JP2017219217A - Controller, control system, program, and control method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a controller capable of controlling operation of a fan filter unit (FFU).SOLUTION: A controller configured to control operation of a fan filter unit (FFU), includes an input unit into which a signal depending on a measurement particle number measured by a particle counter and a signal depending on a measurement temperature measured by a temperature sensor are input, and a control unit configured to control operation of the FFU, on the basis of a first FFU control amount depending on the measurement particle number and a second FFU control amount depending on the measurement temperature.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、制御装置、制御システム、プログラムおよび制御方法に関する。   The present invention relates to a control device, a control system, a program, and a control method.

従来、ファンの動作を制御する制御装置において、センサが取得した信号に基づいて、ファンの回転数を制御することが知られている（例えば、特許文献１−３参照）。
特許文献１ 特開２００３−２７９１１５号公報
特許文献２ 特開２０１０−２７１０１５号公報
特許文献３ 特開平９−２８０６２９号公報 Conventionally, in a control device that controls the operation of a fan, it is known to control the rotational speed of the fan based on a signal acquired by a sensor (see, for example, Patent Documents 1-3).
Patent Literature 1 JP 2003-279115 A Patent Literature 2 JP 2010-271015 A Patent Literature 3 JP 9-280629 A

しかしながら、従来の制御装置では、センサが取得した信号に応じて、ファンの消費電力を十分に低減することができない。   However, the conventional control device cannot sufficiently reduce the power consumption of the fan according to the signal acquired by the sensor.

本発明の第１の態様においては、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の動作を制御する制御装置であって、パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力される入力部と、計測パーティクル数に応じた第１のＦＦＵ制御量および計測温度に応じた第２のＦＦＵ制御量に基づいて、ＦＦＵの動作を制御する制御部とを備える制御装置を提供する。   In the first aspect of the present invention, there is provided a control device for controlling the operation of the fan filter unit (FFU), wherein the signal corresponding to the number of measured particles measured by the particle counter and the measured temperature measured by the temperature sensor are used. And a control unit that controls the operation of the FFU based on a first FFU control amount corresponding to the number of measured particles and a second FFU control amount corresponding to the measured temperature. A control device is provided.

制御部は、第１のＦＦＵ制御量および第２のＦＦＵ制御量のうち、大きい方のＦＦＵ制御量を選択して、ＦＦＵの動作を制御してよい。   The control unit may control the operation of the FFU by selecting a larger FFU control amount from the first FFU control amount and the second FFU control amount.

制御装置は、計測パーティクル数に応じた信号および計測温度に応じた信号に基づいて、ＦＦＵの制御量を算出する算出部を更に備えてよい。算出部は、計測パーティクル数と予め定められた目標パーティクル数との関係に基づいて、第１のＦＦＵ制御量を算出してよい。算出部は、計測温度と予め定められた目標温度との関係に基づいて、第２のＦＦＵ制御量を算出してよい。   The control device may further include a calculation unit that calculates a control amount of the FFU based on a signal corresponding to the number of measured particles and a signal corresponding to the measured temperature. The calculation unit may calculate the first FFU control amount based on the relationship between the number of measured particles and a predetermined target particle number. The calculation unit may calculate the second FFU control amount based on the relationship between the measured temperature and a predetermined target temperature.

算出部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも大きくなった場合に、第１のＦＦＵ制御量を大きくし、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも小さくなった場合に、第１のＦＦＵ制御量を小さくしてよい。   The calculation unit increases the first FFU control amount when the number of measured particles becomes larger than the target number of particles, and the first FFU when the number of measured particles becomes smaller than the target number of particles. The control amount may be reduced.

制御部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも大きい場合に、予め定められた第１待機時間だけ待機した後に、第１のＦＦＵ制御量で、ＦＦＵを制御してよい。制御部は、計測パーティクル数が、目標パーティクル数よりも小さい場合に、予め定められた第２待機時間だけ待機した後に、第１のＦＦＵ制御量で、ＦＦＵを制御してよい。第１待機時間は、第２待機時間よりも短くてよい。   The control unit may control the FFU with the first FFU control amount after waiting for a predetermined first waiting time when the number of measured particles is larger than the target number of particles. The control unit may control the FFU with the first FFU control amount after waiting for a predetermined second waiting time when the number of measured particles is smaller than the target number of particles. The first waiting time may be shorter than the second waiting time.

制御部は、第１待機時間および第２待機時間と、次の第１待機時間又は次の第２待機時間との間に、入力部への信号の入力を監視するための監視期間を設けてよい。   The control unit provides a monitoring period for monitoring the input of the signal to the input unit between the first standby time and the second standby time and the next first standby time or the next second standby time. Good.

制御部は、計測パーティクル数が予め定められた第１の閾値以下の場合に予め定められた第１回転数でＦＦＵを動作させてよい。また、制御部は、計測パーティクル数が第１の閾値を超えた場合にＦＦＵの制御運転を開始してよい。制御部は、計測パーティクル数が第１の閾値よりも高い第２の閾値を超えた場合に、ＦＦＵを第１回転数よりも大きな第２回転数で動作させてよい。   The control unit may operate the FFU at a predetermined first rotation number when the number of measured particles is equal to or less than a predetermined first threshold value. Further, the control unit may start the control operation of the FFU when the number of measured particles exceeds the first threshold. The control unit may cause the FFU to operate at a second rotation number larger than the first rotation number when the number of measured particles exceeds a second threshold value that is higher than the first threshold value.

制御部は、計測パーティクル数が第２の閾値を超えた場合に、監視期間を設けずに、予め定められた監視周期で計測パーティクル数を監視してよい。   The control unit may monitor the number of measured particles at a predetermined monitoring cycle without providing a monitoring period when the number of measured particles exceeds the second threshold.

算出部は、目標温度と計測温度との関係に基づいて、冷水コイルバルブのバルブ開度を算出してよい。制御部は、バルブ開度に応じて、冷水コイルバルブのバルブ開度およびＦＦＵの動作を制御してよい。   The calculation unit may calculate the valve opening degree of the cold water coil valve based on the relationship between the target temperature and the measured temperature. The control unit may control the valve opening of the cold water coil valve and the operation of the FFU according to the valve opening.

算出部は、計測温度が目標温度よりも高くなった場合に、第２のＦＦＵ制御量を大きくし、且つ、バルブ開度を大きくしてよい。算出部は、計測温度が目標温度よりも低くなった場合に、第２のＦＦＵ制御量を小さくし、且つ、バルブ開度を小さくしてよい。   The calculation unit may increase the second FFU control amount and increase the valve opening when the measured temperature becomes higher than the target temperature. The calculation unit may decrease the second FFU control amount and decrease the valve opening when the measured temperature becomes lower than the target temperature.

制御部は、計測温度が目標温度よりも大きい場合に、予め定められた第３待機時間だけ待機した後に、第２のＦＦＵ制御量で、ＦＦＵを制御してよい。制御部は、計測温度が目標温度よりも小さい場合に、予め定められた第４待機時間だけ待機した後に、第２のＦＦＵ制御量で、ＦＦＵを制御してよい。第３待機時間は、第４待機時間よりも長くてよい。   The control unit may control the FFU with the second FFU control amount after waiting for a predetermined third standby time when the measured temperature is higher than the target temperature. When the measured temperature is lower than the target temperature, the control unit may control the FFU with the second FFU control amount after waiting for a predetermined fourth waiting time. The third waiting time may be longer than the fourth waiting time.

制御部は、バルブ開度に応じて、ＦＦＵの回転数の制御運転を開始するか否かを判断してよい。   The control unit may determine whether to start the control operation of the FFU rotation speed according to the valve opening.

制御部は、バルブ開度が予め定められた第３の閾値を連続して超える期間が、予め定められた第５待機時間を超えた場合に、ＦＦＵの制御運転を開始してよい。   The control unit may start the control operation of the FFU when a period in which the valve opening continuously exceeds a predetermined third threshold exceeds a predetermined fifth standby time.

制御装置は、パーティクルカウンタおよび温度センサの故障を判定する故障判定部をさらに備えてよい。制御部は、故障判定部が故障有と判定している間、予め定められた故障時用の回転数でＦＦＵを動作させてよい。   The control device may further include a failure determination unit that determines failure of the particle counter and the temperature sensor. The control unit may operate the FFU at a predetermined rotational speed for failure while the failure determination unit determines that there is a failure.

制御部は、故障判定部が故障から復帰したと判定した場合、入力部に入力された計測パーティクル数および計測温度に基づいて、ＦＦＵの回転数を制御してよい。   When it is determined that the failure determination unit has recovered from the failure, the control unit may control the rotation speed of the FFU based on the number of measured particles and the measured temperature input to the input unit.

入力部には、複数のパーティクルセンサにより計測された複数の計測パーティクル数に応じた信号及び温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力されてよい。制御部は、複数の計測パーティクル数から算出されたＦＦＵ制御量の内、最も大きいＦＦＵ制御量を選択して、ＦＦＵを制御してよい。   The input unit may receive a signal corresponding to a plurality of measured particles measured by a plurality of particle sensors and a signal corresponding to a measured temperature measured by the temperature sensor. The control unit may control the FFU by selecting the largest FFU control amount among the FFU control amounts calculated from the plurality of measured particle numbers.

制御装置は、入力部に入力された信号と、入力された信号に応じたＦＦＵの制御量を記憶する記憶部を更に備えてよい。制御部は、記憶部に記憶された情報に基づくＦＦＵの制御量で、ＦＦＵの動作を制御してよい。   The control device may further include a storage unit that stores a signal input to the input unit and an FFU control amount corresponding to the input signal. The control unit may control the operation of the FFU with a control amount of the FFU based on information stored in the storage unit.

制御部は、記憶部に記憶された情報に対応する信号が入力部に入力された場合に、記憶部に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、ＦＦＵを動作させてよい。   When a signal corresponding to the information stored in the storage unit is input to the input unit, the control unit may cause the FFU to operate at a minimum rotational speed calculated from the information stored in the storage unit.

本発明の第２の態様においては、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）と、制御装置とを備える制御システムを提供する。   In the 2nd aspect of this invention, a control system provided with a fan filter unit (FFU) and a control apparatus is provided.

本発明の第３の態様においては、コンピュータを制御装置として動作させるためのプログラムを提供する。   In a third aspect of the present invention, a program for operating a computer as a control device is provided.

本発明の第４の態様においては、ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の動作を制御するための制御方法であって、パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号を取得し、計測パーティクル数に応じた第１のＦＦＵ制御量および計測温度に応じた第２のＦＦＵ制御量に基づいて、ＦＦＵの動作を制御する制御方法を提供する。   In the fourth aspect of the present invention, there is provided a control method for controlling the operation of the fan filter unit (FFU), the signal corresponding to the number of measured particles measured by the particle counter and the measurement measured by the temperature sensor. Provided is a control method for acquiring a signal corresponding to a temperature and controlling the operation of the FFU based on a first FFU control amount corresponding to the number of measured particles and a second FFU control amount corresponding to the measured temperature.

なお、上記の発明の概要は、本発明の特徴の全てを列挙したものではない。また、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。   The summary of the invention does not enumerate all the features of the present invention. In addition, a sub-combination of these feature groups can also be an invention.

実施例１に制御システム２００の構成の一例を示す。An example of the configuration of the control system 200 is shown in the first embodiment. 清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of cleanliness control is shown. 清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of cleanliness control is shown. 清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of cleanliness control is shown. 温調制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control is shown. 温調制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control is shown. 温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control and cleanliness control is shown. 温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control and cleanliness control is shown. 温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control and cleanliness control is shown. 実施例２に係る制御システム２００の構成の一例を示す。An example of the structure of the control system 200 which concerns on Example 2 is shown. 清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of cleanliness control is shown. 温調制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control is shown. 温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。An example of the time chart at the time of temperature control and cleanliness control is shown. 実施例３に係る制御システム２００の構成の一例を示す。An example of the structure of the control system 200 which concerns on Example 3 is shown. 制御システム２００のより詳細な構成の一例を示す。An example of a more detailed configuration of the control system 200 is shown. 本明細書に係る制御システム２００を用いた検証結果の一例を示す。An example of the verification result using the control system 200 which concerns on this specification is shown. 本実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。2 shows an exemplary hardware configuration of a computer 1900 according to the present embodiment.

以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではない。また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。   Hereinafter, the present invention will be described through embodiments of the invention, but the following embodiments do not limit the invention according to the claims. In addition, not all the combinations of features described in the embodiments are essential for the solving means of the invention.

［実施例１］
図１は、実施例１に制御システム２００の構成の一例を示す。本例の制御システム２００は、制御装置１００、ＦＦＵ１１０、パーティクルカウンタ１２０および温度センサ１３０を備える。制御装置１００は、入力部１０、算出部２０および制御部３０を備える。 [Example 1]
FIG. 1 shows an example of the configuration of a control system 200 in the first embodiment. The control system 200 of this example includes a control device 100, an FFU 110, a particle counter 120, and a temperature sensor 130. The control device 100 includes an input unit 10, a calculation unit 20, and a control unit 30.

制御システム２００は、任意の空間の清浄度を制御する。本明細書において、清浄度は、任意の空間内に存在するパーティクル数で示される。パーティクル数が多いことを清浄度が「低い」と称し、パーティクル数が少ないことを清浄度が「高い」と称する。例えば、制御システム２００は、クリーンルーム内の清浄度を予め定められたレベル以上に保つ。本明細書に係る制御システム２００は、自動制御運転でクリーンルーム内の清浄度を保つことにより、消費電力を低減する。   The control system 200 controls the cleanliness of an arbitrary space. In the present specification, the cleanliness is indicated by the number of particles existing in an arbitrary space. A large number of particles is referred to as “low” cleanness, and a small number of particles is referred to as “high” cleanness. For example, the control system 200 maintains the cleanliness in the clean room at a predetermined level or higher. The control system 200 according to the present specification reduces power consumption by maintaining cleanliness in a clean room by automatic control operation.

ＦＦＵ１１０は、エリアの清浄度を維持するために用いられるファンフィルタユニット（ＦＦＵ：Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）である。本例のＦＦＵ１１０は、ファンおよびＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタを有する。ＦＦＵ１１０は、ＨＥＰＡフィルタによりパーティクルを除去した空気をファンで吐き出す。これにより、ＦＦＵ１１０は、清浄度の高い空気を循環させる。   The FFU 110 is a fan filter unit (FFU: Fan Filter Unit) used for maintaining the cleanliness of the area. The FFU 110 of this example includes a fan and a high efficiency particulate air (HEPA) filter. The FFU 110 discharges air from which particles have been removed by the HEPA filter with a fan. Thereby, the FFU 110 circulates air with high cleanliness.

パーティクルカウンタ１２０は、計測パーティクル数Ｐｍを取得する。計測パーティクル数Ｐｍは、任意のエリアのパーティクル数を示す。一例において、パーティクルカウンタ１２０は、１フィート四方の空間におけるパーティクル数を測定する。計測パーティクル数Ｐｍの測定方法は特に限られない。例えば、パーティクルカウンタ１２０は、レーザーを照射した場合の光散乱を検出することにより計測パーティクル数Ｐｍを取得する。制御システム２００には、複数のパーティクルカウンタ１２０が設けられてもよい。パーティクルカウンタ１２０は、ＦＦＵ１１０と離れた位置に設けられてよい。パーティクルカウンタ１２０は、取得した計測パーティクル数Ｐｍを制御装置１００に出力する。   The particle counter 120 acquires the measured particle number Pm. The measured particle number Pm indicates the number of particles in an arbitrary area. In one example, the particle counter 120 measures the number of particles in a 1 foot square space. The method for measuring the number of measured particles Pm is not particularly limited. For example, the particle counter 120 acquires the measured particle number Pm by detecting light scattering when the laser is irradiated. The control system 200 may be provided with a plurality of particle counters 120. The particle counter 120 may be provided at a position away from the FFU 110. The particle counter 120 outputs the acquired measured particle number Pm to the control device 100.

温度センサ１３０は、計測温度Ｔｍを取得する。計測温度Ｔｍは、任意のエリアの温度を示す。制御システム２００には、複数の温度センサ１３０が設けられてもよい。また、温度センサ１３０は、ＦＦＵ１１０と離れて設けられてよい。温度センサ１３０は、取得した計測温度Ｔｍを制御装置１００に出力する。   The temperature sensor 130 acquires the measured temperature Tm. The measured temperature Tm indicates the temperature of an arbitrary area. The control system 200 may be provided with a plurality of temperature sensors 130. Further, the temperature sensor 130 may be provided apart from the FFU 110. The temperature sensor 130 outputs the acquired measured temperature Tm to the control device 100.

入力部１０は、計測パーティクル数Ｐｍに応じた入力信号Ｓｉｎおよび計測温度Ｔｍに応じた入力信号Ｓｉｎが入力される。ここで、計測パーティクル数Ｐｍに応じた入力信号Ｓｉｎおよび計測温度Ｔｍに応じた入力信号Ｓｉｎとは、計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍのいずれかに少なくとも基づく信号であれば、計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍに限られないことを示す。例えば、計測温度Ｔｍに応じた入力信号Ｓｉｎは、制御システム２００が制御するエリアの温度を調整するための冷水コイルバルブのバルブ開度である。このように、入力信号Ｓｉｎは、ＦＦＵ１１０の回転数（ＭＶＦＦＵ）を制御するために必要な、パーティクル数や温度に関する信号であれば計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍに限られない。入力部１０は、入力信号Ｓｉｎを算出部２０に出力する。   The input unit 10 receives an input signal Sin corresponding to the measured particle number Pm and an input signal Sin corresponding to the measured temperature Tm. Here, if the input signal Sin corresponding to the measured particle number Pm and the input signal Sin corresponding to the measured temperature Tm are signals based on at least one of the measured particle number Pm and the measured temperature Tm, the measured particle number Pm and It shows that it is not restricted to measurement temperature Tm. For example, the input signal Sin corresponding to the measured temperature Tm is the valve opening degree of the cold water coil valve for adjusting the temperature of the area controlled by the control system 200. As described above, the input signal Sin is not limited to the measured particle number Pm and the measured temperature Tm as long as it is a signal related to the number of particles and the temperature necessary for controlling the rotation speed (MVFFU) of the FFU 110. The input unit 10 outputs the input signal Sin to the calculation unit 20.

算出部２０は、入力信号Ｓｉｎに基づいて、ＦＦＵ１１０を制御するためのＦＦＵ制御量Ｃを算出する。算出部２０は、ＦＦＵ制御量Ｃを制御信号Ｓｃとして制御部３０に出力する。本例の算出部２０は、計測パーティクル数Ｐｍに基づいて、ＦＦＵ制御量Ｃｐを算出する。一例において、算出部２０は、計測パーティクル数Ｐｍと予め定められた目標パーティクル数ＳＶｐとの関係に基づいて、ＦＦＵ制御量Ｃｐを算出する。例えば、算出部２０は、計測パーティクル数Ｐｍが目標パーティクル数ＳＶｐよりも少ない場合に、ＦＦＵの回転数を相対的に下げる。一方、算出部２０は、計測パーティクル数Ｐｍが目標パーティクル数ＳＶｐよりも多い場合に、ＦＦＵの回転数を相対的に上げる。同様に、算出部２０は、計測温度Ｔｍに基づいて、ＦＦＵ制御量Ｃｔを算出する。一例において、算出部２０は、計測温度Ｔｍと予め定められた目標温度ＳＶｔとの関係に基づいて、ＦＦＵ制御量Ｃｔを算出する。 The calculation unit 20 calculates an FFU control amount C for controlling the FFU 110 based on the input signal Sin. The calculation unit 20 outputs the FFU control amount C to the control unit 30 as the control signal Sc. Calculator 20 of this embodiment, based on the measured number of particles Pm, calculates the FFU control amount C p. In one example, the calculating unit 20 based on the relationship between the target number of particles SVp predetermined and the measured number of particles Pm, calculates the FFU control amount C p. For example, the calculation unit 20 relatively decreases the FFU rotation number when the measured particle number Pm is smaller than the target particle number SVp. On the other hand, the calculation unit 20 relatively increases the rotation speed of the FFU when the measured particle number Pm is larger than the target particle number SVp. Similarly, calculation unit 20, based on the measured temperature Tm, calculates the FFU control amount C t. In one example, the calculation unit 20 calculates the FFU control amount C t based on the relationship between the measured temperature Tm and a predetermined target temperature SVt.

本明細書において、ＦＦＵ制御量Ｃの大きさは、ＦＦＵ１１０の回転数と相関関係を有する。即ち、ＦＦＵ制御量Ｃが大きい程、ＦＦＵ１１０の回転数が大きくなる。また、ＦＦＵ制御量Ｃが正の場合、ＦＦＵ１１０の回転数が現在値から上昇するように制御され、ＦＦＵ制御量Ｃが負の場合、ＦＦＵ１１０の回転数が現在値から下降するように制御される。   In this specification, the magnitude of the FFU control amount C has a correlation with the rotation speed of the FFU 110. That is, as the FFU control amount C is larger, the rotation speed of the FFU 110 is larger. Further, when the FFU control amount C is positive, the rotation speed of the FFU 110 is controlled to increase from the current value, and when the FFU control amount C is negative, the rotation speed of the FFU 110 is controlled to decrease from the current value. .

一例において、ＦＦＵ１１０の回転数の変化量は、サンプリング方式のＰＩＤ制御演算式を利用して次式で示される。

Figure 2017219217
ここで、ｅｎ，ｅｎ−１，ｅｎ−２は、それぞれ今回、前回、前々回の偏差（ＰＶ−ＳＶ）を示す。ＰＶは、清浄度の実測値であり、ＳＶは、目標とする清浄度を示す。Ｋｐ，Ｋｉ，Ｋｄは、任意の係数である。 In one example, the amount of change in the rotation speed of the FFU 110 is expressed by the following equation using a sampling type PID control arithmetic expression.
Figure 2017219217
 Here, e n, e n-1 , e n-2 respectively show this, the last, the deviation of the before last the (PV-SV). PV is an actual measurement value of cleanliness, and SV indicates a target cleanliness. Kp, Ki, and Kd are arbitrary coefficients.

制御部３０は、算出部２０が算出した制御信号Ｓｃに応じて、ＦＦＵ１１０の動作を制御する。また、制御部３０は、制御信号Ｓｃに応じて、冷却部１４０の動作を制御してもよい。本例の制御部３０は、制御信号Ｓｃに基づいて、ＦＦＵ１１０の動作を自動制御することにより、ＦＦＵ１１０における消費電力を低減する。   The control unit 30 controls the operation of the FFU 110 according to the control signal Sc calculated by the calculation unit 20. Further, the control unit 30 may control the operation of the cooling unit 140 according to the control signal Sc. The control unit 30 of this example reduces power consumption in the FFU 110 by automatically controlling the operation of the FFU 110 based on the control signal Sc.

ここで、制御部３０は、２つの閾値ＳＶｐｔｍおよび閾値ＳＶｐｐｔを有する。閾値ＳＶｐｔｍは、パーティクル数の上限値を示す。閾値ＳＶｐｐｔは、閾値ＳＶｐｔｍよりも低いパーティクル数の閾値を示す。例えば、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍと２つの閾値ＳＶｐｔｍおよび閾値ＳＶｐｐｔとの関係に応じて、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードの３つのモードで動作する。   Here, the control unit 30 has two threshold values SVptm and SVppt. The threshold value SVptm indicates the upper limit value of the number of particles. The threshold value SVppt indicates a threshold value for the number of particles lower than the threshold value SVptm. For example, the control unit 30 operates in three modes, a normal operation mode, a control operation mode, and a strong operation mode, according to the relationship between the number of measured particles Pm, the two threshold values SVptm, and the threshold value SVppt.

例えば、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔ以下の場合に、ＦＦＵ１１０を平常運転モードで動作させる。平常運転モードにおいて、制御部３０は、予め定められた平常回転数でＦＦＵ１１０を動作させる。また、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えた場合に、ＦＦＵ１１０を制御運転モードで動作させる。制御運転モードにおいて、制御部３０は、後述の制御運転を実行する。そして、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えた場合に、強運転モードで動作させる。強運転モードにおいて、制御部３０は、予め定められた強回転数でＦＦＵ１１０を動作させる。   For example, the control unit 30 causes the FFU 110 to operate in the normal operation mode when the number of measured particles Pm is equal to or less than the threshold value SVppt. In the normal operation mode, the control unit 30 operates the FFU 110 at a predetermined normal rotation speed. In addition, the control unit 30 causes the FFU 110 to operate in the control operation mode when the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVppt. In the control operation mode, the control unit 30 executes a control operation described later. Then, the control unit 30 operates in the strong operation mode when the measured particle number Pm exceeds the threshold value SVptm. In the strong operation mode, the control unit 30 operates the FFU 110 at a predetermined strong rotation speed.

図２は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。即ち、本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えない場合である。   FIG. 2 shows an example of a time chart during cleanliness control. The control device 100 of this example operates in the normal operation mode and the control operation mode. That is, the time chart of this example is a case where the number Pm of measured particles does not exceed the threshold value SVptm.

閾値ＳＶｐｐｔは、制御装置１００がＦＦＵ１１０の制御を開始するパーティクル数である。閾値ＳＶｐｐｔは、要求される消費電力および清浄度に応じて決定されてよい。例えば、制御システム２００は、閾値ＳＶｐｐｔを高く設定することにより、ＦＦＵ１１０の回転数の上昇を遅らせて消費電力を抑制する。一方、制御システム２００は、閾値ＳＶｐｐｔを低く設定することにより、ＦＦＵ１１０の回転数の上昇を優先させて、清浄度を高く維持してもよい。   The threshold value SVppt is the number of particles that the control device 100 starts to control the FFU 110. The threshold value SVppt may be determined according to required power consumption and cleanliness. For example, the control system 200 sets the threshold value SVppt high, thereby delaying the increase in the rotation speed of the FFU 110 and suppressing power consumption. On the other hand, the control system 200 may keep the cleanness high by prioritizing the increase in the rotation speed of the FFU 110 by setting the threshold value SVppt low.

本例の制御装置１００は、監視期間ｔ０、待機時間ｔ１，ｔ２を用いて、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。監視期間ｔ０、待機時間ｔ１，ｔ２の大きさは、制御装置１００が制御するエリアの大きさ、要求される清浄度や消費電力に応じて変更されてよい。   The control apparatus 100 of this example controls the rotation speed of the FFU 110 using the monitoring period t0 and the standby times t1 and t2. The magnitudes of the monitoring period t0 and the standby times t1 and t2 may be changed according to the size of the area controlled by the control device 100, the required cleanliness, and the power consumption.

監視期間ｔ０は、入力信号Ｓｉｎを監視する期間である。監視期間ｔ０において、算出部２０は、ＦＦＵ制御量Ｃを算出する。監視期間ｔ０は、待機時間ｔ１および待機時間ｔ２と、次の待機時間ｔ１又は待機時間ｔ２との間に設けられる。なお、図面を簡潔にするため、監視期間ｔ０を省略する場合がある。   The monitoring period t0 is a period for monitoring the input signal Sin. In the monitoring period t0, the calculation unit 20 calculates the FFU control amount C. The monitoring period t0 is provided between the standby time t1 and the standby time t2 and the next standby time t1 or standby time t2. In order to simplify the drawing, the monitoring period t0 may be omitted.

待機時間ｔ１は、監視期間ｔ０において、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えたと判定してから、ＦＦＵ１１０の回転数を実際に上昇させるまでの時間を示す。制御装置１００は、待機時間ｔ１の経過後改めて条件を判定し、ＦＦＵ１１０の回転数を上げる必要がある場合にＦＦＵ１１０の回転数を上げる。一方、ＦＦＵ１１０の回転数を上げる必要がない場合は、ＦＦＵ１１０の回転数を上げなくてよい。制御装置１００は、待機時間ｔ１を設けることにより、誤って計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えたと判定した場合であっても誤動作を防止できる。   The standby time t1 indicates the time from when it is determined that the measured particle number Pm has exceeded the threshold value SVppt until the rotational speed of the FFU 110 is actually increased in the monitoring period t0. The control device 100 determines the condition again after the standby time t1 has elapsed, and increases the rotation speed of the FFU 110 when it is necessary to increase the rotation speed of the FFU 110. On the other hand, when there is no need to increase the rotation speed of the FFU 110, it is not necessary to increase the rotation speed of the FFU 110. By providing the standby time t1, the control device 100 can prevent malfunction even when it is erroneously determined that the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVppt.

待機時間ｔ２は、監視期間ｔ０において、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔ以下であると判定してから、ＦＦＵ１１０の回転数を下降させるまでの待機時間を示す。制御装置１００は、待機時間ｔ２の経過後改めて条件を判定し、ＦＦＵ１１０の回転数を下げる必要がある場合にＦＦＵ１１０の回転数を下げる。一方、ＦＦＵ１１０の回転数を下げる必要がない場合は、ＦＦＵ１１０の回転数を下げなくてよい。制御装置１００は、待機時間ｔ２を設けることにより、誤って計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔ以下であると判定した場合であっても誤動作を防止できる。待機時間ｔ２は、待機時間ｔ１よりも長くてよい。   The standby time t2 indicates a standby time from when the number of measured particles Pm is determined to be equal to or less than the threshold value SVppt until the rotation speed of the FFU 110 is decreased in the monitoring period t0. The control device 100 determines the condition again after the standby time t2 has elapsed, and decreases the rotation speed of the FFU 110 when it is necessary to decrease the rotation speed of the FFU 110. On the other hand, when there is no need to reduce the rotation speed of the FFU 110, the rotation speed of the FFU 110 need not be reduced. By providing the standby time t2, the control device 100 can prevent malfunction even when it is erroneously determined that the measured particle number Pm is equal to or less than the threshold value SVppt. The waiting time t2 may be longer than the waiting time t1.

平常運転モードにおいて、制御装置１００は、監視期間ｔ０を繰り返して、計測パーティクル数Ｐｍを監視する。制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えた場合に、制御運転モードに切り替える。制御装置１００は、閾値ＳＶｐｐｔを超えるまでは、平常回転数でＦＦＵ１１０を動作させる。   In the normal operation mode, the control device 100 repeats the monitoring period t0 and monitors the number of measured particles Pm. The control device 100 switches to the control operation mode when the measured particle number Pm exceeds the threshold value SVppt. The control device 100 operates the FFU 110 at the normal rotation speed until the threshold SVppt is exceeded.

制御運転モードにおいて、制御部３０は、入力信号Ｓｉｎに応じてＦＦＵ１１０を制御する。制御部３０は、監視期間ｔ０において、ＦＦＵ１１０の回転数を上げるか否かを判定する。制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが、目標パーティクル数ＳＶｐよりも大きい場合に、予め定められた待機時間ｔ１だけ待機した後に、ＦＦＵ制御量Ｃｐを大きくする。その後、監視期間ｔ０において、改めて、ＦＦＵ１１０の回転数を上げるか否かを判定する。 In the control operation mode, the control unit 30 controls the FFU 110 according to the input signal Sin. The control unit 30 determines whether or not to increase the rotation speed of the FFU 110 in the monitoring period t0. The control unit 30 measures the number of particles Pm is greater than the target number of particles SVp, after waiting for a waiting time t1 a predetermined, to increase the FFU control amount C p. Thereafter, in the monitoring period t0, it is determined again whether or not the rotation speed of the FFU 110 is to be increased.

ＦＦＵ１１０の回転数を上げる必要がある場合、制御部３０は、待機時間ｔ１の経過後にＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる。一方、ＦＦＵ１１０の回転数を上げる必要がない場合、制御部３０は、ＦＦＵ１１０の回転数を変化させなくてもよい。また、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが、目標パーティクル数ＳＶｐよりも小さい場合に、予め定められた待機時間ｔ２だけ待機した後に、ＦＦＵ制御量Ｃｐを小さくする。待機時間ｔ１は、待機時間ｔ２よりも短くてよい。そして、制御装置１００は、再び監視期間ｔ０に入り同様の制御を繰り返す。 When it is necessary to increase the rotation speed of the FFU 110, the control unit 30 increases the rotation speed of the FFU 110 after the standby time t1 has elapsed. On the other hand, when it is not necessary to increase the rotation speed of the FFU 110, the control unit 30 may not change the rotation speed of the FFU 110. The control unit 30 measures the number of particles Pm is less than the target number of particles SVp, after waiting for a waiting time t2 predetermined to reduce the FFU control amount C p. The standby time t1 may be shorter than the standby time t2. Then, the control device 100 enters the monitoring period t0 again and repeats the same control.

なお、制御運転モードにおいて、制御装置１００は、ＦＦＵ１１０の回転数が平常回転数まで下降すると平常運転モードに切り替わる。これにより、制御装置１００は、ＦＦＵ１１０の制御を停止して、制御間隔ｔ０を繰り返す。そして、制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えた場合、再び制御運転モードで動作する。   In the control operation mode, the control device 100 switches to the normal operation mode when the rotation speed of the FFU 110 decreases to the normal rotation speed. Thereby, the control apparatus 100 stops control of FFU110, and repeats control interval t0. And the control apparatus 100 operate | moves again in control operation mode, when the number Pm of measured particles exceeds threshold value SVppt.

図３は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超える場合を示す。   FIG. 3 shows an example of a time chart during cleanliness control. The control device 100 of this example operates in a normal operation mode, a control operation mode, and a strong operation mode. The time chart of this example shows a case where the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm.

閾値ＳＶｐｔｍは、制御装置１００が強運転モードに切り替わるパーティクル数である。本例のタイムチャートにおいて、制御装置１００は、制御運転モードを経由せずに、平常運転モードから強運転モードに直接切り替える。   The threshold value SVptm is the number of particles that the control device 100 switches to the strong operation mode. In the time chart of this example, the control device 100 directly switches from the normal operation mode to the strong operation mode without going through the control operation mode.

強運転モードにおいて、制御装置１００は、予め定められた強回転数でＦＦＵ１１０を動作させる。本明細書において、強回転数とは、制御装置１００がＦＦＵ１１０を自動制御している場合に設定する最大の回転数を示し、任意の回転数に設定されてよい。強運転モードにおいて、制御装置１００は、予め定められた監視周期ｔ'で計測パーティクル数Ｐｍを監視する。制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えていると判定し、待機時間ｔ'の経過後も閾値ＳＶｐｔｍを超えている場合、ＦＦＵ１１０の回転数を強回転に設定する。一例において、監視周期ｔ'は１分であるがこれに限られない。   In the strong operation mode, the control device 100 operates the FFU 110 at a predetermined strong rotation speed. In this specification, the strong rotation speed indicates the maximum rotation speed that is set when the control device 100 automatically controls the FFU 110, and may be set to an arbitrary rotation speed. In the strong operation mode, the control device 100 monitors the number of measured particles Pm at a predetermined monitoring period t ′. The control device 100 determines that the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm, and sets the rotation speed of the FFU 110 to strong rotation when it exceeds the threshold value SVptm even after the standby time t ′ has elapsed. In one example, the monitoring period t ′ is 1 minute, but is not limited thereto.

また、制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが予め定められた閾値ＳＶｐｔｍを超えた場合に、監視期間ｔ０を設けずに、予め定められた監視周期ｔ'で計測パーティクル数Ｐｍを監視する。本例の制御装置１００は、監視周期ｔ'毎に、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えているか否かを判定する。計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えている場合は、ＦＦＵ１１０の回転数を強回転で維持する。一方、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えていない場合、ＦＦＵ１１０の回転数を変更せずに監視期間ｔ０に入る。計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔ以下の場合、待機時間ｔ２の経過後、ＦＦＵ１１０の回転数を下降させる。なお、下降時の制御方法は、本明細書に開示された他の方法を用いてよい。   Further, when the number of measured particles Pm exceeds a predetermined threshold SVptm, the control unit 30 monitors the number of measured particles Pm at a predetermined monitoring cycle t ′ without providing the monitoring period t0. The control device 100 of this example determines whether or not the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm every monitoring cycle t ′. When the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm, the rotation speed of the FFU 110 is maintained at a strong rotation. On the other hand, when the measured particle number Pm does not exceed the threshold value SVptm, the monitoring period t0 is entered without changing the rotation number of the FFU 110. When the number of measured particles Pm is equal to or less than the threshold value SVppt, the rotational speed of the FFU 110 is decreased after the standby time t2 has elapsed. Note that another method disclosed in the present specification may be used as the control method at the time of lowering.

図４は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、平常運転モード、制御運転モードおよび強運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを緩やかに超える場合を示す。   FIG. 4 shows an example of a time chart during cleanliness control. The control device 100 of this example operates in a normal operation mode, a control operation mode, and a strong operation mode. The time chart of this example shows a case where the number Pm of measured particles gently exceeds the threshold value SVptm.

本例の制御装置１００は、平常運転モードで動作している。計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えた場合に、制御部３０は、平常運転モードから制御運転モードに切り替える。制御装置１００は、監視期間ｔ０において、ＦＦＵ１１０の回転数を上げるか否かを判定する。監視期間ｔ０において、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔよりも大きく、閾値ＳＶｐｔｍ以下の範囲にある場合、待機時間ｔ１の経過後にＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる。   The control device 100 of this example operates in the normal operation mode. When the number Pm of measured particles exceeds the threshold value SVppt, the control unit 30 switches from the normal operation mode to the control operation mode. The control device 100 determines whether or not to increase the rotation speed of the FFU 110 in the monitoring period t0. In the monitoring period t0, when the number of measured particles Pm is larger than the threshold value SVppt and within the threshold value SVptm, the rotation speed of the FFU 110 is increased after the standby time t1 has elapsed.

制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えた場合に、制御運転モードから強運転モードに切り替える。本例の制御部３０は、強回転に切り替えた後に予め定められた監視周期ｔ'毎に計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えているか否かを確認する。計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えている場合はＦＦＵ１１０の回転数を強回転で維持する。一方、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｔｍを超えていない場合、ＦＦＵ１１０の回転数を変更せずに、監視期間ｔ０に入る。そして、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えている場合は、待機時間ｔ１の経過後にＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる。但し、ＦＦＵ１１０の回転数が最大回転数である場合は、ＦＦＵ１１０の回転数を維持するとしてもよい。一方、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔ以下の場合、待機時間ｔ２の経過後、ＦＦＵ１１０の回転数を下降させる。なお、下降時の制御方法は、本明細書に開示された他の方法を用いてよい。   The control unit 30 switches from the control operation mode to the strong operation mode when the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm. The control unit 30 of this example checks whether or not the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm every predetermined monitoring cycle t ′ after switching to strong rotation. When the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVptm, the rotation speed of the FFU 110 is maintained at a strong rotation. On the other hand, when the measured particle number Pm does not exceed the threshold value SVptm, the monitoring period t0 is entered without changing the rotation number of the FFU 110. If the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVppt, the rotation speed of the FFU 110 is increased after the standby time t1 has elapsed. However, when the rotation speed of the FFU 110 is the maximum rotation speed, the rotation speed of the FFU 110 may be maintained. On the other hand, when the number of measured particles Pm is equal to or less than the threshold value SVppt, the rotation speed of the FFU 110 is decreased after the standby time t2. Note that another method disclosed in the present specification may be used as the control method at the time of lowering.

図５は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、バルブ開度ＭＶ１００％（ＶＦＯ）の時間が予め定められた待機時間ｔ３を超えない場合を示す。   FIG. 5 shows an example of a time chart during temperature control. The control device 100 of this example operates in the normal operation mode and the control operation mode. The time chart of this example shows a case where the valve opening MV 100% (VFO) time does not exceed the predetermined standby time t3.

算出部２０は、計測温度Ｔｍと目標温度ＳＶｔとの関係に基づいて、冷却部１４０における冷水コイルバルブのバルブ開度ＭＶを算出する。一例において、算出部２０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも大きくなった場合に、バルブ開度ＭＶを大きくする。一方、算出部２０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも小さくなった場合に、バルブ開度ＭＶを小さくする。   The calculation unit 20 calculates the valve opening MV of the chilled water coil valve in the cooling unit 140 based on the relationship between the measured temperature Tm and the target temperature SVt. In one example, the calculation unit 20 increases the valve opening MV when the measured temperature Tm becomes higher than the target temperature SVt. On the other hand, the calculation unit 20 decreases the valve opening degree MV when the measured temperature Tm becomes lower than the target temperature SVt.

また、算出部２０は、バルブ開度ＭＶの制御に加えて、ＦＦＵ１１０の回転数を制御してもよい。算出部２０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも大きくなった場合に、ＦＦＵ制御量Ｃｔを大きくし、且つ、バルブ開度ＭＶを大きくする。一方、算出部２０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも小さくなった場合に、ＦＦＵ制御量Ｃｔを小さくし、且つ、バルブ開度ＭＶを小さくする。 Further, the calculation unit 20 may control the rotation speed of the FFU 110 in addition to the control of the valve opening MV. Calculating unit 20, if the measured temperature Tm is greater than the target temperature SVT, increasing the FFU control amount C t, and, to increase the valve opening MV. On the other hand, the calculating unit 20, if the measured temperature Tm is smaller than the target temperature SVT, to reduce the FFU control amount C t, and to reduce the valve opening MV.

制御部３０は、バルブ開度ＭＶに応じて、ＦＦＵ１１０の回転数の制御運転を開始するか否かを判断する。制御部３０は、バルブ開度ＭＶが、予め定められたバルブ開度ＭＶを待機時間ｔ３超えた場合に、ＦＦＵ１１０の制御を開始する。   The control unit 30 determines whether to start the control operation of the rotation speed of the FFU 110 according to the valve opening MV. The control unit 30 starts control of the FFU 110 when the valve opening MV exceeds the predetermined valve opening MV for the standby time t3.

また、制御部３０は、ＦＦＵ１１０の回転数の変化量ＤＶが正の場合と負の場合とで異なる制御を行なう。変化量ＤＶが正の場合とは、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも高い場合である。一方、変化量ＤＶが負の場合とは、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔより低い場合である。   Further, the control unit 30 performs different control depending on whether the amount of change DV of the rotation speed of the FFU 110 is positive or negative. The case where the amount of change DV is positive is a case where the measured temperature Tm is higher than the target temperature SVt. On the other hand, the change amount DV is negative when the measured temperature Tm is lower than the target temperature SVt.

例えば、変化量ＤＶが正の場合、制御部３０は、バルブ開度ＭＶ１００％が待機時間ｔ３持続している場合、ＦＦＵ１１０を変化量ＤＶで制御する。制御部３０は、バルブ開度ＭＶ１００％が待機時間ｔ３を超えて持続していない場合、ＦＦＵ１１０の回転数を変化させない。また、制御部３０は、変化量ＤＶが正であって、バルブ開度ＭＶが１００％未満である場合、ＦＦＵ１１０の回転数を変化させない。即ち、変化量ＤＶが正の場合、制御部３０は、バルブ開度ＭＶ１００％である状態が待機時間ｔ３以上持続している場合にのみ、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。   For example, when the change amount DV is positive, the control unit 30 controls the FFU 110 with the change amount DV when the valve opening degree MV100% continues for the standby time t3. The control unit 30 does not change the rotation speed of the FFU 110 when the valve opening degree MV100% does not continue beyond the waiting time t3. Moreover, the control part 30 does not change the rotation speed of FFU110, when the variation | change_quantity DV is positive and the valve opening degree MV is less than 100%. That is, when the change amount DV is positive, the control unit 30 controls the rotation speed of the FFU 110 only when the state where the valve opening degree MV is 100% continues for the standby time t3 or more.

一方、変化量ＤＶが負の場合、制御部３０は、バルブ開度ＭＶが０よりも大きい場合、清浄度が目標値未満なら変化量ＤＶで制御する。それ以外は、ＦＦＵ１１０の回転数の変化量は０である。また、変化量ＤＶが負の場合、バルブ開度ＭＶが０％である場合、清浄度が目標値未満なら変化量ＤＶで制御する。それ以外はＦＦＵ１１０の回転数の変化量は０である。即ち、変化量ＤＶが負の場合、制御部３０は、バルブ開度ＭＶの大きさにかかわらず、清浄度が目標値未満なら変化量ＤＶで制御し、それ以外はＦＦＵ１１０の回転数の変化量を０にする。   On the other hand, when the amount of change DV is negative, the control unit 30 controls the amount of change DV if the degree of cleanliness is less than the target value when the valve opening MV is greater than zero. Otherwise, the amount of change in the rotation speed of the FFU 110 is zero. Further, when the change amount DV is negative, when the valve opening degree MV is 0%, if the cleanliness is less than the target value, the change amount DV is controlled. Otherwise, the amount of change in the rotation speed of the FFU 110 is zero. That is, when the change amount DV is negative, the control unit 30 controls the change amount DV if the cleanliness is less than the target value regardless of the magnitude of the valve opening MV, and otherwise, the change amount of the rotation speed of the FFU 110. Set to 0.

本例の制御装置１００は、計測温度Ｔｍと目標温度ＳＶｔとの関係に応じて、バルブ開度ＭＶおよびＦＦＵ１１０の動作を制御する。計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔを超えた場合、制御装置１００は、バルブ開度ＭＶを上昇させる。本例の制御装置１００は、計測温度Ｔｍの上昇に比例して、バルブ開度ＭＶを大きくする。   The control device 100 of this example controls the operation of the valve opening MV and the FFU 110 according to the relationship between the measured temperature Tm and the target temperature SVt. When the measured temperature Tm exceeds the target temperature SVt, the control device 100 increases the valve opening MV. The control device 100 of this example increases the valve opening MV in proportion to the increase in the measured temperature Tm.

制御部３０は、バルブ開度ＭＶに応じて、ＦＦＵ１１０の回転数の制御運転を開始するか否かを判断する。制御部３０は、バルブ開度ＭＶが予め定められた閾値を連続して超える期間が、待機時間ｔ３を超えた場合に、ＦＦＵ１１０の制御運転を開始する。本例の待機時間ｔ３は、冷水コイルバルブのバルブ開度ＭＶが全開となってから、ＦＦＵ１１０の制御を開始するまでの時間を示す。バルブ開度ＭＶが全開値ＶＦＯである期間が待機時間ｔ３を超えない場合、温調制御によるＦＦＵ１１０の制御を行なわない。本例の目標温度ＳＶｔは一定である。   The control unit 30 determines whether to start the control operation of the rotation speed of the FFU 110 according to the valve opening MV. The control unit 30 starts the control operation of the FFU 110 when the period in which the valve opening degree MV continuously exceeds a predetermined threshold exceeds the standby time t3. The standby time t3 in this example indicates the time from when the valve opening MV of the cold water coil valve is fully opened until the control of the FFU 110 is started. When the period during which the valve opening degree MV is the fully open value VFO does not exceed the standby time t3, the FFU 110 is not controlled by the temperature control. The target temperature SVt in this example is constant.

図６は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、平常運転モードおよび制御運転モードで動作する。本例のタイムチャートは、バルブ開度ＭＶ１００％の時間が待機時間ｔ３を超える場合を示す。本例では、パラメータｔ０〜ｔ２は、清浄度制御によるＦＦＵ１１０の制御の場合と共通の値を使用する。但し、パラメータｔ０〜ｔ２は、清浄度制御の場合と温調制御の場合とで異なってよい。   FIG. 6 shows an example of a time chart during temperature control. The control device 100 of this example operates in the normal operation mode and the control operation mode. The time chart of this example shows a case where the valve opening MV100% time exceeds the standby time t3. In this example, the parameters t0 to t2 use values common to the case of controlling the FFU 110 by the cleanliness control. However, the parameters t0 to t2 may be different between cleanness control and temperature control.

制御部３０は、バルブ開度ＭＶ１００％が待機時間ｔ３以上続いた場合、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。例えば、制御部３０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも高い場合に、待機時間ｔ１だけ待機した後に、ＦＦＵ制御量Ｃｔで、ＦＦＵ１１０を制御する。また、制御部３０は、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔよりも低い場合に、待機時間ｔ２だけ待機した後に、ＦＦＵ制御量Ｃｔで、ＦＦＵ１１０を制御する。温調制御における待機時間ｔ１は、待機時間ｔ２よりも長くてよい。 The control unit 30 controls the rotation speed of the FFU 110 when the valve opening degree MV100% continues for the standby time t3 or more. For example, when the measured temperature Tm is higher than the target temperature SVt, the control unit 30 controls the FFU 110 with the FFU control amount C t after waiting for the standby time t1. Further, when the measured temperature Tm is lower than the target temperature SVt, the control unit 30 controls the FFU 110 with the FFU control amount C t after waiting for the standby time t2. The standby time t1 in the temperature control may be longer than the standby time t2.

本例の制御部３０は、監視期間ｔ０において、バルブ開度ＭＶが全開値ＶＦＯを下回っていない場合、待機時間ｔ１の経過後、ＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる。次に、監視期間ｔ０において、バルブ開度ＭＶが全開値ＶＦＯを下回った場合、制御装置１００は、何もせずに監視期間ｔ０に入る。また、制御装置１００は、監視期間ｔ０において、バルブ開度ＭＶが０％で、且つ、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔ以下になった場合、待機時間ｔ２の経過後、ＦＦＵ１１０の回転数を下降させる。また、制御装置１００は、監視期間ｔ０ののち、バルブ開度ＭＶが０％〜全開値ＶＦＯ未満で、且つ、計測温度Ｔｍが目標温度ＳＶｔを超えている場合、省エネのため、そのまま再び監視期間ｔ０に入る。   In the monitoring period t0, the control unit 30 of this example increases the rotation speed of the FFU 110 after the standby time t1 has elapsed when the valve opening degree MV is not less than the full open value VFO. Next, in the monitoring period t0, when the valve opening MV falls below the full open value VFO, the control device 100 enters the monitoring period t0 without doing anything. In addition, when the valve opening MV is 0% and the measured temperature Tm is equal to or lower than the target temperature SVt in the monitoring period t0, the control device 100 decreases the rotation speed of the FFU 110 after the standby time t2 has elapsed. . Further, after the monitoring period t0, when the valve opening MV is 0% to less than the full open value VFO and the measured temperature Tm exceeds the target temperature SVt, the control device 100 again performs the monitoring period for energy saving. Enter t0.

図７は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、温調制御から清浄度制御に切り替える。即ち、制御装置１００は、清浄度制御および温調制御を組み合わせて使用している。この場合、清浄度制御と温調制御の両方の判定および制御が並行して行われている。   FIG. 7 shows an example of a time chart during temperature control and cleanness control. The control apparatus 100 of this example switches from temperature control to cleanliness control. That is, the control device 100 uses a combination of cleanliness control and temperature control. In this case, determination and control of both cleanness control and temperature control are performed in parallel.

制御部３０は、温調制御でのＦＦＵ制御量Ｃｔと清浄度でのＦＦＵ制御量Ｃｐとのうち、大きい方のＦＦＵ制御量ＣでＦＦＵ１１０を制御する。即ち、制御部３０は、ＦＦＵ１１０の回転数がより高くなるように、ＦＦＵ制御量ＣｔおよびＦＦＵ制御量Ｃｐのいずれかを選択する。また、制御部３０は、ＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる場合も、ＦＦＵ１１０の回転数を下降させる場合も、ＦＦＵ１１０の回転数が高くなるように、ＦＦＵ制御量ＣｔおよびＦＦＵ制御量Ｃｐのいずれかを選択することが好ましい。これにより、制御装置１００は、清浄度のレベルを維持できる。 The control unit 30 controls the FFU 110 with the larger FFU control amount C among the FFU control amount C t in the temperature control and the FFU control amount C p in the cleanliness. That is, the control unit 30 selects either the FFU control amount C t or the FFU control amount C p so that the rotation speed of the FFU 110 becomes higher. In addition, the control unit 30 increases either the FFU control amount C t or the FFU control amount C p so that the rotation speed of the FFU 110 is increased regardless of whether the rotation speed of the FFU 110 is increased or decreased. It is preferable to select these. Thereby, the control apparatus 100 can maintain the level of cleanliness.

時刻Ｔ１において、本例の制御装置１００は、温調制御から清浄度制御に切り替える。即ち、時刻Ｔ１において、ＦＦＵ制御量ＣｔがＦＦＵ制御量Ｃｐよりも上回る。制御部３０は、ＦＦＵ制御量ＣｔからＦＦＵ制御量Ｃｐに切り替えてＦＦＵ１１０を制御する。時刻Ｔ２に関しても同様である。 At time T1, the control apparatus 100 of this example switches from temperature control to cleanliness control. That is, at time T1, FFU control quantity C t exceeds than FFU control amount C p. The control unit 30 controls the FFU110 switch from FFU control quantity C t in FFU control amount C p. The same applies to time T2.

図８は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、清浄度制御から温調制御に切り替える。   FIG. 8 shows an example of a time chart during temperature control and cleanness control. The control apparatus 100 of this example switches from cleanliness control to temperature control.

本例のタイムチャートでは、待機時間ｔ３の経過前に計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えている。そのため、制御部３０は、温調制御の前に清浄度制御を開始する。制御部３０は、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えると、待機時間ｔ１の経過後にＦＦＵ１１０の回転数を上昇させる。ＦＦＵ１１０を清浄度制御している状態では、ＦＦＵ制御量ＣｐがＦＦＵ制御量Ｃｔを上回っている。 In the time chart of this example, the number of measured particles Pm exceeds the threshold value SVppt before the standby time t3 elapses. Therefore, the control part 30 starts cleanliness control before temperature control. When the measured particle number Pm exceeds the threshold value SVppt, the control unit 30 increases the rotation speed of the FFU 110 after the standby time t1 has elapsed. In the state where the cleanliness control FFU110, FFU control amount C p is above the FFU control amount C t.

時刻Ｔ３において、ＦＦＵ制御量ＣｐがＦＦＵ制御量Ｃｔよりも上回る。また、バルブ開度ＭＶ１００％が待機時間ｔ３を超えている。制御部３０は、監視期間ｔ０を経過したときに、ＦＦＵ制御量ＣｔがＦＦＵ制御量Ｃｐを上回った場合、ＦＦＵ制御量ＣｔによりＦＦＵ１１０を制御する。これにより、制御装置１００は、清浄度制御から温調制御に切り替える。その後、ＦＦＵ１１０の回転数下降の制御は、本明細書に係る他の制御の方法と同様に行う。 At time T3, FFU control amount C p exceeds than FFU control quantity C t. Further, the valve opening degree MV100% exceeds the standby time t3. Control unit 30, upon lapse of the monitoring period t0, if the FFU control quantity C t exceeds the FFU control amount C p, controls the FFU110 by FFU control quantity C t. Thereby, the control apparatus 100 switches from cleanness control to temperature control. Thereafter, the control for lowering the rotation speed of the FFU 110 is performed in the same manner as other control methods according to the present specification.

図９は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例の制御装置１００は、清浄度制御と温調制御を同時に開始する。即ち、本例のタイムチャートは、計測パーティクル数Ｐｍが閾値ＳＶｐｐｔを超えるタイミングと、待機時間ｔ３を経過するタイミングとが同じ場合を示す。このように、制御装置１００は、ＦＦＵ１１０の清浄度制御と温調制御を同時に行おうとする場合、いずれの制御量が大きくなるかを判定し、ＦＦＵ１１０の回転数が大きくなる方のＦＦＵ制御量Ｃを用いてＦＦＵ１１０を制御する。本例の制御装置１００は、本明細書に係る他の制御運転モードと同様の方法によりＦＦＵ１１０の動作を制御してよい。   FIG. 9 shows an example of a time chart during temperature control and cleanness control. The control apparatus 100 of this example starts cleanliness control and temperature control simultaneously. That is, the time chart of this example shows a case where the timing at which the measured particle number Pm exceeds the threshold value SVppt and the timing at which the standby time t3 elapses are the same. As described above, when the control device 100 intends to perform the cleanliness control and the temperature control of the FFU 110 at the same time, the control device 100 determines which control amount is increased, and the FFU control amount C of which the rotation speed of the FFU 110 is increased. Is used to control the FFU 110. The control device 100 of this example may control the operation of the FFU 110 by the same method as in other control operation modes according to the present specification.

［実施例２］
図１０は、実施例２に係る制御システム２００の構成の一例を示す。本例の制御装置１００は、故障判定部４０を備える。 [Example 2]
FIG. 10 illustrates an example of a configuration of the control system 200 according to the second embodiment. The control device 100 of this example includes a failure determination unit 40.

故障判定部４０は、入力部１０に入力された計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍに基づいて、パーティクルカウンタ１２０および温度センサ１３０が故障している否かを判定する。例えば、故障判定部４０は、予め定められた期間、入力部１０に計測パーティクル数Ｐｍが入力されなくなった場合にパーティクルカウンタ１２０が故障したと判定する。また、故障判定部４０は、計測パーティクル数Ｐｍが異常値を検出した場合にパーティクルカウンタ１２０が故障したと判定してもよい。なお、故障判定部４０は、パーティクルカウンタ１２０および温度センサ１３０から信号が入力されなくなった場合に、通信エラーが生じていると判定してもよい。   The failure determination unit 40 determines whether the particle counter 120 and the temperature sensor 130 have failed based on the measured particle number Pm and the measured temperature Tm input to the input unit 10. For example, the failure determination unit 40 determines that the particle counter 120 has failed when the measured particle number Pm is not input to the input unit 10 for a predetermined period. Further, the failure determination unit 40 may determine that the particle counter 120 has failed when the measured particle number Pm detects an abnormal value. The failure determination unit 40 may determine that a communication error has occurred when no signal is input from the particle counter 120 and the temperature sensor 130.

制御部３０は、故障判定部４０が故障有と判定している間、予め定められた故障時回転数ＦＶでＦＦＵ１１０を動作させる。制御部３０は、故障判定部４０が故障から復帰したと判定した場合、入力部１０に入力された計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍに基づいて、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。   While the failure determination unit 40 determines that there is a failure, the control unit 30 operates the FFU 110 at a predetermined rotation speed FV during failure. When it is determined that the failure determination unit 40 has recovered from the failure, the control unit 30 controls the rotation speed of the FFU 110 based on the measured particle number Pm and the measured temperature Tm input to the input unit 10.

図１１は、清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、清浄度制御時に、パーティクルカウンタ１２０が故障した場合を示す。本例の制御装置１００は、パーティクルカウンタ１２０の故障等により計測パーティクル数Ｐｍが得られない場合であっても清浄度を予め定められたレベルに維持する。   FIG. 11 shows an example of a time chart during cleanliness control. The time chart of this example shows a case where the particle counter 120 has failed during cleanliness control. The control device 100 of this example maintains the cleanliness level at a predetermined level even when the measured particle number Pm cannot be obtained due to a failure of the particle counter 120 or the like.

パーティクルカウンタ１２０の故障発生時、制御部３０は、予め定められた故障時回転数ＦＶでＦＦＵ１１０を制御する。制御部３０は、故障発生時であることを判定したら即座にＦＦＵ１１０を故障時回転数ＦＶで制御することが好ましい。また、制御部３０は、故障発生時であることを判定したら、現在のＦＦＵ１１０の回転数から故障時回転数ＦＶへと徐々に近づけていってもよい。故障時回転数ＦＶは、少なくとも要求されるレベルの清浄度を保つことのできる回転数以上に設定される。これにより、制御装置１００は、クリーンルーム内の清浄度が保てなくなる危険性を回避する。故障時回転数ＦＶは、ＦＦＵ１１０の最大回転数であってもよい。   When the failure of the particle counter 120 occurs, the control unit 30 controls the FFU 110 with a predetermined rotation speed FV at the time of failure. It is preferable that the control unit 30 controls the FFU 110 at the failure speed FV as soon as it is determined that a failure has occurred. Moreover, if it determines with it being at the time of a failure occurrence, the control part 30 may be gradually approached from the present rotation speed of FFU110 to the rotation speed FV at the time of failure. The rotation speed FV at the time of failure is set to be equal to or higher than the rotation speed capable of maintaining at least the required level of cleanliness. Thereby, the control apparatus 100 avoids the risk that the cleanliness in the clean room cannot be maintained. The failure speed FV may be the maximum speed of the FFU 110.

パーティクルカウンタ１２０の故障復帰時、制御装置１００は、制御運転モードに復帰して動作する。制御装置１００は、故障復帰時であることを判定したら即座に制御運転モードに切り替えてよい。この場合、制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍを取得し、その結果に応じて待機時間ｔ１又は待機時間ｔ２に入る。その後の制御は、本明細書に開示されたその他の制御方法と同様であってよい。   At the time of failure recovery of the particle counter 120, the control device 100 returns to the control operation mode and operates. The control device 100 may immediately switch to the control operation mode when it is determined that the failure is being recovered. In this case, the control device 100 acquires the number of measured particles Pm, and enters the standby time t1 or the standby time t2 according to the result. Subsequent control may be similar to other control methods disclosed in this specification.

図１２は、温調制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、温調制御時に、温度センサ１３０が故障した場合を示す。本例の制御装置１００は、温度センサ１３０の故障等により計測温度Ｔｍが得られない場合であっても清浄度を予め定められたレベルに維持する。   FIG. 12 shows an example of a time chart during temperature control. The time chart of this example shows a case where the temperature sensor 130 has failed during temperature control. The control device 100 of the present example maintains the cleanliness level at a predetermined level even when the measured temperature Tm cannot be obtained due to a failure of the temperature sensor 130 or the like.

温度センサ１３０の故障発生時、制御部３０は、予め定められた故障時回転数ＦＶでＦＦＵ１１０を制御する。故障時回転数ＦＶは、少なくとも要求されるレベルの清浄度を保つことのできる回転数以上に設定される。これにより、制御装置１００は、クリーンルーム内の清浄度が保てなくなる危険性を回避する。故障時回転数ＦＶは、ＦＦＵ１１０の最大回転数であってもよい。また、温度センサ１３０が故障した場合の故障時回転数ＦＶは、パーティクルカウンタ１２０が故障した場合の故障時回転数ＦＶと同一であっても異なっていてもよい。即ち、故障時回転数ＦＶは、少なくとも清浄度が保たれる回転数であればよい。   When the failure of the temperature sensor 130 occurs, the control unit 30 controls the FFU 110 with a predetermined rotation speed FV at the time of failure. The rotation speed FV at the time of failure is set to be equal to or higher than the rotation speed capable of maintaining at least the required level of cleanliness. Thereby, the control apparatus 100 avoids the risk that the cleanliness in the clean room cannot be maintained. The failure speed FV may be the maximum speed of the FFU 110. Further, the malfunctioning rotational speed FV when the temperature sensor 130 malfunctions may be the same as or different from the malfunctioning rotational speed FV when the particle counter 120 malfunctions. In other words, the rotation speed FV at the time of failure may be at least the rotation speed at which the cleanliness is maintained.

温度センサ１３０の故障復帰時、制御装置１００は、制御運転モードに復帰して動作する。制御装置１００は、故障復帰時であることを判定したら即座に制御運転モードに切り替えてよい。この場合、制御装置１００は、計測温度Ｔｍを取得し、その結果に応じて待機時間ｔ１又は待機時間ｔ２に入る。その後の制御は、本明細書に開示されたその他の制御方法と同様であってよい。   At the time of failure recovery of the temperature sensor 130, the control device 100 returns to the control operation mode and operates. The control device 100 may immediately switch to the control operation mode when it is determined that the failure is being recovered. In this case, the control device 100 acquires the measured temperature Tm, and enters the standby time t1 or the standby time t2 according to the result. Subsequent control may be similar to other control methods disclosed in this specification.

図１３は、温調制御時および清浄度制御時のタイムチャートの一例を示す。本例のタイムチャートは、清浄度制御および温調制御の有効時に、パーティクルカウンタ１２０又は温度センサ１３０が故障した場合を示す。   FIG. 13 shows an example of a time chart during temperature control and cleanliness control. The time chart of this example shows a case where the particle counter 120 or the temperature sensor 130 has failed when the cleanness control and the temperature control are valid.

温調制御の有効時、温度センサ１３０が故障すると、制御部３０は、ＦＦＵ１１０を故障時回転数ＦＶで制御する。その後、温度センサ１３０が故障から復帰すると、制御装置１００は、計測温度Ｔｍおよびバルブ開度ＭＶを取得する。これにより、制御装置１００は、温調制御を続行する。   If the temperature sensor 130 fails when the temperature control is valid, the control unit 30 controls the FFU 110 at the failure rotation speed FV. After that, when the temperature sensor 130 recovers from the failure, the control device 100 acquires the measured temperature Tm and the valve opening MV. Thereby, the control apparatus 100 continues temperature control control.

清浄度制御の有効時、パーティクルカウンタ１２０が故障すると、制御部３０は、ＦＦＵ１１０を故障時回転数ＦＶで制御する。その後、パーティクルカウンタ１２０が故障から復帰した場合、制御装置１００は、即座に計測パーティクル数Ｐｍを取得する。これにより、制御装置１００は、清浄度制御を続行する。   If the particle counter 120 fails when the cleanness control is valid, the control unit 30 controls the FFU 110 at the failure rotation speed FV. Thereafter, when the particle counter 120 returns from the failure, the control device 100 immediately acquires the measured particle number Pm. Thereby, the control apparatus 100 continues cleanliness control.

なお、温調制御の有効時、パーティクルカウンタ１２０が故障した場合、制御装置１００は、通常の温調制御を続行してもよい。また、清浄度制御の有効時、温度センサ１３０が故障した場合、制御装置１００は、通常の清浄度制御を続行してもよい。但し、制御装置１００は、清浄度制御および温調制御のいずれが有効であるかにかかわらず、故障判定部４０が故障有と判定した場合に、故障時回転数ＦＶでＦＦＵ１１０を動作させてもよい。   If the particle counter 120 fails when the temperature control is valid, the control device 100 may continue the normal temperature control. In addition, when the cleanness control is valid and the temperature sensor 130 fails, the control device 100 may continue normal cleanness control. However, the control device 100 may operate the FFU 110 at the failure speed FV when the failure determination unit 40 determines that there is a failure regardless of whether the cleanness control or the temperature control is effective. Good.

［実施例３］
図１４は、実施例３に係る制御システム２００の構成の一例を示す。本例の制御装置１００は、記憶部５０を備える。 [Example 3]
FIG. 14 illustrates an example of a configuration of the control system 200 according to the third embodiment. The control device 100 of this example includes a storage unit 50.

記憶部５０は、過去の制御システム２００の動作履歴を記憶する。記憶部５０は、入力信号Ｓｉｎと、入力信号Ｓｉｎに応じたＦＦＵ１１０の制御量を記憶する。例えば、記憶部５０は、入力部１０に入力された計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍを記憶する。また、記憶部５０は、計測パーティクル数Ｐｍおよび計測温度Ｔｍに応じて算出部２０が算出したＦＦＵ制御量Ｃを記憶してもよい。更に、記憶部５０は、設備の稼働状況、作業者の人数、日時等に関する情報を記憶してよい。   The storage unit 50 stores past operation history of the control system 200. The storage unit 50 stores the input signal Sin and the control amount of the FFU 110 according to the input signal Sin. For example, the storage unit 50 stores the measured particle number Pm and the measured temperature Tm input to the input unit 10. In addition, the storage unit 50 may store the FFU control amount C calculated by the calculation unit 20 according to the measured particle number Pm and the measured temperature Tm. Furthermore, the memory | storage part 50 may memorize | store the information regarding the operating condition of an installation, the number of workers, a date, etc.

制御部３０は、記憶部５０に記憶された情報に対応する信号が入力部１０に入力された場合に、記憶部５０に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、ＦＦＵ１１０を動作させる。これにより、制御装置１００は、ＦＦＵ１１０の急激な回転数の上昇を抑え、ＦＦＵ１１０の動作効率を上昇させる。   When the signal corresponding to the information stored in the storage unit 50 is input to the input unit 10, the control unit 30 causes the FFU 110 to operate at the minimum rotational speed calculated from the information stored in the storage unit 50. . Thereby, the control apparatus 100 suppresses the rapid increase of the rotation speed of the FFU 110, and increases the operation efficiency of the FFU 110.

図１５は、制御システム２００のより詳細な構成の一例を示す。本例の制御システム２００は、複数のＦＦＵ１１０を備える。また、制御システム２００は、クリーンルーム３００に配置されている。   FIG. 15 shows an example of a more detailed configuration of the control system 200. The control system 200 of this example includes a plurality of FFUs 110. The control system 200 is disposed in the clean room 300.

複数のＦＦＵ１１０は、クリーンルーム３００の天井側に配置されている。ＦＦＵ１１０は、ＨＥＰＡフィルタにより清浄化された空気をクリーンルーム３００の部屋に向けて吐き出す。部屋を通過した空気は冷却部１４０を通して温度制御された後に再びＦＦＵ１１０に入る。このように、温度制御された清浄な空気を循環することにより、クリーンルーム３００の清浄度が保たれる。   The plurality of FFUs 110 are arranged on the ceiling side of the clean room 300. The FFU 110 discharges air cleaned by the HEPA filter toward the clean room 300. The air that has passed through the room is temperature-controlled through the cooling unit 140 and then enters the FFU 110 again. In this way, the cleanliness of the clean room 300 is maintained by circulating clean air whose temperature is controlled.

制御装置１００は、デスクトップパソコンで構成されている。また、制御装置１００は、クリーンルーム３００内の一室に配置されている。制御装置１００は、パーティクルカウンタ１２０および温度センサ１３０の計測結果に応じて電源１１１を制御する。これにより、制御装置１００は、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。本例の制御装置１００は、複数のＦＦＵ１１０の全てを一律に制御している。但し、制御装置１００は、クリーンルーム３００のエリアごとにＦＦＵ１１０の回転数を調整してもよい。クリーンルーム３００のエリアは、壁により仕切られた部屋であってもよいし、任意の空間を指してもよい。   The control device 100 is composed of a desktop personal computer. Further, the control device 100 is disposed in one room in the clean room 300. The control device 100 controls the power supply 111 according to the measurement results of the particle counter 120 and the temperature sensor 130. Thereby, the control apparatus 100 controls the rotation speed of the FFU 110. The control device 100 of this example controls all of the plurality of FFUs 110 uniformly. However, the control apparatus 100 may adjust the rotation speed of the FFU 110 for each area of the clean room 300. The area of the clean room 300 may be a room partitioned by a wall, or may indicate an arbitrary space.

パーティクルカウンタ１２０は、クリーンルーム３００の任意の位置に設けられる。一例において、制御システム２００は、複数のパーティクルカウンタ１２０を備える。この場合、入力部１０には、複数のパーティクルカウンタ１２０により計測された複数の計測パーティクル数Ｐｍに応じた信号が入力される。制御部３０は、複数の計測パーティクル数Ｐｍから算出されたＦＦＵ制御量Ｃｐの内、最も大きいＦＦＵ制御量Ｃｐを選択して、ＦＦＵ１１０を制御してよい。複数のパーティクルカウンタ１２０は、エリアごとに設けられてもよいし、複数のエリアで共通に用いられてもよい。 The particle counter 120 is provided at an arbitrary position in the clean room 300. In one example, the control system 200 includes a plurality of particle counters 120. In this case, a signal corresponding to a plurality of measured particle numbers Pm measured by the plurality of particle counters 120 is input to the input unit 10. Control unit 30, of the FFU control amount C p which is calculated from a plurality of measuring particle count Pm, select the highest FFU control amount C p, may control the FFU110. The plurality of particle counters 120 may be provided for each area, or may be commonly used in a plurality of areas.

温度センサ１３０は、クリーンルーム３００の任意の位置に設けられる。一例において、制御システム２００は、複数の温度センサ１３０を備える。この場合、入力部１０には、複数の温度センサ１３０により計測された複数の計測温度Ｔｍに応じた信号が入力される。制御部３０は、複数の計測温度Ｔｍから算出されたＦＦＵ制御量Ｃｔの内、最も大きいＦＦＵ制御量Ｃｔを選択して、ＦＦＵ１１０を制御してよい。複数の温度センサ１３０は、エリアごとに設けられてもよいし、複数のエリアで共通に用いられてもよい。 The temperature sensor 130 is provided at an arbitrary position in the clean room 300. In one example, the control system 200 includes a plurality of temperature sensors 130. In this case, signals corresponding to a plurality of measured temperatures Tm measured by the plurality of temperature sensors 130 are input to the input unit 10. The control unit 30 may control the FFU 110 by selecting the largest FFU control amount C t among the FFU control amounts C t calculated from the plurality of measured temperatures Tm. The plurality of temperature sensors 130 may be provided for each area, or may be commonly used in the plurality of areas.

冷却部１４０は、冷水コイルバルブ１４２のバルブ開度ＭＶに応じて、クリーンルーム３００の空気を冷却する。バルブ開度ＭＶは、制御装置１００により調整されてよい。   The cooling unit 140 cools the air in the clean room 300 according to the valve opening MV of the cold water coil valve 142. The valve opening MV may be adjusted by the control device 100.

図１６は、本明細書に係る制御システム２００を用いた検証結果の一例を示す。縦軸は計測パーティクル数Ｐｍ［個］およびＦＦＵ１１０の回転数［ｒｐｍ］を示す。横軸は、時刻［時］を示す。   FIG. 16 shows an example of a verification result using the control system 200 according to the present specification. The vertical axis represents the number of measured particles Pm [number] and the number of rotations [rpm] of the FFU 110. The horizontal axis indicates time [hour].

計測パーティクル数Ｐｍは、日中に上昇し、夜間は上昇しない。比較例に係る方法では、ＦＦＵ１１０の回転数を一定にするため、常に計測パーティクル数Ｐｍが上昇した場合に対応できる回転数でＦＦＵ１１０を動作させている。一方、本明細書に係る制御システム２００は、ＦＦＵ回転数の自動制御により、計測パーティクル数Ｐｍが低い場合は、ＦＦＵ１１０の回転数を落として省エネ動作する。よって、回転数一定の場合と比較して、制御システム２００は、消費電力を低減できる。   The number Pm of measured particles increases during the day and does not increase at night. In the method according to the comparative example, in order to keep the rotation speed of the FFU 110 constant, the FFU 110 is operated at a rotation speed that can always cope with an increase in the number of measurement particles Pm. On the other hand, the control system 200 according to the present specification performs an energy saving operation by reducing the rotation speed of the FFU 110 when the measurement particle number Pm is low by automatic control of the FFU rotation speed. Therefore, the control system 200 can reduce power consumption compared to the case where the rotation speed is constant.

本明細書に係る制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍに応じた入力信号Ｓｉｎおよび計測温度Ｔｍに応じた入力信号Ｓｉｎに基づいて、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する。これにより、制御装置１００は、計測パーティクル数Ｐｍに応じた入力信号Ｓｉｎのみや、計測温度Ｔｍに応じた入力信号Ｓｉｎのみに基づいて、ＦＦＵ１１０の回転数を制御する場合よりも、さらに消費電力を低減できる。また、制御装置１００は、複数の入力信号Ｓｉｎから優先度の高い信号に基づいて最適な回転数を維持するので、信頼性が高い。   The control device 100 according to the present specification controls the rotation speed of the FFU 110 based on the input signal Sin corresponding to the measured particle number Pm and the input signal Sin corresponding to the measured temperature Tm. As a result, the control device 100 consumes more power than when controlling the rotational speed of the FFU 110 based only on the input signal Sin corresponding to the measured particle number Pm or only on the input signal Sin corresponding to the measured temperature Tm. Can be reduced. Moreover, since the control apparatus 100 maintains the optimal rotation speed based on the high priority signal from the plurality of input signals Sin, the reliability is high.

図１７は、本実施形態に係るコンピュータ１９００のハードウェア構成の一例を示す。本実施形態に係るコンピュータ１９００は、ホスト・コントローラ２０８２により相互に接続されるＣＰＵ２０００、ＲＡＭ２０２０、グラフィック・コントローラ２０７５、及び表示装置２０８０を有するＣＰＵ周辺部と、入出力コントローラ２０８４によりホスト・コントローラ２０８２に接続される通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、及びＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を有する入出力部と、入出力コントローラ２０８４に接続されるＲＯＭ２０１０、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０を有するレガシー入出力部とを備える。   FIG. 17 shows an example of the hardware configuration of a computer 1900 according to this embodiment. A computer 1900 according to this embodiment is connected to a CPU peripheral unit having a CPU 2000, a RAM 2020, a graphic controller 2075, and a display device 2080 that are connected to each other by a host controller 2082, and to the host controller 2082 by an input / output controller 2084. Input / output unit having communication interface 2030, hard disk drive 2040, and CD-ROM drive 2060, and legacy input / output unit having ROM 2010, flexible disk drive 2050, and input / output chip 2070 connected to input / output controller 2084 With.

ホスト・コントローラ２０８２は、ＲＡＭ２０２０と、高い転送レートでＲＡＭ２０２０をアクセスするＣＰＵ２０００及びグラフィック・コントローラ２０７５とを接続する。ＣＰＵ２０００は、ＲＯＭ２０１０及びＲＡＭ２０２０に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等がＲＡＭ２０２０内に設けたフレーム・バッファ上に生成する画像データを取得し、表示装置２０８０上に表示させる。これに代えて、グラフィック・コントローラ２０７５は、ＣＰＵ２０００等が生成する画像データを格納するフレーム・バッファを、内部に含んでもよい。   The host controller 2082 connects the RAM 2020 to the CPU 2000 and the graphic controller 2075 that access the RAM 2020 at a high transfer rate. The CPU 2000 operates based on programs stored in the ROM 2010 and the RAM 2020 and controls each unit. The graphic controller 2075 acquires image data generated by the CPU 2000 or the like on a frame buffer provided in the RAM 2020 and displays it on the display device 2080. Instead of this, the graphic controller 2075 may include a frame buffer for storing image data generated by the CPU 2000 or the like.

入出力コントローラ２０８４は、ホスト・コントローラ２０８２と、比較的高速な入出力装置である通信インターフェイス２０３０、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０を接続する。通信インターフェイス２０３０は、ネットワークを介して他の装置と通信する。ハードディスクドライブ２０４０は、コンピュータ１９００内のＣＰＵ２０００が使用するプログラム及びデータを格納する。ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０は、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。   The input / output controller 2084 connects the host controller 2082 to the communication interface 2030, the hard disk drive 2040, and the CD-ROM drive 2060, which are relatively high-speed input / output devices. The communication interface 2030 communicates with other devices via a network. The hard disk drive 2040 stores programs and data used by the CPU 2000 in the computer 1900. The CD-ROM drive 2060 reads a program or data from the CD-ROM 2095 and provides it to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020.

また、入出力コントローラ２０８４には、ＲＯＭ２０１０と、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０、及び入出力チップ２０７０の比較的低速な入出力装置とが接続される。ＲＯＭ２０１０は、コンピュータ１９００が起動時に実行するブート・プログラム、及び／又は、コンピュータ１９００のハードウェアに依存するプログラム等を格納する。フレキシブルディスク・ドライブ２０５０は、フレキシブルディスク２０９０からプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供する。入出力チップ２０７０は、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０を入出力コントローラ２０８４へと接続すると共に、例えばパラレル・ポート、シリアル・ポート、キーボード・ポート、マウス・ポート等を介して各種の入出力装置を入出力コントローラ２０８４へと接続する。   The input / output controller 2084 is connected to the ROM 2010, the flexible disk drive 2050, and the relatively low-speed input / output device of the input / output chip 2070. The ROM 2010 stores a boot program that the computer 1900 executes at startup and / or a program that depends on the hardware of the computer 1900. The flexible disk drive 2050 reads a program or data from the flexible disk 2090 and provides it to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020. The input / output chip 2070 connects the flexible disk drive 2050 to the input / output controller 2084 and inputs / outputs various input / output devices via, for example, a parallel port, a serial port, a keyboard port, a mouse port, and the like. Connect to controller 2084.

ＲＡＭ２０２０を介してハードディスクドライブ２０４０に提供されるプログラムは、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５、又はＩＣカード等の記録媒体に格納されて利用者によって提供される。プログラムは、記録媒体から読み出され、ＲＡＭ２０２０を介してコンピュータ１９００内のハードディスクドライブ２０４０にインストールされ、ＣＰＵ２０００において実行される。   A program provided to the hard disk drive 2040 via the RAM 2020 is stored in a recording medium such as the flexible disk 2090, the CD-ROM 2095, or an IC card and provided by the user. The program is read from the recording medium, installed in the hard disk drive 2040 in the computer 1900 via the RAM 2020, and executed by the CPU 2000.

コンピュータ１９００にインストールされ、コンピュータ１９００を制御装置１００として機能させるプログラムは、入力モジュール、算出モジュールおよび制御モジュールを備える。これらのプログラム又はモジュールは、ＣＰＵ２０００等に働きかけて、コンピュータ１９００を、制御装置としてそれぞれ機能させる。   A program that is installed in the computer 1900 and causes the computer 1900 to function as the control device 100 includes an input module, a calculation module, and a control module. These programs or modules work on the CPU 2000 or the like to cause the computer 1900 to function as a control device.

これらのプログラムに記述された情報処理は、コンピュータ１９００に読込まれることにより、ソフトウェアと上述した各種のハードウェア資源とが協働した具体的手段である入力部１０、算出部２０および制御部３０として機能する。そして、これらの具体的手段によって、本実施形態におけるコンピュータ１９００の使用目的に応じた情報の演算又は加工を実現することにより、使用目的に応じた特有の制御装置１００が構築される。   The information processing described in these programs is read by the computer 1900, whereby the input unit 10, the calculation unit 20, and the control unit 30 are specific means in which the software and the various hardware resources described above cooperate. Function as. And the specific control apparatus 100 according to the intended use is constructed | assembled by implement | achieving the calculation or processing of the information according to the intended use of the computer 1900 in this embodiment by these specific means.

一例として、コンピュータ１９００と外部の装置等との間で通信を行う場合には、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０上にロードされた通信プログラムを実行し、通信プログラムに記述された処理内容に基づいて、通信インターフェイス２０３０に対して通信処理を指示する。通信インターフェイス２０３０は、ＣＰＵ２０００の制御を受けて、ＲＡＭ２０２０、ハードディスクドライブ２０４０、フレキシブルディスク２０９０、又はＣＤ−ＲＯＭ２０９５等の記憶装置上に設けた送信バッファ領域等に記憶された送信データを読み出してネットワークへと送信し、もしくは、ネットワークから受信した受信データを記憶装置上に設けた受信バッファ領域等へと書き込む。このように、通信インターフェイス２０３０は、ＤＭＡ（ダイレクト・メモリ・アクセス）方式により記憶装置との間で送受信データを転送してもよく、これに代えて、ＣＰＵ２０００が転送元の記憶装置又は通信インターフェイス２０３０からデータを読み出し、転送先の通信インターフェイス２０３０又は記憶装置へとデータを書き込むことにより送受信データを転送してもよい。   As an example, when communication is performed between the computer 1900 and an external device or the like, the CPU 2000 executes a communication program loaded on the RAM 2020 and executes a communication interface based on the processing content described in the communication program. A communication process is instructed to 2030. Under the control of the CPU 2000, the communication interface 2030 reads transmission data stored in a transmission buffer area or the like provided on a storage device such as the RAM 2020, the hard disk drive 2040, the flexible disk 2090, or the CD-ROM 2095, and sends it to the network. The reception data transmitted or received from the network is written into a reception buffer area or the like provided on the storage device. As described above, the communication interface 2030 may transfer transmission / reception data to / from the storage device by a DMA (direct memory access) method. Instead, the CPU 2000 transfers the storage device or the communication interface 2030 as a transfer source. The transmission / reception data may be transferred by reading the data from the data and writing the data to the communication interface 2030 or the storage device of the transfer destination.

また、ＣＰＵ２０００は、ハードディスクドライブ２０４０、ＣＤ−ＲＯＭドライブ２０６０（ＣＤ−ＲＯＭ２０９５）、フレキシブルディスク・ドライブ２０５０（フレキシブルディスク２０９０）等の外部記憶装置に格納されたファイルまたはデータベース等の中から、全部または必要な部分をＤＭＡ転送等によりＲＡＭ２０２０へと読み込ませ、ＲＡＭ２０２０上のデータに対して各種の処理を行う。そして、ＣＰＵ２０００は、処理を終えたデータを、ＤＭＡ転送等により外部記憶装置へと書き戻す。このような処理において、ＲＡＭ２０２０は、外部記憶装置の内容を一時的に保持するものとみなせるから、本実施形態においてはＲＡＭ２０２０および外部記憶装置等をメモリ、記憶部、または記憶装置等と総称する。本実施形態における各種のプログラム、データ、テーブル、データベース等の各種の情報は、このような記憶装置上に格納されて、情報処理の対象となる。なお、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０の一部をキャッシュメモリに保持し、キャッシュメモリ上で読み書きを行うこともできる。このような形態においても、キャッシュメモリはＲＡＭ２０２０の機能の一部を担うから、本実施形態においては、区別して示す場合を除き、キャッシュメモリもＲＡＭ２０２０、メモリ、及び／又は記憶装置に含まれるものとする。   The CPU 2000 is all or necessary from among files or databases stored in an external storage device such as a hard disk drive 2040, a CD-ROM drive 2060 (CD-ROM 2095), and a flexible disk drive 2050 (flexible disk 2090). This portion is read into the RAM 2020 by DMA transfer or the like, and various processes are performed on the data on the RAM 2020. Then, CPU 2000 writes the processed data back to the external storage device by DMA transfer or the like. In such processing, since the RAM 2020 can be regarded as temporarily holding the contents of the external storage device, in the present embodiment, the RAM 2020 and the external storage device are collectively referred to as a memory, a storage unit, or a storage device. Various types of information such as various programs, data, tables, and databases in the present embodiment are stored on such a storage device and are subjected to information processing. Note that the CPU 2000 can also store a part of the RAM 2020 in the cache memory and perform reading and writing on the cache memory. Even in such a form, the cache memory bears a part of the function of the RAM 2020. Therefore, in the present embodiment, the cache memory is also included in the RAM 2020, the memory, and / or the storage device unless otherwise indicated. To do.

また、ＣＰＵ２０００は、ＲＡＭ２０２０から読み出したデータに対して、プログラムの命令列により指定された、本実施形態中に記載した各種の演算、情報の加工、条件判断、情報の検索・置換等を含む各種の処理を行い、ＲＡＭ２０２０へと書き戻す。例えば、ＣＰＵ２０００は、条件判断を行う場合においては、本実施形態において示した各種の変数が、他の変数または定数と比較して、大きい、小さい、以上、以下、等しい等の条件を満たすかどうかを判断し、条件が成立した場合（又は不成立であった場合）に、異なる命令列へと分岐し、またはサブルーチンを呼び出す。   In addition, the CPU 2000 performs various operations, such as various operations, information processing, condition determination, information search / replacement, etc., described in the present embodiment, specified for the data read from the RAM 2020 by the instruction sequence of the program. Is written back to the RAM 2020. For example, when performing the condition determination, the CPU 2000 determines whether the various variables shown in the present embodiment satisfy the conditions such as large, small, above, below, equal, etc., compared to other variables or constants. When the condition is satisfied (or not satisfied), the program branches to a different instruction sequence or calls a subroutine.

また、ＣＰＵ２０００は、記憶装置内のファイルまたはデータベース等に格納された情報を検索することができる。例えば、第１属性の属性値に対し第２属性の属性値がそれぞれ対応付けられた複数のエントリが記憶装置に格納されている場合において、ＣＰＵ２０００は、記憶装置に格納されている複数のエントリの中から第１属性の属性値が指定された条件と一致するエントリを検索し、そのエントリに格納されている第２属性の属性値を読み出すことにより、所定の条件を満たす第１属性に対応付けられた第２属性の属性値を得ることができる。   Further, the CPU 2000 can search for information stored in a file or database in the storage device. For example, in the case where a plurality of entries in which the attribute value of the second attribute is associated with the attribute value of the first attribute are stored in the storage device, the CPU 2000 displays the plurality of entries stored in the storage device. The entry that matches the condition in which the attribute value of the first attribute is specified is retrieved, and the attribute value of the second attribute that is stored in the entry is read, thereby associating with the first attribute that satisfies the predetermined condition The attribute value of the specified second attribute can be obtained.

以上に示したプログラム又はモジュールは、外部の記録媒体に格納されてもよい。記録媒体としては、フレキシブルディスク２０９０、ＣＤ−ＲＯＭ２０９５の他に、ＤＶＤ又はＣＤ等の光学記録媒体、ＭＯ等の光磁気記録媒体、テープ媒体、ＩＣカード等の半導体メモリ等を用いることができる。また、専用通信ネットワーク又はインターネットに接続されたサーバシステムに設けたハードディスク又はＲＡＭ等の記憶装置を記録媒体として使用し、ネットワークを介してプログラムをコンピュータ１９００に提供してもよい。   The program or module shown above may be stored in an external recording medium. As the recording medium, in addition to the flexible disk 2090 and the CD-ROM 2095, an optical recording medium such as DVD or CD, a magneto-optical recording medium such as MO, a tape medium, a semiconductor memory such as an IC card, and the like can be used. Further, a storage device such as a hard disk or RAM provided in a server system connected to a dedicated communication network or the Internet may be used as a recording medium, and the program may be provided to the computer 1900 via the network.

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。   As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.

特許請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。特許請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。   The order of execution of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior to”. It should be noted that the output can be realized in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for convenience, it means that it is essential to carry out in this order. It is not a thing.

１０・・・入力部、２０・・・算出部、３０・・・制御部、４０・・・故障判定部、５０・・・記憶部、１００・・・制御装置、１１０・・・ＦＦＵ、１１１・・・電源、１２０・・・パーティクルカウンタ、１３０・・・温度センサ、１４０・・・冷却部、１４２・・・冷水コイルバルブ、２００・・・制御システム、３００・・・クリーンルーム、１９００・・・コンピュータ、２０００・・・ＣＰＵ、２０１０・・・ＲＯＭ、２０２０・・・ＲＡＭ、２０３０・・・通信インターフェイス、２０４０・・・ハードディスクドライブ、２０５０・・・フレキシブルディスク・ドライブ、２０６０・・・ＣＤ−ＲＯＭドライブ、２０７０・・・入出力チップ、２０７５・・・グラフィック・コントローラ、２０８０・・・表示装置、２０８２・・・ホスト・コントローラ、２０８４・・・入出力コントローラ、２０９０・・・フレキシブルディスク、２０９５・・・ＣＤ−ＲＯＭ DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Input part, 20 ... Calculation part, 30 ... Control part, 40 ... Failure determination part, 50 ... Memory | storage part, 100 ... Control apparatus, 110 ... FFU, 111 ... Power source, 120 ... Particle counter, 130 ... Temperature sensor, 140 ... Cooling unit, 142 ... Cooled water coil valve, 200 ... Control system, 300 ... Clean room, 1900 ... Computer, 2000 ... CPU, 2010 ... ROM, 2020 ... RAM, 2030 ... communication interface, 2040 ... hard disk drive, 2050 ... flexible disk drive, 2060 ... CD- ROM drive, 2070 ... input / output chip, 2075 ... graphic controller, 2080 ... display device, 208 ... host controller, 2084 ... input and output controller, 2090 ... flexible disk, 2095 ··· CD-ROM

Claims (21)

ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の動作を制御する制御装置であって、
パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号が入力される入力部と、
前記計測パーティクル数に応じた第１のＦＦＵ制御量および前記計測温度に応じた第２のＦＦＵ制御量に基づいて、前記ＦＦＵの動作を制御する制御部と
を備える制御装置。 A control device for controlling the operation of a fan filter unit (FFU),
An input unit for inputting a signal corresponding to the number of measured particles measured by the particle counter and a signal corresponding to the measured temperature measured by the temperature sensor;
And a control unit that controls the operation of the FFU based on a first FFU control amount corresponding to the number of measured particles and a second FFU control amount corresponding to the measured temperature. 前記制御部は、前記第１のＦＦＵ制御量および前記第２のＦＦＵ制御量のうち、大きい方のＦＦＵ制御量を選択して、前記ＦＦＵの動作を制御する
請求項１に記載の制御装置。 The control device according to claim 1, wherein the control unit controls the operation of the FFU by selecting a larger FFU control amount from the first FFU control amount and the second FFU control amount. 前記計測パーティクル数に応じた信号および前記計測温度に応じた信号に基づいて、前記ＦＦＵの制御量を算出する算出部を更に備え、
前記算出部は、
前記計測パーティクル数と予め定められた目標パーティクル数との関係に基づいて、前記第１のＦＦＵ制御量を算出し、
前記計測温度と予め定められた目標温度との関係に基づいて、前記第２のＦＦＵ制御量を算出する
請求項１又は２に記載の制御装置。 A calculation unit that calculates a control amount of the FFU based on a signal corresponding to the number of measured particles and a signal corresponding to the measured temperature;
The calculation unit includes:
Based on the relationship between the number of measured particles and a predetermined target particle number, the first FFU control amount is calculated,
The control device according to claim 1, wherein the second FFU control amount is calculated based on a relationship between the measured temperature and a predetermined target temperature. 前記算出部は、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きくなった場合に、前記第１のＦＦＵ制御量を大きくし、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さくなった場合に、前記第１のＦＦＵ制御量を小さくする
請求項３に記載の制御装置。 The calculation unit includes:
When the measured particle number becomes larger than the target particle number, the first FFU control amount is increased,
The control device according to claim 3, wherein the first FFU control amount is reduced when the number of measured particles becomes smaller than the target number of particles. 前記制御部は、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも大きい場合に、予め定められた第１待機時間だけ待機した後に、前記第１のＦＦＵ制御量で、前記ＦＦＵを制御し、
前記計測パーティクル数が、前記目標パーティクル数よりも小さい場合に、予め定められた第２待機時間だけ待機した後に、前記第１のＦＦＵ制御量で、前記ＦＦＵを制御し、
前記第１待機時間は、前記第２待機時間よりも短い
請求項４に記載の制御装置。 The controller is
When the measured particle number is larger than the target particle number, after waiting for a predetermined first waiting time, the FFU is controlled by the first FFU control amount,
When the measured particle number is smaller than the target particle number, after waiting for a predetermined second waiting time, the FFU is controlled by the first FFU control amount,
The control device according to claim 4, wherein the first waiting time is shorter than the second waiting time. 前記制御部は、前記第１待機時間および前記第２待機時間と、次の第１待機時間又は次の第２待機時間との間に、前記入力部への信号の入力を監視するための監視期間を設ける
請求項５に記載の制御装置。 The control unit monitors the input of a signal to the input unit between the first standby time and the second standby time and the next first standby time or the next second standby time. The control device according to claim 5, wherein a period is provided. 前記制御部は、
前記計測パーティクル数が予め定められた第１の閾値以下の場合に予め定められた第１回転数で前記ＦＦＵを動作させ、
前記計測パーティクル数が前記第１の閾値を超えた場合に前記ＦＦＵの制御運転を開始し、
前記計測パーティクル数が前記第１の閾値よりも高い第２の閾値を超えた場合に、前記ＦＦＵを前記第１回転数よりも大きな第２回転数で動作させる
請求項６に記載の制御装置。 The controller is
When the number of measured particles is equal to or less than a predetermined first threshold value, the FFU is operated at a predetermined first rotation number,
When the number of measured particles exceeds the first threshold value, the control operation of the FFU is started,
The control device according to claim 6, wherein when the number of measured particles exceeds a second threshold value higher than the first threshold value, the FFU is operated at a second rotation number larger than the first rotation number. 前記制御部は、前記計測パーティクル数が前記第２の閾値を超えた場合に、前記監視期間を設けずに、予め定められた監視周期で前記計測パーティクル数を監視する
請求項７に記載の制御装置。 The control according to claim 7, wherein when the number of measured particles exceeds the second threshold, the control unit monitors the number of measured particles at a predetermined monitoring period without providing the monitoring period. apparatus. 前記算出部は、前記目標温度と前記計測温度との関係に基づいて、冷水コイルバルブのバルブ開度を算出し、
前記制御部は、前記バルブ開度に応じて、前記冷水コイルバルブのバルブ開度および前記ＦＦＵの動作を制御する
請求項３から８のいずれか一項に記載の制御装置。 The calculation unit calculates a valve opening of the chilled water coil valve based on a relationship between the target temperature and the measured temperature,
The control device according to any one of claims 3 to 8, wherein the control unit controls the valve opening of the cold water coil valve and the operation of the FFU according to the valve opening. 前記算出部は、
前記計測温度が前記目標温度よりも高くなった場合に、前記第２のＦＦＵ制御量を大きくし、且つ、前記バルブ開度を大きくし、
前記計測温度が前記目標温度よりも低くなった場合に、前記第２のＦＦＵ制御量を小さくし、且つ、前記バルブ開度を小さくする
請求項９に記載の制御装置。 The calculation unit includes:
When the measured temperature becomes higher than the target temperature, the second FFU control amount is increased, and the valve opening is increased,
The control device according to claim 9, wherein when the measured temperature becomes lower than the target temperature, the second FFU control amount is decreased and the valve opening is decreased. 前記制御部は、
前記計測温度が前記目標温度よりも高い場合に、予め定められた第３待機時間だけ待機した後に、前記第２のＦＦＵ制御量で、前記ＦＦＵを制御し、
前記計測温度が前記目標温度よりも低い場合に、予め定められた第４待機時間だけ待機した後に、前記第２のＦＦＵ制御量で、前記ＦＦＵを制御し、
前記第３待機時間は、前記第４待機時間よりも長い
請求項１０に記載の制御装置。 The controller is
When the measured temperature is higher than the target temperature, after waiting for a predetermined third standby time, the FFU is controlled by the second FFU control amount,
When the measured temperature is lower than the target temperature, after waiting for a predetermined fourth waiting time, the FFU is controlled by the second FFU control amount,
The control device according to claim 10, wherein the third waiting time is longer than the fourth waiting time. 前記制御部は、前記バルブ開度に応じて、前記ＦＦＵの回転数の制御運転を開始するか否かを判断する
請求項９から１１のいずれか一項に記載の制御装置。 The control device according to any one of claims 9 to 11, wherein the control unit determines whether or not to start a control operation of the rotation speed of the FFU according to the valve opening. 前記制御部は、前記バルブ開度が予め定められた第３の閾値を連続して超える期間が、予め定められた第５待機時間を超えた場合に、前記ＦＦＵの制御運転を開始する
請求項９から１２のいずれか一項に記載の制御装置。 The control unit starts a control operation of the FFU when a period in which the valve opening continuously exceeds a predetermined third threshold exceeds a predetermined fifth standby time. The control device according to any one of 9 to 12. 前記パーティクルカウンタおよび前記温度センサの故障を判定する故障判定部をさらに備え、
前記制御部は、前記故障判定部が故障有と判定している間、予め定められた故障時用の回転数で前記ＦＦＵを動作させる
請求項１から１３のいずれか一項に記載の制御装置。 A failure determination unit for determining failure of the particle counter and the temperature sensor;
The control device according to any one of claims 1 to 13, wherein the control unit operates the FFU at a predetermined rotational speed for failure while the failure determination unit determines that there is a failure. . 前記制御部は、前記故障判定部が故障から復帰したと判定した場合、前記入力部に入力された前記計測パーティクル数および前記計測温度に基づいて、前記ＦＦＵの回転数を制御する
請求項１４に記載の制御装置。 The said control part controls the rotation speed of the said FFU based on the said measurement particle number and the said measurement temperature which were input into the said input part, when it determines with the said failure determination part having returned from failure. The control device described. 前記入力部には、複数のパーティクルセンサにより計測された複数の計測パーティクル数に応じた信号及び前記温度センサにより計測された前記計測温度に応じた信号が入力され、
前記制御部は、前記複数の計測パーティクル数から算出されたＦＦＵ制御量の内、最も大きいＦＦＵ制御量を選択して、前記ＦＦＵを制御する
請求項１から１５のいずれか一項に記載の制御装置。 The input unit receives a signal corresponding to a plurality of measured particles measured by a plurality of particle sensors and a signal corresponding to the measured temperature measured by the temperature sensor,
The control according to any one of claims 1 to 15, wherein the control unit selects the largest FFU control amount from among the FFU control amounts calculated from the plurality of measured particle numbers, and controls the FFU. apparatus. 前記入力部に入力された信号と、前記入力された信号に応じた前記ＦＦＵの制御量を記憶する記憶部を更に備え、
前記制御部は、前記記憶部に記憶された情報に基づく前記ＦＦＵの制御量で、前記ＦＦＵの動作を制御する
請求項１から１６のいずれか一項に記載の制御装置。 A storage unit that stores a signal input to the input unit and a control amount of the FFU according to the input signal;
The control device according to any one of claims 1 to 16, wherein the control unit controls the operation of the FFU with a control amount of the FFU based on information stored in the storage unit. 前記制御部は、前記記憶部に記憶された情報に対応する信号が前記入力部に入力された場合に、前記記憶部に記憶された情報から算出された最低回転数以上で、前記ＦＦＵを動作させる
請求項１７に記載の制御装置。 The control unit operates the FFU at a speed equal to or higher than the minimum number of revolutions calculated from the information stored in the storage unit when a signal corresponding to the information stored in the storage unit is input to the input unit. The control device according to claim 17. ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）と、
請求項１から１８のいずれか一項に記載の制御装置と
を備える制御システム。 A fan filter unit (FFU);
A control system comprising: the control device according to any one of claims 1 to 18. コンピュータを請求項１から１８のいずれか一項に記載の制御装置として動作させるためのプログラム。   The program for operating a computer as a control apparatus as described in any one of Claims 1-18. ファンフィルタユニット（ＦＦＵ）の動作を制御するための制御方法であって、
パーティクルカウンタにより計測された計測パーティクル数に応じた信号および温度センサにより計測された計測温度に応じた信号を取得し、
前記計測パーティクル数に応じた第１のＦＦＵ制御量および前記計測温度に応じた第２のＦＦＵ制御量に基づいて、前記ＦＦＵの動作を制御する
制御方法。 A control method for controlling the operation of a fan filter unit (FFU),
Obtain a signal corresponding to the number of measured particles measured by the particle counter and a signal corresponding to the measured temperature measured by the temperature sensor,
A control method for controlling the operation of the FFU based on a first FFU control amount corresponding to the number of measured particles and a second FFU control amount corresponding to the measured temperature.
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