JP2012184962A - 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 - Google Patents
分光特性測定装置及び分光特性測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012184962A JP2012184962A JP2011046873A JP2011046873A JP2012184962A JP 2012184962 A JP2012184962 A JP 2012184962A JP 2011046873 A JP2011046873 A JP 2011046873A JP 2011046873 A JP2011046873 A JP 2011046873A JP 2012184962 A JP2012184962 A JP 2012184962A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- path length
- optical path
- length difference
- reflected
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Abstract
【解決手段】本発明の分光特性測定装置は、被測定物Sの測定点から発せられた光を対物レンズ2によって固定ミラー部161、可動ミラー部162に導き、これらミラー部161、162によって反射された光を結像レンズ18によって同一点に導く。制御部22は可動ミラー部162を繰り返し移動、停止させて固定ミラー部161、可動ミラー部161によって反射された光の光路長差を間欠的に伸縮させる。処理部24は、前記可動ミラー部162が各停止位置にあるときに同一点に導かれた光の強度を検出し、これら光強度とそのときの光路長差の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、この光強度に基づきインターフェログラムを作成する。
【選択図】図1
Description
被測定物の測定点から発せられた光を第1反射部と第2反射部に導く分割光学系と、
前記第1反射部によって反射された第1反射光及び前記第2反射部によって反射された第2反射光を同一点に導く結像光学系と、
前記第1反射部を繰り返し移動、停止させることにより前記第1反射光と前記第2反射光の光路長差を間欠的に伸縮する光路長差伸縮手段と、
前記結像光学系によって同一点に導かれた光の強度を検出する光検出部と、
前記光路長差伸縮手段によって前記光路長差を伸縮させつつ前記第1反射部が各停止位置にあるときの前記光強度を前記光検出部で検出して前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えた分光特性測定装置において、
さらに、前記第1反射部の各停止位置における前記光路長差を検出する光路長差検出部を備え、
前記処理部が、複数の停止位置における前記光路長差と前記光強度の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、これら光強度に基づきインターフェログラムを作成することを特徴とする。
被測定物の測定点から発せられた光を分割光学系によって第1反射部と第2反射部に導き、
前記第1反射部を繰り返し移動、停止させることにより、該第1反射部によって反射された第1反射光及び前記第2反射部によって反射された第2反射光の間の光路長差を間欠的に伸縮させつつ該第1反射光及び該第2反射光を結像光学系によって同一点に導き、
前記第1反射部が各停止位置にあるときの前記光路長差及びそのとき前記結像光学系によって同一点に導かれた光の強度を求め、
複数の停止位置の前記光路長差及び前記光強度の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度データを求め、
これら光強度変化データからインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得することを特徴とする。
尚、複数の等間隔の光路長差における結像強度データの全てを補間処理によって求めても良いが、一部を実測データとし、残りのデータを補間処理によって求めても良い。
このようなデータ補間処理によって得られた、複数の等間隔の光路長差における結像強度データから作成されるインターフェログラムを図6に示す。
を行っても本願特許請求の範囲に包含される。
12…対物レンズ
14…ビームスプリッタ
16…位相シフター
161…固定ミラー部
162…可動ミラー部
163…駆動機構
17…位置検出部
18…結像レンズ
20…光検出部
22…処理部
24…制御部
Claims (3)
- 被測定物の測定点から発せられた光を第1反射部と第2反射部に導く分割光学系と、
前記第1反射部によって反射された第1反射光及び前記第2反射部によって反射された第2反射光を同一点に導く結像光学系と、
前記第1反射部を繰り返し移動、停止させることにより前記第1反射光と前記第2反射光の光路長差を間欠的に伸縮する光路長差伸縮手段と、
前記結像光学系によって同一点に導かれた光の強度を検出する光検出部と、
前記光路長差伸縮手段によって光路長差を伸縮させつつ前記第1反射部が各停止位置にあるときの前記光強度を前記光検出部で検出して前記被測定物の測定点のインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得する処理部と
を備えた分光特性測定装置において、
さらに前記第1反射部の各停止位置における前記第1反射光と前記第2反射光の光路長差を検出する光路長差検出部を備え、
前記処理部が、複数の停止位置における前記光路長差と前記光強度の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度を求め、これら光強度に基づきインターフェログラムを作成することを特徴とする分光特性測定装置。 - 前記光路長差伸縮手段が、インパクト駆動アクチュエータを用いて第1反射部を繰り返し移動、停止させるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の分光特性測定装置。
- 被測定物の測定点から発せられた光を分割光学系によって第1反射部と第2反射部に導き、
前記第1反射部を繰り返し移動、停止させることにより、該第1反射部によって反射された第1反射光及び前記第2反射部によって反射された第2反射光の間の光路長差を間欠的に伸縮させつつ該第1反射光及び該第2反射光を結像光学系によって同一点に導き、
前記第1反射部が各停止位置にあるときの前記光路長差及びそのとき前記結像光学系によって同一点に導かれた光の強度を求め、
複数の停止位置の光路長差及び光強度の値から補間して複数の等間隔の光路長差における光強度データを求め、
これら光強度変化データからインターフェログラムを求め、このインターフェログラムをフーリエ変換することによりスペクトルを取得することを特徴とする分光特性測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011046873A JP2012184962A (ja) | 2011-03-03 | 2011-03-03 | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011046873A JP2012184962A (ja) | 2011-03-03 | 2011-03-03 | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012184962A true JP2012184962A (ja) | 2012-09-27 |
Family
ID=47015193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011046873A Pending JP2012184962A (ja) | 2011-03-03 | 2011-03-03 | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2012184962A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108593111A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-28 | 北京航空航天大学 | 时空调制干涉成像光谱仪的运动成像仿真方法及装置 |
WO2019009392A1 (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
US20210132368A1 (en) | 2017-07-06 | 2021-05-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11187872B2 (en) | 2017-07-06 | 2021-11-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11635613B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-04-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11693230B2 (en) | 2017-11-15 | 2023-07-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11733509B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-08-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01189524A (ja) * | 1988-01-23 | 1989-07-28 | Japan Spectroscopic Co | リニアエンコーダ |
JPH05231939A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | ステップスキャンフーリエ変換赤外分光装置 |
JPH06300631A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-10-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | フィゾー型フーリエ分光計測装置 |
JPH0719965A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-20 | Ando Electric Co Ltd | 光波長計 |
JP2000506982A (ja) * | 1996-10-30 | 2000-06-06 | アプライド スペクトラル イメージング リミテッド | 可動物の、干渉計に基づくスペクトル結像方法 |
JP2008051936A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Konica Minolta Opto Inc | 光モジュール装置 |
JP2008309707A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Kagawa Univ | 分光計測装置及び分光計測方法 |
JP2010166754A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-07-29 | Nec Tokin Corp | アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置 |
-
2011
- 2011-03-03 JP JP2011046873A patent/JP2012184962A/ja active Pending
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01189524A (ja) * | 1988-01-23 | 1989-07-28 | Japan Spectroscopic Co | リニアエンコーダ |
JPH05231939A (ja) * | 1992-02-21 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | ステップスキャンフーリエ変換赤外分光装置 |
JPH06300631A (ja) * | 1993-04-16 | 1994-10-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | フィゾー型フーリエ分光計測装置 |
JPH0719965A (ja) * | 1993-06-30 | 1995-01-20 | Ando Electric Co Ltd | 光波長計 |
JP2000506982A (ja) * | 1996-10-30 | 2000-06-06 | アプライド スペクトラル イメージング リミテッド | 可動物の、干渉計に基づくスペクトル結像方法 |
JP2008051936A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Konica Minolta Opto Inc | 光モジュール装置 |
JP2008309707A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Kagawa Univ | 分光計測装置及び分光計測方法 |
JP2010166754A (ja) * | 2009-01-19 | 2010-07-29 | Nec Tokin Corp | アクチュエータおよびそれを用いた位置決め装置 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN7015001041; Kana Yanogawa: '"Modified illumination method for separation of transmitted and scattered light component by the im' Proc. SPIE Vol.7266, 20081117, 72660J-1〜72660J-11 * |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11635613B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-04-25 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
WO2019009392A1 (ja) * | 2017-07-06 | 2019-01-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
JPWO2019009392A1 (ja) * | 2017-07-06 | 2020-05-07 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
US20210132368A1 (en) | 2017-07-06 | 2021-05-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11187872B2 (en) | 2017-07-06 | 2021-11-30 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
JP7174697B2 (ja) | 2017-07-06 | 2022-11-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光学デバイス |
US11681121B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-06-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11733509B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-08-22 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11740452B2 (en) | 2017-07-06 | 2023-08-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11693230B2 (en) | 2017-11-15 | 2023-07-04 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device |
US11906727B2 (en) | 2017-11-15 | 2024-02-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device production method |
US11953675B2 (en) | 2017-11-15 | 2024-04-09 | Hamamatsu Photonics K.K. | Optical device production method |
CN108593111A (zh) * | 2018-05-31 | 2018-09-28 | 北京航空航天大学 | 时空调制干涉成像光谱仪的运动成像仿真方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2012184962A (ja) | 分光特性測定装置及び分光特性測定方法 | |
JP7233745B2 (ja) | ライダーセンシング装置 | |
JP4916573B2 (ja) | 光干渉計測方法および光干渉計測装置 | |
JP6157240B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
JP6508764B2 (ja) | 白色光干渉計光学ヘッドを用いた非接触表面形状測定方法及び装置 | |
JP2012181060A (ja) | 分光特性測定装置及びその校正方法 | |
JP4761817B2 (ja) | 干渉計,フーリエ分光装置 | |
US9091523B2 (en) | Profilometer with partial coherence interferometer adapted for avoiding measurements straddling a null position | |
JP6157241B2 (ja) | 屈折率計測方法、屈折率計測装置および光学素子の製造方法 | |
US20090251708A1 (en) | Fast three-dimensional shape measuring apparatus and method | |
Lee et al. | High precision optical sensors for real-time on-line measurement of straightness and angular errors for smart manufacturing | |
US8497996B2 (en) | Arrangement and method for measuring relative movement | |
US20160123719A1 (en) | Automated re-focusing of interferometric reference mirror | |
WO2014199888A1 (ja) | フーリエ変換型分光計および該分光方法ならびにフーリエ変換型分光計用タイミング生成装置 | |
JP6195459B2 (ja) | 干渉計用可動ミラーの速度制御装置、フーリエ変換分光光度計 | |
CN105890636B (zh) | 采用狭缝平移提高光谱分辨率的光纤光栅解调系统 | |
KR100996294B1 (ko) | 마이켈슨 간섭계를 이용한 익스텐소미터 | |
JP2012184961A (ja) | 分光特性測定装置、その制御方法、及び分光特性測定方法、並びに分光特性測定装置の光路長差伸縮機構 | |
JP6391155B2 (ja) | 絶対角測定装置及び絶対角測定方法 | |
JP6172465B2 (ja) | ステージの位置制御装置及び方法 | |
JP5153120B2 (ja) | フリンジスキャン干渉縞計測方法および干渉計 | |
CN208688648U (zh) | 微结构模态分析声激励频域光学相干层析检测装置 | |
CN110595615B (zh) | 基于压电陶瓷驱动型多光程傅里叶变换高光谱成像装置 | |
JP2010139326A (ja) | 観察装置および観察方法 | |
JP2009145068A (ja) | 表面形状の測定方法および干渉計 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20140228 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140304 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141002 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20141120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150421 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150617 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20151013 |