JP2018087931A - Processing device, processing system, and article production method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、処理装置、処理システム、および物品製造方法に関する。 The present invention relates to a processing apparatus, a processing system, and an article manufacturing method.
製造すべき半導体装置の微細化および高スループット化の要求に応えるために、半導体製造装置は年々大型化している。半導体製造装置の動作の中には、操作者が目視で確認を行うべき動作がある。そのような動作を据え付けの端末が一台しかない半導体製造装置で実施する場合、操作者が端末を操作する位置と操作者が目視で動作の確認を行うべき位置との間で行き来する必要があり、操作性が悪い。 In order to meet the demand for miniaturization of semiconductor devices to be manufactured and higher throughput, semiconductor manufacturing apparatuses are becoming larger year by year. Among the operations of the semiconductor manufacturing apparatus, there is an operation that an operator should confirm visually. When such an operation is carried out in a semiconductor manufacturing apparatus having only one installed terminal, it is necessary to move between the position where the operator operates the terminal and the position where the operator should visually confirm the operation. Yes, operability is bad.
半導体製造装置の周辺の複数箇所に必要な機能を備えた端末を設置することができれば、上記のような操作性の問題は生じないが、複数の端末を設置することには、スペースの増加の点およびコストの増加の点で望ましくない。 If terminals with necessary functions can be installed at multiple locations around the semiconductor manufacturing equipment, the above operability problems will not occur, but installing multiple terminals will increase the space. This is undesirable in terms of cost and cost.
これに関連して、少数の端末で効率良く半導体製造装置を動作させるための技術がある。例えば、特許文献１には、一台の半導体露光装置に対して複数の端末を接続することができる半導体露光システムが開示されている。
In this regard, there is a technique for operating a semiconductor manufacturing apparatus efficiently with a small number of terminals. For example,
しかし、特許文献１に開示されたシステムでは、端末が操作される位置を考慮した制限がなされないので、操作者は、操作対象の動作の目視が困難な位置にある端末を操作して当該動作を実行することができてしまう。
However, in the system disclosed in
本発明は、例えば、操作対象の動作の目視が困難な位置にある端末を操作して当該動作が実行されるのを制限するのに有利な技術を提供することを目的とする。 An object of the present invention is, for example, to provide a technique that is advantageous for restricting execution of an operation by operating a terminal at a position where it is difficult to visually check the operation of the operation target.
本発明の１つの側面は、処理部と、制御部とを含み、移動式端末から操作可能な処理装置に係り、前記制御部は、前記移動式端末の位置に基づいて、前記移動式端末からの指令により実行できる前記処理部の動作の制限を行う。 One aspect of the present invention relates to a processing device that includes a processing unit and a control unit, and that can be operated from a mobile terminal. The control unit is connected to the mobile terminal based on a position of the mobile terminal. The operation of the processing unit that can be executed by the command is restricted.
本発明によれば、例えば、操作対象の動作の目視が困難な位置にある端末を操作して当該動作が実行されるのを制限するのに有利な技術が提供される。 Advantageous Effects of Invention According to the present invention, for example, a technique that is advantageous for restricting execution of an operation by operating a terminal at a position where it is difficult to visually check the operation of the operation target is provided.
以下、本発明の例示的な実施形態の説明を通して本発明を説明する。
［第１実施形態］
図１には、本発明の第１実施形態の処理システム１の構成が示されている。処理システム１は、処理装置１０１と、１又は複数の移動式端末１０７とを備えうる。図１には、複数の移動式端末１０７として、移動式端末１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃ、１０７Ｄが示されている。以下では、複数の移動式端末１０７Ａ、１０７Ｂ、１０７Ｃを相互に個別することなく説明される場合には、移動式端末１０７として記載される。処理システム１は、更に、固定式端末１０３を備えうる。
The invention will now be described through the description of exemplary embodiments of the invention.
[First Embodiment]
FIG. 1 shows the configuration of a
処理装置１０１は、制御装置（制御部）１０２、ゲートウェイ１０４、１又は複数の認証装置（認証部）１０５と、処理部とを備えうる。該処理部は、例えば、リソグラフィ装置（インプリント装置、露光装置、または荷電粒子線描画装置等）、成膜装置、エッチング装置等の半導体製造装置でありうる。換言すると、処理装置１０１は、例えば、リソグラフィ装置、成膜装置、エッチング装置等の半導体製造装置として構成されうる。処理装置１０１は、移動式端末１０７によって操作可能である。
The
図１には、複数の認証装置１０５として、互いに離隔して配置された認証装置１０５Ａ、１０５Ｂ、１０５Ｃ、１０５Ｄが示されている。認証装置１０５Ａ、１０５Ｂ、１０５Ｃ、１０５Ｄは、それぞれローカルな通信回線１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄを構成する。以下では、複数の認証装置１０５Ａ、１０５Ｂ、１０５Ｃ、１０５Ｄを相互に個別することなく説明される場合には、認証装置１０５として記載される。また、複数の通信回線１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃ、１０６Ｄを相互に個別することなく説明される場合には、通信回線１０６として記載される。移動式端末１０７および固定式端末１０３が操作者によって操作されることによって発行される動作の実行要求は、制御装置１０２によって制御されうる。
FIG. 1 shows
移動式端末１０７は、認証装置１０５およびそれに対応する通信回線１０６、更にはゲートウェイ１０４を介して制御装置１０２に接続されうる。また、移動式端末１０７は、通信回線１０８、更にはゲートウェイ１０４を介して制御装置１０２に接続されうる。
The
複数の認証装置１０５は、非接触通信によって移動式端末１０７との間に通信回線１０６を構成しうる。複数の認証装置１０５の非接触通信の範囲は互いに異なる。つまり、換言すると、複数の認証装置１０５は、１つの移動式端末１０７が２以上の認証装置１０５に同時に接続されることがないように構成されうる。複数の通信回線１０６の全部または一部は、互いに異なる通信方式で通信を行うように構成されてもよい。
The plurality of
図２には、図１に示された処理システム１の一部が具体化された構成および情報の流れが示されている。制御装置１０２は、主制御部１０２１、操作位置管理部１０２２、接続端末管理部１０２３、実行権限管理部１０２４を含む。主制御部１０２１は、移動式端末１０７が操作者によって操作された位置（以下、操作位置）を特定する操作位置特定部１０２１１を含む。主制御部１０２１は、移動式端末１０７から送られてきた指令を解釈し、操作位置特定部１０２１１によって特定された移動式端末１０７の操作位置、および、指令の内容に基づいて、当該指令に従う動作の実行の可否を判定する。換言すると、制御装置１０２は、移動式端末１０７の位置に基づいて、移動式端末１０７が処理装置１０１に実行させることができる動作を制限する。あるいは、制御装置１０２は、移動式端末１０７の位置に基づいて、移動式端末１０７からの指令により実行できる処理装置１０１の動作の制限を行う。
FIG. 2 shows a configuration in which a part of the
操作位置管理部１０２２は、各移動式端末１０７の操作位置を示す操作位置管理情報１０２５Ａを管理する。操作位置管理情報１０２５Ａは、図３（ａ）に示されるように、「通信経路」、「端末位置」、「認証方法」、「認証コード」を示す情報を含む。「通信経路」は、該当する移動式端末１０７が複数の通信回線１０６Ａおよび通信回線１０８のうちいずれの通信回線を利用して通信を行っているかを示す情報である。「端末位置」は、該当する移動式端末１０７が複数の認証装置１０５のいずれによって認証されたかを示す情報である。制御装置１０２（主制御部１０２１）は、複数の認証装置１０５のうち移動式端末１０７を認証した認証装置１０５を特定する情報である「端末位置」に基づいて移動式端末１０７の位置を特定することができる。「認証方法」は、該当する移動式端末１０７が認証された認証方法を示す情報である。「認証コード」は、該当する移動式端末１０７に割り当てられた認証コードを示す情報である。
The operation
接続端末管理部１０２３は、接続端末管理情報１０２５Ｂを管理する。接続端末管理情報１０２５Ｂは、図３（ｂ）に示されるように、「端末ＩＤ」、「端末位置」、「認証後経過時間」を示す情報を含む。「端末ＩＤ」は、該当する移動式端末１０７に割り当てられたＩＤである。「端末位置」は、前述のとおり、該当する移動式端末１０７が複数の認証装置１０５のいずれによって認証されたかを示す情報である。「認証後経過時間」は、該当する移動式端末１０７が認証装置１０５によって認証された後に経過した時間を示す情報である。
The connected
実行権限管理部１０２４は、実行可否情報１０２５Ｃを管理する。実行可否情報１０２５Ｃは、図３（ｃ）に示されるように、「端末位置」、「動作内容」、「実行権限」を示す情報を含む。「端末位置」は、前述のとおり、該当する移動式端末１０７が複数の認証装置１０５のいずれによって認証されたかを示す情報である。「動作内容」は、該当する移動式端末１０７が処理装置１０１に対して実行を要求する動作内容を示す情報である。「動作内容」は、例えば、処理装置１０１において、実行要求において指定されるユニット（例えば、ステージ、ロボット、シャッタ、ドア等）を移動させる動作でありうる。あるいは、「動作内容」は、例えば、複数の基板等からなるロットに対する所定の処理（例えば、基板にパターンを転写する処理）でありうる。「実行権限」は、該当する移動式端末１０７に対して与えられた実行権限（動作の実行を要求可能な権限）を示す情報である。
The execution
以下、移動式端末１０７が操作者によって操作されたときに処理システム１において実行される処理を説明する。以下の説明に付されるＳ２０１〜Ｓ２１７は、工程を示しており、図２にも付されている。まず、操作者が移動式端末１０７を認証装置１０５と通信可能な位置に移動させ、必要に応じて移動式端末１０７を操作して端末接続操作を行う（Ｓ２０１）。端末接続操作（Ｓ２０１）が実行された場合、あるいは認証装置１０５との自動接続が有効となっていた場合は、移動式端末１０７から認証装置１０５に対して認証コード要求が行われる（Ｓ２０２）。ここで、移動式端末１０７と認証装置１０５との間で直接に通信を行わない構成が採用されてもよい。この場合は、認証装置１０５に対して操作者が認証コード要求を行うための機能を設けておき、操作者が当該機能を利用して手動で認証コード要求を行いうる（Ｓ２０３）。認証コード要求を操作者が手動で行う機能の実現方法については特に制約はない。該機能は、例えば、物理的なボタンによって提供されてもよいし、タッチパネル等のデバイスを利用したソフトウェアボタンによって提供されてもよい。
Hereinafter, processing executed in the
認証装置１０５は、Ｓ２０２またはＳ２０３で受け取った認証コード要求を受け取り、制御装置１０２の主制御部１０２１に送信する（Ｓ２０４）。認証コード要求は、図１に示されたゲートウェイ１０４において主制御部１０２１が解釈できるデータに変換されるとともに、その認証コード要求がどの通信経路（通信回線）を用いて行われたのかが特定され、主制御部１０２１に送られる。
The
その後、主制御部１０２１は、操作位置管理部１０２２に対して認証コード生成要求を送る（Ｓ２０５）。この認証コード生成要求は、認証コード要求を発した移動式端末１０７に対して提供すべき認証コードの生成を要求するものである。操作位置管理部１０２２は、図１に示されたゲートウェイ１０４によって実現される特定の通信経路に対して所定時間にわたって固有な値を有する認証コードを生成する。そして、操作位置管理部１０２２は、その認証コードを操作位置管理情報１０２５Ａに保存するとともに主制御部１０２１に送信する（Ｓ２０６）。主制御部１０２１は、操作位置管理部１０２２が生成した認証コードを要求元である認証装置１０５に返信する（Ｓ２０７）。そして、認証装置１０５は、認証コードを要求した移動式端末１０７に対して、主制御部１０２１から受信した認証コードを送信する（Ｓ２０８）。以上のようにして、認証装置１０５と移動式端末１０７との間で認証に関する情報が交換される。
Thereafter, the
ここで、移動式端末１０７と認証装置１０５との間で直接に通信を行わない構成が採用される場合は、認証装置１０５に設けられた表示装置に認証コードを表示し、操作者がその認証コードを移動式端末１０７に入力する構成が採用されうる。
Here, when a configuration in which direct communication is not performed between the
認証コードを受け取った後、移動式端末１０７は、主制御部１０２１に対して端末接続要求を送信する（Ｓ２０９）。この端末接続要求には認証コードが含まれる。主制御部１０２１は、操作位置特定部１０２１１が認証コードに基づいて操作位置管理情報１０２５Ａを参照することによって移動式端末１０７の位置を特定する。
After receiving the authentication code, the
主制御部１０２１は、端末接続要求を送ってきた移動式端末１０７の接続可否を判定し、接続を許可する場合は、接続端末管理部１０２３に対して、移動式端末１０７が新たに接続されたことを示す更新通知を行う（Ｓ２１０）。なお、接続可否の判定は、端末の接続権限や通信経路の使用権限等の様々な条件に基づいて行われうる。
The
接続端末管理部１０２３は、新たに接続された移動式端末１０７の情報を接続端末管理情報１０２５Ｂへ保存し、接続端末管理情報１０２５Ｂを更新したことを主制御部１０２１に対して通知する（Ｓ２１１）。また、主制御部１０２１は、接続端末管理情報１０２５Ｂの更新と同時に、接続後の経過時間を計時するタイマーを起動して、経過時間の計時を開始させる。主制御部１０２１は、接続端末管理部１０２３からの更新通知を受信した後、接続要求元である移動式端末１０７に対して、接続可否の判定結果を示す接続要求応答を送る（Ｓ２１２）。更に、主制御部１０２１は、接続された移動式端末１０７の位置（端末位置）についての実行可否情報１０２５Ｃの変更を一時的に禁止し、端末位置と実行を指令可能な動作内容との関係を確定させる。この状態で、操作者が移動式端末１０７を操作して処理装置１０１に対して、動作内容によって特定される動作の実行を指令すると（Ｓ２１３）、移動式端末１０７から主制御部１０２１に対して実行要求が送信される（Ｓ２１４）。ここで、図４を参照しながら、この実行要求を受けた主制御部１０２１が行う実行可否判定処理について説明する。
The connected
主制御部１０２１は、実行要求（Ｓ２１４）と接続端末管理情報（１０２５Ｂ）に基づいて、実行要求を発した移動式端末１０７の端末位置と、動作内容とを特定する（Ｓ４０１）。更に、主制御部１０２１は、その端末位置において移動式端末１０７と処理装置１０１との接続が確立してからの経過時間が許容範囲内にあるか否かを判定する（Ｓ４０２）。
Based on the execution request (S214) and the connected terminal management information (1025B), the
そして、接続後の経過時間が許容範囲外である場合、主制御部１０２１は、その移動式端末１０７が、接続が確立された時点の位置には存在していないものと見做す。そして、主制御部１０２１は、接続端末管理情報１０２５Ｂに登録されている端末位置に関する情報を遠隔地相当の操作位置で接続した直後の状況と同等の情報（初期値）に変更する（Ｓ４０３）。なお、接続後経過時間の許容範囲は、事前に任意の値に決定される。この値は全ての端末位置において共通でもよいし、端末位置毎に個別の値であってもよい。
If the elapsed time after connection is outside the allowable range, the
接続後経過時間が許容範囲内である場合、主制御部１０２１は、動作の実行要求元の移動式端末１０７の端末位置と動作内容に基づいて、実行可否情報１０２５Ｃを参照することによって、当該動作内容に係る動作の実行権限の有無を判定する（Ｓ４０４）。これは、当該端末位置に存在する移動式端末１０７に当該動作の実行権限があるかどうかを判定することを意味する。そして、当該端末位置に存在する移動式端末１０７に当該動作の実行権限がない場合、主制御部１０２１は、当該移動式端末１０７に対して要求を拒否する旨の応答を行う（Ｓ４０６）。一方、当該端末位置に存在する移動式端末１０７に当該動作の実行権限がある場合、主制御部１０２１は、その実行権限に応じた応答を返す（Ｓ４０５）。また、主制御部１０２１は、当該実行要求に係る動作を実行する（Ｓ４０７）。即ち、主制御部１０２１は、複数の認証装置１０５のいずれかによって移動式端末１０７が認証されてから所定時間の間は、移動式端末１０７を認証した認証装置１０５に対応する動作を移動式端末１０７が処理装置１０１に実行させることを許容する。あるいは、主制御部１０２１は、複数の認証装置１０５のいずれかによって移動式端末１０７が認証されてから所定時間の間は、該移動式端末１０７の動作を、該移動式端末１０７を認証した認証装置１０５に対応する動作に制限する。
When the elapsed time after connection is within the allowable range, the
上記の応答（Ｓ４０６、Ｓ４０６）は、図２において、移動式端末１０７から主制御部１０２１に対する実行要求（Ｓ２１４）に応答して主制御部１０２１から当該移動式端末１０７に送信される実行要求応答（Ｓ２１５）に相当する。
The above responses (S406, S406) are the execution request responses transmitted from the
以上のように、移動式端末１０７からの実行要求に対して、主制御部１０２１は、当該移動式端末１０７の位置（端末位置）に基づいてその実行要求に係る動作内容に従う動作の実行可否を判定し、その判定結果に従って動作する。
As described above, in response to an execution request from the
何らかの事情により、実行可否情報１０２５Ｃを変更する場合、端末機能の実行制御に悪影響を与えないように、主制御部１０２１を経由してその変更がなされうる（Ｓ２１６、Ｓ２１７）
以下、上記の実施形態を具体化した２つの実施例を説明する。
［実施例１］
実施例１では、移動式端末の認証用に近距離無線通信、およびバーコードを用いた例である。図５Ａには、上記実施形態の処理システムの一例としてのクラスタ型インプリントシステム２の通信制御系の構成が示され、図５Ｂには、インプリントシステム２の搬送関連ユニットの配置が示されている。
When the
Hereinafter, two examples embodying the above embodiment will be described.
[Example 1]
The first embodiment is an example in which short-range wireless communication and a barcode are used for authentication of a mobile terminal. FIG. 5A shows the configuration of the communication control system of the cluster
インプリントシステム（処理装置）２は、共通搬送装置５０１、処理部（例えば、インプリント装置）５０２、５０３、５０４を備えている。共通搬送装置５０１は、通信制御関連ユニットとして、ゲートウェイ５０５、制御装置(制御部)５０６、固定式端末５０７を備えている。また、共通搬送装置５０１は、搬送関連ユニットとして、ウェハ搬入出部５１５、プリアライメントユニット５１８、ウェハ搬送ロボット５１７を備えている。
The imprint system (processing device) 2 includes a
共通搬送装置５０１と外部との境界部には、ウェハ搬入出部ドア５１４、および作業者（操作者）が共通搬送装置５０１内に出入りするためのメンテナンス用ドア５２３が配置されている。処理部５０２、５０３、５０４と外部との境界部には、原版搬入出部ドア５２０（５２０Ａ、５２０Ｂ、５２０Ｃ）が配置されている。また、共通搬送装置５０１と処理部５０２、５０３、５０４との境界部には、ウェハ供給回収時に開くゲートバルブ５１９（５１９Ａ、５１９Ｂ、５１９Ｃ）が配置されている。
At the boundary between the
ウェハ（基板）は、ウェハ搬入出部５１５へと搬入され、ウェハ搬送ロボット移動機構５１６に取り付けられたウェハ搬送ロボット５１７によってプリアライメントユニット５１８へと搬送され位置合わせが行われる。その後、ウェハは、処理部５０２、５０３、５０４のいずれかに供給され、処理部５０２、５０３、５０４内の不図示の処理部によって処理（例えば、インプリント処理によるパターン形成）が行われる。その後、ウェハは、再びウェハ搬送ロボット５１７によってウェハ搬入出部５１５へと搬送される。
The wafer (substrate) is carried into the wafer carry-in / out
また、処理部５０２、５０３、５０４には、原版搬入出部５２１、原版搬送ロボット５２２が配置されている。原版搬入出部５２１（５２１Ａ、５２１Ｂ、５２１Ｃ）よって搬入された原版（例えば、モールド）は、原版搬送ロボット５２２によって不図示の処理部へと搬送され、ウェハの処理に使用されうる。
The
更に、処理部５０２、５０３、５０４には、移動式端末との認証コードの授受に用いられる認証装置５０８（５０８Ａ、５０８Ｂ、５０８Ｃ）が設けられている。処理部５０２、５０４には、認証装置５０９（５０９Ａ、５０９Ｂ）が設けられている。共通搬送装置５０１には、認証装置５０８（５０８Ｄ）が設けられている。この実施例では、認証装置５０８は近距離無線通信が可能であり、認証装置５０９はバーコード表示が可能となっている。
Further, the
図５Ａに示された例では、認証装置５０８Ａと移動式端末５１３Ａが近距離無線通信（非接触通信）５１０Ａを介して接続されている。そして、認証装置５０９Ａが表示したバーコードをカメラ撮影５１１Ａにより移動式端末５１３Ｂが読み取り、認証装置５０８Ｄと移動式端末５１３Ｃが近距離無線通信５１０Ｂを介して接続されている。また、共通搬送装置５０１内に移動式端末５１３Ｄがゲートウェイ５０５を介して有線接続され、共通搬送装置５０１の外板に設置された固定式端末５０７がゲートウェイ５０５を介して有線接続されている。また、移動式端末５１３Ａは、工場側無線ＬＡＮ５１２Ｂ、工場側有線ＬＡＮ５１２Ａを介してゲートウェイ５０５と接続されており、移動式端末５１３Ｂ、移動式端末５１３Ｃは、工場側有線ＬＡＮ５１２Ａを介してゲートウェイ５０５と接続されている。
In the example shown in FIG. 5A, the
次に、図６を参照しながら近距離無線通信５１０（５１０Ａ、５１０Ｂ）を用いて認証コードを授受するための構成について説明する。この実施例では、数メートルの間隔で複数の認証装置を配置する必要があり、かつ送受信するデータ量が少ないので、通信モジュールとしてＮＦＣ規格のものを採用した。また、移動式端末５１３側の通信モジュール６０１と認証装置５０８側の通信モジュール６０２が安定して通信できる位置関係となるように、移動式端末を保持するためのガイド６１０が処理装置の外板６２０に設けられている。これにより、移動式端末５１３を任意の認証装置５０８のガイド６１０に装着するだけで通信モジュール６０１、６０２による直接通信が可能な状態となる。
Next, a configuration for exchanging an authentication code using the short-range wireless communication 510 (510A, 510B) will be described with reference to FIG. In this embodiment, since it is necessary to arrange a plurality of authentication devices at intervals of several meters and the amount of data to be transmitted / received is small, the communication module of the NFC standard is adopted. Further, a
次に、図７を参照しながら、バーコードを用いて認証コードを授受するための構成について説明する。この実施例では、認証コードをバーコードとして授受するため、認証装置５０９側の表示パネル７０２には液晶パネルが採用されている。そして、表示パネル７０２のバーコード表示領域７０４に表示された二次元バーコードは、移動式端末５１３のカメラモジュール７０１で撮影される。バーコード表示領域７０４は、カメラモジュール７０１の撮影可能範囲７０３に収まるようにする必要がある。そこで、カメラモジュール７０１の画角と焦点距離を考慮し、移動式端末５１３を適切な位置で保持するためのガイド７１０が処理装置の外板７２０に設けられている。表示パネル７０２には、２１×２１セル構成のＱＲコードをドット・バイ・ドットで表示するために、画素サイズが０．２５ｍｍ近傍の液晶パネルが採用された。
Next, a configuration for exchanging an authentication code using a barcode will be described with reference to FIG. In this embodiment, a liquid crystal panel is used as the
次に、認証装置５０８、５０９を用いた認証コードの授受について説明する。図８には、近距離無線通信により認証コードを自動で授受するシーケンスが示されている。認証コードを自動で授受する場合、認証装置５０８と接続されていない移動式端末５１３は、所定の時間毎に近距離無線通信により認証コードの読み取りを実施する（Ｓ８０１）。この読み取りにおいて、移動式端末５１３が認証装置５０８を示す情報を検出した場合（Ｓ８０２）、移動式端末５１３から認証装置５０８に対して認証コード要求が送信される（Ｓ８０３）。認証コード要求は、不図示のゲートウェイを経由して制御装置５０６の主制御部５０６１に通知される。主制御部５０６１では、ゲートウェイのポート番号を検索キーとして操作位置管理情報を検索し端末位置を特定し（Ｓ８０４）、制御装置５０６の操作位置管理部５０６２に対して認証コードの生成、および保管を要求する（Ｓ８０５）。その後、主制御部５０６１は、生成された認証コードを、認証装置５０８を経由して移動式端末５１３に返信し、移動式端末５１３は、受信した認証コードを保管する（Ｓ８０６）。
Next, the exchange of authentication codes using the
図９には、近距離無線通信により認証コードを半自動で授受するシーケンスが示されている。認証コードを半自動で授受する場合、移動式端末５１３を認証装置５０８の近傍に移動しても認証コードの読み取りは実施されない（Ｓ９０１）。操作者が移動式端末５１３を操作することにより、認証装置５０８を示す情報の読み取りが開始される（Ｓ９０２）。ここで、認証装置５０８が検出された場合、図８の自動授受と同様のシーケンスとなるので、説明を省略する。
FIG. 9 shows a sequence in which an authentication code is exchanged semi-automatically by short-range wireless communication. When the authentication code is exchanged semi-automatically, the authentication code is not read even if the
図１０には、バーコードの出力および読み取りによって認証コードを半自動で授受するシーケンスが示されている。認証コードを半自動で授受する場合、移動式端末５１３を認証装置５０９の近傍に移動しても認証コードの読み取りは実施されない（Ｓ１００１）。操作者が移動式端末５１３を操作することにより、認証装置５０９を示す情報の読み取りが開始される（Ｓ１００２）。ここで、移動式端末５１３が認証装置５０９の情報（初期認証コード）を含むバーコードを読み取った場合、移動式端末５１３は、外部の通信回線（工場設備側ＬＡＮ等）を介して、主制御部５０６１に対して認証コードの出力を要求する（Ｓ１００３）。主制御部５０６１では、認証コード要求に含まれる初期認証コード（認証前の初期値）をキーとして操作位置管理情報を検索することによって、認証コードの出力を要求した移動式端末５１３の端末位置を特定する（Ｓ１００４）。
FIG. 10 shows a sequence in which an authentication code is exchanged semi-automatically by outputting and reading a barcode. When the authentication code is exchanged semi-automatically, the authentication code is not read even if the
端末位置が特定された後、制御装置５０６の操作位置管理部５０６２によって認証コードが生成され保管される（Ｓ１００５）。生成された認証コードは、主制御部５０６１を経由して、認証装置５０９へと送られ、認証装置５０９がバーコードとして認証コードを表示（更新）する。移動式端末５１３は、バーコードの更新を検出し、そのバーコードによって示される新しい認証コードを保管する（Ｓ１００６）。
After the terminal position is specified, an authentication code is generated and stored by the operation position management unit 5062 of the control device 506 (S1005). The generated authentication code is sent to the
図１１には、図８〜図１０に示されるシーケンスが実行される前後の操作位置管理情報が示されている。操作位置管理情報は、制御装置５０６の操作位置管理部５０６２によって管理される。この例では、端末位置”１０”では、図８に示される自動通信処理が実行され、端末位置”２”では、図９に示される半自動通信処理が実行され、端末位置”１１”では、図１０に示されるバーコードを用いた認証コードの通知が実施されている。いずれの認証方法においても、端末位置毎にユニークな認証コードが生成され、各移動式端末５１３に提供される。
FIG. 11 shows the operation position management information before and after the sequence shown in FIGS. 8 to 10 is executed. The operation position management information is managed by the operation position management unit 5062 of the
次に、認証コードを用いて移動式端末５１３を制御装置５０６に接続する接続シーケンスについて説明する。図１２には、接続用の認証コードを受信した移動式端末５１３に関する接続処理の流れが示されている。まず、外部の通信回線（工場設備側ＬＡＮ等）５１２（５１２Ａ、５１２Ｂ）を介して、接続対象の処理システム２の制御装置５０６の主制御部５０６１に対して、接続要求元の移動式端末５１３の端末ＩＤと認証コードを用いて接続要求が送信される（Ｓ１２０１）。
Next, a connection sequence for connecting the
主制御部５０６１では、操作位置特定部５０６１１が、受信した認証コードを操作位置管理情報の認証コードと照合し接続可否を判定する（Ｓ１２０２）。照合した結果、受信した認証コードと同一の認証コードが操作位置管理情報から見つかった場合、操作位置特定部５０６１１は、対応する端末位置にある移動式端末５１３から接続要求が送られたものと見做して、当該移動式端末５１３を接続可能と判断する。一方、同一の認証コードが見つからなかった場合、操作位置特定部５０６１１は、端末位置が不定とみなし、当該移動式端末５１３は接続不可と判断する。図１２に示された例では、認証コードの確認のみ実施しているが、端末ＩＤ毎や端末位置に対する使用可否設定（ブラックリストやホワイトリストによる接続権限管理）を併用してもよい。
In the
接続可能な場合、主制御部５０６１は、接続端末管理部５０６３に対して、図１３に例示されるような接続端末管理情報の更新を指示する。接続端末管理部５０６３が接続端末管理情報を更新した後、主制御部５０６１は、接続要求元である移動式端末５１３に対して接続要求への応答を送信する。接続を許可した場合、図１３に例示される接続端末管理情報の認証後経過時間のカウントアップが開始される（Ｓ１２０３）。
When the connection is possible, the
なお、共通搬送装置５０１と移動式端末５１３との間の通信処理が近距離無線通信５１０の帯域で処理できる量である場合、外部の通信回線５１２を用いずに認証装置経由の通信経路のみで全ての通信処理を実施する構成にしてもよい。
If the communication processing between the
次に、図１４を参照しながら、接続された移動式端末５１３から共通搬送装置５０１、処理装置５０２、５０３、５０４に動作を実行させる実行要求が送信された場合の制御装置５０６の処理を説明する。接続状態にある移動式端末５１３を操作者が操作して動作内容を指定して動作の実行要求がなされると、移動式端末５１３から制御装置５０６に対して、移動式端末５１３の端末ＩＤと動作内容を示す動作内容ＩＤを含む動作実行指令が送信される（Ｓ１４０１）。動作内容ＩＤは、移動式端末５１３のユーザーインターフェース上に公開されている動作内容を特定する識別子である。動作内容の候補は、例えば、ロット処理の開始指令等の頻繁に使用する一般的な動作内容の他、搬送中のウェハの管理情報の強制削除等のように、トラブル発生時に使用される動作内容を含みうる。
Next, with reference to FIG. 14, the processing of the
動作実行指令を受信した制御装置５０６は、端末ＩＤをキーとして、図１３に例示される接続端末管理情報を検索し、動作実行指令を送信した移動式端末５１３の端末位置を特定する（Ｓ１４０２）。その後、制御装置５０６は、移動式端末５１３から受信した動作内容ＩＤと特定した端末位置とをキーとして、図１５の実行権限（実行可または禁止）を検索する。そして、制御装置５０６は、動作内容ＩＤに係る動作について当該端末位置の移動式端末５１３に与えられた実行権限を特定する（Ｓ１４０３）。そして、制御装置５０６は、実行権限が与えられていない場合（動作実行指令に係る動作の実行が制限されている場合）は、動作実行指令を送信してきた移動式端末５１３に対して拒否応答を返信する。一方、実行権限が与えられている場合（動作実行指令に係る動作の実行が制限されていない場合）は、制御装置５０６は、動作実行指令を送信してきた移動式端末５１３に対して肯定応答を返すとともに、動作実行指令に係る動作を実行する。
The
次に、図１６を参照しながら、接続後経過時間の期限切れが生じた場合の処理の流れを説明する。まず、図１２に示される処理と同様の流れ（Ｓ１２０３までの処理）で移動式端末５１３が接続される。その後、接続端末管理部５０６３は、図１７に示される接続端末管理情報から、端末位置に対応する認証コードの有効期限を取得し、接続後の経過時間を監視するためのタイマーをスタートする。
Next, a processing flow when the elapsed time after connection has expired will be described with reference to FIG. First, the
その後、接続端末管理部５０６３は、認証期限が切れた端末が発生したことを検出すると（Ｓ１６０１）、該当する端末ＩＤを示す情報（端末ＩＤ、端末位置）を主制御部５０６１に通知する。主制御部５０６１は、認証期限が切れた移動式端末５１３が検出された場合、操作位置管理部５０６２に対して端末位置変更指示を送る（Ｓ１６０２）。この端末位置変更指示は、通信経路と端末位置との関係を初期化することを求める指示でありうる。初期化は、例えば、該当する端末位置を初期値（例えば、実行権限がほとんどない遠隔地相当の操作位置であり、予め登録されうる）に変更するものでありうる。これと併せて、主制御部５０６１は、接続端末管理部５０６３に対して、端末の接続状態を更新するよう指示する（Ｓ１６０２）。操作位置管理情報、接続端末管理情報の更新が完了した後、主制御部５０６１は、移動式端末５１３に対して認証期限が切れたことを示す認証期限切れ通知を行う。移動式端末５１３の側では、認証期限切れ通知を受け、被地用に応じて、認証コードの再取得が行われうる。認証コードの再取得は、図８、図９、図１０を参照して説明したシーケンスでなされうる。
［実施例２］
実施例２は、移動式端末と認証装置との間で双方向通信が使用できない場合の認証方法を提供する。なお、認証装置と認証方法を除く部分については、実施例１と同様である。図１８には、移動式端末５１３の操作者に認証コードを提供するための構成を説明する。ここでは、一例として、前述の認証装置５０９に代えて認証装置５０９’が図５Ａ、５Ｂに示されるインプリントシステム２に設けられているものとして説明する。
After that, when the connected
[Example 2]
The second embodiment provides an authentication method when bidirectional communication cannot be used between a mobile terminal and an authentication device. Note that portions other than the authentication device and the authentication method are the same as those in the first embodiment. FIG. 18 illustrates a configuration for providing an authentication code to the operator of the
認証装置５０９’は、小型のタッチパネルディスプレイ７３０を有する。タッチパネルディスプレイ７３０は、操作者が認証コードの表示を要求するための操作領域７３１と、認証コードを表示する表示する表示領域７３２を有する。移動式端末５１３の操作者が操作領域７３１にタッチすることによって認証コードの表示を要求すると、認証装置５０９’は、制御装置５０６から認証コードを取得し、その認証コードを表示領域７３２に表示する。これにより、移動式端末５１３の操作者は、認証コードを取得することができる。移動式端末５１３の操作者は、認証コードを移動式端末５１３に入力することによって、通信回線５１２を介して制御装置５０６に接続することができる。
The
図１９には、認証コードの表示の要求から移動式端末５１３に認証コードが保存されるまでの流れが示されている。まず、移動式端末５１３の操作者が認証装置５０９’のタッチパネルディスプレイ７３０の操作領域７３１にタッチすることによって認証装置５０９’に対して認証コードの表示を要求する（Ｓ１９０１）。それに応答して、認証装置５０９’から主制御部５０６１に対して認証コード要求を送信する。以降、図８、図９、図１０に示されたシーケンスと同様のシーケンスで、操作位置管理部によって認証コードが生成され、主制御部５０６１を経由して認証装置５０９’に認証コードが通知される。その後、認証装置５０９’は、タッチパネルディスプレイ７３０の表示領域７３２に、取得した認証コードを表示する（Ｓ１９０２）。移動式端末５１３の操作者は、目視によって認証コードを取得することができる。そして、移動式端末５１３の操作者が認証コードを移動式端末５１３に入力すると、移動式端末５１３は、その認証コードを保存する（Ｓ１９０３）。これにより、移動式端末５１３は、通信回線５１２を介して制御装置５０６に接続することができる。
［第２実施形態］
第１実施形態では、操作者が実行を希望する動作内容が実行可能な動作であるのかどうかは、その動作内容の動作の実行指令を出してその結果が戻ってくるまで分からない。第２実施形態は、実行可能な動作内容を示す情報を予め操作者に提供する機能を提供する機能が第１実施形態に対して追加されている。
FIG. 19 shows a flow from the request for displaying the authentication code to the storage of the authentication code in the
[Second Embodiment]
In the first embodiment, whether or not the operation content desired by the operator is an executable operation is unknown until an operation execution command for the operation content is issued and the result is returned. In the second embodiment, a function of providing a function of providing information indicating executable operation contents to an operator in advance is added to the first embodiment.
図２０には、図２に示された第１実施形態の処理システム１の変形例としての第２実施形態の処理システム１’の構成が示されている。第２実施形態の処理システム１’は、移動式端末１０７が参照可能な実行可否情報１０２５Ｃを有する。また、第２実施形態の処理システム１’は、実行可否情報１０２５Ｃを主制御部１０２１側の実行可否情報１０２５Ｃと同期させるため、移動式端末１０７と主制御部１０２１との間で権限情報要求（Ｓ２００１）、権限情報送信（Ｓ２００２）を行う。
FIG. 20 shows a configuration of a
図２１は、接続用の認証コードを受信した移動式端末１０７に関する接続処理の流れが示されている。図２１に示された処理は、接続結果を表示するまでは図１２と同様であるが、その後、移動式端末１０７の位置と実行可否情報１０２５Ｃを用いて移動式端末１０７のＧＵＩを更新する処理が追加されている。
FIG. 21 shows a flow of connection processing related to the
ＧＵＩ更新の具体例としては、例えば、一切の権限が与えられていない動作内容を非表示にし、参照のみ許可されている動作内容をグレー表示にし、実行を許可されている動作内容を選択可能な動作として表示することなどが考えられる。つまり、制御装置１０２（主制御部１０２１）は、処理装置１０１が実行可能な複数の動作のうち移動式端末１０７の位置に応じて特定される動作を移動式端末１０７の操作者が選択可能な動作として移動式端末１０７に表示させうる。
As a specific example of GUI update, for example, operation contents for which no authority is given can be hidden, operation contents for which only reference is permitted are displayed in gray, and operation contents for which execution is permitted can be selected. It can be displayed as an action. That is, the control device 102 (main control unit 1021) can select an operation specified according to the position of the mobile terminal 107 from among a plurality of operations that can be executed by the
次に、図２２を参照しながら、実行可否情報を同期させるシーケンスを説明する。移動式端末１０７の起動後、所定のタイミングで実行可否情報１０２５Ｃを用いて移動式端末１０７の操作画面の表示状態が設定される。この時点で、制御装置１０２と移動式端末１０７の実行可否情報の同期が保たれていたとしても、制御装置１０２側で任意のタイミングで実行可否情報１０２５Ｃを変更することが可能であるため、実行可否情報１０２５ＣＣの内容が古いままとなる場合がある。
Next, a sequence for synchronizing execution availability information will be described with reference to FIG. After the activation of the
図２２に示されたシーケンスでは、動作実行指令への応答（Ｓ１４０４）で実行が拒否された場合に、それをトリガとして移動式端末１０７が実行可否情報の要求（Ｓ２２０２）を制御装置１０２に行う。これに応答して、制御装置１０２が移動式端末１０７に実行可否情報を送信する（Ｓ２２０３）。移動式端末１０７は、制御装置１０２から受信した実行可否情報に基づいて操作画面に反映させる（Ｓ２２０４）。
In the sequence shown in FIG. 22, when the execution is rejected in response to the operation execution command (S 1404), the
ただし、同期方法はこれに限定されるものではないため、制御装置１０２が接続中の移動式端末１０７に能動的に実行可否情報を送信しても良いし、一定間隔で同期を確認してもよい。いずれの同期方法であっても、最新の実行可否情報に基づいて移動式端末１０７の操作画面を移動式端末１０７に与えられた権限に応じた表示状態とすることができる。
However, since the synchronization method is not limited to this, the
インプリントシステムを用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、ＭＥＭＳ、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、ＤＲＡＭ、ＳＲＡＭ、フラッシュメモリ、ＭＲＡＭのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、ＬＳＩ、ＣＣＤ、イメージセンサ、ＦＰＧＡのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。 The pattern of the cured product formed using the imprint system is used permanently on at least a part of various articles or temporarily used when manufacturing various articles. The article is an electric circuit element, an optical element, a MEMS, a recording element, a sensor, or a mold. Examples of the electric circuit elements include volatile or nonvolatile semiconductor memories such as DRAM, SRAM, flash memory, and MRAM, and semiconductor elements such as LSI, CCD, image sensor, and FPGA. Examples of the mold include an imprint mold.
硬化物のパターンは、上記物品の少なくとも一部の構成部材として、そのまま用いられるか、或いは、レジストマスクとして一時的に用いられる。基板の加工工程においてエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。 The pattern of the cured product is used as it is as a constituent member of at least a part of the article or temporarily used as a resist mask. After etching or ion implantation or the like is performed in the substrate processing step, the resist mask is removed.
次に、上記の処理システムあるいはインプリントシステムによって物品を製造する物品製造方法について説明する。図２３（ａ）に示すように、絶縁体等の被加工材２ｚが表面に形成されたシリコンウエハ等の基板１ｚを用意し、続いて、インクジェット法等により、被加工材２ｚの表面にインプリント材３ｚを付与する。ここでは、複数の液滴状になったインプリント材３ｚが基板上に付与された様子を示している。
Next, an article manufacturing method for manufacturing an article using the above processing system or imprint system will be described. As shown in FIG. 23A, a
図２３（ｂ）に示すように、インプリント用の型４ｚを、その凹凸パターンが形成された側を基板上のインプリント材３ｚに向け、対向させる。図２３（ｃ）に示すように、インプリント材３ｚが付与された基板１と型４ｚとを接触させ、圧力を加える。インプリント材３ｚは型４ｚと被加工材２ｚとの隙間に充填される。この状態で硬化用のエネルギーとして光を型４ｚを透して照射すると、インプリント材３ｚは硬化する。
As shown in FIG. 23 (b), the imprint mold 4z is opposed to the
図２３（ｄ）に示すように、インプリント材３ｚを硬化させた後、型４ｚと基板１ｚを引き離すと、基板１ｚ上にインプリント材３ｚの硬化物のパターンが形成される。この硬化物のパターンは、型の凹部が硬化物の凸部に、型の凹部が硬化物の凸部に対応した形状になっており、即ち、インプリント材３ｚに型４ｚの凹凸パターンが転写されたことになる。
As shown in FIG. 23D, after the
図２３（ｅ）に示すように、硬化物のパターンを耐エッチングマスクとしてエッチングを行うと、被加工材２ｚの表面のうち、硬化物が無いか或いは薄く残存した部分が除去され、溝５ｚとなる。図２３（ｆ）に示すように、硬化物のパターンを除去すると、被加工材２ｚの表面に溝５ｚが形成された物品を得ることができる。ここでは硬化物のパターンを除去したが、加工後も除去せずに、例えば、半導体素子等に含まれる層間絶縁用の膜、つまり、物品の構成部材として利用してもよい。 As shown in FIG. 23 (e), when etching is performed using the pattern of the cured product as an anti-etching mask, the portion of the surface of the workpiece 2z where there is no cured product or remains thin is removed, and the grooves 5z and Become. As shown in FIG. 23 (f), when the pattern of the cured product is removed, an article in which the groove 5z is formed on the surface of the workpiece 2z can be obtained. Although the cured product pattern is removed here, it may be used as, for example, a film for interlayer insulation contained in a semiconductor element or the like, that is, a constituent member of an article without being removed after processing.
１：処理システム、１０７：移動式端末、１０２１：主制御部、１０２１１：操作位置特定部、１０２２：操作位置管理部、１０２３：接続端末管理部、１０２４：実行権限管理部、１０５：認証装置、１０７：動式端末 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Processing system 107: Mobile terminal 1021: Main control part 10211: Operation position specifying part 1022: Operation position management part 1023: Connection terminal management part 1024: Execution authority management part 105: Authentication apparatus 107: Mobile terminal
Claims (14)
前記制御部は、前記移動式端末の位置に基づいて、前記移動式端末からの指令により実行できる前記処理部の動作の制限を行う、
ことを特徴とする処理装置。 A processing device including a processing unit and a control unit and operable from a mobile terminal,
The control unit limits the operation of the processing unit that can be executed by a command from the mobile terminal based on the position of the mobile terminal.
A processing apparatus characterized by that.
前記制御部は、前記複数の認証部のうち前記移動式端末を認証した認証部を特定する情報に基づいて前記移動式端末の位置を特定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の処理装置。 A plurality of authentication units disposed apart from each other;
The control unit specifies a position of the mobile terminal based on information for specifying an authentication unit that has authenticated the mobile terminal among the plurality of authentication units.
The processing apparatus according to claim 1.
ことを特徴とする請求項２に記載の処理装置。 The control unit performs the operation corresponding to the authentication unit that authenticated the mobile terminal until a predetermined time elapses after the mobile terminal is authenticated by any of the plurality of authentication units. Restricted to
The processing apparatus according to claim 2.
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の処理装置。 The plurality of authentication units acquire information related to authentication from the mobile terminal by non-contact communication.
The processing apparatus according to claim 2, wherein:
ことを特徴とする請求項４に記載の処理装置。 The non-contact communication ranges of the plurality of authentication units are different from each other.
The processing apparatus according to claim 4.
ことを特徴とする請求項２乃至５のうちいずれか１項に記載の処理装置。 The plurality of authentication units receive an authentication code from the mobile terminal;
The processing apparatus according to claim 2, wherein the processing apparatus is one of the following.
ことを特徴とする請求項２又は３に記載の処理装置。 The communication line for authentication and the communication line for the command are different from each other.
The processing apparatus according to claim 2, wherein:
ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の処理装置。 The control unit causes the processing unit to execute an operation when the operation related to the command received from the mobile terminal is not performed as the restriction.
The processing apparatus according to claim 1, wherein the processing apparatus is one of the following.
ことを特徴とする請求項８に記載の処理装置。 When the operation related to the command is the restriction, the control unit notifies the mobile terminal of rejection of the command,
The processing apparatus according to claim 8.
ことを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の処理装置。 The control unit causes the mobile terminal to display an operation of the processing unit that is not restricted.
The processing apparatus according to claim 1, wherein the processing apparatus is one of the following.
ことを特徴とする請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の処理装置。 A lithographic apparatus,
The processing apparatus according to claim 1, wherein the processing apparatus is one of the following.
ことを特徴とする請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の処理装置。 Including a plurality of the processing units;
The processing apparatus according to claim 1, wherein the processing apparatus is one of the following.
前記処理装置を操作する移動式端末と、
を含むことを特徴とする処理システム。 The processing apparatus according to any one of claims 1 to 12,
A mobile terminal for operating the processing device;
A processing system comprising:
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。 Forming a pattern on a substrate using the processing apparatus according to claim 11;
Processing the substrate on which the pattern is formed in the step;
An article manufacturing method comprising:
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