JP2013036989A - Method and device for inspecting defect in honeycomb filter, and method for manufacturing honeycomb filter - Google Patents

Method and device for inspecting defect in honeycomb filter, and method for manufacturing honeycomb filter Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and device for inspecting, enabling a sufficiently accurate inspection even for a honeycomb filter with a relatively large size, and a method for manufacturing a honeycomb filter having a defect detection step by the method for inspecting.SOLUTION: A method for inspecting defects in a honeycomb filter 100 includes: a supply step in which a gas containing particle P is supplied to one end face 110b of the honeycomb filter 100; a first image acquisition step in which a first laser sheet LS, which spreads out along the other end face 100t of the honeycomb filter 100, is irradiated on gas discharged from the other end face 100t, and a first image containing an area facing the one end face of the honeycomb filter 100 in the first laser sheet LS is acquired; and a second image acquisition step in which the same process is performed with the first image acquisition step, except that a second laser sheet LS is irradiated from a direction different from that of the first laser sheet.

Description

本発明は、ハニカムフィルタの欠陥の検査方法及び検査装置並びにハニカムフィルタの製造方法に関する。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a honeycomb filter defect inspection method and inspection apparatus, and a honeycomb filter manufacturing method.

従来より、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いられるハニカムフィルタの欠陥検査方法が知られている。例えば、特許文献1には、粒子を含むガス流をハニカムフィルタの入口端面に提供し、このハニカムフィルタの出口端面から出るガス流にレーザを照射し、粒子を照らすことが開示されている。特許文献1の図2Aでは、回転する多面ミラー608等といった光学要素と協働して、平面状の光のシート606をガス流に照射していた。   Conventionally, a defect inspection method for a honeycomb filter used as a diesel particulate filter is known. For example, Patent Literature 1 discloses that a gas flow containing particles is provided on the inlet end face of a honeycomb filter, and the gas flow emitted from the outlet end face of the honeycomb filter is irradiated with a laser to illuminate the particles. In FIG. 2A of Patent Document 1, a planar light sheet 606 is irradiated on a gas flow in cooperation with an optical element such as a rotating polygon mirror 608.

特開2009−503508号公報JP 2009-503508 A

しかしながら、従来の方法では、検査精度が十分では無かった。特に、サイズが比較的大きいハニカムフィルタ(例えば、直径70mm以上)を検査対象とした場合、実際は欠陥がないにも関わらず、誤って欠陥を検出してしまう傾向にあり、改善の余地があった。   However, in the conventional method, the inspection accuracy is not sufficient. In particular, when a honeycomb filter having a relatively large size (for example, a diameter of 70 mm or more) is an inspection target, there is a tendency to detect a defect erroneously even though there is no defect, and there is room for improvement. .

本発明は、サイズが比較的大きいハニカムフィルタであっても十分に高い精度の検査が可能な検査方法及び検査装置を提供することを目的とする。また、本発明は、当該検査方法による欠陥の検出工程を備えたハニカムフィルタの製造方法を提供することを目的とする。   An object of the present invention is to provide an inspection method and an inspection apparatus capable of performing inspection with sufficiently high accuracy even with a honeycomb filter having a relatively large size. Another object of the present invention is to provide a method for manufacturing a honeycomb filter including a defect detection step by the inspection method.

本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査方法は、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートが照射された状態下、前記ハニカムフィルタの他端面を含む第一画像を取得する第1の画像取得工程と、
前記第一の検出工程の後に、ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに、当該他端面に沿うように広がる第2レーザーシートが第1レーザーシートと異なる向きに照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む第2画像を取得する第2の画像取得工程と、を備える。
The honeycomb filter defect inspection method according to the present invention,
Supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A first image acquisition step of acquiring a first image including the other end surface of the honeycomb filter in a state where the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter is irradiated with the first laser sheet that spreads along the other end surface. When,
After the first detection step, under the condition that the gas discharged from the other end face of the honeycomb filter is irradiated with a second laser sheet that extends along the other end face in a direction different from that of the first laser sheet, A second image acquisition step of acquiring a second image including the other end face of the filter.

本発明者らの観察によると、サイズが比較的大きいハニカムフィルタの端面に沿ってレーザ光を照射すると、ハニカムフィルタの端面の周縁部であってレーザ光の光源から離れた箇所が明るく光り、実際は欠陥がないにも関わらず、誤って欠陥を検出してしまうことがあった。このような過剰検出の主因について、本発明者らはハニカムフィルタの端面の上方に存在する粒子によってレーザ光が散乱し、粒子を含むガスが光源となってハニカムフィルタの上記周縁部を照らすことによるものと推察する。従来の検査方法にあっては、一箇所からレーザ光を照射して検査を行っていた。照射されたレーザ光は、照射対象までの距離が長くなると拡散しやすく、特に粒子を含むガスに照射されるとより一層拡散しやすいため、ハニカムフィルタのサイズ(端面のサイズ)が大きくなるに従って、レーザ光の光源から離れた箇所の検査精度が不十分となる。   According to the observations of the present inventors, when laser light is irradiated along the end face of the honeycomb filter having a relatively large size, the peripheral part of the end face of the honeycomb filter and the part away from the light source of the laser light shines brightly. Even though there is no defect, a defect may be detected by mistake. The main reason for such excessive detection is that the present inventors scatter laser light by particles existing above the end face of the honeycomb filter, and the gas containing the particles serves as a light source to illuminate the peripheral portion of the honeycomb filter. I guess that. In the conventional inspection method, the inspection is performed by irradiating the laser beam from one place. The irradiated laser light is likely to diffuse when the distance to the irradiation target is increased, and more easily diffused particularly when irradiated with a gas containing particles. Therefore, as the size of the honeycomb filter (size of the end face) increases, Inspection accuracy at a location away from the laser light source is insufficient.

上記のような課題に対し、ハニカムフィルタの他端面に沿うように広がるレーザーシートを2つ以上の向きから照射してガス中の粒子の濃度分布をそれぞれ検出する。各向きのレーザーシートから得られた各濃度分布データのうち、レーザーシートの光源からの距離が近い箇所のデータをそれぞれ採用し、これらをコンピュータで合成することにより全体として精度の高い濃度分布データが得られる。なお、必ずしもコンピュータでデータを合成する必要はなく、複数の画像データを目視により観察して欠陥箇所を特定してもよい。   In response to the above-described problem, a laser sheet that spreads along the other end face of the honeycomb filter is irradiated from two or more directions to detect the concentration distribution of particles in the gas. Of the concentration distribution data obtained from the laser sheets in each direction, the data of the locations where the distance from the light source of the laser sheet is close is adopted, and these are synthesized by a computer to obtain highly accurate concentration distribution data as a whole. can get. Note that it is not always necessary to synthesize data by a computer, and a defect portion may be specified by visually observing a plurality of image data.

ハニカムフィルタに対して2つ以上の向きからレーザーシートを照射するには、例えば、レーザーシートの光源を2つ以上有する検査装置を準備し、これらの光源から順次レーザーシートを照射して検出工程を実施すればよい。すなわち、第1の光源から第1レーザーシートを照射して第1の検出工程を実施した後、ハニカムフィルタに対する向きが第1の光源と異なる第2の光源から第2レーザーシートを照射して第2の検出工程を実施すればよい。あるいは、ハニカムフィルタを回転させる機構を有する検査装置を準備し、1回目の検出工程を実施した後、ハニカムフィルタを回転させて2回目の検出工程を実施すればよい。すなわち、光源から第1レーザーシートを照射して第1の検出工程を実施した後、ハニカムフィルタに対する当該光源からの第2レーザーシートの向きが第1の検出工程の第1レーザーシートと異なる向きとなるようにハニカムフィルタを回転させ、当該光源からレーザーシートを照射して第2の検出工程を実施してもよい。
すなわち、第1の光源から第1レーザーシートが照射され、第1の光源と異なる第2の光源から第2レーザーシートが照射されることができる。
また、ひとつの光源から第1レーザーシート及び第2レーザーシートが照射され、上記方法は、さらに、第2レーザーシートの向きが第1レーザーシートの向きと異なるように第1の画像取得工程の後、第2の画像取得工程の前にハニカムフィルタを回転させる工程を備えることもできる。
また、この方法は、第1画像及び第2画像に基づいて、ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断する判断工程をさらに有することができる。
また、判断工程では、第1画像における、レーザーシートの光源に近い第1部分を抽出し、第2画像における、レーザーシートの光源に近い第2部分を抽出し、第1部分と第2部分とに基づいてハニカムフィルタの欠陥の有無を判断することができる。
第2の発明は、ハニカムフィルタの欠陥の検査方法であって、粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに、前記他端面に沿うように広がる第1レーザーシート及び前記他端面に沿うように広がる第2レーザーシートが、前記第1レーザーシートの向きと前記第2レーザーシートの向きが互いに異なるように照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を取得する画像取得工程と、を備える。
本方法によれば、ガス漏れ部分から排出される粒子が互いに異なる2つのレーザーシートを散乱するため、ガス漏れ部分から排出される粒子の明るさが非常に強くなるため、精度を高くできる。
In order to irradiate the honeycomb sheet with the laser sheet from two or more directions, for example, an inspection apparatus having two or more laser sheet light sources is prepared, and the detection process is performed by sequentially irradiating the laser sheets from these light sources. Just do it. That is, after the first detection step is performed by irradiating the first laser sheet from the first light source, the second laser sheet is irradiated from the second light source that is different from the first light source in the direction with respect to the honeycomb filter. Two detection steps may be performed. Alternatively, an inspection apparatus having a mechanism for rotating the honeycomb filter may be prepared, the first detection process may be performed, and then the honeycomb filter may be rotated to perform the second detection process. That is, after performing the first detection step by irradiating the first laser sheet from the light source, the orientation of the second laser sheet from the light source with respect to the honeycomb filter is different from the orientation of the first laser sheet in the first detection step. The second detection step may be performed by rotating the honeycomb filter so that the laser sheet is irradiated from the light source.
That is, the first laser sheet can be irradiated from the first light source, and the second laser sheet can be irradiated from a second light source different from the first light source.
In addition, the first laser sheet and the second laser sheet are irradiated from one light source, and the above method is further performed after the first image acquisition step so that the direction of the second laser sheet is different from the direction of the first laser sheet. A step of rotating the honeycomb filter may be provided before the second image acquisition step.
In addition, the method may further include a determination step of determining whether or not there is a defect in the honeycomb filter based on the first image and the second image.
In the determination step, a first portion close to the light source of the laser sheet in the first image is extracted, a second portion close to the light source of the laser sheet in the second image is extracted, and the first portion and the second portion The presence or absence of defects in the honeycomb filter can be determined based on the above.
A second invention is a method for inspecting a defect of a honeycomb filter, the supply step of supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter,
The first laser sheet that spreads along the other end surface and the second laser sheet that spreads along the other end surface of the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter are oriented in the direction of the first laser sheet and the first laser sheet. An image acquisition step of acquiring an image including the other end face of the honeycomb filter under a state where the two laser sheets are irradiated in different directions.
According to this method, since the particles discharged from the gas leaking portion scatter two different laser sheets, the brightness of the particles discharged from the gas leaking portion becomes very strong, so that the accuracy can be increased.

より十分に高い精度の検査を行うためには、第1レーザーシートの向きと第2レーザーシートの向きとのなす角度は160〜200°であることが好ましい。   In order to perform inspection with sufficiently high accuracy, the angle formed by the direction of the first laser sheet and the direction of the second laser sheet is preferably 160 to 200 °.

本発明においては、液体及び気体を二流体ノズルに供給することにより前記粒子を生成してもよいし、水とドライアイスとの混合により前記粒子を生成してもよい。前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質であることが好ましい。   In the present invention, the particles may be generated by supplying a liquid and a gas to a two-fluid nozzle, or the particles may be generated by mixing water and dry ice. The partition walls of the honeycomb filter are preferably porous.

本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査装置の一態様は、
ハニカムフィルタを保持する保持部と、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給路と、
ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートを照射する第1の光源と、
ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートを、第1レーザーシートと異なる向きに照射する第2の光源と、
ハニカムフィルタの他端面を含む画像を取得するカメラと、を備える。
上述の各装置は、カメラが取得した複数の画像に基づいて、ハニカムフィルタの欠陥の有無を検出する検出部をさらに備えることができる。
One aspect of the inspection device for defects of the honeycomb filter according to the present invention,
A holding part for holding the honeycomb filter;
A supply path for supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A first light source that irradiates a first laser sheet that spreads along the other end surface toward the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter;
A second light source that irradiates a first laser sheet that spreads along the other end face toward the gas discharged from the other end face of the honeycomb filter in a direction different from the first laser sheet;
A camera for acquiring an image including the other end face of the honeycomb filter.
Each of the above-described devices can further include a detection unit that detects the presence or absence of defects in the honeycomb filter based on a plurality of images acquired by the camera.

本発明に係るハニカムフィルタの欠陥の検査装置の他の態様は、
ハニカムフィルタを保持すると共に、ハニカムフィルタの中心軸を中心としてハニカムフィルタを回転させる回転機構と、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給路と、
ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がるレーザーシートを照射する光源と、
ハニカムフィルタの他端面を含む画像を取得するカメラと、を備える。
Another aspect of the inspection apparatus for defects of the honeycomb filter according to the present invention is as follows:
A rotating mechanism for holding the honeycomb filter and rotating the honeycomb filter about the central axis of the honeycomb filter;
A supply path for supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A light source that irradiates a laser sheet that spreads along the other end surface toward the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter;
A camera for acquiring an image including the other end face of the honeycomb filter.

本発明に係るハニカムフィルタの製造方法は、
上記検査方法により、ハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程と、
検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程と、を備える。
A method for manufacturing a honeycomb filter according to the present invention,
By the above inspection method, a detection step of detecting a defect of the honeycomb filter,
And a sorting step of sorting out the honeycomb filter in which no defect is detected in the detection step.

本発明によれば、サイズが比較的大きいハニカムフィルタであっても十分に高い精度で検査が可能である。   According to the present invention, even a honeycomb filter having a relatively large size can be inspected with sufficiently high accuracy.

図1の(a)は検査対象となるハニカムフィルタ100の斜視図、図1の(b)は(a)のIb−Ib矢視図である。FIG. 1A is a perspective view of a honeycomb filter 100 to be inspected, and FIG. 1B is a view taken along the arrow Ib-Ib in FIG. 図2は、ハニカムフィルタ100の欠陥の検査装置400の概略断面図である。FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of a defect inspection apparatus 400 for the honeycomb filter 100. 図3(a)は第1の光源210AからレーザーシートLSを照射している状態を示す上面図、図3(b)は第2の光源210BからレーザーシートLSを照射している状態を示す上面図である。3A is a top view showing a state where the laser sheet LS is irradiated from the first light source 210A, and FIG. 3B is a top view showing a state where the laser sheet LS is irradiated from the second light source 210B. FIG. 図4(a)及び(b)は第1及び第2の光源210A,210Bの使用時に得られる画像をそれぞれ模式的に示す図、図4(c)は2つの画像データを合成した画像を模式的に示す図である。4A and 4B are diagrams schematically showing images obtained when the first and second light sources 210A and 210B are used, respectively, and FIG. 4C is a schematic diagram showing an image obtained by combining two image data. FIG. 図5は、ハニカムフィルタ100の欠陥の検査装置500の概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a defect inspection apparatus 500 for the honeycomb filter 100. 図6(a)は第1の光源210A及び第2の光源210AからレーザーシートLS1及びレーザーシートLS2を照射している状態を示す上面図、図6(b)は図6(a)の工程で得られる画像を示す模式図である。6A is a top view showing a state in which the laser sheet LS1 and the laser sheet LS2 are irradiated from the first light source 210A and the second light source 210A, and FIG. 6B is a process of FIG. 6A. It is a schematic diagram which shows the image obtained.

図面を参照して、発明の実施形態について説明する。まず、本実施形態で検査対象となるハニカムフィルタ100について説明する。このハニカムフィルタ100は、例えば、ディーゼルパティキュレートフィルタとして用いることのできるものである。   An embodiment of the invention will be described with reference to the drawings. First, the honeycomb filter 100 to be inspected in the present embodiment will be described. The honeycomb filter 100 can be used as, for example, a diesel particulate filter.

本実施形態において対象となるハニカムフィルタ100は、図1の(a)及び(b)に示すように、互いに平行に伸びる複数の流路110を形成する隔壁112、及び、複数の流路110の内の一部の一端(図1の(b)の左端)、及び、複数の流路110の内の残部の他端(図1の(b)の右端)を閉鎖する封口部114を有する円柱体である。   As shown in FIGS. 1A and 1B, the target honeycomb filter 100 in the present embodiment includes partition walls 112 that form a plurality of flow paths 110 that extend in parallel to each other, and a plurality of flow paths 110. A cylinder having a sealing portion 114 that closes one end of the inside (the left end in FIG. 1B) and the other end of the remaining portion of the plurality of flow paths 110 (the right end in FIG. 1B). Is the body.

ハニカムフィルタ100の流路110が延びる方向の長さは特に限定されないが、例えば、40〜350mmとすることができる。また、ハニカムフィルタ100の外径も特に限定されないが、例えば、100〜320mmとすることできる。流路110の断面のサイズは、例えば、正方形の場合一辺0.8〜2.5mmとすることができる。隔壁112の厚みは、0.05〜0.5mmとすることができる。   The length in the direction in which the flow path 110 of the honeycomb filter 100 extends is not particularly limited, but may be, for example, 40 to 350 mm. Moreover, the outer diameter of the honeycomb filter 100 is not particularly limited, but may be, for example, 100 to 320 mm. The size of the cross section of the flow path 110 can be set to 0.8 to 2.5 mm on a side in the case of a square, for example. The thickness of the partition 112 can be 0.05-0.5 mm.

なお、強度の高いレーザ光を採用したり、ガス中の粒子濃度(ミストの濃度)を調整したりすることで、従来の検査方法であってもある程度は検査精度の向上を図れるかもしれない。しかし、ハニカムフィルタ100の外径(レーザ光の光源側の周縁部から反対側の周縁部までの距離)が70mm以上(より好ましくは100mm以上)であると、従来の検査方法では十分な精度で検査を実施できず、本実施形態に係る検査方法が特に有用である。   It should be noted that by using a high-intensity laser beam or adjusting the particle concentration (mist concentration) in the gas, the inspection accuracy may be improved to some extent even with the conventional inspection method. However, if the outer diameter of the honeycomb filter 100 (distance from the peripheral portion on the light source side of the laser beam to the peripheral portion on the opposite side) is 70 mm or more (more preferably 100 mm or more), the conventional inspection method has sufficient accuracy. The inspection cannot be performed, and the inspection method according to this embodiment is particularly useful.

ハニカムフィルタ100の隔壁112の材質は、多孔性セラミクス(焼成体)である。セラミクスは特に限定されないが、例えば、アルミナ、シリカ、ムライト、コーディエライト、ガラス、チタン酸アルミニウム等の酸化物、シリコンカーバイド、窒化珪素、金属等が挙げられる。なお、チタン酸アルミニウムは、さらに、マグネシウム及び/又はケイ素を含むことができる。   The material of the partition 112 of the honeycomb filter 100 is porous ceramics (fired body). The ceramic is not particularly limited, and examples thereof include alumina, silica, mullite, cordierite, glass, oxides such as aluminum titanate, silicon carbide, silicon nitride, and metal. The aluminum titanate can further contain magnesium and / or silicon.

上述のように、ハニカムフィルタ100の複数の流路110のうちの一部の左端が封口部114により封口され、ハニカムフィルタ100の複数の流路110のうちの残部の右端が封口部114により封口されている。封口部114の材質としては、ハニカムフィルタ100と同様のセラミクス材料を用いることができる。上述の「複数の流路110のうちの一部」と「複数の流路110のうちの残部」とは、好ましくは、図1の(a)に示すように、端面側から見て行列状に配列された複数の流路の内の、縦方向及び横方向それぞれ1つおきに選択された流路の組合せである。   As described above, the left end of a part of the plurality of channels 110 of the honeycomb filter 100 is sealed by the sealing part 114, and the right end of the remaining part of the plurality of channels 110 of the honeycomb filter 100 is sealed by the sealing part 114. Has been. As the material of the sealing portion 114, the same ceramic material as that of the honeycomb filter 100 can be used. The “part of the plurality of flow paths 110” and the “remaining part of the plurality of flow paths 110” described above are preferably arranged in a matrix when viewed from the end face side as shown in FIG. Of the plurality of flow paths arranged in the vertical direction and the horizontal direction in the horizontal direction.

ハニカムフィルタ100は、多孔質の隔壁112を有することにより、図1の(b)において、流路110の左端から供給されたガスは、隔壁112を通過して隣の流路110に到達し、流路110の右端から排出される。このとき、流入したガス中の粒子が、隔壁112によって除去されてフィルタとして機能する。   Since the honeycomb filter 100 includes the porous partition 112, the gas supplied from the left end of the flow path 110 in FIG. 1B passes through the partition 112 and reaches the adjacent flow path 110. It is discharged from the right end of the flow path 110. At this time, particles in the inflowing gas are removed by the partition 112 and function as a filter.

このようなハニカムフィルタ100は例えば以下のようにして製造することができる。まず、無機化合物源粉末と、有機バインダと、溶媒と、必要に応じて添加される添加物を用意する。そして、これらを混練機等により混合して原料混合物を調製し、この原料混合物を隔壁の形状に対応する出口開口を有する押出機から押し出し(押出工程)、所望の長さに切断後、公知の方法で乾燥することにより、グリーンハニカム成形体を得る。グリーンハニカム成形体の流路の端部を公知の方法によって封口材で封口し(封口工程)、その後、グリーンハニカム成形体を焼成してハニカムフィルタ100を得る(焼成工程)。あるいは、グリーンハニカム成形体の焼成を先に実施し、その後、公知の方法によって流路の端部を封口してハニカムフィルタ100を得てもよい。   Such a honeycomb filter 100 can be manufactured as follows, for example. First, an inorganic compound source powder, an organic binder, a solvent, and additives to be added as necessary are prepared. And these are mixed with a kneader etc. to prepare a raw material mixture, this raw material mixture is extruded from an extruder having an outlet opening corresponding to the shape of the partition wall (extrusion process), cut into a desired length, and then known A green honeycomb molded body is obtained by drying by the method. The end of the channel of the green honeycomb molded body is sealed with a sealing material by a known method (sealing step), and then the green honeycomb molded body is fired to obtain the honeycomb filter 100 (firing step). Alternatively, the green honeycomb molded body may be fired first, and then the end of the flow path may be sealed by a known method to obtain the honeycomb filter 100.

<第1実施形態>
図2〜4を参照して、ハニカムフィルタ100の検査装置について説明する。検査装置400は、ハニカムフィルタ100を保持する保持部53と、ミスト(粒子)Pを含むガスをハニカムフィルタ100の複数の流路110の一端(図2の下端)に導くミスト供給路54と、粒子濃度検出部200とを備える。
<First Embodiment>
The inspection apparatus for the honeycomb filter 100 will be described with reference to FIGS. The inspection apparatus 400 includes a holding unit 53 that holds the honeycomb filter 100, a mist supply path 54 that guides a gas containing mist (particles) P to one end of the plurality of flow paths 110 of the honeycomb filter 100 (lower ends in FIG. 2), A particle concentration detection unit 200.

保持部53は、ハニカムフィルタ100を固定すると共に、ミスト供給路54から供給されるガスがハニカムフィルタ100の周囲から漏れないようにシールするためのものである。保持部53はミスト供給路54の先端に設けられており、ハニカムフィルタ100の軸方向(複数の流路110の軸方向)の一端部(図2では下端部)を外側から包囲してシールする筒状シール部51と、複数の流路110の下端110bと対向する部分に逆円錐状の空間Vを形成する空間形成部52とを有する。   The holding portion 53 is for fixing the honeycomb filter 100 and sealing the gas supplied from the mist supply path 54 so that the gas does not leak from the periphery of the honeycomb filter 100. The holding portion 53 is provided at the tip of the mist supply path 54 and surrounds and seals one end portion (the lower end portion in FIG. 2) in the axial direction of the honeycomb filter 100 (the axial direction of the plurality of flow paths 110) from the outside. It has the cylindrical seal part 51 and the space formation part 52 which forms the reverse conical space V in the part facing the lower end 110b of the some flow path 110. FIG.

ミスト供給路54は、ミストPを含むガスをハニカムフィルタ100の一方面100bに供給するためのものである。ハニカムフィルタ100に対して供給するガスの流量は特に限定されないが、例えば、100〜500L/minとすることができる。   The mist supply path 54 is for supplying a gas containing mist P to the one surface 100 b of the honeycomb filter 100. Although the flow rate of the gas supplied with respect to the honey-comb filter 100 is not specifically limited, For example, it can be set as 100-500 L / min.

ミストPを含むガスを予め準備し、このガスをミスト供給路54を通じてハニカムフィルタ100に供給してもよいが、ミスト濃度の均一性が高いガスを得る観点から、図2に示すように、ミスト供給路54の途中に、二流体ノズル20及び混合器40等を設置することが好ましい。   A gas containing mist P may be prepared in advance, and this gas may be supplied to the honeycomb filter 100 through the mist supply path 54. From the viewpoint of obtaining a gas having a high uniformity of mist concentration, as shown in FIG. It is preferable to install the two-fluid nozzle 20 and the mixer 40 in the middle of the supply path 54.

二流体ノズル20は、タンク10から供給される液体を、ポンプ12を介して受け入れると共に、ガス源14から供給されるガス、例えば、空気をバルブV1及びラインL2を介して受入、ミストを含むガスを生成する。二流体ノズルの形態は特に限定されない。また、ミストの径は特に限定されないが、例えば、0.1〜10μm程度とすることができる。
液体としては、検査後の除去の容易さを考えると、揮発性の液体が好ましく、特に、水が好ましい。
The two-fluid nozzle 20 receives the liquid supplied from the tank 10 via the pump 12 and receives a gas supplied from the gas source 14, for example, air via the valve V <b> 1 and the line L <b> 2 and a gas containing mist. Is generated. The form of the two-fluid nozzle is not particularly limited. Moreover, although the diameter of mist is not specifically limited, For example, it can be set as about 0.1-10 micrometers.
As the liquid, considering the ease of removal after the inspection, a volatile liquid is preferable, and water is particularly preferable.

混合器40は、ミストPを含むガスと他のガスを十分混合するためのものである。混合器40の形状は特に限定されないが、例えば、容器内に、他のガスを高い速度(例えば、1〜10m/s)で流入させる形式のものや、容器内に攪拌翼を有するもの、スタティックミキサーのように容器内に設けた内装物により流れの乱れを起こすものなど種々のものが利用できる。   The mixer 40 is for sufficiently mixing the gas containing the mist P and other gases. The shape of the mixer 40 is not particularly limited. For example, the mixer 40 has a configuration in which another gas is allowed to flow into the container at a high speed (for example, 1 to 10 m / s), or has a stirring blade in the container. Various things can be used, such as a mixer that causes turbulence of flow due to the interior provided in the container.

混合器40には、ガス源24から、ガス(例えば、空気)を、バルブV2を介して供給する。混合後の混合ガス中のミスト濃度は、0.0001〜0.01g/Lが好ましい。   Gas (for example, air) is supplied to the mixer 40 from the gas source 24 via the valve V2. The mist concentration in the mixed gas after mixing is preferably 0.0001 to 0.01 g / L.

ガス供給源14,24のガスは特に限定されないが、経済性の点で、空気が好ましい。ガス供給源14,24のガスは互いに同一でもよいが異なっていてもよい。
また、ガス供給源14,24のガスの温度は0〜50℃であることが好ましく、0〜30℃であることがより好ましい。
The gas of the gas supply sources 14 and 24 is not particularly limited, but air is preferable from the viewpoint of economy. The gases of the gas supply sources 14, 24 may be the same as each other or different from each other.
Moreover, it is preferable that the temperature of the gas of the gas supply sources 14 and 24 is 0-50 degreeC, and it is more preferable that it is 0-30 degreeC.

粒子濃度検出部200は、ハニカムフィルタ100の複数の流路110の他端(図2の上端)から排出されるガスに向けてレーザーシート(レーザ光)LSを照射する第1の光源210Aと、ハニカムフィルタ100に対する向きが第1の光源210Aと異なるレーザーシート(レーザ光)を照射する第2の光源210Bとを有し、さらに、レーザーシートLSを撮影するカメラ220、カメラ220が取得した画像を解析するコンピュータ230を備える。   The particle concentration detection unit 200 includes a first light source 210A that irradiates a laser sheet (laser light) LS toward the gas discharged from the other ends (upper ends in FIG. 2) of the plurality of flow paths 110 of the honeycomb filter 100; A second light source 210B that irradiates a laser sheet (laser light) whose orientation with respect to the honeycomb filter 100 is different from that of the first light source 210A, and further, a camera 220 that photographs the laser sheet LS, and an image acquired by the camera 220 A computer 230 for analysis is provided.

第1の光源210Aからのレーザーシート(第1レーザーシート)LSは、図2,3に示すように、ハニカムフィルタ100の複数の流路110が伸びるZ方向に垂直な方向であるXY平面に平行であり且つ図3(a)の左方向(Xのマイナス方向)に向けて照射される。他方、第2の光源210Bからのレーザーシート(第2レーザーシート)LSは、XY平面に平行であり且つ図3(b)の右方向(Xのプラス方向)に向けて照射される。図3(a)は第1の光源210AからレーザーシートLSを照射している状態を示し、図3(b)は第2の光源210BからレーザーシートLSを照射している状態を示す。XY平面は、ハニカムフィルタ100の他端100tと平行な面であり、各レーザーシートLSは、他端100tに沿うように広がる。   As shown in FIGS. 2 and 3, the laser sheet (first laser sheet) LS from the first light source 210A is parallel to the XY plane, which is a direction perpendicular to the Z direction in which the plurality of flow paths 110 of the honeycomb filter 100 extend. And is irradiated in the left direction (the negative direction of X) in FIG. On the other hand, the laser sheet (second laser sheet) LS from the second light source 210B is parallel to the XY plane and irradiated toward the right direction (plus direction of X) in FIG. 3A shows a state in which the laser sheet LS is irradiated from the first light source 210A, and FIG. 3B shows a state in which the laser sheet LS is irradiated from the second light source 210B. The XY plane is a plane parallel to the other end 100t of the honeycomb filter 100, and each laser sheet LS spreads along the other end 100t.

ここでは、図3に示すように、第1の光源210A及び第2の光源210Bが互いに対向する位置に設けられた場合、すなわち、これらの光源からのレーザーシートの向きのなす角度が180°である場合を例示したが、第1の光源210Aの照射方向と、第2の光源210Bの照射方向のなす角度は、レーザーシートLSに対して垂直なZ軸方向から見て、160〜200°の範囲とすることができる。なお、図3に示すように、レーザーシートLSが扇状に照射される光源を使用する場合は、「レーザーシートの向き」とは、レーザーシートの中心(軸)の向き(図3の矢印Da,Db参照)を意味する。   Here, as shown in FIG. 3, when the first light source 210A and the second light source 210B are provided at positions facing each other, that is, the angle formed by the orientation of the laser sheet from these light sources is 180 °. As an example, the angle formed by the irradiation direction of the first light source 210A and the irradiation direction of the second light source 210B is 160 to 200 ° when viewed from the Z-axis direction perpendicular to the laser sheet LS. It can be a range. In addition, as shown in FIG. 3, when using the light source with which the laser sheet LS is irradiated in a fan shape, “the direction of the laser sheet” means the direction of the center (axis) of the laser sheet (the arrows Da, Db).

カメラ220は、レーザーシートLSに対して垂直な方向(Z方向)から、レーザーシートLSの内のハニカムフィルタ100の上端面110tとの対向部を撮影する。カメラ220が撮影する画像の視野FVを図3に示す。カメラ220の撮影タイミングや、光源210A,210Bの点灯/消灯のタイミングは、カメラ及び光源210A,210Bに接続されたコントローラにより行うことができる。   The camera 220 photographs a portion of the laser sheet LS facing the upper end surface 110t of the honeycomb filter 100 from a direction perpendicular to the laser sheet LS (Z direction). A field of view FV of an image captured by the camera 220 is shown in FIG. The shooting timing of the camera 220 and the timing of turning on / off the light sources 210A and 210B can be performed by a controller connected to the camera and the light sources 210A and 210B.

コンピュータ230は、カメラ220が撮影した画像を画像解析し、粒子が排出されている部分を検出する。例えば、画像から所定のしきい値に比べて明るい部分を抽出し、この部分を粒子が排出された場所とすればよい。ただし、ハニカムフィルタ100の外径が比較的大きい場合、第1の光源210Aの使用時には図4の(a)に示すように、ハニカムフィルタ100の他端面110tの周縁部であって第1の光源210Aから離れた箇所Raがミストの発光によって明るく照らされ、欠陥箇所と誤認識されやすい。他方、第2の光源210Bの使用時には図4の(b)に示すように、ハニカムフィルタ100の他端面110tの周縁部であって第2の光源210Bから離れた箇所Rbがミストの発光によって明るく照らされ、欠陥箇所と誤認識されやすい。   The computer 230 analyzes an image captured by the camera 220 and detects a portion where particles are discharged. For example, a portion brighter than a predetermined threshold value may be extracted from the image, and this portion may be set as a place where particles are discharged. However, when the outer diameter of the honeycomb filter 100 is relatively large, as shown in FIG. 4A when the first light source 210A is used, the first light source is located at the peripheral edge of the other end face 110t of the honeycomb filter 100. A location Ra away from 210A is brightly illuminated by light emission from the mist, and is easily mistaken for a defective location. On the other hand, when the second light source 210B is used, as shown in FIG. 4B, the peripheral portion Rb of the other end surface 110t of the honeycomb filter 100 and the portion Rb away from the second light source 210B is brightened by the emission of mist. It is illuminated and easily misidentified as a defective part.

コンピュータ230は、第1の光源210Aの使用時に取得した画像(第1画像)及び第2の光源210Bの使用時に取得した画像(第2画像)を合成することにより全体として精度の高い画像データ(濃度分布データ)を取得する。より具体的には、各画像データのうち、レーザ光の光源からの距離が近い箇所(図4(a)における領域(第1部分)Ta及び図4(b)における領域(第2部分)Tb)のデータをそれぞれ採用し、これらを合成することにより全体として精度の高い画像データが得られる(図4(c)参照)。   The computer 230 synthesizes an image (first image) acquired when the first light source 210A is used (first image) and an image (second image) acquired when the second light source 210B is used, so that image data with high accuracy as a whole ( Density distribution data). More specifically, in each of the image data, a location where the distance from the light source of the laser beam is short (a region (first portion) Ta in FIG. 4A and a region (second portion) Tb in FIG. 4B). ) And by combining these, image data with high accuracy can be obtained as a whole (see FIG. 4C).

なお、本装置からは、ミストを含むガスが排出されるため、これらのガスを捕集して、外部に排気する排気手段を設けることが好ましい。   Since gas containing mist is discharged from this apparatus, it is preferable to provide exhaust means for collecting these gases and exhausting them to the outside.

続いて、上述の検査装置400を使用したハニカムフィルタ100の検査方法について説明する。ここでは、一例として、図2に示すように、ハニカムフィルタ100の隔壁112には、欠陥として、上端が封口された流路110xと、下端が封口された流路110yとを連通させる孔hがあるものとする。   Next, an inspection method for the honeycomb filter 100 using the above-described inspection apparatus 400 will be described. Here, as an example, as shown in FIG. 2, the partition wall 112 of the honeycomb filter 100 has, as a defect, a hole h that communicates the flow path 110x with the upper end sealed and the flow path 110y with the lower end sealed. It shall be.

まず、保持部53をハニカムフィルタ100の下部に装着する。そして、バルブV1を開放すると共に、ポンプP12を駆動して、二流体ノズル20から、ミストを含むガスを発生させる。発生したミストを含むガスは、配管30を介して混合器40に供給される。続いて、バルブV2を調節して、ガス源24からのガスを、ラインL3を介して混合器40に供給する。これにより、混合器40内で、配管30からのミストを含むガスと、ラインL3からのガスとが混合し、ミストの濃度の均一性の高い混合ガスが得られる。そして、この混合ガスは、ミスト供給路54を介してハニカムフィルタ100に供給される(供給工程)。これにより、ハニカムフィルタ100の複数の流路110の上端110tからガスが流出する。このとき、ハニカムフィルタ100の複数の流路110の上端110tの近傍においては、雰囲気ガスの流れが殆ど無い状態、例えば、流速1m/s以下としておくことが好ましい。また、実験の容易さから、雰囲気ガスの温度は0〜30℃であることが好ましい。雰囲気ガスは空気であることが好ましい。   First, the holding part 53 is attached to the lower part of the honeycomb filter 100. And while opening valve | bulb V1, the pump P12 is driven and the gas containing mist is generated from the two-fluid nozzle 20. FIG. The generated gas containing mist is supplied to the mixer 40 via the pipe 30. Subsequently, the valve V2 is adjusted to supply the gas from the gas source 24 to the mixer 40 via the line L3. Thereby, in the mixer 40, the gas containing the mist from the piping 30 and the gas from the line L3 mix, and the mixed gas with the high uniformity of the mist density | concentration is obtained. And this mixed gas is supplied to the honey-comb filter 100 via the mist supply path 54 (supply process). Thereby, gas flows out from the upper ends 110t of the plurality of flow paths 110 of the honeycomb filter 100. At this time, in the vicinity of the upper ends 110t of the plurality of flow paths 110 of the honeycomb filter 100, it is preferable that the atmosphere gas hardly flow, for example, the flow rate is 1 m / s or less. Moreover, it is preferable that the temperature of atmospheric gas is 0-30 degreeC from the ease of experiment. The atmospheric gas is preferably air.

そして、流路110間に図2に示すような孔hが存在する場合、流路110x、孔h、及び、流路110yによって複数の流路110の上端110tと下端110bとを結ぶ流路が形成されるため、矢印Gに示すように、当該欠陥がある流路110yの上端から、ミストを含む混合ガスが他の流路110に比べて高い流量や流速で集中的に流出する。封口部114が欠落している場合や、封口部114と流路110との間に隙間が生じている等の欠陥がある場合も同様にミストを含む混合ガスが集中的に流出する。したがって、このような流路110yの上方では、他の部分と比べて、ミストの濃度が相対的に高くなる。   And when the hole h as shown in FIG. 2 exists between the flow paths 110, the flow path which connects the upper end 110t and the lower end 110b of the some flow path 110 by the flow path 110x, the hole h, and the flow path 110y. Therefore, as shown by the arrow G, the mixed gas containing mist flows out from the upper end of the defective flow path 110y intensively at a higher flow rate and flow velocity than the other flow paths 110. Similarly, when the sealing part 114 is missing or when there is a defect such as a gap between the sealing part 114 and the flow path 110, the mixed gas containing mist flows out in a concentrated manner. Therefore, above such a flow path 110y, the concentration of mist is relatively higher than in other portions.

次に、第1の光源210Aからレーザーシート(第1レーザーシート)LSを照射し、照射した状態下でハニカムフィルタ100の他端面110tを含む画像を取得する(第1の画像取得工程)。ハニカムフィルタ100の上端から流出するガスにミストの濃度の不均一がある場合、第1の光源210Aから照射されたレーザーシートLSは濃度の高い部分を通過する際に散乱し、カメラ220が撮影する画像において相対的に明るい領域R1(図4の(a)参照)となって現れる。この明るい部分の有無により、粒子の濃度のムラを検出する。   Next, a laser sheet (first laser sheet) LS is irradiated from the first light source 210A, and an image including the other end face 110t of the honeycomb filter 100 is acquired under the irradiated state (first image acquisition step). When the gas flowing out from the upper end of the honeycomb filter 100 has non-uniform mist concentration, the laser sheet LS irradiated from the first light source 210A is scattered when passing through the high concentration portion, and the camera 220 takes an image. It appears as a relatively bright region R1 (see FIG. 4A) in the image. Based on the presence or absence of this bright part, the density unevenness of the particles is detected.

ただし、ハニカムフィルタ100の外径が比較的大きい場合、欠陥のある箇所が第1の光源210Aから比較的離れているため、領域R1は十分に明るくない場合がある。また、上述のとおり、図4の(a)に示すように、第1の光源210Aの使用時にはハニカムフィルタ100の他端面110tの周縁部であって第1の光源210Aから離れた箇所Raが明るく光り、欠陥箇所と誤認識されやすい。   However, when the outer diameter of the honeycomb filter 100 is relatively large, the region R1 may not be sufficiently bright because the defective portion is relatively far from the first light source 210A. Also, as described above, as shown in FIG. 4A, when the first light source 210A is used, the peripheral portion Ra of the other end face 110t of the honeycomb filter 100 and the portion Ra away from the first light source 210A is bright. It is easy to misrecognize as a defective part.

続いて、第1の光源210AからレーザーシートLSを照射するのを停止し、次に第2の光源210Bからレーザーシート(第2レーザーシート)LSを照射し、上述と同様にしてカメラ220でハニカムフィルタ100の他端面110tを含む画像を取得する(第2の画像取得工程)。また、上述と同様にして、レーザ光の散乱による明るい部分の有無により、粒子の濃度のムラを検出する。欠陥のある箇所が第2の光源210Bに比較的近いため、第1の光源210Aによる領域R1と比較して領域R2はより明るい光として観測される。ただし、図4(b)に示すように、第2の光源210Bの使用時にはハニカムフィルタ100の他端面110tの周縁部であって第2の光源210Bから離れた箇所Rbが明るく光り、欠陥箇所と誤認識されやすい。   Subsequently, the irradiation of the laser sheet LS from the first light source 210A is stopped, and then the laser sheet (second laser sheet) LS is irradiated from the second light source 210B. An image including the other end surface 110t of the filter 100 is acquired (second image acquisition step). Further, in the same manner as described above, unevenness in the concentration of particles is detected based on the presence or absence of a bright portion due to scattering of laser light. Since the defective portion is relatively close to the second light source 210B, the region R2 is observed as brighter light than the region R1 formed by the first light source 210A. However, as shown in FIG. 4 (b), when the second light source 210B is used, the peripheral portion Rb of the other end surface 110t of the honeycomb filter 100 and the portion Rb away from the second light source 210B shines brightly, Easily misunderstood.

上記のようにして得られた2つの画像データ(図4(a)及び(b))をコンピュータ230で処理する(データ処理工程)。データ処理工程を実施することにより精度の高い画像データ(図4(c))が得られる。これにより、図4(c)に示すように、合成された画像において、明るく光る領域R2に欠陥があり、その他の箇所には欠陥がないと判断することができる。   Two image data (FIGS. 4A and 4B) obtained as described above are processed by the computer 230 (data processing step). By performing the data processing step, highly accurate image data (FIG. 4C) is obtained. Thereby, as shown in FIG.4 (c), it can be judged that there exists a defect in the area | region R2 which shines brightly in the synthesized image, and there is no defect in other locations.

なお、流路110間を連通する等の欠陥が無い場合には、図2の矢印Hに示すように、混合ガスは多孔体である隔壁112をそれぞれ通過して上端出口から流出する。この際、混合ガス中のミストは、ミストの径や隔壁112の空孔のサイズ等に応じて、全部捕集されたり、一部が捕集されたり、まったく捕集されない場合があるが、いずれにしても、各流路110の上端から流出するガスの流速や流量は互いにほぼ均一であり、したがって、流路110の上端110tの上でミストの濃度の不均一は起こりにくい。   When there is no defect such as communication between the channels 110, the mixed gas flows through the partition walls 112, which are porous bodies, and flows out from the upper end outlet, as indicated by an arrow H in FIG. At this time, the mist in the mixed gas may be collected entirely, partially collected, or not collected at all depending on the diameter of the mist, the size of the pores of the partition 112, etc. Even so, the flow rates and flow rates of the gas flowing out from the upper ends of the respective flow paths 110 are substantially uniform with each other, and therefore, mist concentration non-uniformity hardly occurs on the upper ends 110 t of the flow paths 110.

本実施形態によれば、流路110から流出するガス中の粒子の濃度分布を検出することにより、流路の欠陥の有無や場所を容易に検出できる。特に、本実施形態では、2つの光源210A,210Bを用いて2つの画像データを取得できるため、これらの画像データを合成することにより、より精度の高い検査を行うことができる。検査の精度をさらに向上させるため、第1の検出工程及び第2の検出工程の組み合わせを複数回実施してもよいし、複数回の第1の検査工程を実施した後、複数回の第2の検査工程を実施してもよい。   According to this embodiment, by detecting the concentration distribution of particles in the gas flowing out from the flow path 110, the presence or absence and location of the flow path can be easily detected. In particular, in the present embodiment, two image data can be acquired using the two light sources 210A and 210B. Therefore, by combining these image data, a more accurate inspection can be performed. In order to further improve the accuracy of the inspection, the combination of the first detection step and the second detection step may be performed a plurality of times, or after a plurality of times of the first inspection step, a plurality of times of the second detection step. The inspection step may be performed.

本実施形態に係る検査方法をハニカムフィルタ100の製造過程に組み込んでもよい。すなわち、ハニカムフィルタ100の製造方法は、上述の押出工程、封口工程及び焼成工程に加え、さらに、本実施形態に係る検査方法によりハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程、及び、検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程を備えてもよい。選別工程を実施することで、欠陥が検出されないハニカムフィルタを次工程に送出したり、最終製品としたりすることができる。   The inspection method according to the present embodiment may be incorporated into the manufacturing process of the honeycomb filter 100. That is, the manufacturing method of the honeycomb filter 100 includes, in addition to the above-described extrusion process, sealing process, and firing process, a detection process for detecting defects in the honeycomb filter by the inspection method according to the present embodiment, and defects in the detection process. You may provide the sorting process which sorts the honeycomb filter which is not detected. By performing the sorting step, a honeycomb filter in which no defect is detected can be sent to the next step or can be made into a final product.

<第2実施形態>
上記実施形態においては、2つの光源210A,210Bを用いる場合を例示したが、ハニカムフィルタ100をXY平面と平行な面上で回転させる機構を採用すれば、レーザ光源が1つであっても同様に精度の高い検査を実施できる。以下、第2実施形態については、上記第1実施形態と相違する点について主に説明する。
Second Embodiment
In the above embodiment, the case where two light sources 210A and 210B are used is exemplified. However, if a mechanism for rotating the honeycomb filter 100 on a plane parallel to the XY plane is employed, the same applies even if there is only one laser light source. Highly accurate inspection can be performed. Hereinafter, the second embodiment will be described mainly with respect to differences from the first embodiment.

図5に示す検査装置500は、第2の光源210Bを具備しない代わりに、ミスト供給路54の途中にジョイント部(回転機構)54aが設けられており、ジョイント部54aよりも上方のミスト供給路54及び保持部53がハニカムフィルタ100と共に回転するようになっている。図5に示すように、ハニカムフィルタ100はZ方向と平行な中心軸、すなわち、ハニカムフィルタの軸を中心にして自在に回転する。なお、ミスト供給路54をフレキシブルなチューブで構成した場合、必ずしもジョイント部54aを設けなくてもよい。本実施形態は、ハニカムフィルタ100を、ジョイント部54aを軸として回転させるモータを有することができる。   The inspection apparatus 500 shown in FIG. 5 is provided with a joint (rotation mechanism) 54a in the middle of the mist supply path 54 instead of having the second light source 210B, and the mist supply path above the joint 54a. 54 and the holding part 53 rotate together with the honeycomb filter 100. As shown in FIG. 5, the honeycomb filter 100 freely rotates around a central axis parallel to the Z direction, that is, the axis of the honeycomb filter. In addition, when the mist supply path 54 is comprised with a flexible tube, it is not necessary to necessarily provide the joint part 54a. The present embodiment can include a motor that rotates the honeycomb filter 100 about the joint portion 54a.

検査装置500を用いてハニカムフィルタ100の欠陥を検査するには、上述の検査装置400と同様、供給工程及び光源210Aからレーザーシート(第1レーザーシート)LSを照射し、他端面110tの画像を取得して第1の画像取得工程を実施した後、ハニカムフィルタ100に対する光源210Aからのレーザ光の向きが第1の検出工程と異なる向きとなるようにハニカムフィルタ100を180°回転させ、再度、光源210Aからレーザーシート(第2レーザーシート)LSを照射し、他端面110tの画像を撮影して第2の画像取得工程を実施すればよい。なお、ハニカムフィルタ100を回転させる角度は160〜200°の範囲であればよい。カメラ220の撮影タイミング、光源210Aの点灯/消灯のタイミング、及び、モータの駆動タイミングは、これらに接続されたコントローラにより行うことができる。   In order to inspect defects in the honeycomb filter 100 using the inspection apparatus 500, similarly to the above-described inspection apparatus 400, a laser sheet (first laser sheet) LS is irradiated from the supply step and the light source 210A, and an image of the other end face 110t is obtained. After acquiring and performing the first image acquisition step, the honeycomb filter 100 is rotated 180 ° so that the direction of the laser light from the light source 210A with respect to the honeycomb filter 100 is different from the first detection step, and again, The second image acquisition process may be performed by irradiating a laser sheet (second laser sheet) LS from the light source 210A and taking an image of the other end face 110t. In addition, the angle which rotates the honey-comb filter 100 should just be the range of 160-200 degrees. The shooting timing of the camera 220, the timing of turning on / off the light source 210A, and the driving timing of the motor can be performed by a controller connected thereto.

本実施形態では、ハニカムフィルタ100を回転させることで、1つの光源210Aを用いて複数の画像データを取得できる。これらの画像データを合成することにより、より精度の高い検査を行うことができる。上述の第1実施形態と同様、本実施形態に係る検査方法をハニカムフィルタ100の製造過程に組み込んでもよい。
<第3実施形態>
続いて、本発明の第3実施形態にかかる方法を、図6を参照して説明する。本実施形態が、第1実施形態と異なる点は、図6の(a)に示すように、粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給した後、ハニカムフィルタ100の他端面から排出されるガスに、第1レーザーシートLS1及び第2レーザーシートLS2が照射された状態下、ハニカムフィルタの他端面110tを含む画像を取得する点である。
第1レーザーシートLS1は、第1の光源210Aから照射され、他端面に沿うように広がる。第2レーザーシートは、第2の光源210Bから照射され、他端面に沿うように広がる。第1レーザーシートLS1の向きと前記第2レーザーシートLS2の向きは互いに異なる。
レーザーシートLS1及びLS2を照射した状態下でのカメラの撮影は、光源210A、210B及びカメラを制御するコントローラなどにより自動的に行うことができる。
本実施形態によれば、得られた画像においては、図6の(b)に示すように、2つのレーザーシートLS1,LS2によって散乱を受けるため、欠陥hなどの存在により粒子が漏れている領域R3は特に明るい光として観測される。従って、この領域R3は、概ね1つのレーザーシートにより散乱されたRa及びRbから容易に判別できる。したがって、本実施形態でも、欠陥部分を精度良く判断でできる。
In the present embodiment, by rotating the honeycomb filter 100, a plurality of image data can be acquired using one light source 210A. By combining these image data, a more accurate inspection can be performed. Similar to the first embodiment described above, the inspection method according to this embodiment may be incorporated into the manufacturing process of the honeycomb filter 100.
<Third Embodiment>
Next, a method according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. This embodiment is different from the first embodiment in that, as shown in FIG. 6 (a), a gas containing particles is supplied to one end face of the honeycomb filter and then discharged from the other end face of the honeycomb filter 100. The point is that an image including the other end face 110t of the honeycomb filter is acquired in a state where the first laser sheet LS1 and the second laser sheet LS2 are irradiated to the gas.
The first laser sheet LS1 is irradiated from the first light source 210A and spreads along the other end surface. The second laser sheet is irradiated from the second light source 210B and spreads along the other end surface. The direction of the first laser sheet LS1 and the direction of the second laser sheet LS2 are different from each other.
The photographing of the camera under the irradiation of the laser sheets LS1 and LS2 can be automatically performed by the light sources 210A and 210B and a controller that controls the camera.
According to the present embodiment, the obtained image is scattered by the two laser sheets LS1 and LS2, as shown in FIG. R3 is observed as particularly bright light. Accordingly, the region R3 can be easily distinguished from Ra and Rb scattered by one laser sheet. Therefore, also in this embodiment, the defective portion can be determined with high accuracy.

以上、本発明の好適な実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されずさまざまな変形態様が可能である。
例えば、上記実施形態では、ミストの生成方法として二流体ノズルを採用しているがこれに限られず、例えば、他のノズルを使用してもよいし、また、水とドライアイスとを混合することによりミストを生成してもよく、グリコール系アルコール(例えば、プロピレングリコール)のミストを使用してもよい。また、上記実施形態では、粒子としてミスト、すなわち、液体の粒子を採用しているがこれに限定されず、カーボンブラック等の固体粒子を用いても実施は可能である。
The preferred embodiments of the present invention have been described in detail above. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made.
For example, in the above embodiment, a two-fluid nozzle is adopted as a method for generating mist, but the present invention is not limited to this. For example, other nozzles may be used, and water and dry ice are mixed. A mist may be produced by the use of a glycol alcohol (for example, propylene glycol). In the above embodiment, mist, that is, liquid particles are employed as the particles. However, the present invention is not limited to this, and the present invention can also be implemented using solid particles such as carbon black.

また、レーザーシートの方向や、カメラの方向も、上記実施形態の態様に限定されるものではない。   Further, the direction of the laser sheet and the direction of the camera are not limited to the above embodiment.

また、上記実施形態では、雰囲気ガスが空気であるが、他のガスを雰囲気ガスとしてもよいことは言うまでも無い。   Moreover, in the said embodiment, although atmospheric gas is air, it cannot be overemphasized that other gas may be used as atmospheric gas.

また、上記実施形態では、ハニカムフィルタ100の流路110が上下方向に配置されているが、水平方向等、いずれの方向を向いても実施可能である。   Moreover, in the said embodiment, although the flow path 110 of the honey-comb filter 100 is arrange | positioned at the up-down direction, it can implement in any direction, such as a horizontal direction.

また、上記実施形態では、流路110の断面形状は、略正方形であるがこれに限定されず、矩形、円形、楕円形、3角形、6角形、8角形等にすることができる。また、流路110には、径の異なるもの、断面形状の異なるものが混在してもよい。また、流路の配置も、図1では正方形配置であるが、これに限定されず、断面において流路の中心軸が正三角形の頂点に配置される正三角形配置、流路の断面が矩形や正方形の場合には千鳥配置等にすることができる。さらに、ハニカムフィルタの外形も、円柱に限られず、例えば、楕円柱、3角柱、4角柱、6角柱、8角柱等とすることができる。   Moreover, in the said embodiment, although the cross-sectional shape of the flow path 110 is substantially square, it is not limited to this, It can be made into a rectangle, a circle, an ellipse, a triangle, a hexagon, an octagon, etc. Moreover, in the flow path 110, those with different diameters and those with different cross-sectional shapes may be mixed. In addition, although the arrangement of the channels is a square arrangement in FIG. 1, the arrangement is not limited to this, and the equilateral triangle arrangement in which the central axis of the channel is arranged at the apex of the equilateral triangle in the cross section, In the case of a square, a staggered arrangement can be used. Further, the outer shape of the honeycomb filter is not limited to a cylindrical shape, and may be, for example, an elliptical column, a triangular column, a quadrangular column, a hexagonal column, an octagonal column, or the like.

また、上記実施形態では、ハニカムフィルタは、隔壁が多孔質である焼成体であるが、焼成前であり非多孔質のグリーン体でも実施は可能である。この場合、欠陥の無い流路からのガスの流出は無い。   In the above-described embodiment, the honeycomb filter is a fired body in which the partition walls are porous. However, the honeycomb filter can also be implemented in a non-porous green body before firing. In this case, there is no outflow of gas from the channel without defects.

また、上記実施形態では、カメラ220により得られた画像に基づいて、コンピュータによって、粒子の有無を判断しているが、人手によって明るい点の有無や位置を判断してもよい。   In the above embodiment, the presence / absence of particles is determined by a computer based on an image obtained by the camera 220, but the presence / absence and position of a bright spot may be determined manually.

53…保持部、54…ミスト供給路、54a…ジョイント部(回転機構)、100…ハニカムフィルタ、100b…ハニカムフィルタの一方面、100t…ハニカムフィルタの他端面、110b…ハニカムフィルタの下端(一端面)、110t…上端(他端面)、200…粒子濃度検出部、210A…第1の光源、210B…第2の光源、400,500…検査装置、LS…レーザーシート(レーザ光)、P…ミスト(粒子)。 53 ... Holding part, 54 ... Mist supply path, 54a ... Joint part (rotating mechanism), 100 ... Honeycomb filter, 100b ... One side of the honeycomb filter, 100t ... The other end face of the honeycomb filter, 110b ... Lower end (one end face) of the honeycomb filter ), 110t ... upper end (other end surface), 200 ... particle concentration detector, 210A ... first light source, 210B ... second light source, 400, 500 ... inspection device, LS ... laser sheet (laser light), P ... mist (particle).

Claims (14)

ハニカムフィルタの欠陥の検査方法であって、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートが照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む第1画像を取得する第1の画像取得工程と、
前記第1の画像取得工程の後に、前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに当該他端面に沿うように広がる第2レーザーシートが前記第1レーザーシートと異なる向きに照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む第2画像を取得する第2の画像取得工程と、を備える検査方法。
A method for inspecting a honeycomb filter for defects,
Supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A first image for acquiring a first image including the other end face of the honeycomb filter under a state in which a gas discharged from the other end face of the honeycomb filter is irradiated with a first laser sheet that spreads along the other end face. Acquisition process;
After the first image acquisition step, the second laser sheet that spreads along the other end surface of the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter is irradiated in a different direction from the first laser sheet, A second image acquisition step of acquiring a second image including the other end face of the honeycomb filter.
第1の光源から前記第1レーザーシートが照射され、前記第1の光源と異なる第2の光源から前記第2レーザーシートが照射される、請求項1に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the first laser sheet is irradiated from a first light source, and the second laser sheet is irradiated from a second light source different from the first light source. 1つの光源から前記第1レーザーシート及び第2レーザーシートが照射され、
前記方法は、さらに、前記第2レーザーシートの向きが前記第1レーザーシートの向きと異なる向きとなるように前記第1の画像取得工程の後、前記第2の画像取得工程の前に前記ハニカムフィルタを回転させる工程を、備える請求項1に記載の方法。
The first laser sheet and the second laser sheet are irradiated from one light source,
The method further includes the honeycomb after the first image acquisition step and before the second image acquisition step so that the direction of the second laser sheet is different from the direction of the first laser sheet. The method of claim 1, comprising rotating the filter.
前記第1画像及び前記第2画像に基づいて、前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断する判断工程をさらに有する請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 3, further comprising a determination step of determining whether or not the honeycomb filter has a defect based on the first image and the second image. 前記判断工程では、前記第1画像における、前記第1レーザーシートの光源に近い第1部分を抽出し、前記第2画像における、前記第2レーザーシートの光源に近い第2部分を抽出し、前記第1部分と前記第2部分とに基づいて前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を判断する請求項4記載の方法。   In the determining step, a first portion of the first image that is close to the light source of the first laser sheet is extracted, and a second portion of the second image that is close to the light source of the second laser sheet is extracted, The method according to claim 4, wherein the presence or absence of a defect in the honeycomb filter is determined based on the first portion and the second portion. ハニカムフィルタの欠陥の検査方法であって、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給工程と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに、前記他端面に沿うように広がる第1レーザーシート及び前記他端面に沿うように広がる第2レーザーシートが、前記第1レーザーシートの向きと前記第2レーザーシートの向きが互いに異なるように照射された状態下、前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を取得する画像取得工程と、を備える検査方法。
A method for inspecting a honeycomb filter for defects,
Supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
The first laser sheet that spreads along the other end surface and the second laser sheet that spreads along the other end surface of the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter are oriented in the direction of the first laser sheet and the first laser sheet. 2. An inspection method comprising: an image acquisition step of acquiring an image including the other end face of the honeycomb filter under a state where the two laser sheets are irradiated in different directions.
前記第1レーザーシートの向きと前記第2レーザーシートの向きとのなす角度は160〜200°である、請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 6, wherein an angle formed by an orientation of the first laser sheet and an orientation of the second laser sheet is 160 to 200 °. 液体及び気体を二流体ノズルに供給することにより前記粒子を生成する請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。   The method according to claim 1, wherein the particles are generated by supplying a liquid and a gas to a two-fluid nozzle. 水とドライアイスとの混合により前記粒子を生成する請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 8, wherein the particles are produced by mixing water and dry ice. 前記ハニカムフィルタの隔壁は多孔質である請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。   The method according to any one of claims 1 to 9, wherein the honeycomb filter partition walls are porous. ハニカムフィルタの欠陥の検査装置であって、
ハニカムフィルタを保持する保持部と、
粒子を含むガスを前記ハニカムフィルタの一端面に供給する供給路と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がる第1レーザーシートを照射する第1の光源と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がる第2レーザーシートを、前記第1レーザーシートと異なる向きに照射する第2の光源と、
前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を取得するカメラと、を備える検査装置。
An inspection device for defects in honeycomb filters,
A holding part for holding the honeycomb filter;
A supply path for supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A first light source that irradiates a first laser sheet that spreads along the other end surface toward the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter;
A second light source that irradiates a second laser sheet that extends along the other end face toward the gas discharged from the other end face of the honeycomb filter in a different direction from the first laser sheet;
A camera that acquires an image including the other end face of the honeycomb filter.
ハニカムフィルタの欠陥の検査装置であって、
ハニカムフィルタを保持すると共に、前記ハニカムフィルタの中心軸を中心として前記ハニカムフィルタを回転させる回転機構と、
粒子を含むガスをハニカムフィルタの一端面に供給する供給路と、
前記ハニカムフィルタの他端面から排出されるガスに向けて当該他端面に沿うように広がるレーザーシートを照射する光源と、
前記ハニカムフィルタの前記他端面を含む画像を取得するカメラと、を備える検査装置。
An inspection device for defects in honeycomb filters,
A rotating mechanism for holding the honeycomb filter and rotating the honeycomb filter about the central axis of the honeycomb filter;
A supply path for supplying a gas containing particles to one end face of the honeycomb filter;
A light source that irradiates a laser sheet that spreads along the other end surface toward the gas discharged from the other end surface of the honeycomb filter;
A camera that acquires an image including the other end face of the honeycomb filter.
前記カメラが取得した複数の画像に基づいて、前記ハニカムフィルタの欠陥の有無を検出する検出部をさらに備える請求項11又は12項記載の装置。   The apparatus according to claim 11 or 12, further comprising a detection unit that detects the presence or absence of a defect in the honeycomb filter based on a plurality of images acquired by the camera. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法により、ハニカムフィルタの欠陥を検出する検出工程と、
前記検出工程において欠陥が検出されないハニカムフィルタを選別する選別工程と、を備えるハニカムフィルタの製造方法。
A detection step of detecting defects in the honeycomb filter by the method according to any one of claims 1 to 10,
And a sorting step of sorting out the honeycomb filter in which no defect is detected in the detection step.
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