JP2016080493A - Fine structure measuring probe, and fine structure measuring device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微細構造測定用プローブおよびその微細構造測定用プローブを使用する微細構造測定装置に関し、特に微細構造測定用プローブの構造の改良に関する。 The present invention relates to a fine structure measurement probe and a fine structure measurement apparatus using the fine structure measurement probe, and more particularly to improvement of the structure of the fine structure measurement probe.
一般的な光学顕微鏡は、測定対象に対し、非接触、非破壊で微細な部位の観察が行なえる。さらに分光分析器等を併用することにより、測定対象の成分分析を行うことも可能であることから、光学顕微鏡は各種の分野で応用されている。
しかし、一般的な光学顕微鏡を使用するだけでは、光の波長よりも小さな分解能で物体を視察することはできない。
A general optical microscope can observe a non-contact, non-destructive and minute part with respect to a measurement object. Furthermore, since a component to be measured can be analyzed by using a spectroscopic analyzer or the like together, an optical microscope is applied in various fields.
However, an object cannot be inspected with a resolution smaller than the wavelength of light only by using a general optical microscope.
他方で、電子顕微鏡は上記光学顕微鏡よりも分解能を大きく向上させることができるものの、電子線の光路上に大気、あるいは溶媒等が存在すると、それらの媒体によって電子が散乱し、その観測精度は極端に下がる。
そのため、電子顕微鏡は、特に生体試料を扱う分野において、必ずしも満足のゆく精度で観測することができるものではなかった。
On the other hand, although the electron microscope can greatly improve the resolution compared with the above-mentioned optical microscope, if the atmosphere or solvent exists in the optical path of the electron beam, electrons are scattered by those media, and the observation accuracy is extremely high. Go down.
Therefore, the electron microscope cannot be observed with satisfactory accuracy, particularly in the field of handling biological samples.
近年、それら光学顕微鏡や電子顕微鏡とは異なる原理に基づく近接場光学顕微鏡や原子間力顕微鏡が、微細構造測定装置として開発され、その応用が期待されている。そこで、微細構造測定の方法について近接場光学顕微鏡を例に説明する。
まず近接場光とは、全反射の条件で対象の表面に光を照射した場合や、光の波長よりも小さな径を有する対象に光を照射した場合に、その対象から対象の内部に向けて、もしくはその対象から対象の外部に向けて滲み出す光（エネルギー）の場の総称である。
近接場光学顕微鏡は、その近接場光と試料測定面の間の相互作用の結果生じる光を、検出光として集光し、その検出光を定量的に分析することによって、測定対象の表面の微細な形状の測定や、測定対象の表面の組成の評価等、測定対象の微細構造の測定を可能にしている。
In recent years, near-field optical microscopes and atomic force microscopes based on principles different from those of optical microscopes and electron microscopes have been developed as fine structure measuring apparatuses, and their applications are expected. Therefore, a method for measuring the fine structure will be described using a near-field optical microscope as an example.
First, near-field light refers to the direction from the target to the inside of the target when light is irradiated on the surface of the target under conditions of total reflection or when light is irradiated to a target having a diameter smaller than the wavelength of the light. Or, it is a general term for the field of light (energy) that oozes out from the object toward the outside of the object.
The near-field optical microscope collects the light generated as a result of the interaction between the near-field light and the sample measurement surface as detection light, and quantitatively analyzes the detection light to finely measure the surface of the object to be measured. Measurement of the fine structure of the measurement object such as measurement of a simple shape and evaluation of the composition of the surface of the measurement object.
ここで、その近接場光学顕微鏡で使用されるプローブは、開口型と散乱型の２つに分けられる。
前者は先端に光の波長よりも小さな径の微小開口や、光の波長よりも小さな径の先鋭部を設けた光ファイバーをプローブとして利用するものであり、後者は先端部を先鋭化した金属製の針をプローブとして利用するものである。
特に、近年の近接場光学顕微鏡の開発分野においては、前者の開口型のプローブを利用する装置の改良が行われてきた。
Here, the probes used in the near-field optical microscope are classified into an aperture type and a scattering type.
The former uses as a probe an optical fiber provided with a small aperture having a diameter smaller than the wavelength of light and a sharpened portion having a diameter smaller than the wavelength of light at the tip, and the latter is made of a metal having a sharpened tip. A needle is used as a probe.
In particular, in the field of development of recent near-field optical microscopes, improvements have been made to devices that use the former aperture-type probe.
その光ファイバーの先端の加工に関する代表的な技術としては、例えば特許文献１の図３に示されているような、先端部２２を金属膜６４で覆う（マスクする）ことによって微小開口６２を形成するものや、特許文献２の図６に示されているように、クラッド部１１４に対してコア部１１２の溶解速度が異なるように調整した複数のフッ酸緩衝液を使って、それらクラッド部１１４に対してコア部１１２を段階的に浸していき、３段テーパ型の先鋭部１１６を形成する方法が知られている。
そして、それら特許文献１および２に記載されているような技術等を適宣使用して、光ファイバーの先端に励起光の波長よりも短い径を持つ微小開口を形成し、その光ファイバーを開口型の近接場プローブとして利用する。
As a typical technique related to the processing of the tip of the optical fiber, the minute opening 62 is formed by covering (masking) the tip 22 with a metal film 64 as shown in FIG. As shown in FIG. 6 of Patent Document 2, a plurality of hydrofluoric acid buffer solutions adjusted so that the dissolution rate of the core portion 112 is different from the cladding portion 114 are used for the cladding portions 114. On the other hand, a method is known in which the core portion 112 is immersed stepwise to form a sharpened portion 116 of a three-step taper type.
Then, using the techniques described in Patent Documents 1 and 2 as appropriate, a minute aperture having a diameter shorter than the wavelength of the excitation light is formed at the tip of the optical fiber, and the optical fiber is an aperture type. Use as a near-field probe.
他方で、そのような開口型のプローブを用いた近接場測定として、イルミネーション‐コレクションモード、イルミネーションモード、およびコレクションモード、の３つの方法が知られており、それらの各種測定について、微小開口を先端に設けた光ファイバーを用いて説明する。
イルミネーション‐コレクションモードでは、まず微小開口に励起光を導入することによって、その開口の近傍に励起光波長と同程度の大きさの近接場光を生起させる。
次いで、その近接場光近傍に試料測定面を近づけていき、近接場光と試料測定面の間の距離が数十ｎｍまで近接した段階で、試料測定面によって散乱される光が発生するようになる。
その後、その散乱される光を検出光として、微小開口を通して集光し、集光した検出光が励起光に対して、どの程度波長シフトしているか等、光の物理的な変化を解析することによって、試料表面の組成を明らかにすることが出来る。
On the other hand, three methods of illumination-collection mode, illumination mode, and collection mode are known as near-field measurement using such an aperture-type probe. A description will be given using an optical fiber provided in FIG.
In the illumination-collection mode, first, excitation light is introduced into a minute aperture, thereby generating near-field light having a magnitude similar to the wavelength of the excitation light in the vicinity of the aperture.
Next, the sample measurement surface is brought close to the near-field light, and light scattered by the sample measurement surface is generated when the distance between the near-field light and the sample measurement surface is close to several tens of nanometers. Become.
Then, the scattered light is collected as detection light, collected through a microscopic aperture, and physical changes in light, such as how much wavelength the collected detection light is shifted with respect to excitation light, are analyzed. Thus, the composition of the sample surface can be clarified.
イルミネーションモードでは、上記イルミネーション‐コレクションモードと同様に、プローブの微小開口近傍に近接場光を生起した状態で、その近接場光と試料測定面の間を近づけていく。
それによって、近接場光と微小開口の間の距離が数十ｎｍまで近接した段階で、その試料測定面によって散乱される光の一部が、試料測定面を介して試料内を透過するようになる。
このイルミネーションモードでは、その試料内を透過する散乱光を検出光として集光する。
In the illumination mode, as in the illumination-collection mode, the near-field light and the sample measurement surface are brought closer to each other with the near-field light generated in the vicinity of the minute aperture of the probe.
As a result, when the distance between the near-field light and the microscopic aperture is close to several tens of nanometers, a part of the light scattered by the sample measurement surface is transmitted through the sample through the sample measurement surface. Become.
In this illumination mode, the scattered light transmitted through the sample is collected as detection light.
コレクションモードでは、上述した励起光を試料測定面に対して（全反射の条件を満たす角度で）照射することによって、その試料測定面の近傍に近接場光を生起させる。
その近接場光近傍にプローブの微小開口を近づけていき、近接場光と微小開口の間の距離が数十ｎｍまで近接した段階で、その微小開口によって散乱される近接場光の一部が、その微小開口を介して光ファイバー内を透過するようになる。
このコレクションモードでは、その光ファイバー内を透過する散乱光を検出光として集光する。
In the collection mode, near-field light is generated in the vicinity of the sample measurement surface by irradiating the above-described excitation light to the sample measurement surface (at an angle satisfying the condition of total reflection).
When the microscopic aperture of the probe is brought close to the near-field light and the distance between the near-field light and the microscopic aperture approaches several tens of nanometers, a part of the near-field light scattered by the microscopic aperture is The light passes through the optical fiber through the minute aperture.
In this collection mode, the scattered light transmitted through the optical fiber is collected as detection light.
以上が、開口型のプローブを使用する近接場測定方法であり、近接場光学顕微鏡では、それらの各種の測定方法によって得られる検出光と励起光との間で、物理的な変化量を分析することにより、測定試料表面の微細な組成評価を可能としている。 The above is a near-field measurement method using an aperture type probe, and a near-field optical microscope analyzes a physical change amount between detection light and excitation light obtained by these various measurement methods. This makes it possible to evaluate the fine composition of the surface of the measurement sample.
他方で、上述の近接場測定のように、プローブを用いて測定試料表面の微細な構造の測定を行う場合、プローブ先端と試料測定面の間を数十ｎｍ程度まで近接させる必要がある。
この近接時は、プローブ先端と試料測定面の距離が一定値以上、近づかないようその距離を制御できなければ、プローブ先端は測定試料表面に接触し、微小開口の破砕や、試料表面の損傷を招くことになる。
そのため、特に現在の近接場光学顕微鏡等、測定試料表面の微細構造を測定する装置の開発分野では、プローブ先端と試料表面の間の距離が数十ｎｍ以下になった段階で働くシアフォースを利用し、プローブ先端と試料表面の間隔を制御する技術の開発が積極的に行なわれている。
それに関連する技術として、特許文献１や特許文献３が知られている。
On the other hand, when the fine structure of the measurement sample surface is measured using the probe as in the above-described near-field measurement, it is necessary to bring the probe tip and the sample measurement surface close to about several tens of nanometers.
At this time, if the distance between the probe tip and the sample measurement surface cannot be controlled so that the distance between the probe tip and the sample measurement surface does not get close, the probe tip contacts the measurement sample surface, causing damage to the sample surface. Will be invited.
Therefore, especially in the field of development of devices that measure the fine structure of the measurement sample surface, such as current near-field optical microscopes, use shear force that works when the distance between the probe tip and the sample surface is several tens of nanometers or less. However, development of a technique for controlling the distance between the probe tip and the sample surface has been actively carried out.
Patent documents 1 and 3 are known as related techniques.
特許文献１の図２においては、ピエゾ素子からなる加振器３０をプローブ２０に取り付け、その加振器３０をプローブ２０の共振周波数で振動させている。それによってプローブ２０は共振を始め、プローブ２０の先端２２もその共振周期・振幅で振動する。
その共振状態の先端２２に対して、試料１４を近接させていくことによって、先端２２には徐々にシアフォースが働き始め、先端２２の振動振幅は減少する。その先端２２の振動振幅の減少量が常に所定の値になるように、先端２２と試料１４の間の距離を調整させることで、その距離を一定に保つよう制御が行われている。
In FIG. 2 of Patent Document 1, a vibrator 30 composed of a piezoelectric element is attached to the probe 20, and the vibrator 30 is vibrated at the resonance frequency of the probe 20. Accordingly, the probe 20 starts to resonate, and the tip 22 of the probe 20 also vibrates with the resonance period and amplitude.
By bringing the sample 14 close to the tip 22 in the resonance state, shear force gradually starts to act on the tip 22 and the vibration amplitude of the tip 22 decreases. Control is performed to keep the distance constant by adjusting the distance between the tip 22 and the sample 14 so that the amount of decrease in the vibration amplitude of the tip 22 is always a predetermined value.
また、特許文献３の図１においては、音叉型の水晶振動子１０の一方の振動体１２の側面に、その振動体１２が延出する方向に平行に光ファイバー１５を取付け、かつ光ファイバー１５の共振周波数で、もう一方の振動体１１を振動させる。
それによって、振動体１２はその共振周波数で共振を始め、その振動体１２の共振に基づき、光ファイバー１５は共振する。
その後は、上記特許文献１と同様に光ファイバー１５の先端に試料２０を近接させていき、光ファイバー１５の先端の共振振幅の減少量が所定の値になった所で、距離の調整を終了させている。
上記従来の技術においては、シアフォースの働きによって減少する光ファイバーの振動振幅を、適宣捕捉し、かつそのシアフォース環境下において共振周波数を一定に保つよう、光ファイバーと試料表面間の距離の位置を制御することによって、光ファイバーと試料表面の間の距離を一定に保つよう制御されている。
そして、それらプローブ先端と試料表面の間の距離を一定に保ちつつ、試料表面を光ファイバーで走査することによって、試料表面の凹凸形状を測定することも出来る。
In FIG. 1 of Patent Document 3, an optical fiber 15 is attached to the side surface of one vibrating body 12 of a tuning-fork type crystal resonator 10 in parallel with the extending direction of the vibrating body 12, and the optical fiber 15 is resonated. The other vibrator 11 is vibrated at the frequency.
Thereby, the vibrating body 12 starts to resonate at the resonance frequency, and the optical fiber 15 resonates based on the resonance of the vibrating body 12.
After that, the sample 20 is brought close to the tip of the optical fiber 15 in the same manner as in Patent Document 1 above, and the adjustment of the distance is finished when the amount of decrease in the resonance amplitude at the tip of the optical fiber 15 reaches a predetermined value. Yes.
In the above conventional technique, the position of the distance between the optical fiber and the sample surface is set so that the vibration amplitude of the optical fiber, which is reduced by the action of the shear force, is properly captured and the resonance frequency is kept constant in the shear force environment. By controlling, the distance between the optical fiber and the sample surface is controlled to be constant.
And the uneven | corrugated shape of a sample surface can also be measured by scanning the sample surface with an optical fiber, keeping the distance between these probe tips and the sample surface constant.
上述の近接場光学顕微鏡のように、プローブを用いて測定試料表面の微細構造の測定を行う装置の開発分野では、プローブ先端と試料表面の距離を所定の値に保つ、プローブ位置制御技術の開発が積極的に行われている。しかしながら、同分野では未だ以下に示す課題が残されたままである。
それは、プローブ先端と試料表面との間の位置制御、およびそれらの間に働くシアフォースの検出を行うだけであれば、上記近接場測定用の光ファイバー以外にも、先端形状を加工していない通常の光ファイバーや、球状プリズム等、一般的な光学素子を端部に取り付けたプローブを使用することが原理的には可能とされている。
しかし、従来は、上記のようにプローブに取り付けた光ファイバーや光学部材に応じた共振周期の把握、およびその光ファイバーの共振制御を正確に行う必要があり、これまでは様々な光学素子を用いたプローブの開発は積極的には行われておらず、汎用性が低かった。
In the field of development of devices that measure the fine structure of the sample surface using a probe, such as the near-field optical microscope described above, development of probe position control technology that maintains the distance between the probe tip and the sample surface at a predetermined value Has been actively conducted. However, the following issues remain in this field.
If the position control between the probe tip and the sample surface and the detection of the shear force acting between them are only performed, the tip shape is not processed other than the optical fiber for near-field measurement. In principle, it is possible to use a probe in which a general optical element such as an optical fiber or a spherical prism is attached to the end.
However, conventionally, it is necessary to accurately grasp the resonance period according to the optical fiber or optical member attached to the probe as described above, and to accurately control the resonance of the optical fiber. Until now, probes using various optical elements have been used. The development of was not actively carried out and its versatility was low.
加えて、近接場測定プローブに関しても、先端に取り付ける光ファイバーは消耗品であるため、新品の光ファイバーに取り換える都度、使用者は共振周期の把握や、正確な共振制御の調整を行わなければならず、それらの工程が不要な微細構造測定用のプローブの開発、およびそのプローブを使用する微細構造測定装置の開発も同時に望まれている。
すなわち、本発明は上記従来技術の課題に鑑みなされたものであり、その目的は、光学部材の共振周期の把握や正確な共振制御の調整を行う必要のない、微細構造測定用プローブを提供すること、およびその微細構造測定用プローブを利用する微細構造測定装置を提供することにある。
In addition, for the near-field measurement probe, since the optical fiber attached to the tip is a consumable item, each time a new optical fiber is replaced, the user must grasp the resonance period and adjust the resonance control accurately. The development of a fine structure measurement probe that does not require these processes and the development of a fine structure measurement apparatus using the probe are also desired.
That is, the present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and an object of the present invention is to provide a microstructure measurement probe that does not require grasping of the resonance period of an optical member and accurate adjustment of resonance control. And providing a fine structure measuring apparatus using the fine structure measuring probe.
本発明者らが前記課題について鋭意検討を重ねた結果、微細構造測定用プローブの音叉型振動部材の振動腕と光学部材とが一体となって振動する新規な微細構造測定用プローブの製造に成功し、本発明を完成するに至った。
さらに、本発明の微細構造測定用プローブの音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面は、試料ステージに対して平行に設置することにした。それによって、音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面が試料ステージに対して垂直となるよう設置されている上記特許文献３に比べて、小さなワークスペースで測定試料表面の微細構造の測定を行うことが出来る。
As a result of intensive studies on the above problems, the inventors have succeeded in producing a novel fine structure measurement probe in which the vibration arm of the tuning fork type vibration member of the fine structure measurement probe and the optical member vibrate together. Thus, the present invention has been completed.
Furthermore, the surface formed by the base of the tuning-fork type vibrating member and the two vibrating arms of the fine structure measuring probe of the present invention is arranged in parallel to the sample stage. As a result, the surface of the measurement sample surface can be measured in a smaller work space than the above-mentioned Patent Document 3 in which the surface formed by the base of the tuning fork type vibration member and the two vibration arms is perpendicular to the sample stage. Fine structure can be measured.
すなわち、本発明に関する微細構造測定用プローブ（１０）は、
試料に対して接触又は非接触の測定部としての光学部材（１２）と、
基体（１６）および該基体（１６）から延出する二本の振動腕（１８ａ，１８ｂ）からなる音叉型振動部材（１４）と、を備え、
前記光学部材（１２）は、前記二本の振動腕（１８ａ，１８ｂ）のうち、どちらか一方の振動腕の先端部分に保持され、前記光学部材と該振動腕とは一体になって振動することを特徴とする。
That is, the microstructure measurement probe (10) according to the present invention is:
An optical member (12) as a measurement unit that is in contact or non-contact with the sample;
A tuning fork type vibration member (14) comprising a base (16) and two vibrating arms (18a, 18b) extending from the base (16),
The optical member (12) is held at the tip of one of the two vibrating arms (18a, 18b), and the optical member and the vibrating arm vibrate together. It is characterized by that.
また、前記光学部材は、前記音叉型振動部材（１４）の基体（１６）および二本の振動腕（１８ａ，１８ｂ）によって形成される面に対し、該光学部材の中心軸が交わる状態で、該振動腕の側面に固定される。
そして、前記音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面は、該音叉型振動部材の下方に設置される試料載置用のステージに対して、平行であり、
前記光学部材の一部は、該光学部材が取り付けられる振動腕の底面よりも、前記ステージ側に突出し、
該光学部材の突出部分の先端部が、試料測定面からシアフォースの影響を受けることにより、前記光学部材の取り付けられている振動腕の振動は、該影響に従って変化する。
The optical member is in a state where the central axis of the optical member intersects the surface formed by the base (16) and the two vibrating arms (18a, 18b) of the tuning fork type vibrating member (14). It is fixed to the side surface of the vibrating arm.
And the surface formed by the base of the tuning fork type vibrating member and the two vibrating arms is parallel to the stage for placing the sample installed below the tuning fork type vibrating member,
A part of the optical member protrudes to the stage side from the bottom surface of the vibrating arm to which the optical member is attached,
When the tip of the protruding portion of the optical member is affected by shear force from the sample measurement surface, the vibration of the vibrating arm to which the optical member is attached changes according to the influence.
前記光学部材は、光ファイバー、偏波保存型光ファイバー、光の波長よりも小さな径の微小開口を先端に設けた光ファイバー、光の波長よりも小さな径の先鋭部を先端に設けた光ファイバー、三角錐状プリズム、球状プリズム、半球状プリズム、ATRプリズム、及び、先鋭された先端をもつ金属製の針のうちから選ばれる1つである。 The optical member is an optical fiber, a polarization-maintaining optical fiber, an optical fiber provided with a microscopic aperture having a diameter smaller than the wavelength of light, an optical fiber provided with a sharp tip having a diameter smaller than the wavelength of light, and a triangular pyramid shape. One selected from a prism, a spherical prism, a hemispherical prism, an ATR prism, and a metallic needle having a sharpened tip.
また、本発明の微細構造測定用顕微測定装置は、
光学部材（１１２）および音叉型振動部材（１１４）からなる微細構造測定用プローブ（１１０）と、
前記微細構造測定用プローブの下方に位置する測定試料（１２０）の載置用のステージ（１３０）と、
前記ステージ（１３０）の移動を制御するステージ位置制御手段（１４０）と、
前記音叉型振動部材（１１４）の振動腕を加振する加振手段（１５０）と、
前記音叉型振動部材（１１４）の振動腕の振動振幅を計測する検出手段（１６０）と、
前記検出手段によって得られる検出情報を解析するためのコンピュータ（１７０）と、
前記微細構造測定用プローブを支持するアーム（１９０）と、を備え、
前記加振手段によって前記振動腕に取り付けられた前記光学部材を該振動腕と一体に振動させ、該光学部材と前記測定試料との間に生じる力の影響を、前記検出手段で検出し、前記光学部材と前記測定試料表面の間の位置制御を行うことを特徴とする。
Further, the microscopic measurement apparatus for fine structure measurement of the present invention is
A microstructure measurement probe (110) comprising an optical member (112) and a tuning-fork type vibration member (114);
A stage (130) for placing a measurement sample (120) located below the probe for measuring a fine structure;
Stage position control means (140) for controlling the movement of the stage (130);
Vibration means (150) for vibrating the vibrating arm of the tuning fork type vibration member (114);
Detecting means (160) for measuring the vibration amplitude of the vibrating arm of the tuning fork type vibrating member (114);
A computer (170) for analyzing detection information obtained by the detection means;
An arm (190) for supporting the microstructure measurement probe,
The optical member attached to the vibrating arm by the vibrating means is vibrated integrally with the vibrating arm, the influence of the force generated between the optical member and the measurement sample is detected by the detecting means, Position control between the optical member and the measurement sample surface is performed.
さらに、前記微細構造測定装置において、
可視光を出射する可視光源（２００）と、
前記可視光を、下方にある対象物に集光する対物レンズ（２１０）と、
前記対象物によって反射した可視光を、前記対物レンズを介して検出する可視光検出手段（２２０）と、を備えている。
また、前記アーム（１９０）は、
前記微細構造測定用プローブ（１１０）を支持するプローブ支持端部（１９２）と、
対物レンズ（２１０）が有するねじ部分（２１２）の形状、または前記対物レンズの側周面（２１４）に適合する形状を有する対物レンズ接合端部（１９４）と、
前記微細構造測定用プローブ（１１０）と前記対物レンズ（２１０）の相対的な位置関係を調整するプローブ位置調整部（１９６）と、を備えている。
Furthermore, in the fine structure measuring apparatus,
A visible light source (200) that emits visible light;
An objective lens (210) for condensing the visible light on an object underneath,
Visible light detection means (220) for detecting visible light reflected by the object through the objective lens.
The arm (190)
A probe support end (192) for supporting the microstructure measurement probe (110);
An objective lens joint end (194) having a shape of a threaded portion (212) of the objective lens (210) or a shape conforming to a side peripheral surface (214) of the objective lens;
A probe position adjusting unit (196) for adjusting a relative positional relationship between the fine structure measuring probe (110) and the objective lens (210).
また、本発明の微細構造測定装置は、さらに、
近接場光を生起するための励起光を出射する励起光源（４３０）と、
前記近接場光と前記測定試料表面（１２２）との間で相互作用の結果生じる光を検出するための分光検出手段（４４０）と、を備え、
前記分光検出手段および前記コンピュータを使用することによって、前記近接場光と前記試料表面（１２２）とが相互作用した結果生じる光の物理特性の変化から、前記試料表面の組成評価を行う。
Moreover, the microstructure measuring apparatus of the present invention further includes:
An excitation light source (430) that emits excitation light for generating near-field light;
Spectral detection means (440) for detecting light generated as a result of interaction between the near-field light and the measurement sample surface (122),
By using the spectroscopic detection means and the computer, the composition of the sample surface is evaluated from the change in the physical properties of the light generated as a result of the interaction between the near-field light and the sample surface (122).
上述のように本発明の微細構造測定用プローブは、音叉型振動部材の基体およびその基体から延出する二本の振動腕によって形成される面に対し、光学部材の中心軸が交わる状態で取り付けられ、かつそれら光学部材と振動腕とは一体に振動する。
また、音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面は、その音叉型振動部材の下方に設置される試料ステージに対して平行であり、光学部材の一部は、該光学部材が取り付けられる振動腕の底面よりも、下方に突出している。
その光学部材の突出部分の一部が、試料測定面からのシアフォースの影響を受けることによって、光学部材の取り付けられている振動腕の振動は、そのシアフォースの影響に従って変化するため、本発明の微細構造測定装置では、シアフォースの影響を振動腕の振動から直接検出することが出来る。
As described above, the fine structure measuring probe of the present invention is attached in a state where the central axis of the optical member intersects with the surface formed by the base of the tuning fork type vibration member and the two vibration arms extending from the base. The optical member and the vibrating arm vibrate together.
In addition, the surface formed by the base of the tuning fork type vibration member and the two vibrating arms is parallel to the sample stage placed below the tuning fork type vibration member, and a part of the optical member It protrudes downward from the bottom surface of the vibrating arm to which the member is attached.
Since a part of the protruding portion of the optical member is affected by the shear force from the sample measurement surface, the vibration of the vibrating arm to which the optical member is attached changes according to the influence of the shear force. In this fine structure measuring apparatus, the influence of shear force can be directly detected from the vibration of the vibrating arm.
それによって、本発明の微細構造測定用プローブは、光学部材の共振周期の把握や、正確な共振制御の調整を行う必要がなく、またプローブに取り付ける光学部材として、先鋭された先端をもつ金属製の針、光ファイバー、偏波保存型光ファイバー、光の波長よりも小さな径の微小開口を先端に設けた光ファイバー、光の波長よりも小さな径の先鋭部を先端に設けた光ファイバー、三角錐状プリズム、球状プリズム、半球状プリズム又はATRプリズム等、を使用することが出来る。
さらに本発明の微細構造測定用プローブは、近接場測定用のプローブとして利用することも出来る。
Accordingly, the microstructure measurement probe of the present invention does not require grasping of the resonance period of the optical member and accurate adjustment of resonance control, and is made of a metal having a sharp tip as an optical member attached to the probe. Needle, optical fiber, polarization-maintaining optical fiber, optical fiber with a small aperture smaller in diameter than the light wavelength, optical fiber with a sharp tip smaller in diameter than the light wavelength, triangular pyramid prism, A spherical prism, a hemispherical prism, an ATR prism, or the like can be used.
Furthermore, the fine structure measurement probe of the present invention can also be used as a near-field measurement probe.
以下、微小開口を先端に設けた光ファイバーを光学部材として使用する微細構造測定用プローブ１０を、本発明の第一実施形態として具体的に説明する。
第一実施形態
＜微細構造測定用プローブ＞
図１および図２は本発明の微細構造測定用プローブ１０の構成を示す図であり、図１（Ａ）は微細構造測定用プローブ１０をＺ軸方向から見た上面図、図１（Ｂ）は微細構造測定用プローブ１０をＹ軸方向から見た側面図、図１（Ｃ）は微細構造測定用プローブ１０をＸ軸方向から見た側面図である。図２（Ａ）は実際の微細構造測定用プローブ１０の写真、および図２（Ｂ）は下端面１２ｂの断面図である。
図１（Ａ）〜（Ｃ）に示す微細構造測定用プローブ１０は、先端に微小開口を設けた光ファイバー１２と、音叉型振動部材１４と、を備えている。
Hereinafter, a microstructure measurement probe 10 that uses an optical fiber provided with a minute opening at the tip as an optical member will be specifically described as a first embodiment of the present invention.
First Embodiment <Microstructure Measuring Probe>
1 and 2 are views showing the configuration of the microstructure measurement probe 10 of the present invention. FIG. 1A is a top view of the microstructure measurement probe 10 viewed from the Z-axis direction, and FIG. FIG. 1C is a side view of the microstructure measurement probe 10 viewed from the Y-axis direction, and FIG. 1C is a side view of the microstructure measurement probe 10 viewed from the X-axis direction. 2A is a photograph of the actual microstructure measuring probe 10, and FIG. 2B is a cross-sectional view of the lower end surface 12b.
A fine structure measuring probe 10 shown in FIGS. 1A to 1C includes an optical fiber 12 having a fine opening at the tip and a tuning fork type vibration member 14.
図１（Ｂ）および図２（Ｂ）に示すように、光ファイバー１２は、上端面１２ａ、下端面１２ｂ、その下端面１２ｂの略中央に設けられる円錐状突起１２ｃ、および円錐状突起１２ｃの中央に設けられる微小開口１２ｄを有する。
本実施形態における微小開口１２ｄの形成には、特許文献１に記載の方法を用いて、光が透過するコア部分周辺を金属膜で覆うことによって、１００ｎｍ径をもつ微小開口１２ｄを形成した（図２（Ｂ）参照）。
上記イルミネーション‐コレクションモードによる測定を行う場合であれば、光ファイバー１２の上端面１２ａに励起光を導入することによって、微小開口１２ｄの近傍に近接場光を生じさせることができる。
As shown in FIGS. 1B and 2B, the optical fiber 12 includes an upper end surface 12a, a lower end surface 12b, a conical protrusion 12c provided substantially at the center of the lower end surface 12b, and the center of the conical protrusion 12c. Has a small opening 12d.
In forming the microscopic aperture 12d in the present embodiment, the microscopic aperture 12d having a diameter of 100 nm is formed by covering the periphery of the core portion through which light is transmitted using a method described in Patent Document 1 (FIG. 1). 2 (B)).
In the case of performing measurement in the illumination-collection mode, near-field light can be generated in the vicinity of the minute aperture 12d by introducing excitation light into the upper end surface 12a of the optical fiber 12.
図１（Ａ）に示すように音叉型振動部材１４は、基体１６と、その基体１６から延出する２つの振動腕１８ａと、振動腕１８ｂと、を備えている。
ここで、その音叉型振動部材１４は、水晶板を加工したものである。なお、本発明の音叉型振動部材１４には、市販の音叉型の水晶振動子を使用することも出来る。
そして、図１（Ａ）〜（Ｃ）に示すように本発明の微細構造測定用プローブ１０では、振動腕１８ａ、または１８ｂの先端部分の位置Ｐ１〜Ｐ６の何れかの位置において、光ファイバー１２が保持される。
As shown in FIG. 1A, the tuning fork type vibration member 14 includes a base body 16, two vibration arms 18a extending from the base body 16, and a vibration arm 18b.
Here, the tuning fork type vibration member 14 is a processed quartz plate. It should be noted that a commercially available tuning fork type crystal resonator can be used for the tuning fork type vibrating member 14 of the present invention.
As shown in FIGS. 1A to 1C, in the fine structure measurement probe 10 of the present invention, the optical fiber 12 is located at any one of the positions P1 to P6 of the tip portion of the vibrating arm 18a or 18b. Retained.
また、図２（Ａ）に示す微細構造測定用プローブ１０の写真は、光ファイバー１２を振動腕１８ａの位置Ｐ１に取り付けたものであり、図２（Ａ）の左下の写真は、その光ファイバー１２の下端面１２ｂを拡大して撮影したものである。
すなわち、本発明の光ファイバー１２の中心軸が、音叉型振動部材１４における基体１６の上面および２つの振動腕１８ａ，１８ｂの各上面によって形成される仮想面に交わるように、該光ファイバー１２を設置すればよい。この場合、光ファイバー１２の中心軸がその下方に設置される測定試料の載置用のＸＹＺステージのＸ−Ｙ平面に対して直角になるように、プローブ１０が支持される。
Also, the photograph of the microstructure measurement probe 10 shown in FIG. 2 (A) is obtained by attaching the optical fiber 12 to the position P1 of the vibrating arm 18a, and the lower left photograph of FIG. The lower end surface 12b is enlarged and photographed.
That is, the optical fiber 12 is installed so that the central axis of the optical fiber 12 of the present invention intersects the virtual surface formed by the upper surface of the base 16 and the upper surfaces of the two vibrating arms 18a and 18b in the tuning fork type vibration member 14. That's fine. In this case, the probe 10 is supported so that the central axis of the optical fiber 12 is perpendicular to the XY plane of the XYZ stage for mounting the measurement sample placed below the optical fiber 12.
また、光ファイバー１２の側周面の一部は、振動腕１８ａの側面にしっかりと固定され、それにより、振動腕１８ｂを振動腕１８ａの共振周波数で振動させた際に、光ファイバー１２は振動腕１８ａと一体に振動する。
なお、基体１６および２つの振動腕１８ａ、振動腕１８ｂによって形成される仮想面に対して中心軸が直角になるように、光ファイバー１２を固定してもよい。この場合、上記の仮想面がその下方に設置される測定試料の載置用のＸＹＺステージのＸ−Ｙ平面と平行になるように、プローブ１０が支持される。
図１（Ｂ），（Ｃ）に示すように光ファイバー１２の一部は、振動腕１８ａの底面よりも下方に突出している。その突出部分の一部が試料測定面のからのシアフォースの影響を受けることによって、振動腕１８ａの振動は変化する。
Further, a part of the side peripheral surface of the optical fiber 12 is firmly fixed to the side surface of the vibrating arm 18a, so that when the vibrating arm 18b is vibrated at the resonance frequency of the vibrating arm 18a, the optical fiber 12 is vibrated by the vibrating arm 18a. And vibrate together.
The optical fiber 12 may be fixed so that the central axis is perpendicular to the virtual plane formed by the base body 16 and the two vibrating arms 18a and 18b. In this case, the probe 10 is supported so that the virtual plane is parallel to the XY plane of the XYZ stage for placing the measurement sample placed below the virtual plane.
As shown in FIGS. 1B and 1C, a part of the optical fiber 12 protrudes downward from the bottom surface of the vibrating arm 18a. A part of the protruding portion is affected by shear force from the sample measurement surface, whereby the vibration of the vibrating arm 18a changes.
そして、光ファイバー１２の側周面と振動腕１８ａとの接置面の下端から、突出部分の先端に当たる微小開口１２ｄまでの長さ（つまり、光ファイバー１２の突出部分の長さ）は、振動腕の上端から下端に至る長さ（つまり、振動腕の厚さ）の２倍以下とすることが好ましく、それによって、振動腕１８ａに対して光ファイバー１２が独立して振動することを一層確実に防ぐことができる。
特に、本実施形態のような微小開口を先端に設けた光ファイバー１２の場合には、適切な音叉型振動部材１４との組合せによって、光ファイバー１２の全長を１ｍｍ以下に抑えることができる。このような全長を短縮した光ファイバーを用いることでファイバーからの余分な成分（バックグランド光）を低減することができる。
The length from the lower end of the contact surface between the side surface of the optical fiber 12 and the vibrating arm 18a to the minute opening 12d corresponding to the tip of the protruding portion (that is, the length of the protruding portion of the optical fiber 12) is the length of the vibrating arm. The length from the upper end to the lower end (that is, the thickness of the vibrating arm) is preferably not more than twice, thereby more reliably preventing the optical fiber 12 from vibrating independently with respect to the vibrating arm 18a. Can do.
In particular, in the case of the optical fiber 12 provided with a minute opening at the tip as in the present embodiment, the total length of the optical fiber 12 can be suppressed to 1 mm or less by combination with an appropriate tuning fork type vibration member 14. By using such an optical fiber with a shortened overall length, extra components (background light) from the fiber can be reduced.
本実施形態では、微小開口を設けた光ファイバー１２を微細構造測定用プローブ１０の光学部材に用いた例を説明したが、本発明ではそれ以外にも通常使用されている光ファイバーや、球状プリズムなど、各種の光学素子を微細構造測定用の光学部材として利用することができる。微細構造測定用の光学部材とは、測定試料に対する接触又は非接触式の測定部のことを指す。以下、各種の部材を微細構造測定用プローブに適用した変形例について、図３および図４を用いて説明する。 In the present embodiment, an example in which the optical fiber 12 provided with a minute aperture is used as an optical member of the microstructure measurement probe 10 has been described. However, in the present invention, an optical fiber, a spherical prism, etc. that are usually used other than that, Various optical elements can be used as optical members for fine structure measurement. The optical member for fine structure measurement refers to a contact or non-contact type measurement unit for the measurement sample. Hereinafter, a modified example in which various members are applied to the microstructure measurement probe will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
＜微細構造測定用プローブの変形例＞
本発明の光学部材として、上記光の波長よりも小さな径の開口部を先端に設けた光ファイバー１２以外にも、図３（Ａ）の先鋭された先端をもつ金属製の針１２Ａ、図３（Ｂ）の市販されている光ファイバー１２Ｂ、図３（Ｃ）の偏波保存型光ファイバー１２Ｃ、図３（Ｄ）の光の波長よりも小さな径の先鋭部を先端に設けた光ファイバー１２Ｄ、図４（Ａ）の三角錐状プリズム１２Ｅ、図４（Ｂ）の半球状プリズム１２Ｆ、又は、図４（Ｃ）の球状プリズム１２Ｇを使用することが出来る。
<Modified example of probe for fine structure measurement>
As an optical member of the present invention, in addition to the optical fiber 12 having an opening having a diameter smaller than the wavelength of the light at the tip, a metal needle 12A having a sharp tip in FIG. B) a commercially available optical fiber 12B, a polarization-maintaining optical fiber 12C in FIG. 3C, an optical fiber 12D provided with a sharpened tip having a diameter smaller than the wavelength of the light in FIG. The triangular pyramid prism 12E of A), the hemispherical prism 12F of FIG. 4B, or the spherical prism 12G of FIG. 4C can be used.
上記光ファイバー１２と同様に、それら各光学部材１２Ａ〜１２Ｇを振動腕１８ａの側面にしっかりと固定しておき、振動腕１８ｂを振動腕１８ａの共振周波数で振動させることで、各光学部材１２Ａ〜１２Ｇは振動腕１８ａと一体になって振動する。図中には、網目状のハッチングによって、振動腕に光学部材を固定するための固定部材を示した。
更に、図３および図４に示しているように各光学部材の一部は、振動腕１８ａよりも下方に突出している。試料測定面をその突出部分の一部に近接させていくことによって、光学部材は試料測定面からシアフォースを受ける。そのシアフォースの影響により変化した振動腕１８ａの振動を解析することによって、光学部材の先端と試料測定面との間の距離を明らかにすることが出来る。
そのため、上記の各種の光学素子を微細構造測定用の光学部材に用いることができる。なお、本発明の微細構造測定に用いる光学部材は、光学部材１２Ａ〜１２Ｇに限られず、ATRプリズム等の光学素子や、シアフォースの影響を受けやすい素材からなる光学素子を使用することも出来る。
Similar to the optical fiber 12, each of the optical members 12A to 12G is firmly fixed to the side surface of the vibrating arm 18a, and the vibrating arm 18b is vibrated at the resonance frequency of the vibrating arm 18a. Vibrates integrally with the vibrating arm 18a. In the drawing, a fixing member for fixing the optical member to the vibrating arm is shown by mesh-like hatching.
Further, as shown in FIGS. 3 and 4, a part of each optical member protrudes downward from the vibrating arm 18a. By bringing the sample measurement surface close to a part of the protruding portion, the optical member receives shear force from the sample measurement surface. By analyzing the vibration of the vibrating arm 18a changed by the influence of the shear force, the distance between the tip of the optical member and the sample measurement surface can be clarified.
Therefore, the various optical elements described above can be used as an optical member for fine structure measurement. The optical member used for the fine structure measurement of the present invention is not limited to the optical members 12A to 12G, and an optical element such as an ATR prism or an optical element made of a material that is easily affected by shear force can be used.
以上が、本発明の微細構造測定用プローブであって、以下、本発明の第二実施形態として、微細構造測定用プローブを使用する微細構造測定装置１００について説明する。
第二実施形態
＜微細構造測定装置＞
ここで、図５は微細構造測定装置１００の構成を示す図であり、上記第一実施形態の微細構造測定用プローブ１０に対応する部位には符号１００を加えて示し、それらの説明を省略する。
The fine structure measurement probe of the present invention has been described above. Hereinafter, the fine structure measurement apparatus 100 using the fine structure measurement probe will be described as a second embodiment of the present invention.
Second Embodiment <Microstructure Measurement Apparatus>
Here, FIG. 5 is a diagram showing a configuration of the fine structure measuring apparatus 100, and a portion corresponding to the fine structure measuring probe 10 of the first embodiment is indicated by reference numeral 100, and description thereof is omitted. .
図５（Ａ）に示す微細構造測定装置１００は、微細構造測定用プローブ１１０と、測定試料１２０と、ＸＹＺステージ１３０と、ステージ位置制御手段１４０と、プローブ１１０を加振する加振手段１５０と、シアフォース検出手段１６０と、コンピュータ１７０と、モニター１８０と、微細構造測定用プローブ１１０を支持するアーム１９０と、可視光源２００と、対物レンズ２１０と、可視光検出手段２２０と、を備えている。 5A includes a fine structure measurement probe 110, a measurement sample 120, an XYZ stage 130, a stage position control means 140, and a vibration means 150 that vibrates the probe 110. , Shear force detection means 160, computer 170, monitor 180, arm 190 supporting fine structure measurement probe 110, visible light source 200, objective lens 210, and visible light detection means 220. .
まず、測定試料１２０は、試料表面１２２を微細構造測定用プローブ１１０に対向させた状態で、ＸＹＺステージ１３０上に載置する。その状態で、ステージ位置制御手段１４０を使用し、ＸＹＺステージ１３０の位置を移動させることにより、微細構造測定用プローブ１１０に対する試料表面１２２の位置を相対的に移動させることができる。
また、ステージ位置制御手段１４０の制御は、コンピュータ１７０に行わせるよう設定している。
First, the measurement sample 120 is placed on the XYZ stage 130 with the sample surface 122 facing the fine structure measurement probe 110. In this state, by using the stage position control means 140 and moving the position of the XYZ stage 130, the position of the sample surface 122 relative to the microstructure measurement probe 110 can be moved relatively.
The stage position control means 140 is set to be controlled by the computer 170.
加振手段１５０は、微細構造測定用プローブ１１０の音叉型振動部材１１４を加振するためのものである。例えば振動腕１１８ａに光ファイバー１１２を保持させている場合、加振手段１５０は振動腕１１８ｂに取り付ける。
そして、その加振手段１５０を使用して、振動腕１１８ｂを振動腕１１８ａの共振周波数で振動させる。それによって振動腕１１８ａは共振を始め、光ファイバー１１２はその振動腕１１８ａと一体となって振動する。
なお、本実施形態の加振手段１５０は、図５（Ｂ）に示すように振動腕１１８ｂの側面に、対向して設置する２つの圧電素子と、それら圧電素子に所定の交流周期で電流を印加する電源と、からなる。圧電素子に代えて、振動腕１１８ｂの表面に電極を形成し、周期的な電圧を振動腕１１８ｂに印加することによって、音叉型振動部材を共振させてもよい。
また、本実施形態において加振手段１５０の制御は、コンピュータ１７０に行わせるよう設定している。
The vibration means 150 is for vibrating the tuning fork type vibration member 114 of the microstructure measurement probe 110. For example, when the optical fiber 112 is held by the vibrating arm 118a, the vibration means 150 is attached to the vibrating arm 118b.
Then, the vibration arm 118b is vibrated at the resonance frequency of the vibration arm 118a using the vibration means 150. Accordingly, the vibrating arm 118a starts to resonate, and the optical fiber 112 vibrates integrally with the vibrating arm 118a.
In addition, as shown in FIG. 5B, the vibration means 150 of the present embodiment has two piezoelectric elements placed opposite to each other on the side surface of the vibrating arm 118b, and supplies a current to the piezoelectric elements at a predetermined AC cycle. And an applied power source. Instead of the piezoelectric element, an electrode may be formed on the surface of the vibrating arm 118b, and the tuning fork type vibrating member may be resonated by applying a periodic voltage to the vibrating arm 118b.
In the present embodiment, the control of the vibration means 150 is set to be performed by the computer 170.
図５（Ｂ）に示すシアフォース検出手段１６０は、振動腕１１８ａの側面に対向して設置する２つの圧電素子と、その２つの圧電素子から振動周期を検知する周波数計と、からなる。圧電素子に代えて、振動腕１１８ａの表面に電極を形成し、共振によって誘起される周期的な電圧を計測して、振動周期を検知してもよい。
なお、シアフォース検出手段１６０を使用して位置制御を行う場合、まず試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間を離間した状態で、シアフォース検出手段１６０を使用して、振動腕１１８ａの振動振幅を予め取得し、その振動振幅を参照用データとしてコンピュータ１７０等に保存しておくことが必要である。
The shear force detection means 160 shown in FIG. 5 (B) includes two piezoelectric elements that are installed facing the side surface of the vibrating arm 118a, and a frequency meter that detects a vibration cycle from the two piezoelectric elements. Instead of the piezoelectric element, an electrode may be formed on the surface of the vibrating arm 118a, and a periodic voltage induced by resonance may be measured to detect the vibration period.
When position control is performed using the shear force detection unit 160, first, the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 are separated from each other, and the shear force detection unit 160 is used to determine the vibration arm 118a. It is necessary to obtain the vibration amplitude in advance and store the vibration amplitude as reference data in the computer 170 or the like.
そして、アーム１９０は、微細構造測定用プローブ１１０を支持するプローブ支持端部１９２と、対物レンズ２１０が有するねじ部分２１２の形状、または対物レンズ２１０の側周面２１４に適合する形状を有する対物レンズ接合端部１９４と、微細構造測定用プローブ１１０と前記対物レンズ２１０の相対的な位置関係を調整するプローブ位置調整部１９６と、を備えている。
上記プローブ位置調整部１９６は、微細構造測定用プローブ１１０の位置を三次元方向に調整するためのものである。
The arm 190 has an objective lens having a shape that matches the probe support end 192 that supports the microstructure measurement probe 110 and the shape of the screw portion 212 of the objective lens 210 or the side peripheral surface 214 of the objective lens 210. A joining end 194 and a probe position adjusting unit 196 that adjusts the relative positional relationship between the fine structure measuring probe 110 and the objective lens 210 are provided.
The probe position adjusting unit 196 is for adjusting the position of the fine structure measuring probe 110 in a three-dimensional direction.
可視光源２００は、光ファイバー１１２や試料表面１２２を顕微測定するための可視光を出射するものである。
対物レンズ２１０は、可視光を測定試料１２０または光ファイバー１１２に集光すると共に、その測定試料または光ファイバー１１２によって反射した可視光を可視光検出手段２２０へ向けて集光するものである。なお、本発明では、測定試料１２０や光ファイバー１１２など、対物レンズの焦点を合わせる対象のことを、対象物と呼ぶ。
可視光検出手段２２０は、対象物によって反射した可視光を検出し、可視検出信号としてコンピュータ１７０へ送信する。
The visible light source 200 emits visible light for microscopically measuring the optical fiber 112 and the sample surface 122.
The objective lens 210 condenses the visible light on the measurement sample 120 or the optical fiber 112 and condenses the visible light reflected by the measurement sample or the optical fiber 112 toward the visible light detection means 220. In the present invention, an object on which the objective lens is focused, such as the measurement sample 120 or the optical fiber 112, is referred to as an object.
The visible light detection means 220 detects visible light reflected by the object and transmits it to the computer 170 as a visible detection signal.
そして、コンピュータ１７０はシアフォース検出手段１６０から送信される振動腕１１８ａの振動振幅と、参照用に保存された振動振幅とを比較することによって、微細構造測定用プローブ１１０と、試料表面１２２の間の距離を演算する。
また、コンピュータ１７０は上記各手段の制御、および微細構造測定用プローブ１１０と、試料表面１２２の間の距離の演算に加えて、可視光検出手段２２０から送信される可視検出信号を解析し、モニター１９０上に対象物の顕微測定画像を表示させる。
Then, the computer 170 compares the vibration amplitude of the vibration arm 118 a transmitted from the shear force detection means 160 with the vibration amplitude stored for reference, so that the fine structure measurement probe 110 and the sample surface 122 are connected. Calculate the distance.
Further, the computer 170 analyzes the visible detection signal transmitted from the visible light detection means 220 in addition to the control of the above means and the calculation of the distance between the fine structure measurement probe 110 and the sample surface 122, and the monitor 170 A microscopic measurement image of the object is displayed on 190.
本実施形態の微細構造測定装置１００は以上のように構成され、以下にその作用を説明する。
（１）位置制御とシアフォース検出
微細構造測定装置１００の特徴点は、微細構造測定用プローブ１１０の位置制御および、シアフォース検出にある。
まず、予め試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０とが離間している状態で、加振手段１５０を使用し、振動腕１１８ｂを振動腕１１８ａの共振周期で振動させる。その状態での振動腕１１８ａの振動振幅を、シアフォース検出手段１６０を使用し、参照用の振動振幅の情報として保存しておく。
The fine structure measuring apparatus 100 of the present embodiment is configured as described above, and the operation thereof will be described below.
(1) Position Control and Shear Force Detection The feature points of the fine structure measuring apparatus 100 are the position control of the fine structure measuring probe 110 and the shear force detection.
First, with the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 being separated from each other in advance, the vibrating means 118 is used to vibrate the vibrating arm 118b at the resonance period of the vibrating arm 118a. The vibration amplitude of the vibrating arm 118a in this state is stored as reference vibration amplitude information using the shear force detection means 160.
つづいて、ステージ位置制御手段１４０を使用し、ＸＹＺステージ１３０の位置を移動させ、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０を近接させていく。
その後、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の距離が数十ｎｍまで近接した段階で、微細構造測定用プローブ１１０にはシアフォースが働き始め、その距離に応じて振動腕１１８ａの振動振幅は減少する。
Subsequently, the stage position control means 140 is used to move the position of the XYZ stage 130 so that the sample surface 122 and the fine structure measuring probe 110 are brought close to each other.
Thereafter, when the distance between the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 approaches several tens of nanometers, shear force starts to act on the fine structure measurement probe 110, and the vibration of the vibration arm 118 a according to the distance. The amplitude decreases.
そこで、上記参照用の振動振幅に対し、シアフォースの働きによって減少した振動腕１１８ａの振動振幅の量をコンピュータ１７０でモニターし、所定の振動振幅まで減少した状態となった時にステージ位置制御手段１４０のＺ軸方向の動作を停止させる。
これによって、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の距離は所定の値となる。このようにして、本発明の微細構造測定装置１００では、シアフォースの検出と共に、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の位置制御を行うことが出来る。
Therefore, the amount of vibration amplitude of the vibrating arm 118a reduced by the action of the shear force with respect to the reference vibration amplitude is monitored by the computer 170, and the stage position control means 140 when the vibration amplitude is reduced to a predetermined vibration amplitude. Is stopped in the Z-axis direction.
As a result, the distance between the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 becomes a predetermined value. Thus, in the fine structure measuring apparatus 100 of the present invention, the position control between the sample surface 122 and the fine structure measuring probe 110 can be performed together with the detection of shear force.
（２）試料表面の顕微測定
本発明において、上記試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の位置制御に加えて、予め微細構造測定用プローブ１１０の位置と試料表面１２２の位置との関係とを明らかにすることで、試料表面１２２上の測定位置を高精度に決定することが出来る。
そこで、まず本発明の可視光源２００から出射した可視光を試料表面１２２上に照射し、試料表面１２２上の顕微測定を行う。すなわち、この顕微測定においては、図５（Ａ）に示したアーム１９０を使用して、可視光源２１０の光軸から微細構造測定用プローブ１１０を、予め退避させるか、また微細構造測定用プローブ１１０をアーム１９０から取り外しておくことが好適である。
その状態で、可視光源２００から顕微観察用の光を、対物レンズ２１０を介して試料表面１２２に照射する。
それによって試料表面１２２から反射した可視光は、可視光検出手段２２０で検出され、その後はコンピュータ１７０によって画像変換され、また、その画像データはモニター１８０上に表示される。
(2) Microscopic measurement of sample surface In the present invention, in addition to the position control between the sample surface 122 and the fine structure measuring probe 110, the relationship between the position of the fine structure measuring probe 110 and the position of the sample surface 122 in advance. As a result, the measurement position on the sample surface 122 can be determined with high accuracy.
Therefore, first, visible light emitted from the visible light source 200 of the present invention is irradiated onto the sample surface 122 to perform microscopic measurement on the sample surface 122. That is, in this microscopic measurement, using the arm 190 shown in FIG. 5A, the fine structure measuring probe 110 is retracted from the optical axis of the visible light source 210 in advance, or the fine structure measuring probe 110 is used. Is preferably removed from the arm 190.
In this state, the sample surface 122 is irradiated with light for microscopic observation from the visible light source 200 through the objective lens 210.
Thus, the visible light reflected from the sample surface 122 is detected by the visible light detection means 220, and thereafter the image is converted by the computer 170, and the image data is displayed on the monitor 180.
（３）微細構造測定用プローブの位置の調整と位置の決定
続いて、予め退避させておいた微細構造測定用プローブ１１０は、アーム１９０の対物レンズ接合端部１９４を利用して、顕微鏡の対物レンズ２１０の側周面２１４に固定されているが、目視だけでは、正確にその位置を把握できない。そのため、図６に示すように、対物レンズ２１０の焦点を利用してその位置を調整する。
(3) Adjustment of Position of Fine Structure Measuring Probe and Determination of Position Subsequently, the fine structure measuring probe 110 that has been retracted in advance uses the objective lens joint end 194 of the arm 190 to make the objective of the microscope. Although fixed to the side peripheral surface 214 of the lens 210, the position cannot be accurately grasped only by visual observation. Therefore, as shown in FIG. 6, the position of the objective lens 210 is adjusted using the focal point.
図６（Ａ）は、顕微測定時のプローブ１１０と対物レンズについて、Ｚ方向から見た位置関係の一例である。図６（Ｂ）に示すように、プローブ位置調整部１９６により、光ファイバー１１２をＹ軸方向へ移動する。その後、光ファイバーの端面１１２ａにピントが一番整合するようにＺ軸方向の位置を調整し、可視光源２１０の焦点を光ファイバー１１２の端面に整合する。それによって、その可視光源２１０の焦点を基準にして微細構造測定用プローブの位置を決定することが出来る。 FIG. 6A shows an example of the positional relationship of the probe 110 and the objective lens at the time of microscopic measurement as viewed from the Z direction. As shown in FIG. 6B, the probe position adjustment unit 196 moves the optical fiber 112 in the Y-axis direction. Thereafter, the position in the Z-axis direction is adjusted so that the focus is best aligned with the end surface 112 a of the optical fiber, and the focal point of the visible light source 210 is aligned with the end surface of the optical fiber 112. Thereby, the position of the fine structure measuring probe can be determined with reference to the focal point of the visible light source 210.
（４）微細構造測定用プローブの位置と試料表面との間の位置制御と微細構造測定
上述の工程を経ることによって、微細構造測定用プローブ１１２の位置と試料表面１２２の位置とを高精度に決定することができる。
そして、使用者は、モニター１９０を通じて、試料表面１２２上の微細構造測定の範囲を決定することによって、微細構造測定用プローブ１１０とシアフォース検出手段１５０を使用した微細構造測定（すなわち、測定試料上の凹凸形状測定）が開始される。
すなわち、現状の試料表面１２２上の測定位置において、ステージ位置制御手段１４０を使用し、ＸＹＺステージ１３０の位置を移動させ、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０を近接させていく。
その後、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の距離が数十ｎｍまで近接した段階で、微細構造測定用プローブ１１０にはシアフォースが働き始め、その距離に応じて振動腕１１８ａの振動振幅は減少する。
(4) Position control between the position of the fine structure measurement probe and the sample surface and fine structure measurement By performing the above-described steps, the position of the fine structure measurement probe 112 and the position of the sample surface 122 can be accurately determined. Can be determined.
Then, the user determines the fine structure measurement range on the sample surface 122 through the monitor 190, thereby performing fine structure measurement using the fine structure measurement probe 110 and the shear force detecting means 150 (that is, on the measurement sample). Measurement of the concavo-convex shape) starts.
That is, the stage position control means 140 is used at the current measurement position on the sample surface 122 to move the position of the XYZ stage 130 so that the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 are brought close to each other.
Thereafter, when the distance between the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 approaches several tens of nanometers, shear force starts to act on the fine structure measurement probe 110, and the vibration of the vibration arm 118 a according to the distance. The amplitude decreases.
そこで、上述した予め試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０とを離間させた状態で取得しておいた振動振幅に対し、シアフォースの働きによって減少した振動腕１１８ａ振動振幅の量をコンピュータ１８０でモニターし、所定の振動振幅まで減少した状態となった時にステージ位置制御手段１４０のＺ軸方向の動作を停止させる。
これによって、試料表面１２２と微細構造測定用プローブ１１０の間の距離は所定の値となる。
Therefore, the amount of vibration amplitude of the vibrating arm 118a decreased by the action of the shear force with respect to the vibration amplitude acquired in the state where the sample surface 122 and the fine structure measuring probe 110 are separated from each other in advance is calculated by the computer 180. Monitoring is performed, and the operation in the Z-axis direction of the stage position control means 140 is stopped when the state decreases to a predetermined vibration amplitude.
As a result, the distance between the sample surface 122 and the fine structure measurement probe 110 becomes a predetermined value.
この所定の距離の制御を行いながら、試料表面１２２上を微細構造測定用プローブ１１０で走査し、各測定位置におけるＺ軸方向の移動量をコンピュータ２１０で常にモニターしておく。それによって、試料表面１２２料の凹凸形状、すなわち試料表面１２２の微細構造を測定することが出来る。 While controlling the predetermined distance, the sample surface 122 is scanned with the fine structure measuring probe 110, and the movement amount in the Z-axis direction at each measurement position is always monitored by the computer 210. Thereby, the uneven shape of the sample surface 122 material, that is, the fine structure of the sample surface 122 can be measured.
他方で、上記本発明の音叉型振動部材の二つの振動腕は、例えば図５（Ｂ）中に示したＸＹ平面内、かつ一定周期で加振・共振させ、その共振振幅の減少量を微細構造測定用プローブの位置制御に利用するシアフォース制御について説明してきた。
それに対し、近接場測定の分野においては、図７に示すようにＸＺ平面内で振動腕を一定周期で加振させ、原子間力による振動周波数の減少量を微細構造測定用プローブの位置制御に利用する加振制御方法が行われることも多い。
そこで本発明においても、加振手段およびシアフォース検出手段の向きを変更した制御方法を本実施形態の変形例として以下に説明する。
On the other hand, the two vibrating arms of the tuning-fork type vibrating member of the present invention are vibrated and resonated in the XY plane shown in FIG. The shear force control used for position control of the structure measuring probe has been described.
On the other hand, in the field of near-field measurement, as shown in FIG. 7, the vibration arm is vibrated at a constant period in the XZ plane, and the amount of decrease in the vibration frequency due to the atomic force is used for position control of the fine structure measurement probe. In many cases, an excitation control method is used.
Therefore, also in the present invention, a control method in which the directions of the vibrating means and the shear force detecting means are changed will be described below as a modified example of the present embodiment.
＜加振手段およびシアフォース検出手段の取付け方の変形例＞
図７は本変形例における微細構造測定用プローブ１１０´を拡大して示す図であり、微細構造測定用プローブ１１０´には加振手段１５０´と、検出手段１６０´と、を設けている。また、それ以外の部材については図示を省略した。
そして、加振手段１５０´の２つの電極は、振動腕１１８ｂ上、且つＺ軸に関して対向するように設置する。これにより加振手段１５０´は振動腕１１８ｂをＸＺ平面内で加振し、かつ振動腕１１８ａを同じ方向で振動させることが出来る。
<Modification of how to attach vibration means and shear force detection means>
FIG. 7 is an enlarged view of the fine structure measuring probe 110 ′ in this modification, and the fine structure measuring probe 110 ′ is provided with a vibrating means 150 ′ and a detecting means 160 ′. Further, illustration of other members is omitted.
Then, the two electrodes of the vibrating means 150 ′ are installed on the vibrating arm 118b so as to face each other with respect to the Z axis. As a result, the vibrating means 150 'can vibrate the vibrating arm 118b in the XZ plane and vibrate the vibrating arm 118a in the same direction.
そして、光ファイバー１１２は振動腕１１８ａの周波数ｆ０で振動し、試料表面１２２を近づけていくと、原子間力によって光ファイバー１１２（振動腕１１８ａ）の振動周波数は減少する。
この振動周波数ｆの減少は、微細構造測定用プローブ１１０´に試料表面１２２が接近するほど顕著に表れるため、検出手段１６０´によって検知される近接場用光学部材１１２の振動周波数ｆの減少量を、不図示のコンピュータを用いてモニターし、かつ所定の周波数となった時点で、ステージ位置制御手段１３０のＺ軸方向への動作を停止させる。
The optical fiber 112 vibrates at the frequency f 0 of the vibrating arm 118a, and when the sample surface 122 is moved closer, the vibration frequency of the optical fiber 112 (vibrating arm 118a) decreases due to the atomic force.
This decrease in the vibration frequency f becomes more prominent as the sample surface 122 approaches the microstructure measurement probe 110 ′. Therefore, the amount of decrease in the vibration frequency f of the near-field optical member 112 detected by the detection means 160 ′ is reduced. Then, monitoring is performed using a computer (not shown), and when the predetermined frequency is reached, the operation of the stage position control means 130 in the Z-axis direction is stopped.
このように、振動腕の振動方向に関しての違いはあるものの、微細構造測定用プローブ１１０´と試料表面１２２の間の距離を所定の値に制御することが可能である。
以上、本発明は、加振手段および検出手段の取り付け位置を、測定目的に応じて変えるだけで、測定方法を切換えることが出来る。
Thus, although there is a difference in the vibration direction of the vibrating arm, the distance between the fine structure measuring probe 110 ′ and the sample surface 122 can be controlled to a predetermined value.
As described above, according to the present invention, the measurement method can be switched only by changing the attachment positions of the vibration means and the detection means according to the measurement purpose.
以上が本実施形態の微細構造測定装置１００であり、さらに本発明の微細構造測定装置は近接場光学顕微鏡として利用することも出来る。以下にイルミネーション‐コレクションモード測定を行う微細構造測定装置３００について、図８を用いて説明する。
第三実施形態
＜近接場測定を行い得る微細構造測定装置＞
図８は本発明の近接場測定を行い得る微細構造測定装置３００の構成を示す図であり、上記第二実施形態の微細構造測定装置１００に対応する部位には符号に２００を加えて示し、それらの説明を省略する。
The fine structure measuring apparatus 100 of the present embodiment has been described above, and the fine structure measuring apparatus of the present invention can also be used as a near-field optical microscope. Hereinafter, a fine structure measuring apparatus 300 that performs illumination-collection mode measurement will be described with reference to FIG.
Third Embodiment <Microstructure Measuring Device that can Perform Near-Field Measurement>
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of a fine structure measuring apparatus 300 capable of performing near-field measurement according to the present invention. In FIG. 8, portions corresponding to the fine structure measuring apparatus 100 of the second embodiment are shown with reference numerals added with 200, Those descriptions are omitted.
図８に示す微細構造測定装置３００は、微細構造測定用プローブ３１０と、測定試料３２０と、ＸＹＺステージ３３０と、ステージ位置制御手段３４０と、加振手段３５０と、シアフォース検出手段３６０と、コンピュータ３７０と、モニター３８０と、アーム３９０と、可視光源４００と、対物レンズ４１０と、可視光検出手段４２０と、を有し、更に励起光源４３０と、分光検出手段４４０と、を備えている事が特徴である。 8 includes a microstructure measurement probe 310, a measurement sample 320, an XYZ stage 330, a stage position control unit 340, an excitation unit 350, a shear force detection unit 360, and a computer. 370, a monitor 380, an arm 390, a visible light source 400, an objective lens 410, and a visible light detection means 420, and further includes an excitation light source 430 and a spectral detection means 440. It is a feature.
すなわち、励起光源４３０は、光ファイバー３１２の微小開口部分において、近接場光を生成するための励起光を出射するためのものである。
対物レンズ４１０は、励起光源４３０からの励起光を光ファイバー３１２の上端面に集光するためのものである。また、対物レンズ４１０は微小開口部分によって集光される散乱光を、分光検出手段４４０に導光する際にも使用する。
That is, the excitation light source 430 is for emitting excitation light for generating near-field light at the minute opening portion of the optical fiber 312.
The objective lens 410 is for condensing the excitation light from the excitation light source 430 on the upper end surface of the optical fiber 312. The objective lens 410 is also used when the scattered light collected by the minute opening portion is guided to the spectral detection means 440.
分光検出手段４４０は、微小開口から発生する近接場光と試料表面３２２の間で相互作用した結果、光ファイバー３１２によって集光される散乱光（検出光）を分光検出するためのものである。
そこで、分光検出手段４４０は、分光測定用の検出器と、モノクロメータなどの分光器と、を備え、取得した検出光の情報をコンピュータ３７０へ送信する。
また、コンピュータ３７０は上記各手段の制御に加え、分光検出手段４４０から送信される検出光情報に基づいて、励起光と検出光の間の波長シフト量等から試料表面３２２の組成評価を行うためのものでもある。
そして、試料表面３２２の全ての測定位置における組成評価の結果がモニター３８０に表示される。
The spectroscopic detection means 440 is for spectrally detecting scattered light (detection light) collected by the optical fiber 312 as a result of interaction between the near-field light generated from the minute aperture and the sample surface 322.
Therefore, the spectroscopic detection unit 440 includes a spectroscopic measurement detector and a spectroscope such as a monochromator, and transmits information on the acquired detection light to the computer 370.
In addition to the control of each means described above, the computer 370 evaluates the composition of the sample surface 322 from the wavelength shift amount between the excitation light and the detection light based on the detection light information transmitted from the spectroscopic detection means 440. It is also a thing.
The composition evaluation results at all measurement positions on the sample surface 322 are displayed on the monitor 380.
本実施形態の微細構造測定装置３００は以上のように構成され、以下にその作用を説明する。
（１）光ファイバーの位置調整
まず、光ファイバー３１２を取付けた微細構造測定用プローブ３１０を、アーム３９０のプローブ支持端部３９２に支持させ、アーム３９０の対物レンズ接合端部３９４を利用して、顕微鏡の対物レンズ４１０の側周面４１４に固定する。
その後、プローブ位置調整部３９６を使用して、光ファイバー３１２をＹ軸方向へ移動する。その後、光ファイバー３１２の端面にピントが一番整合するようにＺ軸方向の位置を調整させ、対物レンズ３６０の焦点を光ファイバー３１２の端面に整合させることにより、プローブの設置は終了する。
The microstructure measuring apparatus 300 of the present embodiment is configured as described above, and the operation thereof will be described below.
(1) Position adjustment of optical fiber First, the microstructure measurement probe 310 to which the optical fiber 312 is attached is supported by the probe support end 392 of the arm 390, and the objective lens joint end 394 of the arm 390 is used to It is fixed to the side peripheral surface 414 of the objective lens 410.
Thereafter, the optical fiber 312 is moved in the Y-axis direction using the probe position adjusting unit 396. After that, the position of the probe is completed by adjusting the position in the Z-axis direction so that the focus is best aligned with the end surface of the optical fiber 312 and aligning the focal point of the objective lens 360 with the end surface of the optical fiber 312.
（２）微細構造測定用プローブと試料表面の間の距離の制御
上記位置に光ファイバー３１２を設置することによって、励起光源４３０からの励起光は、対物レンズ４１０を介して光ファイバー３１２の端面に集光される。これによって、光ファイバー３１２の微小開口部分からは、近接場光が生起される。
この状態で、加振手段３５０を使用して振動腕を振動させる。
(2) Control of distance between probe for fine structure measurement and sample surface By installing the optical fiber 312 at the above position, the excitation light from the excitation light source 430 is condensed on the end face of the optical fiber 312 via the objective lens 410. Is done. As a result, near-field light is generated from the minute opening portion of the optical fiber 312.
In this state, the vibrating arm 350 is vibrated using the vibration means 350.
その後、ステージ位置制御手段３４０を使用して、試料表面３２２を微細構造測定用プローブ３１０に近接させていく。これによって、それら試料表面３２２と微細構造測定用プローブ３１０の間の距離が数十ｎｍ以下まで接近した段階で、光ファイバー３１２の下端にはシアフォースが働くようになる。
そのシアフォースとの相互作用の結果、振動腕の振動振幅は減少するため、コンピュータ３７０は、その振動振幅が所定の値となった所で、ステージ位置制御手段３４０を停止させ、試料表面の間の距離の制御を終了させる。
After that, the stage surface control means 340 is used to bring the sample surface 322 closer to the fine structure measurement probe 310. As a result, when the distance between the sample surface 322 and the fine structure measuring probe 310 approaches several tens of nanometers or less, shear force acts on the lower end of the optical fiber 312.
As a result of the interaction with the shear force, the vibration amplitude of the vibrating arm decreases. Therefore, the computer 370 stops the stage position control means 340 when the vibration amplitude reaches a predetermined value and End the distance control.
（３）試料表面の組成評価
そして、上記距離制御が終了した後は、現在の測定位置において、試料表面３２２よって散乱された近接場光の一部が、微小開口から分光検出手段４４０によって検出される。その検出光の波長と励起光波長との間での波長シフト量がコンピュータ３７０によって演算された後、コンピュータ３７０によって波長シフト量に基づいた試料表面３２２の組成評価が行われる。
その後は、予め設定した近接場測定予定領域内の全ての測定位置において組成評価が行われるまで、測定位置の移動、距離制御、および組成評価の一連の工程が、繰り返し行われ、近接場測定は終了する。
(3) Composition evaluation of sample surface After the distance control is completed, a part of the near-field light scattered by the sample surface 322 is detected by the spectroscopic detection means 440 from the minute aperture at the current measurement position. The After the computer 370 calculates the wavelength shift amount between the wavelength of the detection light and the excitation light wavelength, the computer 370 evaluates the composition of the sample surface 322 based on the wavelength shift amount.
Thereafter, a series of steps of measurement position movement, distance control, and composition evaluation are repeatedly performed until composition evaluation is performed at all measurement positions within a preset near-field measurement scheduled region. finish.
以上、本発明はアーム等の支持手段を使用するだけで、顕微鏡の対物レンズに微細構造測定用プローブを取付けることが可能であり、また本発明は対物レンズの光軸に光ファイバーの上端面を整合することで、イルミネーション-コレクションモードによる近接場測定を行うこともできる。
そして、微細構造測定装置３００における励起光源４３０および分光検出手段４４０の配置をそれぞれイルミネーションモードやコレクションモードに合わせて変更することにより、各種の近接場測定方法を用いた測定を行うことが可能になる。
As described above, the present invention makes it possible to attach a fine structure measuring probe to the objective lens of a microscope simply by using a support means such as an arm, and the present invention aligns the upper end surface of the optical fiber with the optical axis of the objective lens. By doing so, it is possible to perform near-field measurement by illumination-collection mode.
Then, by changing the arrangement of the excitation light source 430 and the spectroscopic detection means 440 in the fine structure measurement apparatus 300 according to the illumination mode and the collection mode, it is possible to perform measurement using various near-field measurement methods. .
プローブを用いて測定試料表面の微細構造の測定を行う装置の開発分野において、本発明は振動腕と光学部材とを一体に振動させる新規、かつ従来よりも小規模な微細構造測定用プローブを開発したものである。
その微細構造測定用プローブは光学部材の共振周期の把握や、正確な共振制御の調整を行う必要がないことを特徴とし、また光学部材には種々の光学素子を利用することも出来る。
In the field of development of devices that measure the fine structure of the sample surface using a probe, the present invention develops a new probe for fine structure measurement that vibrates a vibrating arm and an optical member in a single unit, and that is smaller than before. It is a thing.
The fine structure measuring probe is characterized in that it is not necessary to grasp the resonance period of the optical member and to accurately adjust the resonance control, and various optical elements can be used for the optical member.
１０、 １１０、 ３１０ 微細構造測定用プローブ
１２、 １１２、 ３１２ 光学部材（微小開口を先端に設けた光ファイバー）
１２Ａ 先鋭された先端をもつ金属製の針
１２Ｂ 市販されている光ファイバー
１２Ｃ 偏波保存型光ファイバー
１２Ｄ 光の波長よりも小さな径の先鋭部を先端に設けた光ファイバー
１２Ｅ 三角錐状プリズム
１２Ｆ 球状プリズム
１２Ｇ 半球状プリズム
１４、 １１４、 音叉型振動部材
１６、 １１６、 基体
１８ａ、１１８ａ 振動腕
１８ｂ、１１８ｂ 振動腕
１００、３００ 微細構造測定装置
１２０、３２０ 測定試料
１２２、３２２ 試料表面
１３０、３３０ ＸＹＺステージ
１４０、３４０ ステージ位置制御手段
１５０、３５０ 加振手段
１６０、３６０ シアフォース検出手段
１７０、３７０ コンピュータ
１８０、３８０ モニター
１９０、３９０ アーム
１９２、３９２ プローブ支持端部
１９４、３９４ 対物レンズ接合端部
１９６、３９６ プローブ位置調整部
２００、４００ 可視光源
２１０、４１０ 対物レンズ
２２０、４２０ 可視光検出手段
４３０ 励起光源
４４０ 分光検出手段
10, 110, 310 Fine structure measuring probe 12, 112, 312 Optical member (optical fiber provided with a minute opening at the tip)
12A Metal needle 12B with a sharpened tip 12B Optical fiber 12C that is commercially available Polarization-maintaining optical fiber 12D Optical fiber 12E with a sharpened tip having a diameter smaller than the wavelength of the light at the tip Triangular pyramid prism
12F spherical prism
12G hemispherical prisms 14, 114, tuning fork type vibrating members 16, 116, bases 18a, 118a vibrating arms 18b, 118b vibrating arms 100, 300 fine structure measuring device 120, 320 measuring sample 122, 322 sample surface 130, 330 XYZ stage 140 340 Stage position control means 150, 350 Excitation means 160, 360 Shear force detection means 170, 370 Computer 180, 380 Monitor 190, 390 Arm 192, 392 Probe support end 194, 394 Objective lens joint end 196, 396 Probe Position adjustment unit 200, 400 Visible light source 210, 410 Objective lens 220, 420 Visible light detection means 430 Excitation light source 440 Spectral detection means
Claims (8)
基体および該基体から延出する二本の振動腕からなる音叉型振動部材と、を備え、
前記光学部材は、前記二本の振動腕のうち、どちらか一方の振動腕の先端部分に保持され、前記光学部材と該振動腕とは一体になって振動することを特徴とする微細構造測定用プローブ。 An optical member as a measurement part in contact with or non-contact with the sample;
A tuning fork-type vibrating member comprising a base and two vibrating arms extending from the base, and
The optical member is held at a tip portion of one of the two vibrating arms, and the optical member and the vibrating arm vibrate together, and the microstructure measurement Probe.
前記光学部材は、前記音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面に対し、該光学部材の中心軸が交わる状態で、該振動腕の側面に固定されることを特徴とする微細構造測定用プローブ。 The fine structure measuring probe according to claim 1,
The optical member is fixed to a side surface of the vibrating arm in a state where a central axis of the optical member intersects a surface formed by a base of the tuning-fork type vibrating member and two vibrating arms. Probe for fine structure measurement.
前記音叉型振動部材の基体および二本の振動腕によって形成される面は、該音叉型振動部材の下方に設置される試料載置用のステージに対して、平行であり、
前記光学部材の一部は、該光学部材が取り付けられる振動腕の底面よりも、前記ステージ側に突出し、
該光学部材の突出部分の先端部が、試料測定面からのシアフォースの影響を受けることにより、前記光学部材の取り付けられている振動腕の振動は、該影響に従って変化することを特徴とする微細構造測定用プローブ。 The fine structure measuring probe according to claim 1 or 2,
A surface formed by the base of the tuning fork type vibrating member and the two vibrating arms is parallel to a stage for placing a sample installed below the tuning fork type vibrating member,
A part of the optical member protrudes to the stage side from the bottom surface of the vibrating arm to which the optical member is attached,
The tip of the protruding portion of the optical member is affected by shear force from the sample measurement surface, so that the vibration of the vibrating arm to which the optical member is attached changes according to the influence. Probe for structure measurement.
前記光学部材は、光ファイバー、偏波保存型光ファイバー、光の波長よりも小さな径の微小開口を先端に設けた光ファイバー、光の波長よりも小さな径の先鋭部を先端に設けた光ファイバー、三角錐状プリズム、球状プリズム、半球状プリズム、ATRプリズム、及び、先鋭された先端をもつ金属製の針のうちから選ばれる１つであることを特徴とする微細構造測定用プローブ。 The probe for fine structure measurement according to any one of claims 1 to 3,
The optical member is an optical fiber, a polarization-maintaining optical fiber, an optical fiber provided with a microscopic aperture having a diameter smaller than the wavelength of light, an optical fiber provided with a sharp tip having a diameter smaller than the wavelength of light, and a triangular pyramid shape. A probe for measuring a microstructure, which is one selected from a prism, a spherical prism, a hemispherical prism, an ATR prism, and a metal needle having a sharpened tip.
前記微細構造測定用プローブの下方に位置する測定試料の載置用のステージと、
前記ステージの移動を制御するステージ位置制御手段と、
前記音叉型振動部材の振動腕を加振する加振手段と、
前記音叉型振動部材の振動腕の振動振幅を計測する検出手段と、
前記検出手段によって得られる検出情報を解析するためのコンピュータと、
前記微細構造測定用プローブを支持するアームと、を備え、
前記加振手段によって前記振動腕に取り付けられた前記光学部材を該振動腕と一体に振動させ、該光学部材と前記測定試料との間に生じる力の影響を、前記検出手段で検出し、前記光学部材と前記測定試料表面の間の位置制御を行うことを特徴とする微細構造測定装置。 A fine structure measuring probe comprising an optical member and a tuning fork type vibration member;
A stage for placing a measurement sample located below the probe for measuring a fine structure;
Stage position control means for controlling movement of the stage;
A vibrating means for vibrating the vibrating arm of the tuning fork type vibrating member;
Detecting means for measuring the vibration amplitude of the vibrating arm of the tuning fork type vibrating member;
A computer for analyzing detection information obtained by the detection means;
An arm for supporting the microstructure measurement probe,
The optical member attached to the vibrating arm by the vibrating means is vibrated integrally with the vibrating arm, the influence of the force generated between the optical member and the measurement sample is detected by the detecting means, A fine structure measuring apparatus for controlling a position between an optical member and the surface of the measurement sample.
可視光を出射する可視光源と、
前記可視光を、下方にある対象物に集光する対物レンズと、
前記対象物によって反射した可視光を、前記対物レンズを介して検出する可視光検出手段と、を備えていることを特徴とする微細構造測定装置。 In the fine structure measuring apparatus according to claim 5,
A visible light source that emits visible light;
An objective lens for condensing the visible light on a target object below;
Visible light detecting means for detecting visible light reflected by the object through the objective lens.
前記アームは、
前記微細構造測定用プローブを支持するプローブ支持端部と、
対物レンズが有するねじ部分の形状、または前記対物レンズの側周面に適合する形状を有する対物レンズ接合端部と、
前記微細構造測定用プローブと前記対物レンズの相対的な位置関係を調整するプローブ位置調整部と、を備えていることを特徴とする微細構造測定装置。 In the fine structure measuring apparatus according to claim 5 or 6,
The arm is
A probe support end for supporting the microstructure measurement probe;
An objective lens joint end portion having a shape of a thread portion of the objective lens or a shape adapted to a side peripheral surface of the objective lens;
A fine structure measuring apparatus, comprising: a probe position adjusting unit that adjusts a relative positional relationship between the fine structure measuring probe and the objective lens.
近接場光を生起するための励起光を出射する励起光源と、
前記近接場光と前記測定試料表面との間で相互作用の結果生じる光を検出するための分光検出手段と、を備え、
前記分光検出手段および前記コンピュータを使用することによって、前記近接場光と前記試料表面とが相互作用した結果生じる光の物理特性の変化から、前記試料表面の組成評価を行うことを特徴とする微細構造測定装置。 In the fine structure measuring apparatus according to any one of claims 5 to 7,
An excitation light source that emits excitation light for generating near-field light;
Spectroscopic detection means for detecting light generated as a result of interaction between the near-field light and the measurement sample surface,
By using the spectroscopic detection means and the computer, a composition evaluation of the sample surface is performed from a change in physical properties of light generated as a result of interaction between the near-field light and the sample surface. Structure measuring device.
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