JP2016139134A - Photosensitive resin composition, cured film formed from the photosensitive resin composition, and image display device comprising the cured film - Google Patents

Photosensitive resin composition, cured film formed from the photosensitive resin composition, and image display device comprising the cured film Download PDF

Info

Publication number
JP2016139134A
JP2016139134A JP2016010680A JP2016010680A JP2016139134A JP 2016139134 A JP2016139134 A JP 2016139134A JP 2016010680 A JP2016010680 A JP 2016010680A JP 2016010680 A JP2016010680 A JP 2016010680A JP 2016139134 A JP2016139134 A JP 2016139134A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resin composition
photosensitive resin
meth
compound
alkali
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2016010680A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
庸桓 趙
Yokan Cho
庸桓 趙
菩恩 安
Bo-Eun Ahn
菩恩 安
漢雨 朴
Hanwoo Park
漢雨 朴
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dongwoo Fine Chem Co Ltd
Original Assignee
Dongwoo Fine Chem Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dongwoo Fine Chem Co Ltd filed Critical Dongwoo Fine Chem Co Ltd
Publication of JP2016139134A publication Critical patent/JP2016139134A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/027Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
    • G03F7/032Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders
    • G03F7/033Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds with binders the binders being polymers obtained by reactions only involving carbon-to-carbon unsaturated bonds, e.g. vinyl polymers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/14Protective coatings, e.g. hard coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition which can form a cured film having excellent sensitivity and reactivity, a low curing shrinkage, and excellent adhesion.SOLUTION: A photosensitive resin composition comprises a polymerizable compound having at least one structure in which a (meth)acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and a carbon atom at α position bonded to the nitrogen atom is substituted by a hydrogen atom.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、その感光性樹脂組成物から形成された硬化膜、及びその硬化膜を備えた画像表示装置に関し、より詳しくは、感度及び反応性に優れ、硬化収縮率が小さく、且つ密着性及び硬度に優れた硬化膜を形成することができる感光性樹脂組成物、その感光性樹脂組成物から形成された硬化膜、及びその硬化膜を備えた画像表示装置に関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a cured film formed from the photosensitive resin composition, and an image display device including the cured film. More specifically, the present invention has excellent sensitivity and reactivity, and has a curing shrinkage rate. The present invention relates to a photosensitive resin composition capable of forming a cured film that is small and excellent in adhesion and hardness, a cured film formed from the photosensitive resin composition, and an image display device including the cured film.

ディスプレイ分野において、液晶表示装置等のディスプレイ装置において、TFT(Thin Film Transistor)回路を保護し、絶縁させるための保護膜としては、シリコンナイトライド等の無機系保護膜が従来から利用されてきたが、誘電常数値が高く開口率を向上させ難いといった問題点があるので、これを解消するために誘電率の低い有機絶縁膜の需要が増加しつつある。   In the display field, inorganic protective films such as silicon nitride have been conventionally used as protective films for protecting and insulating TFT (Thin Film Transistor) circuits in display devices such as liquid crystal display devices. However, since the dielectric constant is high and it is difficult to improve the aperture ratio, the demand for organic insulating films having a low dielectric constant is increasing in order to solve this problem.

このような有機絶縁膜として、光及び電子線によって化学反応が起こり、特定溶媒に対する溶解度が変化する高分子化合物である感光性樹脂が一般的に用いられ、回路パターンの微細加工は、前記有機絶縁膜の光反応によって生じる高分子の極性変化及び架橋反応によるものである。特に、前記有機絶縁膜材料は、露光後、アルカリ水溶液等の溶媒に対する溶解性の変化特性を利用する。   As such an organic insulating film, a photosensitive resin that is a polymer compound that undergoes a chemical reaction by light and an electron beam and changes its solubility in a specific solvent is generally used. This is due to a change in the polarity of the polymer caused by the photoreaction of the film and a crosslinking reaction. In particular, the organic insulating film material utilizes a change characteristic of solubility in a solvent such as an alkaline aqueous solution after exposure.

特に、このような有機絶縁膜による液晶表示装置の絶縁膜等の構成に当たって、前記絶縁膜は、絶縁性に優れるのは勿論のこと、基板上にコーティングされる際の界面における応力を低減させるため、低い熱膨脹性を有しなければならない。   In particular, in the structure of an insulating film of a liquid crystal display device using such an organic insulating film, the insulating film not only has excellent insulating properties, but also reduces stress at the interface when coated on a substrate. Must have low thermal expansibility.

また、高感度且つ高透過性を有し、現像後の膜伸び及び現像液による損失が少ないこと等の多くの特性が求められている。   In addition, many characteristics such as high sensitivity and high permeability, film elongation after development, and low loss due to the developer are required.

さらに、前記絶縁膜や保護膜等は、必然的に金属、シリコーン化合物等と界面を成すが、その際、優れた界面接着力がデバイスの信頼性側面において非常に重要な要素となる。   Furthermore, the insulating film, the protective film, and the like inevitably form an interface with a metal, a silicone compound, and the like. At that time, excellent interfacial adhesive force is a very important factor in terms of device reliability.

米国特許第4139391号明細書には、アクリル酸系化合物とアクリレート化合物との共重合体をバインダ樹脂として用い、多官能性モノマーとしてアクリレート系化合物を用いて調製された感光性樹脂有機絶縁膜組成物が開示されている。しかしながら、露光部及び非露光部の溶解度の差が十分ではないので現像特性に優れず、全体的な残膜率が低下するといった問題がある。   US Pat. No. 4,139,391 discloses a photosensitive resin organic insulating film composition prepared by using a copolymer of an acrylic acid compound and an acrylate compound as a binder resin and using an acrylate compound as a polyfunctional monomer. Is disclosed. However, there is a problem that the difference in solubility between the exposed portion and the non-exposed portion is not sufficient, so that the development characteristics are not excellent and the overall remaining film ratio is lowered.

米国特許第4139391号明細書U.S. Pat. No. 4,139,391

本発明は、感度及び反応性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   An object of this invention is to provide the photosensitive resin composition excellent in the sensitivity and reactivity.

また、本発明は、基材に対する密着性が改善され、硬化収縮率が小さく、且つ硬度に優れた絶縁膜を形成することができる感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。   Another object of the present invention is to provide a photosensitive resin composition that can form an insulating film with improved adhesion to a substrate, a low shrinkage in curing and excellent hardness.

また、本発明は、前記感光性樹脂組成物で形成された硬化膜及びその硬化膜を備えた画像表示装置を提供することを目的とする。   Moreover, an object of this invention is to provide the image display apparatus provided with the cured film formed with the said photosensitive resin composition, and the cured film.

1.アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。   1. A photosensitive compound comprising a polymerizable compound having a structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom; Resin composition.

2.前記項目1において、前記アミドは、グリコールウリル又はイソシアヌレートである、感光性樹脂組成物。   2. 2. The photosensitive resin composition according to item 1, wherein the amide is glycoluril or isocyanurate.

3.前記項目1において、前記重合性化合物は、下記[化1]で示される化合物である、感光性樹脂組成物。

Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。) 3. In the item 1, the photosensitive compound is a photosensitive resin composition, wherein the polymerizable compound is a compound represented by the following [Chemical Formula 1].
Figure 2016139134
(In the formula, R 1 is hydrogen or a methyl group.)

4.前記項目1において、アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、及び溶媒をさらに含む、感光性樹脂組成物。   4). In the said item 1, the photosensitive resin composition which further contains alkali-soluble resin, a photoinitiator, and a solvent.

5.前記項目4において、前記アルカリ可溶性樹脂は、下記[化2]で示される繰り返し単位を有する、感光性樹脂組成物。

Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。) 5. In item 4, the alkali-soluble resin is a photosensitive resin composition having a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 2].
Figure 2016139134
(In the formula, R 2 is hydrogen or a methyl group.)

6.前記項目4において、前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は2,000〜20,000である、感光性樹脂組成物。   6). In the said item 4, the photosensitive resin composition whose weight average molecular weights of the said alkali-soluble resin are 2,000-20,000.

7.前記項目1において、前記アルカリ可溶性樹脂は、下記[化3]で示される繰り返し単位を有する、感光性樹脂組成物。

Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、
は、下記[化4]の単量体に由来する構造であり、
Figure 2016139134
は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
a=40〜95mol%、b=5〜60mol%である。) 7). In the item 1, the alkali-soluble resin is a photosensitive resin composition having a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 3].
Figure 2016139134
(Wherein R 3 and R 4 are each independently hydrogen or a methyl group,
R 5 is a structure derived from the monomer of the following [Chemical Formula 4],
Figure 2016139134
R 6 is (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinate, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, and 2- (meth) A structure derived from a monomer selected from the group consisting of acryloyloxyethyl succinate,
It is a = 40-95 mol% and b = 5-60 mol%. )

8.前記項目4において、前記アルカリ可溶性樹脂は、下記[化5]で示される繰り返し単位を有する、感光性樹脂組成物。

Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、c=40〜95mol%、d=5〜60mol%である。) 8). In the item 4, the alkali-soluble resin is a photosensitive resin composition having a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 5].
Figure 2016139134
(In the formula, R 6 and R 7 are each independently hydrogen or a methyl group, and c = 40 to 95 mol% and d = 5 to 60 mol%.)

9.前記項目4において、前記アルカリ可溶性樹脂は、固形分を基準とし、感光性樹脂組成物の全100質量部に対して15〜80質量部の量で含まれる、感光性樹脂組成物。   9. In said item 4, the said alkali-soluble resin is a photosensitive resin composition contained in the quantity of 15-80 mass parts with respect to the total 100 mass parts of the photosensitive resin composition on the basis of solid content.

10.前記項目4において、前記重合性化合物は、固形分を基準とし、感光性樹脂組成物の全100質量部に対して15〜80質量部の量で含まれる、感光性樹脂組成物。   10. In the item 4, the polymerizable compound is contained in an amount of 15 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photosensitive resin composition based on the solid content.

11.前記項目1〜10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物で形成される、硬化膜。   11. The cured film formed with the photosensitive resin composition as described in any one of said items 1-10.

12.前記項目11に記載の硬化膜を備えた画像表示装置。   12 An image display device comprising the cured film as described in 11 above.

本発明の感光性樹脂組成物は、感度及び反応性に優れ、それから製造された硬化膜は、硬化収縮率が小さく、基板に対する優れた密着性を示し、且つ優れた硬度を示す。   The photosensitive resin composition of the present invention is excellent in sensitivity and reactivity, and a cured film produced therefrom has a small curing shrinkage rate, excellent adhesion to a substrate, and excellent hardness.

本発明は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含むことで、感度及び反応性に優れ、硬化収縮率が小さく、且つ硬度及び密着性に優れた硬化膜を形成することができる感光性樹脂組成物に関する。   The present invention relates to a polymerizable compound having at least one structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom. It is related with the photosensitive resin composition which can form the cured film which was excellent in the sensitivity and reactivity, the cure shrinkage rate was small, and was excellent in hardness and adhesiveness.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

<感光性樹脂組成物>
本発明の感光性樹脂組成物は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含む。
<Photosensitive resin composition>
The photosensitive resin composition of the present invention has a structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom. Contains one polymerizable compound.

〔重合性化合物〕
本発明の感光性樹脂組成物に用いられる重合性化合物は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含むことで、感光性樹脂組成物の反応性を顕著に向上させて重合反応を促進し、調製工程中の架橋密度を増加させる。
[Polymerizable compound]
In the polymerizable compound used in the photosensitive resin composition of the present invention, the (meth) acryloyloxy group is bonded to the nitrogen atom of the amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is a hydrogen atom. By including a polymerizable compound having at least one substituted structure, the reactivity of the photosensitive resin composition is remarkably improved to promote the polymerization reaction, and the crosslink density during the preparation process is increased.

本発明において、「(メタ)アクリロイルオキシ基」は、「(メタ)アクリロイルオキシ基」、「アクリロイルオキシ基」或いはその両方を指称する。   In the present invention, “(meth) acryloyloxy group” refers to “(meth) acryloyloxy group”, “acryloyloxy group” or both.

一般的に、酸素存在下で不飽和重合単量体のラジカル重合反応が行われる場合、活性種が酸素と反応して不活性ラジカル種であるパーオキシラジカルを形成することにより、重合反応が停止、終了する。   Generally, when a radical polymerization reaction of an unsaturated polymerization monomer is performed in the presence of oxygen, the polymerization reaction is stopped by reacting the active species with oxygen to form peroxy radicals that are inert radical species. ,finish.

しかしながら、本発明による重合性化合物は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含むことで、重合反応を促進させることができる。   However, the polymerizable compound according to the present invention has a structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to the nitrogen atom of the amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom. By including one polymerizable compound, the polymerization reaction can be promoted.

本発明による重合性化合物は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有するものであり、前記水素原子の電子を前記窒素原子が引き寄せることで、水素原子が酸性陽性子に変わり得、それによってラジカルが発生されて酸素によって不活性化されたラジカル種の再生を可能にする。このように本発明による重合性化合物は、酸素が重合反応を阻害する効果を緩和することによって、重合反応の展開を促進させるのみならず、重合終了速度を緩めることで重合反応がさらに促進させるものと判断される。   The polymerizable compound according to the present invention has at least one structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and a carbon atom at the α-position bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom. The hydrogen atom can be turned into an acid positive atom by attracting the electron of the hydrogen atom, thereby generating a radical and enabling regeneration of the radical species inactivated by oxygen To do. Thus, the polymerizable compound according to the present invention not only promotes the development of the polymerization reaction by relaxing the effect of oxygen inhibiting the polymerization reaction, but also further promotes the polymerization reaction by slowing the polymerization termination rate. It is judged.

本発明による重合性化合物において、窒素原子と(メタ)アクリロイルオキシ基とを結合する炭素鎖は、特に制限されないが、炭素数1〜6のアルキレンであってよい。   In the polymerizable compound according to the present invention, the carbon chain connecting the nitrogen atom and the (meth) acryloyloxy group is not particularly limited, but may be an alkylene having 1 to 6 carbon atoms.

本発明による重合性化合物は、アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有するものであれば特に制限されることなく、感光性樹脂組成物の反応性及び所望の物性が確保されることから、(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合された窒素原子を3個以上有することが好ましい。かかる側面で、本発明による重合性化合物のアミドは、グリコールウリル又はイソシアヌレートであってよく、好ましくはグリコールウリルであってよい。   The polymerizable compound according to the present invention has at least one structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and a carbon atom at the α-position bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom. As long as it has, the reactivity and desired physical properties of the photosensitive resin composition are ensured without any particular limitation, so that three or more nitrogen atoms having a (meth) acryloyloxy group bonded by a carbon chain are secured. It is preferable to have. In this aspect, the amide of the polymerizable compound according to the present invention may be glycoluril or isocyanurate, preferably glycoluril.

感光性樹脂組成物の反応性をさらに促進させる側面から、本発明による重合性化合物は、下記[化6]で示される化合物を含むことが好ましい。

Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。) From the aspect of further promoting the reactivity of the photosensitive resin composition, the polymerizable compound according to the present invention preferably contains a compound represented by the following [Chemical Formula 6].
Figure 2016139134
(In the formula, R 1 is hydrogen or a methyl group.)

必要に応じて、本発明の感光性樹脂組成物は、当分野で用いられる重合性化合物をさらに含んでもよい。さらに含まれ得る重合性化合物は、特に制限することなく用いられてもよく、例えば、単官能単量体、二官能単量体、及びその他の多官能単量体であり、その種類は、特に限定されないが、下記化合物がその例として挙げられる。   If necessary, the photosensitive resin composition of the present invention may further contain a polymerizable compound used in the art. Furthermore, the polymerizable compound that may be included may be used without any particular limitation, and is, for example, a monofunctional monomer, a bifunctional monomer, and other polyfunctional monomers. Although not limited, the following compound is mentioned as the example.

単官能単量体の具体例としては、ノニルフェニルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプロピルアクリレート、2−エチルヘキシルカルビトールアクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、N−ビニルピロリドン等が挙げられる。二官能単量体の具体例としては、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのビス(アクリロイルオキシエチル)エーテル、3−メチルペンタンジオールジ(メタ)アクリレート等が挙げられる。その他の多官能単量体の具体例としては、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、エトキシル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、プロポキシル化トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、エトキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、プロポキシル化ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの中で、二官能以上の多官能単量体が好適に用いられる。   Specific examples of the monofunctional monomer include nonylphenyl carbitol acrylate, 2-hydroxy-3-phenoxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl carbitol acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, N-vinyl pyrrolidone and the like. Specific examples of the bifunctional monomer include 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, ethylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, bisphenol Examples thereof include bis (acryloyloxyethyl) ether of A and 3-methylpentanediol di (meth) acrylate. Specific examples of other polyfunctional monomers include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, ethoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, propoxylated trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) ) Acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, ethoxylated dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, propoxylated dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) An acrylate etc. are mentioned. Among these, a polyfunctional monomer having two or more functions is preferably used.

前記重合性化合物の含有量は、特に限定されないが、例えば、感光性樹脂組成物中の固形分を基準としてアルカリ可溶性樹脂100質量部に対して、15〜80質量部、好ましくは23〜60質量部の範囲で用いられてもよい。重合性化合物が前記含有量範囲で含まれる場合、硬化膜の優れた耐久性を有することができ、硬度を向上することができる。   Although content of the said polymeric compound is not specifically limited, For example, 15-80 mass parts with respect to 100 mass parts of alkali-soluble resin on the basis of solid content in the photosensitive resin composition, Preferably it is 23-60 masses. It may be used in the range of parts. When a polymeric compound is contained in the said content range, it can have the outstanding durability of a cured film, and can improve hardness.

〔アルカリ可溶性樹脂〕
本発明に用いられるアルカリ可溶性樹脂は、現像処理工程で利用されるアルカリ現像液に対して可溶性を付与する成分であり、下記[化7]で示される繰り返し単位を有する。
[Alkali-soluble resin]
The alkali-soluble resin used in the present invention is a component that imparts solubility to an alkali developer used in the development processing step, and has a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 7].

本発明によるアルカリ可溶性樹脂は、下記[化7]で示される繰り返し単位を有することで、ポストベーク段階でエポキシ官能基とカルボン酸との開環重合反応によって熱硬化反応が起きるので、本発明の感光性樹脂組成物で形成された硬化膜は、基材との密着性及び硬度を確保する役割を果たすものと判断される。

Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。) Since the alkali-soluble resin according to the present invention has a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 7], a thermosetting reaction occurs by a ring-opening polymerization reaction between an epoxy functional group and a carboxylic acid at the post-baking stage. It is judged that the cured film formed with the photosensitive resin composition plays a role of ensuring adhesion and hardness with the substrate.
Figure 2016139134
(In the formula, R 2 is hydrogen or a methyl group.)

本発明によるアルカリ可溶性樹脂は、前記[化7]の繰り返し単位の他にも、当分野における公知の他の単量体で形成された繰り返し単位をさらに有してもよく、[化7]の繰り返し単位のみで形成されてもよい。   The alkali-soluble resin according to the present invention may further have a repeating unit formed of another monomer known in the art in addition to the repeating unit of the above [Chemical Formula 7]. It may be formed of only repeating units.

本発明によるアルカリ可溶性樹脂は、前記[化7]で示される繰り返し単位を有するものであれば特に制限されることなく、例えば、下記[化8]で示される繰り返し単位を有してもよい。

Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、
は、下記[化9]の単量体に由来する構造であり、
Figure 2016139134
は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
a=40〜95mol%、b=5〜60mol%である。) The alkali-soluble resin according to the present invention is not particularly limited as long as it has a repeating unit represented by the above [Chemical Formula 7], and may have a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 8], for example.
Figure 2016139134
(Wherein R 3 and R 4 are each independently hydrogen or a methyl group,
R 5 is a structure derived from the monomer of the following [Chemical 9],
Figure 2016139134
R 6 is (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinate, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, and 2- (meth) A structure derived from a monomer selected from the group consisting of acryloyloxyethyl succinate,
It is a = 40-95 mol% and b = 5-60 mol%. )

本発明において、「(メタ)アクリル」は、「メタクリル」、「アクリル」、又はその両方を指称する。   In the present invention, “(meth) acryl” refers to “methacryl”, “acryl”, or both.

本発明による[化8]で示される繰り返し単位の好ましい例としては、下記[化10]の繰り返し単位が挙げられる。

Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、c=40〜95mol%、d=5〜60mol%である。) Preferable examples of the repeating unit represented by [Chemical Formula 8] according to the present invention include the following repeating unit of [Chemical Formula 10].
Figure 2016139134
(In the formula, R 6 and R 7 are each independently hydrogen or a methyl group, and c = 40 to 95 mol% and d = 5 to 60 mol%.)

本発明において、[化8]及び[化10]で示される各々の繰り返し単位は、[化8]及び[化10]で示されたとおりに限定解釈するべきではなく、括弧内の反復サブユニットが、定められたモル%範囲内で鎖のいずれの位置でも自由に位置することができる。すなわち、[化8]及び[化10]の各括弧は、モル%を表現するために一つのブロックで表示したが、各反復サブユニットは、該当の樹脂内であれば制限されることなくブロックとして又はそれぞれ分離して位置してもよい。   In the present invention, each repeating unit represented by [Chemical Formula 8] and [Chemical Formula 10] should not be construed as limited as represented by [Chemical Formula 8] and [Chemical Formula 10]. Can be freely located at any position of the chain within the defined mol% range. That is, each bracket in [Chemical Formula 8] and [Chemical Formula 10] is displayed as one block in order to express mol%, but each repeating subunit is not limited as long as it is within the corresponding resin. Or may be separated from each other.

基材との密着性及び硬度をさらに改善させる側面から、アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量は2,000〜20,000であることが好ましい。   From the viewpoint of further improving the adhesion and hardness with the substrate, the weight average molecular weight of the alkali-soluble resin is preferably 2,000 to 20,000.

必要に応じて、本発明によるアルカリ可溶性樹脂は、[化8]の繰り返し単位の他にも、当分野における公知の他の単量体で形成された繰り返し単位をさらに有してもよく、[化8]の繰り返し単位のみで形成されてもよい。   If necessary, the alkali-soluble resin according to the present invention may further have a repeating unit formed of another monomer known in the art in addition to the repeating unit of [Chemical Formula 8]. It may be formed only by the repeating unit of formula (8).

[化8]にさらに添加し得る繰り返し単位を形成する単量体としては、特に限定されないが、例えば、クロトン酸等のモノカルボン酸類;フマル酸、メサコン酸、イタコン酸等のジカルボン酸類及びこれらの無水物;ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等の両末端にカルボキシ基及び水酸基を有するポリマーのモノ(メタ)アクリレート類;ビニルトルエン、p−クロロスチレン、o−メトキシスチレン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;N−シクロヘキシルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−o−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−m−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−p−ヒドロキシフェニルマレイミド、N−o−メチルフェニルマレイミド、N−m−メチルフェニルマレイミド、N−p−メチルフェニルマレイミド、N−o−メトキシフェニルマレイミド、N−m−メトキシフェニルマレイミド、N−p−メトキシフェニルマレイミド等のN−置換マレイミド系化合物;メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、sec−ブチル(メタ)アクリレート、等のアルキル(メタ)アクリレート類;シクロペンチル(メタ)アクリレート、2−メチルシクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ジシクロペンタニルオキシエチル(メタ)アクリレート等の指環族(メタ)アクリレート類;フェニル(メタ)アクリレート等のアリール(メタ)アクリレート類;3−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−3−エチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−トリフルオロメチルオキセタン、3−(メタクリロイルオキシメチル)−2−フェニルオキセタン、2−(メタクリロイルオキシメチル)オキセタン、2−(メタクリロイルオキシメチル)−4−トリフルオロメチルオキセタン等の不飽和オキセタン化合物;メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の不飽和オキシラン化合物;炭素数4〜16のシクロアルカン又はジシクロアルカン環に置換された(メタ)アクリレート;等が挙げられる。これらは、単独又は2種以上混合して用いることができる。   The monomer that forms a repeating unit that can be further added to [Chemical Formula 8] is not particularly limited, but examples thereof include monocarboxylic acids such as crotonic acid; dicarboxylic acids such as fumaric acid, mesaconic acid, itaconic acid, and the like. Anhydrides; mono (meth) acrylates of polymers having a carboxy group and a hydroxyl group at both ends, such as ω-carboxypolycaprolactone mono (meth) acrylate; vinyltoluene, p-chlorostyrene, o-methoxystyrene, m-methoxystyrene Fragrance such as p-methoxystyrene, o-vinylbenzyl methyl ether, m-vinyl benzyl methyl ether, p-vinyl benzyl methyl ether, o-vinyl benzyl glycidyl ether, m-vinyl benzyl glycidyl ether, p-vinyl benzyl glycidyl ether Group vinyl compound N-cyclohexylmaleimide, N-benzylmaleimide, N-phenylmaleimide, N-o-hydroxyphenylmaleimide, Nm-hydroxyphenylmaleimide, Np-hydroxyphenylmaleimide, N-o-methylphenylmaleimide, N- N-substituted maleimide compounds such as m-methylphenylmaleimide, Np-methylphenylmaleimide, N-o-methoxyphenylmaleimide, Nm-methoxyphenylmaleimide, Np-methoxyphenylmaleimide; methyl (meth) Acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, i-propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, sec-butyl (meth) acrylate, etc. Al Kill (meth) acrylates; finger ring (meth) acrylates such as cyclopentyl (meth) acrylate, 2-methylcyclohexyl (meth) acrylate, 2-dicyclopentanyloxyethyl (meth) acrylate; phenyl (meth) acrylate, etc. Aryl (meth) acrylates; 3- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -3-ethyloxetane, 3- (methacryloyloxymethyl) -2-trifluoromethyloxetane, 3- (methacryloyloxy) Unsaturated oxetane compounds such as methyl) -2-phenyloxetane, 2- (methacryloyloxymethyl) oxetane, 2- (methacryloyloxymethyl) -4-trifluoromethyloxetane; methyl glycidyl (meth) ac Unsaturated oxirane compound rate like; cycloalkane or di cycloalkane ring having 4 to 16 carbon atoms which is substituted in the (meth) acrylate; and the like. These can be used individually or in mixture of 2 or more types.

アルカリ可溶性樹脂は、酸価が20〜200(KOHmg/g)の範囲であることが好ましい。酸価が前記範囲内であれば、優れた現像性及び経時安定性を有することができる。   The alkali-soluble resin preferably has an acid value in the range of 20 to 200 (KOHmg / g). If the acid value is within the above range, excellent developability and stability over time can be obtained.

アルカリ可溶性樹脂の含有量は、特に限定されないが、例えば、固形分を基準として感光性樹脂組成物の全100質量部に対して、15〜80質量部、好ましくは25〜60質量部の量で含まれてもよい。前記数値範囲内で含まれる場合、現像液に対する溶解性が十分であるため、現像性が良好となり、優れた硬度を示す硬化膜を形成することができる。   Although content of alkali-soluble resin is not specifically limited, For example, it is 15-80 mass parts with respect to the total 100 mass parts of the photosensitive resin composition on the basis of solid content, Preferably it is the quantity of 25-60 mass parts. May be included. When contained within the above numerical range, the solubility in the developer is sufficient, so that the developability is good and a cured film having excellent hardness can be formed.

〔光重合開始剤〕
本発明による光重合開始剤は、前記重合性化合物を重合し得る成分であり、その種類を特に制限することなく用いることができ、例えば、アセトフェノン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、トリアジン系化合物、ビイミダゾール系化合物、チオキサントン系化合物、オキシムエステル系化合物からなる群から選択された少なくとも1種の化合物を用いることができ、好ましくは、オキシムエステル系化合物を用いることが好ましい。
(Photopolymerization initiator)
The photopolymerization initiator according to the present invention is a component capable of polymerizing the polymerizable compound, and can be used without any particular limitation, for example, acetophenone compound, benzophenone compound, triazine compound, biimidazole. At least one compound selected from the group consisting of a series compound, a thioxanthone series compound, and an oxime ester series compound can be used, and an oxime ester series compound is preferably used.

前記アセトフェノン系化合物の具体例としては、ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、2−ヒドロキシ−1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル]−2−メチルプロパン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−(4−メチルチオフェニル)−2−モルホリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−[4−(1−メチルビニル)フェニル]プロパン−1−オン、2−(4−メチルベンジル)−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルホリノフェニル)ブタン−1−オン等が挙げられる。   Specific examples of the acetophenone compound include diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyldimethyl ketal, 2-hydroxy-1- [4- (2-hydroxyethoxy). Phenyl] -2-methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1- (4-methylthiophenyl) -2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino- 1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one, 2-hydroxy-2-methyl-1- [4- (1-methylvinyl) phenyl] propan-1-one, 2- (4-methylbenzyl)- 2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) butan-1-one and the like can be mentioned.

前記ベンゾフェノン系化合物の具体例としては、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4−フェニルベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4’−メチルジフェニルスルフィド、3,3’,4,4’−テトラ(tert−ブチルパーオキシカルボニル)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン等が挙げられる。   Specific examples of the benzophenone compounds include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, 4-benzoyl-4′-methyldiphenyl sulfide, 3,3 ′, 4,4′-tetra (tert-butyl). Peroxycarbonyl) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, and the like.

前記トリアジン系化合物の具体例としては、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシナフチル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−ピペロニル−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−メトキシスチリル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−1,3,5−トリアジン等が挙げられる。   Specific examples of the triazine compound include 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- ( 4-methoxynaphthyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-piperonyl-1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (4 -Methoxystyryl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (5-methylfuran-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2 , 4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (4- Diethylamino-2-methylphenol Nyl) ethenyl] -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -1,3,5-triazine and the like. .

前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(アルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラ(トリアルコキシフェニル)ビイミダゾール、2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール又は4,4’,5,5’位のフェニル基がカルボアルコキシ基で置換されたイミダゾール化合物等が挙げられ、好ましくは、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2’−ビス(2,3−ジクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニルビイミダゾール、2,2−ビス(2,6−ジクロロフェニル)−4,4’5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール等が挙げられる。   Specific examples of the biimidazole compound include 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole and 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl). ) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2-chlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetra (alkoxyphenyl) biimidazole, 2,2 '-Bis (2-chlorophenyl) -4,4', 5,5'-tetra (trialkoxyphenyl) biimidazole, 2,2-bis (2,6-dichlorophenyl) -4,4'5,5'- Examples thereof include tetraphenyl-1,2′-biimidazole or an imidazole compound in which the phenyl group at the 4,4 ′, 5,5 ′ position is substituted with a carboalkoxy group, preferably 2,2′-bis (2 − Lorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2′-bis (2,3-dichlorophenyl) -4,4 ′, 5,5′-tetraphenylbiimidazole, 2,2 -Bis (2,6-dichlorophenyl) -4,4'5,5'-tetraphenyl-1,2'-biimidazole and the like.

前記チオキサントン系化合物の具体例としては、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン等が挙げられる。   Specific examples of the thioxanthone compound include 2-isopropylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone and the like.

前記オキシムエステル系化合物の具体例としては、o−エトキシカルボニル−α−オキシイミノ−1−フェニルプロパン−1−オン、1,2−オクタジオン−1−(4−フェニルチオ)フェニル−2−(o−ベンゾイルオキシム)又はエタノン、1−(9−エチル)−6−(2−メチルベンゾイル−3−イル)−1−(o−アセチルオキシム)等が挙げられ、市販品として、CGI−124(チバガイギー社)、CGI−224(チバガイギー社)、Irgacure OXE−01(BASF社)、Irgacure OXE−02(BASF社)、N−1919(アデカ社)、NCI−831(アデカ社)等がある。   Specific examples of the oxime ester compound include o-ethoxycarbonyl-α-oxyimino-1-phenylpropan-1-one and 1,2-octadion-1- (4-phenylthio) phenyl-2- (o-benzoyl). Oxime) or ethanone, 1- (9-ethyl) -6- (2-methylbenzoyl-3-yl) -1- (o-acetyloxime) and the like, and CGI-124 (Ciba Geigy) as a commercial product , CGI-224 (Ciba Geigy), Irgacure OXE-01 (BASF), Irgacure OX-02 (BASF), N-1919 (Adeka), NCI-831 (Adeka) and the like.

また、前記光重合開始剤は、本発明の感光性樹脂組成物の感度を向上させるために、光重合開始助剤をさらに含んでもよい。本発明による感光性樹脂組成物は、光重合開始助剤を含むことによって、さらに感度が高くなり、生産性を向上させることができる。   Further, the photopolymerization initiator may further contain a photopolymerization initiation auxiliary agent in order to improve the sensitivity of the photosensitive resin composition of the present invention. When the photosensitive resin composition according to the present invention contains a photopolymerization initiation assistant, the sensitivity is further increased and the productivity can be improved.

前記光重合開始助剤としては、アミン化合物、カルボン酸化合物、及びチオール基を有する有機硫黄化合物からなる群から選択される1種以上の化合物が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiation aid include one or more compounds selected from the group consisting of amine compounds, carboxylic acid compounds, and organic sulfur compounds having a thiol group.

前記アミン化合物の具体例としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン等の脂肪族アミン化合物、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、4−ジメチルアミノ安息香酸−2−エチルヘキシル、安息香酸−2−ジメチルアミノエチル、N,N−ジメチルパラトルイジン、4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(通称:ミヒラーケトン)、4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等が挙げられ、芳香族アミン化合物を用いることが好ましい。   Specific examples of the amine compound include aliphatic amine compounds such as triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, isoamyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylaminobenzoic acid-2-ethylhexyl, benzoic acid-2-dimethylaminoethyl, N, N-dimethylparatoluidine, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone (common name: Michler's ketone), 4,4'- Examples thereof include bis (diethylamino) benzophenone, and it is preferable to use an aromatic amine compound.

前記カルボン酸化合物の具体例としては、芳香族ヘテロ酢酸類であることが好ましく、例えば、フェニルチオ酢酸、メチルフェニルチオ酢酸、エチルフェニルチオ酢酸、メチルエチルフェニルチオ酢酸、ジメチルフェニルチオ酢酸、メトキシフェニルチオ酢酸、ジメトキシフェニルチオ酢酸、クロロフェニルチオ酢酸、ジクロロフェニルチオ酢酸、N−フェニルグリシン、フェノキシ酢酸、ナフチルチオ酢酸、N−ナフチルグリシン、ナフトキシ酢酸等が挙げられる。   Specific examples of the carboxylic acid compound are preferably aromatic heteroacetic acids such as phenylthioacetic acid, methylphenylthioacetic acid, ethylphenylthioacetic acid, methylethylphenylthioacetic acid, dimethylphenylthioacetic acid, methoxyphenylthiol. Examples include acetic acid, dimethoxyphenylthioacetic acid, chlorophenylthioacetic acid, dichlorophenylthioacetic acid, N-phenylglycine, phenoxyacetic acid, naphthylthioacetic acid, N-naphthylglycine, and naphthoxyacetic acid.

前記チオール基を有する有機硫黄化合物の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、1,4−ビス(3−メルカプトブチリルオキシ)ブタン、1,3,5−トリス(3−メルカプトブチルオキシエチル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、トリメチロールプロパントリス(3−メルカプトプロピオネート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトブチレート)、ペンタエリスリトールテトラキス(3−メルカプトプロピオネート)、ジペンタエリスリトールヘキサキス(3−メルカプトプロピオネート)、テトラエチレングリコールビス(3−メルカプトプロピオネート)等が挙げられる。   Specific examples of the organic sulfur compound having a thiol group include 2-mercaptobenzothiazole, 1,4-bis (3-mercaptobutyryloxy) butane, 1,3,5-tris (3-mercaptobutyloxyethyl). -1,3,5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, trimethylolpropane tris (3-mercaptopropionate), pentaerythritol tetrakis (3-mercaptobutyrate), pentaerythritol Examples include tetrakis (3-mercaptopropionate), dipentaerythritol hexakis (3-mercaptopropionate), and tetraethylene glycol bis (3-mercaptopropionate).

前記光重合開始剤の含有量は、特に限定されないが、例えば、固形分を基準とし、感光性樹脂組成物の全100質量部に対して、0.1〜20質量部の量で含まれてもよく、好ましくは0.1〜10質量部の量で含まれてもよい。前記数値範囲を満たす場合、感光性樹脂組成物の高感度化によって露光時間が短縮されるため、生産性が向上し、高い解像度を維持することができ、形成された画素部の強度及び画素部の表面における平滑性が良好になる点で好ましい。   Although content of the said photoinitiator is not specifically limited, For example, it is contained in the quantity of 0.1-20 mass parts with respect to the total 100 mass parts of the photosensitive resin composition on the basis of solid content. Preferably, it may be contained in an amount of 0.1 to 10 parts by mass. When the numerical value range is satisfied, the exposure time is shortened by increasing the sensitivity of the photosensitive resin composition, so that productivity can be improved and high resolution can be maintained, and the strength of the formed pixel portion and the pixel portion It is preferable at the point from which the smoothness in the surface of becomes favorable.

〔溶媒〕
溶媒は、当分野において通常用いられるものであれば、何れでも制限されることなく用いることができる。
〔solvent〕
Any solvent can be used without limitation as long as it is usually used in the art.

前記溶媒の具体例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、及びエチレングリコールモノブチルエーテルのようなエチレングリコールモノアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート等のアルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル類;プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールエチルメチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテル、プロピレングリコールプロピルメチルエーテル、プロピレングリコールエチルプロピルエーテル等のプロピレングリコールジアルキルエーテル類;プロピレングリコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールブチルエーテルプロピオネート等のプロピレングリコールアルキルエーテルプロピオネート類;メトキシブチルアルコール、エトキシブチルアルコール、プロポキシブチルアルコール、ブトキシブチルアルコール等のブチルジオールモノアルキルエーテル類;メトキシブチルアセテート、エトキシブチルアセテート、プロポキシブチルアセテート、ブトキシブチルアセテート等のブタンジオールモノアルキルエーテルアセテート類;メトキシブチルプロピオネート、エトキシブチルプロピオネート、プロポキシブチルプロピオネート、ブトキシブチルプロピオネート等のブタンジオールモノアルキルエーテルプロピオネート類;ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチルエーテル等のジプロピレングリコールジアルキルエーテル類;ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレン等の芳香族炭化水素類;メチルエチルケトン、アセトン、メチルアミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン類;エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、メチルエチルジエチレングリコール、グリセリン等のアルコール類;酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、ヒドロキシ酢酸メチル、ヒドロキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸ブチル、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸プロピル、乳酸ブチル、3−ヒドロキシプロピオン酸メチル、3−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−ヒドロキシプロピオン酸プロピル、3−ヒドロキシプロピオン酸ブチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキシ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブトキシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキシプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシプロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキシプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブトキシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エチル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキシプロピオン酸ブチル等のエステル類;テトラヒドロフラン、ピラン等の環状エーテル類;γ−ブチロラクトン等の環状エステル類等が挙げられる。ここで例示した溶媒は、それぞれ単独に又は2種以上を混合して用いることができる。   Specific examples of the solvent include ethylene glycol monoalkyl ethers such as ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, and ethylene glycol monobutyl ether; diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl. Diethylene glycol dialkyl ethers such as ether, diethylene glycol dipropyl ether, and diethylene glycol dibutyl ether; ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, ethylene glycol monobutyl ether acetate, and ethylene glycol monoethyl ether acetate Alkylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, methoxybutyl acetate, methoxypentyl acetate; propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, Propylene glycol monoalkyl ethers such as propylene glycol monopropyl ether and propylene glycol monobutyl ether; propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol ethyl methyl ether, propylene glycol dipropyl ether, propylene glycol propyl methyl Propylene glycol dialkyl ethers such as ether and propylene glycol ethyl propyl ether; propylene glycol alkyl such as propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol butyl ether propionate Ether propionates; Butyldiol monoalkyl ethers such as methoxybutyl alcohol, ethoxybutyl alcohol, propoxybutyl alcohol, butoxybutyl alcohol; Butanediol monoalkyl such as methoxybutyl acetate, ethoxybutyl acetate, propoxybutyl acetate, butoxybutyl acetate Alkyl ether acetates; methoxybu Butanediol monoalkyl ether propionates such as tilpropionate, ethoxybutylpropionate, propoxybutylpropionate, butoxybutylpropionate; dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl Dipropylene glycol dialkyl ethers such as ethers; aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, mesitylene; ketones such as methyl ethyl ketone, acetone, methyl amyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone; ethanol, propanol, butanol, hexanol , Cyclohexanol, ethylene glycol, methyl ethyl diethylene glycol, glycerin and other alcohols; methyl acetate Ethyl acetate, propyl acetate, butyl acetate, ethyl 2-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl hydroxyacetate, ethyl hydroxyacetate, butyl hydroxyacetate, Methyl lactate, ethyl lactate, propyl lactate, butyl lactate, methyl 3-hydroxypropionate, ethyl 3-hydroxypropionate, propyl 3-hydroxypropionate, butyl 3-hydroxypropionate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, Methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate Propylpropoxyacetate, butyl propoxyacetate, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propyl butoxyacetate, butylbutoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl-2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Acid butyl, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, 2-butoxypropionic acid Propyl, butyl 2-butoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, 3-ethoxyprop Methyl pionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, butyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, 3-propoxypropion Esters such as butyl acid, methyl 3-butoxypropionate, ethyl 3-butoxypropionate, propyl 3-butoxypropionate and butyl 3-butoxypropionate; cyclic ethers such as tetrahydrofuran and pyran; cyclic such as γ-butyrolactone Examples include esters. The solvent illustrated here can be used individually or in mixture of 2 or more types, respectively.

前記溶媒は、塗布性及び乾燥性を考慮すると、アルキレングリコールアルキルエーテルアセテート類、ケトン類、ブタンジオールアルキルエーテルアセテート類、ブタンジオールモノアルキルエーテル類、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等のエステル類を用いてもよく、さらに好ましくは、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、メトキシブチルアセテート、メトキシブタノール、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル等を用いてもよい。   In consideration of coating properties and drying properties, the solvent is alkylene glycol alkyl ether acetates, ketones, butanediol alkyl ether acetates, butanediol monoalkyl ethers, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate Esters such as propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, cyclohexanone, methoxybutyl acetate, methoxybutanol, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-methoxypropionate, etc. May be used.

前記溶媒の含有量は、感光性樹脂組成物の全体100質量部に対して、30〜95質量部、好ましくは、40〜85質量部の量で含まれてもよい。前記範囲を満たす場合、スピンコーター、スリットアンドスピンコーター、スリットコーター(「ダイコーター」、「カーテンフローコーター」と称する場合もある)、インクジェット等の塗布装置で塗布した時、塗布性が良好になるため好ましい。   The content of the solvent may be included in an amount of 30 to 95 parts by mass, preferably 40 to 85 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the entire photosensitive resin composition. When the above range is satisfied, the coating property is improved when coating is performed with a coating apparatus such as a spin coater, a slit and spin coater, a slit coater (sometimes referred to as “die coater” or “curtain flow coater”), and an ink jet. Therefore, it is preferable.

〔添加剤〕
本発明による感光性樹脂組成物は、必要に応じて、充填剤、他の高分子化合物、硬化剤、レベリング剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、連鎖移動剤等の添加剤をさらに含んでもよい。
〔Additive〕
The photosensitive resin composition according to the present invention includes a filler, other polymer compound, a curing agent, a leveling agent, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an anti-aggregation agent, a chain transfer agent, and the like as necessary. These additives may be further included.

前記充填剤の具体例としては、ガラス、シリカ、アルミナ等が挙げられる。   Specific examples of the filler include glass, silica, alumina and the like.

前記他の高分子化合物の具体例としては、エポキシ樹脂、マレイミド樹脂等の硬化性樹脂;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフルオロアルキルアクリレート、ポリエステル、ポリウレタン等の熱可塑性樹脂等が挙げられる。   Specific examples of the other polymer compounds include curable resins such as epoxy resins and maleimide resins; thermoplastic resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, polyfluoroalkyl acrylate, polyester, and polyurethane. Is mentioned.

前記硬化剤は、深部硬化及び機械的強度を高めるために用いられ、硬化剤の具体例としては、エポキシ化合物、多官能イソシアネート化合物、メラミン化合物、オキセタン化合物等が挙げられる。   The said hardening | curing agent is used in order to raise deep part hardening and mechanical strength, and an epoxy compound, a polyfunctional isocyanate compound, a melamine compound, an oxetane compound etc. are mentioned as a specific example of a hardening | curing agent.

前記硬化剤でエポキシ化合物の具体例としては、ビスフェノールA系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールA系エポキシ樹脂、ビスフェノールF系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールF系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、その他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、又はこのようなエポキシ樹脂のブロム誘導体、エポキシ樹脂及びそのブロム誘導体以外の脂肪族、脂環族又は芳香族エポキシ化合物、ブタジエン(共)重合体エポキシ化合物、イソプレン(共)重合体エポキシ化合物、グリシジル(メタ)アクリレート(共)重合体、トリグリシジルイソシアヌレート等が挙げられる。   Specific examples of the epoxy compound in the curing agent include bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol F type epoxy resin, novolac type epoxy resin, and other aromatic types. Epoxy resins, alicyclic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, or bromo derivatives of such epoxy resins, epoxy resins and aliphatic, alicyclic or aromatic epoxy compounds other than bromo derivatives, Examples include butadiene (co) polymer epoxy compounds, isoprene (co) polymer epoxy compounds, glycidyl (meth) acrylate (co) polymers, and triglycidyl isocyanurate.

前記硬化剤でオキセタン化合物の具体例としては、カーボネートビスオキセタン、キシレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタン等が挙げられる。   Specific examples of the oxetane compound in the curing agent include carbonate bisoxetane, xylene bisoxetane, adipate bisoxetane, terephthalate bisoxetane, and bisoxetane cyclohexanedicarboxylate.

前記硬化剤は、当該硬化剤と共に、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させることができる硬化補助化合物を併用することができる。前記硬化補助化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤等が挙げられる。   The said hardening | curing agent can use together the hardening auxiliary compound which can carry out the ring-opening polymerization of the epoxy group of an epoxy compound, and the oxetane skeleton of an oxetane compound with the said hardening | curing agent. Examples of the curing auxiliary compound include polyvalent carboxylic acids, polyvalent carboxylic acid anhydrides, acid generators, and the like.

前記カルボン酸無水物類は、エポキシ樹脂硬化剤として市販されるものを利用することができる。前記エポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、商品名アデカハードナーEH−700(アデカ工業(株)製)、商品名リカシッドHH(新日本理化(株)製)、商品名MH−700(新日本理化(株)製)等が挙げられる。前記において例示した硬化剤は、単独に又は2種以上を混合して用いることができる。   What is marketed as an epoxy resin hardening | curing agent can be utilized for the said carboxylic acid anhydrides. Examples of the epoxy resin curing agent include trade name ADEKA HARDNER EH-700 (manufactured by ADEKA INDUSTRY CO., LTD.), Trade name RIKACID HH (manufactured by Shin Nippon Rika Co., Ltd.), trade name MH-700 (new Japan Rika ( Etc.). The curing agents exemplified above can be used alone or in admixture of two or more.

前記レベリング剤としては、市販の界面活性剤を用いることができ、例えば、シリコーン系、フッ素系、エステル系、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性等の界面活性剤等が挙げられ、これらはそれぞれ単独でも2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As the leveling agent, commercially available surfactants can be used, and examples thereof include silicone-based, fluorine-based, ester-based, cationic-based, anionic-based, nonionic-based, and amphoteric surfactants. You may use each individually or in combination of 2 or more types.

前記界面活性剤としては、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、第三級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等以外に、商品名として、KP(信越化学工業(株)製)、ポリフロー(共栄化学(株)製)、エフトップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、旭硝子(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)製)、EFKA(EFKA CHEMICALS社製)、PB821(味の素(株)製)等が挙げられる。   Examples of the surfactant include polyoxyethylene alkyl ethers, polyoxyethylene alkyl phenyl ethers, polyethylene glycol diesters, sorbitan fatty acid esters, fatty acid-modified polyesters, tertiary amine-modified polyurethanes, and polyethyleneimines. Other than the above, the product names include KP (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), Polyflow (manufactured by Kyoei Chemical Co., Ltd.), F-Top (manufactured by Tochem Products), MegaFuck (Dainippon Ink Chemical Co., Ltd.) Manufactured), FLORARD (manufactured by Sumitomo 3M Co., Ltd.), Asahi Guard, Surflon (manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), Solsperse (manufactured by Geneca Corporation), EFKA (manufactured by EFKA CHEMICALS), PB821 (Ajinomoto Co., Inc.) Manufactured) and the like.

前記密着促進剤としては、シラン系化合物が好ましく、具体的には、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロイルオキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。   The adhesion promoter is preferably a silane compound, and specifically, vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyl. Methyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2 -(3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloyloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, etc. That.

前記酸化防止剤としては、具体的に、2−tert−ブチル−6−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルベンジル)−4−メチルフェニルアクリレート、2−[1−(2−ヒドロキシ−3,5−ジ−tert−ペンチルフェニル)エチル]−4,6−ジ−tert−ペンチルフェニルアクリレート、6−[3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロポキシ]−2,4,8,10−テトラ−tert−ブチルジベンズ[d,f][1,3,2]ジオキサホスフェピン、3,9−ビス[2−{3−(3−tert−ブチル−4−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)プロピオニルオキシ}−1,1−ジメチルエチル]−2,4,8,10−テトラオキサスピロ[5.5]ウンデカン、2,2’−メチレンビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、4,4’−ブチリデンビス(6−tert−ブチル−3−メチルフェノール)、4,4’−チオビス(2−tert−ブチル−5−メチルフェノール)、2,2’−チオビス(6−tert−ブチル−4−メチルフェノール)、ジラウリル−3,3’−チオジプロピオネート、ジミリスチル−3,3’−チオジプロピオネート、ジステアリル−3,3’−チオジプロピオネート、ペンタエリスリチルテトラキス(3−ラウリルチオプロピオネート)、1,3,5−トリス(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシベンジル)−1,3,5−トリアジン−2,4,6(1H,3H,5H)−トリオン、3,3’,3’’,5,5’,5’’−ヘキサ−tert−ブチル−a,a’,a’’−(メシチレン−2,4,6−トリイル)トリ−p−クレゾール、ペンタエリスリトールテトラキス[3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]、2,6−ジ−tert−ブチル−4−メチルフェノール等が挙げられる。   Specific examples of the antioxidant include 2-tert-butyl-6- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylbenzyl) -4-methylphenyl acrylate, 2- [1- (2- Hydroxy-3,5-di-tert-pentylphenyl) ethyl] -4,6-di-tert-pentylphenyl acrylate, 6- [3- (3-tert-butyl-4-hydroxy-5-methylphenyl) propoxy ] -2,4,8,10-tetra-tert-butyldibenz [d, f] [1,3,2] dioxaphosphine, 3,9-bis [2- {3- (3-tert-butyl) -4-hydroxy-5-methylphenyl) propionyloxy} -1,1-dimethylethyl] -2,4,8,10-tetraoxaspiro [5.5] undecane, 2,2′-methyl Renbis (6-tert-butyl-4-methylphenol), 4,4′-butylidenebis (6-tert-butyl-3-methylphenol), 4,4′-thiobis (2-tert-butyl-5-methylphenol) ), 2,2′-thiobis (6-tert-butyl-4-methylphenol), dilauryl-3,3′-thiodipropionate, dimyristyl-3,3′-thiodipropionate, distearyl-3, 3′-thiodipropionate, pentaerythrityltetrakis (3-laurylthiopropionate), 1,3,5-tris (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxybenzyl) -1,3 5-triazine-2,4,6 (1H, 3H, 5H) -trione, 3,3 ′, 3 ″, 5,5 ′, 5 ″ -hexa-tert-butyl-a a ′, a ″-(mesitylene-2,4,6-triyl) tri-p-cresol, pentaerythritol tetrakis [3- (3,5-di-tert-butyl-4-hydroxyphenyl) propionate], 2 , 6-di-tert-butyl-4-methylphenol and the like.

前記紫外線吸収剤として、具体的には、2−(3−tert−ブチル−2−ヒドロキシ−5−メチルフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等が挙げられる。   Specific examples of the ultraviolet absorber include 2- (3-tert-butyl-2-hydroxy-5-methylphenyl) -5-chlorobenzotriazole and alkoxybenzophenone.

前記凝集防止剤としては、具体的には、ポリアクリル酸ナトリウム等が挙げられる。   Specific examples of the anti-aggregation agent include sodium polyacrylate.

前記連鎖移動剤としては、具体的には、ドデシルメルカプタン、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン等が挙げられる。   Specific examples of the chain transfer agent include dodecyl mercaptan and 2,4-diphenyl-4-methyl-1-pentene.

前記添加剤の含有量は、固形分を基準として感光性樹脂組成物の全100質量部に対して、0.001〜1質量部、好ましくは0.01〜0.8質量部の量で含まれていてもよい。   The content of the additive is 0.001-1 parts by mass, preferably 0.01-0.8 parts by mass with respect to the total 100 parts by mass of the photosensitive resin composition based on the solid content. It may be.

<硬化膜及び画像表示装置>
本発明は、前記感光性樹脂組成物で製造される硬化膜及び前記硬化膜を備えた画像表示装置を提供することを目的とする。
<Curing film and image display device>
An object of this invention is to provide the image display apparatus provided with the cured film manufactured with the said photosensitive resin composition, and the said cured film.

前記感光性樹脂組成物で製造された硬化膜は、硬化収縮率及び基材との密着性に優れる。それにより画像表示装置において、例えば、接着剤層、アレイ平坦化膜、保護膜、絶縁膜等に利用されることができるが、これらに制限されるものではなく、特に絶縁膜として好ましい。   The cured film manufactured with the said photosensitive resin composition is excellent in a cure shrinkage rate and adhesiveness with a base material. Thereby, in an image display device, for example, it can be used for an adhesive layer, an array flattening film, a protective film, an insulating film, etc., but is not limited thereto, and is particularly preferable as an insulating film.

このような硬化膜を備える画像表示装置としては、液晶表示装置、OLED、フレキシブルディスプレイ等が挙げられるが、これらに限定されるものではなく、適用可能な当分野における公知の全ての画像表示装置が挙げられる。   Examples of the image display device provided with such a cured film include a liquid crystal display device, an OLED, a flexible display, and the like, but are not limited to these, and all known image display devices in the applicable field can be used. Can be mentioned.

硬化膜は、前述の本発明の感光性樹脂組成物を基材上に塗布する段階と、感光性樹脂組成物を加熱乾燥させる段階と、露光する段階と、現像する段階と、必要によってポストベーク及び水洗する段階とを経て製造することができる。   The cured film comprises a step of applying the above-described photosensitive resin composition of the present invention on a substrate, a step of heating and drying the photosensitive resin composition, a step of exposing, a step of developing, and a post-bake if necessary. And a step of washing with water.

先ず、感光性樹脂組成物を基板に塗布した後、加熱乾燥させることによって、溶媒等の揮発成分を除去して平滑な塗膜を得る。   First, a photosensitive resin composition is applied to a substrate and then dried by heating to remove a volatile component such as a solvent to obtain a smooth coating film.

塗布方法としては、例えば、スピンコート、流延塗布法、ロール塗布法、スリットアンドスピンコート又はスリットコート法等によって実施されてもよい。塗布後、加熱乾燥(プリベーク)、又は減圧乾燥後に加熱して溶媒等の揮発成分を揮発させる。ここで、加熱温度は、相対的に低温である70〜100℃である。加熱乾燥後の塗膜厚さは、通常1〜8μm程度である。このようにして得られた塗膜に、紫外線を照射して硬化を行う。   As the coating method, for example, spin coating, casting coating, roll coating, slit and spin coating, or slit coating may be used. After application, heat drying (pre-baking) or drying after reduced pressure heats to volatilize volatile components such as a solvent. Here, the heating temperature is 70 to 100 ° C., which is a relatively low temperature. The coating thickness after heat drying is usually about 1 to 8 μm. The coating film thus obtained is cured by irradiating with ultraviolet rays.

前記紫外線としては、g線(波長:436nm)、h線、i線(波長:365nm)等を用いることができる。紫外線の照射量は、必要に応じて、適宜選択することができ、本発明において限定されるものではない。硬化が終了した塗膜を必要に応じて現像液に接触させて現像すれば、目的とする硬化膜を形成することができる。   As the ultraviolet rays, g-line (wavelength: 436 nm), h-line, i-line (wavelength: 365 nm), or the like can be used. The irradiation amount of ultraviolet rays can be appropriately selected as necessary, and is not limited in the present invention. If the cured coating is developed by bringing it into contact with a developer as necessary, a desired cured film can be formed.

前記現像方法は、液添加法、ディッピング法、スプレー法等のいずれを用いても構わない。また、現像の際に基板を任意の角度に傾斜させてもよい。前記現像液は、通常、アルカリ性化合物及び界面活性剤を含む水溶液である。前記アルカリ性化合物は、無機及び有機アルカリ性化合物のいずれでもよい。無機アルカリ性化合物の具体例としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、リン酸水素二ナトリウム、リン酸二水素ナトリウム、リン酸水素二アンモニウム、リン酸二水素アンモニウム、リン酸二水素カリウム、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、ホウ酸ナトリウム、ホウ酸カリウム、アンモニア等が挙げられる。また、有機アルカリ性化合物の具体例としては、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、2−ヒドロキシエチルトリメチルアンモニウムヒドロキシド、モノメチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、モノエチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、モノイソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、エタノールアミン等が挙げられる。   As the developing method, any of a liquid addition method, a dipping method, a spray method and the like may be used. Further, the substrate may be inclined at an arbitrary angle during development. The developer is usually an aqueous solution containing an alkaline compound and a surfactant. The alkaline compound may be either an inorganic or organic alkaline compound. Specific examples of inorganic alkaline compounds include sodium hydroxide, potassium hydroxide, disodium hydrogen phosphate, sodium dihydrogen phosphate, diammonium hydrogen phosphate, ammonium dihydrogen phosphate, potassium dihydrogen phosphate, sodium silicate. Potassium silicate, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium hydrogen carbonate, potassium hydrogen carbonate, sodium borate, potassium borate, ammonia and the like. Specific examples of the organic alkaline compound include tetramethylammonium hydroxide, 2-hydroxyethyltrimethylammonium hydroxide, monomethylamine, dimethylamine, trimethylamine, monoethylamine, diethylamine, triethylamine, monoisopropylamine, diisopropylamine, and ethanolamine. Etc.

これら無機及び有機アルカリ性化合物は、それぞれ単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。アルカリ現像液中のアルカリ性化合物の濃度は、好ましくは0.01〜10質量%であり、より好ましくは0.03〜5質量%である。   These inorganic and organic alkaline compounds can be used alone or in combination of two or more. The concentration of the alkaline compound in the alkaline developer is preferably 0.01 to 10% by mass, more preferably 0.03 to 5% by mass.

前記アルカリ現像液中の界面活性剤は、ノニオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、又はカチオン系界面活性剤からなる群から選択される少なくとも一種を用いることができる。   As the surfactant in the alkaline developer, at least one selected from the group consisting of a nonionic surfactant, an anionic surfactant, or a cationic surfactant can be used.

前記ノニオン系界面活性剤の具体例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンアリールエーテル、ポリオキシエチレンアルキルアリールエーテル、その他のポリオキシエチレン誘導体、オキシエチレン/オキシプロピレンブロック共重合体、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル、グリセリン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンアルキルアミン等が挙げられる。   Specific examples of the nonionic surfactant include polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene aryl ether, polyoxyethylene alkyl aryl ether, other polyoxyethylene derivatives, oxyethylene / oxypropylene block copolymers, and sorbitan fatty acids. Examples include esters, polyoxyethylene sorbitan fatty acid esters, polyoxyethylene sorbitol fatty acid esters, glycerin fatty acid esters, polyoxyethylene fatty acid esters, polyoxyethylene alkylamines, and the like.

前記アニオン系界面活性剤の具体例としては、ラウリルアルコール硫酸エステルナトリウムやオレイルアルコール硫酸エステルナトリウム等の高級アルコール硫酸エステル塩類、ラウリル硫酸ナトリウムやラウリル硫酸アンモニウム等のアルキル硫酸塩類、ドデシルベンゼンスルホン酸ナトリウムやドデシルナフタレンスルホン酸ナトリウム等のアルキルアリールスルホン酸塩類等が挙げられる。   Specific examples of the anionic surfactant include higher alcohol sulfates such as sodium lauryl alcohol sulfate and sodium oleyl alcohol sulfate, alkyl sulfates such as sodium lauryl sulfate and ammonium lauryl sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate and dodecyl sodium sulfate. And alkyl aryl sulfonates such as sodium naphthalene sulfonate.

前記カチオン系界面活性剤の具体例としては、ステアリルアミン塩酸塩やラウリルトリメチルアンモニウムクロリド等のアミン塩又は第四級アンモニウム塩等が挙げられる。これら界面活性剤は、それぞれ単独に又は2種以上組み合わせて用いることができる。   Specific examples of the cationic surfactant include amine salts such as stearylamine hydrochloride and lauryltrimethylammonium chloride, quaternary ammonium salts, and the like. These surfactants can be used alone or in combination of two or more.

前記現像液中の界面活性剤の濃度は、通常0.01〜10質量%、好ましくは、0.05〜8質量%、より好ましくは、0.1〜5質量%である。現像後、水洗して、相対的に低温である100〜150℃で10〜60分のポストベークを実施する。   The concentration of the surfactant in the developer is usually 0.01 to 10% by mass, preferably 0.05 to 8% by mass, and more preferably 0.1 to 5% by mass. After the development, it is washed with water and post-baked for 10 to 60 minutes at a relatively low temperature of 100 to 150 ° C.

以下、本発明の理解を容易にするために好適な実施例を示すが、これら実施例は本発明を例示するに過ぎず、添付された特許請求の範囲を制限するわけではなく、本発明の範疇及び技術思想の範囲内において実施例に対し変更が多様であること且つ修正が可能であることは、当業者にとって明らかなものであり、このような変更及び修正が添付された特許請求の範囲に属するのも当然のことである。   In order to facilitate the understanding of the present invention, preferred examples are shown below, but these examples are merely illustrative of the present invention and do not limit the scope of the appended claims. It will be apparent to those skilled in the art that various changes and modifications can be made to the embodiments within the scope of the scope and the technical idea, and such changes and modifications are claimed in the appended claims. Of course it belongs to.

合成例1.アルカリ可溶性樹脂(A−1)の合成
還流冷却器、滴下漏斗、及び撹拌機を備えた1Lのフラスコ内に、窒素を0.02L/分で流れるようにして窒素雰囲気下とし、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル150g投入し、撹拌しながら70℃まで加熱した。次いで、下記[化11]及び[化12]の混合物(モル比は50:50)210.2g(0.95mol)、及びメタクリル酸14.5g(0.17mol)をジエチレングリコールメチルエチルエーテル150gに溶解して溶液を調製した。

Figure 2016139134
Figure 2016139134
Synthesis Example 1 Synthesis of alkali-soluble resin (A-1) In a 1 L flask equipped with a reflux condenser, a dropping funnel, and a stirrer, nitrogen was allowed to flow at 0.02 L / min under a nitrogen atmosphere, and diethylene glycol methyl ethyl ether 150 g was charged and heated to 70 ° C. with stirring. Next, 210.2 g (0.95 mol) of a mixture of the following [Chemical 11] and [Chemical 12] (molar ratio 50:50) and 14.5 g (0.17 mol) of methacrylic acid were dissolved in 150 g of diethylene glycol methyl ethyl ether. To prepare a solution.
Figure 2016139134
Figure 2016139134

調製した溶解液を、滴下漏斗を用いてフラスコ内に滴下した後、重合開始剤2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)27.9g(0.11mol)をジエチレングリコールメチルエチルエーテル200gに溶解させた溶液を、別の滴下漏斗を用いて4時間かけてフラスコ内に滴下した。重合開始剤の溶液の滴下が終了した後、4時間のあいだ70℃に維持し、その後に室温まで冷却させ、固形分41.6質量%、酸価65mg−KOH/g(固形分換算)の共重合体(樹脂A−1)の溶液を得た。得られた樹脂A−1の重量平均分子量Mwは8,300であり、分子量分布は1.85であった。   The prepared solution was dropped into the flask using a dropping funnel, and then 27.9 g (0.11 mol) of a polymerization initiator 2,2′-azobis (2,4-dimethylvaleronitrile) was added to 200 g of diethylene glycol methyl ethyl ether. The solution dissolved in was dropped into the flask over 4 hours using another dropping funnel. After completion of dropping of the polymerization initiator solution, the temperature was maintained at 70 ° C. for 4 hours, and then cooled to room temperature. The solid content was 41.6% by mass and the acid value was 65 mg-KOH / g (in terms of solid content). A solution of copolymer (resin A-1) was obtained. The obtained resin A-1 had a weight average molecular weight Mw of 8,300 and a molecular weight distribution of 1.85.

合成例2.重合性化合物(B−1)の合成
下記のとおり反応進行によって窒素雰囲気に置換したフラスコに、トルエン200gと、N,N’,N’’,N’’’−テトラ(2−ヒドロキシエチル)グリコールウリル(N,N’,N”,N”’-Tetra(2-hydroxyethyl)glycoluril)(四国化成製)10.0g(31.4mmol)とを添加した後、パラトルエンスルホン酸(para-toluenesulfonic acid)(TCI製)0.54g(3.1mmol)と、アクリル酸18.1g(251.3mmol)とをさらに添加した。反応混合物は、トルエン還流条件で10時間かけて反応を進行させると共に、アルコール及びアクリル酸の縮合反応で生じる水分をディーン・スタークトラップ(Dean-stark trap)を用いて除去した。

Figure 2016139134
Synthesis Example 2 Synthesis of polymerizable compound (B-1) In a flask substituted with a nitrogen atmosphere as the reaction proceeds, 200 g of toluene and N, N ′, N ″, N ′ ″-tetra (2-hydroxyethyl) glycol After adding 10.0 g (31.4 mmol) of uril (N, N ′, N ″, N ″ ′-Tetra (2-hydroxyethyl) glycoluril) (Shikoku Kasei), para-toluenesulfonic acid ) (Manufactured by TCI) 0.54 g (3.1 mmol) and 18.1 g (251.3 mmol) of acrylic acid were further added. The reaction mixture was allowed to proceed for 10 hours under toluene reflux conditions, and water generated by the condensation reaction of alcohol and acrylic acid was removed using a Dean-stark trap.
Figure 2016139134

反応が終了した反応混合物を0℃に冷却した後、1N炭酸水素ナトリウム水溶液100gを添加した後、有機溶液層を分液漏斗で分離してから、100gの1N炭酸水素ナトリウム水溶液でさらに洗浄した後、蒸溜水で有機溶液層をさらに二回洗浄した。残った有機溶液を減圧条件で乾燥させ、最終的に重合性化合物B−1の16.0g(歩留まり95%)を得た。液体クロマトグラフィーで分析した純度は98%であった。   After the reaction mixture was cooled to 0 ° C., 100 g of 1N aqueous sodium hydrogen carbonate solution was added, the organic solution layer was separated with a separatory funnel, and then further washed with 100 g of 1N aqueous sodium hydrogen carbonate solution. The organic solution layer was further washed twice with distilled water. The remaining organic solution was dried under reduced pressure conditions to finally obtain 16.0 g (yield 95%) of polymerizable compound B-1. The purity analyzed by liquid chromatography was 98%.

合成例3.重合性化合物(B−2)の合成
アクリル酸18.1g(251.3mmol)に代えて、メタクリル酸21.6g(251.3mmol)を用いたこと以外は合成例2と同様の方法で、下記のような反応進行によって重合性化合物(B−2)16.7g(歩留まり90%)を得た。液体クロマトグラフィーで分析した純度は98%であった。

Figure 2016139134
Synthesis Example 3 Synthesis of polymerizable compound (B-2) In the same manner as in Synthesis Example 2, except that 21.6 g (251.3 mmol) of methacrylic acid was used instead of 18.1 g (251.3 mmol) of acrylic acid, 16.7 g (yield 90%) of the polymerizable compound (B-2) was obtained by the progress of the reaction. The purity analyzed by liquid chromatography was 98%.
Figure 2016139134

〔実施例及び比較例〕
下記[表1]に記載された組成及び含有量(質量部)を有する感光性樹脂組成物を調製した。
[Examples and Comparative Examples]
The photosensitive resin composition which has a composition and content (mass part) described in the following [Table 1] was prepared.

Figure 2016139134
Figure 2016139134

〔試験方法〕
2インチ角のガラス基板(イーグル2000、コーニング社製)を中性洗剤、水、及びアルコールで順次洗浄した後、乾燥させた。このガラス基板上に、前記実施例及び比較例で調製した感光性樹脂組成物をそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。
〔Test method〕
A 2-inch square glass substrate (Eagle 2000, Corning) was sequentially washed with a neutral detergent, water, and alcohol and then dried. The glass substrate was spin-coated with the photosensitive resin compositions prepared in Examples and Comparative Examples, and prebaked at 90 ° C. for 125 seconds using a hot plate.

前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて50mJ/cmの露光量(365nm基準)で塗膜全面に光照射した。光照射後、ノニオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に前記塗膜を25℃で60秒間浸漬して現像し、水洗後オーブンの中で、100℃で60分間ポストベークを実施した。得られた塗膜の厚さは3.0μmであった。このように得られた硬化膜から以下のとおり物性評価を実施し、その結果を下記[表2]に示す。 After cooling the pre-baked substrate at room temperature, the entire coating film was irradiated with light at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 (based on 365 nm) using an exposure machine (UX-1100SM; manufactured by Usio Co., Ltd.). After the light irradiation, the coating film was dipped in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 25 ° C. for 60 seconds to develop, and after washing in an oven, Post-baking was performed at 100 ° C. for 60 minutes. The thickness of the obtained coating film was 3.0 μm. From the cured film thus obtained, physical properties were evaluated as follows, and the results are shown in [Table 2] below.

(1)鉛筆硬度評価
前記得られた硬化膜の表面硬度を測定した。表面硬度は、鉛筆硬度測定機(Pencil Hardness Tester)を利用して三菱鉛筆(Mitsubishi Pencil)を基板に接触させた後、その上に500gの錘を乗せて荷重を増加させた状態で50mm/secの速度で基板の表面を掻き、表面を観察することで表面硬度を測定した。測定基準は、鉛筆硬度に該当する水準で表面の摩耗、剥がれ、破れ、傷つきの形状が観察されない時を基準として評価した。
(1) Pencil hardness evaluation The surface hardness of the obtained cured film was measured. The surface hardness is 50 mm / sec in a state where a Mitsubishi pencil (Mitsubishi Pencil) is brought into contact with the substrate using a pencil hardness measuring machine (Pencil Hardness Tester) and then a weight of 500 g is placed thereon to increase the load. The surface hardness was measured by scratching the surface of the substrate at a speed of and observing the surface. The measurement standard was evaluated based on the time when no surface wear, peeling, tearing, or scratched shape was observed at a level corresponding to pencil hardness.

(2)現像残膜率評価
実施例及び比較例の樹脂組成物を基板に塗布してそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて50mJ/cmの露光量(365nm基準)で塗膜の全面に光を照射した。
(2) Evaluation of Development Residual Film Ratio The resin compositions of Examples and Comparative Examples were applied to substrates and spin coated, respectively, and then pre-baked at 90 ° C. for 125 seconds using a hot plate. After cooling the pre-baked substrate at room temperature, the entire surface of the coating film was irradiated with light at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 (based on 365 nm) using an exposure machine (UX-1100SM; manufactured by Usio Co., Ltd.).

光照射後、ノニオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に前記塗膜を25℃で60秒間浸漬して現像し、水洗後膜厚さの測定を実施した。その時、露光後の膜厚さと現像後の膜厚さとを測定し、下記[数1]を用いて現像残膜率を測定した。   After light irradiation, the coating film was immersed in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide for development for 60 seconds at 25 ° C., and the film thickness was measured after washing with water. Carried out. At that time, the film thickness after exposure and the film thickness after development were measured, and the development residual film ratio was measured using the following [Equation 1].

Figure 2016139134
Figure 2016139134

残膜率が高いほど、性能に優れるものと判断する。   The higher the remaining film ratio, the better the performance.

(3)硬化収縮率評価
実施例及び比較例の樹脂組成物を基板に塗布してそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて50mJ/cmの露光量(365nm基準)で塗膜の全面に光照射した。
(3) Curing shrinkage rate evaluation After applying the resin composition of an Example and a comparative example to a board | substrate and spin-coating each, it prebaked at 90 degreeC for 125 second using the hotplate (Hot plate). After cooling the pre-baked substrate at room temperature, the whole surface of the coating film was irradiated with light using an exposure machine (UX-1100SM; manufactured by Ushi Co., Ltd.) at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 (365 nm standard).

光照射後、ノニオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に前記塗膜を25℃で60秒間浸漬して現像し、水洗後、膜厚さの測定を実施した。次いで、オーブンで230℃に加熱すると共に30分間ベークを行った。その時、現像後の膜厚さと230℃で30分加熱後の膜厚さとを測定し、下記[数2]を用いて硬化収縮率を測定した。   After light irradiation, the coating film was developed by immersing in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 25 ° C. for 60 seconds, washed with water, Measurements were performed. Subsequently, it was heated to 230 ° C. in an oven and baked for 30 minutes. At that time, the film thickness after development and the film thickness after heating at 230 ° C. for 30 minutes were measured, and the curing shrinkage was measured using the following [Equation 2].

Figure 2016139134
Figure 2016139134

収縮率が小さいほど、性能に優れるものと判断する。   It is judged that the smaller the shrinkage rate, the better the performance.

(4)密着性評価
実施例及び比較例の樹脂組成物を基板に塗布してそれぞれスピンコーティングした後、ホットプレート(Hot plate)を利用して90℃で125秒間プリベークを行った。前記プリベークを行った基板を常温で冷却後、露光機(UX−1100SM;Ushio(株)製)を用いて50mJ/cmの露光量(365nm基準)で塗膜の全面に光照射した。
(4) Adhesive evaluation After applying the resin composition of an Example and a comparative example to a board | substrate and spin-coating each, it prebaked at 90 degreeC for 125 second using the hotplate (Hot plate). After cooling the pre-baked substrate at room temperature, the whole surface of the coating film was irradiated with light using an exposure machine (UX-1100SM; manufactured by Ushi Co., Ltd.) at an exposure amount of 50 mJ / cm 2 (365 nm standard).

光照射後、ノニオン系界面活性剤0.12%と水酸化カリウム0.04%とを含む水系現像液に前記塗膜を25℃で60秒間浸漬して現像し、水洗後、膜厚さの測定を実施した。次いで、オーブンで100℃に加熱すると共に60分間ベークを行った。   After light irradiation, the coating film was developed by immersing in an aqueous developer containing 0.12% nonionic surfactant and 0.04% potassium hydroxide at 25 ° C. for 60 seconds, washed with water, Measurements were performed. Subsequently, it was heated to 100 ° C. in an oven and baked for 60 minutes.

得られた硬化膜を、ASTM D−3359−08標準試験条件に基づいてカッターでカットした表面にテープを貼り付けてから剥離する方法で密着性を確認した。   The obtained cured film was checked for adhesion by a method in which a tape was applied to a surface cut with a cutter based on ASTM D-3359-08 standard test conditions and then peeled off.

ベーク後のカッティング/テープ試験において、塗膜の剥離が生じる程度を下記判断基準に基づき、5Bが最も優れた性能を有するものと判断する。   In the cutting / tape test after baking, it is determined that 5B has the most excellent performance based on the following criteria for the degree of peeling of the coating film.

<評価基準>
5B:剥離0%
4B:剥離5%未満
3B:剥離5%%以上15%未満
2B:剥離15%以上35%未満
1B:剥離35%以上65%未満
0B:剥離65%以上
<Evaluation criteria>
5B: 0% peeling
4B: Peeling less than 5% 3B: Peeling 5% or more and less than 15% 2B: Peeling 15% or more and less than 35% 1B: Peeling 35% or more and less than 65% 0B: Peeling 65% or more

Figure 2016139134
Figure 2016139134

前記[表2]を参照すると、本発明による感光性樹脂組成物を用いた実施例の場合、高い現像残膜率を示しており露光段階における感度に優れることが確認された。また、基板に対する密着性に優れ、鉛筆硬度に優れ、且つ硬化収縮率が向上したことが確認された。   Referring to the above [Table 2], it was confirmed that the examples using the photosensitive resin composition according to the present invention showed a high residual film ratio and excellent sensitivity in the exposure stage. Moreover, it was confirmed that the adhesion to the substrate was excellent, the pencil hardness was excellent, and the cure shrinkage ratio was improved.

しかしながら、本発明の化合物を用いていない比較例の場合、実施例と比較して低い残膜率を示しており露光段階における感度が低いことが確認された。また、鉛筆硬度及び基板に対する密着性が顕著に低下することが確認され、特に比較例2の場合、硬化膜の表面異常が生じた。   However, in the case of the comparative example in which the compound of the present invention was not used, it was confirmed that the remaining film ratio was lower than that in the example and the sensitivity at the exposure stage was low. Moreover, it was confirmed that pencil hardness and the adhesiveness with respect to a board | substrate fell remarkably, especially in the case of the comparative example 2, the surface abnormality of the cured film arose.

Claims (12)

アミドの窒素原子に(メタ)アクリロイルオキシ基が炭素鎖で結合され、前記窒素原子に結合されたα位の炭素原子が水素原子で置換された構造を少なくとも一つ有する重合性化合物を含む、感光性樹脂組成物。   A photosensitive compound comprising a polymerizable compound having a structure in which a (meth) acryloyloxy group is bonded to a nitrogen atom of an amide with a carbon chain, and the α-position carbon atom bonded to the nitrogen atom is substituted with a hydrogen atom; Resin composition. 前記アミドが、グリコールウリル又はイソシアヌレートである、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the amide is glycoluril or isocyanurate. 前記重合性化合物が、下記[化1]で示される化合物である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。)
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the polymerizable compound is a compound represented by the following [Chemical Formula 1].
Figure 2016139134
(In the formula, R 1 is hydrogen or a methyl group.)
アルカリ可溶性樹脂、光重合開始剤、及び溶媒をさらに含む、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 1, further comprising an alkali-soluble resin, a photopolymerization initiator, and a solvent. 前記アルカリ可溶性樹脂が、下記[化2]で示される繰り返し単位を有する、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2016139134
(式中、Rは、水素又はメチル基である。)
The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the alkali-soluble resin has a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 2].
Figure 2016139134
(In the formula, R 2 is hydrogen or a methyl group.)
前記アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が2,000〜20,000である、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 4 whose weight average molecular weights of the said alkali-soluble resin are 2,000-20,000. 前記アルカリ可溶性樹脂が、下記[化3]で示される繰り返し単位を有する、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、
は、下記[化4]の単量体に由来する構造であり、
Figure 2016139134
は、(メタ)アクリル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタレート、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルフタレート、及び2−(メタ)アクリロイルオキシエチルスクシネートからなる群から選択される単量体に由来する構造であり、
a=40〜95mol%、b=5〜60mol%である。)
The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the alkali-soluble resin has a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 3].
Figure 2016139134
(Wherein R 3 and R 4 are each independently hydrogen or a methyl group,
R 5 is a structure derived from the monomer of the following [Chemical Formula 4],
Figure 2016139134
R 6 is (meth) acrylic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinate, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalate, 2- (meth) acryloyloxyethyl phthalate, and 2- (meth) A structure derived from a monomer selected from the group consisting of acryloyloxyethyl succinate,
It is a = 40-95 mol% and b = 5-60 mol%. )
前記アルカリ可溶性樹脂が、下記[化5]で示される繰り返し単位を有する、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2016139134
(式中、R及びRは、互いに独立して、水素又はメチル基であり、c=40〜95mol%、d=5〜60mol%である。)
The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the alkali-soluble resin has a repeating unit represented by the following [Chemical Formula 5].
Figure 2016139134
(In the formula, R 6 and R 7 are each independently hydrogen or a methyl group, and c = 40 to 95 mol% and d = 5 to 60 mol%.)
前記アルカリ可溶性樹脂が、固形分を基準とし、感光性樹脂組成物の全100質量部に対して15〜80質量部の量で含まれる、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to claim 4, wherein the alkali-soluble resin is contained in an amount of 15 to 80 parts by mass with respect to a total of 100 parts by mass of the photosensitive resin composition based on the solid content. 前記重合性化合物が、固形分を基準とし、感光性樹脂組成物の全100質量部に対して15〜80質量部の量で含まれる、請求項4に記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 4 in which the said polymeric compound is contained in the quantity of 15-80 mass parts with respect to 100 mass parts of the whole photosensitive resin composition on the basis of solid content. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物から形成される、硬化膜。   The cured film formed from the photosensitive resin composition as described in any one of Claims 1-10. 請求項11に記載の硬化膜を含む、画像表示装置。   An image display device comprising the cured film according to claim 11.
JP2016010680A 2015-01-26 2016-01-22 Photosensitive resin composition, cured film formed from the photosensitive resin composition, and image display device comprising the cured film Pending JP2016139134A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2015-0012009 2015-01-26
KR1020150012009A KR20160091648A (en) 2015-01-26 2015-01-26 Photosensitive resin comopsition, cured film formed from the same and image display comprising the cured film

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2016139134A true JP2016139134A (en) 2016-08-04

Family

ID=56514682

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016010680A Pending JP2016139134A (en) 2015-01-26 2016-01-22 Photosensitive resin composition, cured film formed from the photosensitive resin composition, and image display device comprising the cured film

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2016139134A (en)
KR (1) KR20160091648A (en)
CN (1) CN105824193B (en)
TW (1) TW201627761A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110119068A (en) * 2018-02-06 2019-08-13 东友精细化工有限公司 Positive type photosensitive organic compound, insulating film and image display device

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101897937B1 (en) * 2017-01-20 2018-09-12 동우 화인켐 주식회사 A photo sensitive resin composition, a color filter comprising a black metrics, a column spacer or black column spacer prepared by using the composition, and a display devide comprising the color filter
TWI741223B (en) * 2017-10-20 2021-10-01 南韓商東友精細化工有限公司 A pigment dispersion, a photo sensitive resin composition comprising the pigment dispersion, a pattern layer prepared by using the composition, a color filter comprising the pattern layer, and a display device comprising the color filter
KR20190087173A (en) * 2018-01-16 2019-07-24 동우 화인켐 주식회사 Negative-type Photosensitive Resin Composition
CN110531583B (en) * 2019-09-14 2023-09-29 浙江福斯特新材料研究院有限公司 Photosensitive resin composition and dry film resist

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5944615B2 (en) 1976-02-16 1984-10-31 富士写真フイルム株式会社 Photosensitive resin composition and metal image forming material using the same
JP2008276192A (en) * 2007-03-30 2008-11-13 Fujifilm Corp Composition for colored pattern formation, colored pattern forming method, method for manufacturing color filter, color filter, and liquid crystal display device
JP4726868B2 (en) * 2007-08-01 2011-07-20 株式会社Adeka Alkali-developable photosensitive resin composition
CN101852989A (en) * 2009-03-31 2010-10-06 富士胶片株式会社 Photosensitive coloring composition, color filter and autofrettage thereof and liquid crystal indicator
US9914687B2 (en) * 2013-03-29 2018-03-13 Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. Composition containing vinyl-group-containing compound
KR101391224B1 (en) * 2013-05-28 2014-05-02 동우 화인켐 주식회사 Photosensitive resin composition for spacer and spacer manufactured by the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110119068A (en) * 2018-02-06 2019-08-13 东友精细化工有限公司 Positive type photosensitive organic compound, insulating film and image display device
CN110119068B (en) * 2018-02-06 2023-03-24 东友精细化工有限公司 Positive photosensitive resin composition, insulating film, and image display device

Also Published As

Publication number Publication date
CN105824193A (en) 2016-08-03
KR20160091648A (en) 2016-08-03
CN105824193B (en) 2019-10-25
TW201627761A (en) 2016-08-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6587436B2 (en) Photosensitive resin composition
JP6608296B2 (en) Negative photosensitive resin composition, photocuring pattern formed using the same, and image display device
JP6634291B2 (en) Photosensitive resin composition, photocurable pattern formed therefrom, and image display device having the same
JP6633382B2 (en) Photosensitive resin composition, photocurable pattern formed therefrom, and image display device having the same
JP2016139134A (en) Photosensitive resin composition, cured film formed from the photosensitive resin composition, and image display device comprising the cured film
KR101813911B1 (en) Negative-type photosensitive resin comopsition
JP6591306B2 (en) Negative photosensitive resin composition, photocuring pattern formed using the same, and image display device
JP4501665B2 (en) Photosensitive resin composition
KR20160029339A (en) Photosensitive resin comopsition
JP6557132B2 (en) Photosensitive resin composition, photocuring pattern formed therefrom, and image display device including the same
KR20170018679A (en) Negative-type photosensitive resin comopsition
KR102157642B1 (en) Photosensitive resin comopsition, photocurable pattern formed from the same and image display comprising the pattern
JP2019510992A (en) Low temperature curable negative photosensitive composition
JP5945296B2 (en) Photosensitive resin composition for spacer formation and spacer produced therefrom
KR20160020300A (en) Negative-type photosensitive resin comopsition
KR20160095763A (en) Photosensitive resin comopsition, photocurable pattern formed from the same and image display comprising the pattern
JP6557054B2 (en) Method for forming photocuring pattern
KR101592849B1 (en) Negative-type photosensitive resin comopsition
KR102120973B1 (en) Photosensitive resin comopsition
JP2016009188A (en) Method for forming photoresist pattern
KR20170077458A (en) Photosensitive resin comopsition and photocurable pattern forming by the same
KR20160061633A (en) Photosensitive resin comopsition
KR20150109939A (en) Photosensitive resin comopsition
KR102046421B1 (en) Photosensitive resin comopsition and photocurable pattern forming by the same
JP2016126320A (en) Photosensitive resin composition for forming spacer and spacer produced therefrom