JP2018085475A - Multiwavelength laser device and wavelength multiplex communication system - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce an optical loss of signal light to achieve a desired oscillation wavelength in the case of connecting a cycle wavelength filter and a wavelength spectral filter in series.SOLUTION: A multiwavelength laser device comprises: a semiconductor gain chip 1; a cycle wavelength filter 2; a wavelength spectral filter 3 connected in series with the cycle wavelength filter; a plurality of first mirrors 4 and a second mirror 5 which constitute an external resonator 11; a short wave-side monitor part 6 and a long wavelength-side monitor part 7 which are connected to the wavelength spectral filter, provided that the short wave-side monitor part includes a short wave-side photodetector 6A operable to detect a short wave-side monitoring light of a wavelength shorter by one cycle of a signal light wavelength, and the long wavelength-side monitor part includes a long wavelength-side photodetector 7A operable to detect a long wavelength-side monitoring light of a wavelength longer by one cycle of the signal light wavelength; and a control part 8 which performs control for matching a gain peak of a chip to a wavelength of short wave-side or long wave-side monitoring light with a peak wavelength of the cycle wavelength filter matched to a grid wavelength, and adjusting a wavelength position of the wavelength spectral filter so as to maximize an output of the short wave-side or long wave-side photodetector.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、多波長レーザ装置及び波長多重通信システムに関する。   The present invention relates to a multiwavelength laser apparatus and a wavelength division multiplexing communication system.

近年、外部共振器型量子ドットレーザの外部共振器内に周期波長フィルタを挿入して、多波長で同時発振しうる多波長レーザ装置を実現することが提案されており、波長多重(WDM:Wavelength Division Multiplexing)通信システムへの応用が期待されている。   In recent years, it has been proposed to implement a multi-wavelength laser device capable of simultaneous oscillation at multiple wavelengths by inserting a periodic wavelength filter into the external resonator of an external resonator type quantum dot laser. (Division Multiplexing) Communication applications are expected.

国際公開第2009/119284号International Publication No. 2009/119284 特開2003−51786号公報JP 2003-51786 A

Y. Zhanget al., “Quantum dot SOA/silicon external cavity multiwavelength laser,” Opt. Express 23 (4), pp.4666-4671, 2015Y. Zhanget al., “Quantum dot SOA / silicon external cavity multiwavelength laser,” Opt. Express 23 (4), pp.4666-4671, 2015

ところで、上述のような多波長レーザ装置において、例えば波長毎に位相制御を行なう場合などに、周期波長フィルタに直列に波長分光フィルタを接続することが考えられる。
しかしながら、周期波長フィルタと波長分光フィルタは、それぞれ、WDM通信システムのグリッド波長に対して異なるオフセットを持っているため、所望の発振波長に制御することが非常に難しい。
By the way, in the multi-wavelength laser apparatus as described above, for example, when phase control is performed for each wavelength, it is conceivable to connect a wavelength spectral filter in series with the periodic wavelength filter.
However, since the periodic wavelength filter and the wavelength spectral filter have different offsets with respect to the grid wavelength of the WDM communication system, it is very difficult to control to the desired oscillation wavelength.

本発明は、周期波長フィルタと波長分光フィルタを直列に接続する場合において、信号光の光学損失を抑制し、所望の発振波長が得られるようにすることを目的とする。   An object of the present invention is to suppress optical loss of signal light and obtain a desired oscillation wavelength when a periodic wavelength filter and a wavelength spectral filter are connected in series.

1つの態様では、多波長レーザ装置は、半導体利得チップと、半導体利得チップに光学的に接続され、周期的なピーク波長を持つ周期波長フィルタと、周期波長フィルタに直列に接続され、複数の信号光を波長毎に分ける波長分光フィルタと、波長分光フィルタに光学的に接続され、波長分光フィルタによって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射する複数の第1ミラーと、半導体利得チップの周期波長フィルタが設けられている側の反対側に設けられ、複数の第1ミラーとの間に外部共振器を構成する第2ミラーと、波長分光フィルタに接続され、複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器と、短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラーとを含む短波側モニタ部と、波長分光フィルタに接続され、複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器と、長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラーとを含む長波側モニタ部と、周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、半導体利得チップの利得ピークを短波側モニタ光の波長又は長波側モニタ光の波長に合わせて、短波側光検出器又は長波側光検出器の出力が最大になるように、波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なう制御部とを備える。   In one aspect, a multiwavelength laser device includes a semiconductor gain chip, a periodic wavelength filter optically connected to the semiconductor gain chip, having a periodic peak wavelength, connected in series to the periodic wavelength filter, and a plurality of signals A wavelength spectral filter that divides light for each wavelength, a plurality of first mirrors that are optically connected to the wavelength spectral filter and reflect a part of each signal light divided by the wavelength spectral filter, and a period of the semiconductor gain chip Provided on the opposite side of the side where the wavelength filter is provided, and connected to the second mirror constituting the external resonator between the plurality of first mirrors and the wavelength spectral filter, and is the shortest of the plurality of signal lights A short-wave side monitor including a short-wave side photodetector that detects a short-wave side monitor light having a wavelength shorter than the wavelength by one period of the signal light wavelength, and a short-wave side mirror that reflects a part of the short-wave side monitor light. And a long wave side photodetector connected to the wavelength spectral filter for detecting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights, and a long wave side monitor light A long-wave side monitor unit including a long-wave side mirror that partially reflects the peak wavelength of the periodic wavelength filter in accordance with the grid wavelength, and the gain peak of the semiconductor gain chip is set to the wavelength of the short-wave side monitor light or the long-wave side monitor light. And a control unit that performs control to adjust the wavelength position of the wavelength spectral filter so that the output of the short-wave side photodetector or the long-wave side photodetector is maximized in accordance with the wavelength.

1つの態様では、波長多重通信システムは、多波長レーザ装置を備える送信器と、送信器に伝送路を介して接続された受信器とを備え、多波長レーザ装置は、上述の構成を備える。   In one aspect, a wavelength division multiplexing communication system includes a transmitter including a multi-wavelength laser device and a receiver connected to the transmitter via a transmission path, and the multi-wavelength laser device includes the above-described configuration.

1つの側面として、周期波長フィルタと波長分光フィルタを直列に接続する場合において、信号光の光学損失を抑制し、所望の発振波長が得られるという効果を有する。   As one aspect, when the periodic wavelength filter and the wavelength spectral filter are connected in series, the optical loss of the signal light is suppressed, and a desired oscillation wavelength can be obtained.

本実施形態にかかる多波長レーザ装置の構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment. 本実施形態にかかる多波長レーザ装置の具体的な構成例を示す図である。It is a figure which shows the specific structural example of the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment. (A)〜(C)は、本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる周期波長フィルタの具体的な構成例を示す図である。(A)-(C) are figures which show the specific structural example of the periodic wavelength filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. (A)〜(C)は、本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる波長分光フィルタの具体的な構成例を示す図である。(A)-(C) are figures which show the specific structural example of the wavelength spectral filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. 本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる波長分光フィルタの具体的な構成例を示す図である。It is a figure which shows the specific structural example of the wavelength spectroscopy filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. 本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる周期波長フィルタ及び波長分光フィルタの波長位置の調整手順を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the adjustment procedure of the wavelength position of the periodic wavelength filter and wavelength spectral filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. (A)〜(D)は、本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる周期波長フィルタの波長位置の調整を行なうためのフィルタについて説明するための図である。(A)-(D) are the figures for demonstrating the filter for adjusting the wavelength position of the periodic wavelength filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. (A)、(B)は、本実施形態にかかる多波長レーザ装置に備えられる波長分光フィルタの波長位置の調整について説明するための図である。(A), (B) is a figure for demonstrating adjustment of the wavelength position of the wavelength spectral filter with which the multiwavelength laser apparatus concerning this embodiment is equipped. 外部共振器型多波長レーザ装置において位相制御を行なう場合の構成例を示す図である。It is a figure which shows the structural example in the case of performing phase control in an external resonator type | mold multiwavelength laser apparatus. 波長多重通信システムの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of a wavelength division multiplexing communication system.

以下、図面により、本発明の実施の形態にかかる多波長レーザ装置及び波長多重通信システムについて、図1〜図10を参照しながら説明する。
本実施形態にかかる多波長レーザ装置は、レーザの外部共振器内に周期波長フィルタを備え、多波長で同時発振しうる外部共振器型多波長レーザ装置である。なお、多波長レーザ装置を、光半導体発光装置、発光装置、又は、多波長同時発振レーザともいう。
Hereinafter, a multi-wavelength laser device and a wavelength division multiplexing communication system according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
The multi-wavelength laser device according to this embodiment is an external resonator type multi-wavelength laser device that includes a periodic wavelength filter in an external resonator of the laser and can simultaneously oscillate at multiple wavelengths. Note that the multi-wavelength laser device is also referred to as an optical semiconductor light-emitting device, a light-emitting device, or a multi-wavelength simultaneous laser.

本実施形態では、多波長レーザ装置は、図1に示すように、半導体利得チップ1と、周期波長フィルタ2と、波長分光フィルタ3と、複数の第1ミラー4と、第2ミラー5と、短波側モニタ部6と、長波側モニタ部7と、制御部8とを備える。
なお、図1では、N波長の信号光(λ〜λ)を同時に発振する多波長同時発振レーザ9を例に挙げて示している。また、ここでは、基板10上に周期波長フィルタ2等が集積された集積素子に、半導体利得チップ1を実装したものを例に挙げて説明する。
In the present embodiment, as shown in FIG. 1, the multi-wavelength laser device includes a semiconductor gain chip 1, a periodic wavelength filter 2, a wavelength spectral filter 3, a plurality of first mirrors 4, a second mirror 5, A short wave side monitor unit 6, a long wave side monitor unit 7, and a control unit 8 are provided.
In FIG. 1, a multi-wavelength simultaneous oscillation laser 9 that simultaneously oscillates N wavelength signal lights (λ 1 to λ N ) is shown as an example. Here, an example in which the semiconductor gain chip 1 is mounted on an integrated element in which the periodic wavelength filter 2 and the like are integrated on the substrate 10 will be described.

ここで、半導体利得チップ1は、半導体利得媒質を備えるチップである。つまり、半導体利得チップ1は、半導体光増幅器(SOA)を備えるチップである。
例えば、半導体利得チップ1は、量子ドット利得媒質を備える量子ドット利得チップ(QD利得チップ)である。この場合、多波長レーザ装置9を、多波長量子ドットレーザ装置、外部共振器型多波長量子ドットレーザ装置、又は、外部共振器型量子ドットレーザともいう。
Here, the semiconductor gain chip 1 is a chip including a semiconductor gain medium. That is, the semiconductor gain chip 1 is a chip including a semiconductor optical amplifier (SOA).
For example, the semiconductor gain chip 1 is a quantum dot gain chip (QD gain chip) including a quantum dot gain medium. In this case, the multiwavelength laser device 9 is also referred to as a multiwavelength quantum dot laser device, an external resonator type multiwavelength quantum dot laser device, or an external resonator type quantum dot laser.

周期波長フィルタ2は、周期的なピーク波長を持つフィルタであって、半導体利得チップ1に光学的に接続されている。
例えば、周期波長フィルタ2は、導波路型周期波長フィルタである。また、例えば、周期波長フィルタ2は、リング共振器を用いたフィルタである(例えば図2参照)。
なお、これに限られるものではなく、周期波長フィルタ2は、例えば図3(A)に示すように、DBR(Distributed Bragg Reflector)2Aとループミラー2Bを用いたフィルタであっても良いし、例えば図3(B)に示すように、2つのDBR2C,2Dを用いたフィルタであっても良いし、例えば図3(C)に示すように、DBR2Eとへき開面2Fを用いたフィルタであっても良い。また、周期波長フィルタ2を、波長周期フィルタ又は周期フィルタともいう。
The periodic wavelength filter 2 is a filter having a periodic peak wavelength, and is optically connected to the semiconductor gain chip 1.
For example, the periodic wavelength filter 2 is a waveguide type periodic wavelength filter. For example, the periodic wavelength filter 2 is a filter using a ring resonator (see, for example, FIG. 2).
However, the present invention is not limited to this, and the periodic wavelength filter 2 may be a filter using a DBR (Distributed Bragg Reflector) 2A and a loop mirror 2B, for example, as shown in FIG. As shown in FIG. 3B, a filter using two DBRs 2C and 2D may be used. For example, as shown in FIG. 3C, a filter using DBR 2E and cleavage plane 2F may be used. good. The periodic wavelength filter 2 is also referred to as a wavelength periodic filter or a periodic filter.

波長分光フィルタ3は、複数の信号光を波長毎に分けるフィルタであって、周期波長フィルタ2に直列に接続されている。なお、波長分光フィルタ3を波長分配分光フィルタともいう。
ここでは、後述するように波長毎に位相制御を行なうために、周期波長フィルタ2に直列に波長分光フィルタ3が接続されている。また、ここでは、波長分光フィルタ3の透過波長の周期は、周期波長フィルタ2の透過波長の周期と一致している。つまり、周期波長フィルタ2と波長分光フィルタ3の透過波長の周期が一致している。
The wavelength spectral filter 3 is a filter that divides a plurality of signal lights for each wavelength, and is connected in series to the periodic wavelength filter 2. The wavelength spectral filter 3 is also referred to as a wavelength distribution spectral filter.
Here, a wavelength spectral filter 3 is connected in series with the periodic wavelength filter 2 in order to perform phase control for each wavelength as will be described later. Here, the period of the transmission wavelength of the wavelength spectroscopic filter 3 coincides with the period of the transmission wavelength of the periodic wavelength filter 2. That is, the periods of the transmission wavelengths of the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 are the same.

例えば、波長分光フィルタ3は、アレイ状導波路回折格子(AWG)を用いたフィルタである(例えば図2、図4(A)〜図4(C)参照)。
また、例えば、波長分光フィルタ3は、光入出力部に多モード干渉(MMI:Multi-Mode Interferometer)部分3Aが設けられていることが好ましい(例えば図4(C)参照)。このように、波長分光フィルタ3の光入出力部にMMI部分3Aが集積された構造を採用することで、波長分光フィルタ3の挿入損失を低減することができる。
For example, the wavelength spectral filter 3 is a filter using an arrayed waveguide diffraction grating (AWG) (see, for example, FIGS. 2 and 4A to 4C).
Further, for example, the wavelength spectral filter 3 is preferably provided with a multi-mode interference (MMI) portion 3A in the light input / output unit (see, for example, FIG. 4C). As described above, by adopting a structure in which the MMI portion 3A is integrated in the light input / output section of the wavelength spectral filter 3, the insertion loss of the wavelength spectral filter 3 can be reduced.

なお、これに限られるものではなく、波長分光フィルタ3は、例えば図5に示すように、垂直方向に形成された回折格子面3Bに入射した光が2次元に分散する構造を有するフィルタであっても良い。
複数の第1ミラー4は、波長分光フィルタ3によって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射するミラーであって、波長分光フィルタ3に光学的に接続されている。ここでは、第1ミラー4はN個設けられている。例えば、第1ミラー4は、ループミラーである(例えば図2参照)。なお、これに限られるものではなく、DBRミラーなどであっても良い。
The wavelength spectroscopic filter 3 is not limited to this, and is a filter having a structure in which light incident on the diffraction grating surface 3B formed in the vertical direction is two-dimensionally dispersed, for example, as shown in FIG. May be.
The plurality of first mirrors 4 are mirrors that respectively reflect part of each signal light divided by the wavelength spectral filter 3, and are optically connected to the wavelength spectral filter 3. Here, N first mirrors 4 are provided. For example, the first mirror 4 is a loop mirror (see, for example, FIG. 2). The invention is not limited to this, and a DBR mirror or the like may be used.

第2ミラー5は、半導体利得チップ1の周期波長フィルタ2が設けられている側の反対側に設けられており、複数の第1ミラー4との間に外部共振器11を構成している。ここでは、第2ミラー5は、半導体利得チップ1の端面に設けられたミラー(端面ミラー)である。なお、これに限られるものではなく、DBRミラーなどであっても良い。
短波側モニタ部6は、複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長(ここではλ)の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器6Aと、短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラー6Bとを含み、波長分光フィルタ3に接続されている。
The second mirror 5 is provided on the opposite side of the semiconductor gain chip 1 where the periodic wavelength filter 2 is provided, and constitutes an external resonator 11 between the plurality of first mirrors 4. Here, the second mirror 5 is a mirror (end face mirror) provided on the end face of the semiconductor gain chip 1. The invention is not limited to this, and a DBR mirror or the like may be used.
The shortwave side monitoring unit 6 includes a shortwave side photodetector 6A that detects a shortwave side monitor light having a wavelength shorter by one cycle of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights (here, λ 0 ), and a shortwave And a short-wave mirror 6B that reflects a part of the side monitor light, and is connected to the wavelength spectral filter 3.

ここでは、波長分光フィルタ3に、複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を入出力する短波側モニタ用ポートを設け、これに短波側モニタ用導波路6Cを接続し、短波側モニタ用導波路6Cを2つに分岐し、一方に短波側ミラー6Bを接続し、他方に短波側光検出器6Aを接続し、短波側光検出器6Aを制御部8に接続して、短波側光検出器6Aの出力が制御部8へ送られるようにしている。   Here, the wavelength spectral filter 3 is provided with a short-wave side monitoring port for inputting / outputting short-wave side monitoring light having a wavelength shorter by one cycle of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights, and the short-wave side monitoring port The monitoring waveguide 6C is connected, the shortwave side monitoring waveguide 6C is branched into two, the shortwave side mirror 6B is connected to one, the shortwave side photodetector 6A is connected to the other, and the shortwave side photodetector is connected. 6A is connected to the control unit 8 so that the output of the short wave side photodetector 6A is sent to the control unit 8.

長波側モニタ部7は、複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長(ここではλN+1)の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器7Aと、長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラー7Bとを含み、波長分光フィルタ3に接続されている。
ここでは、波長分光フィルタ3に、複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を入出力する長波側モニタ用ポートを設け、これに長波側モニタ用導波路7Cを接続し、長波側モニタ用導波路7Cを2つに分岐し、一方に長波側ミラー7Bを接続し、他方に長波側光検出器7Aを接続し、長波側光検出器7Aを制御部8に接続して、長波側光検出器7Aの出力が制御部8へ送られるようにしている。
The long wave side monitor unit 7 includes a long wave side photodetector 7A that detects a long wave side monitor light having a wavelength (λ N + 1 in this case ) longer than the longest wavelength among the plurality of signal lights by one period, and a long wave And a long-wave mirror 7B that reflects part of the side monitor light, and is connected to the wavelength spectral filter 3.
Here, the wavelength spectroscopic filter 3 is provided with a long wave side monitor port for inputting / outputting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights, and the long wave side thereof The monitoring waveguide 7C is connected, the long-wave side monitoring waveguide 7C is branched into two, the long-wave side mirror 7B is connected to one side, the long-wave side photodetector 7A is connected to the other side, and the long-wave side photodetector is connected. 7 A is connected to the control unit 8 so that the output of the long wave side photodetector 7 A is sent to the control unit 8.

このように、波長分光フィルタ3の信号光出力ポートの両側に、短波側モニタ用ポート及び長波側モニタ用ポートを設け、信号光よりも1周期分短波の波長(ここではλ)及び1周期分長波の波長(ここではλN+1)をモニタできるようになっている。
制御部8は、周期波長フィルタ2のピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、半導体利得チップ1の利得ピークを短波側モニタ光の波長(ここではλ)又は長波側モニタ光の波長(ここではλN+1)に合わせて、短波側光検出器6A又は長波側光検出器7Aの出力が最大になるように、波長分光フィルタ3の波長位置を調整する制御を行なう。なお、制御部8をコントローラともいう。
As described above, the short-wave side monitoring port and the long-wave side monitoring port are provided on both sides of the signal light output port of the wavelength spectroscopic filter 3, and the wavelength (here, λ 0 ) and one period of the short wave are one period longer than the signal light. The wavelength of the long wave (here, λ N + 1 ) can be monitored.
The controller 8 adjusts the gain peak of the semiconductor gain chip 1 to the wavelength of the short-wave monitor light (here, λ 0 ) or the wavelength of the long-wave monitor light (here, in a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter 2 is matched to the grid wavelength. Then, in accordance with λ N + 1 ), control is performed to adjust the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 so that the output of the short wave side photodetector 6A or the long wave side photodetector 7A is maximized. The control unit 8 is also referred to as a controller.

特に、制御部8が、周期波長フィルタ2のピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、半導体利得チップ1の利得ピークを短波側モニタ光の波長に合わせて、短波側光検出器6Aの出力が最大になるように、波長分光フィルタ3の波長位置を調整する制御を行なうとともに、半導体利得チップ1の利得ピークを長波側モニタ光の波長に合わせて、長波側光検出器7Aの出力が最大になるように、波長分光フィルタ3の波長位置を調整する制御を行なうようにするのが好ましい。   In particular, the controller 8 adjusts the gain peak of the semiconductor gain chip 1 to the wavelength of the short-wave monitor light in a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter 2 is matched to the grid wavelength, and the output of the short-wave photodetector 6A is Control is performed to adjust the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 so as to be maximized, and the output of the long wave side photodetector 7A is maximized by adjusting the gain peak of the semiconductor gain chip 1 to the wavelength of the long wave side monitor light. Thus, it is preferable to perform control for adjusting the wavelength position of the wavelength spectral filter 3.

また、周期波長フィルタ2に接続され、周期波長フィルタ2から分岐したモニタ光を検出する光検出器11を備えるものとし、制御部8が、光検出器11の出力に基づいて、周期波長フィルタ2のピーク波長をグリッド波長に合わせる制御を行なうようにするのも好ましい。
この場合、周期波長フィルタ2にモニタ用ポートを設け、これにモニタ用導波路12を介して光検出器11を接続し、光検出器11を制御部8に接続して、光検出器11の出力が制御部8へ送られるようにすれば良い。
Further, it is assumed that a photodetector 11 connected to the periodic wavelength filter 2 and detects monitor light branched from the periodic wavelength filter 2 is provided, and the control unit 8 is based on the output of the photodetector 11. It is also preferable to perform control to adjust the peak wavelength of this to the grid wavelength.
In this case, the periodic wavelength filter 2 is provided with a monitor port, to which the photodetector 11 is connected via the monitor waveguide 12, and the photodetector 11 is connected to the control unit 8. The output may be sent to the control unit 8.

なお、周期波長フィルタ2から分岐するモニタ光は、ASE光であっても良いし、任意の波長の発振光であっても良い。
また、波長分光フィルタ3と複数の第1ミラー4との間にそれぞれ設けられた複数の位相調整機構(位相制御機構)13を備えるものとするのも好ましい。
ここでは、波長分光フィルタ3に複数の信号光のそれぞれを入出力するポートを設け、これに各信号光用導波路14を接続し、各信号光用導波路14を2つに分岐し、一方に第1ミラー4を接続し、他方を出力側に接続し、第1ミラー4が接続されている一方の分岐導波路に位相調整機構13を設けるようにしている。なお、ここでは、位相調整機構13はN個設けられている。また、ここでは、位相調整機構13は、光導波路に位相制御ヒータH〜Hを設けた位相調整器である(例えば図2参照)。
The monitor light branched from the periodic wavelength filter 2 may be ASE light or oscillated light having an arbitrary wavelength.
It is also preferable that a plurality of phase adjustment mechanisms (phase control mechanisms) 13 provided between the wavelength spectral filter 3 and the plurality of first mirrors 4 are provided.
Here, the wavelength spectroscopic filter 3 is provided with a port for inputting / outputting each of a plurality of signal lights, each signal light waveguide 14 is connected thereto, and each signal light waveguide 14 is branched into two, The first mirror 4 is connected to the other, the other is connected to the output side, and the phase adjusting mechanism 13 is provided in one branch waveguide to which the first mirror 4 is connected. Here, N phase adjusting mechanisms 13 are provided. Here, the phase adjustment mechanism 13 is a phase adjuster in which phase control heaters H 1 to H N are provided in the optical waveguide (see, for example, FIG. 2).

また、波長分光フィルタ3に光学的に接続され、波長分光フィルタ3によって分けられた各信号光をそれぞれ変調する複数の変調器(光変調器)15と、複数の変調器15に接続され、複数の変調器15のそれぞれによって変調された各信号光を合波する合波器16とを備えるものとしても良い。
つまり、上述のように、周期波長フィルタ2、波長分光フィルタ3等を集積した集積回路基板上に、さらに、複数の変調器15及び合波器16を集積(ここではモノリシック集積)し、波長分光フィルタ3で分光され、それぞれのポートから出力される各信号光を、複数の変調器15のそれぞれによって変調し、それぞれの変調光を合波器16で合波して出力するようにしても良い。
Further, a plurality of modulators (optical modulators) 15 that are optically connected to the wavelength spectral filter 3 and modulate each signal light divided by the wavelength spectral filter 3, and a plurality of modulators 15 are connected. And a multiplexer 16 that multiplexes the signal lights modulated by the modulators 15.
That is, as described above, a plurality of modulators 15 and a multiplexer 16 are further integrated (monolithically integrated in this case) on an integrated circuit substrate on which the periodic wavelength filter 2, the wavelength spectral filter 3, and the like are integrated, and wavelength spectroscopy is performed. Each signal light that is split by the filter 3 and output from each port may be modulated by each of the plurality of modulators 15, and each modulated light may be combined by the multiplexer 16 and output. .

ここでは、波長分光フィルタ3に接続された各信号光用導波路14を分岐した他方の分岐導波路に変調器15を接続している。
上述のように構成されるため、半導体利得チップ1からの光は、周期波長フィルタ2と波長分光フィルタ3を透過し、各ポートを介して分岐された導波路の延長線上の第1ミラー4に達して反射する。反射した光は、波長分光フィルタ3、周期波長フィルタ2、半導体利得チップ1へ導かれ、半導体利得チップ1の反対側の端面に設けられた第2ミラー5で反射する。このようにして、第1ミラー4と第2ミラー5とで構成される外部共振器11内で共振し、各信号光の波長間隔になっている周期波長フィルタ2の波長間隔で同時発振する。
Here, the modulator 15 is connected to the other branching waveguide that branches the signal light waveguides 14 connected to the wavelength spectral filter 3.
Since it is configured as described above, the light from the semiconductor gain chip 1 passes through the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectroscopic filter 3 and reaches the first mirror 4 on the extension line of the waveguide branched through each port. Reach and reflect. The reflected light is guided to the wavelength spectroscopic filter 3, the periodic wavelength filter 2, and the semiconductor gain chip 1, and reflected by the second mirror 5 provided on the opposite end face of the semiconductor gain chip 1. In this way, resonance occurs in the external resonator 11 composed of the first mirror 4 and the second mirror 5, and simultaneous oscillation occurs at the wavelength interval of the periodic wavelength filter 2 that is the wavelength interval of each signal light.

この際、発振波長の調整を、以下の手順で行なう。
まず、図6に示すように、周期波長フィルタ2のオフセットの調整を行なう(ステップS1)。
例えば、半導体利得チップ1のドライブ電流を、利得帯域がN波長をカバーする条件(N波長発振条件)に調整して、即ち、半導体利得チップ1の利得ピークがN波長の真ん中の波長(λN/2)となるように動作条件を調整して、周期波長フィルタ2のモニタ用ポートから導かれたモニタ光(透過光)をモニタし、WDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
At this time, the oscillation wavelength is adjusted according to the following procedure.
First, as shown in FIG. 6, the offset of the periodic wavelength filter 2 is adjusted (step S1).
For example, the drive current of the semiconductor gain chip 1 is adjusted to the condition that the gain band covers N wavelengths (N wavelength oscillation condition), that is, the gain peak of the semiconductor gain chip 1 is the middle wavelength (λ N The operating conditions are adjusted so as to be / 2 ), the monitor light (transmitted light) guided from the monitor port of the periodic wavelength filter 2 is monitored, and the offset with respect to the WDM grid wavelength is adjusted.

次に、波長分光フィルタ3のオフセットの調整を行なう(ステップS2)。つまり、上述のようしてオフセットの調整を行なった周期波長フィルタ2の状態を維持したまま、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
まず、同時発振信号光よりも1周期短い短波側モニタ光(波長λ)を用いて調整を行なう(ステップS21)。
Next, the offset of the wavelength spectral filter 3 is adjusted (step S2). That is, the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength is adjusted while maintaining the state of the periodic wavelength filter 2 that has been adjusted as described above.
First, adjustment is performed using short-wavelength monitor light (wavelength λ 0 ) that is one cycle shorter than the simultaneous oscillation signal light (step S21).

例えば、半導体利得チップのドライブ電流を、利得ピークがλになるように調整し、モニタ光を短波側の波長λで発振させ、波長分光フィルタ3の一方の側に設けられた短波側モニタ用ポートから導かれた短波側モニタ光をモニタし、即ち、周期波長フィルタ2からの透過光との波長のずれを観察し、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。 For example, the drive current of the semiconductor gain chip is adjusted so that the gain peak becomes λ 0 , the monitor light is oscillated at the wavelength λ 0 on the short wave side, and the short wave side monitor provided on one side of the wavelength spectral filter 3 The short-wave side monitor light guided from the optical port is monitored, that is, the wavelength shift with the transmitted light from the periodic wavelength filter 2 is observed, and the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength is adjusted.

次いで、同時発振信号光よりも1周期長い長波側モニタ光(波長λN+1)を用いて調整を行なう(ステップS22)。
例えば、半導体利得チップ1のドライブ電流を、利得ピークが波長λN+1になるように調整し、モニタ光を長波側の波長λN+1で発振させ、波長分光フィルタ3の他方の側に設けられた長波側モニタ用ポートから導かれた長波側モニタ光をモニタし、即ち、周期波長フィルタ2からの透過光との波長のずれを観察し、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
Next, adjustment is performed using the long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ) that is one cycle longer than the simultaneous oscillation signal light (step S22).
For example, the drive current of the semiconductor gain chip 1 is adjusted so that the gain peak becomes the wavelength λ N + 1 , the monitor light is oscillated at the wavelength λ N + 1 on the long wave side, and the long wave provided on the other side of the wavelength spectral filter 3 The long-wave side monitor light guided from the side monitor port is monitored, that is, the wavelength shift with the transmitted light from the periodic wavelength filter 2 is observed, and the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength is adjusted.

この結果、先に行なった短波側モニタ光を用いた調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が、長波側モニタ光を用いた調整によって変更されなかった場合、即ち、再調整が必要でなかった場合には、ステップS3でNOルートへ進み、調整を完了する。
一方、先に行なった短波側モニタ光を用いた調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が、長波側モニタ光を用いた調整によって変更された場合には、ステップS3でYESルートへ進み、再度、短波側モニタ光(波長λ)を用いて調整(微調整)を行なう(ステップS21)。
As a result, when the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment using the short-wave monitor light is not changed by the adjustment using the long-wave monitor light, that is, readjustment is necessary. If not, the process proceeds to the NO route in step S3 to complete the adjustment.
On the other hand, if the wavelength position of the wavelength spectroscopic filter 3 determined by the adjustment using the short-wave monitor light previously performed is changed by the adjustment using the long-wave monitor light, the process proceeds to the YES route in step S3. Then, the adjustment (fine adjustment) is performed again using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) (step S21).

以降、直前で行なった調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が変更されなくなるまで、調整を繰り返す。
このようにして、周期波長フィルタ2及び波長分光フィルタ3からの透過光(信号光波長)を、WDMグリッド波長に一致させることができる。
なお、直前で行なった調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置に対して波長位置が大きく変更されている場合のみ再調整を行なうようにしても良い。
Thereafter, the adjustment is repeated until the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment performed immediately before is not changed.
In this way, the transmitted light (signal light wavelength) from the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 can be matched with the WDM grid wavelength.
The readjustment may be performed only when the wavelength position is greatly changed with respect to the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment performed immediately before.

また、ここでは、短波側モニタ光を用いた調整を行なった後に長波側モニタ光を用いた調整を行なっているが、これに限られるものではなく、長波側モニタ光を用いた調整を行なった後に短波側モニタ光を用いた調整を行なっても良いし、いずれか一方の調整のみを行なうようにしても良い。
このように、実動作時とは異なる波長(λ0、λN+1)でのモニタ光を用いた調整を行い、実動作時にはモニタのための信号光(λ〜λ)の分岐を行っていないため、実動作時の光学損失を抑制することができる。
In addition, here, the adjustment using the long-wave monitor light is performed after the adjustment using the short-wave monitor light. However, the adjustment is not limited to this, and the adjustment using the long-wave monitor light is performed. The adjustment using the short-wave monitor light may be performed later, or only one of the adjustments may be performed.
In this way, adjustment is performed using monitor light at wavelengths (λ 0, λ N + 1 ) different from those during actual operation, and signal light (λ 1 to λ N ) for monitoring is branched during actual operation. Therefore, optical loss during actual operation can be suppressed.

ところで、上述のようにしているのは、以下の理由による。
近年、外部共振器型量子ドットレーザの外部共振器内に周期波長フィルタを挿入した構造で多波長同時発振レーザが実現し、安定な発振スペクトルが得られ(例えば非特許文献1参照)、WDMシステムへの応用が期待されている。
このようなレーザ構造では、周期波長フィルタを用いるため、所望の波長間隔を簡単に再現性良く実現できることになる。
By the way, the reason described above is as follows.
In recent years, a multiwavelength simultaneous oscillation laser has been realized with a structure in which a periodic wavelength filter is inserted in an external cavity of an external cavity type quantum dot laser, and a stable oscillation spectrum can be obtained (for example, see Non-Patent Document 1). Application to is expected.
In such a laser structure, since a periodic wavelength filter is used, a desired wavelength interval can be easily realized with good reproducibility.

しかしながら、実用化のためには、レーザの発振波長をWDMシステムで要求されるグリッド内で発振するように調整(オフセット波長調整)する必要があるため、周期波長フィルタの温度を変化させるなどして波長調整を行なうことになる。
一方、1波長切り出した信号光スペクトルの相対強度雑音(RIN)が−135dB/Hz以下であることも必要である。
However, for practical use, it is necessary to adjust the oscillation wavelength of the laser so that it oscillates within the grid required by the WDM system (offset wavelength adjustment). For example, the temperature of the periodic wavelength filter is changed. Wavelength adjustment is performed.
On the other hand, it is necessary that the relative intensity noise (RIN) of the signal light spectrum cut out by one wavelength is −135 dB / Hz or less.

ところが、すべての発振波長においてRINを−135dB/Hz以下に抑えることは難しい。
全ての波長で良好なRINを得るためには、全波長の位相が合っていることが好ましい。
しかしながら、例えば、多波長同時発振レーザを4波長同時発振させた場合、同じ共振器長で発振させるために4波長全てで所望の位相を得るように調整することは難しい。
However, it is difficult to suppress RIN to −135 dB / Hz or less at all oscillation wavelengths.
In order to obtain good RIN at all wavelengths, it is preferable that all wavelengths are in phase.
However, for example, when a multi-wavelength simultaneous oscillation laser oscillates four wavelengths simultaneously, it is difficult to adjust so as to obtain a desired phase at all four wavelengths in order to oscillate with the same resonator length.

そこで、この問題を回避するために、それぞれの発振波長で位相制御(位相調整)を行なうことが考えられる。
このため、全ての波長に対して別々の光導波路に取り出し、各々の波長に位相調整機構を設けることが考えられる(例えば図9参照)。
この場合、フィルタ透過波長の周期が一致する周期波長フィルタと波長分光フィルタを直列に組み合わせた構成を採用することになる。
Therefore, in order to avoid this problem, it is conceivable to perform phase control (phase adjustment) at each oscillation wavelength.
For this reason, it is possible to take out all the wavelengths into separate optical waveguides and to provide a phase adjustment mechanism for each wavelength (see, for example, FIG. 9).
In this case, a configuration in which a periodic wavelength filter and a wavelength spectral filter having the same filter transmission wavelength period are combined in series is adopted.

ところが、周期波長フィルタと波長分光フィルタは、それぞれ、WDMグリッド波長に対して異なるオフセットを持っているため、直列に接続すると、出力部のみで発振波長を評価しても、2つのフィルタのオフセットを個別に見積もることはできないため、所望の発振波長に制御することが非常に難しくなる。
そこで、周期波長フィルタ2と波長分光フィルタ3を直列に接続する場合であっても、所望の発振波長を得ることができるように、上述のようにしている。
However, since the periodic wavelength filter and the wavelength spectral filter have different offsets with respect to the WDM grid wavelength, if they are connected in series, even if the oscillation wavelength is evaluated only by the output unit, the offset of the two filters is reduced. Since it cannot be estimated individually, it becomes very difficult to control to a desired oscillation wavelength.
Therefore, even when the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 are connected in series, the above-described configuration is performed so that a desired oscillation wavelength can be obtained.

これにより、位相調整機構13を設けることで、信号光をそれぞれの波長で位相調整できるようにして、信号光の相対強度雑音(RIN)を低減できるとともに、信号光のグリッド波長に対する波長調整が可能となる。この結果、簡潔な構造で、各信号光の発振波長の調整及び位相制御ができ、高性能な多波長同時発振レーザを実現することが可能となる。   Thereby, by providing the phase adjustment mechanism 13, the signal light can be phase-adjusted at each wavelength, the relative intensity noise (RIN) of the signal light can be reduced, and the wavelength adjustment with respect to the grid wavelength of the signal light is possible. It becomes. As a result, the oscillation wavelength of each signal light can be adjusted and the phase can be controlled with a simple structure, and a high-performance multi-wavelength simultaneous oscillation laser can be realized.

以下、図2を参照しながら、具体例を挙げて説明する。
この具体例では、周期波長フィルタ2にリング共振器を用い、波長分光フィルタ3にAWGを用い、第1ミラー4にリングミラーを用い、これらをSi基板10上にモノリシックに集積してSi細線光導波路17で接続し、さらに、変調器15及び合波器16もモノリシックに集積した集積素子とし、外部共振器11で発振した光を変調器15で変調し、各変調光を合波器16で合波(集光)して、集積素子の出力ポートから光ファイバへ伝送する構成としている。なお、複数の信号光の波長をλ〜λとしている。
Hereinafter, a specific example will be described with reference to FIG.
In this specific example, a ring resonator is used for the periodic wavelength filter 2, an AWG is used for the wavelength spectral filter 3, a ring mirror is used for the first mirror 4, and these are monolithically integrated on the Si substrate 10, and a Si fine line optical fiber is integrated. Further, the modulator 15 and the multiplexer 16 are monolithically integrated elements connected by the waveguide 17, the light oscillated by the external resonator 11 is modulated by the modulator 15, and each modulated light is multiplexed by the multiplexer 16. The light is combined (condensed) and transmitted from the output port of the integrated element to the optical fiber. The wavelengths of the plurality of signal lights are λ 1 to λ N.

そして、周期波長フィルタ2としてのリング共振器には、波長制御ヒータHが設けられており、これに周期波長フィルタ用電源19が接続されており、この周期波長フィルタ用電源19が、制御部8によって制御されるようになっている。
また、波長分光フィルタ3としてのAWGにも、波長制御ヒータHAWGが設けられており、これに波長分光フィルタ用電源20が接続されており、この波長分光フィルタ用電源20が、制御部8によって制御されるようになっている。
Then, the ring resonator as a periodic wavelength filter 2 is provided with a wavelength control heater H R, which are periodic wavelength filter power supply 19 is connected to, this period wavelength filter power supply 19, control unit 8 is controlled.
Further, the wavelength control heater H AWG is also provided in the AWG as the wavelength spectral filter 3, and the wavelength spectral filter power source 20 is connected to the wavelength control heater H AWG . To be controlled.

また、波長分光フィルタ3に接続された各信号光用導波路14を2つに分岐し、一方に第1ミラー4としてのリングミラーを接続し、他方に変調器15を接続し、第1ミラー4が接続されている一方の分岐導波路に位相調整機構13を構成する位相制御ヒータH〜Hを設けている。そして、位相調整機構13を構成する位相制御ヒータH〜Hには、位相調整機構用電源21が接続されており、この位相調整機構用電源21が、制御部8によって制御されるようになっている。 Further, each signal light waveguide 14 connected to the wavelength spectral filter 3 is branched into two, one side is connected to a ring mirror as the first mirror 4, and the other side is connected to the modulator 15, and the first mirror is connected. Phase control heaters H 1 to H N constituting the phase adjustment mechanism 13 are provided in one branch waveguide to which 4 is connected. A phase adjustment mechanism power source 21 is connected to the phase control heaters H 1 to H N constituting the phase adjustment mechanism 13 so that the phase adjustment mechanism power source 21 is controlled by the control unit 8. It has become.

また、変調器15には、マッハツェンダ型変調器を用い、それに設けられた変調用電極23に変調信号源22が接続されており、この変調信号源22が、制御部8によって制御されるようになっている。
また、短波側モニタ部6として、波長分光フィルタ3に、短波側モニタ光(波長λ)を導く、短波側モニタ用導波路6Cを接続し、この短波側モニタ用導波路6Cを2つに分岐し、一方に短波側ミラー6Bとしてのループミラーを接続し、他方に短波側光検出器6Aとしてのフォトディテクタ(PD)を接続し、短波側光検出器6Aを制御部8に接続して、短波側光検出器6Aの出力が制御部8へ送られるようにしている。
In addition, a Mach-Zehnder type modulator is used as the modulator 15, and a modulation signal source 22 is connected to a modulation electrode 23 provided on the modulator 15. The modulation signal source 22 is controlled by the control unit 8. It has become.
Further, as the short-wave side monitoring unit 6, a short-wave side monitoring waveguide 6C for guiding the short-wave side monitoring light (wavelength λ 0 ) is connected to the wavelength spectral filter 3, and the two short-wave side monitoring waveguides 6C are connected. Branch, connect a loop mirror as the shortwave side mirror 6B to one side, connect a photodetector (PD) as the shortwave side photodetector 6A to the other side, connect the shortwave side photodetector 6A to the control unit 8, The output of the short wave side photodetector 6A is sent to the control unit 8.

また、長波側モニタ部7として、波長分光フィルタ3に、長波側モニタ光(波長λN+1)を導く長波側モニタ用導波路7Cを接続し、この長波側モニタ用導波路7Cを2つに分岐し、一方に長波側ミラー7Bとしてのループミラーを接続し、他方に長波側光検出器7Aとしてのフォトディテクタ(PD)を接続し、長波側光検出器7Aを制御部8に接続して、長波側光検出器7Aの出力が制御部8へ送られるようにしている。 Further, as the long wave side monitor unit 7, a long wave side monitor waveguide 7C for guiding the long wave side monitor light (wavelength λ N + 1 ) is connected to the wavelength spectral filter 3, and the long wave side monitor waveguide 7C is branched into two. Then, a loop mirror as the long wave side mirror 7B is connected to one side, a photodetector (PD) as the long wave side photodetector 7A is connected to the other side, the long wave side photodetector 7A is connected to the control unit 8, and the long wave side The output of the side light detector 7A is sent to the control unit 8.

また、周期波長フィルタ2にモニタ用導波路12を介して光検出器11としてのフォトディテクタ(PD)を接続し、光検出器11を制御部8に接続して、光検出器11の出力が制御部8へ送られるようにしている。ここでは、モニタ用導波路12にフィルタ24を設けている。つまり、モニタ光にASE光を用いる場合には、モニタ用導波路12にフィルタ24としてバンドパスフィルタを設け、モニタ光に発振光を用いる場合には、モニタ用導波路12にフィルタ24としてバンドストップフィルタを設ける。これらのフィルタ24としては、例えば、空間光学系に用いる多層膜フィルタを用い、Si基板10内に挿入して用いれば良い。   Further, a photodetector (PD) as a photodetector 11 is connected to the periodic wavelength filter 2 via the monitoring waveguide 12, and the photodetector 11 is connected to the control unit 8 so that the output of the photodetector 11 is controlled. It is sent to the part 8. Here, a filter 24 is provided in the monitoring waveguide 12. That is, when ASE light is used as the monitor light, a bandpass filter is provided as the filter 24 in the monitor waveguide 12, and when oscillation light is used as the monitor light, a band stop is provided as the filter 24 in the monitor waveguide 12. Provide a filter. As these filters 24, for example, a multilayer filter used in a spatial optical system may be used by being inserted into the Si substrate 10.

また、半導体利得チップ1に量子ドット利得チップを用い、第2ミラー5として、量子ドット利得チップ1の端面に設けられたHR膜を設け、周期波長フィルタ2としてのリング共振器に接続されるSi細線光導波路17に光学的に接続されるように、Si基板10上に量子ドット利得チップ1を実装している。そして、半導体利得チップ1には、半導体利得チップ用電源18が接続されており、この半導体利得チップ用電源18が、制御部8によって制御されるようになっている。   In addition, a quantum dot gain chip is used as the semiconductor gain chip 1, an HR film provided on the end face of the quantum dot gain chip 1 is provided as the second mirror 5, and Si connected to the ring resonator as the periodic wavelength filter 2 is provided. The quantum dot gain chip 1 is mounted on the Si substrate 10 so as to be optically connected to the thin-line optical waveguide 17. A semiconductor gain chip power source 18 is connected to the semiconductor gain chip 1, and the semiconductor gain chip power source 18 is controlled by the control unit 8.

このように構成される具体例の多波長レーザ装置9では、以下のようにして、波長位置の調整が行なわれる。
まず、周期波長フィルタ2のオフセットの調整(波長位置の調整)を行なう(例えば図6のステップS1参照)。
ここでは、モニタ光に発振光を用いる場合を例に挙げて説明する。
In the multi-wavelength laser device 9 of the specific example configured as described above, the wavelength position is adjusted as follows.
First, the offset of the periodic wavelength filter 2 is adjusted (wavelength position adjustment) (see, for example, step S1 in FIG. 6).
Here, a case where oscillation light is used as monitor light will be described as an example.

まず、制御部8が、半導体利得チップ用電源18を制御して、量子ドット利得チップ1のドライブ電流を、利得帯域が信号光の波長λ〜λをカバーする条件、即ち、信号光の波長λ〜λで同時に発振する値(I)に調整する。これにより、量子ドット利得チップ1に設けられた端面ミラー5とループミラー4によって構成される外部共振器11で信号光の波長λ〜λで同時に発振させる。 First, the control unit 8 controls the semiconductor gain chip power supply 18 so as to cover the drive current of the quantum dot gain chip 1 under the condition that the gain band covers the wavelengths λ 1 to λ N of the signal light, that is, the signal light It is adjusted to a value (I N ) that oscillates simultaneously at wavelengths λ 1 to λ N. As a result, the external resonator 11 constituted by the end face mirror 5 and the loop mirror 4 provided in the quantum dot gain chip 1 is simultaneously oscillated at the wavelengths λ 1 to λ N of the signal light.

次に、周期波長フィルタ2のモニタ用ポート(透過ポート)から導かれたモニタ光をモニタし、WDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
ここでは、制御部8が、周期波長フィルタ用電源19を制御して、発振光の波長を周期的にフィルタリングする周期波長フィルタ2に設けられた波長制御ヒータHの温度を変化させる。
Next, the monitor light guided from the monitoring port (transmission port) of the periodic wavelength filter 2 is monitored to adjust the offset with respect to the WDM grid wavelength.
Here, the control unit 8 controls the periodic wavelength filter power supply 19, to change the temperature of the wavelength control heater H R provided the wavelength of the oscillation light in the period wavelength filter 2 periodically filtering.

そして、制御部8は、モニタ用導波路12を介して導かれ、フィルタ24としてのバンドストップフィルタを介して光検出器(PD)11で検出されたモニタ光(例えば波長λの発振光)の強度をモニタし、モニタ光の強度(光強度)が極小となるように、ヒータ温度を調整する。
ここでは、バンドストップフィルタ24は、例えば図7(D)に示すように、波長λの光を透過しないで遮断する特性、即ち、波長λ以外の波長の光が透過する特性を有し、図2に示すように、光検出器11の直前に設置されている。
Then, the control unit 8 is guided through the monitoring waveguide 12 and is detected by the photodetector (PD) 11 through the band stop filter as the filter 24 (for example, oscillation light having a wavelength λ 1 ). The heater temperature is adjusted so that the intensity of the monitor light (light intensity) is minimized.
Here, the band-stop filter 24, as shown in FIG. 7 (D), a characteristic of blocking without transmitting light of wavelength lambda 1, i.e., the property of light of a wavelength other than the wavelength lambda 1 is transmitted As shown in FIG. 2, it is installed immediately before the photodetector 11.

このようにして、モニタ光の強度が極小となるようにヒータ温度を調整することで、周期波長フィルタ2のオフセットの調整、即ち、WDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なうことができ、グリッド上で発振させることができる。
なお、ここでは、モニタ光に発振光を用いて波長オフセット調整を行なう場合を例に挙げて説明しているが、これに限られるものではなく、例えば、モニタ光として量子ドット利得チップ1のASE光を用いて波長オフセット調整を行なうようにしても良い。この場合、フィルタ24として、上述のバンドストップフィルタに代えて、バンドパスフィルタを設け、モニタ光の強度が極小となるように、ヒータ温度を調整すれば良い。
In this manner, by adjusting the heater temperature so that the intensity of the monitor light is minimized, the offset of the periodic wavelength filter 2 can be adjusted, that is, the offset with respect to the WDM grid wavelength can be adjusted on the grid. It can oscillate.
Here, the case where the wavelength offset adjustment is performed using the oscillation light as the monitor light is described as an example. However, the present invention is not limited to this. For example, the ASE of the quantum dot gain chip 1 is used as the monitor light. Wavelength offset adjustment may be performed using light. In this case, a band pass filter may be provided as the filter 24 in place of the band stop filter described above, and the heater temperature may be adjusted so that the intensity of the monitor light is minimized.

ここで、周期波長フィルタ2としてのリング共振器フィルタの透過ポートからの光には、周期的に光強度が低下する波長が存在し[例えば図7(B)参照]、この波長が多波長発振波長と一致する。このため、例えば、信号光のうち最も短波側の波長λの光をモニタ光に用い、例えば図7(A)に示すように、バンドパスフィルタ24は、波長λの光を透過する特性を有するものとすれば良い。この場合、図7(C)に示すように、モニタ光の光スペクトル[例えば図7(B)参照]がバンドパスフィルタ24のフィルタ特性における透過帯域(ここでは波長λ)と一致すると、モニタ光の強度が極小になることになる。 Here, the light from the transmission port of the ring resonator filter as the periodic wavelength filter 2 has a wavelength whose light intensity periodically decreases [see, for example, FIG. 7B], and this wavelength is a multiwavelength oscillation. It matches the wavelength. Therefore, for example, the light having the shortest wavelength λ 1 of the signal light is used as the monitor light. For example, as shown in FIG. 7A, the bandpass filter 24 transmits the light having the wavelength λ 1. What is necessary is just to have. In this case, as shown in FIG. 7C, when the optical spectrum of the monitor light [see, for example, FIG. 7B] matches the transmission band (here, wavelength λ 1 ) in the filter characteristics of the bandpass filter 24, the monitor The light intensity will be minimal.

また、フィルタ24として、狭線幅のバンドストップフィルタや狭線幅のバンドパスフィルタを用いることで、グリッド中央で信号光が発振する状態になるように、周期波長フィルタ2の調整を行なうことが可能となる。
また、ここでは、モニタ光を例えば波長λの光とする場合を例に挙げて説明しているが、周期波長フィルタ2の製造マージンを考慮すると、フィルタ24としてのバンドストップフィルタ又はバンドパスフィルタは、同時発振波長の中央付近の波長λN/2の光を遮断又は透過する特性を有する狭線幅のフィルタとするのが好ましい。
Further, by using a narrow line width band stop filter or a narrow line width band pass filter as the filter 24, the periodic wavelength filter 2 can be adjusted so that signal light oscillates at the center of the grid. It becomes possible.
Here, the case where the monitor light is, for example, light having a wavelength λ 1 is described as an example. However, in consideration of the manufacturing margin of the periodic wavelength filter 2, a band stop filter or a band pass filter as the filter 24 is used. Is preferably a narrow line width filter having a characteristic of blocking or transmitting light having a wavelength λ N / 2 near the center of the simultaneous oscillation wavelength.

次に、波長分光フィルタ3のオフセットの調整(波長位置の調整)を行なう(例えば図6のステップS2参照)。つまり、上述のようしてオフセットの調整を行なった周期波長フィルタ2の状態を維持したまま、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
まず、同時発振信号光よりも1周期短い短波側モニタ光(波長λ)を用いて調整を行なう(例えば図6のステップS21参照)。
Next, offset adjustment (wavelength position adjustment) of the wavelength spectral filter 3 is performed (see, for example, step S2 in FIG. 6). That is, the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength is adjusted while maintaining the state of the periodic wavelength filter 2 that has been adjusted as described above.
First, adjustment is performed using short-wavelength monitor light (wavelength λ 0 ) that is one cycle shorter than the simultaneous oscillation signal light (see, for example, step S21 in FIG. 6).

まず、制御部8が、半導体利得チップ用電源18を制御して、量子ドット利得チップ1のドライブ電流を、利得ピーク(利得スペクトルの中心波長)が波長λになるように、利得スペクトル[図8(A)中、符号X参照]の位置を調整する。これにより、モニタ光を短波側の波長λで発振させ、これを短波側モニタ光として用いる。なお、図8(A)中、符号Zは、周期波長フィルタ2の透過スペクトルを示している。 First, the control unit 8 controls the power source 18 for the semiconductor gain chip to change the drive current of the quantum dot gain chip 1 so that the gain peak (the center wavelength of the gain spectrum) becomes the wavelength λ 0 [Fig. 8 (A), adjust the position of reference X]. As a result, the monitor light is oscillated at the wavelength λ 0 on the short wave side and used as the short wave side monitor light. In FIG. 8A, the symbol Z indicates the transmission spectrum of the periodic wavelength filter 2.

次に、制御部8が、波長分光フィルタ3の一方の側に設けられた短波側モニタ用ポートから導かれた短波側モニタ光をモニタし、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
ここでは、制御部8が、波長分光フィルタ用電源20を制御して、波長分光フィルタ3に設けられた波長制御ヒータHAWGの温度を変化させる。これにより、波長分光フィルタ3の透過スペクトル[例えば図8(A)中、符号Y参照]が移動することになる。
Next, the control unit 8 monitors the short-wave monitor light guided from the short-wave monitor port provided on one side of the wavelength spectral filter 3, and adjusts the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength. Do.
Here, the control unit 8 controls the wavelength spectral filter power source 20 to change the temperature of the wavelength control heater H AWG provided in the wavelength spectral filter 3. As a result, the transmission spectrum of the wavelength spectral filter 3 [see, for example, symbol Y in FIG. 8A] moves.

そして、制御部8が、短波側モニタ用導波路6Cを介して導かれ、短波側光検出器(PD)6Aで検出されたモニタ光(短波側の波長λの発振光)の強度をモニタし、モニタ光の強度(短波側モニタ部の出力)が最大となるように、ヒータ温度を調整する。
次に、同時発振信号光よりも1周期長い長波側モニタ光(波長λN+1)を用いて調整する(例えば図6のステップS22参照)。
Then, the control unit 8 monitors the intensity of the monitor light (oscillation light having the wavelength λ 0 on the short wave side) guided by the short wave side monitoring waveguide 6C and detected by the short wave side photodetector (PD) 6A. Then, the heater temperature is adjusted so that the intensity of the monitor light (the output of the short-wave monitor unit) is maximized.
Next, adjustment is performed using long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ) that is one cycle longer than the simultaneous oscillation signal light (see, for example, step S22 in FIG. 6).

まず、制御部8が、半導体利得チップ用電源18を制御して、量子ドット利得チップ1のドライブ電流を、利得ピーク(利得スペクトルの中心波長)が波長λN+1になるように、利得スペクトル[図8(B)中、符号X参照]の位置を調整する。これにより、モニタ光を長波側の波長λN+1で発振させ、これを長波側モニタ光として用いる。なお、図8(B)中、符号Zは、周期波長フィルタ2の透過スペクトルを示している。 First, the control unit 8 controls the power source 18 for the semiconductor gain chip to change the drive current of the quantum dot gain chip 1 so that the gain peak (the center wavelength of the gain spectrum) becomes the wavelength λ N + 1 . 8 (B), adjust the position of reference X]. Thereby, the monitor light is oscillated at the wavelength λ N + 1 on the long wave side, and this is used as the long wave side monitor light. In FIG. 8B, the symbol Z indicates the transmission spectrum of the periodic wavelength filter 2.

次に、制御部8が、波長分光フィルタ3の他方の側に設けられた長波側モニタ用ポートから導かれた長波側モニタ光をモニタし、波長分光フィルタ3のWDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なう。
ここでは、制御部8が、波長分光フィルタ用電源20を制御して、波長分光フィルタ3に設けられた波長制御ヒータHAWGの温度を変化させる。これにより、波長分光フィルタ3の透過スペクトル[例えば図8(B)中、符号Y参照]が移動することになる。
Next, the control unit 8 monitors the long-wave monitor light guided from the long-wave monitor port provided on the other side of the wavelength spectral filter 3 and adjusts the offset of the wavelength spectral filter 3 with respect to the WDM grid wavelength. Do.
Here, the control unit 8 controls the wavelength spectral filter power source 20 to change the temperature of the wavelength control heater H AWG provided in the wavelength spectral filter 3. As a result, the transmission spectrum of the wavelength spectral filter 3 [see, for example, symbol Y in FIG. 8B] moves.

そして、制御部8が、長波側モニタ用導波路7Cを介して導かれ、長波側光検出器(PD)7Aで検出されたモニタ光(長波側の波長λN+1の発振光)の強度をモニタし、モニタ光の強度(長波側モニタ部の出力)が最大となるように、ヒータ温度を調整する。
ここでは、長波側モニタ光(波長λN+1)を用いた調整を行なう際に、モニタ光の強度が最大(最大値)になっていない場合に、モニタ光の強度が最大になるように、波長分光フィルタ3に設けられた波長制御ヒータHAWGの温度を調整(再調整)し、モニタ光の強度が最大(最大値)になっている場合には、波長分光フィルタ3に設けられた波長制御ヒータHAWGの温度の調整(再調整)は行なわない。
Then, the control unit 8 monitors the intensity of the monitor light (oscillation light having the wavelength λ N + 1 on the long wave side) guided by the long wave side monitoring waveguide 7C and detected by the long wave side photodetector (PD) 7A. Then, the heater temperature is adjusted so that the intensity of the monitor light (the output of the long wave side monitor unit) is maximized.
Here, when performing adjustment using the long-wave side monitor light (wavelength λ N + 1 ), the wavelength is set so that the intensity of the monitor light is maximized when the intensity of the monitor light is not maximized (maximum value). When the temperature of the wavelength control heater H AWG provided in the spectral filter 3 is adjusted (readjusted) and the intensity of the monitor light is maximized (maximum value), the wavelength control provided in the wavelength spectral filter 3 The temperature of the heater H AWG is not adjusted (readjusted).

この結果、先に行なった短波側モニタ光(波長λ)を用いた調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が、長波側モニタ光(波長λN+1)を用いた調整によって変更されなかった場合、即ち、再調整が必要なかった場合には、調整を完了する(例えば図6のステップS3のNOルート参照)。
ここでは、波長分光フィルタ3のウィンドウは広いため、オフセットの調整の確度を高めるために、短波側モニタ光(波長λ)を用いた調整に加えて、このような長波側モニタ光(波長λN+1)を用いた調整を行なって、両方で確認を行なうようにしている。
As a result, the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) performed earlier is not changed by the adjustment using the long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ). In other words, if the readjustment is not necessary, the adjustment is completed (for example, refer to the NO route in step S3 in FIG. 6).
Here, since the window of the wavelength spectral filter 3 is wide, in order to increase the accuracy of adjustment of the offset, in addition to the adjustment using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ), such a long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ) is used for the adjustment and both are checked.

一方、先に行なった短波側モニタ光(波長λ)を用いた調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が、長波側モニタ光(波長λN+1)を用いた調整によって変更された場合には、再度、短波側モニタ光(波長λ)を用いて調整(微調整)を行なう(例えば図6のステップS3のYESルート参照)。
つまり、短波側モニタ光(波長λ)を用いて、モニタ光の強度が最大になっているかを確認し、モニタ光の強度が最大になっていない場合に、モニタ光の強度が最大になるように、波長分光フィルタ3に設けられた波長制御ヒータHAWGの温度を調整(微調整)する。
On the other hand, when the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) is changed by the adjustment using the long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ). In this case, adjustment (fine adjustment) is performed again using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) (see, for example, the YES route in step S3 in FIG. 6).
That is, it is confirmed whether or not the intensity of the monitor light is maximized by using the short wavelength side monitor light (wavelength λ 0 ), and the intensity of the monitor light is maximized when the intensity of the monitor light is not maximized. As described above, the temperature of the wavelength control heater H AWG provided in the wavelength spectral filter 3 is adjusted (finely adjusted).

以降、直前で行なった調整によって決められた波長分光フィルタ3の波長位置が変更されなくなるまで、調整を繰り返す。
つまり、短波側モニタ光(波長λ)を用いた調整及び長波側モニタ光(波長λN+1)を用いた調整の両方で、周期波長フィルタ2及び波長分光フィルタ3を透過した光が最大値と一致したら、その時点で波長分光フィルタ3の調整を完了する。
Thereafter, the adjustment is repeated until the wavelength position of the wavelength spectral filter 3 determined by the adjustment performed immediately before is not changed.
That is, the light transmitted through the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 is the maximum value in both the adjustment using the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) and the adjustment using the long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ). If they match, the adjustment of the wavelength spectral filter 3 is completed at that time.

このようにして、短波側モニタ光(波長λ)及び長波側モニタ光(波長λN+1)を用いて、モニタ光の強度が最大となるようにヒータ温度を調整することで、波長分光フィルタ3のオフセットの調整、即ち、WDMグリッド波長に対するオフセットの調整を行なうことができる。
ここでは、波長分光フィルタ3の透過スペクトルの半値全幅が比較的広いため、短波側モニタ光(波長λ)及び長波側モニタ光(波長λN+1)の2つの波長を用いて波長分光フィルタ3のオフセットの調整を行なうことで、1つの波長で調整を行なう場合よりも、高い精度で調整を行なうことができるようにしている。
In this way, by using the short-wave side monitor light (wavelength λ 0 ) and the long-wave side monitor light (wavelength λ N + 1 ), the wavelength of the spectral filter 3 is adjusted by adjusting the heater temperature so that the intensity of the monitor light is maximized. Offset adjustment, that is, offset adjustment with respect to the WDM grid wavelength.
Here, since the full width at half maximum of the transmission spectrum of the wavelength spectral filter 3 is relatively wide, the two wavelengths of the short wavelength side monitor light (wavelength λ 0 ) and the long wavelength side monitor light (wavelength λ N + 1 ) are used. By adjusting the offset, the adjustment can be performed with higher accuracy than in the case of performing the adjustment with one wavelength.

なお、1つの波長で調整を行なうだけで良好な精度で調整を行なえるのであれば、例えば短波側モニタ光(波長λ)及び長波側モニタ光(波長λN+1)のいずれか一方など、1つの波長を用いて波長分光フィルタ3のオフセット調整を行なっても良い。
また、このような調整を行なった後、多波長同時発振レーザの使用時は、半導体利得チップ(量子ドット利得チップ)1のドライブ電流を、利得帯域が信号光の波長λ〜λをカバーするように調整する。
If adjustment can be performed with good accuracy by adjusting only one wavelength, for example, one of the short-wave monitor light (wavelength λ 0 ) and the long-wave monitor light (wavelength λ N + 1 ), etc. The offset adjustment of the wavelength spectral filter 3 may be performed using two wavelengths.
After such adjustment, when using a multi-wavelength laser, the drive current of the semiconductor gain chip (quantum dot gain chip) 1 is covered, and the gain band covers the wavelengths λ 1 to λ N of the signal light. Adjust to

なお、上述の具体例では、周期波長フィルタ2や波長分光フィルタ3を、波長制御ヒータH、HAWGを備えるものとし、加熱による屈折率変化を利用して波長制御を行なうようにしているが、これに限られるものではなく、例えば、電流注入や電圧印加を利用して波長制御を行なうようにし、電流注入電極又は電圧印加電極を設けても良い。
ところで、上述のような多波長レーザ装置9は、例えば波長分割多重(WDM)光通信システム(波長多重通信システム)に用いられる(例えば図10参照)。この場合、波長多重通信システムは、多波長レーザ装置9を備える送信器と、送信器に伝送路を介して接続された受信器とを備えるものとして構成される。
In the specific example described above, the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 are provided with wavelength control heaters H R and H AWG , and wavelength control is performed using a refractive index change due to heating. However, the present invention is not limited to this. For example, wavelength control may be performed using current injection or voltage application, and a current injection electrode or a voltage application electrode may be provided.
By the way, the multi-wavelength laser device 9 as described above is used, for example, in a wavelength division multiplexing (WDM) optical communication system (wavelength multiplexing communication system) (see, for example, FIG. 10). In this case, the wavelength division multiplexing communication system is configured to include a transmitter including the multi-wavelength laser device 9 and a receiver connected to the transmitter via a transmission path.

つまり、例えば図10に示すように、多波長同時発振レーザ(コムレーザ)29、分波器(デマルチプレクサ)30、変調器(モジュレータアレイ)31及び合波器(マルチプレクサ)32を備える送信器26と、分波器(デマルチプレクサ)33及び光検出器(ディテクタアレイ)34を備える受信器27とを、例えば光ファイバ(例えばシングルモードファイバリンク)などの伝送路28で接続した波長多重通信システム25において、本多波長レーザ装置9を、送信器26に備えられる多波長同時発振レーザ29及び分波器30として用いることができる。   That is, for example, as shown in FIG. 10, a transmitter 26 including a multi-wavelength simultaneous oscillation laser (comb laser) 29, a duplexer (demultiplexer) 30, a modulator (modulator array) 31, and a multiplexer (multiplexer) 32; In a wavelength division multiplexing communication system 25, a demultiplexer (demultiplexer) 33 and a receiver 27 including a photodetector (detector array) 34 are connected by a transmission line 28 such as an optical fiber (for example, a single mode fiber link). The multi-wavelength laser device 9 can be used as the multi-wavelength simultaneous oscillation laser 29 and the duplexer 30 provided in the transmitter 26.

したがって、本実施形態にかかる多波長レーザ装置及び波長多重通信システムは、周期波長フィルタ2と波長分光フィルタ3を直列に接続する場合において、信号光の光学損失を抑制し、所望の発振波長が得られるという効果を有する。
特に、本実施形態では、多波長同時発振レーザ(量子ドット利得チップ1)はドライブ電流を調整することで利得ピーク波長をシフトさせることができるため、この特徴を積極的に利用して、利得ピーク波長をλ又はλN+1に変化させて、オフセット調整用光源として使用している。なお、多波長同時発振レーザ(量子ドット利得チップ1)では、電流を注入していくと(電流注入量を多くしていくと)長波側に利得ピーク(利得スペクトルの中心波長)が移動していくことになる。このため、オフセット調整用光源を別途設ける必要がなく、また、複雑な制御回路等の調整機構を付加する必要もなく、波長分光フィルタ3のモニタ機能付多波長同時発振レーザをシンプルな構造で実現することができる。
Therefore, the multi-wavelength laser device and the wavelength division multiplexing communication system according to this embodiment suppress the optical loss of signal light and obtain a desired oscillation wavelength when the periodic wavelength filter 2 and the wavelength spectral filter 3 are connected in series. Has the effect of being
In particular, in the present embodiment, the multi-wavelength simultaneous oscillation laser (quantum dot gain chip 1) can shift the gain peak wavelength by adjusting the drive current. The wavelength is changed to λ 0 or λ N + 1 and used as a light source for offset adjustment. In the multi-wavelength simultaneous oscillation laser (quantum dot gain chip 1), when a current is injected (when the current injection amount is increased), the gain peak (the center wavelength of the gain spectrum) moves to the long wave side. Will go. For this reason, there is no need to provide a separate light source for offset adjustment, and there is no need to add an adjustment mechanism such as a complicated control circuit, and a multi-wavelength simultaneous oscillation laser with a monitoring function of the wavelength spectral filter 3 can be realized with a simple structure. can do.

また、本実施形態では、短波側モニタ光(波長λ)及び長波側モニタ光(波長λN+1)をモニタする手法を用いており、信号光を分岐させてモニタする手法を用いていないため、多波長同時発振動作時に光学損失を比較的小さくすることも可能である。
なお、本発明は、上述した実施形態に記載した構成に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形することが可能である。
Further, in the present embodiment, a method of monitoring the short-wave side monitor light (wavelength λ 0 ) and the long-wave side monitor light (wavelength λ N + 1 ) is used, and a method of branching and monitoring the signal light is not used. It is also possible to make the optical loss relatively small during the multi-wavelength simultaneous oscillation operation.
In addition, this invention is not limited to the structure described in embodiment mentioned above, A various deformation | transformation is possible in the range which does not deviate from the meaning of this invention.

以下、上述の実施形態に関し、更に、付記を開示する。
(付記1)
半導体利得チップと、
前記半導体利得チップに光学的に接続され、周期的なピーク波長を持つ周期波長フィルタと、
前記周期波長フィルタに直列に接続され、複数の信号光を波長毎に分ける波長分光フィルタと、
前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射する複数の第1ミラーと、
前記半導体利得チップの前記周期波長フィルタが設けられている側の反対側に設けられ、前記複数の第1ミラーとの間に外部共振器を構成する第2ミラーと、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器と、前記短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラーとを含む短波側モニタ部と、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器と、前記長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラーとを含む長波側モニタ部と、
前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長又は前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器又は前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする多波長レーザ装置。
Hereinafter, additional notes will be disclosed regarding the above-described embodiment.
(Appendix 1)
A semiconductor gain chip;
A periodic wavelength filter optically connected to the semiconductor gain chip and having a periodic peak wavelength;
A wavelength spectroscopic filter that is connected in series to the periodic wavelength filter and divides a plurality of signal lights for each wavelength;
A plurality of first mirrors optically connected to the wavelength spectral filter and reflecting a part of each signal light divided by the wavelength spectral filter;
A second mirror provided on the opposite side of the semiconductor gain chip from the side on which the periodic wavelength filter is provided, and constituting an external resonator between the plurality of first mirrors;
A short-wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a short-wave side monitor light having a wavelength shorter by one period of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights; and the short-wave side monitor light A short-wave side monitor unit including a short-wave side mirror that partially reflects,
A long wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights; and the long wave side monitor light A long-wave side monitor unit including a long-wave side mirror that partially reflects,
In a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is matched with the grid wavelength, the short wavelength side photodetector or the gain peak of the semiconductor gain chip is matched with the wavelength of the short wavelength side monitor light or the long wavelength side monitor light. A multi-wavelength laser device comprising: a control unit that performs control to adjust a wavelength position of the wavelength spectral filter so that an output of the long wave side photodetector is maximized.

(付記2)
前記制御部は、前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なうとともに、前記半導体利得チップの利得ピークを前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なうことを特徴とする、付記1に記載の多波長レーザ装置。
(Appendix 2)
In the state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is adjusted to the grid wavelength, the control unit adjusts the gain peak of the semiconductor gain chip to the wavelength of the shortwave monitor light, and the output of the shortwave photodetector is maximum. So that the wavelength position of the wavelength spectral filter is adjusted so that the gain peak of the semiconductor gain chip matches the wavelength of the long-wave monitor light, and the output of the long-wave photodetector is maximized. The multi-wavelength laser apparatus according to appendix 1, wherein control is performed to adjust the wavelength position of the wavelength spectral filter.

(付記3)
前記周期波長フィルタに接続され、前記周期波長フィルタから分岐したモニタ光を検出する光検出器を備え、
前記制御部は、前記光検出器の出力に基づいて、前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせる制御を行なうことを特徴とする、付記1又は2に記載の多波長レーザ装置。
(Appendix 3)
A photodetector connected to the periodic wavelength filter and detecting monitor light branched from the periodic wavelength filter;
The multi-wavelength laser apparatus according to appendix 1 or 2, wherein the control unit performs control to adjust a peak wavelength of the periodic wavelength filter to a grid wavelength based on an output of the photodetector.

(付記4)
前記波長分光フィルタと前記複数の第1ミラーとの間にそれぞれ設けられた複数の位相調整機構を備えることを特徴とする、付記1〜3のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
(付記5)
前記半導体利得チップは、量子ドット利得媒質を備えることを特徴とする、付記1〜4のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
(Appendix 4)
The multi-wavelength laser device according to any one of appendices 1 to 3, further comprising a plurality of phase adjustment mechanisms respectively provided between the wavelength spectral filter and the plurality of first mirrors.
(Appendix 5)
The multi-wavelength laser device according to any one of appendices 1 to 4, wherein the semiconductor gain chip includes a quantum dot gain medium.

(付記6)
前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光をそれぞれ変調する複数の変調器と、
前記複数の変調器に接続され、前記複数の変調器のそれぞれによって変調された各信号光を合波する合波器とを備えることを特徴とする、付記1〜5のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
(Appendix 6)
A plurality of modulators that are optically connected to the wavelength spectral filter and modulate each signal light divided by the wavelength spectral filter;
6. The apparatus according to any one of appendices 1 to 5, further comprising a multiplexer that is connected to the plurality of modulators and multiplexes the signal lights modulated by the plurality of modulators. Multi-wavelength laser device.

(付記7)
前記波長分光フィルタは、アレイ状導波路回折格子を用いたフィルタであることを特徴とする、付記1〜6のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
(付記8)
前記波長分光フィルタは、光入出力部に多モード干渉カプラが設けられていることを特徴とする、付記7に記載の多波長レーザ装置。
(Appendix 7)
The multi-wavelength laser apparatus according to any one of appendices 1 to 6, wherein the wavelength spectral filter is a filter using an arrayed waveguide diffraction grating.
(Appendix 8)
The multiwavelength laser apparatus according to appendix 7, wherein the wavelength spectral filter is provided with a multimode interference coupler in an optical input / output unit.

(付記9)
前記周期波長フィルタは、リング共振器を用いたフィルタであることを特徴とする、付記1〜8のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
(付記10)
多波長レーザ装置を備える送信器と、
前記送信器に伝送路を介して接続された受信器とを備え、
前記多波長レーザ装置は、
半導体利得チップと、
前記半導体利得チップに光学的に接続され、周期的なピーク波長を持つ周期波長フィルタと、
前記周期波長フィルタに直列に接続され、複数の信号光を波長毎に分ける波長分光フィルタと、
前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射する複数の第1ミラーと、
前記半導体利得チップの前記周期波長フィルタが設けられている側の反対側に設けられ、前記複数の第1ミラーとの間に外部共振器を構成する第2ミラーと、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器と、前記短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラーとを含む短波側モニタ部と、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器と、前記長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラーとを含む長波側モニタ部と、
前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長又は前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器又は前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする波長多重通信システム。
(Appendix 9)
The multiwavelength laser device according to any one of appendices 1 to 8, wherein the periodic wavelength filter is a filter using a ring resonator.
(Appendix 10)
A transmitter comprising a multi-wavelength laser device;
A receiver connected to the transmitter via a transmission line;
The multi-wavelength laser device is
A semiconductor gain chip;
A periodic wavelength filter optically connected to the semiconductor gain chip and having a periodic peak wavelength;
A wavelength spectroscopic filter that is connected in series to the periodic wavelength filter and divides a plurality of signal lights for each wavelength;
A plurality of first mirrors optically connected to the wavelength spectral filter and reflecting a part of each signal light divided by the wavelength spectral filter;
A second mirror provided on the opposite side of the semiconductor gain chip from the side on which the periodic wavelength filter is provided, and constituting an external resonator between the plurality of first mirrors;
A short-wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a short-wave side monitor light having a wavelength shorter by one period of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights; and the short-wave side monitor light A short-wave side monitor unit including a short-wave side mirror that partially reflects,
A long wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights; and the long wave side monitor light A long-wave side monitor unit including a long-wave side mirror that partially reflects,
In a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is matched with the grid wavelength, the short wavelength side photodetector or the gain peak of the semiconductor gain chip is matched with the wavelength of the short wavelength side monitor light or the long wavelength side monitor light. A wavelength division multiplexing communication system comprising: a control unit that performs control to adjust a wavelength position of the wavelength spectral filter so that an output of the long wave side photodetector is maximized.

1 半導体利得チップ(量子ドット利得チップ)
2 周期波長フィルタ
2A DBR
2B ループミラー
2C DBR
2D DBR
2E DBR
2F へき開面
3 波長分光フィルタ
3A MMI部分
3B 回折格子面
4 第1ミラー
5 第2ミラー
6 短波側モニタ部
6A 短波側光検出器
6B 短波側ミラー
6C 短波側モニタ用導波路
7 長波側モニタ部
7A 長波側光検出器
7B 長波側ミラー
7C 長波側モニタ用導波路
8 制御部
9 多波長レーザ装置(多波長同時発振レーザ)
10 基板
11 光検出器
12 モニタ用導波路
13 位相調整機構(位相制御機構)
14 信号光用導波路
15 変調器
16 合波器
17 Si細線光導波路
18 半導体利得チップ用電源
19 周期波長フィルタ用電源
20 波長分光フィルタ用電源
21 位相調整機構用電源
22 変調信号源
23 変調用電極
24 フィルタ(バンドパスフィルタ;バンドストップフィルタ)
25 波長多重通信システム
26 送信器
27 受信器
28 伝送路
29 多波長同時発振レーザ(コムレーザ)
30 分波器(デマルチプレクサ)
31 変調器(モジュレータアレイ)
32 合波器(マルチプレクサ)
33 分波器(デマルチプレクサ)
34 光検出器(ディテクタアレイ)
1 Semiconductor gain chip (quantum dot gain chip)
2 Periodic wavelength filter 2A DBR
2B Loop mirror 2C DBR
2D DBR
2E DBR
2F cleavage surface 3 wavelength spectral filter 3A MMI portion 3B diffraction grating surface 4 first mirror 5 second mirror 6 short wave side monitor unit 6A short wave side photodetector 6B short wave side mirror 6C short wave side monitor waveguide 7 long wave side monitor unit 7A Long wave side photodetector 7B Long wave side mirror 7C Waveguide for long wave side monitor 8 Control unit 9 Multi-wavelength laser device (multi-wavelength simultaneous oscillation laser)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Board | substrate 11 Photodetector 12 Waveguide for monitoring 13 Phase adjustment mechanism (phase control mechanism)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 14 Signal light waveguide 15 Modulator 16 Mux 17 Si thin-line optical waveguide 18 Semiconductor gain chip power supply 19 Periodic wavelength filter power supply 20 Wavelength spectral filter power supply 21 Phase adjustment mechanism power supply 22 Modulation signal source 23 Modulation electrode 24 filters (band pass filter; band stop filter)
25 wavelength multiplex communication system 26 transmitter 27 receiver 28 transmission path 29 multi-wavelength simultaneous oscillation laser (comb laser)
30 demultiplexer
31 Modulator (Modulator array)
32 multiplexer (multiplexer)
33 Demultiplexer
34 Photodetector (detector array)

Claims (7)

半導体利得チップと、
前記半導体利得チップに光学的に接続され、周期的なピーク波長を持つ周期波長フィルタと、
前記周期波長フィルタに直列に接続され、複数の信号光を波長毎に分ける波長分光フィルタと、
前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射する複数の第1ミラーと、
前記半導体利得チップの前記周期波長フィルタが設けられている側の反対側に設けられ、前記複数の第1ミラーとの間に外部共振器を構成する第2ミラーと、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器と、前記短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラーとを含む短波側モニタ部と、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器と、前記長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラーとを含む長波側モニタ部と、
前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長又は前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器又は前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする多波長レーザ装置。
A semiconductor gain chip;
A periodic wavelength filter optically connected to the semiconductor gain chip and having a periodic peak wavelength;
A wavelength spectroscopic filter that is connected in series to the periodic wavelength filter and divides a plurality of signal lights for each wavelength;
A plurality of first mirrors optically connected to the wavelength spectral filter and reflecting a part of each signal light divided by the wavelength spectral filter;
A second mirror provided on the opposite side of the semiconductor gain chip from the side on which the periodic wavelength filter is provided, and constituting an external resonator between the plurality of first mirrors;
A short-wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a short-wave side monitor light having a wavelength shorter by one period of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights; and the short-wave side monitor light A short-wave side monitor unit including a short-wave side mirror that partially reflects,
A long wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights; and the long wave side monitor light A long-wave side monitor unit including a long-wave side mirror that partially reflects,
In a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is matched with the grid wavelength, the short wavelength side photodetector or the gain peak of the semiconductor gain chip is matched with the wavelength of the short wavelength side monitor light or the long wavelength side monitor light. A multi-wavelength laser device comprising: a control unit that performs control to adjust a wavelength position of the wavelength spectral filter so that an output of the long wave side photodetector is maximized.
前記制御部は、前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なうとともに、前記半導体利得チップの利得ピークを前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なうことを特徴とする、請求項1に記載の多波長レーザ装置。   In the state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is adjusted to the grid wavelength, the control unit adjusts the gain peak of the semiconductor gain chip to the wavelength of the shortwave monitor light, and the output of the shortwave photodetector is maximum. So that the wavelength position of the wavelength spectral filter is adjusted so that the gain peak of the semiconductor gain chip matches the wavelength of the long-wave monitor light, and the output of the long-wave photodetector is maximized. The multi-wavelength laser apparatus according to claim 1, wherein control for adjusting a wavelength position of the wavelength spectral filter is performed. 前記周期波長フィルタに接続され、前記周期波長フィルタから分岐したモニタ光を検出する光検出器を備え、
前記制御部は、前記光検出器の出力に基づいて、前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせる制御を行なうことを特徴とする、請求項1又は2に記載の多波長レーザ装置。
A photodetector connected to the periodic wavelength filter and detecting monitor light branched from the periodic wavelength filter;
The multi-wavelength laser device according to claim 1, wherein the control unit performs control to match a peak wavelength of the periodic wavelength filter with a grid wavelength based on an output of the photodetector.
前記波長分光フィルタと前記複数の第1ミラーとの間にそれぞれ設けられた複数の位相調整機構を備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。   4. The multi-wavelength laser device according to claim 1, further comprising a plurality of phase adjustment mechanisms respectively provided between the wavelength spectral filter and the plurality of first mirrors. 5. 前記半導体利得チップは、量子ドット利得媒質を備えることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。   The multi-wavelength laser device according to claim 1, wherein the semiconductor gain chip includes a quantum dot gain medium. 前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光をそれぞれ変調する複数の変調器と、
前記複数の変調器に接続され、前記複数の変調器のそれぞれによって変調された各信号光を合波する合波器とを備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の多波長レーザ装置。
A plurality of modulators that are optically connected to the wavelength spectral filter and modulate each signal light divided by the wavelength spectral filter;
6. The apparatus according to claim 1, further comprising: a multiplexer that is connected to the plurality of modulators and multiplexes each signal light modulated by each of the plurality of modulators. The multi-wavelength laser device described.
多波長レーザ装置を備える送信器と、
前記送信器に伝送路を介して接続された受信器とを備え、
前記多波長レーザ装置は、
半導体利得チップと、
前記半導体利得チップに光学的に接続され、周期的なピーク波長を持つ周期波長フィルタと、
前記周期波長フィルタに直列に接続され、複数の信号光を波長毎に分ける波長分光フィルタと、
前記波長分光フィルタに光学的に接続され、前記波長分光フィルタによって分けられた各信号光の一部をそれぞれ反射する複数の第1ミラーと、
前記半導体利得チップの前記周期波長フィルタが設けられている側の反対側に設けられ、前記複数の第1ミラーとの間に外部共振器を構成する第2ミラーと、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も短い波長よりも信号光波長の1周期分短い波長の短波側モニタ光を検出する短波側光検出器と、前記短波側モニタ光の一部を反射する短波側ミラーとを含む短波側モニタ部と、
前記波長分光フィルタに接続され、前記複数の信号光のうち最も長い波長よりも信号光波長の1周期分長い波長の長波側モニタ光を検出する長波側光検出器と、前記長波側モニタ光の一部を反射する長波側ミラーとを含む長波側モニタ部と、
前記周期波長フィルタのピーク波長をグリッド波長に合わせた状態で、前記半導体利得チップの利得ピークを前記短波側モニタ光の波長又は前記長波側モニタ光の波長に合わせて、前記短波側光検出器又は前記長波側光検出器の出力が最大になるように、前記波長分光フィルタの波長位置を調整する制御を行なう制御部とを備えることを特徴とする波長多重通信システム。
A transmitter comprising a multi-wavelength laser device;
A receiver connected to the transmitter via a transmission line;
The multi-wavelength laser device is
A semiconductor gain chip;
A periodic wavelength filter optically connected to the semiconductor gain chip and having a periodic peak wavelength;
A wavelength spectroscopic filter that is connected in series to the periodic wavelength filter and divides a plurality of signal lights for each wavelength;
A plurality of first mirrors optically connected to the wavelength spectral filter and reflecting a part of each signal light divided by the wavelength spectral filter;
A second mirror provided on the opposite side of the semiconductor gain chip from the side on which the periodic wavelength filter is provided, and constituting an external resonator between the plurality of first mirrors;
A short-wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a short-wave side monitor light having a wavelength shorter by one period of the signal light wavelength than the shortest wavelength among the plurality of signal lights; and the short-wave side monitor light A short-wave side monitor unit including a short-wave side mirror that partially reflects,
A long wave side photodetector connected to the wavelength spectroscopic filter and detecting a long wave side monitor light having a wavelength longer by one period of the signal light wavelength than the longest wavelength among the plurality of signal lights; and the long wave side monitor light A long-wave side monitor unit including a long-wave side mirror that partially reflects,
In a state where the peak wavelength of the periodic wavelength filter is matched with the grid wavelength, the short wavelength side photodetector or the gain peak of the semiconductor gain chip is matched with the wavelength of the short wavelength side monitor light or the long wavelength side monitor light. A wavelength division multiplexing communication system comprising: a control unit that performs control to adjust a wavelength position of the wavelength spectral filter so that an output of the long wave side photodetector is maximized.
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