JP2018137241A - Technique for aligning-printing permanent layer with improved speed and accuracy - Google Patents

Technique for aligning-printing permanent layer with improved speed and accuracy Download PDF

Info

Publication number
JP2018137241A
JP2018137241A JP2018106102A JP2018106102A JP2018137241A JP 2018137241 A JP2018137241 A JP 2018137241A JP 2018106102 A JP2018106102 A JP 2018106102A JP 2018106102 A JP2018106102 A JP 2018106102A JP 2018137241 A JP2018137241 A JP 2018137241A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
nozzle
substrate
data
error
print
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2018106102A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6845829B2 (en
JP2018137241A5 (en
Inventor
ベイカー マイケル
Baker Michael
ベイカー マイケル
ハルジー ナヒド
Harjee Nahid
ハルジー ナヒド
ベーコン ダグラス
Bacon Douglas
ベーコン ダグラス
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kateeva Inc
Original Assignee
Kateeva Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from US14/340,403 external-priority patent/US9352561B2/en
Priority claimed from US14/458,005 external-priority patent/US8995022B1/en
Priority claimed from US14/680,960 external-priority patent/US9224952B2/en
Application filed by Kateeva Inc filed Critical Kateeva Inc
Publication of JP2018137241A publication Critical patent/JP2018137241A/en
Publication of JP2018137241A5 publication Critical patent/JP2018137241A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6845829B2 publication Critical patent/JP6845829B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10Deposition of organic active material
    • H10K71/12Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/205Ink jet for printing a discrete number of tones
    • B41J2/2054Ink jet for printing a discrete number of tones by the variation of dot disposition or characteristics, e.g. dot number density, dot shape
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/21Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2135Alignment of dots
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/21Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2146Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding for line print heads
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10KORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for aligning-printing a permanent layer with improved speed and accuracy.SOLUTION: In a reciprocative manufacturing process, a liquid for each product held by a substrate is accumulated, and a printer for forming a thin film is used. The liquid is dried so that a permanent layer of each product is formed by the liquid, is hardened, and or is handled differently. For printing, the substrate newly introduced is roughly and mechanically aligned with an optical system for detecting an error alignment less than millimeter and a software for correcting the error alignment. For providing a precise accumulation of the liquid for a predetermined region of the substrate, data rendering set so that a nozzle is assigned so as to accumulate an ink droplet regularly while depending on the error alignment.SELECTED DRAWING: Figure 2B

Description

(関連出願への相互参照)
本出願は、2014年10月2日に第1発明者Michael Bakerのために出願された「Techniques For Arrayed Printing Of A Permanent Layer With Improved Speed And Accuracy」に関する米国仮出願番号第62/059121号、および2014年7月7に第1発明者Michael Bakerのために出願された「Techniques For Arrayed Printing Of A Permanent
Layer With Improved Speed And Accuracy」に関する米国仮出願番号第62/021584号の各々に基づく優先権を主張している。さらに、本出願はまた、2015年4月7日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise
Tolerances」に関する米国実用特許出願番号第14/680960号、2014年7月3日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Droplet Measurement and Control to Deposit Fluids within Precise Tolerances」に関する米国実用特許出願番号第14/340403号、および2015年2月20に第1発明者Eliyahu Vronskyのために出願された「Encapsulation Of Components Of Electronic Device Using Halftoning To Control Thickness」に関する米国実用特許出願番号第14/627186号に基づく優先権を主張しており、そしてそれらの各々の一部継続出願である。
(Cross-reference to related applications)
This application is filed on October 2, 2014 for the first inventor Michael Baker, US Provisional Application No. 121 and 59 for “Techniques For Arrayed Printing Of A Permanent Layered Improved Speed And Accuracy”, "Techniques For Arrayed Printing Of A Permanent" filed on July 7, 2014 for first inventor Michael Baker
Priority is claimed under each of US Provisional Application No. 62/021584 relating to “Layer With Impended Speed And Accuracy”. In addition, this application is also entitled “Techniques for Print Ink Volume Control Deposit Fluids Whistle Precision” filed on April 7, 2015 for the first inventor Naharid Harjee.
US utility patent application No. 14/680960 relating to Tolerances, filed for first inventor Naharid Harjee on July 3, 2014, entitled “Techniques for Print Ink Droplet measurement and Control to Deposition to Deposition to Deposition to Deposition. US Practical Application No. 14/340403 and “Encapsulation of Components of Electronic Device Using Half Control Tonic US Patent Application No. 14/340403, filed on Feb. 20, 2015 for first inventor Eliyahu Vronsky” 14/6 Claims priority based on 27186, and is a continuation-in-part of each of them.

米国実用特許出願第14/680960号は、米国実用特許出願第14/162525号(今や2015年4月21日の発行された米国特許第9010899号)の継続出願である。順に、米国実用特許出願第14/162525号は、2013年12月26日に第1発明者Nahid Harjeeによる「Techniques for Print
Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise Tolerances」について出願された台湾特許出願第102148330号、および2013年12月24日に第1発明者Nahid Harjeeによる「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise Tolerances」について出願されたPCT特許出願第PCT/US2013/077720号に基づく優先権を主張している。PCT特許出願第PCT/US2013/077720号は、2012年12月27日に第1発明者Conor Francis Madiganのために出願された「Smart Mixing」に関する米国仮特許出願第61/746,545号;2013年5月13日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels」に関する米国仮特許出願第61/822855号;2013年7月2日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels」に関する米国仮特許出願第61/842351号;2013年7月23日に第1発明者Nahid
Harjeeのために出願された「Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels」に関する米国仮特許出願第61/857298号;2013年11月1日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels」に関する米国仮特許出願第61/898769号;および2013年12月24日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise Tolerances」に関する米国仮特許出願第61/920715号の各々に基づく優先権を主張している。
U.S. Utility Patent Application No. 14/680960 is a continuation of U.S. Utility Patent Application No. 14/162525 (now U.S. Pat. No. 9,010,899 issued Apr. 21, 2015). In turn, U.S. Utility Patent Application No. 14/162525 was filed on December 26, 2013 by "Techniques for Print" by the first inventor, Najid Harjee.
Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precision Tolerances "Taiwan Patent Application No. 102148330 Claiming priority based on PCT patent application No. PCT / US2013 / 077720 filed for. PCT Patent Application No. PCT / US2013 / 077720 is a US Provisional Patent Application No. 61 / 746,545 for “Smart Mixing” filed on Dec. 27, 2012 for the first inventor Conor Francis Madigan; US Provisional Patent Application No. 61/822855 relating to “Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels” filed on May 13, 2013 for the first inventor Nahid Harjee; first invention on July 2, 2013 United States provisional patent application relating to “Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels” filed for the author Nahid Harjee 1/842351 issue; the first aspect of the present invention have Nahid on July 23, 2013
US Provisional Patent Application No. 61/857298 filed for “Systems and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels” filed for Harjee; “Systems” filed for first inventor Naked Harjee on November 1, 2013 and Methods Providing Uniform Printing of OLED Panels "and" Techniques for Print Volume Ink Volt Ink Volt Ink Volt Ink Volt Int Volt Ink Volt Int. " With Within Precision Tolerances " That claims priority to each of U.S. Provisional Patent Application No. 61/920715.

米国実用特許出願第14/340403号は、順に、2014年4月23日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Droplet Measurement and Control to Deposit Fluids within Precise Tolerances」に関するPCT特許出願第PCT/US2014/035193号および2014年1月23日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise Tolerances」に関する米国実用特許出願第14/162525の各々の一部継続出願であり、そしてまた、2013年4月26日に第1発明者Alexander Sou−Kang Koのために出願された「OLED Printing Systems and Methods Using Laser Light Scattering for Measuring Ink Drop Size, Velocity and Trajectory」に関する米国仮特許出願第61/816696号、2013年8月14日に第1発明者Alexander Sou−Kang Koのために出願された「OLED Printing Systems and Methods Using Laser Light Scattering for Measuring Ink Drop Size, Velocity and Trajectory」に関する米国仮特許出願第61/866031号および2013年12月26日に第1発明者Nahid Harjeeによる「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise
Tolerances」について出願された台湾特許出願第102148330号の各々に基づく利益を主張している。
U.S. Utility Patent Application No. 14/340403, in turn, was filed on April 23, 2014 for the first inventor Naharid Harjee, “Techniques for Print Ink Drip Measurement and Control to Deposition Fluid PCs”. Patent application No. PCT / US2014 / 035193 and “Techniques for Print Ink Volume Control Deposit Fluids United Principal Patent Application No. 14 for the first inventor Naked Harjee” on Jan. 23, 2014 / 16525 Partial continuation applications for each Yes, and also filed for the first inventor Alexander Sou-Kang Ko on April 26, 2013, “OLED Printing Systems and Methods Using Laser Light Scattering for Measuring Drop Draft Vs. Patent application No. 61/816696, filed on August 14, 2013 for the first inventor Alexander Sou-Kang Ko, "OLED Printing Systems and Methods Usable Laser Light Scattering For Measuring In Measure "Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids With Precision" by US Patent No. 61/866031 on December 26, 2013 and first inventor Naharid Harjee on Dec. 26, 2013.
Claims a benefit based on each of Taiwan patent application No. 102148330 filed for “Tolerances”.

PCT特許出願第PCT/US2014/035193号は、順に、2013年4月26日に第1発明者Alexander Sou−Kang Koのために出願された「OLED Printing Systems and Methods Using Laser Light Scattering for Measuring Ink Drop Size, Velocity and Trajectory」に関する米国仮特許出願第61/816696号、2013年8月14に第1発明者Alexander Sou−Kang Koのために出願された「OLED Printing Systems and Methods Using Laser Light Scattering for Measuring Ink Drop Size, Velocity and Trajectory」に関する米国仮特許出願第61/866031号、および2014年1月23日に第1発明者Nahid Harjeeのために出願された「Techniques for Print Ink Volume Control To Deposit Fluids Within Precise Tolerances」に関する米国実用特許出願第14/162525号に基づく優先権を主張している。   PCT Patent Application No. PCT / US2014 / 035193 was filed in order for the first inventor Alexander Sou-Kang Ko on April 26, 2013, "OLED Printing Systems and Methods Uster Laser Dancing Scattering Maker". United States Provisional Patent Application No. 61/816696 relating to “Size, Velocity and Trajectory”, “OLED Printing Systems and Methods Using Methods Us Method” filed for the first inventor Alexander Sou-Kang Ko on August 14, 2013. Ink US Provisional Patent Application No. 61/866031 on “Drop Size, Velocity and Trajectory”, and “Techniques for Print InPink Ink Volume Control”, filed on January 23, 2014 for the first inventor Nahad Harjee. Claims priority based on US utility patent application No. 14/162525 for Tolerances.

米国実用特許出願第14/627186号は、米国実用出願第14/485005号(今や2015年3月31日に発行された米国特許第8995022号)の継続出願である。米国実用特許出願第14/485005号は、順に、2013年12月12日に第1発明者Eliyahu Vronskiのために出願された「Ink−Based Layer Fabrication Using Halftoning Variation」についての米国仮特許出願第61/915149号、2014年4月10日に第1発明者Eliyahu Vronskiのために出願された「Ink−Based Layer Fabrication Using Halftoning To Control Thickness」に関する米国仮特許出願第61/977939号、2014年5月30日に第1発明者Eliyahu Vronskiのために出願された「Ink−Based Layer Fabrication Using Halftoning To Control Thickness」に関する米国仮特許出願第62/005044号、および2014年6月30日に第1発明者Eliyahu Vronskiのために出願された「Ink−Based Layer Fabrication Using Halftoning To Control Thickness」に関する米国仮特許出願第62/019076号に基づく優先権を主張している。   U.S. Utility Patent Application No. 14/627186 is a continuation of U.S. Utility Application No. 14 / 485,005 (now U.S. Pat. No. 8,995,522 issued March 31, 2015). U.S. Utility Patent Application No. 14 / 485,005, in turn, is a U.S. Provisional Patent Application No. 61 for "Ink-Based Layer Fabrication Using Halftoning Variation" filed on December 12, 2013 for the first inventor Eliyahu Vronski. No./915149, US Provisional Patent Application No. 61/9793939, May 2014 related to “Ink-Based Layer Fabrication Using Controlling Thickness” filed on April 10, 2014 for the first inventor, Eliyahu Vronski. "Ink-Based Layer Fabrica" filed for first inventor Eliyahu Vronski on 30th US Provisional Patent Application No. 62/005044 relating to “Tion Using Halftoning To Control Thickness” and “Ink-Basic Layer Fabrication Usting HalfTonflation Usting HalfTonflation Usting Halftonficing Usting” filed for first inventor Eliyahu Vronski on June 30, 2014. Claiming priority based on US Provisional Patent Application No. 62/019076.

前述の出願の各々に対する優先権が主張され、そして前述の特許出願の各々は参考として本明細書によって援用される。   Priority is claimed for each of the aforementioned applications, and each of the aforementioned patent applications is hereby incorporated by reference.

(背景)
いくつかの製造技術は、組立プロセスの一部として基板上に材料の層を堆積させるために印刷プロセスを使用する。例えば、複数のソーラパネるか、または有機発光ダイオード(OLED)ディスプレイが、共通のガラスまたは他の基板上でともに製造されることができ、複数のパネルは最終的に、それぞれのデバイスを作成するように共通基板から切断される。印刷プロセスは、例えば、液体を永久形態まで硬化させるか、乾燥させるか、または別様に「処理する」ことによって、それぞれの永久層が形成される材料を懸濁もしくは担持する溶媒を有する、(例えば、「インク」に類似する)液体を堆積させる。液体は、各堆積層が定位置で基板上の下位層および所望の製品位置と密接に整合するように、慎重に制御される様式で各製品のために堆積させられる。そのような整合は、高度製造精度が必要とされる場合に、例えば、各構造の各層が(厚さを含む)慎重に制御された寸法を有する、マイクロ電子構造または光学構造の高密度パターンを製作するために、上記プロセスが使用される場合に、特に重要である。
(background)
Some manufacturing techniques use a printing process to deposit a layer of material on a substrate as part of the assembly process. For example, multiple solar panel or organic light emitting diode (OLED) displays can be manufactured together on a common glass or other substrate, so that the multiple panels ultimately create their respective devices. Is cut from the common substrate. The printing process has a solvent that suspends or carries the material from which each permanent layer is formed, for example by curing the liquid to a permanent form, drying or otherwise “treating” ( For example, a liquid (similar to “ink”) is deposited. The liquid is deposited for each product in a carefully controlled manner such that each deposition layer closely aligns with the underlying layer on the substrate and the desired product location in place. Such alignment can result in high density patterns of microelectronic or optical structures where each layer of each structure has carefully controlled dimensions (including thickness) when high manufacturing accuracy is required. This is particularly important when the above process is used to fabricate.

例証目的でOLEDディスプレイの例に戻ると、共通基板上で平行に製造されている各フラットパネルデバイスは、典型的には、光生成要素および電極を保持する流体ウェルの中で製作される、個々のピクセル色成分を特色とする。各堆積層は、個々のピクセルの適切な動作を判定することに役立ち、各堆積プロセスが正確であるほど(かつ良く整合させられて制御されるほど)、より小さいピクセルが作製されることができ、その特定のサイズ寸法において、完成した光学または電気構造の動作がより確実になる。ピクセル間の(厚さ変動を含む)所定のパネルの変動は、完成した製品において可視的欠陥を生じ得るため、望ましくない。例えば、(例えば、HDTV画面として使用される)典型的なOLEDディスプレイは、コンパクトな空間の中に何100万ものピクセルを伴うことができ、ピクセルが印刷プロセスを介して堆積させられる液体にわずかな変動さえも有する場合、これは、潜在的に人間の眼によって輝度または色の違いと見なされ得る。したがって、そのような製造用途に関して、例えば、ミクロンまたはより微細な解像度において、2分の1パーセント未満の面積毎の総流体堆積量の最大変動を伴って、精密なプリンタ制御が必要とされる。   Returning to the example of an OLED display for illustrative purposes, each flat panel device manufactured in parallel on a common substrate is typically fabricated in a fluid well that holds light generating elements and electrodes. The pixel color component is a special color. Each deposition layer helps determine the proper operation of the individual pixels, and the more accurate each deposition process is (and the better it is aligned and controlled), the smaller pixels can be created. In that particular size dimension, the operation of the finished optical or electrical structure is more reliable. Variations in a given panel (including thickness variations) between pixels are undesirable because they can cause visible defects in the finished product. For example, a typical OLED display (eg, used as an HDTV screen) can involve millions of pixels in a compact space, with only a small amount of liquid being deposited through the printing process. If it has even variations, this can potentially be seen as a difference in brightness or color by the human eye. Thus, for such manufacturing applications, for example, at micron or finer resolution, precise printer control is required with a maximum variation in total fluid deposition per area of less than a half percent.

加えて、許容消費者価格で製品を生産するために、製造スループットを最大限にすることが所望される。所定の製造デバイス(例えば、工業用プリンタを含む)が各層にかなりの時間を要する場合、これは、より遅い製造、および増加した消費者価格に変わり、そのような増加した価格は、製造プロセスの実行可能性を脅かす。   In addition, it is desirable to maximize manufacturing throughput in order to produce products at acceptable consumer prices. If a given manufacturing device (including, for example, an industrial printer) takes a significant amount of time for each layer, this translates into slower manufacturing and increased consumer prices, such increased prices being Threatens feasibility.

本願明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
フラットパネルデバイスを製作する方法であって、
第1の基板を受容するステップと、
前記第1の基板上に液体を印刷するためにプリンタを使用するステップであって、前記液体は、前記フラットパネルデバイスの永久層を形成し得る材料を担持する、ステップと、前記永久層を形成するように前記液体をそれから処理するステップと、を含み、
(a)前記方法はさらに、前記第1の基板上の基準の位置を検出するステップと、前記基準の前記位置と予期される特徴位置との間の差に依存する誤差を検出するステップとを含み、
(b)前記プリンタを使用するステップは、前記フラットパネルデバイスのための前記永久層が印刷されるべき場所を定義する、記憶されたデータを受信することと、調節されたデータを生成するように、前記誤差に従って前記記憶されたデータをレンダリングすることと、前記調節されたデータに従って前記第1の基板上に前記液体の液滴を印刷することとを含み、
(c)前記記憶されたデータをレンダリングすることはさらに、
特定の領域中で堆積させられる前記液体の標的総体積が、前記特定の領域のための前記液体の所望量の体積に対して所定の誤差閾値内に収まるように制限される様式で、
前記誤差に依存して、前記第1の基板の前記特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てることを含む、方法。
(項目2)
前記基板は、前記第1の基板上で平行に製作される、それぞれの製品を表し、前記フラットパネルデバイスは、前記それぞれの製品のうちの1つであり、
前記印刷するためにプリンタを使用するステップは、一体印刷の一部として印刷し、前記第1の基板上に前記それぞれの製品の各々の永久層を製作するために、前記プリンタを使用することを含み、
前記方法はさらに、前記印刷するためにプリンタを使用するステップに続いて、前記第1の基板上の他のそれぞれの製品から前記フラットパネルデバイスを分離するステップを含む、項目1に記載の方法。
(項目3)
前記それぞれの製品の各々は、有機発光ダイオードディスプレイデバイスであり、前記プリンタを使用することは、前記それぞれの製品のための前記永久層の所望の厚さに依存して選択される液滴密度を使用して、前記基板上に前記液体の液滴を印刷することを含む、項目2に記載の方法。
(項目4)
フラットパネルテレビ用のディスプレイを作製する方法として具現化される、項目2に記載の方法。
(項目5)
前記基準は、第1の可視的特徴を備え、前記記憶されたデータは、第1の記憶されたデータであり、前記誤差は、第1の誤差であり、前記調節されたデータは、第1の調節されたデータであり、前記第1の可視的特徴は、前記フラットパネルデバイスと関連付けられるが、前記それぞれの製品のうちの少なくとも別の1つとは関連付けられず、
前記方法はさらに、前記第1の基板上の第2の可視的特徴の位置を光学的に検出するステップと、前記第2の可視的特徴の前記位置と予期される特徴位置との間の第2の誤差を検出するステップとを含み、前記第2の可視的特徴は、前記フラットパネルデバイスではなく、前記それぞれの製品のうちの他の1つと関連付けられ、
前記プリンタを使用することは、前記それぞれの製品のうちの他の1つに対応する前記永久層が製作される場所を定義する、第2の記憶されたデータを受信することと、第2の調節されたデータを生成するように、前記第2の誤差に従って前記第2の記憶されたデータをレンダリングすること、前記フラットパネルデバイスおよび前記それぞれの製品のうちの他の1つにそれぞれ対する前記永久層のための液体が、それぞれ、前記第1の誤差および前記第2の誤差に依存する様式で前記第1の基板上に印刷されるように、前記第2の調節されたデータに従って前記第1の基板上に印刷することとを含む、項目2に記載の方法。
(項目6)
前記プリンタを使用することは、前記プリントヘッドと前記第1の基板との間の実質的に連続的な相対運動を表すスキャン経路に従って、印刷するステップを含み、前記スキャン経路が、前記フラットパネルデバイス対するそれぞれの前記永久層または前記それぞれの製品のうちの他の1つに対するそれぞれの前記永久層と関連付けられる場所をそのとき横断しているかどうかに依存する、前記第1の誤差および前記第2の誤差の各々に依存して、前記スキャン経路に従って印刷することが行われるように、前記スキャン経路は、前記液体の液滴を堆積させて、前記フラットパネルデバイスおよび前記それぞれの製品のうちの他の1つの各々にそれぞれ対する前記永久層の少なくとも一部を形成する、項目5に記載の方法。
(項目7)
前記プリンタを使用することは、前記プリントヘッドと前記第1の基板との間の実質的に連続的な相対運動を表すスキャン経路に従って印刷することを含み、前記スキャン経路に従って印刷することが、前記誤差に少なくとも部分的に依存して、前記フラットパネルデバイスに対するそれぞれの前記層および前記それぞれの製品のうちの他の1つに対するそれぞれの前記層の各々に行われるように、前記スキャン経路は、前記液体の液滴を堆積させて、前記フラットパネルデバイスに対するそれそれの前記層および前記それぞれの製品のうちの別の1つに対するそれぞれの前記層の少なくとも一部を形成する、項目2に記載の方法。
(項目8)
前記基準は、第1の可視的特徴であり、前記記憶されたデータは、第1の記憶されたデータであり、前記誤差は、第1の誤差であり、前記調節されたデータは、第1の調節されたデータであり、前記第1の基板は、前記第1の基板上のそれぞれの場所に可視的特徴を備え、前記可視的特徴は、前記第1の可視的特徴を含み、
前記方法はさらに、前記可視的特徴の各々を光学的に検出するステップと、前記特徴の対応する位置と少なくとも1つの予期される特徴位置との間の誤差を検出するステップとを含み、
前記プリンタを使用することは、前記それぞれの製品の各々のための前記永久層が印刷される場所を定義する、記憶されたデータを受信することと、製品毎の調節されたデータを生成するように、前記可視的特徴に対して、前記基板上の前記それぞれの製品の位置に依存する、前記それぞれの製品の各々の前記誤差のうちの1つまたはそれを上回るものに応じて、前記それぞれの製品の各々のための前記永久層が前記誤差のうちの前記1つまたはそれを上回るものに従って製作されるべき場所を定義する、前記記憶されたデータをレンダリングすることと、前記製品毎の調節されたデータに従って、前記それぞれの製品の各々のための前記液体を印刷することとを含む、
項目2に記載の方法。
(項目9)
レンダリングするステップは、複数のプロセッサコアの各々について、前記第1の基板の印刷領域のそれぞれのサブセットを選択すること、前記それぞれのサブセットを前記複数のプロセッサコアのうちの1つに割り当てること、前記複数のプロセッサコアのうちの前記選択されたものを使用して、製品毎の変換されたデータを生成することとを含む、並列処理環境で少なくとも部分的に具現化される、項目8に記載の方法。
(項目10)
選択することが、前記それぞれの製品の各1つについて、複数のプロセッサコアが、前記それぞれの製品のうちの1つに特有である様式で検出された誤差に依存して印刷データをレンダリングするように割り当てられる、様式で行われる、項目9に記載の方法。
(項目11)
前記記憶されたデータは、それぞれの位置におけるプリントヘッドノズル発射決定を表すピクセルを有する、第1のビットマップを備え、
前記記憶されたデータをレンダリングすることは、それぞれの位置におけるノズル発射決定を表すピクセルをまた有する、第2のビットマップを生成することを含み、前記第2のビットマップの各所定のピクセルについて、
前記誤差に依存する前記第1のビットマップの少なくとも1つのピクセルを識別することと、
前記第1のビットマップの前記識別された少なくとも1つのピクセルに依存する、前記第2のビットマップの前記所定のピクセルのための対応するノズル決定を生成することとを含み、
前記プリンタを使用するステップはさらに、前記第2のビットマップに従って前記第1の基板上に前記液体を印刷することを含む、項目1に記載の方法。
(項目12)
前記記憶されたデータは、ピクセルを有する第1のグレースケールデータを備え、前記ピクセルの各々は、前記第1の基板に対してそれぞれの位置における前記液体の所望量を表すマルチビット値として表され、
前記記憶されたデータをレンダリングすることは、
ピクセルを有する第2のグレースケールデータを生成することであって、前記第2のグレースケールデータの前記ピクセルの各々は、前記第1の基板に対してそれぞれの位置における前記液体の所望量を表すマルチビット値として表される、ことと、
前記第2のグレースケールデータの前記ピクセルの各々について、前記誤差に依存する、前記第1のグレースケールデータの少なくとも1つのグレースケール値を識別することと、
前記第1のグレースケールデータの前記識別された少なくとも1つのグレースケール値に依存する、前記第2のグレースケールデータの前記ピクセルの各々のための前記マルチビット値を生成することと、を含み、
前記プリンタを使用するステップはさらに、前記第2のグレースケールデータに従って前記液体を印刷することを含む、項目1に記載の方法。
(項目13)
前記記憶されたデータをレンダリングすることはさらに、前記第2のグレースケールデータの前記マルチビット値を液滴密度に変換することを含み、前記液滴密度は、前記第2のグレースケールデータの前記グレースケール値に従って局所的に変動する前記液体の体積を生じるように選択され、前記プリンタを使用するステップは、前記選択された液滴密度に従って、前記フラットパネルデバイスに応じて前記液体を印刷することを含む、項目12に記載の方法。
(項目14)
前記記憶されたデータは、プリントヘッドと前記第1の基板との間の所定数のラスタスキャンと、それぞれの各ラスタスキャンについて、前記プリントヘッドの所定のクロススキャン位置とを定義し、
前記第1の基板上に前記液体を印刷するためにプリンタを使用するステップは、前記所定数のラスタスキャンおよび関連クロススキャン位置を使用するが、前記誤差に依存して選択される前記プリントヘッドの個々のノズルを使用することを含む、項目1に記載の方法。
(項目15)
前記誤差は、傾斜、回転角、距離値、またはスケーリングの量のうちの少なくとも1つを表し、前記プリンタを使用するステップは、前記少なくとも1つを軽減するように調節される様式で、前記第1の基板上に前記液体を印刷することを含む、項目1に記載の方法。
(項目16)
前記第1の基板を受容するステップは、前記プリンタに対して前記第1の基板の粗い機械的整合を行うことを含み、前記プリンタを使用するステップは、前記第1の基板の予期される整合に対してプリンタデータのミリメートル未満の微細整合をソフトウェアにおいて行うために、前記誤差を使用することを含む、項目1に記載の方法。
(項目17)
前記プリンタを使用するステップ、および前記永久層を形成するように前記液体を処理するステップは、それぞれ、前記液体を印刷することと、共通の制御された雰囲気中で前記液体を硬化させることとを含み、前記印刷することおよび前記硬化させることは、制御されていない雰囲気への暴露によって集合的に中断されない、項目1に記載の方法。
(項目18)
レンダリングすることは、複数のプロセッサコアのうちの特定のプロセッサコアを選択することと、変換機能および前記基板の印刷領域のサブセットを前記特定のプロセッサコアに割り当てることと、前記調節されたデータを生成するために前記特定のプロセッサコアを使用することとを含む、並列処理環境で少なくとも部分的に具現化される、項目1に記載の方法。
(項目19)
レンダリングすることは、複数のプロセッサコアのうちの各コアについて、前記基板の印刷領域のそれぞれのサブセットを選択することと、前記複数の利用可能なプロセッサコアの集約された出力を使用して印刷イメージを生成することとを含み、前記印刷イメージは、前記基板のそれぞれの領域におけるノズル発射決定をそれぞれ表す、ピクセルを有する、並列処理環境で少なくとも部分的に具現化される、項目1に記載の方法。
(項目20)
レンダリングすることはさらに、前記ノズルのうちの所定の1つから生成されることが予期される液滴のパラメータであって、液滴体積、液滴速度、液滴軌道、または予期される液滴降着位置のうちの少なくとも1つを表す、パラメータを表す、前記プリントヘッドの各所定のノズルの実験測定データを受信することを含み、
前記誤差に依存して、前記第1の基板の特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てることは、前記実験測定データに依存して行われ、
前記誤差に依存して、前記第1の基板の特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てることはさらに、前記誤差に依存して発射決定を割り当てることと、前記割り当てられた発射決定を考慮して、堆積させられる前記液体の予期される体積を判定することと、堆積させられる前記液体の前記予期される体積を少なくとも1つの閾値と比較することと、前記予期される体積が前記少なくとも1つの閾値に違反する場合、前記割り当てられたノズル発射決定を調節することを含む、項目1に記載の方法。
(項目21)
前記少なくとも1つの閾値は、前記特定の領域中で堆積させられる前記液体の最大体積と、前記特定の領域中で堆積させられる前記液体の最小体積とを含み、調節することは、前記液体の前記予期される体積が、前記最小体積未満ではなく、かつ前記最大体積より大きくないように、ノズル発射決定を生じることを含む、項目20に記載の方法。
(項目22)
前記液体は、前記フラットパネルデバイスの前記永久層として、有機発光ダイオードの光生成層を形成するためである、項目20に記載の方法。
(項目23)
フラットパネルデバイスを製作する装置であって、
第1の基板を受容するための手段と、
前記第1の基板上に液体を印刷するための手段であって、前記液体は、前記第1の基板上で平行に製作されるそれぞれの製品の各々の永久層を形成し得る材料を担持し、前記フラットパネルデバイスは、前記それぞれの製品のうちの1つであり、印刷することは、前記第1の基板上の前記それぞれの製品の各々の前記永久層のための一体印刷プロセスの一部として行われる、手段と、
前記液体の印刷に続いて、前記それぞれの製品の各々の永久層を形成するように前記液体を処理するための手段と、
前記処理に続いて、前記第1の基板上の他のそれぞれの製品から前記フラットパネルデバイスを分離するための手段と、を備え、
(a)前記装置はさらに、前記第1の基板上の基準の位置を検出し、前記基準の前記位置と予期される特徴位置との間の差に依存する誤差を検出するための手段を備え、
(b)前記印刷するための手段は、前記フラットパネルデバイスに対応する前記永久層が印刷されるべき場所を定義する、記憶されたデータを受信するための手段と、調節されたデータを生成するように、前記誤差に従って前記記憶されたデータをレンダリングするための手段とを備え、前記第1の基板上に印刷することは、前記調節されたデータに従って行われ、
(c)前記レンダリングするための手段はさらに、
特定の領域中で堆積させられる前記液体の標的総体積が、前記特定の領域のための前記液体の所望量の体積に対して所定の誤差閾値内で保たれる様式で、
前記誤差に依存して、前記第1の基板の前記特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てるための手段を備える、装置。
(項目24)
フラットパネルデバイスを製作する装置であって、
第1の基板を受容する機械ハンドラと、
前記第1の基板上でそれぞれの製品の永久層を形成し得る材料を含む、液体を印刷するプリンタであって、前記フラットパネルデバイスは、前記それぞれの製品のうちの1つであり、前記プリンタは、一体の印刷プロセスの一部として前記第1の基板上に前記それぞれの製品の前記永久層を印刷するためである、プリンタと、
前記永久層を形成するよう前記材料を硬化させる、硬化機構と、を備え、
前記フラットパネルデバイスは、前記永久層の印刷に続いて、前記第1の基板上の他のそれぞれの製品から分離され、
前記装置はさらに、前記第1の基板上の基準の位置を検出し、前記基準の前記位置と予期される特徴位置との間の差に依存する誤差を検出する、検出デバイスと、少なくとも1つのプロセッサとを備え、
前記少なくとも1つのプロセッサは、
前記フラットパネルデバイスに対応する前記永久層が印刷されるべき場所を定義する、データを受信し、
調節されたデータを生成するように、前記誤差に従って前記データをレンダリングし、
前記調節されたデータに従って、前記プリンタに前記第1の基板上に印刷させ、
前記少なくとも1つのプロセッサはさらに、前記調節されたデータを生成するために、特定の領域中で堆積させられる前記液体の標的総体積が、前記特定の領域のための前記液体の所望量の体積に対して所定の誤差閾値内で保たれる様式で、前記誤差に依存して、前記第1の基板の前記特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てる、装置。
(項目25)
非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令を備える装置であって、前記命令は、第1の基板を受容する機械ハンドラと、前記第1の基板上に前記液体を印刷するプリンタと、フラットパネルデバイスの永久層を形成するよう前記液体を硬化させる硬化機構と、前記第1の基板上の基準の位置を検出する検出デバイスとを備える装置の少なくとも1つのプロセッサによって実行され、前記命令は、実行されたとき、前記機械に、
前記基準の位置と予期される特徴位置との間の差に依存する誤差を検出させ、
前記フラットパネルデバイスに対応する前記永久層が前記第1の基板上で印刷されるべき場所を定義する、データを受信させ、
調節されたデータを生成するように、前記誤差に従って前記データをレンダリングさせ、前記調節されたデータに従って、前記プリンタに前記第1の基板上に印刷させ、
前記命令はさらに、実行されたときに、前記調節されたデータを生成するために、特定の領域中で堆積させられる前記液体の標的総体積が、前記特定の領域のための前記液体の所望量の体積に対して所定の誤差閾値内で保たれる様式で、前記誤差に依存して、前記第1の基板の前記特定の領域中で前記液体のそれぞれの液滴を堆積させるように、前記少なくとも1つのプロセッサに前記プリンタのプリントヘッドの個々のノズルを割り当てさせる、装置。
本開示は、印刷プロセスを介して製品をより迅速かつより確実に製作するために使用されることができる、技法、プロセス、装置、デバイス、およびシステム、ならびにそのようなプロセスに従って作製される製品を提供する。
This specification provides the following items, for example.
(Item 1)
A method of making a flat panel device,
Receiving a first substrate;
Using a printer to print a liquid on the first substrate, the liquid carrying a material capable of forming a permanent layer of the flat panel device; and forming the permanent layer And then processing the liquid to
(A) the method further comprises detecting a position of a reference on the first substrate and detecting an error depending on a difference between the position of the reference and an expected feature position. Including
(B) using the printer so as to receive stored data and generate adjusted data defining where the permanent layer for the flat panel device is to be printed; Rendering the stored data in accordance with the error; and printing the liquid droplets on the first substrate in accordance with the adjusted data;
(C) rendering the stored data further comprises:
In a manner that the target total volume of the liquid deposited in a particular region is limited to be within a predetermined error threshold for the desired volume of liquid for the particular region,
Allocating individual nozzles of the printer printhead to deposit respective droplets of the liquid in the particular area of the first substrate, depending on the error.
(Item 2)
The substrate represents a respective product fabricated in parallel on the first substrate, and the flat panel device is one of the respective products;
Using the printer for printing comprises using the printer to print as part of an integral print and to produce each permanent layer of the respective product on the first substrate. Including
2. The method of item 1, further comprising separating the flat panel device from other respective products on the first substrate following the step of using a printer for the printing.
(Item 3)
Each of the respective products is an organic light emitting diode display device, and using the printer has a droplet density selected depending on the desired thickness of the permanent layer for the respective product. 3. The method of item 2, comprising using to print the liquid droplets on the substrate.
(Item 4)
Item 3. The method according to item 2, embodied as a method of producing a display for a flat panel television.
(Item 5)
The criterion comprises a first visual feature, the stored data is a first stored data, the error is a first error, and the adjusted data is a first Wherein the first visual feature is associated with the flat panel device but not with at least another one of the respective products;
The method further includes optically detecting a position of a second visible feature on the first substrate, and a first between the position of the second visible feature and an expected feature position. Detecting the second error, wherein the second visual feature is associated with the other one of the respective products, not the flat panel device,
Using the printer includes receiving second stored data defining where the permanent layer corresponding to the other one of the respective products is fabricated; Rendering the second stored data in accordance with the second error to produce adjusted data, the permanent for each of the other one of the flat panel device and the respective product. The first adjusted data according to the second adjusted data such that a liquid for a layer is printed on the first substrate in a manner dependent on the first error and the second error, respectively. 3. A method according to item 2, comprising printing on a substrate.
(Item 6)
Using the printer includes printing according to a scan path that represents a substantially continuous relative motion between the print head and the first substrate, the scan path comprising the flat panel device. The first error and the second, depending on whether they are currently traversing a location associated with each permanent layer for each of the permanent layers or the other one of the respective products Depending on each of the errors, the scan path deposits the liquid droplets so that printing is performed according to the scan path, and the other of the flat panel device and the respective product. 6. A method according to item 5, forming at least part of the permanent layer for each one.
(Item 7)
Using the printer includes printing according to a scan path that represents a substantially continuous relative motion between the print head and the first substrate, and printing according to the scan path includes: Depending at least in part on the error, the scan path is made to each of the layers for the flat panel device and each of the layers for the other one of the products. Item 3. The method of item 2, wherein liquid droplets are deposited to form at least a portion of each of the layers for the flat panel device and a respective one of the respective products. .
(Item 8)
The criterion is a first visual feature, the stored data is a first stored data, the error is a first error, and the adjusted data is a first Adjusted data, wherein the first substrate comprises visible features at respective locations on the first substrate, the visible features comprising the first visible features;
The method further includes optically detecting each of the visible features and detecting an error between a corresponding location of the feature and at least one expected feature location;
Using the printer is adapted to receive stored data and generate adjusted data for each product that defines where the permanent layer for each of the respective products is printed. Depending on one or more of the errors of each of the respective products depending on the position of the respective products on the substrate with respect to the visual feature. Rendering the stored data defining where the permanent layer for each of the products is to be fabricated according to the one or more of the errors; and adjusting per product Printing the liquid for each of the respective products according to the data
Item 3. The method according to Item 2.
(Item 9)
Rendering comprises, for each of a plurality of processor cores, selecting a respective subset of the printed area of the first substrate, assigning the respective subset to one of the plurality of processor cores, The method of claim 8, wherein the selected one of a plurality of processor cores is used to generate transformed data for each product and is at least partially embodied in a parallel processing environment. Method.
(Item 10)
Selecting, for each one of the respective products, a plurality of processor cores renders the print data depending on errors detected in a manner that is specific to one of the respective products. 10. The method according to item 9, wherein the method is performed in a manner assigned to.
(Item 11)
The stored data comprises a first bitmap having pixels representing print head nozzle firing decisions at respective positions;
Rendering the stored data includes generating a second bitmap that also has pixels representing nozzle firing decisions at respective positions, for each predetermined pixel of the second bitmap,
Identifying at least one pixel of the first bitmap that depends on the error;
Generating a corresponding nozzle decision for the predetermined pixel of the second bitmap that depends on the identified at least one pixel of the first bitmap;
The method of claim 1, wherein using the printer further comprises printing the liquid on the first substrate according to the second bitmap.
(Item 12)
The stored data comprises first grayscale data having pixels, each of the pixels being represented as a multi-bit value representing a desired amount of the liquid at a respective position relative to the first substrate. ,
Rendering the stored data is
Generating second grayscale data having pixels, each of the pixels of the second grayscale data representing a desired amount of the liquid at a respective position relative to the first substrate. Represented as a multi-bit value,
Identifying, for each of the pixels of the second grayscale data, at least one grayscale value of the first grayscale data that depends on the error;
Generating the multi-bit value for each of the pixels of the second grayscale data that depends on the identified at least one grayscale value of the first grayscale data;
The method of claim 1, wherein using the printer further comprises printing the liquid according to the second grayscale data.
(Item 13)
Rendering the stored data further includes converting the multi-bit value of the second grayscale data into droplet density, wherein the droplet density is calculated from the second grayscale data. The step of using the printer selected to produce a volume of the liquid that varies locally according to a gray scale value prints the liquid in response to the flat panel device according to the selected droplet density. 13. The method according to item 12, comprising:
(Item 14)
The stored data defines a predetermined number of raster scans between a print head and the first substrate, and for each respective raster scan, a predetermined cross-scan position of the print head,
The step of using a printer to print the liquid on the first substrate uses the predetermined number of raster scans and associated cross-scan positions, but of the printhead selected depending on the error. 2. A method according to item 1, comprising using individual nozzles.
(Item 15)
The error represents at least one of a tilt, a rotation angle, a distance value, or an amount of scaling, and the step of using the printer is adjusted in a manner adjusted to mitigate the at least one. A method according to item 1, comprising printing the liquid on a substrate.
(Item 16)
Receiving the first substrate includes performing a rough mechanical alignment of the first substrate to the printer, and using the printer includes an expected alignment of the first substrate. The method of claim 1, comprising using the error to perform sub-millimeter fine alignment of the printer data with respect to the software.
(Item 17)
The step of using the printer and the step of treating the liquid to form the permanent layer each comprise printing the liquid and curing the liquid in a common controlled atmosphere. The method of item 1, comprising, wherein said printing and said curing are not collectively interrupted by exposure to an uncontrolled atmosphere.
(Item 18)
Rendering selects a particular processor core among a plurality of processor cores, assigns a transform function and a subset of the printed area of the substrate to the particular processor core, and generates the adjusted data The method of claim 1, wherein the method is at least partially embodied in a parallel processing environment, including using the particular processor core to do.
(Item 19)
Rendering, for each of a plurality of processor cores, selecting a respective subset of the printed area of the substrate and using the aggregated output of the plurality of available processor cores to print a printed image The method of claim 1, wherein the printed image is at least partially embodied in a parallel processing environment having pixels, each representing a nozzle firing decision in a respective region of the substrate. .
(Item 20)
Rendering is further a parameter of a droplet that is expected to be generated from a predetermined one of the nozzles, the droplet volume, the droplet velocity, the droplet trajectory, or the expected droplet Receiving experimental measurement data for each predetermined nozzle of the printhead representing a parameter representing at least one of landing positions;
Depending on the error, assigning individual nozzles of the printhead of the printer to deposit each droplet of the liquid in a particular region of the first substrate may result in the experimental measurement data Done depending on
Depending on the error, assigning individual nozzles of the printer printhead to deposit each droplet of the liquid in a particular region of the first substrate is further dependent on the error. Assigning a firing decision, determining the expected volume of the liquid to be deposited, taking into account the assigned firing decision, and at least one of the expected volume of the liquid to be deposited The method of claim 1, comprising comparing to two thresholds and adjusting the assigned nozzle firing decision if the expected volume violates the at least one threshold.
(Item 21)
The at least one threshold includes a maximum volume of the liquid deposited in the specific area and a minimum volume of the liquid deposited in the specific area, and adjusting the 21. The method of item 20, comprising generating a nozzle firing decision such that an expected volume is not less than the minimum volume and not greater than the maximum volume.
(Item 22)
21. A method according to item 20, wherein the liquid is for forming a photogenerating layer of an organic light emitting diode as the permanent layer of the flat panel device.
(Item 23)
An apparatus for producing a flat panel device,
Means for receiving the first substrate;
Means for printing a liquid on said first substrate, said liquid carrying a material capable of forming a permanent layer for each of the respective products produced in parallel on said first substrate. The flat panel device is one of the respective products and printing is part of an integral printing process for each permanent layer of each of the respective products on the first substrate. Done as a means,
Means for treating the liquid to form a permanent layer of each of the respective products following printing of the liquid;
Subsequent to the processing, means for separating the flat panel device from other respective products on the first substrate,
(A) The apparatus further comprises means for detecting a position of a reference on the first substrate and detecting an error depending on a difference between the position of the reference and an expected feature position. ,
(B) the means for printing generates adjusted data and means for receiving stored data defining where the permanent layer corresponding to the flat panel device is to be printed; Means for rendering the stored data according to the error, and printing on the first substrate is performed according to the adjusted data,
(C) the rendering means further comprises:
In such a manner that the target total volume of the liquid deposited in a particular region is kept within a predetermined error threshold for the desired volume of liquid for the particular region,
An apparatus comprising: means for allocating individual nozzles of the printhead of the printer to deposit a respective droplet of the liquid in the particular region of the first substrate, depending on the error .
(Item 24)
An apparatus for producing a flat panel device,
A machine handler for receiving a first substrate;
A printer for printing a liquid comprising a material capable of forming a permanent layer of each product on the first substrate, wherein the flat panel device is one of the respective products, the printer A printer for printing the permanent layer of the respective product on the first substrate as part of an integrated printing process;
A curing mechanism for curing the material to form the permanent layer;
The flat panel device is separated from the other respective products on the first substrate following the printing of the permanent layer,
The apparatus further detects a position of a reference on the first substrate and detects an error depending on a difference between the position of the reference and an expected feature position; and at least one With a processor,
The at least one processor comprises:
Receiving data defining where the permanent layer corresponding to the flat panel device is to be printed;
Rendering the data according to the error so as to generate adjusted data;
According to the adjusted data, let the printer print on the first substrate,
The at least one processor is further configured such that a target total volume of the liquid deposited in a particular region is reduced to a desired volume of the liquid for the particular region to generate the adjusted data. The printer prints to deposit each droplet of the liquid in the specific area of the first substrate in a manner that is kept within a predetermined error threshold relative to the error. A device that assigns individual nozzles to the head.
(Item 25)
An apparatus comprising instructions stored on a non-transitory machine-readable medium, the instructions comprising: a machine handler that receives a first substrate; and a printer that prints the liquid on the first substrate; Executed by at least one processor of the apparatus comprising: a curing mechanism for curing the liquid to form a permanent layer of a flat panel device; and a detection device for detecting a reference position on the first substrate, the instructions When executed, the machine
Detecting an error depending on a difference between the reference position and an expected feature position;
Receiving data defining where the permanent layer corresponding to the flat panel device is to be printed on the first substrate;
Rendering the data according to the error to generate adjusted data, causing the printer to print on the first substrate according to the adjusted data;
The instructions are further executed such that a target total volume of the liquid deposited in a particular region to produce the adjusted data is a desired amount of the liquid for the particular region. Depending on the error in a manner that is kept within a predetermined error threshold with respect to the volume of the liquid, such that the respective droplets of the liquid are deposited in the specific region of the first substrate. An apparatus causing at least one processor to assign individual nozzles of a print head of the printer.
The present disclosure provides techniques, processes, apparatus, devices, and systems, and products made according to such processes, that can be used to more quickly and more reliably produce products via a printing process. provide.

組立ラインプロセスは、一連の基板の中の各基板上に液体の液滴を印刷する(すなわち、堆積させる)ために、プリンタを使用する。次いで、液体は、材料の永久層(すなわち、永久薄膜)を形成するように、硬化させられ、乾燥させられ、または別様に処理される。各基板は、1つまたはそれを上回る製品を製作するために使用され、層は、典型的には、基板によって担持される各製品のために形成されるであろう。いったん印刷が完了すると、基板が前進させられ、新しい基板が装填され、プロセスが繰り返される。例えば、液体を硬化させるための処理は、いくつかの実施形態では、原位置で、または組立ライン内の別の位置で起こることができ、典型的には、印刷および処理は、粒子状物質、酸素、もしくは湿気汚染を最小限にするように、制御された雰囲気内で行われる。詳細に考慮される用途では、プリンタは、有機発光ダイオード(「OLED」)ディスプレイパネるか、またはソーラパネルの単一の層を堆積させるために使用される。例えば、高解像度OLEDテレビ画面の製作では、そのようなプロセスが、ディスプレイの各ピクセル(すなわち、各離散光生成要素)のための1つまたはそれを上回る光生成層を堆積させるために使用されることができる。説明される技法は、多くのタイプの材料およびフラットパネルディスプレイ以外の多くのタイプの製品に適用されることができるが、プリンタおよび関連処理の使用は、他のプロセスを使用して容易に堆積させられることができない、有機材料の層を堆積させるために特に有用であることが分かっており、したがって、本明細書で提示される多くの実施例は、これらの材料に焦点を合わせるであろう。他のタイプの製品および製造プロセスと同様に、印刷および層厚さの整合が、低い変動および高い製造スループットを伴って、小型の確実な電子構成要素(例えば、ミクロン規模)を促進するように、高度な精度で達成されなければならない。   The assembly line process uses a printer to print (ie, deposit) liquid droplets on each substrate in a series of substrates. The liquid is then cured, dried, or otherwise processed to form a permanent layer of material (ie, a permanent thin film). Each substrate is used to make one or more products, and a layer will typically be formed for each product carried by the substrate. Once printing is complete, the substrate is advanced, a new substrate is loaded, and the process is repeated. For example, the process for curing the liquid can occur in situ in some embodiments, or at another location within the assembly line, typically printing and processing can be performed with particulate matter, It is performed in a controlled atmosphere to minimize oxygen or moisture contamination. In applications that are considered in detail, printers are used to deposit organic light emitting diode (“OLED”) display panels or a single layer of a solar panel. For example, in the production of high resolution OLED television screens, such a process is used to deposit one or more light generating layers for each pixel of the display (ie, each discrete light generating element). be able to. Although the described techniques can be applied to many types of products other than many types of materials and flat panel displays, the use of printers and related processes can be easily deposited using other processes. It has been found to be particularly useful for depositing layers of organic materials that cannot be done, and therefore many examples presented herein will focus on these materials. As with other types of products and manufacturing processes, printing and layer thickness matching facilitates small, reliable electronic components (eg, micron scale) with low variability and high manufacturing throughput, Must be achieved with a high degree of accuracy.

異なる基板、組立ライン機器、人間による取扱、および多数の他の要因と関連付けられる種々のプロセスコーナにより、基板がプリンタの中へ、およびそれを通して移動させられると、各基板は、位置、回転、スケール、傾斜、または他の次元でわずかに変動し得る。いくつかの形態の誤差が、基板に特有であり得る(例えば、基板の反りまたは縁の非線形性)一方で、他の形態の誤差は、繰り返すシステム誤差を表し得る(例えば、基板が、システム自体によって引き起こされる反復可能運動誤差を伴って、プリンタを通して誤って縁誘導される)。どんなソースであっても、印刷プロセスが一連の中の各基板上に同一の製品を印刷することを意図しているため、概して、位置誤差を検出して軽減することが所望される。   As the substrates are moved into and through the printer by different process corners associated with different substrates, assembly line equipment, human handling, and numerous other factors, each substrate is positioned, rotated, scaled. May vary slightly in slope, or other dimensions. Some forms of error may be specific to the substrate (eg, substrate warpage or edge nonlinearity), while other forms of error may represent repetitive system errors (eg, the substrate is the system itself) Are misguided through the printer with repeatable motion errors caused by Since any printing source is intended to print the same product on each substrate in the series, it is generally desirable to detect and mitigate positional errors.

したがって、一実施形態では、検出機構が、プリンタに近接しているときに各基板上の基準を検出するために使用される。基準は、基板間誤差、もしくは予期される製品位置、配向、および/または寸法からの他の偏差にもかかわらず、製品位置を識別するために使用される。検出された製品位置は、予期される位置と比較され、プリンタ制御データを(ソフトウェア内で)変換または調節して(すなわち、そのデータまたは印刷を行うようにそれがどのようにしてレンダリングされるかのいずれか一方を修正して)、印刷される層を任意の下層製品寸法と精密に位置合わせするよう、その誤差を識別するために使用される。本明細書に使用されるように、「位置」または「製品位置」は、概して、たとえこれらのものが「位置」の記述を超えて個別に列挙されていなくても、傾斜、スケール、配向等のうちのいずれかを含むと理解されるべきである。   Thus, in one embodiment, a detection mechanism is used to detect a reference on each substrate when in proximity to the printer. The criterion is used to identify the product position despite substrate-to-substrate errors or other deviations from the expected product position, orientation, and / or dimensions. The detected product position is compared to the expected position and the printer control data is translated or adjusted (in software) (ie how it is rendered to do that data or print) To correct the error in order to precisely align the printed layer with any underlying product dimensions. As used herein, “position” or “product position” generally refers to tilt, scale, orientation, etc., even though these are not individually listed beyond the “position” description. Should be understood to include any of the following.

従来の印刷プロセスでは、それぞれノズルを伴う、1つまたはそれを上回るプリントヘッドを備える、組立は、1つまたはそれを上回るラスタ掃引において、印刷されている基板に対して輸送されることに留意されたい。各掃引は、基板の「インスキャン」次元を定義し、各掃引後に、プリントヘッドおよび/または基板は、次の掃引に備えて、基板の「クロススキャン」次元で再配置される。各プリントヘッドは、それぞれ、液体の液滴を噴出するものである、何百から何千ものノズルを有することができ、液体は、インクに類似し、所望の永久層を形成するように硬化させられるか、または別様に処理されるであろう、材料を含む。例えば、1つの公知の技術を用いると、液体は、モノマーまたはポリマーであり、印刷に続いて、紫外線硬化プロセスが、堆積液体を処理して永久層を形成するために使用される。   It is noted that in a conventional printing process, an assembly comprising one or more printheads, each with a nozzle, is transported against the substrate being printed in one or more raster sweeps. I want. Each sweep defines an “in-scan” dimension of the substrate, and after each sweep, the printhead and / or substrate is repositioned in the “cross-scan” dimension of the substrate in preparation for the next sweep. Each printhead can have hundreds to thousands of nozzles, each of which ejects a droplet of liquid, and the liquid is similar to ink and cured to form the desired permanent layer. Material that will be processed or otherwise processed. For example, using one known technique, the liquid is a monomer or polymer, and following printing, an ultraviolet curing process is used to treat the deposited liquid to form a permanent layer.

本第1の実施形態のより詳細な変形例では、高速印刷、正確な印刷、および精密な層厚さならびに位置合わせという目標を調和させるために、いくつかの機構が使用されることができる。   In a more detailed variation of this first embodiment, several mechanisms can be used to harmonize the goals of high speed printing, accurate printing, and precise layer thickness and alignment.

第1の実装では、誤差(例えば、位置、回転、傾斜、またはスケーリングの線形もしくは非線形シフト)が識別されると、理想位置からの検出された偏差に依存する様式で、およびプリントヘッドアセンブリと基板との間の事前計画されたラスタ掃引のシフトもしくは改変を必要としない様式で、新しいノズル発射決定が生成されることができる。つまり、印刷時間(したがって、製造スループット)が、液体を受容する基板の全ての領域を網羅するために必要とされるラスタ掃引の数に直接関係付けられるため、本ラスタ掃引の数およびそれらのそれぞれの位置は、一実施形態では変更されないが、むしろ、プリントヘッドアセンブリからの液滴の意図された密度およびパターンを堆積させるように、印刷が起こることを可能にする様式であるが、任意の下位製品層と正確に位置合わせするか、もしくは意図された製品幾何学形状と正確に整合するよう、ノズル割当および/または駆動パラメータ(例えば、駆動波形)が元のプリンタ制御データに対して変換もしくはレンダリングされる様式で、潜在的に新しいノズルおよび/または駆動パラメータが個別に割り当てられる。本処理の様式は、随意であり、すなわち、別の考慮される実施形態では、基板に対するプリントヘッドアセンブリの異なるオフセット(例えば、クロススキャン方向への異なる前進パターンおよび/または異なる数のスキャンもしくは掃引)を潜在的に採用するように、ラスタ掃引が再査定されることに留意されたい。   In a first implementation, once errors (eg, linear or non-linear shifts in position, rotation, tilt, or scaling) are identified, in a manner that depends on the detected deviation from the ideal position, and in the printhead assembly and substrate New nozzle firing decisions can be generated in a manner that does not require a shift or modification of the pre-planned raster sweep between the two. That is, since the printing time (and hence manufacturing throughput) is directly related to the number of raster sweeps required to cover all areas of the substrate that receive the liquid, the number of raster sweeps and their respective The location of is not changed in one embodiment, but rather is a manner that allows printing to occur so as to deposit the intended density and pattern of droplets from the printhead assembly, but any subordinate Nozzle assignments and / or drive parameters (eg, drive waveforms) are converted or rendered to the original printer control data to accurately align with the product layer or to match the intended product geometry In that manner, potentially new nozzles and / or drive parameters are individually assigned. The mode of processing is optional, i.e., in another contemplated embodiment, different offsets of the printhead assembly relative to the substrate (e.g., different advance patterns in the cross-scan direction and / or different numbers of scans or sweeps). Note that the raster sweep is reassessed to potentially employ

環境に応じて、単純に、ノズル発射決定を「シフトさせること」は、必ずしも所望の堆積パラメータを生じるわけではない場合がある。例えば、堆積液体が硬化させられるまでその液体を含有する、流体「ウェル」の中に光生成要素を堆積させるために印刷が使用される、1つの考慮される環境では、誤差は、ノズル発射割当の線形シフトが、ピクセルのウェルの中に多すぎるか、または少なすぎる数の堆積液滴を位置付け得るように、ノズル間隔もしくはノズル発射タイミングときれいに整合しない場合がある。これに対処するために、一実施形態では、「アンチエイリアス処理」プロセスが使用され、それに従って、命令論理の制御下で作用する1つまたはそれを上回るプロセッサは、予期される液体体積に対して(検出された誤差を与えられた)各ピクセルウェルの予期される位置を試験し、予期される総体積が、容認性の理想値または範囲から閾値量以上超えた場合、「シフトした」ノズル割当を選択的に再考し、ピクセルウェルの中へ液滴を発射し得るノズルの数のうちの1つまたはそれを上回るものを調節する。次いで、これは、精密に意図された量の液体が意図された場所で堆積させられていることを確実にすることに役立つ。   Depending on the environment, simply “shifting” the nozzle firing decision may not necessarily result in the desired deposition parameters. For example, in one considered environment where printing is used to deposit a light generating element in a fluid “well” containing the liquid until it is cured, the error is the nozzle firing quota. May not align cleanly with nozzle spacing or nozzle firing timing so that too many or too few deposited droplets may be located in a pixel well. To address this, in one embodiment, an “anti-aliasing” process is used, and accordingly one or more processors operating under the control of instruction logic are (for the expected liquid volume ( Test the expected position of each pixel well (given the detected error) and if the expected total volume exceeds a threshold amount by more than the ideal value or range of acceptability, the “shifted” nozzle assignment Selectively reconsider and adjust one or more of the number of nozzles that can fire droplets into the pixel well. This then helps to ensure that a precisely intended amount of liquid has been deposited at the intended location.

別の実施形態では、各ノズルによって生成される液滴は、原位置で実験に測定され、ノズル間で変動するか、またはノズルから液滴を放出するために使用される駆動パラメータに依存する、測定された液滴特性は、記憶され、ノズル割当の考慮に入れられる。例えば、第1の変形例では、個々のノズルは、ノズル(および適用された駆動パラメータ)の関連する実験に測定された液滴パラメータが、許容液滴生成の基準を満たすかどうかに依存して、適格/不適格と見なされることができる。したがって、検証されていないノズルが堆積に使用されるべきではないことを、位置誤差および関連位置合わせが示唆する場合、命令論理は、他のノズるか、または異なる液滴放出パラメータ(例えば、選択されたノズルを制御するための異なる駆動波形)を代わりに使用するよう、ノズルを割り当てるために検証データを使用することができる。第2の変形例では、各所定のノズル(および所定のノズルを駆動するために使用され得る複数の代替的駆動波形のうちの各1つ)が、予期される液滴体積、軌道、および/または液滴降着位置に関して測定され、次いで、本データは、誤差処理または初期ノズル割当の考慮に入れられる。単純な実施例を引用すると、20.00pLの全体積の液体のための流体ウェルの中へ9.97〜10.03ピコリットル(pL)液滴をそれぞれ堆積させるように、2つの隣接ノズルが依拠され、2つの他のノズルが堆積を行うために使用されるであろうことを基板誤差が示唆する場合、(a)9.90〜10.10pL液滴を生成することが予期される非隣接ノズルが、(20.00pL総体積の期待値を留保して)堆積を行うように割り当てられることができ、および/または(b)検出された誤差にもかかわらず、流体ウェルの中で予期される総体積を維持するよう、1つまたはそれを上回るノズルのノズル駆動詳細(例えば、駆動波形)が、事前選択されたノズルから調節された体積または軌道特性を有する液滴を生成するように調節されることができる。これらのタイプの処理もまた、随意であり、全ての実施形態に必要とされるわけではない。 In another embodiment, the droplets produced by each nozzle are measured experimentally in situ and vary between nozzles or depend on the drive parameters used to eject the droplets from the nozzles. The measured droplet characteristics are stored and taken into account for nozzle assignment. For example, in a first variation, individual nozzles depend on whether the droplet parameters measured in the relevant experiment of the nozzle (and applied drive parameters) meet the criteria for acceptable droplet generation. Can be considered qualifying / disqualifying. Thus, if the position error and associated alignment suggest that an unverified nozzle should not be used for deposition, the instruction logic may indicate other nozzles or different drop ejection parameters (e.g., select The verification data can be used to assign the nozzles to use instead the different drive waveforms for controlling the nozzles that were created. In a second variation, each predetermined nozzle (and each one of a plurality of alternative drive waveforms that may be used to drive the predetermined nozzle) is expected droplet volume, trajectory, and / or Or measured with respect to the drop landing position and then this data is taken into account for error handling or initial nozzle assignment. To cite a simple example, two adjacent nozzles are used to deposit 9.97-10.03 picoliter (pL) droplets respectively into fluid wells for a total volume of 20.00 pL of liquid. If it is relied upon and the substrate error suggests that two other nozzles will be used to perform the deposition, (a) non-expected to produce 9.90-10.10 pL droplets Adjacent nozzles can be assigned to perform deposition (with the expected value of 20.00 pL total volume) and / or (b) expected in the fluid wells despite detected errors. So that the nozzle drive details (e.g., drive waveform) of one or more nozzles produce droplets with adjusted volume or trajectory characteristics from preselected nozzles so as to maintain the total volume It can be section. These types of processing are also optional and may not be required for all embodiments.

プリンタ制御データは、実施形態に応じて、多くの形態を成し得ることに留意されたい。1つの実装では、各製品のための所望の層の所望の寸法(例えば、厚さを含む)を説明する、「レシピ」情報は、キャッシュされたテンプレートとして記憶され、次いで、実行時間誤差に適応する調節可能な様式でレンダリングされることができる。第2の実装では、本レシピ情報は、部分的に前処理され、同様に各基板を処理する際に使用するためのキャッシュされたテンプレートとして、オブジェクト(ベクトル)または他の表現で事前に記憶されることができる。位置または整合誤差が各新しい基板について検出されると、テンプレートは、回収され、最終プリンタ制御データ(つまり、適宜に、ノズル発射決定、ラスタ掃引、および関連タイミング)をレンダリングする際に、適宜に修正される。別の実施例を引用すると、別の実装では、レシピデータが製品(および/またはアレイ)について受信され、印刷決定を提示するビットマップにレンダリングされる。ビットマップは、本質的に、基板に対するプリントヘッドのスキャン運動中に基板上の離散位置でノズルに液滴を発射させるか、または発射させないであろうトリガを表す、印刷格子の各節点におけるノズル発射決定のアレイもしくは同等データである。本情報はまた、可変のノズル毎の駆動波形定義または選択を含むこともできる。ビットマップは、テンプレートとしてキャッシュされ、実行時に、読み出され、ビットマップ上の直接処理を介して、印刷を歪曲して誤差に合致させるように修正され、次いで、印刷を制御するために使用される。必然的に、他の実施例が存在し、すなわち、各変形例で、層の位置合わせを達成するよう、検出された誤差は、検出された誤差を考慮して印刷をカスタマイズするよう、ある様式でレンダリングプロセスの考慮に入れられる。   Note that the printer control data can take many forms, depending on the embodiment. In one implementation, “recipe” information describing the desired dimensions (eg, including thickness) of the desired layer for each product is stored as a cached template and then adapted to run-time errors. Can be rendered in an adjustable style. In a second implementation, this recipe information is partially preprocessed and pre-stored in an object (vector) or other representation as a cached template for use in processing each substrate as well. Can be. As position or alignment errors are detected for each new substrate, the template is retrieved and corrected accordingly when rendering the final printer control data (ie, nozzle firing decision, raster sweep, and associated timing, as appropriate). Is done. To quote another example, in another implementation, recipe data is received for a product (and / or array) and rendered into a bitmap that presents a print decision. A bitmap is essentially a nozzle firing at each node of the printing grid that represents a trigger that would cause the nozzle to fire or not fire a droplet at discrete locations on the substrate during the scan movement of the print head relative to the substrate. An array of decisions or equivalent data. This information can also include variable nozzle-by-nozzle drive waveform definitions or selections. The bitmap is cached as a template, read out at runtime, modified to distort the print to match the error via direct processing on the bitmap, and then used to control the print The Inevitably, other embodiments exist, i.e., in each variation, the detected error is in some form to customize the print in consideration of the detected error to achieve layer alignment. To take into account the rendering process.

各実施形態で、印刷時間を増加させることなく、高度に正確な印刷を促進するために、任意の所定の製造反復における基板(またはその上で表現される任意の個々の製品)の検出された誤整合は、リアルタイムで少なくとも部分的にソフトウェアにおいて補正されることができる。次いで、本補正は、時間のかかる非常に高い精度の機械的整合または再配置の必要性、ならびに非常に高い精度の整合機構の必要性を低減させる。これは、精度および信頼性を犠牲にすることなく、費用を低減し、製造スループットを増加させる。複数の大型OLED TV画面の配列された印刷に関係付けられる、1つの詳細に考慮される用途では、単一の大型基板が、6〜8枚のHDTV画面(例えば、同義的に使用されるであろうパネるか、またはサブパネル)を含み得る。現在、成功した製造プロセスに関して、基板上に印刷される層は、基板につきわずか90秒を要するはずであることが考慮される。いくつかの実施形態では、本最大印刷時間は、45秒またはそれ未満であることが予期される。各画面またはパネルが何百万ものピクセルを伴うため、整合は、高品質ディスプレイの製造のために精密となるはずである。したがって、基板および/または製品誤整合もしくは他の誤差を検出して補正するために、数秒(例えば、2秒)未満を要するプロセスを使用して、基板上に液体を印刷することが所望される。開示される実施形態は、製造の本速度(および製造スループット)を促進し、より小型で精密な位置合わせの製品を生産することに役立つ。   In each embodiment, the substrate (or any individual product expressed thereon) in any given manufacturing iteration is detected to facilitate highly accurate printing without increasing printing time. Mismatches can be corrected in software at least partially in real time. The correction then reduces the need for time consuming very high precision mechanical alignment or relocation, as well as the need for very high precision alignment mechanisms. This reduces cost and increases manufacturing throughput without sacrificing accuracy and reliability. In one detail-considered application related to the arrayed printing of multiple large OLED TV screens, a single large substrate is used for 6-8 HDTV screens (e.g., used interchangeably). Panel or sub-panel). It is now considered that for a successful manufacturing process, the layer printed on the substrate should take only 90 seconds per substrate. In some embodiments, this maximum printing time is expected to be 45 seconds or less. Since each screen or panel involves millions of pixels, the alignment should be precise for the production of high quality displays. Accordingly, it is desirable to print a liquid on a substrate using a process that takes less than a few seconds (eg, 2 seconds) to detect and correct substrate and / or product misalignment or other errors. . The disclosed embodiments facilitate the manufacturing speed (and manufacturing throughput) and help produce a smaller and more precise alignment product.

多くの製造用途は、組立中の製品の粗い機械的整合に対して比較的堅調である。開示される実施形態に関して、ソフトウェア(非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令または命令論理)の制御下で作用する1つまたはそれを上回るプロセッサ(すなわち、機械)によって行われる微細精密整合は、典型的には、位置オフセット、回転オフセット、傾斜、スケーリング誤差のミリメートル〜ミリメートル未満(例えば、ナノスケール〜数百ミクロンまたはそれ未満)の誤差、もしくは他の歪曲を調節する。非常に高密度の精密構造(例えば、何百万ものピクセルを有するHDTV用途)を特色とする、および/または何千ものプリントヘッドノズルが関与する、いくつかの用途に関して、誤差処理は、かなりの計算リソースを必要とし得ることに留意されたい。上記のように、一実施形態では、数秒、例えば、2秒もしくはそれ未満で、ハードウェア論理および/またはソフトウェア論理を使用して誤差補償を行うことが所望される。本目的を促進するために、以下のある実施形態は、並列処理に依拠するハードウェア設計(例えば、複数のプロセッサまたはマルチコア処理)および本計算が迅速に起こることを可能にするプロセススレッド割当のための技法を提示する。例えば、以下でさらに議論されるであろう実施形態を予示すると、監視プロセッサまたはプロセッサのグループが、誤差を検出し、元のレシピ情報(または他のキャッシュされたテンプレートデータ)をレンダリングもしくは変換するための定式化を判定することができる。定式化は、基板にわたって線形であり得、または局所的に変動し得る(例えば、非線形もしくは非連続的)。次いで、監視プロセッサは、処理のために地理的区画および関連アフィン変換をマルチコアプロセッサの各コアに割り当てる。1つの設計では、各コアは、データ処理および操作のために独自の専用メモリを有し、監視プロセッサは、各コアおよび関連修正アルゴリズム(例えば、アフィン変換)によって修正される地理的区画を識別し、本情報をそれぞれのコアに提供し、次いで、複数のコアはそれぞれ、全体として基板の調節されたプリンタ制御データを表す、変換された出力を終了することに寄与するように、それらの割り付けられたタスクを行う。本変換された出力は、即時印刷で使用するために好適である。所望であれば、操作に使用されるメモリはまた、ダイレクトメモリアクセス(DMA)を提供して、キャッシュされたテンプレートの操作ならびに印刷へのその適合および印刷での使用を加速するように、設計されることもできる。何十〜何百ものコアまたはそれを上回るものを使用する実施形態に関して、これは、所望の印刷ジョブを再レンダリングするために必要とされる処理時間を実質的に短縮する。他の設計も可能である。例えば、異なる地形を各コアに割り当てる代わりに、異なる数学演算(または異なる順次プロセス)が、各コアに割り当てられることができる。本実施例が明確にするはずであるように、機能または処理のほぼあらゆるパーティションが、効率を最大限にするように、または別様に処理時間を短縮するように、提供されることができる。上記で議論されるような並列処理環境もまた、本明細書に説明される他の技法に対して随意と見なされるはずである。   Many manufacturing applications are relatively robust against the coarse mechanical alignment of the product being assembled. With respect to the disclosed embodiments, the fine precision performed by one or more processors (ie, machines) operating under the control of software (instructions or instruction logic stored on a non-transitory machine-readable medium). Alignment typically adjusts for position offset, rotational offset, tilt, scaling error in millimeters to less than a millimeter (eg, nanoscale to hundreds of microns or less), or other distortion. For some applications featuring very high density precision structures (eg, HDTV applications with millions of pixels) and / or involving thousands of printhead nozzles, error handling can be significant Note that computational resources may be required. As noted above, in one embodiment, it is desirable to perform error compensation using hardware and / or software logic in a few seconds, eg, 2 seconds or less. To facilitate this goal, certain embodiments below are for hardware designs that rely on parallel processing (eg, multiple processors or multi-core processing) and process thread allocation that allows this computation to occur quickly. Present the technique. For example, foreseeing an embodiment that will be discussed further below, a supervisory processor or group of processors detects errors and renders or transforms the original recipe information (or other cached template data). The formulation for can be determined. The formulation can be linear across the substrate or can vary locally (eg, non-linear or non-continuous). The supervisory processor then assigns a geographic partition and associated affine transformation to each core of the multi-core processor for processing. In one design, each core has its own dedicated memory for data processing and manipulation, and the supervisory processor identifies the geographic partition that is modified by each core and associated modification algorithm (eg, affine transformation). Providing this information to each core, and then each of the plurality of cores is assigned to contribute to ending the converted output, representing the adjusted printer control data for the board as a whole. Perform the task. The converted output is suitable for use in immediate printing. If desired, the memory used for the operation is also designed to provide direct memory access (DMA) to accelerate the operation of the cached template and its adaptation to printing and use in printing. You can also. For embodiments that use tens to hundreds of cores or more, this substantially reduces the processing time required to re-render the desired print job. Other designs are possible. For example, instead of assigning different terrain to each core, different mathematical operations (or different sequential processes) can be assigned to each core. As this example should be clear, almost any partition of function or processing can be provided to maximize efficiency or otherwise reduce processing time. A parallel processing environment as discussed above should also be considered optional for the other techniques described herein.

本開示は、組立ライン式プロセスにおいて高度に正確な印刷を促進する、いくつかのハードウェア(すなわち、回路)実装と、そのようなハードウェアの代わりに、またはそれに加えて使用され得る、ソフトウェア技法とを提供する。一般的に言えば、以下で議論される特徴は、混合および合致させられることができ(または別様に随意であり)、実装に従って変動し得る。例えば、以下で議論される一実施形態は、プリンタによって使用される多くのノズル(例えば、何百〜何万ものノズル)のそれぞれのためのいくつか(例えば、16)のカスタマイズ可能なノズル駆動波形を事前に記憶するために使用され得る、ハードウェアを提供する。各波形は、そのノズルから生成可能である一連の可能な液滴を提供する、わずかに異なる予期される液滴パラメータ(例えば、体積、軌道等)を生成するように事前に選択される。本システムは、一連の選択を提供するよう、これらの波形を事前に選択し、各ノズルの回路を駆動するように、種々の波形選択を事前にプログラムする。次いで、実行時に、本システムは、単純に、波形のうちの1つを選択する。一実施形態では、16のそのような選択(例えば、非発射決定を表す1つの「ゼロ」波形、および15の可変駆動波形)がある。別の実施形態では、デフォルト波形が、非同期的に(すなわち、事前に)プログラムされることができ、次いで、どちらの波形がごく最近にデフォルトとしてプログラムされていても「立ち上げる」ように、2値「トリガ」が適用されることができる。もう一度、これらの種々の特徴は、随意であり、全ての実施形態に必要とされるわけではなく、種々の開示される特徴が、実装に適しているような任意の所望の組み合わせまたは順列で使用されてもよい。全てのそのような組み合わせまたは順列、および任意のそのような組み合わせまたは順列が、本開示の教示によって考慮される。   The present disclosure describes several hardware (ie, circuit) implementations that facilitate highly accurate printing in an assembly line process, and software techniques that can be used in place of or in addition to such hardware And provide. Generally speaking, the features discussed below can be mixed and matched (or otherwise optional) and can vary according to implementation. For example, one embodiment discussed below provides several (eg, 16) customizable nozzle drive waveforms for each of the many nozzles (eg, hundreds to tens of thousands) used by the printer. Hardware that can be used to pre-store Each waveform is pre-selected to produce slightly different expected drop parameters (eg, volume, trajectory, etc.) that provide a series of possible drops that can be generated from that nozzle. The system pre-selects these waveforms to provide a series of selections and pre-programs the various waveform selections to drive each nozzle circuit. Then, at runtime, the system simply selects one of the waveforms. In one embodiment, there are 16 such choices (eg, one “zero” waveform representing a non-firing decision, and 15 variable drive waveforms). In another embodiment, the default waveform can be programmed asynchronously (ie, pre-), and then “rise” so that which waveform is most recently programmed as the default. The value “trigger” can be applied. Once again, these various features are optional and not required for all embodiments, and the various disclosed features may be used in any desired combination or permutation suitable for implementation. May be. All such combinations or permutations, and any such combinations or permutations are contemplated by the teachings of this disclosure.

詳細に考慮される実装は、非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令を備える、装置を含むことができる。そのような命令論理は、命令が最終的に実行されたときに、特定のアクションをとる、もしくは別様に特定の出力を生じる命令に依存して、入力オペランド上で説明されたタスクを必然的に行う構造を有する、汎用機械として、1つまたはそれを上回る汎用機械(例えば、プロセッサ、コンピュータ、もしくは他の機械)を挙動させるように、ある構造(アーキテクチャ特徴)を有する様式で、書かれるか、または設計されることができる。本明細書で使用されるような「非一過性の機械可読媒体」は、その媒体上のデータがどのようにして記憶されるかにかかわらず、限定ではないが、命令が後に機械によって読み出され得る、ランダムアクセスメモリ、ハードディスクメモリ、光学メモリ、フロッピー(登録商標)ディスクまたはCD、サーバ記憶装置、揮発性メモリ、および他の有形機構を含む、任意の有形(すなわち、物理的)記憶媒体を意味する。機械可読媒体は、独立型形態(例えば、プログラムディスクまたはソリッドステートデバイス)であり得、またはより大型の機構、例えば、ラップトップコンピュータ、携帯用デバイス、サーバ、ネットワーク、プリンタ、もしくは1つまたはそれを上回るデバイスの他のセットの一部として具現化されることができる。命令は、異なる形式で、例えば、呼び出されたときにあるアクションを起動するために効果的であるメタデータとして、Java(登録商標)コードまたはスクリプトとして、特定のプログラミング言語で書かれたコードとして(例えば、C++コードとして)、プロセッサ特有の命令セットとして、またはある他の形態で、実装されることができる。命令はまた、実施形態に応じて、同一のプロセッサまたは異なるプロセッサもしくはプロセッサコアによって実行されることもできる。本開示の全体を通して、いずれかが、概して、非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令として実装され得、いずれかが、例えば、マイクロ電子、マイクロ光学、「3D印刷」、または他の印刷プロセスを使用して製品を製作するために使用され得る、種々のプロセスが説明されるであろう。製品設計に応じて、そのような製品は、密閉可能形態であるように、または販売、配布、輸出、もしくは輸入のための完成した製品を最終的に作成し得る、他の印刷、硬化、製造、または他の処理ステップのための予備ステップとして、製作されることができる。また、実装に応じて、命令は、単一のコンピュータによって実行されることができ、他の場合においては、例えば、1つまたはそれを上回るサーバ、ウェブクライアント、もしくはアプリケーション特有のデバイスを使用して、分散基準で記憶および/または実行されることができる。本明細書の種々の図を参照して記述される各機能は、ともに単一の媒体表現(例えば、単一のフロッピー(登録商標)ディスク)上または複数の別個の記憶デバイス上のいずれか一方で記憶される、複合プログラムの一部として、もしくは独立型モジュールとして、実装されることができる。同じことが、本明細書に説明されるプロセスに従って生成される印刷イメージまたはプリンタ制御データにも当てはまり、すなわち、レシピ情報、テンプレート、またはそのようなレシピ情報もしくはテンプレートの処理の結果は、同一の機械上で、もしくは1つまたはそれを上回る他の機械上で使用するためのいずれかで、一時的または恒久的使用のために非一過性の機械可読媒体上に記憶されることができる。例えば、プリンタ制御データは、第1の機械を使用して生成され、次いで、プリンタまたは製造デバイスに転送するため、例えば、インターネット(もしくは別のネットワーク)を介したダウンロードのため、または別の機械上で使用するための(例えば、DVD等の輸送媒体を介した)手動輸送のために、記憶されることができる。   An implementation that is considered in detail can include an apparatus comprising instructions stored on a non-transitory machine-readable medium. Such instruction logic entails the tasks described on the input operands depending on the instruction that takes a particular action or otherwise produces a particular output when the instruction is finally executed. Written in a manner having a certain structure (architectural feature) to make one or more general purpose machines (eg, a processor, computer, or other machine) behave as a general purpose machine having a structure Or can be designed. As used herein, a “non-transitory machine-readable medium” is not limited, regardless of how the data on the medium is stored, but the instructions are later read by a machine. Any tangible (ie, physical) storage medium that can be issued, including random access memory, hard disk memory, optical memory, floppy disk or CD, server storage, volatile memory, and other tangible mechanisms Means. A machine-readable medium may be in a stand-alone form (eg, a program disk or a solid state device), or a larger mechanism such as a laptop computer, portable device, server, network, printer, or one or more thereof. It can be embodied as part of another set of devices. The instructions are in different forms, for example as Java code or script, as code written in a particular programming language, as metadata that is effective to invoke an action when invoked ( (E.g., as C ++ code), as a processor specific instruction set, or in some other form. The instructions can also be executed by the same processor or different processors or processor cores, depending on the embodiment. Throughout this disclosure, any can generally be implemented as instructions stored on a non-transitory machine-readable medium, such as microelectronics, microoptics, “3D printing”, or others Various processes that can be used to fabricate products using the current printing process will be described. Depending on the product design, such products may be in a sealable form or other printing, curing, manufacturing that may ultimately produce a finished product for sale, distribution, export, or import Or as a preliminary step for other processing steps. Also, depending on the implementation, the instructions can be executed by a single computer, in other cases using, for example, one or more servers, web clients, or application specific devices. Can be stored and / or executed on a distributed basis. Each function described with reference to the various figures herein is either on a single media representation (eg, a single floppy disk) or on multiple separate storage devices. Can be implemented as part of a composite program or as a stand-alone module. The same applies to print images or printer control data generated according to the process described herein, i.e., the recipe information, template, or the result of processing such recipe information or template is the same machine. It can be stored on a non-transitory machine-readable medium for temporary or permanent use, either above or for use on one or more other machines. For example, printer control data is generated using a first machine and then transferred to a printer or manufacturing device, eg, for download over the Internet (or another network), or on another machine Can be stored for manual transport (eg, via a transport medium such as a DVD).

また、上記では、検出機構および各基板上で認識される基準が参照されている。多くの実施形態では、検出機構は、基板上の認識可能な形状またはパターンを検出するためにセンサアレイ(例えば、カメラ)を使用する、光学検出機構である。他の実施形態は、アレイ上で前提とならず、例えば、基板がプリンタの中へ装填されるか、またはプリンタ内で前進させられると、基準を感知するために、線センサが使用されることができる。いくつかの実施形態が、専用パターン(例えば、特殊整合マーク)に依拠する一方で、他の実施形態は、認識可能な基板特徴(任意の前もって堆積させられた層の幾何学形状を含む)に依拠し、これらのそれぞれが「基準」であることに留意されたい。可視光を使用することに加えて、他の実施形態は、予期される印刷位置に対する基板詳細の紫外線または他の非可視光、磁気、高周波、もしくは他の形態の検出に依拠することができる。   Also, in the above, reference is made to the detection mechanism and the criteria recognized on each substrate. In many embodiments, the detection mechanism is an optical detection mechanism that uses a sensor array (eg, a camera) to detect a recognizable shape or pattern on the substrate. Other embodiments are not premise on the array, for example, a line sensor is used to sense the reference when the substrate is loaded into the printer or advanced in the printer. Can do. While some embodiments rely on dedicated patterns (eg, special alignment marks), other embodiments rely on recognizable substrate features (including any previously deposited layer geometry). Rely on and note that each of these is a “standard”. In addition to using visible light, other embodiments can rely on detection of ultraviolet or other invisible light, magnetic, high frequency, or other forms of substrate details relative to the expected print location.

図1Aは、場所107でそれぞれの製品の永久層を形成し得る液体の印刷を受容するものである、基板のレイアウトを示し、プリントヘッドのノズルによるアクセスのために意図される全体的印刷領域が、鎖線のボックス103によって表される。図1Bは、図1Aの鎖線のボックス103に類似するが、補正がないと、印刷が間違った場所で起こり、位置ずれをもたらすように、基板が定位置で非意図的にオフセットしている、印刷領域125を示す。図1Cは、図1Aの鎖線のボックス103に類似するが、基板回転誤差がある、印刷領域135を示す。図1Dは、図1Aの鎖線のボックス103に類似するが、基板誤整合がスケーリング誤差を表し、例えば、個々の配列された製品がそれぞれ、寸法誤差(ならびに位置誤差)を有し得る、印刷領域147を示す。FIG. 1A shows the layout of the substrate, which is intended to accept a liquid print that can form a permanent layer of the respective product at location 107, with the overall print area intended for access by the nozzles of the printhead. , Represented by a dashed box 103. FIG. 1B is similar to the dashed box 103 of FIG. 1A, but without correction, the substrate is unintentionally offset in place so that printing occurs in the wrong place, resulting in misalignment. A print area 125 is shown. FIG. 1C shows a print area 135 similar to the dashed box 103 of FIG. 1A, but with substrate rotation errors. 1D is similar to the dashed box 103 of FIG. 1A, but the substrate misalignment represents a scaling error, for example, each printed product may have a dimensional error (as well as a positional error). 147 is shown. 図1Eは、図1Aの鎖線のボックス103に類似するが、基板誤整合(例えば、縁誘導型整合プロセスにおける縁歪曲)が、2つの独立した次元で歪曲をもたらす、印刷領域155を示す。図1Fは、図1Aの鎖線のボックス103に類似するが、それぞれ基板の異なる部分に影響を及ぼす、異なるタイプの誤差が表される、印刷領域163を示す。FIG. 1E shows a printed area 155 similar to the dashed box 103 of FIG. 1A, but where substrate misalignment (eg, edge distortion in an edge-guided alignment process) results in distortion in two independent dimensions. FIG. 1F shows a printed area 163 that is similar to the dashed box 103 of FIG. 1A, but with different types of errors each affecting a different part of the substrate. 図2Aは、基板位置に対する1つまたはそれを上回る印刷堆積領域の整合に関する、フローチャート201を提供する。FIG. 2A provides a flowchart 201 for alignment of one or more printed deposition areas with respect to a substrate position. 図2Bは、基板位置に対する1つまたはそれを上回る印刷堆積領域の整合に関係付けられる、別のフローチャート221を提供する。FIG. 2B provides another flowchart 221 related to the alignment of one or more printed deposition areas with respect to the substrate position. 図2Cは、アレイ内の各製品設計のための層幾何学形状を定義するために使用される、レシピエディタおよびパネル定義ソフトウェアからのスクリーンショットである(すなわち、アレイは、共通基板を使用して製作されるものであり、層堆積は、一連の基板について繰り返されるものである)。FIG. 2C is a screen shot from the recipe editor and panel definition software used to define the layer geometry for each product design in the array (ie, the array uses a common substrate). The layer deposition is repeated for a series of substrates). 図3Aは、検出された誤差に依存して印刷を微調整するように「テンプレート」を調節する1つの特定の方法に関する、フローチャート301を提供する。図3Bは、検出された誤差に依存して印刷を微調整するように「テンプレート」を調節する1つの特定の方法に関する、別のフローチャート351を提供する。FIG. 3A provides a flowchart 301 for one particular method of adjusting the “template” to fine tune the print depending on the detected error. FIG. 3B provides another flowchart 351 for one particular method of adjusting the “template” to fine tune the print depending on the detected error. 図4A−4Iは、整合誤差の処置について議論するために、より詳細には、印刷を微調整するようにプリントヘッドノズル発射決定を割り当てるか、または再び割り当てるためのプロセスを説明するために使用される。図4Aは、「印刷格子」内の場所における「X」の存在または欠如が、それぞれ、液滴が、特定の領域中のプリントヘッドによって(例えば、位置404におけるノズル410から)発射されるか、または(例えば、位置405を横断するにつれてノズル410から)特定の領域において保留されるであろうことを表す、領域403に対するプリントヘッド407のレイアウトを示す。例えば、図4Aは、「ビットマップ」の一区分であり得る(すなわち、プリントヘッドおよび基板がスキャン運動において相互に対して移動した際に、基板の一部にわたって意図されたノズル発射決定を表す)。本明細書で使用されるように、「ビットマップ」という用語は、各ノズルのデータが単一のビットまたは複数のビットから成るかどうかにかかわらず、ノズル毎のデータを指すことに留意されたい。例えば、一実施形態では、4ビットのデータが使用されることができる(すなわち、そのうちの1つが、ノズルを発射しない決定を表し、他のものが、ノズルに「送信」され得る、異なる再プログラムされたノズル駆動波形を表す、16の可能な値を表す)。明確に、多くの代替案が可能である。図4Bは、図4Aからの元の印刷格子403のレイアウトを示すが、基板は、意図された印刷領域に対して誤整合であり、異なるノズルが、スキャン経路を調節することなく、本整合誤差を補償するために使用されることができる。描写される実施例では、誤整合は、ノズル間隔または「ピッチ」と「きれいに」整合しない場合があり、例えば、プリントヘッドおよび基板が相互に対して移動させられると、より多いまたは少ない数のノズル、ならびにプリントヘッドのノズルの異なるセットが、所望の印刷領域412に重複し得ることに留意されたい。図4Cは、印刷格子が図4Bからの所望の印刷領域412上に重ね合わせられて見られる、レイアウト421を示す。4A-4I are used to discuss the handling of alignment errors, and more particularly to illustrate the process for assigning or reassigning printhead nozzle firing decisions to fine tune the print. The FIG. 4A shows that the presence or absence of an “X” at a location in the “print grid” indicates that a drop is fired by a printhead in a particular area (eg, from nozzle 410 at position 404), respectively. Or shows the layout of printhead 407 relative to region 403, which represents that it will be retained in a particular region (eg, from nozzle 410 as it traverses position 405). For example, FIG. 4A may be a section of a “bitmap” (ie, representing an intended nozzle firing decision over a portion of the substrate as the printhead and substrate move relative to each other in a scanning motion). . Note that as used herein, the term “bitmap” refers to the data for each nozzle, regardless of whether each nozzle's data consists of a single bit or multiple bits. . For example, in one embodiment, 4 bits of data can be used (i.e., one of which represents a decision not to fire a nozzle and the other can be "sent" to the nozzle, a different reprogramming Represents 16 possible values, representing the nozzle drive waveform generated). Clearly, many alternatives are possible. FIG. 4B shows the layout of the original print grid 403 from FIG. 4A, but the substrate is misaligned with respect to the intended print area, and different nozzles make this alignment error without adjusting the scan path. Can be used to compensate. In the depicted example, misalignment may not align “clean” with nozzle spacing or “pitch”, eg, more or less nozzles as the printhead and substrate are moved relative to each other. Note that different sets of printhead nozzles may overlap the desired print area 412. FIG. 4C shows a layout 421 where the print grid is seen overlaid on the desired print area 412 from FIG. 4B. 図4Dは、図4Aからの領域403の相対的レイアウト431を示すが、意図された印刷領域または製品幾何学形状433は、基板誤差または他の誤整合により、その領域に対して回転させられて見られる。図4Eは、印刷格子が所望の印刷領域433上に重ね合わせられて見られる、レイアウト441を示す。図4Fは、元のプリンタ格子403のレイアウトを示すが、特定の基板に対して、所望の印刷領域455によって反映されるような検出されたスケーリング誤差がある。FIG. 4D shows the relative layout 431 of the region 403 from FIG. 4A, but the intended printed region or product geometry 433 has been rotated relative to that region due to substrate errors or other misalignments. It can be seen. FIG. 4E shows a layout 441 in which the print grid is seen overlaid on the desired print area 433. FIG. 4F shows the original printer grid 403 layout, but for a particular substrate, there is a detected scaling error as reflected by the desired print area 455. 図4Gは、印刷格子が図4Fからの所望の印刷領域455上に重ね合わせられて見られる、レイアウト461を示す。図4Hは、図4Aからの元の印刷格子のレイアウトを示すが、検出された傾斜誤差475があり、例えば、基板に影響を及ぼす、あるタイプの歪曲または線形前進誤差により、実際には(形状475によって表される)平行四辺形の輪郭に沿って印刷することが所望される。FIG. 4G shows a layout 461 in which the print grid is seen overlaid on the desired print area 455 from FIG. 4F. FIG. 4H shows the layout of the original printed grid from FIG. 4A, but there is a detected tilt error 475, which is actually (shape due to some type of distortion or linear advance error affecting the substrate, for example. It is desired to print along the outline of the parallelogram (represented by 475). 図4Iは、印刷格子が所望の印刷領域475上に重ね合わせられて見られる、レイアウト481を示し、図4Iの印刷格子を使用して補正される印刷を用いて、本明細書で提示される技法を使用すると、印刷は、精密に整合させられることができる(すなわち、形状475によって表される)。FIG. 4I shows a layout 481 in which the print grid is seen overlaid on the desired print area 475 and is presented herein with print corrected using the print grid of FIG. 4I. Using the technique, the print can be precisely aligned (ie, represented by shape 475). 図5Aは、ノズル駆動波形(すなわち、電子駆動信号)をプリントヘッドの異なるノズルに割り当てるか、またはそれらついて調節するために使用される回路を示す。FIG. 5A shows a circuit used to assign or adjust nozzle drive waveforms (ie, electronic drive signals) to different nozzles of the printhead. 図5Bは、記憶されたデータが、プログラム可能な波形定義(したがって、可変体積、液滴軌道、液滴降着場所、速度、または他のノズル毎の液滴パラメータ)を可能にする、対応するプリントヘッドノズルのデータを記憶するために使用され得る、ノズル毎の駆動回路を示す。FIG. 5B shows the corresponding prints where the stored data allows programmable waveform definitions (and thus variable volume, droplet trajectory, droplet landing location, velocity, or other droplet parameters per nozzle). Fig. 4 shows a drive circuit for each nozzle that can be used to store head nozzle data. 図5Cは、例示的波形を示し、プログラム可能な調節によって、ノズル液滴パラメータを変動させるために、その波形がどのようにして使用され得るかを説明するのに役立てるために使用される。FIG. 5C shows an exemplary waveform and is used to help explain how the waveform can be used to vary nozzle droplet parameters with programmable adjustments. 図5Dは、プリントヘッドのノズルのための駆動回路の別の実施例を示す。FIG. 5D shows another embodiment of a drive circuit for the printhead nozzles. 図6Aは、本明細書で紹介される技法をそれぞれ独立して具現化することができる、一連の随意の層、製品、またはサービスを示す、例証的な図であり、例えば、本明細書で提示される技法は、(数字603によって)ソフトウェアの形態で、または(基板上に印刷するようにプリンタを制御するために使用される、数字607によって)プリンタ制御データとして、もしくは(数字613、615、または617によって例示されるように)これらの技法に依拠して作製される製品として実装されることができる。FIG. 6A is an illustrative diagram illustrating a series of optional layers, products, or services that can each independently implement the techniques introduced herein, eg, as described herein. The technique presented can be in the form of software (by number 603) or as printer control data (by number 607, used to control the printer to print on the substrate) or (numbers 613, 615). Or as implemented by products made on the basis of these techniques (as exemplified by 617). 図6Bは、プリンタを含む製作装置の概略図を提供する。FIG. 6B provides a schematic diagram of a fabrication device that includes a printer. 図6Cは、製作装置内の印刷領域の平面図を示し、本印刷領域は、随意に、ガスエンクロージャ内に、すなわち、印刷が制御された雰囲気中で起こるように、含有されることができる。FIG. 6C shows a plan view of the printing area in the production device, which can optionally be contained in the gas enclosure, i.e. so that printing takes place in a controlled atmosphere. 図6Dは、プリンタを含む製作装置の機能ブロック図を提供する。FIG. 6D provides a functional block diagram of a fabrication device that includes a printer. 図7は、個々のノズル変動および/またはノズル駆動波形変動の効果の測定、ならびに関連補償技法を説明するために使用される、フローチャート701を提供する。一実施形態では、印刷が位置誤差について調節されるだけでなく、加えて、印刷が慎重に定義された公差内で起こるよう、ノズル間変動が調節において考慮される。FIG. 7 provides a flow chart 701 that is used to measure the effects of individual nozzle variations and / or nozzle drive waveform variations, and related compensation techniques. In one embodiment, not only is printing adjusted for position errors, but in addition, nozzle-to-nozzle variations are taken into account so that printing occurs within carefully defined tolerances. 図8Aは、大型プリントヘッドアセンブリの各ノズルの液滴体積を測定することが可能な液滴測定システムを示す、例証的略図である。例えば、そのようなシステムは、上記で言及されるノズル間変動を測定するために使用されることができる。図8Bは、予期される液滴特性の高信頼理解を達成するように各ノズルの液滴詳細の測定と関連付けられる種々のプロセスおよびオプションを示す、方法の略図である。FIG. 8A is an illustrative schematic showing a droplet measurement system capable of measuring the droplet volume of each nozzle of a large printhead assembly. For example, such a system can be used to measure inter-nozzle variations referred to above. FIG. 8B is a schematic diagram of a method showing various processes and options associated with measuring the droplet details of each nozzle to achieve a reliable understanding of expected droplet characteristics. 図8Cは、液滴測定の実施形態と関連付けられるフロー図を示す。FIG. 8C shows a flow diagram associated with the drop measurement embodiment. 図8Dは、ノズル検証と関連付けられるフロー図を示し、つまり、一実施形態では、(本明細書に説明される他の目的に加えて)ノズルを適格または不適格と見なすために、測定が使用されることができる。FIG. 8D shows a flow diagram associated with nozzle verification, that is, in one embodiment, measurements are used to consider a nozzle qualifying or ineligible (in addition to other purposes described herein). Can be done. 図9Aは、ラスタプロセスと関連付けられるブロック図を提供する。より詳細には、図9Aは、精密な印刷を提供するために、液滴測定の結果がどのようにして検出された基板誤差(例えば、位置、回転、スケーリング、または傾斜誤差)と統合され得るかを説明することに役立つ。影付きの領域(907)が、単一のスキャン経路を表す一方で、透明な領域(908)は、別の経路を表す。FIG. 9A provides a block diagram associated with the raster process. More specifically, FIG. 9A can be integrated with the substrate error (eg, position, rotation, scaling, or tilt error) how the droplet measurement results were detected to provide precise printing. It helps to explain. The shaded area (907) represents a single scan path while the transparent area (908) represents another path. 図9Bは、製造プロセスの一部として基板上の印刷と関連付けられるフロー図を示す。FIG. 9B shows a flow diagram associated with printing on a substrate as part of the manufacturing process. 図9Cは、製造プロセスの一部として基板上の印刷と関連付けられる別のフロー図を示す。FIG. 9C shows another flow diagram associated with printing on a substrate as part of the manufacturing process. 図10Aは、製造プロセスの一部として基板上の印刷と関連付けられるフロー図を示す。図10Bは、製造プロセスの一部として基板上の印刷と関連付けられる別のフロー図を示す。FIG. 10A shows a flow diagram associated with printing on a substrate as part of the manufacturing process. FIG. 10B shows another flow diagram associated with printing on a substrate as part of the manufacturing process. 図10Cは、印刷を受容する、例えば、「調節された」プリンタ制御データが1つまたはそれを上回る所望の基準(例えば、th≦体積≦th)を依然として満たすかどうかを試験し、1つまたはそれを上回る所望の基準を満たさない場合に、プリンタ制御データをさらに調節するものである、地形のアンチエイリアス処理に関するフローチャート1041を提供する。図10Dは、基板プリンタ変動を軽減するように、プリンタ制御データのレンダリングに更新されたノズル液滴データを組み込むことに関する、フローチャート1061を提供する。図10Eは、基板プリンタ変動を軽減するように、プリンタ制御データのレンダリングに更新されたノズル液滴データを組み込むことに関する、さらに別のフローチャート1081を提供する。FIG. 10C tests to see if print acceptance, eg, “conditioned” printer control data, still meets one or more desired criteria (eg, th 1 ≦ volume ≦ th 2 ), A flow chart 1041 for terrain anti-aliasing is provided that further adjusts printer control data if one or more desired criteria are not met. FIG. 10D provides a flowchart 1061 relating to incorporating updated nozzle droplet data into the rendering of printer control data to reduce substrate printer variation. FIG. 10E provides yet another flowchart 1081 relating to incorporating updated nozzle droplet data into the rendering of printer control data to mitigate substrate printer variation. 図11Aは、並列処理環境を示すブロック図である。FIG. 11A is a block diagram illustrating a parallel processing environment. 図11Bは、印刷イメージのレンダリングおよび/またはラスタ化が並列処理環境でどのようにして行われるかを示す、ブロック図である。FIG. 11B is a block diagram illustrating how print image rendering and / or rasterization occurs in a parallel processing environment.

列挙された請求項によって定義される主題は、添付図面と併せて熟読されるべきである、以下の発明を実施するための形態を参照することによって、より深く理解され得る。請求項によって記載される技術の種々の実装を構築して使用することを可能にするように以下で立案される、1つまたはそれを上回る特定の実施形態の本説明は、列挙された請求項を限定することを目的としておらず、それらの用途を例示することを目的としている。前述の内容を限定することなく、本開示は、一体の反復可能印刷プロセスの一部として、基板の複数の製品(または製品の他のアレイ)のそれぞれのための薄膜を製作するために使用される、技法のいくつかの異なる実施例を提供する。種々の技法は、これらの技法を行うためのソフトウェアとして、そのようなソフトウェアを実行するコンピュータ、プリンタ、または他のデバイスの形態で、そのようなフィルム層を形成するための制御データ(例えば、印刷イメージ)の形態で、堆積機構として、または(例えば、説明される技法に従って生産される1つまたはそれを上回る層を有する)これらの技法の結果として製作される電子もしくは他のデバイスの形態で、具現化されることができる。特定の実施例が提示されているが、本明細書に説明される原理はまた、他の方法、デバイス、およびシステムにも適用され得る。   The subject matter defined by the following claims can be better understood with reference to the following detailed description, which should be read in conjunction with the accompanying drawings. This description of one or more specific embodiments, which are set out below to enable the construction and use of various implementations of the technology described by the claims, is listed below. Are intended to illustrate their use. Without limiting the foregoing, the present disclosure may be used to fabricate a thin film for each of a plurality of products (or other arrays of products) of a substrate as part of an integrated repeatable printing process. Several different embodiments of the technique are provided. Various techniques are available as software for performing these techniques, such as control data (eg, printing) for forming such film layers in the form of a computer, printer, or other device that executes such software. Image), as a deposition mechanism, or in the form of an electronic or other device fabricated as a result of these techniques (eg, having one or more layers produced according to the techniques described) Can be embodied. Although specific embodiments have been presented, the principles described herein may also be applied to other methods, devices, and systems.

(詳細な説明)
このようにいくつかの基本的実施形態を紹介してきたが、ここで、本開示は続いて、より詳細な実装についてする。図1A−1Fは、反復可能製造プロセスにおけるプリンタ制御データ調節と関連付けられる種々の原理を例証するために使用される。
(Detailed explanation)
Having thus described several basic embodiments, the present disclosure will now be directed to a more detailed implementation. 1A-1F are used to illustrate various principles associated with printer control data adjustment in a repeatable manufacturing process.

図1Aは、仮説的基板101のレイアウトを図示する。より詳細には、基板は、いくつかの整合マーク105と、整合マークに対して定義される印刷領域103と、形成されるか、または製品形成のプロセスの一部として堆積させられた基層をすでに有する、いくつかの製品に対応する領域107とを含む。例証目的で、基板101は、多くの製品107、および独立したソーラパネルまたはディスプレイデバイスを形成するように基板から切断されるであろう各「パネル」を形成するために使用されるであろうが、本発明はそのように限定されないことが仮定され得る。一実施形態では、各パネル107は、独立したOLEDパネルとなり、基板101は、大きな1枚のガラスである。   FIG. 1A illustrates the layout of the hypothetical substrate 101. More specifically, the substrate already has a number of alignment marks 105, a printed area 103 defined for the alignment marks, and a base layer formed or deposited as part of the product formation process. And an area 107 corresponding to some products. For illustrative purposes, the substrate 101 will be used to form a number of products 107 and each “panel” that will be cut from the substrate to form an independent solar panel or display device. It can be assumed that the present invention is not so limited. In one embodiment, each panel 107 is an independent OLED panel and the substrate 101 is a large piece of glass.

複数の製品の存在にもかかわらず、一体の印刷プロセスにおいてアレイまたは基板101上に液体を噴出するために、プリンタを採用することが所望される。液体は、液体の堆積およびその硬化または他の処理に続いて、材料および/または液体が各結果として生じた製品の恒久的部分になるように、ならびに層が詳細に計画された厚さを有するように、材料を担持する。随意の実施形態では、単位面積あたりの堆積液体の体積または密度が、層厚さを構築するために使用される、制御された液滴堆積を使用して、層厚さが付与される。つまり、液体は、望ましくない孔または間隙を伴わずにブランケット液体被覆を生じる、限定された拡散を有し、もしくは液体は別様に、全て詳細に計画された厚さを別様にもたらすであろう様式で、幾何学的に閉じ込められるであろう様式において堆積または硬化させられる。たとえ堆積流体が典型的には無色であり、いかなるタイプの色調(すなわち、「ハーフ」、「ブレンド」、または別様である)を作成するために使用されていなくても、本プロセスは、概して、本明細書では「ハーフトーニグ」と称される。典型的実装では、プリンタが基板全体(すなわち、アレイ中の各製品の層)を印刷し、次いで、基板がプリンタから別個の硬化チャンバに輸送され、そこで、全て制御された雰囲気(例えば、液体が湿気、酸素、または他の形態の所望されない粒子状物質に暴露されることを防止する、窒素もしくは他の周囲の非空気雰囲気)の存在下で、液体が硬化または別様に硬質化させられるであろうことに留意されたい。本実施例に関して、全体的な印刷領域103の境界内の離散場所で所望の材料を堆積させるようにプリンタに求める、レシピデータが事前に生成されることが仮定されるであろう。簡単に言うと、各製品のレシピデータは、その製品の層厚さおよび寸法、ならびに角の丸み付けまたは縁蓄積プロファイル等の任意の所望の詳細を説明し、アレイのレシピデータは、各製品の層(すなわち、製品レシピデータ)が基板に対して位置付けられる場所を説明する。レシピデータは、処理またはレンダリングされると、多くの確保する類似基板について繰り返されるであろう再現可能な基準で、各個別製品領域107の中へ液体を堆積されるようにインクジェットプリンタに命令し得る。レシピデータ(またはその任意の処理されたバージョン)は、一連の基板の中の各基板上でプリンタに液体を堆積させるために使用されるであろう、テンプレートとして使用するために、メモリに記憶または「キャッシュ」される。図1Aは、基板に対する理想的堆積を表す、(その上に多くの製品または「パネル」を伴う)これらの基板のうちの1つを示す。   Despite the presence of multiple products, it is desirable to employ a printer to eject liquid onto the array or substrate 101 in an integrated printing process. The liquid has a well-planned thickness so that the material and / or liquid becomes a permanent part of each resulting product, following the deposition of the liquid and its curing or other treatment So as to carry the material. In an optional embodiment, the layer thickness is applied using controlled droplet deposition, where the volume or density of deposition liquid per unit area is used to build the layer thickness. That is, the liquid will have a limited diffusion, resulting in a blanket liquid coating without undesirable holes or gaps, or the liquid will otherwise provide all the planned thicknesses in different ways. In a brazing manner, it is deposited or hardened in a manner that would be geometrically confined. Even if the deposition fluid is typically colorless and is not used to create any type of shade (ie, “half”, “blend”, or otherwise), the process generally involves In this specification, it is referred to as “half-tonig”. In a typical implementation, the printer prints the entire substrate (ie, the layer of each product in the array), and then the substrate is transported from the printer to a separate curing chamber where all controlled atmospheres (eg, liquid In the presence of moisture, oxygen, or other forms of unwanted particulate matter that prevents exposure to nitrogen or other ambient non-air atmosphere). Note that there will be. For this example, it will be assumed that recipe data is generated in advance that asks the printer to deposit the desired material at discrete locations within the boundaries of the overall print area 103. Briefly, the recipe data for each product describes any desired details such as the layer thickness and dimensions of that product, as well as corner rounding or edge accumulation profiles, and the recipe data for the array Describe where the layer (ie, product recipe data) is located relative to the substrate. Recipe data, when processed or rendered, may instruct the inkjet printer to deposit liquid into each individual product area 107 on a reproducible basis that will be repeated for many secured similar substrates. . Recipe data (or any processed version thereof) is stored in memory for use as a template, which may be used to deposit liquid on the printer on each substrate in a series of substrates. “Cached”. FIG. 1A shows one of these substrates (with many products or “panels” thereon) that represents an ideal deposition on the substrate.

前述のように、残念ながら、実践では、各アレイもしくは基板は、製品のうちの1つまたはそれを上回るもののための堆積層の位置合わせに影響を及ぼす、その構造もしくはその位置のいずれかにおける非一様性、回転、スケール、傾斜、または他の整合問題を有し得る。多くの製造プロセスに関して、そのような歪曲は、耐えられ得るが、マイクロ電子機器等の用途に関して、または非常に精密な整合が別様に必要である場合、そのような整合問題は、特徴サイズを限定し、製品欠陥を生じ、もしくは別様に製造の時間および/または費用を増加させ得る。これらの問題を回避および/または補償することと、自動的であり、精度を維持しながら可能な限り高速である、印刷を提供することとが所望される。   As noted above, unfortunately, in practice, each array or substrate will affect the alignment of the deposited layer for one or more of the products, either in its structure or in its position. There may be uniformity, rotation, scale, tilt, or other alignment issues. For many manufacturing processes, such distortions can be tolerated, but for applications such as microelectronics, or where very precise alignment is otherwise required, such alignment problems can reduce feature size. Limiting, creating product defects, or otherwise increasing the time and / or cost of manufacture. It is desirable to avoid and / or compensate for these problems and to provide printing that is automatic and as fast as possible while maintaining accuracy.

これを行うために、一実施形態では、ハードウェア論理および/または命令論理は、理想的にはプリンタの計画されたスキャン経路を調節することを必要としない(例えば、ノズルデータのみが調節される)様式で、検出された誤差を考慮してノズル発射データを調節する。これは、全ての実施形態に必要とされるわけではない。基準(例えば、基板の整合マークまたは光学的に認識される特徴)は、各新しい基板がプリンタの中で装填され、前進させられ、または位置付けられると、光学的に検出される。次いで、関連画像データが、基板(またはそのパネル)の実際の位置を予期される位置と比較するためにプロセッサによって使用され、偏差に依存して、印刷イメージは、印刷がパネルレイアウト情報(および任意の前もって堆積させられた層)と位置合わせするように調節される。これらの技法を使用して行われる整合補正は、典型的には、ミクロン規模またはより微細である(例えば、ミリメートル未満である位置誤差、いくつかの実施形態では、100ミクロンまたはさらに実質的にそれ未満の位置誤差を補正する)。   To do this, in one embodiment, hardware logic and / or instruction logic ideally does not require adjusting the planned scan path of the printer (eg, only nozzle data is adjusted). ) Adjust the nozzle firing data to take into account the detected error. This is not required for all embodiments. A fiducial (eg, a substrate alignment mark or optically recognized feature) is detected optically as each new substrate is loaded, advanced, or positioned in the printer. The associated image data is then used by the processor to compare the actual position of the substrate (or its panel) with the expected position, and depending on the deviation, the printed image is printed with panel layout information (and optional Adjusted to align with the previously deposited layer). The alignment corrections made using these techniques are typically micron-scale or finer (e.g., position errors that are less than a millimeter, in some embodiments 100 microns or even substantially more Less than position error).

図1Bは、基板が実際にインクジェットプリンタに対して誤整合である状況を示す。この場合、縁誤差、機械的位置付け誤差、基板プロセスコーナ、または他の問題によるかどうかにかかわらず、本誤整合は、製作されている各製品の層の間の整合誤差の可能性を生じる。描写された誤差は、例証を容易にするために規模が誇張されていることに留意されたい。より詳細には、(数字123によって表される)xyデカルト誤差は、補正されないままにされた場合、基板上の理想印刷領域125に対して個々の製品層(107)をオフセットさせるであろう。本オフセットは、任意の下位(または後に堆積または製作される)製品層に対して問題を引き起こし得る。本明細書に開示される技法は、インク堆積が位置合わせ誤差に一致する様式でシフトさせられる、例えば、印刷プロセスが基板および/またはパネル位置の誤差に一致する様式でオフセットされる(または別様に変換される)ように、プリンタ制御データを調節するために使用される。本検出された誤差は、そのような誤差に合致する様式でプリンタノズル制御データを生成または調節することによって補正される。前述のように、レシピデータが前処理される場合、随意の技法が、誤差に依存する様式で任意の以前のノズル発射パターンを再び割り当てるために使用されることができる。一実施形態では、本再割当は、典型的には、ベクトル量だけ全てのノズル発射決定を単純に偏移させること以上を伴い、すなわち、所望の領域のための精密な液体充填を留保するために、ノズル間変動ならびに関心堆積領域(例えば、ピクセルウェル)および印刷格子との位置不一致を考慮して、他の要因(例えば、以下でさらに議論されるようなアンチエイリアス処理)を調節するように、ノズル発射決定が再査定され得ることに留意されたい。一実施形態では、本再割当は、任意の前もって処理もしくはレンダリングされたデータと関連付けられる印刷格子点に依存する(例えば、テンプレートビットマップに依存する)個々のノズル発射決定、および/またはノズル駆動パラメータを効果的に変換して、ビットマップもしくはベクトル表現レベルで動作するプロセスによって行われる。スキャン経路変動等の他の調節技法の使用(例えば、プリントヘッドオフセットおよびラスタ化変化を調節すること)も可能である。   FIG. 1B shows a situation where the substrate is actually misaligned with the inkjet printer. In this case, whether or not due to edge errors, mechanical positioning errors, substrate process corners, or other problems, this misalignment creates the possibility of alignment errors between the layers of each product being fabricated. Note that the depicted errors are exaggerated in scale for ease of illustration. More specifically, an xy Cartesian error (represented by the number 123) will offset individual product layers (107) relative to the ideal print area 125 on the substrate if left uncorrected. This offset can cause problems for any subordinate (or later deposited or fabricated) product layer. The techniques disclosed herein may shift the ink deposition in a manner that matches the alignment error, eg, the printing process is offset (or otherwise) in a manner that matches the substrate and / or panel position error. Used to adjust the printer control data as This detected error is corrected by generating or adjusting printer nozzle control data in a manner consistent with such error. As described above, if the recipe data is preprocessed, an optional technique can be used to reassign any previous nozzle firing pattern in an error dependent manner. In one embodiment, this reallocation typically involves more than simply shifting all nozzle firing decisions by a vector amount, i.e., to retain precise liquid filling for the desired area. To adjust for other factors (e.g., anti-aliasing as discussed further below), taking into account nozzle-to-nozzle variations and misalignment with the deposition area of interest (e.g., pixel well) and printed grid, Note that the nozzle firing decision can be reassessed. In one embodiment, the reallocation depends on print grid points associated with any preprocessed or rendered data (eg, relying on a template bitmap) and / or nozzle drive parameters Is effectively performed by a process operating at the bitmap or vector representation level. The use of other adjustment techniques such as scan path variation (eg, adjusting printhead offset and rasterization changes) is also possible.

図1Cは、基板が、回転角α(数字133)によって表される別の形態の誤差を持つ、状況を表す。補正されないままにされた場合、本誤差は、個々の製品層(107)を(例えば、基板の所望の印刷領域135に対して)他の製品層と潜在的に誤整合にさせるであろう。本明細書で議論される技法を使用して、本誤差は、誤整合を検出し、例えば、ハードウェア、ソフトウェア、またはそれらの組み合わせで、プリンタデータのレンダリングにおける回転調節を考慮に入れることによって、補正されることができる。もう一度、ビットマップ等のテンプレート印刷イメージがすでに生成されている場合、本補正は、随意に、(例えば、レシピデータから印刷イメージを新たに生成する必要なく)前処理されたビットマップから直接、新しいノズル発射割当および/または駆動パラメータを計算することによって、そのイメージのコピーに直接行われることができる。前の実施例と同様に、調節は、誤差にもかかわらず、堆積層が意図された製品幾何学形状と正確に整合する、基板毎の印刷プロセスをもたらし、印刷は、ほぼ即時に行われることができる。   FIG. 1C represents a situation where the substrate has another form of error represented by the rotation angle α (number 133). If left uncorrected, this error will potentially cause individual product layers (107) to potentially misalign with other product layers (eg, relative to the desired printed area 135 of the substrate). Using the techniques discussed herein, this error is detected by misalignment, for example by taking into account rotation adjustments in the rendering of printer data in hardware, software, or a combination thereof. Can be corrected. Once again, if a template print image, such as a bitmap, has already been generated, this correction is optionally performed directly from the preprocessed bitmap (for example, without the need to generate a new print image from the recipe data). By calculating nozzle firing assignments and / or drive parameters, it can be done directly on a copy of the image. As in the previous example, adjustment results in a per-substrate printing process where the deposited layer exactly matches the intended product geometry, despite the error, and printing is done almost immediately. Can do.

誤差が前処理されたデータ(テンプレートもしくはビットマップ等)に考慮されるか、またはレシピ情報からプリンタデータを最初にレンダリングするように直接適用されるかどうかは、実装決定であることに留意されたい。何百万ものピクセル(および基板あたり何百万もの潜在的液滴堆積点)を有するOLEDデバイスに関して、前もってレンダリングされたビットマップの基板毎の適合は、サポートするハードウェア能力に応じて、計算量が非常に高くあり得る。いくつかの実施形態では、検出された位置合わせ誤差を考慮に入れる様式で、レシピデータからプリンタデータを直接レンダリングすることは、より速くあり得、他の実施形態では、ビットマップ(または他の前処理)の使用は、より効率的であり得る。以下で提供される並列処理特徴をさらに使用する実施形態に関して、より多数の処理オプションが利用可能である。   Note that it is an implementation decision whether the error is considered in the preprocessed data (such as a template or bitmap) or applied directly to render the printer data first from the recipe information. . For OLED devices with millions of pixels (and millions of potential droplet deposition points per substrate), the per-board adaptation of pre-rendered bitmaps is computationally dependent on the hardware capabilities supported. Can be very expensive. In some embodiments, it may be faster to render the printer data directly from the recipe data in a manner that takes into account the detected registration error; in other embodiments, the bitmap (or other previous The use of (treatment) can be more efficient. A number of processing options are available for embodiments that further use the parallel processing features provided below.

図1Dは、この場合、スケーリング問題を表す、基板または製品アレイ全体にわたって線形であるように描写される、さらに別のタイプの誤差を表す。本実施例の目的で、基板は、意図されるよりもわずかに大きいまたは小さいことが仮定されるべきであり、例えば、温度変化により、誤差が少なくとも局所的に一様もしくは線形であるような様式で、基板がわずかに収縮または拡張している可能性がある。したがって、簡略化された実施例を提供すると、本仮説に関して、テンプレート画像の全ての次元また配置は、kおよびkがスカラーであり、XおよびYが基板上のデカルト座標を表す、kX、kYによって、調節されるはずであることが仮定される。スケーリング誤差が1つの次元のみ(例えば、X次元)にある状況は、k=1である、簡略化された実施例を提示することに留意されたい。補正されないままにされた場合、スケーリング誤差は、オフセット誤差ならびに各パネルの所望の設置面積(148)よりわずかに小さい(149)個々の製品層(107)をもたらすであろう。同様に、全体的な印刷領域は、基板の所望の印刷領域(147)よりわずかに小さく(145)見られる。本誤差を補正するために、スケーリングが、kおよびkに従って補正される。もう一度、一実施形態では、これは、(例えば、レシピデータから直接、または前処理されたテンプレートデータからのいずれかである、潜在的に異なるノズル発射決定およびマッピングを用いて)変換されたプリンタ制御データを生成するように変数kおよびkを考慮に入れることによって、実装されることができる。(以下で議論されるような)アンチエイリアス処理および/またはノズル液滴詳細もまた、随意に、所定の場所または単位面積(すなわち、厚さを統制し得る)における堆積液体の局所密度が意図された層寸法に対応することを確実にするように、本変換の一部として適用される/考慮に入れられることができる。前の実施例と同様に、調節は、基板位置誤差にもかかわらず、堆積層が意図された製品幾何学形状と正確に整合し、所望の堆積充填、密度、および体積が正しい、基板毎の印刷プロセスをもたらす。図1Dに対する特定の調節が、プリントヘッド毎のスキャンノズル割当への実質的な変更をもたらし得、実施形態に応じて、(実施形態および誤差の性質に応じて)スキャンの数に潜在的に影響を及ぼし得ることに留意されたい。つまり、一実施形態では、以前に参照されたように、ノズル発射決定は、(例えば、スキャンの位置または数を変更することなく)本明細書に開示される技法に依存して再び割り当てられる。別の実施形態では、スキャン経路は、ノズル毎の液滴データおよび誤差を考慮して再び最適化されることができ、異なるスキャン経路およびより多いまたは少ない数のスキャンが使用されることができる。実施形態にかかわらず、印刷は、計画された通りにほぼ即時に行われることができ、基板誤差は、各基板(または局所的基準で所定の基板の一部)の位置誤差を独立して考慮する動的調節によって、ソフトウェア、ハードウェア、または両方で補正される。 FIG. 1D represents yet another type of error, depicted in this case as being linear across the substrate or product array, representing a scaling problem. For the purposes of this example, the substrate should be assumed to be slightly larger or smaller than intended, eg, in such a way that the error is at least locally uniform or linear due to temperature changes. The substrate may be slightly shrunk or expanded. Thus, providing an example of a simplified, with respect to the hypothesis, all dimensions also placed in the template image, k 1 and k 2 are scalars, X and Y represent Cartesian coordinates on the substrate, k 1 It is assumed that it should be adjusted by X, k 2 Y. Note that the situation where the scaling error is in only one dimension (eg, the X dimension) presents a simplified example where k 2 = 1. If left uncorrected, the scaling error will result in individual product layers (107) that are slightly smaller (149) than the offset error as well as the desired footprint (148) for each panel. Similarly, the overall print area is seen slightly smaller (145) than the desired print area (147) of the substrate. To correct this error, the scaling is corrected according to k 1 and k 2 . Once again, in one embodiment, this is converted printer control (eg, using potentially different nozzle firing decisions and mappings, either directly from recipe data or from preprocessed template data). Can be implemented by taking into account the variables k 1 and k 2 to generate data. Anti-aliasing and / or nozzle droplet details (as discussed below) are also optionally intended for the local density of the deposited liquid at a given location or unit area (ie thickness can be controlled). It can be applied / considered as part of this transformation to ensure that it corresponds to the layer dimensions. As in the previous example, the adjustment is made on a per-substrate basis, where the deposition layer accurately matches the intended product geometry, and the desired deposition fill, density, and volume are correct, despite the substrate position error. Brings the printing process. Certain adjustments to FIG. 1D can result in substantial changes to scan nozzle assignments per printhead, potentially affecting the number of scans (depending on the nature of the embodiment and error), depending on the embodiment. Please note that That is, in one embodiment, as previously referenced, nozzle firing decisions are reassigned depending on the techniques disclosed herein (eg, without changing the position or number of scans). In another embodiment, the scan path can be re-optimized taking into account droplet data and errors per nozzle, and a different scan path and a greater or lesser number of scans can be used. Regardless of the embodiment, printing can be done almost immediately as planned, and substrate error independently considers the position error of each substrate (or part of a given substrate on a local basis). Compensated by software, hardware, or both, depending on the dynamic adjustments made.

もう一度、これらの図で描写される全ての誤差は、例証目的で視覚的に誇張されており、すなわち、配列された領域(例えば、ガラス基板)が、幅数メートル×長さ数メートルである規模のものであると仮定される場合、粗い機械的整合は、典型的には、数ミリメートルまたはより良好な規模まで精密であることに留意されたい。したがって、多くの実施形態では、開示される技法は、比較的小さい誤整合(例えば、数十〜数百ミクロンまたはさらにそれ未満)を補正するために使用される。   Once again, all errors depicted in these figures are visually exaggerated for illustrative purposes, i.e., the scale where the arrayed area (e.g., glass substrate) is several meters wide by several meters long Note that the coarse mechanical alignment is typically accurate to a few millimeters or better. Thus, in many embodiments, the disclosed techniques are used to correct relatively small misalignments (eg, tens to hundreds of microns or even less).

図1Eは、例えば、個々の製品領域または基板が全体として傾斜を被る、さらに別のタイプの誤差を表す。ここで、誤差は、基板上のX位置(図面のページに対して垂直方向)に応じて変動する、Y位置誤差(図面のページに対して水平方向)をもたらすと見なされる。実施例として、本タイプの誤差は、基板縁誤差によって、または特定のプリンタもしくは製造デバイスに一意の影響を及ぼす輸送誤差によって引き起こされ得る。図中、全ての次元および位置は、X’=X、Y’=fn{X}だけ傾斜させられると見なされ、X’およびY’は、グラフィック153によって表されるように、調節された座標である。もう一度、傾斜状況はまた、実践では、パネル傾斜誤差に追加される、各パネル107の位置オフセット誤差ももたらすであろうことに留意されたい(これは、図中で次の行に対する1つの行の中のパネルの水平オフセットと見なされる)。補正されないままにされた場合、傾斜誤差は、所望の設置面積に対して個々の製品層(107)を変形させるであろう。本誤差を補正するために、印刷イメージは、もう一度、根本的誤差に合致するよう、ソフトウェアで事前傾斜パネル印刷に調節/変換される。前の実施例と同様に、行われた変換は、ノズル発射決定を単純に偏移させること以上を含むことができ、例えば、適切な標的領域中で適切な体積のインクの堆積を確実にする付加的プロセスを特色とすることができる。これは、随意に、以前に議論されたように、プリントヘッド毎のスキャンノズル割当への実質的な変更をもたらし、スキャンの数に潜在的に影響を及ぼし得る。印刷は、もう一度、ほぼ即時に行われ、基板誤差は、テンプレート印刷イメージのリアルタイム調節によって、または特定の基板のレシピ情報のレンダリングにおいて、ソフトウェアで補正される。   FIG. 1E represents yet another type of error where, for example, individual product areas or substrates generally undergo a tilt. Here, the error is considered to result in a Y position error (horizontal with respect to the page of the drawing) that varies depending on the X position (vertical direction with respect to the page of the drawing) on the substrate. As an example, this type of error can be caused by substrate edge errors or by transport errors that uniquely affect a particular printer or manufacturing device. In the figure, all dimensions and positions are assumed to be tilted by X ′ = X, Y ′ = fn {X}, where X ′ and Y ′ are adjusted coordinates as represented by graphic 153. It is. Once again, note that the tilt situation will also in practice also result in a position offset error for each panel 107 that is added to the panel tilt error (this is one row for the next row in the figure). Considered horizontal offset of the middle panel). If left uncorrected, tilt errors will deform individual product layers (107) for the desired footprint. To correct for this error, the printed image is once again adjusted / converted to pre-tilted panel printing by software to match the underlying error. As with the previous embodiment, the conversion performed can involve more than simply shifting the nozzle firing decision, eg, ensuring the deposition of the appropriate volume of ink in the appropriate target area. Additional processes can be featured. This optionally results in substantial changes to the scan nozzle assignment per printhead, as previously discussed, and can potentially affect the number of scans. Printing is once again almost instantaneously and substrate errors are corrected in software by real-time adjustment of the template print image or in the rendering of recipe information for a particular substrate.

図1Fは、記述された誤差が、相互から独立して各パネルに影響を及ぼし得、基板位置に加えて、またはその代わりに、そのような誤差があり得る、仮説的事例を表す。例えば、図1Fは、所望の印刷領域163に対して、第1のパネル107’が傾斜して見られる一方で、第2、第3、および第4のパネル(107”、107”’、および107””)は、それぞれ、他のパネル107に対して回転、オフセット、およびスケーリング誤差を有すると見なされる、事例を描写する。107””のスケーリング誤差が本パネルのみに影響を及ぼすため、位置オフセットが小さいまたは存在しないものとして図式的に描写されていることに留意されたい。本明細書で紹介される教示を適用して、各パネルの誤差は、所定のアレイまたは基板を印刷するために使用されるであろうレンダリングを調節することによって、別個に補正される。この点に関して、任意の所定のパネルまたはその一部の誤差は、複雑であり得、位置オフセット、回転、傾斜、およびスケーリング誤差のうちの1つまたはそれを上回るもののための変換技法の重畳もしくは組み合わせとして、補正がモデル化される。これは、パネルのグループ、単一のパネル、複数のパネルの部分を跨架する空間、または任意の所定のパネルの一部に、独立基準で行われることができる。前もってレンダリングされるテンプレート印刷イメージをキャッシュする実施形態に関して、各新しい基板について(例えば、45秒毎に)、そのキャッシュされた画像のコピーが、特定の基板を機械的に再配置する必要なく、必要に応じてノズル発射決定を再び割り当て、整合、配向、または他の誤差を低減させるように操作されることができる。各次の基板について、例えば、45秒毎に、キャッシュされたテンプレートプリンタ制御データのインスタンスが、もう一度、ロードされ、新しい基板に特有の位置付けまたは整合の誤差を補正するために使用されることができ、印刷に即時に適用され得るレンダリングされたデータを生成する。   FIG. 1F represents a hypothetical case in which the described errors can affect each panel independently of each other, and in addition to or instead of such errors. For example, FIG. 1F shows that the first panel 107 ′ can be seen tilted with respect to the desired print area 163, while the second, third, and fourth panels (107 ″, 107 ″ ′, and 107 "") depict cases that are each considered to have rotation, offset, and scaling errors relative to the other panel 107. Note that the 107 "" scaling error only affects this panel, so it is schematically depicted as having a small or no position offset. Applying the teachings introduced herein, each panel error is corrected separately by adjusting the rendering that would be used to print a given array or substrate. In this regard, the error of any given panel or part thereof can be complex and a superposition or combination of transformation techniques for one or more of position offset, rotation, tilt, and scaling errors. The correction is modeled as: This can be done on an independent basis for a group of panels, a single panel, a space spanning portions of multiple panels, or a portion of any given panel. For embodiments that cache a pre-rendered template print image, for each new board (eg, every 45 seconds), a copy of the cached image is required without the need to mechanically relocate that particular board. Can be re-assigned and fired to reduce alignment, orientation, or other errors. For each subsequent board, for example, every 45 seconds, an instance of cached template printer control data can be loaded once again and used to correct positioning or alignment errors specific to the new board. Generate rendered data that can be immediately applied to printing.

予期される位置からの基板またはパネル偏差に合致するように、プリンタ制御データの微細整合のためのいくつかの技法がある。第1に、1つの考慮される実施形態は、実際の(すなわち、検出された)基板および/またはパネル位置上に印刷格子を重ね合わせる。前述のように、印刷格子は、プリントヘッド上のノズルピッチを表す、「水平に分離された」節点と、例えば、プリントヘッドおよび基板が相互に対して「スキャンされる」につれて、例えば、「1ミクロン毎の」距離で、ノズルが発射され得る、デジタルタイミングを表す、「垂直に分離された」節点とを特色とすることができる。本重ね合わせられた空間内の各節点に関して、本システム(すなわち、1つまたはそれを上回るプロセッサ上で作動する命令論理)は、それぞれのノズルが液体の液滴を堆積させるようにその点で発射されるはずかどうかを判定する。重ね合わせられた空間に関して、各節点における発射決定は、理想的な基板の元の「レシピ」データならびに完璧に整合した基板内の同等点からのその節点の位置の偏差の関数である。プリンタ制御データがビットマップを形成するように「事前にレンダリングされる」(すなわち、ノズル発射決定が一様な整合を仮定する様式ですでに割り当てられている)、1つの実装では、偏差基板またはパネル位置を伴って重ね合わせられた印刷格子の各発射決定が、変換を介して、元のビットマップ内の同等点にマップされることができる。実施例を提供すると、所定の基板が、それが存在するはずである場所の「右側に」31.0ミクロンだけオフセットされた場合、最初に、元のビットマップ内の同一の節点位置を識別し、次いで、その位置の31.0ミクロン「左側に」ある点を識別し、最終的に、その偏移した点に最も近い節点と関連付けられる発射詳細を識別することによって、印刷格子内の各節点の発射決定が、計算されることができる。以下でさらに議論されるように、詳細には、液体がピクセルウェルの中に印刷されるものである、そのような実施形態では、そのようなプロセスが、液体の多すぎるか、または少なすぎる液滴をウェル境界内に堆積させ得、(以下で議論される)アンチエイリアス処理等の調節プロセスが、本可能性を軽減するために採用されることができる。第2の実装では、重ね合わせられた格子における各発射決定は、事前にレンダリングされたテンプレートからの発射決定の加重関数(例えば、元のビットマップ内の「左側に」31.0ミクロンオフセットした点に最も近い4つの印刷節点の発射決定の加重平均)であり得る。必然的に、多くの変形例および可能な調節機構が、当業者に想起されるであろう。他の実施形態は、インポートされた整合データまたはノズルパラメータの原位置測定を採用することができ、次いで、それらは、適宜に、所定の基板のプリンタ制御データのレンダリング、アンチエイリアス処理、液滴密度(ハーフトーンパターン)調節、および他のプロセスの考慮に入れられる。これらのそれぞれは、適切な量および/または密度の液体が基板の離散領域中で印刷されていることを確実にするために、1つまたは複数の付加的プロセスを使用することによって、より確実な堆積を生成することに役立つ。いくつかの実施形態では、スキャン経路またはプリントヘッドクロススキャンオフセットの数が、印刷時間を最適化するように再考されることができる。開示される技法およびそれらの相対的利益の種々の組み合わせが、以下の議論を考慮すると、当業者に明白になるであろう。   There are several techniques for fine alignment of printer control data to match substrate or panel deviations from expected positions. First, one contemplated embodiment superimposes the printed grid on the actual (ie, detected) substrate and / or panel location. As described above, the printing grid is a “horizontally separated” node representing the nozzle pitch on the printhead and, for example, “1” as the printhead and substrate are “scanned” relative to each other. It can feature "vertically separated" nodes representing digital timing at which the nozzle can be fired at a "per micron" distance. For each node in the overlapped space, the system (ie, instruction logic running on one or more processors) fires at that point so that each nozzle deposits a liquid droplet. Determine if it should be done. With respect to the superimposed space, the firing decision at each node is a function of the original “recipe” data of the ideal substrate as well as the deviation of that node's position from the equivalent point in the perfectly matched substrate. In one implementation, printer control data is “pre-rendered” to form a bitmap (ie, nozzle firing decisions have already been assigned in a manner that assumes uniform alignment). Each firing decision of the printed grid superimposed with the panel position can be mapped to an equivalent point in the original bitmap via transformation. To provide an example, if a given substrate is offset by 31.0 microns “on the right” where it should be, it first identifies the same node location in the original bitmap. Then identify each point in the printed grid by identifying the point 31.0 microns “on the left” of that location, and finally identifying the firing details associated with the node closest to that shifted point The launch decision can be calculated. As will be discussed further below, in particular, where liquid is to be printed into the pixel wells, in such embodiments, such a process may be performed with too much or too little liquid. Drops can be deposited within the well boundaries, and adjustment processes such as anti-aliasing (discussed below) can be employed to mitigate this possibility. In the second implementation, each firing decision in the superimposed grid is a weighted function of the firing decision from a pre-rendered template (eg, a point 31.0 microns offset “to the left” in the original bitmap). The weighted average of the firing decisions of the four printing nodes closest to. Naturally, many variations and possible adjustment mechanisms will occur to those skilled in the art. Other embodiments may employ in-situ measurements of imported alignment data or nozzle parameters, which are then optionally rendered for printer control data for a given substrate, anti-aliased, drop density ( Halftone pattern) adjustment, and other process considerations. Each of these is more reliable by using one or more additional processes to ensure that the proper amount and / or density of liquid is printed in discrete regions of the substrate. Helps create deposits. In some embodiments, the number of scan paths or printhead cross scan offsets can be reconsidered to optimize printing time. Various combinations of the disclosed techniques and their relative benefits will be apparent to those skilled in the art in view of the following discussion.

図2Aは、いくつかの例示的処理タスクを紹介するために使用される。より詳細には、図2Aは、ある機能が、オフラインプロセスの一部として(すなわち、鎖線209の上方で)行われるものとして、または実行時間中に(すなわち、鎖線209の下方で製造プロセスの一部としてオンラインで)行われるものとして線引きされた、フローチャート201を示す。コンピュータ(例えば、独立型、または工業用もしくは製造プリンタ等の製造デバイスの一部)は、最初に、数字203により、基板を横断する層の所望の堆積を説明する情報を受信する。図2Aの右側で記述されるように、いくつかの変形例が考慮される。例えば、一実施形態(204)は、配列された堆積の一部として、一度に多くの製品の製造を考慮する。簡潔に図1Aに戻ると、特定の製造プロセスに関して、図示される15枚のパネルのそれぞれに対する層は、幅、長さ、および厚さが相互と正確に同一となる可能性がある。例えば、(これらのパネルのうちの1つを表す)単一のレシピが、15の個々の製品のための予期される印刷場所の総印刷データを用いて総印刷イメージを生成するように、ハードウェア論理または命令論理もしくは両方によって、電子的にロードされて配列されることができる。これは、全ての実施形態に当てはまる必要はない。例えば、両方とも同一の基板上でともに、第1のサイズのTV画面が、パネルの第1の水平行によって表されることができ、第2のサイズのTV画面が、パネルの第2の行によって表されることができ、各パネルは、本実施例では異なる製造詳細を有し得る。複数の製品が各基板によって表されるかどうかにかかわらず、本方法は、各層の所望の位置(例えば、数字205による、「左上」隅位置ならびに長さおよび幅寸法、数字206による、所望の層厚さ)等の情報を受信することを含むことができる。一実施例では、「レシピエディタ」ソフトウェアが、1つまたはそれを上回る製品を担持する基板の層パラメータを定義するために使用されることができる(例えば、以下の図2Cの議論を参照)。次いで、コンピュータは、多くの基板を処理する際に、すなわち、それぞれ、組立ラインプロセスの一部としてシーケンス実行において、テンプレートとして使用するための所望の層を表す、情報を記憶する。記憶された情報は、随意に、「理想的」基板(すなわち、全ての製品がその上で完璧に位置付けられた、完璧に位置付けられているもの)の印刷を表すように、ビットマップまたは他の形態として事前にレンダリングされ、または別様にデフォルト基板/製品位置とどうにかして関連付けられる。   FIG. 2A is used to introduce some exemplary processing tasks. More particularly, FIG. 2A shows that certain functions are performed as part of an offline process (ie, above the dashed line 209) or during run time (ie, below the dashed line 209). Fig. 2 shows a flowchart 201 drawn as done (online as part). A computer (eg, a stand-alone or part of a manufacturing device such as an industrial or manufacturing printer) first receives information describing the desired deposition of a layer across the substrate by numeral 203. Several variations are contemplated as described on the right side of FIG. 2A. For example, one embodiment (204) allows for the production of many products at a time as part of an ordered deposition. Returning briefly to FIG. 1A, for a particular manufacturing process, the layers for each of the 15 panels shown may be exactly the same in width, length, and thickness as one another. For example, a hard recipe such that a single recipe (representing one of these panels) generates a total print image with total print data of expected print locations for 15 individual products. It can be electronically loaded and arranged by ware logic or instruction logic or both. This need not be true for all embodiments. For example, both on the same substrate, a first size TV screen can be represented by a first horizontal row of panels, and a second size TV screen can be represented by a second row of panels. Each panel may have different manufacturing details in this example. Regardless of whether multiple products are represented by each substrate, the method can be applied to the desired location of each layer (e.g., "upper left" corner location and length and width dimensions, as per numeral 205, desired as per numeral 206). Receiving information such as layer thickness). In one example, “recipe editor” software can be used to define layer parameters for a substrate carrying one or more products (see, for example, the discussion of FIG. 2C below). The computer then stores information representing the desired layer for use as a template when processing a number of substrates, ie, each in sequence execution as part of an assembly line process. The stored information is optionally a bitmap or other so as to represent a print of an “ideal” substrate (ie, all products are perfectly positioned on them) Pre-rendered as a form or otherwise somehow associated with a default substrate / product location.

実行時間中に、各新しい基板がプリンタの中へ装填され、または別様に受容されると、基板は、機械的手段を使用して大まかに位置付けられる。例えば、本ステップは、数字211により、機械ハンドラを介して、または基板を所望の印刷位置に「大まかに」位置付ける縁ガイドを介して、行われることができる。次いで、プリンタは、数字213により、精密検出システムを使用して、実際の基板位置を検出する。一実施形態では、これは、基準(基板内または上の公知のパターン)の領域を撮像する高精度カメラを使用して行われ、カメラが、印刷システムに対して精密に位置付けられ、位置検出ソフトウェアが、例えば、ミクロン単位まで、基準の正確な位置を識別するよう、画像処理を行うために使用される。有利なことには、基準は、基板の回転配向および/またはスケールならびに/もしくは傾斜の判定を可能にする、2次元パターンまたはパターンのセットであり得る。基準が複雑であるほど(またはより多くの数の独立した特徴が認識可能であるほど)、補正され得る整合または位置問題の精度および/または数ならびに/もしくは複雑性が大きくなる。これの実施例を提供すると、一実施形態(以下でも議論される図9A参照)は、基板上の全パネルが、パネル基準でパネル毎の誤差検出または誤差軽減を可能にする、少なくとも2つの専用整合マークを有し得ることを考慮する。これは、全ての実施形態に必要とされるわけではない。どちらの検出機構であっても、次いで、コンピュータ(および/またはそのプロセッサのうちの1つ)は、(1)検出されたパネル位置、次元、および配向と、(2)予期されるパネル位置、次元、および配向との間の偏差を導出し、印刷を任意の下位層および/または製品幾何学形状と位置合わせするように、必要に応じて印刷ジョブを適合させる(215)。数字217により、次いで、パネルは、プリンタから非装填され、随意に、数字218により、硬化させられる。参照数字219によって示されるように、次いで、新しい基板が、新しい印刷ジョブのために装填されることができる。   During run time, as each new substrate is loaded into the printer or otherwise received, the substrate is roughly positioned using mechanical means. For example, this step can be performed by the number 211, via a machine handler, or via an edge guide that “roughly” positions the substrate in the desired printing position. The printer then detects the actual substrate position using the precision detection system with the numeral 213. In one embodiment, this is done using a high precision camera that images a region of a reference (a known pattern in or on the substrate), the camera is precisely positioned relative to the printing system, and position detection software Are used to perform image processing to identify the exact location of the reference, for example, down to the micron. Advantageously, the reference may be a two-dimensional pattern or set of patterns that allows determination of the rotational orientation and / or scale and / or tilt of the substrate. The more complex the criteria (or the greater the number of independent features that can be recognized), the greater the accuracy and / or number and / or complexity of the alignment or location problems that can be corrected. Providing an example of this, one embodiment (see FIG. 9A, also discussed below) is that at least two dedicated panels allow all panels on the substrate to detect or reduce errors per panel on a panel basis. Consider that it may have alignment marks. This is not required for all embodiments. With either detection mechanism, the computer (and / or one of its processors) then (1) the detected panel position, dimension, and orientation, and (2) the expected panel position, Deviations between dimensions and orientations are derived and the print job is adapted (215) as necessary to align the print with any lower layers and / or product geometries. With numeral 217, the panel is then unloaded from the printer and optionally cured with numeral 218. A new substrate can then be loaded for a new print job, as indicated by reference numeral 219.

OLEDまたはソーラパネル製造のための仮説的印刷プロセスを表す実施例として、パネルの典型的な層厚さは、「印刷される」(次いで、硬化または別様に処理される)特定の層に応じて、およそミクロン未満〜数百ミクロンであり得る。アレイ定義情報が、受信され、各パネルの印刷場所にリンクされる特定のパネルのレシピに従って、その場所を判定するために使用され得る。例えば、基板につき15枚のパネルを伴う構成では、第1のパネル「レシピ」が、基板上のパネルの最初の2行のそれぞれで(すなわち、それぞれ精密な場所において)5回複製されるものであり、第2の一意のパネルレシピが、パネルの第3の行で(すなわち、第1のレシピと異なる第2のレシピを仮定して、精密な場所において)5回複製されるものであったことを示すように、アレイ定義情報が受信され得る。アレイ定義は、本実施例では、各パネル場所およびその場所に使用される特定のレシピを識別し得る。任意の所定の製品のための均質な連続層の実施例は、例証的にすぎないことに留意されたい。いくつかの実施形態では、層は、(特定の製品またはパネルのための薄膜カプセル化等の均質コーティングであることとは対照的に)各製品内でパターン化されてもよく、または厚さは、特定のパネルレシピによって定義されるように層内で変動させられることができる。15枚パネルの3行の実施例を続けると、製品の第3の行は、潜在的に、パネルの最初の2行に作成されるよりも大きい厚さを「構築する」ために使用される、より高密度のハーフトーニングを伴って、異なる層厚さを特色とし得る。   As an example representing a hypothetical printing process for OLED or solar panel manufacturing, the typical layer thickness of the panel depends on the particular layer being “printed” (and then cured or otherwise processed). From about less than a micron to several hundreds of microns. The array definition information can be used to determine the location according to the recipe of the particular panel received and linked to the print location of each panel. For example, in a configuration with 15 panels per board, the first panel “recipe” is replicated five times in each of the first two rows of panels on the board (ie, each at a precise location). Yes, the second unique panel recipe was replicated five times in the third row of the panel (ie, in a precise location, assuming a second recipe different from the first recipe) As shown, array definition information may be received. The array definition may identify each panel location and the particular recipe used for that location in this example. Note that the example of a homogeneous continuous layer for any given product is merely illustrative. In some embodiments, the layers may be patterned within each product (as opposed to being a homogeneous coating, such as a thin film encapsulation for a particular product or panel), or the thickness may be Can be varied within a layer as defined by a particular panel recipe. Continuing with the three-row example of 15 panels, the third row of products is potentially used to “build” a greater thickness than is created in the first two rows of the panel. Different layer thicknesses can be featured, with higher density halftoning.

図2Bは、一連の基板の中の各基板のための例示的印刷プロセスのフローチャート221を提供する。より詳細には、各新しい基板が一連の中で受容されると(223)、機械ハンドラが基板を第1の位置に輸送する(225)。これは、予期される基準位置がカメラの視野内に収まる様式で基板を位置付ける。一実施形態では、数字227により、1つまたはそれを上回るカメラが、基準位置を捕捉するために使用される。例えば、図9Bと併せて以下で議論される1つのプロセスは、最初に、基準の粗い位置を識別するために標準的なカメラを使用し、次いで、基板および基準は、第2の高解像度カメラを使用して、画像捕捉のために、すなわち、基準のミクロン規模位置を識別するために、必要に応じて再配置される。図2Bは、いくつかの随意のプロセス229および231、すなわち、基板が複数の基準の捕捉を可能にするように再配置されるプロセスを鎖線で図示する。記述されるように、より多くの基準および整合特徴が使用されるほど、基板または個々のパネルの非線形性を検出する能力が優れている。本実施形態では、基板は、各パネルのための基準をカメラに効果的に輸送するように、精密ハンドラによって制御されるが、代替実施形態では、カメラは、運動システムに搭載されることができ、基準の場所を特定するように静止基板に対して輸送されることができ、または分割運動軸の場合のように、基板およびカメラが両方とも移動させられることができる。図の左側でテキストによって記述されるように、別の実施形態は、基板装填または他の輸送中に基板および/またはその基準を撮像するために、線スキャナを使用し、なおも他の実施形態は、プリントヘッドに搭載された(すなわち、非常に頻繁な「連続」誤差監視および補正のために使用される)カメラを特色とし、なおも別の実施形態は、非視覚的検出機構を使用する。基準および/または検出機構の数にかかわらず、いったん位置詳細が識別され、任意の誤差が確認されると(233)、記憶されたテンプレートが読み出され(235)、レンダリングされる。図2Bは、記憶されたテンプレートが、レシピ(236)、ビットマップ(237)の形態、またはある他の形態(238)(例えば、オブジェクト、ベクトル、または他の形式)であり得ることを図示する。オフセット、配向不整、および/または他の誤差は、線形基準で(239)、最小二乗適合(LSF)アプローチを使用して(240)、またはある他のタイプの誤差推定機構を使用して(241)、確認されることができる。例えば、一実施形態は、パネルにつき2つの基準を使用する。基準は、複雑な形状(例えば、図9Aによって描写される「十字」等)の形態であり得、所定のパネルにわたってパネル回転、角オフセット、ならびにXおよびYスケーリング誤差を判定するために使用される。次いで、プリンタ制御データが、線形またはアフィン変換を使用して、テンプレートから調節もしくはレンダリングされることができる。LSFアプローチに関して、パネル内または基板にわたる非線形誤差が検出され、1つまたはそれを上回る次元で多項式によってモデル化されることができ、例えば、ソフトウェアの制御下で動作する監視プロセッサが、(例えば、複数の基準に対する誤差尺度を使用して)曲線を検出された誤差に適合する。次いで、調節が、プリンタ格子発射決定および関連ノズルパラメータを割り当てるように、多項式またはアフィン変換に従って行われる。テンプレートを実際の基板位置にマップするための機構(242)を装備し、次いで、監視プロセッサは、随意に、処理タスクを付加的なプロセッサ(例えば、マルチコアプロセッサのコア)に割り当てる。一実施形態では、12個またはそれを上回る処理コアを有するマルチコアプロセッサが、レンダリング(または変換)タスクを分割して処理を加速するために使用される。別の実施形態では、何百ものコアが使用され、処理をさらに加速する。そのような並列処理は、鎖線の機能ボックス243の使用によって示唆されるように、随意である。並列処理が使用されるかどうかにかかわらず、本システムは続いて、検出された基板および/またはパネル位置、回転、傾斜、ならびにスケールに依存する様式で、プリンタ制御データをレンダリングし、適宜にラスタスキャンを割り当てる(245)。図2Bの右側で見られる、第1の随意のステップによって示唆されるように、一実施形態では(246)、所定のノズル波形の最新の予期される液滴詳細が供給される(例えば、各一意のノズルに使用される各一意の波形の液滴体積および2次元液滴軌道の平均ならびに標準偏差)。本情報は、精密な体積充填を生成し、またはインクの均質分布を確実にするように計算される様式で、レンダリングプロセスで使用される。以下で議論されるように、一実施形態では、本データは、ロバストな測定集団を作成し、(例えば、粘度、周囲温度、および他の要因の関数として)堆積液体の性質の変動を考慮するよう、(例えば、基板印刷の間で)連続的に測定される。一実施形態では、前述のように、スキャン経路が、位置ずれに応答して調節されない一方で、ノズル/液滴発射パラメータのみが変更される。別の実施形態では、数字247により、ラスタ化が再査定され、再び最適化される。例えば、ノズル発射データが変化すると、より少ないスキャンを行うことが可能であり得る(または逆に、堆積液滴体積および位置に対する最適な制御のためにスキャンを追加することが賢明であり得る)。数字247は、一実施形態では、スキャン間のプリントヘッドオフセットが必要に応じて再査定され得ることを表す。数字248により、一貫性チェックもまた、誤差に対処するように空間的視点からすでに部分的に調節されているプリンタ制御データに行われることができる。例えば、一実施形態では、プリンタ制御データは、最初に、検出された基板・プリンタ変動に依存してレンダリングされ、後に、流体ウェル(または基板の他の離散領域)を識別し、これらの領域のインク密度および充填を「チェックする」ように、ソフトウェアプロセスが呼び出される。変換が、多すぎるか、または少なすぎるインクを堆積させるであろう場合、ソフトウェアプロセスは、誤差を排除するようにプリンタ制御データを平滑化または別様に調節し、それによって、所望の規範内で総インク充填およびインク密度を維持する。さらに別の実施形態では、連続層(例えば、カプセル化層)の「縁」が、誤差調節に続いて、所望の縁プロファイルを維持するために査定される(249)。つまり、堆積流体の拡散性質により、意図された層境界まで主要な均質層厚さに層縁におけるインク密度を増加/減少させることが所望され得、そのような実施形態では、縁特性は、誤差に対処するようにプリンタ制御データを空間的に変換する誤差処理後に、査定または調節されることができる。参照されるような縁処理は、別のタイプの一貫性チェックを表し、前述の米国仮出願第62/019076号で広範囲に議論されている(すなわち、図7A−7E参照)。本仮出願は、カプセル化層のための記述された技法の使用について議論しているが、これらの教示は、パターン化されたか、または別様である、任意の堆積層の精度を増進するように適用され得ることに留意されたい。これらの原理の多くの変形例が、当業者に想起されるであろう。最終的に、処理が完了したとき、数字251および253により、任意のラスタスキャン情報を含む、レンダリングされたプリンタ制御データが、プリンタに送信され、本方法が終了する。前述のように、一実施形態では、概して、本システムによって処理される各基板またはパネルに、約2秒またはそれ未満で基板につき本処理を行うことが所望される。   FIG. 2B provides a flowchart 221 of an exemplary printing process for each substrate in a series of substrates. More specifically, as each new substrate is received in the series (223), the machine handler transports the substrate to a first location (225). This positions the substrate in such a way that the expected reference position is within the camera's field of view. In one embodiment, numeral 227 causes one or more cameras to be used to capture the reference position. For example, one process, discussed below in conjunction with FIG. 9B, first uses a standard camera to identify the coarse location of the reference, and then the substrate and reference are second high resolution cameras. Are repositioned as needed for image capture, ie to identify a reference micron-scale location. FIG. 2B illustrates some optional processes 229 and 231, that is, the process in which the substrate is repositioned to allow capture of multiple references. As described, the more criteria and alignment features that are used, the better the ability to detect the nonlinearity of the substrate or individual panel. In this embodiment, the substrate is controlled by a precision handler to effectively transport the reference for each panel to the camera, but in an alternative embodiment, the camera can be mounted on a motion system. , Can be transported relative to a stationary substrate to identify a reference location, or both the substrate and camera can be moved, as in the case of a split motion axis. As described by text on the left side of the figure, another embodiment uses a line scanner to image the substrate and / or its reference during substrate loading or other transport, while still other embodiments Features a camera mounted on the printhead (ie, used for very frequent “continuous” error monitoring and correction), yet another embodiment uses a non-visual detection mechanism . Regardless of the number of criteria and / or detection mechanisms, once the position details are identified and any errors are confirmed (233), the stored template is read (235) and rendered. FIG. 2B illustrates that the stored template can be in the form of a recipe (236), a bitmap (237), or some other form (238) (eg, an object, vector, or other form). . Offsets, misalignments, and / or other errors can be measured on a linear basis (239), using a least squares fit (LSF) approach (240), or using some other type of error estimation mechanism (241). ) Can be confirmed. For example, one embodiment uses two criteria per panel. The reference may be in the form of a complex shape (eg, the “cross” depicted by FIG. 9A) and used to determine panel rotation, angular offset, and X and Y scaling errors over a given panel. . Printer control data can then be adjusted or rendered from the template using linear or affine transformations. With respect to the LSF approach, non-linear errors in the panel or across the substrate can be detected and modeled by polynomials in one or more dimensions, eg, a monitoring processor operating under software control (eg, multiple Fit the curve to the detected error (using an error measure against the criterion). Adjustments are then made according to a polynomial or affine transformation to assign printer grid firing decisions and associated nozzle parameters. Equipped with a mechanism (242) for mapping the template to actual substrate locations, the supervisory processor then optionally assigns processing tasks to additional processors (eg, cores of multi-core processors). In one embodiment, a multi-core processor having 12 or more processing cores is used to divide the rendering (or conversion) task and accelerate the processing. In another embodiment, hundreds of cores are used to further accelerate the process. Such parallel processing is optional, as suggested by the use of the dashed line function box 243. Regardless of whether parallel processing is used, the system will then render the printer control data in a manner that depends on the detected substrate and / or panel position, rotation, tilt, and scale, and raster as appropriate. A scan is assigned (245). As suggested by the first optional step seen on the right side of FIG. 2B, in one embodiment (246), the latest expected droplet details for a given nozzle waveform are provided (eg, each The average and standard deviation of each unique corrugated drop volume and two-dimensional drop trajectory used for a unique nozzle). This information is used in the rendering process in a manner that is calculated to produce a precise volume filling or to ensure a homogeneous distribution of ink. As discussed below, in one embodiment, the data creates a robust measurement population and takes into account variations in the properties of the deposited liquid (eg, as a function of viscosity, ambient temperature, and other factors). As such, it is measured continuously (eg, during substrate printing). In one embodiment, as described above, the scan path is not adjusted in response to misalignment, while only the nozzle / droplet firing parameters are changed. In another embodiment, the number 247 causes rasterization to be reassessed and optimized again. For example, as nozzle firing data changes, it may be possible to perform fewer scans (or vice versa, it may be wise to add scans for optimal control over the deposited droplet volume and position). The number 247 represents that in one embodiment, the printhead offset between scans can be reassessed as needed. With the number 248, a consistency check can also be performed on printer control data that has already been partially adjusted from a spatial perspective to account for errors. For example, in one embodiment, printer control data is first rendered in dependence on detected substrate-printer variations, and later identifies fluid wells (or other discrete areas of the substrate) and A software process is invoked to “check” ink density and fill. If the conversion will deposit too much or too little ink, the software process will smooth or otherwise adjust the printer control data to eliminate errors, thereby within the desired norm. Maintain total ink fill and ink density. In yet another embodiment, the “edge” of the continuous layer (eg, encapsulated layer) is assessed 249 to maintain the desired edge profile following error adjustment. That is, due to the diffusive nature of the deposition fluid, it may be desirable to increase / decrease the ink density at the layer edge to the primary homogeneous layer thickness up to the intended layer boundary, and in such embodiments, the edge characteristics are error Can be assessed or adjusted after error processing to spatially transform the printer control data to address. Edge processing as referenced represents another type of consistency check and has been extensively discussed in the aforementioned US Provisional Application No. 62/019076 (ie see FIGS. 7A-7E). Although this provisional application discusses the use of the described techniques for encapsulating layers, these teachings are intended to enhance the accuracy of any deposited layer that is patterned or otherwise. Note that can be applied to: Many variations of these principles will occur to those skilled in the art. Finally, when processing is complete, the rendered printer control data, including any raster scan information, is sent to the printer by the numbers 251 and 253, and the method ends. As described above, in one embodiment, it is generally desirable to perform this process on a substrate in about 2 seconds or less for each substrate or panel processed by the system.

前述のように、層情報が受信され、記憶され、多くの形態でレンダリングされてもよい。図2Cは、「理想的な」印刷を定義するために、層の説明を生成して編集するように使用され得る、「レシピエディタ」の実施例を提供する。そのようなデータは、各新しい基板のために調節または変換されるであろうテンプレートデータを生成するために、(ある形態の前処理を伴って、もしくは伴わずに)保存されることができる。   As described above, layer information may be received, stored, and rendered in many forms. FIG. 2C provides an example of a “recipe editor” that can be used to generate and edit layer descriptions to define “ideal” printing. Such data can be stored (with or without some form of pre-processing) to generate template data that will be adjusted or transformed for each new substrate.

より詳細には、図2Cは、パネルレシピ定義または編集を提供する、ソフトウェアユーザインターフェース(「UI」)のスクリーンショット261を示す。そのようなUIは、プリンタまたは製造システムと統合された様式で、より早い設計時間において(例えば、コンピュータ支援設計システムの一部として)、もしくはある他の様式で、使用されることができる。スクリーンショット261によって表されるように、ソフトウェアアプリケーションは、有利なことには、基板または印刷領域のレイアウトを模倣し、そのレイアウトを編集するための機構を提供する。スクリーンショットの左側で見られるUIディスプレイ領域263は、6つの描写されたパネルの間で様々に具現化される、3つの異なるパネルサイズを包含する。本実施例では、3つの異なるパネルサイズのそれぞれが、それぞれのレシピを有し得る。スクリーンショットの右下で見られる、第2のUIディスプレイ領域265は、アレイ定義のための窓を提供し、「サブパネル1」、「サブパネル2」、「サブパネル3」、「サブパネル3H1V0」、「サブパネル3H0V1」、および「サブパネル3H1V1」を含む、描写された6つのパネルのそれぞれのデカルト位置の識別、ならびに対応するレシピへの(各パネルのための)リンク(この場合、これらの名前によって達成される、例えば、「サブパネル3」)を可能にし、後半の3つのパネル(「サブパネル3H1V00」、「サブパネル3H0V1」、および「サブパネル3H1V1」)は全て、同一のレシピ(「サブパネル3」)を使用するが、基板に対するそれぞれの水平および垂直オフセットを特色とする。これらの定義のうちの最上位のものが、拡大されて見られる(すなわち、「選択されている」ため)。第2のUIディスプレイ領域265は、任意の所定のパネル(右側)の図式的選択および除去、ならびに任意の所望のパネル(図示されるようにパネル1等)のデータの拡張および操作を提供することに留意されたい。例えば、図2Cは、最上位のパネル「サブパネル1」が、825×500ミリメートルのサイズを有するように、その左上隅を印刷可能基板領域の左および上縁からそれぞれ50ミリメートルに位置付けさせるように、ならびに(すなわち、選択された「角の丸み」値を介して)選択的な角の丸み付けを有するように、定義されることを示す。1つまたはそれを上回る基準の予期される位置は、第3のUIディスプレイ領域269を使用して識別されることができる。前述のように、特定のパネルの(プリンタまたは印刷輸送経路に対する)予期される基準位置と任意の実際の(すなわち、検出された)基準位置との間の偏差に基づいて、印刷(および任意の所定のパネルの印刷領域)が、レンダリングされることができるように、印刷は、そのような基準に対して効果的に定義される。スクリーンショット261によって示唆されるように、異なる基準または基準特徴点が、例えば、スケーリング誤差もしくは傾斜を検出するように識別されることができる。所望であれば、他の実施形態では、第3のUIディスプレイ領域269は、次いで、ソフトウェアが実行時に各基板上で識別される検出(撮像)された形状に合致させる、基準形状または基板特徴の定義を受け入れるように構成されることができる。最終的に、UIは、基板サイズおよび厚さの定義を可能にする、第4のUIディスプレイ領域267を提供すると見なされる。一実施形態では、印刷された層厚さは、(例えば、それぞれのパネルの各層について)全てのパネルにわたって共通であるが、これは、全ての実施形態に当てはまる必要はない。1つの考慮される実施形態では、厚さは、パネルにつき変動し得、異なる局所的ハーフトーニング密度を使用して影響を受け得る。各層に関して、印刷は、例えば、複数のスキャンを介して、基板にわたって一体の印刷ジョブとして行われ、次いで、基板およびその湿潤インクは、永久層を生成するように硬化チャンバに輸送される。本印刷後硬化プロセスはまた、典型的には、粒子状物質、酸素、または湿気汚染を阻止するように、制御された雰囲気内で行われる。堆積液体が硬化または別様に硬質化された後に、他の層が追加されることができる。   More particularly, FIG. 2C shows a screenshot 261 of a software user interface (“UI”) that provides a panel recipe definition or edit. Such a UI can be used in an integrated manner with a printer or manufacturing system, at an earlier design time (eg, as part of a computer-aided design system), or in some other manner. As represented by screen shot 261, the software application advantageously mimics the layout of the board or print area and provides a mechanism for editing that layout. The UI display area 263, seen on the left side of the screenshot, encompasses three different panel sizes that are variously implemented between the six depicted panels. In this example, each of the three different panel sizes can have its own recipe. A second UI display area 265, seen in the lower right corner of the screenshot, provides a window for array definition, "Subpanel 1", "Subpanel 2", "Subpanel 3", "Subpanel 3H1V0", "Subpanel 3H0V1 ”and“ Subpanel 3H1V1 ”, including the Cartesian location of each of the depicted six panels, and a link (for each panel) to the corresponding recipe (in this case, achieved by these names) For example, “subpanel 3”) and the latter three panels (“subpanel 3H1V00”, “subpanel 3H0V1”, and “subpanel 3H1V1”) all use the same recipe (“subpanel 3”) Featuring respective horizontal and vertical offsets relative to the substrate. The top of these definitions is seen magnified (ie, because it is “selected”). A second UI display area 265 provides for graphical selection and removal of any given panel (right side) and data expansion and manipulation of any desired panel (such as panel 1 as shown). Please note that. For example, FIG. 2C shows that the top panel “Sub-Panel 1” has its upper left corner positioned 50 millimeters from the left and upper edges of the printable substrate area, respectively, so that it has a size of 825 × 500 millimeters. As well as (ie, via a selected “Corner Rounding” value) to indicate that it is defined to have selective corner rounding. One or more reference expected locations can be identified using the third UI display area 269. As described above, based on the deviation between the expected reference position (relative to the printer or print transport path) of a particular panel and any actual (ie, detected) reference position, printing (and any Printing is effectively defined relative to such criteria so that a given panel's print area) can be rendered. As suggested by the screen shot 261, different fiducials or fiducial feature points can be identified, for example, to detect scaling errors or slopes. In other embodiments, if desired, the third UI display area 269 may then be of a reference shape or board feature that matches the detected (imaged) shape that the software identifies on each board at run time. Can be configured to accept definitions. Ultimately, the UI is considered to provide a fourth UI display area 267 that allows definition of substrate size and thickness. In one embodiment, the printed layer thickness is common across all panels (eg, for each layer of each panel), but this need not be true for all embodiments. In one contemplated embodiment, the thickness can vary from panel to panel and can be affected using different local halftoning densities. For each layer, printing is performed as an integral print job across the substrate, eg, through multiple scans, and then the substrate and its wet ink are transported to the curing chamber to produce a permanent layer. The post-print curing process is also typically performed in a controlled atmosphere so as to prevent particulate matter, oxygen, or moisture contamination. Other layers can be added after the deposition liquid is cured or otherwise hardened.

前述のように、例えば、レシピエディタを使用して定義される層データは、例えば、ビットマップとして、未製作レシピデータとして、ベクトル表現を使用して、またはある他の様式において、実施形態に好適な多数の形態で記憶されることができる。一実施形態では、レシピデータは、グレースケール画像(例えば、基板上の各位置のための8ビット値のアレイ)を作成するために使用され、画像内の各グレースケール値は、対応する基板位置で適用されるインクの密度を表し、各グレースケール値は、局所的ハーフトーニングを生成して層厚さを構築するために(すなわち、印刷格子に従って)使用される。実施例が、ここで役立つであろう。一実施形態では、8ビットグレースケール値の行列が、「0」〜「225」の8ビット値の行および列を伴って定義される。各値、例えば、「235」は、基板の単位面積に対応し、特定の層厚さにマップする。例えば、値「235」は、(プロセスおよび材料に応じて)完成した層において7ミクロンの厚さにマップし得る。行列内の全てのグレースケール値が同一の値を共有した場合、これは、比較的均質な層にマップし得るが、値は、パネルにわたって厚さを変動させ、下位幾何学形状(例えば、層の下の構造的空隙)を補充するように、縁蓄積を調整するように、または任意の所望の効果のために、変動させられることができる。グレースケール値割当は、(グレースケール値を所望の厚さに適合させる様式でインクおよびプロセスパラメータに依存して選択される、可変局所的ハーフトーニングを伴って)所望の厚さに「推測計算」されることができるか、または(グレースケール値と固定された関係を持つハーフトーニングを伴って)所望の厚さに事前に較正されることができるかのいずれかである。一実施形態では、堆積インク密度が最終的な層厚さに密接に関係しているように、試験層形成後に(例えば、硬化または乾燥後に)グレースケール値と厚さとの間の相関が測定される。測定されたデータ(または他のフィードバック)に基づいて、次いで、ソフトウェアは、例えば、以下の式を使用して、液滴密度を所望の格子ピッチにマップすることができる。

本式では、インスキャンピッチは、プリントヘッドと基板との間の相対運動の第1の方向への落下機会の間の間隔を表し、クロススキャンピッチは、本第1の方向と略垂直な(または別様にそれと無関係である)方向への落下機会の間の間隔を表し、パラメータh(×100)は、パーセンテージでのグレースケール値である。一実施形態では、本関係は、ごく最近の測定を強調することに重きを置いて、経時的に変動し得、したがって、プロセスまたは温度等の動的要因のために、特定の機械もしくインク詳細のために、ノズル寿命のために、または他の要因のために、ロバストな実験データを作成するように、インク詳細が継続的に再測定されることができる。明確に、多くの実施例が可能であり、本実施例が示すように、レシピデータから「テンプレート」を生成するように、または実行時に検出された誤差に応じてテンプレートから印刷ジョブをレンダリングするようにのいずれかで、多くの異なるタイプの処理が行われることができる。
As described above, for example, layer data defined using a recipe editor is suitable for embodiments, for example, as a bitmap, as raw recipe data, using a vector representation, or in some other manner. Can be stored in a number of forms. In one embodiment, the recipe data is used to create a grayscale image (eg, an array of 8-bit values for each location on the substrate), where each grayscale value in the image is a corresponding substrate location. Represents the density of the ink applied, and each grayscale value is used to generate local halftoning and build layer thickness (ie, according to the printing grid). Examples will help here. In one embodiment, a matrix of 8-bit grayscale values is defined with rows and columns of 8-bit values from “0” to “225”. Each value, for example “235”, corresponds to a unit area of the substrate and maps to a specific layer thickness. For example, the value “235” may map to a thickness of 7 microns in the finished layer (depending on process and material). If all grayscale values in the matrix share the same value, this can map to a relatively homogeneous layer, but the value varies in thickness across the panel, and sub-geometry (e.g., layer Can be varied to replenish the underlying structural voids), to adjust edge accumulation, or for any desired effect. The grayscale value assignment is “estimated” to the desired thickness (with variable local halftoning selected depending on the ink and process parameters in a manner that adapts the grayscale value to the desired thickness). Can be either pre-calibrated to the desired thickness (with halftoning having a fixed relationship with the grayscale value). In one embodiment, the correlation between gray scale value and thickness is measured after test layer formation (eg, after curing or drying) so that the deposited ink density is closely related to the final layer thickness. The Based on the measured data (or other feedback), the software can then map the droplet density to the desired grid pitch using, for example, the following equation:

In this equation, the in-scan pitch represents the interval between the drop opportunities in the first direction of relative motion between the print head and the substrate, and the cross-scan pitch is substantially perpendicular to the first direction ( Represents the interval between the chances of falling in the direction (or otherwise independent), and the parameter h (x100) is a grayscale value in percentage. In one embodiment, this relationship may vary over time, with emphasis on highlighting the most recent measurement, and therefore due to dynamic factors such as process or temperature, certain machine or ink For details, ink details can be continually remeasured to create robust experimental data for nozzle life or for other factors. Clearly, many embodiments are possible, as this example shows, to generate a “template” from recipe data, or to render a print job from a template in response to errors detected at runtime. In any of these, many different types of processing can be performed.

図3A−Bおよび図4A−Gは、種々のレンダリングプロセスについて議論するために使用される。上記で様々に記述されるように、一実施形態では、基板またはパネル全体の線形歪曲を表す誤差が、検出されて補正されることができ、別の実施形態では、基板全体または任意のパネルの非線形歪曲を表す誤差が、検出されて補正されることができる。   3A-B and 4A-G are used to discuss various rendering processes. As described variously above, in one embodiment, errors representing linear distortion of the entire substrate or panel can be detected and corrected, while in other embodiments, the entire substrate or any panel can be corrected. Errors representing non-linear distortion can be detected and corrected.

図3Aは、検出された誤差を調節するために、検出されたパネル地形と印刷格子との間のマッピングが最初に定義される(303)、フローチャート301を提示する。本マッピングは、記憶された「テンプレート」(または未製作層データ)のインスタンスのレンダリングを検出された歪曲に適合させるように生成される。例えば、簡潔に図1Bを再び参照すると、基板位置オフセットの場合、そのような格子が、オフセットベクトル123に対応する様式で実際のパネル位置に対して(すなわち、誤差に適合して)ピクセル発射パターンを定義するために使用されるであろう。図1Cの実施例の場合、マッピングは、角度αだけ回転させられる印刷イメージを表すために十分なサイズの印刷格子の一部を識別または指定し得る。図1Dの実施例の場合、マッピングは、(k)Xおよび(k)Yによって拡大縮小される印刷を受容するために十分なサイズである。一般的に言えば、変換は、製品アレイまたは基板の特定の実行の所望の印刷可能領域を包含するよう定義される。例えば、基板歪曲がテンプレート印刷イメージに対して基板規模を増加または減少させる場合には、印刷格子が、増加、減少、または偏移した面積を表す、より多いもしくは少ないノズル位置を特色とし得る。次いで、変換は、任意の基板(例えば、パネル)誤差と位置合わせする様式で印刷データをレンダリングするために使用される。例えば、事前にレンダリングされたテンプレートが繰り返しの印刷実行のために記憶される場合には、本テンプレートは、印刷イメージを任意の検出された実行毎の位置または整合誤差に適合させる様式においてマッピングに対応する(したがって、誤差に対応する)様式で、変換される(すなわち、回転させられる、拡大縮小される、オフセットされる、傾斜される等)ことができる。本変換は、検出されたパネル位置に対応する印刷格子のその部分を識別し(305)、次いで、識別された格子点を利用するが、検出された誤差について調節される様式で、キャッシュされたテンプレートデータを修正することによって、行われる。例えば、一実施形態では、数字307によって参照されるように、前処理が印刷格子上の各点にP(x,y)の発射決定を生成した場合には、検出された製品位置に合致する印刷格子の節点の修正されたプリンタ制御データが、位置誤差ベクトルおよび前処理された発射決定のうちの1つまたはそれを上回るものの分析に依存して判定されることができる。本依存状態は、テンプレートデータの最も近い節点(308)、誤差ベクトルに従ったオフセット、または誤整合もしくは位置誤差が格子ピッチの非整数の倍数であり得るため、テンプレートからの2つ、3つ、4つ、または異なる数の発射決定の加重関数(309)に対して形成されることができる。一実施形態では、発射決定は、元のテンプレートによって表される印刷格子の単一の節点(すなわち、誤差ベクトルに従ったオフセット)のみに基づき、第2の実施形態では、以下の式に従って、4つの最も近い節点の加重平均に基づく。

式中、Pnw(x,y)、Pne(x+1,y)、Psw(x,y+1)、およびPse(x+1,y+1)は、それぞれ、北西、北東、南西、および南東の格子点決定を表し、xおよびx’ならびにyおよびy’は、検出された誤差に従って関係付けられる。明確に、これは、1つの誤差保証アルゴリズムにすぎず、多くの代替アルゴリズムが当業者に容易に想起されるであろう。
FIG. 3A presents a flowchart 301 where a mapping between a detected panel terrain and a printed grid is first defined (303) to adjust the detected error. This mapping is generated to adapt the rendering of the stored “template” (or raw layer data) instance to the detected distortion. For example, referring briefly back to FIG. 1B, in the case of a substrate position offset, such a grid would have a pixel firing pattern relative to the actual panel position (ie, to fit the error) in a manner corresponding to the offset vector 123. Would be used to define In the example of FIG. 1C, the mapping may identify or specify a portion of the print grid that is sufficiently sized to represent a printed image that is rotated by an angle α. In the example of FIG. 1D, the mapping is large enough to accept prints that are scaled by (k 1 ) X and (k 2 ) Y. Generally speaking, a transformation is defined to encompass a desired printable area of a particular implementation of a product array or substrate. For example, if substrate distortion increases or decreases the substrate size relative to the template print image, the printing grid may feature more or fewer nozzle positions that represent areas that have increased, decreased, or shifted. The transform is then used to render the print data in a manner that aligns with any substrate (eg, panel) error. For example, if a pre-rendered template is stored for repeated printing runs, the template supports mapping in a manner that fits the print image to any detected run-by-run position or alignment error. Can be transformed (ie, rotated, scaled, offset, tilted, etc.) in a manner (and thus corresponding to errors). The transformation identifies (305) that portion of the printed grid corresponding to the detected panel position, and then uses the identified grid points, but is cached in a manner that is adjusted for detected errors. This is done by modifying the template data. For example, in one embodiment, as referenced by the numeral 307, if the preprocessing generated a firing decision of P (x, y) at each point on the printed grid, it matches the detected product position. Modified printer control data for printing grid nodes can be determined depending on the analysis of one or more of the position error vector and the preprocessed firing decision. This dependency state is the closest node (308) of the template data, the offset according to the error vector, or the misalignment or position error can be a non-integer multiple of the grid pitch, so two, three, Four or different numbers of launch decision weighting functions (309) can be formed. In one embodiment, the firing decision is based only on a single node of the printed grid represented by the original template (ie, an offset according to the error vector), and in the second embodiment, 4 Based on the weighted average of the two nearest nodes.

Where P nw (x, y), P ne (x + 1, y), P sw (x, y + 1), and P se (x + 1, y + 1) are the north-west, north-east, south-west, and south-east grid points, respectively. Represents a decision, x and x ′ and y and y ′ are related according to the detected error. Clearly, this is only one error guarantee algorithm and many alternative algorithms will be readily conceived by those skilled in the art.

例えば、誤差を考慮して、仮説的格子点{P’(x’,y’)}(変換されたパネルの特定の格子点を表す)が、キャッシュされたテンプレートの特定のNEおよびSE格子点(印刷ピクセル)のそれぞれに最も近く、特定のな対応するNWおよびSW格子点(印刷ピクセル)にあまり近くない点に対応する場合、かつこれらのNE、SE、NWおよびSW点が、それぞれ、(1、1、1、および0)の発射決定に対応した場合には、印刷格子点{P’(x’,y’)}は、{0.40*(1)+0.40*(0)+0.10*(1)+0.10*(1)=0.60>0.50}に従って、これら4つの節点までの誤差距離に従って加重される(例えば、「1」の発射決定をP’(x’,y’)に割り当てる)発射決定(1、1、1、および0)の関数として、2値発射決定(1または0)を割り当てられ得る。再度、本数学的関係は、例示的にすぎず、多くのアルゴリズムがノズル発射決定を割り当てるために使用され得ることに留意されたい。記述されるように、キャッシュされたテンプレートを使用する、1つの詳細に考慮される実施形態では、発射決定は、ノズル発射決定を処理して変換された画像内の液滴の一貫した数を確実にするために使用される、ソフトウェアアンチエイリアス処理プロセスを伴って、変換された画像からの最も近い単一の重複印刷ピクセルのみに基づく。一実施形態では、記述されるように、アフィン変換が使用される。補正方法にかかわらず、誤差が調節されたプリンタ制御データが作成されると、新しいまたはカスタマイズされた印刷イメージとしてメモリに記憶され(311)、完成し、レンダリングされたプリンタ制御データが、実行のためにプリンタに送信される(313)。層の完成(317)に続いて、次いで、本システムは、(例えば、同一の変換を使用して)次の層または新しい製品実行もしくは基板のために準備される。   For example, taking into account errors, a hypothetical grid point {P ′ (x ′, y ′)} (representing a specific grid point of the transformed panel) is a specific NE and SE grid point of the cached template. If the NE, SE, NW, and SW points are closest to each of the (printing pixels) and correspond to points that are not very close to a particular corresponding NW and SW grid point (printing pixel), respectively, ( 1, 1, 1, and 0), the printed grid point {P ′ (x ′, y ′)} is {0.40 * (1) + 0.40 * (0) + 0.10 * (1) + 0.10 * (1) = 0.60> 0.50} and is weighted according to the error distance to these four nodes (eg, launch decision of “1” is P ′ ( x ', y')) firing decisions (1, 1, 1, and As a function of) it can be assigned a binary firing decision (1 or 0). Again, it should be noted that this mathematical relationship is exemplary only and many algorithms can be used to assign nozzle firing decisions. As described, in one detail considered embodiment that uses a cached template, the firing decision processes the nozzle firing decision to ensure a consistent number of droplets in the transformed image. Based on only the nearest single overlapping print pixel from the transformed image, with a software anti-aliasing process used. In one embodiment, an affine transformation is used as described. Regardless of the correction method, when printer control data with adjusted errors is created, it is stored in memory as a new or customized print image (311) and the completed and rendered printer control data is available for execution. Is sent to the printer (313). Following layer completion (317), the system is then ready for the next layer or new product run or substrate (eg, using the same transformation).

数字310は、堆積の一貫性を確実にするために使用される鎖線の(随意の)ラッププロセスを指すことに留意されたい。例えば、特定の点P’(x’,y’)が、ディスプレイの光生成層として使用するための液体を保定するために使用される流体ウェル内に収まり、加重誤差関数が、テンプレートイメージに対してそのウェルの外側に収まったテンプレート印刷ピクセルへの依拠を求めた場合、代わりに、未完成の印刷ウェルと関連付けられる他の印刷ピクセルに依拠するよう、加重関数が偏移させられ得る(すなわち、ラップされる)。そのようなラッププロセスはまた、随意に、並列処理環境内の各コアまたはプロセッサに行われることもでき、例えば、局所的一貫性を維持するために、他のプロセッサの印刷ピクセルを借用する。他の実施例も、可能である。例えば、数字313は、いくつかの実施形態では、テンプレートイメージが誤差に従って偏移または歪曲させられ、次いで、基板の所定の領域(例えば、流体ウェル)を処理し、閾値内の準拠について検査するように、ソフトウェアデーモンが呼び出されることを示す。1つのそのようなプロセス(すなわち、アンチエイリアス処理314)は、誤差偏移に続いて、総液体が依然として必要規範を満たすことを確実にするように、液滴の数(またはそれぞれの液滴の平均体積を表す、記憶されたデータからの予期される総体積)を単純に検査することを含む。別の変形例では、検証データ、予期される液滴体積または軌道、もしくは他のデータ等のノズルデータが、所望の総値一貫性を確実にするように(例えば、層の均質性を促進するように)、そのようなデーモンによって検査されることができ315、プリンタ制御データへの調節が、堆積一貫性を提供するように必要に応じて行われる。記述されるように、多くの異なるプロセスが使用されることができる。   Note that number 310 refers to the (optional) wrapping process of the chain line used to ensure deposition consistency. For example, a particular point P ′ (x ′, y ′) will fit within the fluid well used to hold the liquid for use as the light generation layer of the display, and the weighted error function will be relative to the template image. If we seek to rely on template print pixels that fall outside that well, the weighting function can instead be shifted to rely on other print pixels associated with unfinished print wells (i.e. Wrapped). Such a wrapping process can also optionally be performed on each core or processor in the parallel processing environment, for example, borrowing the print pixels of other processors to maintain local consistency. Other embodiments are possible. For example, the number 313 is such that, in some embodiments, the template image is shifted or distorted according to the error, and then a predetermined area (eg, fluid well) of the substrate is processed and inspected for compliance within a threshold. Shows that the software daemon is called. One such process (i.e., anti-aliasing 314), following the error shift, the number of drops (or the average of each drop) to ensure that the total liquid still meets the required criteria. Including simply examining the expected total volume from the stored data representing the volume). In another variation, nozzle data, such as validation data, expected drop volume or trajectory, or other data, to ensure desired total value consistency (eg, to promote layer homogeneity) As such, adjustments to printer control data can be made as needed to provide deposition consistency. As described, many different processes can be used.

図3Bは、記憶されたテンプレートの処理を説明するために使用される、別のフローチャート351を図示する。より詳細には、所望の層を表す情報が、最初にテンプレートからロードされる(353)。一実施形態では、本情報は、未製作レシピデータを含み、第2の実施形態では、情報は、ノズル発射命令を表すビットマップを含み、第3の実施形態では、情報は、例えば、これら2つの形態の中間である、ある他の形式によって表される。次いで、本システムは、実際(検出された)パネルまたは基板位置にわたってテンプレートによって表される印刷をマップするために必要とされる、変換パラメータを計算する(355)。次いで、これらのパラメータは、変換された表現を生成するように適用される(357)。随意のプロセスブロック359によって示唆されるように、一実施形態では、プリンタ制御データのレンダリングが、実行時に、変換パラメータに従ってレシピデータ(すなわち、テンプレートとして記憶される)に直接行われることができる。記述されるように、一実施形態では、1つまたはそれを上回るアフィン変換が使用されることができる(360)。次いで、変換された表現は、レンダリングされたビットマップとして出力され(361)、ラスタデータを生成するために使用される(363)。変換された表現は、単位面積のインク密度または総体積の一貫性について、もしくは他の品質制御理由で、チェックされることができる(363)。任意の補正を受けて、次いで、本データがプリンタに出力され(363)、方法が終了する(365)。   FIG. 3B illustrates another flowchart 351 used to describe the processing of the stored template. More specifically, information representing the desired layer is first loaded from the template (353). In one embodiment, this information includes raw recipe data, in the second embodiment, the information includes a bitmap representing a nozzle firing command, and in a third embodiment, the information includes, for example, these 2 Represented by some other form that is intermediate between one form. The system then calculates (355) the transformation parameters needed to map the print represented by the template across the actual (detected) panel or substrate positions. These parameters are then applied to generate a transformed representation (357). As suggested by optional process block 359, in one embodiment, rendering of printer control data can be performed directly on recipe data (ie, stored as a template) at run time according to the conversion parameters. As described, in one embodiment, one or more affine transformations can be used (360). The transformed representation is then output as a rendered bitmap (361) and used to generate raster data (363). The transformed representation can be checked 363 for unit area ink density or total volume consistency, or for other quality control reasons. Upon receiving any correction, this data is then output to the printer (363) and the method ends (365).

図4Aは、1つの例示的印刷格子およびキャッシュされたビットマップに適用されるような変換を説明するために使用される、実施例401を提供する。理想的な(すなわち、誤差がない)「ビットマップ」印刷イメージのための印刷格子が、数字403によって参照される。(例えば、数字404による)その印刷格子内の各「ボックス」は、格子点によって定義される印刷「ピクセル」を表し、ボックス内の「X」は、プリントヘッドが下位基板に対して移動させられると、印刷ノズルが対応する格子点において液滴を発射するものであることを表す。同様に、空である(すなわち、「X」を有していない)と見なされる「ボックス」またはピクセル405は、印刷ノズルがその位置にわたって発射しないであろうことを表す。図4Aの最上部は、(数字409によって識別されるような)個々の三角が各ノズルを表す、プリントヘッド407の表現を示す。プリントヘッドが基板に対して移動すると、各所定のノズルは、それぞれ異なる時点で、一連の印刷ピクセル(離散液滴発射点)を通過し得る。実施例として、ノズル410は、図面のページに対して下向きに移動させられると、印刷ピクセル404に対応する領域(そこで発射される)、後に、印刷ピクセル405に対応する領域(そこで発射されない)を通過する。ビットマップ403は、事前に定義され、反復可能製造プロセスで使用するためにテンプレートとしてメモリに記憶される。   FIG. 4A provides an example 401 that is used to describe a transformation as applied to one exemplary printed grid and cached bitmap. The print grid for an ideal (ie error free) “bitmap” print image is referenced by numeral 403. Each “box” in the print grid (eg, by the number 404) represents a print “pixel” defined by the grid point, and an “X” in the box moves the printhead relative to the underlying substrate. Represents that the printing nozzles eject droplets at the corresponding lattice points. Similarly, a “box” or pixel 405 that is considered empty (ie, does not have an “X”) indicates that the print nozzle will not fire over that position. The top of FIG. 4A shows a representation of the print head 407 where individual triangles (as identified by the numeral 409) represent each nozzle. As the print head moves relative to the substrate, each given nozzle may pass through a series of print pixels (discrete drop firing points) at different times. As an example, when the nozzle 410 is moved downward relative to the page of the drawing, the area corresponding to the print pixel 404 (fired there) and later the area corresponding to the print pixel 405 (not fired there). pass. Bitmap 403 is predefined and stored in memory as a template for use in a repeatable manufacturing process.

図4Bは、製品の事例が、例えば、基板の位置誤差により、テンプレートに対してオフセット位置にあると見なされる、実施例411を提供する。本オフセットに基づいて(413)、正確な位置合わせのために印刷を受容するはずである領域は、数字412によって表される。理想的な印刷イメージ403によって提供されるノズル発射命令が調節されないままである場合には、下位製品幾何学形状と誤整合である様式で、印刷が起こるであろう。したがって、印刷が適切な位置で起こるように、テンプレートを調節することが所望される。この点に関して、図4Aからのテンプレートは、誤差を軽減するよう、個々の基板、パネル、または他の製品領域と動的に整合させられるように(例えば、位置のシフトによって)実行時に歪曲され得る。   FIG. 4B provides an example 411 where the product case is considered to be in an offset position relative to the template, for example, due to substrate position error. Based on this offset (413), the area that should accept printing for accurate alignment is represented by numeral 412. If the nozzle firing command provided by the ideal print image 403 remains unadjusted, printing will occur in a manner that is misaligned with the underlying product geometry. Therefore, it is desirable to adjust the template so that printing occurs at the appropriate location. In this regard, the template from FIG. 4A can be distorted at run time (eg, by position shifting) to be dynamically aligned with individual substrates, panels, or other product areas to reduce errors. .

図4Cは、検出された製品位置に重なり合う印刷格子422の一部の実施例421を提供する。本実施形態では、これは、図4Aによって表されるものと同一の印刷格子であるが、検出された製品位置に対応する節点を伴うことに留意されたい。もう一度、各描写された節点は、基板に対するその運動においてプリントヘッド407によって通過されるであろう印刷ピクセルを定義し、各「ボックス」(印刷ピクセル419等)は、プリントヘッドノズルおよびノズル発射時間に対応する。一実施形態では、特定のノズルは、事前に判定される(例えば、テンプレートと関連付けられるスキャンもまた、特定の製品事例に使用されるであろう)が、これは、全ての実施形態に必要とされるわけではない。しかしながら、位置オフセット(413)は、プリントヘッドノズルインスキャンまたはクロススキャンピッチと正確に整合しない場合があることに留意されたい。したがって、ソフトウェアは、印刷格子422に対して検出された製品位置を効果的に重ね合わせ、オフセット413に従って、元のテンプレート画像のシフトしたバージョンに基づいて、本オーバーレイのための発射決定を行う。各印刷ピクセルは、本実施例では、オフセット413に応じて、元のテンプレート印刷イメージの最大4つの印刷ピクセルに対応して(重なって)もよい。   FIG. 4C provides an example 421 of a portion of a printed grid 422 that overlaps the detected product location. Note that in this embodiment, this is the same printed grid as represented by FIG. 4A, but with a node corresponding to the detected product position. Once again, each depicted node defines a print pixel that will be passed by the printhead 407 in its motion relative to the substrate, with each “box” (such as print pixel 419) at the printhead nozzle and nozzle firing time. Correspond. In one embodiment, a particular nozzle is pre-determined (eg, a scan associated with a template will also be used for a particular product case), which is necessary for all embodiments. It is not done. However, it should be noted that the position offset (413) may not exactly match the printhead nozzle in-scan or cross-scan pitch. Thus, the software effectively overlays the detected product positions against the print grid 422 and makes a firing decision for the overlay based on the shifted version of the original template image according to the offset 413. Each print pixel in this embodiment may correspond to (overlap) a maximum of four print pixels of the original template print image, depending on the offset 413.

例えば、図4Bおよび4Cは、検出された製品位置の印刷ピクセル419が、数字415および417によって表されるように、(誤差413を考慮して)4つ/2つのテンプレート印刷ピクセルの中間の点に対応する、2つの事例を示す。種々の実施形態に関して、任意の数の近くのピクセルが加重関数で適用され得ることに留意されたい。一実施形態では、単一の「最も近い」ピクセルのみが使用され、第2の実施形態では、(例えば、数字417により)「2つの」隣接するピクセルが使用されることができる一方で、第3の実施形態では、異なる数の近くのピクセル(例えば、「9」)が使用されることができ、すなわち、開示される技法は、4つのテンプレート印刷ピクセルの加重平均の考慮に限定されると見なされるべきではない。2つの印刷ピクセルの実施例417は、2より多い、2未満、または2に等しいかどうかにかかわらず、かつ複数のピクセルの加重平均に基づくかどうかにかかわらず、任意の数のピクセルの代理としての機能を果たす。参照されたピクセルセットに基づいて、印刷ピクセル419について決定が行われ、いったん図4Cで見られる全ての格子点に行われると、これは、実際の製品位置に対応するように図4Aからのデータを効果的に「変換」する。いったん本プロセスが完了すると、次いで、ラスタ化(例えば、スキャン計画)が、適宜に行われ、次いで、印刷が、検出された製品位置に基づいて実行される。上記のプロセスは、元のテンプレート印刷イメージによって表される任意のインク密度を、特定の印刷実行において検出されるようなシフトした製品幾何学形状上に正確にマップする。   For example, FIGS. 4B and 4C show a halfway point between 4/2 template print pixels (considering error 413) so that the detected product location print pixel 419 is represented by the numbers 415 and 417. Two cases corresponding to are shown. Note that for various embodiments, any number of nearby pixels may be applied in a weighting function. In one embodiment, only a single “closest” pixel is used, and in the second embodiment “two” adjacent pixels can be used (eg, by the number 417), while the first In three embodiments, a different number of nearby pixels (eg, “9”) can be used, ie, the disclosed technique is limited to consideration of a weighted average of four template print pixels. Should not be considered. The two printed pixel embodiment 417 can represent any number of pixels regardless of whether it is greater than 2, less than 2, or equal to 2, and based on a weighted average of multiple pixels. Fulfills the function. Based on the referenced pixel set, a decision is made for the print pixel 419, and once done for all grid points seen in FIG. 4C, this is the data from FIG. 4A to correspond to the actual product position. Effectively "convert". Once the process is complete, rasterization (eg, scan planning) is then performed as appropriate, and printing is then performed based on the detected product position. The above process accurately maps any ink density represented by the original template print image onto the shifted product geometry as detected in a particular print run.

図4Dおよび4Eは、それぞれ、意図しない製品(アレイ、製品、基板、またはパネル)回転の場合のビットマップ処理を図示する、実施例431および441を提供する。図4Dで見られるように、数字435により、基板またはその一部が角度αだけ配向不整であることが仮定される。したがって、適切な印刷のために、印刷ノズル発射パターンはまた、輪郭433によって表されるように、本同一値に従って歪曲されるはずである。図4Eは、検出された製品/パネル位置に対応する印刷格子領域を強調表示する。所望の印刷領域が基板に対して回転させられる一方で、プリントヘッド407およびノズル(ノズル409等)はそれぞれ、液滴が発射され得る規則的印刷格子を定義し得ることに留意されたい。もう一度、印刷格子の各格子点(または印刷ピクセル)に関して、ソフトウェアは、元のテンプレートイメージをシフトさせて重ね合わせ、次いで、その格子点の加重ピクセル発射決定を得るために、元のテンプレートの任意の重ね合わせられた印刷ピクセルに加重する。本動作は、例えば、図4Eの印刷ピクセル443、ならびに4つのテンプレート格子点445または2つのテンプレート格子点447の関連(例証的)処理を参照して表される。もう一度、2つの格子点の実施例447は、単純に、代替実施形態がキャッシュされたテンプレート印刷イメージの任意の数の参照を使用できることを示すように引用される。   4D and 4E provide examples 431 and 441, respectively, illustrating bitmap processing in case of unintended product (array, product, substrate, or panel) rotation. As seen in FIG. 4D, numeral 435 assumes that the substrate or a portion thereof is misaligned by an angle α. Thus, for proper printing, the print nozzle firing pattern should also be distorted according to this same value, as represented by contour 433. FIG. 4E highlights the printed grid area corresponding to the detected product / panel position. Note that while the desired printing area is rotated relative to the substrate, the print head 407 and nozzles (nozzles 409, etc.) can each define a regular printing grid into which droplets can be fired. Once again, for each grid point (or print pixel) in the printed grid, the software shifts and overlays the original template image, then any of the original templates to obtain a weighted pixel firing decision for that grid point Weight superimposed print pixels. This operation is represented, for example, with reference to print pixel 443 in FIG. 4E and the associated (exemplary) processing of four template grid points 445 or two template grid points 447. Once again, the two grid point example 447 is simply cited to show that the alternative embodiment can use any number of references to the cached template print image.

図4Fおよび4Gは、それぞれ、スケーリング誤差の場合の処理を図示する、実施例451および461を提供する。もう一度、数字403は、特定の地形のためのテンプレートを指し、数字455は、スケーリングベクトル457に従って、新しい層を所望の製品設置面積と適切に整合させるように印刷を受容するはずである設置面積を表す。そのような実施例では、新しい印刷格子が、数学的乗算プロセスによって、スケーリングベクトルに従って効果的に定義される。印刷格子はまた、効果的にサイズが拡大縮小されることに加えて、基板位置に従って可変オフセットも潜在的に使用することに留意されたい。印刷される製品またはパネルの設置面積への両次元の増加を仮定すると、効果は、重ね合わせられたテンプレートイメージのピクセルが、サイズを増加させられる場合の通りである(例えば、図4Gで表せられるようなテンプレート印刷イメージピクセル465および/または467の描写されたサイズを図4Eで描写される印刷イメージピクセル445および447と比較する)。   4F and 4G provide examples 451 and 461, respectively, illustrating the processing in case of scaling error. Once again, the number 403 refers to a template for a particular terrain and the number 455 represents the footprint that should accept printing to properly align the new layer with the desired product footprint according to the scaling vector 457. Represent. In such an embodiment, a new printed grid is effectively defined according to the scaling vector by a mathematical multiplication process. Note that printed grids also potentially use variable offsets according to substrate position, in addition to being effectively scaled. Assuming a two-dimensional increase in the printed product or panel footprint, the effect is as if the pixels of the overlaid template image are increased in size (eg, represented in FIG. 4G). Compare the rendered size of such template print image pixels 465 and / or 467 to the print image pixels 445 and 447 depicted in FIG. 4E).

図4Hおよび4Iは、傾斜補償を対象にした説明図を示す。数字475は、傾斜調節式477に従って、新しい層を所望の製品設置面積と適切に整合させるように印刷を受容するはずである設置面積を表す。傾斜の量は、歪曲されている対象の高さに従って変動することに留意されたい。補償されている誤差が基板にわたって一様な傾斜に対応する場合には、「Y」次元(図を横断して左から右)内の歪曲の量は、基板縁から得られる「X」次元値に応じて変動する。本実施例におけるX座標変換は、統一である(すなわち、変化がない)が、一般に、本結果は傾斜の配向に応じて異なるであろうことに留意されたい。テンプレートは、式477に従った数学的乗算プロセスによって、スケーリングベクトルに従って拡大縮小され、検出された製品規模に対応する印刷格子に対して効果的に重ね合わせられる。重ね合わせられた格子の各印刷格子点の発射値は、加重基準に従って、(例えば)1つ、2つ、4つ、または別の数の重複もしくは近傍印刷ピクセルに基づいて、式477(すなわち、スケーリングの逆数)に従って計算される。これは、テンプレートの加重されて位置的に重ね合わせられた印刷ピクセル485または487に対する印刷格子点483の描写された合致によって、図4で表される。再度、各格子点は、図面のページに対して垂直に移動させられる際のプリントヘッド407の(例えば、数字409によって参照される)ノズルの可能な発射位置を表す。   4H and 4I are explanatory diagrams for tilt compensation. The number 475 represents the footprint that should accept printing to properly align the new layer with the desired product footprint according to the tilt adjustment formula 477. Note that the amount of tilt varies according to the height of the object being distorted. If the error being compensated corresponds to a uniform tilt across the substrate, the amount of distortion in the “Y” dimension (left to right across the figure) is the “X” dimension value obtained from the substrate edge. Fluctuates depending on It should be noted that the X coordinate transformation in this example is uniform (ie, no change), but in general, the results will vary depending on the tilt orientation. The template is scaled according to the scaling vector by a mathematical multiplication process according to Equation 477 and effectively superimposed on the printed grid corresponding to the detected product size. The firing value for each printed grid point of the superimposed grid is calculated according to weighting criteria based on (for example) one, two, four, or another number of overlapping or neighboring printed pixels, Equation 477 (ie, Reciprocal of scaling). This is represented in FIG. 4 by the depicted match of the print grid points 483 to the weighted and positionally superimposed print pixels 485 or 487 of the template. Again, each grid point represents a possible firing position of the nozzle (eg, referenced by numeral 409) of the print head 407 as it is moved perpendicular to the page of the drawing.

描写される実施例では、印刷格子の他の部分に対してテンプレート印刷ピクセルの一貫した数(例えば、4)によって必ずしも加重されるわけではない、印刷格子の設置面積の縁に隣接する印刷ピクセルがあることに留意されたい。新しい設置面積の境界領域に隣接する液滴の表現の不足を回避するために、縁格子点は、有利なことには、適切な液滴密度を確実にするアルゴリズム(例えば、設置面積の反対側からのピクセルのラッピング)を使用することができる。描写された設置面積(例えば、475)が所望の層の境界を表す状況では、次いで、所望であれば、以前に参照されたように、明確に定義された縁を確実にするように、縁プロセス(例えば、フェンシング)が適用されることができる。他の技法および変形例も、可能である。   In the depicted example, there is a print pixel adjacent to the print grid footprint that is not necessarily weighted by a consistent number of template print pixels (e.g., 4) relative to other portions of the print grid. Note that there are. In order to avoid a lack of representation of the droplets adjacent to the new footprint area border region, the edge grid points are advantageously algorithms that ensure proper droplet density (eg, opposite the footprint) Pixel wrapping from). In situations where the depicted footprint (eg, 475) represents the desired layer boundary, then, if desired, the edge to ensure a well-defined edge, as previously referenced. A process (eg, fencing) can be applied. Other techniques and variations are possible.

一実施形態では、ビットマップは、各値がインクの体積または所望の厚さを表す、グレースケール値(例えば、8ビットまたは他のマルチビット値)から成り得ることが、以前に記述された。上記で説明される処理はまた、単純に、適切な距離尺度およびグレースケール規模によりテンプレートの各グレースケール値に加重することによって、そのようなグレースケール値に適用されることもできる。例えば、再度、正規化された重複領域に従って、40%をテンプレートのNEおよびSE格子点(印刷ピクセル)のそれぞれにマップし、そのテンプレートのNWおよびSW格子点の10%をマップする、検出された製品幾何学形状の仮説的格子点{P’(x’,y’)}の実施例を使用して、NE、SE、NW、およびSW点が、それぞれ、(235、235、150、および0)のグレースケール決定を有する場合には、仮説的格子点{P’(x’,y’)}が、{0.40*(235)+0.40*(235)+0.10*(150)+0.10*(0)=203}に従って、203のグレースケール値を割り当てられ得る。本尺度はまた、所望であれば、個々の印刷格子注釈のためのソフトウェアによって、任意の所望の閾値との比較を介して、2値発射決定に直接変換されることができる(例えば、「1」=203>Thであれば発射する)。これらの関係は、例示的にすぎず、カスタマイズされた印刷イメージにおいてノズル発射決定を割り当てるために、多くのアルゴリズムが使用され得ることに留意されたい。前述のように、少なくとも1つの考慮されるシステムでは、測定されたノズル毎、駆動波形毎の液滴詳細が、本プロセスの考慮に入れられることができる(例えば、所望のプリントヘッドスキャンオフセットを仮定して、P’(x’,y’)に対応するノズルが、重い液滴、例えば、体積=12.4pLを発射するという事実は、P’(x’,y’)の液滴を代わりに発射するように異なるノズルを割り当てる際に、依拠され得るか、または逆に、P’(x’,y’)のために、異なるプリントヘッドオフセット、したがって、異なるノズルを採用するよう、スキャンが再計画されることができる)。他の変形例も、可能である。   In one embodiment, it has been previously described that a bitmap can consist of gray scale values (eg, 8-bit or other multi-bit values), each value representing a volume of ink or a desired thickness. The process described above can also be applied to such grayscale values simply by weighting each grayscale value of the template with an appropriate distance scale and grayscale scale. For example, again, according to the normalized overlap region, 40% is mapped to each of the template NE and SE grid points (printed pixels) and 10% of the template NW and SW grid points are detected. Using the example of a product geometry hypothetical grid point {P ′ (x ′, y ′)}, the NE, SE, NW, and SW points are (235, 235, 150, and 0, respectively). ) Has a gray scale determination of {P ′ (x ′, y ′)} is {0.40 * (235) + 0.40 * (235) + 0.10 * (150) A gray scale value of 203 can be assigned according to + 0.10 * (0) = 203}. This scale can also be converted directly into a binary firing decision, if desired, by comparison to any desired threshold by software for individual printed grid annotation (eg, “1 ] = 203> Th, fire. Note that these relationships are exemplary only, and many algorithms can be used to assign nozzle firing decisions in a customized print image. As described above, in at least one considered system, droplet details per measured nozzle, per drive waveform can be taken into account in the process (eg, assuming a desired printhead scan offset). Thus, the fact that the nozzle corresponding to P ′ (x ′, y ′) fires a heavy drop, eg, volume = 12.4 pL, replaces the drop of P ′ (x ′, y ′). Can be relied upon in assigning different nozzles to fire, or conversely, for P ′ (x ′, y ′), the scan can be adapted to employ different printhead offsets and thus different nozzles. Can be re-planned). Other variations are possible.

印刷イメージを変換するための方法が紹介されているが、ここで本開示は、製品の1つまたはそれを上回る層を製作するために工業用プリンタで使用される印刷およびプリントヘッドと関連付けられる、ある例示的回路について議論する。   A method for converting a printed image is introduced, wherein the present disclosure is associated with printing and printheads used in industrial printers to produce one or more layers of a product. An exemplary circuit will be discussed.

上記で議論される図では、簡略化されたプリントヘッド(例えば、図4A−4Iの数字407によって参照される)が、例えば、20個等の比較的少数のノズルを有するものとして描写された。実際、特に大型製品のための典型的製造動作に関して、プリントヘッドは、複数の行に配列された、例えば、何千ものはるかに多数のノズルを有し得る。例えば、全体で、何千または何万もの印刷ノズルが、基板の比較的広い帯状部分を横断して材料を噴出するために使用されるように、共通アセンブリに搭載された複数のそのようなプリントヘッドがあり得る。本構造は、高度に正確な位置分解能を伴う高品質インク液滴送達を提供する。各プリントヘッドは、液滴につき公称量のインク(例えば、10ピコリットルまたは10.00pL)を堆積させることが予期されるが、実践では、本数は、ノズル位置、液滴速度、および液滴放出軌道が変動し得るように、ノズル間で変動し得る。これらの変動は、潜在的に、堆積層の欠陥であって、チェックされないままにされた場合、完成した製品の品質に引き継がれ得る欠陥を引き起こし得る。   In the figures discussed above, a simplified printhead (eg, referenced by numeral 407 in FIGS. 4A-4I) has been depicted as having a relatively small number of nozzles, eg, twenty. In fact, especially for typical manufacturing operations for large products, the printhead may have a much larger number of nozzles, for example thousands, arranged in multiple rows. For example, a plurality of such prints mounted in a common assembly such that, in total, thousands or tens of thousands of print nozzles are used to eject material across a relatively wide strip of substrate. There can be a head. This structure provides high quality ink droplet delivery with a highly accurate position resolution. Each printhead is expected to deposit a nominal amount of ink per droplet (eg, 10 picoliters or 10.00 pL), but in practice the number is determined by nozzle position, droplet velocity, and droplet ejection. Just as the trajectory can vary, it can vary from nozzle to nozzle. These variations can potentially cause defects in the deposited layer that, if left unchecked, can be carried over to the quality of the finished product.

一実施形態では、所望の層をより正確に製作するために、各ノズルの液滴詳細が測定され、これらのパラメータのそれぞれに対する各ノズルの性能の統計モデルを作成するために使用される。繰り返しの測定は、測定誤差を効果的に平均化し、各パラメータの平均およびシグマの比較的正確な理解を深めることに役立ち、種々の技法が、上記で参照される変動に対処するために使用される。一般的に言えば、これらの技法は、変動を活用し、測定されたノズル毎または液滴毎の平均および関連シグマに基づいて、特定のインク充填、インク充填密度、ならびに液滴分布を達成することを目的としている、精密に計画された液滴堆積を提供する。ハーフトーニング(すなわち、インク密度)および/またはテンプレート調節は、正常に作動しないノズルおよび/または液滴位置ならびに/もしくは体積の変動が補正され得るように、そのような変動を組み込むことができる(または補正されることができる)。本明細書で使用されるような「ハーフトーニング」は、すなわち、たとえ「色調」が正確な意味において使用されなくても(すなわち、「インク」または堆積液体が典型的には無色である)、層厚さに影響を及ぼすように液滴密度(例えば、印刷格子節点のグループあたりの液滴の数)を変動させることを指すことに留意されたい。以下で説明される1つの技法では、複数の(代替的)電気駆動波形が、標的液滴体積および位置(理想的な標的液滴体積および位置に近似する少なくとも1つの選択を含む)を変動させる/送達する選択的能力を提供するように、ノズル毎の基準で選択のために利用可能にされる。統計的測定は、計画の高い精度を提供するよう、各そのような波形について、および各ノズルについて行われることができる。これらの測定は、インク性質(例えば、粘度)の変化に適応し、温度変化、ノズルの詰まりまたは寿命、および他の要因を考慮するよう、経時的に更新もしくは再実施されることができる。以下の節では、本理解を提供する測定能力が紹介される。印刷格子の使用に関する前述の議論を簡潔に熟考すると、各格子点は、プリントヘッドのノズルと関連付けられるであろう。上記で参照される測定能力は、例えば、正常に作動しないノズルがプリントヘッド通過における発射決定を割り当てられないように(および/または任意の必要液滴が他のノズルに再分配されるように)、本プロセスで適用されることができる。加えて、液滴の「X」軸位置の差異は、液滴タイミングを変更して液滴をより良く位置付けるか、またはそれらの体積を変化させるよう、参照される代替ノズル駆動波形の使用を通して、もしくは事前選択された波形を調整または増幅することを通して、補正されることができる。これらの実践についての実質的な付加的詳細が、(参照することによって本明細書に組み込まれている)以前に参照された本出願で提供される。   In one embodiment, the droplet details of each nozzle are measured and used to create a statistical model of each nozzle's performance for each of these parameters in order to more accurately produce the desired layer. Repeated measurements effectively average measurement errors and help to develop a relatively accurate understanding of the average and sigma of each parameter, and various techniques are used to address the variations referenced above. The Generally speaking, these techniques take advantage of variation and achieve specific ink fills, ink fill densities, and drop distributions based on measured averages per nozzle or drop and associated sigma. Providing precisely planned droplet deposition that is aimed at. Halftoning (i.e., ink density) and / or template adjustment can incorporate such variations so that nozzle and / or droplet position and / or volume variations that do not work properly can be corrected (or Can be corrected). “Half toning” as used herein, ie, even if “tone” is not used in the correct sense (ie, “ink” or deposited liquid is typically colorless) Note that it refers to varying the drop density (eg, the number of drops per group of printed grid nodes) to affect the layer thickness. In one technique described below, multiple (alternative) electrical drive waveforms vary the target drop volume and position (including at least one selection approximating the ideal target drop volume and position). / Available for selection on a nozzle-by-nozzle basis to provide a selective ability to deliver. Statistical measurements can be made for each such waveform and for each nozzle to provide high planning accuracy. These measurements can be updated or re-executed over time to accommodate changes in ink properties (eg, viscosity) and to account for temperature changes, nozzle clogging or lifetime, and other factors. The following sections introduce the measurement capabilities that provide this understanding. Considering briefly the above discussion regarding the use of print grids, each grid point will be associated with a nozzle of the printhead. The measurement capabilities referred to above are, for example, so that nozzles that do not operate normally are not assigned firing decisions in the printhead (and / or so that any required droplets are redistributed to other nozzles). Can be applied in this process. In addition, the difference in the “X” axis position of the droplets can be achieved through the use of referenced alternative nozzle drive waveforms to alter the droplet timing to better position the droplets or change their volume. Alternatively, it can be corrected through adjusting or amplifying the preselected waveform. Substantial additional details about these practices are provided in previously referenced applications (incorporated herein by reference).

図5A−5Dは、ノズル発射および駆動波形選択に対する制御を紹介するために使用される。   5A-5D are used to introduce control over nozzle firing and drive waveform selection.

典型的には、異なる駆動波形および結果として生じた液滴量の効果は、事前に測定される。一実施形態では、各ノズルについては、次いで、最大16個の異なる駆動波形が、後に、ソフトウェアによって選択されるような離散量変動を提供する際に選択的に使用するために、ノズルあたり1kのスタティックランダムアクセスメモリ(SRAM)に記憶される。異なる駆動波形が手元にあると、次いで、各ノズルは、特定の駆動波形を達成するデータのプログラミングを介して、どの波形を適用するかに関して液滴毎に指示される。本構成情報は、基板に適用されるであろう発射決定からプランタ(または制御プロセッサ)によって別個に記憶される。   Typically, the effect of different drive waveforms and resulting droplet volume is measured in advance. In one embodiment, for each nozzle, then up to 16 different drive waveforms can be used for selective use later in providing discrete variation as selected by the software, 1k per nozzle. It is stored in a static random access memory (SRAM). With different drive waveforms at hand, each nozzle is then instructed for each droplet as to which waveform to apply through programming of data to achieve a particular drive waveform. This configuration information is stored separately by the planter (or control processor) from launch decisions that will be applied to the substrate.

図5Aは、概して、数字501によって指定される、1つのそのような実施形態を図示する。詳細には、印刷される材料の特定の層に対する標的領域あたりの意図された充填量を定義するデータを受信するために、プロセッサ503が使用される。数字505によって表されるように、本データは、格子点または位置アドレスあたりの液滴量を定義する、レイアウトファイルまたはビットマップファイルであり得る。一連の圧電変換器507、508、および509は、それぞれ、ノズル駆動波形およびプリントヘッド間製造変動を含む、多くの要因に依存する、関連放出液滴量511、512、および513を生成する。較正動作中に、変数のセットのそれぞれは、使用されるであろう特定のインクを考慮して、ノズル間変動および異なる駆動波形の使用を含む、液滴量に及ぼすその効果について試験される。所望であれば、本較正動作は、例えば、温度、ノズルの詰まり、ノズル寿命、または他のパラメータの変化に応答するように、動的にされることができる。本較正は、印刷計画および次の印刷を管理する際に使用するために、測定データをプロセッサ503に提供する、液滴測定デバイス515によって表される。一実施形態では、本測定データは、オフラインプロセスとして、(例えば、何千個ものプリントヘッドノズルおよび潜在的に多数の可能なノズル発射波形について)文字通り数分、例えば、何千個ものノズルについてはわずか30分、好ましくはさらに少ない時間を要する、動作中に計算される。別の実施形態では、そのような測定は、反復して、つまり、各ノズルについて、異なる時点で(例えば、基板が装填および非装填されるにつれて、組立ラインプロセスにおいて連続基板の間で)ノズルの異なるサブセットを更新する様式で行われることができる。非撮像(例えば、干渉)技法が、随意に使用されることができ、毎秒何十から何百ものノズルを覆って、ノズルにつき何十回もの液滴測定を潜在的にもたらす。本データおよび任意の関連統計的モデル(および平均)は、受信されたときにレイアウトデータまたは印刷イメージ(例えば、ビットマップデータ)505を処理する際に使用するために、メモリ517に記憶されることができる。1つの実装では、プロセッサ503が、実際のプリンタから遠隔にあるコンピュータの一部である一方で、第2の実装では、プロセッサ503は、製品用の製作機構(例えば、ディスプレイを製作するためのシステム)またはプリンタのいずれか一方と統合される。   FIG. 5A illustrates one such embodiment, generally designated by the numeral 501. In particular, processor 503 is used to receive data defining the intended fill per target area for a particular layer of material to be printed. As represented by the numeral 505, the data can be a layout file or a bitmap file that defines the drop volume per grid point or position address. A series of piezoelectric transducers 507, 508, and 509 generate associated ejected drop volumes 511, 512, and 513 that depend on many factors, including nozzle drive waveforms and printhead-to-printhead manufacturing variations, respectively. During the calibration operation, each set of variables is tested for its effect on drop volume, including inter-nozzle variation and the use of different drive waveforms, taking into account the particular ink that will be used. If desired, the calibration operation can be made dynamic to respond to changes in temperature, nozzle clogging, nozzle life, or other parameters, for example. This calibration is represented by a droplet measurement device 515 that provides measurement data to the processor 503 for use in managing the print plan and the next print. In one embodiment, this measurement data is literally a few minutes, eg, for thousands of nozzles (eg, for thousands of printhead nozzles and potentially many possible nozzle firing waveforms) as an offline process. Calculated during operation, which takes only 30 minutes, preferably less time. In another embodiment, such measurements are repeated, ie, for each nozzle at different times (eg, between successive substrates in an assembly line process as the substrate is loaded and unloaded). It can be done in a manner that updates different subsets. Non-imaging (eg, interference) techniques can be used at will, potentially covering tens to hundreds of nozzles per second, potentially resulting in tens of droplet measurements per nozzle. This data and any associated statistical models (and averages) are stored in memory 517 for use in processing layout data or printed image (eg, bitmap data) 505 when received. Can do. In one implementation, the processor 503 is part of a computer that is remote from the actual printer, while in a second implementation, the processor 503 is a production mechanism for a product (eg, a system for producing a display). ) Or a printer.

描写される実施形態について液滴の発射を行うために、1つまたはそれを上回るタイミングまたは同期化信号519のセットが、基準として使用するために受信され、これらは、特定のノズル(それぞれ、527、528、および529)に対する駆動波形を生成するように、各ノズルドライバ523、524、および525に配信するためにクロックツリー521を通過させられる。各ノズルドライバは、それぞれ、プロセッサ503からマルチビットプログラミングデータおよびタイミング情報を受信する、1つまたはそれを上回るレジスタ531、532、および533を有する。各ノズルドライバおよびその関連レジスタは、それぞれ、レジスタ531、532、および533をプログラムする目的で、1つまたはそれを上回る専用書き込み許可信号(we)を受信する。一実施形態では、レジスタのそれぞれは、複数の所定の波形を記憶する1kスタティックRAM(SRAM)を含む、かなりの量のメモリと、これらの波形の間で選択し、別様に波形生成を制御するプログラム可能レジスタとを備える。プロセッサからのデータおよびタイミング情報は、マルチビット情報として描写されるが、本情報は、各ノズルへの直列または並列ビット接続のいずれか一方を介して提供されることができる(以下で議論される図5Bで見られるように、一実施形態では、本接続は、図5Aで見られる並列信号表現とは対照的に直列である)。 To perform droplet firing for the depicted embodiment, one or more sets of timing or synchronization signals 519 are received for use as a reference, which are specified nozzles (respectively 527 528, and 529) are passed through the clock tree 521 for delivery to each nozzle driver 523, 524, and 525 to generate a drive waveform. Each nozzle driver has one or more registers 531, 532, and 533 that receive multi-bit programming data and timing information from the processor 503, respectively. Each nozzle driver and its associated register receives one or more dedicated write enable signals (we n ) for the purpose of programming registers 531, 532, and 533, respectively. In one embodiment, each of the registers selects between a significant amount of memory, including a 1k static RAM (SRAM) that stores a plurality of predetermined waveforms, and controls the waveform generation differently. Programmable registers. Data and timing information from the processor is depicted as multi-bit information, but this information can be provided via either a serial or parallel bit connection to each nozzle (discussed below). As seen in FIG. 5B, in one embodiment, the connection is in series as opposed to the parallel signal representation seen in FIG. 5A).

所定の堆積、プリントヘッド、またはインクについて、プロセッサは、液滴を生成するために選択的に適用されることができる、16個の駆動波形のセットを各ノズルのために選択する。本数は、恣意的であり、例えば、ある設計では、4つの波形が使用され得る一方で、別の設計では、4000個の波形を使用され得ることに留意されたい。これらの波形は、有利なことには、各ノズルに対する出力液滴量および/または位置の所望の変動を提供するように、例えば、略理想的な液滴量(例えば、10.00pLの平均液滴量)を生成する少なくとも1つの波形選択を各ノズルに行わせるように、ならびに各ノズルから一連の意図的な量変動を提供するように選択される。種々の実施形態では、16個の駆動波形の同一のセットが、ノズルの全てに使用されるが、描写される実施形態では、各波形がそれぞれの液滴体積特性を与える、16個のおそらく一意の波形が、それぞれ別個に各ノズルについて事前に定義される。   For a given deposition, printhead, or ink, the processor selects a set of 16 drive waveforms for each nozzle that can be selectively applied to generate droplets. Note that the number is arbitrary; for example, in one design, four waveforms may be used, while in another design, 4000 waveforms may be used. These waveforms may advantageously be, for example, a substantially ideal drop volume (eg, an average liquid of 10.00 pL) to provide the desired variation in output drop volume and / or position for each nozzle. Selected to cause each nozzle to make at least one waveform selection that produces (drop volume) and to provide a series of intentional volume variations from each nozzle. In various embodiments, the same set of 16 drive waveforms is used for all of the nozzles, but in the depicted embodiment, 16 possibly unique, each waveform provides a respective drop volume characteristic. Are pre-defined for each nozzle separately.

印刷中に、各液滴の堆積を制御するために、次いで、事前定義された波形のうちの1つを選択するデータが、ノズル毎の基準で、各ノズルのそれぞれのレジスタ531、532、または533にプログラムされる。例えば、10.00pLの標的液滴量を考慮すると、ノズルドライバ523は、レジスタ531へのデータの書き込みを通して、16個の異なる液滴量のうちの1つに対応する、16個の波形のうちの1つを設定するように構成されることができる。ノズル毎の(および波形毎の)液滴体積および関連分布がプロセッサ503によって登録され、所望の標的充填を生成することを補助してメモリに記憶されると、各ノズルによって生成される体積は、液滴測定デバイス515によって測定されているであろう。本同一プロセスは、液滴位置または軌道について行われることができる。プロセッサは、レジスタ531をプログラムすることによって、特定のノズルドライバ523に16個の波形のうちのプロセッサが選択した1つを出力させたいかどうかを定義することができる。プロセッサはまた、所定のスキャン線のためのノズルの発射へのノズルあたりの遅延またはオフセットを利用するように(例えば、各ノズルをプリントヘッドによって横断される格子と整合させるように、速度または軌道誤差を含む誤差を補正するように、および他の目的で)レジスタをプログラムすることもでき、本オフセットは、各スキャンのためのプログラム可能な数のタイミングパルスによって特定のノズル(または発射波形)の使用を調節する、カウンタによって達成される。実施例を提供すると、液滴測定の結果が、1つの特定の液滴が期待より低い速度を有する傾向があることを示す場合には、対応するノズル波形が、より早くトリガされる(例えば、圧電作動に使用されるアクティブ信号レベルの前の無駄時間を短縮することによって、時間的に前進させられる)ことができ、逆に、液滴測定の結果が、1つの特定の液滴が比較的高い速度を有することを示す場合には、波形は、以降でトリガされることができる等である。他の実施例が明確に可能であり、例えば、いくつかの実施形態では、駆動強度(すなわち、所定のノズルの圧電アクチュエータを駆動するために使用される信号レベルおよび関連電圧)を増加させることによって、遅い液滴速度が妨げられ得る。一実施形態では、全てのノズルに配信される同期信号は、同期化の目的で、定義された時間間隔(例えば、1マイクロ秒)で生じ、別の実施形態では、同期信号は、例えば、プリントヘッドと基板との間の1ミクロン毎の漸進的相対運動を発射するように、プリンタ運動および基板地形に対して調節される。高速クロック(φhs)が、例えば、100メガヘルツ、33メガヘルツ等で、同期信号より何千倍も速く作動させられ、一実施形態では、複数の異なるクロックまたは他のタイミング信号(例えば、ストロボ信号)が、組み合わせて使用されることができる。プロセッサはまた、格子間隔を定義する値もプログラムし、ある実装では、格子間隔は、利用可能なノズルの集合全体に共通するが、これは各実装に当てはまる必要はない。例えば、場合によっては、全ノズルが「5ミクロン毎に」発射するものである、規則的な印刷格子が定義されることができる。本格子は、印刷システム、基板、または両方に特有であり得る。したがって、1つの随意的な実施形態では、先験的に未知である基板地形に合致するように印刷格子を効果的に変換するために使用される、同期周波数またはノズル発射パターンを用いて、特定のプリンタについて印刷格子が定義されることができる。別の考慮される実施形態では、プロセッサが、次いで、(例えば、不規則な印刷格子を定義するように)全てのノズルから読み出される新しい格子間隔を(要求に応じて)選択することができるように、全てのノズルにわたって共有される、いくつかの異なる格子間隔(例えば、16)を、プロセッサが事前に記憶することを可能にするメモリが、全てのノズルにわたって共有される。例えば、(例えば、非色特有の層を堆積させるように)ノズルがOLEDの全ての色成分ウェルのために発射するものである、実装では、3つまたはそれを上回る異なる格子間隔を、プロセッサによってラウンドロビン様式で連続的に適用されることができる。明確に、多くの設計代替案が可能である。プロセッサ503はまた、動作中に各ノズルのレジスタを動的に再プログラムされることもでき、すなわち、同期パルスは、そのレジスタの中で設定される任意のプログラムされた波形パルスを起動するトリガとして適用され、新しいデータが次の同期パルスの前に非同期的に受信された場合には、新しいデータが次の同期パルスとともに適用されるであろうことに留意されたい。プロセッサ503はまた、同期パルス生成(536)のためのパラメータを設定することに加えて、スキャンの開始および速度(535)を制御する。加えて、プロセッサは、プリントヘッドの随意の回転(537)を制御する。このようにして、各ノズルは、任意の時間に(すなわち、任意の「次の」同期パルスとともに)各ノズルに対する16個の異なる波形のうちのいずれか1つを使用して、一斉に(または同時に)発射することができ、選択された発射波形は、1回のスキャン中に発射間で動的に、16個の異なる波形のうちのいずれかの他方と切り替えられることができる。 During printing, in order to control the deposition of each droplet, the data for selecting one of the predefined waveforms is then stored on a per-nozzle basis, each nozzle's respective register 531, 532, or 533 is programmed. For example, considering a target drop volume of 10.00 pL, the nozzle driver 523, through writing data to register 531, out of 16 waveforms corresponding to one of 16 different drop volumes. Can be configured to set one of Once the drop volume and associated distribution per nozzle (and per waveform) is registered by the processor 503 and stored in memory to help produce the desired target fill, the volume produced by each nozzle is Will be measured by the droplet measurement device 515. This same process can be performed for droplet positions or trajectories. The processor can define whether the particular nozzle driver 523 wants to output one of the 16 waveforms selected by the processor by programming register 531. The processor also uses a per-nozzle delay or offset to firing the nozzles for a given scan line (eg, speed or trajectory error to align each nozzle with the grid traversed by the printhead The registers can also be programmed to correct for errors including, and for other purposes, and this offset is the use of a specific nozzle (or firing waveform) by a programmable number of timing pulses for each scan Is achieved by a counter. In providing an example, if the result of a drop measurement indicates that one particular drop tends to have a lower velocity than expected, the corresponding nozzle waveform is triggered earlier (eg, Can be advanced in time by reducing the dead time before the active signal level used for piezoelectric actuation, and conversely, the result of a droplet measurement is If it indicates having a high speed, the waveform can be triggered later, and so on. Other examples are clearly possible, for example, in some embodiments, by increasing the drive strength (ie, the signal level and associated voltage used to drive the piezoelectric actuator of a given nozzle). Slow drop velocity can be hindered. In one embodiment, the synchronization signal delivered to all nozzles occurs at a defined time interval (eg, 1 microsecond) for synchronization purposes, and in another embodiment, the synchronization signal is, for example, a print Adjusted for printer motion and substrate topography to fire a progressive relative motion of 1 micron between the head and the substrate. A high-speed clock (φ hs ) is operated thousands of times faster than the synchronization signal, eg, 100 megahertz, 33 megahertz, etc., and in one embodiment a plurality of different clocks or other timing signals (eg, strobe signals) Can be used in combination. The processor also programs values that define the grid spacing, and in some implementations the grid spacing is common to the entire set of available nozzles, but this need not be true for each implementation. For example, in some cases, a regular printed grid can be defined where all nozzles fire "every 5 microns". The grid can be unique to the printing system, the substrate, or both. Thus, in one optional embodiment, the identification is performed using a synchronization frequency or nozzle firing pattern that is used to effectively transform the printed grid to match the substrate terrain that is a priori unknown. A printing grid can be defined for a number of printers. In another contemplated embodiment, the processor may then select (as required) a new grid spacing that is read from all nozzles (eg, to define an irregular printed grid). In addition, memory is shared across all nozzles that allows the processor to pre-store several different grid spacings (eg, 16) that are shared across all nozzles. For example, in implementations where the nozzle fires for all color component wells of an OLED (eg, to deposit a non-color specific layer), three or more different grid spacings may be generated by the processor Can be applied continuously in a round-robin fashion. Clearly, many design alternatives are possible. The processor 503 can also dynamically reprogram each nozzle's register during operation, i.e., a sync pulse as a trigger to trigger any programmed waveform pulse set in that register. Note that if new data is received asynchronously before the next sync pulse, the new data will be applied with the next sync pulse. The processor 503 also controls the start and speed (535) of the scan in addition to setting parameters for the sync pulse generation (536). In addition, the processor controls the optional rotation (537) of the printhead. In this way, each nozzle can be used together at any time (ie, with any “next” sync pulse) using any one of 16 different waveforms for each nozzle (or (Simultaneously) and the selected firing waveform can be dynamically switched between firings during a single scan with the other of any of the 16 different waveforms.

図5Bは、各ノズルに対する出力ノズル駆動波形を生成するためにそのような実施形態で使用される、回路(541)の付加的な詳細を示し、出力波形は、図5Bで「nzzl−drv.wvfm」として表される。より詳細には、回路541は、同期信号、シリアルデータ(「データ」)を搬送する単一のビット線、専用書き込み許可信号(we)、および高速クロック(φhs)の入力を受信する。レジスタファイル543は、それぞれ、初期オフセット、格子定義値、および駆動波形IDを伝える、少なくとも3つのレジスタのデータを提供する。初期オフセットは、記述されるように、印刷格子の開始と整合するように各ノズルを調節する、プログラム可能な値である。例えば、複数のプリントヘッド、ノズルの複数の行、異なるプリントヘッド回転、ノズル発射速度およびパターン、ならびに他の要因等の実装変数を考慮すると、初期オフセットは、遅延および他の要因を考慮するように、各ノズルの液滴パターンを印刷格子の開始と整合させるために使用されることができる。オフセットは、例えば、基板地形に対して印刷格子またはハーフトーンパターンを回転させるように、もしくは基板の誤整合を補正するように、複数のノズルにわたって異なる方法で適用されることができる。同様に、記述されるように、オフセットはまた、異常な速度または他の効果を補正するために使用されることもできる。格子定義値は、プログラムされた波形がトリガされる前に「数えられる」同期パルスの数を表す数であり、フラットパネルディスプレイ(例えば、OLEDパネル)を印刷する実装の場合に、印刷される標的領域は、おそらく、規則的な(一定の間隔)または不規則的な(複数の間隔)印刷格子に対応する、異なるプリントヘッドノズルに対して1つまたはそれを上回る規則的な間隔を有する。前述のように、ある実装では、プロセッサは、要求に応じて全てのノズルのためのレジスタ回路に読み出すことができる、最大16個の異なる印刷格子間隔を定義するように、独自の16エントリSRAMを保つ。したがって、印刷格子間隔値が2(例えば、2ミクロン毎)に設定された場合には、各ノズルは、この間隔で発射されるであろう。駆動波形IDは、各ノズルに対する事前に記憶された駆動波形のうちの1つを選定するように使用される、選択値である。一実施形態では、駆動波形IDは、4ビット選択値であり、各ノズルは、16×16×4Bエントリとして記憶される、最大16個の所定のノズル駆動波形を記憶するように、独自の専用1kバイトSRAMを有する。簡潔には、各波形は、16個の離散信号レベルから成り、各波形に対する16個のエントリのそれぞれは、プログラム可能な信号レベルを表す4バイトを含有し、これらの4バイトは、高速クロックのパルスの数を数えるために使用される、2バイトの分解能電圧レベルおよび2バイトのプログラム可能な持続時間を表す。したがって、各プログラム可能な波形は、(0〜1個の)離散パルスから、それぞれプログラム可能な電圧および持続時間の(例えば、33メガヘルツクロックの1〜255個のパルスに等しい持続時間の)最大16個までの離散パルスから成ることができる。 FIG. 5B shows additional details of the circuit (541) used in such an embodiment to generate an output nozzle drive waveform for each nozzle, the output waveform being “nzzzl-drv. expressed as “wvfm”. More specifically, circuit 541 receives an input of a synchronization signal, a single bit line that carries serial data (“data”), a dedicated write enable signal (we), and a high-speed clock (φ hs ). Register file 543 provides data for at least three registers, each carrying an initial offset, a grid definition value, and a drive waveform ID. The initial offset is a programmable value that adjusts each nozzle to align with the start of the print grid, as described. Considering implementation variables such as multiple printheads, multiple rows of nozzles, different printhead rotations, nozzle firing speeds and patterns, and other factors, the initial offset should take into account delays and other factors , Each nozzle droplet pattern can be used to align with the start of the printing grid. The offset can be applied in different ways across multiple nozzles, for example, to rotate the printed grid or halftone pattern relative to the substrate terrain, or to correct substrate misalignment. Similarly, as described, offsets can also be used to correct abnormal speed or other effects. The grid definition value is a number that represents the number of sync pulses that are “counted” before the programmed waveform is triggered, and for implementations that print flat panel displays (eg, OLED panels) The region has one or more regular spacings for different printhead nozzles, possibly corresponding to regular (constant spacing) or irregular (multiple spacing) printing grids. As mentioned above, in some implementations, the processor has its own 16-entry SRAM to define up to 16 different print grid spacings that can be read into the register circuit for all nozzles on demand. keep. Thus, if the print grid spacing value is set to 2 (eg, every 2 microns), each nozzle will be fired at this spacing. The drive waveform ID is a selection value that is used to select one of the pre-stored drive waveforms for each nozzle. In one embodiment, the drive waveform ID is a 4-bit selection value and each nozzle is uniquely dedicated to store up to 16 predetermined nozzle drive waveforms, stored as 16 × 16 × 4B entries. It has a 1k byte SRAM. Briefly, each waveform consists of 16 discrete signal levels, and each of the 16 entries for each waveform contains 4 bytes representing a programmable signal level, these 4 bytes being the high-speed clock. Represents a 2-byte resolution voltage level and a 2-byte programmable duration used to count the number of pulses. Thus, each programmable waveform can be programmed from (0-1) discrete pulses up to 16 each of programmable voltage and duration (eg, duration equal to 1-255 pulses of a 33 megahertz clock). It can consist of up to discrete pulses.

数字545、546、および547は、どのようにして所定のノズルに対して規定波形が生成され得るかを示す、回路の一実施形態を指定する。第1のカウンタ545は、新しい線スキャンの開始によってトリガされる、初期オフセットのカウントダウンを開始するように、同期パルスを受信する。第1のカウンタ545は、ミクロン増分でカウントダウンし、ゼロに達するとき、トリガ信号が第1のカウンタ545から第2のカウンタ546に出力される。本トリガ信号は、本質的に、各スキャン線に対する各ノズルの発射プロセスを開始する。次いで、第2のカウンタ546は、ミクロンの増分でプログラム可能な格子間隔を実装する。第1のカウンタ545が、新しいスキャン線と併せてリセットされる一方で、第2のカウンタ546は、その出力トリガに続いて、高速クロックの次のエッジを使用してリセットされる。第2のカウンタ546は、トリガされたとき、特定のノズルに対する選択された駆動波形形状を生成する、波形回路発生器547を起動する。発生器回路の下で見られる、鎖線のボックス548−550によって表されるように、本後者の回路は、高速クロック(φhs)に従って時期を決定される、高速デジタル・アナログ変換器548、カウンタ549、および高電圧増幅器550に基づく。第2のカウンタ546からのトリガが受信されると、波形発生器回路は、駆動波形ID値によって表される数のペア(信号レベルおよび持続時間)を取り出し、信号レベル値に従って所定のアナログ出力電圧を生成し、カウンタ549は、カウンタに従って持続時間のDAC出力を保持するために効果的である。次いで、関連出力電圧レベルが、高電圧増幅器550に適用され、ノズル駆動波形として出力される。次いで、次の数のペアが、次の信号レベル値/持続時間等を定義するように、レジスタ543からラッチされる等である。 The numbers 545, 546, and 547 specify one embodiment of the circuit that shows how a prescribed waveform can be generated for a given nozzle. The first counter 545 receives a sync pulse to initiate an initial offset countdown triggered by the start of a new line scan. The first counter 545 counts down in micron increments, and when it reaches zero, a trigger signal is output from the first counter 545 to the second counter 546. This trigger signal essentially initiates the firing process of each nozzle for each scan line. The second counter 546 then implements a programmable grid spacing in micron increments. The first counter 545 is reset in conjunction with the new scan line, while the second counter 546 is reset using the next edge of the high speed clock following its output trigger. The second counter 546 activates a waveform circuit generator 547 that, when triggered, generates a selected drive waveform shape for a particular nozzle. As represented by the dashed box 548-550 seen under the generator circuit, this latter circuit is timed according to a high speed clock (φ hs ), a high speed digital to analog converter 548, a counter 549, and high voltage amplifier 550. When a trigger from the second counter 546 is received, the waveform generator circuit retrieves the number pair (signal level and duration) represented by the drive waveform ID value and determines a predetermined analog output voltage according to the signal level value. Counter 549 is effective to hold the DAC output for the duration according to the counter. The associated output voltage level is then applied to the high voltage amplifier 550 and output as a nozzle drive waveform. The next number of pairs is then latched from register 543, etc. to define the next signal level value / duration, etc.

描写された回路は、プロセッサ503によって提供されるデータに従って、任意の所望の波形を定義する効果的な手段を提供する。格子の幾何学形状に準拠すること、または異常な速度または飛行角度を伴うノズルを軽減することが必要な場合、任意の特定の信号レベル(例えば、同期に対するオフセットを定義する第1の「0」信号レベル)と関連付けられる持続時間および/または電圧レベルが、調節されることができる。記述されるように、一実施形態では、プロセッサは、事前に波形のセット(例えば、ノズルあたり16個の可能な波形)を決定し、次いで、これらの選択された波形のそれぞれの定義を、各ノズルのドライバ回路用のSRAMに書き込み、次いで、4ビット駆動波形IDを各ノズルレジスタに書き込むことによって、発射決定に応答して適用されるプログラム可能な波形のデフォルト選択が達成される。   The depicted circuit provides an effective means of defining any desired waveform according to the data provided by the processor 503. If it is necessary to conform to the geometry of the grid, or to mitigate nozzles with unusual speeds or flight angles, any particular signal level (e.g. a first “0” defining an offset to synchronization) The duration and / or voltage level associated with the signal level can be adjusted. As described, in one embodiment, the processor pre-determines a set of waveforms (eg, 16 possible waveforms per nozzle) and then defines each of these selected waveforms for each By writing to the SRAM for the nozzle driver circuit and then writing the 4-bit drive waveform ID to each nozzle register, a default selection of programmable waveforms to be applied in response to the firing decision is achieved.

パルスを成形するための複数の信号レベルの使用が、図5Cを参照して議論される。   The use of multiple signal levels to shape the pulse is discussed with reference to FIG. 5C.

つまり、一実施形態では、波形が、例えば、デジタルデータによって定義される、一連の離散信号レベルとして事前に定義されることができ、駆動波形が、デジタル・アナログ変換器(DAC)によって生成される。図5Cの数字551は、離散信号レベル555、557、559、561、563、565、および567を有する、波形553を参照する。本実施形態について記述されるように、各ノズルドライバは、最大16個の異なる信号波形を受信して記憶する回路を含み、各波形は、それぞれマルチビット電圧および持続時間として表される、一連の最大16個の信号レベルとして定義される。すなわち、パルス幅は、1つまたはそれを上回る信号レベルについて異なる持続時間を定義することによって、効果的に変動させられることができ、駆動電圧は、微妙な液滴サイズ変動を提供するように選定される様式で波形成形されることができ、例えば、液滴体積は、0.10pLの単位等で特定の体積漸次増分を提供するように測定される。したがって、そのような実施形態で、波形成形は、標的液滴体積値に近づくように液滴体積を調整する能力を提供する。上記で例示される技法を使用する等、他の特定の液滴体積および位置と組み合わせるとき、これらの技法は、標的領域あたりの精密な充填体積を促進する。別の実施形態では、所定の波形が適用されることができ、随意のさらなる波形成形またはタイミングが、液滴体積、速度、および/または軌道を調節するように、適宜に適用される。さらに別の実施例では、ノズル駆動波形代替案の使用は、さらなる波形成形が必要ではないように、体積を計画する機構を提供する。   That is, in one embodiment, the waveform can be predefined as a series of discrete signal levels, eg, defined by digital data, and the drive waveform is generated by a digital-to-analog converter (DAC). . Number 551 in FIG. 5C refers to waveform 553 having discrete signal levels 555, 557, 559, 561, 563, 565, and 567. As described for this embodiment, each nozzle driver includes circuitry for receiving and storing up to 16 different signal waveforms, each waveform being represented as a series of multi-bit voltages and durations, respectively. It is defined as a maximum of 16 signal levels. That is, the pulse width can be effectively varied by defining different durations for one or more signal levels, and the drive voltage is selected to provide subtle droplet size variation For example, droplet volume is measured to provide a specific volume gradual increment, such as in units of 0.10 pL. Thus, in such embodiments, corrugation provides the ability to adjust the droplet volume to approach the target droplet volume value. When combined with other specific droplet volumes and locations, such as using the techniques exemplified above, these techniques facilitate precise fill volumes per target area. In another embodiment, a predetermined waveform can be applied, and optional further waveform shaping or timing is applied as appropriate to adjust droplet volume, velocity, and / or trajectory. In yet another embodiment, the use of nozzle drive waveform alternatives provides a mechanism for volume planning so that no further waveform shaping is required.

図5Dは、さらに別の設計571を示す。例えば、マスタコンピュータのCPU573は、複数のプリントヘッド(例えば、それぞれ何百もの印刷ノズルを有する、6つの異なるプリントヘッドのうちの1つ)を有する印刷モジュールに(誤差について調節された)印刷データを送信する。印刷モジュールにおいて、イーサネット(登録商標)接続575は、CPUからデータを受信し、そのデータをフィールドプログラマブルゲートアレイ(「FPGA」)577に提供する。FPGA内のカスタマイズされた「ソフトプロセッサ」(578)は、適宜にデータを処理し、そのデータをメモリ(すなわち、ダイナミックランダムアクセスメモリまたは「DRAM」)579に書き込む。上記で説明される実施形態と異なり、描写される実施形態では、波形が、1つまたはそれを上回るノズルによって使用するためにメモリに書き込まれ、データが書き込まれ、または記憶される、特定の形態が、実装決定であり得る。例えば、一実施形態では、ソフトプロセッサ578は、各ノズルの一連の駆動レベル(例えば、図5Cに関連する上記の議論を参照)として特定の波形を書き込み、次いで、他のFPGA論理580は、適切な時間に本データを読み出し、これを増幅器581に提供し、最終的に、関連プリントヘッド583および関連ノズルドライバに提供する。1つの実装では、描写されるFPGA577およびDRAM579は、各プリントヘッドの構成要素である(例えば、データが各プリントヘッドに別個に伝送される)が、これは全ての実施形態に当てはまるわけではない。論理580および増幅器581の1つの機能は、すなわち、(必要に応じて、または設計に適宜に)並行して適切な時間に各ノズルについてともに読み出され得るように、適切な波形を並列形態にすることであることに留意されたい。1つの実装では、DRAM579は、随意に、各ノズルのために別個のメモリを有するように編成されることができる。本実施形態では、トリガを使用する代わりに、各ノズルが16個の波形のうちの1つを受信する(すなわち、1つの波形が、特定のノズルが発射されないものであることを示す、平坦な波形またはゼロ駆動信号である)ことに留意されたい。特定の駆動波形は、CPU573によって動的に供給され、または事前に書き込まれることができ(すなわち、しかし動的に変更可能であり得る)、実行時4ビット値が、ノズル発射決定および関連波形選択を提供する(ならびにDRAM579または論理580からその波形の出力をトリガする)ために使用される。他の代替案も、可能である。   FIG. 5D shows yet another design 571. For example, the CPU 573 of the master computer sends print data (adjusted for error) to a print module having a plurality of print heads (eg, one of six different print heads, each having hundreds of print nozzles). Send. In the printing module, an Ethernet connection 575 receives data from the CPU and provides the data to a field programmable gate array (“FPGA”) 577. A customized “soft processor” (578) in the FPGA processes the data as appropriate and writes the data to memory (ie, dynamic random access memory or “DRAM”) 579. Unlike the embodiments described above, in the depicted embodiments, the particular form in which the waveform is written to memory and data is written or stored for use by one or more nozzles. May be an implementation decision. For example, in one embodiment, the soft processor 578 writes a specific waveform as a series of drive levels for each nozzle (see, eg, the discussion above in connection with FIG. 5C), and then the other FPGA logic 580 This data is read at a convenient time, provided to the amplifier 581 and finally provided to the associated print head 583 and the associated nozzle driver. In one implementation, the depicted FPGA 577 and DRAM 579 are components of each printhead (eg, data is transmitted separately to each printhead), but this is not the case for all embodiments. One function of logic 580 and amplifier 581 is to put the appropriate waveforms in parallel form so that they can be read together for each nozzle in parallel at the appropriate time (if necessary or as appropriate to the design). Note that it is to do. In one implementation, DRAM 579 can optionally be organized to have a separate memory for each nozzle. In this embodiment, instead of using a trigger, each nozzle receives one of 16 waveforms (i.e., one waveform is a flat indicating that a particular nozzle is not fired). Note that it is a waveform or zero drive signal). Specific drive waveforms can be dynamically supplied or pre-written by CPU 573 (ie, but can be dynamically changeable), and the run-time 4-bit value can be used to determine nozzle firing decisions and associated waveform selection. (As well as triggering the output of that waveform from DRAM 579 or logic 580). Other alternatives are possible.

このようにして、例示的製造デバイスで使用され得るようなノズル制御回路が紹介されているが、ここで、付加的詳細が、そのようなデバイスの1つの可能な実装に関して提示される。以前に示唆されたように、本明細書に説明される技法の1つの考慮される実装は、アレイの中でフラットパネルデバイスを製造するものであり、次いで、これらのデバイスが共通基板から切断される。以下の議論では、より詳細には、(例えば、スマートフォン、スマートウォッチ、タブレット、コンピュータ、テレビ、モニタ、または他の形態のディスプレイとして)電子機器で使用され得る、ソーラパネルおよび/またはディスプレイデバイスの製造に適用される、そのような印刷を行うための例示的システムが説明されるであろう。本開示によって提供される製造技法は、本特定の用途によって限定されず、例えば、任意の3D印刷用途および広範囲の他の形態の製品に適用されることができる。   Thus, while nozzle control circuitry has been introduced as can be used in exemplary manufacturing devices, additional details are now presented regarding one possible implementation of such devices. As previously suggested, one contemplated implementation of the techniques described herein is to manufacture flat panel devices in an array, which are then cut from a common substrate. The In the discussion below, more particularly, the manufacture of solar panels and / or display devices that can be used in electronic equipment (eg, as a smartphone, smartwatch, tablet, computer, television, monitor, or other form of display). An exemplary system for performing such printing as applied to will be described. The manufacturing techniques provided by the present disclosure are not limited by this particular application and can be applied, for example, to any 3D printing application and a wide range of other forms of products.

図6Aは、参照数字601によって集合的に指定される、いくつかの異なる実装層を表す。これらの層の各1つは、本明細書で紹介される技法の可能な離散実装を表す。第1に、本開示で紹介される技法は、グラフィック603によって表されるように、非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令の形態(例えば、コンピュータまたはプリンタを制御するための実行可能命令もしくはソフトウェア)を成すことができる。第2に、コンピュータアイコン605により、これらの技法はまた、随意に、例えば、販売または他の製品での使用のための構成要素を設計もしくは製造する会社内で、コンピュータまたはネットワークの一部として実装されることもできる。第3に、記憶媒体グラフィック607を使用して例示されるように、以前に紹介された技法は、例えば、上記の議論により、作用されたときに、整合誤差を軽減するように、異なるインク体積もしくは位置の使用に依存する構成要素の1つまたはそれを上回る層をプリンタに製作させるであろう、データとして、記憶されたプリンタ制御命令の形態を成すことができる。プリンタ命令は、例えば、LANを経由して、プリンタに直接伝送され得ることに留意されたい。これに関連して、記憶媒体グラフィックは、(限定ではないが)コンピュータまたはプリンタの内側にある、もしくはそれにアクセス可能であるRAM、またはフラッシュドライブ等の携帯用媒体を表すことができる。第4に、製作デバイスアイコン609によって表されるように、上記で紹介される技法は、製作装置または機械の一部として、もしくはそのような装置または機械内のプリンタの形態で実装されることができる。製作デバイス609の特定の描写は、以下の図6Bに関連して議論されるであろう、1つの例示的プリンタデバイスを表すことに留意されたい。上記で紹介される技法はまた、製造された構成要素のアセンブリとして具現化されることもできる。例えば、図6Aでは、いくつかのそのような構成要素が、最終消費者製品に組み込むために分離されて販売されるであろう、半完成フラットパネルデバイスのアレイ611の形態で描写される。描写されたデバイスは、例えば、1つまたはそれを上回る光生成層もしくはカプセル化層、または上記で紹介される技法に依存して製作される他の層を有してもよい。上記で紹介される技法はまた、例えば、携帯用デジタルデバイス613(例えば、電子パッドもしくはスマートフォン等)用のディスプレイの形態で、テレビディスプレイ画面615(例えば、OLED TV)、ソーラパネル617、または他のタイプのデバイスとして、参照されるような最終消費者製品の形態で具現化されることもできる。   FIG. 6A represents several different implementation layers, collectively designated by reference numeral 601. Each one of these layers represents a possible discrete implementation of the techniques introduced herein. First, the techniques introduced in this disclosure may be implemented in the form of instructions stored on a non-transitory machine-readable medium (eg, execution to control a computer or printer) as represented by graphic 603. Possible instructions or software). Second, with the computer icon 605, these techniques are also optionally implemented as part of a computer or network, for example, within a company that designs or manufactures components for use in sales or other products. Can also be done. Third, as illustrated using the storage media graphic 607, the previously introduced techniques are different ink volumes to reduce alignment errors when acted upon, for example, by the discussion above. Alternatively, it can take the form of stored printer control instructions as data that would cause the printer to produce one or more layers of components that depend on the use of location. Note that the printer instructions can be transmitted directly to the printer, for example via a LAN. In this regard, storage media graphics can represent portable media such as, but not limited to, a RAM or flash drive that is internal to or accessible to a computer or printer. Fourth, as represented by production device icon 609, the techniques introduced above may be implemented as part of a production device or machine, or in the form of a printer within such device or machine. it can. Note that the particular depiction of the fabrication device 609 represents one exemplary printer device that will be discussed in connection with FIG. 6B below. The techniques introduced above can also be embodied as an assembly of manufactured components. For example, in FIG. 6A, several such components are depicted in the form of an array 611 of semi-finished flat panel devices that will be sold separately for incorporation into the final consumer product. The depicted device may have, for example, one or more photogenerating or encapsulation layers, or other layers that are fabricated depending on the techniques introduced above. The techniques introduced above are also for example in the form of a display for a portable digital device 613 (eg, an electronic pad or smartphone), a television display screen 615 (eg, OLED TV), a solar panel 617, or other As a type of device, it can also be embodied in the form of an end consumer product as referenced.

図6Bは、本明細書に開示される技法を適用するために使用され得る、1つの考慮されるマルチチャンバ製作装置621を示す。一般的に言えば、描写された装置621は、移送モジュール623と、印刷モジュール625と、処理モジュール627とを含む、いくつかの一般的モジュールまたはサブシステムを含む。各モジュールは、印刷が、例えば、第1の制御された雰囲気中で印刷モジュール625によって行われることができ、他の処理、例えば、無機カプセル化層堆積または(例えば、印刷された材料のための)硬化プロセス等の別の堆積プロセスが、第2の制御された雰囲気中で行われることができるように、制御された環境を維持する。装置621は、制御されていない雰囲気に基板を暴露することなく、モジュールの間で基板を移動させるために、1つまたはそれを上回る機械ハンドラを使用する。任意の所定のモジュール内で、そのモジュールに行われる処理に適合される、他の基板取扱システムおよび/または特定のデバイスならびに制御システムを使用することが可能である。   FIG. 6B shows one contemplated multi-chamber fabrication apparatus 621 that can be used to apply the techniques disclosed herein. Generally speaking, the depicted apparatus 621 includes several general modules or subsystems, including a transfer module 623, a printing module 625, and a processing module 627. Each module can be printed by the printing module 625, for example, in a first controlled atmosphere, and other processing, such as inorganic encapsulating layer deposition or (for example, for printed materials) ) Maintain a controlled environment so that another deposition process, such as a curing process, can be performed in the second controlled atmosphere. Apparatus 621 uses one or more mechanical handlers to move the substrate between modules without exposing the substrate to an uncontrolled atmosphere. Within any given module, it is possible to use other substrate handling systems and / or specific devices and control systems that are adapted to the processing performed on that module.

移送モジュール623の種々の実施形態は、入力ロードロック629(すなわち、制御された雰囲気を維持しながら異なる環境の間で緩衝を提供するチャンバ)と、移送チャンバ631(基板を輸送するためのハンドラも有する)と、大気緩衝チャンバ633とを含むことができる。印刷モジュール625内で、印刷プロセス中の基板の安定した支持のための浮動式テーブル等の他の基板取扱機構を使用することが可能である。加えて、分割軸またはガントリ運動システム等のxyz運動システムが、基板に対する少なくとも1つのプリントヘッドの精密な位置付けに使用されることができるとともに、印刷モジュール625を通した基板の輸送のためのy軸運搬システムを提供する。また、例えば、2つの異なるタイプの堆積プロセスが制御された雰囲気中の印刷モジュール内で行われることができるように、例えば、それぞれのプリントヘッドアセンブリを使用して、印刷用の複数のインクを印刷チャンバ内で使用することも可能である。印刷モジュール625は、不活性雰囲気(例えば、窒素)を導入し、別様に環境調整のための雰囲気(例えば、温度および圧力)、ガス構成要素、および粒子状物質の存在を制御するための手段とともに、インクジェット印刷システムを収納するガスエンクロージャ635を備えることができる。   Various embodiments of the transfer module 623 include an input load lock 629 (ie, a chamber that provides buffering between different environments while maintaining a controlled atmosphere) and a transfer chamber 631 (also a handler for transporting substrates). And an atmospheric buffer chamber 633. Within the print module 625, other substrate handling mechanisms such as a floating table for stable support of the substrate during the printing process can be used. In addition, an xyz motion system, such as a split axis or gantry motion system, can be used for precise positioning of at least one printhead relative to the substrate and a y-axis for transport of the substrate through the print module 625. Provide a transportation system. Also, for example, printing multiple inks for printing using, for example, each printhead assembly so that two different types of deposition processes can be performed in a printing module in a controlled atmosphere. It can also be used in a chamber. The printing module 625 introduces an inert atmosphere (eg, nitrogen) and is otherwise a means for controlling the presence of environmental conditioning atmospheres (eg, temperature and pressure), gas components, and particulate matter. In addition, a gas enclosure 635 for housing the inkjet printing system can be provided.

処理モジュール627の種々の実施形態は、例えば、移送チャンバ636を含むことができ、本移送チャンバはまた、基板を輸送するためのハンドラも有する。加えて、処理モジュールはまた、出力ロードロック637、窒素スタック緩衝器639、および硬化チャンバ641を含むこともできる。いくつかの用途では、硬化チャンバは、モノマーフィルムを一様なポリマーフィルムに硬化させ、焼き付け、または乾燥させるために使用されることができる。例えば、2つの詳細に考慮されるプロセスは、加熱プロセスおよび紫外線放射硬化プロセスを含む。   Various embodiments of the processing module 627 can include, for example, a transfer chamber 636, which also has a handler for transporting the substrate. In addition, the processing module can also include an output load lock 637, a nitrogen stack buffer 639, and a cure chamber 641. In some applications, the curing chamber can be used to cure, bake, or dry the monomer film into a uniform polymer film. For example, two processes that are considered in detail include a heating process and an ultraviolet radiation curing process.

1つの用途では、装置621は、液晶ディスプレイ画面またはOLEDディスプレイ画面の大量生産、例えば、単一の大型基板上で1度に(例えば)8枚の画面のアレイの製作のために適合される。これらの画面は、テレビに、および他の形態の電子デバイス用のディスプレイ画面として使用されることができる。第2の用途では、本装置は、さらに同一の様式でソーラパネルの大量生産に使用されることができる。   In one application, the device 621 is adapted for mass production of liquid crystal display screens or OLED display screens, for example, the fabrication of an array of eight screens at a time (for example) on a single large substrate. These screens can be used on televisions and as display screens for other forms of electronic devices. In the second application, the apparatus can also be used for mass production of solar panels in the same manner.

印刷モジュール625は、有利なことには、OLEDディスプレイデバイスの敏感な要素を保護することに役立つ、有機光生成層またはカプセル化層を堆積させるために、そのような用途で使用されることができる。例えば、描写された装置621は、基板を装填されることができ、カプセル化プロセス中に制御されていない雰囲気への暴露によって中断されない様式で、種々のチャンバの間で前後に基板を移動させるように制御されることができる。基板は、入力ロードロック629を介して装填されることができる。移送モジュール623の中に位置付けられるハンドラは、基板を入力ロードロック629から印刷モジュール625に移動させることができ、印刷プロセス完了に続いて、硬化のために基板を処理モジュール627に移動させることができる。それぞれ制御された厚さである、後続の層の繰り返しの堆積によって、総カプセル化が、任意の所望の用途に適するように蓄積されることができる。もう一度、上記で説明される技法が、カプセル化プロセスに限定されず、また、多くの異なるタイプのツールが使用され得ることに留意されたい。例えば、装置621の構成は、異なる並置で種々のモジュール623、625、および627を配置するように変動させられることができ、また、付加的な、より少ない、または異なるモジュールも使用されることができる。   The printing module 625 can advantageously be used in such applications to deposit organic photogenerating or encapsulating layers that help protect sensitive elements of OLED display devices. . For example, the depicted apparatus 621 can be loaded with a substrate to move the substrate back and forth between the various chambers in a manner that is not interrupted by exposure to an uncontrolled atmosphere during the encapsulation process. Can be controlled. The substrate can be loaded via input load lock 629. A handler located in the transfer module 623 can move the substrate from the input loadlock 629 to the printing module 625 and can move the substrate to the processing module 627 for curing following completion of the printing process. . By repeated deposition of subsequent layers, each of a controlled thickness, the total encapsulation can be accumulated to suit any desired application. Once again, it should be noted that the techniques described above are not limited to the encapsulation process, and many different types of tools can be used. For example, the configuration of the device 621 can be varied to place the various modules 623, 625, and 627 in different juxtapositions, and additional, fewer, or different modules can be used. it can.

図6Bは、連結されたチャンバまたは製作構成要素のセットの一実施例を提供するが、明確に多くの他の可能性が存在する。上記で紹介される技法は、図6Bで描写されるデバイスとともに、または実際に、任意の他のタイプの堆積機器によって行われる製作プロセスを制御するために、使用されることができる。   Although FIG. 6B provides an example of a connected chamber or set of fabrication components, there are clearly many other possibilities. The techniques introduced above can be used to control the fabrication process performed with the device depicted in FIG. 6B, or indeed by any other type of deposition equipment.

図6Cは、堆積プロセス中に出現し得るような基板およびプリンタの平面図を提供する。印刷チャンバは、概して、参照数字651によって指定され、印刷される基板は、概して、数字653によって指定され、基板を輸送するために使用される支持テーブルは、概して、数字655によって指定される。一般的に言えば、支持テーブルによる(例えば、数字657によって表されるように、浮動支持を使用する)基板のxおよびy次元移動を含み、概して、矢印663によって表されるように、トラベラ661に沿った1つまたはそれを上回るプリントヘッド659の「遅軸」x次元移動を使用する、移動の組み合わせによって、基板の任意のxy座標に達する。記述されるように、浮動式テーブルおよび基板取扱インフラストラクチャは、基板を移動させ、有利なことには、必要に応じて1つまたはそれを上回る「高速軸」に沿って傾斜排除制御を提供するために使用される。プリントヘッドは、(例えば、プリントヘッドが「遅軸」に沿って、左から右に、およびその逆も同様に移動させられると、プリンタ格子点に対応する列の印刷を達成するように)それぞれ、テンプレートから導出される発射パターンによって別個に制御される、複数のノズル665を有すると見なされる。1つまたはそれを上回るプリントヘッドと基板との間の相対運動が、高速軸(すなわち、y軸)の方向に提供されると、印刷は、典型的には、個々の行のプリンタ格子点の行を辿る、帯状部分を表す。プリントヘッドはまた、有利なことには、(例えば、数字667により、1つまたはそれを上回るプリントヘッドの回転によって)有効ノズル間隔を変動させるように調節されることができる。所望に応じて、複数のそのようなプリントヘッドが、相互に対してx次元、y次元、および/またはz次元オフセットで配向されて、ともに使用され得ることに留意されたい(図6Cの軸凡例669を参照)。印刷動作は、所望に応じて、標的領域全体(および任意の境界領域)がインクで印刷されるまで継続する。必要量のインクの堆積に続いて、(例えば、熱プロセスを使用して)インクを乾燥させるように溶媒を蒸発させることによって、または紫外線硬化プロセス等の硬化プロセスの使用によってのいずれかで、基板が完成させられる。   FIG. 6C provides a top view of the substrate and printer as may appear during the deposition process. The printing chamber is generally designated by the reference numeral 651, the substrate to be printed is generally designated by the numeral 653, and the support table used to transport the substrate is generally designated by the numeral 655. Generally speaking, it includes an x and y dimension movement of the substrate by a support table (eg, using floating support as represented by numeral 657) and generally as represented by arrow 663, traveler 661. Arbitrary xy coordinates of the substrate are reached by a combination of movements using a “slow axis” x-dimensional movement of one or more printheads 659 along the axis. As described, the floating table and substrate handling infrastructure moves the substrate and advantageously provides tilt rejection control along one or more “fast axes” as needed. Used for. Each printhead (e.g., so as to achieve column printing corresponding to printer grid points when the printhead is moved along the "slow axis" from left to right and vice versa) It is considered to have a plurality of nozzles 665 controlled separately by a firing pattern derived from the template. When relative motion between one or more printheads and the substrate is provided in the direction of the fast axis (ie, the y-axis), printing typically occurs at the printer grid points of the individual rows. Represents a strip that follows a line. The printhead can also advantageously be adjusted to vary the effective nozzle spacing (eg, by the rotation of one or more printheads by the numeral 667). It should be noted that a plurality of such printheads can be used together, oriented with x-, y-, and / or z-dimensional offsets relative to each other as desired (axis legend in FIG. 6C). 669). The printing operation continues as desired until the entire target area (and any border area) is printed with ink. Subsequent to deposition of the required amount of ink, either by evaporating the solvent to dry the ink (eg, using a thermal process) or by using a curing process such as an ultraviolet curing process Is completed.

図6Dは、本明細書に規定されるような1つまたはそれを上回る層を有するデバイスを製作するために使用され得る、1つの装置(671)の種々のサブシステムを示す、ブロック図を提供する。ソフトウェア(図6Dに示されていない)によって提供される命令の下で作用するプロセッサ673のセットによって、種々のサブシステムにわたる調整が提供される。前述のように、オンザフライ変換を行って基板またはパネル誤差を補正するために、一実施形態では、これらのプロセッサは、監視プロセッサまたは汎用CPUと、並列処理に使用される付加的プロセッサのセットとを含む。1つの詳細に考慮される実装では、これらの付加的プロセッサは、マルチコアプロセッサまたはグラフィック処理ユニット(GPU、例えば、何百またはそれを上回るコアを伴う)の形態を成す。各コアは、基板誤差に合致するよう印刷イメージを歪曲させるように変換するために、印刷イメージの一部を割り当てられる。誤差がパネルまたは他の製品毎の基準で独立して補正される場合には、各コアは、有利なことには、(すなわち、特定のコアが、全ての割り当てられたイメージデータに単一の変換動作のみを行うように)単一の製品またはパネルの一部または一部分を割り当てられることができる。並列処理および/または本形態の委任は、全ての実施形態に必要とされるわけではない。製作プロセス中に、プロセッサは、ハーフトーン印刷イメージによって提供される発射命令に応じて、プリントヘッドに種々の体積のインクを放出させるように、データをプリントヘッド675に送給する。プリントヘッド675は、典型的には、行またはアレイで配列される複数のインクジェットノズルと、圧電または他の変換器の起動に応答してインクの噴出を可能にする関連リザーバとを有する。そのような変換器は、対応する圧電変換器に印加される電子発射波形信号によって統制される量で、それぞれのノズルに制御された量のインクを放出させる。他の発射機構も、使用されることができる。プリントヘッドは、ハーフトーン印刷イメージによって表されるように、格子座標に対応する種々のx−y位置でインクを基板677に適用する。位置の変動は、(例えば、基板を横断する1つまたはそれを上回る帯状部分を印刷に表させる)プリントヘッド運動システム679および基板取扱システム681の両方によって達成される。一実施形態では、プリントヘッド運動システム679が、トラベラに沿ってプリントヘッドを前後に移動させる一方で、基板取扱システムは、例えば、整合および傾斜排除のために、安定した基板支持と、基板の「x」および「y」次元輸送(ならびに回転)の両方とを提供する。印刷中に、基板取扱システムが、1つの次元(例えば、図6Cに対して「y」次元)内で比較的速い輸送を提供する一方で、プリントヘッド運動システム679は、例えば、プリントヘッドオフセットのために、別の次元(例えば、図6Cに対して「x」次元)内で比較的遅い輸送を提供する。別の実施形態では、基板取扱システム681によって取り扱われる一次輸送とともに、複数のプリントヘッドが使用されることができる。画像捕捉デバイス683は、任意の基準の場所を特定し、以前に説明された整合および/または誤差検出機能を支援するために使用されることができる。   FIG. 6D provides a block diagram illustrating various subsystems of one apparatus (671) that can be used to fabricate a device having one or more layers as defined herein. To do. Coordination across the various subsystems is provided by a set of processors 673 that operate under instructions provided by software (not shown in FIG. 6D). As described above, to perform on-the-fly conversion to correct for board or panel errors, in one embodiment, these processors include a supervisory processor or general purpose CPU and a set of additional processors used for parallel processing. Including. In one implementation that is considered in detail, these additional processors take the form of a multi-core processor or graphics processing unit (with a GPU, eg, with hundreds or more cores). Each core is assigned a portion of the print image to transform it to distort the print image to match the substrate error. If the error is corrected independently on a panel or other product-by-product basis, each core is advantageously (ie, a particular core is a single in all assigned image data). A part or part of a single product or panel can be assigned (to perform only a conversion operation). Parallel processing and / or this form of delegation is not required for all embodiments. During the fabrication process, the processor sends data to the printhead 675 to cause the printhead to eject various volumes of ink in response to firing instructions provided by the halftone print image. The printhead 675 typically has a plurality of inkjet nozzles arranged in rows or arrays and associated reservoirs that allow ejection of ink in response to activation of a piezoelectric or other transducer. Such transducers cause each nozzle to eject a controlled amount of ink in an amount controlled by an electron firing waveform signal applied to the corresponding piezoelectric transducer. Other firing mechanisms can also be used. The printhead applies ink to the substrate 677 at various xy positions corresponding to the grid coordinates, as represented by the halftone print image. Position variation is achieved by both the printhead motion system 679 and the substrate handling system 681 (eg, causing printing to show one or more bands across the substrate). In one embodiment, the printhead motion system 679 moves the printhead back and forth along the traveler, while the substrate handling system provides stable substrate support and substrate "for example, for alignment and tilt exclusion. Provide both x "and" y "dimensional transport (and rotation). During printing, the substrate handling system provides relatively fast transport within one dimension (eg, the “y” dimension with respect to FIG. 6C), while the printhead motion system 679 is, for example, a printhead offset. Thus, it provides relatively slow transport within another dimension (eg, the “x” dimension for FIG. 6C). In another embodiment, multiple printheads can be used with primary transport handled by the substrate handling system 681. The image capture device 683 can be used to locate any reference and assist in the previously described alignment and / or error detection functions.

本装置はまた、印刷動作を支援するように、インク送達システム685と、プリントヘッド保守システム687とを備える。プリントヘッドは、周期的に較正され、または保守プロセスを受けることができる。このような目的で、保守シーケンス中に、プリントヘッド保守システム687は、特定のプロセスにとって適宜に、適切な下準備、インクまたはガスのパージ、試験および較正、ならびに他の動作を行うために使用される。そのようなプロセスはまた、例えば、以前に参照された出願者のPCT特許出願(PCT/US14/35193)で議論されるように、ならびに数字691および692によって参照されるように、液滴体積、速度、および軌道等のパラメータの個々の測定を含むこともできる。   The apparatus also includes an ink delivery system 685 and a printhead maintenance system 687 to assist in the printing operation. The printhead can be periodically calibrated or subjected to a maintenance process. For this purpose, during the maintenance sequence, the printhead maintenance system 687 is used to perform proper preparation, ink or gas purging, testing and calibration, and other operations as appropriate for the particular process. The Such a process is also described, for example, as discussed in a previously referenced applicant's PCT patent application (PCT / US14 / 35193) and as referenced by the numbers 691 and 692, Individual measurements of parameters such as velocity and trajectory can also be included.

以前に紹介されたように、印刷プロセスは、制御された環境で、つまり、堆積層の有効性を劣化させ得る汚染物質のリスクの低減を提示する様式で、行われることができる。この趣旨で、本装置は、機能ブロック690によって表されるように、チャンバ内の雰囲気を制御するチャンバ制御サブシステム689を含む。随意のプロセス変形例は、記述されるように、周囲窒素ガス雰囲気(もしくは特異的に選択されたガスを有する、および/または不要な粒子状物質を除外するように制御される、別の不活性環境)の存在下で堆積材料の噴出を行うことを含むことができる。最終的に、数字693によって表されるように、本装置はまた、必要に応じて、ハーフトーンパターン情報またはハーフトーンパターン生成ソフトウェア、テンプレート印刷イメージデータ、および他のデータを記憶するために使用され得る、メモリサブシステムも含む。例えば、メモリサブシステムは、各液滴の発射(およびタイミング)を統制するプリンタ制御命令を内部で生成するために、上記で紹介される技法に従って、前もって生成された印刷イメージの変換のための動作メモリとして使用されることができる。そのようなレンダリングの一部または全てが他の場所で行われ、本装置のタスクが受信されたプリンタ命令に従ってデバイス層を製作することである場合には、受信された命令は、印刷プロセスおよび/または保守中に適宜に使用するためにメモリサブシステム693に記憶されることができる。数字694によって表されるように、1つの随意の実施形態では、個々の液滴詳細は、任意の所定のノズルの発射波形の変動を通して(例えば、ノズル異常を補正するように)変動させられることができる。一実施形態では、代替発射波形のセットが、共有または専用基準で、事前に選択されて各ノズルに利用可能にされ、随意に、前述のように基板変動(誤差)処理695と併せて使用されることができる。記述されるように、いくつかの実施形態が、異なるノズルおよび/またはあるノズルの駆動波形を使用して達成される誤差の補償とともに、(すなわち、誤差にもかかわらず)所定のスキャン経路を使用する一方で、別の実施形態では、印刷最適化(696)が、スキャン経路詳細を再査定し、潜在的に堆積時間を改良するように行われる。   As previously introduced, the printing process can be performed in a controlled environment, that is, in a manner that presents a reduced risk of contaminants that can degrade the effectiveness of the deposited layer. To this effect, the apparatus includes a chamber control subsystem 689 that controls the atmosphere within the chamber, as represented by function block 690. An optional process variant, as described, is another inert gas atmosphere (or having a specifically selected gas and / or controlled to exclude unwanted particulate matter). Carrying out the ejection of the deposited material in the presence of the environment). Finally, as represented by numeral 693, the apparatus is also used to store halftone pattern information or halftone pattern generation software, template print image data, and other data as required. A memory subsystem is also included. For example, the memory subsystem operates for conversion of a pre-generated print image in accordance with the techniques introduced above to internally generate printer control instructions that govern the firing (and timing) of each drop. Can be used as memory. If some or all of such rendering is performed elsewhere and the task of the apparatus is to create a device layer according to the received printer instructions, the received instructions may include the printing process and / or Or it can be stored in the memory subsystem 693 for appropriate use during maintenance. As represented by numeral 694, in one optional embodiment, individual droplet details are varied through variations in the firing waveform of any given nozzle (eg, to correct nozzle anomalies). Can do. In one embodiment, a set of alternative firing waveforms is pre-selected and made available to each nozzle on a shared or dedicated basis, and optionally used in conjunction with substrate variation (error) processing 695 as described above. Can. As described, some embodiments use a predetermined scan path with compensation for errors achieved using different nozzles and / or certain nozzle drive waveforms (ie, despite errors). However, in another embodiment, print optimization (696) is performed to reassess scan path details and potentially improve deposition time.

図7は、議論されたプロセスのうちのいくつかと関連付けられる別のフロー図701を提供する。以前の実施例と同様に、数字703により、所望の層のレイアウトを表すデータが最初に受信される。本データは、堆積させられる層の境界を規定し、(例えば、所定のパネルのための)着目層の全体を通して厚さを定義するために十分な情報を提供する。本データは、プロセス701が行われる同一の機械またはデバイス上で生成されることができ、もしくは異なる機械によって生成されることができる。一実施形態では、受信されたデータは、xy座標系に従って定義され、提供された情報は、例えば、随意に、以前に紹介されたxミクロン×yミクロン×zミクロン実施例と一致する、層の全体を通して適用される単一の高さまたは厚さを規定する、任意の表されたxy座標点における所望の層厚さを計算するために十分である。数字705により、本データは、層を受容し得る堆積領域中で、各印刷セル(または各印刷ピクセル)のグレースケール値に変換されることができる。印刷セル領域がレイアウトデータに合致するxy座標系に本質的に対応しない場合には、レイアウトデータは、各印刷ピクセルのグレースケール値を得るように(例えば、複数の座標点の厚さデータを平均化することによって、および/または補間を使用して)変換される。本変換は、例えば、関係または方程式を使用して生成される、所望のマッピング情報に基づき得る。数字707により、均質層を生成するために(または他の所望の効果のために)、グレースケール値が、随意に調節されることができる。一実施例を提供すると、所望の層の下に位置し得る微小構造の様々な高さを補償することが所望される場合、随意の技法が、オフセットを追加して、堆積層の頂面を効果的に平坦化するように、特定の場所における着目層を「強化する」グレースケール値を選択する。一実施形態では、(例えば、インスキャン方向での)ノズル発射異常を補正して、(例えば、特定のノズルまたはノズルのセットが不十分なインク体積を生成する場合)より多くのインクまたは(例えば、特定のノズルまたはノズルのセットが過剰なインク体積を生成する場合)より少ないインクを堆積させるために、グレースケール値操作も使用されることができる。そのような随意のプロセスは、機能ブロック714により、較正プロセスおよび/または実験に判定されたデータを前提にすることができる。次いで、数字709により、グレースケール値は、液滴密度パターン(例えば、特定のハーフトーンパターン)に変換され、次いで、数字710により、ビットマップが生成される。図によって示されるような誤差拡散は、層の均質性を助長することに役立つように依拠されることができる。   FIG. 7 provides another flow diagram 701 associated with some of the processes discussed. As in the previous embodiment, the number 703 first receives data representing the desired layer layout. This data defines the boundaries of the deposited layers and provides sufficient information to define the thickness throughout the layer of interest (eg, for a given panel). This data can be generated on the same machine or device where process 701 is performed, or can be generated by a different machine. In one embodiment, the received data is defined according to an xy coordinate system, and the provided information is, for example, consistent with a previously introduced x micron x y micron x z micron example of a layer. It is sufficient to calculate the desired layer thickness at any represented xy coordinate point that defines a single height or thickness applied throughout. By numeral 705, the data can be converted to a grayscale value for each print cell (or each print pixel) in a deposition region that can accept the layer. If the print cell area does not inherently correspond to an xy coordinate system that matches the layout data, the layout data is obtained to obtain a grayscale value for each print pixel (eg, average thickness data for multiple coordinate points). And / or using interpolation). This transformation may be based on desired mapping information generated using, for example, relationships or equations. The number 707 allows the gray scale value to be adjusted arbitrarily to produce a homogeneous layer (or for other desired effects). In providing an example, if it is desired to compensate for the various heights of the microstructures that may be located below the desired layer, an optional technique adds an offset to the top surface of the deposited layer. Select a grayscale value that “strengthens” the layer of interest at a particular location to effectively flatten. In one embodiment, correcting for nozzle firing anomalies (eg, in the in-scan direction) can result in more ink (eg, if a particular nozzle or set of nozzles produces insufficient ink volume) or (eg, Gray scale value manipulation can also be used to deposit less ink (if a particular nozzle or set of nozzles produces excessive ink volume). Such an optional process can assume data determined by the calibration process and / or experiment by function block 714. The number 709 then converts the grayscale value into a droplet density pattern (eg, a specific halftone pattern), and then the number 710 generates a bitmap. Error diffusion as shown by the figure can be relied upon to help promote layer homogeneity.

図7は、随意に、堆積層の一様性および精度を確実にし、検出されたパネルまたは基板位置誤差を調節することに役立つように適用される、いくつかのノズル/波形誤差補正プロセス713の集合の使用を示す。任意の下位製品層との正確な位置合わせ、水/酸素障壁を生成するための適切なカプセル化の作成を確実にするため、またはディスプレイパネルの高品質光生成もしくは光誘導要素を提供するため、または他の目的もしくは効果のためであろうと、そのような一様性は、デバイス品質にとって重要であり得る。前述のように、較正プロセスまたは実験に判定された(推測計算された)データは、数字714により、グレースケール値の誤差、またはノズルもしくはノズル波形詳細、または基板もしくはパネル位置変動を補正するために使用されることができる。代替として、個々のノズル駆動波形は、数字715によって表されるように、誤差を補正するように計画または調節されることができる。別の実施形態では、前述のように、ノズルが検証され、または適格と見なされることができ(719)、各ノズルは、最小液滴生成閾値を満たすように判定されるか、または使用から不適格と見なされるかのいずれかである。特定のノズルが不適格と見なされているが、使用のために暫定的に選択される場合には、適切な液滴堆積を提供するために、数字716により、異なるノズル(または容認可能なノズルの繰り返しの通過)が、そうでなければ不適格と見なされたノズルによって印刷されたであろう液滴を堆積させるために使用されることができる。例えば、一実施形態では、プリントヘッドは、1つのノズルが異常である場合、特定の格子点に所望される液滴を堆積させるために、異なる冗長ノズルが使用されることができるように、行および列の両方で配列されるノズルを有する。随意に、また、例えば、(これを可能にするよう定位置で調節されるプリントヘッドとともに)異なるノズルを使用して、またはスキャンの数を増加もしくは減少させて、所望の液滴が堆積させられることができるような様式で、プリントヘッドをオフセットして、スキャン経路を調節するために、そのような問題が考慮されて使用されることもできる。これは、図7で数字717によって表される。多くのそのような代替案が、可能である。数字720および721によって表されるように、一実施形態では、各ノズルが、(測定のノズル毎または駆動波形毎の分布を生じるように)液滴パラメータを繰り返し測定する液滴測定デバイス(720)を使用して、事前に較正され、次いで、ソフトウェアが、ノズル位置誤差および/または体積、速度、ならびに軌道のノズル液滴平均を理解し、かつこれらのパラメータのそれぞれの予期されるノズル毎の分散を理解して、各ノズルの統計的モデル(721)を構築する。本データは、記述されるように、特定のノズル(および/または液滴)を適格と見なす/検証するため、もしくは各個別液滴を生成するために使用されるであろうノズルを選択するため、および別様に各新しい基板または他の製品アレイのテンプレート印刷イメージを調節もしくはカスタマイズするために使用されることができる。各そのような測定/誤差補正プロセスは、すなわち、所望の層性質を確実にしながら、印刷プロセスを最適化するよう、プリンタ制御データが生成および/または更新されるように、印刷イメージ調節/カスタマイズ化を含む印刷計画(722)、ならびに任意のスキャン経路計画および/または印刷格子計算の考慮に入れられることができる。最終的に、次いで、数字725により、最終印刷データが、実行時にプリンタに送信するために生成される。   FIG. 7 optionally illustrates a number of nozzle / waveform error correction processes 713 applied to ensure deposition layer uniformity and accuracy and to help adjust detected panel or substrate position errors. Indicates use of a set. To ensure accurate alignment with any sub-product layer, to create a suitable encapsulation to create a water / oxygen barrier, or to provide a high quality light generating or light guiding element for a display panel, Or, for other purposes or effects, such uniformity can be important to device quality. As stated above, the data determined (estimated) by the calibration process or experiment is the number 714 to correct for grayscale value errors, or nozzle or nozzle waveform details, or substrate or panel position variations. Can be used. Alternatively, individual nozzle drive waveforms can be planned or adjusted to correct for errors, as represented by numeral 715. In another embodiment, as described above, the nozzles can be verified or qualified (719), each nozzle being determined to meet a minimum drop production threshold or not being used. One of them is considered eligible. If a particular nozzle is considered ineligible but is tentatively selected for use, a different nozzle (or acceptable nozzle) will be identified by the numeral 716 to provide proper droplet deposition. Can be used to deposit droplets that would otherwise have been printed by nozzles deemed ineligible. For example, in one embodiment, the printhead may be configured so that if one nozzle is abnormal, different redundant nozzles can be used to deposit the desired droplets at a particular grid point. And nozzles arranged in both rows. Optionally and also, for example, using different nozzles (with a printhead adjusted in position to allow this) or increasing or decreasing the number of scans, the desired droplets are deposited. Such problems can also be used to offset the printhead and adjust the scan path in such a way that it is possible. This is represented by the numeral 717 in FIG. Many such alternatives are possible. As represented by the numbers 720 and 721, in one embodiment, a droplet measurement device (720) in which each nozzle repeatedly measures droplet parameters (so as to produce a distribution per measurement nozzle or per drive waveform). And then the software understands nozzle position errors and / or volume, velocity, and trajectory nozzle droplet averages, and the variance per expected nozzle for each of these parameters And build a statistical model (721) for each nozzle. This data, as described, to consider / verify a particular nozzle (and / or droplet) or to select a nozzle that would be used to generate each individual droplet And, alternatively, can be used to adjust or customize the template print image of each new substrate or other product array. Each such measurement / error correction process, ie, print image adjustment / customization, so that printer control data is generated and / or updated to optimize the printing process while ensuring the desired layer properties. Can be taken into account in the print plan (722), including any scan path plan and / or print grid calculation. Finally, the number 725 then generates the final print data for transmission to the printer at run time.

図8A−8Dは、概して、ノズル毎の液滴測定および検証のための技法を導入するために使用される。   8A-8D are generally used to introduce techniques for droplet measurement and verification per nozzle.

より詳細には、図8Aは、光学システム801および比較的大型のプリントヘッドアセンブリ803(すなわち、それぞれ多数の個々のノズル、例えば、807を伴う、それぞれのプリントヘッド805A/805Bのノズルプレートによって表される)を描写する、例証的な図を提供する。典型的な実装では、何百から何千ものノズルが存在する。インク供給部(図示せず)が、各ノズル(例えば、ノズル807)と流体的に接続され、圧電変換器(同様に図示せず)が、ノズルあたりの電子制御信号の制御下でインクの液滴を噴出するために使用される。ノズル設計は、ノズルプレートの氾濫を回避するように、各ノズル(例えば、ノズル807)においてインクのわずかな陰圧を維持し、所定のノズルに対する電子信号は、対応する圧電変換器を起動し、所定のノズルのためのインクを加圧し、それによって、所定のノズルから1つまたはそれを上回る液滴を放出する。一実施形態では、各ノズルに対する制御信号は、通常は0ボルトであり、所定の電圧での正のパルスまたは信号レベルは、特定のノズルがそのノズルに対する液滴(パルスにつき1つ)を放出するために使用される。別の実施形態では、異なる調整されたパルス(または他のより複雑な波形)が、ノズル毎に使用されることができる。しかしながら、図8Aによって提供される実施例に関連して、液滴が排出つぼ809によって収集されるようにプリントヘッドから下向きに(すなわち、3次元座標系808に対してz軸高さを表す「h」の方向に)放出される、特定のノズル(例えば、ノズル807)によって生成される液滴体積を測定することが所望されると仮定されるはずである。典型的用途では、「h」の寸法は、典型的には、約1ミリメートルまたはそれ未満であり、動作プリンタ内でこのようにして個別に測定されるそれぞれの液滴を有する、何千ものノズル(例えば、10,000個のノズル)があることに留意されたい。したがって、精密に各液滴(すなわち、説明されたような約1ミリメートルの測定窓内で、大型プリントヘッドアセンブリ環境内で何千ものノズルのうちの特定のな1つから生じる液滴)を光学的に測定するために、ある技法が、光学測定のために相互に対して光学アセンブリ801、プリントヘッドアセンブリ803、または両方の要素を精密に位置付けるように、開示される実施形態で使用される。   More specifically, FIG. 8A is represented by an optical system 801 and a relatively large printhead assembly 803 (ie, a nozzle plate for each printhead 805A / 805B, each with a number of individual nozzles, eg, 807. Provide an illustrative figure depicting In a typical implementation, there are hundreds to thousands of nozzles. An ink supply (not shown) is fluidly connected to each nozzle (e.g., nozzle 807), and a piezoelectric transducer (also not shown) is an ink liquid under the control of an electronic control signal per nozzle. Used to squirt drops. The nozzle design maintains a slight negative pressure of ink at each nozzle (e.g., nozzle 807) so as to avoid flooding the nozzle plate, and the electronic signal for a given nozzle activates the corresponding piezoelectric transducer, Pressurize the ink for a given nozzle, thereby ejecting one or more droplets from the given nozzle. In one embodiment, the control signal for each nozzle is typically 0 volts, and a positive pulse or signal level at a given voltage causes a particular nozzle to emit droplets (one per pulse) for that nozzle. Used for. In another embodiment, different tuned pulses (or other more complex waveforms) can be used for each nozzle. However, in connection with the embodiment provided by FIG. 8A, the drop is collected from the printhead downwardly by the discharge crucible 809 (ie, representing the z-axis height relative to the three-dimensional coordinate system 808 “ It should be assumed that it is desired to measure the droplet volume produced by a particular nozzle (eg, nozzle 807) emitted (in the direction of h). In a typical application, the “h” dimension is typically about 1 millimeter or less, with thousands of nozzles having each drop individually measured in this manner in an operating printer. Note that there are (for example, 10,000 nozzles). Thus, precisely each drop (ie, a drop originating from a particular one of thousands of nozzles in a large printhead assembly environment within an approximately 1 millimeter measurement window as described). Certain techniques are used in the disclosed embodiments to precisely position the optical assembly 801, the printhead assembly 803, or both elements relative to each other for optical measurements.

一実施形態では、これらの技法は、(a)光学較正/測定のために液滴を生成するものである任意のノズルに直接隣接して測定領域815を精密に位置付けるための(例えば、次元面813内の)光学システムの少なくとも一部のx−y運動制御(811A)、および(b)面下光学回復(811B)の組み合わせを利用する(例えば、それによって、広いプリントヘッド表面積にもかかわらず、任意のノズルの隣の測定領域の容易な配置を可能にする)。したがって、約10,000個またはそれを上回る印刷ノズルを有する例示的実施形態では、本運動システムは、プリントヘッドアセンブリのそれぞれのノズルの排出経路に近接して、(例えば)10,000ほどの離散位置に光学システムの少なくとも一部分を位置付けることが可能である。一実施形態では、さらに微細な位置付け能力を有する、連続運動システムまたはシステムが使用されることができる。以下で議論されるように、2つの考慮された光学測定技法は、シャドウグラフィおよび干渉法を含む。それぞれを用いると、飛行中の液滴を捕捉するよう(例えば、シャドウグラフィの場合は液滴の影を効果的に撮像するよう)、精密な焦点が測定領域上で維持されるように、光学部が、典型的には定位置で調節される。典型的な液滴は、直径が約数ミクロンであり得るため、光学的配置は、典型的には、極めて精密であり、プリントヘッドアセンブリおよび測定光学部/測定領域の相対的位置付けに関して課題を提示することに留意されたい。いくつかの実施形態では、本位置付けを支援するために、光学システムおよびプリントヘッドの相対的位置付けに干渉することなく、測定光学部が測定領域の近くに配置されることができるように、光学部(鏡、プリズム等)が、測定領域815から生じる次元面813の下方で感知するための光捕捉経路を配向するために使用される。これは、内側で液滴が撮像されるミリメートル次数の堆積高h、または監視されているプリントヘッドによって占有される大規模xおよびy幅によって制限されない様式で、効果的な位置制御を可能にする。干渉法ベースの液滴測定技法を用いると、異なる角度から小液滴に入射する別個の光線が、光路に対して略直角な視点から検出可能な干渉パターンを作成し、したがって、そのようなシステム内の光学部は、光源ビームの経路から約90度外れた角度からであるが、液滴パラメータを測定するよう、面下光学回復を利用する様式でも光を捕捉する。他の光学測定技法も使用されることができる。これらのシステムのさらに別の変異形では、運動システム811Aは、随意に、かつ有利なことには、液滴測定中にプリントヘッドアセンブリを移動させることなく、液滴測定システムの選択的従事および離脱を可能にする、xyz運動システムであるように作製される。手短に紹介すると、1つまたはそれを上回る大型プリントヘッドアセンブリを有する、工業用製作デバイスでは、製造稼働時間を最大限化するために、各プリントヘッドアセンブリが、1つまたはそれを上回る保守機能を果たすように、時としてサービスステーションに「駐留させられる」であろうことが考慮され、プリントヘッドの純然たるサイズおよびノズルの数を考慮すると、プリントヘッドの異なる部品上で複数の保守機能を一度に果たすことが所望され得る。この趣旨で、そのような実施形態では、逆よりもむしろプリントヘッドの周囲で測定/較正デバイスを移動させることが有利であり得る。[これは、次いで、例えば、所望であれば別のノズルに関する、他の非光学的保守プロセスの従事も可能にする。]これらの動作を促進するために、プリントヘッドアセンブリは、随意に、光学較正の対象となる特定のノズルまたは一連のノズルを識別するシステムを用いて、「駐留させられる」ことができる。いったんプリントヘッドアセンブリまたは所定のプリントヘッドが静止すると、運動システム811Aは、特定のノズルから噴出される液滴を検出するために好適な位置で測定領域815を精密に位置付けるために、「駐留させられた」プリントヘッドアセンブリに対して光学システムの少なくとも一部を移動させるように従事させられ、移動のz軸の使用は、プリントヘッドの面の十分に下方からの光回復光学部の選択的従事を可能にし、光学較正の代わりに、またはそれに加えて、他の保守動作を促進する。おそらく別様に記述すると、xyz運動システムの使用は、サービスステーション環境で使用される他の試験または試験デバイスから独立している、液滴測定システムの選択的従事を可能にする。本構造は、全ての実施形態に必要とされるわけではなく、1つのみのプリントヘッドアセンブリが移動し、測定アセンブリが静止しているか、またはプリントヘッドアセンブリの駐留が必要ではない、他の代替案も可能であることに留意されたい。   In one embodiment, these techniques may be used to (a) precisely position the measurement region 815 immediately adjacent to any nozzle that is to generate a droplet for optical calibration / measurement (eg, a dimension plane). Utilize a combination of xy motion control (811A) of at least a portion of the optical system (within 813) and (b) sub-surface optical recovery (811B) (eg, thereby, despite a large printhead surface area) , Allowing easy placement of the measurement area next to any nozzle). Thus, in an exemplary embodiment having about 10,000 or more print nozzles, the motion system is as discrete as (for example) 10,000, close to the discharge path of each nozzle of the printhead assembly. It is possible to position at least a portion of the optical system in position. In one embodiment, a continuous motion system or system with even finer positioning capabilities can be used. As discussed below, two considered optical measurement techniques include shadowgraphy and interferometry. With each, an optical so that a precise focus is maintained on the measurement area, so as to capture the droplets in flight (for example, in the case of shadowgraphy, effectively image the shadow of the droplets) The part is typically adjusted in place. Because typical droplets can be about a few microns in diameter, the optical arrangement is typically very precise and presents challenges with respect to the relative positioning of the printhead assembly and measurement optics / measurement area Please note that. In some embodiments, to assist in this positioning, the optical section can be placed close to the measurement area without interfering with the relative positioning of the optical system and the printhead. (Mirrors, prisms, etc.) are used to orient the light capture path for sensing below the dimension plane 813 arising from the measurement region 815. This allows effective position control in a manner that is not limited by the millimeter order deposition height h at which droplets are imaged inside or the large x and y widths occupied by the monitored printhead. . With interferometry-based drop measurement techniques, separate rays incident on a small drop from different angles create an interference pattern that can be detected from a viewpoint substantially perpendicular to the optical path, and thus such a system The inner optics capture light in a manner that utilizes sub-surface optical recovery to measure droplet parameters, but from an angle that is approximately 90 degrees off the source beam path. Other optical measurement techniques can also be used. In yet another variation of these systems, the motion system 811A optionally and advantageously selectively engages and disengages the drop measurement system without moving the printhead assembly during drop measurement. Made to be an xyz motion system. In brief, for industrial fabrication devices with one or more large printhead assemblies, each printhead assembly has one or more maintenance functions to maximize manufacturing uptime. Considering that it will sometimes be “stationed” at the service station, and considering the pure size of the printhead and the number of nozzles, multiple maintenance functions on different parts of the printhead at once It may be desirable to fulfill. To this effect, in such embodiments, it may be advantageous to move the measurement / calibration device around the printhead rather than the reverse. [This then allows other non-optical maintenance processes to be engaged, eg, for another nozzle if desired. To facilitate these operations, the printhead assembly can optionally be “parked” with a system that identifies a specific nozzle or series of nozzles that are subject to optical calibration. Once the printhead assembly or a given printhead is stationary, the motion system 811A is “parked” to precisely position the measurement area 815 at a suitable location to detect droplets ejected from a particular nozzle. “Used to move at least a portion of the optical system relative to the printhead assembly, the use of the z-axis of movement allows selective engagement of the light recovery optics from sufficiently below the face of the printhead. Enable and facilitate other maintenance operations instead of or in addition to optical calibration. Probably stated otherwise, the use of an xyz motion system allows for selective engagement of a droplet measurement system that is independent of other tests or test devices used in the service station environment. This structure is not required for all embodiments and other alternatives where only one printhead assembly is moving and the measurement assembly is stationary or the printhead assembly is not required to be stationed Note that a draft is also possible.

一般的に言えば、液滴測定に使用される光学部は、光源817と、(必要に応じて光を光源217から測定領域215に指向する)光送達光学部819の随意的なセットと、1つまたはそれを上回る光センサ821と、液滴を測定するために使用される光を測定領域815から1つまたはそれを上回る光センサ821に指向する回復光学部823のセットとを含むであろう。運動システム811Aは、随意に、噴出されたインクを収集するように容器(例えば、排出つぼ809)も提供しながら、排出つぼ809の周囲の測定領域815から面下場所への液滴測定後の光の指向を可能にする様式で、排出つぼ809とともに、これらの要素のうちのいずれか1つまたはそれを上回る要素を移動させる。一実施形態では、光送達光学部819および/または光回復光学部823は、液滴進行と平行な垂直寸法に沿って、光を測定領域815に/から指向する鏡を使用し、運動システムは、液滴測定中に一体的ユニットとして要素817、819、821、823、および排出つぼ809のそれぞれを移動させる。本設定は、焦点が測定領域815に対して再較正される必要がないという利点を提示する。数字811Cによって記述されるように、光送達光学部もまた、随意に、例えば、概して図示されるように、測定の目的で排出つぼ809の両側で光を指向する、光源817および光センサ821の両方とともに、測定領域の次元面813の下方の場所から光源光を供給するために使用される。数字825および827によって記述されるように、光学システムは、随意に、集束の目的でレンズ、ならびに(例えば、多画素化「写真」の処理に依拠しない非撮像技法のための)光検出器を含むことができる。再度、光学アセンブリおよび排出つぼに対するz運動制御の随意的な使用が、光学システムの随意的な従事および離脱、ならびにプリントヘッドアセンブリが「駐留させられている」間の任意の時点で、任意のノズルに近接する測定領域815の精密な移動を可能にすることに留意されたい。プリントヘッドアセンブリ803のそのような駐留および光学システム801のxyz運動は、全ての実施形態に必要とされるわけではない。例えば、一実施形態では、レーザ干渉法が、液滴特性を測定するために使用され、種々のノズルからの液滴を撮像するように、プリントヘッドアセンブリ(および/または光学システム)が、堆積面内で、またはそれと平行に(例えば、面813内で、またはそれと平行に)、いずれかで移動させられる。他の組み合わせおよび順列も、可能である。   Generally speaking, the optics used for droplet measurement include a light source 817 and an optional set of light delivery optics 819 (which directs light from the light source 217 to the measurement region 215 as needed); One or more light sensors 821 and a set of recovery optics 823 that direct light used to measure the droplets from the measurement region 815 to one or more light sensors 821. Let's go. The motion system 811A optionally also provides a container (eg, a discharge urn 809) to collect the ejected ink, while measuring droplets from the measurement area 815 around the discharge urn 809 to a subsurface location. Any one or more of these elements are moved along with the discharge crucible 809 in a manner that allows light directing. In one embodiment, the light delivery optics 819 and / or the light recovery optics 823 use a mirror that directs light to / from the measurement region 815 along a vertical dimension parallel to the droplet travel, and the motion system is Each of the elements 817, 819, 821, 823 and the discharge crucible 809 are moved as an integral unit during droplet measurement. This setting presents the advantage that the focus does not need to be recalibrated with respect to the measurement region 815. As described by numeral 811C, the light delivery optics also optionally includes a light source 817 and a light sensor 821 that direct light on both sides of the discharge crucible 809, for example, as generally illustrated. Together, it is used to provide source light from a location below the dimension plane 813 of the measurement region. As described by the numbers 825 and 827, the optical system optionally includes a lens for focusing purposes, and a photodetector (eg, for non-imaging techniques that do not rely on multi-pixel “photo” processing). Can be included. Again, the optional use of z-motion control for the optical assembly and the discharge crucible allows any nozzle at any time during the optional engagement and disengagement of the optical system and the printhead assembly to be “parked”. Note that it allows for precise movement of the measurement area 815 proximate to. Such parking of the printhead assembly 803 and xyz movement of the optical system 801 are not required for all embodiments. For example, in one embodiment, laser interferometry is used to measure droplet characteristics and the printhead assembly (and / or optical system) is deposited on the deposition surface to image droplets from various nozzles. In or parallel to it (eg, in or parallel to face 813). Other combinations and permutations are possible.

図8Bは、いくつかの実施形態のための液滴測定と関連付けられるプロセスのフローを提供する。本プロセスフローは、概して、図8Bの数字831を使用して指定される。より詳細には、参照数字833によって使用されるように、本特定のプロセスでは、プリントヘッドアセンブリが、最初に、例えば、プリンタまたは堆積装置のサービスステーション(図示せず)に駐留させられる。次いで、例えば、堆積面の下方から、光学システムが個々の液滴を測定することが可能である位置までの移動を通して、光学システムの一部または全体の選択的従事によって、液滴測定デバイスが、プリントヘッドアセンブリとともに従事させられる(835)。数字837により、駐留させられたプリントヘッドに対する、1つまたはそれを上回る光学システムの構成要素のこの運動は、随意に、x、y、およびz次元で行われることができる。   FIG. 8B provides a process flow associated with drop measurement for some embodiments. This process flow is generally specified using the number 831 in FIG. 8B. More particularly, as used by reference numeral 833, in this particular process, the printhead assembly is initially stationed at a service station (not shown) of, for example, a printer or deposition apparatus. The droplet measuring device can then be used, for example, by selective engagement of part or all of the optical system, for example through movement from below the deposition surface to a position where the optical system can measure individual droplets. Engaged with the printhead assembly (835). By numeral 837, this movement of one or more components of the optical system relative to the stationed printhead can optionally be performed in the x, y, and z dimensions.

以前に示唆されたように、単一のノズルおよび関連ノズル発射駆動波形(すなわち、液滴を噴出するために使用されるパルスまたは信号レベル)さえも、液滴毎にわずかに変動する液滴体積、軌道、および速度を生成することができる。本明細書の教示によると、一実施形態では、数字839によって示されるような液滴測定システムは、所望のパラメータの期待性質に関する統計的信頼度を導出するように、液滴につきそのパラメータのn回の測定を得る。1つの実装では、測定されたパラメータが、体積であり得る一方で、他の実装については、測定されたパラメータは、飛行速度、飛行軌道、ノズル位置誤差(例えば、ノズル曲げ)または別のパラメータ、もしくは複数のそのようなパラメータの組み合わせであり得る。1つの実装では、「n」が、各ノズルについて異なり得る一方で、別の実装では、「n」は、各ノズルに行われる測定の固定された数(例えば、「24」)であり得、なおも別の実装では、「n」は、パラメータの測定された統計的性質を動的に調整するよう、または信頼度を精緻化するよう、付加的な測定が行われることができるように、測定の最小数を指す。明確に、多くの変形例が可能である。図8Bによって提供される実施例については、所定のノズルからの期待液滴量および緊密な信頼区間を表す正確な平均を得るよう、液滴量が測定されていると仮定されたい。本平均は、加重されようと別様であろうと、関連測定データを考慮してプロセッサによって割り当てられることができる。これは、予期される標的の周囲で(すなわち、液滴平均の複合に対して)標的領域中の複合インク充填の分布を確実に維持しながら、(複数のノズルおよび/または駆動波形を使用して)液滴の組み合わせの随意の計画を可能にする。随意のプロセスボックス841および843によって記述されるように、干渉法またはシャドウグラフィが、理想的には体積(または他の所望のパラメータ)の瞬間または近瞬間測定および計算を可能にする、考慮される光学測定プロセスである。そのような高速測定を用いると、例えば、インク性質(粘度および構成材料を含む)、温度、電力供給変動、および他の要因の経時的な変化に対処するように、量測定を頻繁かつ動的に更新することが可能になる。この点に基づいて、シャドウグラフィは、典型的には、例えば、光センサ機構として高解像度CMOSまたはCCDカメラを使用する、液滴の画像の補足を特色とする。液滴が、(例えば、ストロボ光源を使用して)複数の位置において単一の画像補足フレーム内で正確に撮像されることができる一方で、画像取得は、典型的には、(例えば、何千もノズル内の)大型プリントヘッドアセンブリからの十分な液滴集団の撮像が数時間かかり得るように、有限量の時間を伴う。複数の2値光検出器およびそのような検出器の出力に基づく干渉パターン間隔の検出に依拠する、干渉法は、非撮像方法(すなわち、画像分析を必要としない)であるため、シャドウグラフィまたは他の技法より何倍も速く(例えば、50倍)液滴体積測定を生じる。例えば、10,000個のノズルのプリントヘッドアセンブリを用いると、何千ものノズルのそれぞれの大型測定集団が数分で得られることができ、液滴測定を頻繁かつ動的に行うことを確実にすることが予期される。前述のように、1つの随意の実施形態では、液滴測定(もしくは軌道および/または速度等の他のパラメータの測定)が、周期的な断続プロセスとして行われることができ、液滴測定システムは、スケジュールに従って、または基板の間で(例えば、基板が装填もしくは非装填されるにつれて)従事し、もしくは他のアセンブリおよび/または他のプリントヘッド保守プロセスに対して積み重ねられる。代替ノズル駆動波形が各ノズルに特異的な様式で使用されることを可能にする実施形態に関して、高速測定システム(例えば、干渉計システム)は、各ノズルに対する、およびそのノズルのための各代替的駆動波形に対する統計的集団作成を容易に可能にし、それによって、以前に示唆されたように、種々のノズル・波形対合によって生成される液滴の計画された液滴の組み合わせを促進することに留意されたい。数字845および847により、0.01pLより良い精度まで、ノズル毎に(および/またはノズル・波形対合毎に)期待液滴量を測定することによって、標的堆積領域あたりの非常に精密な液滴の組み合わせを計画することが可能となり、複合充填もまた、0.01pL分解能まで計画されることができ、標的体積は、標的体積の0.5%またはそれより良い規定誤差(例えば、公差)範囲内で保たれることができる。数字847によって示されるように、各ノズルまたは各ノズル・波形対合に対する測定集団は、一実施形態では、それぞれのそのようなノズルまたはノズル・波形対合に対する信頼性分布モデルを生成するよう、すなわち、許容液滴交差に対する3σ信頼度(または4σ、5σ、6σ等の他の統計的尺度)を伴って、計画される。いったん十分な測定が種々の液滴について行われると、これらの液滴の組み合わせを伴う充填は、評価され、可能な限り最も効率的な様式で印刷(848)を計画するために使用されることができる。分離線849によって示されるように、液滴測定は、アクティブ印刷プロセスと測定および較正プロセスとの間で断続的に前後に切り替えて行われることができる。製造システム休止時間を最小限にするために、そのような測定は、典型的には、プリンタが他のプロセスを任されている間に、例えば、基板装填および非装填中に、行われることに留意されたい。   As previously suggested, even a single nozzle and the associated nozzle firing drive waveform (ie, the pulse or signal level used to eject the droplet) can vary slightly from drop to drop. , Trajectories, and velocities can be generated. In accordance with the teachings herein, in one embodiment, a droplet measurement system, such as that indicated by numeral 839, can determine that parameter n per droplet so as to derive a statistical confidence regarding the expected nature of the desired parameter. Get a measurement of times. In one implementation, the measured parameter can be volume, while for other implementations, the measured parameter can be flight speed, flight trajectory, nozzle position error (eg, nozzle bending) or another parameter, Or it may be a combination of a plurality of such parameters. In one implementation, “n” may be different for each nozzle, while in another implementation, “n” may be a fixed number of measurements made to each nozzle (eg, “24”) In yet another implementation, “n” is such that additional measurements can be made to dynamically adjust the measured statistical properties of the parameters or refine the confidence level. Refers to the minimum number of measurements. Clearly, many variations are possible. For the example provided by FIG. 8B, assume that the drop volume has been measured to obtain an accurate average representing the expected drop volume and a tight confidence interval from a given nozzle. This average, whether weighted or otherwise, can be assigned by the processor in view of relevant measurement data. This uses multiple nozzles and / or drive waveforms while ensuring the distribution of the composite ink fill in the target area around the expected target (ie, for drop average composite). And) allows optional planning of droplet combinations. As described by optional process boxes 841 and 843, interferometry or shadowography is considered, ideally allowing instantaneous or near-instant measurement and calculation of volume (or other desired parameters). It is an optical measurement process. With such fast measurements, for example, quantity measurements are frequent and dynamic to address changes in ink properties (including viscosity and constituent materials), temperature, power supply fluctuations, and other factors over time. It becomes possible to update to. Based on this point, shadowgraphy typically features image capture of droplets using, for example, a high resolution CMOS or CCD camera as the photosensor mechanism. While droplets can be accurately imaged within a single image capture frame at multiple locations (eg, using a strobe light source), image acquisition is typically (eg, what It involves a finite amount of time so that imaging a sufficient droplet population from a large printhead assembly (in thousands of nozzles) can take several hours. Interferometry, which relies on detection of multiple binary photodetectors and interference pattern spacing based on the output of such detectors, is a non-imaging method (ie, does not require image analysis), so shadowography or It produces drop volume measurements many times faster (eg, 50 times) than other techniques. For example, using a 10,000 nozzle printhead assembly, each large measurement population of thousands of nozzles can be obtained in minutes, ensuring that droplet measurements are made frequently and dynamically. Is expected to. As described above, in one optional embodiment, droplet measurement (or measurement of other parameters such as trajectory and / or velocity) can be performed as a periodic intermittent process, and the droplet measurement system is Engage according to schedule, or between substrates (eg, as substrates are loaded or unloaded), or stacked for other assemblies and / or other printhead maintenance processes. With respect to embodiments that allow alternative nozzle drive waveforms to be used in a manner specific to each nozzle, a high speed measurement system (eg, an interferometer system) is provided for each nozzle and for each alternative. To easily enable statistical population creation for drive waveforms, thereby facilitating planned drop combinations of drops generated by various nozzle-waveform pairs, as previously suggested Please keep in mind. By the numbers 845 and 847, a very precise drop per target deposition area by measuring the expected drop volume per nozzle (and / or per nozzle-waveform pair) to an accuracy better than 0.01 pL Can be planned, complex fillings can also be planned to 0.01 pL resolution, and the target volume is within a specified error (eg, tolerance) range of 0.5% of the target volume or better Can be kept within. As indicated by numeral 847, the measurement population for each nozzle or nozzle-waveform pair is, in one embodiment, to generate a confidence distribution model for each such nozzle or nozzle-waveform pair, ie, , With 3σ confidence (or other statistical measure such as 4σ, 5σ, 6σ, etc.) for acceptable drop intersections. Once sufficient measurements have been made on the various droplets, filling with combinations of these droplets can be evaluated and used to plan printing (848) in the most efficient manner possible. Can do. As indicated by the separation line 849, drop measurement can be performed by intermittently switching back and forth between the active printing process and the measurement and calibration process. In order to minimize manufacturing system downtime, such measurements are typically made while the printer is entrusted with other processes, for example during substrate loading and unloading. Please keep in mind.

図8Cは、概して、数字851によって表される、液滴測定の方法の別の実施形態を図示する。プリントヘッドが搭載されるか、または別様に位置オフセットを補正するように液滴測定システムを較正することが所望されるとき、所定のプリントヘッドノズルを用いた液滴測定を精密に合致させるために、較正ルーチンが実行されることができる。典型的実施形態では、本整合プロセスは、1つまたはそれを上回るプリントヘッド基準もしくは整合マーク(853)を識別するように、下から、つまり、ノズルプレートにおける基板の視点から上向きに見て、プリントヘッドの画像を撮影する、「上向きのカメラ」または他の撮像デバイスを用いて行われる。一実施形態では、カメラ(撮像システム)は、液滴測定に使用されるものと同一のデバイスであり得るが、別個の撮像デバイスでもあり得る。例えば、256個のノズルの4行に配列される1024個のノズルを有する、例示的プリントヘッドに関して、ノズルプレートと撮像デバイスに対応する格子システムとの間のオフセットおよび回転傾斜を判定するために、(基板基準と混合されないよう)ノズルプレート上の基準が使用される。一実施形態では、基準は、随意に、特定のノズル(854)、例えば、プリントヘッドの隅に最も近いノズル(例えば、第1および第4の行、ノズル1および256)であり得、他の機構も使用され得ることに留意されたい。典型的実装では、プリントヘッド構成データ(855)が、ソフトウェアによってシステムにロードされ、これらの隅のノズルを識別するために使用され、各ノズルの位置を最初に推定するように依拠される補間(857)を用いて、全てのノズルのアドレスを撮像システムの格子856にマップするために使用される。実施例を提供すると、一実施形態では、システムソフトウェアは、異なるノズル構成を伴う異なるプリントヘッドに適応するように設計され、この趣旨で、システムソフトウェアは、行の数、(存在する場合)基準の存在、行毎のノズルの数、ノズルの行および列の間の平均垂直ならびに水平オフセット等を識別するように、プリントヘッド構成データをロードする。このデータは、記述されるように、システムソフトウェアがプリントヘッド上の各ノズルの位置を推定することを可能にする。1つの考慮されるシステムでは、本較正プロセスは、印刷プロセスの間ではなく、いったんプリントヘッドが交換されると行われる。異なる実施形態では、本較正プロセスは、液滴測定システムが初期化される度に行われ、例えば、各新しい測定が、2つの印刷動作の間に実行される。   FIG. 8C illustrates another embodiment of a method for droplet measurement, represented generally by the numeral 851. When a printhead is mounted or otherwise desired to calibrate the drop measurement system to compensate for position offsets, to precisely match drop measurements with a given printhead nozzle In the meantime, a calibration routine can be executed. In an exemplary embodiment, the alignment process includes printing from the bottom, i.e., upwards from the perspective of the substrate at the nozzle plate, to identify one or more printhead fiducials or alignment marks (853). This is done using an “upward camera” or other imaging device that captures an image of the head. In one embodiment, the camera (imaging system) can be the same device used for droplet measurement, but can also be a separate imaging device. For example, for an exemplary printhead having 1024 nozzles arranged in 4 rows of 256 nozzles, to determine the offset and rotational tilt between the nozzle plate and the grid system corresponding to the imaging device, The reference on the nozzle plate is used (so as not to be mixed with the substrate reference). In one embodiment, the reference may optionally be a particular nozzle (854), for example, the nozzle closest to the corner of the printhead (eg, first and fourth rows, nozzles 1 and 256), other Note that mechanisms can also be used. In a typical implementation, printhead configuration data (855) is loaded into the system by software and used to identify nozzles at these corners, interpolating (based on first estimating the position of each nozzle). 857) is used to map the address of all nozzles to the grid 856 of the imaging system. By way of example, in one embodiment, the system software is designed to accommodate different printheads with different nozzle configurations, to this effect, the system software can determine the number of rows, if any Load printhead configuration data to identify presence, number of nozzles per row, average vertical and horizontal offset between rows and columns of nozzles, etc. This data allows the system software to estimate the position of each nozzle on the printhead, as described. In one contemplated system, the calibration process is performed once the printhead is replaced, not during the printing process. In different embodiments, the calibration process is performed each time the droplet measurement system is initialized, for example, each new measurement is performed between two printing operations.

生成中に、ノズル(およびノズル波形)測定が、基板印刷動作の間に各中断を伴って一連のノズルを通して前進する、ローリング基準で行われることができる。全てのノズルを新たに測定するように従事するか、またはそのようなローリング基準であるかどうかにかかわらず、図8Cの同一の基本プロセスが測定のために採用されることができる。この趣旨で、数字858および859により、液滴測定デバイスが(事前測定または基板印刷動作のいずれかのすぐ後で)新しい測定のために従事するとき、システムソフトウェアは、(例えば、ポインタを第2のプリントヘッドの「312番目の」ノズルに対する「ノズル2,312」にロードすることによって)測定が行われる次のノズルを識別することができる。(例えば、新しいプリントヘッドの設置、最近の起動、または毎日の測定プロセス等の周期的プロセスに応答する)初期測定の場合、ポインタは、プリントヘッドの第1のノズル、例えば、「ノズル2,001」を指し示すであろう。本ノズルは、特定の撮像格子アクセスと関連付けられるか、またはメモリから参照されるかのいずれかである。本システムは、液滴測定システム(例えば、以前に参照された排出つぼおよび測定領域)を予期されるノズル位置に対応する位置まで前進させるために、提供されたアドレスを使用する。典型的システムでは、本移動と関連付けられる機械的スローが、極めて精密である、すなわち、ほぼミクロン分解能まで精密であることに留意されたい。本システムは、随意に、本時点で、予期されるミクロン分解能位置についてノズル位置を検索し、ノズルを見出し、推定格子位置からわずか数ミクロンの距離内で、プリントヘッドの画像分析に基づいてその位置を中心とする(860)。例えば、ジグザグ、螺旋、または他の検索パターンが、ノズルの予期される位置について検索するために使用されることができる。(一実施形態では、本プロセスはまた、人間のオペレータによるプリンタの調節によって手動で行われ得ることに留意されたい。)ノズルの間の典型的ピッチ距離が、約250ミクロンであり得る一方で、ノズル直径は、約10〜20ミクロンであり得る。いったん着目ノズルが識別されると、ソフトウェアは、問題になっているノズルから液滴を発射し、問題になっているノズルが実際に発射したことを確認するように液滴測定システムに依拠する(次いで、ノズルの識別を確認する)。図8Cは、新しいノズルが測定のために識別される度に(例えば、液滴測定システムが移動する度に)行われている本プロセスを示すが、いくつかの実施形態では、オフライン構成中に(例えば、液滴測定システム格子が非常に緊密である状況で)本測定を一度行い、各ノズルの格子位置を記憶し、次いで、プリントヘッドが交換されるときのみ、または誤差処理に応答して、本位置を更新することも可能である。液滴測定システムおよび/またはプリントヘッド位置の力学があまり精密ではないシステムでは、監視中のノズルの変化があるときはいつでも、各ノズルに推定および検索機能を使用することが有利であり得る。数字861によって示唆されるように、一実施形態では、推定および検索機能が、3つの次元(xyz)のそれぞれにおいて液滴測定デバイス(およびその関連光学部)を監視中のプリントヘッドノズルと整合させることに留意されたい。   During generation, nozzle (and nozzle waveform) measurements can be made on a rolling basis that advances through a series of nozzles with each interruption during a substrate printing operation. Regardless of whether all nozzles are engaged in a new measurement or such a rolling reference, the same basic process of FIG. 8C can be employed for the measurement. To this effect, the numbers 858 and 859 allow the system software to (for example, move the pointer to the second when the drop measurement device engages for a new measurement (immediately after either the pre-measurement or substrate printing operation). The next nozzle to be measured can be identified (by loading into "Nozzles 2, 312" for the "312th" nozzle of the current print head). For initial measurements (eg, responding to periodic processes such as new printhead installations, recent activations, or daily measurement processes), the pointer is the first nozzle of the printhead, eg, “Nozzle 2,001. Will point to. This nozzle is either associated with a particular imaging grid access or referenced from memory. The system uses the provided address to advance the droplet measurement system (eg, the previously referenced discharge crucible and measurement area) to a position corresponding to the expected nozzle position. Note that in a typical system, the mechanical throw associated with this movement is very precise, i.e. accurate to approximately micron resolution. The system optionally searches the nozzle position for the expected micron resolution position at this point, finds the nozzle, and within a few microns distance from the estimated grid position, that position based on printhead image analysis. (860). For example, a zigzag, spiral, or other search pattern can be used to search for the expected position of the nozzle. (Note that in one embodiment, the process can also be performed manually by adjusting the printer by a human operator.) While the typical pitch distance between the nozzles can be about 250 microns, The nozzle diameter can be about 10-20 microns. Once the nozzle of interest has been identified, the software relies on the droplet measurement system to fire a droplet from the nozzle in question and verify that the nozzle in question has actually fired ( Then, the identification of the nozzle is confirmed). FIG. 8C illustrates the process being performed each time a new nozzle is identified for measurement (eg, each time the droplet measurement system moves), but in some embodiments, during offline configuration Take this measurement once (for example, in a situation where the drop measurement system grid is very tight), store the grid position of each nozzle, and then only when the printhead is replaced or in response to error handling It is also possible to update this position. In droplet measurement systems and / or systems where print head position dynamics are not very precise, it may be advantageous to use an estimate and search function for each nozzle whenever there is a change in the nozzle being monitored. As suggested by numeral 861, in one embodiment, the estimation and search function aligns the drop measurement device (and its associated optics) with the printhead nozzle being monitored in each of three dimensions (xyz). Please note that.

次いで、各ノズルの精密なz位置(液滴測定領域に対する距離)が、一貫した液滴測定および/または画像捕捉を確実にするために調節される(862)。例えば、液滴測定システムは、典型的には、各液滴を複数回測定し、(例えば、各液滴画像の重心に対する)距離に基づいてこれらのパラメータを計算することによって、液滴速度および飛行軌道を判定することが、以前に記述された。種々のパラメータは、(例えば、シャドウグラフィベースの液滴測定システムの)ストロボタイミングの誤差、液滴撮像システムとノズルプレートとの間の未補正整合誤差、ノズルプロセスコーナ、および他の要因を含む、適切な液滴測定に影響を及ぼし得る。一実施形態では、例えば、全ての液滴にわたって液滴測定場所に対するストロボ発射を正規化する様式で、そのような誤差を補償するために、種々の統計的プロセスが使用される。例えば、仮説的プリントヘッドが1,000個のノズルを有する場合には、本システムは、平均液滴画像位置に関して、測定領域中で(1,000個のノズルまたはそのサブセットにわたる平均で)所望の数の液滴を中心にしながら、位置誤差の最小値を生じる平均オフセットを選ぶことによって、プリントヘッドプレートからのz軸オフセットを正規化することができる。類似技法が、干渉法ベースのシステムまたは他の液滴測定システムに適用されることができる。   The precise z position (distance to the drop measurement area) of each nozzle is then adjusted (862) to ensure consistent drop measurement and / or image capture. For example, drop measurement systems typically measure each drop multiple times and calculate these parameters based on distance (eg, relative to the centroid of each drop image) to determine drop velocity and Determining the flight trajectory has been described previously. Various parameters include strobe timing errors (e.g., for shadowography-based drop measurement systems), uncorrected alignment errors between the drop imaging system and the nozzle plate, nozzle process corners, and other factors, Appropriate droplet measurements can be affected. In one embodiment, various statistical processes are used to compensate for such errors, for example, in a manner that normalizes strobe firing for drop measurement locations across all drops. For example, if the hypothetical printhead has 1,000 nozzles, the system will have a desired average in the measurement area (on average over 1,000 nozzles or a subset thereof) with respect to the average drop image position. By choosing an average offset that produces a minimum of position error while centering a few drops, the z-axis offset from the printhead plate can be normalized. Similar techniques can be applied to interferometry-based systems or other droplet measurement systems.

図8Cは、液滴測定領域863と、それぞれの仮説的軌道865および867に沿った、その測定領域を通る2つの液滴864および866の仮説的通路とを示す。いくつかのものが、本図によって提供される実施例について留意されるはずである。第1に、速度および軌道測定は、同一の液滴を複数回(液滴864および866の場合、それぞれ3回)を測定することに依存すると見なされる。本要件は、ストロボ(または光源)のタイミングを変化させること、関連液滴を発射するために使用される駆動波形を変化させること、液滴測定システムのz軸位置を変化させること、および/またはプリントヘッドのz軸位置を変化させることのうちの1つまたはそれを上回るものによって、ストロボ(または撮像源)発射に対して測定領域を適切に位置付けるために使用されることができる。例えば、(シャドウグラフィベースのシステムの場合、単一の暴露中に)ストロボが繰り返し発射されるにつれて、3つの液滴画像が単一の液滴に予期されるが、2つのみが観察される場合、測定領域は、高さが誤整合であり、3回の暴露が得られるまで、液滴位置が測定領域に対して捕捉される場所を効果的に再定義するように調節される。必然的に、本仮説は、実施例のみを提供し、他の実装は、3回より多くの液滴暴露または3回未満の暴露を測定し得る。また、軌道867に対する軌道865の偏差は、液滴が生成される方法の統計的変動によるものであり得るため、随意に、(アルファおよびベータ角に関して)平均液滴軌道およびこれらの寸法のそれぞれにおける標準偏差を表す統計的モデルを構築するために使用され得ることに留意されたい。理解されるはずであるように、液滴測定領域863が、2次元液滴描写(例えば、図面のページの通り、yz面)を示す一方で、x軸に対する軌道角は、液滴が図8Cによって表される図面シートの面により近づいているか、またはそこからより遠く離れていることを示す、複数のストロボ暴露の間の所定の画像フレーム内の見掛けの液滴サイズの変化から導出されることができる。類似干渉パターン変化が、干渉法ベースの技法の場合に適用される。   FIG. 8C shows a droplet measurement region 863 and a hypothetical path for two droplets 864 and 866 through the measurement region along respective hypothetical trajectories 865 and 867. Several should be noted about the example provided by this figure. First, velocity and trajectory measurements are considered to depend on measuring the same droplet multiple times (3 times for droplets 864 and 866, respectively). This requirement may include changing the timing of the strobe (or light source), changing the drive waveform used to fire the associated drop, changing the z-axis position of the drop measurement system, and / or By one or more of changing the z-axis position of the printhead, it can be used to properly position the measurement area relative to the strobe (or imaging source) firing. For example, as the strobe is fired repeatedly (during a single exposure in the case of a shadowography-based system), three droplet images are expected for a single droplet, but only two are observed If so, the measurement area is adjusted to effectively redefine where the drop position is captured relative to the measurement area until the height is misaligned and three exposures are obtained. Inevitably, this hypothesis provides only examples, and other implementations may measure more than three droplet exposures or less than three exposures. Also, the deviation of the trajectory 865 relative to the trajectory 867 may be due to statistical variations in the way droplets are generated, so optionally (in terms of alpha and beta angles) in the average droplet trajectory and each of these dimensions. Note that it can be used to build a statistical model that represents the standard deviation. As should be appreciated, the droplet measurement region 863 shows a two-dimensional droplet depiction (eg, the yz plane, as in the drawing page), while the trajectory angle with respect to the x-axis indicates that the droplet is in FIG. Derived from the change in apparent droplet size within a given image frame during multiple strobe exposures indicating that it is closer to or farther away from the plane of the drawing sheet represented by Can do. Similar interference pattern changes are applied in the case of interferometry-based techniques.

測定863内で表される方式はまた、ノズル行の曲げを測定するために使用されることもできる。つまり、実施例として、液滴864および866が共通の正確なノズル位置から生じると仮定されるが、逆軌道が液滴測定領域の予期されるy軸中心と(すなわち、図面ページに対して右から左に)整合しない場合、問題になっているノズルは、同一行または列内の他のノズルに対して、そのy軸位置でオフセットされ得る。以前の議論によって示唆されるように、そのような異常は、液滴の精密な組み合わせを計画する際に考慮されることができる、理想的液滴発射偏差につながり得、すなわち、好ましくは、任意のそのような行の「曲げ」または個々のノズルオフセットが記憶され、以前に議論されたように印刷スキャン計画の一部として使用され、印刷システムは、各個別ノズルの差異を平均するのではなく、計画的にそれを使用する。随意の変形例では、同一の技法が、x軸に沿った不規則的なノズル間隔を判定するために使用されることができるが、描写される実施形態に関して、任意のそのような誤差は、液滴速度偏差の補正に包含されることができる(例えば、任意のそのような間隔誤差は、ノズル速度の調節によって補正されることができる)。液滴864および866を生成するノズルのy軸曲げを判定するために、それぞれの軌道865および867は、同一のノズルの他の測定軌道を伴って効果的に逆描画され(または別様に数学的に適用され)、監視中の特定のノズルの平均y軸位置を識別するために使用される。本位置は、ノズル行曲げの証拠であり得る、そのようなノズルの予期される場所からオフセットされてもよい。   The scheme represented in measurement 863 can also be used to measure nozzle row bending. That is, as an example, it is assumed that droplets 864 and 866 originate from a common exact nozzle position, but the reverse trajectory is at the expected y-axis center of the droplet measurement region (ie, right to the drawing page). If not aligned (from left to right), the nozzle in question can be offset at its y-axis position relative to other nozzles in the same row or column. As suggested by previous discussions, such anomalies can lead to ideal drop firing deviations that can be taken into account when planning precise combinations of drops, i.e., preferably arbitrary Such row “bends” or individual nozzle offsets are stored and used as part of the print scan plan as previously discussed, and the printing system does not average the differences of each individual nozzle. Use it systematically. In an optional variation, the same technique can be used to determine irregular nozzle spacing along the x-axis, but for such embodiments, any such error is A droplet velocity deviation correction can be included (eg, any such spacing error can be corrected by adjusting the nozzle velocity). In order to determine the y-axis bend of the nozzles that generate droplets 864 and 866, each trajectory 865 and 867 is effectively back-drawn (or otherwise mathematically) with other measurement trajectories of the same nozzle. Applied) and used to identify the average y-axis position of the particular nozzle being monitored. This position may be offset from the expected location of such nozzles, which may be evidence of nozzle row bending.

前述のように、および本議論によって示唆されるように、一実施形態は、測定されている各パラメータについて、例えば、体積、速度、軌道、ノズル曲げ、および潜在的に他のパラメータについて、各ノズルの統計的分布を構築する(868)。これらの統計的プロセスの一部として、個々の測定が、却下され、または誤差を識別するために使用されることができる。いくつかの実施例を引用すると、測定が発射誤差を表し得る、同一のノズルの他の測定からある程度まで除去されている値を有する、液滴測定が得られる場合、1つの実装では、本システムは、統計的誤差パラメータを超える点まで逸脱するならば本測定を破棄する。液滴が全く見られない場合、これは、液滴測定システムが間違ったノズル(間違った位置)にあるか、または発射波形誤差を有する、もしくは監視中のノズルが動作不能であるという証拠であり得る。測定誤差取扱プロセス869は、必要に応じて任意の新しいまたは付加的な測定を行うことを含む、適切な調節を行うために採用される。数字870により、各測定は、有利なことには、記憶され、関連統計的分布を構築するために使用され、次いで、本システムは、測定誤差に対する十分なロバスト性が得られるまで、同一のノズルからの付加的な液滴の測定を行うようにループする。本ループ(871)は、n個の液滴が各ノズルまたは各ノズル・波形対合のために得られるまでの実施を示すと図8Cで見なされる。十分にロバストな分布が得られたとき、本システムは、所望の統計的パラメータ(例えば、平均、各尺度パラメータの標準分布)を計算(記憶)し、所定のノズルに割り当て(872)、任意の適切な誤差取扱プロセス873(ちょうど測定されたノズルを検証すること、またはそれもしくは関連波形を動作不能と見なすこと)を実行し、次いで、適宜に次の発射波形または次のノズルに進む(874)。つまり、所定のノズルまたはノズル・波形対合の測定分布が完了すると、システムソフトウェアは、測定される次のノズル(874、例えば、アドレスポインタによって更新される)を識別し、次いで、数字876により、適宜に液滴測定システムを移動させるように、または次の測定を行うように戻る。代替として、数字875により、時間が来て、本システムが製造ラインの一部として別の基板を印刷するように求められている場合、本システムは、(存在する場合)新たに調達されたデータに基づいて任意のスキャン動作を更新し、「次の」ノズルのアドレスを記憶し、基板印刷に戻る(875)。一実施形態では、そのような印刷動作が完了した後、予想される中断(または保守休止時間)中に、本システムは、記憶されたノズルアドレスおよび液滴測定の詳細を読み出し、それが中断されたところから継続する。   As mentioned above, and as suggested by this discussion, one embodiment provides for each nozzle for each parameter being measured, eg, for volume, velocity, trajectory, nozzle bending, and potentially other parameters. Is constructed (868). As part of these statistical processes, individual measurements can be rejected or used to identify errors. In some implementations, if one obtains a droplet measurement having a value that has been removed to some extent from other measurements of the same nozzle, the measurement may represent firing error, in one implementation, the system Discards this measurement if it deviates to a point exceeding the statistical error parameter. If no droplets are seen, this is evidence that the droplet measurement system is in the wrong nozzle (in the wrong position), has a firing waveform error, or the monitored nozzle is inoperable obtain. A measurement error handling process 869 is employed to make appropriate adjustments, including making any new or additional measurements as needed. By the number 870, each measurement is advantageously stored and used to build an associated statistical distribution, and the system then uses the same nozzle until sufficient robustness to measurement error is obtained. Loop to make additional drop measurements from. This loop (871) is considered in FIG. 8C to show the implementation until n droplets are obtained for each nozzle or each nozzle-waveform pair. When a sufficiently robust distribution is obtained, the system calculates (stores) the desired statistical parameters (eg, average, standard distribution of each scale parameter), assigns it to a given nozzle (872), and arbitrarily Perform an appropriate error handling process 873 (just verify the measured nozzle or consider it or the associated waveform inoperative) and then proceed to the next firing waveform or next nozzle as appropriate (874). . That is, once the measurement distribution for a given nozzle or nozzle-waveform pair is complete, the system software identifies the next nozzle to be measured (874, eg, updated by the address pointer), and then by the number 876 Return to move the drop measurement system as appropriate, or to take the next measurement. Alternatively, if the number 875 indicates that the time has come and the system is required to print another board as part of the production line, the system will use the newly acquired data (if any). The arbitrary scan operation is updated based on the above, the address of the “next” nozzle is stored, and the process returns to the substrate printing (875). In one embodiment, after such a printing operation is completed, during an expected interruption (or maintenance downtime), the system reads the stored nozzle address and droplet measurement details, which are interrupted. Continue from the beginning.

図8Cによって別個に呼び出されないが、描写された測定プロセスは、典型的には、各ノズルとともに使用するために利用可能な各代替波形に行われるであろうことに留意されたい。例えば、各ノズルが、選択され得る4つの異なる圧電駆動波形を有した場合、図8Cの内側プロセスループ871は、概して、4*n回繰り返され、特定の実装が、各波形の24個の液滴に基づく統計的分布の構築を求めた場合には、1つのノズルに96回のそのような測定(4つの波形のそれぞれに24回)があり得、各測定は、液滴速度、軌道、および体積のそれぞれ、ならびに(例えば、ノズル曲げを査定する目的で)推定ノズル位置の統計的平均および拡散尺度を生じるために使用される。   Note that although not separately invoked by FIG. 8C, the depicted measurement process will typically be performed on each alternative waveform available for use with each nozzle. For example, if each nozzle had four different piezoelectric drive waveforms that could be selected, the inner process loop 871 of FIG. When seeking to build a statistical distribution based on drops, there can be 96 such measurements per nozzle (24 for each of the four waveforms), each measurement being the drop velocity, trajectory, And volume respectively, and (for example, for purposes of assessing nozzle bending) are used to generate a statistical average and a diffusion measure of estimated nozzle positions.

図8Dは、ノズル適格性に関するフロー図を示す。一実施形態では、各ノズルに対する、および任意の所定のノズルに適用される各波形に対する、液滴量、速度、および軌道のいずれかおよび/またはそれぞれに対する、統計的モデル(例えば、分布および平均)を生じるように、液滴測定が行われる。したがって、例えば、12個のノズルのそれぞれに対する波形の2つの選択がある場合、最大24個の波形・ノズルの組み合わせまたは対合がある。一実施形態では、各パラメータ(例えば、体積)の測定が、ロバストな統計的モデルを発生させるために十分な各ノズルまたは波形・ノズル対合について行われる。計画にもかかわらず、所定のノズルまたはノズル・波形対合が、例外的に広い分布、または十分に異常であるため特別に処置されるべきである平均を生じ得ることが概念的に可能であることに留意されたい。適用されるそのような特別な処置は、一実施形態では、図8Dによって概念的に表される。   FIG. 8D shows a flow diagram for nozzle qualification. In one embodiment, a statistical model (eg, distribution and average) for each and / or each of drop volume, velocity, and trajectory for each nozzle and for each waveform applied to any given nozzle. Droplet measurements are taken to produce Thus, for example, if there are two selections of waveforms for each of the 12 nozzles, there are up to 24 waveform / nozzle combinations or pairs. In one embodiment, each parameter (eg, volume) measurement is made for each nozzle or waveform-nozzle pair sufficient to generate a robust statistical model. Despite planning, it is conceptually possible that a given nozzle or nozzle-waveform pairing can yield an exceptionally wide distribution, or an average that should be specially treated because it is sufficiently abnormal Please note that. Such special treatment applied is conceptually represented in FIG. 8D in one embodiment.

より詳細には、参照数字881を使用して、一般的な方法が表される。液滴測定デバイスによって生成されるデータは、後に使用するためにメモリ885に記憶される。方法881の適用中に、本データは、メモリから回収され、各ノズルまたはノズル・波形対合のデータは、抽出されて個別に処理される(883)。一実施形態では、正規無作為分布が、平均、標準偏差、および測定される液滴の数(n)によって表されるように、または同等の尺度を使用して、各変数が適格と見なされるために構築される。再度、他の分布形式(例えば、スチューデントのT、ポアソン等)が使用され得ることに留意されたい。測定されたパラメータは、関連液滴が実践で使用されることができるかどうかを判定するように、1つまたはそれを上回る範囲と比較される(887)。一実施形態では、使用から液滴を不適格と見なすように、少なくとも1つの範囲が適用される(例えば、液滴が所望の標的に対して十分に多いまたは少ない体積を有する場合には、そのノズルまたはノズル・波形対合は、短期間の使用から除外されることができる)。実施例を提供するために、10.00pLの液滴が所望される場合には、例えば、本標的から1.5%より多く離れた(例えば、<9.85pLまたは>10.15pL)液滴平均に結び付けられるノズルまたはノズル・波形が、使用から除外されることができる。また、もしくは代わりに、範囲、標準偏差、分散、または別の拡散尺度が使用されることができる。例えば、狭い分布(例えば、3σ<平均の1.005%)を伴う液滴の統計的モデルを有することが所望される場合には、本基準を満たさない測定値を伴う液滴は、除外されることができる。また、複数の要因を考慮する、精巧/複雑な基準のセットを使用することも可能である。例えば、非常に狭い拡散と組み合わせられた異常な平均が承認され得、例えば、測定された(例えば、異常な)平均μから離れた拡散(例えば、3σ)が1.005%以内である場合には、関連液滴が使用されることができる。例えば、10.00pL±0.1pL以内の3σ量を伴う液滴を使用することが所望される場合には、±0.8pLの3σ値を伴う9.96pL平均を生成するノズル・波形対合が除外され得るが、±0.3pLの3σ値を伴う9.93pL平均を生成するノズル・波形対合は、容認可能であり得る。明確に、任意の所望の拒否/異常基準(889)に従って、多くの可能性が可能である。同一のタイプの処理が、液滴あたりの飛行角度および速度に適用され得る、すなわち、ノズル・波形対合あたりの飛行角度および速度が、統計的分布を呈し、液滴測定デバイスから導出される測定および統計的モデルに応じて、いくつかの液滴が除外され得ることが期待されることに留意されたい。例えば、正規の5%外である平均速度または飛行軌道、もしくは特定の標的外の速度の分散を有する液滴が、仮定的に使用から除外されることができる。異なる範囲および/または評価基準が、記憶装置885によって測定および提供される各液滴パラメータに適用されることができる。   More particularly, reference numeral 881 is used to represent the general method. Data generated by the droplet measurement device is stored in memory 885 for later use. During application of method 881, this data is retrieved from memory and the data for each nozzle or nozzle-waveform pair is extracted and processed individually (883). In one embodiment, each variable is considered eligible such that a normal random distribution is represented by the mean, standard deviation, and number of droplets measured (n), or using an equivalent measure. Built for. Again, note that other distribution formats (eg, Student's T, Poisson, etc.) may be used. The measured parameter is compared to one or more ranges (887) to determine whether the relevant droplet can be used in practice. In one embodiment, at least one range is applied to consider the droplet ineligible from use (e.g., if the droplet has a volume that is sufficiently large or small for the desired target) Nozzles or nozzle-waveform pairs can be excluded from short-term use). To provide an example, if a 10.00 pL droplet is desired, for example, a droplet that is more than 1.5% away from the target (eg, <9.85 pL or> 10.15 pL) Nozzles or nozzle waveforms that are tied to the average can be excluded from use. Alternatively or alternatively, a range, standard deviation, variance, or another diffusion measure can be used. For example, if it is desired to have a statistical model of droplets with a narrow distribution (eg, 3σ <1.005% of the mean), droplets with measurements that do not meet this criterion are excluded. Can. It is also possible to use a sophisticated / complex set of criteria that takes into account multiple factors. For example, an abnormal average combined with a very narrow diffusion may be accepted, eg, if the diffusion (eg, 3σ) away from the measured (eg, abnormal) average μ is within 1.005% The relevant droplet can be used. For example, if it is desired to use a droplet with a 3σ amount within 10.00 pL ± 0.1 pL, nozzle-waveform pairing produces a 9.96 pL average with a 3σ value of ± 0.8 pL Can be excluded, but nozzle-waveform pairs that produce a 9.93 pL average with a 3σ value of ± 0.3 pL may be acceptable. Clearly, many possibilities are possible according to any desired rejection / abnormality criteria (889). The same type of processing can be applied to the flight angle and velocity per droplet, i.e. the measurement of the flight angle and velocity per nozzle-waveform pair exhibiting a statistical distribution and derived from a droplet measurement device. Note that depending on the statistical model, it is expected that some drops may be excluded. For example, droplets having an average velocity or flight trajectory that is outside of the normal 5%, or a velocity distribution that is outside a specific target can be hypothetically excluded from use. Different ranges and / or metrics can be applied to each droplet parameter measured and provided by the storage device 885.

拒否/異常基準889に応じて、液滴(およびノズル・波形の組み合わせ)が異なる様式で処理および/または処置され得ることに留意されたい。例えば、記述されるように、所望の規範を満たさない特定の液滴は、拒否されることができる(891)。代替として、特定のノズル・波形対合の次の測定反復のために付加的な測定を選択的に行うことが可能であり、実施例として、統計的分布が広すぎる場合、付加的な測定を通して統計的分布の緊密性を向上させるよう、特定のノズル・波形対合に付加的な測定を特別に行うことが可能である(例えば、分散および標準偏差は、測定されたデータ点の数に依存する)。数字893により、例えば、より高いまたは低い電圧レベルを使用するために(例えば、より大きいまたは小さい速度、もしくはより一貫した飛行角度を提供するために)、もしくは特定規範を満たす調整されたノズル・波形対合を生成するよう、波形を成形するために、ノズル駆動波形を調整することも可能である。数字894により、(例えば、特定のノズル・波形対合と関連付けられる異常な平均速度を補償するように)波形のタイミングも調節されることができる。(以前に示唆された)実施例として、他のノズルに対して早い時間に、遅い液滴が発射されることができ、より速い飛行時間を補償するように、速い液滴が後の時間に発射されることができる。多くのそのような代替案が、可能である。最終的に、数字895により、任意の調節されたパラメータ(例えば、発射時間、波形電圧レベルまたは形状)が記憶されることができ、随意に、所望であれば、調節されたパラメータは、1つまたはそれを上回る関連液滴を再測定するように適用されることができる。(修正された、または別様な)各ノズル・波形対合が適格と見なされた(合格した、または拒否された)後に、次いで、本方法は、数字897により、次のノズル・波形対合に進む。もう一度、特定の液滴詳細が、有利なことには、(少なくとも局所基準で)任意の変換された堆積パラメータの均質性を確実にするように、印刷格子発射命令を導出する際に考慮される。一実施形態では、ノズル詳細が、各格子点の変換計算の中へ加重される。別の実施形態では、異常液滴またはノズルに対応する格子点について行われる発射決定を抜粋、再分配、または別様に調節するために使用される第2のプロセスを用いて、印刷格子点発射決定が、(上記で議論されるような)変換されたテンプレート印刷イメージ重複に依存する加重基準で行われる。換言すると、ノズル発射決定は、第1の変換プロセスで行われることができ、次いで、第2の誤差補正プロセスは、ノズルまたは液滴詳細を考慮するように適用されることができる。他の代替案も、可能である。   Note that depending on the rejection / abnormality criteria 889, the droplets (and nozzle / waveform combinations) may be treated and / or treated differently. For example, as described, certain droplets that do not meet the desired norm can be rejected (891). Alternatively, additional measurements can be selectively performed for the next measurement iteration for a particular nozzle / waveform pair, and as an example, if the statistical distribution is too wide, through additional measurements Special measurements can be made for specific nozzle / waveform pairs to improve the tightness of the statistical distribution (eg, variance and standard deviation depend on the number of data points measured) To do). The number 893, for example, to use a higher or lower voltage level (eg, to provide a higher or lower speed, or a more consistent flight angle), or a tuned nozzle waveform that meets specific criteria It is also possible to adjust the nozzle drive waveform to shape the waveform to produce a pair. The number 894 can also adjust the timing of the waveform (eg, to compensate for the abnormal average velocity associated with a particular nozzle / waveform pairing). As an example (previously suggested), a slow drop can be fired at an early time relative to other nozzles, and a fast drop at a later time so as to compensate for a faster flight time. Can be fired. Many such alternatives are possible. Finally, the number 895 allows any adjusted parameter (eg, firing time, waveform voltage level or shape) to be stored, optionally one adjusted parameter if desired. Or it can be applied to re-measure related drops above it. After each nozzle-waveform pair (modified or otherwise) is deemed eligible (passed or rejected), the method then proceeds to the next nozzle-waveform pair by the numeral 897. Proceed to Once again, specific droplet details are advantageously considered in deriving the print grid firing instructions to ensure the homogeneity of any transformed deposition parameters (at least on a local basis). . In one embodiment, nozzle details are weighted into the transformation calculation for each grid point. In another embodiment, a printed grid spot firing is used with a second process used to extract, redistribute, or otherwise adjust firing decisions made for grid points corresponding to abnormal droplets or nozzles. The decision is made on a weighted criterion that depends on the duplicate template print image overlap (as discussed above). In other words, the nozzle firing decision can be made in the first conversion process, and then the second error correction process can be applied to take into account nozzle or droplet details. Other alternatives are possible.

精密機械的システムおよび液滴測定システム整合技法の使用を通して、開示される方法は、記述されたパラメータ(例えば、体積、速度、軌道、ノズル位置、液滴降着位置、ノズル曲げ、および他のパラメータ)のそれぞれの平均液滴測定基準を含む、個々のノズル特性の非常に高精度の測定を可能にする。理解されるはずであるように、記述された技法は、製造プロセス、特に、OLEDデバイス製造プロセスにおける高度な一様性、したがって、増進した信頼性を促進する。特に、液滴測定の速度、他のシステムプロセスに対するそのような測定の積み重ね、および整合誤差補正プロセスの組み込みに関して、制御効率を提供することによって、上記で提示される教示は、製作プロセスにおいて融通性および精度の両方を提供するように設計される、より高速で安価な製造プロセスを提供することに役立つ。   Through the use of precision mechanical systems and droplet measurement system alignment techniques, the disclosed methods are described parameters (eg, volume, velocity, trajectory, nozzle position, droplet deposition position, nozzle bending, and other parameters). Enables very precise measurement of individual nozzle characteristics, including the respective average droplet metrics. As should be appreciated, the described techniques facilitate a high degree of uniformity in the manufacturing process, particularly the OLED device manufacturing process, and thus increased reliability. In particular, the teachings presented above are flexible in the fabrication process by providing control efficiency with respect to the speed of droplet measurements, the stacking of such measurements on other system processes, and the incorporation of alignment error correction processes. It helps to provide a faster and cheaper manufacturing process that is designed to provide both accuracy and precision.

図9A−9Cは、もう一度、基板上の1つまたはそれを上回るフラットパネルの実施例を挙げる、製品アレイのための例示的実行時印刷プロセスを図示するために使用される。   FIGS. 9A-9C are used to illustrate an exemplary runtime printing process for a product array, again giving examples of one or more flat panels on a substrate.

図9Aは、個々のパネル製品を表す、いくつかの鎖線のボックスを伴って、基板901を描写する。図の左下で見られる、1つのそのような製品は、参照数字902を使用して指定される。(一連の基板の中の)各基板は、一実施形態では、数字903によって表されるようないくつかの整合マークを有する。一実施形態では、2つのそのようなマーク903が、全体として基板に使用され、基板位置オフセット、回転誤差、およびスケール誤差の調節を可能にし、別の実施形態では、3つまたはそれを上回るそのようなマーク903が、傾斜誤差の調節を促進するために使用される。さらに別の実施形態では、各パネル(4枚の描写されたパネルのうちのいずれか等)が、マーク905等のパネル毎の整合マークを伴う。これらの整合マークは、パネルにつき、または製品につき、独立した誤差処理を行うために使用されることができる。もう一度、十分な数または密度のそのようなマーク(例えば、パネルもしくは他の製品につき3つまたはそれを上回る)が、非線形誤差の補償を可能にする。基板基準903に加えて、またはその代わりに、これらのマークがあり得る。さらに別の実施形態では、整合マークは、(例えば、卵形909によって表されるような)パネル位置に関係なく規則的間隔で複製される。どちらの方式が使用されても、1つまたはそれを上回るカメラ906が、上記で参照される誤差を検出するために、整合マークを撮像するように使用される。1つの考慮される実施形態では、単一の静止カメラが使用され、プリンタの輸送機構(例えば、ハンドラおよび/または空気浮動機構)が、単一のカメラの視野内で各整合マークを順に位置付けるように基板を移動させる。異なる実施形態では、カメラは、基板に対して輸送するために運動システム上に搭載される。さらに別の実施形態では、以下で議論されるように、低または高倍率画像であって、高解像度拡大のための基準を粗く位置付ける低倍率画像、およびプリンタ座標系に従って精密な基準位置を識別する高倍率画像が撮影される。以前の議論を熟考して、一実施形態では、プリンタの輸送機構は、意図された位置の約1ミクロン以内まで運動を制御し、したがって、本システムは、ソフトウェアにおいて位置を精密に追跡することができ、プリンタベースまたは基板ベースの座標系に対して誤差を計算することができる。   FIG. 9A depicts a substrate 901 with a number of dashed boxes representing individual panel products. One such product, found in the lower left of the figure, is designated using reference numeral 902. Each substrate (in a series of substrates) has a number of alignment marks, as represented by numeral 903, in one embodiment. In one embodiment, two such marks 903 are used on the substrate as a whole, allowing adjustment of substrate position offset, rotation error, and scale error, and in another embodiment, three or more of that Such a mark 903 is used to facilitate adjustment of the tilt error. In yet another embodiment, each panel (such as any of the four depicted panels) is accompanied by a per-panel alignment mark, such as mark 905. These alignment marks can be used to perform independent error handling per panel or per product. Once again, a sufficient number or density of such marks (eg, 3 or more per panel or other product) allows for compensation of non-linear errors. There may be these marks in addition to or instead of the substrate reference 903. In yet another embodiment, the alignment marks are replicated at regular intervals regardless of panel position (eg, as represented by oval 909). Whichever scheme is used, one or more cameras 906 are used to image the alignment marks to detect the errors referenced above. In one contemplated embodiment, a single stationary camera is used so that the printer transport mechanism (eg, handler and / or air floating mechanism) positions each alignment mark in turn within the field of view of the single camera. Move the substrate. In different embodiments, the camera is mounted on the motion system for transport relative to the substrate. In yet another embodiment, as discussed below, a low or high magnification image that identifies coarse reference positions according to a printer coordinate system and a low magnification image that coarsely positions a reference for high resolution magnification A high-magnification image is taken. In light of the previous discussion, in one embodiment, the printer transport mechanism controls movement to within about 1 micron of the intended position, so the system can accurately track the position in software. The error can be calculated for a printer-based or substrate-based coordinate system.

典型的実装では、印刷は、一度に基板全体の上に所定の材料層を堆積させるように(すなわち、複数の製品のための層を提供する単一の印刷プロセスを用いて)行われるであろう。これを例証するために、図9Aは、基板の長軸に沿ったプリントヘッドの2つの例証的スキャン907および908を示し、分割軸プリンタでは、基板は、典型的には、スキャンの間にプリントヘッドを位置的に(すなわち、図面ページに対して垂直方向に)前進させるプリンタを伴って、前後に(例えば、描写された矢印の方向に)移動させられる。スキャン経路は線形として描写されているが、これはいかなる実施形態でも必要とされないことに留意されたい。また、スキャン経路(例えば、907および908)は、被覆領域に関して隣接し、相互排他的として図示されているが、これもいかなる実施形態でも必要とされない(例えば、プリントヘッドは、必要に応じて印刷帯状部分に対して部分的基準で適用されることができる)。最終的に、また、任意の所定のスキャン経路が、典型的には、1回の通過で複数の製品のための層を印刷するように、基板の印刷可能な全長を通り越すことに留意されたい。各通過は、(歪曲または補正されるような)印刷イメージに従ってノズル発射決定を使用し、各発射決定は、所望の液滴体積、軌道、および速度を生じるように、選択されプログラムされた波形を印加する。有利なことには、(以前に紹介されたような)プリンタに内蔵されたプロセッサは、ノズル/液滴測定ならびにパラメータの適格化および更新の両方、基板毎またはパネル毎の詳細の検出、テンプレートの補正、および2値ノズル発射決定(例えば、図5Bからの「トリガ(発射)」信号を参照)と関連して使用されるであろうノズル発射データ(例えば、図5Bからの「データ」および「駆動波形ID」を参照)のプログラミングを行う。いったん印刷が終了すると、次いで、基板および湿潤インク(すなわち、堆積液体)が、永久層の中への堆積液体の硬化または処理のために輸送されることができる。例えば、簡潔に図6Bの議論に戻って、基板は、全て制御された雰囲気(すなわち、有利なことには、湿気、酸素、または粒子状物質汚染を阻止するために使用される)を壊すことなく、印刷モジュール625の中で適用される「インク」を有し、次いで、硬化チャンバ641に輸送されることができる。   In a typical implementation, printing is performed to deposit a given layer of material over the entire substrate at once (ie, using a single printing process that provides layers for multiple products). Let's go. To illustrate this, FIG. 9A shows two illustrative scans 907 and 908 of the printhead along the long axis of the substrate, and in a split axis printer, the substrate is typically printed during the scan. It is moved back and forth (eg, in the direction of the depicted arrow) with a printer that advances the head positionally (ie, perpendicular to the drawing page). Note that although the scan path is depicted as linear, this is not required in any embodiment. Also, although the scan paths (eg, 907 and 908) are illustrated as adjacent and mutually exclusive with respect to the coverage area, this is also not required in any embodiment (eg, the printhead can print as needed). Can be applied on a partial basis to the band). Note that, ultimately, any given scan path typically passes through the entire printable length of the substrate, so as to print layers for multiple products in a single pass. . Each pass uses a nozzle firing decision according to the printed image (as distorted or corrected), and each firing decision has a selected and programmed waveform to produce the desired droplet volume, trajectory, and velocity. Apply. Advantageously, the processor built into the printer (as previously introduced) allows both nozzle / droplet measurement and parameter qualification and update, detection of details per substrate or per panel, template Nozzle firing data (eg, “data” and “from FIG. 5B” that will be used in connection with corrections and binary nozzle firing decisions (see, eg, the “trigger” signal from FIG. 5B). (See “Drive Waveform ID”). Once printing is complete, the substrate and wet ink (ie, deposition liquid) can then be transported for curing or processing of the deposition liquid into the permanent layer. For example, briefly returning to the discussion of FIG. 6B, the substrate breaks the all controlled atmosphere (ie, advantageously used to prevent moisture, oxygen, or particulate contamination). Without having the “ink” applied in the printing module 625, it can then be transported to the curing chamber 641.

図9Bは、再度、フラットパネルデバイス製作の実施例を使用して、製造動作のための1つの整合および検出プロセス911を図示する。多くの代替プロセスが可能であり、図9Bが実施例のみを提供することに留意されたい。本プロセスは、最初に、新しい基板が大まかに機械的に整合させられ、次いで、整合マークが光学的に測定され、最終的に、ソフトウェアプロセスが微細(仮想)整合を補正する、3部動作方法を使用する。新しい基板が装填されるとき、ロボットが最初に、基板を真空グリッパまで前進させるために使用されるプリンタリフトピン上に基板を配置する。グリッパは、空気浮動式テーブルによって支持されている間に基板を移動させ、基板は、大まかに整合させられ、光学測定のために(すなわち、基準の場所を特定するように)定位置にある、位置まで前進させられる。本システムは、カメラ制御システム(または他の撮像デバイス)が、基準の存在が予期される領域を撮像するために必要に応じて作動および/または起動されるように、粗い基板詳細のためにプログラムされることに留意されたい。第1に、低倍率画像が捕捉され、基板が再配置され、その後に、基準位置を精密に検出するために、より高い倍率の画像が使用される。光学測定のいずれか一方の段階中に、検索プロセス(例えば、螺旋)が、適宜に各基準を見出すために使用される。次いで、本システムは続いて、例えば、適宜に基板の精密な位置、配向、傾斜、および/またはスケールを識別することに役立つように、第2の基準(ならびに/もしくは適宜により大きい次数の基準)を測定する。前述のように、本プロセスはまた、関連誤差補正プロセスにとって適切な解像度で位置/歪曲情報を得るよう、パネル毎の基準で、または実際にありとあらゆる基準に、適用されることもできる。検出された基準パラメータ(位置、サイズ、形状、回転、傾斜、または関連基準参照点等)は、誤差を検出するように、そのような基準の予期されるパラメータと比較されることができる。記述されるように、任意の検出された誤差は、平行移動、回転、スケーリング、または傾斜誤差のうちの1つまたはそれを上回るもの、もしくは複数のそのような誤差の重畳を伴い得る。検出された誤差に基づいて、印刷が「適切な場所」にあるように任意の誤差を補正する、プリンタ制御データが構築される。図の右側で記述されるように、整合マーク判定に基づいて、システムソフトウェアは、テンプレート上の動作によって誤差を補正する。前述のように、テンプレートは、読み出され、次いで、本テンプレートのインスタンスは、前述の誤差補正プロセス(または別の同等プロセス)を介して適宜にノズル発射決定を生成するように、適宜に操作(レンダリング)される。その後、印刷が行われる。   FIG. 9B again illustrates one alignment and detection process 911 for manufacturing operations, using an example of flat panel device fabrication. Note that many alternative processes are possible, and FIG. 9B provides an example only. The process is a three-part operation method in which a new substrate is first roughly mechanically aligned, then the alignment mark is optically measured, and finally the software process corrects the fine (virtual) alignment. Is used. When a new substrate is loaded, the robot first places the substrate on printer lift pins that are used to advance the substrate to the vacuum gripper. The gripper moves the substrate while being supported by the air floating table, and the substrate is roughly aligned and in place for optical measurements (ie, to identify a reference location) Advances to position. The system is programmed for coarse substrate details so that a camera control system (or other imaging device) is activated and / or activated as needed to image areas where the presence of a reference is expected. Note that this is done. First, a low magnification image is captured, the substrate is repositioned, and then a higher magnification image is used to accurately detect the reference position. During either phase of the optical measurement, a search process (eg, a helix) is used to find each criterion as appropriate. The system then continues with a second criterion (and / or an appropriately higher order criterion, for example) to help identify the precise position, orientation, tilt, and / or scale of the substrate, as appropriate. Measure. As described above, the process can also be applied on a panel-by-panel basis or in fact to any and all standards to obtain position / distortion information at the appropriate resolution for the associated error correction process. The detected reference parameters (such as position, size, shape, rotation, tilt, or related reference reference points) can be compared with the expected parameters of such a reference to detect errors. As described, any detected error may involve one or more of translation, rotation, scaling, or tilt errors, or a superposition of a plurality of such errors. Based on the detected error, printer control data is constructed that corrects any error so that the print is in the “right place”. As described on the right side of the figure, based on the alignment mark determination, the system software corrects the error by an action on the template. As described above, the template is read out, and then an instance of the template is appropriately manipulated to generate an appropriate nozzle firing decision via the error correction process described above (or another equivalent process) ( Rendered). Thereafter, printing is performed.

図9Cは、ソフトウェアにおける基板誤差補正について議論するために使用される、例証的略図を提供する。概して、数字921によって表される、一実施形態では、例えば、基板またはパネルレシピ、もしくは両方に従って、印刷される層を表すデータが、最初に読み出される(923)。数字925によって記述されるように、本情報は、典型的には、テンプレートとして維持され、データのコピーまたは「インスタンス」が読み出され、誤差に適合され、プリンタに送信され、次いで、(すなわち、次の基板のプロセス中に以前の基板処理からのデータ汚染を回避するように)破棄される。これらのプロセスは、図9Cで様々に表される。   FIG. 9C provides an illustrative schematic that is used to discuss substrate error correction in software. In one embodiment, generally represented by numeral 921, data representing a layer to be printed is first read (923), eg, according to a substrate or panel recipe, or both. As described by the numeral 925, this information is typically maintained as a template, a copy or “instance” of the data is read, fitted to the error, sent to the printer, and then (ie, Discarded during next substrate process (to avoid data contamination from previous substrate processing). These processes are variously represented in FIG. 9C.

テンプレートのコピーが手元にあると、数字927により、本システムは、基板幾何学形状を検出する。数字928−932によって記述されるように、検出プロセスは、一度(例えば、印刷が開始する前に、または新しい基板が装填されると)、断続的に(例えば、印刷プロセスが中断されることができ、または基準捕捉が、基板の複数の細分のそれぞれについて、例えば、各パネルについて起こることができる)行われることができ、繰り返されることができ、または連続基準で行われることができる。数字931によって詳細に記述されるように、一実施形態では、複数の異なる基準が、異なるタイプの線形および非線形誤差の検出ならびに補正を可能にするために使用される。いったん誤差が検出されると、次いで、数字935により、本システムは、変換を計算する。例えば、一実施形態では、誤差が基板にわたって線形であるため、単純な一次方程式が導出され、プリンタ制御データを生成するために、キャッシュされたテンプレートをレンダリングするように使用される。他の実施形態では、誤差は、不連続的である様式で(例えば、領域に従って)、またはある他の様式で、二次方程式もしくは他の多項式によってモデル化されることができる。並列処理実施形態では、マスタまたは監視プロセッサが、本判定を行い、次いで、処理を離散コアもしくはプロセッサに割り当てる。数字937により、次いで、本システムは続いて、修正する、および/またはノズル発射決定を割り当てて誤差を軽減するために使用する、テンプレートの読み出されたインスタンスから関連データを見出す。数字938−941により、以前に議論されたように、テンプレートがノズル発射データのビットマップの形態を成す実施形態では、本システムは、テンプレート内の誤差ベクトル位置に「最も近い」ピクセルへの誤差適合、テンプレートからの複数のピクセルの加重尺度を、またはある他の様式で、基礎とすることができる。数字940により、新しい発射決定を得るために印刷格子点の「タイル」上で行列演算を本質的に行うプロセスを用いて、アフィン変換が適用されることができる。例えば、そのような変換は、真の基板位置(および配向、傾斜等)に対応する「変換された空間」のデータを得るように、オフセット、回転、および他の要因によってテンプレートデータを加重することができる。数字941により、他のプロセスも行われることができる。ノズル割当が行われると、次いで、本システムはまた、随意に、基板の離散領域の充填またはインク密度誤差を是正するために、位置補償後処理を呼び出すこともできる。いくつかのオプションおよびタイプの処理が、図9Cで表される(これらはまた、概して、図10A−Eに関連して以下で議論されるであろう)。例えば、数字951は、印刷格子953によって重ね合わせられ、数字954によって示される特定の節点または液滴位置を伴う、OLEDディスプレイパネルの光生成要素を保持し得る、仮説的流体ウェルを図示する。位置誤差が、ウェル951の境界内で多すぎるか、または少なすぎる液滴をもたらす場合、アンチエイリアス処理プロセスが、ウェル内に収まるであろう液滴の数をチェックするように適用されることができる。例えば、印刷格子の回転が、テンプレートによって表される液滴密度を与えられる、ウェル内に収まるであろう液滴の数を変化させる可能性があり、アンチエイリアス処理プロセスは、本問題を検出し、正しい数および/または体積の液滴がウェル内に堆積させられるように、位置補償プロセスからノズル割当を修正する(945)。数字946−948を介して図の右側で示されるように、液滴詳細および/またはノズル検証も、本プロセスの考慮に入れられることができる。例えば、節点954の液滴が、位置誤差を示す液滴パラメータを記憶している(例えば、予期される発射軌道が、液滴を描写された流体ウェルの外側に降着されるであろう、誤差α、βを有する)場合、本問題はまた、どれが必要充填パラメータを満たすよう発射決定を変更したはずであるかを判定するように、ウェル内に収まる他の「節点」の詳細を検討する、ソフトウェアによって、補正されることもできる(945)。同様に、検証プロセスが使用され、発射決定が位置補償プロセスによって動作不能(または不適格と見なされた)ノズルに割り当てられる場合、本問題は、ソフトウェアによって検出されて補正されることができる(945)。前述のように、なおも別の実施形態では、液滴パラメータは、原位置で測定され、変化する条件を考慮するロバストな現在のデータセットを提供するように、周期的に更新されることができる。一般的に言えば、ステップ945は、液体送達が堆積のための必要詳細を満たすであろうことを確実にするように、重点およびエイリアシング誤差を補正する。プロセス955により検出される、対処または考慮されることができない誤差がある場合には、例外取扱ルーチン(957)が、典型的には、問題になっている誤差に対処するよう、またはデータを新たにレンダリングするよう、スキャン経路を調節もしくは再計算するために呼び出される。次いで、誤差が完全に軽減された場合には、数字959により、出力データが適宜に記憶され、および/またはプリンタならびにプリントヘッドに送信される。一実施形態では、システムソフトウェアはさらに、基板の間で相関する繰り返しの誤差を検出し、次いで、随意に、反復可能誤差を「学習」し、テンプレートをその誤差に適合させるように、(すなわち、961により)キャッシュされたテンプレートを更新できることに留意されたい。例えば、その運動における特定の位置で、または特定のな位置に対して、基板をわずかに「揺らぎ」させる、基板のためのシステム縁ガイドの意図されていない突出によって、位置誤差が所定のシステムで引き起こされる可能性がある。これらおよび他の反復可能誤差は、本システムによって学習され、ジョブ毎の誤差処理を低減させるために使用されることができる。本技法はさらに、図10Eに関連して以下で議論されるであろう。   With a copy of the template at hand, the system detects the substrate geometry by the numeral 927. As described by the numbers 928-932, the detection process may be interrupted once (eg, before printing begins or when a new substrate is loaded) (eg, the printing process may be interrupted). Or reference capture can be performed for each of a plurality of subdivisions of the substrate, for example, for each panel), can be repeated, or can be performed on a continuous basis. As described in detail by numeral 931, in one embodiment, a plurality of different criteria are used to allow detection and correction of different types of linear and non-linear errors. Once an error is detected, then by the number 935, the system calculates a transformation. For example, in one embodiment, because the error is linear across the board, a simple linear equation is derived and used to render the cached template to generate printer control data. In other embodiments, the error can be modeled by a quadratic equation or other polynomials in a manner that is discontinuous (eg, according to a region) or in some other manner. In a parallel processing embodiment, a master or supervisory processor makes this determination and then assigns processing to a discrete core or processor. The numeral 937 then causes the system to subsequently find relevant data from the read instance of the template that it uses to correct and / or assign nozzle firing decisions to mitigate errors. In the embodiment where the template is in the form of a bitmap of nozzle firing data, as previously discussed by the numbers 938-941, the system will fit the error to the pixel “closest” to the error vector position in the template. A weighted measure of multiple pixels from the template or in some other manner can be the basis. The numeral 940 allows an affine transformation to be applied using a process that essentially performs a matrix operation on the “tile” of printed grid points to obtain a new launch decision. For example, such transformations may weight template data by offset, rotation, and other factors to obtain “transformed space” data corresponding to true substrate position (and orientation, tilt, etc.) Can do. Other processes can also be performed with the number 941. Once nozzle assignment has been made, the system can then optionally also invoke post-position compensation processing to correct for discrete area filling or ink density errors on the substrate. Several options and types of processing are represented in FIG. 9C (which will also generally be discussed below in connection with FIGS. 10A-E). For example, the numeral 951 illustrates a hypothetical fluid well that can hold a light generating element of an OLED display panel with a particular node or droplet position indicated by the numeral 954, overlaid by a printed grid 953. If the position error results in too many or too few drops within the boundaries of the well 951, an anti-aliasing process can be applied to check the number of drops that will fit in the well. . For example, rotation of the printing grid can change the number of droplets that will fit in the well given the droplet density represented by the template, and the anti-aliasing process will detect this problem, The nozzle assignment is modified (945) from the position compensation process so that the correct number and / or volume of droplets is deposited in the well. Droplet details and / or nozzle verification can also be taken into account for the process, as shown on the right side of the figure via the numbers 946-948. For example, a droplet at node 954 stores a droplet parameter that indicates a position error (eg, the error that an expected firing trajectory would accrete outside the fluid well delineated by the droplet) the problem also considers the details of other “nodes” that fit within the well to determine which should have changed the firing decision to meet the required filling parameters It can also be corrected by software (945). Similarly, if a validation process is used and a firing decision is assigned to an inoperable (or deemed ineligible) nozzle by the position compensation process, the problem can be detected and corrected by the software (945). ). As mentioned above, in yet another embodiment, droplet parameters are measured in situ and periodically updated to provide a robust current data set that takes into account changing conditions. it can. Generally speaking, step 945 corrects for emphasis and aliasing errors to ensure that the liquid delivery will meet the necessary details for deposition. If there are errors detected by process 955 that cannot be handled or taken into account, exception handling routines (957) typically deal with the error in question or refresh the data. Called to adjust or recalculate the scan path to render. Then, if the error is completely mitigated, the output data is stored as appropriate and / or transmitted to the printer and printhead by the numeral 959. In one embodiment, the system software further detects a repetitive error that correlates between the substrates, and then optionally “learns” the repeatable error and adapts the template to that error (ie, Note that the cached template can be updated (by 961). For example, an unintended protrusion of the system edge guide for the substrate that slightly “fluctuates” the substrate at or with respect to a particular position in its motion can cause position errors in a given system. It can be caused. These and other repeatable errors can be learned by the system and used to reduce job-by-job error handling. This technique will be further discussed below in connection with FIG. 10E.

図10A−10Eは、すなわち、ノズル発射決定の割当において、印刷格子の特定の節点のための液滴詳細の調節において、および/または位置補償後プロセスとして、様々に適用され得る、異なるタイプの誤差補償技法を示すために使用される。   FIGS. 10A-10E show different types of errors that can be applied differently, ie, in assigning nozzle firing decisions, in adjusting droplet details for a particular node of a printing grid, and / or as a post-position compensation process. Used to indicate compensation technique.

より詳細には、図10Aは、領域中の液滴割当および/または液滴調節に関するフローチャート1001を示す。例えば、そのような技法は、局所的基準で(すなわち、較正された厚さでブランケット被覆を提供するように拡散し得る、流体を堆積させるように)ハーフトーニングに、または(例えば、図9Cに関連して上記で議論されるように)流体ウェル内の総充填に適用されることができる。本方法は、第1に、数字1003により、問題になっている領域またはウェルを識別し、所望の数の液滴または所望の充填体積を識別する。次いで、数字1005により、本システムは、各ノズルおよび/またはノズル駆動波形の液滴パラメータの統計的平均ならびに分散を読み出す。本データは、ある程度の信頼を伴って予期される液滴パラメータの理解を提供する。パラメータv、α、およびβによって表されるように、一実施形態では、本システムは、メモリから、予期される液滴体積および予期される2次元液滴降着位置を表すパラメータ、ならびにこれらのパラメータの分散を読み出すことに留意されたい。次いで、システムソフトウェアは続いて、予期されるインク密度(または総体積)が所定の閾値を満たすかどうかを判定するように、充填を模倣する。一実施形態では、本システムは、単純に、所定の閾値を満たすために必要とされる液滴の適格な組み合わせを判定し、次いで、(すなわち、プリントヘッドによって横断されるスキャン帯状部分内の複数の領域にこれを同時に行う能力を最適化する様式で)これらの適格な組み合わせのうちの1つを選択する。別の実施形態では、本システムは、単純に、いくつかの液滴を選択し、次いで、液滴の組み合わせが所定の閾値外の結果を生じると予期されるであろう場合に、その組み合わせを事後調節する。数字1006、1007、および1008により、本システムは、一実施形態では、所定のノズルのために異なる駆動波形(例えば、以前に説明されたような16個の事前プログラムされた波形のうちの1つ)を選択することができ、または異なるノズルを選択し、もしくは特定のノズルが利用可能であるかどうかを確認するようにチェックすることができる。数字1009により、本システムは、必要に応じて(駆動波形選択情報を含む)ノズル割当を調節し、次いで、印刷プロセスは、再度、誤差について精査される(1011、例えば、所定のスキャン経路およびスキャンの数の好適性)。誤差がある場合、本システムは、所定のスキャン経路のためにプリントヘッドオフセットを調節し(1012)、および/またはスキャンの数を調節することができる(1013)。誤差がない場合、本方法が終了し(1014)、割り当てられたデータが以前に議論されたようにプリンタに出力される。   More specifically, FIG. 10A shows a flowchart 1001 for droplet allocation and / or droplet adjustment in a region. For example, such techniques can be applied to a halftoning on a local basis (ie, to deposit a fluid that can diffuse to provide a blanket coating with a calibrated thickness), or (eg, to FIG. 9C Can be applied to the total filling in the fluid wells (as discussed above in relation). The method first identifies the region or well in question by the numeral 1003 and identifies the desired number of drops or the desired fill volume. The number 1005 then causes the system to read the statistical mean and variance of the droplet parameters for each nozzle and / or nozzle drive waveform. This data provides an understanding of the expected droplet parameters with some confidence. As represented by the parameters v, α, and β, in one embodiment, the system includes from memory a parameter that represents an expected droplet volume and an expected two-dimensional droplet accretion location, and these parameters. Note that the variance of The system software then continues to mimic filling to determine whether the expected ink density (or total volume) meets a predetermined threshold. In one embodiment, the system simply determines an eligible combination of droplets needed to meet a predetermined threshold and then (ie, a plurality within a scan band traversed by the printhead) Select one of these eligible combinations (in a manner that optimizes the ability to do this simultaneously for the region). In another embodiment, the system simply selects a number of droplets and then selects the combination if the combination of droplets would be expected to produce a result outside a predetermined threshold. Adjust after the fact. By the numbers 1006, 1007, and 1008, the system, in one embodiment, may have different drive waveforms for a given nozzle (eg, one of 16 pre-programmed waveforms as previously described). ) Can be selected, or a different nozzle can be selected, or a check can be made to see if a particular nozzle is available. With the number 1009, the system adjusts the nozzle assignment (including drive waveform selection information) as necessary, and then the printing process is again scrutinized for errors (1011, eg, predetermined scan path and scan). Of number). If there is an error, the system can adjust the printhead offset for a given scan path (1012) and / or adjust the number of scans (1013). If there is no error, the method ends (1014) and the assigned data is output to the printer as previously discussed.

図10Bは、今回は誤差補正後ステップとして、テンプレート調節に関する別のフローチャート1021を提供する。数字1023により、N個の領域または流体ウェルに関して、システムソフトウェアは続いて、例えば、検出された誤差データに基づいて、ウェル位置を識別する。ステップ1025では、ソフトウェアが、着目領域内に収まる印刷格子節点の発射決定を読み出し、各そのようなパラメータの平均(μ)および標準偏差または他の拡散尺度(例えば、σ)を読み出す(1026)。領域の総体積または体積分布のシミューレション(1027)に続いて、数字1029および1031により、次いで、本システムは、本体積もしくは分布が、所定の閾値、例えば、最小閾値(Th1)および最大閾値(Th2)に一致するかどうかを判定する。体積または分布が所定の閾値に一致しない場合には、システムソフトウェアは続いて、体積または分布が所定の閾値に一致するまで、数字1033、1035、および1036によって示されるように、液滴ならびに/もしくは波形割当を調節する。一実施形態では、複数の波形が各ノズルに利用可能であり、液滴体積の意図的変動を生じるように事前に選択されている場合、単純に新しい発射波形を特定の印刷格子節点に割り当てることによって、スキャン経路を変更することなく、誤差が補償されることができる。本波形が同一のプリントヘッドノズルのための別の発射決定と異なる場合には、ノズル発射の間に特定のノズルのために異なる「デフォルト」波形(すなわち、図5Bで描写される「トリガ(発射)」信号を参照)の選択をスケジュールに入れることは本システム次第である。次いで、数字1037により、本システムは、適宜に関連ノズルデータを保存する。随意のプロセスブロック1039によって記述されるように、特定のノズルのためにプログラムされている好適な波形がない場合、一実施形態では、本システムは、所定のノズルから取得可能な発射詳細を改善しようとして、この時に波形を追加し、または選択された波形を再プログラムすることができる。   FIG. 10B provides another flowchart 1021 regarding template adjustment, this time as a step after error correction. By the number 1023, for N regions or fluid wells, the system software subsequently identifies the well location, for example, based on detected error data. In step 1025, the software reads the firing decision of the printed grid nodes that fall within the region of interest and reads the mean (μ) and standard deviation or other diffusion measure (eg, σ) of each such parameter (1026). Following the simulation (1027) of the total volume or volume distribution of the region, by the numbers 1029 and 1031, the system then determines that the volume or distribution has a predetermined threshold, eg, a minimum threshold (Th1) and a maximum threshold. It is determined whether it matches (Th2). If the volume or distribution does not match the predetermined threshold, the system software continues to drop and / or as indicated by the numbers 1033, 1035, and 1036 until the volume or distribution matches the predetermined threshold. Adjust waveform assignment. In one embodiment, if multiple waveforms are available for each nozzle and are pre-selected to produce intentional variations in droplet volume, simply assign a new firing waveform to a particular printed grid node. Thus, the error can be compensated without changing the scan path. If this waveform is different from another firing decision for the same printhead nozzle, a different “default” waveform for a particular nozzle during nozzle firing (ie, “trigger (firing) depicted in FIG. 5B It is up to the system to schedule the selection) The number 1037 then causes the system to save relevant nozzle data as appropriate. If there is no suitable waveform programmed for a particular nozzle, as described by optional process block 1039, in one embodiment, the system will attempt to improve the firing details obtainable from a given nozzle. At this time, the waveform can be added or the selected waveform can be reprogrammed.

図10Cは、ノズル/波形データが、基板またはパネル誤差に対処するようにテンプレートのインスタンスのレンダリングの考慮に入れられる、プロセスのフローチャート1041を示す。より詳細には、数字1043−1047によって示されるように、本システムは、ビットマップ(例えば、ビットマップ形態のテンプレート)に対応するノズル駆動詳細を読み出すことができる。例えば、再度、新しい印刷格子節点発射割当が、テンプレートに対応する4つの印刷ピクセルの加重平均に基づく、実施例を使用して、4つの割り当てられたノズルが、それぞれ、10.00、10.50、10.00、および10.20pL液滴を生成すると予期された場合には、本情報は、ノズルまたはノズル波形のいずれか一方を選択して、誤整合基板上に液滴を堆積させるために、考慮されて使用されることができる。図9Cからの流体ウェル951の実施例に戻って、描写されたウェル内に収まり、発射するように割り当てられる任意の印刷格子節点(例えば、954)は、潜在的に、流体ウェルのための総体積を得るために使用されることができ、本システムは、本仮説において4つの印刷ピクセルを効果的に加重し、4つの印刷ピクセルの加重組み合わせに対応する、予期される体積パラメータを有する液滴を生成するように、新しい格子点(例えば、ノズルまたは発射時間)および関連駆動波形(複数の波形が利用可能である場合)を選択することができる。数字1049により、ソフトウェアは、所望に応じて任意の平滑化(例えば、必要に応じて、隣接する印刷ピクセルの調節または次の液滴選択)を適用し、もう一度、出力データ(選択された駆動波形を含む)をメモリに書き込むことができる。次いで、本出力データは、最終的に、印刷を制御するようにプリンタに送信されるであろう。数字1053により、本システムは、固定スキャンパターンを仮定する(すなわち、単純に、誤差に対処する様式でノズルおよび駆動波形を割り当てる)ことができ、または別の実施形態では、全て印刷時間を最小限にすることに目を向けて、例えば、スキャン経路、プリントヘッドオフセット、スキャンの数、もしくは他の詳細を変更することによって、スキャン(ラスタ化)を再考して再び最適化することができる。これらの随意な特徴は、数字1055および1057で表される。   FIG. 10C shows a process flowchart 1041 in which nozzle / waveform data is taken into account for rendering an instance of a template to account for substrate or panel errors. More particularly, as indicated by the numbers 1043-1047, the system can read nozzle drive details corresponding to a bitmap (eg, a template in the form of a bitmap). For example, again, using the example where the new printed grid node firing assignment is based on a weighted average of the four printed pixels corresponding to the template, the four assigned nozzles are 10.000, 10.50, respectively. If expected to produce 10.00 and 10.20 pL droplets, this information can be used to select either nozzles or nozzle waveforms to deposit the droplets on misaligned substrates. Can be used, considered. Returning to the fluid well 951 embodiment from FIG. 9C, any printed grid node (eg, 954) that fits within the depicted well and is assigned to fire is potentially a total for the fluid well. The system can be used to obtain a volume, and the system effectively weights four printed pixels in this hypothesis and has a volume parameter with the expected volume corresponding to the weighted combination of four printed pixels. New grid points (eg, nozzle or firing time) and associated drive waveforms (if multiple waveforms are available) can be selected. The numeral 1049 causes the software to apply any smoothing (eg, adjustment of adjacent print pixels or next drop selection as needed) as desired, and again output data (selected drive waveform). Can be written to memory. This output data will then eventually be sent to the printer to control printing. The number 1053 allows the system to assume a fixed scan pattern (ie, simply assign nozzles and drive waveforms in a manner that addresses errors), or in another embodiment, all minimize print time. Looking at the scan, the scan (rasterization) can be rethought and optimized again, for example, by changing the scan path, printhead offset, number of scans, or other details. These optional features are represented by the numbers 1055 and 1057.

図10Dは、ハーフトーン(すなわち、液滴密度)調節に関する、さらに別のフローチャート1061を示す。本実施形態に関連して、例えば、堆積させられたインクを用いた基板の領域にわたるブランケット被覆を提供するように、しかしインク液滴が所望の層厚さ(すなわち、各液滴の所定の限定された拡散特性)を付与する密度で堆積させられるように、インク液滴密度を制御することが所望されると仮定されるはずである。そのようなプロセスは、障壁層、カプセル化層、または層厚さが比較的広い面積にわたって一貫していることが所望される他の層を作成することに特に有用である。数字1063により、もう一度、テンプレートからのデータのある部分が、基板および/またはパネル位置誤差を補償するようにレンダリングされるものであることが仮定される。数字1067、1069、および1071により、ソフトウェアは、本実施形態では、予期される液滴体積、位置および分散、ならびに所望の層パラメータ(例えば、厚さ、および所望の厚さを生じるために必要とされるハーフトーン密度またはインク密度)を読み出す。次いで、本システムは、元のテンプレートデータによって表される同一のインク密度を助長するように計算される様式で、利用可能なプールからノズルおよび駆動波形(例えば、特定のスキャン経路を仮定する特定の領域を通り過ぎるであろうノズル)を選択する。例えば、厚さ5ミクロンのカプセル化層を生成することが所望される場合、本システムは、(a)各領域を通り過ぎるであろうノズル、所望の厚さを生成するために必要とされる所望のインク密度、ノズル毎および波形毎の液滴詳細を識別し、(b)所望の密度を生じるであろう(すなわち、次いで、隣接領域のためのノズル選択にも組み入れられる)ノズルおよび駆動波形を選択するように数学関数を適用し、次いで、プリンタ制御データを出力する。ハーフトーンまたは密度パターンを計画する際に、システムソフトウェアは、典型的には、均等な密度の流体を堆積させるように入念に堆積を計画し、例えば、ノズル詳細を考慮して、一貫した体積(例えば、10.00pL)が利用不可能である場合に、液滴分布に関して「軽い」液滴(例えば、9.00pL)と「重い」液滴(例えば、11.00pL)の平衡を保つことに留意されたい。もう一度、数字1073により、出力詳細は、誤差(例えば、スキャン経路が必要結果を生じることができないこと)についてもう一度精査され、誤差が見出されない場合、データがプリンタに出力され(1075)、または逆に誤差が見出された場合、例外プロセスが呼び出される(1077、例えば、ラスタ化を再査定するため)。他の代替案が、当業者に想起されるであろう。   FIG. 10D shows yet another flowchart 1061 for halftone (ie, droplet density) adjustment. In connection with this embodiment, for example, to provide a blanket coating over the area of the substrate using the deposited ink, but the ink droplets are of a desired layer thickness (ie, a predetermined limit for each droplet). It would be assumed that it would be desirable to control the ink drop density so that it is deposited at a density that imparts a given diffusion characteristic). Such a process is particularly useful for creating barrier layers, encapsulation layers, or other layers where the layer thickness is desired to be consistent over a relatively large area. The numeral 1063 once again assumes that some portion of the data from the template is to be rendered to compensate for substrate and / or panel position errors. By the numbers 1067, 1069, and 1071, the software is required in this embodiment to produce the expected droplet volume, position and dispersion, and the desired layer parameters (eg, thickness, and desired thickness). Read halftone density or ink density). The system then calculates the nozzle and drive waveforms (eg, a specific scan path assuming a specific scan path) from the available pool in a manner calculated to facilitate the same ink density represented by the original template data. Select a nozzle that will pass through the area. For example, if it is desired to produce a 5 micron thick encapsulation layer, the system will: (a) a nozzle that will pass through each region, the desired required to produce the desired thickness The ink density, per-nozzle and per-waveform droplet details; Apply mathematical functions to select, then output printer control data. When planning a halftone or density pattern, the system software typically plans the deposition carefully to deposit a fluid of uniform density, eg, consistent volume (considering nozzle details) For example, to balance a “light” droplet (eg, 9.00 pL) and a “heavy” droplet (eg, 11.00 pL) in terms of droplet distribution when 10.00 pL) is not available Please keep in mind. Once again, the number 1073 causes the output details to be scrutinized again for errors (eg, the scan path cannot produce the desired result) and if no errors are found, the data is output to the printer (1075) or vice versa. If an error is found, an exception process is invoked (1077, eg, to reassess rasterization). Other alternatives will occur to those skilled in the art.

最終的に、図10Eは、例えば、図9Cに関連して上記で紹介されるように、反復可能誤差のために記憶されたテンプレートを更新することに関する、フローチャート1081を提供する。各新しい基板に関して、描写された方法は、予期される位置(1083)からの偏差を、数字1085によりメモリに記憶されている過去の誤差と比較する。システムソフトウェアは、数字1087により、(例えば、一意の基板誤差と対照的に)誤差における相関を検出しようとする。数字1088−1090により、求められる相関の程度は、ある種類の較正(すなわち、予期される基板規範を設定するように)、連続基板の基準の継続的監視、または推測計算に基づき得る。本システムは、数字1091および1093により、例えば、回帰ソフトウェア、ニューラルネット、または他の適応プロセスに基づいて、誤差におけるパターンを効果的に「学習」し、次いで、適宜にテンプレートを修正し、偏差データの履歴を更新する。最終的に、数字1095により、ソフトウェアは、任意の未補正誤差(例えば、一意の誤差)について現在の基板を補正し、以前に説明されているようにデータをプリンタに出力する。   Finally, FIG. 10E provides a flowchart 1081 relating to updating a stored template for repeatable errors, for example, as introduced above in connection with FIG. 9C. For each new substrate, the depicted method compares the deviation from the expected position (1083) with the past error stored in memory by the numeral 1085. The system software attempts to detect a correlation in error (e.g., as opposed to a unique substrate error) by the number 1087. By the numbers 1088-1090, the degree of correlation that is determined may be based on some type of calibration (ie, to set the expected board norm), continuous monitoring of continuous board criteria, or inferred calculations. The system uses numbers 1091 and 1093 to effectively “learn” patterns in error, for example, based on regression software, neural nets, or other adaptive processes, and then modify the template accordingly and use deviation data. Update the history of. Finally, with the number 1095, the software corrects the current board for any uncorrected error (eg, unique error) and outputs the data to the printer as previously described.

前述のように、概して、処理時間を最小限にし、スループットを増加させるよう、印刷を迅速に行うことが所望される。一実施形態では、幅および長さ約2メートルである基板は、層につき90秒未満でその表面を覆って一様に堆積させられた層を有することができる。別の実施形態では、本時間は、45秒またはそれ未満である。したがって、そのような用途では、レンダリングおよび基板毎(または製品毎)の誤差軽減が可能な限り急速に行われることが有利である。   As mentioned above, it is generally desirable to print quickly to minimize processing time and increase throughput. In one embodiment, a substrate that is approximately 2 meters in width and length can have a layer uniformly deposited over its surface in less than 90 seconds per layer. In another embodiment, the time is 45 seconds or less. Thus, in such applications, it is advantageous that rendering and per-board (or per-product) error reduction occur as quickly as possible.

図11A−11Bは、本処理速度を促進する並列処理アーキテクチャを紹介するために使用される。明白となるはずであるように、精密製造(例えば、それぞれ何百万ものピクセルを有する、多くのテレビ画面の層を一度に印刷すること)を用いると、プリンタ制御データを生成する詳細な印刷格子のソフトウェア調節は、数秒かかり得る。図11A−11Bで提示されるアーキテクチャおよびプロセスは、理想的には2秒またはそれ未満まで本時間を短縮するために使用される。   11A-11B are used to introduce a parallel processing architecture that facilitates this processing speed. A detailed print grid that generates printer control data using precision manufacturing (for example, printing many television screen layers, each with millions of pixels), as should be apparent The software adjustment can take several seconds. The architecture and process presented in FIGS. 11A-11B are ideally used to reduce this time to 2 seconds or less.

より詳細には、図11Aで表されるように、キャッシュされた印刷イメージのコピー、記憶されたレシピデータ、または理想的な印刷を表す他の関連ソースデータが、最初に読み出される。マスタまたは監視プロセッサ1103が、任意の基板構成データをすでに認識させられているであろうため、製品(パネル)の数およびそれらのそれぞれの予期される場所を理解し得る。監視プロセッサ1103は、整合データを受信し、(例えば、独立基準で各パネルまたは製品について)誤差を計算する。パネル処理、またはサブパネルレベルでの誤差補償は、随意であり、すなわち、開示される技法は、印刷イメージのインスタンスが、特定の基板の全体を通して線形である基準で一致させられる場合でさえも、適用されることができる。本システムはまた、並列プロセッサのセット1105、一実施形態では、マルチコアプロセッサまたはグラフィック処理ユニット(GPU)も含む。GPUは、典型的には、それぞれ(またはその多く)が並行して処理を行うために本実施形態で利用される、多数の(例えば、何百から何千もの)コア1107を含む。監視プロセッサ1103は、パネル定義、所望の誤差補正、および他の要因に依存して、テンプレート印刷イメージのインスタンスの変換を行うために、いくつの並列スレッドまたはプロセスが使用されるはずであるかに関して、決定を行う。本プロセスに関連して、監視プロセッサは、適宜に基板の全体的印刷領域を細分し、任意の関連変換パラメータを関連コアまたはプロセッサに割り当て、テンプレート印刷イメージのインスタンスを組み込みDRAM1109に記憶する(キャッシュする)。組み込みDRAMは、有利なことには、プリンタ制御データの誤差補正およびレンダリング(任意のソースデータの変換およびオーバーレイを含む)のためにコア1107のうちの1つまたはそれを上回るものによって使用される、レジスタ1111Aをそれぞれ有する、複数のバンク、ポート、もしくはアレイ1111を含むことに留意されたい。組み込みメモリは、有利なことには、1つのコアまたはプロセッサによるアクセスが、別のコアまたはプロセッサの帯域幅を限定しないように、並列アクセスのために構造化される。この趣旨で、アーキテクチャは、各コアが並行してメモリ1109にアクセスすることができるように、(例えば、適宜に何百ものデータアクセスラインを特色とする)非常に広いアクセス経路1113を特色とすることができる。1つの実装では、ソースデータを記憶する様式は、各コアまたはプロセッサが、変換のために必要とするデータ、および変換されたプリンタ制御データのための書き込み領域にアクセスできるように、プロセッサもしくはコア割当に依存することに留意されたい。1つの考慮される実装では、監視プロセッサ1103は、全ての利用可能なコアまたはプロセッサを必ずしも使用しないが、離散製品(例えば、パネル)を取り扱うコアまたはプロセッサ、もしくはパネルまたは製品の相互排他的部分を割り当てる。例えば、仮説的パネルが15枚のパネルを有し、本システムが31個の並列処理ユニットを含む場合、監視プロセッサは、各ユニットがパネルの半分を処理する、2つの並列処理ユニットを割り当て得る。監視プロセッサは、適宜に記憶するためにテンプレートの部分を組み込みDRAMに指向し、任意の変換パラメータ(例えば、傾斜アルゴリズム)を各メモリバンクまたはアレイのための(すなわち、各コアまたは並列プロセッサのための)関連レジスタ1111Aに書き込み、次いで、その処理が完了したという信号を各コアまたはプロセッサから待つであろう。次いで、出力は、問題になっている材料の堆積させられる層を精密に配置するために、印刷を任意の基板毎または製品毎の変動に適合させるように歪曲させられる、プリンタ制御データの変換された基板毎のセットである。数字1115および1117によって表されるように、監視プロセッサおよびそれぞれのコアまたはプロセッサの各々は、以前に説明されたように、特定の処理機能を果たすように、それぞれの監視プロセッサ、コア、もしくはプロセッサを制御する、非一過性の機械可読媒体上に記憶された命令によって統制されることに留意されたい。また、レンダリングされたデータが、(利用可能であるような)1つのプロセッサコアによってメモリに書き込まれ、独立手段によって(すなわち、1つのプロセッサコアが続いて、位置誤差を補正するように他のデータを調節している間に)アンロードされることができるように、組み込みDRAMは、ダイレクトメモリアクセス(DMA)の形態を提供するように設計され得ることに留意されたい。   More specifically, as represented in FIG. 11A, a copy of the cached print image, stored recipe data, or other relevant source data representing ideal printing is first read. Since the master or supervisory processor 1103 will already be aware of any board configuration data, it can understand the number of products (panels) and their respective expected locations. A monitoring processor 1103 receives the alignment data and calculates an error (eg, for each panel or product on an independent basis). Panel processing, or error compensation at the sub-panel level, is optional, i.e., the disclosed technique is applied even when instances of the printed image are matched on a basis that is linear throughout a particular substrate. Can be done. The system also includes a set of parallel processors 1105, in one embodiment, a multi-core processor or graphics processing unit (GPU). A GPU typically includes a large number (eg, hundreds to thousands) of cores 1107, each (or many of them) utilized in this embodiment for processing in parallel. The supervisory processor 1103 determines how many parallel threads or processes should be used to convert the template print image instance, depending on the panel definition, desired error correction, and other factors. Make a decision. In connection with the process, the supervisory processor subdivides the overall print area of the board as appropriate, assigns any relevant conversion parameters to the relevant core or processor, and stores (caches) an instance of the template print image in the embedded DRAM 1109. ). Embedded DRAM is advantageously used by one or more of cores 1107 for error correction and rendering of printer control data (including conversion and overlay of any source data), Note that it includes a plurality of banks, ports or arrays 1111 each having a register 1111A. Embedded memory is advantageously structured for parallel access so that access by one core or processor does not limit the bandwidth of another core or processor. To this effect, the architecture features a very wide access path 1113 (eg, featuring hundreds of data access lines as appropriate) so that each core can access memory 1109 in parallel. be able to. In one implementation, the manner in which source data is stored is determined by the processor or core allocation so that each core or processor can access the data needed for conversion and the write area for converted printer control data. Note that it depends on. In one contemplated implementation, the monitoring processor 1103 does not necessarily use all available cores or processors, but does not use cores or processors that handle discrete products (eg, panels), or mutually exclusive portions of panels or products. assign. For example, if a hypothetical panel has 15 panels and the system includes 31 parallel processing units, the supervisory processor may assign two parallel processing units, each unit processing half of the panel. The supervisory processor directs the portion of the template to the embedded DRAM for appropriate storage, and any conversion parameters (eg, gradient algorithm) for each memory bank or array (ie, for each core or parallel processor). ) Write to the relevant register 1111A and then wait for a signal from each core or processor that the process is complete. The output is then transformed into printer control data that is distorted to adapt the printing to any substrate or product variation to precisely position the deposited layer of the material in question. A set for each substrate. As represented by the numbers 1115 and 1117, each of the supervisory processors and their respective cores or processors has their respective supervisory processors, cores, or processors configured to perform specific processing functions as previously described. Note that it is governed by the instructions stored on the controlling, non-transitory machine-readable medium. Also, the rendered data is written to memory by one processor core (as it is available), and other data is obtained by independent means (ie, one processor core follows to correct the position error). Note that embedded DRAM can be designed to provide a form of direct memory access (DMA) so that it can be unloaded (while adjusting).

図11Aは、図の右側にいくつかの付加的実装オプションを示す。第1に、前述のように、各パネルは、数字1119によって表されるように、1つまたはそれを上回るそれぞれのコアもしくはプロセッサに割り当てられることができる。典型的な製造プロセスのように、一連の基板は、同一のレシピまたはテンプレートを使用し、オプション1119によって表される構成は、典型的には、固定費用である(例えば、監視プロセッサ1103は、典型的には、割り当てを再計算するか、またはそれぞれの基板のデータ記憶パラメータを変更する必要がない)。第2に、数字1120により、本固定割当を考慮して、監視プロセッサは、随意に、コアにつきそれぞれの変換を割り当てることができる。上記の実施例は、概して、オフセット、回転、スケール、および傾斜補正について別個に議論するが、典型的実装では、変換は、適宜にこれらの補正の任意の組み合わせを伴って、複雑であり得る。監視プロセッサは、関連変換を計算し、次いで、それが割り当てられている全ての影響を受けたテンプレートデータ上で変換を実行する、適切なプロセッサまたはコアに計算された変換を割り当てる。数字1120によって表されるように、一実施形態では、各変換が、それぞれのプロセッサまたはコアに提供される。数字1123により、一実施形態では、前処理されたテンプレートデータまたは変換されたデータの記憶が分散化されることができる。つまり、変換が、パネルを表す(変換された)印刷イメージまたは印刷イメージデータ上で重複ピクセルの発射決定の加重を伴い得ることが以前に記述された。数字1123によって表されるオプションにより、印刷イメージピクセルデータは、同一メモリ行内の北西、北東、南西、および南東ピクセルデータを(同一のアドレスではなく)それぞれのメモリアレイに記憶することによる等の本処理に貢献する様式で、または別の様式で記憶されることができる。(例えば、従来、画像レンダリングを加速するように、グラフィックおよびゲームプロセスのために行われるように)データ読み出しおよび処理を加速するために使用され得る、多くの可能なメモリ記憶技法が存在している。同一タイプのメモリプロセスが、本実施形態に採用されることができる。また、数字1123によって表されるように、一実施形態では、例えば、印刷ピクセルデータが所定の行内に記憶される場合、本システムが処理のために必要とされる次のデータのセットを自動的かつ迅速にフェッチすることができるように、(メモリアレイ毎の)可変列オフセットが使用されることができる。実施例として、キャッシュされた印刷イメージデータは、漸増基準で両方のメモリ矢印に対する関連印刷ピクセル情報を読み出すために使用される列オフセットを伴って、分散様式で(例えば、2つのメモリアレイのそれぞれの中の行)DRAM(1111)に記憶されることができる。本処理の多くの代替案および変形例も、可能である。   FIG. 11A shows some additional implementation options on the right side of the diagram. First, as described above, each panel can be assigned to one or more respective cores or processors, as represented by numeral 1119. As in a typical manufacturing process, a series of substrates use the same recipe or template, and the configuration represented by option 1119 is typically a fixed cost (eg, the monitoring processor 1103 typically (There is no need to recalculate assignments or change the data storage parameters of each board). Second, the number 1120 allows the supervisory processor to optionally assign each transformation per core, taking into account this fixed assignment. While the above examples generally discuss separately offset, rotation, scale, and tilt corrections, in a typical implementation, the transformation may be complex with any combination of these corrections as appropriate. The supervisory processor computes the relevant transformation and then assigns the computed transformation to the appropriate processor or core that performs the transformation on all affected template data to which it is assigned. As represented by numeral 1120, in one embodiment, each transformation is provided to a respective processor or core. The number 1123 allows the storage of preprocessed template data or transformed data to be distributed in one embodiment. That is, it has been previously described that the transformation may involve weighting the firing decision of duplicate pixels on the (transformed) print image or print image data representing the panel. With the option represented by the numeral 1123, the print image pixel data can be processed by storing the northwest, northeast, southwest, and southeast pixel data in the same memory row in their respective memory arrays (rather than at the same address), etc. Can be stored in a manner that contributes to or in another manner. There are many possible memory storage techniques that can be used to accelerate data retrieval and processing (eg, as is conventionally done for graphics and gaming processes, to accelerate image rendering). . The same type of memory process can be employed in this embodiment. Also, as represented by numeral 1123, in one embodiment, for example, if print pixel data is stored in a given row, the system automatically sets the next set of data required for processing. A variable column offset (per memory array) can be used so that it can be fetched quickly. As an example, the cached print image data is distributed in a distributed manner (eg, each of the two memory arrays, with column offsets used to read the associated print pixel information for both memory arrows on an incremental basis. Middle row) can be stored in DRAM (1111). Many alternatives and variations of this process are possible.

上記で説明される構成が、唯一可能なものではないことに留意されたい。例えば、基板の地形を各コアに割り当てる代わりに、監視プロセッサまたは他のマスタ1103は、変換演算を分割し、異なるプロセスをそれぞれのコアに割り当てることができる(1121)。一実施形態では、1つのコアが、アフィン変換と関連付けられる1つのタスクを行うように割り当てられ得る一方で、異なるコアは、別のタスクを行うように割り当てられ得る。数字1122によって示されるように、責任のほぼあらゆる割付が、並列であろうと順次であろうと、複数のコアの間で影響を受け得る。概して、基板毎またはパネル毎の誤差を検出し、製造スループットを最大限にするよう、可能な限り迅速に印刷を進めることが所望されるため、加速の任意の効率が、本目的を満たす場合、複数の利用可能なプロセッサまたはコアに潜在的に適用されることができる。   Note that the configuration described above is not the only possible. For example, instead of assigning a board terrain to each core, the supervisory processor or other master 1103 may split the transformation operation and assign a different process to each core (1121). In one embodiment, one core may be assigned to perform one task associated with an affine transformation, while a different core may be assigned to perform another task. As indicated by numeral 1122, almost any assignment of responsibility can be affected among multiple cores, whether parallel or sequential. Generally, it is desirable to proceed with printing as quickly as possible to detect per-board or per-panel errors and maximize manufacturing throughput, so if any efficiency of acceleration meets this objective, It can potentially be applied to multiple available processors or cores.

図11Bは、実行時プロセスと関連付けられるフローチャート1151を示す。本実施例では、いったん誤差が測定されると、1つまたはそれを上回るアフィン変換を全体的な印刷領域の(すなわち、基板の)それぞれの地形に適用するように、複数のコアがそれぞれ割り当てられることが仮定されるであろう。数字1153によって示されるように、テンプレートデータが、最初にロードまたはキャッシュされる。監視プロセッサは、関連整合マークまたは基準を識別する(1157)ように、適宜にそのようなソースデータを利用し(1155)、次いで、プリンタカメラシステムを適切な粗い座標に指向する。プリンタカメラシステムは、監視プロセッサが得られたソース情報1155に対して測定する、精密測定情報を返す。次いで、監視プロセッサは、検出された地形を考慮して、適宜にパネルおよび/または基板変換計算を行い(1159)、次いで、処理範囲を分担し、適宜にパラメータを各コア、プロセッサ、または並列処理スレッドに変換する(1161および1163)。繰り返しの基板レシピに関して、監視プロセッサは、受信されたテンプレートイメージのサブセットを、特定のコア、プロセッサ、またはスレッド専用のメモリの中へ自動的に解析し得る。次いで、各コア、プロセッサ、またはスレッドは、印刷詳細を検出された基板またはパネル地形に一致させる様式で、テンプレートを変換もしくは歪曲させるように、その割り当てられたデータを変換し始める(1165)。本プロセスの一部として、任意のプリントヘッド、液滴、もしくはノズル詳細を考慮して、完成した変換されたプリンタ制御データが正確な堆積を提供し得ることを確実にするために、合理的に最新の印刷ノズルおよび/または液滴データが利用可能にされる(1167)。他の実施形態では、本調節(すなわち、印刷ノズル詳細に依存する)が、専用コア、プロセッサ、またはスレッド(すなわち、印刷格子動作を行うコア、プロセッサ、またはスレッドと別個である)によって行われ得る、もしくは監視プロセッサによって行われ得ることに留意されたい。いったん任意の変換が行われると、ノズル/液滴特有の特性に一致して、変換されたプリンタ制御データは、メモリからアンロードされ、ラスタ化され(1169)、印刷(1171)のための適切な命令を用いてプリンタに送信されることができる。   FIG. 11B shows a flowchart 1151 associated with the runtime process. In this example, once the error is measured, each of the multiple cores is assigned to apply one or more affine transformations to each terrain of the overall printed area (ie, of the substrate). It will be assumed. As indicated by numeral 1153, template data is first loaded or cached. The surveillance processor utilizes such source data as appropriate (1155) to identify (1157) the relevant alignment mark or reference, and then directs the printer camera system to the appropriate coarse coordinates. The printer camera system returns precision measurement information that the monitoring processor measures against the source information 1155 obtained. The monitoring processor then performs panel and / or board conversion calculations as appropriate, taking into account the detected terrain (1159), and then shares the processing range and appropriately assigns parameters to each core, processor, or parallel process. Convert to threads (1161 and 1163). For repetitive substrate recipes, the monitoring processor may automatically analyze the received subset of template images into memory dedicated to a particular core, processor, or thread. Each core, processor, or thread then begins transforming its assigned data (1165) to transform or distort the template in a manner that matches the print details to the detected substrate or panel terrain. As part of this process, considering any printhead, droplet, or nozzle details, to ensure that the finished converted printer control data can provide accurate deposition, Latest print nozzle and / or drop data is made available (1167). In other embodiments, this adjustment (ie, depending on the print nozzle details) may be performed by a dedicated core, processor, or thread (ie, separate from the core, processor, or thread that performs the print grid operation). Note that this can be done by the monitoring processor. Once any conversion has been performed, the converted printer control data is unloaded from memory, rasterized (1169) and appropriate for printing (1171), consistent with nozzle / droplet specific characteristics. Can be sent to the printer using a simple command.

上記で紹介される種々の技法および考慮事項を熟考すると、低い単位あたりの費用で迅速に製品を大量生産するように、製造プロセスが行われることができる。ディスプレイデバイス製造、例えば、フラットパネルディスプレイに適用されると、これらの技法は、随意に、複数のパネルが共通基板から生成される、高速のパネル毎の印刷プロセスを可能にする。(例えば、パネル毎に共通インクおよびプリントヘッドを使用して)高速の反復可能印刷技法を提供することによって、印刷が実質的に向上させられ得る、例えば、全て標的領域あたりの充填堆積が仕様内であることを保証しながら、層あたりの印刷時間を、上記の技法を用いることなく必要とされるであろう時間のわずかな一部まで短縮すると考えられる。再度、大型HDテレビディスプレイの実施例に戻って、各色成分層が、実質的なプロセス改良を表す、180秒またはそれ未満、もしくは90秒またはそれ未満でさえも、大型基板(例えば、約220cm×250cmである8.5世代基板)のために正確かつ確実に印刷され得ると考えられる。印刷の効率および質を向上させることにより、大型HDテレビディスプレイを生産する費用の有意な削減、したがって、より低い最終消費者費用のために道を開く。前述のように、ディスプレイ製造(および詳細にはOLED製造)は、本明細書で紹介される技法の1つの用途であるが、これらの技法は、多種多様なプロセス、コンピュータ、プリンタ、ソフトウェア、製造機器、およびエンドデバイスに適用されることができ、ディスプレイパネルに限定されない。詳細には、開示される技法は、プリンタが、限定ではないが、任意のマイクロ電子、マイクロ光学、または「3D印刷」用途を含む、共通印刷動作の一部として、複数の製品の層を堆積させるために使用される、任意のプロセスに適用され得ることが予測される。   Considering the various techniques and considerations introduced above, a manufacturing process can be performed to rapidly mass produce a product at a low per unit cost. When applied to display device manufacturing, eg, flat panel displays, these techniques optionally allow for a high-speed panel-by-panel printing process where multiple panels are generated from a common substrate. By providing a high-speed repeatable printing technique (eg, using a common ink and printhead for each panel), printing can be substantially improved, for example, fill deposition per target area is all within specification It is believed that the printing time per layer is reduced to a fraction of the time that would be required without using the above technique. Returning again to the example of a large HD television display, each color component layer represents a substantial process improvement for 180 seconds or less, or even 90 seconds or less, for a large substrate (eg, about 220 cm × It is believed that it can be printed accurately and reliably for an 8.5 generation substrate that is 250 cm). Improving printing efficiency and quality opens the way for a significant reduction in the cost of producing large HD TV displays and thus lower end consumer costs. As mentioned above, display manufacturing (and in particular OLED manufacturing) is one application of the techniques introduced herein, but these techniques can be used in a wide variety of processes, computers, printers, software, manufacturing. It can be applied to equipment and end devices and is not limited to display panels. In particular, the disclosed technique allows a printer to deposit multiple product layers as part of a common printing operation, including but not limited to any microelectronic, microoptic, or “3D printing” application. It is anticipated that it can be applied to any process used to

説明される技法は、多数のオプションを提供することに留意されたい。一実施形態では、パネル(または製品毎の)誤整合もしくは歪曲が、単一のアレイ内で、または単一の基板上で、製品毎の基準で調節されることができる。共通印刷データにもかかわらず、2枚のパネルを横断するスキャン経路が各基板のための異なる発射命令を有する(例えば、1枚のパネルのデータの回転または調節が印刷ジョブ毎に変動し得る)ように、1つまたはそれを上回る整合誤差に基づく次の調節/適合を伴って、プリンタスキャン経路が計画されることができる。随意に、本情報は、リアルタイムでソーステンプレート(例えば、2値発射決定を表すビットマップ)から調節されることができる。他の実施形態では、共通プリンタソースデータにもかかわらず、印刷領域および/またはスキャン経路が、追加され、または基板毎に完全に再計画されることができる。説明される技法は、単一の印刷ジョブの一部として、OLEDパネル、例えば、2、4、6枚、または異なる数のパネルを製作するために使用されることができる。製作に続いて、これらのパネルは、例えば、それぞれのHDTVディスプレイまたは他のタイプのデバイスを製作するように、分離され、それぞれの製品に適用されることができる。ソフトウェアにおいて微細整合(例えば、ミリメートル未満の整合)を行うことによって、開示される技法は、根本的な製品毎または基板毎の誤整合もしくは変形に一致する様式で、精密な機械的位置付けおよび堆積誤差の正確な配置ならびに整合をあまり重視せず、より正確な製品製作を提供する。   Note that the described technique provides a number of options. In one embodiment, panel (or product-by-product) misalignment or distortion can be adjusted on a product-by-product basis within a single array or on a single substrate. Despite the common print data, the scan path across the two panels has a different firing command for each substrate (eg, rotation or adjustment of data on one panel can vary from print job to print job). Thus, the printer scan path can be planned with the next adjustment / adaptation based on one or more alignment errors. Optionally, this information can be adjusted from a source template (eg, a bitmap representing a binary launch decision) in real time. In other embodiments, print areas and / or scan paths can be added or completely replanned per substrate, despite the common printer source data. The described techniques can be used to make OLED panels, for example 2, 4, 6 or different numbers of panels, as part of a single print job. Following fabrication, these panels can be separated and applied to each product, for example, to produce a respective HDTV display or other type of device. By performing fine alignment (e.g., sub-millimeter alignment) in software, the disclosed technique enables precise mechanical positioning and deposition errors in a manner consistent with underlying product or substrate misalignment or deformation. The precise placement and alignment of the product is not so important, and more accurate product production is provided.

前述の説明および添付の図面では、特定の用語および図面の記号が、開示される実施形態の徹底的な理解を提供するように記載されている。場合によっては、用語および記号は、これらの実施形態を実践するために必要とされない、特定の詳細を示唆し得る。「例示的な」および「実施形態」という用語は、選好または要件ではなく実施例を表すために使用される。   In the foregoing description and accompanying drawings, certain terminology and drawing symbols are set forth to provide a thorough understanding of the disclosed embodiments. In some instances, the terms and symbols may suggest specific details that are not required to practice these embodiments. The terms “exemplary” and “embodiment” are used to represent an example rather than a preference or requirement.

示されるように、本開示のより広義の精神および範囲から逸脱することなく、本明細書で提示される実施形態に種々の修正および変更が行われ得る。例えば、実施形態のうちのいずれかの特徴または側面は、少なくとも実用的である場合、実施形態のうちのいずれか他方と組み合わせて、もしくはその対応特徴または側面の代わりに適用され得る。したがって、例えば、全ての特徴がありとあらゆる図面に示されているわけではなく、例えば、1つの図面の実施形態に従って示される特徴または技法は、随意に、たとえ本明細書で詳細に宣言されていなくても、任意の他の図面もしくは実施形態の特徴の要素として、または特徴と組み合わせて、採用可能であると仮定されたい。したがって、本明細書および図面は、制限的な意味よりもむしろ例証的な意味で見なされるものである。   As shown, various modifications and changes may be made to the embodiments presented herein without departing from the broader spirit and scope of the disclosure. For example, any feature or aspect of an embodiment may be applied in combination with any other of the embodiments or in place of its corresponding feature or aspect, at least where practical. Thus, for example, not all features are shown in every and every drawing, for example, features or techniques shown in accordance with an embodiment of one drawing are optionally declared in detail herein. It is also assumed that it can be employed as an element of or in combination with features of any other drawing or embodiment. The specification and drawings are, accordingly, to be regarded in an illustrative sense rather than a restrictive sense.

Claims (1)

本願明細書に記載の発明。Invention described in this specification.
JP2018106102A 2014-06-30 2018-06-01 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy Active JP6845829B2 (en)

Applications Claiming Priority (14)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201462019076P 2014-06-30 2014-06-30
US62/019,076 2014-06-30
US201462021584P 2014-07-07 2014-07-07
US62/021,584 2014-07-07
US14/340,403 2014-07-24
US14/340,403 US9352561B2 (en) 2012-12-27 2014-07-24 Techniques for print ink droplet measurement and control to deposit fluids within precise tolerances
US14/458,005 US8995022B1 (en) 2013-12-12 2014-08-12 Ink-based layer fabrication using halftoning to control thickness
US14/458,005 2014-08-12
US201462059121P 2014-10-02 2014-10-02
US62/059,121 2014-10-02
US14/627,186 US9496519B2 (en) 2013-12-12 2015-02-20 Encapsulation of components of electronic device using halftoning to control thickness
US14/627,186 2015-02-20
US14/680,960 2015-04-07
US14/680,960 US9224952B2 (en) 2012-12-27 2015-04-07 Methods of manufacturing electronic display devices employing nozzle-droplet combination techniques to deposit fluids in substrate locations within precise tolerances

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017521030A Division JP6762074B2 (en) 2014-06-30 2015-06-30 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018137241A true JP2018137241A (en) 2018-08-30
JP2018137241A5 JP2018137241A5 (en) 2018-12-06
JP6845829B2 JP6845829B2 (en) 2021-03-24

Family

ID=55020091

Family Applications (4)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017521030A Active JP6762074B2 (en) 2014-06-30 2015-06-30 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy
JP2018106102A Active JP6845829B2 (en) 2014-06-30 2018-06-01 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy
JP2020148805A Active JP7125581B2 (en) 2014-06-30 2020-09-04 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy
JP2022068561A Active JP7470295B2 (en) 2014-06-30 2022-04-18 Technique for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy.

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017521030A Active JP6762074B2 (en) 2014-06-30 2015-06-30 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy

Family Applications After (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020148805A Active JP7125581B2 (en) 2014-06-30 2020-09-04 Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy
JP2022068561A Active JP7470295B2 (en) 2014-06-30 2022-04-18 Technique for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy.

Country Status (5)

Country Link
EP (2) EP3160750B1 (en)
JP (4) JP6762074B2 (en)
KR (3) KR20200136501A (en)
CN (2) CN108515777B (en)
WO (1) WO2016004125A2 (en)

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200136501A (en) * 2014-06-30 2020-12-07 카티바, 인크. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
US10336062B2 (en) 2016-03-14 2019-07-02 Board Of Regents, The University Of Texas System Systems and methods for precision inkjet printing
US9961783B2 (en) * 2016-07-08 2018-05-01 Kateeva, Inc. Guided transport path correction
KR102535154B1 (en) 2016-09-05 2023-05-22 삼성디스플레이 주식회사 Bending apparatus and method for manufacturing display device
US20180229497A1 (en) * 2017-02-15 2018-08-16 Kateeva, Inc. Precision position alignment, calibration and measurement in printing and manufacturing systems
WO2019013768A1 (en) * 2017-07-11 2019-01-17 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid actuator evaluation independent of actuation state
KR102349482B1 (en) 2017-09-29 2022-01-11 삼성디스플레이 주식회사 Equipment for manufacturing display panel and method of manufacuring display panel using the same
WO2019190676A1 (en) 2018-03-30 2019-10-03 Applied Materials, Inc. Integrating 3d printing into multi-process fabrication schemes
CN110085773B (en) * 2018-04-17 2021-07-20 广东聚华印刷显示技术有限公司 Ink-jet printing method, device, system, computer equipment and storage medium
CN108921797B (en) * 2018-06-14 2021-07-13 合肥市商巨智能装备有限公司 Method for calibrating distorted image
CN110667254B (en) * 2018-07-03 2022-08-02 海德堡印刷机械股份公司 Nozzle health detection method by means of neural network
JP7110873B2 (en) * 2018-09-27 2022-08-02 セイコーエプソン株式会社 Inkjet recording method and inkjet recording apparatus
WO2020095300A1 (en) * 2018-11-08 2020-05-14 Kornit Digital Ltd. On line registration using compensation
CN109390278B (en) * 2018-11-14 2021-04-02 京东方科技集团股份有限公司 Display substrate, preparation method thereof and display device
CN110341328B (en) * 2019-07-17 2020-11-10 深圳市汉森软件有限公司 Multi-PCB character splicing printing method and device, medium and flat printing equipment
CN112378813B (en) * 2020-10-23 2021-12-10 天津同阳科技发展有限公司 Device and method for measuring density of atmospheric particulate matter
CN112215445B (en) * 2020-12-09 2021-04-20 季华实验室 Multi-nozzle spray scheduling method and device for preparing luminous layer, storage medium and terminal
CN114074478A (en) * 2020-12-28 2022-02-22 广东聚华印刷显示技术有限公司 Ink jet printing control method, control device and ink jet printing system
CN113211984B (en) * 2021-04-21 2022-04-22 华南理工大学 Piezoelectric control system and method for printing high-quality OLED display film layer
CN115214237A (en) * 2021-04-21 2022-10-21 上海锐尔发数码科技有限公司 Automatic color-mixing spray-painting system and method
KR20230017394A (en) 2021-07-27 2023-02-06 삼성디스플레이 주식회사 Inkjet print method and making method of image file for inkjet print
CN116637778B (en) * 2023-05-31 2023-10-31 日照皓诚电子科技有限公司 Dispensing positioning control method and system for quartz crystal

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003338370A (en) * 2002-03-13 2003-11-28 Ricoh Co Ltd Functional element basic plate/image display device and manufacturing device thereof
JP2005502453A (en) * 2001-09-10 2005-01-27 セイコーエプソン株式会社 Inkjet film forming system
JP2008123993A (en) * 2006-10-19 2008-05-29 Sharp Corp Droplet coating device, and droplet coating method
JP2008149292A (en) * 2006-12-20 2008-07-03 Seiko Epson Corp Drawing method of liquid object, manufacturing method of color filter, and manufacturing method of organic el element
JP2011215173A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Toray Eng Co Ltd Ink jet coating device
JP2011255366A (en) * 2010-05-12 2011-12-22 Panasonic Corp Ink jet device
JP2012173504A (en) * 2011-02-21 2012-09-10 Toray Eng Co Ltd Coating method and coating apparatus
WO2012164628A1 (en) * 2011-06-03 2012-12-06 パナソニック株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescent display panel, and device for manufacturing organic electroluminescent display panel
JP2014034205A (en) * 2012-08-10 2014-02-24 Ricoh Co Ltd Device for discharging droplet, and ink jet recorder using the same
JP2014083748A (en) * 2012-10-23 2014-05-12 Canon Inc Recording device and method for correcting recording-position shift

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0892549B1 (en) * 1992-06-05 2001-11-21 NexPress Solutions LLC Method and apparatus for reproducing an image with gray level printing
US6066357A (en) * 1998-12-21 2000-05-23 Eastman Kodak Company Methods of making a full-color organic light-emitting display
US6961141B2 (en) * 2000-02-25 2005-11-01 Eastman Kodak Company Method and electronic apparatus for formatting and serving inkjet image data
CN1790131A (en) * 2001-05-02 2006-06-21 精工爱普生株式会社 Substrate for color display, substrate for color filter, substrate for color light emission, method for manufacturing substrate for color display and electrooptical device
TW200403598A (en) * 2002-03-29 2004-03-01 Olympus Optical Co Test figure, geometric feature analyzing system, geometric feature analyzing-method, printer, and inkjet printer
CN100431839C (en) * 2002-10-18 2008-11-12 索尼株式会社 Apparatus for discharging liquid and method for discharging liquid
JP4273819B2 (en) * 2003-04-14 2009-06-03 セイコーエプソン株式会社 Liquid ejecting apparatus and control method thereof
US7281785B2 (en) * 2004-09-17 2007-10-16 Fujifilm Dimatix, Inc. Fluid handling in droplet deposition systems
JP2009291710A (en) * 2008-06-05 2009-12-17 Hitachi High-Technologies Corp Apparatus for spraying liquid, apparatus for producing flat panel display, flat panel display, apparatus for fabricating solar cell panel, solar cell panel, method of spraying liquid, and program
JP2010005593A (en) 2008-06-30 2010-01-14 Duplo Seiko Corp Surface processing method and surface processing apparatus of visible medium
JP4897070B2 (en) * 2009-06-08 2012-03-14 パナソニック株式会社 Functional membrane manufacturing method
JP2013030571A (en) 2011-07-27 2013-02-07 Sumitomo Heavy Ind Ltd Droplet discharge apparatus and droplet discharge method
JP6142324B2 (en) * 2011-12-28 2017-06-07 株式会社Joled Organic EL display panel and manufacturing method thereof
JP6238545B2 (en) * 2012-04-27 2017-11-29 キヤノン株式会社 Recording apparatus and registration adjustment method
US20140165864A1 (en) * 2012-12-13 2014-06-19 Melissa Oppenheim System and method of generating printed media
JP5936294B2 (en) 2012-12-27 2016-06-22 カティーバ, インコーポレイテッド Techniques for controlling the amount of printing ink that deposits fluid within close tolerances
KR102495563B1 (en) 2013-12-12 2023-02-06 카티바, 인크. Ink-based layer fabrication using halftoning to control thickness
KR20200136501A (en) 2014-06-30 2020-12-07 카티바, 인크. Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005502453A (en) * 2001-09-10 2005-01-27 セイコーエプソン株式会社 Inkjet film forming system
JP2003338370A (en) * 2002-03-13 2003-11-28 Ricoh Co Ltd Functional element basic plate/image display device and manufacturing device thereof
JP2008123993A (en) * 2006-10-19 2008-05-29 Sharp Corp Droplet coating device, and droplet coating method
JP2008149292A (en) * 2006-12-20 2008-07-03 Seiko Epson Corp Drawing method of liquid object, manufacturing method of color filter, and manufacturing method of organic el element
JP2011215173A (en) * 2010-03-31 2011-10-27 Toray Eng Co Ltd Ink jet coating device
JP2011255366A (en) * 2010-05-12 2011-12-22 Panasonic Corp Ink jet device
JP2012173504A (en) * 2011-02-21 2012-09-10 Toray Eng Co Ltd Coating method and coating apparatus
WO2012164628A1 (en) * 2011-06-03 2012-12-06 パナソニック株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescent display panel, and device for manufacturing organic electroluminescent display panel
JP2014034205A (en) * 2012-08-10 2014-02-24 Ricoh Co Ltd Device for discharging droplet, and ink jet recorder using the same
JP2014083748A (en) * 2012-10-23 2014-05-12 Canon Inc Recording device and method for correcting recording-position shift

Also Published As

Publication number Publication date
CN106573467B (en) 2018-05-11
JP6845829B2 (en) 2021-03-24
JP2021003698A (en) 2021-01-14
EP3160750B1 (en) 2021-12-01
JP6762074B2 (en) 2020-09-30
JP7470295B2 (en) 2024-04-18
JP2022105501A (en) 2022-07-14
EP3160750A4 (en) 2018-05-16
EP3160750A2 (en) 2017-05-03
WO2016004125A2 (en) 2016-01-07
CN106573467A (en) 2017-04-19
CN108515777A (en) 2018-09-11
KR102185496B1 (en) 2020-12-03
WO2016004125A3 (en) 2016-03-10
JP7125581B2 (en) 2022-08-25
KR20200136501A (en) 2020-12-07
EP3964363A1 (en) 2022-03-09
KR20170027812A (en) 2017-03-10
CN108515777B (en) 2020-07-14
KR20230014885A (en) 2023-01-30
EP3964363B1 (en) 2024-03-27
JP2017529676A (en) 2017-10-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7125581B2 (en) Technology for aligned printing of permanent layers with improved speed and accuracy
US11167303B2 (en) Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
US11673155B2 (en) Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
US9700908B2 (en) Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy
JP6905761B2 (en) Techniques for printing ink droplet measurement and control of fluid deposition within precise tolerances
US10784470B2 (en) Techniques for print ink droplet measurement and control to deposit fluids within precise tolerances
US20150099059A1 (en) Techniques for Print Ink Droplet Measurement and Control to Deposit Fluids within Precise Tolerances
KR102617723B1 (en) Techniques for print ink droplet measurement and control to deposit fluids within precise tolerances
US20230234087A1 (en) Techniques for arrayed printing of a permanent layer with improved speed and accuracy

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20180601

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20180906

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20181024

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20190802

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20191028

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20200401

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20200630

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20200703

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20200825

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20201021

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20210201

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20210226

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6845829

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250