JP2010139604A - 電磁波発生・伝送装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】単一モードの電磁波が伝送される電磁波発生・伝送装置を提供すること。
【解決手段】ポンプ光パルスを発生するポンプ光源1と、ポンプ光源1から発生された前記ポンプ光パルスの空間光強度分布を所定の強度分布に変調する強度分布変調手段2と、 強度分布変調手段2で所定の強度分布に変調された前記ポンプ光パルスが入射されてポンプ光パルスより長波長の電磁波を発生する電磁波発生手段4と、電磁波発生手段4から発生された前記電磁波を伝送する電磁波伝送媒体5と、を有することを特徴とする電磁波発生・伝送装置。
【選択図】図1

Description

電磁波のうちテラヘルツ波は周波数が0.1〜10THz(波長が30μm〜3000μm)の電磁波であり、波長が赤外〜遠赤外領域とほぼ一致する。テラヘルツ波帯はこれまで未開拓電磁波であったが、この周波数帯の電磁波の特徴を生かした時間領域分光、イメージング及びトモグラフィーによる材料のキャラクタリゼーション、環境計測、生物や医学への応用などが検討され、近年重要になってきている。本発明は、電磁波の応用に必要不可欠な電磁波発生・伝送装置に関する。
レーザ技術によりパルス幅の短いコヒーレントなパルス光が得られる。パルス幅の短いコヒーレントなパルス光を物質(結晶、液体、気体、粉末)に照射してポンプ(励起)すると、非線形光学効果(χ(2)効果、誘導ラマン効果、誘導ブリルアン効果、他)によってポンプ光より長波長のコヒーレントな電磁波が得られる(例えば、非特許文献1参照)。
近年、高出力のテラヘルツ波を発生させるために、テラヘルツ波発生用非線形結晶中でのポンプ光(励起光)のパルスフロントを、テラヘルツ波の位相速度とポンプ光の群速度とで決まる特定の角度に傾斜させ、ポンプ光パルスフロントの法線ベクトル方向に結晶の光整流(optical rectification)効果で高強度のテラヘルツ波を発生させる方法が開発されている(例えば、非特許文献2〜4参照。)。
一方、テラヘルツ波を伝送する媒体として、例えば、テラヘルツ波導波路が提案されている(例えば、非特許文献5参照。)。このような導波路は、空間伝播するテラヘルツ波を導波路伝播モードに変換し、テラヘルツ波を空間伝播させる代わりに導波路モードとして伝送するためのものである。
稲場文男、他編「レーザーハンドブック」朝倉書店、1973年2月20日、p.415−456 J. Hebling et al., " Velocity matching by pulse front tilting for large-area THz-pulse generation ", Opt. Express Vol. 10, pp1161-1166 (2002) M. C. Hoffmann et al., "Efficient terahertz generation by optical rectification at 1035 nm ", Opt. Express Vol. 15, pp11706-11713 (2007) J. Hebling et al., "Tunable THz pulse generation by optical rectification of ultrashort laser pulses with tilted pulse front ", Appl. Phys. B Vol.78, pp593-599 (2004) G. Gallot et al., "Terahertz waveguides ", J. Opt. Soc. Am. B Vol. 17, pp851-863 (2000)
空間伝播する電磁波を導波路等の伝送媒体に光学結合する場合、伝送媒体の伝播モードへの結合状態は、結合効率ηで表される。伝送媒体中での伝播モードlm(エル・エム)への結合効率ηlmは、次式のように表される。
ηlm=(モードlmに結合するパワー)/(全入射パワー)
=|∬Ein(x,y)E lm(x,y)dxdy|2/Σl´m´|∬Ein(x,y)E l´m´(x,y)dxdy|2
ここで、Ein(x,y)及びElm(x,y)は、それぞれ入射波断面(波数ベクトル方向をz軸とする)における複素電場分布と伝送媒体中の伝播モードlmの伝播方向に垂直な断面での複素電場分布である(*は複素共役を表す。)。理想的な結合状態は、Ein(x,y)=Elm(x,y)のときであり、このときηlm=1となる。
上記従来の方法で発生された電磁波を伝送媒体に結合させようとすると、電磁波の波数ベクトルに垂直な平面内での電磁波電場強度分布が、ポンプ光断面の空間強度分布を反映し、電磁波の波数ベクトルに垂直な平面内での電場強度分布が、必ずしも伝送媒体の狙った伝播モードの電場分布と一致せず、発生した電磁波の一部が望まない他の伝播モードへ結合してしまう。
例えば、ポンプ光が通常のガウシアンビームで伝送媒体が矩形(方形)導波路の場合、非線形結晶から発生される電磁波の空間での光束断面における電場強度分布は楕円状になるが、伝播モードは図12(a)に示すような電場分布(軸対称モード)となり、導波路の伝播モードと電磁波の空間伝播モード間で、電場分布の形状が一致しない。ビーム品質の良い低次モードのTE10モードは、図12(b)、(c)に示すように、x軸方向でガウシアンで、y軸方向でフラットな強度分布をしている。導波路の伝播モードと電磁波の空間伝播モード間で、電場分布の形状が一致しない場合、狙ったモード以外の伝播モードへの結合が避けられず、伝送媒体から出射される電磁波のビーム品質が低下する。例えば、電磁波を計測に応用する場合、ビーム品質が低いと、集光スポットが大きくなり計測の分解能が低下したりする。また、電磁波パルスにおいて、伝播モード間での伝播定数の違いにより、パルス幅が広がってしまう問題もある。
本発明は、上記従来の問題に鑑みてなされたものであり、単一モードの電磁波が伝送される電磁波発生・伝送装置を提供することを課題とする。
上記の課題を解決するためになされた本発明の電磁波発生・伝送装置は、ポンプ光パルスを発生するポンプ光源と、前記ポンプ光源から発生された前記ポンプ光パルスの空間光強度分布を所定の強度分布に変調する強度分布変調手段と、前記ポンプ光パルスが入射されて前記ポンプ光パルスより長波長の電磁波を発生する電磁波発生手段と、前記電磁波発生手段から発生された前記電磁波を伝送する電磁波伝送媒体と、を有することを特徴としている。
上記電磁波発生・伝送装置において、前記電磁波がテラヘルツ波であることが好ましい。
また、前記電磁波伝送媒体を伝播した電磁波の空間光強度分布をモニターするモニター手段と、前記モニター手段でモニターした電磁波の空間光強度分布を前記強度分布変調手段にフィードバックし、前記強度分布変調手段をフィードバック制御するフィードバック制御手段と、をさらに有するとよい。
また、前記ポンプ光源から発生された前記ポンプ光パルスのパルスフロントを光軸と直交する面に対して所定の角度傾斜させるパルスフロント傾斜手段を有し、前記電磁波発生手段が前記パルスフロント傾斜手段で所定の傾斜角度に傾斜された前記ポンプ光パルスが入射されてテラヘルツ波を発生する非線形結晶であるとよい。
また、前記ポンプ光源は、前記強度分布変調手段及び或いは前記パルスフロント傾斜手段を内蔵するとよい。
また、前記ポンプ光源は、複数のレーザを二次元に配置した二次元アレーレーザを備え、前記強度分布変調手段は、前記複数のレーザの出力を制御する出力制御手段を含むものとすると良い。
また、前記ポンプ光源は、複数のレーザを二次元に配置した二次元アレーレーザを備え、前記パルスフロント傾斜手段は、前記複数のレーザのパルスタイミングを順次ずらすパルスタイミング制御手段を含むものとすると良い。
ポンプ光パルスの空間光強度分布を所定の強度分布に変調する強度分布変調手段を有するので、所定の強度分布を電磁波伝送媒体の単一モードの強度分布に等しくすることで、電磁波発生手段から該強度分布に等しい電磁波を発生させ、伝送媒体から単一モードの電磁波を出射させることができる。
テラヘルツ波は応用性の広い電磁波であり、電磁波発生・伝送装置の有用性が高まる。
モニター手段で伝送媒体を伝播した電磁波の空間光強度分布をモニターし、フィードバック制御手段でその空間光強度分布を強度分布変調手段にフィードバックするので、伝送媒体を伝播した電磁波の空間光強度分布を高効率且つ高精度に単一モード化できる。
ポンプ光源から発生されたポンプ光パルスのパルスフロントを光軸と直交する面に対して所定の角度傾斜させるパルスフロント傾斜手段を有し、電磁波発生手段がパルスフロント傾斜手段で所定の傾斜角度に傾斜された前記ポンプ光パルスが入射されてテラヘルツ波を発生する非線形結晶であるので、非線形結晶から光整流現象により高出力のテラヘルツ波が発生される。その結果、電磁波発生・伝送装置の有用性が一層高まる。
ポンプ光源が強度分布変換手段及び或いはパルスフロント傾斜手段を内蔵するので、装置の小型化が図れる。
出力制御手段で複数のレーザの出力を制御することでポンプ光の空間光強度分布を所定の強度分布に変調することができる。その結果、新たな光学要素を必要とせず、装置の小型化が一層図れる。
パルスタイミング制御手段で複数のレーザのパルスタイミングを順次ずらすことでパルスフロントを所定の傾斜角度に傾斜させることができる。その結果、新たな光学要素を必要とせず、装置の小型化が一層図れる。
本発明の実施形態を図面を参照して詳しく説明する。
(実施形態1)
図1は、実施形態1の電磁波発生・伝送装置の概略構成図である。図3は、強度分布変調手段として用いた矩形開口NDフィルターの正面視図であり、図5は、図1のP1におけるポンプ光パルスの強度分布の等高線図とx軸(y軸)方向の強度分布曲線を示す。図6は、図1のP2におけるポンプ光の強度分布の等高線図とx軸方向及びy軸方向の強度分布曲線とを示す。図7は、図1のP4におけるテラヘルツ波の強度分布の等高線図とx軸方向及びy軸方向の強度分布曲線とを示す。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、図1に示すように、ポンプ光源1と、強度分布変調手段2と、電磁波発生手段4と、伝送媒体5と、を備えている。
ポンプ光源1は、たとえば、Erドープファイバレーザで、パルス幅17fs、繰り返し周波数50MHz、中心波長1550nm、出力100mWのポンプ光を発生する。ポンプ光は、図5に示すような、単一モードの円形ガウシアンビームである。すなわち、強度分布変調手段2に入射されるポンプ光は、同心円状の等高線を持つ2次元強度分布を有している。
ポンプ光源1から出射されたポンプ光ビームは、テレセントリック光学系(望遠鏡)6に入射し、ビーム径が拡大される。
強度分布変調手段2には、図3に示すような2次元透過率分布を持つ矩形開口を備えている矩形開口NDフィルターを用いることができる。この2次元透過率分布は、図5に示す同心円状の等高線を持つ2次元強度分布を、図6に示す1次元強度分布を持つ矩形ビームに変換するように設計されている。
強度分布変調手段2として、たとえば矩形開口の透過型液晶パネルを用いると、後述のフィードバック制御も可能になる。すなわち、2次元透過率分布を実時間で変更することができる。
電磁波発生手段4は、たとえば、有機非線形結晶のDAST(4-dimethylamino-N-methyl-4 stilbazobazolium tosylate)であり、用いたDAST結晶4はc軸に直交する二つの面41、42を持ち、面41と42の間隔(厚さ)は0.1mmである。DAST結晶4に上記ポンプ光がレンズ7で集光照射されると、DAST結晶4からχ(2)過程によりテラヘルツ波が発生される。このテラヘルツ波は、図7に示すような空間光強度分布をもっている。
DAST結晶4から発生されたテラヘルツ波は、レンズ8で伝送媒体5に結合される。
伝送媒体5には、矩形導波路が用いられる。なお、伝送媒体5には、コアとクラッドとを有するファイバー、ストリップライン、金属導波管、金属線などを用いても良い。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、ポンプ光パルスの空間光強度分布を強度分布変調手段2で矩形導波路5のTE10単一モードの強度分布に等しくするので、DAST結晶4から発生されるテラヘルツ波も図7に示すような空間光強度分布を持ち、伝送媒体5から図12に示すTE10モードのみが出射される。
なお、ポンプ光パルスの空間光強度分布を矩形導波路5のTM12モードの強度分布と等しくする強度分布変調手段2を用いることで、矩形導波路5でTM12モードのみを効率よく伝播させることができる。
本実施形態では、伝送媒体5が矩形導波路であるため、強度分布変調手段2に矩形開口NDフィルターを用いて、ポンプ光の強度分布を矩形導波路5の低次モード(TE10)の強度分布に等しくしている。伝送媒体5に円形導波路を用いる場合は、ポンプ光の強度分布を円形導波路の低次モード(点対称モード、たとえば、TE01モード)の強度分布に等しくする強度分布変調手段2を用いる必要がある。このような強度分布変調手段2としては、ポンプ光の強度分布をTE01モードの強度分布に等しくする透過率分布をもつ円形開口NDフィルターを用いればよい。
(実施形態2)
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、実施形態1のポンプ光源1をイッテルビウム固体レーザ再生増幅器に、電磁波発生手段4をLiNbO3結晶に、それぞれ変更し、電磁波発生手段4の前にパルスフロント傾斜手段3を備えた以外は実施形態1の電磁波発生・伝送装置と同じである。同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、図2に示すように、ポンプ光源1Aと、強度分布変調手段2と、パルスフロント傾斜手段3と、非線形結晶4Aと、伝送媒体5と、を備えている。
ポンプ光源1Aは、繰り返し周波数1−100kHz、パルス幅300fs、中心波長1035nm、平均出力パワー20−400mWのイッテルビウム固体レーザ再生増幅器である。ポンプ光源1Aからは、図5に示すような、単一モードの円形ガウシアンビームが出射される。すなわち、強度分布変調手段2に入射されるポンプ光は、同心円状の等高線を持つ2次元強度分布を有している。
パルスフロント傾斜手段3には、図4に示すようなエシェロン(階段格子)を用いることができる。z軸(光軸)に直交する面に平行なパルスフロントPF0を持つポンプ光パルスがエシェロン3に入射されると、エシェロン3の厚さで光速が減速され、厚いところを通過するポンプ光パルス程、進む距離が短くなり、エシェロン3を出射するポンプ光パルスのパルスフロントは、PF1のように光軸に直交する面に対してαだけ傾斜する。なお、パルスフロント傾斜手段3には、たとえば、グルーブ数1800本/mmの回折格子を使用しても良い。
パルスフロント傾斜手段3から出射されたポンプ光パルスは、レンズ7で集光され、さらにαに傾斜したパルスフロントPFになる。したがって、非線形結晶4に入射されるポンプ光パルスはパルスフロントPFをもつことになる。
非線形結晶4Aには、0.6%のMgOをドープしたLiNbO3結晶を用いた。LiNbO3結晶4Aは、図2に示すように光軸と直交する入射面4aに対して角度βの出射面を持つように直方体をカットしたものである。角度βは、ポンプ光パルスの結晶4A中での群速度Vgr pと発生する電磁波(テラヘルツ波)の位相速度Vph THzとで決まり、次式を満たすように設計されている。
ph THz=Vgr pcosβ (1)
非線形結晶4Aが0.6%のMgOをドープしたLiNbO3結晶の場合、β=64°である。
非線形結晶4Aに入射するポンプ光パルスのパルスフロントPFの傾斜角α(図2参照。)は、非線形結晶4Aの光整流作用によりテラヘルツ波が効率よく発生されるように、次式を満たすように設計されている。
tanα=ngr tanβ (2)
ここで、ngr はポンプ光パルスの非線形結晶4A中での群屈折率である。非線形結晶4Aが0.6%のMgOをドープしたLiNbO3結晶の場合、α=78°である。
非線形結晶4Aから発生されたテラヘルツ波は、レンズ8で伝送媒体5に結合される。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、ポンプ光パルスのパルスフロントがパルスフロント傾斜手段3で所定の角度に傾斜されるので、非線形結晶4Aから光整流作用で高出力のテラヘルツ波が発生される。そしてそのテラヘルツ波の空間光強度分布が矩形導波路5の単一モードの強度分布に等しいので、非線形結晶4Aから出射されるテラヘルツ波も図7に示すような空間光強度分布を持ち、伝送媒体5から図12に示すTE10モードの高出力テラヘルツ波が出射される。その結果、本実施形態の電磁波発生・伝送装置は応用性が高い。
テラヘルツ波が空気中を伝播すると、空気中の水蒸気や炭酸ガス等で吸収され、測定対象に僅かしか到達しないが、本発明のテラヘルツ波発生・伝送装置を用いると、測定対象近くまで伝送媒体で伝送されるので空気中での吸収損失が殆どない。また、伝送媒体から出射されるテラヘルツ波は単一モードで且つ高出力であるため、ビーム品質及び強度が高く、様々な応用性に優れている。
(実施形態3)
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、実施形態2のポンプ光源1Aを強度分布変調手段2とパルスフロント傾斜手段3を備えるポンプ光源に変更した以外は実施形態2の電磁波発生・伝送装置と同じである。同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、図8に示すように強度分布変調手段12とパルスフロント傾斜手段13を含むポンプ光源10を備えている。
ポンプ光源10は、図9(a)に示すように、多数のモードロックファイバーレーザ11(1,1)、11(1,2)・・11(i,j)・・11(M,N)と強度分布変調手段12とパルスフロント傾斜手段13とを備えている。
各モードロックファイバーレーザ11(i,j)は、ファイバー共振器11(i,j)aと出力ファイバー11(i,j)bとを備えている。
強度分布変調手段12は、各モードロックファイバーレーザ11(i,j)の出力制御手段である。また、パルスフロント傾斜手段13は、各モードロックファイバーレーザ11(i,j)のパルスタイミングを制御するパルスタイミング制御手段である。
出力ファイバー11(i,j)bの端部は、図9(b)に示すように、x−y平面で矩形に配置されている。したがって、出力制御手段12で各モードロックファイバーレーザ11(i,j)の出力を制御することで、ポンプ光の空間光強度分布を図6に示すようにすることができる。
また、図9(c)に示すように、1列目の出力ファイバー11(i,1)b、2列目の出力ファイバー11(i,2)b、・・・N列目の出力ファイバー11(i,N)bの順に、パルスタイミング制御手段13で各レーザのパルスのタイミングを順次遅らせることでパルスフロントをαに傾斜させることができる。なお、パルスフロントの傾斜角は、テレセントリック光学系(望遠鏡)6とレンズ7を通過することで変化するので、αはα=78°となるように制御される。
本実施形態では、上記のようにパルスタイミング制御手段13で各レーザのパルスのタイミングを順次遅らせることでパルスフロントを傾斜させたが、たとえば、出力ファイバー11(i,j)bの長さを変えることでもパルスフロントを傾斜させることができる。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、ポンプ光源10に強度分布変調手段とパルスフロント傾斜手段とが内蔵されるので、装置の小型化、安定動作が達成される。
なお、本実施形態では、ポンプ光源10として上記のように多数のモードロックファイバーレーザを用いたが、半導体レーザアレーを用いても良い。
(実施形態4)
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、実施形態3の電磁波発生・伝送装置にモニター手段とフィードバック制御手段とを付加した以外は実施形態3の電磁波発生・伝送装置と同じである。同一の構成要素には同一の符号を付し、説明を省略する。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、図10に示すように、伝送媒体5を伝播したテラヘルツ波の空間光強度分布をモニターするモニター手段22とフィードバック制御手段23とを備えている。
モニター手段22としては、たとえばサーモグラフィックカメラや、二次元アレーボロメータ、二次元アレーパイロメータ、二次元走査EO(Electro Optical)検出器等を用いることができる。モニター手段22は、伝送媒体5を伝播したテラヘルツ波をビームスプリッタ21で分岐してモニターする。
フィードバック制御手段23は、CPU或いは専用の電子制御ユニットである。フィードバック制御手段23は、モニター手段22がモニターしたテラヘルツ波の強度分布が単一モードであるかを判定して単一モードになるように強度分布変調手段をフィードバック制御する。
フィードバック制御は、図11に示すフローチャートのように行われる。先ず、S1(ステップ1)でポンプ光源がオンされ、電磁波発生・伝送装置が動作する。次にS2で強度分布制御手段(出力制御手段12)がポンプ光強度分布を制御する。次にS3でモニター手段22がテラヘルツ波の強度分布を測定し、その測定値をフィードバック制御手段23に渡す。S4でフィードバック制御手段23は測定値が単一モードであるか判定し、
単一モードになるまで強度分布制御手段(出力制御手段12)がポンプ光強度分布を制御する。
本実施形態の電磁波発生・伝送装置は、モニター手段22で伝送媒体5を伝播したテラヘルツ波の空間光強度分布をモニターし、フィードバック制御手段23でその空間光強度分布が単一モードになるまで強度分布変調手段12にフィードバックするので、伝送媒体5を伝播したテラヘルツ波の空間光強度分布が高精度に単一モード化される。
実施形態1の電磁波発生・伝送装置の概略構成図である。 実施形態2の電磁波発生・伝送装置の概略構成図である。 強度分布変調手段(矩形開口NDフィルター)の正面視図である。 パルスフロント傾斜手段(エシェロン板)でパルスフロントが傾斜する様子を示す図である。 (a)図1及び図2のP1におけるポンプ光パルスの強度分布の等高線図である。
(b)図1及び図2のP1におけるポンプ光パルスのx軸(y軸)方向の強度分布曲線である。
(a)図1及び図2のP2におけるポンプ光パルスの強度分布の等高線図である。
(b)図1及び図2のP2におけるポンプ光パルスのx軸方向の強度分布曲線である。
(c)図1及び図2のP2におけるポンプ光パルスのy軸方向の強度分布曲線である。
(a)図1及び図2のP4におけるテラヘルツ波の強度分布の等高線図である。
(b)図1及び図2のP4におけるテラヘルツ波のx’軸方向の強度分布曲線である。
(c)図1及び図2のP4におけるテラヘルツ波のy’軸方向の強度分布曲線である。
実施形態3の電磁波発生・伝送装置の概略構成図である。 (a)図8におけるポンプ光源10の概略構成図である。
(b)図9(a)における出力ファイバー11(i,j)bの端部のA矢視図である。
(c)各レーザのパルスのタイミングを順次遅らせることでパルスフロントを傾斜させる様子を示す図である。
実施形態4の電磁波発生・伝送装置の概略構成図である。 フィードバック制御のフローチャートである。 (a)矩形導波路における主要な3つのモードの電場パターンである。
(b)TE10モードのx軸方向の強度分布波形である。
(c)TE10モードのy軸方向の強度分布波形である。
符号の説明
1、1A、10・・・・ポンプ光源
2、12・・・・・・・強度分布変調手段
3、13・・・・・・・パルスフロント傾斜手段
4、4A・・・・・・・電磁波発生手段
5・・・・・・・・・・電磁波伝送媒体
11(i,j)・・・・・・・二次元アレーレーザ
22・・・・・・・・・モニター手段
23・・・・・・・・・フィードバック制御手段

Claims (7)

  1. ポンプ光パルスを発生するポンプ光源と、
    前記ポンプ光源から発生された前記ポンプ光パルスの空間光強度分布を所定の強度分布に変調する強度分布変調手段と、
    前記ポンプ光パルスが入射されて前記ポンプ光パルスより長波長の電磁波を発生する電磁波発生手段と、
    前記電磁波発生手段から発生された前記電磁波を伝送する電磁波伝送媒体と、
    を有することを特徴とする電磁波発生・伝送装置。
  2. 前記電磁波がテラヘルツ波である請求項1に記載の電磁波発生・伝送装置。
  3. 前記電磁波伝送媒体を伝播した電磁波の空間光強度分布をモニターするモニター手段と、
    前記モニター手段でモニターした電磁波の空間光強度分布を前記強度分布変調手段にフィードバックし、前記強度分布変調手段をフィードバック制御するフィードバック制御手段と、をさらに有する請求項1または2に記載の電磁波発生・伝送装置。
  4. 前記ポンプ光源から発生された前記ポンプ光パルスのパルスフロントを光軸と直交する面に対して所定の角度傾斜させるパルスフロント傾斜手段を有し、
    前記電磁波発生手段が前記パルスフロント傾斜手段で所定の傾斜角度に傾斜された前記ポンプ光パルスが入射されてテラヘルツ波を発生する非線形結晶である請求項2または3に記載の電磁波発生・伝送装置。
  5. 前記ポンプ光源は、前記強度分布変調手段及び或いは前記パルスフロント傾斜手段を内蔵する請求項4に記載の電磁波発生・伝送装置。
  6. 前記ポンプ光源は、複数のレーザを二次元に配置した二次元アレーレーザを備え、前記強度分布変調手段は、前記複数のレーザの出力を制御する出力制御手段を含む請求項5に記載の電磁波発生・伝送装置。
  7. 前記ポンプ光源は、複数のレーザを二次元に配置した二次元アレーレーザを備え、前記パルスフロント傾斜手段は、前記複数のレーザのパルスタイミングを順次ずらすパルスタイミング制御手段を含む請求項5又は6に記載の電磁波発生・伝送装置。
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