JP2019203156A - Electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming palladium-copper alloy peeling foil - Google Patents

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Abstract

To provide an electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy peeling foil, having such features that: peelability from a metal substrate having an oxide film on a surface is good; after peeling from the metal substrate, it is flexible and has less warping (curl); there are few defects such as pin holes and cracks; even if annealing is not performed after plating, it has a uniform alloy composition in a thickness direction of the foil: and there is little difference in the alloy ratio between the front and back.SOLUTION: An electrolytic palladium-copper alloy plating solution according to the present invention contains (A) palladium (II) ammine complex salt, (B) copper (II) salt, (C) a pyrophosphate compound and/or tripolyphosphate compound, (D) a tetravalent selenium compound, and (E) a pyridine sulfonic acid compound. The molar concentration of (C) is adjusted to 0.35 mol/L or more and 1.1 mol/L or less, the value obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) by the molar concentration of copper is adjusted to 4.8 or more to 23.2 or less, and the pH is adjusted to 7.5 or more to 9.5 or less.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液(以下、単に「電解パラジウム銅合金めっき液」、「パラジウム銅合金めっき液」又は「めっき液」という場合がある。)に関する。   The present invention relates to an electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil (hereinafter sometimes simply referred to as “electrolytic palladium-copper alloy plating solution”, “palladium-copper alloy plating solution”, or “plating solution”).

パラジウム箔及びパラジウム合金箔は、装飾材料、歯科材料、電子材料、触媒材料等として工業的に広く使用されている。従来、パラジウム箔やパラジウム合金箔は、素材金属のインゴットを溶解し、圧延して箔状に加工することにより製造されている(圧延法)。   Palladium foil and palladium alloy foil are widely used industrially as decorative materials, dental materials, electronic materials, catalyst materials, and the like. Conventionally, palladium foil and palladium alloy foil are manufactured by melting a raw metal ingot, rolling it and processing it into a foil shape (rolling method).

パラジウムは貴金属であるため、パラジウム単体よりも安価で、薄く柔軟性があり、銀色外観を有するパラジウム合金箔が所望されている。
しかしながら、0.5μm〜20μm程度の薄い箔を得ようとする場合、従来の圧延法では均一な厚さで柔軟性を持ち、かつ欠陥の少ない箔を安定に製造するのは困難であった。また、圧延法では箔を薄膜化するほどコストが高くなるという致命的な欠点がある。
Since palladium is a noble metal, there is a demand for a palladium alloy foil that is cheaper, thinner, flexible, and has a silver appearance than palladium alone.
However, when trying to obtain a thin foil having a thickness of about 0.5 μm to 20 μm, it has been difficult to stably produce a foil having a uniform thickness and flexibility with few defects by the conventional rolling method. Further, the rolling method has a fatal defect that the cost increases as the foil is made thinner.

一方、パラジウム合金箔の製造方法としては、蒸着やスパッタ法による製膜で箔形成を行う方法も知られている。
しかし、これらの方法では、箔形成速度が非常に遅く、箔の機械的強度が不足するという課題があった。
On the other hand, as a method for producing a palladium alloy foil, a method of forming a foil by film formation by vapor deposition or sputtering is also known.
However, these methods have a problem that the foil forming speed is very slow and the mechanical strength of the foil is insufficient.

そこで、パラジウム合金箔を電解めっき法で製造する試みが行われている。
特許文献1には、電解めっき法によって支持体上にパラジウムめっき皮膜を連続的に形成し、該パラジウムめっき皮膜を剥離後、その両面に電解銀めっき皮膜を施し、不活性ガス下の加熱処理によってパラジウム−銀合金箔を得るパラジウム合金箔の製造方法が開示されている。
しかしながら、この方法では、めっき後に加熱処理で合金化しているため製造コストが高く、銀を含有するため箔自体のコストが依然高い。また、パラジウム−銀合金箔の場合、銀色外観を有するが、銀を含有するため硫黄ガスに対する耐変色性が乏しく、変色が起きやすいという課題が有った。
Thus, attempts have been made to produce palladium alloy foils by electrolytic plating.
In Patent Document 1, a palladium plating film is continuously formed on a support by an electrolytic plating method, and after peeling off the palladium plating film, an electrolytic silver plating film is applied on both sides thereof, and heat treatment under an inert gas is performed. A method for producing a palladium alloy foil for obtaining a palladium-silver alloy foil is disclosed.
However, this method has a high manufacturing cost because it is alloyed by heat treatment after plating, and the cost of the foil itself is still high because it contains silver. Moreover, in the case of palladium-silver alloy foil, although it has a silver appearance, since it contains silver, there existed a subject that the discoloration resistance with respect to sulfur gas was scarce and discoloration was easy to occur.

銀色外観を有するパラジウム合金皮膜を製造するためのパラジウム合金めっき液としては、パラジウムニッケル合金めっき液、パラジウムコバルト合金めっき液、パラジウム銀合金めっき液、パラジウムスズ合金めっき液、パラジウム銅合金めっき液、パラジウム亜鉛合金めっき液等が開発されている。   As a palladium alloy plating solution for producing a palladium alloy film having a silver appearance, palladium nickel alloy plating solution, palladium cobalt alloy plating solution, palladium silver alloy plating solution, palladium tin alloy plating solution, palladium copper alloy plating solution, palladium Zinc alloy plating solutions have been developed.

これらの合金で合金共析率が同じ質量%でコストを比較すると、銀が最も高く、コバルト、スズ、ニッケル、銅、亜鉛の順に安価となり、コストや耐食性の兼ね合いからパラジウム銅合金めっきが要求されている。
従来、装身具や殺菌部剤、水素精製の用途として、電解パラジウム銅合金めっき皮膜(被覆層)、電解パラジウム銅合金めっき液は公知である。
In these alloys, when the alloy eutectoid rate is the same mass% and the cost is compared, silver is the highest, cobalt, tin, nickel, copper and zinc become cheaper in this order, and palladium copper alloy plating is required in terms of cost and corrosion resistance. ing.
Conventionally, electrolytic palladium copper alloy plating films (coating layers) and electrolytic palladium copper alloy plating solutions have been known as applications for jewelry, sterilizing agents, and hydrogen purification.

特許文献2には、パラジウム50〜95%を含有するパラジウム銅合金めっき被覆層と、該パラジウム銅合金めっき被覆層を形成するための電解パラジウム銅合金めっき液が開示されており、黄銅やチタニウム基材上に白色外観のパラジウム銅合金めっき被覆層を有する装身具が記載されている。
しかしながら、特許文献2の実施例に記載のめっき液は、錯化剤にエチレンジアミン又はEDTA(エチレンジアミン四酢酸)を用いており、本発明者の追試によると、めっき皮膜の応力が高く、外観が赤みを帯びやすいという課題があった。
Patent Document 2 discloses a palladium copper alloy plating coating layer containing 50 to 95% palladium, and an electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming the palladium copper alloy plating coating layer. A jewelry having a palladium copper alloy plating coating layer having a white appearance on a material is described.
However, the plating solution described in the examples of Patent Document 2 uses ethylenediamine or EDTA (ethylenediaminetetraacetic acid) as a complexing agent, and according to the inventor's additional test, the stress of the plating film is high and the appearance is reddish. There was a problem that it was easy to take on.

特許文献3には、可溶性パラジウム塩、可溶性銅塩、導電性化合物、ピリジン環含有化合物、及び可溶性半金属化合物を含有するパラジウム銅合金めっき液が開示され、該パラジウム銅合金めっき液を用いて基材表面の少なくとも一部に、パラジウム40〜99重量%のパラジウム銅合金めっき層を被覆した殺菌性部材の製造を行う旨が記載されている。
本発明者らの検討によると、特許文献3の実施例記載のめっき浴を用いることで、銀色外観のパラジウム銅合金めっき被覆層を形成できる場合があるものの、そのような場合であっても、酸化膜を有する金属基体から該パラジウム銅合金めっき被覆層を剥離した際には、剥離性が悪く、割れが生じてしまった。また、金属基体から剥離でき、箔として得られた場合でも、反りが大きくカールしてしまう;基材側とめっき面側で合金比が異なるため、表裏でパラジウム銅合金箔の色調が異なる;という課題がある。
Patent Document 3 discloses a palladium-copper alloy plating solution containing a soluble palladium salt, a soluble copper salt, a conductive compound, a pyridine ring-containing compound, and a soluble metalloid compound. It is described that a bactericidal member in which palladium 40 to 99% by weight of palladium copper alloy plating layer is coated on at least a part of the material surface is manufactured.
According to the study by the present inventors, by using the plating bath described in the examples of Patent Document 3, although there may be a case where a silver-plated palladium copper alloy plating coating layer may be formed, even in such a case, When the palladium copper alloy plating coating layer was peeled from the metal substrate having the oxide film, the peelability was poor and cracking occurred. In addition, even when it is peeled off from the metal substrate and obtained as a foil, the warping is greatly curled; the alloy ratio is different between the base material side and the plating surface side, so that the color tone of the palladium copper alloy foil is different between the front and back sides; There are challenges.

特許文献4には、パラジウム錯体と銅塩を含み、中性アミノ酸を含むパラジウム合金めっき液が開示され、パラジウムが60質量%の外観が均一なパラジウム銅合金めっき膜が得られる旨が記載されている(特許文献4の実施例7)。
しかしながら、本発明者らの追試によると、特許文献4のめっき液から得られたパラジウム−銅合金めっき皮膜は大部分が赤色であり、さらには外観のムラやクラックが多く、基材から剥離して箔として得るには柔軟性が著しく劣っていた。
Patent Document 4 discloses a palladium alloy plating solution containing a palladium complex and a copper salt and containing a neutral amino acid, and describes that a palladium copper alloy plating film having a uniform appearance of 60% by mass of palladium is obtained. (Example 7 of Patent Document 4).
However, according to the follow-up test by the present inventors, the palladium-copper alloy plating film obtained from the plating solution of Patent Document 4 is mostly red, and further, there are many irregularities and cracks in appearance, and it peels off from the substrate. In order to obtain as a foil, the flexibility was remarkably inferior.

特許文献5には、硫酸パラジウム、錯化剤、銅塩を含有するパラジウム銅合金めっき液が開示され、多孔性ステンレス基体上に中間層としてニッケルめっき層を形成後、パラジウム銅合金皮膜を形成した複合体が記載されている。
しかし、本発明者らが特許文献5のめっき液を用いて追試したところ、得られたパラジウム銅合金めっき皮膜は外観ムラが多く、色調が褐色を帯びてしまうことが判明した。
Patent Document 5 discloses a palladium-copper alloy plating solution containing palladium sulfate, a complexing agent, and a copper salt. After forming a nickel plating layer as an intermediate layer on a porous stainless steel substrate, a palladium-copper alloy film was formed. A complex is described.
However, when the present inventors made additional trials using the plating solution of Patent Document 5, it was found that the obtained palladium-copper alloy plating film had many appearance irregularities and the color tone was brownish.

このように、基材上にパラジウム銅合金めっき皮膜(被覆層)を形成すること、及びそのための電解パラジウム銅合金めっき液自体は公知のものであるが、これらの公知技術により形成したパラジウム銅合金めっき皮膜を剥離して箔として使用する場合に、実用に耐える箔を得られるか検討(箔の性質を検討)した事例は無かった。
具体的には、基材からパラジウム銅合金めっき皮膜を剥離することによって、両面ともに均一な銀色外観であり、カールの無いパラジウム銅合金箔を得るには課題が多く、かかる課題を解決可能なパラジウム銅合金めっき液が要望されている。
Thus, although the palladium copper alloy plating film (coating layer) is formed on the base material, and the electrolytic palladium copper alloy plating solution for that purpose is known per se, the palladium copper alloy formed by these known techniques In the case where the plating film is peeled off and used as a foil, there has been no case of examining whether a foil that can withstand practical use can be obtained (examination of the properties of the foil).
Specifically, by removing the palladium copper alloy plating film from the substrate, there are many problems in obtaining a palladium-copper alloy foil having a uniform silver appearance on both sides and no curling. A copper alloy plating solution is desired.

特許第3316417号公報Japanese Patent No. 3316417 特開平6−340983号公報JP-A-6-340983 特開2000−303199号公報JP 2000-303199 A 特開2008−081765号公報JP 2008-081765 A 特開2008−261045号公報JP 2008-261045 A

本発明は上記背景技術に鑑みてなされたものであり、その課題は、表面に酸化膜を有する金属基体からの剥離性が良好である;金属基体から剥離した後に、柔軟で反り(カール)が少ない;ピンホールやクラック等の欠陥が少ない;めっき後にアニール処理を行わなくとも箔厚み方向に対して均一な合金組成を有する;表裏の合金比率の差が少ない;といった特長を有するパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を提供することにある。
また、同時に、本発明の課題は、かかるめっき液を使用したパラジウム銅合金剥離箔の製造方法やパラジウム銅合金箔を提供することや、パラジウム(II)アンミン錯塩を添加することによってかかるめっき液を調製するためのめっき液調製用水溶液を提供することにもある。
The present invention has been made in view of the above-mentioned background art, and its problem is that the peelability from a metal substrate having an oxide film on the surface is good; after peeling from the metal substrate, it is flexible and warps (curls). Fewer defects such as pinholes and cracks; Palladium-copper alloy exfoliation with features such as uniform alloy composition in the foil thickness direction without annealing after plating; It is providing the electrolytic palladium copper alloy plating solution for foil formation.
At the same time, the problem of the present invention is to provide a method for producing a palladium-copper alloy release foil using such a plating solution, a palladium-copper alloy foil, or to add a plating solution by adding a palladium (II) ammine complex salt. Another object is to provide an aqueous solution for preparing a plating solution for preparation.

本発明者は、上記の課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩、(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有するめっき液において、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物を特定の濃度範囲で含有させ、かつ、銅のモル濃度に対する(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物のモル濃度の比を特定の範囲にすることで、上記課題が解決できることを見出し、本発明を完成させるに至った。   As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has (A) palladium (II) ammine complex salt, (B) copper (II) salt, (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound. And (D) a plating solution containing a tetravalent selenium compound and (E) a pyridinesulfonic acid compound, (C) containing a pyrophosphoric acid compound and / or a tripolyphosphoric acid compound in a specific concentration range, and copper It has been found that the above-mentioned problems can be solved by setting the ratio of the molar concentration of (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound to a specific range, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩、(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有し、
(C)に属する化合物のモル濃度が0.35mol/L以上1.1mol/L以下であり、(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値が4.8以上23.2以下であり、pHが7.5以上9.5以下であることを特徴とするパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を提供するものである。
That is, the present invention provides (A) palladium (II) ammine complex salt, (B) copper (II) salt, (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound, (D) tetravalent selenium compound, and ( E) containing a pyridine sulfonic acid compound,
The molar concentration of the compound belonging to (C) is 0.35 mol / L to 1.1 mol / L, and the value obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) by the molar concentration of copper is 4.8 to 23. The electrolytic copper-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil is characterized by having a pH of 2 or less and a pH of 7.5 or more and 9.5 or less.

また、本発明は、上記のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を使用して、表面に酸化膜を有する金属基体上にパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、該パラジウム銅合金めっき皮膜を該金属基体から剥離することでパラジウム銅合金剥離箔を得ることを特徴とするパラジウム銅合金剥離箔の製造方法を提供するものである。   In addition, the present invention uses the above-described electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil to form a palladium-copper alloy plating film on a metal substrate having an oxide film on the surface. The present invention provides a method for producing a palladium-copper alloy release foil, characterized in that a palladium-copper alloy release foil is obtained by peeling a film from the metal substrate.

また、本発明は、厚さ0.5μm以上20μm以下であり、パラジウムの平均比率が40質量%以上80質量%以下であるパラジウム銅合金箔であって、一方の面のパラジウムの比率をX、他方の面のパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%であることを特徴とするパラジウム銅合金箔を提供するものである。 Further, the present invention provides a palladium-copper alloy foil having a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less and an average ratio of palladium of 40% by mass or more and 80% by mass or less, wherein the ratio of palladium on one surface is X A , when the ratio of the palladium on the other surface was X B, | is to provide a palladium-copper alloy foil which is a ≦ 15 wt% | X B -X a.

また、本発明は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を添加することによって上記のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を調製するためのめっき液調製用水溶液であって、
(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有し、
(C)に属する化合物のモル濃度が0.35mol/L以上1.7mol/L以下であり、(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値が4.8以上23.2以下であることを特徴とするめっき液調製用水溶液を提供するものである。
Further, the present invention is an aqueous solution for preparing a plating solution for preparing the electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming the above-mentioned palladium-copper alloy peeling foil by adding (A) palladium (II) ammine complex salt,
(B) a copper (II) salt, (C) a pyrophosphate compound and / or a tripolyphosphate compound, (D) a tetravalent selenium compound, and (E) a pyridinesulfonic acid compound,
The molar concentration of the compound belonging to (C) is 0.35 mol / L to 1.7 mol / L, and the value obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) by the molar concentration of copper is 4.8 to 23. An aqueous solution for preparing a plating solution, which is 2 or less, is provided.

本発明によれば、表面に酸化膜を有する金属基体からの剥離性が良好であり、従来のめっき液では困難であった柔軟で反りが少なく表裏の合金比率の差が少ないパラジウム銅合金箔を形成するための電解パラジウム銅合金めっき液を提供することができる。   According to the present invention, there is provided a palladium copper alloy foil having a good peelability from a metal substrate having an oxide film on the surface, a soft, low warpage, and a small difference in alloy ratio between the front and back, which has been difficult with a conventional plating solution. An electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming can be provided.

また、本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法によれば、従来の圧延法では困難であった厚さ0.5μm以上20μm以下のパラジウム銅合金箔を安定して歩留まり良く形成することができる。   In addition, according to the method for producing a palladium-copper alloy release foil of the present invention, a palladium-copper alloy foil having a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less, which was difficult by the conventional rolling method, can be stably formed with a high yield. .

また、本発明のパラジウム銅合金箔であれば、ピンホールやクラック等の欠陥が少なく、該パラジウム銅合金箔を利用した製品の歩留まりを向上させ、従来の圧延法では実現できなかった薄い合金箔を低コストに提供することができるため、産業上有用である。   In addition, the palladium copper alloy foil of the present invention has few defects such as pinholes and cracks, improves the yield of products using the palladium copper alloy foil, and is a thin alloy foil that could not be realized by the conventional rolling method Can be provided at low cost, which is industrially useful.

例A10で得たパラジウム銅合金剥離箔の断面を示す電子顕微鏡写真である(倍率15,000倍)。It is an electron micrograph which shows the cross section of the palladium copper alloy peeling foil obtained in Example A10 (magnification 15,000 times). 例B1で得たパラジウム銅合金剥離箔の断面を示す電子顕微鏡写真である。(倍率15,000倍)It is an electron micrograph which shows the cross section of the palladium copper alloy peeling foil obtained in Example B1. (Magnification 15,000 times) 例A10で得たパラジウム銅合金剥離箔の電子顕微鏡写真である。 (a)めっき面側(表面)から観察した写真(倍率500倍) (b)基体側(裏面)から観察した写真(倍率500倍)It is an electron micrograph of the palladium copper alloy peeling foil obtained in Example A10. (A) Photograph observed from the plating surface side (front surface) (500 times magnification) (b) Photograph observed from the substrate side (back surface) (500 magnifications) 例B1で得たパラジウム銅合金剥離箔の電子顕微鏡写真である。 (a)めっき面側(表面)から観察した写真(倍率500倍) (b)基体側(裏面)から観察した写真(倍率500倍)It is an electron micrograph of the palladium copper alloy release foil obtained in Example B1. (A) Photograph observed from the plating surface side (front surface) (500 times magnification) (b) Photograph observed from the substrate side (back surface) (500 magnifications) 例A10で得たパラジウム銅合金剥離箔の断面を、エネルギー分散型X線分析装置を使用して分析した、パラジウム及び銅の分布を示す図である。It is a figure which shows distribution of palladium and copper which analyzed the cross section of the palladium copper alloy peeling foil obtained in Example A10 using the energy dispersive X-ray analyzer. 例B1で得たパラジウム銅合金剥離箔の断面を、エネルギー分散型X線分析装置を使用して分析した、パラジウム及び銅の分布を示す図である。It is a figure which shows distribution of palladium and copper which analyzed the cross section of the palladium copper alloy peeling foil obtained in Example B1 using the energy dispersive X-ray analyzer. 例A10のめっき液の分極曲線を測定した図である。It is the figure which measured the polarization curve of the plating solution of Example A10. 例B1のめっき液(従来のめっき液)の分極曲線を測定した図である。It is the figure which measured the polarization curve of the plating solution (conventional plating solution) of Example B1.

以下、本発明について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、任意に変形して実施することができる。   Hereinafter, the present invention will be described. However, the present invention is not limited to the following embodiments, and can be arbitrarily modified and implemented.

[パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液]
本発明のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩、(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有する。本発明の電解パラジウム銅合金めっき液では、(C)に属する化合物のモル濃度(以下、「Cp」という場合がある。)、(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値(以下、「P比」という場合がある。)、pHが後述する特定範囲内となっている。
また、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、後述するその他の成分を含有してもよい。
[Electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming palladium copper alloy release foil]
The electrolytic copper-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil of the present invention comprises (A) palladium (II) ammine complex salt, (B) copper (II) salt, (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound, (D) A tetravalent selenium compound and (E) a pyridinesulfonic acid compound are contained. In the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention, the molar concentration of the compound belonging to (C) (hereinafter sometimes referred to as “Cp”) and the molar concentration of the compound belonging to (C) are divided by the molar concentration of copper. The value (hereinafter sometimes referred to as “P ratio”) and pH are within a specific range described later.
Moreover, the electrolytic palladium copper alloy plating solution of this invention may contain the other component mentioned later.

<(A)パラジウム(II)アンミン錯塩>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、パラジウム(II)アンミン錯塩(パラジウム(Pd)イオンにアンモニア(NH)が配位した錯塩)を含有することが必須である。パラジウム(II)アンミン錯塩は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液のパラジウム源として用いられる。
パラジウム(II)アンミン錯塩は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。
<(A) Palladium (II) Ammine Complex>
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention must contain a palladium (II) ammine complex salt (a complex salt in which ammonia (NH 3 ) is coordinated to palladium (Pd) ions). The palladium (II) ammine complex salt is used as a palladium source for the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention.
The palladium (II) ammine complex salt is not limited to one type, and two or more types can be used in combination.

パラジウム(II)アンミン錯塩の具体例としては、ジクロロテトラアンミンパラジウム(II)([Pd(NH]Cl)、テトラアンミンパラジウム(II)硫酸塩([Pd(NH]SO)、テトラアンミンパラジウム(II)硝酸塩([Pd(NH](NO)、テトラアンミンパラジウム(II)スルファミン酸塩([Pd(NH](NHSO)、テトラアンミンパラジウム(II)メタンスルホン酸塩([Pd(NH](CHSO)、テトラアンミンパラジウム(II)水酸塩([Pd(NH](OH))、テトラアンミンパラジウム(II)炭酸塩([Pd(NH]CO)、テトラアンミンパラジウム(II)酢酸塩([Pd(NH](CHCOO))、テトラアンミンパラジウム(II)シュウ酸塩([Pd(NH]C)等のパラジウム(II)テトラアンミン錯塩(配位子として4つのアンモニア(NH)分子を有するパラジウム(II)アンミン錯塩);ジクロロジアンミンパラジウム(II)([PdCl(NH])、ジニトロジアンミンパラジウム(II)([Pd(NO(NH])等のパラジウム(II)ジアンミン錯塩(配位子として2つのアンモニア(NH)分子を有するパラジウム(II)アンミン錯塩);これらの水和物等が挙げられる。
これらのパラジウム(II)アンミン錯塩は、前記した本発明の効果を発揮しやすく、更に、良好な電解パラジウム銅合金めっき性能、めっき液への溶解のしやすさ、入手のしやすさ、コスト等の観点からも好ましい。
Specific examples of the palladium (II) ammine complex salt include dichlorotetraammine palladium (II) ([Pd (NH 3 ) 4 ] Cl 2 ), tetraammine palladium (II) sulfate ([Pd (NH 3 ) 4 ] SO 4 ). , Tetraamminepalladium (II) nitrate ([Pd (NH 3 ) 4 ] (NO 3 ) 2 ), tetraammine palladium (II) sulfamate ([Pd (NH 3 ) 4 ] (NH 2 SO 3 ) 2 ), tetraammine Palladium (II) methanesulfonate ([Pd (NH 3 ) 4 ] (CH 3 SO 3 ) 2 ), tetraammine palladium (II) hydrochloride ([Pd (NH 3 ) 4 ] (OH) 2 ), tetraammine Palladium (II) carbonate ([Pd (NH 3 ) 4 ] CO 3 ), tetraammine palladium (II) acetate ([Pd (NH 3 ) 4 ] (CH 3 COO) 2 ), tetraammine palladium (II) oxalate ([Pd (NH 3 ) 4 ] C 2 O 4 ) and other palladium (II) tetraammine complexes (four ammonia (NH 3 as ligands)) ) Palladium (II) ammine complex having a molecule); dichlorodiammine palladium (II) ([PdCl 2 (NH 3 ) 2 ]), dinitrodiammine palladium (II) ([Pd (NO 2 ) 2 (NH 3 ) 2 ] ) And the like (palladium (II) ammine complex salts having two ammonia (NH 3 ) molecules as ligands); hydrates thereof and the like.
These palladium (II) ammine complex salts easily exert the above-described effects of the present invention, and further have good electrolytic palladium copper alloy plating performance, ease of dissolution in a plating solution, availability, cost, etc. From the viewpoint of

また、これらの中でも、上記の点から、ジクロロテトラアンミンパラジウム(II)(別名:テトラアンミンパラジウム(II)塩化物)、テトラアンミンパラジウム(II)硫酸塩、ジクロロジアンミンパラジウム(II)、ジニトロジアンミンパラジウム(II)、テトラアンミンパラジウム(II)水酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)炭酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)硝酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)酢酸塩;これらの水和物が特に好ましい。   Of these, dichlorotetraamminepalladium (II) (also known as tetraamminepalladium (II) chloride), tetraamminepalladium (II) sulfate, dichlorodiammine palladium (II), dinitrodiammine palladium (II) Tetraamminepalladium (II) hydrochloride, tetraamminepalladium (II) carbonate, tetraamminepalladium (II) nitrate, tetraamminepalladium (II) acetate; these hydrates are particularly preferred.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のパラジウム(II)アンミン錯塩の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は、特に限定はなく、電解パラジウム銅合金めっき液全体に対して、金属パラジウムとして、1g/L〜100g/Lであることが好ましく、2g/L〜50g/Lであることがより好ましく、3g/L〜30g/Lであることが特に好ましい。   The content of the palladium (II) ammine complex salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention (the total content when two or more types are used in combination) is not particularly limited. The metal palladium is preferably 1 g / L to 100 g / L, more preferably 2 g / L to 50 g / L, and particularly preferably 3 g / L to 30 g / L.

電解パラジウム銅合金めっき液中のパラジウム(II)アンミン錯塩の含有量が少なすぎると、均一な色調の電解パラジウム銅合金皮膜の形成が困難になる場合がある。すなわち、電解パラジウム銅合金めっき皮膜の色や付き回りを目視で観察したときに、パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラといった析出異常が認められる場合がある。
また、形成したパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離する際の剥離性が悪化する場合がある。すなわち、柔軟性が悪く、剥離した際に割れやすい合金めっき皮膜になり、箔として使用できない場合がある。
If the content of the palladium (II) ammine complex salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too small, it may be difficult to form an electrolytic palladium copper alloy film having a uniform color. That is, when the color and surroundings of the electrolytic palladium copper alloy plating film are visually observed, precipitation abnormalities such as burns and unevenness may be observed in the palladium copper alloy plating film.
Moreover, the peelability at the time of peeling the formed palladium-copper alloy film from a metal substrate may deteriorate. That is, the flexibility is poor, and it becomes an alloy plating film that easily breaks when peeled, and may not be used as a foil.

一方、電解パラジウム銅合金めっき液中のパラジウム(II)アンミン錯塩の含有量が多すぎる場合は、電解パラジウム銅合金めっき液の性能としては特に問題はないが、上記含有量を超えて含有させても、パラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離して得られるパラジウム銅合金箔の性能は向上しない。また、パラジウム(II)アンミン錯塩は高価であり、不経済となる場合がある。   On the other hand, if the content of the palladium (II) ammine complex salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too large, there is no particular problem as the performance of the electrolytic palladium copper alloy plating solution, but the content exceeds the above content. However, the performance of the palladium copper alloy foil obtained by peeling the palladium copper alloy film from the metal substrate is not improved. Further, the palladium (II) ammine complex salt is expensive and may be uneconomical.

<(B)銅(II)塩>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、銅(II)塩を含有することが必須である。銅(II)塩は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の銅源として用いられる。
銅(II)塩は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。
<(B) Copper (II) salt>
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention must contain a copper (II) salt. Copper (II) salt is used as a copper source for the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention.
The copper (II) salt is not limited to one type, and two or more types can be used in combination.

銅(II)塩の具体例としては、硫酸銅(II)(CuSO)、塩化銅(II)(CuCl)、硝酸銅(II)(Cu(NO)、ピロリン酸銅(II)(Cu)、スルファミン酸銅(II)(Cu(SONH)、メタンスルホン酸銅(II)(Cu(CHSO)、炭酸銅(II)(CuCO)、水酸化銅(II)(Cu(OH))、ギ酸銅(II)(Cu(HCOO))、酢酸銅(II)(Cu(CHCOO))、シュウ酸銅(II)(CuC);これらの水和物等が挙げられる。
これらの銅(II)塩は、前記した本発明の効果を発揮しやすく、更に、良好な電解パラジウム銅合金めっき性能、めっき液への溶解のしやすさ、入手のしやすさ等の観点からも好ましい。
Specific examples of the copper (II) salt include copper sulfate (II) (CuSO 4 ), copper chloride (II) (CuCl 2 ), copper nitrate (II) (Cu (NO 3 ) 2 ), copper pyrophosphate (II ) (Cu 2 P 2 O 7 ), copper (II) sulfamate (Cu (SO 3 NH 2 ) 2 ), copper (II) methanesulfonate (Cu (CH 3 SO 3 ) 2 ), copper (II) carbonate (CuCO 3 ), copper hydroxide (II) (Cu (OH) 2 ), copper formate (II) (Cu (HCOO) 2 ), copper acetate (II) (Cu (CH 3 COO) 2 ), copper oxalate (II) (CuC 2 O 4 ); and their hydrates.
These copper (II) salts are easy to exert the effect of the present invention described above, and from the viewpoints of good electrolytic palladium copper alloy plating performance, ease of dissolution in plating solution, availability, etc. Is also preferable.

また、これらの中でも、上記の点から、硫酸銅(II)、塩化銅(II)、硝酸銅(II)、ピロリン酸銅(II)、酢酸銅(II);これらの水和物が特に好ましい。   Of these, copper sulfate (II), copper chloride (II), copper nitrate (II), copper pyrophosphate (II), copper acetate (II); these hydrates are particularly preferred from the above points. .

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中の銅(II)塩の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は、特に限定はなく、電解パラジウム銅合金めっき液全体に対して、金属銅として、0.3g/L〜30g/Lであることが好ましく、0.5g/L〜13g/Lであることがより好ましく、1g/L〜10g/Lであることが特に好ましい。   The content of the copper (II) salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention (the total content when two or more types are used in combination) is not particularly limited. The copper is preferably 0.3 g / L to 30 g / L, more preferably 0.5 g / L to 13 g / L, and particularly preferably 1 g / L to 10 g / L.

電解パラジウム銅合金めっき液中の銅(II)塩の含有量が少なすぎると、均一な色調の電解パラジウム銅合金皮膜の形成が困難になる場合がある。すなわち、電解パラジウム銅合金めっき皮膜の色や付き回りを目視で観察したときに、パラジウム銅合金めっきの析出異常が認められる場合がある。
また、形成したパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離する際の剥離性が悪化する場合がある。すなわち、柔軟性が悪く、剥離した際に割れやすい合金めっき皮膜になり、箔として使用できない場合がある。
If the content of the copper (II) salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too small, it may be difficult to form an electrolytic palladium copper alloy film having a uniform color. That is, when the color and surroundings of the electrolytic palladium-copper alloy plating film are visually observed, an abnormal precipitation of palladium-copper alloy plating may be observed.
Moreover, the peelability at the time of peeling the formed palladium-copper alloy film from a metal substrate may deteriorate. That is, the flexibility is poor, and it becomes an alloy plating film that easily breaks when peeled, and may not be used as a foil.

一方、電解パラジウム銅合金めっき液中の銅(II)塩の含有量が多すぎる場合は、電解パラジウム銅合金めっき皮膜が赤味を帯びた皮膜になる場合がある。また、皮膜を金属基体から剥離して得られた箔のめっき面(表面)が赤みを帯びていなくても、基体側の面(裏面)が赤みを帯びてしまう場合がある。   On the other hand, when the content of the copper (II) salt in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too large, the electrolytic palladium copper alloy plating film may become a reddish film. Moreover, even if the plating surface (front surface) of the foil obtained by peeling the film from the metal substrate is not reddish, the surface (back surface) on the substrate side may be reddish.

<(C)ピロリン酸化合物、トリポリリン酸化合物>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物を含有することが必須である。
本明細書において「ピロリン酸化合物」とはピロリン酸(H)又はその塩、「トリポリリン酸化合物」とはトリポリリン酸(H10)又はその塩をいう。
ピロリン酸化合物、トリポリリン酸化合物は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の錯化剤として作用し、パラジウム銅合金めっき皮膜形成を可能にしていると推察される。
<(C) pyrophosphate compound, tripolyphosphate compound>
It is essential that the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention contains a pyrophosphate compound and / or a tripolyphosphate compound.
In this specification, “pyrophosphate compound” refers to pyrophosphate (H 4 P 2 O 7 ) or a salt thereof, and “tripolyphosphate compound” refers to tripolyphosphate (H 5 P 3 O 10 ) or a salt thereof.
The pyrophosphoric acid compound and the tripolyphosphoric acid compound are presumed to act as a complexing agent for the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention to enable formation of a palladium copper alloy plating film.

ピロリン酸化合物の具体例としては、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸水素ナトリウム、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸水素カリウム、ピロリン酸アンモニウム、ピロリン酸水素アンモニウム、ピロリン酸;これらの水和物等が挙げられる。
これらのピロリン酸化合物は、前記した本発明の効果を発揮しやすく、更に、良好な電解パラジウム銅合金めっき性能、めっき液への溶解のしやすさ、入手のしやすさ等の観点からも好ましい。
Specific examples of the pyrophosphate compound include sodium pyrophosphate, sodium hydrogen pyrophosphate, potassium pyrophosphate, potassium hydrogen pyrophosphate, ammonium pyrophosphate, ammonium hydrogen pyrophosphate, pyrophosphoric acid; hydrates thereof, and the like.
These pyrophosphate compounds are preferable from the viewpoints of easily exhibiting the effects of the present invention described above, and further, good electrolytic palladium copper alloy plating performance, ease of dissolution in a plating solution, availability, and the like. .

また、これらの中でも、上記の点から、ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム、ピロリン酸アンモニウム、ピロリン酸;これらの水和物が特に好ましい。   Of these, sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, ammonium pyrophosphate, pyrophosphoric acid; and hydrates thereof are particularly preferable from the above points.

ピロリン酸化合物は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。   A pyrophosphoric acid compound is not limited to 1 type of use, It can also use 2 or more types together.

トリポリリン酸化合物の具体例としては、トリポリリン酸ナトリウム、トリポリリン酸カリウム、トリポリリン酸アンモニウム、トリポリリン酸;これらの水和物等が挙げられる。   Specific examples of the tripolyphosphate compound include sodium tripolyphosphate, potassium tripolyphosphate, ammonium tripolyphosphate, tripolyphosphate; hydrates thereof, and the like.

また、これらの中でも、上記の点から、トリポリリン酸ナトリウム、トリポリリン酸カリウム;これらの水和物が特に好ましい。   Of these, sodium tripolyphosphate, potassium tripolyphosphate; hydrates thereof are particularly preferable from the above points.

なお、トリポリリン酸カリウムは不純物として難溶性のメタリン酸カリウムを含有する場合があるが、メタリン酸カリウムを含まないものが特に好ましい。   In addition, although potassium tripolyphosphate may contain hardly soluble potassium metaphosphate as an impurity, the thing which does not contain potassium metaphosphate is especially preferable.

トリポリリン酸化合物は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。   A tripolyphosphoric acid compound is not limited to 1 type of use, It can also use 2 or more types together.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、(C)として、ピロリン酸化合物とトリポリリン酸化合物のどちらか一方のみを含有してもよいし、両方を含有してもよいが、少なくともトリポリリン酸化合物を含有するのが好ましい。
更に、意外なことに、ピロリン酸化合物とトリポリリン酸化合物を併用することで、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を使用して金属基体上に形成したパラジウム銅合金めっき皮膜を該金属基体から剥離して製造したパラジウム銅合金箔のカール(反り)を特に小さくすることができるので、ピロリン酸化合物とトリポリリン酸化合物の両方を含有するのが特に好ましい。
また、トリポリリン酸化合物のみをめっき液中に添加した場合であっても、めっき液中において、不純物としてピロリン酸化合物を生成するため、合金箔のカールを特に小さくすることができる。
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention may contain only one or both of a pyrophosphate compound and a tripolyphosphate compound as (C), but may contain at least a tripolyphosphate compound. It is preferable to contain.
Furthermore, surprisingly, by using the pyrophosphate compound and the tripolyphosphate compound together, the palladium copper alloy plating film formed on the metal substrate using the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is peeled off from the metal substrate. It is particularly preferable to contain both a pyrophosphate compound and a tripolyphosphate compound because the curl (warpage) of the palladium-copper alloy foil produced in this way can be made particularly small.
Further, even when only the tripolyphosphate compound is added to the plating solution, the pyrophosphate compound is generated as an impurity in the plating solution, so that the curl of the alloy foil can be particularly reduced.

ピロリン酸化合物とトリポリリン酸化合物を併用する場合、その比率は、ピロリン酸化合物1モルに対して、トリポリリン酸化合物は0.01モル以上であることが好ましく、0.1モル以上であることが特に好ましい。また、ピロリン酸化合物1モルに対して、トリポリリン酸化合物は5モル以下であることが好ましく、2モル以下であることが特に好ましい。
上記範囲内であると、特に合金箔のカールを小さくしやすい。
When the pyrophosphate compound and the tripolyphosphate compound are used in combination, the ratio of the tripolyphosphate compound is preferably 0.01 mol or more, particularly 0.1 mol or more, with respect to 1 mol of the pyrophosphate compound. preferable. Moreover, it is preferable that a tripolyphosphoric acid compound is 5 mol or less with respect to 1 mol of pyrophosphoric acid compounds, and it is especially preferable that it is 2 mol or less.
When it is within the above range, it is particularly easy to reduce the curl of the alloy foil.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物の含有量は、そのモル濃度をCpとしたとき、0.35mol/L以上1.1mol/L以下であることが必須である。なお、Cpは、複数のピロリン酸化合物・トリポリリン酸化合物を併用する場合は、それらの合計のモル濃度(ピロリン酸化合物とトリポリリン酸化合物とを併用する場合には、全てのピロリン酸化合物と全てのトリポリリン酸化合物の合計のモル濃度)を意味する。
Cpの範囲を上記範囲にコントロールすることで、本発明の顕著な効果が奏される。
The content of the pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention may be 0.35 mol / L or more and 1.1 mol / L or less when the molar concentration is Cp. It is essential. Cp is the total molar concentration of a plurality of pyrophosphate compounds / tripolyphosphate compounds (when using a combination of pyrophosphate compounds and tripolyphosphate compounds, all pyrophosphate compounds and all The total molar concentration of the tripolyphosphate compound).
By controlling the Cp range to the above range, the remarkable effects of the present invention can be achieved.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のCpの値が0.35mol/Lよりも小さいと、均一な色調の電解パラジウム銅合金皮膜の形成が困難になる。すなわち、ヤケやムラといったパラジウム銅合金めっきの析出異常が認められる場合がある。
また、そのような析出異常が目視で認められない場合でも、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を使用して得られたパラジウム銅合金皮膜を基体から剥離して製造したパラジウム銅合金箔の金属基体側であった面のパラジウムの比率が小さくなり、赤味を帯びた外観となりやすくなる場合がある。
さらには、めっき液側であった面(表面)におけるパラジウム比率と金属基体側であった面(裏面)のパラジウムの比率の差が大きくなり、表面が銀色外観、裏面が赤みを帯びた外観となり、表裏で箔の外観が異なってしまうため好ましくない。このように表裏でパラジウム比率の差が大きくなると、箔のカール(反り)が発生しやすくなる場合がある。
When the value of Cp in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is smaller than 0.35 mol / L, it is difficult to form an electrolytic palladium copper alloy film having a uniform color tone. In other words, abnormal deposition of palladium copper alloy plating such as burns and unevenness may be observed.
Moreover, even when such precipitation abnormality is not visually recognized, the metal of the palladium copper alloy foil produced by peeling the palladium copper alloy film obtained by using the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention from the substrate. In some cases, the ratio of palladium on the surface that was on the substrate side is reduced, and a reddish appearance is likely to occur.
Furthermore, the difference between the palladium ratio on the plating solution side (front surface) and the palladium ratio on the metal substrate side (back surface) increases, resulting in a silvery appearance on the surface and a reddish appearance on the back surface. This is not preferable because the appearance of the foil differs between the front and back surfaces. Thus, when the difference in palladium ratio between the front and back becomes large, curling (warping) of the foil is likely to occur.

一方、電解パラジウム銅合金めっき液中のCpの値が1.1mol/Lよりも大きい場合は、電解パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラが認められる場合がある。
また、めっき液中にザラツキやブツ、クラックといった欠陥が生じやすくなる場合がある。
さらに、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を使用して得られたパラジウム銅合金皮膜を基体から剥離して製造したパラジウム銅合金箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
On the other hand, when the value of Cp in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is larger than 1.1 mol / L, the electrolytic palladium copper alloy plating film may be burned or uneven.
In addition, defects such as roughness, unevenness, and cracks may easily occur in the plating solution.
Furthermore, the curl (warpage) of the palladium copper alloy foil produced by peeling the palladium copper alloy film obtained by using the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention from the substrate may be increased.

後述の実施例(例B1〜B5、B7〜B8)に示すように、Cpが0.3mol/L程度の従来のめっき液でも、基体にパラジウム銅合金めっき層を被覆するだけであれば、所望の目的に適うが、本発明のように酸化膜を有する金属基体上に均一に合金めっきを施し、該金属基体から剥離してパラジウム銅合金箔を製造する場合においては、表裏の合金比の差が大きく、箔がカールしてしまい、課題を克服できなかった。   As shown in the examples (Examples B1 to B5, B7 to B8) described later, even if a conventional plating solution having a Cp of about 0.3 mol / L is only coated with a palladium-copper alloy plating layer, it is desirable. In the case of producing a palladium-copper alloy foil by uniformly plating an alloy substrate on a metal substrate having an oxide film and producing a palladium-copper alloy foil by separating the metal substrate as in the present invention, However, the foil curled and could not overcome the problem.

上記のような効果を奏しやすくするために、Cpは、0.45mol/L以上であることが好ましく、0.55mol/L以上であることが特に好ましい。また、Cpは、0.9mol/L以下であることが好ましく、0.8mol/L以下であることが特に好ましい。   In order to facilitate the above effects, Cp is preferably 0.45 mol / L or more, particularly preferably 0.55 mol / L or more. Cp is preferably 0.9 mol / L or less, and particularly preferably 0.8 mol / L or less.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物のモル濃度Cpを銅のモル濃度で除した値(P比)が、特定の範囲内である。具体的には、P比が、4.8以上23.2以下である。
P比を上記範囲にコントロールすることで、本発明の顕著な効果が奏される。
In the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention, the value (P ratio) obtained by dividing the molar concentration Cp of the (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound by the molar concentration of copper is within a specific range. Specifically, the P ratio is 4.8 or more and 23.2 or less.
By controlling the P ratio within the above range, the remarkable effects of the present invention are exhibited.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のP比が、4.8よりも小さい場合、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を使用して得られたパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離して製造したパラジウム銅合金箔の表裏のパラジウム比率の差が大きくなる場合がある。
また、合金箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
When the P ratio in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is less than 4.8, the palladium copper alloy film obtained using the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is peeled off from the metal substrate. The difference in the palladium ratio between the front and back sides of the produced palladium-copper alloy foil may increase.
Moreover, the curl (warpage) of the alloy foil may increase.

一方、P比が23.2よりも大きい場合は、電解パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラが認められる場合がある。
また、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を使用して得られたパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離して製造した合金箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
On the other hand, when the P ratio is larger than 23.2, the electrolytic palladium copper alloy plating film may have burns or unevenness.
Moreover, the curl (warpage) of the alloy foil manufactured by peeling the palladium copper alloy film obtained by using the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention from the metal substrate may be increased.

上記のような効果を奏しやすくするために、P比は、6以上であることが好ましく、8以上であることが特に好ましい。また、P比は、20以下であることが好ましく、17以下であることが特に好ましい。   In order to facilitate the above effects, the P ratio is preferably 6 or more, particularly preferably 8 or more. Moreover, it is preferable that P ratio is 20 or less, and it is especially preferable that it is 17 or less.

CpとP比の両方を上記範囲にコントロールすることで、従来のめっき液では困難であった、パラジウム銅合金箔の製造に適したパラジウム銅合金めっき皮膜を製造することができる。すなわち、表裏のパラジウム比率の差が少なく、カール(反り)の少ない電解パラジウム銅合金箔を得ることができる。   By controlling both Cp and P ratio within the above range, it is possible to produce a palladium copper alloy plating film suitable for producing a palladium copper alloy foil, which was difficult with a conventional plating solution. That is, it is possible to obtain an electrolytic palladium-copper alloy foil with little difference in palladium ratio between the front and back surfaces and little curling.

<(D)四価のセレン化合物>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、四価のセレン化合物(Se(IV))を含有することが必須である。該四価のセレン化合物は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の電位調整剤として作用していると推察される。四価のセレン化合物によって、表面に酸化膜を有する金属基体上でも、安定してパラジウムと銅を合金化することができると考えられる。
四価のセレン化合物は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。
<(D) Tetravalent selenium compound>
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention must contain a tetravalent selenium compound (Se (IV)). The tetravalent selenium compound is presumed to act as a potential adjusting agent for the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention. It is considered that palladium and copper can be stably alloyed with a tetravalent selenium compound even on a metal substrate having an oxide film on the surface.
The tetravalent selenium compound is not limited to one type, and two or more types can be used in combination.

四価のセレン化合物の具体例としては、亜セレン酸(HSeO)、二酸化セレン(SeO)、亜セレン酸ナトリウム(NaSeO)、亜セレン酸カリウム(KSeO)等が挙げられる。
これらの四価のセレン化合物は、前記した本発明の効果を発揮しやすく、更に、良好な電解パラジウム銅合金めっき性能、めっき液への溶解のしやすさ、入手のしやすさ等の観点からも好ましい。
Specific examples of tetravalent selenium compounds include selenious acid (H 2 SeO 3 ), selenium dioxide (SeO 2 ), sodium selenite (Na 2 SeO 3 ), potassium selenite (K 2 SeO 3 ) and the like. Is mentioned.
These tetravalent selenium compounds easily exert the effects of the present invention described above, and from the viewpoints of good electrolytic palladium copper alloy plating performance, ease of dissolution in plating solution, availability, etc. Is also preferable.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中の四価のセレン化合物の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は、特に限定はなく、電解パラジウム銅合金めっき液全体に対して、セレンとして、0.001g/L〜1g/Lであることが好ましく、0.005g/L〜0.5g/Lであることがより好ましく、0.01g/L〜0.1g/Lであることが特に好ましい。   The content of the tetravalent selenium compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention (the total content when two or more types are used in combination) is not particularly limited, and the selenium with respect to the entire electrolytic palladium copper alloy plating solution. As 0.001 g / L to 1 g / L, preferably 0.005 g / L to 0.5 g / L, more preferably 0.01 g / L to 0.1 g / L. Particularly preferred.

電解パラジウム銅合金めっき液中の四価のセレン化合物の含有量が少なすぎると、パラジウムと銅が合金化せず、偏析する場合がある。   If the content of the tetravalent selenium compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too small, palladium and copper may not be alloyed and segregate in some cases.

一方、電解パラジウム銅合金めっき液中の四価のセレン化合物の含有量が多すぎる場合は、パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラといった析出異常が認められる場合がある。また、皮膜を金属基体から剥離して得られるパラジウム銅合金箔の剥離性が悪化する場合がある。   On the other hand, when the content of the tetravalent selenium compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too large, precipitation abnormalities such as burns and unevenness may be observed in the palladium copper alloy plating film. Moreover, the peelability of the palladium copper alloy foil obtained by peeling the film from the metal substrate may deteriorate.

なお四価のセレン化合物が酸化されて生成する六価のセレン化合物は、本発明の効果を奏しないが、悪影響も与えないため、電解副生成物としてめっき液中に存在してもよい。
一方、二価のセレン化合物は、本発明の効果を阻害するので、本発明のめっき液に存在することは好ましくない。
The hexavalent selenium compound produced by oxidation of the tetravalent selenium compound does not exhibit the effects of the present invention, but does not adversely affect the hexavalent selenium compound, and therefore may be present in the plating solution as an electrolytic byproduct.
On the other hand, since a bivalent selenium compound inhibits the effect of the present invention, it is not preferable to exist in the plating solution of the present invention.

<(E)ピリジンスルホン酸化合物>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、ピリジンスルホン酸化合物(ピリジン(CN)骨格とスルホ基(−SOH)を有する化合物)を含有することが必須である。ピリジンスルホン酸化合物は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の結晶調整剤として作用していると推察される。
ピリジンスルホン酸化合物は、1種の使用に限定されず2種以上を併用することもできる。
<(E) Pyridinesulfonic acid compound>
It is essential that the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention contains a pyridinesulfonic acid compound (a compound having a pyridine (C 5 H 5 N) skeleton and a sulfo group (—SO 3 H)). The pyridinesulfonic acid compound is presumed to act as a crystal adjusting agent for the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention.
The pyridinesulfonic acid compound is not limited to one type of use, and two or more types can be used in combination.

ピリジンスルホン酸化合物の具体例としては、ピリジン−3−スルホン酸、ピリジン−2−スルホン酸、ピリジン−4−スルホン酸、ピリジン−3−スルホン酸ナトリウム、ピリジン−2−スルホン酸ナトリウム、ピリジン−4−スルホン酸ナトリウム、ピリジン−3−スルホン酸カリウム、ピリジン−2−スルホン酸カリウム、ピリジン−4−スルホン酸カリウム、ピリジン−3−スルホン酸アンモニウム、ピリジン−2−スルホン酸アンモニウム、ピリジン−4−スルホン酸アンモニウム;これらの水和物等が挙げられる。
これらのピリジンスルホン酸化合物は、前記した本発明の効果を発揮しやすく、更に、良好な電解パラジウム銅合金めっき性能、めっき液への溶解のしやすさ、入手のしやすさ、コスト等の観点からも好ましい。
Specific examples of the pyridinesulfonic acid compound include pyridine-3-sulfonic acid, pyridine-2-sulfonic acid, pyridine-4-sulfonic acid, sodium pyridine-3-sulfonate, sodium pyridine-2-sulfonate, and pyridine-4. -Sodium sulfonate, potassium pyridine-3-sulfonate, potassium pyridine-2-sulfonate, potassium pyridine-4-sulfonate, ammonium pyridine-3-sulfonate, ammonium pyridine-2-sulfonate, pyridine-4-sulfone Ammonium acid; these hydrates are included.
These pyridinesulfonic acid compounds are easy to exert the effects of the present invention described above, and further, from the viewpoints of good electrolytic palladium copper alloy plating performance, ease of dissolution in plating solution, availability, cost, etc. Is also preferable.

また、これらの中でも、上記の点から、ピリジン−3−スルホン酸、ピリジン−3−スルホン酸ナトリウム、ピリジン−3−スルホン酸カリウム、ピリジン−3−スルホン酸アンモニウム;これらの水和物が特に好ましい。   Among these, from the above points, pyridine-3-sulfonic acid, sodium pyridine-3-sulfonate, potassium pyridine-3-sulfonate, ammonium pyridine-3-sulfonate; hydrates thereof are particularly preferable. .

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のピリジンスルホン酸化合物の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は、特に限定はなく、電解パラジウム銅合金めっき液全体に対して、ピリジンスルホン酸として、0.1g/L〜100g/Lであることが好ましく、0.5g/L〜50g/Lであることがより好ましく、1g/L〜20g/Lであることが特に好ましい。   The content of the pyridine sulfonic acid compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention (the total content when two or more are used in combination) is not particularly limited. The acid is preferably 0.1 g / L to 100 g / L, more preferably 0.5 g / L to 50 g / L, and particularly preferably 1 g / L to 20 g / L.

電解パラジウム銅合金めっき液中のピリジンスルホン酸化合物の含有量が少なすぎると、均一な色調の電解パラジウム銅合金皮膜の形成が困難になる場合がある。すなわち、電解パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラといった析出異常が認められる場合がある。また、形成したパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離する際の剥離性が悪化する場合がある。すなわち、柔軟性が悪く、剥離した際に割れやすい合金めっき皮膜になり、箔として使用できない場合がある。   If the content of the pyridinesulfonic acid compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too small, it may be difficult to form an electrolytic palladium copper alloy film having a uniform color. That is, there may be a case where a deposition abnormality such as burn or unevenness is observed in the electrolytic palladium copper alloy plating film. Moreover, the peelability at the time of peeling the formed palladium-copper alloy film from a metal substrate may deteriorate. That is, the flexibility is poor, and it becomes an alloy plating film that easily breaks when peeled, and may not be used as a foil.

一方、電解パラジウム銅合金めっき液中のピリジンスルホン酸化合物の含有量が多すぎる場合は、皮膜を金属基体から剥離して得られたパラジウム銅合金箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。   On the other hand, when the content of the pyridine sulfonic acid compound in the electrolytic palladium copper alloy plating solution is too large, the curl (warpage) of the palladium copper alloy foil obtained by peeling the film from the metal substrate may increase.

<pH>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液のpHは、7.5以上9.5以下であることが必須である。
pHが7.5よりも小さい場合は、パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラといった析出異常が認められる場合がある。また、形成したパラジウム銅合金皮膜を金属基体から剥離する際の剥離性が悪化する(すなわち、柔軟性が悪く、剥離する際に割れやすくなる)場合がある。
一方、pHが9.5よりも高い場合は、金属基体からめっき皮膜を剥離する際に残渣が付着しやすく、合金箔のカール(反り)が大きくなりやすくなる場合がある。
<PH>
The pH of the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is essential to be 7.5 or more and 9.5 or less.
When the pH is less than 7.5, precipitation abnormalities such as burns and unevenness may be observed in the palladium copper alloy plating film. Moreover, the peelability at the time of peeling off the formed palladium-copper alloy film from the metal substrate may be deteriorated (that is, the flexibility is poor and it is easy to break when peeling off).
On the other hand, when the pH is higher than 9.5, a residue tends to adhere when the plating film is peeled off from the metal substrate, and the curl (warpage) of the alloy foil tends to increase.

<その他の成分>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液には、上記(A)〜(E)の成分以外に、必要に応じて、その他の成分を適宜含有させて用いることができる。その他の成分の具体例としては、めっき液の導電性を良好にするための補助電導塩、めっきのpHを一定に保つためのpH緩衝剤、めっき液の泡切れを良好にするための界面活性剤等が挙げられる。
<Other ingredients>
In addition to the above components (A) to (E), the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention may contain other components as needed. Specific examples of other components include an auxiliary conductive salt for improving the conductivity of the plating solution, a pH buffer for keeping the plating pH constant, and a surface activity for improving the degassing of the plating solution. Agents and the like.

<<補助電導塩>>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液に必要に応じて含有させることのできる補助電導塩としては、公知のものを使用することができる。具体的には、塩化物塩、硫酸塩、硝酸塩、亜硝酸塩、リン酸塩、酢酸塩、炭酸塩等が挙げられる。
これらは、1種の使用に限定されず、2種以上を併用することができる。
<< Auxiliary conductive salt >>
As the auxiliary conductive salt that can be contained as required in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention, known ones can be used. Specific examples include chloride salts, sulfate salts, nitrate salts, nitrite salts, phosphate salts, acetate salts, carbonate salts, and the like.
These are not limited to one type of use, and two or more types can be used in combination.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液に用いる電導塩の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は特に限定されないが、0.01〜200g/Lが好ましく、0.1〜150g/Lがより好ましく、1〜100g/Lが特に好ましい。
めっき液中の補助電導塩の含有量が少なすぎると、めっき液の電導性が悪くめっき時の電圧が高くなる場合があり、一方、多すぎる場合は、パラジウム銅合金めっき皮膜にヤケやムラといった析出異常が認められる場合がある。
The content of the conductive salt used in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.01 to 200 g / L, preferably 0.1 to 150 g / L. L is more preferable, and 1 to 100 g / L is particularly preferable.
If the content of the auxiliary conductive salt in the plating solution is too small, the conductivity of the plating solution may be poor and the voltage during plating may be high. On the other hand, if the content is too large, the palladium copper alloy plating film may be burned or uneven. Precipitation abnormalities may be observed.

<<pH緩衝剤>>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液に必要に応じて含有されるpH緩衝剤としては、公知のpH緩衝剤であれば特に限定はない。好ましいものとして、ホウ酸、四ホウ酸、クエン酸、リンゴ酸、コハク酸、マロン酸、マレイン酸、フマル酸、グリシン;これらの酸の塩(カリウム塩、ナトリウム塩、アンモニウム塩)等が挙げられる。
これらは、1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。
<< pH buffer >>
The pH buffering agent contained as necessary in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is not particularly limited as long as it is a known pH buffering agent. Preferable examples include boric acid, tetraboric acid, citric acid, malic acid, succinic acid, malonic acid, maleic acid, fumaric acid, glycine; salts of these acids (potassium salt, sodium salt, ammonium salt) and the like. .
These may be used alone or in combination of two or more.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液中のpH緩衝剤の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は特に限定はないが、めっき液全体に対して、0.1g/L〜100g/Lが好ましく、1g/L〜50g/Lが特に好ましい。
めっき液中のpH緩衝剤の含有量が少なすぎると、緩衝効果が発揮され難い場合があり、一方、多すぎる場合は、緩衝効果の上昇が見られず不経済の場合がある。
The content of the pH buffering agent in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention (the total content when two or more types are used in combination) is not particularly limited, but is 0.1 g / L to 100 g based on the entire plating solution. / L is preferable, and 1 g / L to 50 g / L is particularly preferable.
If the content of the pH buffering agent in the plating solution is too small, the buffering effect may be difficult to be exhibited. On the other hand, if the content is too large, the buffering effect may not be increased and it may be uneconomical.

<<界面活性剤>>
本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、必要に応じて界面活性剤を含有してもよい。界面活性剤としては、公知のものを適宜使用することができ、例えば、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両性界面活性剤等が用いられる。
<< Surfactant >>
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention may contain a surfactant as necessary. As the surfactant, known ones can be used as appropriate, and for example, nonionic surfactants, anionic surfactants, cationic surfactants, amphoteric surfactants and the like are used.

ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル等が挙げられる。   Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene fatty acid ester and the like.

アニオン系界面活性剤の具体例としては、アルキル硫酸エステル塩、アルキルスルホコハク酸塩、β−ナフタレンスルホン酸ホルマリン縮合物等が挙げられる。   Specific examples of the anionic surfactant include alkyl sulfate ester salts, alkyl sulfosuccinates, β-naphthalene sulfonic acid formalin condensates and the like.

カチオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアンモニウム塩等が挙げられる。   Specific examples of the cationic surfactant include lauryl ammonium salt.

両性界面活性剤の具体例としては、ラウリルスルホベタイン等が挙げられる。   Specific examples of the amphoteric surfactant include lauryl sulfobetaine.

界面活性剤は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を混合して用いてもよい。また、系を跨いで2種以上の界面活性剤を併用してもよい。   Surfactant may be used individually by 1 type, and 2 or more types may be mixed and used for it. Two or more surfactants may be used in combination across the system.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液に用いる界面活性剤の含有量(2種以上併用する場合は合計含有量)は特に限定されないが、0.001〜10g/Lが好ましく、0.01〜5g/Lがより好ましく、0.05〜1g/Lが特に好ましい。   The content of the surfactant used in the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is not particularly limited, but is preferably 0.001 to 10 g / L, preferably 0.01 to 5 g. / L is more preferable, and 0.05 to 1 g / L is particularly preferable.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、表面に酸化膜を有する金属基体上にパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、それを剥離してパラジウム銅合金剥離箔を得るという用途に特に適した「パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液」である。
前述のように、めっきにより形成したパラジウム銅合金皮膜を剥離してパラジウム銅合金箔として使用する場合、皮膜としては十分な性能を有していたとしても、薄い箔として使用する場合、剥離性、カールのしやすさ、表裏での合金比率の均一性等の点において実用に耐えるかどうかが問題となるが、このような観点からパラジウム銅合金めっき液の組成等について検討した事例は従来無い。
本発明のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液は、前記(C)成分のモル濃度(Cp);前記(C)成分のモル濃度を銅のモル濃度で除した値(P比);溶液のpH等を調整することによって、上記した箔として使用する場合に重要となる物性を良好としたものである。
The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is particularly suitable for applications in which a palladium copper alloy plating film is formed on a metal substrate having an oxide film on the surface and then peeled off to obtain a palladium copper alloy release foil. "Electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming copper alloy release foil".
As mentioned above, when the palladium copper alloy film formed by plating is peeled off and used as a palladium copper alloy foil, even if it has sufficient performance as a film, when used as a thin foil, peelability, Whether it can withstand practical use in terms of ease of curling, uniformity of the alloy ratio on the front and back, etc. is a problem, but there has been no example of examining the composition of the palladium-copper alloy plating solution from such a viewpoint.
The electrolytic copper / copper alloy plating solution for forming a palladium / copper alloy release foil according to the present invention has a molar concentration (Cp) of the component (C); a value obtained by dividing the molar concentration of the component (C) by the molar concentration of copper (P ratio). ); By adjusting the pH and the like of the solution, the physical properties that are important when used as the above-described foil are improved.

[パラジウム銅合金剥離箔の製造方法]
本発明は、パラジウム銅合金剥離箔の製造方法にも関する。
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法は、前記したパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を使用して、表面に酸化膜を有する金属基体上にパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、該パラジウム銅合金めっき皮膜を該金属基体から剥離することでパラジウム銅合金剥離箔を得る。
[Method for producing palladium-copper alloy release foil]
The present invention also relates to a method for producing a palladium-copper alloy release foil.
The method for producing a palladium-copper alloy release foil of the present invention uses the above-described electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil to form a palladium-copper alloy plating film on a metal substrate having an oxide film on the surface. Then, the palladium-copper alloy plating film is peeled from the metal substrate to obtain a palladium-copper alloy release foil.

<金属基体>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法において使用される(本発明のパラジウム銅合金めっき液により、剥離箔の元となるパラジウム銅合金めっき皮膜をその上に形成される)金属基体は、表面に酸化膜を有する金属である。
表面に酸化膜を有する金属基体の例としては、ステンレス、チタン、アルミニウム、クロム;これらの金属のめっき面等が挙げられる。その中でも、良好な電解パラジウム銅合金めっき皮膜の剥離性能、入手のし易さ、低コスト等の観点から特に好ましいものとしては、ステンレスが挙げられる。
表面に均一な酸化膜を有しない、銅や黄銅等の基体では、めっき皮膜の密着性が強く、剥離箔を製造しにくくなるため好ましくない。
<Metal base>
The metal substrate used in the production method of the palladium-copper alloy release foil of the present invention (on which the palladium-copper alloy plating film that forms the release foil is formed by the palladium-copper alloy plating solution of the present invention) It is a metal having an oxide film.
Examples of the metal substrate having an oxide film on the surface include stainless steel, titanium, aluminum, chromium; plating surfaces of these metals, and the like. Among them, stainless steel is particularly preferable from the viewpoints of good peeling performance of the electrolytic palladium copper alloy plating film, availability, low cost, and the like.
A substrate such as copper or brass that does not have a uniform oxide film on the surface is not preferable because the adhesion of the plating film is strong and it becomes difficult to produce a release foil.

<パラジウムの平均比率>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法により製造されるパラジウム銅合金剥離箔のパラジウムの平均比率は、40質量%以上80質量%以下であることが好ましい。
<Average ratio of palladium>
It is preferable that the average ratio of palladium of the palladium copper alloy release foil manufactured by the method for manufacturing the palladium copper alloy release foil of the present invention is 40% by mass or more and 80% by mass or less.

<表裏のパラジウム比率の差>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法により製造されるパラジウム銅合金剥離箔において、金属基体側であった面におけるパラジウムの比率をX、めっき液側であった面におけるパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%であることが好ましい。
<Difference in palladium ratio between front and back>
In the palladium copper alloy release foil manufactured by the method for manufacturing a palladium copper alloy release foil of the present invention, the ratio of palladium on the surface that was on the metal substrate side is X 1 , and the ratio of palladium on the surface that is on the plating solution side is X When X is 2 , it is preferable that | X 2 −X 1 | ≦ 15 mass%.

<表裏のパラジウム比率の範囲>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法により製造されるパラジウム銅合金剥離箔において、上記した各面のパラジウム比率X、Xはともに40質量%以上80質量%以下である(40質量%≦X≦80質量%、かつ、40質量%≦X≦80質量%である)のが好ましい。
<Range of front and back palladium ratio>
In the palladium copper alloy release foil manufactured by the method for manufacturing the palladium copper alloy release foil of the present invention, the palladium ratios X 1 and X 2 on each surface described above are both 40% by mass or more and 80% by mass or less (40% by mass). ≦ X 1 ≦ 80 mass% and 40 mass% ≦ X 2 ≦ 80 mass%).

<陰極電流密度>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法は、前記した本発明のパラジウム銅合金めっき液を用いて、表面に酸化膜を有する金属基体上にめっきをするに際し、陰極電流密度を0.5A/dm以上10A/dm以下の範囲でめっき処理を行うものである。
陰極電流密度が上記下限以上であると、めっき析出速度が十分となり、生産性が向上する。上記下限未満の場合はめっき時間が長くなる場合や、赤味を帯びた箔となる場合がある。
一方、陰極電流密度が上記上限以下であると、析出皮膜の外観が良好となる。上記上限よりも大きい場合は、箔の柔軟性が乏しくなる場合や箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
<Cathode current density>
The production method of the palladium-copper alloy release foil of the present invention is such that when the above-described palladium-copper alloy plating solution of the present invention is used for plating on a metal substrate having an oxide film on the surface, the cathode current density is 0.5 A / in dm 2 or more 10A / dm 2 or less in the range and performs plating process.
When the cathode current density is not less than the above lower limit, the plating deposition rate is sufficient, and the productivity is improved. If it is less than the above lower limit, the plating time may be long, or the foil may be reddish.
On the other hand, when the cathode current density is not more than the above upper limit, the appearance of the deposited film is improved. When larger than the said upper limit, the softness | flexibility of foil may become scarce or the curl (warp) of foil may become large.

特に、ラック式めっきで行う場合は、陰極電流密度は、0.5〜3.0A/dmがより好ましい。
また、液中噴流式めっき等の液撹拌速度が大きい条件の場合は、0.7〜10A/dmがより好ましい。
In particular, when performing by rack type plating, the cathode current density is more preferably 0.5 to 3.0 A / dm 2 .
Moreover, in the case of conditions with a high liquid stirring speed such as submerged jet plating, 0.7 to 10 A / dm 2 is more preferable.

<箔の厚さ>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法は、0.5μm以上20μm以下となるようにパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、その後該金属基体から該パラジウム銅合金めっき皮膜を剥離して形成する。
箔の厚さが上記下限以上となるように製造すると、ハンドリングに耐えうる箔の強度が得られる。上記下限未満のときは、箔の強度が不足して破れる場合がある。
一方、箔の厚さが上記上限以下となるように製造すると、生産性が向上し製造コストを低く抑えることができる。上記上限よりも厚い場合は、箔の製造コストが高くなる場合や箔の柔軟性が乏しくなる場合がある。
<Thickness of foil>
In the method for producing a palladium-copper alloy release foil of the present invention, a palladium-copper alloy plating film is formed so as to be 0.5 μm or more and 20 μm or less, and then the palladium-copper alloy plating film is formed from the metal substrate.
If it manufactures so that the thickness of foil may become more than the said minimum, the intensity | strength of the foil which can endure handling is obtained. When it is less than the above lower limit, the strength of the foil may be insufficient and may be broken.
On the other hand, if it manufactures so that the thickness of foil may be below the said upper limit, productivity will improve and manufacturing cost can be restrained low. When it is thicker than the above upper limit, the manufacturing cost of the foil may increase or the flexibility of the foil may be poor.

<浴温>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法でめっきをする際の浴温(めっき液の温度)は、特に限定はないが、20〜90℃が好ましい。
浴温が上記下限以上であると、めっき合金箔の外観が良好となる。また、上記上限以下であると、めっき液の分解が起こりにくい。
浴温は、より好ましくは、40〜80℃であり、特に好ましくは50〜70℃である。
<Bath temperature>
The bath temperature (the temperature of the plating solution) for plating by the method for producing the palladium-copper alloy release foil of the present invention is not particularly limited, but is preferably 20 to 90 ° C.
When the bath temperature is equal to or higher than the above lower limit, the appearance of the plated alloy foil is improved. Further, when the amount is not more than the above upper limit, the plating solution is hardly decomposed.
The bath temperature is more preferably 40 to 80 ° C, particularly preferably 50 to 70 ° C.

<撹拌・搖動>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法において、パラジウム銅合金めっき処理を行う工程では、一般的なめっき処理の撹拌条件である無撹拌で行なってもよいし、撹拌しながら行ってもよい。撹拌を行う場合、機械的撹拌、空気撹拌、液中噴流撹拌等しながら、上記酸化膜を有する金属基体上に電解パラジウム銅合金めっきを施すことができる。
また、ラック方式でめっきを行う場合は、基体を搖動しながらめっき処理することが好ましい。
<Stirring and peristalsis>
In the method for producing the palladium-copper alloy release foil of the present invention, the step of performing the palladium-copper alloy plating process may be performed without stirring, which is a general stirring condition for plating, or may be performed while stirring. When stirring is performed, electrolytic palladium copper alloy plating can be performed on the metal substrate having the oxide film while performing mechanical stirring, air stirring, submerged jet stirring, and the like.
Moreover, when plating by a rack system, it is preferable to perform a plating process while shaking a base | substrate.

<陽極>
パラジウム銅合金めっき処理を行う工程において使用する陽極は、チタン、チタン白金、酸化イリジウム等の不溶性陽極であってもよいし、パラジウム陽極及び銅陽極を可溶性陽極として用いてもよい。ステンレス陽極は、めっき液中に鉄、ニッケル、クロム等の含有成分が溶出するため好ましくない。
メンテナンスが容易な点から、不溶性陽極を使用することが特に好ましい。
パラジウム陽極及び銅陽極を可溶性陽極として使用する場合は、所望するパラジウム銅合金剥離箔の合金比と等しくなるよう陽極の質量比を算出し、パラジウム陽極と銅陽極をそれぞれめっき液中に浸漬することが好ましい。
<Anode>
The anode used in the step of performing the palladium-copper alloy plating treatment may be an insoluble anode such as titanium, titanium platinum, iridium oxide or the like, and a palladium anode and a copper anode may be used as the soluble anode. A stainless steel anode is not preferable because components such as iron, nickel and chromium are eluted in the plating solution.
In view of easy maintenance, it is particularly preferable to use an insoluble anode.
When using a palladium anode and a copper anode as soluble anodes, calculate the mass ratio of the anode to be equal to the desired alloy ratio of the palladium copper alloy release foil, and immerse the palladium anode and the copper anode in the plating solution, respectively. Is preferred.

<金属基体の形状>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法において、パラジウム銅合金めっき処理を行う工程において陰極となる金属基体の形状は特に限定されない。例えば、板状、帯状等の平面な基体でもよいし、ドラム状の曲面の基体であってもよい。
<Shape of metal base>
In the method for producing a palladium-copper alloy release foil of the present invention, the shape of the metal substrate serving as the cathode in the step of performing the palladium-copper alloy plating process is not particularly limited. For example, a flat substrate such as a plate shape or a belt shape may be used, or a drum-shaped curved substrate may be used.

<金属基体の表面粗さ>
金属基体の表面粗さは特に限定されないが、剥離性の観点から、Sa(算術平均粗さ)が0.5μm未満であるのが好ましく、0.2μm未満であるのが特に好ましい。
Saが0.5μmよりも大きいと、電解パラジウム銅合金箔の剥離性が悪化する場合がある。
<Surface roughness of metal substrate>
The surface roughness of the metal substrate is not particularly limited, but Sa (arithmetic average roughness) is preferably less than 0.5 μm, particularly preferably less than 0.2 μm, from the viewpoint of peelability.
When Sa is larger than 0.5 μm, the peelability of the electrolytic palladium copper alloy foil may deteriorate.

<めっき前処理>
めっき処理の前処理として、金属基体に、脱脂処理、脱脂後の中和処理等、一般的なめっき前処理を行うことができる。
また、剥離性を向上させるために、バフ研磨、ケミカルポリッシング、電解研磨処理等の表面研磨処理を行い、金属基体の表面粗さを低減することができる。
<Plating pretreatment>
As a pretreatment for the plating treatment, general metal plating pretreatment such as degreasing treatment and neutralizing treatment after degreasing can be performed on the metal substrate.
Moreover, in order to improve peelability, surface polishing treatments such as buffing, chemical polishing, and electrolytic polishing can be performed to reduce the surface roughness of the metal substrate.

<下地めっき処理>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法においては、上記前処理を施した金属基体上に、パラジウム銅合金めっきを直接施してもよいし、金属基体上に下地として電解パラジウムめっき皮膜を薄く形成してから、パラジウム銅合金めっき皮膜を形成してもよい。
一般的なパラジウム銅合金めっき皮膜の形成の際に行われるように、酸化膜を有する金属基体上でも密着性が得られるような下地めっき処理を行うことは、本発明の課題(良好なパラジウム銅合金剥離箔を形成すること)に反する場合がある。
<Under plating treatment>
In the method for producing a palladium-copper alloy release foil of the present invention, a palladium-copper alloy plating may be directly applied on the pretreated metal substrate, or a thin electrolytic palladium plating film is formed on the metal substrate as a base. Then, a palladium copper alloy plating film may be formed.
As in the case of forming a general palladium copper alloy plating film, it is an object of the present invention (good palladium copper) to perform a base plating treatment that can provide adhesion even on a metal substrate having an oxide film. This may be contrary to the formation of an alloy release foil.

パラジウム銅合金めっき皮膜の下地として電解パラジウムめっき皮膜を形成する場合、公知の電解パラジウムめっき液を使用することができる。所望するパラジウム銅合金めっき皮膜の厚さの10%以下となるように下地の電解パラジウムめっき皮膜を形成することが好ましく、5%以下となるように形成することが特に好ましい。
このようにすることで、電解パラジウム銅合金剥離箔の特性を損なうことなく、酸化膜を有する金属基体からの剥離性を一段と向上することができる。
下地の電解パラジウムめっき皮膜が10%よりも厚くなるように形成すると、剥離性は良好になるが箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
When an electrolytic palladium plating film is formed as a base of the palladium copper alloy plating film, a known electrolytic palladium plating solution can be used. The underlying electrolytic palladium plating film is preferably formed so as to be 10% or less of the desired palladium copper alloy plating film thickness, and particularly preferably formed so as to be 5% or less.
By doing in this way, the peelability from the metal base | substrate which has an oxide film can be improved further, without impairing the characteristic of electrolytic palladium copper alloy peeling foil.
If the underlying electrolytic palladium plating film is formed to be thicker than 10%, the peelability is improved, but the curl (warpage) of the foil may be increased.

<剥離方法>
本発明のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法において、金属基体上に形成したパラジウム銅合金めっき皮膜を該金属基体から剥離する際には、機械的な剥離方法で行うのが好ましい。
例えば、カッター、ワイヤーソー、スタンピング等でめっき層から基体に達する切れ込みを入れ、めっき層を直接挟み込みこんで剥離するか、水流や水中超音波処理によって金属基体から箔を剥離させることが好ましい。基体が回転ドラムの場合は、公知の剥離用ベルト、ローラー等で押さえつけて箔のみを剥離する方法が好ましい。
<Peeling method>
In the method for producing the palladium-copper alloy release foil of the present invention, when the palladium-copper alloy plating film formed on the metal substrate is peeled from the metal substrate, it is preferably performed by a mechanical peeling method.
For example, it is preferable to make a notch reaching the substrate from the plating layer with a cutter, a wire saw, stamping or the like, and sandwich the plating layer directly to separate, or peel the foil from the metal substrate by water flow or underwater ultrasonic treatment. When the substrate is a rotating drum, a method of peeling only the foil by pressing with a known peeling belt, roller or the like is preferable.

[パラジウム銅合金箔]
本発明は、パラジウム銅合金箔にも関する。
本発明のパラジウム銅合金箔は、厚さが0.5μm以上20μm以下であり、パラジウムの平均比率が40質量%以上80質量%以下であって、一方の面のパラジウムの比率をX、他方の面のパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%である。
本発明のパラジウム銅合金箔は、表裏のパラジウム比率の差が少なく、表裏共に銀色外観を有し、箔としての諸性質(柔軟性等)に優れ、実用に耐える。また、本発明のパラジウム銅合金箔は、通常、箔中にセレンを含有する。
[Palladium copper alloy foil]
The present invention also relates to a palladium copper alloy foil.
The palladium copper alloy foil of the present invention has a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less, an average ratio of palladium of 40% by mass or more and 80% by mass or less, and the ratio of palladium on one surface is X A , | X B -X A | ≦ 15 mass%, where X B is the ratio of palladium on the surface.
The palladium copper alloy foil of the present invention has a small difference in palladium ratio between the front and back sides, has a silver appearance on both the front and back sides, is excellent in various properties (such as flexibility) as a foil, and is practically usable. Moreover, the palladium copper alloy foil of the present invention usually contains selenium in the foil.

電解めっき法により、金属基体上にパラジウム銅合金皮膜を得て、それを剥離してパラジウム銅合金箔を得ようとする場合に、従来のめっき液を使用すると、皮膜として外見的に問題が無くても、皮膜を剥離して箔にした場合に、表裏の比率の差が大きい箔となってしまう場合があること(後述の実施例の例B1、B3〜B4、B7〜B8参照)は、本発明者らにより初めて得られた意外な知見である。
前記[パラジウム銅合金剥離箔の製造方法]の項で述べたように、本発明の「パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液」を使用して金属基体上にパラジウム銅合金めっき皮膜を得て、該パラジウム銅合金めっき皮膜を剥離することにより、表裏のパラジウム比率の差が少ないパラジウム銅合金箔(本発明のパラジウム銅合金箔)を得ることができるが、かかる方法は、本発明のパラジウム銅合金箔を得るための方法の一例に過ぎず、他の方法で製造したパラジウム銅合金箔が、「本発明のパラジウム銅合金箔」の範囲外となるものではない。
When an electrolytic plating method is used to obtain a palladium copper alloy film on a metal substrate and the palladium copper alloy foil is peeled off to obtain a palladium copper alloy foil, there is no problem in appearance as a film when a conventional plating solution is used. However, when the film is peeled to form a foil, the foil may have a large difference in the ratio between the front and back surfaces (see Examples B1, B3-B4, B7-B8 in Examples below). This is an unexpected finding obtained for the first time by the present inventors.
As described in the above section [Method for producing palladium-copper alloy release foil], a palladium-copper alloy plating film on a metal substrate using the “electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil” of the present invention. The palladium-copper alloy plating film is peeled off to obtain a palladium-copper alloy foil (palladium-copper-alloy foil of the present invention) with a small difference in the palladium ratio between the front and back surfaces. It is only an example of the method for obtaining this palladium copper alloy foil, and the palladium copper alloy foil manufactured by other methods is not outside the scope of the “palladium copper alloy foil of the present invention”.

<厚さ>
本発明のパラジウム銅合金箔は、厚さが0.5μm以上20μm以下である。
箔の厚さが上記下限以上であると、ハンドリングに耐えうる箔の強度が得られる。上記下限未満のときは、破れやすくなる場合がある。
一方、箔の厚さが上記上限以下であると製造コストを低く抑えることができる。上記上限よりも厚い場合は、箔のコストが高くなる場合や箔の柔軟性が乏しくなる場合がある。
<Thickness>
The palladium copper alloy foil of the present invention has a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less.
When the thickness of the foil is not less than the above lower limit, the strength of the foil that can withstand handling can be obtained. If it is less than the above lower limit, it may be easily broken.
On the other hand, when the thickness of the foil is not more than the above upper limit, the production cost can be kept low. If it is thicker than the above upper limit, the cost of the foil may increase or the flexibility of the foil may be poor.

<パラジウムの平均比率>
本発明のパラジウム銅合金箔は、パラジウムの平均比率が、40質量%以上80質量%以下のものである。
ここで、「平均比率」とは、パラジウム銅合金めっき箔全体におけるパラジウムの含有比率を平均化したものであり、後述の実施例に記載の方法で測定される。すなわち、厚さ方向のパラジウムの平均比率である。
パラジウムの平均比率は、45質量%以上であることが好ましく、50質量%以上であることが特に好ましい。また、75質量%以下であることが好ましく、70質量%以下であることが特に好ましい。
<Average ratio of palladium>
The palladium copper alloy foil of the present invention has an average palladium ratio of 40% by mass to 80% by mass.
Here, the “average ratio” is an average of the palladium content ratio in the entire palladium-copper alloy-plated foil, and is measured by the method described in Examples below. That is, the average ratio of palladium in the thickness direction.
The average ratio of palladium is preferably 45% by mass or more, and particularly preferably 50% by mass or more. Moreover, it is preferable that it is 75 mass% or less, and it is especially preferable that it is 70 mass% or less.

パラジウムの平均比率が上記下限以上であると銀色外観の箔となるため好ましい。上記下限未満のときは、赤味を帯びた外観となる場合がある。
一方、パラジウムの平均比率が上記上限以下であると柔軟性のある箔となるため好ましい。上記上限よりも大きい場合は、柔軟性が悪くなる場合がある。
It is preferable that the average ratio of palladium is equal to or more than the lower limit because a foil having a silver appearance is obtained. When it is less than the above lower limit, it may have a reddish appearance.
On the other hand, when the average ratio of palladium is not more than the above upper limit, a flexible foil is preferable. When larger than the said upper limit, a softness | flexibility may worsen.

(A)パラジウム(II)アンミン錯塩と、(B)銅(II)塩の含有比率(モル比)を(A):(B)=1:0.3〜1:1.8程度にすることにより、パラジウムの平均比率を上記範囲にしやすい。
また、pHを7.5以上9.5以下とすることにより、パラジウムの平均比率を上記範囲にしやすい。
(A) The content ratio (molar ratio) of the palladium (II) ammine complex salt and the (B) copper (II) salt should be about (A) :( B) = 1: 0.3 to 1: 1.8. Therefore, the average ratio of palladium can be easily adjusted to the above range.
Moreover, it is easy to make the average ratio of palladium into the said range by making pH into 7.5 or more and 9.5 or less.

<表裏のパラジウム比率の差>
本発明のパラジウム銅合金箔は、一方の面のパラジウムの比率をX、他方の面のパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%である。
なお、前記[パラジウム銅合金剥離箔の製造方法]の項に記載の方法で本発明のパラジウム銅合金箔を製造する場合、Xは金属基体側であった面(裏面)のパラジウムの比率(X)、Xはめっき液側であった面(表面)のパラジウムの比率(X)である。
|X−X|≦15質量%であることで、表裏で外観の差が小さく、箔のカール(反り)が起こりにくくなる。|X−X|が15質量%より大きいと、表裏で外観が異なる場合や箔のカール(反り)が大きくなる場合がある。
|X−X|≦13質量%であることが好ましく、|X−X|≦10質量%であることが特に好ましい。
<Difference in palladium ratio between front and back>
Palladium copper alloy foil of the present invention, the proportion of palladium on one side X A, the ratio of the palladium on the other side in the case of the X B, | a ≦ 15 wt% | X B -X A.
Incidentally, the case of producing a palladium-copper alloy foil of the present invention by the method described in the section [Method of Manufacturing palladium copper alloy peeling foil], X A ratio of palladium surface (back surface) of a metal base body ( X 1 ) and X B are the ratio (X 2 ) of palladium on the surface (surface) that was on the plating solution side.
When | X B −X A | ≦ 15% by mass, the difference in appearance between the front and back surfaces is small, and the curling (warping) of the foil hardly occurs. When | X B -X A | is larger than 15% by mass, the appearance may be different between the front and back sides, and the curl (warpage) of the foil may be increased.
It is preferable that | X B -X A | ≦ 13 mass%, and it is particularly preferable that | X B −X A | ≦ 10 mass%.

Cp、P比、pHが前記特定範囲に調整された本発明のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を使用して、前記[パラジウム銅合金剥離箔の製造方法]の項に記載の方法]を使用することで、このような表裏のパラジウム比率の差の少ないラジウム銅合金箔を製造しやすい。   Using the electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil of the present invention in which Cp, P ratio, and pH are adjusted to the specific range, described in the section [Method for producing palladium-copper alloy release foil]. By using this method, it is easy to produce such a radium copper alloy foil with a small difference in palladium ratio between the front and back sides.

<表裏のパラジウム比率の範囲>
本発明のパラジウム銅合金箔は、上記した表裏のパラジウム比率X、Xはともに40質量%以上80質量%以下である(40質量%≦X≦80質量%、かつ、40質量%≦X≦80質量%である)のが好ましい。
、Xが上記下限以上となるようにすることで、銀色外観のパラジウム銅合金箔が得られるため好ましい。上記下限未満となると赤味を帯びた箔となる場合がある。
一方、X、Xが上記上限以下であると、柔軟な箔となるため好ましい。上記上限よりも大きいと、箔の柔軟性が得られなくなる場合や箔のカール(反り)が大きくなる場合があり好ましくない。
<Range of front and back palladium ratio>
In the palladium copper alloy foil of the present invention, the above-described front and back palladium ratios X A and X B are both 40% by mass or more and 80% by mass or less (40% by mass ≦ X A ≦ 80% by mass and 40% by mass ≦ X B ≦ 80 mass%) is preferred.
It is preferable that X A and X B be equal to or more than the lower limit because a palladium-copper alloy foil having a silver appearance can be obtained. If it is less than the above lower limit, a reddish foil may be obtained.
On the other hand, it is preferable that X A and X B are not more than the above upper limit because a flexible foil is obtained. If it is larger than the above upper limit, the flexibility of the foil may not be obtained or the curl (warp) of the foil may be increased.

<セレン>
本発明のパラジウム銅合金箔は、通常、箔中にセレンを含有する。セレンの含有量は、柔軟性のある箔が得られやすいことから、パラジウム銅合金箔に対して0.01質量%以上であることが好ましく、0.1質量%以上であることが特に好ましい。また、2質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることが特に好ましい。
セレンの含有量が上記下限未満であるとパラジウムと銅が偏析し合金化が不十分となる場合がある。
一方、セレンの含有量が上記上限よりも多いと箔の外観が黒味を帯びる場合や箔の柔軟性が不十分となる場合がある。
セレンの含有量は、後述の実施例に記載の方法で測定されるものである。
<Selenium>
The palladium copper alloy foil of the present invention usually contains selenium in the foil. The content of selenium is preferably 0.01% by mass or more, particularly preferably 0.1% by mass or more, based on the palladium copper alloy foil, because a flexible foil is easily obtained. Moreover, it is preferable that it is 2 mass% or less, and it is especially preferable that it is 1 mass% or less.
If the selenium content is less than the above lower limit, palladium and copper may segregate, resulting in insufficient alloying.
On the other hand, when the content of selenium is larger than the above upper limit, the appearance of the foil may be blackish or the flexibility of the foil may be insufficient.
The selenium content is measured by the method described in the examples below.

<柔軟性>
本発明のパラジウム銅合金箔は、外径5mmのステンレス丸棒に沿ってU字型に180度折り曲げ可能である。折り曲げ後も箔が破断することはなく、柔軟性に優れている。
<Flexibility>
The palladium copper alloy foil of the present invention can be bent 180 degrees into a U shape along a stainless steel round bar having an outer diameter of 5 mm. Even after bending, the foil does not break and is excellent in flexibility.

[めっき液調製用水溶液]
前記[パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液]の項で述べた、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の成分のうち、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩は、貴金属(パラジウム)のため非常に高価であり、めっき液中に含有した状態で長期保管するのは不経済となる場合がある。
また、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物を水に溶解し、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を加え室温で長期保管すると、ピロリン酸及び/又はトリポリリン酸とパラジウムアンミン錯塩の複塩が塩析する場合がある。
このため、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、「(A)パラジウム(II)アンミン錯塩以外の主成分を含有させた電解パラジウム銅合金めっき液調製用水溶液」として保存しておき、めっきを行う際にめっき液の使用者が(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を別途添加して使用することも好ましい。
[Plating solution aqueous solution]
Among the components of the electrolytic palladium-copper alloy plating solution of the present invention described in the above section [Electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil], (A) palladium (II) ammine complex salt is a precious metal (palladium). ) Is extremely expensive, and it may be uneconomical to store for a long time in the state of being contained in the plating solution.
In addition, when (C) pyrophosphate compound and / or tripolyphosphate compound is dissolved in water and (A) palladium (II) ammine complex salt is added and stored at room temperature for a long time, pyrophosphate and / or tripolyphosphate and palladium ammine complex salt are mixed. Salt may salt out.
For this reason, the electrolytic palladium-copper alloy plating solution of the present invention is stored as “Aqueous solution for preparing an electrolytic palladium-copper alloy plating solution containing main components other than (A) palladium (II) ammine complex salt”. When performing, it is also preferable that the user of the plating solution separately uses (A) palladium (II) ammine complex salt.

すなわち、本発明は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を添加することによって前記のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を調製するためのめっき液調製用水溶液にも関する。
本発明のめっき液調製用水溶液は、(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、(E)ピリジンスルホン酸化合物(すなわち、前記[パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液]の項で述べた本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の成分のうち、(A)以外)を含有する。
That is, this invention relates also to the aqueous solution for plating solution preparation for preparing the said electrolytic palladium copper alloy plating solution for palladium-copper alloy peeling foil formation by adding (A) palladium (II) ammine complex salt.
The aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention comprises (B) a copper (II) salt, (C) a pyrophosphate compound and / or a tripolyphosphate compound, (D) a tetravalent selenium compound, (E) a pyridinesulfonic acid compound (ie In addition, among the components of the electrolytic palladium-copper alloy plating solution of the present invention described in the above section [Electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy peeling foil], contains (other than (A)).

本発明の本発明のめっき液調製用水溶液に、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を添加してパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を調製する際には、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を直接(固体のまま)添加してもよいし、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を水に溶かして水溶液とし、水溶液同士を混合してもよい。   When preparing an electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil by adding (A) palladium (II) ammine complex salt to the aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention, (A) palladium (II) Ammine complex salt may be added directly (as a solid), or (A) palladium (II) ammine complex salt may be dissolved in water to form an aqueous solution, and the aqueous solutions may be mixed.

水溶液同士を混合する場合、希釈されて液量が増えるため、本発明のめっき液調製用水溶液の(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸に属する化合物のモル濃度(Cp)の上限は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液よりも高濃度であることが好ましい。
具体的には、本発明のめっき液調製用水溶液のCpは0.35mol/L以上1.7mol/L以下である。
When mixing aqueous solutions, the amount of the solution is increased by dilution, so the upper limit of the molar concentration (Cp) of the compound belonging to (C) pyrophosphoric acid compound and / or tripolyphosphoric acid in the aqueous solution for plating solution preparation of the present invention is The concentration is preferably higher than that of the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the invention.
Specifically, Cp of the aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention is 0.35 mol / L or more and 1.7 mol / L or less.

本発明のめっき液調製用水溶液の(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値(P比)は、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液の場合と同じく、4.8以上23.2以下である。   The value (P ratio) obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) in the aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention by the molar concentration of copper is 4.8, as in the case of the electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention. It is 23.2 or less.

本発明のめっき液調製用水溶液のpHは、7.5以上であることが好ましく、8.0以上であることが特に好ましい。また、10.0以下であることが好ましく、9.5以下であることが特に好ましい。   The pH of the aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention is preferably 7.5 or higher, and particularly preferably 8.0 or higher. Moreover, it is preferable that it is 10.0 or less, and it is especially preferable that it is 9.5 or less.

本発明のめっき液調製用水溶液に、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩を添加し、必要に応じてpHを7.5以上9.5以下に調整することにより、前記の本発明の電解パラジウム銅合金めっき液を調製することができる。   By adding (A) palladium (II) ammine complex salt to the aqueous solution for preparing a plating solution of the present invention and adjusting the pH to 7.5 or more and 9.5 or less as necessary, the electrolytic palladium of the present invention described above is prepared. A copper alloy plating solution can be prepared.

Cp、P比、pHが前記特定範囲に調整された本発明のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液により、優れた性能のパラジウム銅合金箔が得られる作用・原理は明らかではないが、以下のことが考えられる。ただし、本発明は、以下の作用効果の範囲に限定されるわけではない。   The action and principle of obtaining a palladium copper alloy foil with excellent performance by the electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming the palladium copper alloy release foil of the present invention in which the Cp, P ratio and pH are adjusted to the specific ranges are not clear. However, the following can be considered. However, this invention is not necessarily limited to the range of the following effects.

本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、特有の分極特性により、膜厚方向の合金比の均一性を向上させていると考えられる。これは、陰極電位がめっき初期(酸化膜を有する金属基体の電位)からめっき中に経時で変化しても(パラジウム銅合金めっき皮膜の電位)、分極曲線が変動しにくいからと考えられる。   The electrolytic palladium copper alloy plating solution of the present invention is considered to improve the uniformity of the alloy ratio in the film thickness direction due to the specific polarization characteristics. This is presumably because the polarization curve hardly changes even when the cathode potential changes from the initial stage of plating (potential of the metal substrate having an oxide film) to the time during plating (potential of the palladium copper alloy plating film).

後述の実施例で示すように、従来のめっき液では酸化膜を有する金属基体上では、黄銅上や銅上の場合に比べて分極曲線がシフトするのに対し、本発明の電解パラジウム銅合金めっき液は、下地金属種によらず分極曲線がほぼ一致する特性を有している。そのため、めっき中に下地金属が酸化膜を有する金属基体からパラジウム銅合金めっき皮膜に変化しても、合金比が変動せず、膜厚方向の均一性を維持しやすいと考えられる。   As shown in the examples described later, in the conventional plating solution, on the metal substrate having an oxide film, the polarization curve shifts compared to the case of brass or copper, whereas the electrolytic palladium copper alloy plating of the present invention. The liquid has a characteristic that the polarization curves are almost the same regardless of the base metal species. Therefore, even if the base metal changes from a metal substrate having an oxide film to a palladium copper alloy plating film during plating, the alloy ratio does not change, and it is considered that the uniformity in the film thickness direction is easily maintained.

以下に、実施例等を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、本発明は、その要旨を超えない限りこれらの実施例に限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples and the like. However, the present invention is not limited to these examples as long as the gist thereof is not exceeded.

例A1〜16、例B1〜19
<電解パラジウム銅合金めっき皮膜の形成>
50mm×70mm×0.1mmtのステンレス板(SUS304、株式会社ニラコ製)を試験片として、該試験片上に表1に示す工程でめっきを施した。
電解パラジウム銅合金めっき皮膜は、表2〜表5に示す浴組成の電解めっき液1Lを使用して形成した。トリポリリン酸カリウムは、「KTP」(日本化学工業株式会社製)を使用した。ピロリン酸は、「二リン酸」(純正化学株式会社製、純度93%)を使用した。その他の成分は試薬グレードを使用した。
pHは特に指定がない限り、水酸化カリウム又は硫酸で調整した。断面膜厚が5〜8μmとなるよう、浴温50℃、電流密度1A/dmで30分めっきした。陽極として白金コーティングチタンメッシュ2枚を使用し、陰極に対向させて設置した。スターラーにより、250rpmでめっき液を撹拌しながら、めっき中は陰極を陽極と平行な方向に約6m/minで往復搖動させた。
Examples A1-16, Examples B1-19
<Formation of electrolytic palladium copper alloy plating film>
Using a 50 mm × 70 mm × 0.1 mmt stainless steel plate (SUS304, manufactured by Nilaco Corporation) as a test piece, plating was performed on the test piece in the steps shown in Table 1.
The electrolytic palladium copper alloy plating film was formed using 1 L of an electrolytic plating solution having a bath composition shown in Tables 2 to 5. As potassium tripolyphosphate, “KTP” (manufactured by Nippon Chemical Industry Co., Ltd.) was used. Pyrophosphate used was “diphosphate” (manufactured by Junsei Chemical Co., Ltd., purity 93%). The other components used reagent grade.
The pH was adjusted with potassium hydroxide or sulfuric acid unless otherwise specified. Plating was performed at a bath temperature of 50 ° C. and a current density of 1 A / dm 2 for 30 minutes so that the cross-sectional film thickness was 5 to 8 μm. Two platinum-coated titanium meshes were used as the anode, and were placed facing the cathode. While stirring the plating solution at 250 rpm with a stirrer, the cathode was reciprocally swung in a direction parallel to the anode at about 6 m / min during plating.

なお、表2〜表5において、「パラジウム(II)アンミン錯塩」の欄、及び、「他のパラジウム(II)塩」の欄に記載された化合物の含有量は、パラジウム(Pd)としての含有量(g/L)を示す(106.4g/mol)。同様に、「銅(II)塩」の欄に記載された化合物の含有量は、銅(Cu)としての含有量(g/L)を示す(63.55g/mol)。「Se(IV)」の欄に記載された化合物の含有量は、四価のセレンとしての含有量(g/L)を示す。
これに対して、他の欄に記載された化合物の含有量は、その化合物としての含有量(g/L)を示す(例えば、「ピロリン酸カリウム」は330.34g/mol、「ピロリン酸ナトリウム10水和物」は446.05g/mol)。
In Tables 2 to 5, the content of the compound described in the column of “Palladium (II) Ammine Complex” and the column of “Other Palladium (II) Salt” is the content as palladium (Pd). The amount (g / L) is indicated (106.4 g / mol). Similarly, content of the compound described in the column of "copper (II) salt" shows content (g / L) as copper (Cu) (63.55 g / mol). The content of the compound described in the column of “Se (IV)” indicates the content (g / L) as tetravalent selenium.
On the other hand, the content of the compound described in the other column indicates the content (g / L) as the compound (for example, “potassium pyrophosphate” is 330.34 g / mol, “sodium pyrophosphate” "Decahydrate" is 446.05 g / mol).

<パラジウム銅合金剥離箔の作製>
電解パラジウム銅合金めっき皮膜を形成した試験片を乾燥後、該試験片を40mm×60mm×0.1mmtとなるよう裁断した。裁断後の試験片を500mLトールビーカーに入れ、流水を勢いよく当てて電解パラジウム銅合金めっき皮膜を剥離させた。
<Preparation of palladium-copper alloy release foil>
After the test piece on which the electrolytic palladium copper alloy plating film was formed was dried, the test piece was cut to be 40 mm × 60 mm × 0.1 mmt. The test piece after cutting was put into a 500 mL tall beaker, and running water was vigorously applied to peel off the electrolytic palladium copper alloy plating film.

<剥離性の評価>
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性及び箔のカール(反り)、剥離後のステンレス基体表面に残渣が付着していないかの3点を以下のように評価した。
<Evaluation of peelability>
The following three points were evaluated as follows: flexibility of the obtained palladium-copper alloy release foil, curl of the foil, and whether the residue was not attached to the surface of the stainless steel substrate after peeling.

<<箔の柔軟性>>
上記のように剥離させたパラジウム銅合金剥離箔を80℃のオーブンで乾燥後、箔の基体(ステンレス基体)側の面を外径5mmのステンレス丸棒に沿わせてU字型に180度折り曲げた。折り曲げ後に小片化しなかった場合を「〇」、2つ以上に小片化した場合を「×」とした。
<< Foil flexibility >>
After drying the peeled palladium-copper-alloy foil as described above in an oven at 80 ° C., the surface on the base (stainless steel base) side of the foil is bent 180 degrees into a U-shape along a stainless steel round bar with an outer diameter of 5 mm. It was. The case where it was not fragmented after bending was indicated as “◯”, and the case where it was fragmented into two or more was indicated as “x”.

<<箔のカール(反り)>>
乾燥後の箔を水平な台上に置き、4つの角(コーナー)のカール(反り)高さを定規で測定した。4角全てのカール高さが5mm以内であれば「◎」、4角全てのカール高さが10mm以内であれば「〇」、いずれかの角のカール高さが10mm以上の場合又は箔が筒状に丸まった場合は「×」とした。
<< foil curl (warp) >>
The dried foil was placed on a horizontal table, and the curl height of the four corners was measured with a ruler. “◎” if the curl height of all four corners is within 5 mm, “◯” if the curl height of all four corners is within 10 mm, or if the curl height of any corner is 10 mm or more, or if the foil is When it was rounded into a cylindrical shape, it was marked “x”.

<<剥離後基体表面残渣>>
剥離後の試験片(ステンレス)の表面に目視で残渣が確認できない場合を「〇」、目視で箔残渣が付着していた場合は「×」とした。
<< Substrate surface residue after peeling >>
When the residue could not be visually confirmed on the surface of the test piece (stainless steel) after peeling, “◯” was given, and when the foil residue was visually attached, “x” was given.

<箔外観の評価>
得られたパラジウム銅合金剥離箔の外観のムラ及び色味を目視で評価した。表面側(めっき面側)と裏面側(ステンレス基体側)の両面を評価した。
<Evaluation of foil appearance>
The uneven appearance and color of the obtained palladium-copper alloy release foil were visually evaluated. Both the front surface side (plated surface side) and the back surface side (stainless steel substrate side) were evaluated.

<<外観のムラ>>
箔表面にムラがなく半光沢ないし光沢で均一な外観を有する場合は「〇」、ヤケやムラがあり不均一な外観を有する場合は「×」とした。
<< Appearance unevenness >>
When the foil surface had no unevenness and a semi-glossy or glossy and uniform appearance, “◯” was indicated. When the surface of the foil had unevenness and unevenness, “X” was indicated.

<<外観の色味>>
箔の色味を目視で評価した。
<< Appearance color >>
The color of the foil was visually evaluated.

<共析比の評価>
得られたパラジウム銅合金剥離箔中のパラジウムの比率(共析比)を評価した。
<Evaluation of eutectoid ratio>
The ratio (eutectoid ratio) of palladium in the obtained palladium-copper alloy release foil was evaluated.

<<平均共析比>>
得られたパラジウム銅合金剥離箔(約0.1g)の質量を精密天秤で測定した。その後、合金箔を濃硝酸10mLに溶解し、脱イオン水で定容後、常法によりICP発光分析装置(SPS3000、(株)日立ハイテクサイエンス製)でパラジウム濃度を測定した。測定値からパラジウム質量を算出し、合金箔の精密質量で割ることにより、パラジウム共析比を算出した。
<< Average eutectoid ratio >>
The mass of the obtained palladium-copper alloy release foil (about 0.1 g) was measured with a precision balance. Thereafter, the alloy foil was dissolved in 10 mL of concentrated nitric acid, the volume was adjusted with deionized water, and the palladium concentration was measured by an ICP emission analyzer (SPS3000, manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.) by a conventional method. The palladium eutectoid ratio was calculated by calculating the palladium mass from the measured value and dividing by the precise mass of the alloy foil.

<<箔の面の共析比>>
得られたパラジウム銅合金剥離箔の中央付近から10mm角を採取し、表面側(めっき面側)と裏面側(ステンレス基体側)それぞれについて、走査型電子顕微鏡(S−4300、(株)日立ハイテクノロジーズ製)で観察しながら、エネルギー分散型X線分析装置(EMAX EX−220、HORIBA製)にてパラジウムと銅の比率を分析した。加速電圧15kV、倍率1,000倍にて任意の約100μm角の矩形領域5カ所を分析し、その平均値をパラジウム共析比とした。
<< Eutectoid ratio of foil surface >>
A 10 mm square was collected from the vicinity of the center of the obtained palladium-copper alloy release foil, and a scanning electron microscope (S-4300, Hitachi High Co., Ltd.) was used for each of the front side (plating surface side) and the back side (stainless base side). While observing with Technologies), the ratio of palladium to copper was analyzed with an energy dispersive X-ray analyzer (EMAX EX-220, manufactured by HORIBA). Five arbitrary rectangular regions of about 100 μm square were analyzed at an acceleration voltage of 15 kV and a magnification of 1,000 times, and the average value was taken as the palladium eutectoid ratio.

評価結果を表2〜表5に示す。   The evaluation results are shown in Tables 2 to 5.

<パラジウム銅合金剥離箔の剥離性・箔外観・共析比の評価結果>
例A1〜A9では、Cpが0.35mol/L以上1.1mol/L以下、P比が4.8以上23.2以下となるよう、(C)ピロリン酸化合物(ピロリン酸カリウム及び/又はピロリン酸)、並びに(B)銅(II)塩の濃度を変動させてパラジウム銅合金剥離箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は、柔軟で剥離性が良好であり、表裏ともに均一な銀色外観を有していた。表裏のパラジウム共析比の差の絶対値は14質量%以内であり、カールの少ないパラジウム銅合金剥離箔が得られた。
<Evaluation results of peelability, foil appearance and eutectoid ratio of palladium-copper alloy release foil>
In Examples A1 to A9, (C) pyrophosphate compound (potassium pyrophosphate and / or pyrolin) so that Cp is 0.35 mol / L or more and 1.1 mol / L or less and P ratio is 4.8 or more and 23.2 or less. Acid) and (B) copper (II) salt concentrations were varied to produce a palladium-copper alloy release foil.
The obtained palladium-copper alloy release foil was flexible and had good peelability, and had a uniform silver appearance on both the front and back sides. The absolute value of the difference between the front and back palladium eutectoid ratios was within 14% by mass, and a palladium-copper alloy release foil with little curling was obtained.

例A10、A12、A13、A15、A16は、Cpが0.35mol/L以上1.1mol/L以下、P比が4.8以上23.2以下であり、(C)としてピロリン酸カリウムとトリポリリン酸カリウムの両方を加えためっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は、表裏ともに均一な銀色外観を有していた。トリポリリン酸カリウムを加えることで、カールがさらに少ないパラジウム銅合金剥離箔が得られた。
Examples A10, A12, A13, A15, A16 have a Cp of 0.35 mol / L or more and 1.1 mol / L or less, a P ratio of 4.8 or more and 23.2 or less, and (C) as potassium pyrophosphate and tripolyline An alloy foil was prepared with a plating solution to which both potassium acid was added.
The obtained palladium-copper alloy release foil had a uniform silver appearance on both sides. By adding potassium tripolyphosphate, a palladium copper alloy release foil with less curling was obtained.

例A11は、Cpが0.35mol/L以上1.1mol/L以下、P比が4.8以上23.2以下であり、(C)としてトリポリリン酸カリウムのみを加えためっき液で合金箔を作製した。なお、めっき液中には、加えたトリポリリン酸カリウムの不純物として約10質量%のピロリン酸カリウムが含まれている。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は、表裏ともに均一な銀色外観を有していた。カールが非常に少ないパラジウム銅合金剥離箔が得られた。
In Example A11, Cp is 0.35 mol / L or more and 1.1 mol / L or less, P ratio is 4.8 or more and 23.2 or less, and (C) is an alloy foil with a plating solution to which only potassium tripolyphosphate is added. Produced. In addition, about 10 mass% potassium pyrophosphate is contained in the plating solution as an impurity of added potassium tripolyphosphate.
The obtained palladium-copper alloy release foil had a uniform silver appearance on both sides. A palladium copper alloy release foil with very little curling was obtained.

例A14は、Cpが0.35mol/L以上1.1mol/L以下、P比が4.8以上23.2以下であり、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸ナトリウム及びトリポリリン酸ナトリウムを加えためっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は、表裏ともに均一な銀色外観を有していた。カールが非常に少ないパラジウム銅合金剥離箔が得られた。
In Example A14, Cp was 0.35 mol / L or more and 1.1 mol / L or less, P ratio was 4.8 or more and 23.2 or less, and (C) sodium pyrophosphate and sodium tripolyphosphate were added as pyrophosphate compounds. An alloy foil was prepared with a plating solution.
The obtained palladium-copper alloy release foil had a uniform silver appearance on both sides. A palladium copper alloy release foil with very little curling was obtained.

例B1は、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)、かつ、P比が4.8未満(P比3.2)であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性及び剥離性は良好であったが、基体から剥離した際に筒状にカーリングしてしまった。また、箔表面(めっき面側)は銀色外観を有していたが、箔裏面(基体側の面)がピンク色を帯び、箔の表裏で外観が異なっていた。
Example B1 uses (C) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), and P ratio is less than 4.8 (P ratio of 3. An alloy foil was prepared with the plating solution 2).
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and peelability, but curled into a cylindrical shape when peeled from the substrate. Moreover, although the foil surface (plating surface side) had a silver appearance, the foil back surface (substrate side surface) was pink and the appearance was different between the front and back of the foil.

例B2は、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)、かつ、P比が4.8未満(P比1.3)であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は柔軟性良好で、カールが少ない箔であったが、表裏共にピンク色外観を有していた。また、パラジウムが平均比率で2%しか共析していなかった。
Example B2 uses (C) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), and P ratio is less than 4.8 (P ratio of 1. An alloy foil was prepared with the plating solution 3).
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and little curl, but had a pink appearance on both the front and back sides. Moreover, palladium was only eutectoid with an average ratio of 2%.

例B3は、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)であるが、P比は4.8以上(P比4.8)であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は柔軟性良好であったが、表裏のパラジウムの差が22%と大きく、箔のカールが大きく、筒状に丸まってしまった。
Example B3 uses (P) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, and Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), but the P ratio is 4.8 or more (P ratio 4). .8) An alloy foil was prepared using the plating solution.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility, but the difference between the front and back palladium was as large as 22%, the curl of the foil was large, and it was rounded into a cylindrical shape.

例B4は、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)であるが、P比は4.8以上(P比9.6)であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は柔軟性良好であったが、表裏のパラジウムの差が21%と大きく、箔のカールが大きく、筒状に丸まってしまった。
Example B4 uses (P) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, and Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), but the P ratio is 4.8 or more (P ratio 9 .6) An alloy foil was prepared with the plating solution.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility, but the difference between the front and back palladium was as large as 21%, the curl of the foil was large, and it was rounded into a cylindrical shape.

例B5は、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)であるが、P比が23.2を超えており(P比38.5)、(B)銅(II)塩濃度の低いめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は柔軟性良好であったが、箔のカールが大きく、筒状に丸まってしまった。
Example B5 uses (P) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, and Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), but the P ratio exceeds 23.2 ( P ratio 38.5), (B) An alloy foil was prepared with a plating solution having a low copper (II) salt concentration.
The obtained palladium-copper alloy peeled foil had good flexibility, but the curl of the foil was large and it was rounded into a cylindrical shape.

例B6は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩にはジニトロジアンミンパラジウム(II)を使用し、ピロリン酸カリウムの代わりに硝酸アンモニウムを加え、さらに、(D)四価のセレン化合物の代わりに四価のテルル化合物を加え、(E)ピリジンスルホン酸化合物の代わりにニコチン酸アミドを加えためっき液で、電解めっきを試みた。
しかし、電解後、基体上にめっき皮膜は形成されず、合金箔を得ることはできなかった。
Example B6 uses (A) dinitrodiammine palladium (II) as a palladium (II) ammine complex salt, adds ammonium nitrate instead of potassium pyrophosphate, and (D) tetravalent instead of tetravalent selenium compound. (E) Electroplating was attempted with a plating solution in which nicotinamide was added instead of the pyridinesulfonic acid compound.
However, after electrolysis, no plating film was formed on the substrate, and an alloy foil could not be obtained.

例B7は、(C)ピロリン酸化合物として、ピロリン酸カリウムを使用し、Cpが0.35mol/L未満(Cp=0.30mol/L)、かつ、P比が4.8未満(P比3.2)であるめっき液で合金箔を作製した。使用しためっき液の(A)パラジウム(II)アンミン錯塩にはジクロロジアンミンパラジウム(II)を使用し、アンモニアを加えて溶解した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性及び剥離性は良好であったが、基体から剥離した際に筒状にカーリングしてしまった。また、箔表面(めっき面側)は銀色外観を有していたが、箔裏面(基体側の面)がピンク色を帯び、箔の表裏で外観が異なっていた。
Example B7 uses (C) potassium pyrophosphate as the pyrophosphate compound, Cp is less than 0.35 mol / L (Cp = 0.30 mol / L), and P ratio is less than 4.8 (P ratio 3). An alloy foil was prepared with the plating solution (2). Dichlorodiammine palladium (II) was used as the (A) palladium (II) ammine complex salt of the plating solution used, and dissolved by adding ammonia.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and peelability, but curled into a cylindrical shape when peeled from the substrate. Moreover, although the foil surface (plating surface side) had a silver appearance, the foil back surface (substrate side surface) was pink and the appearance was different between the front and back of the foil.

例B8は、(B)銅(II)塩として塩化銅(II)を用いた以外は、例B1と同様にして合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性及び剥離性は良好であったが、基体から剥離した際に筒状にカーリングしてしまった。また、箔表面(めっき面側)は銀色外観を有していたが、箔裏面(基体側の面)がピンク色を帯び、箔の表裏で外観が異なっていた。
In Example B8, an alloy foil was prepared in the same manner as in Example B1, except that copper (II) chloride was used as the (B) copper (II) salt.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and peelability, but curled into a cylindrical shape when peeled from the substrate. Moreover, although the foil surface (plating surface side) had a silver appearance, the foil back surface (substrate side surface) was pink and the appearance was different between the front and back of the foil.

例B9は、(C)ピロリン酸化合物の代わりに塩化アンモニウムを加えためっき液で、電解めっきを試みた。
しかし、電解後、基体上にめっき皮膜は形成されず、合金箔を得ることはできなかった。
In Example B9, electrolytic plating was attempted with a plating solution in which ammonium chloride was added instead of (C) pyrophosphate compound.
However, after electrolysis, no plating film was formed on the substrate, and an alloy foil could not be obtained.

例B10は、(E)ピリジンスルホン酸化合物の代わりに、ピコリン酸を加えためっき液で電解めっきを行った。
得られた皮膜はピンク色の外観であり、柔軟性が悪く、基体から剥離する際に割れてしまった。
In Example B10, electrolytic plating was performed with a plating solution to which picolinic acid was added instead of (E) the pyridinesulfonic acid compound.
The obtained film had a pink appearance, had poor flexibility, and cracked when peeled from the substrate.

例B11は、(D)四価のセレン化合物の代わりに、五価のアンチモン化合物(Sb(V))を加えためっき液で電解めっきを行った。
得られた皮膜は褐色の外観であり、柔軟性が悪く、基体から剥離する際に割れてしまった。
In Example B11, electrolytic plating was performed with a plating solution in which a pentavalent antimony compound (Sb (V)) was added instead of the (D) tetravalent selenium compound.
The obtained film had a brown appearance and poor flexibility, and was cracked when peeled from the substrate.

例B12は、(C)ピロリン酸化合物の代わりに塩化アンモニウムを加え、(D)四価のセレン化合物の代わりに五価のアンチモン化合物を加えためっき液で、電解めっきを試みた。
しかし、電解後、基体上にめっき皮膜は形成されず、合金箔を得ることはできなかった。
In Example B12, electrolytic plating was attempted with a plating solution in which ammonium chloride was added instead of (C) pyrophosphate compound and (D) pentavalent antimony compound was added instead of tetravalent selenium compound.
However, after electrolysis, no plating film was formed on the substrate, and an alloy foil could not be obtained.

例B13は、(A)パラジウム(II)アンミン錯塩ではなく、硫酸パラジウムを用い、(C)ピロリン酸化合物の代わりに硝酸アンモニウムを加え、(D)四価のセレン化合物の代わりに五価のアンチモン化合物を加えためっき液で、電解めっきを試みた。
しかし、電解後、基体上にめっき皮膜は形成されず、合金箔を得ることはできなかった。
Example B13 uses (A) palladium sulfate instead of palladium (II) ammine complex, (C) ammonium nitrate instead of pyrophosphate compound, (D) pentavalent antimony compound instead of tetravalent selenium compound The electroplating was attempted with the plating solution to which was added.
However, after electrolysis, no plating film was formed on the substrate, and an alloy foil could not be obtained.

例B14では、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを加え、Cp=0.60mol/L、P比が4.3であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性及び剥離性は良好であり、基体から剥離した際のカール(反り)も少なかった。しかしながら、箔表面(めっき面側)は銀色外観を有していたが、箔裏面(基体側の面)がピンク色を帯び、箔の表裏で外観が異なり、表裏のパラジウム比率の差が大きかった。
In Example B14, potassium pyrophosphate was added as the (C) pyrophosphate compound, and an alloy foil was produced with a plating solution having Cp = 0.60 mol / L and a P ratio of 4.3.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and peelability, and there was little curl (warpage) when peeled from the substrate. However, although the foil surface (plated surface side) had a silver appearance, the foil back surface (surface on the substrate side) was pink, the appearance was different on the front and back of the foil, and the difference in palladium ratio between the front and back was large. .

例B15では、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを加え、Cp=1.18mol/L、P比が24.9であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔の柔軟性は良好で表裏のパラジウム比率も同じであったが、カール(反り)が大きかった。
In Example B15, potassium pyrophosphate was added as the (C) pyrophosphate compound, and an alloy foil was produced with a plating solution having Cp = 1.18 mol / L and a P ratio of 24.9.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility and the same ratio of palladium on the front and back, but the curl (warpage) was large.

例B16では、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを加え、Cp=0.60mol/L、P比が4.8で、pHが6.5であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔はヤケ気味で柔軟性が乏しく、基体から剥離した際に割れてしまった。
In Example B16, potassium pyrophosphate was added as the (C) pyrophosphate compound, and an alloy foil was prepared with a plating solution having a Cp = 0.60 mol / L, a P ratio of 4.8, and a pH of 6.5.
The obtained palladium-copper alloy release foil was burnt and poor in flexibility, and cracked when peeled from the substrate.

例B17では、(C)ピロリン酸化合物としてピロリン酸カリウムを加え、Cp=0.60mol/L、P比が38.5で、pHが10.5であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金剥離箔は、柔軟性は良好であったが、基体からの剥離性が悪く、パラジウム銅合金の残渣が斑上に付着していた。合金箔はカール(反り)が大きく筒状に丸まってしまった。
In Example B17, potassium pyrophosphate was added as the (C) pyrophosphate compound, and an alloy foil was produced with a plating solution having Cp = 0.60 mol / L, a P ratio of 38.5, and a pH of 10.5.
The obtained palladium-copper alloy release foil had good flexibility, but the peelability from the substrate was poor, and the residue of the palladium-copper alloy adhered to the spots. The alloy foil has a large curl (curvature) and is rounded into a cylindrical shape.

例B18では、(C)に属する化合物としてトリポリリン酸カリウムのみを加え、Cp=0.22mol/L、P比が2.4で、pHが8.0であるめっき液で合金箔を作製した。
得られたパラジウム銅合金箔は、柔軟性良好であり、カール(反り)が非常に少なかった。しかしながら、箔表面(めっき面側)がムラのあるピンク色外観を有し、箔裏面(基体側の面)はピンク色を帯びており、銀色外観の箔を得ることはできなかった。
In Example B18, only potassium tripolyphosphate was added as a compound belonging to (C), and an alloy foil was produced with a plating solution having a Cp = 0.22 mol / L, a P ratio of 2.4, and a pH of 8.0.
The obtained palladium copper alloy foil had good flexibility and very little curling. However, the foil surface (plated surface side) has a pink appearance with unevenness, and the foil back surface (substrate side surface) has a pink color, and a foil having a silver appearance could not be obtained.

例B19では、(C)に属する化合物としてトリポリリン酸カリウムのみを加え、Cp=0.44mol/L、P比が28.3で、四価のセレン化合物を2g/L含む、pHが8.0であるめっき液で合金箔を作製した。
得られた皮膜は銀色の外観であったが、柔軟性が悪く、基体から剥離する際に割れてしまった。
In Example B19, only potassium tripolyphosphate was added as a compound belonging to (C), Cp = 0.44 mol / L, P ratio was 28.3, tetravalent selenium compound was contained at 2 g / L, and pH was 8.0. An alloy foil was prepared with the plating solution.
The resulting film had a silver appearance, but was poor in flexibility and cracked when peeled from the substrate.

<電解パラジウム銅合金剥離箔の物性>
<<箔断面の状態>>
例A10および例B1で得られたパラジウム銅合金剥離箔の断面を、走査型電子顕微鏡(S−4300、(株)日立ハイテクノロジーズ製)で観察した。ステンレス基体から剥離したパラジウム銅合金剥離箔の上に、集束イオンビーム加工観察装置FB−2100((株)日立ハイテクノロジーズ製)でカーボン保護層を形成し、次いでエッチング加工で断面出しを行い観察用試料とした。該試料を45°傾斜させ、走査型電子顕微鏡で観察した。
<Physical properties of electrolytic palladium copper alloy release foil>
<< State of foil cross section >>
The cross section of the palladium-copper alloy release foil obtained in Example A10 and Example B1 was observed with a scanning electron microscope (S-4300, manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation). A carbon protective layer is formed on the palladium copper alloy release foil peeled off from the stainless steel substrate with a focused ion beam processing observation device FB-2100 (manufactured by Hitachi High-Technologies Corporation), and then a cross-section is formed by etching processing for observation. A sample was used. The sample was tilted 45 ° and observed with a scanning electron microscope.

図1は例A10、図2は例B1から得られた箔の断面である。どちらも箔の厚み方向に対してクラックやピンホール等の欠陥がない合金箔であった。   FIG. 1 shows a cross section of the foil obtained from Example A10, and FIG. 2 shows the foil obtained from Example B1. Both were alloy foils having no defects such as cracks and pinholes in the thickness direction of the foil.

<<箔表裏の表面状態>>
例A10及び例B1で得られた、基体から剥離したパラジウム銅合金剥離箔の表面を走査型電子顕微鏡で観察した結果を図3(例A10)、図4(例B1)に示す。図3(a)、図4(a)はめっき面側(表面)、図3(b)、図4(b)は基体側(裏面)である。
例A10で得た合金箔は、表面、裏面ともにクラックやピンホール等の欠陥がない合金箔であった。
同様に、例B1で得た合金箔も、表面、裏面ともにクラックやピンホール等の欠陥がない合金箔であった。
<< Surface condition on the front and back of foil >>
FIG. 3 (Example A10) and FIG. 4 (Example B1) show the results of observation of the surface of the palladium-copper alloy release foil peeled from the substrate obtained in Example A10 and Example B1 with a scanning electron microscope. 3A and 4A are the plating surface side (front surface), and FIGS. 3B and 4B are the substrate side (back surface).
The alloy foil obtained in Example A10 was an alloy foil having no defects such as cracks and pinholes on the front surface and the back surface.
Similarly, the alloy foil obtained in Example B1 was also an alloy foil having no defects such as cracks and pinholes on the front and back surfaces.

<<箔断面方向の共析比分布>>
例A10及び例B1で得られたパラジウム銅合金剥離箔を、断面が垂直方向になるよう電子顕微鏡観察用の樹脂で包埋し、機械研磨して断面観察用試料を得た。得られた試料表面に白金をスパッタコーティングし、走査型電子顕微鏡及びエネルギー分散型X線分析装置でパラジウムと銅の比率を分析した。合金箔の断面の厚み方向でラインスキャンを行い、パラジウムと銅の分布を測定した結果を図5(例A10)、図6(例B1)に示す。パラジウム及び銅のカウント数のグラフにおいては、左側(0μmの位置)がステンレス基体側、右側がめっき面側である。
<< Eutectoid ratio distribution in foil cross section direction >>
The palladium-copper alloy release foil obtained in Example A10 and Example B1 was embedded with a resin for electron microscope observation so that the cross-section was in the vertical direction, and mechanically polished to obtain a sample for cross-section observation. The obtained sample surface was sputter coated with platinum, and the ratio of palladium to copper was analyzed with a scanning electron microscope and an energy dispersive X-ray analyzer. FIG. 5 (Example A10) and FIG. 6 (Example B1) show the results of measuring the distribution of palladium and copper by performing a line scan in the thickness direction of the cross section of the alloy foil. In the graph of palladium and copper count numbers, the left side (0 μm position) is the stainless steel substrate side, and the right side is the plating surface side.

例A10の合金箔は、ステンレス基体側からめっき面側にかけてパラジウム及び銅は均一に分布していた。目視では表裏共に銀色外観であった。   In the alloy foil of Example A10, palladium and copper were uniformly distributed from the stainless steel substrate side to the plating surface side. Visually, the front and back surfaces were silvery in appearance.

一方、例B1の合金箔は、ステンレス基体側でパラジウムのカウント数が小さく、ステンレス基体側からめっき面側に1μmほどパラジウムが傾斜して分布していた。対して銅はステンレス基体側からめっき面側にかけて均一に分布していた。すなわち、ステンレス基体側でパラジウムに対して銅がリッチな状態になっており、合金箔断面方向の組成比が不均一であった。目視ではステンレス基体側の面がピンク色を帯びてしまっていた。   On the other hand, in the alloy foil of Example B1, the count number of palladium was small on the stainless steel substrate side, and palladium was inclined and distributed by about 1 μm from the stainless steel substrate side to the plating surface side. In contrast, copper was uniformly distributed from the stainless steel substrate side to the plating surface side. That is, copper was rich with respect to palladium on the stainless steel substrate side, and the composition ratio in the cross section direction of the alloy foil was not uniform. Visually, the surface on the stainless steel substrate side was pink.

<<セレン(Se)共析比>>
例A10で得られたパラジウム銅合金剥離箔0.1389gを濃硝酸10mLに溶解し、脱イオン水で20mLに定容後、常法によりICP発光分析装置(SPS3000、(株)日立ハイテクサイエンス製)でセレン濃度を測定した。セレンの測定波長は、パラジウムピークとの干渉を避けるためλ=206.279nmを使用した。
結果、セレン濃度は28.5ppmであった。測定値からセレンの質量を算出し、合金箔の質量で割ることにより、セレン共析比を算出した。例A10で得られたパラジウム銅合金剥離箔は、セレンを0.4質量%含有していた。
例A1〜9、例A11〜16、例B1〜5、B7〜8、例B10〜11、例B14〜19で得られたパラジウム銅合金箔についても、例A10の場合と同様にしてセレン共析比を測定した。結果を表2〜表5に示す。
<< Selenium (Se) eutectoid ratio >>
0.1389 g of the palladium-copper alloy release foil obtained in Example A10 was dissolved in 10 mL of concentrated nitric acid, the volume was adjusted to 20 mL with deionized water, and then an ICP emission analyzer (SPS3000, manufactured by Hitachi High-Tech Science Co., Ltd.) was used. The selenium concentration was measured at The measurement wavelength of selenium was λ = 206.279 nm in order to avoid interference with the palladium peak.
As a result, the selenium concentration was 28.5 ppm. The selenium eutectoid ratio was calculated by calculating the mass of selenium from the measured value and dividing by the mass of the alloy foil. The palladium copper alloy release foil obtained in Example A10 contained 0.4% by mass of selenium.
For the palladium copper alloy foils obtained in Examples A1 to 9, Examples A11 to 16, Examples B1 to 5, B7 to 8, Examples B10 to 11, and Examples B14 to 19, the selenium eutectoid is the same as in Example A10. The ratio was measured. The results are shown in Tables 2-5.

例B16から得られたパラジウム銅合金箔からは、セレンが検出されず、柔軟性が乏しかった。一方で、例B19から得られたパラジウム銅合金箔は、セレンを2.7質量%含有していたが、箔の柔軟性が乏しかった。   From the palladium copper alloy foil obtained from Example B16, selenium was not detected and the flexibility was poor. On the other hand, the palladium copper alloy foil obtained from Example B19 contained 2.7% by mass of selenium, but the flexibility of the foil was poor.

<パラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液の分極挙動>
例A10及び例B1のめっき液について、電位を走査させながら電流値を測定し、分極曲線を測定した。作用極にはステンレス(SUS304)、黄銅、及び銅の3種類を用いた。対極は白金線を使用し、参照電極は銀/塩化銀電極を使用した。
測定条件を表6に、測定結果を図7、図8に示す。
<Polarization behavior of electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming palladium copper alloy release foil>
For the plating solutions of Example A10 and Example B1, the current value was measured while scanning the potential, and the polarization curve was measured. For the working electrode, three types of stainless steel (SUS304), brass, and copper were used. The counter electrode was a platinum wire and the reference electrode was a silver / silver chloride electrode.
The measurement conditions are shown in Table 6, and the measurement results are shown in FIGS.

図7は例A10のパラジウム銅合金めっき液の分極曲線を、作用極の金属種を変えて測定した結果である。作用極をめっき液に浸漬して電位をマイナスに分極した際、電流曲線がほぼ重なっていることがわかる。   FIG. 7 shows the result of measuring the polarization curve of the palladium-copper alloy plating solution of Example A10 by changing the metal species of the working electrode. It can be seen that when the working electrode is immersed in the plating solution and the potential is polarized negatively, the current curves almost overlap.

対して、図8は例B1(従来のめっき液)の分極曲線である。電流曲線が重なっておらず、特に酸化膜を有する金属基体(SUS304)で分極曲線のズレが大きいことがわかる。このように従来のめっき液では下地金属の酸化膜の影響を受けやすい。そのため、酸化膜を有する金属基体上に電流密度一定の条件でめっきした際に、パラジウム銅合金めっき皮膜で被覆されていく途中で陰極電位が変動しやすく、膜厚方向の合金比が不均一になりやすいと考えられる。   On the other hand, FIG. 8 is a polarization curve of Example B1 (conventional plating solution). It can be seen that the current curves do not overlap and that the deviation of the polarization curves is large particularly in a metal substrate (SUS304) having an oxide film. As described above, the conventional plating solution is easily affected by the oxide film of the base metal. Therefore, when plating on a metal substrate having an oxide film under a constant current density condition, the cathode potential tends to fluctuate during coating with the palladium copper alloy plating film, and the alloy ratio in the film thickness direction is not uniform. It seems to be easy to become.

本発明のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を使用すれば、酸化膜を有する金属基体からの剥離性が良好であり、金属基体から剥離した後に、柔軟で反り(カール)が少なく、ピンホールやクラック等の欠陥が少ないパラジウム銅合金箔を得ることができる。特に、箔の厚み方向に対して均一な合金組成を有し、また、表裏の合金比率の差が少ないパラジウム銅合金剥離箔を得ることができる。
本発明のパラジウム銅合金めっき液は、装飾品、歯科材料、電子材料、触媒材料等で使用されるパラジウム銅合金箔の形成に広く利用されるものである。
When the electrolytic copper-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil of the present invention is used, the peelability from a metal substrate having an oxide film is good, and after peeling from the metal substrate, it is flexible and warps (curls). A palladium-copper alloy foil with few defects such as pinholes and cracks can be obtained. In particular, a palladium-copper alloy release foil having a uniform alloy composition with respect to the thickness direction of the foil and a small difference in the alloy ratio between the front and back surfaces can be obtained.
The palladium-copper alloy plating solution of the present invention is widely used for forming palladium-copper alloy foils used in decorative articles, dental materials, electronic materials, catalyst materials, and the like.

1:パラジウム銅合金箔
2:めっき面側
3:基体側
1: Palladium copper alloy foil 2: Plated surface side 3: Base side

Claims (16)

(A)パラジウム(II)アンミン錯塩、(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有し、
(C)に属する化合物のモル濃度が0.35mol/L以上1.1mol/L以下であり、(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値が4.8以上23.2以下であり、pHが7.5以上9.5以下であることを特徴とするパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液。
(A) palladium (II) ammine complex salt, (B) copper (II) salt, (C) pyrophosphoric acid compound and / or tripolyphosphoric acid compound, (D) tetravalent selenium compound, and (E) pyridinesulfonic acid compound Containing
The molar concentration of the compound belonging to (C) is 0.35 mol / L to 1.1 mol / L, and the value obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) by the molar concentration of copper is 4.8 to 23. 2. An electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil, having a pH of 7.5 or less and 9.5 or less.
(C)として、少なくともトリポリリン酸化合物を含有する請求項1に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液。   The electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil according to claim 1, containing at least a tripolyphosphate compound as (C). 上記(A)パラジウム(II)アンミン錯塩が、ジクロロテトラアンミンパラジウム(II)、テトラアンミンパラジウム(II)硫酸塩、ジクロロジアンミンパラジウム(II)、ジニトロジアンミンパラジウム(II)、テトラアンミンパラジウム(II)硝酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)スルファミン酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)メタンスルホン酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)水酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)炭酸塩、テトラアンミンパラジウム(II)酢酸塩及びテトラアンミンパラジウム(II)シュウ酸塩並びにこれらの水和物からなる群より選ばれる1種以上の化合物である請求項1又は請求項2に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液。   (A) Palladium (II) ammine complex salt is dichlorotetraammine palladium (II), tetraammine palladium (II) sulfate, dichlorodiammine palladium (II), dinitrodiammine palladium (II), tetraammine palladium (II) nitrate, tetraammine palladium. (II) sulfamate, tetraammine palladium (II) methanesulfonate, tetraammine palladium (II) hydrochloride, tetraammine palladium (II) carbonate, tetraammine palladium (II) acetate and tetraammine palladium (II) oxalate The electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil according to claim 1 or 2, which is one or more compounds selected from the group consisting of these hydrates. 上記(B)銅(II)塩が、硫酸銅(II)、塩化銅(II)、硝酸銅(II)、ピロリン酸銅(II)、スルファミン酸銅(II)、メタンスルホン酸銅(II)、炭酸銅(II)、水酸化銅(II)、ギ酸銅(II)、酢酸銅(II)及びシュウ酸銅(II)並びにこれらの水和物からなる群より選ばれる1種以上の化合物である請求項1ないし請求項3の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液。   The (B) copper (II) salt is copper sulfate (II), copper chloride (II), copper nitrate (II), copper pyrophosphate (II), copper sulfamate (II), copper methanesulfonate (II) One or more compounds selected from the group consisting of copper carbonate (II), copper hydroxide (II), copper formate (II), copper acetate (II), copper oxalate (II) and hydrates thereof The electrolytic copper-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil according to any one of claims 1 to 3. 表面に酸化膜を有する金属基体上に、陰極電流密度0.5A/dm以上10A/dm以下の範囲で、パラジウムの平均比率が40質量%以上80質量%以下で厚さが0.5μm以上20μm以下であるパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、該金属基体から該パラジウム銅合金めっき皮膜を剥離して得られるパラジウム銅合金剥離箔を形成するためのものである、請求項1ないし請求項4の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液。 On the metal substrate having an oxide film on the surface, the cathode current density is in the range of 0.5 A / dm 2 or more and 10 A / dm 2 or less, the average ratio of palladium is 40 mass% or more and 80 mass% or less, and the thickness is 0.5 μm. The palladium copper alloy peeling film obtained by forming a palladium copper alloy plating film having a thickness of 20 µm or less and peeling the palladium copper alloy plating film from the metal substrate. 5. The electrolytic copper-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy release foil according to claim 4. 請求項1ないし請求項5の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を使用して、表面に酸化膜を有する金属基体上にパラジウム銅合金めっき皮膜を形成し、該パラジウム銅合金めっき皮膜を該金属基体から剥離することでパラジウム銅合金剥離箔を得ることを特徴とするパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。   A palladium copper alloy plating film is formed on a metal substrate having an oxide film on its surface using the electrolytic palladium copper alloy plating solution for forming a palladium copper alloy release foil according to any one of claims 1 to 5. A method for producing a palladium-copper alloy release foil, characterized in that the palladium-copper alloy release foil is formed by peeling the palladium-copper alloy plating film from the metal substrate. 上記金属基体が、ステンレス、チタン、アルミニウム若しくはクロム、又はこれらの金属のめっき面である請求項6に記載のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。   The method for producing a palladium-copper alloy release foil according to claim 6, wherein the metal substrate is stainless steel, titanium, aluminum, chromium, or a plated surface of these metals. 上記パラジウム銅合金剥離箔のパラジウムの平均比率が40質量%以上80質量%以下である請求項6又は請求項7に記載のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。   The method for producing a palladium-copper alloy release foil according to claim 6 or 7, wherein an average ratio of palladium in the palladium-copper alloy release foil is 40 mass% or more and 80 mass% or less. 上記パラジウム銅合金剥離箔において、金属基体側であった面におけるパラジウムの比率をX、めっき液側であった面におけるパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%である請求項6ないし請求項8の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。 In the palladium copper alloy release foil, when the ratio of palladium on the surface that was on the metal substrate side is X 1 and the ratio of palladium on the surface that is on the plating solution side is X 2 , | X 2 −X 1 | ≦ It is 15 mass%, The manufacturing method of the palladium copper alloy peeling foil in any one of Claims 6 thru | or 8. 40質量%≦X≦80質量%、かつ、40質量%≦X≦80質量%である請求項9に記載のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。 The method for producing a palladium-copper alloy release foil according to claim 9, wherein 40 mass% ≦ X 1 ≦ 80 mass% and 40 mass% ≦ X 2 ≦ 80 mass%. 陰極電流密度0.5A/dm以上10A/dm以下の範囲で上記パラジウム銅合金めっき皮膜を0.5μm以上20μm以下の厚さで形成する請求項6ないし請求項10の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔の製造方法。 11. The claim according to claim 6, wherein the palladium copper alloy plating film is formed with a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less in a cathode current density of 0.5 A / dm 2 or more and 10 A / dm 2 or less. The manufacturing method of palladium copper alloy peeling foil of description. 厚さ0.5μm以上20μm以下であり、パラジウムの平均比率が40質量%以上80質量%以下であるパラジウム銅合金箔であって、一方の面のパラジウムの比率をX、他方の面のパラジウムの比率をXとした場合に、|X−X|≦15質量%であることを特徴とするパラジウム銅合金箔。 A palladium copper alloy foil having a thickness of 0.5 μm or more and 20 μm or less and an average ratio of palladium of 40% by mass or more and 80% by mass or less, wherein the ratio of palladium on one side is X A , and the palladium on the other side the ratio when the X B, | X B -X a | Pd - Cu alloy foil which is a ≦ 15 mass%. 40質量%≦X≦80質量%、かつ、40質量%≦X≦80質量%である請求項12に記載のパラジウム銅合金箔。 The palladium copper alloy foil according to claim 12, wherein 40 mass% ≦ X A ≦ 80 mass% and 40 mass% ≦ X B ≦ 80 mass%. セレンを含有する請求項12又は請求項13に記載のパラジウム銅合金箔。   The palladium copper alloy foil according to claim 12 or 13, containing selenium. セレンの含有量が0.01質量%以上2質量%以下である請求項14に記載のパラジウム銅合金箔。   The palladium copper alloy foil according to claim 14, wherein the selenium content is 0.01 mass% or more and 2 mass% or less. (A)パラジウム(II)アンミン錯塩を添加することによって請求項1ないし請求項5の何れかの請求項に記載のパラジウム銅合金剥離箔形成用電解パラジウム銅合金めっき液を調製するためのめっき液調製用水溶液であって、
(B)銅(II)塩、(C)ピロリン酸化合物及び/又はトリポリリン酸化合物、(D)四価のセレン化合物、並びに、(E)ピリジンスルホン酸化合物を含有し、
(C)に属する化合物のモル濃度が0.35mol/L以上1.7mol/L以下であり、(C)に属する化合物のモル濃度を銅のモル濃度で除した値が4.8以上23.2以下であることを特徴とするめっき液調製用水溶液。
(A) Plating solution for preparing an electrolytic palladium-copper alloy plating solution for forming a palladium-copper alloy peeling foil according to any one of claims 1 to 5 by adding a palladium (II) ammine complex salt An aqueous solution for preparation,
(B) a copper (II) salt, (C) a pyrophosphate compound and / or a tripolyphosphate compound, (D) a tetravalent selenium compound, and (E) a pyridinesulfonic acid compound,
The molar concentration of the compound belonging to (C) is 0.35 mol / L to 1.7 mol / L, and the value obtained by dividing the molar concentration of the compound belonging to (C) by the molar concentration of copper is 4.8 to 23. An aqueous solution for preparing a plating solution, which is 2 or less.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN111487267A (en) * 2020-04-09 2020-08-04 哈尔滨工业大学 Method for stripping double-layer oxide film defect in aluminum bronze alloy

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000303199A (en) * 1999-02-17 2000-10-31 Nisshin Kasei Kk Palladium alloy plating solution, palladium-copper alloy plated member and antibacterial member
JP2001172732A (en) * 1999-10-19 2001-06-26 Ford Global Technol Inc Method for producing alloy foil
WO2015194472A1 (en) * 2014-06-16 2015-12-23 日東電工株式会社 Hydrogen release film

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000303199A (en) * 1999-02-17 2000-10-31 Nisshin Kasei Kk Palladium alloy plating solution, palladium-copper alloy plated member and antibacterial member
JP2001172732A (en) * 1999-10-19 2001-06-26 Ford Global Technol Inc Method for producing alloy foil
WO2015194472A1 (en) * 2014-06-16 2015-12-23 日東電工株式会社 Hydrogen release film

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111487267A (en) * 2020-04-09 2020-08-04 哈尔滨工业大学 Method for stripping double-layer oxide film defect in aluminum bronze alloy
CN111487267B (en) * 2020-04-09 2023-04-14 哈尔滨工业大学 Method for stripping double-layer oxide film defect in aluminum bronze alloy

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