JP2019174151A - 分光器 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、目的波長以外の波長の光が出射されることを抑制できる分光器を提供することを目的とする。
よって、分光器において、目的波長以外の波長の光が出射されることを抑制できる。
そのため、複数の光学フィルタの中から所定の波長範囲の光学フィルタを選択して用いることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る分光器1の構成を示した概略図である。
分光器1は、光源8からの光を分光するためのモノクロメータであり、光源8からの光は集光レンズ9により集光されて分光器1内に入射する。また、分光器1から出射する光は、検出器10によって検出される。この分光器1は、分光光度計の他、膜厚計などの各種分析装置に適用することができる。
集光レンズ9は、光源8から分光器1に光を導くための光学系を構成している。
筐体2は、ボックス状に形成されている。筐体2には、入射側開口部21及び出射側開口部22が形成されている。
図2は、分光器1の光学フィルタ6の反射率を表したグラフである。図2では、フッ化マグネシウム(MgF2)で形成される反射防止コーティング62を設けた部分のフィルタ本体61の反射率(光の反射率)がグラフaで示されており、反射防止コーティング62を設けない部分のフィルタ本体61の反射率(光の反射率)がグラフbで示されている。なお、図2では、縦軸が光の反射率を表しており、横軸が光の波長を表している。
(1)本実施形態によれば、図1に示すように、分光器1は、筐体2と、回折格子5と、光学フィルタ6とを備えている。筐体2には、入射部3及び出射部4が設けられている。光学フィルタ6は、筐体2内において、出射部4(出射スリット41)と回折格子5との間に配置されている。光学フィルタ6のフィルタ本体61における出射部4(出射スリット41)側の表面には、反射防止コーティング62が形成されている。
よって、分光器1において、目的波長以外の波長の光が出射されることを抑制できる。
また、分光器1では、筐体2内に光学フィルタ6が設けられている。そのため、分光器1の小型化を図ることができる。
以上の実施形態では、反射防止コーティング62は、フィルタ本体61の一方の面にのみ形成されるとして説明した。しかし、反射防止コーティング62は、フィルタ本体61の全面にコーティングされていてもよい。このようにすれば、反射防止コーティング62をフィルタ本体61上に容易に形成できる。
2 筐体
4 出射部
5 回折格子
6 光学フィルタ
7 フィルタ切替機構
41 出射スリット
61 フィルタ本体
62 反射防止コーティング
Claims (2)
- 内部に光が入射し、その入射した光を出射スリットから出射させる筐体と、
前記筐体内に設けられ、当該筐体内に入射した光を波長ごとの光に分散させる回折格子と、
前記回折格子と前記出射スリットとの間に設けられ、選択された波長の光のみを透過させて前記出射スリットから出射させる光学フィルタとを備え、
前記光学フィルタには、少なくとも前記出射スリット側の表面に反射防止コーティングが形成されていることを特徴とする分光器。 - 複数の前記光学フィルタを切り替えて、いずれか1つの前記光学フィルタを前記回折格子と前記出射スリットとの間に配置させるフィルタ切替機構をさらに備え、
前記複数の光学フィルタのそれぞれには、少なくとも前記出射スリット側の表面に反射防止コーティングが形成されていることを特徴とする請求項1に記載の分光器。
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