocessed work W clamped by the clamping device 2. The processing apparatus 3 includes a pair of processing rollers 31 and 32 arranged horizontally at appropriate intervals, a wire 33 wound around the processing roller 31 and the processing roller 32, and a processing roller 31. A drive motor (not shown) for rotationally driving the 32 is provided. The processing apparatus 3 is provided on a column on the base 12.

図２または図３に示すように、加工中の加工装置３の上方において、リンク４６には、ワークＷを支持するクランプ装置２がワーク送り機構４によって回動可能（昇降可能）に配置されている。ワークＷは、加工用ローラ３１，３２の軸線方向に沿って並設された複数のものから成る（添付図面では、省略して１つのみ記載している）。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ３３が加工用ローラ３１，３２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、ワーク送り機構４によって加工装置３に向かって回動（下降）されてワイヤ３３に押し付けられることで切断される。 As shown in FIG. 2 or 3, above the machining device 3 being machined, a clamp device 2 for supporting the work W is rotatably (elevated) arranged by the work feed mechanism 4 on the link 46. There is. The work W is composed of a plurality of workpieces W arranged side by side along the axial direction of the processing rollers 31 and 32 (only one is omitted in the attached drawing). Then, when the wire saw 1 is operated, the wire 33 is driven between the processing rollers 31 and 32, and the work W held by the clamp device 2 is rotated (descended) toward the processing device 3 by the work feed mechanism 4. It is cut by being pressed against the wire 33.

加工用ローラ３２，３２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ３３を加工用ローラ３２，３３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ３２，３３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。 The processing rollers 32 and 32 are configured to travel the wire 33 only between the processing rollers 32 and 33 by being rotated by a drive motor (not shown). The number of processing rollers 32 and 33 may be at least one pair, and may be three or more as long as they are arranged in parallel with mutual spacing.

ワイヤ３３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ３３は、加工用ローラ３２，３３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。 The wire 33 is, for example, a processing wire composed of one wire rod. The wire 33 is driven by the processing rollers 32 and 33 so as to repeatedly advance by a certain amount and retract by a certain amount to advance stepwise as a whole or to advance continuously in one direction.

図１に示す基台１２の上方は、加工装置３等を覆う加工室カバー（図示省略）が配置されている。その加工室カバー（図示省略）には、シャッタ（図示省略）が開閉可能に配設されている。ワークＷが加工位置Ｐ１に搬入されて切断加工が行われるとき、シャッタ（図示省略））が閉じられて、加工位置Ｐ１の空間とワーク交換位置Ｐ２の空間とが遮断されるように構成されている。 A processing chamber cover (not shown) that covers the processing apparatus 3 and the like is arranged above the base 12 shown in FIG. A shutter (not shown) can be opened and closed on the processing chamber cover (not shown). When the work W is carried into the machining position P1 and cutting is performed, the shutter (not shown) is closed so that the space at the machining position P1 and the space at the work replacement position P2 are blocked. There is.

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１の作用を、図１〜図３を参照して説明する。 [Action]
Next, the operation of the wire saw 1 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3.

図２に示すように、加工済のワークＷが加工室（加工位置Ｐ１）にある場合は、そのワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する。その後、クランプ装置２から加工済のワークＷを取り外し、未加工のワークＷをクランプ装置２に取り付ける（ワーク着脱工程）。 As shown in FIG. 2, when the machined work W is in the machining chamber (machining position P1), the work W is conveyed to the work replacement position P2 by the work feed mechanism 4. After that, the processed work W is removed from the clamp device 2, and the unprocessed work W is attached to the clamp device 2 (work attachment / detachment step).

次に、未加工のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２から加工室内の加工位置Ｐ１に搬入する（搬入工程）。続いて、加工室カバー（図示省略）を閉めて、未加工のワークＷをワーク送り機構４で昇降させることで、加工装置３のワイヤ３３に押し当ててワークＷを切削加工する（加工工程）。これにより、ワークＷは、所定の厚さに切断される。 Next, the unprocessed work W is carried in from the work exchange position P2 to the machining position P1 in the machining chamber by the work feed mechanism 4 (carry-in process). Subsequently, the processing chamber cover (not shown) is closed, and the unprocessed work W is moved up and down by the work feed mechanism 4 to be pressed against the wire 33 of the processing device 3 to cut the work W (machining process). .. As a result, the work W is cut to a predetermined thickness.

そして、加工が完了したら、加工済のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する（搬出工程）。
以上のワーク着脱工程から搬出工程を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。 Then, when the processing is completed, the processed work W is conveyed to the work exchange position P2 by the work feed mechanism 4 (unloading process).
The work W is sequentially processed and produced by repeating the work attachment / detachment process and the carry-out process.

このように、本発明は、図２に示すように、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）によって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１の回転によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１従動歯車４２の回転によって回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３の回転によって回動される第２アーム４５と、第１アーム４４の先端部と第２アーム４５の先端部とを回動自在に連結したリンク４６と、リンク４６に設けられ、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている。 As described above, in the present invention, as shown in FIG. 2, the work W is moved between the processing position P1 for cutting the work W by the wire 33 and the work exchange position P2 where the work W is exchanged. A wire saw 1 including a feed mechanism 4, in which the work feed mechanism 4 includes a drive gear 41 that is rotationally driven by a motor (not shown), and a first driven gear 42 and a second driven gear 42 that are driven by the rotation of the drive gear 41. The driven gear 43, the first arm 44 rotated by the rotation of the first driven gear 42, the second arm 45 rotated by the rotation of the second driven gear 43, the tip portion and the first arm 44 of the first arm 44. The link 46 is rotatably connected to the tip of the two arms 45, and the work jig 23 provided on the link 46 to attach the work W is provided, and the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 are provided. Consists of a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced.

これにより、ワーク送り機構４は、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられるワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。 As a result, the work feed mechanism 4 is provided with the drive gear 41, the first driven gear 42, the second driven gear 43, the first arm 44, the second arm 45, the link 46, and the work jig provided on the link 46. By providing the tool 23, the structure can be simplified and the number of parts can be reduced.
Further, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. When the work W is moved to the machining position P1 and the work replacement position P2, the work W can be moved without changing the posture, so that the wafer can be moved so as not to be cracked.

また、ワーク治具２３は、第１従動歯車４２で回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３で回動される第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際に、ワークＷの姿勢が反転しない。 Further, the work jig 23 is connected to a link 46 rotatably connected to a first arm 44 rotated by the first driven gear 42 and a second arm 45 rotated by the second driven gear 43. Since they are rotatably connected, the work W can be supported by two arms. Therefore, when the first arm 44 and the second arm 45 rotate, the posture of the work W does not reverse.

また、図２に示すように、リンク４６は、常に垂直状態に配置され、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、ワーク治具２３は、常にリンク４６の下側または上側に垂直状態に配置されている。 Further, as shown in FIG. 2, the link 46 is always arranged in a vertical state, and the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 are arranged so as to form a parallelogram parallel crank mechanism. , The work jig 23 is always arranged vertically below or above the link 46.

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を構成していることで、リンク４６に設けたワークＷを第１アーム４４と第２アーム４５との二本で支えながら搬送することができるため、搬送時のブレを抑制することができる。その結果、ワーク送り精度（真直性）及び加工精度を向上させることができる。
また、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構の第１アーム４４及び第２アーム４５が変位しても、下側または上側に垂直状態を維持することができるので、ワークＷの姿勢を変えずに（下方向または下方向を向いままの状態で）搬送させることができる。このため、ワイヤソー１は、搬送時にワークＷの姿勢が変位するワーク送り装置と比較して、装置全体の高さをワークＷの高さ分だけ低くすることができるので、装置の重量及び設置エリアの低減を図ることができる。 As a result, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a parallelogram parallel crank mechanism, so that the work W provided on the link 46 can be changed to the first arm 44 and the second arm 45. Since it can be transported while being supported by the two rods, it is possible to suppress blurring during transportation. As a result, the workpiece feed accuracy (straightness) and machining accuracy can be improved.
Further, the link 46 and the work jig 23 can maintain a vertical state on the lower side or the upper side even if the first arm 44 and the second arm 45 of the link mechanism are displaced, so that the posture of the work W can be changed. It can be transported without change (while facing downward or downward). Therefore, the wire saw 1 can reduce the height of the entire device by the height of the work W as compared with the work feeding device in which the posture of the work W is displaced during transportation, so that the weight of the device and the installation area can be reduced. Can be reduced.

また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている。 Further, the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are respectively meshed with the drive gear 41 and are arranged apart from each other in the vertical direction.

これにより、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、同じ駆動歯車４１に噛合されていることで、第１アーム４４と第２アーム４５とを同じ状態に回動させることができる。また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、上下方向に離間して配置されていることで、離間している分だけ固定リンク間の長さが長くなるため、回動時の状態を安定化させてブレを解消することができる。 As a result, the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are meshed with the same drive gear 41, so that the first arm 44 and the second arm 45 can be rotated in the same state. Further, since the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are arranged apart from each other in the vertical direction, the length between the fixed links becomes longer by the amount of the distance, so that the first driven gear 42 and the second driven gear 43 become longer during rotation. The state can be stabilized and blurring can be eliminated.

また、第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている。 Further, the first arm 44 and the second arm 45 are each composed of a pair of left and right members having the same length, and the pair of left and right first arms 44 are arranged inside the pair of left and right second arms 45 in the axial direction. There is.

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とは、同じ長さに形成されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、第１アーム４４と第２アーム４５とを連結したリンク４６の姿勢を常に同じ状態にすることができる。
また、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、正面視してリンク４６及びワークＷの姿勢を常に同じ状態にすることができる。 As a result, the first arm 44 and the second arm 45 are formed to have the same length, so that even if the work feed mechanism 4 is displaced, the link connecting the first arm 44 and the second arm 45 is connected. The posture of 46 can always be the same.
Further, since the pair of left and right first arms 44 are arranged inside the pair of left and right second arms 45 in the axial direction, even if the work feed mechanism 4 is displaced, the link 46 and the work W can be viewed from the front. The posture can always be the same.

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。 [First modification]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and modifications can be made within the scope of the technical idea thereof, and the present invention may extend to these modified and modified inventions. Of course.

前記実施形態では、ワーク送り機構４を駆動させる駆動手段の一例として、モータ（図示省略）と、モータによって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、を備えたものを例に挙げて説明したがこれに限定されるものではない。
ワーク送り機構４の駆動手段は、第１アーム４４または第２アーム４５を回動させるものであればよい。 In the above embodiment, as an example of the drive means for driving the work feed mechanism 4, a motor (not shown), a drive gear 41 rotationally driven by the motor, a first driven gear 42 driven by the drive gear 41, and a first driven gear 42. Although the description has been given by taking as an example a gear provided with the two driven gears 43, the present invention is not limited to this.
The driving means of the work feeding mechanism 4 may be any one that rotates the first arm 44 or the second arm 45.

例えば、本発明は、図２に示すワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、ワーク治具２３に回動自在に設けられリンク４６と、リンク４６の一端側に回動自在に連結された第１アーム４４と、リンク４６の他端側に回動自在に連結された第２アーム４５と、第１アーム４４及び第２アーム４５の少なくとも一方を回動させる駆動手段（図示省略）と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されているものであってもよい。 For example, the present invention includes a work feed mechanism 4 for moving the work W shown in FIG. 2 between a machining position P1 for cutting the work W by a wire 33 and a work exchange position P2 for exchanging the work W. In the wire saw 1, the work feed mechanism 4 is rotatably provided on the work jig 23 for attaching the work W and the work jig 23, and is rotatably connected to the link 46 and one end side of the link 46. A first arm 44, a second arm 45 rotatably connected to the other end side of the link 46, and a driving means (not shown) for rotating at least one of the first arm 44 and the second arm 45. The first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. It may be.

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工位置Ｐ１に搬入し、加工後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させるワーク送り機構４を備えていることで、ワークＷを搬入出させているときのワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減することができるため、装置の稼働率を向上させることができる。
また、ワーク送り機構４は、駆動手段と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられたワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、ワーク治具２３は、第１アーム４４と、第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際のブレを解消することができるため、高精度なワーク送り精度を確保することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。 As a result, the wire saw 1 is provided with a work feed mechanism 4 for carrying the unprocessed work W into the machining position P1 and carrying out the machined work W from the machining position P1 to the work replacement position P2. Since it is possible to reduce the time during which the wire saw 1 is stopped and interrupted when the wire saw 1 is being carried in and out, the operating rate of the apparatus can be improved.
Further, the work feed mechanism 4 is provided with a driving means, a first arm 44, a second arm 45, a link 46, and a work jig 23 provided on the link 46, thereby simplifying the structure. It is possible to reduce the number of parts.
Further, since the work jig 23 is rotatably connected to the link 46 which rotatably connects the first arm 44 and the second arm 45, the work W is supported by the two arms. Can be done. Therefore, it is possible to eliminate the blurring when the first arm 44 and the second arm 45 rotate, so that highly accurate work feed accuracy can be ensured.
Further, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. When the work W is moved to the machining position P1 and the work replacement position P2, the work W can be moved without changing the posture, so that the wafer can be moved so as not to be cracked.

［第２変形例］
また、前記実施形態では、図２に示すように、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、を備えた場合を例に挙げて説明したが、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とはなくてもよい。
この場合は、第１アーム４４の連結軸４４ａ、または、第２アーム４５の連結軸４５ａに、モータ装置（図示省略）の軸を直結させて、モータ装置（図示省略）によってリンク機構の第１アーム４４、または、第２アーム４５を直接回動させることで、リンク機構全体を駆動するようにさせてもよい。
このようにすることで、さらに、部品点数及び部品組付工数を削減して、コストダウンを図ることができる。 [Second modification]
Further, in the above-described embodiment, as shown in FIG. 2, the case where the drive gear 41, the first driven gear 42, and the second driven gear 43 are provided as an example has been described, but the drive gear 41 , The first driven gear 42 and the second driven gear 43 may not be provided.
In this case, the shaft of the motor device (not shown) is directly connected to the connecting shaft 44a of the first arm 44 or the connecting shaft 45a of the second arm 45, and the first link mechanism is connected by the motor device (not shown). The entire link mechanism may be driven by directly rotating the arm 44 or the second arm 45.
By doing so, the number of parts and the man-hours for assembling parts can be further reduced to reduce the cost.

［その他の変形例］
例えば、前記実施形態で説明したモータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、第１アーム４４と、第２アーム４５とを回動させることが可能な装置であればよく、これに限定されるものではない。その電動歯車機構は、例えば、油圧または空気圧の流体圧を生成する圧力源（図示省略）と、流体圧が供給されるシリンダと、シリンダに供給された流体圧で作動するピストンロッドと、ピストンロッドに連結されて揺動する第１アーム４４及び第２アーム４５と、を備えたものであってもよい。つまり、電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を振り子運動させる駆動手段であればよい。 [Other variants]
For example, the electric gear mechanism including the motor described in the above embodiment, the first driven gear 42, and the second driven gear 43 can rotate the first arm 44 and the second arm 45. It may be a device, and is not limited to this. The electric gear mechanism includes, for example, a pressure source (not shown) that generates a fluid pressure of hydraulic or pneumatic pressure, a cylinder to which the fluid pressure is supplied, a piston rod that operates by the fluid pressure supplied to the cylinder, and a piston rod. A first arm 44 and a second arm 45 which are connected to and swing around may be provided. That is, the electric gear mechanism may be any driving means for pendulum-moving the first arm 44 and the second arm 45.

また、その電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を、電動モータと、ラックアンドピニオン機構あるいはウォーム・ホイール等の歯車機構を使用したものであってもよい。 Further, the electric gear mechanism may be one in which the first arm 44 and the second arm 45 use an electric motor and a gear mechanism such as a rack and pinion mechanism or a worm wheel.

その他、モータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、モータと、モータによって回転駆動されるチェーンまたはベルトと、チェーンまたはベルトによって回転駆動される第１従動車または第２従動車と、を備えたものであってもよい。 In addition, the electric gear mechanism including the motor, the first driven gear 42, and the second driven gear 43 is the first driven driven by the motor, the chain or belt rotationally driven by the motor, and the chain or belt. It may be equipped with a car or a second driven vehicle.

１ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 加工装置
４ ワーク送り機構
２３ ワーク治具
３３ ワイヤ
４１ 駆動歯車
４２ 第１従動歯車
４３ 第２従動歯車
４４ 第１アーム
４５ 第２アーム
４６ リンク
Ｐ１ 加工位置
Ｐ２ ワーク交換位置
Ｗ ワーク 1 Wire saw 2 Clamping device 3 Machining device 4 Work feed mechanism 23 Work jig 33 Wire 41 Drive gear 42 1st driven gear 43 2nd driven gear 44 1st arm 45 2nd arm 46 Link P1 Machining position P2 Work replacement position W work

Claims (5)

ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、
前記ワーク治具に設けられたリンクと、
前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、
前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、
前記第１アーム及び前記第２アームの少なくとも一方を回動させる駆動手段と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。 The machining position where the work is cut by the wire, and
A wire saw provided with a work feed mechanism for moving the work to and from the work exchange position where the work is exchanged.
The work feed mechanism includes a work jig for attaching the work and a work jig.
The link provided on the work jig and
A first arm rotatably connected to one end of the link,
A second arm rotatably connected to the other end of the link,
A driving means for rotating at least one of the first arm and the second arm is provided.
The first arm, the second arm, and the link form a link mechanism.
The link and the work jig are wire saws, characterized in that the vertical state is maintained even if the link mechanism is displaced. ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、
前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、
前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、
前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、
前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、
前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。 The machining position where the work is cut by the wire, and
A wire saw provided with a work feed mechanism for moving the work to and from the work exchange position where the work is exchanged.
The work feed mechanism includes a drive gear that is rotationally driven by a motor and
The first driven gear and the second driven gear driven by the rotation of the driving gear,
The first arm rotated by the rotation of the first driven gear and
A second arm that is rotated by the rotation of the second driven gear, and
A link that rotatably connects the tip of the first arm and the tip of the second arm,
A work jig provided on the link and for attaching the work is provided.
The first arm, the second arm, and the link form a link mechanism.
The link and the work jig are wire saws, characterized in that the vertical state is maintained even if the link mechanism is displaced. 前記リンクは、常に垂直状態に配置され、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、
前記ワーク治具は、常に前記リンクの下側または上側に垂直状態に配置されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。 The links are always placed vertically and
The first arm, the second arm, and the link are arranged so as to form a parallelogram parallel crank mechanism.
The wire saw according to claim 1 or 2, wherein the work jig is always arranged vertically below or above the link. 前記第１従動歯車と前記第２従動歯車とは、それぞれ前記駆動歯車に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。 The wire saw according to claim 2, wherein the first driven gear and the second driven gear are respectively meshed with the driving gear and arranged apart from each other in the vertical direction. 前記第１アームと前記第２アームとは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、
左右一対の前記第１アームは、左右一対の前記第２アームの軸方向内側に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のワイヤソー。 The first arm and the second arm are each composed of a pair of left and right members having the same length.
The wire saw according to any one of claims 1 to 4, wherein the pair of left and right first arms are arranged inside the pair of left and right arms in the axial direction.
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