JP2011140617A - アンダーフィル形成用接着剤組成物、アンダーフィル形成用接着剤シート及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも、(A)熱可塑性樹脂と、(B)熱硬化性樹脂と、(C)潜在性硬化剤と、(D)無機フィラーと、を含有し、上記(A)熱可塑性樹脂がビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂を含む、アンダーフィル形成用接着剤組成物。
【選択図】なし
Description
先ず、アンダーフィル形成用接着剤シート10を所定の装置に配置し、保護フィルム1を剥がす。続いて、主面の一方に複数の回路電極20を有する半導体ウエハAを準備し、半導体ウエハAの回路電極が設けられている側に接着剤層2を貼付け、支持基材3/接着剤層2/半導体ウエハAが積層された積層体を得る(図3を参照)。回路電極20には、電気的接合用の突起電極であるバンプが設けられている。なお、突起電極上または/および半導体素子搭載用支持部材の回路電極に金属接合用にハンダを設けることもできる。
次に、図4に示されるように、半導体ウエハAの回路電極20が設けられている側とは反対側をグラインダー4によって研削し、半導体ウエハを薄化する。半導体ウエハの厚みは、例えば、10〜300μmとすることができる。半導体装置の小型化、薄型化の観点から、半導体ウエハの厚みを20〜100μmとすることが好ましい。
次に、図5(a)に示されるように、積層体の半導体ウエハAにダイシングテープ5を貼付け、これを所定の装置に配置して支持基材3を剥がす。このとき、支持基材3が粘着剤層3aを備えており、粘着剤層3aが放射線硬化性である場合には、支持基材3側から放射線を照射することにより、粘着剤層3aを硬化させ接着剤層2と支持基材3との間の接着力を低下させることができる。ここで、使用される放射線としては、例えば、紫外線、電子線、赤外線等が挙げられる。これにより支持基材3を容易に剥がすことができる。支持基材3の剥離後、図5(b)に示されるように、半導体ウエハA及び接着剤層2をダイシングソウ6によりダイシングする。こうして、半導体ウエハAは複数の半導体素子A’に分割され、接着剤層2は複数のフィルム状接着剤2aに分割される。
次に、図7に示されるように、フィルム状接着剤2aが付着した半導体素子A’の回路電極20と、半導体素子搭載用支持部材8の回路電極22とを位置合わせし、フィルム状接着剤付半導体素子12と半導体素子搭載用支持部材8とを熱圧着する。この熱圧着により、回路電極20と回路電極22とが電気的且つ機械的に接続されるとともに、半導体素子A’と半導体素子搭載用支持部材8との間にフィルム状接着剤2aの硬化物が形成される。
まず、主モノマーとして2−エチルヘキシルアクリレートとメチルメタクリレートを用い、官能基モノマーとしてヒドロキシエチルアクリレートとアクリル酸を用いた溶液重合法によりアクリル共重合体を合成した。得られたアクリル共重合体の重量平均分子量は40万、ガラス転移点は−38℃であった。このアクリル共重合体100質量部に対し、多官能イソシアネート架橋剤(日本ポリウレタン工業株式会社製、商品名「コローネートHL」)10質量部を配合して粘着剤組成物溶液を調製した。
<接着剤組成物の調製>
「ZX1356−2」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂、重量平均分子量(Mw)62,000)20質量部、「1032H60」(ジャパンエポキシレジン株式会社製商品名、エポキシ樹脂)26質量部、「エピコート828」(ジャパンエポキシレジン社製商品名、液状エポキシ樹脂)33質量部及び「HX3941HP」(旭化成エレクトロニクス株式会社製商品名、マイクロカプセル型潜在性硬化剤)21質量部を、トルエンと酢酸エチルとの混合溶媒中に溶解した。この溶液に、「EXL−2655」(ロームアンドハース株式会社製商品名、有機微粒子)5質量部、「5μmの分級処理を行った平均粒径1μmコージェライト粒子」(2MgO・2Al2O3・5SiO2、比重2.4、線膨張係数:1.5×10−6/℃、屈折率:1.57)100質量部、10μmの分級処理を行った「2,2−ビス(ヒドロキシメチル)プロピオン酸」(東京化成工業社製、以下、「BHPA」と略す)5質量部を分散し、接着剤ワニスを得た。
得られた接着剤ワニスを、第一のフィルムであるポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム(帝人デュポンフィルム社製、商品名「AH−3」、厚さ:50μm)上にロールコータを用いて塗布し、70℃のオーブンで10分間乾燥させて、厚み25μmの接着剤層を形成した。次に、接着剤層と上記支持基材における粘着剤層面とを常温で貼り合わせて、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」の配合量を30質量部とし、他の成分を表1のとおり配合した以外は実施例1と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」の配合量を40質量部とし、他の成分を表1のとおり配合した以外は実施例1と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「YP−70」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂、重量平均分子量(MW)50,200)を20質量部配合した以外は実施例1と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「YP−70」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂、重量平均分子量(MW)50,200)を40質量部配合した以外は実施例3と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「YP−50」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂)を20質量部配合した以外は実施例1と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「YP−50」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂)を40質量部配合した以外は実施例3と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「ZX1395」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールF型フェノキシ樹脂)を20質量部配合した以外は実施例1と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「ZX1395」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールF型フェノキシ樹脂)を40質量部配合した以外は実施例3と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製におけるコージェライト粒子の配合量を0とした以外は実施例2と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
接着剤ワニスの調製における「ZX1356−2」に換えて、「YP−50」(東都化成株式会社製商品名、ビスフェノールA型フェノキシ樹脂)を30質量部配合した以外は比較例5と同様にして、アンダーフィル形成用接着剤シートを得た。
(線膨張係数測定)
実施例及び比較例で得られたアンダーフィル形成用接着剤シートを180℃に設定したオーブンに3時間放置し、加熱硬化処理を行った。加熱硬化後の接着剤層を支持基材から剥離し、30mm×2mmの大きさの試験片を作製した。セイコーインスツルメンツ社製「TMA/SS6100」(商品名)を用い、上記試験片をチャック間20mmとなるよう装置内に取り付け、測定温度範囲:20〜300℃、昇温速度:5℃/分、荷重条件:試験片の断面積に対し0.5MPa圧力となる条件で、引張り試験モードにて熱機械分析を行い、線膨張係数を測定した。
実施例及び比較例で得られたアンダーフィル形成用接着剤シートを10mm×30mmの個片に切断し、80℃に設定したホットロールラミネータを用い、熱酸化膜つきウエハの熱酸化膜面に貼り付けた。貼り付け後、短辺の一端を剥がしテンシロンの挟み込み治具に固定した。フィルムの剥がした面が貼り付け面に対して90度を保つようにウエハを移動させながら、300mm/minの速度で引き剥がし、ピール強度を測定した。
実施例及び比較例で得られたアンダーフィル形成用接着剤シートを5mm×5mmに切り出し、厚さ0.7mm、15mm四方のコーニングガラスに70℃で転写し、支持フィルムを剥がした。ここに厚さ550μm、12mm四方のシリコンチップのミラー面を貼り合わせ、10秒後の到達温度180℃になるように設定した熱圧着機(ツール温度197℃)で10秒間12.5Nの荷重で加圧した。加圧後変形した接着剤シートの面積をスキャナで計測した。(加圧後の面積)/(加圧前の面積)の比を流動量として比較した。
上記で得られたアンダーフィル形成用接着剤シートを用い、下記の手順にしたがって、半導体装置を作製し、評価した。
ジェイシーエム製のダイアタッチフィルムマウンターの80℃に加熱された吸着ステー上に、銅+SnAgハンダでバンプが形成された半導体ウエハ(バンプ高さ40μm、ウエハ厚さ550μm、50mm×50mmに個片化)をバンプ側を上に向けて載せた。アンダーフィル形成用接着剤シートを70mm×70mmに切断し保護フィルムである第一のフィルムを除いた接着剤層を半導体ウエハのバンプ側に向け、エアを巻き込まないように半導体ウエハの端からダイアタッチマウンターの貼付ローラで押しつけてラミネートした。ラミネート後、ウエハの外形に沿って接着剤のはみ出し部分を切断した。貼り付け後、バンプ周辺の貼り付け状態を観察し、バンプ周辺にボイドなく埋め込めた場合を「A」、回路パターンに依存した状態でボイドが存在する場合を「C」と評価した。
上記アンダーフィル形成用接着剤シートと半導体ウエハ(厚み550μm)との積層体を、裏面を上に向けた状態でジェイシーエム製のダイアタッチフィルムマウンターの吸着ステージに設置し、室温にてダイシングフレームと同時にアデカ製ダイシングテープ「AD80H」を貼り付けた。次いで、支持基材上に日東電工製バックグラインドテープ剥離テープを貼付し、180度ピール引き剥がしで支持基材のみを引き剥がした。このとき、ウエハから接着剤層が剥がれることなく支持基材のみを引き剥がせた場合を「A」、支持基材のはく離と同時にウエハから接着剤が一部または全面で剥がれた場合を「C」と評価した。
上述のダイシングフレームに固定された接着剤層付き半導体ウエハを株式会社ディスコ製フルオートマチックダイシングソー「DFD6361」にて10mm×10mmにダイシングした。ダイシング後、洗浄し、水分を飛ばした後、ダイシングテープ側からUV照射を行った。ダイシング中に接着層がウエハ表面からはく離しなかった場合を「A」、はく離が発生した場合を「C」と評価した。また、ダイシング後の溝を透過観察し、溝の埋まり込みが発生していない場合を「A」、ダイシング溝が部分的に埋まっている場合を「B」、溝が埋まって透過しても溝の跡が見えない場合を「C」と評価した。
接着剤付き半導体チップを、バンプに対向する位置にSnAgCuを構成成分とするハンダが形成された回路を有するガラエポ基板に、松下電器産業製フリップチップボンダ「FCB3」で位置あわせを行った後、250℃、0.5MPaで10秒間熱圧着し、半導体装置を得た。
接着剤層の貼付状態を日立建機製超音波探傷装置(SAT)で視察し、下記の基準に基づいて評価した。このとき、チップ下全領域にボイドが観察される場合を「C」、ボイドが観察されない又はボイド発生領域が部分的である場合を「A」と評価した。
作製した半導体装置について、圧着後の接続抵抗を、デジタルマルチメータ(アドバンテスト社製、商品名)を用いて測定した。具体的には、上記半導体装置を−55℃で30分間及び125℃で30分間を1サイクルとする温度サイクル試験に投入し、1000サイクル後の接続抵抗が維持される場合を「A」、維持されない場合を「C」と評価した。
Claims (8)
- 少なくとも、
(A)熱可塑性樹脂と、
(B)熱硬化性樹脂と、
(C)潜在性硬化剤と、
(D)無機フィラーと、
を含有し、
前記(A)熱可塑性樹脂がビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂を含む、アンダーフィル形成用接着剤組成物。 - 前記ビスフェノールA、F共重合型フェノキシ樹脂の重量平均分子量が30,000〜100,000である、請求項1記載のアンダーフィル形成用接着剤組成物。
- 前記(B)熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂を含む、請求項1又は2記載のアンダーフィル形成用接着剤組成物。
- 相対向する回路電極を有する回路部材間に介在させ、前記回路部材同士を接着するために用いられる、請求項1〜3のいずれか一項に記載のアンダーフィル形成用接着剤組成物。
- 支持基材と、該支持基材上に設けられた、請求項1〜4のいずれか一項に記載のアンダーフィル形成用接着剤組成物からなる接着剤層と、を備える、アンダーフィル形成用接着剤シート。
- 前記支持基材が、プラスチックフィルムと該プラスチックフィルム上に設けられた粘着剤層とを備え、前記接着剤層が前記粘着剤層上に設けられている、請求項5記載のアンダーフィル形成用接着剤シート。
- 相対向する回路電極を有する回路部材間に介在させ、前記回路部材同士を接着するために用いられる、請求項5又は6記載のアンダーフィル形成用接着剤シート。
- 主面の一方に複数の回路電極を有する半導体ウエハを準備し、該半導体ウエハの前記回路電極が設けられている側に、請求項1〜4のいずれか一項に記載のアンダーフィル形成用接着剤組成物からなる接着剤層を設ける工程と、
前記半導体ウエハの前記回路電極が設けられている側とは反対側を研削して前記半導体ウエハを薄化する工程と、
前記薄化した半導体ウエハ及び前記接着剤層をダイシングしてフィルム状接着剤付半導体素子に個片化する工程と、
前記フィルム状接着剤付半導体素子の前記回路電極を半導体素子搭載用支持部材の回路電極に接合する工程と、
を備える、半導体装置の製造方法。
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Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014010258A1 (ja) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | パナソニック株式会社 | 半導体封止用アクリル樹脂組成物とそれを用いた半導体装置およびその製造方法 |
JP2015002204A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | パナソニック株式会社 | 半導体装置の製造方法とそれに使用される半導体封止用アクリル樹脂組成物 |
JP2015019012A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | パナソニック株式会社 | 半導体装置の製造方法とそれに使用される半導体封止用アクリル樹脂組成物 |
KR20150032547A (ko) | 2012-07-05 | 2015-03-26 | 쓰리본드 화인 케미칼 가부시키가이샤 | 시트형상 접착제 및 이 시트형상 접착제를 사용한 유기 el 패널 |
WO2017078045A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | リンテック株式会社 | 硬化性樹脂フィルム及び第1保護膜形成用シート |
JP2017088758A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | リンテック株式会社 | 接着シート |
JP2017171817A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 日立化成株式会社 | 半導体用接着剤、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
KR20180035222A (ko) * | 2015-07-29 | 2018-04-05 | 헨켈 아이피 앤드 홀딩 게엠베하 | 3d tsv 패키지를 위한 사전-적용된 언더필 필름을 위한 장벽 필름-함유 구성방식 및 그의 용도 |
KR20190039104A (ko) | 2016-08-10 | 2019-04-10 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 아크릴 조성물, 시트재, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10283378B2 (en) | 2015-08-19 | 2019-05-07 | Henkel IP & Holding GmbH | Fluxing underfill compositions |
KR20200123783A (ko) | 2018-02-21 | 2020-10-30 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 수지 조성물, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10870756B2 (en) | 2016-08-10 | 2020-12-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Acrylic composition for encapsulation, sheet material, laminated sheet, cured object, semiconductor device, and process for producing semiconductor device |
KR20210132020A (ko) | 2019-02-21 | 2021-11-03 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 재료, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
WO2023063280A1 (ja) * | 2021-10-15 | 2023-04-20 | 三菱瓦斯化学株式会社 | フィルム状アンダーフィル材、及び、フィルム状アンダーフィル材用樹脂組成物、並びに、フィルム状アンダーフィル材を用いた樹脂組成物層付き半導体チップの製造方法、樹脂組成物層付き半導体チップ搭載用基板の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10298526A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続用組成物及びこれを用いたフィルム |
JP2006049482A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置製造方法およびウエハ加工用テープ |
WO2007129711A1 (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 接着シート、これを用いた回路部材の接続構造及び半導体装置 |
JP2007302864A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-11-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルム、これを用いた回路部材の接続構造 |
WO2008084811A1 (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 回路部材接続用接着剤及びこれを用いた半導体装置 |
JP2008248114A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物 |
JP2009062413A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物及びダイボンドフィルム |
JP2009275102A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続材料 |
JP2010116453A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2010185013A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 接着剤組成物およびそれを用いた半導体ウエハ用保護シート |
-
2010
- 2010-04-22 JP JP2010099183A patent/JP2011140617A/ja active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10298526A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-10 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続用組成物及びこれを用いたフィルム |
JP2006049482A (ja) * | 2004-08-03 | 2006-02-16 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 半導体装置製造方法およびウエハ加工用テープ |
JP2007302864A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-11-22 | Hitachi Chem Co Ltd | 接着フィルム、これを用いた回路部材の接続構造 |
WO2007129711A1 (ja) * | 2006-05-09 | 2007-11-15 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 接着シート、これを用いた回路部材の接続構造及び半導体装置 |
WO2008084811A1 (ja) * | 2007-01-10 | 2008-07-17 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | 回路部材接続用接着剤及びこれを用いた半導体装置 |
JP2008248114A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物 |
JP2009062413A (ja) * | 2007-09-04 | 2009-03-26 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 接着剤組成物及びダイボンドフィルム |
JP2009275102A (ja) * | 2008-05-14 | 2009-11-26 | Hitachi Chem Co Ltd | 回路接続材料 |
JP2010116453A (ja) * | 2008-11-12 | 2010-05-27 | Nippon Steel Chem Co Ltd | フィルム状接着剤、それを用いた半導体パッケージ及びその製造方法 |
JP2010185013A (ja) * | 2009-02-12 | 2010-08-26 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | 接着剤組成物およびそれを用いた半導体ウエハ用保護シート |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20150032547A (ko) | 2012-07-05 | 2015-03-26 | 쓰리본드 화인 케미칼 가부시키가이샤 | 시트형상 접착제 및 이 시트형상 접착제를 사용한 유기 el 패널 |
US9303192B2 (en) | 2012-07-05 | 2016-04-05 | Three Bond Fine Chemical Co., Ltd. | Sheet-like adhesive and organic EL panel using the same |
JP2014033197A (ja) * | 2012-07-13 | 2014-02-20 | Panasonic Corp | 半導体装置の製造方法とそれに使用される半導体封止用アクリル樹脂組成物 |
WO2014010258A1 (ja) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | パナソニック株式会社 | 半導体封止用アクリル樹脂組成物とそれを用いた半導体装置およびその製造方法 |
JP2015002204A (ja) * | 2013-06-13 | 2015-01-05 | パナソニック株式会社 | 半導体装置の製造方法とそれに使用される半導体封止用アクリル樹脂組成物 |
JP2015019012A (ja) * | 2013-07-12 | 2015-01-29 | パナソニック株式会社 | 半導体装置の製造方法とそれに使用される半導体封止用アクリル樹脂組成物 |
KR102525468B1 (ko) | 2015-07-29 | 2023-04-26 | 헨켈 아게 운트 코. 카게아아 | 3d tsv 패키지를 위한 사전-적용된 언더필 필름을 위한 장벽 필름-함유 구성방식 및 그의 용도 |
JP7038652B2 (ja) | 2015-07-29 | 2022-03-18 | ヘンケル アイピー アンド ホールディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | バリアフィルム含有フォーマット、及び3d tsvパッケージのためのプレアプライアンダーフィルフィルムのためのその使用 |
KR20180035222A (ko) * | 2015-07-29 | 2018-04-05 | 헨켈 아이피 앤드 홀딩 게엠베하 | 3d tsv 패키지를 위한 사전-적용된 언더필 필름을 위한 장벽 필름-함유 구성방식 및 그의 용도 |
JP2018525820A (ja) * | 2015-07-29 | 2018-09-06 | ヘンケル アイピー アンド ホールディング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | バリアフィルム含有フォーマット、及び3d tsvパッケージのためのプレアプライアンダーフィルフィルムのためのその使用 |
US10283378B2 (en) | 2015-08-19 | 2019-05-07 | Henkel IP & Holding GmbH | Fluxing underfill compositions |
EP3337842A4 (en) * | 2015-08-19 | 2019-06-26 | Henkel IP & Holding GmbH | FLOW OF FILLING COMPOSITIONS |
JPWO2017078045A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2018-08-23 | リンテック株式会社 | 硬化性樹脂フィルム及び第1保護膜形成用シート |
WO2017078045A1 (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-11 | リンテック株式会社 | 硬化性樹脂フィルム及び第1保護膜形成用シート |
JP2017088758A (ja) * | 2015-11-11 | 2017-05-25 | リンテック株式会社 | 接着シート |
JP2017171817A (ja) * | 2016-03-25 | 2017-09-28 | 日立化成株式会社 | 半導体用接着剤、半導体装置、及び半導体装置の製造方法 |
KR20190039104A (ko) | 2016-08-10 | 2019-04-10 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 아크릴 조성물, 시트재, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US10703939B2 (en) | 2016-08-10 | 2020-07-07 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Acrylic composition for sealing, sheet material, multilayer sheet, cured product, semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
US10870756B2 (en) | 2016-08-10 | 2020-12-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Acrylic composition for encapsulation, sheet material, laminated sheet, cured object, semiconductor device, and process for producing semiconductor device |
KR20200123783A (ko) | 2018-02-21 | 2020-10-30 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 수지 조성물, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
US11674032B2 (en) | 2018-02-21 | 2023-06-13 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Encapsulation resin composition, laminated sheet, cured product, semiconductor device, and method for fabricating semiconductor device |
KR20210132020A (ko) | 2019-02-21 | 2021-11-03 | 파나소닉 아이피 매니지먼트 가부시키가이샤 | 봉지용 재료, 적층 시트, 경화물, 반도체 장치, 및 반도체 장치의 제조 방법 |
WO2023063280A1 (ja) * | 2021-10-15 | 2023-04-20 | 三菱瓦斯化学株式会社 | フィルム状アンダーフィル材、及び、フィルム状アンダーフィル材用樹脂組成物、並びに、フィルム状アンダーフィル材を用いた樹脂組成物層付き半導体チップの製造方法、樹脂組成物層付き半導体チップ搭載用基板の製造方法、及び、半導体装置の製造方法 |
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