JP2015096879A - Electrochromic device and manufacturing method thereof - Google Patents

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圭一郎 油谷
Keiichiro Yutani
圭一郎 油谷
八代 徹
Toru Yashiro
徹 八代
高橋 裕幸
Hiroyuki Takahashi
裕幸 高橋
藤村 浩
Hiroshi Fujimura
浩 藤村
平野 成伸
Shigenobu Hirano
成伸 平野
匂坂 俊也
Toshiya Kosaka
俊也 匂坂
山本 諭
Satoshi Yamamoto
諭 山本
後藤 大輔
Daisuke Goto
大輔 後藤
禎久 内城
Sadahisa Uchijo
禎久 内城
吉智 岡田
Yoshitomo Okada
吉智 岡田
和明 ▲辻▼
和明 ▲辻▼
Kazuaki Tsuji
碩燦 金
Seok-Chan Kim
碩燦 金
満美子 井上
Mamiko Inoue
満美子 井上
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrochromic device excellent in durability and capable of operating stably.SOLUTION: An electrochromic device 10 comprises: a first electrode layer 12; a first electroactive layer in contact with the frist electrode layer; a second electrode layer 15 opposite to the first electrode layer and having a through hole formed therein; a second porous electroactive layer in contact with the second electrode layer; and electrolyte embedded between the first electrode layer and the second electrode layer, and in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer. At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer 13, and the other is either one of the electrochromic layer or a deterioration prevention layer. The first electrode layer and the second electrode layer respectively have inner surfaces facing each other and outer surfaces opposite the inner surfaces. The first electrode layer has a support on the outer surface, and the second electrode layer has at least an inorganic protective layer made of an inorganic material on the outer surface.

Description

本発明は、エレクトロクロミック装置及びその製造方法に関する。   The present invention relates to an electrochromic device and a method for manufacturing the same.

電圧を印加することで、可逆的に酸化還元反応が起こり、可逆的に色が変化する現象をエレクトロクロミズムという。このエレクトロクロミズムを利用した装置がエレクトロクロミック装置である。エレクトロクロミック装置にはエレクトロクロミズムの特徴に由来する応用が実現できるとして、今日まで多くの研究がなされている。
エレクトロクロミック装置に用いられるエレクトロクロミック材料としては、有機材料と無機材料がある。有機材料はその分子構造により様々な色彩発色が可能であることから、カラー表示装置として有望であるが、有機物であるため耐久性に課題がある。
一方、無機材料は無彩色ではあるものの、材料の安定性は有機物よりも優れており、調光ガラスやNDフィルタへの実用化が検討されている。しかし、エレクトロクロミック反応機構にプロトンなどが関与するために、水分の封止が必要である。
これらのエレクトロクロミック材料は、一般に対向する2つの電極間に形成され、イオン伝導可能な電解質層が電極間に満たされた構成で酸化還元反応する。そのため、通常エレクトロクロミック装置は、エレクトロクロミック材料を対向する2つの電極間に形成した後、イオン伝導可能な電解質層を介して貼合せることで作製される。
A phenomenon in which a redox reaction occurs reversibly and a color changes reversibly by applying a voltage is called electrochromism. A device using this electrochromism is an electrochromic device. Many studies have been conducted on electrochromic devices to date that applications derived from the characteristics of electrochromism can be realized.
Electrochromic materials used in electrochromic devices include organic materials and inorganic materials. Organic materials are promising as a color display device because they can produce various colors depending on their molecular structures, but they have problems in durability because they are organic materials.
On the other hand, although inorganic materials are achromatic, the stability of the materials is superior to that of organic materials, and practical application to light control glass and ND filters is being studied. However, since protons are involved in the electrochromic reaction mechanism, it is necessary to seal moisture.
These electrochromic materials are generally formed between two opposing electrodes, and undergo an oxidation-reduction reaction in a configuration in which an electrolyte layer capable of ion conduction is filled between the electrodes. For this reason, an electrochromic device is usually produced by forming an electrochromic material between two opposing electrodes and then laminating them through an ion conductive electrolyte layer.

しかし、貼合せプロセスなしでエレクトロクロミック装置を作製することができれば、曲面など多様な部位に容易に装置を形成することが可能になるため適用範囲が広がると共に、片側の支持体が不要となるため低コストで生産できると考えられるが、従来技術ではエレクトロクロミック装置を支持体上に薄膜プロセスで形成することは困難であった。   However, if an electrochromic device can be manufactured without a bonding process, the device can be easily formed on various parts such as curved surfaces, so the application range is widened and a support on one side becomes unnecessary. Although it can be produced at low cost, it has been difficult to form an electrochromic device on a support by a thin film process in the prior art.

即ち、貼合せプロセスを省略するために、電解質層上に電極などを形成する場合、液状の電解質の上に積層することはできないので、電解質を固体化する必要が生じる。電解質を固体化する試みとしては、高分子固体電解質を用いることが提案されている。その具体例としてオキシエチレン鎖やオキシプロピレン鎖を含有するマトリックスポリマーと無機塩との固溶体が挙げられる。これらは完全固体であり、加工性に優れるものの、そのイオン伝導度は通常の非水電解液にくらべて数桁ほど低いという実用上の課題を有している。
また、高分子固体電解質の電導度を向上させるために、高分子に有機電解液を溶解させて半固形状のものにする方法(特許文献1参照)や、電解質を加えた液状モノマーを重合反応させて電解質を含む架橋重合体とする方法が提案されているが、実用レベルには至っていない。
That is, when an electrode or the like is formed on the electrolyte layer in order to omit the bonding process, it cannot be laminated on the liquid electrolyte, so that the electrolyte needs to be solidified. As an attempt to solidify the electrolyte, it has been proposed to use a polymer solid electrolyte. Specific examples thereof include a solid solution of a matrix polymer containing an oxyethylene chain or an oxypropylene chain and an inorganic salt. Although these are completely solid and excellent in workability, they have a practical problem that their ionic conductivity is several orders of magnitude lower than that of a normal non-aqueous electrolyte.
Further, in order to improve the electrical conductivity of the polymer solid electrolyte, a method of dissolving an organic electrolyte in a polymer to make it semi-solid (see Patent Document 1), or a liquid monomer added with an electrolyte is polymerized. However, a method for producing a crosslinked polymer containing an electrolyte has been proposed, but it has not reached a practical level.

このようなイオン伝導度の問題に加え、電解質層として有機材料層を用いると、電解質層上に形成する電極層の電気抵抗が高くなりやすく、正常に酸化還元駆動できないという問題がある。特に、一般的に透明電極として採用されている真空製膜で形成されたITO、SnO、AZO等の酸化物層は、有機膜表面にスパッタなどの手法で製膜した場合、透明性と電気伝導度を両立しにくい。 In addition to the problem of ionic conductivity, when an organic material layer is used as the electrolyte layer, there is a problem that the electric resistance of the electrode layer formed on the electrolyte layer tends to be high, and the redox drive cannot be normally performed. In particular, when an oxide layer such as ITO, SnO 2 , or AZO formed by vacuum film formation, which is generally employed as a transparent electrode, is formed on the surface of the organic film by a technique such as sputtering, It is difficult to achieve both conductivity.

一方、全固体の電解質層として無機材料層を用いる場合は、プロセス温度が高く、有機材料が耐えられないために、エレクトロクロミック材料は無機化合物に限定される。例えば、無機エレクトロクロミック化合物では、還元発色層と酸化発色層を固体電解質層を挟んで対向配置した構造を有するエレクトロクロミック素子において、前記還元発色層が酸化タングステンと酸化チタンを含有する材料で構成され、前記酸化発色層がニッケル酸化物を含有する材料で構成され、前記酸化発色層と前記固体電解質層との間に、ニッケル酸化物以外の金属酸化物若しくは金属、又はニッケル酸化物以外の金属酸化物と金属との複合物を主成分として構成される透明性を有する中間層を配置するエレクトロクロミック素子が提案されている(特許文献2参照)。
この提案によれば、中間層を形成することにより、繰り返し特性と応答性が改良することが記載されており、数秒間で発消色駆動が可能である。
しかし、構造が複雑であると共に真空製膜で無機エレクトロクロミック化合物層を多層形成することは大型化が困難であると共に、コストアップ要因となる。また、無機エレクトロクロミック材料は色彩の制御に課題がある。また、作製プロセスの温度が高いために、支持体としてガラスなどを利用する必要があり、用途の適用範囲が制限されるという課題がある。
On the other hand, when an inorganic material layer is used as the all-solid electrolyte layer, the process temperature is high and the organic material cannot withstand, so the electrochromic material is limited to an inorganic compound. For example, in an inorganic electrochromic compound, in an electrochromic device having a structure in which a reduced color layer and an oxidized color layer are disposed opposite to each other with a solid electrolyte layer interposed therebetween, the reduced color layer is composed of a material containing tungsten oxide and titanium oxide. The oxidation coloring layer is made of a material containing nickel oxide, and a metal oxide or metal other than nickel oxide or a metal oxidation other than nickel oxide is formed between the oxidation coloring layer and the solid electrolyte layer. An electrochromic device has been proposed in which a transparent intermediate layer composed mainly of a composite of an object and a metal is disposed (see Patent Document 2).
According to this proposal, it is described that repeating characteristics and responsiveness are improved by forming an intermediate layer, and it is possible to perform color-decoloring driving within a few seconds.
However, the structure is complicated and it is difficult to increase the size of the inorganic electrochromic compound layer by vacuum film formation, which causes a cost increase. In addition, inorganic electrochromic materials have a problem in color control. In addition, since the temperature of the manufacturing process is high, it is necessary to use glass or the like as a support, and there is a problem that the application range of applications is limited.

本発明は、従来における前記諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課題とする。即ち、本発明は、エレクトロクロミック材料を対向する2つの電極間に形成した後、電解質層を介して貼合せるプロセスなしで作製可能であり、耐久性に優れ、安定動作可能なエレクトロクロミック装置を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to solve the above-described problems and achieve the following objects. That is, the present invention provides an electrochromic device that can be manufactured without a process in which an electrochromic material is formed between two opposing electrodes and then bonded via an electrolyte layer, and has excellent durability and stable operation. The task is to do.

前記課題を解決するための手段としての本発明のエレクトロクロミック装置は、第1の電極層と、
前記第1の電極層と接する第1の電気活性層と、
前記第1の電極層と対向し、かつ貫通孔が形成された第2の電極層と、
前記第2の電極層と接する多孔質である第2の電気活性層と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に充填され、かつ前記第1の電気活性層と前記第2の電気活性層に接する電解質と、を有してなり、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであり、
前記第1の電極層及び前記第2の電極層の各々が、互いに対向する面である内面と、前記内面とは反対側の面である外面と、を有し、
前記第1の電極層の外面に支持体を有するエレクトロクロミック装置であって、
前記第2の電極層の外面に、無機材料からなる無機保護層を少なくとも有する。
The electrochromic device of the present invention as a means for solving the above problems includes a first electrode layer,
A first electroactive layer in contact with the first electrode layer;
A second electrode layer facing the first electrode layer and having a through hole formed thereon;
A second electroactive layer that is porous in contact with the second electrode layer;
An electrolyte filled between the first electrode layer and the second electrode layer and in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer;
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer;
Each of the first electrode layer and the second electrode layer has an inner surface that is a surface facing each other, and an outer surface that is a surface opposite to the inner surface,
An electrochromic device having a support on the outer surface of the first electrode layer,
At least an inorganic protective layer made of an inorganic material is provided on the outer surface of the second electrode layer.

本発明によると、従来における前記諸問題を解決し、前記目的を達成することができ、エレクトロクロミック材料を対向する2つの電極間に形成した後、電解質層を介して貼合せるプロセスなしで作製可能であり、耐久性に優れ、安定動作可能なエレクトロクロミック装置を提供できる。   According to the present invention, the above-mentioned problems can be solved and the object can be achieved, and the electrochromic material is formed between two opposing electrodes and can be manufactured without a process of bonding via an electrolyte layer. Therefore, it is possible to provide an electrochromic device having excellent durability and stable operation.

図1は、第1の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of the electrochromic device according to the first embodiment. 図2は、第2の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing an example of the electrochromic device according to the second embodiment. 図3は、第3の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 3 is a schematic cross-sectional view showing an example of the electrochromic device according to the third embodiment. 図4は、第4の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing an example of the electrochromic device according to the fourth embodiment. 図5は、第5の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrochromic device according to a fifth embodiment. 図6は、第6の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrochromic device according to a sixth embodiment. 図7は、第7の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 7 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrochromic device according to a seventh embodiment. 図8は、第8の実施の形態のエレクトロクロミック装置の一例を示す概略断面図である。FIG. 8 is a schematic cross-sectional view showing an example of an electrochromic device according to an eighth embodiment. 図9は、比較例1のエレクトロクロミック装置を示す概略断面図である。FIG. 9 is a schematic cross-sectional view showing the electrochromic device of Comparative Example 1. 図10は、比較例2のエレクトロクロミック装置を示す概略断面図である。FIG. 10 is a schematic cross-sectional view showing an electrochromic device of Comparative Example 2. 図11は、比較例3のエレクトロクロミック装置を示す概略断面図である。FIG. 11 is a schematic cross-sectional view showing an electrochromic device of Comparative Example 3. 図12は、比較例5のエレクトロクロミック装置を示す概略断面図である。FIG. 12 is a schematic cross-sectional view showing an electrochromic device of Comparative Example 5.

(エレクトロクロミック装置及びエレクトロクロミック装置の製造方法)
本発明のエレクトロクロミック装置は、第1の電極層と、
前記第1の電極層と接する第1の電気活性層と、
前記第1の電極層と対向し、かつ貫通孔が形成された第2の電極層と、
前記第2の電極層と接する多孔質である第2の電気活性層と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に充填され、かつ前記第1の電気活性層と前記第2の電気活性層に接する電解質と、を有してなり、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであり、
前記第1の電極層及び前記第2の電極層の各々が、互いに対向する面である内面と、前記内面とは反対側の面である外面と、を備え、
前記第1の電極層の外面に支持体を有してなり、更に必要に応じてその他の部材を有してなる。
前記エレクトロクロミック装置においては、前記第2の電極層の外面に、無機材料からなる無機保護層を少なくとも有する。
前記第2の電極層の外面とは、少なくとも第2の電極層の外面を含み、支持体、第1の電極層、第1の電気活性層、第2の電極層、第2の電気活性層などを含む積層体の外周面を含む意味である。
(Electrochromic device and method of manufacturing electrochromic device)
The electrochromic device of the present invention includes a first electrode layer,
A first electroactive layer in contact with the first electrode layer;
A second electrode layer facing the first electrode layer and having a through hole formed thereon;
A second electroactive layer that is porous in contact with the second electrode layer;
An electrolyte filled between the first electrode layer and the second electrode layer and in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer;
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer;
Each of the first electrode layer and the second electrode layer includes an inner surface that is a surface facing each other, and an outer surface that is a surface opposite to the inner surface,
A support is provided on the outer surface of the first electrode layer, and other members are provided as required.
The electrochromic device has at least an inorganic protective layer made of an inorganic material on the outer surface of the second electrode layer.
The outer surface of the second electrode layer includes at least the outer surface of the second electrode layer, and includes a support, a first electrode layer, a first electroactive layer, a second electrode layer, and a second electroactive layer. It is the meaning including the outer peripheral surface of the laminated body containing these.

本発明のエレクトロクロミック装置の製造方法は、支持体上に、第1の電極層及び第1の電気活性層を順次積層する工程と、
前記第1の電気活性層上に、絶縁性多孔質層を介して、前記第1の電極層に対向するように、貫通孔が形成された第2の電極層を積層する工程と、
前記第2の電極層と接するように第2の電気活性層を積層する工程と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間の所定領域に、前記貫通孔から電解質を充填する工程と、
前記電解質を半固体化する工程と、
前記第2の電極層の第1の電極層と対向しない側の面に、無機材料からなる無機保護層を積層する工程と、を含み、更に必要に応じてその他の工程を含んでなる。
前記エレクトロクロミック装置の製造方法においては、前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかである。
The method for producing an electrochromic device of the present invention includes a step of sequentially laminating a first electrode layer and a first electroactive layer on a support;
Laminating a second electrode layer in which a through hole is formed on the first electroactive layer so as to face the first electrode layer via an insulating porous layer;
Laminating a second electroactive layer in contact with the second electrode layer;
Filling a predetermined region between the first electrode layer and the second electrode layer with an electrolyte from the through hole;
Semi-solidifying the electrolyte;
A step of laminating an inorganic protective layer made of an inorganic material on the surface of the second electrode layer not facing the first electrode layer, and further including other steps as necessary.
In the method for manufacturing an electrochromic device, at least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer. .

前記課題を解決するため本発明者らは、既に、第1の電極と、前記第1の電極と対向するように形成された第2の電極と、前記第1の電極と接するように設けられたエレクトロクロミック層と、前記第2の電極と接するように設けられた劣化防止層と、第1の電極と第2の電極の間に充填され、かつエレクトロクロミック層と劣化防止層と接するように形成された電解質層とを有し、前記第1の電極層又は前記第2の電極層の少なくともいずれか一方に貫通孔が形成されており、前記貫通孔が形成された電極に設けられたエレクトロクロミック層あるいは劣化防止層は、前記対向する1対の電極間の外側に形成されており、前記第1の電極層の外側及び前記第2の電極層の外側のいずれか一方の側のみに支持体が設けられているエレクトロクロミック装置について提案している(特願2013−85526号明細書)。
この提案のエレクトロクロミック装置によれば、貼り合わせプロセス無しで作製可能であり、低コストで作製でき、曲面など多様な部位に容易に装置形成することが可能になるため適用範囲が広がると共に、片側の支持体が不要となるため低コストで生産できる。
しかしながら、貼り合わせプロセス無しで作製するエレクトロクロミック装置では、実用上の信頼性を確保するためには、繰り返し耐久性、酸素や湿度に対する保存安定性などの点で課題があった。つまり、支持体を一方の側にしか用いないために、支持体の反対側の面からの酸素や、水分の浸入などによる問題が生じる。従来、貼り合わせる方式で作製したエレクトロクロミック装置においては、貼り合わせた基板の端部における電解液の漏洩を防ぐための封止手法などは検討されてきたが、解決できていなかった。
そこで、本発明者らが、更に鋭意検討を進めた結果、第1の電極層と、前記第1の電極層と接する第1の電気活性層と、前記第1の電極層と対向し、かつ貫通孔が形成された第2の電極層と、前記第2の電極層と接する多孔質である第2の電気活性層と、前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に充填され、かつ前記第1の電気活性層と前記第2の電気活性層に接する電解質と、を有してなり、前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであり、前記第1の電極層及び前記第2の電極層の各々が、互いに対向する面である内面と、前記内面とは反対側の面である外面と、を備え、
前記第1の電極層の外面に支持体を有し、前記第2の電極層の外面に、無機材料からなる無機保護層を少なくとも有することによって、エレクトロクロミック材料を対向する2つの電極間に形成した後、電解質層を介して貼合せるプロセスなしで作製可能であり、耐久性に優れ、安定動作可能であり、酸素や湿度に対する保存安定性を高めることができることを知見した。
In order to solve the above problems, the present inventors have already provided a first electrode, a second electrode formed so as to face the first electrode, and a contact with the first electrode. An electrochromic layer, a deterioration preventing layer provided in contact with the second electrode, and a space between the first electrode and the second electrode, and in contact with the electrochromic layer and the deterioration preventing layer. And a through hole is formed in at least one of the first electrode layer and the second electrode layer, and an electrode provided in the electrode in which the through hole is formed. The chromic layer or the deterioration preventing layer is formed on the outer side between the pair of opposed electrodes, and is supported only on either the outer side of the first electrode layer or the outer side of the second electrode layer. Electro with the body It has been proposed for Mick device (Japanese Patent Application No. 2013-85526 specification).
According to this proposed electrochromic device, it can be manufactured without a bonding process, can be manufactured at a low cost, and can be easily formed on various parts such as curved surfaces, so that the application range is widened and one side can be formed. This support can be produced at low cost.
However, an electrochromic device manufactured without a bonding process has problems in terms of repeated durability and storage stability against oxygen and humidity in order to ensure practical reliability. That is, since the support is used only on one side, there arises a problem due to intrusion of oxygen or moisture from the opposite surface of the support. Conventionally, in an electrochromic device manufactured by a bonding method, a sealing method for preventing leakage of an electrolyte solution at an end portion of a bonded substrate has been studied, but has not been solved.
Therefore, as a result of further diligent investigations by the present inventors, the first electrode layer, the first electroactive layer in contact with the first electrode layer, the first electrode layer opposed to the first electrode layer, and Between the 2nd electrode layer in which the through-hole was formed, the 2nd electroactive layer which touches the 2nd electrode layer, and the 1st electrode layer and the 2nd electrode layer An electrolyte that is filled and is in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer, wherein at least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is An inner surface that is an electrochromic layer, the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer, and each of the first electrode layer and the second electrode layer faces each other; And an outer surface that is the opposite surface,
An electrochromic material is formed between two opposing electrodes by having a support on the outer surface of the first electrode layer and at least an inorganic protective layer made of an inorganic material on the outer surface of the second electrode layer. After that, it has been found that it can be produced without a process of bonding through an electrolyte layer, has excellent durability, can operate stably, and can improve storage stability against oxygen and humidity.

以下、図面を参照して、実施の形態の説明を行う。なお、各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。   Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and the overlapping description may be abbreviate | omitted.

<第1の実施の形態>
図1は、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図1を参照するに、エレクトロクロミック装置10は、支持体11と、支持体11上に順次積層された第1の電極層12、エレクトロクロミック層13、絶縁性多孔質層14、第2の電極層15、劣化防止層16、有機保護層171、無機保護層172、及び電解質(不図示)を有する。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to the first embodiment. Referring to FIG. 1, an electrochromic device 10 includes a support 11, a first electrode layer 12, an electrochromic layer 13, an insulating porous layer 14, and a second electrode that are sequentially stacked on the support 11. It has the layer 15, the deterioration prevention layer 16, the organic protective layer 171, the inorganic protective layer 172, and electrolyte (not shown).

エレクトロクロミック装置10において、支持体11上には第1の電極層12が設けられ、第1の電極層12に接してエレクトロクロミック層13が設けられている。更に、エレクトロクロミック層13上には、絶縁性多孔質層14を介して、第1の電極層12に対向するように第2の電極層15が設けられている。なお、第1の電極と第2の電極の対向する面の内側を内面、反対側を外面とした場合、第1の電極層12の外面には支持体11が設けられているが、第2の電極層15の外面には支持体は設けられていない。   In the electrochromic device 10, a first electrode layer 12 is provided on a support 11, and an electrochromic layer 13 is provided in contact with the first electrode layer 12. Furthermore, a second electrode layer 15 is provided on the electrochromic layer 13 so as to face the first electrode layer 12 with an insulating porous layer 14 interposed therebetween. In addition, when the inner surface of the opposing surface of the first electrode and the second electrode is the inner surface and the opposite side is the outer surface, the support 11 is provided on the outer surface of the first electrode layer 12. No support is provided on the outer surface of the electrode layer 15.

絶縁性多孔質層14は、第1の電極層12と第2の電極層15を絶縁するために設けられており、絶縁性多孔質層14は、絶縁性金属酸化物微粒子を含んでいる。第1の電極層12と第2の電極層15に挟まれた絶縁性多孔質層14には、電解質が充填されている。 第2の電極層15には、厚み方向に貫通する多数の貫通孔が形成されている。第2の電極層15の外側には劣化防止層16が設けられており、劣化防止層16は半導体性金属酸化物微粒子を含んでいる。劣化防止層16の上には、有機保護層171と無機保護層172が設けられている。   The insulating porous layer 14 is provided to insulate the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15, and the insulating porous layer 14 contains insulating metal oxide fine particles. The insulating porous layer 14 sandwiched between the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 is filled with an electrolyte. The second electrode layer 15 has a large number of through holes penetrating in the thickness direction. A deterioration preventing layer 16 is provided outside the second electrode layer 15, and the deterioration preventing layer 16 contains semiconductive metal oxide fine particles. An organic protective layer 171 and an inorganic protective layer 172 are provided on the deterioration preventing layer 16.

エレクトロクロミック装置10の製造工程は、支持体11上に第1の電極層12及びエレクトロクロミック層13を順次積層する工程と、エレクトロクロミック層13上に絶縁性多孔質層14を介して第1の電極層12に対向するように貫通孔が形成された第2の電極層15を積層する工程と、第2の電極層15上に劣化防止層16を積層する工程と、第1の電極層12と第2の電極層15に挟まれた絶縁性多孔質層14に、劣化防止層16を介して、第2の電極層15に形成された貫通孔から電解質を充填し、半固体化する工程と、有機保護層171を形成する工程と、無機保護層172を形成する工程と、を有する。   The manufacturing process of the electrochromic device 10 includes a step of sequentially laminating the first electrode layer 12 and the electrochromic layer 13 on the support 11, and a first step through the insulating porous layer 14 on the electrochromic layer 13. A step of laminating the second electrode layer 15 having through holes formed so as to face the electrode layer 12, a step of laminating the deterioration preventing layer 16 on the second electrode layer 15, and the first electrode layer 12 And filling the insulating porous layer 14 sandwiched between the second electrode layer 15 with an electrolyte from the through-hole formed in the second electrode layer 15 via the deterioration preventing layer 16, and making it semi-solid And a step of forming the organic protective layer 171 and a step of forming the inorganic protective layer 172.

つまり、第2の電極層15に形成された貫通孔は、エレクトロクロミック装置10の製造工程において、絶縁性多孔質層14に電解質を充填する際の注入孔である。前述のように、貼合せプロセスを省略するために、電解質層上に第2の電極層を形成する場合には様々な問題が生じるが、絶縁性多孔質層14上に貫通孔が形成された第2の電極層15を先に積層し、劣化防止層16の積層工程後、劣化防止層16及び第2の電極層15に形成された貫通孔を介して絶縁性多孔質層14に電解質を注入することにより、これらの問題を回避できる。   That is, the through hole formed in the second electrode layer 15 is an injection hole when the insulating porous layer 14 is filled with the electrolyte in the manufacturing process of the electrochromic device 10. As described above, when the second electrode layer is formed on the electrolyte layer in order to omit the bonding process, various problems arise, but through holes are formed on the insulating porous layer 14. The second electrode layer 15 is laminated first, and after the step of laminating the deterioration preventing layer 16, an electrolyte is applied to the insulating porous layer 14 through the through holes formed in the deterioration preventing layer 16 and the second electrode layer 15. By injecting, these problems can be avoided.

エレクトロクロミック装置10において、第1の電極層12と第2の電極層15との間に電圧を印加することにより、エレクトロクロミック層13が電荷の授受により酸化還元反応して発消色する。
このように、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の電極層と第2の電極層に挟まれた絶縁性多孔質層に、第2の電極層に形成された貫通孔から電解質を充填することが可能である。そのため、電解質を充填する前に、低抵抗な第2の電極層を形成することが可能となり、エレクトロクロミック装置の性能を向上できる。
In the electrochromic device 10, when a voltage is applied between the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15, the electrochromic layer 13 undergoes an oxidation-reduction reaction due to transfer of electric charges, thereby causing a color change.
Thus, in the electrochromic device according to the first embodiment, the through hole formed in the second electrode layer in the insulating porous layer sandwiched between the first electrode layer and the second electrode layer. It is possible to fill the electrolyte. Therefore, it is possible to form the second electrode layer having a low resistance before filling the electrolyte, and the performance of the electrochromic device can be improved.

また、貼合せプロセスなしでエレクトロクロミック装置を作製できるため、多様な部位にエレクトロクロミック装置を形成可能となり、エレクトロクロミック装置の適用範囲を広げることができる。
更に、第2の電極層の外側には支持体が設けられていないため(片側の支持体が不要となるため)、生産性(大型化)に優れたエレクトロクロミック装置を提供できる。また、全固体電解質層を用いる必要がなく応答性に優れ、更に有機エレクトロクロミック材料を用いることで色彩特性にも優れたエレクトロクロミック装置を実現できる。
In addition, since an electrochromic device can be manufactured without a bonding process, an electrochromic device can be formed at various sites, and the application range of the electrochromic device can be expanded.
Furthermore, since a support is not provided outside the second electrode layer (since a support on one side is unnecessary), an electrochromic device excellent in productivity (enlargement) can be provided. Further, it is not necessary to use an all-solid electrolyte layer, and it is possible to realize an electrochromic device having excellent responsiveness and excellent color characteristics by using an organic electrochromic material.

また、第2の電極層上に劣化防止層を設けているため、繰り返し安定して動作するエレクトロクロミック装置を実現できる。従来、劣化防止層は対向する電極の間に形成する必要があったが、本発明においては、貫通孔を形成した電極に接して劣化防止層を形成しているために、対向する電極において、第2の電極層の外側に劣化防止層を形成しても、その効果が得られる。これはイオンが貫通孔を通して電極の表裏を移動できるためである。
更に、最外層に有機保護層と無機保護層とこの順に設けているため、エレクトロクロック装置の耐久性を改善し、安定した動作が得られる。
In addition, since the deterioration preventing layer is provided on the second electrode layer, an electrochromic device that operates repeatedly and stably can be realized. Conventionally, the deterioration preventing layer had to be formed between the opposing electrodes, but in the present invention, since the deterioration preventing layer is formed in contact with the electrode in which the through hole is formed, The effect can be obtained even if a deterioration preventing layer is formed outside the second electrode layer. This is because ions can move between the front and back of the electrode through the through hole.
Furthermore, since the organic protective layer and the inorganic protective layer are provided in this order on the outermost layer, the durability of the electroclock device is improved and stable operation can be obtained.

以下、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10を構成する各構成要素について詳細に説明する。   Hereinafter, each component which comprises the electrochromic apparatus 10 which concerns on 1st Embodiment is demonstrated in detail.

<<支持体>>
前記支持体11は、第1の電極層12、エレクトロクロミック層13、絶縁性多孔質層14、及び第2の電極層15を支持する機能を有する。これらの各層を支持することができれば特に制限はなく、前記支持体11としては、有機材料又は無機材料を用いることができる。
<< Support >>
The support 11 has a function of supporting the first electrode layer 12, the electrochromic layer 13, the insulating porous layer 14, and the second electrode layer 15. If it can support each of these layers, there will be no restriction | limiting in particular, As the said support body 11, an organic material or an inorganic material can be used.

前記支持体11としては、例えば、無アルカリガラス、硼珪酸ガラス、フロートガラス、ソーダ石灰ガラス等のガラス基板を用いることができる。また、支持体11としては、例えば、ポリカーボネイト樹脂、アクリル樹脂、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリエステル、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリイミド樹脂等の樹脂基板を用いてもよい。更に、支持体11として、アルミニウム、ステンレス、チタン等の金属基板を用いてもよい。   As the support 11, for example, a glass substrate such as alkali-free glass, borosilicate glass, float glass, or soda lime glass can be used. Moreover, as the support body 11, you may use resin substrates, such as a polycarbonate resin, an acrylic resin, polyethylene, polyvinyl chloride, polyester, an epoxy resin, a melamine resin, a phenol resin, a polyurethane resin, a polyimide resin, for example. Furthermore, a metal substrate such as aluminum, stainless steel, or titanium may be used as the support 11.

なお、エレクトロクロミック装置10が第2の電極層15側から視認する反射型表示装置である場合は、支持体11の透明性は不要である。また、支持体11として導電性金属材料を用いる場合は、支持体11が第1の電極層12を兼ねることもできる。又、支持体11の表面に、水蒸気バリア性、ガスバリア性、及び視認性を高めるために透明絶縁層、反射防止層等がコーティングされていてもよい。   Note that when the electrochromic device 10 is a reflective display device that is visible from the second electrode layer 15 side, the transparency of the support 11 is not necessary. Further, when a conductive metal material is used as the support 11, the support 11 can also serve as the first electrode layer 12. Further, the surface of the support 11 may be coated with a transparent insulating layer, an antireflection layer or the like in order to improve the water vapor barrier property, gas barrier property, and visibility.

<<第1の電極層及び第2の電極層>>
第1の電極層12及び第2の電極層15の材料としては、導電性を有する材料であれば特に限定されるものではないが、調光ガラスとして利用する場合は光の透過性を確保する必要があるため、透明かつ導電性に優れた透明導電性材料が用いられる。これにより、ガラスの透明性を得られると共に着色のコントラストをより高めることができる。
<< first electrode layer and second electrode layer >>
The material of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 is not particularly limited as long as it is a conductive material, but when used as a light control glass, light transmittance is ensured. Since it is necessary, a transparent conductive material that is transparent and excellent in conductivity is used. Thereby, the transparency of the glass can be obtained and the coloring contrast can be further increased.

前記透明導電性材料としては、スズをドープした酸化インジウム(以下、ITOという)、フッ素をドープした酸化スズ(以下、FTOという)、アンチモンをドープした酸化スズ(以下、ATOという)等の無機材料を用いることができるが、特に、真空成膜により形成されたインジウム酸化物(以下、In酸化物という)、スズ酸化物(以下、Sn酸化物とする)及び亜鉛酸化物(以下、Zn酸化物という)のいずれか1つを含む無機材料を用いることが好ましい。
前記In酸化物、Sn酸化物、及びZn酸化物は、スパッタ法により、容易に成膜が可能な材料であると共に、良好な透明性と電気伝導度が得られる材料である。また、特に好ましい材料は、InSnO、GaZnO、SnO、In、ZnOである。更には、透明性を有する銀、金、カーボンナノチューブや他の高導電性の非透過性材料等を微細なネットワーク状に形成して透過率を持たせた電極である。
Examples of the transparent conductive material include inorganic materials such as tin-doped indium oxide (hereinafter referred to as ITO), fluorine-doped tin oxide (hereinafter referred to as FTO), and antimony-doped tin oxide (hereinafter referred to as ATO). In particular, indium oxide (hereinafter referred to as In oxide), tin oxide (hereinafter referred to as Sn oxide) and zinc oxide (hereinafter referred to as Zn oxide) formed by vacuum film formation can be used. It is preferable to use an inorganic material containing any one of the above.
The In oxide, Sn oxide, and Zn oxide are materials that can be easily formed by a sputtering method, and can obtain good transparency and electrical conductivity. Particularly preferable materials are InSnO, GaZnO, SnO, In 2 O 3 and ZnO. Furthermore, the electrode is made of transparent silver, gold, carbon nanotubes, other highly conductive non-permeable materials, and the like formed into a fine network to have transmittance.

前記第1の電極層12及び第2の電極層15の各々の厚みは、エレクトロクロミック層13の酸化還元反応に必要な電気抵抗値が得られるように調整される。第1の電極層12及び第2の電極層15の材料としてITOを用いた場合、第1の電極層12及び第2の電極層15の各々の厚みは、例えば、50nm〜500nm程度とすることができる。
調光ミラーとして利用する場合には、第1の電極層12及び第2の電極層15のいずれかが反射機能を有する構造であってもよく、その場合には第1の電極層12及び第2の電極層15の材料として金属材料を含むことができる。前記金属材料としては、例えば、Pt、Ag、Au、Cr、ロジウム、又はこれらの合金、あるいはこれらの積層物などが挙げられる。
The thickness of each of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 is adjusted so that an electric resistance value necessary for the oxidation-reduction reaction of the electrochromic layer 13 is obtained. When ITO is used as the material of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15, the thickness of each of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 is, for example, about 50 nm to 500 nm. Can do.
When used as a dimming mirror, either the first electrode layer 12 or the second electrode layer 15 may have a reflective function. In that case, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 A metal material can be included as the material of the second electrode layer 15. Examples of the metal material include Pt, Ag, Au, Cr, rhodium, alloys thereof, and laminates thereof.

前記第1の電極層12及び第2の電極層15の各々の作製方法としては、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等を用いることができる。
前記第1の電極層12及び第2の電極層15の各々の材料が塗布形成できるものであれば特に制限はなく、例えば、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法、ノズルコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の各種印刷法を用いることができる。
As a manufacturing method of each of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like can be used.
There is no particular limitation as long as each material of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 can be formed by coating. For example, spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar Coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, slit coating method, capillary coating method, spray coating method, nozzle coating method, gravure printing method, screen printing method, flexographic printing method, offset printing method, reverse printing Various printing methods such as a printing method and an inkjet printing method can be used.

本実施の形態では、第2の電極層15には、厚み方向に貫通する多数の微細な貫通孔が形成されている。例えば、以下に示す方法により、第2の電極層15に微細な貫通孔を設けることができる。即ち、第2の電極層15を形成する前に予め下地層として凹凸を持つ層を形成し、そのまま凹凸を有する第2の電極層15とする方法を用いることができる。   In the present embodiment, the second electrode layer 15 has a large number of fine through holes penetrating in the thickness direction. For example, fine through holes can be provided in the second electrode layer 15 by the method described below. That is, it is possible to use a method in which a layer having projections and depressions is formed in advance as a base layer before forming the second electrode layer 15, and the second electrode layer 15 having projections and depressions is used as it is.

第2の電極層15を形成する前にマイクロピラー等の凸形状構造体を形成し、第2の電極層15を形成後に凸形状構造体を取り除く方法を用いてもよい。また、第2の電極層15を形成する前に発泡性の高分子重合体等を散布し、第2の電極層15を形成後に加熱や脱気する等の処理を施して発泡させる方法を用いてもよい。なお、第2の電極層15に直接各種放射線を輻射して細孔を形成させる方法を用いてもよい。   A method of forming a convex structure such as a micro pillar before forming the second electrode layer 15 and removing the convex structure after forming the second electrode layer 15 may be used. Further, before forming the second electrode layer 15, a foaming polymer or the like is sprayed, and after the second electrode layer 15 is formed, a process such as heating or degassing is performed to foam. May be. Note that a method of directly irradiating various radiations to the second electrode layer 15 to form pores may be used.

前記第2の電極層15に微細な貫通孔を形成する方法としては、コロイダルリソグラフィー法が好ましい。前記コロイダルリソグラフィー法は、第2の電極層15が積層される下層に微粒子を散布し、散布された微粒子をマスクとして微粒子が散布された面に真空成膜法等により第2の電極層15となる導電膜を形成し、その後、微粒子ごと導電膜を除去することでパターニングを行う方法である。   As a method of forming fine through holes in the second electrode layer 15, a colloidal lithography method is preferable. In the colloidal lithography method, fine particles are dispersed in the lower layer on which the second electrode layer 15 is laminated, and the second electrode layer 15 and the second electrode layer 15 are formed on the surface on which the fine particles are dispersed using the dispersed fine particles as a mask. In this method, patterning is performed by forming a conductive film and then removing the conductive film together with the fine particles.

前記コロイダルリソグラフィー法により第2の電極層15に微細な貫通孔を容易に形成できる。特に、散布する微粒子の直径を第2の電極層15の厚み以上とすることにより、第2の電極層15に容易に貫通孔を形成できる。また、散布する微粒子分散物の濃度や微粒子の粒子径を変えることで容易に微細な貫通孔の密度や面積を調節できる。
更に、微粒子分散物の散布方法によりコロイダルマスクの面内均一性を容易に高めることができるため、エレクトロクロミック層13の発消色濃度の面内均一性を高め、表示性能を向上させることが可能となる。以下、コロイダルリソグラフィー法の具体的な内容について説明する。
A fine through hole can be easily formed in the second electrode layer 15 by the colloidal lithography method. In particular, by setting the diameter of the fine particles to be dispersed to be equal to or greater than the thickness of the second electrode layer 15, the through holes can be easily formed in the second electrode layer 15. Further, the density and area of the fine through holes can be easily adjusted by changing the concentration of the fine particle dispersion to be dispersed and the particle diameter of the fine particles.
Furthermore, since the in-plane uniformity of the colloidal mask can be easily increased by the dispersion method of the fine particle dispersion, it is possible to increase the in-plane uniformity of the color density of the electrochromic layer 13 and improve the display performance. It becomes. Hereinafter, specific contents of the colloidal lithography method will be described.

コロイダルリソグラフィーに用いるコロイダルマスクとなる微粒子の材質については、第2の電極層15に微細な貫通孔を形成することが可能であれば何を用いても構わないが、例えば、SiO微粒子等が経済的に優位である。また、コロイダルマスク散布時に用いる分散物は分散性のよいものが好ましく、例えば、コロイダルマスクとなる微粒子としてSiO微粒子を用いる場合は水系の分散物を用いることができる。
但し、エレクトロクロミック層13や絶縁性多孔質層14等のコロイダルマスクの下層にダメージを与えるおそれがある場合は、コロイダルマスクとなる微粒子として非水系溶媒に分散するように表面処理したSiO微粒子を用いることが好ましい。この場合には、コロイダルマスク散布時に用いる分散物として非水系の分散物を用いることができる。
The material of the fine particles of colloidal mask used in colloidal lithography, but may be used what if it is possible to form fine through-holes in the second electrode layer 15, for example, SiO 2 fine particles is Economic advantage. Further, the dispersion used at the time of the colloidal mask spraying is preferably good dispersibility, for example, in the case of using the SiO 2 fine particles as fine particles comprising colloidal mask may be used a dispersion of water-based.
However, when there is a possibility of damaging the lower layer of the colloidal mask such as the electrochromic layer 13 or the insulating porous layer 14, the SiO 2 fine particles that are surface-treated so as to be dispersed in a non-aqueous solvent as fine particles to be a colloidal mask are used. It is preferable to use it. In this case, a non-aqueous dispersion can be used as a dispersion used when colloidal mask is dispersed.

コロイダルマスクとなる微粒子の粒子径(直径)については、微細な貫通孔を形成する第2の電極層15の厚み以上、かつ、エレクトロクロミック層13の厚み以下であることが好ましい。コロイダルマスクは、超音波照射法やテープピーリング法等により除去できるが、下層にダメージの少ない方法を選択することが好ましい。また、コロイダルマスクの他の除去方式として、微粒子等の吹付けによるドライ洗浄も可能である。   The particle diameter (diameter) of the fine particles serving as the colloidal mask is preferably not less than the thickness of the second electrode layer 15 that forms fine through holes and not more than the thickness of the electrochromic layer 13. The colloidal mask can be removed by an ultrasonic irradiation method, a tape peeling method, or the like, but it is preferable to select a method with less damage to the lower layer. As another removal method of the colloidal mask, dry cleaning by spraying fine particles or the like is also possible.

テープピーリング法を用いてコロイダルマスクを除去する場合、一般的なテープにおける粘着層の厚みは1μm以上となっておりコロイダルマスクが埋没してしまう場合が多い。この場合、第2の電極層15の表面に粘着層が接触してしまうため、糊残りの少ないテープを使用することが好ましい。超音波照射法を用いてコロイダルマスクを除去する場合、浸漬する溶媒については既に形成している各機能層にダメージの少ない溶媒を用いることが好ましい。   When removing a colloidal mask using a tape peeling method, the thickness of the adhesive layer in a general tape is 1 μm or more, and the colloidal mask is often buried. In this case, since the adhesive layer contacts the surface of the second electrode layer 15, it is preferable to use a tape with little adhesive residue. When removing a colloidal mask using an ultrasonic irradiation method, it is preferable to use a solvent with little damage to each functional layer already formed as the solvent to be immersed.

第2の電極層15に微細な貫通孔を形成する方法として、コロイダルリソグラフィー法の他に、フォトレジストやドライフィルム等を用いた一般的なリフトオフ法を用いてもよい。具体的には、まず所望のフォトレジストパターンを形成し、次いで第2の電極層15を形成し、その後フォトレジストパターンを除去することによってフォトレジストパターン上の不要な部分を除去して、第2の電極層15に微細な貫通孔を形成する方法である。
一般的なリフトオフ法により第2の電極層15に微細な貫通孔を形成する場合、光照射による下層へのダメージを回避するため、対象物への光照射面積が小さくて済むように、使用するフォトレジストはネガ型のものを使用することが好ましい。
前記ネガ型のフォトレジストとしては、例えば、ポリビニルシンナメート、スチリルピリジニウムホルマール化ポリビニルアルコール、グリコールメタクリレート/ポリビニルアルコール/開始剤、ポリグリシジルメタクリレート、ハロメチル化ポリスチレン、ジアゾレジン、ビスアジド/ジエン系ゴム、ポリヒドロキシスチレン/メラミン/光酸発生剤、メチル化メラミン樹脂、メチル化尿素樹脂などが挙げられる。
更に、レーザ光を用いた加工装置により、第2の電極層15に微細な貫通孔を形成することも可能である。一般的にレーザ加工を用いた場合は、形成される微細な貫通孔の孔径が15μm以上になる。
As a method of forming a fine through hole in the second electrode layer 15, a general lift-off method using a photoresist, a dry film, or the like may be used in addition to the colloidal lithography method. Specifically, a desired photoresist pattern is first formed, then a second electrode layer 15 is formed, and then the photoresist pattern is removed to remove unnecessary portions on the photoresist pattern. This is a method of forming fine through holes in the electrode layer 15.
When a fine through hole is formed in the second electrode layer 15 by a general lift-off method, it is used so that the light irradiation area to the object may be small in order to avoid damage to the lower layer due to light irradiation. It is preferable to use a negative type photoresist.
Examples of the negative photoresist include polyvinyl cinnamate, styrylpyridinium formalized polyvinyl alcohol, glycol methacrylate / polyvinyl alcohol / initiator, polyglycidyl methacrylate, halomethylated polystyrene, diazoresin, bisazide / diene rubber, and polyhydroxystyrene. / Melamine / photoacid generator, methylated melamine resin, methylated urea resin and the like.
Further, it is possible to form fine through holes in the second electrode layer 15 by a processing apparatus using laser light. In general, when laser processing is used, the diameter of fine through holes to be formed is 15 μm or more.

前記第2の電極層15に設けられる微細な貫通孔の直径は、10nm以上100μm以下が好ましい。前記貫通孔の直径が10nm(0.01μm)よりも小さい場合、電解質イオンの透過が悪くなる不具合が生じることがある。一方、前記微細貫通孔の直径が100μmよりも大きい場合、目視できるレベル(通常のディスプレイでは1画素電極レベルの大きさ)であり、微細な貫通孔直上の表示性能に不具合が生じることになる。   The diameter of the fine through hole provided in the second electrode layer 15 is preferably 10 nm or more and 100 μm or less. When the diameter of the through hole is smaller than 10 nm (0.01 μm), there may be a problem that the permeation of electrolyte ions is deteriorated. On the other hand, when the diameter of the fine through-hole is larger than 100 μm, it is at a level that can be visually observed (the size of one pixel electrode in a normal display), which causes a problem in display performance directly above the fine through-hole.

前記第2の電極層15に設けられる微細な貫通孔の第2の電極層15の表面積に対する孔面積の比(穴密度)は、適宜設定することができるが、例えば、0.01%〜40%程度とすることができる。前記穴密度が、高すぎると、第2の電極層15の表面抵抗が大きくなるため、第2の電極層15がない領域面積が広くなることによるクロミック欠陥が出る不具合が生じる。一方、前記穴密度が低すぎると、電解質イオンの浸透性が悪くなるために、同様に駆動に問題が生じる不具合が生じる。   Although the ratio (hole density) of the hole area with respect to the surface area of the 2nd electrode layer 15 of the fine through-hole provided in the said 2nd electrode layer 15 can be set suitably, for example, 0.01%-40 %. If the hole density is too high, the surface resistance of the second electrode layer 15 is increased, which causes a problem that a chromic defect is generated due to an increase in the area of the area where the second electrode layer 15 is not provided. On the other hand, when the hole density is too low, the permeability of the electrolyte ions is deteriorated, so that a problem that causes a problem in driving similarly occurs.

<<エレクトロクロミック層>>
前記エレクトロクロミック層13は、エレクトロクロミック材料を含み、更に必要に応じてその他の成分を含んである。
前記エレクトロクロミック材料としては、無機エレクトロクロミック化合物及び有機エレクトロクロミック化合物のいずれを用いても構わない。
また、エレクトロクロミズムを示すことで知られる導電性高分子も用いることができる。
<< Electrochromic layer >>
The electrochromic layer 13 includes an electrochromic material, and further includes other components as necessary.
As the electrochromic material, either an inorganic electrochromic compound or an organic electrochromic compound may be used.
In addition, a conductive polymer known to exhibit electrochromism can also be used.

前記無機エレクトロクロミック化合物としては、例えば、酸化タングステン、酸化モリブデン、酸化イリジウム、酸化チタンなどが挙げられる。
前記有機エレクトロクロミック化合物としては、例えば、ビオロゲン、希土類フタロシアニン、スチリルなどが挙げられる。
前記導電性高分子としては、例えば、ポリピロール、ポリチオフェン、ポリアニリン、又はそれらの誘導体などが挙げられる。
Examples of the inorganic electrochromic compound include tungsten oxide, molybdenum oxide, iridium oxide, and titanium oxide.
Examples of the organic electrochromic compound include viologen, rare earth phthalocyanine, and styryl.
Examples of the conductive polymer include polypyrrole, polythiophene, polyaniline, or derivatives thereof.

前記エレクトロクロミック層13としては、導電性又は半導体性微粒子に有機エレクトロクロミック化合物を担持した構造を用いることが好ましい。
具体的には、電極表面に粒径5nm〜50nm程度の微粒子を焼結し、前記微粒子の表面にホスホン酸やカルボキシル基、シラノール基等の極性基を有する有機エレクトロクロミック化合物を吸着した構造である。
前記構造は、微粒子の大きな表面効果を利用して、効率よく有機エレクトロクロミック化合物に電子が注入されるため、従来のエレクトロクロミック表示素子と比較して高速応答する。
更に、微粒子を用いることで表示層として透明な膜を形成することができるため、エレクトロクロミック色素の高い発色濃度を得ることができる。
なお、複数種類の有機エレクトロクロミック化合物を導電性又は半導体性微粒子に担持することもできる。
As the electrochromic layer 13, it is preferable to use a structure in which an organic electrochromic compound is supported on conductive or semiconductive fine particles.
Specifically, it is a structure in which fine particles having a particle size of about 5 nm to 50 nm are sintered on the electrode surface, and an organic electrochromic compound having a polar group such as phosphonic acid, carboxyl group, silanol group or the like is adsorbed on the surface of the fine particles. .
The structure utilizes a large surface effect of fine particles and efficiently injects electrons into the organic electrochromic compound. Therefore, the structure responds faster than a conventional electrochromic display element.
Furthermore, since a transparent film can be formed as a display layer by using fine particles, a high color density of the electrochromic dye can be obtained.
A plurality of types of organic electrochromic compounds can be supported on conductive or semiconductive fine particles.

前記エレクトロクロミック材料としては、例えば、ポリマー系、色素系のエレクトロクロミック化合物として、アゾベンゼン系、アントラキノン系、ジアリールエテン系、ジヒドロプレン系、ジピリジン系、スチリル系、スチリルスピロピラン系、スピロオキサジン系、スピロチオピラン系、チオインジゴ系、テトラチアフルバレン系、テレフタル酸系、トリフェニルメタン系、トリフェニルアミン系、ナフトピラン系、ビオロゲン系、ピラゾリン系、フェナジン系、フェニレンジアミン系、フェノキサジン系、フェノチアジン系、フタロシアニン系、フルオラン系、フルギド系、ベンゾピラン系、メタロセン系等の低分子系有機エレクトロクロミック化合物、ポリアニリン、ポリチオフェン等の導電性高分子化合物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
これらの中でも、発消色電位が低く、良好な色値を示す点から、ビオロゲン系化合物又はジピリジン系化合物が好ましい。
Examples of the electrochromic material include polymer-based and dye-based electrochromic compounds such as azobenzene, anthraquinone, diarylethene, dihydroprene, dipyridine, styryl, styryl spiropyran, spirooxazine, spirothiopyran, Thioindigo, tetrathiafulvalene, terephthalic acid, triphenylmethane, triphenylamine, naphthopyran, viologen, pyrazoline, phenazine, phenylenediamine, phenoxazine, phenothiazine, phthalocyanine, fluorane And low molecular organic electrochromic compounds such as fulgide, benzopyran, and metallocene, and conductive polymer compounds such as polyaniline and polythiophene. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
Among these, a viologen compound or a dipyridine compound is preferable from the viewpoint of a low color developing / erasing potential and a good color value.

前記ビオロゲン系化合物としては、例えば、特許第3955641号公報、特開2007−171781号公報に記載の化合物などが挙げられる。
前記ジピリジン系化合物としては、例えば、特開2007−171781号公報、特開2008−116718号公報に記載の化合物などが挙げられる。
これらの中でも、良好な発色の色値を示す点から、下記一般式1で表されるジピリジン系化合物が好ましい。
Examples of the viologen compound include compounds described in Japanese Patent No. 39555641 and Japanese Patent Application Laid-Open No. 2007-171781.
Examples of the dipyridine-based compound include compounds described in JP 2007-171781 A and JP 2008-116718 A.
Among these, a dipyridine compound represented by the following general formula 1 is preferable from the viewpoint of exhibiting a good color value.

[一般式1]
[General Formula 1]

前記一般式1において、R1及びR2は、それぞれ独立に、置換基を有してもよい炭素数1〜8のアルキル基、又はアリール基を表し、R1及びR2の少なくとも一方は、COOH、PO(OH)、及びSi(OC2k+1(ただし、kは、1〜20を表す)から選択される置換基を有する。
前記一般式1において、Xは1価のアニオンを表す。前記一価のアニオンとしては、カチオン部と安定に対をなすものであれば特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、Brイオン(Br)、Clイオン(Cl)、ClOイオン(ClO )、PFイオン(PF )、BFイオン(BF )などが挙げられる。
前記一般式1において、n、m、及びlは、0、1又は2を表す。A、B、及びCは、それぞれ独立に置換基を有してもよい炭素数1〜20のアルキル基、アリール基、又は複素環基を表す。
In the general formula 1, R1 and R2 each independently represents an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms or an aryl group which may have a substituent, and at least one of R1 and R2 is COOH, PO ( OH) 2 and Si (OC k H 2k + 1 ) 3 (where k represents 1 to 20).
In the general formula 1, X represents a monovalent anion. The monovalent anion is not particularly limited as long as it forms a stable pair with the cation moiety, and can be appropriately selected according to the purpose. For example, Br ion (Br ), Cl ion (Cl ), ClO 4 ions (ClO 4 ), PF 6 ions (PF 6 ), BF 4 ions (BF 4 ), and the like.
In the general formula 1, n, m, and l represent 0, 1, or 2. A, B, and C each independently represent a C 1-20 alkyl group, aryl group, or heterocyclic group that may have a substituent.

金属錯体系及び金属酸化物系のエレクトロクロミック化合物としては、例えば、酸化チタン、酸化バナジウム、酸化タングステン、酸化インジウム、酸化イリジウム、酸化ニッケル、プルシアンブルー等の無機系エレクトロクロミック化合物などが挙げられる。
導電性又は半導体性微粒子としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属酸化物が好ましい。
前記金属酸化物の材料としては、例えば、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ジルコニウム、酸化セリウム、酸化イットリウム、酸化ホウ素、酸化マグネシウム、チタン酸ストロンチウム、チタン酸カリウム、チタン酸バリウム、チタン酸カルシウム、酸化カルシウム、フェライト、酸化ハフニウム、酸化タングステン、酸化鉄、酸化銅、酸化ニッケル、酸化コバルト、酸化バリウム、酸化ストロンチウム、酸化バナジウム、アルミノケイ酸、リン酸カルシウム、アルミノシリケート等を主成分とする金属酸化物などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
電気伝導性等の電気的特性や光学的性質等の物理的特性を鑑みるに、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化スズ、酸化ジルコニウム、酸化鉄、酸化マグネシウム、酸化インジウム、酸化タングステンから選ばれる1種又はそれらの混合物が用いられたとき、発消色の応答速度に優れた色表示が可能である。
とりわけ、酸化チタンが用いられたとき、より発消色の応答速度に優れた色表示が可能である。
また、導電性又は半導体性微粒子の形状は、特に制限されるものではないが、エレクトロクロミック化合物を効率よく担持するために、単位体積当たりの表面積(以下、比表面積という)が大きい形状が用いられる。
例えば、微粒子が、ナノ粒子の集合体であるときは、大きな比表面積を有するため、より効率的にエレクトロクロミック化合物が担持され、発消色の表示コントラスト比が優れる。
Examples of the metal complex-based and metal oxide-based electrochromic compounds include inorganic electrochromic compounds such as titanium oxide, vanadium oxide, tungsten oxide, indium oxide, iridium oxide, nickel oxide, and Prussian blue.
There is no restriction | limiting in particular as electroconductive or semiconductive fine particle, Although it can select suitably according to the objective, A metal oxide is preferable.
Examples of the metal oxide material include titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, zirconium oxide, cerium oxide, yttrium oxide, boron oxide, magnesium oxide, strontium titanate, potassium titanate, barium titanate, and calcium titanate. , Calcium oxide, ferrite, hafnium oxide, tungsten oxide, iron oxide, copper oxide, nickel oxide, cobalt oxide, barium oxide, strontium oxide, vanadium oxide, aluminosilicate, calcium phosphate, aluminosilicate, etc. Is mentioned. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.
In view of electrical properties such as electrical conductivity and physical properties such as optical properties, one selected from titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, zirconium oxide, iron oxide, magnesium oxide, indium oxide, tungsten oxide, or When these mixtures are used, it is possible to display colors with excellent response speed of color development and decoloration.
In particular, when titanium oxide is used, it is possible to display a color with an excellent response speed of color development and decoloration.
In addition, the shape of the conductive or semiconductive fine particles is not particularly limited, but a shape having a large surface area per unit volume (hereinafter referred to as a specific surface area) is used in order to efficiently carry the electrochromic compound. .
For example, when the fine particle is an aggregate of nanoparticles, it has a large specific surface area, so that the electrochromic compound is more efficiently supported and the display contrast ratio of color development and decoloration is excellent.

また、ポリマー系の色素材料を用いることもできる。具体的にはポリピロール系、ポリチオフェン系、ポリアニリン系、又はそれらの誘導体等、金属錯体と有機リガンドのハイブリッドポリマー等を用いることができる。これらの材料では電極上に塗布するだけで高速なクロミック動作が得られるため、半導体性微粒子を用いない分、部材点数が少なくて済む。なお、これらを第2の電気活性層として用いる際は、必要に応じて、電解質の注入を阻害しないように膜密度を調整するか、或いはレーザ加工等により貫通孔を形成してもよい。   In addition, a polymer-based coloring material can be used. Specifically, polypyrrole-based, polythiophene-based, polyaniline-based, or derivatives thereof such as a hybrid polymer of a metal complex and an organic ligand can be used. Since these materials can provide a high-speed chromic operation simply by being applied on the electrode, the number of members can be reduced by not using semiconductive fine particles. When these are used as the second electroactive layer, if necessary, the film density may be adjusted so as not to inhibit the injection of the electrolyte, or through holes may be formed by laser processing or the like.

前記エレクトロクロミック層の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.05μm〜5.0μmが好ましい。前記厚みが、0.05μm未満であると、発色濃度が得にくくなることがあり、5.0μmを超えると、製造コストが増大すると共に、着色によって視認性が低下しやすいことがある。
前記エレクトロクロミック層13及び導電性又は半導体性微粒子層は真空製膜により形成することも可能であるが、生産性の点で粒子分散ペーストとして塗布形成することが好ましい。
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said electrochromic layer, Although it can select suitably according to the objective, 0.05 micrometer-5.0 micrometers are preferable. When the thickness is less than 0.05 μm, it may be difficult to obtain a color density, and when it exceeds 5.0 μm, the manufacturing cost increases and the visibility may be easily lowered due to coloring.
The electrochromic layer 13 and the conductive or semiconductive fine particle layer can be formed by vacuum film formation, but it is preferably formed by coating as a particle dispersion paste from the viewpoint of productivity.

<<絶縁性多孔質層>>
前記絶縁性多孔質層14は、第1の電極層12と第2の電極層15とが電気的に絶縁されるように隔離すると共に、電解質を保持する機能を有する。
前記絶縁性多孔質層14の材料としては、多孔質であればよく特に制限されるものではないが、絶縁性及び耐久性が高く成膜性に優れた有機材料、無機材料、又はこれらの複合体を用いることが好ましい。
<< Insulating porous layer >>
The insulating porous layer 14 has a function of isolating the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 so as to be electrically insulated and holding an electrolyte.
The material of the insulating porous layer 14 is not particularly limited as long as it is porous, but it is an organic material, an inorganic material, or a composite thereof having high insulation and durability and excellent film-forming properties. It is preferable to use a body.

前記絶縁性多孔質層14の形成方法としては、焼結法(高分子微粒子や無機粒子を、バインダー等を添加して部分的に融着させ粒子間に生じた孔を利用する)や、抽出法(溶剤に可溶な有機物又は無機物類と溶剤に溶解しないバインダー等で構成層を形成した後に、溶剤で有機物又は無機物類を溶解させ細孔を得る)等を用いることができる。
前記絶縁性多孔質層14の形成方法として、高分子重合体等を加熱や脱気する等して発泡させる発泡法、良溶媒と貧溶媒を操作して高分子類の混合物を相分離させる相転換法、各種放射線を輻射して細孔を形成させる放射線照射法等の形成方法を用いてもよい。具体例としては、金属酸化物微粒子(例えば、SiO粒子やAl粒子など)とポリマー結着剤を含むポリマー混合粒子膜、多孔性有機膜(例えば、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂など)、多孔質膜状に形成した無機絶縁材料膜などが挙げられる。
The insulating porous layer 14 may be formed by a sintering method (using fine pores or inorganic particles partially fused by adding a binder or the like, using pores formed between the particles) or extraction. The method (after forming a constituent layer with an organic or inorganic substance soluble in a solvent and a binder that does not dissolve in the solvent, and then dissolving the organic or inorganic substance with a solvent to obtain pores) can be used.
As the method for forming the insulating porous layer 14, a foaming method in which a polymer is foamed by heating or degassing, or a phase in which a mixture of polymers is phase-separated by operating a good solvent and a poor solvent. You may use formation methods, such as a conversion method and the radiation irradiation method which irradiates various radiation and forms a pore. Specific examples include a polymer mixed particle film containing metal oxide fine particles (for example, SiO 2 particles and Al 2 O 3 particles) and a polymer binder, a porous organic film (for example, polyurethane resin, polyethylene resin, etc.), Examples thereof include an inorganic insulating material film formed into a porous film.

前記絶縁性多孔質層14の凹凸は、第2の電極層15の厚みにも依存するが、例えば、第2の電極層15の厚みを100nmとすると、絶縁性多孔質層14の表面粗さは平均粗さ(Ra)で100nm未満の要件を満たす必要がある。平均粗さが100nmを超える場合には第2の電極層15の表面抵抗が大きく失われ、表示不良の原因となる。絶縁性多孔質層14の厚みは、例えば、0.5μm〜3μm程度とすることができる。
前記絶縁性多孔質層14は、無機膜と組み合わせて用いることが好ましい。これは絶縁性多孔質層14の表面に形成される第2の電極層15をスパッタ法により形成する際に、下層である絶縁性多孔質層14やエレクトロクロミック層13の有機物質へのダメージを低減させるためである。
The unevenness of the insulating porous layer 14 depends on the thickness of the second electrode layer 15. For example, when the thickness of the second electrode layer 15 is 100 nm, the surface roughness of the insulating porous layer 14 is as follows. Must satisfy the requirement of less than 100 nm in average roughness (Ra). When the average roughness exceeds 100 nm, the surface resistance of the second electrode layer 15 is greatly lost, causing display defects. The thickness of the insulating porous layer 14 can be, for example, about 0.5 μm to 3 μm.
The insulating porous layer 14 is preferably used in combination with an inorganic film. This is because when the second electrode layer 15 formed on the surface of the insulating porous layer 14 is formed by sputtering, damage to the organic material of the insulating porous layer 14 and the electrochromic layer 13 which are lower layers is prevented. This is to reduce.

前記無機膜としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができ、例えば、SiO、Alなどの絶縁性透明材料が好ましいが、更にZnSを含む材料を用いることができる。ZnSは、スパッタ法によって、エレクトロクロミック層13等にダメージを与えることなく高速に成膜できるという特徴を有する。更に、ZnSを主な成分として含む材料として、ZnS−SiO、ZnS−SiC、ZnS−Si、ZnS−Ge等を用いてもよい。 The inorganic film is not particularly limited and may be appropriately selected depending on the purpose, for example, although the insulating transparent material such as SiO 2, Al 2 O 3 is preferred, that the further use of the material containing ZnS it can. ZnS has a feature that it can be deposited at high speed by sputtering without damaging the electrochromic layer 13 or the like. Furthermore, ZnS—SiO 2 , ZnS—SiC, ZnS—Si, ZnS—Ge, or the like may be used as a material containing ZnS as a main component.

ここで、ZnSの含有率は、絶縁層を形成した際の結晶性を良好に保つために、約50mol%〜90mol%とすることが好ましい。したがって、特に好ましい材料は、ZnS−SiO(8/2)、ZnS−SiO(7/3)、ZnS、ZnS−ZnO−In2O3−Ga2O3(60/23/10/7)である。絶縁性多孔質層14として上記のような材料を用いることにより、薄膜で良好な絶縁効果が得られ、膜強度低下や膜剥離を防止することができる。 Here, the ZnS content is preferably about 50 mol% to 90 mol% in order to maintain good crystallinity when the insulating layer is formed. Therefore, particularly preferable materials are ZnS—SiO 2 (8/2), ZnS—SiO 2 (7/3), ZnS, and ZnS—ZnO—In 2 O 3 —Ga 2 O 3 (60/23/10/7). By using the material as described above as the insulating porous layer 14, a good insulating effect can be obtained with a thin film, and a decrease in film strength and film peeling can be prevented.

<<劣化防止層>>
前記劣化防止層16の役割は、エレクトロクロミック層13と逆の化学反応をし、電荷のバランスをとって第1の電極層12や第2の電極層15が不可逆的な酸化還元反応により腐食や劣化することを抑制することである。その結果として、エレクトロクロミック装置10の繰り返し安定性を向上することである。なお、逆反応とは、劣化防止層が酸化還元する場合に加え、キャパシタとして作用することも含む。
<< Deterioration prevention layer >>
The role of the deterioration preventing layer 16 is to perform a chemical reaction opposite to that of the electrochromic layer 13, and to balance the charge, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are corroded by an irreversible oxidation-reduction reaction. It is to suppress deterioration. As a result, the repeated stability of the electrochromic device 10 is improved. In addition, the reverse reaction includes acting as a capacitor in addition to the case where the degradation preventing layer is oxidized and reduced.

前記劣化防止層16の材料は、第1の電極層12及び第2の電極層15の不可逆的な酸化還元反応による腐食を防止する役割を担う材料であれば特に限定されるものではない。劣化防止層16の材料として、例えば、酸化アンチモン錫や酸化ニッケル、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫、又はそれらを複数含む導電性又は半導体性金属酸化物を用いることができる。更に、劣化防止層の着色が問題にならない場合は、前述のエレクトロクロミック材料と同じものを用いることができる。   The material of the deterioration preventing layer 16 is not particularly limited as long as it is a material that plays a role of preventing corrosion of the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 due to irreversible oxidation-reduction reaction. As the material of the deterioration preventing layer 16, for example, antimony tin oxide, nickel oxide, titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, or a conductive or semiconductive metal oxide containing a plurality of them can be used. Furthermore, when coloring of the deterioration preventing layer does not become a problem, the same material as the above-described electrochromic material can be used.

前記劣化防止層16は、電解質の注入を阻害しない程度の多孔質薄膜から構成することができる。例えば酸化アンチモン錫や酸化ニッケル、酸化チタン、酸化亜鉛、酸化錫等の導電性又は半導体性金属酸化物微粒子を、例えばアクリル系、アルキド系、イソシアネート系、ウレタン系、エポキシ系、フェノール系等のバインダーにより第2の電極層15に固定化することで、電解質の浸透性と、劣化防止層としての機能を満たす、好適な多孔質薄膜を得ることができる。   The deterioration preventing layer 16 can be composed of a porous thin film that does not hinder electrolyte injection. For example, conductive or semiconductive metal oxide fine particles such as antimony tin oxide, nickel oxide, titanium oxide, zinc oxide, tin oxide, etc., binders such as acrylic, alkyd, isocyanate, urethane, epoxy, phenol, etc. By fixing to the second electrode layer 15, a suitable porous thin film satisfying the electrolyte permeability and the function as a deterioration preventing layer can be obtained.

前記劣化防止層16の材料として、電荷の授受に伴って透明状態を保持する材料を用いてもよい。例えば、ポリピロール系、ポリチオフェン系、ポリアニリン系、又はそれらの誘導体等の導電性高分子や、金属錯体と有機リガンドのハイブリッドポリマー、ラジカルポリマーなどが挙げられる。なお、これらを第2の電気活性層として用いる際は、電解質の注入を阻害しないように膜密度を調整するか、或いはレーザ加工等により貫通孔を形成する必要がある。或いは、エレクトロクロミック層13として、これらの材料を用い、劣化防止層16として、既述の導電性或いは半導体性微粒子に担持した有機エレクトロクロミック化合物を用いてもよい。   As the material of the deterioration preventing layer 16, a material that maintains a transparent state with charge exchange may be used. For example, conductive polymers such as polypyrrole, polythiophene, polyaniline, or derivatives thereof, hybrid polymers of metal complexes and organic ligands, radical polymers, and the like can be given. When these are used as the second electroactive layer, it is necessary to adjust the film density so as not to inhibit the injection of the electrolyte, or to form a through hole by laser processing or the like. Alternatively, these materials may be used as the electrochromic layer 13, and the organic electrochromic compound supported on the conductive or semiconductive fine particles described above may be used as the deterioration preventing layer 16.

前記劣化防止層16として、透明性の高いn型半導体性酸化物微粒子(n型半導体性金属酸化物)を用いることが好ましい。具体例としては、100nm以下の1次粒子径粒子からなる、酸化チタン、酸化スズ、酸化亜鉛、又はそれらを複数含む化合物粒子、混合物を用いることができる。   As the deterioration preventing layer 16, it is preferable to use highly transparent n-type semiconductor oxide fine particles (n-type semiconductor metal oxide). As a specific example, titanium oxide, tin oxide, zinc oxide, or a compound particle or a mixture containing a plurality of them can be used, which is composed of particles having a primary particle diameter of 100 nm or less.

更に、これらの劣化防止層16を用いる場合は、エレクトロクロミック層13が酸化反応により着色から透明に変化する材料であることが好ましい。エレクトロクロミック層13が酸化反応すると同時にn型半導体性金属酸化物が還元(電子注入)され易く、駆動電圧が低減できるからである。   Furthermore, when using these degradation prevention layers 16, it is preferable that the electrochromic layer 13 is a material which changes from coloring to transparent by an oxidation reaction. This is because the n-type semiconductor metal oxide is easily reduced (electron injection) at the same time as the electrochromic layer 13 undergoes an oxidation reaction, and the drive voltage can be reduced.

このような形態において、特に好ましいエレクトロクロミック材料は、有機高分子材料である。塗布形成プロセス等により容易に成膜できると共に、分子構造により色の調整や制御が可能となる。これらの有機高分子材料例としては、ポリ(3,4−エチレンジオキシチオフェン)系材料、ビス(ターピリジン)類と鉄イオンの錯形成ポリマー等である。   In such a form, a particularly preferred electrochromic material is an organic polymer material. The film can be easily formed by a coating process or the like, and the color can be adjusted and controlled by the molecular structure. Examples of these organic polymer materials include poly (3,4-ethylenedioxythiophene) -based materials, complex polymers of bis (terpyridine) s and iron ions, and the like.

前記劣化防止層16の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンレーティング法等を用いることができる。また、劣化防止層16の材料としては、塗布形成できるものであれば特に制限はなく、例えば、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法、ノズルコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法等の各種印刷法を用いることができる。   As a method for forming the deterioration preventing layer 16, for example, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion rating method, or the like can be used. The material for the deterioration preventing layer 16 is not particularly limited as long as it can be applied and formed. For example, spin coating, casting, micro gravure coating, gravure coating, bar coating, roll coating, wire Various methods such as bar coating, dip coating, slit coating, capillary coating, spray coating, nozzle coating, gravure printing, screen printing, flexographic printing, offset printing, reverse printing, and inkjet printing Printing methods can be used.

<<電解質>>
本実施の形態では、電解質(図示せず)は、電解液として、劣化防止層16を介して、第2の電極層15に形成された微細な貫通孔から第1の電極層12と第2の電極層15との間に配置された絶縁性多孔質層14に充填される。つまり、電解質(図示せず)は、第1の電極層12と第2の電極層15との間に充填されてエレクトロクロミック層13と接し、かつ、第2の電極層15に形成された貫通孔を介して劣化防止層16と接するように設けられている。
<< Electrolyte >>
In the present embodiment, the electrolyte (not shown) includes the first electrode layer 12 and the second electrode as an electrolytic solution from a minute through-hole formed in the second electrode layer 15 via the deterioration preventing layer 16. The insulating porous layer 14 disposed between the electrode layer 15 and the electrode layer 15 is filled. That is, the electrolyte (not shown) is filled between the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15, is in contact with the electrochromic layer 13, and is formed in the second electrode layer 15. It is provided so as to be in contact with the deterioration preventing layer 16 through the hole.

前記電解液としては、イオン液体等の液体電解質、又は固体電解質を溶媒に溶解した溶液が用いられる。
電解質の材料としては、例えば、アルカリ金属塩、アルカリ土類金属塩等の無機イオン塩、4級アンモニウム塩や酸類、アルカリ類の支持塩を用いることができ、具体的には、LiClO、LiBF、LiAsF、LiPF、LiCFSO、LiCFCOO、KCl、NaClO、NaCl、NaBF、NaSCN、KBF、Mg(ClO、Mg(BFなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。
As the electrolytic solution, a liquid electrolyte such as an ionic liquid or a solution obtained by dissolving a solid electrolyte in a solvent is used.
As an electrolyte material, for example, inorganic ion salts such as alkali metal salts and alkaline earth metal salts, quaternary ammonium salts, acids, and supporting salts of alkalis can be used. Specifically, LiClO 4 , LiBF 4 , LiAsF 6 , LiPF 6 , LiCF 3 SO 3 , LiCF 3 COO, KCl, NaClO 3 , NaCl, NaBF 4 , NaSCN, KBF 4 , Mg (ClO 4 ) 2 , Mg (BF 4 ) 2 and the like. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

前記イオン性液体としては、特に制限はなく、一般的に研究・報告されている物質ならばどのようなものでも構わない。
特に有機のイオン性液体は、室温を含む幅広い温度領域で液体を示す分子構造がある。
前記分子構造としては、カチオン成分として、例えば、N,N−ジメチルイミダゾール塩、N,N−メチルエチルイミダゾール塩、N,N−メチルプロピルイミダゾール塩等のイミダゾール誘導体;N,N−ジメチルピリジニウム塩、N,N−メチルプロピルピリジニウム塩等のピリジニウム誘導体等の芳香族系の塩;トリメチルプロピルアンモニウム塩、トリメチルヘキシルアンモニウム塩、トリエチルヘキシルアンモニウム塩等のテトラアルキルアンモニウム等の脂肪族4級アンモニウム系化合物などが挙げられる。
アニオン成分としては、大気中の安定性の面でフッ素を含んだ化合物がよく、例えば、BF 、CFSO 、PF 、(CFSOなどが挙げられる。これらのカチオン成分とアニオン成分の組み合わせにより処方したイオン性液体を用いることができる。
The ionic liquid is not particularly limited and may be any substance that is generally studied and reported.
In particular, an organic ionic liquid has a molecular structure that exhibits a liquid in a wide temperature range including room temperature.
As the molecular structure, as a cation component, for example, imidazole derivatives such as N, N-dimethylimidazole salt, N, N-methylethylimidazole salt, N, N-methylpropylimidazole salt; N, N-dimethylpyridinium salt, Aromatic salts such as pyridinium derivatives such as N, N-methylpropylpyridinium salts; aliphatic quaternary ammonium compounds such as tetraalkylammonium such as trimethylpropylammonium salt, trimethylhexylammonium salt and triethylhexylammonium salt Can be mentioned.
As the anionic component, a compound containing fluorine is preferable in terms of stability in the atmosphere, and examples thereof include BF 4 , CF 3 SO 3 , PF 4 , (CF 3 SO 2 ) 2 N − and the like. . An ionic liquid formulated by a combination of these cationic components and anionic components can be used.

前記溶媒としては、例えば、プロピレンカーボネート、アセトニトリル、γ−ブチロラクトン、エチレンカーボネート、スルホラン、ジオキソラン、テトラヒドロフラン、2−メチルテトラヒドロフラン、ジメチルスルホキシド、1,2−ジメトキシエタン、1,2−エトキシメトキシエタン、ポリエチレングリコール、アルコール類などが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を併用してもよい。   Examples of the solvent include propylene carbonate, acetonitrile, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, sulfolane, dioxolane, tetrahydrofuran, 2-methyltetrahydrofuran, dimethyl sulfoxide, 1,2-dimethoxyethane, 1,2-ethoxymethoxyethane, and polyethylene glycol. And alcohols. These may be used individually by 1 type and may use 2 or more types together.

前記電解液は低粘性の液体である必要はなく、ゲル状や高分子架橋型、液晶分散型などの様々な形態をとることが可能である。
電解液はゲル状、固体状に形成することが、素子強度向上、信頼性向上、発色拡散の防止の点から好ましい。
固体化手法としては、電解質と溶媒をポリマー樹脂中に保持することが好ましい。これにより高いイオン伝導度と固体強度が得られるためである。
更に、前記ポリマー樹脂としては光硬化可能な樹脂が好ましい。熱重合や溶剤を蒸発させることにより薄膜化する方法に比べて、低温かつ短時間で素子を製造できるためである。
The electrolytic solution does not need to be a low-viscosity liquid, and can take various forms such as a gel, a polymer cross-linking type, and a liquid crystal dispersion type.
The electrolytic solution is preferably formed in a gel or solid form from the viewpoints of improving element strength, improving reliability, and preventing color diffusion.
As a solidification method, it is preferable to hold the electrolyte and the solvent in the polymer resin. This is because high ionic conductivity and solid strength can be obtained.
Further, the polymer resin is preferably a photocurable resin. This is because the device can be manufactured at a low temperature and in a short time as compared with the method of thinning by thermal polymerization or evaporation of the solvent.

前記電解質は、多孔質性絶縁膜に充填する形で組み合わせて形成することで、第1の電極層と第2の電極層とを電気的に絶縁させる機能を付与することができる。
前記多孔質性絶縁膜の材料としては、多孔質であればよく特に限定されるものではないが、絶縁性が高く、耐久性が高く、成膜性に優れた有機材料、無機材料、又はそれらの複合体が好ましい。
前記多孔質膜の形成方法としては、焼結法(高分子微粒子や無機粒子をバインダー等を添加して部分的に融着させ粒子間に生じた孔を利用する)、抽出法(溶剤に可溶な有機物又は無機物類と溶剤に溶解しないバインダー等で構成層を形成した後に、溶剤で有機物又は無機物類を溶解させ細孔を得る)、高分子重合体等を加熱や脱気する等して発泡させる発泡法、良溶媒と貧溶媒を操作して高分子類の混合物を相分離させる相転換法、各種放射線を輻射して細孔を形成させる放射線照射法等の公知の形成方法を用いることができる。
具体例としては、金属酸化物微粒子(例えば、SiO粒子、Al粒子など)とポリマー結着剤からなるポリマー混合粒子膜、多孔性有機膜(例えば、ポリウレタン樹脂、ポリエチレン樹脂など)、多孔質膜状に形成した無機絶縁材料膜などが挙げられる。
前記多孔質膜の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、100nm〜10μmが好ましい。
The electrolyte can be provided with a function of electrically insulating the first electrode layer and the second electrode layer by being combined and formed so as to fill the porous insulating film.
The material of the porous insulating film is not particularly limited as long as it is porous, but it is an organic material, an inorganic material, or those having high insulating properties, high durability, and excellent film forming properties. The complex of is preferable.
As a method for forming the porous film, a sintering method (using fine particles or inorganic particles that are partially fused by adding a binder or the like and utilizing pores formed between the particles), an extraction method (which can be used as a solvent). After forming a constituent layer with a soluble organic or inorganic substance and a binder that does not dissolve in the solvent, the organic or inorganic substance is dissolved with a solvent to obtain pores), and the polymer is heated or degassed, etc. Use known forming methods such as foaming method, foaming method, phase change method in which a mixture of polymers is phase-separated by operating a good solvent and a poor solvent, and a radiation irradiation method in which various radiations are radiated to form pores. Can do.
Specific examples include a polymer mixed particle film composed of metal oxide fine particles (for example, SiO 2 particles, Al 2 O 3 particles) and a polymer binder, a porous organic film (for example, polyurethane resin, polyethylene resin, etc.), Examples thereof include an inorganic insulating material film formed into a porous film.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said porous membrane, Although it can select suitably according to the objective, 100 nm-10 micrometers are preferable.

<<有機保護層、無機保護層>>
前記有機保護層及び無機保護層の役割は、外的応力や洗浄工程の薬品から素子を守ることや、電解質の漏洩を防ぐこと、大気中の水分や酸素等のエレクトロクロミック素子が安定的に動作するために不要なものの侵入を防ぐこと等である。大気中の水分や酸素が浸入を抑制すると、エレクトロクロミック層や劣化防止層が酸素と反応することで生じる不可逆な酸化劣化反応や、水分の浸入による電気化学的な副反応が抑制され、デバイスとしての繰り返し耐久性や光吸収による劣化耐性、保存安定性などが改善される。また、有機保護層及び無機保護層には透明性、表面の平滑性、耐熱性、耐光性などが求められる。
なお、前記有機保護層と前記無機保護層を2回以上交互積層してもよい。
<< Organic protective layer, inorganic protective layer >>
The role of the organic protective layer and inorganic protective layer is to protect the device from external stress and chemicals in the cleaning process, to prevent leakage of electrolyte, and to operate electrochromic devices such as moisture and oxygen in the atmosphere stably. For example, it is necessary to prevent the entry of unnecessary objects. When moisture and oxygen in the atmosphere suppress intrusion, irreversible oxidative degradation reactions caused by the reaction of the electrochromic layer and degradation prevention layer with oxygen and electrochemical side reactions due to the ingress of moisture are suppressed. The durability against repeated use, deterioration resistance due to light absorption, storage stability, etc. are improved. Further, the organic protective layer and the inorganic protective layer are required to have transparency, surface smoothness, heat resistance, light resistance, and the like.
The organic protective layer and the inorganic protective layer may be alternately laminated twice or more.

前記有機保護層を有することで、電解質の漏洩防止、外部応力及び洗浄工程でのアルコールやアルカリなどの薬品からの機能材料の保護、大気中の酸素や水分の浸入の抑制などの効果が得られる。
前記有機保護層の材料としては、紫外線硬化型樹脂、熱硬化型樹脂などが挙げられ、具体的には、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、エポキシ系樹脂などが挙げられる。
前記有機保護層の形成方法としては、ドライプロセスとしては真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法等を用いることができる。また、各々の材料が塗布形成できるものであれば、スピンコート法、キャスティング法、マイクログラビアコート法、グラビアコート法、バーコート法、ロールコート法、ワイアーバーコート法、ディップコート法、スリットコート法、キャピラリーコート法、スプレーコート法、ノズルコート法、グラビア印刷法、スクリーン印刷法、フレキソ印刷法、オフセット印刷法、反転印刷法、インクジェットプリント法などを用いることができる。
前記有機保護層の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.5μm〜200μmが好ましく、1μm〜50μmがより好ましい。
By having the organic protective layer, effects such as prevention of electrolyte leakage, protection of functional materials from chemicals such as alcohol and alkali in the external stress and cleaning process, and suppression of intrusion of oxygen and moisture in the atmosphere can be obtained. .
Examples of the material of the organic protective layer include ultraviolet curable resins and thermosetting resins, and specific examples include acrylic resins, urethane resins, and epoxy resins.
As a method for forming the organic protective layer, a vacuum deposition method, a sputtering method, an ion plating method, or the like can be used as a dry process. In addition, if each material can be formed by coating, spin coating method, casting method, micro gravure coating method, gravure coating method, bar coating method, roll coating method, wire bar coating method, dip coating method, slit coating method A capillary coating method, a spray coating method, a nozzle coating method, a gravure printing method, a screen printing method, a flexographic printing method, an offset printing method, a reverse printing method, an inkjet printing method, or the like can be used.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said organic protective layer, Although it can select suitably according to the objective, 0.5 micrometer-200 micrometers are preferable, and 1 micrometer-50 micrometers are more preferable.

前記無機保護層は、装置内に主に大気中の酸素や水分の進入を更に効果的に抑制するために設けられる。
前記無機保護層の材料としては、調光デバイスとして使用する場合には、透明である材料が好ましい。前記無機保護層の材料としては、例えば、SiO、SiN、SiON、Alなどが挙げられる。
前記無機保護層の形成方法としては、例えば、真空蒸着法、スパッタ法、イオンプレーティング法などが挙げられる。
前記無機保護層の厚みは、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、0.001μm〜1μmが好ましく、0.01μm〜0.5μmがより好ましい。
The inorganic protective layer is provided mainly in the apparatus in order to more effectively suppress the entry of oxygen and moisture in the atmosphere.
The material for the inorganic protective layer is preferably a transparent material when used as a light control device. Examples of the material for the inorganic protective layer include SiO 2 , SiN, SiON, Al 2 O 3 and the like.
Examples of the method for forming the inorganic protective layer include a vacuum deposition method, a sputtering method, and an ion plating method.
There is no restriction | limiting in particular in the thickness of the said inorganic protective layer, Although it can select suitably according to the objective, 0.001 micrometer-1 micrometer are preferable and 0.01 micrometer-0.5 micrometer are more preferable.

<<その他の層>>
前記その他の層としては、キズ、剥離などによる欠陥を防止するためのハードコート層や、反射を抑制するためのAR(Anti−Reflection)コート層などが挙げられる。前記ハードコート層としては、溶液を塗布して形成するもので、UV硬化樹脂、熱硬化樹脂など、特に限定されるものではなく、一般的な光学部材用のハードコート材料を用いることができる。また、上述したハードコート材料とARコート材料のみで、層を形成してもよい。
<< Other layers >>
Examples of the other layers include a hard coat layer for preventing defects due to scratches and peeling, and an AR (Anti-Reflection) coat layer for suppressing reflection. The hard coat layer is formed by applying a solution, and is not particularly limited, such as a UV curable resin or a thermosetting resin, and a general hard coat material for an optical member can be used. Further, the layer may be formed with only the hard coat material and the AR coat material described above.

<第2の実施の形態>
第2の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第2の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Second Embodiment>
In the second embodiment, an electrochromic device having a layer structure different from that of the first embodiment is illustrated. In the second embodiment, description of the same components as those of the already described embodiments may be omitted.

図2は、第2の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図2を参照するに、第2の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置20は、エレクトロクロミック層13及び絶縁性多孔質層14及び劣化防止層16が絶縁性多孔質層23に置換された点が、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。
絶縁性多孔質層23、第1の電極層12と第2の電極層15を絶縁するために設けられており、絶縁性多孔質層23は、絶縁性金属酸化物微粒子を含んでいる。第1の電極層12と第2の電極層15に挟まれた絶縁性多孔質層23には、電解質及びエレクトロクロミック材料、劣化防止材料が充填されている。つまり、本実施の形態では、絶縁性多孔質層23がエレクトロクロミック層及び劣化防止層として機能する。したがって、絶縁性多孔質層23をエレクトロクロミック層と言い換えてもよい。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to the second embodiment. Referring to FIG. 2, the electrochromic device 20 according to the second embodiment is characterized in that the electrochromic layer 13, the insulating porous layer 14, and the deterioration preventing layer 16 are replaced with the insulating porous layer 23. This is different from the electrochromic device 10 according to the first embodiment (see FIG. 1).
The insulating porous layer 23 is provided to insulate the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 from each other, and the insulating porous layer 23 contains insulating metal oxide fine particles. The insulating porous layer 23 sandwiched between the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 is filled with an electrolyte, an electrochromic material, and a deterioration preventing material. That is, in this embodiment, the insulating porous layer 23 functions as an electrochromic layer and a deterioration preventing layer. Therefore, the insulating porous layer 23 may be rephrased as an electrochromic layer.

エレクトロクロミック装置20の製造工程は、支持体11上に第1の電極層12を積層する工程と、第1の電極層12上に絶縁性多孔質層23を介して第1の電極層12に対向するように貫通孔が形成された第2の電極層15を積層する工程と、第2の電極層15上に劣化防止層16を積層する工程と、第1の電極層12と第2の電極層15に挟まれた絶縁性多孔質層23に、第2の電極層15に形成された貫通孔から電解質及びエレクトロクロミック材料、劣化防止材料を充填する工程と、これらを半固体化する工程と、有機保護層を形成する工程と、無機保護層を形成する工程と、を有する。   The manufacturing process of the electrochromic device 20 includes the steps of laminating the first electrode layer 12 on the support 11 and the first electrode layer 12 on the first electrode layer 12 via the insulating porous layer 23. A step of laminating the second electrode layer 15 having through holes formed so as to face each other, a step of laminating the deterioration preventing layer 16 on the second electrode layer 15, a first electrode layer 12 and a second electrode layer The step of filling the insulating porous layer 23 sandwiched between the electrode layers 15 from the through holes formed in the second electrode layer 15 with the electrolyte, the electrochromic material, and the deterioration preventing material, and the step of making them semi-solid And a step of forming an organic protective layer and a step of forming an inorganic protective layer.

つまり、第2の電極層15に形成された貫通孔は、エレクトロクロミック装置20の製造工程において、絶縁性多孔質層23に電解質及びエレクトロクロミック材料、劣化防止材料を充填する際の注入孔である。なお、電解質及びエレクトロクロミック材料、劣化防止材料は、溶媒等に溶解した溶液として塗布する必要がある。
このように、第2の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、エレクトロクロミック装置の層構成が簡略化されるため、生産性を向上できる。
That is, the through hole formed in the second electrode layer 15 is an injection hole when the insulating porous layer 23 is filled with the electrolyte, the electrochromic material, and the deterioration preventing material in the manufacturing process of the electrochromic device 20. . The electrolyte, the electrochromic material, and the deterioration preventing material need to be applied as a solution dissolved in a solvent or the like.
As described above, the electrochromic device according to the second embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, since the layer structure of the electrochromic device is simplified, productivity can be improved.

<第3の実施の形態>
第3の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第3の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Third Embodiment>
In the third embodiment, an electrochromic device having a layer structure different from that of the first embodiment is illustrated. In the third embodiment, the description of the same components as those of the already described embodiments may be omitted.

図3は、第3の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図3を参照するに、第3の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置30は、絶縁性多孔質層14が絶縁性多孔質層34に置換された点が、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to the third embodiment. Referring to FIG. 3, the electrochromic device 30 according to the third embodiment is different from the electrochromic device 30 according to the first embodiment in that the insulating porous layer 14 is replaced with the insulating porous layer 34. It is different from the chromic device 10 (see FIG. 1).

絶縁性多孔質層34は、絶縁性多孔質層14に更に白色顔料粒子を含有させた層であり、白色反射層として機能する。前記白色顔料粒子としては、例えば、酸化チタン、酸化アルミニウム、酸化亜鉛、シリカ、酸化セシウム、酸化イットリウム等を用いることができる。
このように、第3の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、絶縁性多孔質層に白色顔料粒子を含有させたて白色反射層として機能させることにより、反射型の表示素子を容易に実現できる。
The insulating porous layer 34 is a layer in which white pigment particles are further contained in the insulating porous layer 14 and functions as a white reflective layer. Examples of the white pigment particles that can be used include titanium oxide, aluminum oxide, zinc oxide, silica, cesium oxide, yttrium oxide, and the like.
As described above, the electrochromic device according to the third embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, a reflective display element can be easily realized by adding white pigment particles to the insulating porous layer to function as a white reflective layer.

<第4の実施の形態>
第4の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第4の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Fourth embodiment>
In the fourth embodiment, an electrochromic device having a layer structure different from that of the first embodiment is illustrated. Note that in the fourth embodiment, the description of the same component as the already described embodiment may be omitted.

図4は、第4の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図4を参照するに、第4の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置40は、絶縁性多孔質層14と第2の電極層15の間に劣化防止層461が追加され、第2の電極層15の上にも劣化防止層462が形成された点が、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to the fourth embodiment. Referring to FIG. 4, in the electrochromic device 40 according to the fourth embodiment, a deterioration preventing layer 461 is added between the insulating porous layer 14 and the second electrode layer 15, and the second electrode layer. 15 is different from the electrochromic device 10 (see FIG. 1) according to the first embodiment in that a deterioration preventing layer 462 is also formed on the layer 15.

このように、第4の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、絶縁性多孔質と第2の電極層間に劣化防止層を形成することで、繰り返し安定性のより改善された表示素子を実現できる。   As described above, the electrochromic device according to the fourth embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, by forming a deterioration preventing layer between the insulating porous layer and the second electrode layer, a display element with improved repeated stability can be realized.

<第5の実施の形態>
第5の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第5の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Fifth embodiment>
In the fifth embodiment, an electrochromic device having a layer configuration different from that of the first embodiment is illustrated. Note that in the fifth embodiment, description of the same components as those of the above-described embodiment may be omitted.

図5は、第5の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図5を参照するに、第5の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置50は、基板11上に第1の電極層12、劣化防止層56が順次形成され、その上に絶縁性多孔質層14を介して、第2の電極層15、エレクトロクロミック層が順次形成されている。これらの点で、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 5 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to a fifth embodiment. Referring to FIG. 5, in the electrochromic device 50 according to the fifth embodiment, the first electrode layer 12 and the deterioration preventing layer 56 are sequentially formed on the substrate 11, and the insulating porous layer 14 is formed thereon. A second electrode layer 15 and an electrochromic layer are sequentially formed through the first and second electrodes. These points are different from the electrochromic device 10 according to the first embodiment (see FIG. 1).

このように第5の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、エレクトロクロミック層の積層工程によるダメージを抑制することができる。従来、エレクトロクロミック層は対向する電極の間に形成する必要があったが、本発明においては、貫通孔を形成した電極に接してエレクトロクロミック層を形成しているために、対向する電極において、第2の電極層の外側にエレクトロクロミック層を形成しても、その効果が得られる。これはイオンが貫通孔を通して電極の表裏を移動できるためである。   As described above, the electrochromic device according to the fifth embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, damage due to the electrochromic layer stacking process can be suppressed. Conventionally, the electrochromic layer had to be formed between the opposing electrodes.In the present invention, since the electrochromic layer is formed in contact with the electrode in which the through hole is formed, Even if an electrochromic layer is formed outside the second electrode layer, the effect can be obtained. This is because ions can move between the front and back of the electrode through the through hole.

<第6の実施の形態>
第6の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第6の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Sixth Embodiment>
In the sixth embodiment, an electrochromic device having a layer configuration different from that of the first embodiment is illustrated. Note that in the sixth embodiment, description of the same components as those of the above-described embodiment may be omitted.

図6は、第6の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図6を参照するに、第6の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置60は基板11上に第1の電極層12、劣化防止層56が順次形成され、その上に絶縁性多孔質層14を介して、エレクトロクロミック層631、第2の電極層15、エレクトロクロミック層632が順次形成されている。これらの点で、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to a sixth embodiment. Referring to FIG. 6, in the electrochromic device 60 according to the sixth embodiment, the first electrode layer 12 and the deterioration preventing layer 56 are sequentially formed on the substrate 11, and the insulating porous layer 14 is formed thereon. Thus, an electrochromic layer 631, a second electrode layer 15, and an electrochromic layer 632 are sequentially formed. These points are different from the electrochromic device 10 according to the first embodiment (see FIG. 1).

このように、第6の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、エレクトロクロミック層の着色濃度を濃くすることが可能となる。   As described above, the electrochromic device according to the sixth embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, the coloring density of the electrochromic layer can be increased.

<第7の実施の形態>
第7の実施の形態では、第1の実施の形態とは層構成の異なるエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第7の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Seventh embodiment>
In the seventh embodiment, an electrochromic device having a layer structure different from that of the first embodiment is illustrated. Note that in the seventh embodiment, description of the same components as those of the above-described embodiment may be omitted.

図7は、第7の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図7を参照するに、第7の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置70は基板11上に光を反射する第1の電極層72が形成されている。この点で、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to a seventh embodiment. Referring to FIG. 7, in an electrochromic device 70 according to the seventh embodiment, a first electrode layer 72 that reflects light is formed on a substrate 11. This is different from the electrochromic device 10 according to the first embodiment (see FIG. 1).

このように、第7の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、調光ミラーとして機能するデバイスを容易に得ることが可能となる。   Thus, the electrochromic device according to the seventh embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, it is possible to easily obtain a device that functions as a dimming mirror.

<第8の実施の形態>
第8の実施の形態では、第1〜第7の実施の形態とは異なる支持体上に各層を形成したエレクトロクロミック装置を例示する。なお、第8の実施の形態において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する場合がある。
<Eighth Embodiment>
In the eighth embodiment, an electrochromic device in which each layer is formed on a support different from the first to seventh embodiments will be exemplified. Note that in the eighth embodiment, description of the same components as those of the above-described embodiment may be omitted.

図8は、第8の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置を例示する断面図である。図8を参照するに、第8の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置80は、支持体11が支持体81に置換された点が、第1の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置10(図1参照)と相違する。   FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating an electrochromic device according to an eighth embodiment. Referring to FIG. 8, the electrochromic device 80 according to the eighth embodiment is different from the electrochromic device 10 according to the first embodiment in that the support 11 is replaced with a support 81 (FIG. 1). Different from reference).

支持体81は、光学レンズである。支持体81は各層を形成する面が曲面となっているため、従来のように電解液を挟んで2枚の支持体を貼り合わせる方法では、各層の形成は極めて困難である。また張り合わせることができたとしても、レンズを2枚用いるため、厚みや重量、コストが増加してしまう。一方、本実施の形態では、既に説明した貼合せプロセスを有しない製造方法により、支持体の層形成面が曲面である場合も、支持体の層形成面が平面である場合と同様に各層を積層形成できる。なお、支持体81は、メガネ等であっても構わない。   The support body 81 is an optical lens. Since the support 81 has a curved surface on which each layer is formed, it is extremely difficult to form each layer by the conventional method of bonding two supports with an electrolyte interposed therebetween. Even if they can be bonded together, since two lenses are used, the thickness, weight, and cost increase. On the other hand, in the present embodiment, even when the layer forming surface of the support is a curved surface, the layers are formed in the same manner as in the case where the layer forming surface of the support is a flat surface by the manufacturing method that does not have the bonding process described above. Stacked formation is possible. The support 81 may be glasses or the like.

このように、第8の実施の形態に係るエレクトロクロミック装置では、第1の実施の形態の効果に加えて、更に以下の効果を奏する。即ち、各層を形成する面が曲面である支持体を用いることができるため、支持体として光学レンズやメガネ等の曲面を有する光学素子を選定できる。光学レンズやメガネ等の光学素子を用いることにより、容易に調光可能なエレクトロクロミック装置(電気的に調光可能な光学デバイス)を実現できる。   Thus, the electrochromic device according to the eighth embodiment has the following effects in addition to the effects of the first embodiment. That is, since a support having curved surfaces can be used for forming each layer, an optical element having a curved surface such as an optical lens or glasses can be selected as the support. By using an optical element such as an optical lens or glasses, an electrochromic device (an optical device that can be electrically dimmed) that can be easily dimmed can be realized.

以下、本発明の実施例を説明するが、本発明は、これらの実施例に何ら限定されるものではない。   Examples of the present invention will be described below, but the present invention is not limited to these examples.

(実施例1)
<エレクトロクロミック装置の作製>
実施例1では、図3に示すエレクトロクロミック装置30を作製する例を示す。なお、実施例1で作製したエレクトロクロミック装置は、調光ガラス装置として使用できる。
Example 1
<Production of electrochromic device>
Example 1 shows an example in which the electrochromic device 30 shown in FIG. 3 is manufactured. In addition, the electrochromic device produced in Example 1 can be used as a light control glass device.

<<第1の電極層の形成>>
まず、支持体11として40mm×40mm、厚み0.7mmのガラス基板を準備し、ガラス基板上に、20mm×20mmの領域及び引き出し部分にメタルマスクを介してITO膜をスパッタ法により約100nmの厚みに製膜して、第1の電極層12を形成した。
次に、このITO膜の表面に酸化チタンナノ粒子分散液(商品名:SP210、昭和タイタニウム社製、平均粒子径:約20nm)をスピンコート法により塗布し、120℃で15分間アニール処理を行うことによって、厚み約1.0μmの酸化チタン粒子膜からなるナノ構造半導体材料を形成した。
<< Formation of First Electrode Layer >>
First, a glass substrate of 40 mm × 40 mm and a thickness of 0.7 mm is prepared as the support 11, and an ITO film is formed on the glass substrate with a thickness of about 100 nm by a sputtering method through a metal mask in a 20 mm × 20 mm region and a drawn portion. The first electrode layer 12 was formed.
Next, a titanium oxide nanoparticle dispersion (trade name: SP210, manufactured by Showa Titanium Co., Ltd., average particle size: about 20 nm) is applied to the surface of the ITO film by a spin coating method, and annealed at 120 ° C. for 15 minutes. Thus, a nanostructured semiconductor material composed of a titanium oxide particle film having a thickness of about 1.0 μm was formed.

<<エレクトロクロミック層の形成>>
続いて、前記ナノ構造半導体材料に、エレクトロクロミック化合物として、下記構造式Aで表される化合物を1.5質量%含む2,2,3,3−テトラフロロプロパノール溶液をスピンコート法により塗布した後、120℃で10分間アニール処理を行うことにより、エレクトロクロミック化合物を酸化チタン粒子膜に担持(吸着)させて、エレクトロクロミック層13を形成した。
<< Formation of electrochromic layer >>
Subsequently, a 2,2,3,3-tetrafluoropropanol solution containing 1.5% by mass of a compound represented by the following structural formula A as an electrochromic compound was applied to the nanostructured semiconductor material by a spin coating method. Thereafter, the electrochromic compound was supported (adsorbed) on the titanium oxide particle film by performing an annealing process at 120 ° C. for 10 minutes, whereby the electrochromic layer 13 was formed.

<構造式A>
<Structural formula A>

<<絶縁性多孔質層の形成>>
続いて、エレクトロクロミック層13上に平均一次粒径20nmのSiO微粒子分散液(シリカ固形分濃度24.8質量%、ポリビニルアルコール1.2質量%、及び水74質量%)をスピンコート法にて塗布し、絶縁性多孔質層14を形成した。形成した絶縁性多孔質層14の厚みは約2μmであった。
<< Formation of Insulating Porous Layer >>
Subsequently, a SiO 2 fine particle dispersion liquid (silica solid content concentration 24.8 mass%, polyvinyl alcohol 1.2 mass%, and water 74 mass%) having an average primary particle diameter of 20 nm is applied to the electrochromic layer 13 by spin coating. Then, the insulating porous layer 14 was formed. The thickness of the formed insulating porous layer 14 was about 2 μm.

<<微細な貫通孔が形成された第2の電極層の形成>>
次に、絶縁性多孔質層上に、平均一次粒径450nmのSiO微粒子分散液(シリカ固形分濃度1質量%、2−プロパノール99質量%)をスピンコート法により塗布して、微細貫通孔形成用マスク(コロイダルマスク)を形成した。
続いて、前記微細貫通孔形成用マスク上にZnS−SiO(8/2;質量比)の無機絶縁層をスパッタ法により40nmの厚みで形成した。更に、無機絶縁層上にスパッタ法により厚み約100nmのITO膜を、第1の電極層12で形成したITO膜と重なる20mm×20mmの領域、及び、第1の電極層12とは異なる領域にメタルマスクを介して形成し、第2の電極層15を作製した。なお、第1の電極層12とは異なる領域に形成したITO膜は第2の電極層15の引き出し部分である。
その後、2−プロパノール中で超音波照射を3分間行い、コロイダルマスクである450nmのSiO微粒子の除去処理を行った。SEM観察により250nm程度の微細な貫通孔が形成された第2の電極層15が形成されていることを確認した。第2の電極層15のシート抵抗は約100Ω/□であった。
ここで、前記シート抵抗は、第1の電極層とは異なる領域において、四端子四端針法により、抵抗率計(三菱化学社製、MCP−T610)を用いて測定した。
<< Formation of Second Electrode Layer with Fine Through Holes >>
Next, an SiO 2 fine particle dispersion liquid (silica solid content concentration 1 mass%, 2-propanol 99 mass%) having an average primary particle diameter of 450 nm is applied on the insulating porous layer by a spin coating method to form fine through-holes. A forming mask (colloidal mask) was formed.
Subsequently, an inorganic insulating layer of ZnS—SiO 2 (8/2; mass ratio) was formed to a thickness of 40 nm on the fine through hole forming mask by a sputtering method. Further, an ITO film having a thickness of about 100 nm is formed on the inorganic insulating layer by sputtering in a 20 mm × 20 mm region overlapping with the ITO film formed by the first electrode layer 12 and in a region different from the first electrode layer 12. A second electrode layer 15 was formed by forming through a metal mask. The ITO film formed in a region different from the first electrode layer 12 is a lead-out portion of the second electrode layer 15.
Thereafter, ultrasonic irradiation was performed in 2-propanol for 3 minutes to remove 450 nm SiO 2 fine particles as a colloidal mask. It was confirmed by SEM observation that the second electrode layer 15 in which fine through holes of about 250 nm were formed was formed. The sheet resistance of the second electrode layer 15 was about 100Ω / □.
Here, the sheet resistance was measured using a resistivity meter (manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation, MCP-T610) by a four-terminal four-end needle method in a region different from the first electrode layer.

<<劣化防止層の形成>>
続いて、第2の電極層15上に、劣化防止層として酸化チタンナノ粒子分散液(商品名:SP210、昭和タイタニウム社製、平均粒子径:約20nm)をスピンコート法により塗布し、120℃で15分間アニール処理を行うことによって、厚み約1.0μmの酸化チタン粒子膜からなるナノ構造半導体材料を形成し、劣化防止層16とした。
<< Formation of degradation preventing layer >>
Subsequently, a titanium oxide nanoparticle dispersion (trade name: SP210, manufactured by Showa Titanium Co., Ltd., average particle diameter: about 20 nm) is applied as a deterioration preventing layer on the second electrode layer 15 by a spin coating method at 120 ° C. By performing an annealing process for 15 minutes, a nanostructured semiconductor material made of a titanium oxide particle film having a thickness of about 1.0 μm was formed, and the deterioration preventing layer 16 was obtained.

<<電解質の充填>>
電解質として過塩素酸テトラブチルアンモニウムと、溶媒としてジメチルスルホキシド及びポリエチレングリコール(分子量:200)とを、過塩素酸テトラブチルアンモニウム:ジメチルスルホキシド:ポリエチレングリコール(質量比)が、12:54:60となるように混合した溶液を電解液とし、劣化防止層16まで形成した素子を1分間浸漬し、その後120℃のホットプレート上で1分間乾燥させることで電解質を充填させた。
<< Electrolyte filling >>
Tetrabutylammonium perchlorate as the electrolyte, dimethyl sulfoxide and polyethylene glycol (molecular weight: 200) as the solvent, and tetrabutylammonium perchlorate: dimethyl sulfoxide: polyethylene glycol (mass ratio) become 12:54:60. The solution thus mixed was used as an electrolytic solution, and the element formed up to the deterioration preventing layer 16 was immersed for 1 minute, and then dried on a hot plate at 120 ° C. for 1 minute to fill the electrolyte.

<<有機保護層の形成>>
次に、前記素子に、紫外線硬化接着剤(商品名:SD−17、DIC社製)をスピンコート法により塗布し、紫外光照射により硬化させることで有機保護層171を約3μmの厚みに形成した。
<< Formation of organic protective layer >>
Next, the organic protective layer 171 is formed to a thickness of about 3 μm by applying an ultraviolet curable adhesive (trade name: SD-17, manufactured by DIC) to the element by spin coating and curing by ultraviolet light irradiation. did.

<<無機保護層の形成>>
続いて、前記有機保護層上に、無機保護層として、スパッタ法によりSiO膜を厚み約100nmに形成した。
以上により、図3に示すエレクトロクロミック装置30を作製した。
<< Formation of inorganic protective layer >>
Subsequently, an SiO 2 film having a thickness of about 100 nm was formed as an inorganic protective layer on the organic protective layer by sputtering.
Thus, the electrochromic device 30 shown in FIG. 3 was produced.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置30の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
なお、駆動電圧の表記は、これ以降の記載もすべて第1の電極層の電位である。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 30 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue coloration derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Note that the description of the drive voltage is the potential of the first electrode layer in all subsequent descriptions.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the pigment in the overlapped area was decolored and became transparent.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
The electrochromic device produced was repeated 500 times for -4V for 5 seconds and + 4V for 5 seconds, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color erasing operation was confirmed and stable. It was confirmed that it works.

(実施例2)
実施例2では、図1に示すエレクトロクロミック装置10を作製する他の例を示す。なお、実施例2で作製したエレクトロクロミック装置は、調光ガラス装置として使用できる。
(Example 2)
Example 2 shows another example of producing the electrochromic device 10 shown in FIG. In addition, the electrochromic device produced in Example 2 can be used as a light control glass device.

<エレクトロクロミック装置の作製>
<<無機保護層の形成>>
実施例1において、無機保護層として、酸化アルミニウム(Al)を厚みが約100nmとなるようにスパッタ法により形成した以外は、実施例1と同様にして、図1に示すエレクトロクロミック装置10を作製した。
<Production of electrochromic device>
<< Formation of inorganic protective layer >>
In Example 1, the electrochromic device shown in FIG. 1 was used in the same manner as in Example 1 except that aluminum oxide (Al 2 O 3 ) was formed by sputtering so as to have a thickness of about 100 nm as the inorganic protective layer. 10 was produced.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置10の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、構造式[化2]のエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、白色になることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 10 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue color derived from the electrochromic compound represented by the structural formula [Chemical Formula 2] was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the dye in the overlapped area was decolored and turned white.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
The electrochromic device produced was repeated 500 times for -4V for 5 seconds and + 4V for 5 seconds, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color erasing operation was confirmed and stable. It was confirmed that it works.

(実施例3)
実施例3では、図3に示すエレクトロクロミック装置30を作製する例を示す。なお、実施例3で作製したエレクトロクロミック装置は、反射型表示装置として使用できる。
(Example 3)
Example 3 shows an example in which the electrochromic device 30 shown in FIG. 3 is manufactured. Note that the electrochromic device manufactured in Example 3 can be used as a reflective display device.

<エレクトロクロミック装置の作製>
<<絶縁性多孔質層の形成>>
実施例1において、絶縁性多孔質層のSiO微粒子分散液に平均粒子径250nmの白色酸化チタン粒子をシリカ粒子に対して50質量%で添加混合し、絶縁性多孔質層34(白色反射層)を形成した以外は、実施例1と同様にして、図3に示すエレクトロクロミック装置30を作製した。
<Production of electrochromic device>
<< Formation of Insulating Porous Layer >>
In Example 1, white titanium oxide particles having an average particle diameter of 250 nm were added to and mixed with the SiO 2 fine particle dispersion of the insulating porous layer at 50% by mass with respect to the silica particles, and the insulating porous layer 34 (white reflective layer) was mixed. 3 was produced in the same manner as in Example 1 except that (1) was formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置30の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、白色になることが確認された。
<Color generation / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 30 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue coloration derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the dye in the overlapped area was decolored and turned white.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
The electrochromic device produced was repeated 500 times for -4V for 5 seconds and + 4V for 5 seconds, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color erasing operation was confirmed and stable. It was confirmed that it works.

(実施例4)
実施例4では、図7に示すエレクトロクロミック装置70を作製する例を示す。なお、実施例4で作製したエレクトロクロミック装置は、調光ミラーとして使用できる。
Example 4
Example 4 shows an example in which the electrochromic device 70 shown in FIG. 7 is manufactured. In addition, the electrochromic device produced in Example 4 can be used as a light control mirror.

<エレクトロクロミック装置の作製>
<<第1の電極層の形成>>
実施例1において、ガラス基板上に第1の電極としてAlを真空蒸着により厚みが約50nmとなるように形成し、続いてITOをスパッタ法により厚みが約100nmとなるように形成した以外は、実施例1と同様にして、図7に示すエレクトロクロミック装置70を作製した。
<Production of electrochromic device>
<< Formation of First Electrode Layer >>
In Example 1, except that Al was formed as a first electrode on the glass substrate so as to have a thickness of about 50 nm by vacuum deposition, and subsequently ITO was formed by sputtering to have a thickness of about 100 nm. In the same manner as in Example 1, the electrochromic device 70 shown in FIG.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置70の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層72の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層72と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の反射色が確認された。
更に、第1の電極層72の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層72と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、鏡状態に戻ることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 70 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 72 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 72 and the second electrode layer 72 The blue reflection color derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 72 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 72 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the dye in the overlapped area disappeared and returned to the mirror state.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
The electrochromic device produced was repeated 500 times for -4V for 5 seconds and + 4V for 5 seconds, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color erasing operation was confirmed and stable. It was confirmed that it works.

(実施例5)
実施例5では、図1に示すエレクトロクロミック装置10を作製する他の例を示す。なお、実施例5で作製したエレクトロクロミック装置は、調光ガラス装置として使用できる。
(Example 5)
Example 5 shows another example of producing the electrochromic device 10 shown in FIG. In addition, the electrochromic device produced in Example 5 can be used as a light control glass device.

<エレクトロクロミック装置の作製>
<<エレクトロクロミック層の形成>>
エレクトロクロミック層として、下記構造式Bで表される化合物(平均分子量10,000)を2.5質量%含むテトラヒドロフラン溶液をスピンコート法により塗布した。その後、120℃で5分間アニール処理を行うことにより、有機高分子材料からなるエレクトロクロミック層13を形成した。なお、エレクトロクロミック層13はマゼンタ色を示した。
<Production of electrochromic device>
<< Formation of electrochromic layer >>
As an electrochromic layer, a tetrahydrofuran solution containing 2.5% by mass of a compound represented by the following structural formula B (average molecular weight 10,000) was applied by spin coating. Then, the electrochromic layer 13 made of an organic polymer material was formed by performing an annealing process at 120 ° C. for 5 minutes. The electrochromic layer 13 showed a magenta color.

<構造式B>
前記構造式B中、nは約30である。
<Structural formula B>
In the structural formula B, n is about 30.

<<電解質の充填>>
電解質として過塩素酸リチウムと、溶媒としてポリエチレングリコール(分子量:200)及び炭酸プロピレンと、紫外線硬化樹脂としてウレタン接着剤(商品名:3301、ヘンケル社製)とを、過塩素酸リチウム:ポリエチレングリコール:炭酸プロピレン:ウレタン接着剤(質量比)が、1.4対6対8対10となるように混合して溶液を電解液とし、微細な貫通孔が形成された第2の電極層15の表面にスピンコート法にて塗布し、120℃のホットプレート上で1分間乾燥させることで電解質を充填させた。
<< Electrolyte filling >>
Lithium perchlorate as the electrolyte, polyethylene glycol (molecular weight: 200) and propylene carbonate as the solvent, urethane adhesive (trade name: 3301, manufactured by Henkel) as the ultraviolet curable resin, lithium perchlorate: polyethylene glycol: The surface of the second electrode layer 15 in which fine through-holes are formed by mixing the propylene carbonate: urethane adhesive (mass ratio) to be 1.4: 6: 8: 10 and using the solution as an electrolyte. The solution was applied by spin coating and dried on a hot plate at 120 ° C. for 1 minute to fill the electrolyte.

<<有機保護層の形成>>
更に、紫外線硬化接着剤(商品名:ノプコ134、サンノプコ社製)をスピンコート法にて塗布し、紫外光照射により硬化させることで有機保護層37を約3μmの厚みに形成した。
<< Formation of organic protective layer >>
Further, an organic protective layer 37 was formed to a thickness of about 3 μm by applying an ultraviolet curable adhesive (trade name: Nopco 134, manufactured by San Nopco) by a spin coat method and curing by ultraviolet irradiation.

<<無機保護層の形成>>
続いて、前記有機保護層上に、無機保護層として、スパッタ法により酸化ケイ素(SiO)を厚み約100nmに形成した。
これら以外は、実施例1と同様にして、図1に示すエレクトロクロミック装置10を作製した。
<< Formation of inorganic protective layer >>
Subsequently, on the organic protective layer, silicon oxide (SiO 2 ) having a thickness of about 100 nm was formed as an inorganic protective layer by sputtering.
Except these, the electrochromic device 10 shown in FIG. 1 was produced in the same manner as in Example 1.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置10の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+3Vの電圧を3秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−2.5Vの電圧を3秒間印加させたところ、前記構造式Bのエレクトロクロミック化合物に由来するマゼンタ色に発色し、初期の状態に戻ることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 10 was confirmed. Specifically, when a voltage of +3 V is applied for 3 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 It was confirmed that the dye in the overlapping portion of the electrode layer 15 was decolored and became transparent.
Furthermore, when a voltage of −2.5 V was applied for 3 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, it was derived from the electrochromic compound of the structural formula B It was confirmed that the magenta color developed and returned to the initial state.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、+3Vで3秒間、−2.5Vで3秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
For the produced electrochromic device, the color development / erasure drive was repeated 500 times for 3 seconds at + 3V and 3 seconds at -2.5V, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color emission / erasure operation was confirmed. It was confirmed that it works stably.

(実施例6)
実施例6では、図5に示すエレクトロクロミック装置50を作製する例を示す。なお、実施例6で作製したエレクトロクロミック装置は、調光ガラス装置として使用できる。
(Example 6)
Example 6 shows an example in which the electrochromic device 50 shown in FIG. 5 is manufactured. In addition, the electrochromic device produced in Example 6 can be used as a light control glass device.

<エレクトロクロミック装置の作製>
<<第1の電極層の形成>>
支持体11上にメタルマスクを介してITO膜をスパッタ法により厚みが約100nmになるように製膜して第1の電極層12を形成した。
<Production of electrochromic device>
<< Formation of First Electrode Layer >>
An ITO film was formed on the support 11 through a metal mask so as to have a thickness of about 100 nm by a sputtering method to form a first electrode layer 12.

<<劣化防止層の形成>>
続いて、前記第1の電極層11上に、劣化防止層56として酸化チタンナノ粒子分散液(商品名:SP210、昭和タイタニウム社製、平均粒子径:約20nm)をスピンコート法により塗布し、120℃で15分間アニール処理を行うことによって、厚みが約1.0μmの酸化チタン粒子膜からなるナノ構造半導体材料を形成した。
続いて、絶縁性多孔質層14及び微細な貫通孔を有する第2の電極層15を実施例1と同様にして形成した。
続いて、エレクトロクロミック層53を実施例1と同様にして形成した。
続いて、電解質の充填を実施例5と同様に行った。
更に、有機保護層と無機保護層を実施例5と同様に形成した。
<< Formation of degradation preventing layer >>
Subsequently, a titanium oxide nanoparticle dispersion (trade name: SP210, manufactured by Showa Titanium Co., Ltd., average particle size: about 20 nm) is applied as a deterioration preventing layer 56 on the first electrode layer 11 by a spin coat method. By performing an annealing process at 15 ° C. for 15 minutes, a nanostructured semiconductor material composed of a titanium oxide particle film having a thickness of about 1.0 μm was formed.
Subsequently, the insulating porous layer 14 and the second electrode layer 15 having fine through holes were formed in the same manner as in Example 1.
Subsequently, an electrochromic layer 53 was formed in the same manner as in Example 1.
Subsequently, the electrolyte was filled in the same manner as in Example 5.
Further, an organic protective layer and an inorganic protective layer were formed in the same manner as in Example 5.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置50の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を3秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Bのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を3秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 50 was confirmed. Specifically, when a voltage of +4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 3 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue color derived from the electrochromic compound of the structural formula B was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Furthermore, when a voltage of −4 V was applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 3 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer It was confirmed that the 15 overlapping portions of the dye disappeared and became transparent.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、発消色動作が確認できなくなるなどの顕著な劣化は確認されず、安定に動作することを確認できた。
<Repeat test>
The electrochromic device produced was repeated 500 times for -4V for 5 seconds and + 4V for 5 seconds, but no significant deterioration such as the inability to confirm the color erasing operation was confirmed and stable. It was confirmed that it works.

(比較例1)
実施例1において、無機保護層を形成しなかった以外は、実施例1と同様にして、図9に示すエレクトロクロミック装置90を作製した。
(Comparative Example 1)
In Example 1, an electrochromic device 90 shown in FIG. 9 was produced in the same manner as in Example 1 except that the inorganic protective layer was not formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置90の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
<Color generation / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 90 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue coloration derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the pigment in the overlapped area was decolored and became transparent.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、素子抵抗が大幅に上昇し、十分な発消色が得られなくなった。
<Repeat test>
For the produced electrochromic device, erasing / decoloring driving at -4 V for 5 seconds and +4 V for 5 seconds was repeated 500 times, but the device resistance increased significantly, and sufficient color erasing / decoloring could not be obtained.

(比較例2)
実施例3において、無機保護層を形成しなかった以外は、実施例3と同様にして、図10に示すエレクトロクロミック装置100を作製した。
(Comparative Example 2)
In Example 3, the electrochromic device 100 shown in FIG. 10 was produced in the same manner as in Example 3 except that the inorganic protective layer was not formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置100の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、白色になることが確認された。
<Color generation / erasing drive>
The color development / erasing of the produced electrochromic device 100 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue coloration derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the dye in the overlapped area was decolored and turned white.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、素子抵抗が大幅に上昇し、十分な発消色が得られなくなった。
<Repeat test>
For the produced electrochromic device, erasing / decoloring driving at -4 V for 5 seconds and +4 V for 5 seconds was repeated 500 times, but the device resistance increased significantly, and sufficient color erasing / decoloring could not be obtained.

(比較例3)
実施例4において、無機保護層を形成しなかった以外は、実施例4と同様にして、図11に示すエレクトロクロミック装置110を作製した。
(Comparative Example 3)
In Example 4, the electrochromic device 110 shown in FIG. 11 was produced in the same manner as in Example 4 except that the inorganic protective layer was not formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置100の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、前記構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の反射色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、鏡状態になることが確認された。
<Color generation / erasing drive>
The color development / erasing of the produced electrochromic device 100 was confirmed. Specifically, when a voltage of −4 V is applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 The blue reflection color derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 15 are applied. It was confirmed that the dye in the overlapping area disappeared and became a mirror state.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、−4Vで5秒間、+4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、素子抵抗が大幅に上昇し、十分な発消色が得られなくなった。
<Repeat test>
For the produced electrochromic device, erasing / decoloring driving at -4 V for 5 seconds and +4 V for 5 seconds was repeated 500 times, but the device resistance increased significantly, and sufficient color erasing / decoloring could not be obtained.

(比較例4)
実施例5において、無機保護層を形成しなかった以外は、実施例5と同様にして、図9に示すエレクトロクロミック装置90を作製した。
(Comparative Example 4)
In Example 5, an electrochromic device 90 shown in FIG. 9 was produced in the same manner as in Example 5 except that the inorganic protective layer was not formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置90の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+3Vの電圧を3秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−2.5Vの電圧を3秒間印加させたところ、前記構造式Bのエレクトロクロミック化合物に由来するマゼンタ色に発色し、初期の状態に戻ることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 90 was confirmed. Specifically, when a voltage of +3 V is applied for 3 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 It was confirmed that the dye in the overlapping portion of the electrode layer 15 was decolored and became transparent.
Furthermore, when a voltage of −2.5 V was applied for 3 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, it was derived from the electrochromic compound of the structural formula B It was confirmed that the magenta color developed and returned to the initial state.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、+3Vで3秒間、−2.5Vで3秒間の発消色駆動を500回繰り返したが、素子抵抗が大幅に上昇し、十分な発消色が得られなくなった。
<Repeat test>
For the produced electrochromic device, the erasing / erasing drive for 3 seconds at +3 V and 3 seconds at -2.5 V was repeated 500 times. However, the element resistance increased significantly, and sufficient erasing and decoloring could not be obtained. It was.

(比較例5)
実施例6において、無機保護層を形成しなかった以外は、実施例6と同様にして、図12に示すエレクトロクロミック装置120を作製した。
(Comparative Example 5)
In Example 6, an electrochromic device 120 shown in FIG. 12 was produced in the same manner as in Example 6 except that the inorganic protective layer was not formed.

<発消色駆動>
作製したエレクトロクロミック装置120の発消色を確認した。具体的には、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、+4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分に、構造式Aのエレクトロクロミック化合物に由来する青色の発色が確認された。
更に、第1の電極層12の引き出し部分と第2の電極層15の引き出し部分との間に、−4Vの電圧を5秒間印加させたところ、第1の電極層12と第2の電極層15の重なった部分の色素が消色し、透明になることが確認された。
<Coloring / erasing drive>
The color generation / decoloration of the produced electrochromic device 120 was confirmed. Specifically, when a voltage of +4 V is applied for 5 seconds between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15, the first electrode layer 12 and the second electrode layer 12 A blue color derived from the electrochromic compound of the structural formula A was confirmed in the overlapping portion of the electrode layer 15.
Further, when a voltage of −4 V was applied between the lead portion of the first electrode layer 12 and the lead portion of the second electrode layer 15 for 5 seconds, the first electrode layer 12 and the second electrode layer It was confirmed that the 15 overlapping portions of the dye disappeared and became transparent.

<繰り返し試験>
作製したエレクトロクロミック装置に対して、+4Vで5秒間、−4Vで5秒間の発消色駆動を500回繰り返したところ、素子抵抗が大幅に上昇し、十分な発消色が得られなくなった。
<Repeat test>
When the electrochromic drive of + 4V for 5 seconds and -4V for 5 seconds was repeated 500 times for the produced electrochromic device, the element resistance increased significantly, and sufficient color development / decoloration could not be obtained.

以上、実施の形態及び実施例について詳説したが、本発明は、上述した実施の形態及び実施例に制限されることはなく、特許請求の範囲に記載された範囲を逸脱することなく、上述した実施の形態及び実施例に種々の変形及び置換を加えることができる。例えば、上記各実施の形態は適宜組み合わせることができる。   Although the embodiments and examples have been described in detail above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and is described above without departing from the scope described in the claims. Various modifications and substitutions can be made to the embodiments and examples. For example, the above embodiments can be combined as appropriate.

本発明の態様としては、例えば、以下のとおりである。
<1> 第1の電極層と、
前記第1の電極層と接する第1の電気活性層と、
前記第1の電極層と対向し、かつ貫通孔が形成された第2の電極層と、
前記第2の電極層と接する多孔質である第2の電気活性層と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に充填され、かつ前記第1の電気活性層と前記第2の電気活性層に接する電解質と、を有してなり、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであり、
前記第1の電極層及び前記第2の電極層の各々が、互いに対向する面である内面と、前記内面とは反対側の面である外面と、を有し、
前記第1の電極層の外面に支持体を有するエレクトロクロミック装置であって、
前記第2の電極層の外面に、無機材料からなる無機保護層を少なくとも有することを特徴とするエレクトロクロミック装置である。
<2> 前記2の電極層の外面に、樹脂材料を含む有機保護層と無機保護層とを有する前記<1>に記載のエレクトロクロミック装置である。
<3> 前記無機保護層における無機材料が、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素及び酸化アルミニウムから選ばれる少なくとも1種である前記<1>から<2>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<4> 前記第2の電極層の貫通孔の直径が、10nm〜100μmである前記<1>から<3>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<5> 前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に、前記第1の電極層と前記第2の電極層を電気的に絶縁するための絶縁性多孔質層を有し、
前記絶縁性多孔質層が、絶縁性金属酸化物微粒子を含む前記<1>から<4>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<6> 前記劣化防止層が、半導体性金属酸化物微粒子を含む前記<1>から<5>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<7> 前記第1の電極及び第2の電極のいずれか一方が、光を反射するエレクトロクロミック調光ミラーである前記<1>から<6>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<8> 前記絶縁性多孔質層が白色粒子を含みエレクトロクロミック反射型表示素子である前記<1>から<6>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<9> 前記支持体が、光学レンズである前記<1>から<8>のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置である。
<10> 支持体上に、第1の電極層及び第1の電気活性層を順次積層する工程と、
前記第1の電気活性層上に、絶縁性多孔質層を介して、前記第1の電極層に対向するように、貫通孔が形成された第2の電極層を積層する工程と、
前記第2の電極層と接するように第2の電気活性層を積層する工程と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間の所定領域に、前記貫通孔から電解質を充填する工程と、
前記電解質を半固体化する工程と、
前記第2の電極層の第1の電極層と対向しない側の面に、無機材料からなる無機保護層を積層する工程と、を含み、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであることを特徴とするエレクトロクロミック装置の製造方法である。
<11> 第2の電極層を積層する工程が、
前記第2の電極層が積層される下層に微粒子を散布する工程と、
前記微粒子が散布された面に真空成膜法により導電膜を形成する工程と、
前記微粒子ごと前記導電膜を除去する工程と、を含む前記<10>に記載のエレクトロクロミック装置の製造方法である。
<12> 前記微粒子の直径が、前記第2の電極層の厚み以上である前記<11>に記載のエレクトロクロミック装置の製造方法である。
As an aspect of this invention, it is as follows, for example.
<1> a first electrode layer;
A first electroactive layer in contact with the first electrode layer;
A second electrode layer facing the first electrode layer and having a through hole formed thereon;
A second electroactive layer that is porous in contact with the second electrode layer;
An electrolyte filled between the first electrode layer and the second electrode layer and in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer;
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer;
Each of the first electrode layer and the second electrode layer has an inner surface that is a surface facing each other, and an outer surface that is a surface opposite to the inner surface,
An electrochromic device having a support on the outer surface of the first electrode layer,
An electrochromic device having at least an inorganic protective layer made of an inorganic material on an outer surface of the second electrode layer.
<2> The electrochromic device according to <1>, wherein an outer surface of the second electrode layer includes an organic protective layer containing a resin material and an inorganic protective layer.
<3> The electrochromic device according to any one of <1> to <2>, wherein the inorganic material in the inorganic protective layer is at least one selected from silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, and aluminum oxide. is there.
<4> The electrochromic device according to any one of <1> to <3>, wherein a diameter of a through hole of the second electrode layer is 10 nm to 100 μm.
<5> An insulating porous layer for electrically insulating the first electrode layer and the second electrode layer is provided between the first electrode layer and the second electrode layer. ,
The electrochromic device according to any one of <1> to <4>, wherein the insulating porous layer includes insulating metal oxide fine particles.
<6> The electrochromic device according to any one of <1> to <5>, wherein the deterioration preventing layer includes semiconductive metal oxide fine particles.
<7> The electrochromic device according to any one of <1> to <6>, wherein any one of the first electrode and the second electrode is an electrochromic dimming mirror that reflects light.
<8> The electrochromic device according to any one of <1> to <6>, wherein the insulating porous layer includes white particles and is an electrochromic reflective display element.
<9> The electrochromic device according to any one of <1> to <8>, wherein the support is an optical lens.
<10> A step of sequentially laminating a first electrode layer and a first electroactive layer on a support;
Laminating a second electrode layer in which a through hole is formed on the first electroactive layer so as to face the first electrode layer via an insulating porous layer;
Laminating a second electroactive layer in contact with the second electrode layer;
Filling a predetermined region between the first electrode layer and the second electrode layer with an electrolyte from the through hole;
Semi-solidifying the electrolyte;
Laminating an inorganic protective layer made of an inorganic material on the surface of the second electrode layer not facing the first electrode layer,
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer. Is the method.
<11> The step of laminating the second electrode layer comprises:
Spraying fine particles on the lower layer on which the second electrode layer is laminated;
Forming a conductive film on the surface on which the fine particles are dispersed by a vacuum film formation method;
The method for producing an electrochromic device according to <10>, further comprising: removing the conductive film together with the fine particles.
<12> The method for producing an electrochromic device according to <11>, wherein a diameter of the fine particle is equal to or greater than a thickness of the second electrode layer.

10、20、30、40、50、60、70、90、100、110、120 エレクトロクロミック装置
11 支持体
12、72 第1の電極層
13、53 エレクトロクロミック層
14、34 絶縁性多孔質層
15 第2の電極層
16、56 劣化防止層
23 絶縁性多孔質層
80 エレクトロクロミック調光レンズ
81 レンズ
87、171 有機保護層
172 無機保護層
461、462 劣化防止層
631、632 エレクトロクロミック層
10, 20, 30, 40, 50, 60, 70, 90, 100, 110, 120 Electrochromic device 11 Support body 12, 72 First electrode layer 13, 53 Electrochromic layer 14, 34 Insulating porous layer 15 Second electrode layer 16, 56 Deterioration prevention layer 23 Insulating porous layer 80 Electrochromic light control lens 81 Lens 87, 171 Organic protection layer 172 Inorganic protection layer 461, 462 Deterioration prevention layer 631, 632 Electrochromic layer

特公平3−73081号公報Japanese Patent Publication No. 3-73081 特許第4105537号公報Japanese Patent No. 4105537

Claims (10)

第1の電極層と、
前記第1の電極層と接する第1の電気活性層と、
前記第1の電極層と対向し、かつ貫通孔が形成された第2の電極層と、
前記第2の電極層と接する多孔質である第2の電気活性層と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に充填され、かつ前記第1の電気活性層と前記第2の電気活性層に接する電解質と、を有してなり、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであり、
前記第1の電極層及び前記第2の電極層の各々が、互いに対向する面である内面と、前記内面とは反対側の面である外面と、を有し、
前記第1の電極層の外面に支持体を有するエレクトロクロミック装置であって、
前記第2の電極層の外面に、無機材料からなる無機保護層を少なくとも有することを特徴とするエレクトロクロミック装置。
A first electrode layer;
A first electroactive layer in contact with the first electrode layer;
A second electrode layer facing the first electrode layer and having a through hole formed thereon;
A second electroactive layer that is porous in contact with the second electrode layer;
An electrolyte filled between the first electrode layer and the second electrode layer and in contact with the first electroactive layer and the second electroactive layer;
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer;
Each of the first electrode layer and the second electrode layer has an inner surface that is a surface facing each other, and an outer surface that is a surface opposite to the inner surface,
An electrochromic device having a support on the outer surface of the first electrode layer,
An electrochromic device comprising at least an inorganic protective layer made of an inorganic material on an outer surface of the second electrode layer.
前記2の電極層の外面に、樹脂材料を含む有機保護層と無機保護層とを有する請求項1に記載のエレクトロクロミック装置。   The electrochromic device according to claim 1, further comprising an organic protective layer containing a resin material and an inorganic protective layer on an outer surface of the second electrode layer. 前記無機保護層における無機材料が、酸化珪素、窒化珪素、酸化窒化珪素及び酸化アルミニウムから選ばれる少なくとも1種である請求項1から2のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置。   The electrochromic device according to claim 1, wherein the inorganic material in the inorganic protective layer is at least one selected from silicon oxide, silicon nitride, silicon oxynitride, and aluminum oxide. 前記第2の電極層の貫通孔の直径が、10nm〜100μmである請求項1から3のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置。   The electrochromic device according to any one of claims 1 to 3, wherein a diameter of the through hole of the second electrode layer is 10 nm to 100 µm. 前記第1の電極層と前記第2の電極層との間に、前記第1の電極層と前記第2の電極層を電気的に絶縁するための絶縁性多孔質層を有し、
前記絶縁性多孔質層が、絶縁性金属酸化物微粒子を含む請求項1から5のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置。
An insulating porous layer for electrically insulating the first electrode layer and the second electrode layer between the first electrode layer and the second electrode layer;
The electrochromic device according to claim 1, wherein the insulating porous layer includes insulating metal oxide fine particles.
前記劣化防止層が、半導体性金属酸化物微粒子を含む請求項1から5のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置。   The electrochromic device according to claim 1, wherein the deterioration preventing layer includes semiconductive metal oxide fine particles. 前記支持体が、光学レンズである請求項1から6のいずれかに記載のエレクトロクロミック装置。   The electrochromic device according to claim 1, wherein the support is an optical lens. 支持体上に、第1の電極層及び第1の電気活性層を順次積層する工程と、
前記第1の電気活性層上に、絶縁性多孔質層を介して、前記第1の電極層に対向するように、貫通孔が形成された第2の電極層を積層する工程と、
前記第2の電極層と接するように第2の電気活性層を積層する工程と、
前記第1の電極層と前記第2の電極層との間の所定領域に、前記貫通孔から電解質を充填する工程と、
前記電解質を半固体化する工程と、
前記第2の電極層の第1の電極層と対向しない側の面に、無機材料からなる無機保護層を積層する工程と、を含み、
前記第1の電気活性層及び第2の電気活性層の少なくともいずれか一方がエレクトロクロミック層であり、他方がエレクトロクロミック層及び劣化防止層のいずれかであることを特徴とするエレクトロクロミック装置の製造方法。
Sequentially laminating a first electrode layer and a first electroactive layer on a support;
Laminating a second electrode layer in which a through hole is formed on the first electroactive layer so as to face the first electrode layer via an insulating porous layer;
Laminating a second electroactive layer in contact with the second electrode layer;
Filling a predetermined region between the first electrode layer and the second electrode layer with an electrolyte from the through hole;
Semi-solidifying the electrolyte;
Laminating an inorganic protective layer made of an inorganic material on the surface of the second electrode layer not facing the first electrode layer,
At least one of the first electroactive layer and the second electroactive layer is an electrochromic layer, and the other is either an electrochromic layer or a deterioration preventing layer. Method.
第2の電極層を積層する工程が、
前記第2の電極層が積層される下層に微粒子を散布する工程と、
前記微粒子が散布された面に真空成膜法により導電膜を形成する工程と、
前記微粒子ごと前記導電膜を除去する工程と、を含む請求項8に記載のエレクトロクロミック装置の製造方法。
The step of laminating the second electrode layer comprises:
Spraying fine particles on the lower layer on which the second electrode layer is laminated;
Forming a conductive film on the surface on which the fine particles are dispersed by a vacuum film formation method;
The method for producing an electrochromic device according to claim 8, comprising: removing the conductive film together with the fine particles.
前記微粒子の直径が、前記第2の電極層の厚み以上である請求項9に記載のエレクトロクロミック装置の製造方法。   The method for manufacturing an electrochromic device according to claim 9, wherein a diameter of the fine particles is equal to or greater than a thickness of the second electrode layer.
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