JP2012095737A - Sterilization system - Google Patents

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JP2012095737A
JP2012095737A JP2010244332A JP2010244332A JP2012095737A JP 2012095737 A JP2012095737 A JP 2012095737A JP 2010244332 A JP2010244332 A JP 2010244332A JP 2010244332 A JP2010244332 A JP 2010244332A JP 2012095737 A JP2012095737 A JP 2012095737A
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JP2010244332A
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Takashi Hiruma
隆治 昼間
Osamu Miyazawa
治 宮澤
Fumito Katsura
史人 桂
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Daikin Industries Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sterilization system for sterilizing a target treatment chamber, which reduces the amount of hydrogen peroxide to be used and to prevent temporal deterioration of components or the like of the sterilization system, while keeping the sterilization effect of the treatment chamber.SOLUTION: The sterilization system includes: an air circulation mechanism (10) which contains a circulation flow channel (11) for connecting an exhaust port (2a) and an air supply port (2b) of the treatment chamber (2) to circulate the air in the treatment chamber (2); a plasma discharge part (21) arranged in the circulation flow channel (11) and performing plasma discharge to generate active species for decomposing bacteria in the air; and a hydrogen peroxide supply part (30) for supplying hydrogen peroxide to the circulation flow channel (11).

Description

本発明は、処理室を滅菌する滅菌システムに関するものである。   The present invention relates to a sterilization system for sterilizing a processing chamber.

従来より、密閉可能な処理室(例えば、医薬品製造室等)に対し、過酸化水素を供給して該処理室内を滅菌処理する滅菌システム(滅菌装置)が知られている。例えば、特許文献1の滅菌装置は、過酸化水素蒸気を発生させる過酸化水素蒸気発生器が設けられた過酸化水素供給通路と、処理室に無菌空気を供給する空気供給通路とを備えている。この滅菌装置では、過酸化水素供給通路から処理室へ過酸化水素蒸気が供給される。その後、空気供給通路から処理室へ無菌空気が導入されて処理室の過酸化水素が分散されることにより、処理室の滅菌処理が行われる。   2. Description of the Related Art Conventionally, a sterilization system (sterilization apparatus) is known that supplies hydrogen peroxide to a sealable processing chamber (for example, a pharmaceutical manufacturing room) to sterilize the processing chamber. For example, the sterilization apparatus of Patent Document 1 includes a hydrogen peroxide supply passage provided with a hydrogen peroxide vapor generator that generates hydrogen peroxide vapor, and an air supply passage that supplies aseptic air to the processing chamber. . In this sterilizer, hydrogen peroxide vapor is supplied from the hydrogen peroxide supply passage to the processing chamber. Thereafter, aseptic air is introduced into the processing chamber from the air supply passage and hydrogen peroxide in the processing chamber is dispersed, so that the processing chamber is sterilized.

特開平10−328276号公報JP-A-10-328276

ところで、過酸化水素で処理室を滅菌する場合、充分な滅菌効果を得るためには、処理室内の空気中の過酸化水素の濃度を数百ppm程度で約2〜3時間維持しなければない。そうなると、比較的大量の過酸化水素水が必要となる。   By the way, when the treatment chamber is sterilized with hydrogen peroxide, in order to obtain a sufficient sterilization effect, the concentration of hydrogen peroxide in the air in the treatment chamber must be maintained at about several hundred ppm for about 2-3 hours. . In that case, a relatively large amount of hydrogen peroxide water is required.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、滅菌対象となる処理室を滅菌する滅菌システムにおいて、処理室の滅菌効果を維持しつつ、過酸化水素水の使用量を低減することである。   The present invention has been made in view of such points, and an object thereof is to reduce the amount of hydrogen peroxide water used while maintaining the sterilization effect of the processing chamber in a sterilization system for sterilizing the processing chamber to be sterilized. It is to reduce.

第1の発明は、滅菌対象となる処理室(2)を滅菌する滅菌システム(1)を対象とし、前記処理室(2)の排気口(2a)と前記処理室(2)の給気口(2b)とを繋ぐ循環流路(11)を含み前記処理室(2)内の空気を循環させる空気循環機構(10)と、前記循環流路(11)に配置されプラズマ放電を行うことにより空気中の菌を分解する活性種を生成するプラズマ放電部(21)と、前記循環流路(11)へ過酸化水素を供給する過酸化水素供給部(30)と、を備えることを特徴とする。   1st invention makes object the sterilization system (1) which sterilizes the processing chamber (2) used as sterilization object, the exhaust port (2a) of the said processing chamber (2), and the air supply port of the said processing chamber (2) An air circulation mechanism (10) that circulates the air in the processing chamber (2) including a circulation channel (11) that connects (2b), and plasma discharge that is arranged in the circulation channel (11) A plasma discharge unit (21) that generates active species that decompose bacteria in the air, and a hydrogen peroxide supply unit (30) that supplies hydrogen peroxide to the circulation channel (11), To do.

第1の発明では、処理室(2)内の空気が循環する循環流路(11)にプラズマ放電部(21)を配置している。プラズマ放電部(21)によりプラズマ放電が行われると反応性の高い活性種(高速電子、イオン、オゾン、OHラジカルなど)が生じる。これらの活性種が空気中の菌と反応することにより空気中の菌が分解される。   In the first invention, the plasma discharge part (21) is arranged in the circulation channel (11) through which the air in the processing chamber (2) circulates. When plasma discharge is performed by the plasma discharge section (21), highly reactive active species (fast electrons, ions, ozone, OH radicals, etc.) are generated. These active species react with the bacteria in the air to decompose the bacteria in the air.

更に、第1の発明では、過酸化水素供給部(30)によって循環流路(11)へ過酸化水素が供給される。この過酸化水素によっても空気中の菌が分解される。更に、過酸化水素は、OHラジカル等と比べると空気中に残留しやすい。従って、過酸化水素は、循環流路(11)や処理室(2)内等、比較的広範囲に亘って供給され、これらの空間中の菌を分解する。   Furthermore, in the first invention, hydrogen peroxide is supplied to the circulation channel (11) by the hydrogen peroxide supply section (30). This hydrogen peroxide also decomposes bacteria in the air. Furthermore, hydrogen peroxide tends to remain in the air as compared with OH radicals and the like. Therefore, hydrogen peroxide is supplied over a relatively wide range, such as in the circulation channel (11) and the processing chamber (2), and decomposes bacteria in these spaces.

第2の発明は、第1の発明において、前記プラズマ放電部(21)は、ストリーマ放電を行うように構成されていることを特徴とする。   According to a second aspect, in the first aspect, the plasma discharge section (21) is configured to perform streamer discharge.

第2の発明では、循環流路(11)を流れる空気中でストリーマ放電が行われる。ストリーマ放電は、他の放電方式(グロー放電やコロナ放電等)と比べて放電範囲が広いため、比較的多くの活性種が生成される。   In the second invention, streamer discharge is performed in the air flowing through the circulation flow path (11). Since streamer discharge has a wider discharge range than other discharge methods (glow discharge, corona discharge, etc.), a relatively large number of active species are generated.

上記第1の発明によれば、滅菌対象となる処理室(2)を滅菌するために、循環流路(11)に過酸化水素を供給するだけでなく、循環流路(11)を流れる空気中でプラズマ放電を行っている。こうすると、過酸化水素のみで処理室(2)を殺菌する場合と比べて処理室(2)内をより清浄に保てる。言いかえれば、過酸化水素の使用量を減らしても、処理室(2)内の清浄度を維持できる。そして、過酸化水素の使用量を減らすことにより、循環流路(11)や処理室(2)内を流れる空気中の湿度も低減できる。従って、例えば処理室(2)の壁部や循環流路(11)を形成するダクト等に水分が付着しこれらの部材が劣化してしまうのを抑制できる。更に、過酸化水素の使用量を低減すると空気中における過酸化水素の濃度が低減するため、処理室(2)や循環流路(11)を形成するダクト等が腐食してしまうのを抑制できる。   According to the first invention, in order to sterilize the processing chamber (2) to be sterilized, not only hydrogen is supplied to the circulation channel (11) but also the air flowing through the circulation channel (11). Plasma discharge is performed in the inside. In this way, the inside of the processing chamber (2) can be kept cleaner compared to the case where the processing chamber (2) is sterilized only with hydrogen peroxide. In other words, even if the amount of hydrogen peroxide used is reduced, the cleanliness in the processing chamber (2) can be maintained. By reducing the amount of hydrogen peroxide used, the humidity in the air flowing through the circulation channel (11) and the processing chamber (2) can also be reduced. Therefore, for example, it is possible to suppress the deterioration of these members due to moisture adhering to the wall of the processing chamber (2), the duct forming the circulation channel (11), or the like. Furthermore, since the concentration of hydrogen peroxide in the air decreases when the amount of hydrogen peroxide used is reduced, it is possible to suppress corrosion of the ducts forming the processing chamber (2) and the circulation channel (11). .

上記第2の発明によれば、ストリーマ放電により多く活性種が生成されるため、空気中の菌をより多く分解できる。   According to the said 2nd invention, since many active species are produced | generated by streamer discharge, more bacteria in the air can be decomposed | disassembled.

図1は、本実施形態に係る滅菌システムの全体構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an overall configuration of a sterilization system according to this embodiment. 図2は、放電部の概略構成を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating a schematic configuration of the discharge unit.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以上の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In addition, the above embodiment is an essentially preferable illustration, Comprising: It does not intend restrict | limiting the range of this invention, its application thing, or its use.

−全体構成−
本実施形態に係る滅菌システム(1)は、薬品の生産ライン等が設置された密閉状の処理室(2)を滅菌するためのものである。処理室(2)内は比較的高い清浄度で保たれているものの、例えば処理室(2)内に作業員が出入りする際などに、外部から菌などが侵入する場合がある。これに対して、滅菌システム(1)を用いることにより、処理室(2)内に流入する菌を分解できる。この滅菌システム(1)は、図1に示すように、空気循環機構(10)と、空気浄化部(20)と、過酸化水素供給部(30)とを備えている。
-Overall configuration-
The sterilization system (1) according to this embodiment is for sterilizing a sealed processing chamber (2) in which a chemical production line or the like is installed. Although the inside of the processing chamber (2) is kept at a relatively high cleanliness, for example, when an operator enters or leaves the processing chamber (2), bacteria or the like may enter from the outside. On the other hand, by using the sterilization system (1), the bacteria flowing into the processing chamber (2) can be decomposed. As shown in FIG. 1, the sterilization system (1) includes an air circulation mechanism (10), an air purification unit (20), and a hydrogen peroxide supply unit (30).

空気循環機構(10)は、循環流路(11)と、ファン(12)とを備えている。循環流路(11)は、例えばステンレスの鋼管等で形成されている。循環流路(11)の始端は、処理室(2)の排気口(2a)に繋がり、終端は処理室(2)の給気口(2b)に繋がっている。これらの排気口(2a)及び給気口(2b)には、HEPAフィルタ(High Efficiency Particulate Air フィルタ、図示省略)が取り付けられている。ファン(12)は、循環流路(11)に配置されている。ファン(12)は、循環流路(11)の始端側から終端側の方向(図1の太矢印方向)へ空気を搬送する搬送機構を構成している。   The air circulation mechanism (10) includes a circulation channel (11) and a fan (12). The circulation channel (11) is formed of, for example, a stainless steel pipe. The starting end of the circulation channel (11) is connected to the exhaust port (2a) of the processing chamber (2), and the end is connected to the air supply port (2b) of the processing chamber (2). A HEPA filter (High Efficiency Particulate Air filter, not shown) is attached to the exhaust port (2a) and the air supply port (2b). The fan (12) is disposed in the circulation channel (11). The fan (12) constitutes a transport mechanism that transports air from the start end side to the end end side (thick arrow direction in FIG. 1) of the circulation flow path (11).

空気浄化部(20)は、放電部(21)と、触媒フィルタ(22)とを備えている。放電部(21)及び触媒フィルタ(22)は、循環流路(11)を流れる空気の上流側から下流側へ向かって、放電部(21)、触媒フィルタ(22)の順に配置されている。   The air purification unit (20) includes a discharge unit (21) and a catalyst filter (22). The discharge part (21) and the catalyst filter (22) are arranged in the order of the discharge part (21) and the catalyst filter (22) from the upstream side to the downstream side of the air flowing through the circulation channel (11).

放電部(21)は、図2に示すように、放電電極(23)と、該放電電極(23)に対向する対向電極(24)と、放電電極(23)と対向電極(24)との間に電圧を印加する電源部(25)とを備えている。放電部(21)は、放電電極(23)と対向電極(24)との間でプラズマ放電の一種であるストリーマ放電を行うプラズマ放電部を構成している。   As shown in FIG. 2, the discharge part (21) includes a discharge electrode (23), a counter electrode (24) facing the discharge electrode (23), and a discharge electrode (23) and a counter electrode (24). And a power supply unit (25) for applying a voltage therebetween. The discharge part (21) constitutes a plasma discharge part that performs streamer discharge, which is a kind of plasma discharge, between the discharge electrode (23) and the counter electrode (24).

触媒フィルタ(22)は、例えばハニカム構造の基材の表面に触媒を担持したものである。この触媒には、マンガン系触媒や貴金属系触媒など、放電によって生成される低温プラズマ中の反応性の高い物質をさらに活性化し、空気中の有害成分や臭気成分の分解を促進するものが用いられる。さらに、この触媒フィルタ(22)には、活性炭が担持されており、被処理空気中の被処理成分に対して吸着性能を有している。   The catalyst filter (22) is, for example, a catalyst supported on the surface of a substrate having a honeycomb structure. As this catalyst, one that further activates a highly reactive substance in the low-temperature plasma generated by discharge, such as a manganese-based catalyst or a noble metal-based catalyst, and promotes decomposition of harmful components and odor components in the air is used. . Furthermore, the catalyst filter (22) carries activated carbon and has an adsorption performance for the component to be treated in the air to be treated.

過酸化水素供給部(30)は、過酸化水素発生器(31)と、過酸化水素供給路(32)と、供給路開閉機構(33)とを備えている。過酸化水素供給部(30)は、循環流路(11)のうち空気浄化部(20)よりも上流の部分から分岐する分岐路(13)と繋がっている。   The hydrogen peroxide supply unit (30) includes a hydrogen peroxide generator (31), a hydrogen peroxide supply path (32), and a supply path opening / closing mechanism (33). The hydrogen peroxide supply unit (30) is connected to a branch path (13) that branches from a portion of the circulation channel (11) that is upstream of the air purification unit (20).

過酸化水素発生器(31)は、過酸化水素水から過酸化水素ガスを生成するように構成されている。具体的には、この過酸化水素発生器(31)は、過酸化水素ガスを生成する生成部(31a)と、該生成部(31a)へ過酸化水素水を供給する供給部(31b)とを備えている。生成部(31a)は、生成部(31a)は、供給部(31b)から滴下されて供給される過酸化水素水を熱風により微細化して気化することにより、過酸化水素ガスを生成するように構成されている。供給部(31b)は、詳しくは後述する濃度制御部(16)からの信号に応じて、生成部(31a)に供給する過酸化水素水を増減するように構成されている。なお、過酸化水素水としては、例えば過酸化水素の濃度が35%の原液が用いられる。   The hydrogen peroxide generator (31) is configured to generate hydrogen peroxide gas from hydrogen peroxide water. Specifically, the hydrogen peroxide generator (31) includes a generation unit (31a) that generates hydrogen peroxide gas, and a supply unit (31b) that supplies hydrogen peroxide water to the generation unit (31a). It has. The generation unit (31a) generates hydrogen peroxide gas by atomizing the hydrogen peroxide solution dropped and supplied from the supply unit (31b) with hot air to vaporize the generation unit (31a). It is configured. The supply unit (31b) is configured to increase or decrease the amount of hydrogen peroxide supplied to the generation unit (31a) in response to a signal from a concentration control unit (16) described in detail later. As the hydrogen peroxide solution, for example, a stock solution having a hydrogen peroxide concentration of 35% is used.

過酸化水素供給路(32)は、過酸化水素発生器(31)で発生した過酸化水素ガスを、循環流路(11)における空気浄化部(20)が配置されている部分へ供給するための供給路である。過酸化水素供給路(32)は、第1供給路(32a)と第2供給路(32b)とを備えている。第1供給路(32a)の始端は過酸化水素発生器(31)に繋がり、終端は空気浄化部(20)における放電部(21)よりも上流側の部分に繋がっている。また、第2供給路(32b)の始端は過酸化水素発生器(31)に繋がり、終端は空気浄化部(20)における放電部(21)と触媒フィルタ(22)との間の部分に繋がっている。   The hydrogen peroxide supply channel (32) supplies the hydrogen peroxide gas generated by the hydrogen peroxide generator (31) to the portion of the circulation channel (11) where the air purification unit (20) is disposed. This is the supply path. The hydrogen peroxide supply path (32) includes a first supply path (32a) and a second supply path (32b). The start end of the first supply path (32a) is connected to the hydrogen peroxide generator (31), and the end is connected to the upstream side of the discharge section (21) in the air purification section (20). The start end of the second supply path (32b) is connected to the hydrogen peroxide generator (31), and the end is connected to a portion between the discharge part (21) and the catalyst filter (22) in the air purification part (20). ing.

供給路開閉機構(33)は、2つの開閉弁(34a,34b)と、該2つの開閉弁(34a,34b)を制御するための開閉弁制御部(35)とを備えている。2つの開閉弁は、第1供給路(32a)に設けられ該第1供給路(32a)を開閉する第1開閉弁(34a)と、第2供給路(32b)に設けられ該第2供給路(32b)を開閉する第2開閉弁(34b)とで構成されている。これらの開閉弁(34a,34b)は、開閉弁制御部(35)からの信号に応じて開閉するように構成されている。開閉弁制御部(35)は、第1開閉弁(34a)を開状態にする信号又は閉状態にする信号を該第1開閉弁(34a)へ送信するように構成されているとともに、第2開閉弁(34b)を開状態にする信号又は閉状態にする信号を該第2開閉弁(34b)へ送信するように構成されている。   The supply path opening / closing mechanism (33) includes two opening / closing valves (34a, 34b) and an opening / closing valve control unit (35) for controlling the two opening / closing valves (34a, 34b). The two on-off valves are provided in the first supply passage (32a) and open and close the first supply passage (32a), and the second supply passage (32b) is provided in the second supply passage (32a). The second on-off valve (34b) opens and closes the passage (32b). These on-off valves (34a, 34b) are configured to open and close in response to signals from the on-off valve control section (35). The on-off valve controller (35) is configured to transmit a signal for opening the first on-off valve (34a) or a signal for closing the first on-off valve (34a) to the first on-off valve (34a). A signal for opening or closing the on-off valve (34b) is transmitted to the second on-off valve (34b).

滅菌システム(1)は、過酸化水素濃度計(15)と、濃度制御部(16)とを備えている。過酸化水素濃度計(15)は、処理室(2)内における過酸化水素の濃度を計測するためのものであって、該処理室(2)内の所定の位置に取り付けられている。濃度制御部(16)は、上記過酸化水素濃度計(15)により計測された過酸化水素濃度の値に応じて、過酸化水素発生器(31)から発生する過酸化水素ガスの量を制御するためのものである。具体的には、濃度制御部(16)は、処理室(2)内の過酸化水素の濃度が所定値よりも高くなると、生成部(31a)に供給される過酸化水素水の量を減らす旨の信号を供給部(31b)へ送信し、処理室(2)内の過酸化水素の濃度が所定値よりも低くなると、生成部(31a)に供給される過酸化水素水を増やす旨の信号を供給部(31b)へ送信するように構成されている。   The sterilization system (1) includes a hydrogen peroxide concentration meter (15) and a concentration control unit (16). The hydrogen peroxide concentration meter (15) is for measuring the concentration of hydrogen peroxide in the processing chamber (2), and is attached to a predetermined position in the processing chamber (2). The concentration control unit (16) controls the amount of hydrogen peroxide gas generated from the hydrogen peroxide generator (31) according to the hydrogen peroxide concentration value measured by the hydrogen peroxide concentration meter (15). Is to do. Specifically, the concentration control unit (16) reduces the amount of hydrogen peroxide water supplied to the generation unit (31a) when the concentration of hydrogen peroxide in the processing chamber (2) becomes higher than a predetermined value. When the concentration of hydrogen peroxide in the processing chamber (2) is lower than the predetermined value, a signal indicating that the amount of hydrogen peroxide supplied to the generation unit (31a) is increased. The signal is transmitted to the supply unit (31b).

−運転動作−
滅菌システム(1)において空気循環機構(10)のファン(12)が駆動されると、処理室(2)内の空気は、排気口(2a)から排気され、循環流路(11)及び空気浄化部(20)を流れた後、給気口(2b)から処理室(2)へ流入する。これにより、処理室(2)内の空気が循環流路(11)を循環する。
-Driving action-
When the fan (12) of the air circulation mechanism (10) is driven in the sterilization system (1), the air in the processing chamber (2) is exhausted from the exhaust port (2a), and the circulation channel (11) and air After flowing through the purification section (20), it flows into the processing chamber (2) from the air supply port (2b). Thereby, the air in the processing chamber (2) circulates through the circulation channel (11).

《空気浄化部及び過酸化水素供給部の動作》
放電部(21)の電源部(25)が起動されると、放電部(21)によって循環流路(11)を流れる空気中でストリーマ放電が行われる。ストリーマ放電が行われると、OHラジカル等の活性種が生成される。このようにして発生する活性種が空気中の菌を分解する。更に、これらの活性種は、触媒フィルタ(22)によって更に活性化されるため、空気中の菌を強力に分解する。
<Operation of the air purification unit and hydrogen peroxide supply unit>
When the power supply unit (25) of the discharge unit (21) is activated, streamer discharge is performed in the air flowing through the circulation channel (11) by the discharge unit (21). When streamer discharge is performed, active species such as OH radicals are generated. The active species generated in this way decompose bacteria in the air. Furthermore, since these active species are further activated by the catalytic filter (22), they strongly decompose bacteria in the air.

また、過酸化水素供給部(30)は、過酸化水素発生器(31)で生成された過酸化水素ガスを循環流路(11)へ供給する。具体的には、過酸化水素発生器(31)では、供給部(31b)が生成部(31a)へ過酸化水素水を供給する。生成部(31a)は、この過酸化水素水を熱風により微細化することにより過酸化水素ガスを生成する。なお、過酸化水素発生器(31)の供給部(31b)から生成部(31a)へ供給される過酸化水素水の量は、濃度制御部(16)によって制御される。これにより、過酸化水素発生器(31)で生成される過酸化水素の濃度が一定に保たれる。   The hydrogen peroxide supply unit (30) supplies the hydrogen peroxide gas generated by the hydrogen peroxide generator (31) to the circulation channel (11). Specifically, in the hydrogen peroxide generator (31), the supply unit (31b) supplies the hydrogen peroxide solution to the generation unit (31a). The generator (31a) generates hydrogen peroxide gas by refining the hydrogen peroxide solution with hot air. The amount of hydrogen peroxide solution supplied from the supply unit (31b) of the hydrogen peroxide generator (31) to the generation unit (31a) is controlled by the concentration control unit (16). Thereby, the concentration of hydrogen peroxide generated by the hydrogen peroxide generator (31) is kept constant.

過酸化水素ガスは、第1供給路(32a)又は第2供給路(32b)を通じて空気浄化部(20)へ流入する。具体的には、開閉弁制御部(35)により第1開閉弁(34a)が開けられ且つ第2開閉弁(34b)が閉じられている場合、過酸化水素ガスは、第1供給路(32a)を通じて空気浄化部(20)における放電部(21)よりも上流側の部分に流入する。また、開閉弁制御部(35)により第1開閉弁(34a)が閉じられ且つ第2開閉弁(34b)が開けられている場合、過酸化水素ガスは、第2供給路(32b)を通じて空気浄化部(20)における放電部(21)と触媒フィルタ(22)との間の部分に流入する。このようにして循環流路(11)に供給された過酸化水素は、空気中の菌と反応することにより菌を分解する。   The hydrogen peroxide gas flows into the air purification section (20) through the first supply path (32a) or the second supply path (32b). Specifically, when the first on-off valve (34a) is opened and the second on-off valve (34b) is closed by the on-off valve controller (35), the hydrogen peroxide gas is supplied to the first supply path (32a). ) To the upstream side of the discharge part (21) in the air purification part (20). Further, when the first on-off valve (34a) is closed and the second on-off valve (34b) is opened by the on-off valve control unit (35), the hydrogen peroxide gas passes through the second supply path (32b). It flows into the part between the discharge part (21) and the catalyst filter (22) in the purification part (20). The hydrogen peroxide supplied to the circulation channel (11) in this way decomposes bacteria by reacting with the bacteria in the air.

放電部(21)で生成されたラジカル等の活性種、及び過酸化水素供給部(30)により空気浄化部(20)へ供給された過酸化水素は、循環流路(11)を流れる空気とともに処理室(2)内へ流入する。その結果、処理室(2)内の空気は、上記活性種及び過酸化水素によって滅菌される。特に、過酸化水素は、ラジカル等の活性種と比べて空気中に残留しやすいため、処理室(2)内において比較的広範囲に供給される。このため、過酸化水素発生器(31)で生成された過酸化水素は、特に処理室(2)内の壁面に付着した菌の分解に寄与する。一方、処理室(2)内で浮遊する菌は、排気口(2a)より循環流路(11)を通じて空気浄化部(20)の放電部(21)へ流れる。そして、この菌は、放電部(21)付近で発生する活性種により分解される。   Active species such as radicals generated in the discharge part (21) and hydrogen peroxide supplied to the air purification part (20) by the hydrogen peroxide supply part (30) together with the air flowing through the circulation channel (11) It flows into the processing chamber (2). As a result, the air in the processing chamber (2) is sterilized by the active species and hydrogen peroxide. In particular, since hydrogen peroxide tends to remain in the air as compared with active species such as radicals, it is supplied in a relatively wide range in the processing chamber (2). For this reason, the hydrogen peroxide produced | generated with the hydrogen peroxide generator (31) contributes to decomposition | disassembly of the microbe adhering to the wall surface in a process chamber (2) especially. On the other hand, the bacteria floating in the processing chamber (2) flow from the exhaust port (2a) to the discharge part (21) of the air purification part (20) through the circulation channel (11). And this microbe is decomposed | disassembled by the active species which generate | occur | produces in the discharge part (21) vicinity.

−実施形態の効果−
以上のように、本実施形態に係る滅菌システム(1)では、循環流路(11)に、ストリーマ放電を行う放電部(21)を配置するとともに、循環流路(11)に過酸化水素ガスを供給する過酸化水素供給部(30)を設けている。これにより、ラジカル等の活性種と、過酸化水素ガスとの両方で空気中を滅菌することができる。従って、過酸化水素ガスの使用量を減らしても、過酸化水素ガスのみで空気中を滅菌する場合と同等の殺菌効果を維持できる。更に、過酸化水素ガスの使用量を減らすことにより、処理室(2)や循環流路(11)における過酸化水素の濃度が低減する。このため、空気中の湿度を低減できるため、循環流路(11)を構成する配管や処理室(2)の壁面等が劣化するのを抑制できる。更に、過酸化水素の濃度が低減することにより、上記配管や壁面等が腐食するのを抑制できる。
-Effect of the embodiment-
As described above, in the sterilization system (1) according to the present embodiment, the discharge part (21) that performs the streamer discharge is disposed in the circulation channel (11), and the hydrogen peroxide gas is present in the circulation channel (11). Hydrogen peroxide supply unit (30) for supplying Thereby, the air can be sterilized with both active species such as radicals and hydrogen peroxide gas. Therefore, even if the amount of hydrogen peroxide gas used is reduced, a sterilizing effect equivalent to the case of sterilizing the air with only hydrogen peroxide gas can be maintained. Further, by reducing the amount of hydrogen peroxide gas used, the concentration of hydrogen peroxide in the processing chamber (2) and the circulation channel (11) is reduced. For this reason, since the humidity in the air can be reduced, it is possible to suppress deterioration of the piping constituting the circulation channel (11), the wall surface of the processing chamber (2), and the like. Furthermore, it is possible to suppress corrosion of the piping and wall surfaces by reducing the concentration of hydrogen peroxide.

また、上記実施形態では、放電部(21)でストリーマ放電を行っている。ストリーマ放電は、他の放電方式(グロー放電やコロナ放電等)と比べ広い範囲に亘って放電が行われる。その結果、比較的多くの活性種が生成されるため、空気中を効率的に滅菌できる。   Moreover, in the said embodiment, the streamer discharge is performed in the discharge part (21). Streamer discharge is performed over a wider range than other discharge methods (glow discharge, corona discharge, etc.). As a result, since a relatively large number of active species are generated, the air can be efficiently sterilized.

また、上記実施形態では、処理室(2)に取り付けられた過酸化水素濃度計(15)の値に応じて過酸化水素ガスの生成量を調整するようにしたため、処理室(2)内の過酸化水素の濃度を所定の範囲内に保つことができる。
−その他の実施形態−
上記実施形態については、以下のような構成にしてもよい。
In the above embodiment, the amount of hydrogen peroxide gas generated is adjusted according to the value of the hydrogen peroxide concentration meter (15) attached to the processing chamber (2). The concentration of hydrogen peroxide can be kept within a predetermined range.
-Other embodiments-
About the said embodiment, you may make it the following structures.

上記実施形態では、放電部(21)を、ストリーマ放電を行う構成としたが、この限りでなく、例えばその他のプラズマ放電(コロナ放電やグロー放電)を行う構成にしてもよい。   In the above embodiment, the discharge section (21) is configured to perform streamer discharge, but is not limited thereto, and may be configured to perform other plasma discharge (corona discharge or glow discharge), for example.

また、上記実施形態では、過酸化水素発生器(31)で生成された過酸化水素ガスを、第1供給路(32a)又は第2供給路(32b)のいずれかを通じて供給する構成としたが、この限りでなく、例えば過酸化水素発生器(31)から循環流路(11)へ連通する供給路が1つだけ設けられていてもよい。   In the above embodiment, the hydrogen peroxide gas generated by the hydrogen peroxide generator (31) is supplied through either the first supply path (32a) or the second supply path (32b). However, the present invention is not limited to this, and for example, only one supply path communicating from the hydrogen peroxide generator (31) to the circulation flow path (11) may be provided.

また、上記実施形態では、滅菌システムを薬品の生産ラインに適用したが、この限りでなく、病院などにも適用することもできる。   Moreover, in the said embodiment, although the sterilization system was applied to the production line of a chemical | medical agent, it is not restricted to this, It can also apply to a hospital etc.

以上説明したように、本発明は、薬品の生産ライン等、滅菌対象となる処理室を滅菌するのに特に有用である。   As described above, the present invention is particularly useful for sterilizing a processing chamber to be sterilized such as a chemical production line.

1 滅菌システム
2 処理室
2a 排気口
2b 給気口
10 空気循環機構
11 循環流路
21 放電部(プラズマ放電部)
30 過酸化水素供給部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Sterilization system 2 Processing chamber 2a Exhaust port 2b Air supply port 10 Air circulation mechanism 11 Circulation flow path 21 Discharge part (plasma discharge part)
30 Hydrogen peroxide supply unit

Claims (2)

滅菌対象となる処理室(2)を滅菌する滅菌システムであって、
前記処理室(2)の排気口(2a)と前記処理室(2)の給気口(2b)とを繋ぐ循環流路(11)を含み、前記処理室(2)内の空気を循環させる空気循環機構(10)と、
前記循環流路(11)に配置され、プラズマ放電を行うことにより空気中の菌を分解する活性種を生成するプラズマ放電部(21)と、
前記循環流路(11)へ過酸化水素を供給する過酸化水素供給部(30)と、を備えることを特徴とする滅菌システム。
A sterilization system for sterilizing a processing chamber (2) to be sterilized,
It includes a circulation channel (11) that connects the exhaust port (2a) of the processing chamber (2) and the air supply port (2b) of the processing chamber (2), and circulates the air in the processing chamber (2). An air circulation mechanism (10),
A plasma discharge part (21) that is arranged in the circulation channel (11) and generates active species that decompose bacteria in the air by performing plasma discharge;
A sterilization system comprising: a hydrogen peroxide supply unit (30) for supplying hydrogen peroxide to the circulation channel (11).
請求項1において、
前記プラズマ放電部(21)は、ストリーマ放電を行うように構成されていることを特徴とする滅菌システム。
In claim 1,
The said plasma discharge part (21) is comprised so that streamer discharge may be performed, The sterilization system characterized by the above-mentioned.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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