JP2020106477A - デュアルコム分光法における干渉信号の測定方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図2の右側に示すように、光周波数コムは、周波数領域において周波数軸で零に対してオフセット周波数fCEOを有する第1の光周波数モードと、周波数軸で第1の光周波数モードに対して繰り返し周波数frepの正の整数倍の間隔をあけて並ぶ複数の第2の光周波数モードと、を有する。周波数軸の零からm番目の光周波数モードの周波数fmは、次に示す(1)式で表される。
本発明の測定方法では、デュアルコム分光法に基づいて透過光パルス9及び多重反射光パルス10の時間軸上の位相差に基づいて位相スペクトルφ1(ω),φ2(ω)を正確に測定できる。
2・・・光周波数コム(第2の光周波数コム)
5・・・固体試料(試料)
17・・・被測定部
19・・・測定幅
301・・・通過幅
311・・・光周波数コム(通過幅調節済単一第1光周波数コム)
312・・・光周波数コム(被測定部を通過していない通過幅調節済単一第1光周波数コム)
313・・・光周波数コム(被測定部から出射した通過幅調節済単一第1光周波数コム)
Claims (3)
- 互いに異なる繰り返し周波数を有する第1の光周波数コムと第2の光周波数コムとを用いたデュアルコム分光法における干渉信号の測定方法であって、
単一の前記第1の光周波数コムの進行方向に直交する幅方向における通過幅が試料の被測定部の前記幅方向における測定幅より大きい通過幅調節済単一第1光周波数コムの進路上の試料配置位置で、前記幅方向において前記通過幅調節済単一第1光周波数コムが通過する領域の一部に前記被測定部を配置する第1工程と、
前記試料配置位置より前記通過幅調節済単一第1光周波数コムの進行方向の奥側において、前記被測定部を通過していない前記通過幅調節済単一第1光周波数コムと前記被測定部から出射した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムとを一括して受光する第2工程と、
前記第2工程において一括して受光した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムのうち前記被測定部を通過していない前記通過幅調節済単一第1光周波数コムと前記第2の光周波数コムとの第1の干渉信号を生成し、前記第2工程において一括して受光した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムのうち前記被測定部を通過した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムと前記第2の光周波数コムとの第2の干渉信号を生成する第3工程と、
前記第2工程において一括して受光した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムのうち前記被測定部を通過していない前記通過幅調節済単一第1光周波数コムの光パルスの時間軸上の位置を参照位置とし、前記第2工程において一括して受光した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムのうち前記被測定部を通過した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムの光パルスの時間軸上の位置を測定対象位置とし、前記第1の干渉信号及び前記第2の干渉信号に基づいて前記参照位置に対する前記測定対象位置の情報を取得する第4工程と、
を備えるデュアルコム分光法における干渉信号の測定方法。 - 前記第3工程で取得した前記参照位置に対する前記測定対象位置の情報に基づいて前記試料の物性情報を算出する第5工程をさらに備える、
請求項1に記載のデュアルコム分光法における干渉信号の測定方法。 - 前記第2工程において、
前記被測定部から出射した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムは、
前記進行方向に沿って前記被測定部を透過した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムと、
前記被測定部の入射面と出射面との間を前記進行方向に沿って多重反射した前記通過幅調節済単一第1光周波数コムと、を含む、
請求項1または請求項2に記載のデュアルコム分光法における干渉信号の測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018247417A JP7128516B2 (ja) | 2018-12-28 | 2018-12-28 | デュアルコム分光法における干渉信号の測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2020106477A true JP2020106477A (ja) | 2020-07-09 |
JP7128516B2 JP7128516B2 (ja) | 2022-08-31 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7128516B2 (ja) |
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JP7128516B2 (ja) | 2022-08-31 |
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