JP2010249065A - Piezoelectric pump with built-in driver - Google Patents
Piezoelectric pump with built-in driver Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010249065A JP2010249065A JP2009100760A JP2009100760A JP2010249065A JP 2010249065 A JP2010249065 A JP 2010249065A JP 2009100760 A JP2009100760 A JP 2009100760A JP 2009100760 A JP2009100760 A JP 2009100760A JP 2010249065 A JP2010249065 A JP 2010249065A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- housing
- built
- pump chamber
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Description
本発明は、同一のハウジング内に圧電ポンプとその制御基板を内蔵するドライバ内蔵圧電ポンプに関する。 The present invention relates to a piezoelectric pump with a built-in driver in which a piezoelectric pump and its control board are built in the same housing.
圧電ポンプは、円板状の圧電振動子とハウジングの間に液体ポンプ室(可変容積室)を形成し、圧電振動子を振動させることにより、液体ポンプ室の容積を変化させてポンプ作用を得ている。より具体的には、液体ポンプ室に連なる一対の流路に、流れ方向の異なる一対の逆止弁(液体ポンプ室への流体流を許す逆止弁と液体ポンプ室からの流体流を許す逆止弁)を設けており、圧電振動子の振動により液体ポンプ室の容積が変化すると、それに伴い一対の逆止弁の一方が閉じ他方が開く動作を繰り返すことから、ポンプ作用が得られる。 A piezoelectric pump forms a liquid pump chamber (variable volume chamber) between a disk-shaped piezoelectric vibrator and a housing, and vibrates the piezoelectric vibrator to change the volume of the liquid pump chamber to obtain a pump action. ing. More specifically, a pair of flow valves connected to the liquid pump chamber are provided with a pair of check valves having different flow directions (a check valve that allows fluid flow to the liquid pump chamber and a reverse flow that allows fluid flow from the liquid pump chamber). When the volume of the liquid pump chamber is changed by the vibration of the piezoelectric vibrator, the operation of closing one of the pair of check valves and opening the other is repeated.
本出願人は、小型薄型にできるという圧電ポンプの特徴を生かして、例えば水冷ノートパソコンの冷却水循環ポンプとして用いる圧電ポンプを開発中である。 The present applicant is developing a piezoelectric pump used as a cooling water circulation pump of, for example, a water-cooled notebook personal computer, taking advantage of the feature of the piezoelectric pump that can be made small and thin.
小型化には、圧電振動子と、この圧電振動子に駆動電圧を与える駆動基板(ドライバ)とを同一のハウジング内に収納することが得策である。また、本出願人は、一層の小型化を図るため、液体ポンプ室の一部と駆動基板とが平面的にみてオーバラップ(重畳)するように配置したドライバ内蔵圧電ポンプを提案している(特願2008-183144号、特願2009-13847号)。 In order to reduce the size, it is advantageous to store the piezoelectric vibrator and a driving substrate (driver) for applying a driving voltage to the piezoelectric vibrator in the same housing. The applicant has also proposed a piezoelectric pump with a built-in driver in which a part of the liquid pump chamber and the drive substrate are arranged so as to overlap (overlap) in plan view in order to further reduce the size (see FIG. (Japanese Patent Application Nos. 2008-183144 and 2009-13847).
ところが、液体ポンプ室の一部と駆動基板とを平面的に見てオーバラップ(重畳)させたドライバ内蔵圧電ポンプでは、液体ポンプ室の駆動基板側の底壁が片持ち梁構造となり、小型化を進める程、この片持ち梁構造が薄肉化するため、ポンプ室に周期的に加わる正逆の液体圧力によって永久歪みが生じる可能性が指摘されている。液体ポンプ室底壁の片持ち梁部分が変形すると、平面円形のポンプ室をシールするOリングの圧縮率が場所によって変化し、圧縮率不足による液漏れや、圧縮永久歪みの増加による経年劣化によって液漏れが発生するおそれがある。また、平面円形の圧電振動子に歪みを与え、圧電振動子の変位や剛性の低下から、ポンプの流量低下や閉鎖圧の低下やばらつきに影響を与える可能性がある。 However, in the piezoelectric pump with a built-in driver that overlaps a part of the liquid pump chamber and the driving substrate in plan view, the bottom wall on the driving substrate side of the liquid pump chamber has a cantilever structure, and the size is reduced. It is pointed out that the cantilever structure becomes thinner as the process proceeds, so that permanent distortion may occur due to forward and reverse liquid pressures periodically applied to the pump chamber. If the cantilever part of the bottom wall of the liquid pump chamber is deformed, the compressibility of the O-ring that seals the flat circular pump chamber will change depending on the location, which may be caused by liquid leakage due to insufficient compressibility or aging due to increased compression set. Liquid leakage may occur. In addition, distortion may be applied to the planar circular piezoelectric vibrator, and the displacement and rigidity of the piezoelectric vibrator may be affected, thereby reducing the pump flow rate and the closing pressure.
本発明は、以上の問題意識に基づき、圧電振動子と駆動基板とを同一のハウジング内に収納し、かつ液体ポンプ室の一部と駆動基板とを平面的に見てオーバラップ(重畳)させたとき、ポンプ室の駆動基板側の変形を効果的に防止できるドライバ内蔵圧電ポンプを得ることを目的とする。 In the present invention, based on the awareness of the above problems, the piezoelectric vibrator and the drive substrate are accommodated in the same housing, and a part of the liquid pump chamber and the drive substrate are overlapped (superposed) when viewed in plan. It is an object of the present invention to obtain a driver built-in piezoelectric pump that can effectively prevent deformation of the pump chamber on the side of the drive substrate.
本発明は、単一のハウジング内に、表裏の少なくとも一面に液体ポンプ室を形成する圧電振動子と、該圧電振動子に対する給電制御用電気部品を搭載した制御基板とを収納し、上記圧電振動子を振動させることにより液体ポンプ室内に液体を給排してポンプ作用を行わせるドライバ内蔵圧電ポンプにおいて、ハウジングに、上記液体ポンプ室に平面的に見て一部を重畳させて、上記制御基板を収納する基板収納溝を形成し、この基板収納溝内に、上記重畳部分に部分的に位置させて、基板収納溝の対向する壁面を接続する補強支柱を形成し、制御基板に、この補強支柱を避ける逃げ部を形成したことを特徴としている。 According to the present invention, a piezoelectric vibrator that forms a liquid pump chamber on at least one side of the front and back and a control board on which electric parts for power supply control for the piezoelectric vibrator are mounted in a single housing, and the piezoelectric vibration In the piezoelectric pump with a built-in driver for supplying and discharging liquid to and from the liquid pump chamber by vibrating the child to perform a pumping action, a part of the housing is superposed on the housing as viewed in plan in the liquid pump chamber. A substrate storage groove for storing the substrate storage groove is formed, and a reinforcing column is formed in the substrate storage groove so as to be partially positioned at the overlapping portion and connecting the opposing wall surfaces of the substrate storage groove. It is characterized by the formation of a relief that avoids the column.
補強支柱と制御基板の逃げ部は、液体ポンプ室の半径方向に向けて形成するのが実際的である。また、この半径方向は、制御基板の基板収納溝への挿入方向と一致させると、組立性を向上させることができる。 It is practical to form the reinforcing column and the relief portion of the control board in the radial direction of the liquid pump chamber. Further, when this radial direction is made coincident with the insertion direction of the control board into the board housing groove, the assemblability can be improved.
ハウジングは、例えば、圧電振動子を収納する円形凹部と基板収納溝を含む基板収納空間を有するメインハウジングと、このメインハウジングの円形凹部及び基板収納空間の開放部を閉塞するアッパハウジングとを備えることができる。 The housing includes, for example, a main housing having a substrate storage space including a circular recess for storing the piezoelectric vibrator and a substrate storage groove, and an upper housing for closing the circular recess of the main housing and an open portion of the substrate storage space. Can do.
本発明によれば、ハウジングに、液体ポンプ室に平面的に見て一部を重畳させて、制御基板を収納する基板収納溝を形成したドライバ内蔵圧電ポンプにおいて、基板収納溝内に、液体ポンプ室と基板収納溝の重畳部分に部分的に位置させて、該基板収納溝の対向する壁面を接続する補強支柱を形成し、制御基板に、この補強支柱を避ける逃げ部を形成したので、ドライバ内蔵圧電ポンプの小型化薄型化を図りながら、液体ポンプ室の基板収納溝側の壁面の変形を防止し、耐久性を高めることができる。 According to the present invention, in the piezoelectric pump with a built-in driver in which a housing accommodating groove for accommodating a control substrate is formed by overlapping a part of the housing in plan view in the liquid pump chamber, the liquid pump is provided in the substrate accommodating groove. Since the reinforcing column for connecting the opposing wall surface of the substrate storage groove is formed partially at the overlapping portion of the chamber and the substrate storage groove, and the escape portion for avoiding the reinforcement column is formed on the control board, the driver While reducing the size and thickness of the built-in piezoelectric pump, it is possible to prevent deformation of the wall surface on the substrate storage groove side of the liquid pump chamber and enhance durability.
図1ないし図5は、本発明によるドライバ内蔵圧電ポンプの一実施形態を示している。この圧電ポンプ20は、合成樹脂材料(例えばPBT(ポリブチレンテレフタレート)樹脂、PPS(ポリフェニレンスルフィド)樹脂)の成形品からなるメインハウジング(ロアハウジング)21とアッパハウジング22を有している。
1 to 5 show an embodiment of a piezoelectric pump with a built-in driver according to the present invention. The
メインハウジング21とアッパハウジング22の間には、Oリング27と環状挟着部材(ガイド)28を介して圧電振動子10が液密に狭着支持されていて、該圧電振動子10とメインハウジング21の円形凹部26との間に液体ポンプ室Pを構成している。圧電振動子10とアッパハウジング22との間には、大気室Aが形成される。大気室Aは、開放しても密閉してもよい。
Between the
メインハウジング21には、冷却水(液体)の吸入ポート24と吐出ポート25が開口しており、この吸入ポート24と吐出ポート25は、液体ポンプ室P側に開口する吸入流路30と吐出流路31に連通している。メインハウジング21には、この吸入流路30と吐出流路31に跨らせて逆止弁ユニット23が固定されている。逆止弁ユニット23には、吸入ポート24から液体ポンプ室Pへの流体流を許してその逆の流体流を許さない吸入側逆止弁(アンブレラ)32と、液体ポンプ室Pから吐出ポート25への流体流を許してその逆の流体流を許さない吐出側逆止弁(アンブレラ)33が設けられている。図示実施形態の逆止弁32、33は、同一の形態であり、弾性材料からなるアンブレラ32a、33aにより、常時は流路穴32b、33bを閉じている。
The
以上の圧電ポンプ20は、圧電振動子10が正逆に弾性変形(振動)すると、液体ポンプ室Pの容積が拡大する行程では、吸入側逆止弁32が開いて吐出側逆止弁33が閉じるため、吸入ポート24から液体ポンプ室P内に液体が流入する。一方、液体ポンプ室Pの容積が減少する行程では、吐出側逆止弁33が開いて吸入側逆止弁32が閉じるため、液体ポンプ室Pから吐出ポート25に液体が流出する。したがって、圧電振動子10を正逆に連続させて弾性変形(振動)させることで、ポンプ作用が得られる。
In the above-described
本実施形態は、以上の基本構造を有する圧電ポンプにおいて、圧電振動子10を駆動制御する制御基板(駆動制御基板)40を収納するために、メインハウジング21に、吸入ポート24と吐出ポート25が開口する端面とは反対側の端面を基板挿入開口21bとした基板収納空間21aを形成している。この基板収納空間21aは、上面開放部21cによって上面一部が開放されており、また、円形凹部26(圧電振動子10)の下方に、該円形凹部26の一部と平面的に見て重畳する(平面位置が一致する)基板収納溝21dを有している。つまり、この基板収納溝21dは、基板挿入開口21b側から挿入した制御基板40を受け入れる底壁21eと上壁21f(図2、図4)を有していて、基板挿入開口21bから圧電振動子10の中心に向かって延びている。上壁21fは、その上部一部に、ポンプ室Pの凹部26が存在する内壁であるのに対し、底壁21eは、ハウジング21の外面壁である。底壁21eには、制御基板40の図の底面が接触する凸部21e2と、空気流通空間21e1が形成されている。
In the present embodiment, in the piezoelectric pump having the basic structure described above, the
メインハウジング21には、円形凹部26(液体ポンプ室P)と基板収納溝21dとの重畳する部分に位置させて、補強支柱21Xが形成されている。この補強支柱21Xは、基板収納溝21dの対向する上壁21fと底壁21eを接続するもので、円形凹部26の中心部から半径方向外方に向けて、かつ基板収納溝21dの延長方向に向けて形成されている。この補強支柱21Xは、上壁21f(液体ポンプ室Pの基板収納溝21d側の壁面)が底壁21e側に変形するのを防止する。
制御基板40は、基板収納空間21a(基板収納溝21d)に挿入されるもので、マクロに見て平面矩形をなしており、その挿入方向の先端部の略中央部に、メインハウジング21の補強支柱21Xを避ける逃げ部(切欠)45が形成されている。また、この補強支柱21Xによって分断された基板収納溝21dの奥部にはそれぞれ、制御基板40の板厚平面と直交する方向に対して傾斜する一対の傾斜壁21gが形成されている。この傾斜壁21gは、基板収納溝21dの高さを奥部に向けて狭めるもので、その高さ方向の中間部分に、制御基板40の挿入方向奥部上縁が線状に当接する(図2)。図5では、この一対の傾斜壁21gをシンボル的に三角形で示している。
The
制御基板40上には、図1、図2に示すように、圧電振動子10に対する給電制御を行う電気部品(電子回路部品)41と、これら電気部品41間を接続するプリント配線が形成されている。給電制御用電気部品41中には、基板上に突出する発熱要素としてのIC、インダクター及びFET回路が含まれており、プリント配線中には、圧電振動子10への給電端子42と43が含まれている。
As shown in FIGS. 1 and 2, an electrical component (electronic circuit component) 41 that controls power feeding to the
また、本実施形態の圧電振動子10回りの構成を説明すると次の通りである。圧電振動子10は、平面円形のシム11と、シム11の表裏面の一方に形成した円形の圧電体(圧電体層)12とを有するユニモルフ型である。圧電体12は、液体ポンプ室P側に位置している。
The configuration around the
シム11は、厚さ30〜300μm程度のステンレスや42アロイ等のばね性金属材料(導電性金属薄板)からなり、圧電体12を支持するための剛性を有している。このシム11は、その円形部分から外方に延びる端子部11aを備えている。圧電体12は、例えば厚さ50〜600μm程度のPZT(Pb(Zr、Ti)O3)等の圧電材料から構成されるもので、その表裏方向に分極処理が施されている。このような圧電振動子は周知である。なお、上記圧電振動子10は、シム11の表裏両面に圧電体12を有するバイモルフ型としても良い。
The
圧電体12の周縁には、Oリング27が弾接してポンプ室Pの液密が保持されている。本実施形態では、圧電体12のシム11とは反対側の面に対して給電するため、該圧電体12とOリング27との間に、環状電極(端子)29が介在している。この環状電極29は、厚さ10〜30μm程度のステンレス、42アロイ、燐青銅等のばね性金属材料からなるもので、シム11と同様に、その環状部分から外方に延びる端子部29aを一体に有している。これらのシム11の端子部11aと環状電極29の端子部29aは、リード線11b、29bを介して制御基板40上の給電端子42と43に接続される。給電端子42と43を介して圧電体12の表裏に交番電界が与えられると、圧電体12の表裏の一方が伸びて他方が縮むサイクルが繰り返され、シム11(圧電振動子10)が中央部の振幅が最も大きくなるように振動する。
An O-
アッパハウジング22には、基板収納空間21aの基板挿入開口21bを閉塞する蓋部22aが形成されており、この蓋部22aに外部端子挿入穴(大気流通穴)22b(図1)が形成されている。
The
上記構成の本ドライバ内蔵圧電ポンプは、メインハウジング21とアッパハウジング22との間に圧電振動子10、Oリング27、環状接触部材28及び環状電極29を挟着して結合し、シム11の端子部11aに接続されたリード線11bと環状電極29の端子部29aに接続されリード線29bを、メインハウジング21の上面開放部21cから基板収納空間21aに導き、制御基板40上の給電端子42と43に接続する(半田付けする)。
The piezoelectric pump with a built-in driver configured as described above is joined by sandwiching the
この状態で、基板収納空間21aの基板挿入開口21bから基板収納溝21dに制御基板40を挿入すると、制御基板40の逃げ部45がメインハウジング21の補強支柱21Xに沿って進入し、制御基板40の先端部が一対の傾斜壁21gに機械的に線状に当接する。この一対の線状接触部が制御基板40の揺動支点部となる。制御基板40の幅dは、図5に模式的に示すように、基板収納溝21d内においてマクロな移動が可能なように、基板収納溝21dの幅Dより小さく設定されていて、両者の間に隙間sが確保される。本実施形態では、制御基板40の挿入方向後端部(手前側)の両側において、この隙間sを埋める接着剤ADによって、制御基板40の後端部がメインハウジング21(基板収納空間21a)に固定されている。接着剤ADは、振動吸収作用を有するもので、例えば、アクリル樹脂系接着剤、エポキシ樹脂系接着剤、シリコーン樹脂系接着剤、ホットメルト接着剤等が用いられる。
In this state, when the
接着剤ADは、図5に鎖線で示すように、その後メインハウジング21に被せられて固定されるアッパハウジング22の蓋部22aと、制御基板40の後端壁との間の隙間に介在させてもよい。つまり、蓋部22aによって制御基板40を基板収納溝21dの奥部に押し付けることができる。
As shown by a chain line in FIG. 5, the adhesive AD is interposed in a gap between the
上記構成の本圧電ポンプは、制御基板40を介して圧電振動子10に交番電界を与えるポンプ作用中には液体ポンプ室Pに加わる圧力によって、基板収納溝21dの上壁21fを底壁21e側に変形させようとする力が加わる。しかし、上壁21fと底壁21eは、補強支柱21Xによって接続されているため、上壁21fの変形が防止される。また、ポンプ作用中においては、圧電振動子10の振動がメインハウジング21に伝達され、メインハウジング21の振動が制御基板40に伝わる。しかし、制御基板40の一端部(圧電振動子10の下方に位置する先端部)は、傾斜壁21gに機械的に線接触していて、後端部は、振動吸収作用を有する接着剤ADを介して基板収納溝21d(メインハウジング21)の壁面に固定されているため、制御基板40に振動が伝わりにくい。また、制御基板40はミクロに見て傾斜壁21gを中心とする揺動運動ができ、捩れは生じにくく、単純な振動となるため、制御基板40上に設置された電気部品(電子回路部品)41やこれら電気部品41がプリント配線に接続されている半田などに対するダメージを緩和することが可能となる。
In the piezoelectric pump having the above-described configuration, the
図6は、基板収納溝21dに対する制御基板40の別の支持構造を示している。この支持構造は、制御基板40と基板収納溝21dの上壁21fとを、制御基板40上に支持した押圧ブロック46によって接触させた実施形態である。基板収納溝21dの上壁21fと底壁21eの間隔を制御基板40の厚さに対応させて狭めることにより、押圧ブロック46を省略してもよい。本実施形態は、メインハウジング21に補強支柱21Xを形成し、制御基板40に、この補強支柱21Xを避ける逃げ部45を形成した点に特徴があり、制御基板40の基板収納溝21dに対する支持構造には自由度がある。
FIG. 6 shows another support structure of the
以上の実施形態では、補強支柱21Xを液体ポンプ室Pの中心部から半径方向に延びる単一のものとしたが、複数に分割してもよい。この態様では、複数の補強支柱21Xは、半径方向と平行な方向に向けて設けるのがよい。
In the above embodiment, the reinforcing
以上の実施形態は、シム11の表裏の一面に圧電体12を有するユニモルフタイプの圧電振動子を用い、該圧電体12を液体ポンプ室P側に向けて配置したが、圧電振動子10の表裏を逆転させても、あるいはバイモルフタイプ、マルチモルフタイプの圧電振動子を用いても全く同様の給電構造を実現できる。
In the above embodiment, the unimorph type piezoelectric vibrator having the
以上の実施形態では、シム11の端子部11aと環状電極29の端子部29aを、リード線11bと29bを介して制御基板40の給電端子42と43に導通させたが、この給電構造は一例であり、本発明は給電構造を限定するものではない。
In the above embodiment, the
10 圧電振動子
11 シム(給電部材)
12 圧電体(圧電体層)
20 圧電ポンプ
21 メインハウジング
21a 基板収納空間
21b 基板挿入開口
21c 上面開放部
21d 基板収納溝
21e 底壁
21f 上壁
21g 傾斜壁
21X 補強支柱
22 アッパハウジング
22a 蓋部
22b 大気流通穴
23 逆止弁ユニット
24 吸入ポート
25 吐出ポート
26 円形凹部
27 Oリング
28 環状狭着部材
29 環状電極(給電部材)
30 吸入流路
31 吐出流路
32 33 逆止弁
40 制御基板(駆動制御基板)
41 電気部品(駆動制御部品)
42 43 給電端子
45 逃げ部
A 大気室
P 液体ポンプ室
AD 接着剤
s 隙間
10
12 Piezoelectric body (piezoelectric layer)
20
30
41 Electrical parts (drive control parts)
42 43
Claims (4)
上記ハウジングに、上記液体ポンプ室に平面的に見て一部を重畳させて、上記制御基板を収納する基板収納溝を形成し、
この基板収納溝内に、上記重畳部分に部分的に位置させて、上記基板収納溝の対向する壁面を接続する補強支柱を形成し、
上記制御基板に、この補強支柱を避ける逃げ部を形成したことを特徴とするドライバ内蔵圧電ポンプ。 In a single housing, a piezoelectric vibrator that forms a liquid pump chamber on at least one surface of the front and back, and a control board on which electric parts for power supply control for the piezoelectric vibrator are mounted, and the piezoelectric vibrator is vibrated. This is a piezoelectric pump with a built-in driver that performs the pumping action by supplying and discharging liquid into the liquid pump chamber,
In the housing, a part of the liquid pump chamber is overlapped in a plan view to form a substrate storage groove for storing the control substrate,
In this substrate storage groove, a reinforcing column is formed to connect to the opposing wall surface of the substrate storage groove, partially positioned in the overlapping portion,
A piezoelectric pump with a built-in driver, wherein an escape portion that avoids the reinforcing support is formed on the control board.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009100760A JP2010249065A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Piezoelectric pump with built-in driver |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009100760A JP2010249065A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Piezoelectric pump with built-in driver |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010249065A true JP2010249065A (en) | 2010-11-04 |
Family
ID=43311655
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009100760A Withdrawn JP2010249065A (en) | 2009-04-17 | 2009-04-17 | Piezoelectric pump with built-in driver |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2010249065A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020133505A (en) * | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 東芝テック株式会社 | Piezoelectric pump and liquid discharge device |
-
2009
- 2009-04-17 JP JP2009100760A patent/JP2010249065A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020133505A (en) * | 2019-02-20 | 2020-08-31 | 東芝テック株式会社 | Piezoelectric pump and liquid discharge device |
JP7214500B2 (en) | 2019-02-20 | 2023-01-30 | 東芝テック株式会社 | Piezoelectric pump and liquid ejection device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9237854B2 (en) | Valve, fluid control device | |
US9028226B2 (en) | Fluid control device | |
US9482217B2 (en) | Fluid control device | |
JP4730437B2 (en) | Piezoelectric pump | |
US8747080B2 (en) | Fluid pump | |
JP4957480B2 (en) | Piezoelectric micro pump | |
JP2007165664A (en) | Wiring structure for oscillator and piezo-electric pump | |
JP2007046551A (en) | Piezoelectric pump | |
JP5429317B2 (en) | Piezoelectric micro pump | |
US20070065310A1 (en) | Diaphragm pump | |
WO2019124029A1 (en) | Pump | |
JP2009079482A (en) | Piezoelectric pump | |
JP2010249065A (en) | Piezoelectric pump with built-in driver | |
JP5154323B2 (en) | Piezoelectric pump with built-in driver | |
JP2009097367A (en) | Piezoelectric pump | |
JP2006220056A (en) | Fluid transportation device | |
JP2009041554A (en) | Piezoelectric pump | |
JP4976202B2 (en) | Diaphragm pump | |
KR100829930B1 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2009203979A (en) | Piezoelectric pump with built-in driver | |
JP5134435B2 (en) | Piezoelectric pump with built-in driver | |
JP2009156178A (en) | Piezoelectric pump with built-in driver | |
JP4940042B2 (en) | Piezoelectric pump | |
JP2009024510A (en) | Diaphragm pump | |
JP5500310B2 (en) | Active valve, fluid control device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20120703 |