JP2019060735A - Detection circuit, physical quantity detecting device, inertia measuring device, mobile entity positioning device, portable electronic apparatus, electronic apparatus, and mobile entity - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、検出回路、物理量検出装置、慣性計測装置、移動体測位装置、携帯型電子機器、電子機器及び移動体に関する。 The present invention relates to a detection circuit, a physical quantity detection device, an inertial measurement device, a mobile object positioning device, a portable electronic device, an electronic device, and a mobile object.
近年、物理量検出素子に設けられている対向する電極間に生じる静電容量の容量値が物理量(加速度や角速度等)の大きさ及び向きに応じて変化することを利用して物理量を検出する静電容量型の物理量検出装置(物理量センサー)が開発されている。例えば、シリコンMEMS(Micro Electro Mechanical System)技術を用いた静電容量型の加速度検出装置(加速度センサー)や角速度検出装置(角速度センサー)が広く知られている。 In recent years, the static quantity is detected by utilizing the fact that the capacitance value of the capacitance generated between opposing electrodes provided in the physical quantity detection element changes in accordance with the magnitude and direction of the physical quantity (such as acceleration or angular velocity). Capacitance type physical quantity detection devices (physical quantity sensors) have been developed. For example, a capacitance-type acceleration detection apparatus (acceleration sensor) and an angular velocity detection apparatus (angular velocity sensor) using silicon MEMS (Micro Electro Mechanical System) technology are widely known.
このような静電容量型の物理量検出装置において、物理量検出素子から出力される電流(検出信号)を一定の増幅率で電圧に変換し、この電圧信号を処理して物理量の大きさ及び向きに応じた値の物理量信号を生成する場合、物理量の検出範囲(ダイナミックレンジ)を広くすると小さな検出信号に対して生成される物理量信号のS/N比(Signal to Noise Ratio)が低下してしまう。 In such a capacitance type physical quantity detection device, the current (detection signal) output from the physical quantity detection element is converted into a voltage with a constant amplification factor, and this voltage signal is processed to obtain the magnitude and direction of the physical quantity. When a physical quantity signal of a corresponding value is generated, if the detection range (dynamic range) of the physical quantity is broadened, the S / N ratio (Signal to Noise Ratio) of the physical quantity signal generated for a small detection signal decreases.
これに対して、特許文献1には、センサー部から入力される信号を対数変換器によって対数変換し、対数変換された信号を処理して加速度を示すデジタル信号を生成することで、ダイナミックレンジを広くできるセンサー装置が開示されている。 On the other hand, Patent Document 1 discloses that the signal input from the sensor unit is logarithmically converted by a logarithmic converter, and the logarithmically converted signal is processed to generate a digital signal indicating acceleration, thereby achieving a dynamic range. A wide range of sensor devices are disclosed.
しかしながら、特許文献1に記載のセンサー装置では、トランジスターのコレクター電流とベース・エミッター間電圧との間にコレクター電流が対数で表される関係があることを利用して対数変換器が実現されており、対数変換器の面積が比較的大きくなるため、低コスト化には不利である。 However, in the sensor device described in Patent Document 1, the logarithmic converter is realized by using the logarithmic relationship of the collector current between the transistor collector current and the base-emitter voltage. Because the area of the logarithmic converter is relatively large, it is disadvantageous for cost reduction.
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、本発明のいくつかの態様によれば、物理量の検出範囲が広い検出回路及び物理量検出装置を提供することができる。また、本発明のいくつかの態様によれば、当該物理量検出装置を用いることにより、外部に送信される慣性データの精度を向上させることが可能な慣性計測装置を提供することができる。また、本発明のいくつかの態様によれば、当該慣性計測装置を用いることにより、移動体の位置を高精度に測定可能な移動体測位装置を提供することができる。また、本発明のいくつかの態様によれば、当該物理量検出装置を用いることにより、検出された物理量に基づく処理を高精度に行うことが可能な携帯型電子機器、電子機器及び移動体を提供することができる。 The present invention has been made in view of the problems as described above, and according to some aspects of the present invention, it is possible to provide a detection circuit and a physical quantity detection device having a wide detection range of physical quantities. Further, according to some aspects of the present invention, it is possible to provide an inertial measurement device capable of improving the accuracy of inertial data transmitted to the outside by using the physical quantity detection device. Further, according to some aspects of the present invention, it is possible to provide a mobile positioning device capable of measuring the position of a mobile with high accuracy by using the inertial measurement device. Further, according to some aspects of the present invention, a portable electronic device, an electronic device, and a movable body capable of performing processing based on a detected physical quantity with high accuracy by using the physical quantity detection device are provided. can do.
本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve at least a part of the above-described problems, and can be realized as the following aspects or application examples.
[適用例1]
本適用例に係る検出回路は、検出容量と、前記検出容量の一端と電気的に接続される検出電極と、を有する物理量検出素子の前記検出電極から出力される検出信号に基づいて、前記検出信号の振幅に応じた大きさの物理量信号を生成する検出回路であって、前記検出信号を電圧に変換して出力する電圧変換回路と、前記電圧変換回路の出力信号に基づいて、前記物理量信号を生成する物理量信号生成回路と、を含み、前記電圧変換回路は、演算増幅器と、前記演算増幅器の入力端子と出力端子との間に接続された帰還回路と、を有し、前記帰還回路は、帰還容量と、前記帰還容量と直列に接続されたダイオード回路と、を有し、前記ダイオード回路は、第1ダイオードと、第2ダイオードとを有し、前記第1ダイオードのアノード端子と前記第2ダイオードのカソード端子とが接続され、前記第1ダイオードのカソード端子と前記第2ダイオードのアノード端子とが接続されている。
Application Example 1
The detection circuit according to the application example is a detection circuit based on a detection signal output from the detection electrode of a physical quantity detection element having a detection capacitance and a detection electrode electrically connected to one end of the detection capacitance. A detection circuit that generates a physical quantity signal having a magnitude according to the amplitude of the signal, the voltage conversion circuit converting the detection signal into a voltage and outputting the voltage, and the physical quantity signal based on the output signal of the voltage conversion circuit. A physical quantity signal generation circuit for generating the voltage value conversion circuit, the voltage conversion circuit comprising: an operational amplifier; and a feedback circuit connected between an input terminal and an output terminal of the operational amplifier; A feedback capacitance, and a diode circuit connected in series to the feedback capacitance, the diode circuit having a first diode and a second diode, and an anode terminal of the first diode and the diode terminal. Second diode and a cathode terminal connected to the anode terminal of the cathode terminal of the first diode and the second diode is connected.
本適用例に係る検出回路では、入力電流が小さいほど、第1ダイオード及び第2ダイオードに流れる順方向電流が小さくなり、帰還回路の容量値が小さくなる(帰還回路のインピーダンス値が大きくなる)ため、演算増幅器の出力電圧の増加量が大きくなる。逆に、入力電流が大きいほど、第1ダイオード及び第2ダイオードに流れる順方向電流が大きくなり、帰還回路の容量値が大きくなる(帰還回路のインピーダンス値が小さくなる)ため、演算増幅器の出力電圧の増加量が小さくなる。すなわち、入力電流が大きいほど出力電圧の増加量が小さくなる入出力特性を有する入力レンジの広い電圧変換回路が実現されるので、この電圧変換回路によって、物理量検出素子の検出電極から出力される電流(検出信号)を、広い電流範囲において必要なS/N比を確保しながら飽和することなく電圧信号に変換することができる。従って、本適用例に係る検出回路によれば、この電圧変換回路の出力信号に基づいて物理量信号が生成されるので、物理量の検出範囲を広くすることができる。 In the detection circuit according to this application example, as the input current is smaller, the forward current flowing through the first diode and the second diode is smaller, and the capacitance value of the feedback circuit is smaller (the impedance value of the feedback circuit is larger). The increase in the output voltage of the operational amplifier is increased. Conversely, the larger the input current, the larger the forward current flowing through the first diode and the second diode, and the larger the capacitance value of the feedback circuit (the smaller the impedance value of the feedback circuit), the output voltage of the operational amplifier The amount of increase in That is, since a wide voltage conversion circuit having an input range having input / output characteristics in which the increase amount of the output voltage decreases as the input current increases, a current output from the detection electrode of the physical quantity detection element by this voltage conversion circuit is realized. The (detection signal) can be converted into a voltage signal without saturation while securing a necessary S / N ratio in a wide current range. Therefore, according to the detection circuit according to this application example, the physical quantity signal is generated based on the output signal of the voltage conversion circuit, so that the detection range of the physical quantity can be widened.
[適用例2]
上記適用例に係る検出回路において、前記検出信号の振幅が大きいほど、前記電圧変換回路の利得が小さくてもよい。
Application Example 2
In the detection circuit according to the application example, the gain of the voltage conversion circuit may be smaller as the amplitude of the detection signal is larger.
本適用例に係る検出回路では、検出信号の振幅が大きいほど、電圧変換回路の利得が小さいので、演算増幅器の出力電圧の増加量が小さくなる。逆に、検出信号の振幅が小さいほど、電圧変換回路の利得が大きいので、演算増幅器の出力電圧の増加量が大きくなる。従って、本適用例に係る検出回路によれば、入力レンジの広い電圧変換回路が実現されるので、電圧変換回路の出力信号に基づいて物理量信号を生成することにより、物理量の検出範囲を広くすることができる。 In the detection circuit according to this application example, the gain of the voltage conversion circuit is smaller as the amplitude of the detection signal is larger, so the amount of increase in the output voltage of the operational amplifier is smaller. Conversely, the smaller the amplitude of the detection signal, the larger the gain of the voltage conversion circuit, and therefore the larger the increase in the output voltage of the operational amplifier. Therefore, according to the detection circuit according to this application example, a voltage conversion circuit with a wide input range is realized. Therefore, the physical quantity signal is generated based on the output signal of the voltage conversion circuit to widen the detection range of the physical quantity. be able to.
[適用例3]
上記適用例に係る検出回路において、物理量信号生成回路は、前記電圧変換回路の出力信号に基づいて、前記検出信号の振幅に応じた電圧のアナログ信号を生成するアナログ処理回路と、前記アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路と、前記デジタル信号をデジタル処理して前記物理量信号を生成するデジタル処理回路と、を含み、前記デジタル処理回路は、前記検出信号の振幅と前記物理量信号の値との関係を線形に近づける処理を行ってもよい。
Application Example 3
In the detection circuit according to the application example, the physical quantity signal generation circuit generates an analog signal of a voltage according to the amplitude of the detection signal based on the output signal of the voltage conversion circuit, and the analog signal An A / D conversion circuit for converting into a digital signal; and a digital processing circuit for digitally processing the digital signal to generate the physical quantity signal, the digital processing circuit including an amplitude of the detection signal and the physical quantity signal. A process may be performed to make the relationship with the value more nearly linear.
デジタル処理回路は、あらかじめ記憶部に記憶されている情報(検出信号の振幅と物理量信号の値との関係を示すテーブル又は計算式)に基づいて、前記検出信号の振幅と前記物理量信号の値との関係を線形に近づける処理を行ってもよい。 The digital processing circuit determines the amplitude of the detection signal and the value of the physical quantity signal based on the information (table or calculation formula indicating the relationship between the amplitude of the detection signal and the value of the physical quantity signal) stored in the storage unit in advance. A process may be performed to make the relationship of.
本適用例に係る検出回路によれば、非線形な入出力特性を有する入力レンジの広い電圧変換回路の出力信号に基づいて生成されるデジタル信号に対して、デジタル処理回路が、検出信号の振幅と物理量信号の値との関係を線形に近づける処理(逆変換処理)を行うので、物理量信号を用いる外部装置において当該逆変換処理を行う必要がなく、外部装置の負荷を低減させることができる。 According to the detection circuit of this application example, the digital processing circuit generates the amplitude of the detection signal with respect to the digital signal generated based on the output signal of the voltage conversion circuit having a wide input range having nonlinear input / output characteristics. Since processing (inverse conversion processing) that brings the relationship with the value of the physical quantity signal close to linear is performed, it is not necessary to perform the inverse conversion processing in the external device using the physical quantity signal, and the load on the external device can be reduced.
[適用例4]
本適用例に係る物理量検出装置は、上記のいずれかの検出回路と、前記物理量検出素子を駆動する駆動回路と、前記物理量検出素子と、を含む。
Application Example 4
A physical quantity detection device according to this application example includes any of the detection circuits described above, a drive circuit that drives the physical quantity detection element, and the physical quantity detection element.
本適用例に係る物理量検出装置によれば、検出回路において入力レンジの広い電圧変換回路が実現され、物理量検出素子の検出電極から出力される検出信号がこの電圧変換回路によって変換された電圧に基づいて物理量信号が生成されるので、精度よく検出可能な物理量の検出範囲を広くすることができる。 According to the physical quantity detection device according to this application example, a voltage conversion circuit having a wide input range is realized in the detection circuit, and the detection signal output from the detection electrode of the physical quantity detection element is based on the voltage converted by the voltage conversion circuit. Since the physical quantity signal is generated, the detection range of the accurately detectable physical quantity can be broadened.
[適用例5]
本適用例に係る慣性計測装置は、上記の物理量検出装置と、前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号を取得し、前記物理量信号を処理する信号処理回路と、前記信号処理回路の処理によって得られた慣性データを外部に送信する通信回路と、を含む。
Application Example 5
An inertial measurement device according to this application example includes the above-described physical quantity detection device, a signal processing circuit that acquires the physical quantity signal output from the physical quantity detection device, and processes the physical quantity signal, and processing of the signal processing circuit. And a communication circuit for transmitting the obtained inertial data to the outside.
本適用例に係る慣性計測装置によれば、物理量検出装置によって精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広くなるので、外部に送信される慣性データの精度を向上させることができる。 According to the inertial measurement device according to the application example, the detection range of the physical quantity that can be accurately detected by the physical quantity detection device is broadened, so that the accuracy of inertial data transmitted to the outside can be improved.
[適用例6]
本適用例に係る移動体測位装置は、移動体に搭載され、前記移動体の位置を測定する移動体測位装置であって、上記の慣性計測装置と、測位用衛星から衛星信号を受信し、前記衛星信号に重畳されている測位用情報を取得する衛星信号受信部と、前記測位用情報に基づいて、前記移動体の位置を算出する位置算出部と、前記慣性計測装置から出力される前記慣性データに基づいて、前記移動体の姿勢を算出する姿勢算出部と、前記姿勢に基づいて前記位置を補正する位置補正部と、を含む。
Application Example 6
The mobile positioning device according to this application example is a mobile positioning device mounted on a mobile and measuring the position of the mobile, and receives satellite signals from the above inertial measurement device and the positioning satellite, The satellite signal reception unit that acquires positioning information superimposed on the satellite signal, the position calculation unit that calculates the position of the moving object based on the positioning information, and the output from the inertial measurement device And a position correction unit that corrects the position on the basis of the posture.
本適用例に係る移動体測位装置によれば、慣性計測装置により精度の高い慣性データが得られるので、移動体の位置を高精度に測定することができる。 According to the mobile object positioning device according to the application example, since inertial data with high accuracy can be obtained by the inertial measurement device, the position of the mobile object can be measured with high accuracy.
[適用例7]
本適用例に係る携帯型電子機器は、上記の物理量検出装置と、前記物理量検出装置が収容されているケースと、前記ケースに収容され、前記物理量検出装置からの出力データを処理する処理部と、前記ケースに収容されている表示部と、前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、を含む。
Application Example 7
A portable electronic device according to this application example includes the physical quantity detection device described above, a case in which the physical quantity detection device is accommodated, and a processing unit which is accommodated in the case and processes output data from the physical quantity detection device. And a display unit accommodated in the case, and a translucent cover closing an opening of the case.
本適用例に係る携帯型電子機器によれば、物理量検出装置によって精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広くなるので、物理量検出装置によって検出された物理量に基づく処理を高精度に行うことができる。 According to the portable electronic device according to the application example, the detection range of the physical quantity that can be accurately detected by the physical quantity detection device is broadened, so that processing based on the physical quantity detected by the physical quantity detection device can be performed with high accuracy. .
[適用例8]
本適用例に係る電子機器は、上記の物理量検出装置と、前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号に基づいて演算処理を行う演算処理装置と、を含む。
Application Example 8
An electronic device according to this application example includes the above-described physical quantity detection device, and an arithmetic processing unit that performs arithmetic processing based on the physical quantity signal output from the physical quantity detection device.
本適用例に係る電子機器によれば、物理量検出装置によって精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広くなるので、物理量検出装置によって検出された物理量に基づく演算処理を高精度に行うことができる。 According to the electronic device according to this application example, the detection range of the physical quantity that can be accurately detected by the physical quantity detection device is broadened, so that the arithmetic processing based on the physical quantity detected by the physical quantity detection device can be performed with high accuracy.
[適用例9]
本適用例に係る移動体は、上記の物理量検出装置と、前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号に基づいて姿勢の制御を行う姿勢制御部と、を含む。
Application Example 9
The moving body according to this application example includes the above-described physical quantity detection device, and an attitude control unit that performs attitude control based on the physical quantity signal output from the physical quantity detection device.
本適用例に係る移動体によれば、物理量検出装置によって精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広くなるので、物理量検出装置によって検出された物理量に基づく姿勢制御を高精度に行うことができる。 According to the mobile object of the application example, the detection range of the physical quantity that can be accurately detected by the physical quantity detection device is broadened, so attitude control based on the physical quantity detected by the physical quantity detection device can be performed with high accuracy.
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施の形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The embodiments described below do not unduly limit the contents of the present invention described in the claims. In addition, not all of the configurations described below are necessarily essential configuration requirements of the present invention.
以下では、物理量として加速度を検出する物理量検出装置(加速度検出装置)を例にとり説明する。 In the following, a physical quantity detection device (acceleration detection device) that detects acceleration as a physical quantity will be described as an example.
1.物理量検出装置
[物理量検出装置の構成及び動作]
図1は、本実施形態の物理量検出装置の機能ブロック図である。本実施形態の物理量検出装置1は、物理量検出素子2と、制御回路3とを含む。
1. Physical quantity detection device [Configuration and operation of physical quantity detection device]
FIG. 1 is a functional block diagram of the physical quantity detection device of this embodiment. The physical quantity detection device 1 of the present embodiment includes a physical quantity detection element 2 and a control circuit 3.
物理量検出素子は、所定の方向に加わった物理量(ここでは加速度)に応じたアナログ信号(検出信号)を出力する素子である。物理量検出素子2は、検出容量と、検出容量の一端と電気的に接続される検出電極と、を有し、検出電極から検出信号を出力する。以下で例示する物理量検出素子2は、第1検出容量と、第2検出容量と、第1検出容量の一端及び第2検出容量の一端と電気的に接続される検出電極と、第1検出容量の他端と電気的に接続される第1駆動電極と、第2検出容量の他端と電気的に接続される第2駆動電極と、を有し、検出電極から検出信号を出力する。 The physical quantity detection element is an element that outputs an analog signal (detection signal) according to the physical quantity (here, acceleration) applied in a predetermined direction. The physical quantity detection element 2 has a detection capacitance and a detection electrode electrically connected to one end of the detection capacitance, and outputs a detection signal from the detection electrode. The physical quantity detection element 2 exemplified below has a first detection capacity, a second detection capacity, a detection electrode electrically connected to one end of the first detection capacity and one end of the second detection capacity, and a first detection capacity. And a second drive electrode electrically connected to the other end of the second detection capacitor, and a detection signal is output from the detection electrode.
図2は、このような物理量検出素子2の構造例を示す図(平面図)である。図2に示すように、物理量検出素子2は、固定部200と、可動部210とを有する。固定部200は、不図示の基板に固定されている部材である。可動部210は、加速度に応じて変位する構造体であり、錘部211とばね部212とを有する。ばね部212は、一端が基板に固定されており、他端は錘部211に接続されている。錘部211は、ばね部212により支持されている。
FIG. 2 is a view (plan view) showing an example of the structure of such a physical quantity detection element 2. As shown in FIG. 2, the physical quantity detection element 2 has a fixed
図3に示すように、物理量検出素子2に加速度aが加わると、質量mの錘部211には、F=maの力Fが働く。この力Fにより、ばね部212は変形し、錘部211は固定部200に対して相対的に変位する。
As shown in FIG. 3, when an acceleration a is applied to the physical quantity detection element 2, a force F of F = ma acts on the
錘部211は、可動電極211Aおよび可動電極211Bを有する。固定部200は、固定電極201〜204を有する。可動電極211Aは固定電極201,202の間に配置され、可動電極211Bは固定電極203,204の間に配置される。物理量検出素子2は、例えば、Si(シリコン)等の半導体材料と、半導体加工技術を用いたMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)で形成される。
The
ここで、可動電極211Aと固定電極201とのペアと、可動電極211Bと固定電極203とのペアとを、第1容量形成部5と称する。同様に、可動電極211Aと固定電極202とのペアと、可動電極211Bと固定電極204とのペアとを、第2容量形成部6と称する。物理量検出素子2は、第1容量形成部5の一端と第2容量形成部6の一端とに共通に接続されている端子9と、第1容量形成部5の他端と接続されている端子7と、第2容量形成部6の他端と接続されている端子8とを含む。図3に示す加速度a(力F)が作用したとき、第1容量形成部5の容量値は減少する一方で、第2容量形成部6の容量値は増大する。逆に、図3と反対方向の加速度a(力F)が作用したとき、第1容量形成部5の容量値は増大する一方で、第2容量形成部6の容量値は減少する。このため、端子7,8から互いに逆相の駆動信号を供給し、第1容量形成部5の他端及び第2容量形成部6の他端に電荷を供給した状態で錘部211に加速度aが作用すると、第1容量形成部5の一端及び第2容量形成部6の一端から、端子9を介して、加速度aの大きさ及び向きに応じた量の電荷(交流電流)が出力される。
Here, the pair of the
図1及び図2の構成例では、第1容量形成部5及び第2容量形成部6がそれぞれ第1検出容量及び第2検出容量に相当する。また、端子7、端子8及び端子9がそれぞれ第1駆動電極、第2駆動電極及び検出電極に相当する。
In the configuration example of FIG. 1 and FIG. 2, the first
図1に戻り、制御回路3は、Q/Vアンプ10、可変ゲインアンプ20、ローパスフィルター30、A/D変換回路40、デジタル処理回路50、発振回路60、クロック生成回路70、駆動回路100、インターフェース回路110及び記憶部120を含む。図示が省略されているが、制御回路3は、高電位側の電源電圧VDD(例えば3.0V)と低電位側の電源電圧VSS(例えば、0V)が供給されて動作する。この制御回路3は、例えば、1チップの集積回路(IC:Integrated Circuit)であってもよい。なお、本実施形態の制御回路3は、これらの要素の一部を省略又は変更し、あるいは他の要素を追加した構成としてもよい。
Returning to FIG. 1, the control circuit 3 includes the Q /
発振回路60は、クロック信号MCLKを出力する。例えば、CR発振器やリングオシレーター等であってもよい。
The
クロック生成回路70は、クロック信号MCLKに基づいて、各種のクロック信号(クロック信号DRVCLK,SMPCLK,DSPCLK)を生成する。
The
駆動回路100は、物理量検出素子2を駆動する回路であり、クロック信号DRVCLKに基づいて、物理量検出素子2を駆動する第1駆動信号DRV1及び第2駆動信号DRV2を生成する。そして、駆動回路100は、第1駆動信号DRV1を物理量検出素子2の端子7に出力し、第2駆動信号DRV2を物理量検出素子2の端子8に出力する。例えば、第1駆動信号DRV1は、クロック信号DRVCLKがハイレベルのときに所定の電圧(例えば、電源電圧VDD)となり、クロック信号DRVCLKがローレベルのとき電源電圧VSSとなる矩形波信号であってもよい。また、第2駆動信号DRV2は、クロック信号DRVCLKがローレベルのときに所定の電圧(例えば、電源電圧VDD)となり、クロック信号DRVCLKがハイレベルのとき電源電圧VSSとなる矩形波信号であってもよい。
The
Q/Vアンプ10(「電圧変換回路」の一例)は、物理量検出素子2の端子9から出力される交流電流(検出信号SO)を電圧(交流電圧信号QO)に変換して出力する。本実施形態では、検出信号SOの振幅が大きいほど、Q/Vアンプ10の利得が小さい。すなわち、Q/Vアンプ10の利得は、検出信号SOの振幅に対して単調減少する。そのため、Q/Vアンプ10の出力信号(交流電圧信号QO)の電圧は、検出信号SOの振幅に対して非線形に単調増加する。図4に、Q/Vアンプ10の入力電流(検出信号SOの振幅)と利得との関係の一例を示す。また、図5に、Q/Vアンプ10の入力電流(検出信号SOの振幅)と出力電圧(交流電圧信号QOの電圧)との関係の一例を示す。図4及び図5の例では、Q/Vアンプ10の入力電流に対して利得が対数的に減少し、その結果、Q/Vアンプ10の入力電流に対して出力電圧が対数的に増加している。すなわち、Q/Vアンプ10は、検出信号SOが大きいほど利得を小さくすることで入力レンジを拡大し、検出信号SOが小さいほど利得を大きくすることで出力信号のS/N比を向上させている。
The Q / V amplifier 10 (an example of a “voltage conversion circuit”) converts the alternating current (detection signal SO) output from the terminal 9 of the physical quantity detection element 2 into a voltage (AC voltage signal QO) and outputs it. In the present embodiment, as the amplitude of the detection signal SO is larger, the gain of the Q /
可変ゲインアンプ20は、Q/Vアンプ10から出力される交流電圧信号QOを増幅した交流電圧信号POを出力する。
The
ローパスフィルター30は、可変ゲインアンプ20から出力される交流電圧信号POに対して、検出可能な加速度の周波数帯域よりも高周波のノイズ成分を減衰させた交流電圧信号LOを出力する。
The
A/D変換回路40は、クロック信号SMPCLKに基づいて、ローパスフィルター30が出力する交流電圧信号LOをサンプリングしてデジタル信号に変換する。
The A /
デジタル処理回路50は、A/D変換回路40から出力されるデジタル信号をデジタル処理する回路である。具体的には、デジタル処理回路50は、A/D変換回路40から出力されるデジタル信号に対して、高周波ノイズ成分を減衰させるローパスフィルター処理や、補正処理(例えば、温度補正)等を行う。デジタル処理回路50によって処理されたデジタル信号(加速度データ)(「物理量信号」の一例)は、物理量検出素子2の端子9から出力される検出信号SOの振幅に応じた大きさの信号である。前述の通り、Q/Vアンプ10の出力信号(交流電圧信号QO)の電圧は、検出信号SOの振幅に対して非線形に単調増加し、例えば、検出信号SOの振幅に対して対数的に増加する。そこで、デジタル処理回路50は、検出信号SOの振幅と加速度データの値との関係を線形に近づける処理(逆変換処理)を行う。例えば、記憶部120に、検出信号SOの振幅と加速度データの値との関係を示すテーブル又は計算式の係数値を記憶させておき、デジタル処理回路50は、記憶部120から当該テーブル又は計算式の係数値を読み出して、逆変換処理を行ってもよい。
The
このように、Q/Vアンプ10、可変ゲインアンプ20、ローパスフィルター30、A/D変換回路40及びデジタル処理回路50は、物理量検出素子2の端子9から出力される検出信号SOに基づいて、検出信号SOの振幅に応じた大きさの物理量信号(加速度データ)を生成する検出回路150を構成する。この検出回路150において、可変ゲインアンプ20、ローパスフィルター30、A/D変換回路40及びデジタル処理回路50は、Q/Vアンプ10の出力信号(交流電圧信号QO)に基づいて、物理量信号(加速度データ)を生成する物理量信号生成回路を構成する。また、この物理量信号生成回路において、可変ゲインアンプ20及びローパスフィルター30は、Q/Vアンプ10の出力信号(交流電圧信号QO)に基づいて、検出信号SOの振幅に応じた電圧のアナログ信号(交流電圧信号LO)を生成するアナログ処理回路を構成する。
As described above, the Q /
インターフェース回路110は、物理量検出装置1の外部装置と通信するための回路である。当該外部装置は、インターフェース回路110を介して、記憶部120に対するデータの書き込みや読み出し、デジタル処理回路50から出力されるデジタル信号(加速度データ)の読み出し等を行うことができる。インターフェース回路110は、例えば、3端子や4端子のSPI(Serial Peripheral Interface)インターフェース回路であってもよいし、2端子のI2C(Inter-Integrated Circuit)インターフェース回路であってもよい。
The
記憶部120は、レジスター121及び不揮発性メモリー122を有している。不揮発性メモリー122には、制御回路3に含まれる各回路に対する各種のデータ(例えば、可変ゲインアンプ20の利得調整データ、デジタル処理回路50によるローパスフィルター処理(デジタルフィルター処理)のフィルター係数)等の各種の情報が記憶されている。不揮発性メモリー122は、例えば、MONOS(Metal Oxide Nitride Oxide Silicon)型メモリーやEEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)として構成することができる。また、制御回路3の電源投入時(電源電圧が0VからVDDまで立ち上がる時)に、不揮発性メモリー122に記憶されている各種のデータがレジスター121に転送されて保持され、レジスター121に保持された各種のデータが各回路に供給される。
The
[Q/Vアンプの構成]
図6は、Q/Vアンプ10の具体的な構成例を示す図である。図6の例では、Q/Vアンプ10は、演算増幅器11と、演算増幅器11の入力端子と出力端子との間に接続された帰還回路12と、を有する。帰還回路12は、帰還容量13と、帰還容量13と直列に接続されたダイオード回路14と、を有する。ダイオード回路14は、第1ダイオード15と、第2ダイオード16とを有し、第1ダイオード15のアノード端子と第2ダイオード16のカソード端子とが接続され、第1ダイオード15のカソード端子と第2ダイオードのアノード端子とが接続されている。
[Configuration of Q / V amplifier]
FIG. 6 is a diagram showing a specific configuration example of the Q /
より詳細には、演算増幅器11の非反転入力端子と帰還容量13の一端とが接続され、帰還容量13の他端は、第1ダイオード15のアノード端子及び第2ダイオード16のカソード端子と接続されている。また、第1ダイオード15のカソード端子及び第2ダイオード16のアノード端子は、演算増幅器11の出力端子と接続されている。そして、演算増幅器11の非反転入力端子には検出信号SOが入力され、演算増幅器11の反転入力端子にはアナロググラウンド電圧(例えば、電源電圧VDDと電源電圧VSSとの差の1/2)が入力され、演算増幅器11の出力端子から交流電圧信号QOが出力される。
More specifically, the non-inversion input terminal of the
このように構成されているQ/Vアンプ10の利得は、物理量検出素子2の第1容量形成部5あるいは第2容量形成部6の容量値C1と、帰還回路12の容量値C2との比C1/C2に比例する。検出信号SOが小さいほど、第1ダイオード15及び第2ダイオード16に流れる順方向電流が小さくなり、帰還回路12の容量値C2が小さくなる(帰還回路12のインピーダンス値が大きくなる)ため、Q/Vアンプ10の利得が大きくなる。逆に言えば、検出信号SOが大きいほど、第1ダイオード15及び第2ダイオード16に流れる順方向電流が大きくなり、帰還回路12の容量値C2が大きくなる(帰還回路12のインピーダンス値が小さくなる)ため、Q/Vアンプ10の利得が小さくなる。そして、第1ダイオード15及び第2ダイオード16の順方向電流は、両端の電圧差に対して指数関数的に増加するため、Q/Vアンプ10の利得は検出信号SOの振幅に対して対数的に減少することになる。
The gain of the Q /
[作用効果]
以上に説明したように、本実施形態の物理量検出装置1では、検出回路150のQ/Vアンプ10において、入力電流が小さいほど、第1ダイオード15及び第2ダイオード16に流れる順方向電流が小さくなり、帰還回路12の容量値C2が小さくなる(帰還回路12のインピーダンス値が大きくなる)ため、演算増幅器11の出力電圧の増加量が大きくなる。逆に、入力電流が大きいほど、第1ダイオード15及び第2ダイオード16に流れる順方向電流が大きくなり、帰還回路12の容量値C2が大きくなる(帰還回路12のインピーダンス値が小さくなる)ため、演算増幅器11の出力電圧の増加量が小さくなる。すなわち、入力電流が大きいほど出力電圧の増加量が小さくなる入出力特性(入力電流が大きいほど利得が小さくなる利得特性)を有する入力レンジの広いQ/Vアンプ10が実現されるので、このQ/Vアンプ10によって、物理量検出素子2の端子9(検出電極)から出力される電流(検出信号)を、広い電流範囲において必要なS/N比を確保しながら飽和することなく電圧信号に変換することができる。従って、本実施形態の物理量検出装置1(検出回路150)によれば、このQ/Vアンプ10の出力信号に基づいて加速度データ(物理量信号)が生成されるので、精度よく検出可能な加速度(物理量)の検出範囲を広くすることができる。
[Function effect]
As described above, in the physical quantity detection device 1 of this embodiment, in the Q /
また、本実施形態の物理量検出装置1(検出回路150)によれば、非線形な入出力特性を有する入力レンジの広いQ/Vアンプ10の出力信号に基づいて生成されるデジタル信号に対して、デジタル処理回路50が、検出信号SOの振幅と加速度データ(物理量信号)の値との関係を線形に近づける逆変換処理を行うので、加速度データを用いる外部装置において当該逆変換処理を行う必要がなく、外部装置の負荷を低減させることができる。
Further, according to the physical quantity detection device 1 (detection circuit 150) of the present embodiment, with respect to the digital signal generated based on the output signal of the wide Q /
[変形例]
上記の実施形態では、物理量検出装置1が出力する物理量信号(加速度信号)はデジタル信号であるが、アナログ信号であってもよい。
[Modification]
In the above embodiment, the physical quantity signal (acceleration signal) output from the physical quantity detection device 1 is a digital signal, but may be an analog signal.
また、上記の実施形態の物理量検出装置1は、1軸の物理量(加速度)を検出するが、互いに交差する複数軸(2軸、3軸あるいは4軸以上)の物理量を検出してもよい。この変形例の物理量検出装置1は、例えば、物理量検出素子2、駆動回路100及び検出回路150が軸毎に独立して設けられていてもよいし、各軸の物理量をそれぞれ検出する複数の物理量検出素子2に対して駆動回路100及び検出回路150の一方又は両方が共通に設けられていてもよい。
Further, although the physical quantity detection device 1 of the above embodiment detects the physical quantity (acceleration) of one axis, it may detect the physical quantities of a plurality of axes (two axes, three axes or four or more axes) intersecting with each other. In the physical quantity detection device 1 of this modification, for example, the physical quantity detection element 2, the
また、上記の実施形態では、制御回路3は、物理量検出素子2の端子7,8に第1駆動信号DRV1及び第2駆動信号DRV2をそれぞれ供給し、端子9から出力される電流(検出信号SO)に基づいて、物理量信号(加速度データ)を生成しているが、物理量検出素子2の端子9に駆動信号を供給し、端子7,8から出力される互いに逆相の電流(互いに逆相の検出信号)に基づいて、物理量信号(加速度データ)を生成してもよい。
Further, in the above embodiment, the control circuit 3 supplies the first drive signal DRV1 and the second drive signal DRV2 to the
また、上記の実施形態では、物理量として加速度を検出する物理量検出装置1(制御回路3)を例に挙げたが、本発明は、角速度、角加速度、圧力等の各種の物理量を検出する物理量検出装置(制御回路)にも適用可能である。 Further, in the above embodiment, the physical quantity detection device 1 (control circuit 3) that detects acceleration as a physical quantity is described as an example, but in the present invention, physical quantity detection that detects various physical quantities such as angular velocity, angular acceleration, and pressure It is applicable also to an apparatus (control circuit).
2.慣性計測装置(IMU:Inertial Measurement Unit)
図7は、本実施形態の慣性計測装置の構成例を示す図である。図7に示されるように、本実施形態の慣性計測装置400は、互いに交差(理想的には、直交)する3軸(x軸、y軸、z軸)の角速度をそれぞれ検出する3つの角速度検出装置411〜413、互いに交差(理想的には、直交)する3軸(x軸、y軸、z軸)の加速度をそれぞれ検出する3つの加速度検出装置421〜423、信号処理回路430、記憶部440及び通信回路450を含んで構成されている。なお、本実施形態の慣性計測装置400は、図7に示される構成要素(各部)の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
2. Inertial Measurement Unit (IMU)
FIG. 7 is a view showing a configuration example of the inertial measurement device of the present embodiment. As shown in FIG. 7, the inertial measurement device 400 of this embodiment detects three angular velocities respectively detecting angular velocities of three axes (x-axis, y-axis, z-axis) intersecting (ideally orthogonal) with each other.
角速度検出装置411は、x軸回りに生じる角速度を検出し、検出したx軸角速度の大きさ及び向きに応じた角速度信号を出力する。角速度検出装置412は、y軸回りに生じる角速度を検出し、検出したy軸角速度の大きさ及び向きに応じた角速度信号を出力する。角速度検出装置413は、z軸回りに生じる角速度を検出し、検出したz軸角速度の大きさ及び向きに応じた角速度信号を出力する。
The angular
加速度検出装置421は、x軸回りに生じる加速度を検出し、検出したx軸加速度の大きさ及び向きに応じた加速度信号を出力する。加速度検出装置422は、y軸回りに生じる加速度を検出し、検出したy軸加速度の大きさ及び向きに応じた加速度信号を出力する。加速度検出装置423は、z軸回りに生じる加速度を検出し、検出したz軸加速度の大きさ及び向きに応じた加速度信号を出力する。
The
なお、3つの角速度検出装置411〜413は、1つのパッケージに収容されて3軸角速度検出モジュールを構成してもよい。同様に、3つの加速度検出装置421〜423は、1つのパッケージに収容されて3軸加速度検出モジュールを構成してもよい。
The three
信号処理回路430は、角速度検出装置411〜413から出力された3軸角速度信号を取得し、加速度検出装置421〜423から出力された3軸加速度信号を取得し、取得した3軸角速度信号及び3軸加速度信号を処理する。例えば、信号処理回路430は、取得した3軸角速度信号及び3軸加速度信号を順次A/D変換して3軸角速度データ及び3軸加速度データからなる慣性データを生成し、時刻情報を付して慣性データを記憶部440に記憶する処理を行う。また、信号処理回路430は、角速度検出装置411〜413及び加速度検出装置421〜423の各々の取り付け角誤差(各検出軸とx軸,y軸,z軸との誤差)に応じてあらかじめ算出された補正パラメーターを用いて、記憶部440に記憶した慣性データをxyz座標系のデータに変換(補正)し、記憶部440に記憶する処理を行う。また、信号処理回路430は、xyz座標系のデータに変換して記憶部440に記憶した慣性データを時刻順に読み出し、時刻情報と慣性データとを含むパケットデータを生成し、通信回路450に出力する。
The
また、信号処理回路430は、慣性データに対して、オフセット補正処理や温度補正処理を行ってもよいし、角速度検出装置411〜413及び加速度検出装置421〜423の各々の検出動作(例えば、検出周期等)を制御してもよい。
In addition, the
通信回路450は、信号処理回路430の処理によって得られたパケットデータ(時刻情報付きの慣性データ)を受け取って、当該パケットデータをあらかじめ決められた通信フォーマットに合わせたシリアルデータに変換し、外部に送信する。
なお、角速度検出装置411〜413が出力する3軸角速度信号及び加速度検出装置421〜423が出力する3軸加速度信号は、デジタル信号であってもよい。また、本実施形態の慣性計測装置400は、3つの角速度検出装置411〜413と3つの加速度検出装置421〜423とを含むが、少なくとも1つの角速度検出装置を含めばよい。
The three-axis angular velocity signals output from the
本実施形態の慣性計測装置400において、加速度検出装置421〜423の少なくとも何れか又は角速度検出装置411〜413の少なくとも何れかとして、上記の各実施形態又は各変形例の物理量検出装置1が適用される。本実施形態の慣性計測装置400によれば、加速度検出装置421〜423の少なくとも何れか又は角速度検出装置411〜413の少なくとも何れかとして、精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広い物理量検出装置1が適用されるので、高い計測精度を達成することができる。
In the inertial measurement device 400 of the present embodiment, the physical quantity detection device 1 of each of the above-described embodiments or each modification is applied as at least one of the
3.移動体測位装置
図8は、本実施形態の移動体測位装置の構成例を示す図である。図8に示されるように、本実施形態の移動体測位装置500は、センサーモジュール510、処理部520、操作部530、記憶部540、表示部550、音出力部560及び通信部570を含んで構成されており、各種の移動体に搭載される。なお、本実施形態の移動体測位装置500は、図8に示される構成要素(各部)の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
3. Mobile Positioning Device FIG. 8 is a view showing an example of the configuration of a mobile positioning device according to the present embodiment. As shown in FIG. 8, the mobile body positioning device 500 of this embodiment includes a sensor module 510, a processing unit 520, an
センサーモジュール510は、慣性計測装置511と衛星信号受信部512とを含む。
The sensor module 510 includes an
慣性計測装置511は、3軸(x軸、y軸、z軸)回りに生じる角速度をそれぞれ検出する不図示の3つの角速度検出装置と、3軸(x軸、y軸、z軸)回りに生じる加速度をそれぞれ検出不図示の3つの加速度検出装置と、を含む。そして、センサーモジュール510は、3つの角速度検出装置によって検出された3軸角速度信号及び3つの加速度検出装置によって検出された3軸加速度信号に対して、所定の処理(A/D変換処理、取り付け角誤差の補正処理等)を行う。さらに、センサーモジュール510は、所定の処理を行って得られた慣性データ(3軸角速度データ及び3軸加速度データ)を処理部520に出力する。慣性計測装置511として、上記の実施形態の慣性計測装置400が適用される。
The
衛星信号受信部512は、不図示のアンテナを介して、GPS(Global Positioning System)衛星等の測位用衛星から、当該測位用衛星の軌道情報や時刻情報等を含む航法メッセージ(「測位用情報」の一例)が重畳された電波(衛星信号)を受信する。衛星信号受信部512は、例えば3つ以上の測位用衛星からそれぞれ送信された衛星信号を受信し、例えば公知の技術により、受信した各衛星信号に重畳されている航法メッセージを復調(取得)し、各航法メッセージを処理部520に出力する。なお、衛星信号受信部512は、GPS以外の全地球航法衛星システム(GNSS:Global Navigation Satellite System)の測位用衛星やGNSS以外の測位用衛星からの衛星信号を用いてもよいし、WAAS(Wide Area Augmentation System)、EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、QZSS(Quasi Zenith Satellite System)、GLONASS(GLObalNAvigation Satellite System)、GALILEO、BeiDou(BeiDou Navigation Satellite System)等の衛星測位システムのうち1つ、あるいは2つ以上のシステムの測位用衛星からの衛星信号を利用してもよい。
The satellite
図8では、慣性計測装置511と衛星信号受信部512とは、センサーモジュール510に含まれているが、センサーモジュール510として一体化されていなくてもよい。すなわち、慣性計測装置511と衛星信号受信部512とは1つのパッケージに収容されていなくてもよい。
Although the
操作部530は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を処理部520に出力する。
The
記憶部540は、処理部520が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶するROM(Read Only Memory)や、処理部520の作業領域として用いられ、ROMから読み出されたプログラムやデータ、操作部530から入力されたデータ、処理部520が各種プログラムにしたがって実行した演算結果等を一時的に記憶するRAM(Random Access Memory)を含む。
The
表示部550は、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)、有機ELディスプレイ(OELD:Organic Electro-Luminescence Display)、電気泳動ディスプレイ等により構成される表示装置であり、処理部520から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
The
音出力部560は、スピーカー等の音を出力する装置である。
The
通信部570は、処理部520と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
The
処理部520は、記憶部540に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、処理部520は、慣性計測装置511から慣性データを取得し、衛星信号受信部512から航法メッセージを取得し、取得したこれらのデータや操作部530からの操作信号に応じた各種の処理、外部装置とデータ通信を行うために通信部570を制御する処理、表示部550に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部560に各種の音を出力させる処理等を行う。
The processing unit 520 performs various calculation processing and control processing according to the program stored in the
特に、本実施形態では、処理部520は、記憶部540に記憶されているプログラムを実行することにより、姿勢算出部521、位置算出部522及び位置補正部523の各部として機能する。
In particular, in the present embodiment, the processing unit 520 functions as each unit of the
姿勢算出部521は、慣性計測装置511から出力される慣性データに基づいて、例えば公知の手法により、移動体測位装置500が搭載される移動体の姿勢を算出する。
The
位置算出部522は、衛星信号受信部512から出力される航法メッセージに基づいて、移動体の位置を算出する。具体的には、位置算出部522は、衛星信号受信部512から出力される3つ以上の航法メッセージに含まれる衛星信号の発信時刻や受信時の電波伝搬遅れ等の情報を用いて、移動体測位装置500が搭載される移動体と3つ以上の測位用衛星との各距離を算出する。そして、位置算出部522は、算出した距離から移動体の位置を算出する。
The
位置補正部523は、姿勢算出部521が算出した移動体の姿勢に基づいて、位置算出部522が算出した移動体の位置を補正する。例えば、位置補正部523は、移動体の姿勢から移動体の水平面に対する傾斜角度を算出し、算出した傾斜角度に基づいて、移動体の水平面上の位置を移動体が移動する面における位置に補正してもよい。
The
処理部520は、移動体の位置や姿勢等の情報を、表示部550に表示させ、あるいは音出力部560から出力させ、あるいは、通信部570を介して外部装置に送信する。
The processing unit 520 causes the
なお、衛星信号受信部512が各衛星信号を受信して航法メッセージを復調し、位置算出部522が航法メッセージを用いて移動体と各測位用衛星との距離を算出して移動体の位置を算出しているが、衛星信号受信部512が、移動体と各測位用衛星との距離を算出してもよいし、移動体の位置を算出してもよい。すなわち、衛星信号受信部512が、位置算出部522が行う処理の少なくとも一部を行ってもよい。
The satellite
本実施形態の移動体測位装置500によれば、慣性計測装置511として、高い計測精度を達成することが可能な慣性計測装置400が適用されるので、例えば、移動体の位置や姿勢等をより高精度に測定することができる。
According to the mobile object positioning device 500 of the present embodiment, the inertial measurement device 400 capable of achieving high measurement accuracy is applied as the
4.電子機器
図9は、本実施形態の電子機器の機能ブロック図の一例である。図9に示されるように、本実施形態の電子機器600は、物理量検出装置610、演算処理装置620、操作部630、ROM640、RAM650、通信部660、表示部670、音出力部680を含んで構成されている。なお、本実施形態の電子機器600は、図9に示される構成要素(各部)の一部を省略または変更してもよいし、他の構成要素を付加した構成としてもよい。
4. Electronic Device FIG. 9 is an example of a functional block diagram of the electronic device of the present embodiment. As shown in FIG. 9, the
物理量検出装置610は、1軸又は複数軸(2軸、3軸、あるいは4軸以上)に生じる物理量をそれぞれ検出し、物理量信号を演算処理装置620に出力する。物理量検出装置610として、上記の各実施形態又は各変形例の物理量検出装置1が適用される。
The physical
演算処理装置620は、ROM640等に記憶されているプログラムに従い、各種の計算処理や制御処理を行う。具体的には、演算処理装置620は、物理量検出装置610から出力された物理量信号に基づいて演算処理(例えば、各種の計算処理や制御処理など)を行う。また、演算処理装置620は、操作部630からの操作信号に応じた各種の処理、外部とデータ通信を行うために通信部660を制御する処理、表示部670に各種の情報を表示させるための表示信号を送信する処理、音出力部680に各種の音を出力させる処理等を行う。
The
操作部630は、操作キーやボタンスイッチ等により構成される入力装置であり、ユーザーによる操作に応じた操作信号を演算処理装置620に出力する。
The
ROM640は、演算処理装置620が各種の計算処理や制御処理を行うためのプログラムやデータ等を記憶している。
The
RAM650は、演算処理装置620の作業領域として用いられ、ROM640から読み出されたプログラムやデータ、操作部630から入力されたデータ、演算処理装置620が各種プログラムにしたがって実行した演算結果等を一時的に記憶する。
The
通信部660は、演算処理装置620と外部装置との間のデータ通信を成立させるための各種制御を行う。
The
表示部670は、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)、有機ELディスプレイ(OELD:Organic Electro-Luminescence Display)、電気泳動ディスプレイ等により構成される表示装置であり、演算処理装置620から入力される表示信号に基づいて各種の情報を表示する。
The
音出力部680は、スピーカー等の音を出力する装置である。
The
本実施形態の電子機器600によれば、物理量検出装置610として、精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広い物理量検出装置1が適用されるので、例えば、物理量の変化に基づく処理(例えば、姿勢に応じた制御など)をより高精度に行うことができる。
According to the
電子機器600としては種々の電子機器が考えられる。例えば、地震計、作業用ロボット、ヘルスモニタリング装置、無人運転装置、パーソナルコンピューター(例えば、モバイル型パーソナルコンピューター、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター)、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルカメラ、インクジェット式吐出装置(例えば、インクジェットプリンター)、ルーターやスイッチなどのストレージエリアネットワーク機器、ローカルエリアネットワーク機器、移動体端末基地局用機器、テレビ、ビデオカメラ、ビデオレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS(point of sale)端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、PDR(歩行者位置方位計測)等が挙げられる。
Various electronic devices can be considered as the
図10は、電子機器600の一例であるスマートフォンの外観の一例を示す図であり、図11は、電子機器600の一例としての腕装着型の携帯機器の外観の一例を示す図である。図10に示される電子機器600であるスマートフォンは、操作部630としてボタンを、表示部670としてLCDを備えている。図11に示される電子機器600である腕装着型の携帯機器は、操作部630としてボタンおよび竜頭を、表示部670としてLCDを備えている。これらの電子機器600は、物理量検出装置610として、精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広い物理量検出装置1が適用されるので、物理量の変化に基づく処理(例えば、姿勢に応じた表示制御など)をより高精度に行うことができる。
FIG. 10 is a view showing an example of the appearance of a smartphone as an example of the
更に、電子機器600の一例として携帯型電子機器の1つである腕時計型の活動計(アクティブトラッカー)がある。腕時計型の活動計は、バンド等によって手首等の部位(被検体)に装着され、デジタル表示の表示部を備え無線通信が可能である。上述した本実施形態に係る物理量検出装置1は、腕時計型の活動計に組み込まれている。
Furthermore, as an example of the
表示部670を構成する液晶ディスプレイ(LCD)では、種々の検出モードに応じて、例えば、GPSや地磁気センサーを用いた位置情報、移動量や加速度センサーや角速度センサーなどを用いた運動量などの運動情報、脈波センサーなどを用いた脈拍数などの生体情報、もしくは現在時刻などの時刻情報などが表示される。
The liquid crystal display (LCD) constituting the
図12は、携帯型の電子機器600の実施形態に係るリスト機器800(腕時計型の活動計)の平面図である。リスト機器800は、ランニングウォッチ、ランナーズウォッチ、デュアスロンやトライアスロン等マルチスポーツ対応のランナーズウォッチ、アウトドアウォッチ、及び衛星測位システム、例えば、GPSを搭載したGPSウォッチ、等に広く適用できる。
FIG. 12 is a plan view of a wrist device 800 (watch-type activity meter) according to an embodiment of the portable
リスト機器800は、ユーザー(装着者)の所与の部位(例えば、手首)に装着され、ユーザーの位置情報や運動情報などを検出することができる。リスト機器は、ユーザーに装着されて位置情報や運動情報などを検出する機器本体810と、機器本体810に取り付けられ機器本体810をユーザーに装着するための第1のバンド部821および第2のバンド部822と、を含む。なお、リスト機器800には、ユーザーの位置情報や運動情報に加えて、例えば脈波情報などの生体情報を検出する機能や時刻情報などを取得する機能を設けることができる。
The
機器本体810は、ユーザーへの装着側にケースとしてのボトムケース(不図示)が配置され、ユーザーへの装着側と反対側には、表側に開口する開口部を有するケースとしてのトップケース830が配置されている。ここで、ボトムケースとトップケース830とによって、ケースが構成される。機器本体810の表側(トップケース830)に位置する開口部の外側には、ベゼル840が設けられるとともに、このベゼル840の内側にベゼル840と並んで配置されて内部構造を保護する天板部分(外壁)としての風防板(例えば、ガラス板)850が設けられている。風防板850は、透光性カバーとして機能し、トップケース830の開口部を塞ぐように配置されている。機器本体810の表側(トップケース830)の側面には、複数の操作部871(操作ボタン)が設けられている。なお、ベゼル840には、表側から視認可能な表示を設けることができる。
In the
また、機器本体810は、風防板850の直下に配置されている液晶ディスプレイ(LCD)などで構成される表示部874と、風防板850の外縁部分と表示部874との間に配置されている吸湿部材860と、を有しており、表示部874及び吸湿部材860はケースに収容されている。なお、吸湿部材860には、表側から視認可能な表示を設けることができる。機器本体810は、風防板850を介して、表示部874の表示や吸湿部材860の表示をユーザーが閲覧可能な構成としてもよい。つまり本実施形態のリスト機器800では、検出した位置情報や運動情報、或いは時刻情報等の種々の情報を表示部874に表示し、当該表示を機器本体810のトップ側からユーザーに提示するものであってもよい。また、ボトムケースの両側には、第1のバンド部821および第2のバンド部822との接続部である一対のバンド装着部(不図示)が設けられている。
In addition, the
図13は、リスト機器800の機能ブロック図の一例である。図13に示すように、リスト機器800は、処理部870、GPSセンサー880、地磁気センサー881、圧力センサー882、加速度センサー883、角速度センサー884、脈拍センサー885、温度センサー886、操作部871、計時部872、記憶部873、表示部874、音出力部875、通信部876、バッテリー877などを含んで構成されており、これらの各部はケースに収容されている。但し、リスト機器800の構成は、これらの構成要素の一部を削除又は変更し、あるいは他の構成要素を追加したものであってもよい。
FIG. 13 is an example of a functional block diagram of the
通信部876は、リスト機器800と他の情報端末との間の通信を成立させるための各種制御を行う。通信部876は、例えば、Bluetooth(登録商標)(BTLE:Bluetooth Low Energyを含む)、Wi−Fi(登録商標)(Wireless Fidelity)、Zigbee(登録商標)、NFC(Near field communication)、ANT+(登録商標)等の近距離無線通信規格に対応した送受信機や通信部876はUSB(Universal Serial Bus)等の通信バス規格に対応したコネクターを含んで構成される。
The
処理部870(プロセッサー)は、例えば、MPU(Micro Processing Unit)、DSP(Digital Signal Processor)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)等により構成される。処理部870は、記憶部873に格納されたプログラムと、操作部871から入力された信号とに基づき、各種の処理を実行する。処理部870による処理には、GPSセンサー880、地磁気センサー881、圧力センサー882、加速度センサー883、角速度センサー884、脈拍センサー885、温度センサー886、計時部872の各出力信号(出力データ)に対するデータ処理、表示部874に画像を表示させる表示処理、音出力部875に音を出力させる音出力処理、通信部876を介して情報端末と通信を行う通信処理、バッテリー877からの電力を各部へ供給する電力制御処理などが含まれる。
The processing unit 870 (processor) is configured by, for example, a micro processing unit (MPU), a digital signal processor (DSP), an application specific integrated circuit (ASIC), or the like. The
処理部870は、高精度のGPS機能により計測開始からのユーザーが移動した合計距離を計測する。また、処理部870は、距離計測の結果から、ユーザーの現在の走行ペースを計測し表示する。また、処理部870は、ユーザーの走行開始から現在までの平均スピードを算出し表示する。また、処理部870は、GPS機能により、標高を計測し表示する。また、処理部870は、GPS電波が届かないトンネル内などでもユーザーの歩幅を計測し表示する。また、処理部870は、ユーザーの1分あたりの歩数(ピッチ)を計測し表示する。また、処理部870は、脈拍センサーによりユーザーの心拍数を計測し表示する。また、処理部870は、ユーザーの山間部でのトレーニングやトレイルランにおいて、地面の勾配を計測し表示する。また、処理部870は、事前に設定した一定距離や一定時間を走った時に、自動でラップ計測(オートラップ)を行う。また、処理部870は、ユーザーの消費カロリーを表示する。また、処理部870は、ユーザーの運動開始からの歩数の合計を表示する。
The
上記実施形態に係る物理量検出装置1を含む加速度センサー883は、互いに交差する(理想的には直交する)3軸方向の各々の加速度を検出し、検出した3軸加速度の大きさ及び向きに応じた信号(加速度信号)を出力する。あるいは、上記実施形態に係る物理量検出装置1を含む角速度センサー884は、互いに交差する(理想的には直交する)3軸方向の各々の角速度を検出し、検出した3軸角速度の大きさ及び向きに応じた信号(角速度信号)を出力する。 The acceleration sensor 883 including the physical quantity detection device 1 according to the above embodiment detects accelerations in directions of three axes intersecting (ideally orthogonal) with each other, according to the magnitude and direction of the detected three-axis acceleration. Output an acceleration signal. Alternatively, the angular velocity sensor 884 including the physical quantity detection device 1 according to the above embodiment detects the angular velocity in the directions of three axes intersecting (ideally orthogonal) with each other, and the magnitude and direction of the detected three axial angular velocity Output a signal (angular velocity signal) according to
なお、上述したリスト機器800は、衛星測位システムとしてGPS(Global Positioning System)を利用しているが、他の全地球航法衛星システム(GNSS:Global Navigation Satellite System)を利用してもよい。例えば、EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)、QZSS(Quasi Zenith Satellite System)、GLONASS(GLObalNAvigation Satellite System)、GALILEO、BeiDou(BeiDou Navigation Satellite System)、等の衛星測位システムのうち1又は2以上を利用してもよい。また、衛星測位システムの少なくとも1つにWAAS(Wide Area Augmentation System)、EGNOS(European Geostationary-Satellite Navigation Overlay Service)等の静止衛星型衛星航法補強システム(SBAS:Satellite-based Augmentation System)を利用してもよい。
In addition, although the
5.移動体
図14は、本実施形態の移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。図14に示すように、自動車1500には物理量検出装置1が搭載されており、例えば、物理量検出装置1によって車体1501の姿勢を検出することができる。物理量検出装置1から出力される物理量信号は、車体の姿勢を制御する制御部(姿勢制御部)としての車体姿勢制御装置1503に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。また、物理量検出装置1は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
5. Mobile Body FIG. 14 is a perspective view showing the configuration of an automobile which is an example of the mobile body of the present embodiment. As shown in FIG. 14, the physical quantity detection device 1 is mounted on the
また、移動体に適用される物理量検出装置1は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの姿勢制御、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の姿勢制御、農業機械(農機)、もしくは建設機械(建機)などの姿勢制御において利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、物理量検出装置1、およびそれぞれの制御部(不図示)が組み込まれる。 In addition to the above examples, the physical quantity detection device 1 applied to a mobile object may be, for example, attitude control such as a biped robot or a train, remote control such as a radio controlled airplane, a radio controlled helicopter, or a drone or autonomous type It can be used in attitude control of flight vehicles, attitude control of agricultural machines (agricultural machines) or construction machines (construction machines). As described above, the physical quantity detection device 1 and each control unit (not shown) are incorporated in order to realize attitude control of various moving bodies.
このような移動体は、精度よく検出可能な物理量の検出範囲が広い物理量検出装置1、および制御部(不図示)を備えているので、制御部による物理量の変化に基づく制御(姿勢制御等)を高精度に行うことができる。 Since such a mobile body includes the physical quantity detection device 1 having a wide detection range of the physical quantity that can be detected accurately and the control unit (not shown), the control based on the change of the physical quantity by the control unit (attitude control etc.) Can be done with high accuracy.
本発明は本実施形態に限定されず、本発明の要旨の範囲内で種々の変形実施が可能である。 The present invention is not limited to the present embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention.
上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。 The above-mentioned embodiment and modification are an example, and are not necessarily limited to these. For example, it is also possible to combine each embodiment and each modification suitably.
本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成(例えば、機能、方法及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成)を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。 The present invention includes configurations substantially the same as the configurations described in the embodiments (for example, configurations having the same function, method and result, or configurations having the same purpose and effect). Further, the present invention includes a configuration in which a nonessential part of the configuration described in the embodiment is replaced. The present invention also includes configurations that can achieve the same effects as the configurations described in the embodiments or that can achieve the same purpose. Further, the present invention includes a configuration in which a known technology is added to the configuration described in the embodiment.
1…物理量検出装置、2…物理量検出素子、3…制御回路、5…第1容量形成部、6…第2容量形成部、7,8,9…端子、10…Q/Vアンプ、11…演算増幅器、12…帰還回路、13…帰還容量、14…ダイオード回路、15…第1ダイオード、16…第2ダイオード、20…可変ゲインアンプ、30…ローパスフィルター、40…A/D変換回路、50…デジタル処理回路、60…発振回路、70…クロック生成回路、100…駆動回路、110…インターフェース回路、120…記憶部、121…レジスター、122…不揮発性メモリー、150…検出回路、200…固定部、201〜204…固定電極、210…可動部、211…錘部、211A,211B…可動電極、212…ばね部、400…慣性計測装置、411,412,413…角速度検出装置、421,422,423…加速度検出装置、430…信号処理回路、440…記憶部、450…通信回路、500…移動体測位装置、510…センサーモジュール、520…処理部、521…姿勢算出部、522…位置算出部、523…位置補正部、530…操作部、540…記憶部、550…表示部、560…音出力部、570…通信部、600…電子機器、610…物理量検出装置、620…演算処理装置、630…操作部、640…ROM、650…RAM、660…通信部、670…表示部、680…音出力部、800…リスト機器、810…機器本体、821…第1のバンド部、822…第2のバンド部、830…トップケース、840…ベゼル、850…風防板、860…吸湿部材、870…処理部、880…GPSセンサー、881…地磁気センサー、882…圧力センサー、883…加速度センサー、884…角速度センサー、885…脈拍センサー、886…温度センサー、871…操作部、872…計時部、873…記憶部、874…表示部、875…音出力部、876…通信部、877…バッテリー、1500…自動車、1501…車体、1502…車体姿勢制御装置、1503…車輪
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Physical quantity detection apparatus, 2 ... Physical quantity detection element, 3 ... Control circuit, 5 ... 1st capacity formation part, 6 ... 2nd capacity formation part, 7, 8, 9, ... terminal, 10 ... Q / V amplifier, 11 ... Operational amplifier, 12: feedback circuit, 13: feedback capacitance, 14: diode circuit, 15: first diode, 16: second diode, 20: variable gain amplifier, 30: low pass filter, 40: A / D conversion circuit, 50 ... digital processing circuit, 60 ... oscillation circuit, 70 ... clock generation circuit, 100 ... drive circuit, 110 ... interface circuit, 120 ... storage unit, 121 ... register, 122 ... non-volatile memory, 150 ... detection circuit, 200 ... fixed section 201 to 204 fixed electrode 210 movable portion 211 weight portion 211A, 211B movable electrode 212 spring portion 400 inertia measurement device 411, 412 413: angular velocity detection device, 421, 422, 423: acceleration detection device, 430: signal processing circuit, 440: storage unit, 450: communication circuit, 500: mobile positioning device, 510: sensor module, 520: processing unit, 521 ... posture calculation unit 522 position calculation unit 523 position correction unit 530 operation unit 540 storage unit 550 display unit 560 sound output unit 570 communication unit 600 electronic device 610 Physical quantity detection device, 620: Arithmetic processing device, 630: Operation unit, 640: ROM, 650: RAM, 660: Communication unit, 670: Display unit, 680: Sound output unit, 800: List device, 810: Device body, 821 ... 1st band part, 822 ... 2nd band part, 830 ... top case, 840 ... bezel, 850 ... windshield, 860 ... moisture absorption member, 870 ... processing
Claims (9)
前記検出信号を電圧に変換して出力する電圧変換回路と、
前記電圧変換回路の出力信号に基づいて、前記物理量信号を生成する物理量信号生成回路と、
を含み、
前記電圧変換回路は、
演算増幅器と、前記演算増幅器の入力端子と出力端子との間に接続された帰還回路と、を有し、
前記帰還回路は、
帰還容量と、前記帰還容量と直列に接続されたダイオード回路と、を有し、
前記ダイオード回路は、
第1ダイオードと、第2ダイオードとを有し、前記第1ダイオードのアノード端子と前記第2ダイオードのカソード端子とが接続され、前記第1ダイオードのカソード端子と前記第2ダイオードのアノード端子とが接続されている、検出回路。 Based on a detection signal output from the detection electrode of the physical quantity detection element having a detection capacitance and a detection electrode electrically connected to one end of the detection capacitance, a size corresponding to the amplitude of the detection signal A detection circuit that generates a physical quantity signal,
A voltage conversion circuit that converts the detection signal into a voltage and outputs the voltage;
A physical quantity signal generation circuit that generates the physical quantity signal based on an output signal of the voltage conversion circuit;
Including
The voltage conversion circuit is
An operational amplifier, and a feedback circuit connected between an input terminal and an output terminal of the operational amplifier,
The feedback circuit is
A feedback capacitor, and a diode circuit connected in series with the feedback capacitor;
The diode circuit is
A first diode and a second diode are provided, the anode terminal of the first diode is connected to the cathode terminal of the second diode, and the cathode terminal of the first diode and the anode terminal of the second diode are Connected detection circuit.
前記検出信号の振幅が大きいほど、前記電圧変換回路の利得が小さい、検出回路。 In claim 1,
A detection circuit in which the gain of the voltage conversion circuit is smaller as the amplitude of the detection signal is larger.
物理量信号生成回路は、
前記電圧変換回路の出力信号に基づいて、前記検出信号の振幅に応じた電圧のアナログ信号を生成するアナログ処理回路と、
前記アナログ信号をデジタル信号に変換するA/D変換回路と、
前記デジタル信号をデジタル処理して前記物理量信号を生成するデジタル処理回路と、
を含み、
前記デジタル処理回路は、
前記検出信号の振幅と前記物理量信号の値との関係を線形に近づける処理を行う、検出回路。 In claim 1 or 2,
The physical quantity signal generation circuit
An analog processing circuit that generates an analog signal of a voltage according to an amplitude of the detection signal based on an output signal of the voltage conversion circuit;
An A / D conversion circuit that converts the analog signal into a digital signal;
A digital processing circuit that digitally processes the digital signal to generate the physical quantity signal;
Including
The digital processing circuit
A detection circuit that performs processing to make the relationship between the amplitude of the detection signal and the value of the physical quantity signal close to linear.
前記物理量検出素子を駆動する駆動回路と、
前記物理量検出素子と、
を含む、物理量検出装置。 A detection circuit according to any one of claims 1 to 3;
A drive circuit for driving the physical quantity detection element;
The physical quantity detection element;
Physical quantity detection device including.
前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号を取得し、前記物理量信号を処理する信号処理回路と、
前記信号処理回路の処理によって得られた慣性データを外部に送信する通信回路と、
を含む、慣性計測装置。 The physical quantity detection device according to claim 4;
A signal processing circuit that acquires the physical quantity signal output from the physical quantity detection device and processes the physical quantity signal;
A communication circuit for transmitting the inertial data obtained by the processing of the signal processing circuit to the outside;
Inertial measurement device, including:
請求項5に記載の慣性計測装置と、
測位用衛星から衛星信号を受信し、前記衛星信号に重畳されている測位用情報を取得する衛星信号受信部と、
前記測位用情報に基づいて、前記移動体の位置を算出する位置算出部と、
前記慣性計測装置から出力される前記慣性データに基づいて、前記移動体の姿勢を算出する姿勢算出部と、
前記姿勢に基づいて前記位置を補正する位置補正部と、
を含む、移動体測位装置。 A mobile positioning device which is mounted on a mobile and measures the position of the mobile,
An inertial measurement device according to claim 5;
A satellite signal receiving unit that receives satellite signals from positioning satellites and acquires positioning information superimposed on the satellite signals;
A position calculation unit that calculates the position of the mobile object based on the positioning information;
A posture calculation unit that calculates the posture of the moving object based on the inertial data output from the inertial measurement device;
A position correction unit that corrects the position based on the posture;
Mobile positioning device, including:
前記物理量検出装置が収容されているケースと、
前記ケースに収容され、前記物理量検出装置からの出力データを処理する処理部と、
前記ケースに収容されている表示部と、
前記ケースの開口部を塞いでいる透光性カバーと、
を含む、携帯型電子機器。 The physical quantity detection device according to claim 4;
A case in which the physical quantity detection device is accommodated;
A processing unit housed in the case and processing output data from the physical quantity detection device;
A display unit housed in the case;
A translucent cover closing the opening of the case;
Including, portable electronic devices.
前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号に基づいて演算処理を行う演算処理装置と、を含む、電子機器。 The physical quantity detection device according to claim 4;
An arithmetic processing unit that performs arithmetic processing based on the physical quantity signal output from the physical quantity detection device.
前記物理量検出装置から出力された前記物理量信号に基づいて姿勢の制御を行う姿勢制御部と、
を含む、移動体。 The physical quantity detection device according to claim 4;
An attitude control unit that controls an attitude based on the physical quantity signal output from the physical quantity detection device;
Including moving bodies.
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