JP2013080207A - Photosensitive resin composition, and coating film and color filter using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition, and coating film and color filter using the same Download PDF

Info

Publication number
JP2013080207A
JP2013080207A JP2012174873A JP2012174873A JP2013080207A JP 2013080207 A JP2013080207 A JP 2013080207A JP 2012174873 A JP2012174873 A JP 2012174873A JP 2012174873 A JP2012174873 A JP 2012174873A JP 2013080207 A JP2013080207 A JP 2013080207A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
resin composition
photosensitive resin
acid
hydrogen atom
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2012174873A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP6113431B2 (en
Inventor
Masaru Shioda
大 塩田
Isao Tateno
功 舘野
Tetsuo Kinoshita
哲郎 木下
Mayumi Kuroko
麻祐美 黒子
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd filed Critical Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd
Priority to JP2012174873A priority Critical patent/JP6113431B2/en
Priority to CN201210358640.0A priority patent/CN103019031B/en
Publication of JP2013080207A publication Critical patent/JP2013080207A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP6113431B2 publication Critical patent/JP6113431B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition excellent in adhesion of a minute line pattern, and a coating film and a color filter formed using the same.SOLUTION: A photosensitive resin composition contains (A) alkali-soluble resin obtained by reacting a resin represented by the general formula (a-1) with a monofunctional epoxy compound, with an acid value in the range of 1-100 mgKOH/g; (B) photobase generator; (D) photopolymerizable monomer; and (E) photopolymerization initiator. In the formula, R-R, Y, Y, and P represent 9,9-fluorenyl group or the like, and X represents a carboxylic acid residue.

Description

本発明は、感光性樹脂組成物、それを用いて形成した塗膜及びカラーフィルタに関する。   The present invention relates to a photosensitive resin composition, a coating film formed using the same, and a color filter.

液晶パネルやイメージセンサ等に使用するカラーフィルタは、一般にリソグラフィ法により製造される。このリソグラフィ法では、まず基板に黒色の感光性樹脂組成物を塗布した後、露光、現像し、ブラックマトリクスを形成する。次いで、緑、青、赤の各色の有機顔料を添加した感光性樹脂組成物毎に、塗布、露光、現像を繰り返すことで、各色のパターンを所定の位置に形成してカラーフィルタを製造する。   Color filters used for liquid crystal panels, image sensors, and the like are generally manufactured by a lithography method. In this lithography method, first, a black photosensitive resin composition is applied to a substrate, and then exposed and developed to form a black matrix. Next, for each photosensitive resin composition to which organic pigments of green, blue, and red are added, by repeating application, exposure, and development, a pattern of each color is formed at a predetermined position to manufacture a color filter.

このとき、感光性樹脂組成物には、透明性、耐熱性、密着性等に優れることが要求されており、ビスフェノール型樹脂を成分に用いることが提案されている。特に、特許文献1では、ビスフェノール型樹脂をさらに単官能性エポキシ化合物と反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂を用いることにより、高透明性、耐熱黄変性に加え、良好な細線形成を可能とした感光性樹脂組成物が報告されている。   At this time, the photosensitive resin composition is required to be excellent in transparency, heat resistance, adhesion, and the like, and it is proposed to use a bisphenol type resin as a component. In particular, in Patent Document 1, by using an alkali-soluble resin obtained by further reacting a bisphenol-type resin with a monofunctional epoxy compound and having an acid value in the range of 1 to 100 mgKOH / g, high transparency, heat-resistant yellow In addition to modification, a photosensitive resin composition capable of forming a fine fine line has been reported.

特開2006−284784号公報JP 2006-284784 A

近年、製品の信頼性を確保するため、微小パターンを形成した場合にも基板に密着するような高い密着性が要求されている。上記特許文献1で提案された感光性樹脂組成物は、微小ラインパターンの密着性について満足のいくものではなかった。   In recent years, in order to ensure the reliability of products, there is a demand for high adhesion so as to adhere to a substrate even when a minute pattern is formed. The photosensitive resin composition proposed in Patent Document 1 is not satisfactory with respect to the adhesion of a fine line pattern.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、上記特許文献1に提案されたようなアルカリ可溶性樹脂を用いながら、微小ラインパターンの密着性に優れた感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。また、他の目的は、この感光性樹脂組成物を用いて形成した塗膜及びカラーフィルタを提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and provides a photosensitive resin composition having excellent adhesion of a fine line pattern while using an alkali-soluble resin as proposed in Patent Document 1. With the goal. Moreover, the other objective is to provide the coating film and color filter which were formed using this photosensitive resin composition.

本発明者らは、上記目的を達成するため鋭意研究を重ねた結果、特許文献1に提案された樹脂と特定の化合物とを感光性樹脂組成物の成分とすることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the present inventors can solve the above problems by using the resin proposed in Patent Document 1 and a specific compound as components of the photosensitive resin composition. As a result, the present invention has been completed.

本発明の第一の態様は、下記式(a−1)で表される樹脂と単官能エポキシ化合物とを反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)と、下記式(b−1)で表される化合物(B)と、光重合性モノマー(D)と、光重合開始剤(E)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物である。

Figure 2013080207
(式中、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4は、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を示し、Ra5は水素原子又はメチル基を示す。また、Pは−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は単結合を示し、Xは4価のカルボン酸残基を示し、Y、Yはそれぞれ独立に水素原子又は−OC−Q−(COOH)を示し、Qはカルボン酸残基(mは1〜3の整数を示す)を示し、nは1〜200の整数を示す。)
Figure 2013080207
(式中、Rb1及びRb2は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示す。ただし、Rb1及びRb2の少なくとも一方は有機基を示す。Rb1及びRb2は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。Rb3は、単結合又は有機基を示す。Rb4及びRb5は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。ただし、Rb6及びRb7が水酸基となることはない。Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。Rb10は、水素原子又は有機基を示す。) A first aspect of the present invention is an alkali-soluble resin (obtained by reacting a resin represented by the following formula (a-1) with a monofunctional epoxy compound and having an acid value in the range of 1 to 100 mgKOH / g. A), a photosensitive resin composition comprising a compound (B) represented by the following formula (b-1), a photopolymerizable monomer (D), and a photopolymerization initiator (E). It is a thing.
Figure 2013080207
(In formula, R <a1 > , R < a2 > , R < a3> , R <a4> shows a hydrogen atom, a C1-C5 alkyl group, a halogen atom, or a phenyl group each independently, and R <a5> shows a hydrogen atom or a methyl group. P represents —CO—, —SO 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, —Si (CH 3 ) 2 —, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, 9,9-fluorenyl group or a single bond, X represents a tetravalent carboxylic acid residue, Y 1 and Y 2 each independently represents a hydrogen atom or —OC—Q— (COOH) m , Q is A carboxylic acid residue (m represents an integer of 1 to 3), and n represents an integer of 1 to 200.)
Figure 2013080207
(Wherein, R b1 and R b2 each independently represent a hydrogen atom or an organic group. However, .R b1 and R b2 represents an organic group at least one of the R b1 and R b2 is to they are attached It may form a cyclic structure and may contain a heteroatom bond, R b3 represents a single bond or an organic group, R b4 and R b5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydroxyl group , mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonato group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, .R b6 showing a phosphonato group, or an organic radical, R b7 , Rb8 , and Rb9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, or a nitro group. Nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, amino group, ammonio group, or organic group, provided that R b6 and R b7 are hydroxyl groups. no .R b6, R b7, R b8 , and R b9 are those two or more together, may form a cyclic structure, which may contain a binding heteroatom .R b10 is Represents a hydrogen atom or an organic group.)

本発明の第二の態様は、本発明に係る感光性樹脂組成物を硬化させて形成した塗膜であり、本発明の第三の態様は、本発明に係る感光性樹脂組成物を塗布、硬化させて得られる塗膜が形成されてなるカラーフィルタである。   The second aspect of the present invention is a coating film formed by curing the photosensitive resin composition according to the present invention, and the third aspect of the present invention is the application of the photosensitive resin composition according to the present invention. It is a color filter formed with a coating film obtained by curing.

本発明によれば、透明性、耐熱黄変性が良好とされる特許文献1に提案されたアルカリ可溶性樹脂を用いながら、微小ラインパターンの密着性に優れた感光性樹脂組成物を得ることができる。このため、本発明の感光性樹脂組成物は、特にカラーフィルタ用感光性樹脂組成物に適し、カラー液晶表示装置、ディスプレイ、カラーファクシミリ、イメージセンサ等の各種の多色表示体に好適に使用することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the photosensitive resin composition excellent in the adhesiveness of a micro line pattern can be obtained using the alkali-soluble resin proposed by patent document 1 by which transparency and heat-resistant yellowing are made favorable. . Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention is particularly suitable for a photosensitive resin composition for color filters, and is suitably used for various multicolor displays such as a color liquid crystal display device, a display, a color facsimile, and an image sensor. be able to.

≪感光性樹脂組成物≫
本発明に係る感光性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂(A)、化合物(B)、光重合性モノマー(D)、及び光重合開始剤(E)を必須成分として含有する感光性樹脂組成物であり、アルカリ現像型感光性樹脂組成物としての性質を有する。その他、好ましい任意成分として、下記の(F)、(G)成分がある。
(F)着色剤
(G)1つ以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物
≪Photosensitive resin composition≫
The photosensitive resin composition according to the present invention includes an alkali-soluble resin (A), a compound (B), a photopolymerizable monomer (D), and a photopolymerization initiator (E) as essential components. And has properties as an alkali development type photosensitive resin composition. Other preferred optional components include the following components (F) and (G).
(F) Colorant (G) Epoxy compound having one or more epoxy groups

<アルカリ可溶性樹脂(A)>
本発明に係る感光性樹脂組成物の必須成分であるアルカリ可溶性樹脂(A)は、下記式(a−1)で表される樹脂と単官能性エポキシ化合物とを反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にある樹脂である。酸価が100mgKOH/gを超えると、アルカリ可溶性が高すぎ、露光部のパターンがアルカリ水溶液に浸透され、パターン部に欠けやフリンジ状の形状が形成されやすくなるため好ましくない。

Figure 2013080207
<Alkali-soluble resin (A)>
The alkali-soluble resin (A), which is an essential component of the photosensitive resin composition according to the present invention, is obtained by reacting a resin represented by the following formula (a-1) with a monofunctional epoxy compound, and has an acid value. Is a resin in the range of 1 to 100 mg KOH / g. When the acid value exceeds 100 mgKOH / g, the alkali solubility is too high, the pattern of the exposed portion penetrates into the alkaline aqueous solution, and the pattern portion is liable to form a chip or fringe shape, which is not preferable.
Figure 2013080207

上記式(a−1)中、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4は、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を示し、Ra5は水素原子又はメチル基を示す。また、Pは−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は単結合を示し、Xは4価のカルボン酸残基を示し、Y、Yはそれぞれ独立に水素原子又は−OC−Q−(COOH)を示し、Qはカルボン酸残基(mは1〜3の整数を示す)を示し、nは1〜200の整数を示す。 In the formula (a-1), R a1 , R a2 , R a3 and R a4 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, a halogen atom or a phenyl group, and R a5 represents a hydrogen atom. Or a methyl group is shown. P represents —CO—, —SO 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, —Si (CH 3 ) 2 —, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, 9 , 9-fluorenyl group or a single bond, X represents a tetravalent carboxylic acid residue, Y 1 and Y 2 each independently represent a hydrogen atom or —OC—Q— (COOH) m , and Q represents a carbon An acid residue (m represents an integer of 1 to 3) is shown, and n is an integer of 1 to 200.

ここで、上記式(a−1)で表される樹脂は、ビスフェノール類から誘導される2個のグリシジルエーテル基を有するエポキシ化合物に、(メタ)アクリル酸を反応させ、得られたヒドロキシ基を有する化合物に、さらに多価カルボン酸類と反応させて得られたエポキシ(メタ)アクリレート酸付加物である。この樹脂は、光重合可能な不飽和結合を有する(メタ)アクリル酸に由来する不飽和基を有するため重合性を有する他、多価カルボン酸類に由来する酸性基を有するためアルカリ可溶性を示す。なお、本明細書において、酸成分というときは、多価カルボン酸類を意味し、(メタ)アクリル酸は、アクリル酸、メタクリル酸又は両方を意味する。   Here, the resin represented by the above formula (a-1) is obtained by reacting (meth) acrylic acid with an epoxy compound having two glycidyl ether groups derived from bisphenols, and converting the resulting hydroxy group. It is an epoxy (meth) acrylate acid adduct obtained by further reacting a compound having a polycarboxylic acid with the compound. Since this resin has an unsaturated group derived from (meth) acrylic acid having a photopolymerizable unsaturated bond, it has polymerizability, and has an acidic group derived from a polyvalent carboxylic acid, and therefore exhibits alkali solubility. In the present specification, the acid component means polyvalent carboxylic acids, and (meth) acrylic acid means acrylic acid, methacrylic acid or both.

上記式(a−1)で表される樹脂は、好ましくは、下記式(a−2)で表されるエポキシ化合物と下記式(a−3)で表される(メタ)アクリル酸から誘導される。このエポキシ化合物はビスフェノール類から誘導される。

Figure 2013080207
The resin represented by the above formula (a-1) is preferably derived from an epoxy compound represented by the following formula (a-2) and (meth) acrylic acid represented by the following formula (a-3). The This epoxy compound is derived from bisphenols.
Figure 2013080207

上記式(a−2)において、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、Pは、上記式(a−1)と同じであるが、好ましくはRa1、Ra2、Ra3、Ra4は水素原子であり、好ましくはPは9,9−フルオレニル基である。lは0〜10の整数であるが、好ましくは0又は平均値として0〜2の範囲である。ここで、9,9−フルオレニル基は、下記式(a−4)で表される基をいう。

Figure 2013080207
Figure 2013080207
In the above formula (a-2), R a1 , R a2 , R a3 , R a4 and P are the same as those in the above formula (a-1), but preferably R a1 , R a2 , R a3 and R a4. Is a hydrogen atom, preferably P is a 9,9-fluorenyl group. l is an integer of 0 to 10, preferably 0 or in the range of 0 to 2 as an average value. Here, the 9,9-fluorenyl group refers to a group represented by the following formula (a-4).
Figure 2013080207
Figure 2013080207

上記式(a−3)において、Ra5は上記式(a−1)のRa5と同じである。 In the formula (a-3), R a5 is the same as R a5 in the formula (a-1).

上記式(a−2)で表されるエポキシ化合物はビスフェノール類から誘導される。上記式(a−2)を与えるビスフェノール類としては、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ケトン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)スルホン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)ジメチルシラン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)メタン、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシジクロロフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)プロパン、ビス(4−ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)エーテル、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)エーテル等が挙げられる。また、Pが9,9−フルオレニル基である9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−クロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−ブロモフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3−フルオロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジクロロフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジブロモフェニル)フルオレン等も好ましく挙げられる。さらには、4,4’−ビフェノール、3,3’−ビフェノール等も好ましく挙げられる。   The epoxy compound represented by the above formula (a-2) is derived from bisphenols. Examples of bisphenols that give the above formula (a-2) include bis (4-hydroxyphenyl) ketone, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) ketone, and bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl). Ketone, bis (4-hydroxyphenyl) sulfone, bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) sulfone, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) sulfone, bis (4-hydroxyphenyl) hexafluoropropane Bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) hexafluoropropane, bis (4-hydroxyphenyl) dimethylsilane, bis (4-hydroxy- 3,5-dimethylphenyl) dimethylsilane, bi (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) dimethylsilane, bis (4-hydroxyphenyl) methane, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) methane, bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) Methane, 2,2-bis (4-hydroxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxydichlorophenyl) propane, 2,2 -Bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) propane, 2,2-bis (4-hydroxy-3-chlorophenyl) propane, bis (4-hydroxyphenyl) ether, bis (4-hydroxy-3,5-dimethyl) Phenyl) ether, bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) ether, etc. That. In addition, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-methylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4- Hydroxy-3-chlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-bromophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3-fluorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4- Hydroxy-3,5-dimethylphenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-hydroxy-3,5-dibromophenyl) fluorene and the like are also preferable. Can be mentioned. Furthermore, 4,4'-biphenol, 3,3'-biphenol and the like are also preferred.

上記式(a−1)で表される樹脂は、上記のようなビスフェノール類から誘導されるエポキシ化合物を経由して得ることができるが、かかるエポキシ化合物の他にフェノールノボラック型エポキシ化合物や、クレゾールノボラック型エポキシ化合物等も2個のグリシジルエーテル基を有する化合物を有意に含むものであれば使用することができる。また、ビスフェノール類をグリシジルエーテル化する際に、オリゴマー単位が混入することになるが、式(a−2)におけるlの平均値が0〜10、好ましくは0〜2の範囲であれば、感光性樹脂組成物の性能には問題はない。   The resin represented by the above formula (a-1) can be obtained via an epoxy compound derived from bisphenols as described above. In addition to such an epoxy compound, a phenol novolac type epoxy compound or cresol A novolak-type epoxy compound or the like can be used as long as it contains a compound having two glycidyl ether groups significantly. In addition, when bisphenols are converted to glycidyl ether, oligomer units are mixed. If the average value of l in the formula (a-2) is in the range of 0 to 10, preferably 0 to 2, the photosensitivity is increased. There is no problem in the performance of the conductive resin composition.

このようなエポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応は、エポキシ化合物1モルに対し、約2モルの(メタ)アクリル酸を使用して行えばよい。この反応で得られる反応物は、下記式(a−5)で表されるようなエポキシ(メタ)アクリレート化合物である。

Figure 2013080207
Such a reaction between the epoxy compound and (meth) acrylic acid may be carried out using about 2 mol of (meth) acrylic acid per 1 mol of the epoxy compound. The reaction product obtained by this reaction is an epoxy (meth) acrylate compound represented by the following formula (a-5).
Figure 2013080207

上記式(a−5)において、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4、Ra5、及びPは、上記式(a−1)と同じである。 In the above formula (a-5), R a1 , R a2 , R a3 , R a4 , R a5 , and P are the same as in the above formula (a-1).

エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応で得られた反応物と、酸成分を反応させて上記式(a−1)で表される樹脂を得る。酸成分としては、エポキシ(メタ)アクリレート化合物の分子中のヒドロキシ基と反応し得る多価カルボン酸又はこれらの酸無水物(カルボン酸類という)が使用され、好ましくは、ジカルボン酸類とテトラカルボン酸類が併用される。   The reaction product obtained by the reaction of the epoxy compound and (meth) acrylic acid is reacted with the acid component to obtain a resin represented by the above formula (a-1). As the acid component, a polyvalent carboxylic acid capable of reacting with a hydroxy group in the molecule of the epoxy (meth) acrylate compound or an acid anhydride thereof (referred to as carboxylic acids) is used. Preferably, dicarboxylic acids and tetracarboxylic acids are used. Used together.

ここで、ジカルボン酸類としては、鎖式炭化水素ジカルボン酸又はその酸無水物や脂環式ジカルボン酸又はその酸無水物、芳香族ジカルボン酸やその酸無水物が使用される。
鎖式炭化水素ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、コハク酸、アセチルコハク酸、マレイン酸、アジピン酸、イタコン酸、アゼライン酸、シトラリンゴ酸、マロン酸、グルタル酸、クエン酸、酒石酸、オキソグルタル酸、ピメリン酸、セバシン酸、スベリン酸、ジグリコール酸等の化合物があり、さらには任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
また、脂環式ジカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ヘキサヒドロフタル酸、シクロブタンジカルボン酸、シクロペンタンジカルボン酸、ノルボルナンジカルボン酸等の化合物があり、さらには任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
さらに、芳香族ジカルボン酸やその酸無水物としては、例えばフタル酸、イソフタル酸等の化合物があり、さらには任意の置換基の導入されたジカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
Here, as the dicarboxylic acid, a chain hydrocarbon dicarboxylic acid or its acid anhydride, an alicyclic dicarboxylic acid or its acid anhydride, an aromatic dicarboxylic acid or its acid anhydride is used.
Examples of the chain hydrocarbon dicarboxylic acid or its acid anhydride include succinic acid, acetyl succinic acid, maleic acid, adipic acid, itaconic acid, azelaic acid, citralmalic acid, malonic acid, glutaric acid, citric acid, tartaric acid, oxoglutaric acid. There are compounds such as acid, pimelic acid, sebacic acid, suberic acid, diglycolic acid and the like, and further dicarboxylic acids having an arbitrary substituent introduced therein or acid anhydrides thereof may be used.
Examples of the alicyclic dicarboxylic acid or its acid anhydride include compounds such as hexahydrophthalic acid, cyclobutane dicarboxylic acid, cyclopentane dicarboxylic acid, norbornane dicarboxylic acid, and any substituents introduced. Dicarboxylic acids or acid anhydrides thereof may be used.
Furthermore, examples of the aromatic dicarboxylic acid and its acid anhydride include compounds such as phthalic acid and isophthalic acid, and further dicarboxylic acids into which an arbitrary substituent is introduced or acid anhydrides thereof may be used.

また、テトラカルボン酸類としては、鎖式炭化水素テトラカルボン酸又はその酸二無水物や脂環式テトラカルボン酸又はその酸二無水物、あるいは、芳香族多価カルボン酸あるいはその酸二無水物が使用される。
ここで、鎖状テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、ブタンテトラカルボン酸、ペンタンテトラカルボン酸、ヘキサンテトラカルボン酸等があり、さらには置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。また、脂環式テトラカルボン酸又はその酸無水物としては、例えば、シクロブタンテトラカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、シクロヘキサンテトラカルボン酸、シクロヘプタンテトラカルボン酸ノルボルナンテトラカルボン酸等があり、さらには置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
さらに、芳香族テトラカルボン酸やその酸無水物としては、例えば、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸又はその酸無水物が挙げられ、さらには置換基の導入されたテトラカルボン酸類又はその酸無水物でもよい。
The tetracarboxylic acids include chain hydrocarbon tetracarboxylic acid or its acid dianhydride, alicyclic tetracarboxylic acid or its acid dianhydride, or aromatic polyvalent carboxylic acid or its acid dianhydride. used.
Here, examples of the chain tetracarboxylic acid or acid anhydride thereof include butanetetracarboxylic acid, pentanetetracarboxylic acid, hexanetetracarboxylic acid, and the like, and further, tetracarboxylic acids having an introduced substituent or acid thereof. An anhydride may be used. Examples of the alicyclic tetracarboxylic acid or its acid anhydride include cyclobutanetetracarboxylic acid, cyclopentanetetracarboxylic acid, cyclohexanetetracarboxylic acid, cycloheptanetetracarboxylic acid norbornanetetracarboxylic acid, and further substitution. It may be a tetracarboxylic acid having an introduced group or an acid anhydride thereof.
Furthermore, examples of the aromatic tetracarboxylic acid and its acid anhydride include pyromellitic acid, benzophenone tetracarboxylic acid, biphenyl tetracarboxylic acid, biphenyl ether tetracarboxylic acid, and acid anhydrides thereof, and further, The introduced tetracarboxylic acids or acid anhydrides thereof may be used.

ジカルボン酸類とテトラカルボン酸類は、それぞれ1種以上を使用することができ、ジカルボン酸類とテトラカルボン酸類の使用割合は、ジカルボン酸/テトラカルボン酸のモル比として0.1〜10となる範囲、好ましくは0.2〜1.0となる範囲である。この使用割合は、最適分子量、アルカリ現像性、光透過性、耐熱性、耐溶剤性、パターン形状の効果に適した割合を選択することができるが、テトラカルボン酸類の使用割合が大きいほどアルカリ溶解性が大となり、分子量が大となる傾向がある。   One or more dicarboxylic acids and tetracarboxylic acids can be used, respectively, and the use ratio of the dicarboxylic acids and tetracarboxylic acids is preferably in the range of 0.1 to 10 as the molar ratio of dicarboxylic acid / tetracarboxylic acid, preferably Is a range of 0.2 to 1.0. As for this use ratio, a ratio suitable for the effect of optimum molecular weight, alkali developability, light transmittance, heat resistance, solvent resistance, and pattern shape can be selected. Tend to be large and have a high molecular weight.

エポキシ化合物と(メタ)アクリル酸との反応で得られた反応物である上記式(a−5)と、カルボン酸類を反応させて上記式(a−1)で表される樹脂を製造する方法については、特に限定されるものでなく、上記特許文献1に記載されたような公知の方法を採用することができる。有利には、エポキシ(メタ)アクリレート化合物分子中のヒドロキシ基1モル当たり酸成分が1/2モルとなるように定量的に反応させることが望ましい。また、反応温度としては、90〜130℃、好ましくは95〜125℃である。   A method for producing a resin represented by the above formula (a-1) by reacting the above formula (a-5), which is a reaction product obtained by a reaction between an epoxy compound and (meth) acrylic acid, with a carboxylic acid. The method is not particularly limited, and a known method as described in Patent Document 1 can be adopted. Advantageously, it is desirable to react quantitatively so that the acid component is 1/2 mole per mole of hydroxy group in the epoxy (meth) acrylate compound molecule. Moreover, as reaction temperature, it is 90-130 degreeC, Preferably it is 95-125 degreeC.

上記式(a−1)で表される樹脂を製造する方法の一例を9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンを出発原料とする場合について示せば、次のようである。
先ず、9,9−ビス(4−ヒドロキシフェニル)フルオレンとエピクロロヒドリンとを反応させて上記式(a−2)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物を合成し、このビスフェノールフルオレン型エポキシ化合物と上記式(a−3)で表される(メタ)アクリル酸とを反応させて上記式(a−5)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂を合成し、次いでプロピレングリコールモノメチル溶剤中でビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート樹脂と上記酸成分とを加熱下に反応させ、上記式(a−1)で表されるフルオレン型の樹脂を得る。
An example of a method for producing the resin represented by the above formula (a-1) is as follows when 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene is used as a starting material.
First, 9,9-bis (4-hydroxyphenyl) fluorene and epichlorohydrin are reacted to synthesize a bisphenolfluorene type epoxy compound represented by the above formula (a-2), and this bisphenolfluorene type epoxy compound. And a (meth) acrylic acid represented by the above formula (a-3) to synthesize a bisphenolfluorene type epoxy acrylate resin represented by the above formula (a-5), and then in a propylene glycol monomethyl solvent The bisphenol fluorene type epoxy acrylate resin and the acid component are reacted under heating to obtain a fluorene type resin represented by the formula (a-1).

上記のようにして得られた上記式(a−1)で表される樹脂は、単官能エポキシ化合物と反応され、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)となる。アルカリ可溶性樹脂と単官能エポキシ化合物との反応は、60〜80℃で6時間以上反応させればよい。   The resin represented by the above formula (a-1) obtained as described above is reacted with a monofunctional epoxy compound to become an alkali-soluble resin (A) having an acid value in the range of 1 to 100 mgKOH / g. . What is necessary is just to make reaction of alkali-soluble resin and a monofunctional epoxy compound react at 60-80 degreeC for 6 hours or more.

ここで、反応で用いられる単官能エポキシ樹脂としては、単官能のエポキシ樹脂であれば特に制限されるものではないが、例えばエポキシプロピルフタルイミド、エポキシノルボルネン等の常温で粉体の化合物や、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル等の常温で液状の化合物等の高沸点の化合物が挙げられる。単官能エポキシ樹脂の中でも、下記式(c−1)で表されるものが好ましく、スチレンオキサイド、グリシドール等が好ましいものとして例示される。下記式(c−1)において、Zは−C2r+1、−C又は−C2s−OHを示し、r及びsは、それぞれ1〜10の整数を示す。

Figure 2013080207
Here, the monofunctional epoxy resin used in the reaction is not particularly limited as long as it is a monofunctional epoxy resin. For example, it is a powder compound at room temperature such as epoxypropylphthalimide and epoxynorbornene, or phenylglycidyl. Examples thereof include high boiling point compounds such as ether and p-butylphenol glycidyl ether at room temperature. Among the monofunctional epoxy resins, those represented by the following formula (c-1) are preferable, and styrene oxide, glycidol and the like are exemplified as preferable ones. In the following formula (c-1), Z is -C r H 2r + 1, shows a -C 6 H 5 or -C s H 2s -OH, r and s are each an integer of 1 to 10.
Figure 2013080207

上記式(a−1)で表される樹脂と上記式(c−1)で表される単官能エポキシ化合物との反応は、反応させて得られるアルカリ可溶性樹脂(A)の酸価が、樹脂(a−1)の酸価の1/10〜9/10、好ましくは2/10〜8/10となるように、単官能エポキシ化合物を反応させることがよい。   The reaction between the resin represented by the above formula (a-1) and the monofunctional epoxy compound represented by the above formula (c-1) is such that the acid value of the alkali-soluble resin (A) obtained by reacting is the resin. The monofunctional epoxy compound is preferably reacted so that the acid value of (a-1) is 1/10 to 9/10, preferably 2/10 to 8/10.

アルカリ可溶性樹脂(A)の質量平均分子量は、1000〜40000であることが好ましく、2000〜30000であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、十分な耐熱性、膜強度を得ることができる。   The mass average molecular weight of the alkali-soluble resin (A) is preferably 1000 to 40000, and more preferably 2000 to 30000. By setting it as the above range, sufficient heat resistance and film strength can be obtained while obtaining good developability.

アルカリ可溶性樹脂(A)は、感光性樹脂組成物の固形分に対して5〜80質量%であることが好ましく、15〜50質量%であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、現像性のバランスがとりやすい傾向がある。   It is preferable that alkali-soluble resin (A) is 5-80 mass% with respect to solid content of the photosensitive resin composition, and it is more preferable that it is 15-50 mass%. By setting it as the above range, there is a tendency that developability is easily balanced.

<化合物(B)>
本発明に係る感光性樹脂組成物の他の必須成分は、下記式(b−1)で表される化合物(B)である。この化合物は、有機溶剤への溶解性が良好であり、また、放射線照射又は加熱により塩基を発生するため、塩基発生剤としても機能する。このため、感光性樹脂組成物に含有させた際に基板への密着性を高める効果を奏し、微小ラインパターンの密着性を良好にすることが可能である。

Figure 2013080207
<Compound (B)>
Another essential component of the photosensitive resin composition according to the present invention is a compound (B) represented by the following formula (b-1). This compound has good solubility in an organic solvent, and also generates a base upon irradiation or heating, and thus functions as a base generator. For this reason, when it is made to contain in the photosensitive resin composition, there exists an effect which improves the adhesiveness to a board | substrate, and it is possible to make the adhesiveness of a micro line pattern favorable.
Figure 2013080207

上記式(b−1)中、Rb1及びRb2は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示すが、Rb1及びRb2の少なくとも一方は有機基を示す。
b1及びRb2における有機基としては、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アリール基、アラルキル基等が挙げられる。この有機基は、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。
この有機基は、通常は1価であるが、環状構造を形成する場合等には、2価以上の有機基となり得る。
In the above formula (b-1), R b1 and R b2 each independently represent a hydrogen atom or an organic group, but at least one of R b1 and R b2 represents an organic group.
Examples of the organic group for R b1 and R b2 include an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, an aryl group, and an aralkyl group. This organic group may contain a bond or substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be linear, branched or cyclic.
This organic group is usually monovalent, but can be a divalent or higher organic group when a cyclic structure is formed.

b1及びRb2は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合をさらに含んでいてもよい。環状構造としては、ヘテロシクロアルキル基、ヘテロアリール基等が挙げられ、縮合環であってもよい。 R b1 and R b2 may be bonded to each other to form a cyclic structure, and may further include a hetero atom bond. Examples of the cyclic structure include a heterocycloalkyl group and a heteroaryl group, and may be a condensed ring.

b1及びRb2の有機基中の炭化水素基以外の結合としては、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、酸素原子、窒素原子、珪素原子等のヘテロ原子を含む結合が挙げられる。具体例としては、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、イミノ結合(−N=C(−R)−、−C(=NR)−:Rは水素原子又は有機基を示す)、カーボネート結合、スルホニル結合、スルフィニル結合、アゾ結合等が挙げられる。 The bond other than the hydrocarbon group in the organic group of R b1 and R b2 is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired, and includes a bond containing a hetero atom such as an oxygen atom, a nitrogen atom, or a silicon atom. It is done. Specific examples include an ether bond, a thioether bond, a carbonyl bond, a thiocarbonyl bond, an ester bond, an amide bond, a urethane bond, an imino bond (—N═C (—R) —, —C (═NR) —: R is A hydrogen atom or an organic group), a carbonate bond, a sulfonyl bond, a sulfinyl bond, an azo bond, and the like.

耐熱性の観点から、Rb1及びRb2の有機基中の炭化水素基以外の結合としては、エーテル結合、チオエーテル結合、カルボニル結合、チオカルボニル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合、イミノ結合(−N=C(−R)−、−C(=NR)−:Rは水素原子又は1価の有機基を示す)、カーボネート結合、スルホニル結合、スルフィニル結合が好ましい。 From the viewpoint of heat resistance, the bonds other than the hydrocarbon group in the organic groups of R b1 and R b2 include ether bond, thioether bond, carbonyl bond, thiocarbonyl bond, ester bond, amide bond, urethane bond, imino bond ( -N = C (-R)-, -C (= NR)-: R represents a hydrogen atom or a monovalent organic group), a carbonate bond, a sulfonyl bond, or a sulfinyl bond.

b1及びRb2の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、本発明の効果が損なわれない限り特に限定されず、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシル基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、ヒドロキシイミノ基、アルキルエーテル基、アルケニルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アルケニルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基、アミノ基(−NH、−NHR、−NRR’:R及びR’はそれぞれ独立に炭化水素基を示す)等が挙げられる。上記置換基に含まれる水素原子は、炭化水素基によって置換されていてもよい。また、上記置換基に含まれる炭化水素基は、直鎖状、分岐鎖状、及び環状のいずれでもよい。 The substituent other than the hydrocarbon group in the organic group of R b1 and R b2 is not particularly limited as long as the effect of the present invention is not impaired, and is a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a cyano group, an isocyano group. , Cyanato group, isocyanato group, thiocyanato group, isothiocyanato group, silyl group, silanol group, alkoxy group, alkoxycarbonyl group, carbamoyl group, thiocarbamoyl group, nitro group, nitroso group, carboxyl group, carboxylate group, acyl group, acyloxy Group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, hydroxyimino group, alkyl ether group, alkenyl ether group, alkyl thioether group, alkenyl thioether group, aryl ether group, arylthio group Ether group, an amino group (-NH 2, -NHR, -NRR ' : R and R' each independently represent a hydrocarbon group). The hydrogen atom contained in the substituent may be substituted with a hydrocarbon group. Further, the hydrocarbon group contained in the substituent may be linear, branched, or cyclic.

b1及びRb2の有機基中の炭化水素基以外の置換基としては、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シアノ基、イソシアノ基、シアナト基、イソシアナト基、チオシアナト基、イソチオシアナト基、シリル基、シラノール基、アルコキシ基、アルコキシカルボニル基、カルバモイル基、チオカルバモイル基、ニトロ基、ニトロソ基、カルボキシル基、カルボキシラート基、アシル基、アシルオキシ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、ヒドロキシイミノ基、アルキルエーテル基、アルケニルエーテル基、アルキルチオエーテル基、アルケニルチオエーテル基、アリールエーテル基、アリールチオエーテル基が好ましい。 Substituents other than hydrocarbon groups in the organic groups of R b1 and R b2 include halogen atoms, hydroxyl groups, mercapto groups, sulfide groups, cyano groups, isocyano groups, cyanato groups, isocyanato groups, thiocyanato groups, isothiocyanato groups, silyl groups. Group, silanol group, alkoxy group, alkoxycarbonyl group, carbamoyl group, thiocarbamoyl group, nitro group, nitroso group, carboxyl group, carboxylate group, acyl group, acyloxy group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, A phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonato group, a hydroxyimino group, an alkyl ether group, an alkenyl ether group, an alkyl thioether group, an alkenyl thioether group, an aryl ether group, and an aryl thioether group are preferred.

以上の中でも、Rb1及びRb2としては、少なくとも一方が炭素数1〜12のアルキル基若しくは炭素数1〜12のアリール基であるか、互いに結合して炭素数2〜20のヘテロシクロアルキル基若しくはヘテロアリール基を形成するものであることが好ましい。ヘテロシクロアルキル基としては、ピペリジノ基、モルホリノ基等が挙げられ、ヘテロアリール基としては、イミダゾリル基、ピラゾリル基等が挙げられる。 Among these, as R b1 and R b2 , at least one of them is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms, or a heterocycloalkyl group having 2 to 20 carbon atoms bonded to each other. Alternatively, it preferably forms a heteroaryl group. Examples of the heterocycloalkyl group include a piperidino group and a morpholino group, and examples of the heteroaryl group include an imidazolyl group and a pyrazolyl group.

上記式(b−1)中、Rb3は、単結合又は有機基を示す。
b3における有機基としては、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基、アリール基、アラルキル基等から1個の水素原子を除いた基が挙げられる。この有機基は、該有機基中に置換基を含んでいてもよい。置換基としては、Rb1及びRb2において例示したものが挙げられる。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状のいずれでもよい。
In the formula (b-1), R b3 represents a single bond or an organic group.
Examples of the organic group for R b3 include groups in which one hydrogen atom has been removed from an alkyl group, an alkenyl group, a cycloalkyl group, a cycloalkenyl group, an aryl group, an aralkyl group, and the like. This organic group may contain a substituent in the organic group. Examples of the substituent include those exemplified for R b1 and R b2 . Further, this organic group may be either linear or branched.

以上の中でも、Rb3としては、単結合、又は炭素数1〜12のアルキル基若しくは炭素数1〜12のアリール基から1個の水素原子を除いた基であることが好ましい。 Among these, R b3 is preferably a single bond, or a group in which one hydrogen atom is removed from an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms or an aryl group having 1 to 12 carbon atoms.

上記式(b−1)中、Rb4及びRb5は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。
b4及びRb5における有機基としては、Rb1及びRb2において例示したものが挙げられる。この有機基は、Rb1及びRb2の場合と同様に、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。
In the formula (b-1), R b4 and R b5 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, or a sulfo group. , Sulfonate groups, phosphino groups, phosphinyl groups, phosphono groups, phosphonate groups, or organic groups.
Examples of the organic group for R b4 and R b5 include those exemplified for R b1 and R b2 . As in the case of R b1 and R b2 , this organic group may contain a bond or substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be linear, branched or cyclic.

以上の中でも、Rb4及びRb5としては、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数4〜13のシクロアルキル基、炭素数4〜13のシクロアルケニル基、炭素数7〜16のアリールオキシアルキル基、炭素数7〜20のアラルキル基、シアノ基を有する炭素数2〜11のアルキル基、水酸基を有する炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数2〜11のアミド基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、炭素数1〜10のアシル基、炭素数2〜11のエステル基(−COOR、−OCOR:Rは炭化水素基を示す)、炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換した炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、メチルチオ基であることが好ましい。より好ましくは、Rb4及びRb5の両方が水素原子であるか、又はRb4がメチル基であり、Rb5が水素原子である。 Among these, as R b4 and R b5 , each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 13 carbon atoms, a cycloalkenyl group having 4 to 13 carbon atoms, or 7 carbon atoms. -16 aryloxyalkyl group, C7-20 aralkyl group, C2-C11 alkyl group having a cyano group, C1-C10 alkyl group having a hydroxyl group, C1-C10 alkoxy group , An amide group having 2 to 11 carbon atoms, an alkylthio group having 1 to 10 carbon atoms, an acyl group having 1 to 10 carbon atoms, an ester group having 2 to 11 carbon atoms (-COOR, -OCOR: R represents a hydrocarbon group. ), An aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an electron donating group and / or an electron withdrawing group substituted with an aryl group having 6 to 20 carbon atoms, an electron donating group and / or an electron withdrawing group substituted benzyl group A cyano group is preferably a methylthio group. More preferably, both R b4 and R b5 are hydrogen atoms, or R b4 is a methyl group and R b5 is a hydrogen atom.

上記式(b−1)中、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。
b6、Rb7、Rb8、及びRb9における有機基としては、Rb1及びRb2において例示したものが挙げられる。この有機基は、Rb1及びRb2の場合と同様に、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。
In the above formula (b-1), R b6 , R b7 , R b8 and R b9 are each independently a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso A group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonato group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, a phosphonato group, an amino group, an ammonio group, or an organic group.
Examples of the organic group for R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 include those exemplified for R b1 and R b2 . As in the case of R b1 and R b2 , this organic group may contain a bond or substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be linear, branched or cyclic.

なお、上記式(b−1)中、Rb6及びRb7が水酸基となることはない。Rb6又はRb7が水酸基である場合、放射線照射及び加熱によって環化反応が生じ、そのためにエネルギーが消費されるので、微小ラインパターンの密着性が十分得られないからである。 In the formula (b-1), R b6 and R b7 do not become a hydroxyl group. This is because when R b6 or R b7 is a hydroxyl group, a cyclization reaction occurs due to irradiation and heating, and energy is consumed for this purpose, so that sufficient adhesion of a fine line pattern cannot be obtained.

b6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。環状構造としては、ヘテロシクロアルキル基、ヘテロアリール基等が挙げられ、縮合環であってもよい。例えば、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それらの2つ以上が結合して、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成してもよい。 Two or more of R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 may be bonded to form a cyclic structure, and may include a hetero atom bond. Examples of the cyclic structure include a heterocycloalkyl group and a heteroaryl group, and may be a condensed ring. For example, R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 share two or more of them and share the atom of the benzene ring to which R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 are bonded. A condensed ring such as naphthalene, anthracene, phenanthrene, and indene may be formed.

以上の中でも、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9としては、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数4〜13のシクロアルキル基、炭素数4〜13のシクロアルケニル基、炭素数7〜16のアリールオキシアルキル基、炭素数7〜20のアラルキル基、シアノ基を有する炭素数2〜11のアルキル基、水酸基を有する炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数2〜11のアミド基、炭素数1〜10のアルキルチオ基、炭素数1〜10のアシル基、炭素数2〜11のエステル基、炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換した炭素数6〜20のアリール基、電子供与性基及び/又は電子吸引性基が置換したベンジル基、シアノ基、メチルチオ基、ニトロ基であることが好ましい。 Among these, as R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 , each independently represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 13 carbon atoms, or a group having 4 to 13 carbon atoms. A cycloalkenyl group, an aryloxyalkyl group having 7 to 16 carbon atoms, an aralkyl group having 7 to 20 carbon atoms, an alkyl group having 2 to 11 carbon atoms having a cyano group, an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms having a hydroxyl group, carbon C1-C10 alkoxy group, C2-C11 amide group, C1-C10 alkylthio group, C1-C10 acyl group, C2-C11 ester group, C6-C20 Aryl group, electron donating group and / or electron withdrawing group substituted aryl group having 6 to 20 carbon atoms, electron donating group and / or electron withdrawing group substituted benzyl group, cyano group, methylthio group, A tro group is preferred.

また、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9としては、それらの2つ以上が結合して、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9が結合しているベンゼン環の原子を共有してナフタレン、アントラセン、フェナントレン、インデン等の縮合環を形成している場合も、吸収波長が長波長化する点から好ましい。
より好ましくは、Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9の全てが水素原子であるか、又はRb6、Rb7、Rb8、及びRb9のいずれか1つがニトロ基であり、残り3つが水素原子である。
In addition, as R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 , two or more of them are bonded to each other and share a benzene ring atom to which R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 are bonded. In the case where condensed rings such as naphthalene, anthracene, phenanthrene, and indene are formed, it is preferable from the viewpoint that the absorption wavelength becomes longer.
More preferably, all of R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 are hydrogen atoms, or any one of R b6 , R b7 , R b8 , and R b9 is a nitro group, and the remaining 3 One is a hydrogen atom.

上記式(b−1)中、Rb10は、水素原子又は有機基を示す。
b10における有機基としては、Rb1及びRb2において例示したものが挙げられる。この有機基は、Rb1及びRb2の場合と同様に、該有機基中にヘテロ原子等の炭化水素基以外の結合や置換基を含んでいてもよい。また、この有機基は、直鎖状、分岐鎖状、環状のいずれでもよい。
上記式(b−1)で表される化合物(B)は、ベンゼン環のパラ位に−ORb10基を有するため、有機溶剤への溶解性が良好である。
In the above formula (b-1), R b10 represents a hydrogen atom or an organic group.
As the organic group for R b10 , those exemplified for R b1 and R b2 can be mentioned. As in the case of R b1 and R b2 , this organic group may contain a bond or substituent other than a hydrocarbon group such as a hetero atom in the organic group. The organic group may be linear, branched or cyclic.
Since the compound (B) represented by the above formula (b-1) has an —OR b10 group at the para-position of the benzene ring, the solubility in an organic solvent is good.

以上の中でも、Rb10としては、水素原子、又は炭素数1〜12のアルキル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。 Among the above, R b10 is preferably a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, and more preferably a methyl group.

上記式(b−1)で表される化合物(B)のうち、特に好ましい具体例としては、下記式で表される化合物が挙げられる。   Among the compounds (B) represented by the above formula (b-1), particularly preferred specific examples include compounds represented by the following formulas.

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

上記式(b−1)で表される化合物(B)は、後述する実施例のようにして合成することが可能である。   The compound (B) represented by the above formula (b-1) can be synthesized as in Examples described later.

化合物(B)の含有量は、後述する光重合開始剤(E)100質量部に対して3〜200質量部であることが好ましく、50〜100質量部であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、良好な現像性を得ながら、微小ラインパターンの密着性を良好にすることができる。   The content of the compound (B) is preferably 3 to 200 parts by mass and more preferably 50 to 100 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (E) described later. By setting it as said range, the adhesiveness of a micro line pattern can be made favorable, obtaining favorable developability.

<光重合性モノマー(D)>
本発明に係る感光性樹脂組成物の他の必須成分は、光重合性モノマー(D)である。光重合性モノマーとしては、単官能モノマーと多官能モノマーとがある。
<Photopolymerizable monomer (D)>
Another essential component of the photosensitive resin composition according to the present invention is a photopolymerizable monomer (D). Photopolymerizable monomers include monofunctional monomers and polyfunctional monomers.

単官能モノマーとしては、(メタ)アクリルアミド、メチロール(メタ)アクリルアミド、メトキシメチル(メタ)アクリルアミド、エトキシメチル(メタ)アクリルアミド、プロポキシメチル(メタ)アクリルアミド、ブトキシメトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチロール(メタ)アクリルアミド、N−ヒドロキシメチル(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリル酸、フマル酸、マレイン酸、無水マレイン酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、クロトン酸、2−アクリルアミド−2−メチルプロパンスルホン酸、tert−ブチルアクリルアミドスルホン酸、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、2−フェノキシ−2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−(メタ)アクリロイルオキシ−2−ヒドロキシプロピルフタレート、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ジメチルアミノ(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、フタル酸誘導体のハーフ(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらの単官能モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。   Monofunctional monomers include (meth) acrylamide, methylol (meth) acrylamide, methoxymethyl (meth) acrylamide, ethoxymethyl (meth) acrylamide, propoxymethyl (meth) acrylamide, butoxymethoxymethyl (meth) acrylamide, N-methylol ( (Meth) acrylamide, N-hydroxymethyl (meth) acrylamide, (meth) acrylic acid, fumaric acid, maleic acid, maleic anhydride, itaconic acid, itaconic anhydride, citraconic acid, citraconic anhydride, crotonic acid, 2-acrylamide- 2-methylpropane sulfonic acid, tert-butylacrylamide sulfonic acid, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate Cyclohexyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, 2-phenoxy-2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2- (Meth) acryloyloxy-2-hydroxypropyl phthalate, glycerin mono (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, dimethylamino (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, 2,2,2-trifluoroethyl ( And (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate, and half (meth) acrylate of a phthalic acid derivative. These monofunctional monomers can be used alone or in combination of two or more.

一方、多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2−ヒドロキシ−3−(メタ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレート、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリアクリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート(すなわち、トリレンジイソシアネート)、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートとヘキサメチレンジイソシアネートと2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレートとの反応物、メチレンビス(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリルアミドメチレンエーテル、多価アルコールとN−メチロール(メタ)アクリルアミドとの縮合物等の多官能モノマーや、トリアクリルホルマール等が挙げられる。これらの多官能モノマーは、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。   On the other hand, as the polyfunctional monomer, ethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol Di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexane glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol Tetraacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, pentaerythritol di (meta Acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxydi Ethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) Acrylate, diethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate ester di (meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (Meth) acrylate, urethane (meth) acrylate (ie, tolylene diisocyanate), reaction product of trimethylhexamethylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate and 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, methylenebis (meth) acrylamide, (meth) acrylamide methylene Examples thereof include polyfunctional monomers such as ethers, polyhydric alcohols and N-methylol (meth) acrylamide condensates, and triacryl formal. These polyfunctional monomers can be used alone or in combination of two or more.

光重合性モノマー(D)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分に対して1〜30質量%であることが好ましく、5〜20質量%であることがより好ましい。上記の範囲とすることにより、感度、現像性、解像性のバランスがとりやすい傾向がある。   The content of the photopolymerizable monomer (D) is preferably 1 to 30% by mass and more preferably 5 to 20% by mass with respect to the solid content of the photosensitive resin composition. By setting it as the above range, it tends to be easy to balance sensitivity, developability, and resolution.

また、上記アルカリ可溶性樹脂(A)と光重合性モノマー(D)の配合割合は、質量比(A)/(D)で20/80〜90/10、好ましくは20/80〜80/20、より好ましくは40/60〜80/20である。(A)/(D)が低いと、光硬化後の硬化物が脆くなり、また、未露光部において塗膜の酸価が低いためにアルカリ現像液に対する溶解性が低下し、パターンエッジががたつきシャープにならないといった問題が生じやすい。(A)/(D)が高いと、樹脂に占める光反応性官能基の割合が少なく架橋構造の形成が十分でなく、さらに、樹脂成分における酸価度が高過ぎて、露光部におけるアルカリ現像液に対する溶解性が高くなることから、形成されたパターンが目標とする線幅より細くなったり、パターンの欠落が生じやすくなるといった問題が生じる恐れがある。   The blending ratio of the alkali-soluble resin (A) and the photopolymerizable monomer (D) is 20/80 to 90/10, preferably 20/80 to 80/20 in mass ratio (A) / (D). More preferably, it is 40 / 60-80 / 20. When (A) / (D) is low, the cured product after photocuring becomes brittle, and since the acid value of the coating film is low in the unexposed area, the solubility in an alkali developer is lowered, and the pattern edge is Problems such as not being sharp and sharp are likely to occur. When (A) / (D) is high, the proportion of the photoreactive functional group in the resin is small and the formation of a crosslinked structure is not sufficient, and the acid value in the resin component is too high, so that the alkali development in the exposed area. Since the solubility in the liquid becomes high, there is a possibility that the formed pattern becomes thinner than the target line width or the pattern is likely to be lost.

<光重合開始剤(E)>
本発明に係る感光性樹脂組成物の他の必須成分は、光重合開始剤(E)である。光重合開始剤としては、特に限定されず、従来公知の光重合開始剤を用いることができる。
<Photopolymerization initiator (E)>
Another essential component of the photosensitive resin composition according to the present invention is a photopolymerization initiator (E). It does not specifically limit as a photoinitiator, A conventionally well-known photoinitiator can be used.

光重合開始剤として具体的には、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン、1−(4−イソプロピルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、1−(4−ドデシルフェニル)−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、ビス(4−ジメチルアミノフェニル)ケトン、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルフォリノプロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1−オン、エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾル−3−イル],1−(o−アセチルオキシム)、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド、4−ベンゾイル−4’−メチルジメチルスルフィド、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメチルアミノ安息香酸メチル、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル、4−ジメチルアミノ安息香酸ブチル、4−ジメチルアミノ−2−エチルヘキシル安息香酸、4−ジメチルアミノ−2−イソアミル安息香酸、ベンジル−β−メトキシエチルアセタール、ベンジルジメチルケタール、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(o−エトキシカルボニル)オキシム、o−ベンゾイル安息香酸メチル、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、1−クロロ−4−プロポキシチオキサントン、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、4,4’−ビスジメチルアミノベンゾフェノン(すなわち、ミヒラーズケトン)、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾフェノン(すなわち、エチルミヒラーズケトン)、4,4’−ジクロロベンゾフェノン、3,3−ジメチル−4−メトキシベンゾフェノン、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン−n−ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノアセトフェノン、p−tert−ブチルトリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルジクロロアセトフェノン、α,α−ジクロロ−4−フェノキシアセトフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジベンゾスベロン、ペンチル−4−ジメチルアミノベンゾエート、9−フェニルアクリジン、1,7−ビス−(9−アクリジニル)ヘプタン、1,5−ビス−(9−アクリジニル)ペンタン、1,3−ビス−(9−アクリジニル)プロパン、p−メトキシトリアジン、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)フェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(3−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン、2,4−ビス−トリクロロメチル−6−(2−ブロモ−4−メトキシ)スチリルフェニル−s−トリアジン等が挙げられる。これらの中でも、オキシム系の光重合開始剤を用いることが、感度の面で特に好ましい。これらの光重合開始剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。   Specific examples of the photopolymerization initiator include 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, and 1- [4- (2-hydroxyethoxy) phenyl] -2- Hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one, 1- (4-isopropylphenyl) -2-hydroxy-2-methylpropan-1-one, 1- (4-dodecylphenyl) -2-hydroxy-2 -Methylpropan-1-one, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, bis (4-dimethylaminophenyl) ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]- 2-morpholinopropan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butan-1-one, ethanone 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl], 1- (o-acetyloxime), 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 4-benzoyl- 4′-methyldimethylsulfide, 4-dimethylaminobenzoic acid, methyl 4-dimethylaminobenzoate, ethyl 4-dimethylaminobenzoate, butyl 4-dimethylaminobenzoate, 4-dimethylamino-2-ethylhexylbenzoic acid, 4 -Dimethylamino-2-isoamylbenzoic acid, benzyl-β-methoxyethyl acetal, benzyldimethyl ketal, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (o-ethoxycarbonyl) oxime, methyl o-benzoylbenzoate, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone , 2,4-dimethylthioxanthone, 1-chloro-4-propoxythioxanthone, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene, 2-ethylanthraquinone , Octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide, 2-mercaptobenzoimidar, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercapto Benzothiazole, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (methoxyphenyl) imidazole dimer, 2- (o-fluorophe ) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer 2,4,5-triarylimidazole dimer, benzophenone, 2-chlorobenzophenone, 4,4′-bisdimethylaminobenzophenone (ie, Michler's ketone), 4,4′-bisdiethylaminobenzophenone (ie, ethyl Michler's) Ketone), 4,4'-dichlorobenzophenone, 3,3-dimethyl-4-methoxybenzophenone, benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin-n-butyl ether, benzoin isobutyl ether , Benzoin butyl ether, acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, p-tert-butylacetophenone, p-dimethylaminoacetophenone, p-tert- Butyltrichloroacetophenone, p-tert-butyldichloroacetophenone, α, α-dichloro-4-phenoxyacetophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, dibenzosuberone, pentyl-4-dimethylaminobenzoate, 9-phenyl Acridine, 1,7-bis- (9-acridinyl) heptane, 1,5-bis- (9-acridinyl) pentane, 1,3-bis- (9- Cridinyl) propane, p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (5 -Methylfuran-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl)- s-triazine, 2- [2- (4-diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl ] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4- Toxistyryl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl -6- (3-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) phenyl-s-triazine, 2,4-bis- And trichloromethyl-6- (3-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, 2,4-bis-trichloromethyl-6- (2-bromo-4-methoxy) styrylphenyl-s-triazine, and the like. It is done. Among these, it is particularly preferable in terms of sensitivity to use an oxime-based photopolymerization initiator. These photopolymerization initiators can be used alone or in combination of two or more.

光重合開始剤(E)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して0.5〜20質量部であることが好ましい。上記の範囲とすることにより、十分な耐熱性、耐薬品性を得ることができ、また塗膜形成能を向上させ、硬化不良を抑制することができる。   It is preferable that content of a photoinitiator (E) is 0.5-20 mass parts with respect to 100 mass parts of solid content of the photosensitive resin composition. By setting it as said range, sufficient heat resistance and chemical-resistance can be acquired, a coating-film formation ability can be improved, and hardening failure can be suppressed.

<着色剤(F)>
本発明に係る感光性樹脂組成物は、着色剤(F)を含有していてもよい。着色剤を含有することにより、例えば、液晶表示ディスプレイのカラーフィルタ形成用途として好ましく使用される。また、着色剤として遮光剤を含むことにより、例えば、カラーフィルタにおけるブラックマトリクス形成用途として好ましく使用される。
<Colorant (F)>
The photosensitive resin composition according to the present invention may contain a colorant (F). By containing a colorant, for example, it is preferably used as a color filter forming application for a liquid crystal display. Moreover, by including a light-shielding agent as a colorant, for example, it is preferably used as a black matrix forming application in a color filter.

着色剤としては、特に限定されないが、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists社発行)においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを用いることが好ましい。   Although it does not specifically limit as a coloring agent, For example, the compound classified into the pigment (Pigment) in the color index (CI; issue | issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, as follows It is preferable to use a color index (CI) number.

C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様であり、番号のみを記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185;
C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様であり、番号のみを記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様であり、番号のみを記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;
C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様であり、番号のみを記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメントブラック7。
C. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, “CI Pigment Yellow” is the same, and only the number is described) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180 185;
C. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “CI Pigment Orange” is the same, and only the number is described) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73;
C. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “CI Pigment Violet” is the same, and only the number is described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50;
C. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “CI Pigment Red” is the same, and only the number is described) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49 : 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: 1, 63: 2, 64 : 1, 81: 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 78, 179, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265;
C. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, “CI Pigment Blue” is the same, and only the number is described) 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64 66;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 37;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25, C.I. I. Pigment brown 26, C.I. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment black 1, C.I. I. Pigment Black 7.

また、着色剤を遮光剤とする場合、遮光剤としては黒色顔料を用いることが好ましい。黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック、銅、鉄、マンガン、コバルト、クロム、ニッケル、亜鉛、カルシウム、銀等の金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸塩、金属炭酸塩等、有機物、無機物を問わず各種の顔料を挙げることができる。これらの中でも、高い遮光性を有するカーボンブラックを用いることが好ましい。   Moreover, when using a colorant as a light shielding agent, it is preferable to use a black pigment as the light shielding agent. Black pigments include carbon black, titanium black, copper, iron, manganese, cobalt, chromium, nickel, zinc, calcium, silver and other metal oxides, composite oxides, metal sulfides, metal sulfates, metal carbonates, etc. Various pigments can be mentioned regardless of organic matter and inorganic matter. Among these, it is preferable to use carbon black having high light shielding properties.

カーボンブラックとしては、チャンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラック等の公知のカーボンブラックを用いることができるが、遮光性に優れるチャンネルブラックを用いることが好ましい。また、樹脂被覆カーボンブラックを使用してもよい。   As the carbon black, known carbon blacks such as channel black, furnace black, thermal black, and lamp black can be used, but it is preferable to use channel black having excellent light shielding properties. Resin-coated carbon black may also be used.

樹脂被覆カーボンブラックは、樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスとして使用した場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイを製造できる。   Resin-coated carbon black has lower electrical conductivity than carbon black without resin coating, so when used as a black matrix for liquid crystal display, it produces less current leakage and produces a highly reliable display with low power consumption. it can.

また、カーボンブラックの色調を調整するために、補助顔料として上記の有機顔料を適宜添加してもよい。   Moreover, in order to adjust the color tone of carbon black, you may add said organic pigment suitably as an auxiliary pigment.

また、着色剤を感光性樹脂組成物において均一に分散させるために、さらに分散剤を使用してもよい。このような分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤を用いることが好ましい。特に、着色剤としてカーボンブラックを用いる場合には、分散剤としてアクリル樹脂系の分散剤を用いることが好ましい。   Moreover, in order to disperse | distribute a coloring agent uniformly in the photosensitive resin composition, you may use a dispersing agent further. As such a dispersant, it is preferable to use a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant. In particular, when carbon black is used as the colorant, it is preferable to use an acrylic resin-based dispersant as the dispersant.

また、無機顔料及び有機顔料は、それぞれ単独で用いてもよく、併用してもよいが、併用する場合には、無機顔料と有機顔料との総量100質量部に対して、有機顔料を10〜80質量部の範囲で用いることが好ましく、20〜40質量部の範囲で用いることがより好ましい。   In addition, the inorganic pigment and the organic pigment may be used alone or in combination, but when used in combination, the organic pigment is added in an amount of 10 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the inorganic pigment and the organic pigment. It is preferably used in the range of 80 parts by mass, and more preferably in the range of 20 to 40 parts by mass.

着色剤(F)の含有量は、感光性樹脂組成物の用途に応じて適宜決定すればよいが、一例として、感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、5〜70質量部が好ましく、25〜60質量部がより好ましい。
特に、感光性樹脂組成物を使用してブラックマトリクスを形成する場合には、ブラックマトリクスの膜厚1μm当たりのOD値が4以上となるように、感光性樹脂組成物における遮光剤の量を調整することが好ましい。ブラックマトリクスにおける膜厚1μm当たりのOD値が4以上あれば、液晶表示ディスプレイのブラックマトリクスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができる。
The content of the colorant (F) may be appropriately determined according to the use of the photosensitive resin composition, but as an example, it is 5 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the solid content of the photosensitive resin composition. Is preferable, and 25-60 mass parts is more preferable.
In particular, when forming a black matrix using a photosensitive resin composition, the amount of the light-shielding agent in the photosensitive resin composition is adjusted so that the OD value per 1 μm film thickness of the black matrix is 4 or more. It is preferable to do. If the OD value per film thickness of 1 μm in the black matrix is 4 or more, a sufficient display contrast can be obtained when used in a black matrix of a liquid crystal display.

<1つ以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(G)>
本発明に係る感光性樹脂組成物は、1つ以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(G)を含有していてもよい。エポキシ化合物にはさらなる密着性向上、耐アルカリ性の向上を目的にエポキシ樹脂を混合することができる。
<Epoxy compound (G) having one or more epoxy groups>
The photosensitive resin composition according to the present invention may contain an epoxy compound (G) having one or more epoxy groups. An epoxy resin can be mixed with the epoxy compound for the purpose of further improving adhesion and alkali resistance.

エポキシ基を有する化合物としては、例えばフェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂等のエポキシ樹脂、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノールグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレート、ジグリシジルイソシアヌレート、アリルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレート等のエポキシ基を少なくとも1個有する化合物等が挙げられる。   Examples of the compound having an epoxy group include a phenol novolac epoxy resin, a cresol novolac epoxy resin, a bisphenol A epoxy resin, a bisphenol F epoxy resin, a bisphenol S epoxy resin, a biphenyl epoxy resin, and an alicyclic epoxy resin. And compounds having at least one epoxy group such as glycidyl ether, phenyl glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, triglycidyl isocyanurate, diglycidyl isocyanurate, allyl glycidyl ether and glycidyl methacrylate.

このエポキシ化合物(G)の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分100質量部に対して、1〜30質量部が好ましく、5〜20質量部がより好ましい。   1-30 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of solid content of the photosensitive resin composition, and, as for content of this epoxy compound (G), 5-20 mass parts is more preferable.

本発明に係る感光性樹脂組成物をカラーフィルタ用等に使用する場合においては、上記の成分の他に有機溶剤を使用することが好ましい。   When the photosensitive resin composition according to the present invention is used for a color filter or the like, it is preferable to use an organic solvent in addition to the above components.

有機溶剤としては、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコール−n−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン等のケトン類;2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸イソプロピル、酢酸n−ブチル、酢酸イソブチル、蟻酸n−ペンチル、酢酸イソペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチル、酪酸n−プロピル、酪酸イソプロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等のアミド類等が挙げられる。これらの有機溶剤は、単独又は2種以上組み合わせて用いることができる。   Examples of the organic solvent include ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol mono-n-propyl ether. , Diethylene glycol mono-n-butyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol mono-n-propyl ether, propylene glycol mono-n-butyl ether, di Propylene glycol monomethyl ether, zip (Poly) alkylene glycol monoalkyl ethers such as pyrene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol mono-n-propyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether; ethylene (Poly) alkylene glycol monoalkyl ether acetates such as glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate; diethylene glycol dimethyl Other ethers such as ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol diethyl ether and tetrahydrofuran; ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone and 3-heptanone; methyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxypropionate, etc. Lactic acid alkyl esters; ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, ethyl ethoxyacetate, hydroxyacetic acid Ethyl, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, 3-methyl-3-methoxybutyl acetate, 3-methyl-3-methoxybutylpropionate, ethyl acetate, n-acetate -Propyl, isopropyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, n-pentyl formate, isopentyl acetate, n-butyl propionate, ethyl butyrate, n-propyl butyrate, isopropyl butyrate, n-butyl butyrate, methyl pyruvate, pyruvate Other esters such as ethyl, n-propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate and ethyl 2-oxobutanoate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; N-methylpyrrolidone, N, N-dimethylformamide And amides such as N, N-dimethylacetamide. These organic solvents can be used alone or in combination of two or more.

上記有機溶剤の中でも、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、3−メトキシブチルアセテートは、上記アルカリ可溶性樹脂(A)、上記光重合性モノマー(D)、上記光重合開始剤(E)、及び上記式(b−1)で表される化合物(B)に対して優れた溶解性を示すとともに、上記着色剤(F)の分散性を良好にすることができるため好ましく、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、3−メトキシブチルアセテートを用いることが特に好ましい。   Among the above organic solvents, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, cyclohexanone, and 3-methoxybutyl acetate are alkali-soluble. While exhibiting excellent solubility for the resin (A), the photopolymerizable monomer (D), the photopolymerization initiator (E), and the compound (B) represented by the formula (b-1), Since the dispersibility of the colorant (F) can be improved, it is preferable to use propylene glycol monomethyl ether acetate or 3-methoxybutyl acetate.

有機溶剤の含有量は、感光性樹脂組成物の固形分濃度が1〜50質量%となる量が好ましく、5〜30質量%となる量がより好ましい。   The content of the organic solvent is preferably such that the solid content concentration of the photosensitive resin composition is 1 to 50% by mass, and more preferably 5 to 30% by mass.

本発明に係る感光性樹脂組成物は、必要に応じて、各種の添加剤を含有していてもよい。添加剤としては、増感剤、硬化促進剤、充填剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤等が挙げられる。   The photosensitive resin composition according to the present invention may contain various additives as necessary. Examples of the additive include a sensitizer, a curing accelerator, a filler, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, a thermal polymerization inhibitor, an antifoaming agent, and a surfactant.

このような感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。なお、調製された感光性樹脂組成物が均一なものとなるよう、メンブランフィルタ等を用いて濾過してもよい。   Such a photosensitive resin composition is prepared by mixing each component described above with a stirrer. In addition, you may filter using a membrane filter etc. so that the prepared photosensitive resin composition may become uniform.

≪塗膜≫
本発明に係る塗膜は、例えば、上記感光性樹脂組成物の溶液を、基板等に塗布し、乾燥し、光(紫外線、放射線等を含む)を照射し、これを硬化させることにより得られる。光が当たる部分と当たらない部分とを設けて、光が当たる部分だけを硬化させ、他の部分をアルカリ溶液で溶解させれば、所望のパターンの塗膜が得られる。
≪Coating film≫
The coating film according to the present invention is obtained, for example, by applying a solution of the photosensitive resin composition to a substrate or the like, drying, irradiating light (including ultraviolet rays, radiation, etc.), and curing it. . A coating film having a desired pattern can be obtained by providing a portion that is exposed to light and a portion not exposed to light, curing only the portion that is exposed to light, and dissolving the other portion with an alkaline solution.

≪カラーフィルタ≫
次に、感光性樹脂組成物を用いたカラーフィルタの製造法について説明する。まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感光性樹脂組成物の液状組成物を塗布した後、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ性現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。その後、緑色又は青色の顔料が分散された感光性樹脂組成物の液状組成物を用い、上記と同様にして、各液状組成物の塗布、プリベーク、露光、現像及びポストベークを行って、緑色の画素アレイ及び青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色及び青色の三原色の画素アレイが基板上に配置し、さらに、この上に保護膜として、感光性樹脂組成物の液状組成物を上記と同様にして、各液状組成物の塗布、プリベーク、露光、現像及びポストベークを行って、保護膜が形成されたカラーフィルタを得る。
≪Color filter≫
Next, the manufacturing method of the color filter using the photosensitive resin composition is demonstrated. First, on the surface of the substrate, if necessary, a light shielding layer is formed so as to partition a portion for forming pixels, and a liquid composition of a photosensitive resin composition in which, for example, a red pigment is dispersed on the substrate. After applying the product, pre-baking is performed to evaporate the solvent and form a coating film. Next, after exposing the coating film through a photomask, development using an alkaline developer is performed to dissolve and remove the unexposed portion of the coating film, and then post-baking to form a predetermined red pixel pattern. A pixel array arranged in an array is formed. Thereafter, using the liquid composition of the photosensitive resin composition in which the green or blue pigment is dispersed, the liquid composition is applied, pre-baked, exposed, developed, and post-baked in the same manner as described above. By sequentially forming the pixel array and the blue pixel array on the same substrate, the pixel arrays of the three primary colors of red, green and blue are arranged on the substrate, and further, a protective film is formed on the photosensitive resin composition as a protective film thereon. In the same manner as described above, the liquid composition is coated, pre-baked, exposed, developed and post-baked to obtain a color filter on which a protective film is formed.

感光性樹脂組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、公知の溶液浸漬法、スプレー法の他、ローラーコータ機、ランドコータ機やスピナー機を用いる方法等のいずれの方法をも採用することができる。これらの方法によって、所望の厚さに塗布した後、溶剤を除去する(プリベーク)ことにより、被膜が形成される。プリベークはオーブン、ホットプレート等による加熱、真空乾燥又はこれらの組み合わせることによって行われる。プリベークにおける加熱温度及び加熱時間は使用する溶剤に応じて適宜選択され、例えば80〜120℃で1〜10分間行われる。   When applying the liquid composition of the photosensitive resin composition to the substrate, any method such as a method using a roller coater machine, a land coater machine or a spinner machine as well as a known solution dipping method and spray method is adopted. can do. After applying to a desired thickness by these methods, the film is formed by removing the solvent (pre-baking). Pre-baking is performed by heating with an oven, a hot plate or the like, vacuum drying, or a combination thereof. The heating temperature and heating time in the pre-baking are appropriately selected according to the solvent to be used, and are performed, for example, at 80 to 120 ° C. for 1 to 10 minutes.

カラーフィルタを作製する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が250〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。また、このアルカリ現像に適した現像液としては、例えば、アルカリ金属やアルカリ土類金属の炭酸塩の水溶液、アルカリ金属の水酸化物の水溶液等を挙げることができるが、特に炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸リチウム等の炭酸塩を0.05〜10質量%含有する弱アルカリ性水溶液を用いて2〜30℃で現像するのがよく、市販の現像機や超音波洗浄機等を用いて微細な画像を精密に形成することができる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で10〜120秒が好ましい。
このようにして現像した後、180〜250℃、20〜100分の条件で熱処理(ポストベーク)が行われる。このポストベークは、パターニングされた塗膜と基板との密着性を高めるため等の目的で行われる。これはプリベークと同様に、オーブン、ホットプレート等により加熱することによって行われる。本発明のパターニングされた塗膜は、以上のフォトリソグラフィ法による各工程を経て形成される。
As the radiation used when producing the color filter, for example, visible light, ultraviolet light, far ultraviolet light, electron beam, X-ray or the like can be used, and radiation having a wavelength in the range of 250 to 450 nm is preferable. . Examples of the developer suitable for the alkali development include, for example, an aqueous solution of an alkali metal or alkaline earth metal carbonate, an aqueous solution of an alkali metal hydroxide, and the like. It is preferable to develop at 2 to 30 ° C. using a weakly alkaline aqueous solution containing 0.05 to 10% by mass of carbonate such as lithium carbonate, and to obtain a fine image using a commercially available developing machine or ultrasonic cleaner. Can be formed precisely. In addition, it is usually washed with water after alkali development. As a development processing method, a shower development method, a spray development method, a dip (immersion) development method, a paddle (liquid accumulation) development method, or the like can be applied. The development conditions are preferably 10 to 120 seconds at room temperature.
After developing in this way, heat treatment (post-baking) is performed under the conditions of 180 to 250 ° C. and 20 to 100 minutes. This post-baking is performed for the purpose of improving the adhesion between the patterned coating film and the substrate. This is performed by heating with an oven, a hot plate or the like, as in the pre-baking. The patterned coating film of this invention is formed through each process by the above photolithography method.

画素及び/又はブラックマトリックスを備えたカラーフィルタを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、透明フィルム(例えば、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルスルフォン等)上にITO、金等の透明電極が蒸着あるいはパターニングされたもの等が用いられる。また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。   As a substrate used when forming a color filter having pixels and / or a black matrix, for example, glass, a transparent film (for example, polycarbonate, polyethylene terephthalate, polyethersulfone, etc.), transparent such as ITO, gold, etc. A material in which an electrode is deposited or patterned is used. In addition, these substrates may be subjected to appropriate pretreatment such as chemical treatment with a silane coupling agent or the like, plasma treatment, ion plating, sputtering, gas phase reaction method, vacuum deposition, etc., if desired.

以下、実施例を示して本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲は、これらの実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the scope of the present invention is not limited to these examples.

<アルカリ可溶性樹脂(A)の合成>
上記式(a−1)で表される樹脂と単官能性エポキシ化合物とを反応させて得られる酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)は上記特許文献1に記載された方法に従い合成した。
<Synthesis of alkali-soluble resin (A)>
An alkali-soluble resin (A) having an acid value in the range of 1 to 100 mgKOH / g obtained by reacting the resin represented by the formula (a-1) with a monofunctional epoxy compound is described in Patent Document 1 above. Was synthesized according to the method described.

[アルカリ可溶性樹脂(A−1)]
還流冷却器つき500mL四ツ口フラスコ中に、フルオレン型エポキシアクリレートASF−400(商品名:新日鐵化学社製)の50%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液198.53gと、シクロヘキサンカルボン酸二無水物27.6g、無水コハク酸8.13g及びトリフェニルホスフィン0.45gを仕込み、120〜125℃に加熱下1時間撹拌し、さらに75〜80℃にて6時間撹拌した。その後、スチレンオキシド8.6gを投入し、さらに80℃で6時間撹拌して、アルカリ可溶性樹脂溶液(A−1)を合成した。得られた樹脂溶液の固形分は55質量%、酸価(固体分換算)は80mgKOH/gであった。
[Alkali-soluble resin (A-1)]
In a 500 mL four-necked flask with a reflux condenser, 198.53 g of a 50% propylene glycol monomethyl ether acetate solution of fluorene type epoxy acrylate ASF-400 (trade name: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) and cyclohexanecarboxylic dianhydride 27.6 g, 8.13 g of succinic anhydride and 0.45 g of triphenylphosphine were charged, and the mixture was stirred at 120 to 125 ° C. for 1 hour while being heated, and further stirred at 75 to 80 ° C. for 6 hours. Thereafter, 8.6 g of styrene oxide was added, and the mixture was further stirred at 80 ° C. for 6 hours to synthesize an alkali-soluble resin solution (A-1). The obtained resin solution had a solid content of 55% by mass and an acid value (in terms of solid content) of 80 mgKOH / g.

[アルカリ可溶性樹脂(A−2)]
還流冷却器つき500mL四ツ口フラスコ中に、フルオレン型エポキシアクリレートASF−400(商品名:新日鐵化学社製)の50%プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液198.53gと、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物16.1g、無水コハク酸8.13g及びトリフェニルホスフィン0.45gを仕込み、120〜125℃に加熱下1時間撹拌し、さらに75〜80℃にて6時間撹拌した。その後、スチレンオキシド8.6gを投入し、さらに80℃で6時間撹拌して、アルカリ可溶性樹脂溶液(A−2)を合成した。得られた樹脂溶液の固形分は55質量%、酸価(固体分換算)は80mgKOH/gであった。
[Alkali-soluble resin (A-2)]
In a 500 mL four-necked flask equipped with a reflux condenser, 198.53 g of a 50% propylene glycol monomethyl ether acetate solution of fluorene type epoxy acrylate ASF-400 (trade name: manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.) and benzophenone tetracarboxylic dianhydride 16.1 g of the product, 8.13 g of succinic anhydride and 0.45 g of triphenylphosphine were charged, and the mixture was stirred at 120 to 125 ° C. for 1 hour while being further heated at 75 to 80 ° C. for 6 hours. Thereafter, 8.6 g of styrene oxide was added, and the mixture was further stirred at 80 ° C. for 6 hours to synthesize an alkali-soluble resin solution (A-2). The obtained resin solution had a solid content of 55% by mass and an acid value (in terms of solid content) of 80 mgKOH / g.

<化合物(B)の合成>
上記式(b−1)で表される化合物として、下記式で表される化合物1〜20を準備した。この化合物1〜20の合成法を下記に示す。また、比較のため、下記式で表される比較化合物1〜8を準備した。
<Synthesis of Compound (B)>
As the compound represented by the formula (b-1), compounds 1 to 20 represented by the following formula were prepared. The synthesis method of these compounds 1-20 is shown below. Moreover, the comparison compounds 1-8 represented by a following formula were prepared for the comparison.

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

[化合物1の合成法]
3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド5.90g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物1(4.65g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 1]
3- (4-Methoxyphenyl) acrylic acid chloride 5.90 g (30 mmol) was dissolved in 50 ml of dry ether, triethylamine 4.59 ml (equivalent ratio 1.1), diethylamine 2.41 ml (equivalent ratio 1.1). And stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 1 (4.65 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物2の合成法]
3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド5.90g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、アニリン3.07ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物2(6.31g,25mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は83%であった。
[Synthesis Method of Compound 2]
3- (4-Methoxyphenyl) acrylic acid chloride 5.90 g (30 mmol) was dissolved in 50 ml of dry ether, and triethylamine 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) and aniline 3.07 ml (equivalent ratio 1.1). And stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 2 (6.31 g, 25 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 83%.

[化合物3の合成法]
3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド5.90g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物3(3.41g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 3]
3- (4-Methoxyphenyl) acrylic acid chloride 5.90 g (30 mmol) was dissolved in 50 ml of dry ether, and triethylamine 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) and imidazole 2.25 ml (equivalent ratio 1.1). And stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 3 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物4の合成法]
3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド5.90g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、モルホリン2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物4(3.41g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 4]
3- (4-Methoxyphenyl) acrylic acid chloride 5.90 g (30 mmol) was dissolved in 50 ml of dry ether, triethylamine 4.59 ml (equivalent ratio 1.1), morpholine 2.25 ml (equivalent ratio 1.1). And stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 4 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物5の合成法]
3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物5(4.08g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 5]
7.25 g (30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.25 ml (equivalent ratio) of imidazole. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 5 (4.08 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物6の合成法]
3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物6(4.08g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 6]
7.25 g (30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.25 ml (equivalent ratio) of imidazole. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 6 (4.08 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物7の合成法]
2−メチル−3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物7(4.29g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 7]
7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, imidazole 2. 25 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 7 (4.29 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物8の合成法]
2−メチル−3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物8(3.41g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 8]
7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, imidazole 2. 25 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 8 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物9の合成法]
3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物9(5.55g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 9]
7.25 g (30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.41 ml (equivalent ratio) of diethylamine. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 9 (5.55 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物10の合成法]
3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物9(5.55g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 10]
7.25 g (30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.41 ml (equivalent ratio) of diethylamine. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 9 (5.55 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物11の合成法]
2−メチル−3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物11(5.83g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 11]
7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml of triethylamine (equivalent ratio 1.1), diethylamine 2. 41 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 11 (5.83 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物12の合成法]
2−メチル−3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物12(5.83g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 12]
2.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml of triethylamine (equivalent ratio 1.1), diethylamine 2. 41 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 12 (5.83 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物13の合成法]
3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ピペリジン2.81ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物13(5.62g,23mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は77%であった。
[Synthesis Method of Compound 13]
7.25 g (30 mmol) of 3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.81 ml (equivalent ratio) of piperidine. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 13 (5.62 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 77%.

[化合物14の合成法]
3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.25g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ピペリジン2.81ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物14(5.62g,23mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 14]
7.25 g (30 mmol) of 3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.81 ml (equivalent ratio) of piperidine. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 14 (5.62 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物15の合成法]
2−メチル−3−(2−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ピペリジン2.81ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物15(5.83g,23mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 15]
7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (2-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, and piperidine 2. 81 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 15 (5.83 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物16の合成法]
2−メチル−3−(3−ニトロ−4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド7.67g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ピペリジン2.81ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物16(5.83g,23mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 16]
7.67 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (3-nitro-4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, and piperidine 2. 81 ml (equivalent ratio 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 16 (5.83 g, 23 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物17の合成法]
3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド5.90g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ピペリジン2.81ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物17(3.41g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 17]
Dissolve 5.90 g (30 mmol) of 3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride in 50 ml of dry ether, 4.59 ml of triethylamine (equivalent ratio 1.1), 2.81 ml of piperidine (equivalent ratio 1.1). And stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 17 (3.41 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物18の合成法]
2−メチル−3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド6.32g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、イミダゾール2.25ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物18(3.62g,15mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は50%であった。
[Synthesis Method of Compound 18]
6.32 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.25 ml (equivalent ratio) of imidazole. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 18 (3.62 g, 15 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 50%.

[化合物19の合成法]
2−メチル−3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド6.32g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、ジエチルアミン2.41ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物19(4.93g,20mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は67%であった。
[Synthesis Method of Compound 19]
6.32 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 2.41 ml (equivalent ratio) of diethylamine. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 19 (4.93 g, 20 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 67%.

[化合物20の合成法]
2−メチル−3−(4−メトキシフェニル)アクリル酸クロリド6.32g(30mmol)を50mlの乾燥したエーテルに溶解し、トリエチルアミン4.59ml(当量比1.1)、アニリン3.07ml(当量比1.1)を加え、室温にて1時間撹拌した。水50ml、飽和NaHCO水溶液50ml、及び1N塩酸で洗浄後、硫酸マグネシウムで乾燥し、減圧下で濃縮した。ヘキサン−酢酸エチルを展開溶媒とし、シリカゲルを支持担体としてカラムクロマトグラフィにより精製を行い、対応する化合物20(4.29g,25mmol)を得た。アクリル酸クロリド基準の収率は83%であった。
[Synthesis Method of Compound 20]
6.32 g (30 mmol) of 2-methyl-3- (4-methoxyphenyl) acrylic acid chloride was dissolved in 50 ml of dry ether, and 4.59 ml (equivalent ratio 1.1) of triethylamine, 3.07 ml (equivalent ratio) of aniline. 1.1) was added and stirred at room temperature for 1 hour. The extract was washed with 50 ml of water, 50 ml of a saturated aqueous NaHCO 3 solution, and 1N hydrochloric acid, dried over magnesium sulfate, and concentrated under reduced pressure. Purification was performed by column chromatography using hexane-ethyl acetate as a developing solvent and silica gel as a support carrier to obtain the corresponding compound 20 (4.29 g, 25 mmol). The yield based on acrylic acid chloride was 83%.

<感光性樹脂組成物の調製>
[実施例1]
以下の各成分を、3−メトキシブチルアセテート(MA)/プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PM)/シクロヘキサノン(AN)=60/20/20(質量比)の溶媒に加え、撹拌機で2時間混合した後、5μmのメンブランフィルタで濾過し、固形分濃度15質量%の感光性樹脂組成物を調製した。
・アルカリ可溶性樹脂(A)
樹脂(A−1)(固形分55%、溶媒:PM)・・・310質量部
・光重合性モノマー(D)
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)・・・175質量部
・光重合開始剤(E)
「OXE−02」(商品名:BASF社製)・・・100質量部
・上記式(b−1)で表される化合物(B)
化合物1・・・100質量部
・着色剤(F)
カーボン分散液「CFブラック」(商品名:御国色素社製 固形分25%、溶剤:MA)・・・450質量部
・エポキシ化合物(G)
「オグソール EG−200」(商品名:大阪ガスケミカル社製)・・・50質量部
<Preparation of photosensitive resin composition>
[Example 1]
The following components were added to a solvent of 3-methoxybutyl acetate (MA) / propylene glycol monomethyl ether acetate (PM) / cyclohexanone (AN) = 60/20/20 (mass ratio), and mixed with a stirrer for 2 hours. Thereafter, the mixture was filtered through a 5 μm membrane filter to prepare a photosensitive resin composition having a solid content concentration of 15% by mass.
・ Alkali-soluble resin (A)
Resin (A-1) (solid content 55%, solvent: PM) 310 parts by mass / photopolymerizable monomer (D)
Dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA): 175 parts by mass / photopolymerization initiator (E)
"OXE-02" (trade name: manufactured by BASF) ... 100 parts by mass-Compound (B) represented by the above formula (b-1)
Compound 1 ... 100 parts by mass / Colorant (F)
Carbon dispersion “CF Black” (trade name: Mikuni Color Co., Ltd., solid content 25%, solvent: MA): 450 parts by mass / epoxy compound (G)
“Ogsol EG-200” (trade name: manufactured by Osaka Gas Chemical Co., Ltd.): 50 parts by mass

[実施例2〜20]
化合物1の代わりにそれぞれ上記化合物2〜20を用いた他は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製した。
[Examples 2 to 20]
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that the compounds 2 to 20 were used in place of the compound 1, respectively.

[実施例21〜40]
樹脂(A−1)の代わりに上記樹脂(A−2)を用いた他は実施例1〜20と同様の手法で、感光性樹脂組成物を調製した。
[Examples 21 to 40]
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Examples 1 to 20, except that the resin (A-2) was used instead of the resin (A-1).

[比較例1〜8]
化合物1の代わりにそれぞれ上記比較化合物1〜8を用いた他は、実施例1と同様にして感光性樹脂組成物を調製した。
[比較例9〜16]
樹脂(A−1)の代わりに上記樹脂(A−2)を用いた他は比較例1〜8と同様の手法で、感光性樹脂組成物を調製した。
[Comparative Examples 1-8]
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that each of Comparative Compounds 1 to 8 was used instead of Compound 1.
[Comparative Examples 9 to 16]
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Comparative Examples 1 to 8, except that the resin (A-2) was used instead of the resin (A-1).

<評価>
実施例1〜40、比較例1〜16の感光性樹脂組成物を、ガラス基板(100mm×100mm)上にスピンコータを用いて塗布し、90℃で120秒間プリベークを行い、膜厚1.0μmの塗膜を形成した。次いで、ミラープロジェクションアライナー(製品名:TME−150RTO、株式会社トプコン製)を使用し、露光ギャップを50μmとして、20μmのラインパターンの形成されたネガマスクを介して、塗膜に紫外線を照射した。露光量は、20,40,60,120mJ/cmの4段階とした。露光後の塗膜を、26℃の0.04質量%KOH水溶液で40秒間現像後、230℃にて30分間ポストベークを行うことにより、ラインパターンを形成した。
同様に、2,5,10,20μmのラインパターンの形成されたネガマスクを介して、露光ギャップ50μmにて、塗膜に紫外線を照射した。露光量は20mJ/cmとした。露光後の塗膜を、26℃の0.04質量%KOH水溶液で40秒間現像後、230℃にて30分間ポストベークを行うことにより、ラインパターンを形成した。
<Evaluation>
The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 40 and Comparative Examples 1 to 16 were applied on a glass substrate (100 mm × 100 mm) using a spin coater, pre-baked at 90 ° C. for 120 seconds, and a film thickness of 1.0 μm. A coating film was formed. Next, using a mirror projection aligner (product name: TME-150 RTO, manufactured by Topcon Corporation), the exposure gap was set to 50 μm, and the coating film was irradiated with ultraviolet rays through a negative mask on which a 20 μm line pattern was formed. The exposure amount was set in four stages of 20 , 40, 60, and 120 mJ / cm 2 . The exposed coating film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26 ° C. for 40 seconds and then post-baked at 230 ° C. for 30 minutes to form a line pattern.
Similarly, the coating film was irradiated with ultraviolet rays at an exposure gap of 50 μm through a negative mask on which line patterns of 2, 5, 10, and 20 μm were formed. The exposure amount was 20 mJ / cm 2 . The exposed coating film was developed with a 0.04 mass% KOH aqueous solution at 26 ° C. for 40 seconds and then post-baked at 230 ° C. for 30 minutes to form a line pattern.

形成されたラインパターンを光学顕微鏡により観察し、パターン直進性を評価した。パターン直進性は、ラインのエッジにがたつきがないものを「良好」、がたつきがあるものを「不良」として評価した。
また、ラインパターンを光学顕微鏡により観察し、パターン密着性を評価した。パターン密着性は、基板から剥がれずラインパターンが形成されたものを「良好」、ラインパターンは形成されているがパターン欠けが発生しているものを「不良」、基板から剥がれてラインパターンが形成されなかったものを「なし」として評価した。
さらに、現像後の未露光部における残渣の有無について評価した。
結果を下記表1〜8に示す。
The formed line pattern was observed with an optical microscope, and pattern straightness was evaluated. The pattern straightness was evaluated as “good” when the edge of the line was not rattled, and “bad” when it was rattled.
Moreover, the line pattern was observed with the optical microscope, and pattern adhesiveness was evaluated. The pattern adhesion is "good" when the line pattern is formed without being peeled from the substrate, "bad" when the line pattern is formed but the pattern is missing, and the line pattern is formed by peeling from the substrate. What was not done was rated as “none”.
Furthermore, the presence or absence of a residue in the unexposed part after development was evaluated.
The results are shown in Tables 1 to 8 below.

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

Figure 2013080207
Figure 2013080207

表1及び2からわかるように、上記式(b−1)で表される化合物1〜20を含有する実施例1〜40の感光性樹脂組成物を用いた場合には、60mJ/cmという低露光量であっても、直線性に優れたラインパターンを形成することができた。特に、化合物1、3、7、9、18、19を含有する感光性樹脂組成物では、20mJ/cmという非常に低い露光量であっても、直線性に優れたラインパターンを形成することができた。 As can be seen from Tables 1 and 2, when the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 40 containing the compounds 1 to 20 represented by the formula (b-1) are used, it is 60 mJ / cm 2. Even with a low exposure amount, a line pattern having excellent linearity could be formed. In particular, a photosensitive resin composition containing compounds 1, 3, 7, 9, 18, and 19 can form a line pattern with excellent linearity even at a very low exposure amount of 20 mJ / cm 2. I was able to.

また、表3及び4からわかるように、20mJ/cmという低露光量であっても、10μmのラインパターンが基板に密着し、さらに、現像残渣も存在しなかった。特に化合物1、3、7、9を含有する感光性樹脂組成物では、2μmの微小パターンでも密着性が良好だった。 Further, as can be seen from Tables 3 and 4, even with a low exposure amount of 20 mJ / cm 2 , the 10 μm line pattern was in close contact with the substrate, and there was no development residue. In particular, in the photosensitive resin composition containing the compounds 1, 3, 7, and 9, the adhesion was good even with a fine pattern of 2 μm.

これに対して、比較化合物1〜8を含有する感光性樹脂組成物は、60mJ/cm以下の露光量では、いずれも直線性に優れたラインパターンを形成することができなかった。また、20mJ/cmという低露光量では、20μmのラインパターンしか基板に密着せず、これより小さいラインパターンは剥離した。 On the other hand, the photosensitive resin composition containing the comparative compounds 1 to 8 could not form a line pattern excellent in linearity at an exposure amount of 60 mJ / cm 2 or less. Further, at a low exposure amount of 20 mJ / cm 2 , only a 20 μm line pattern was adhered to the substrate, and smaller line patterns were peeled off.

Claims (6)

下記式(a−1)で表される樹脂と単官能エポキシ化合物とを反応させて得られ、酸価が1〜100mgKOH/gの範囲にあるアルカリ可溶性樹脂(A)と、下記式(b−1)で表される化合物(B)と、光重合性モノマー(D)と、光重合開始剤(E)とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
Figure 2013080207
(式中、Ra1、Ra2、Ra3、Ra4は、それぞれ独立に水素原子、炭素数1〜5のアルキル基、ハロゲン原子又はフェニル基を示し、Ra5は水素原子又はメチル基を示す。また、Pは−CO−、−SO−、−C(CF−、−Si(CH−、−CH−、−C(CH−、−O−、9,9−フルオレニル基又は単結合を示し、Xは4価のカルボン酸残基を示し、Y、Yはそれぞれ独立に水素原子又は−OC−Q−(COOH)を示し、Qはカルボン酸残基(mは1〜3の整数を示す)を示し、nは1〜200の整数を示す。)
Figure 2013080207
(式中、Rb1及びRb2は、それぞれ独立に水素原子又は有機基を示す。ただし、Rb1及びRb2の少なくとも一方は有機基を示す。Rb1及びRb2は、それらが結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。Rb3は、単結合又は有機基を示す。Rb4及びRb5は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、又は有機基を示す。Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、水酸基、メルカプト基、スルフィド基、シリル基、シラノール基、ニトロ基、ニトロソ基、スルフィノ基、スルホ基、スルホナト基、ホスフィノ基、ホスフィニル基、ホスホノ基、ホスホナト基、アミノ基、アンモニオ基、又は有機基を示す。ただし、Rb6及びRb7が水酸基となることはない。Rb6、Rb7、Rb8、及びRb9は、それらの2つ以上が結合して環状構造を形成していてもよく、ヘテロ原子の結合を含んでいてもよい。Rb10は、水素原子又は有機基を示す。)
An alkali-soluble resin (A) obtained by reacting a resin represented by the following formula (a-1) with a monofunctional epoxy compound and having an acid value in the range of 1 to 100 mgKOH / g; A photosensitive resin composition comprising the compound (B) represented by 1), a photopolymerizable monomer (D), and a photopolymerization initiator (E).
Figure 2013080207
(In formula, R <a1 > , R < a2 > , R < a3> , R <a4> shows a hydrogen atom, a C1-C5 alkyl group, a halogen atom, or a phenyl group each independently, and R <a5> shows a hydrogen atom or a methyl group. P represents —CO—, —SO 2 —, —C (CF 3 ) 2 —, —Si (CH 3 ) 2 —, —CH 2 —, —C (CH 3 ) 2 —, —O—, 9,9-fluorenyl group or a single bond, X represents a tetravalent carboxylic acid residue, Y 1 and Y 2 each independently represents a hydrogen atom or —OC—Q— (COOH) m , Q is A carboxylic acid residue (m represents an integer of 1 to 3), and n represents an integer of 1 to 200.)
Figure 2013080207
(Wherein, R b1 and R b2 each independently represent a hydrogen atom or an organic group. However, .R b1 and R b2 represents an organic group at least one of the R b1 and R b2 is to they are attached It may form a cyclic structure and may contain a heteroatom bond, R b3 represents a single bond or an organic group, R b4 and R b5 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, or a hydroxyl group , mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, a nitro group, a nitroso group, a sulfino group, a sulfo group, a sulfonato group, a phosphino group, a phosphinyl group, a phosphono group, .R b6 showing a phosphonato group, or an organic radical, R b7 , Rb8 , and Rb9 each independently represent a hydrogen atom, a halogen atom, a hydroxyl group, a mercapto group, a sulfide group, a silyl group, a silanol group, or a nitro group. Nitroso group, sulfino group, sulfo group, sulfonate group, phosphino group, phosphinyl group, phosphono group, phosphonate group, amino group, ammonio group, or organic group, provided that R b6 and R b7 are hydroxyl groups. no .R b6, R b7, R b8 , and R b9 are those two or more together, may form a cyclic structure, which may contain a binding heteroatom .R b10 is Represents a hydrogen atom or an organic group.)
前記単官能エポキシ化合物が、下記一般式(c−1)で表されるものである請求項1記載の感光性樹脂組成物。
Figure 2013080207
(式中、Zは、−C2r+1、−C又は−C2s−OHを示し、r及びsは、それぞれ1〜10の整数を示す。)
The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the monofunctional epoxy compound is represented by the following general formula (c-1).
Figure 2013080207
(Wherein, Z is, -C r H 2r + 1, shows a -C 6 H 5 or -C s H 2s -OH, r and s are each an integer of 1 to 10.)
着色剤(F)をさらに含有する請求項1又は2記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition of Claim 1 or 2 which further contains a coloring agent (F). 1つ以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物(G)をさらに含有する請求項1から3のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。   The photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 3, further comprising an epoxy compound (G) having one or more epoxy groups. 請求項1から4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化させて形成した塗膜。   A coating film formed by curing the photosensitive resin composition according to claim 1. 請求項1から4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を塗布、硬化させて得られる塗膜が形成されてなるカラーフィルタ。   A color filter formed with a coating film obtained by applying and curing the photosensitive resin composition according to claim 1.
JP2012174873A 2011-09-22 2012-08-07 Photosensitive resin composition, coating film and color filter using the same Active JP6113431B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012174873A JP6113431B2 (en) 2011-09-22 2012-08-07 Photosensitive resin composition, coating film and color filter using the same
CN201210358640.0A CN103019031B (en) 2011-09-22 2012-09-24 Photosensitive polymer combination and the film and colour filter for having used said composition

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011207899 2011-09-22
JP2011207899 2011-09-22
JP2012174873A JP6113431B2 (en) 2011-09-22 2012-08-07 Photosensitive resin composition, coating film and color filter using the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013080207A true JP2013080207A (en) 2013-05-02
JP6113431B2 JP6113431B2 (en) 2017-04-12

Family

ID=48526584

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012174873A Active JP6113431B2 (en) 2011-09-22 2012-08-07 Photosensitive resin composition, coating film and color filter using the same

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6113431B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019188629A1 (en) * 2018-03-29 2019-10-03 株式会社カネカ Photosensitive resin composition, dry film, cured film, printed wiring board, and manufacturing method therefor
WO2024057999A1 (en) * 2022-09-16 2024-03-21 富士フイルム株式会社 Coloring composition, cured film, color filter, display device and method for producing cured film

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5365381A (en) * 1976-11-22 1978-06-10 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JPS5390387A (en) * 1977-01-20 1978-08-09 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JPS5461164A (en) * 1977-10-20 1979-05-17 Fuji Photo Film Co Ltd 2-arylnaphtho1,8-bcfuran-5-ones, compositions and materials containing them
JP2006284784A (en) * 2005-03-31 2006-10-19 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and color filter using the same
WO2010113813A1 (en) * 2009-03-31 2010-10-07 大日本印刷株式会社 Base-generating agent, photosensitive resin composition, patterning material comprising the photosensitive resin composition, patterning method and article using the photosensitive resin composition
WO2012176693A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 東京応化工業株式会社 Novel compound
WO2012176694A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 東京応化工業株式会社 Negative-type photosensitive resin composition, pattern forming method, cured film, insulating film, color filter, and display device

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5365381A (en) * 1976-11-22 1978-06-10 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JPS5390387A (en) * 1977-01-20 1978-08-09 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JPS5461164A (en) * 1977-10-20 1979-05-17 Fuji Photo Film Co Ltd 2-arylnaphtho1,8-bcfuran-5-ones, compositions and materials containing them
JP2006284784A (en) * 2005-03-31 2006-10-19 Nippon Steel Chem Co Ltd Photosensitive resin composition and color filter using the same
WO2010113813A1 (en) * 2009-03-31 2010-10-07 大日本印刷株式会社 Base-generating agent, photosensitive resin composition, patterning material comprising the photosensitive resin composition, patterning method and article using the photosensitive resin composition
WO2012176693A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 東京応化工業株式会社 Novel compound
WO2012176694A1 (en) * 2011-06-24 2012-12-27 東京応化工業株式会社 Negative-type photosensitive resin composition, pattern forming method, cured film, insulating film, color filter, and display device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019188629A1 (en) * 2018-03-29 2019-10-03 株式会社カネカ Photosensitive resin composition, dry film, cured film, printed wiring board, and manufacturing method therefor
CN111936931A (en) * 2018-03-29 2020-11-13 株式会社钟化 Photosensitive resin composition, dry film, cured film, printed wiring board, and method for producing same
WO2024057999A1 (en) * 2022-09-16 2024-03-21 富士フイルム株式会社 Coloring composition, cured film, color filter, display device and method for producing cured film

Also Published As

Publication number Publication date
JP6113431B2 (en) 2017-04-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5988273B2 (en) New compounds
US9244346B2 (en) Negative-type photosensitive resin composition, pattern forming method, cured film, insulating film, color filter, and display device
JP5315106B2 (en) Alkali-soluble resin, method for producing the same, and photosensitive resin composition using alkali-soluble resin
JP6037708B2 (en) Photosensitive resin composition, pattern forming method, color filter, and display device
JP5843907B2 (en) Colored photosensitive resin composition, black matrix, color filter, and liquid crystal display
JP2016191905A (en) Photosensitive resin composition, pattern forming method, cured film, insulation film, color filter, and display device
JP2013134263A (en) Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
KR102392964B1 (en) Photosensitive resin composition for light-shielding film, display substrate having the light-shielding film obtained by curing the same, and manufacturing method of display substrate
TW200819912A (en) Colored photosensitive resin composition
KR20080005867A (en) Radiation sensitive composition for forming a colored layer, color filter and color liquid crystal display device
JP6113431B2 (en) Photosensitive resin composition, coating film and color filter using the same
JP6210691B2 (en) Pigment dispersion and method for producing photosensitive resin composition using the same
JP5932512B2 (en) Photosensitive resin composition for bank formation, bank, and method for forming bank
JP2006276421A (en) Photosensitive resin composition and color filter using same
KR102405499B1 (en) Method of pattern formation and method of producing polysilane resin precursor
KR102048588B1 (en) Photosensitive resin composition for forming black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
JP6041572B2 (en) Photosensitive resin composition for black column spacer, black column spacer, display device, and method for forming black column spacer
TWI659266B (en) Photosensitive resin composition
TWI655503B (en) Photosensitive resin composition, spacer, protection film and liquid crystal display element
JP7249119B2 (en) Photosensitive resin composition, method for producing patterned cured film, and cured film
KR20160084894A (en) Photo-sensitive resin and manufacturing method of insulation layer for display
JP6157111B2 (en) Colored photosensitive resin composition, color filter, and color liquid crystal display element

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150618

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20160310

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160315

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160511

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161025

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20161026

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170307

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170315

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6113431

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150