JP2020056397A - Vacuum device, accessory unit, and system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空装置、特に真空ポンプであって、アクセサリーユニットの為の少なくとも一つの接続部、およびアクセサリーユニットの為の制御ユニットを有するものに関する。 The invention relates to a vacuum device, in particular a vacuum pump, having at least one connection for an accessory unit and a control unit for the accessory unit.
本発明は、また、真空装置、特に真空ポンプの為のアクセサリーユニットであって、真空装置の接続部への接続のための接続部を有するものに関する。 The invention also relates to an accessory unit for a vacuum device, in particular a vacuum pump, having a connection for connection to a connection of the vacuum device.
本発明はまた、真空装置及びアクセサリーユニットを有するシステムに関する。 The invention also relates to a system having a vacuum device and an accessory unit.
先行技術における典型的な真空装置では、一、又は複数の接続部がアクセサリーユニットの為に設けられている。アクセサリーユニットは、接続部への接続の後、真空装置の制御ユニットによって駆動される。 In a typical vacuum device of the prior art, one or more connections are provided for accessory units. The accessory unit is driven by the control unit of the vacuum device after connection to the connection.
本発明の課題は、真空装置のアクセサリーの接続を簡単にし、及び/又は柔軟に形成することである。 It is an object of the invention to simplify and / or flexibly connect the accessories of a vacuum device.
この課題は、請求項1に記載の特徴を有する真空装置によって解決され、そして特に、制御ユニットが、接続部に接続されるアクササリーユニットの形式を認識するよう形成されていることによって解決される。 This object is achieved by a vacuum device having the features of claim 1 and in particular by a control unit being configured to recognize the type of accessory unit connected to the connection.
これによって、アクセサリーユニットの接続は、特に簡単に行われ、特に手動の構成、又は他の外部の構成を必要としない。真空装置の駆動は、これによって特に柔軟になる。アクセサリーユニットが大きな労力なく、そして必要に応じて接続され、分離され、及び/又は交換されることが可能だからである。発明に従い、パーソナルコンピュータの得なく操作の技術領域において公知であるように、特に快適な駆動が、「プラグアンドプレイ」コンセプトのもと実現される。接続されるアクセサリーユニットは、よってユーザーの観点から、接続部に接続するだけでその機能が有利に得られる。制御ユニットは、アクセサリーユニットの形式の知識において、これを適切に駆動することができる。 As a result, the connection of the accessory units is particularly simple and does not require a manual configuration or any other external configuration. The drive of the vacuum device is thereby made particularly flexible. This is because the accessory units can be connected, separated and / or replaced as needed without much effort. According to the invention, a particularly comfortable drive is realized under the "plug and play" concept, as is known in the technical field of operation without the personal computer. The accessory unit to be connected is thus advantageously obtained from the user's point of view simply by connecting to the connection. The control unit can appropriately drive this with knowledge of the type of accessory unit.
「形式」の概念は、よって少なくとも、アクセサリーユニットの確実な駆動の為に必要である情報を含む。例えば、制御ユニットはアクセサリーユニットを、その識別に基づいて認識し、そして更なる情報、例えば最大許容電圧等のような情報を、保存されているテーブルから呼び出すことができる。代替として、制御ユニットが、直接必要な情報を認識し、特に、アクセサリーユニットから送信される信号に基づいて認識することも意図されていることが可能である。 The concept of "type" thus includes at least the information necessary for a reliable drive of the accessory unit. For example, the control unit can recognize the accessory unit based on its identification, and recall further information, such as, for example, the maximum allowable voltage, from a stored table. Alternatively, it can also be provided that the control unit recognizes the necessary information directly, in particular on the basis of signals transmitted from the accessory unit.
一つの実施形によると、接続部は、制御ユニットにアクセサリーユニットを通信接続するための通信接点を有することが可能である。これは必ずしも、金属の、及び/又は電気的な接点と解される必要はなく、一般的に有線通信の接続点と解される。よって例えば、光導配線のための光学的な接点も設けられていることが可能である。代替として、又は追加的に、例えば接続部から独立した、特に無線式の通信インターフェイスが設けられていることも可能である。制御ユニットとアクセサリーユニットの間の通信の為の可能性によって、認識は簡単となるだけでなく、駆動も著しく柔軟になる。制御ユニットとアクセサリーユニットの間でデータの交換が可能となるからである。特に通信は両方向で可能である。例えば通信接点は、他のユニットに対する通信の為にも利用可能であることができる。つまり例えば、構成ユニット、及び/又は診断ユニット、他の真空装置、及び/又はプロセスリードシステムとの通信の為である。有利には、独立したインターフェイス、例えば診断インターフェイス、又は構成インターフェイスのようなものが省略されることが可能である。基本的には、複数の通信接点が、特に各接続部ごとに設けられていることも可能である。 According to one embodiment, the connection can have communication contacts for communicatively connecting the accessory unit to the control unit. This need not necessarily be interpreted as a metallic and / or electrical contact, but generally as a point of connection for wired communication. Thus, for example, it is also possible to provide optical contacts for the light conducting wiring. Alternatively or additionally, it is possible for example to provide a communication interface, for example independent of the connection, in particular of the wireless type. The possibility for communication between the control unit and the accessory unit not only simplifies the recognition, but also makes the drive significantly more flexible. This is because data can be exchanged between the control unit and the accessory unit. In particular, communication is possible in both directions. For example, communication contacts may be available for communication to other units. That is, for example, for communication with component units and / or diagnostic units, other vacuum devices, and / or process lead systems. Advantageously, a separate interface, such as a diagnostic interface or a configuration interface, can be omitted. Basically, it is also possible for a plurality of communication contacts to be provided, in particular for each connection.
接続部が、アクセサリーユニットの電源供給の為の少なくとも一つの供給接点を有するということが意図されていることが可能である。アクセサリーユニットは、よって追加的な電源接続を必要とせず、このことは配置・装置を簡易化する。供給接点のため、又は接続部の為に、例えばドライバーが設けられていることが可能である。これは、有利には、古い機器世代のアクセサリーユニット(特に認識信号を送信するための手段を有さないもの)が、確実にドライブ可能であるよう構成されていることが可能である。 It can be provided that the connection has at least one supply contact for powering the accessory unit. The accessory unit thus does not require an additional power connection, which simplifies the arrangement and equipment. For example, a screwdriver can be provided for the supply contact or for the connection. This can advantageously be configured such that accessory units of the older device generation, especially those without means for transmitting recognition signals, can be driven reliably.
例えば、制御ユニットは、アクセサリーユニットが、特に供給接点を介して、ことなる電圧で電源供給されるよう形成されていることが可能である。最も簡単な場合、これは二つの異なる電圧であり、特にゼロと、全てのアクセサリーユニットに対する一般的な駆動電圧である。特に、ゼロではない、異なる少なくとも二つの電圧は有利である。これによってアクセサリーユニットの接続が更に柔軟となることが可能である。これらは必要に応じて供給されることが可能であり、アクセサリーユニットにおいて変圧器が必要でないからである。別の例においては、制御ユニットは、基本的に、特に接続部において、又は供給接点において、ゼロじゃない第一の電圧、例えば5Vをかけ、そして認識の後、及び/又はアクセサリーユニットとの通信の後、アクセサリーユニットに適当な電圧、例えば24Vをかけるよう形成されている。 For example, the control unit can be configured such that the accessory unit is powered at a different voltage, in particular via a supply contact. In the simplest case, this is two different voltages, in particular zero and a common drive voltage for all accessory units. In particular, at least two different non-zero voltages are advantageous. This allows the connection of the accessory units to be more flexible. These can be supplied as needed and no transformer is needed in the accessory unit. In another example, the control unit applies a non-zero first voltage, for example 5 V, essentially at the connection or at the supply contact, and after recognition and / or communication with the accessory unit Thereafter, an appropriate voltage, for example, 24 V is applied to the accessory unit.
別の例においては、例えば供給接点に、所定の供給電圧が常時オンとなっている。その際有利には、アクセサリーユニットは、特に制御ユニットによって予め与えられる命令又はデータに応じて、自己制御を行う。命令、又はデータは、有利には接続部の通信接点を介して伝達される。これによって真空装置と制御ユニットは、技術的に簡単となる。 In another example, for example, a predetermined supply voltage is always on at a supply contact. The accessory unit advantageously controls itself, in particular in response to commands or data previously given by the control unit. The instructions or data are preferably transmitted via the communication contacts of the connection. This makes the vacuum device and the control unit technically simple.
供給接点は、例えば、アクセサリーユニットのエネルギー供給の為にも、スイッチの操作の為の切替手段(例えばリレーのようなもの)としても、使用可能であることができる。駆動は、これによって更に柔軟となる。よって例えば真空装置を介して電源供給が不可能である、又は技術的に極めて高コストであるアクセサリーユニットも駆動されることが可能である。例えば、アクセサリーユニットは、ここで真空ポンプとして形成される真空装置の為のプリポンプであることが可能である。このプリポンプは、比較的大きな出力を必要とする。この出力は、真空装置を介しては、特別な技術的労力を伴ってのみ供給されることが可能である。さらにこれは、設置空間の増加に通じる。これはしばしば望まれていない。よってこの例においてアクセサリーユニットのエネルギー供給は有利に外部でまかなわれる。上で、真空装置がアクセサリーユニットと違うユニットとして説明される限り、これは、発明に係る真空装置の為のアクセサリーとして考えられおらず、副次的に駆動される真空装置に関する。ここで記載されるプリポンプは、これと反対に真空ポンプに従属し、および依存している。そのうえ、プリポンプはこの例においては、供給接点を介して駆動制御される。基本的にこれは、通信接点を介して、又は他の通信手段を介しても駆動制御されることが可能である。発明に係る接続部は多様に構成され、そして使用されることが可能であることは明らかである。駆動制御、及び/又は通信は、多数のユニットに対して、特に制御ユニットから出発して、実現されることが可能である。全てにおいて、制御ユニットによる発明に係るアクセサリーユニットの自動認識は、全く新しい柔軟性と簡易性に寄与する。 The supply contact can be usable, for example, both for supplying energy to the accessory unit and as switching means (for example, like a relay) for operating a switch. The drive is thereby made more flexible. Thus, for example, accessory units which cannot be powered via a vacuum device or which are technically very expensive can also be driven. For example, the accessory unit can be a pre-pump for a vacuum device formed here as a vacuum pump. This pre-pump requires a relatively large output. This output can only be supplied via a vacuum device with special technical effort. Furthermore, this leads to an increase in installation space. This is often not desired. Thus, in this example, the energy supply of the accessory unit is advantageously provided externally. As far as the vacuum device is described above as a different unit from the accessory unit, this is not considered as an accessory for the vacuum device according to the invention, but rather as a secondary driven vacuum device. The pre-pump described here, on the other hand, is dependent and dependent on a vacuum pump. In addition, the prepump is, in this example, driven via a supply contact. Basically, this can be controlled via the communication contacts or also via other communication means. Obviously, the connection according to the invention can be variously configured and used. The drive control and / or the communication can be realized for a number of units, in particular starting from the control unit. In all, the automatic recognition of the accessory unit according to the invention by the control unit contributes to an entirely new flexibility and simplicity.
別の実践的な例においては、制御ユニットは、アクセサリーユニットを真空装置のパラメーターに応じて駆動制御するよう形成されている。例えば、ファンとして形成されたアクセサリーユニットにおいては、真空装置内、又は真空装置における温度に応じて回転数が制御される。この駆動制御は、一方では、供給接点を介して行われることが可能であり、そして他方では、通信接点を介して行われることが可能である。その際、アクセサリーユニットは、回転数自体を合わせるようになっている。下位互換性に関して有利な例においては、真空装置、及び/又はアクセサリーユニットは、両方が可能であるようにさえ構成されている。 In another practical example, the control unit is configured to drive and control the accessory unit according to the parameters of the vacuum device. For example, in an accessory unit formed as a fan, the number of revolutions is controlled according to the temperature in the vacuum device or in the vacuum device. This drive control can be performed on the one hand via a supply contact and, on the other hand, via a communication contact. At this time, the accessory unit is adapted to adjust the rotation speed itself. In an advantageous example with respect to backward compatibility, the vacuum device and / or the accessory unit are even configured such that both are possible.
基本的に、通信接点として、および供給接点としての共通の接点も設けられていることが可能である。通信、および電源供給は、同じ配線を介しても可能である。これは、特に互換性に関しても有利であるとわかった。存在する接続部は、変更される必要がない。更に構造は簡単であり、かつ簡単なままである。 Basically, it is also possible for common contacts to be provided as communication contacts and as supply contacts. Communication and power supply are also possible via the same wiring. This has been found to be particularly advantageous in terms of compatibility. Existing connections need not be changed. Furthermore, the structure is simple and remains simple.
発展形に従い、制御ユニットが、アクセサリーユニットから出力される信号から、アクセサリーユニットの形式を認識するよう形成されていることが意図されている。これによって特に簡単かつ信頼性の高い認識が実現されることが可能である。信号は、例えば識別、及び/又は情報を含むことが可能である。これらは、アクセサリーユニットのパラメーター、例えば駆動電圧のようなものに直接関わるものである。 According to a development, it is provided that the control unit is configured to recognize the type of the accessory unit from the signals output from the accessory unit. As a result, a particularly simple and reliable recognition can be realized. The signal may include, for example, identification and / or information. These are directly related to the parameters of the accessory unit, such as the drive voltage.
信号は、例えば、接続部の通信接点を介して制御ユニットに直接供給されることが可能である。これは、特に簡単な駆動を可能とする。代替として、又は追加的に、信号は、接続部に依存せず、追加的な接続部を介して、及び/又は無線で供給されることも可能である。 The signal can for example be supplied directly to the control unit via the communication contacts of the connection. This allows a particularly simple actuation. Alternatively or additionally, the signal may be independent of the connection, provided via an additional connection and / or wirelessly.
接続部には、一つの実施例においては、アクセサリーユニットのためシリアルインターフェイスが設けられていることが可能である。これによって簡単に特別信頼性の高い通信が実現されることが可能である。 The connection can in one embodiment be provided with a serial interface for the accessory unit. This makes it possible to easily achieve highly reliable communication.
代替として、又は追加的に、接続部は、アクセサリーユニットのためのバスインターフェイスが設けられていることが可能である。これは、特に柔軟な駆動を多数のアクセサリーユニットに対して可能とする。 Alternatively or additionally, the connection can be provided with a bus interface for the accessory unit. This allows a particularly flexible drive for a large number of accessory units.
基本的に、複数の接続部において、複数のアクセサリーユニットがここに、及び/又はグループで駆動制御可能であることができる。特に、アクセサリーユニットの数量は拡張可能であることができる。 Basically, at a plurality of connections, a plurality of accessory units can be controllable here and / or in groups. In particular, the number of accessory units can be scalable.
複数の接続部においては、制御ユニットは、各接続部に対して接続されるアクセサリーユニットの割り当てを、例えばトポロジーを介して認識し、つまり制御ユニットと各接続部の間の、直接、又は割り当てれられた個々の配線を介して認識することが可能である。しかしまた、代替として、バスシステムを介した割り当ても行われることが可能である。 In a plurality of connections, the control unit recognizes the assignment of the accessory units connected to each connection, for example via a topology, i.e. directly or between the control unit and each connection. It is possible to recognize through the individual wiring provided. However, it is alternatively also possible for assignment via the bus system.
一つの実施例においては、制御ユニットは、アクセサリーユニットによって提供されるペイロードを処理するよう形成されている。ペイロードは、ここでは認識データと異なるデータである。例えばペイロードは、センサーデータを含む。よってアクセサリーユニットは、例えば一つのセンサーを含み、そしてその情報はアナログ式、又はデジタル式に、特に接続部を介して提供されることが可能である。その際、センサーの為に設けられる独立したコンバーターを省略することはコストメリットを伴い可能である。コンバーターが省略されるのみでなく、一般的に入手可能なサプライヤー部部品も、大きな技術的適合を要さず制御ユニットによって駆動可能である。 In one embodiment, the control unit is configured to process a payload provided by the accessory unit. Here, the payload is data different from the recognition data. For example, the payload includes sensor data. The accessory unit thus comprises, for example, one sensor, and the information can be provided in an analog or digital manner, in particular via a connection. In that case, omitting the independent converter provided for the sensor can be accompanied by a cost advantage. Not only is the converter omitted, but also commonly available supplier parts can be driven by the control unit without significant technical adaptation.
別の発展形においては、制御ユニットが、アクセサリーユニットをその形式において認識しないときでも、アクセサリーユニットを駆動するよう形成されていることが意図されている。この場合、例えば、制御ユニットへのアクセサリーユニットの形式の入力の為の入力ユニットが設けられていることが可能である。入力は、基本的に、アクセサリーユニットのための追加的な接続部を介しても行われることが可能である。その際、この接続部には、アクセサリーユニットとして入力ユニット自体が、及び/又は入力ユニットからの受信の為の通信ユニットが接続されている、又は接続可能であることができる。 In a further development, it is provided that the control unit is configured to drive the accessory unit even when it does not recognize the accessory unit in its form. In this case, it is possible, for example, to provide an input unit for inputting an accessory unit type to the control unit. The input can basically also be made via an additional connection for the accessory unit. In this case, the input unit itself as an accessory unit and / or a communication unit for receiving from the input unit can be connected or connectable to this connection.
更に、制御ユニットは、接続部に接続される複数のアクセサリーユニットを同時に駆動するよう形成されていることが可能である。例えば少なくとも一つの、直接接続部に接続される、又は接続可能であるアクセサリーユニットが、別の少なくとも一つの追加的なアクセサリーユニットの接続の為の追加的な接続部を有することができる。これによって、アクセサリーユニットのチェーンが実現され、そして追加的なアダプター無しで駆動を行い、そして真空装置においては接続部の数量が同じままで、特に、多数のさらなるアクセサリーユニットを接続する可能性が得られる。基本的に、追加的な接続部は、アクセサリーユニットの第一の接続部と直接接続されていることが可能であるか、しかしままた、処理ユニット、例えばマイクロプロセッサーを介して接続されていることも可能である。その際、例えば、上位に接続されるアクセサリーユニットからのデータ、及び/又は電圧の伝送は、一、又は複数の後続するアクセサリーユニットに対して決定されることが可能である。しかしまた、代替として、または追加的に、少なくとも二つのアクセサリーユニットの並列な接続の為のアダプターも、一つの接続部に設けられていることが可能である。複数の同様なアクセサリーユニットが、真空装置の一つの接続部に接続されている場合、例えば、認識、及び/又は割り当ては、アドレス選択スイッチ、又は事前にプログラムされたアドレスを介して行われることができる。基本的に、アクセサリーユニットは、複数の接続部を介して接続可能であることができる。例えば、より大きな出力を、特に供給接点において、及び/又はより高い通信データレートを、特に通信接点において実現するためである。 Furthermore, the control unit can be configured to simultaneously drive a plurality of accessory units connected to the connection. For example, the at least one accessory unit connected or connectable to the direct connection can have an additional connection for the connection of another at least one additional accessory unit. This realizes a chain of accessory units and drives without additional adapters and offers the possibility of connecting a large number of further accessory units, in particular with the same number of connections in a vacuum device. Can be Basically, the additional connection can be directly connected to the first connection of the accessory unit, or still be connected via a processing unit, for example a microprocessor Is also possible. In that case, for example, the transmission of data and / or voltage from a higher-ordered accessory unit can be determined for one or more subsequent accessory units. However, alternatively or additionally, an adapter for the parallel connection of at least two accessory units can also be provided at one connection. If a plurality of similar accessory units are connected to one connection of the vacuum device, for example, recognition and / or assignment may take place via an address selection switch or a pre-programmed address. it can. Basically, the accessory unit can be connectable via a plurality of connections. For example, to achieve a higher power, especially at the supply contact, and / or a higher communication data rate, especially at the communication contact.
基本的に、制御ユニットは、真空装置、特に真空ポンプの為のモーター制御部を有するか、又はそのようなものの一部である。しかしまた、制御ユニットが、モーター制御部から独立し、及び/又は他の制御要素から独立して形成されていることも可能である。一、又は複数の独立した制御ユニットが其々、一、又は複数の制御部に対して設けられていることも可能である。例えば、一つの接続部の為の制御ユニットが、そして特にこれに対して隣接して、又はこの中に統合されて設けられていることが可能である。ここで、モーター制御部、又は他の制御要素が設けられていない場合、制御ユニットが、特に接続部を介して、接触され、そして読みだされることが可能であることは有利である。これは、真空装置、又は真空システムのメンテナンスと駆動の更なる柔軟性へと通じる。 Basically, the control unit comprises or is part of a motor control for a vacuum device, in particular a vacuum pump. However, it is also possible for the control unit to be formed independently of the motor control and / or independently of other control elements. One or more independent control units can be provided for one or more control units, respectively. For example, it is possible for the control unit for one connection to be provided, and in particular adjacent thereto, or integrated therein. Here, if no motor control or other control elements are provided, it is advantageous that the control unit can be contacted and read out, in particular via a connection. This leads to more flexibility in the maintenance and operation of the vacuum device or vacuum system.
接続部は、例えばオス、またはメスとして形成されていることが可能であり、及び/又はプラグ、又はソケットを有し得る。その際、複数の接続部形式が考え得る。 The connection can be formed, for example, as a male or female and / or can have a plug or a socket. In this case, a plurality of connection types are conceivable.
本発明の課題は、これに向けられた独立性有効の特徴を有するアクセサリーユニットによっても解決され、特に、アクセサリーユニットが、特に接続部を介して、特に通信接点を介して、信号を出力し、それに基づいてアクセサリーユニットの形式が認識可能であるよう形成されていることによって解決される。 The object of the invention is also solved by an accessory unit having the feature of independence effectiveness directed to it, in particular the accessory unit outputs a signal, in particular via a connection, in particular via a communication contact, The solution is achieved in that the type of the accessory unit is designed to be recognizable on the basis thereof.
アクセサリーユニットは、例えばヒーター要素、ファン、フローバルブ、シールガスバルブ、制御リレー、例えばプリポンプに対するもの、圧力測定装置、及び/又は、特に統合された測定管を含み得る。一般的に、アクセサリーユニットは例えば少なくとも一つのアクチュエーター、及び/又はセンサーを有することが可能である。しかしまた、他の機能要素を有するアクセサリーユニットも考え得る。よって例えば、アクセサリーユニットは、データを保存するメモリ要素を含み得る。これによって例えば、ポンプデータの長期間にわたる記録が実現されることが可能である。 The accessory unit can include, for example, a heater element, a fan, a flow valve, a sealing gas valve, a control relay, such as for a pre-pump, a pressure measuring device, and / or a particularly integrated measuring tube. In general, the accessory unit can have, for example, at least one actuator and / or sensor. However, accessory units with other functional elements are also conceivable. Thus, for example, the accessory unit may include a memory element for storing data. This allows, for example, a long-term recording of the pump data to be realized.
有利な実施例においては、アクセサリーユニットは、アクチュエーターもセンサーも有し、これは特にアクチュエーターによって影響されるパラメーターの為のものである。アクセサリーユニットは、その際、特に、データ、特にペイロードをセンサーから接続部を介して出力するよう形成されている。アクチュエーターによって影響されるパラメーターの例は、ヒーター要素における温度、ファンにおける回転数などである。センサーデータは、有利には、アクチュエーターの機能チェックの為、又はセンサーデータに応じたその駆動制御の為に使用されることができる。 In an advantageous embodiment, the accessory unit also has an actuator and a sensor, especially for the parameters affected by the actuator. The accessory unit is in this case configured in particular to output data, in particular a payload, from the sensor via the connection. Examples of parameters affected by the actuator are the temperature at the heater element, the speed at the fan, etc. The sensor data can advantageously be used for checking the function of the actuator or for controlling its actuation in response to the sensor data.
アクセサリーユニットは、例えば代替として、又は追加的に、それ自体インターフェイスを、別の装置、又はユニットとの通信の為、有することが可能である。例えばアクセサリーユニットはワイヤレスインターフェイスを有する。これはその際、例えば無線モジュールを形成することが可能である。これによって特に柔軟に、真空装置におけるワイヤレス接続が後付けされることが可能である。ワイヤレスインターフェイスは、例えば、GSM,UMTS,LTE及び/又は他のモバイル無線規格、Bluetooth,NFC,及び/又はWLANなどの少なくとも一つの規格に従って形成されていることが可能である。特に、アクセサリーユニットは、このようにして一、又は複数の任意の他の装置(例えば、発明に係る真空装置の為のアクセサリーユニット自体を意味する)を、無線で(一般的にワイヤレスで)読みだし、制御し、認識などすることができる。 An accessory unit may, for example, alternatively or additionally, have its own interface for communication with another device or unit. For example, the accessory unit has a wireless interface. It is then possible, for example, to form a wireless module. This makes it possible to retrofit the wireless connection in the vacuum device particularly flexibly. The wireless interface may be formed according to at least one standard such as, for example, GSM, UMTS, LTE and / or other mobile radio standards, Bluetooth, NFC, and / or WLAN. In particular, the accessory unit thus wirelessly (generally wirelessly) reads one or more other devices (eg the accessory unit itself for a vacuum device according to the invention). However, they can control, recognize, etc.
アクセサリーユニットは、これが、アクセサリーユニットの形式を認識しないとき(例えば真空装置が認識手段を有さないからなど)に、真空装置の制御ユニットによって駆動可能であるよう有利に形成されていることが可能である。これは、有利な下位互換性、つまりより古い真空装置における駆動も可能とする。この為、アクセサリーユニットは、例えば、特に接続部の通信接点を介して制御ユニットとの通信を確立するという試みの失敗に起因する、認識しないという事実自体を認識するよう形成されていることが可能である。 The accessory unit can be advantageously formed such that it can be driven by the control unit of the vacuum device when it does not recognize the type of the accessory unit (eg because the vacuum device has no recognition means). It is. This also allows for advantageous backward compatibility, i.e. operation in older vacuum equipment. For this purpose, the accessory unit can be formed to recognize the fact of not recognizing itself, for example, due to a failed attempt to establish communication with the control unit, in particular via the communication contacts of the connection. It is.
一つの実施形においては、アクセサリーユニットが、更なるアクセサリーユニットのアクセサリーユニットへの、及び/又は真空装置への接続の為の、少なくとも一つの第二の接続部を有することが意図されている。第二の接続部と、その接点は、第一の接続部と直接接続されていることが可能である。その際、特に、接点とアクセサリーユニットは、バスシステムへの接続のため形成されていることが可能である。代替として、アクセサリーユニットの処理ユニットが接続部の間に接続されていることも可能である。その際、アクセサリーユニットは、例えば、情報、及び/又は電圧の伝達を防止したり、及び/又はこれを変更したりすることができる。 In one embodiment, it is provided that the accessory unit has at least one second connection for the connection of a further accessory unit to the accessory unit and / or to a vacuum device. The second connection and its contacts can be directly connected to the first connection. In this case, in particular, the contacts and the accessory unit can be formed for connection to a bus system. Alternatively, the processing unit of the accessory unit can be connected between the connections. At that time, the accessory unit can, for example, prevent and / or change the transmission of information and / or voltage.
真空装置、及び/又はアクセサリーユニットの接続部は、例えば、アクセサリーユニットの制御ユニットに対する機械的な接続の為にも、電気的、及び/又は情報技術的な接続の為にも形成されていることが可能である。これは特に柔軟な接続を可能とする。 The connection of the vacuum device and / or of the accessory unit is formed, for example, both for a mechanical connection to the control unit of the accessory unit and for an electrical and / or information technology connection. Is possible. This allows a particularly flexible connection.
課題は、これに向けられた独立請求項の特徴を有する認識ユニットによっても解決される。認識ユニットは、例えば有利に、より古いアクセサリーユニットを後付けするために使用されることが可能である。信号は特に、第一の接続部、特に通信接点を介して出力されることが可能である。認識ユニットは、例えばアクセサリーユニットの形式の入力の為の入力ユニット、及び/又はあらかじめプログラムされた出力のための形式を信号中に有することが可能である。 The task is also solved by a recognition unit having the features of the independent claims directed to it. The recognition unit can, for example, advantageously be used to retrofit older accessory units. The signal can in particular be output via a first connection, in particular a communication contact. The recognition unit can have in the signal, for example, an input unit for input in the form of an accessory unit and / or a format for pre-programmed output.
本発明の課題は、発明に係る真空装置、および発明に係るアクセサリーユニット、及び/又は発明に係る認識ユニットを有するシステムによっても解決される。 The object of the invention is also solved by a vacuum device according to the invention and a system comprising an accessory unit according to the invention and / or a recognition unit according to the invention.
更に課題は、現時点で明示的に請求項に記載されていないが、しかしここで、発明として開示されてる、アクセサリーユニットを有する真空装置の駆動のための方法によっても解決される。ここでは、真空装置の制御ユニットが、接続部に接続されるアクセサリーユニットの形式を認識する。 The object is furthermore achieved by a method for driving a vacuum device with an accessory unit, which is not explicitly claimed at the moment, but is disclosed here as an invention. Here, the control unit of the vacuum device recognizes the type of the accessory unit connected to the connection unit.
ここに記載した本発明の観点、つまり真空装置、アクセサリーユニット、認識ユニット、システム、および方法は、当然、そしてそれぞれの観点に対するすべての意味の実施形に有利に発展させられることが可能である。 The aspects of the invention described here, namely the vacuum device, the accessory unit, the recognition unit, the system and the method can of course and advantageously be developed in all meaningful embodiments for the respective aspects.
本発明を以下に単に例示的にのみ、簡略化した図面に基づいて説明する。 The invention is described below merely by way of example and with reference to simplified drawings.
図1には、ターボ分子ポンプとして形成された真空装置10が、制御装置12および、アクセサリーユニット(図示せず)の為の二つの接続部14と共に示されている。接続部14には、其々、ことなるアクセサリーユニットが接続可能である。アクセサリーユイットは、例えば、保持要素、ファン、フローバルブ、シールガスバルブ、制御リレー、圧力計測装置、及び/又は統合された計測管のようなものである。ここでのように二つ、又はより多くの接続部14が設けられていることが可能である。接続部14は、この例においては、真空装置のハウジングの下部材16に設けられている。しかしまた、一、または複数の接続部14は他の箇所、例えばハウジングの上部材18、及び/又は制御装置12内、又はそのハウジング内に設けられていることも可能である。
FIG. 1 shows a
図2に示された図1の真空装置1の断面図においては、切断面は、基本的に、下部材16を通って延びている。その際、真空装置10は、基本的に180度回転している。真空装置はつまり下から観たものである。エレクトロニクス部20が見て取れる。これは、それ自体、制御ユニット12に代替的に、又は制御ユニット12に追加的に、接続部14に接続されるアクセサリーユニットの為の制御ユニットを形成可能である。制御ユニット12は、例えばモーター制御部を含み得る。エレクトロニクス部20は、一、又は複数のアクセサリーユニットの為の制御ユニットとして、例えば、制御ユニットの駆動が、制御ユニット12が接続されていないときであっても可能であるように形成されていることが可能である。
In the cross-sectional view of the vacuum device 1 of FIG. 1 shown in FIG. 2, the cut surface basically extends through the
図3は、図2と同様の断面図を示す。その際、しかしここでは追加的に二つの接続部22が示されている。これらは、其々、真空装置10の接続部14に接続されている。各接続部22から出発して、各アクセサリーユニットへ配線24が延びている。これらは表わされていない。この実施形においては、接続部14は、ソケットとして形成されており、そして接続部22はプラグとして形成されている。
FIG. 3 shows a cross-sectional view similar to FIG. In this case, however, two
図4に示される、第一の例示的な接続図においては、真空装置10への接続の為の二つのアクセサリーユニット26が設けられている。真空装置10は、アクセサリーユニット26の各接続部22の為の二つの接続部14を有する制御ユニット12を有する。接続部22は、それぞれ、配線24を介してアクセサリーユニット26と接続されている。しかしその際、例えば、接続部22の形成が、アクセサリーユニット26に直接行われることも考え得る。アクセサリーユニット26は、その際、一つの差し込みモジュールを形成することが可能である。基本的に、接続部14は制御ユニット12と、又は真空装置10と、配線等を介して接続されることが可能であるが、しかしまた独立して形成されていることも可能である。
In the first exemplary connection diagram shown in FIG. 4, two
第二の接続図は図5に示されている。真空装置10は、真空装置10のハウジングに設けられる接続部14を含む。その際、アクセサリーユニット26は、真空装置10に設けられる接続部14に接続するための接続部22を設けられている。制御ユニット12は三つの接続部14を有する。接続部22は、三つの接続部14の一つに接続するために設けられており、そして制御ユニット12を、アクセサリーユニット26に接続する。アクセサリーユニットは、制御装置10に、及び/又は制御装置10内に取り付けられている。アクセサリーユニット26は、例えば真空装置10を加熱するための加熱要素、及び/又は真空装置10に、または真空装置10内におよぶパラメーターを検出するためのセンサーを有する。
A second connection diagram is shown in FIG. The
図6に示されている、第三の接続図においては、真空装置10は二つの接続部14を有する制御ユニット12を有する。更なる接続部14は、真空装置10のハウジング部材に制御ユニット12とは別に設けられている。配線27を介して、接続部14は制御ユニット12と接続されている。配線27は、真空装置10、又は制御ユニット12の内部、及び/又はハウジング内に延びている。接続部14は、例えば、アクセサリーユニット26を真空装置10と機械的に接続するためにも、及び/又はアクセサリーユニット26を制御ユニット12に電気的、及び/又は情報技術的に接続するためにも形成されていることが可能である。制御ユニット12は、一般に、表されているように真空装置10の主ハウジングに隣接する構成部材として設けられていることもでき、及び/又は統合されて形成されていることもでき、つまり真空装置10の他の箇所に設けられていることも可能である。更なる接続部14の数量、および配置は変更可能である。アクセサリーユニット26は、接続部22を有する。この接続部は、直接制御ユニット26と接続されている。つまり柔軟な配線は設けられていない。そのようなものは、代替的に、又は追加的に設けられることが可能である。接続部22を介して、アクセサリーユニット26が、機械的に、電気的、及び/又は情報技術的にも真空装置10の接続部14に接続される。
In the third connection diagram, shown in FIG. 6, the
図7には、第四の接続図が示されている。ここでは、制御ユニット12は、真空装置10のハウジング内に統合されて配置されている。制御ユニット12は一つの接続部14を有する。真空装置10は、別の接続部14を有し、これは、制御ユニットと配線27を介して接続されている。接続部22を介して、図示されていない二つのアクセサリーユニットが、各接続部14に接続可能である。
FIG. 7 shows a fourth connection diagram. Here, the
図8には、接続部14を有する真空装置10が示されている。接続部14には、例えばアクセサリーユニット26が接続可能である。このアクセサリーユニットは、真空装置10の接続部14にアクセサリーユニット26を接続するためのものである。アクセサリーユニット26は、一又は複数の別のアクセサリーユニットを接続するための接続部14を更に含む。接続部14には、接続部22を介して例えばアダプター28が接続可能である。アダプターは、複数の接続部14を更なるアクセサリー接続のため有している。
FIG. 8 shows a
図9には、ここでは詳細には表わされていない真空装置14の接続部14が示されている。これは、供給接点30および通信接点32を有している。アクセサリーユニット26は、接続部に同様に供給接触部34および通信接点36を有している。アクセサリーユニット26は、つまり接続部22または14の通信接点36および32を介して制御ユニットと通信を行うことが可能である。これに対して、図9の下には、供給接点34のみを有するアクセサリーユニット26が示されている。アクセサリーユニット26は、供給接点34と30を介して電源を供給可能である。このアクセサリーユニット26は、上のアクセサリーユニット26に対して古い世代のアクセサリーユニットを搭載する。接続部14を有する真空装置は、有利には、下のアクセサリーユニット26もまた、そのタイプの自動認識無しで駆動可能であるよう形成されていることが可能である。通信装置、及び/又は通信接点は、アクセサリーユニットにおいて例えば後付け可能であることもできる。これは例えば、下のアクセサリーユニット26の接続部22と、真空装置の接続部14の間に接続される認識ユニット38を介して行われる。認識ユニット38は、接続部14に、アクセサリーユニット26の供給の為の供給接点30を有する。接続部22には、これは供給接点34に追加的に通信接点36を有する。これを介して認識ユニット38は、例えば信号を出力することができる。信号は、接続されるアクセサリーユニット26の形式を示す。信号、又は形式は、例えば予めプログラムされている、及び/又は入力可能であることが可能である。
FIG. 9 shows a
特に、形式と関係なく、および各信号の内容と関係なく、これは無線で(つまり一般的にワイヤレスで)出力されることが可能である。 In particular, regardless of the format and regardless of the content of each signal, it can be output wirelessly (ie generally wirelessly).
10 真空装置
12 制御ユニット
14 接続部
16 下部分
18 上部分
20 エレクトロニクス部
22 接続部
24 配線
26 アクセサリーユニット
27 配線
28 アダプター
30 供給接点
32 通信接点
34 供給接点
36 通信接点
38 認識ユニット
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