JP2010098518A - Memsセンサの製造方法およびmemsセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウエハWの一方面上に、第1犠牲層24、ダイヤフラム6、第2犠牲層25、バックプレート8および保護膜10が形成される。保護膜10の材料にポリイミドが用いられ、第2犠牲層25の材料にAlが用いられる。そして、保護膜10に、バックプレート8の孔9と連通する孔13が形成される。また、保護膜10におけるバックプレート8の周囲に、孔14が形成される。そして、保護膜10の内側に孔9,13,14を通して塩素系ガスが供給されることにより、第2犠牲層25が除去される。
【選択図】図2H
Description
シリコンマイクは、シリコン基板を備えている。シリコン基板の中央部には、それを厚さ方向に貫通する貫通孔が形成されている。シリコン基板上には、貫通孔と対向する位置に、ポリシリコンからなるダイヤフラムが配置されている。ダイヤフラムは、シリコン基板から浮いた状態(シリコン基板の表面に対して微小な間隔を空けた状態)に設けられることにより、シリコン基板の表面と対向する方向に振動可能とされている。ダイヤフラムに対してシリコン基板と反対側には、ポリシリコンからなるバックプレートが配置されている。バックプレートは、ダイヤフラムに対して微小な間隔を空けて対向している。バックプレートの表面は、SiN(窒化シリコン)からなる保護膜により被覆されている。
このようなシリコンマイクの製造工程では、シリコン基板上に下犠牲層が形成され、その下犠牲層上にダイヤフラムが形成される。その後、上犠牲層がダイヤフラムの表面全域を被覆するように形成され、その上犠牲層上にバックプレートが形成される。バックプレートの形成後、保護膜が上犠牲層およびバックプレートの表面の全域を被覆するように形成される。そして、保護膜に貫通孔が形成された後、その貫通孔から保護膜の内側にエッチャントが供給され、下犠牲層および上犠牲層が除去される。これにより、ダイヤフラムがシリコン基板の表面から浮いた状態になるとともに、ダイヤフラムとバックプレートとの間に微小な間隔の空間が形成される。
請求項4に記載のように、第2犠牲層は、スパッタ法により形成され、上電極は、第2犠牲層の形成に引き続いて、スパッタ法により形成されることが好ましい。第2犠牲層および上電極の両方が金属材料からなるので、スパッタ法により、それらを連続して形成することができる。これにより、MEMSセンサの製造工程を簡素化することができる。
図1は、本発明の一実施形態に係るシリコンマイクの構造を示す模式的な断面図である。
シリコンマイク1は、MEMS技術により製造されるセンサ(MEMSセンサ)である。シリコンマイク1は、シリコンからなる基板2を備えている。基板2の中央部には、表面(上面)側ほど窄まる(裏面側ほど広がる)断面台形状の貫通孔3が形成されている。
そして、基板2の表面の露出している部分上には、円形薄膜状のダイヤフラム6が基板2の表面に対して微小な間隔を空けて設けられている。すなわち、ダイヤフラム6は、貫通孔3と対向し、基板2の表面における貫通孔3の周囲の部分から浮いた状態で配置されている。ダイヤフラム6の下面(基板2との対向面)には、ダイヤフラム6と基板2との密着を防止するための複数の下ストッパ7が形成されている。また、ダイヤフラム6には、図示しない支持部が一体的に形成されている。そして、支持部が絶縁膜4および金属膜5との間に挟持され、ダイヤフラム6は、その支持部により、基板2との対向方向に振動可能に支持されている。ダイヤフラム6および支持部は、たとえば、不純物のドープにより導電性が付与されたポリシリコン(ドープトポリシリコン)からなる。
シリコンマイク1の最表面は、保護膜10により被覆されている。具体的には、保護膜10は、絶縁膜4、金属膜5および基板2の表面を連続して被覆し、基板2の表面からダイヤフラム6の周囲をダイヤフラム6と間隔を有して取り囲むように立ち上がり、バックプレート8の上面(ダイヤフラム6側と反対側の面)を被覆している。これにより、基板2上には、保護膜10により区画される空間11が形成されており、この空間11内に、ダイヤフラム6が基板2、バックプレート8および保護膜10と非接触な状態で配置されている。
保護膜10には、保護膜10が入り込んでいない孔9と対向する各位置に、孔13が孔9と連通して形成されている。また、保護膜10には、バックプレート8の周囲に、複数の孔14が形成されている。これにより、保護膜10の内側の空間11は、貫通孔3を介して基板2の裏面側の外部と連通するとともに、孔9,13,14を介して基板2の表面側の外部と連通している。
ダイヤフラム6およびバックプレート8は、それらを対向電極とするコンデンサを形成している。このコンデンサ(ダイヤフラム6およびバックプレート8間)には、所定の電圧が印加される。その状態で、音圧(音波)によりダイヤフラム6が振動すると、コンデンサの静電容量が変化し、この静電容量の変化によるダイヤフラム6およびバックプレート8間の電圧変動が音声信号として取り出される(出力される)。
まず、図2Aに示すように、熱酸化法により、基板2の母体であるシリコンウエハWの全面に、SiO2からなる酸化膜21が形成される。以下では、シリコンウエハWの表面に形成される酸化膜21を表面酸化膜21Aとし、シリコンウエハWの裏面に形成される酸化膜21を裏面酸化膜21Bとして区別する。
Al膜23の形成に引き続いて、図2Eに示すように、スパッタ法により、Al膜23上に、TiN膜が形成される。そして、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、TiN膜がバックプレート8にパターニングされる。その後、フォトリソグラフィおよびエッチングにより、表面酸化膜21AおよびAl膜23が選択的に除去される。これにより、表面酸化膜21Aが絶縁膜4と第1犠牲層24とに分断され、Al膜23が金属膜5および第2犠牲層25に分断される。ダイヤフラム6は、第2犠牲層25により覆われている。
次に、図2Gに示すように、絶縁膜4、金属膜5、第1犠牲層24および第2犠牲層25を一括して覆うようにポリイミド溶液が塗布され、これが硬化されることにより、保護膜10が形成される。
なお、この実施形態では、第2犠牲層25の材料にAlが採用された場合を例にとったが、たとえば、Ti(チタン)、Au(金)、Cu(銅)およびCo(コバルト)など、Al以外の金属材料が第2犠牲層25の材料に採用されてもよい。また、第2犠牲層25の材料として、AlおよびCuの合金材料などが採用されてもよい。
また、バックプレート8の材料は、TiNに限らず、第1犠牲層24および第2犠牲層25に対するエッチング選択性および導電性を有する材料であればよい。このような材料として、たとえば、TiW、CrおよびWを例示することができる。
さらに、MEMSセンサの一例として、シリコンマイク1を例にとったが、これに限らず、静電容量の変化量を検知して動作する圧力センサや加速度センサなどに本発明を適用することも可能である。
2 基板
6 ダイヤフラム(下電極)
8 バックプレート(上電極)
9 孔(貫通孔)
10 保護膜
13 孔(貫通孔)
14 孔(貫通孔)
24 第1犠牲層
25 第2犠牲層
W シリコンウエハ
Claims (7)
- 基板の一方面上に第1犠牲層を形成する工程と、
前記第1犠牲層上に下電極を形成する工程と、
前記第1犠牲層上に前記下電極を覆うように金属材料からなる第2犠牲層を形成する工程と、
前記第2犠牲層上に金属材料からなる上電極を形成する工程と、
前記基板上に前記第1犠牲層、第2犠牲層および前記上電極を一括して覆うように非金属材料からなる保護膜を形成する工程と、
前記保護膜に貫通孔を形成し、前記貫通孔を通して前記保護膜の内側にエッチャントを供給することにより、少なくとも前記第2犠牲層を除去する工程とを含む、MEMSセンサの製造方法。 - 前記第2犠牲層は、Alを含む金属材料からなる、請求項1に記載のMEMSセンサの製造方法。
- 前記保護膜は、有機材料からなる、請求項1または2に記載のMEMSセンサの製造方法。
- 前記第2犠牲層は、スパッタ法により形成され、
前記上電極は、前記第2犠牲層の形成に引き続いて、スパッタ法により形成される、請求項1〜3のいずれか一項に記載のMEMSセンサの製造方法。 - 前記第2犠牲層は、Siが混入された金属材料からなる、請求項1〜4のいずれか一項に記載のMEMSセンサの製造方法。
- 基板と、
前記基板の一方面に対して間隔を空けて対向配置された下電極と、
前記下電極に対して前記基板と反対側に間隔を空けて対向配置された上電極と、
前記上電極における前記下電極側と反対側の面を被覆する保護膜とを含み、
前記上電極は、TiN、TiW、CrまたはWからなる、MEMSセンサ。 - 前記保護膜は、有機材料からなる、請求項6に記載のMEMSセンサ。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008267555A JP2010098518A (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | Memsセンサの製造方法およびmemsセンサ |
US12/580,052 US8174085B2 (en) | 2008-10-16 | 2009-10-15 | Method of manufacturing MEMS sensor and MEMS sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008267555A JP2010098518A (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | Memsセンサの製造方法およびmemsセンサ |
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---|---|
US (1) | US8174085B2 (ja) |
JP (1) | JP2010098518A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012122772A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Rohm Co Ltd | Memsセンサおよびその製造方法、ならびにmemsパッケージ |
KR101201642B1 (ko) | 2010-05-11 | 2012-11-14 | 오므론 가부시키가이샤 | 음향 센서 및 그 제조 방법 |
WO2013129386A1 (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | オムロン株式会社 | センサ装置 |
JP2015502692A (ja) * | 2011-11-14 | 2015-01-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 寄生容量が低減されたmemsマイクロフォン |
JP2015177377A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006055147B4 (de) | 2006-11-03 | 2011-01-27 | Infineon Technologies Ag | Schallwandlerstruktur und Verfahren zur Herstellung einer Schallwandlerstruktur |
CN102158788B (zh) * | 2011-03-15 | 2015-03-18 | 迈尔森电子(天津)有限公司 | Mems麦克风及其形成方法 |
WO2012163285A1 (zh) * | 2011-05-31 | 2012-12-06 | 新奥科技发展有限公司 | 燃气表 |
US8503699B2 (en) | 2011-06-01 | 2013-08-06 | Infineon Technologies Ag | Plate, transducer and methods for making and operating a transducer |
US9450109B2 (en) * | 2012-06-15 | 2016-09-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | MEMS devices and fabrication methods thereof |
US9452924B2 (en) | 2012-06-15 | 2016-09-27 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | MEMS devices and fabrication methods thereof |
TWI498272B (zh) * | 2012-10-09 | 2015-09-01 | Univ Feng Chia | Microelectromechanical system device and manufacturing method thereof |
WO2014143218A1 (en) | 2013-03-13 | 2014-09-18 | Rolls-Royce North American Technologies, Inc. | Gas turbine engine and electrical system comprising electrical buses |
US9338559B2 (en) * | 2013-04-16 | 2016-05-10 | Invensense, Inc. | Microphone system with a stop member |
DE102013213717A1 (de) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Robert Bosch Gmbh | MEMS-Bauelement mit einer Mikrofonstruktur und Verfahren zu dessen Herstellung |
US8921957B1 (en) * | 2013-10-11 | 2014-12-30 | Robert Bosch Gmbh | Method of improving MEMS microphone mechanical stability |
CN104980858B (zh) * | 2014-04-02 | 2019-03-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Mems麦克风的形成方法 |
US9917243B2 (en) * | 2014-10-16 | 2018-03-13 | Analog Devices, Inc. | Method of fabricating piezoelectric MEMS devices |
JP6588773B2 (ja) * | 2015-09-01 | 2019-10-09 | アズビル株式会社 | 微細機械装置およびその製造方法 |
ITUB20155716A1 (it) | 2015-11-19 | 2017-05-19 | St Microelectronics Srl | Dispositivo micro-elettro-meccanico dotato di due cavita' sepolte e relativo procedimento di fabbricazione |
US10807861B2 (en) | 2016-05-02 | 2020-10-20 | Teknologian Tutkimuskeskus Vtt Oy | Surface micromechanical element and method for manufacturing the same |
CN107548000B (zh) * | 2016-06-29 | 2019-12-03 | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 | 一种mems麦克风及其制作方法 |
CN109417672A (zh) * | 2016-06-30 | 2019-03-01 | 思睿逻辑国际半导体有限公司 | Mems设备和方法 |
KR101916052B1 (ko) * | 2016-09-09 | 2018-11-07 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰, 이의 제조 방법 및 제어 방법 |
KR101807146B1 (ko) | 2016-09-09 | 2017-12-07 | 현대자동차 주식회사 | 고감도 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
KR101807071B1 (ko) * | 2016-10-06 | 2017-12-08 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
JP7143056B2 (ja) * | 2016-12-08 | 2022-09-28 | Mmiセミコンダクター株式会社 | 静電容量型トランスデューサシステム、静電容量型トランスデューサ及び、音響センサ |
CN108810773A (zh) * | 2017-04-26 | 2018-11-13 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 麦克风及其制造方法 |
CN107105377B (zh) * | 2017-05-15 | 2021-01-22 | 潍坊歌尔微电子有限公司 | 一种mems麦克风 |
KR102322258B1 (ko) * | 2017-05-19 | 2021-11-04 | 현대자동차 주식회사 | 마이크로폰 및 그 제조 방법 |
CN109534277B (zh) * | 2017-09-22 | 2021-05-04 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | Mems麦克风及其形成方法 |
CN109573940B (zh) * | 2017-09-29 | 2023-03-21 | 上海新微技术研发中心有限公司 | 半导体器件及其形成方法 |
US10676347B2 (en) * | 2018-01-09 | 2020-06-09 | Stmicroelectronics S.R.L. | Micro-electro-mechanical device having two buried cavities and manufacturing process thereof |
US11865581B2 (en) | 2018-11-21 | 2024-01-09 | Stmicroelectronics S.R.L. | Ultrasonic MEMS acoustic transducer with reduced stress sensitivity and manufacturing process thereof |
IT201900005808A1 (it) | 2019-04-15 | 2020-10-15 | St Microelectronics Srl | Dispositivo mems a micropompa per la movimentazione o eiezione di un fluido, in particolare microsoffiante o flussimetro |
CN213847003U (zh) * | 2020-12-25 | 2021-07-30 | 歌尔微电子有限公司 | Mems传感器芯片、麦克风和电子设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001518246A (ja) * | 1997-02-25 | 2001-10-09 | ノウルズ エレクトロニクス,インコーポレイティド | 小型シリコンコンデンサマイクロフォン |
JP2002530844A (ja) * | 1998-11-12 | 2002-09-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 残渣を残さずにアルミニウム及びその合金を異方性エッチングするための方法 |
JP2002328117A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Yamatake Corp | 光音響ガスセンサ用マイクロフォンおよびその製造方法 |
JP2007152546A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-06-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 微小構造体及び微小電気機械式装置の作製方法 |
JP2008085507A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ並びにそれを備えた音響モジュール |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1018844B (zh) * | 1990-06-02 | 1992-10-28 | 中国科学院兰州化学物理研究所 | 防锈干膜润滑剂 |
EP1101079B1 (en) * | 1998-07-07 | 2003-09-10 | THE GOODYEAR TIRE & RUBBER COMPANY | Dual output capacitance interface circuit |
ITVA20000042A1 (it) * | 2000-12-15 | 2002-06-15 | St Microelectronics Srl | Sensore di pressione monoliticamente integrato e relativo processo direalizzazione. |
US6698082B2 (en) * | 2001-08-28 | 2004-03-02 | Texas Instruments Incorporated | Micro-electromechanical switch fabricated by simultaneous formation of a resistor and bottom electrode |
US7023066B2 (en) * | 2001-11-20 | 2006-04-04 | Knowles Electronics, Llc. | Silicon microphone |
US20040147056A1 (en) * | 2003-01-29 | 2004-07-29 | Mckinnell James C. | Micro-fabricated device and method of making |
WO2004072576A1 (ja) * | 2003-02-17 | 2004-08-26 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 表面形状認識用センサ及びその製造方法 |
US6936491B2 (en) * | 2003-06-04 | 2005-08-30 | Robert Bosch Gmbh | Method of fabricating microelectromechanical systems and devices having trench isolated contacts |
US7075160B2 (en) * | 2003-06-04 | 2006-07-11 | Robert Bosch Gmbh | Microelectromechanical systems and devices having thin film encapsulated mechanical structures |
US7144750B2 (en) * | 2003-06-12 | 2006-12-05 | Dalsa Semiconductor Inc. | Method of fabricating silicon-based MEMS devices |
US7005732B2 (en) * | 2003-10-21 | 2006-02-28 | Honeywell International Inc. | Methods and systems for providing MEMS devices with a top cap and upper sense plate |
US6930367B2 (en) * | 2003-10-31 | 2005-08-16 | Robert Bosch Gmbh | Anti-stiction technique for thin film and wafer-bonded encapsulated microelectromechanical systems |
GB0330010D0 (en) * | 2003-12-24 | 2004-01-28 | Cavendish Kinetics Ltd | Method for containing a device and a corresponding device |
US7115436B2 (en) * | 2004-02-12 | 2006-10-03 | Robert Bosch Gmbh | Integrated getter area for wafer level encapsulated microelectromechanical systems |
JP3875240B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2007-01-31 | 株式会社東芝 | 電子部品の製造方法 |
US20050253283A1 (en) * | 2004-05-13 | 2005-11-17 | Dcamp Jon B | Getter deposition for vacuum packaging |
US7329933B2 (en) * | 2004-10-29 | 2008-02-12 | Silicon Matrix Pte. Ltd. | Silicon microphone with softly constrained diaphragm |
US7346178B2 (en) * | 2004-10-29 | 2008-03-18 | Silicon Matrix Pte. Ltd. | Backplateless silicon microphone |
US7803665B2 (en) * | 2005-02-04 | 2010-09-28 | Imec | Method for encapsulating a device in a microcavity |
US7152481B2 (en) * | 2005-04-13 | 2006-12-26 | Yunlong Wang | Capacitive micromachined acoustic transducer |
US7449355B2 (en) * | 2005-04-27 | 2008-11-11 | Robert Bosch Gmbh | Anti-stiction technique for electromechanical systems and electromechanical device employing same |
JP4791766B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-10-12 | 株式会社東芝 | Mems技術を使用した半導体装置 |
US7961897B2 (en) * | 2005-08-23 | 2011-06-14 | Analog Devices, Inc. | Microphone with irregular diaphragm |
JP2007180201A (ja) | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yamaha Corp | 半導体装置 |
US20070158826A1 (en) * | 2005-12-27 | 2007-07-12 | Yamaha Corporation | Semiconductor device |
JP2007210083A (ja) * | 2006-02-13 | 2007-08-23 | Hitachi Ltd | Mems素子及びその製造方法 |
GB0605576D0 (en) * | 2006-03-20 | 2006-04-26 | Oligon Ltd | MEMS device |
JP2008188711A (ja) * | 2007-02-05 | 2008-08-21 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置製造方法 |
US7923790B1 (en) * | 2007-03-09 | 2011-04-12 | Silicon Laboratories Inc. | Planar microshells for vacuum encapsulated devices and damascene method of manufacture |
US7994594B2 (en) * | 2007-03-15 | 2011-08-09 | Seiko Epson Corporation | Electronic device, resonator, oscillator and method for manufacturing electronic device |
JP5412031B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2014-02-12 | ローム株式会社 | Memsセンサ |
JP2009028807A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Rohm Co Ltd | Memsセンサ |
JP2009028808A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | Rohm Co Ltd | Memsセンサおよびmemsセンサの製造方法 |
JP2009095938A (ja) * | 2007-10-17 | 2009-05-07 | Toshiba Corp | 微小電気機械装置及びその製造方法 |
US7919006B2 (en) * | 2007-10-31 | 2011-04-05 | Freescale Semiconductor, Inc. | Method of anti-stiction dimple formation under MEMS |
US8467559B2 (en) * | 2008-02-20 | 2013-06-18 | Shandong Gettop Acoustic Co., Ltd. | Silicon microphone without dedicated backplate |
JP5242688B2 (ja) * | 2008-04-03 | 2013-07-24 | エスエヌユー アールアンドディービー ファウンデーション | 導電性ナノ薄膜およびこれを利用した微細電気機械システムセンサー |
TWI380456B (en) * | 2008-04-30 | 2012-12-21 | Pixart Imaging Inc | Micro-electro-mechanical device and method for making same |
US8058144B2 (en) * | 2008-05-30 | 2011-11-15 | Analog Devices, Inc. | Method for capping a MEMS wafer |
US8796746B2 (en) * | 2008-07-08 | 2014-08-05 | MCube Inc. | Method and structure of monolithically integrated pressure sensor using IC foundry-compatible processes |
CN202116291U (zh) * | 2008-07-11 | 2012-01-18 | 罗姆股份有限公司 | Mems设备 |
JP4419103B1 (ja) * | 2008-08-27 | 2010-02-24 | オムロン株式会社 | 静電容量型振動センサ |
US8134215B2 (en) * | 2008-10-09 | 2012-03-13 | United Microelectronics Corp. | MEMS diaphragm |
US8643128B2 (en) * | 2009-02-24 | 2014-02-04 | Pixart Imaging Incorporation | Micro-electro-mechanical-system sensor and method for making same |
US7989246B2 (en) * | 2009-09-11 | 2011-08-02 | Pixart Imaging Incorporation | Package method of micro-electro-mechanical system chip |
-
2008
- 2008-10-16 JP JP2008267555A patent/JP2010098518A/ja active Pending
-
2009
- 2009-10-15 US US12/580,052 patent/US8174085B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001518246A (ja) * | 1997-02-25 | 2001-10-09 | ノウルズ エレクトロニクス,インコーポレイティド | 小型シリコンコンデンサマイクロフォン |
JP2002530844A (ja) * | 1998-11-12 | 2002-09-17 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 残渣を残さずにアルミニウム及びその合金を異方性エッチングするための方法 |
JP2002328117A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Yamatake Corp | 光音響ガスセンサ用マイクロフォンおよびその製造方法 |
JP2007152546A (ja) * | 2005-11-11 | 2007-06-21 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 微小構造体及び微小電気機械式装置の作製方法 |
JP2008085507A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Matsushita Electric Works Ltd | 音響センサ並びにそれを備えた音響モジュール |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101201642B1 (ko) | 2010-05-11 | 2012-11-14 | 오므론 가부시키가이샤 | 음향 센서 및 그 제조 방법 |
JP2012122772A (ja) * | 2010-12-06 | 2012-06-28 | Rohm Co Ltd | Memsセンサおよびその製造方法、ならびにmemsパッケージ |
JP2015502692A (ja) * | 2011-11-14 | 2015-01-22 | エプコス アクチエンゲゼルシャフトEpcos Ag | 寄生容量が低減されたmemsマイクロフォン |
US9382109B2 (en) | 2011-11-14 | 2016-07-05 | Epcos Ag | MEMS microphone with reduced parasitic capacitance |
WO2013129386A1 (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-06 | オムロン株式会社 | センサ装置 |
JP2013180345A (ja) * | 2012-02-29 | 2013-09-12 | Omron Corp | センサ装置 |
JP2015177377A (ja) * | 2014-03-14 | 2015-10-05 | オムロン株式会社 | 音響トランスデューサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8174085B2 (en) | 2012-05-08 |
US20100096714A1 (en) | 2010-04-22 |
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