JP2010096631A - レーザ式ガス分析計 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定ガスが流れる管路に対向して配置された固定フランジと、この固定フランジに取付けフランジを介してそれぞれ固定された投光部モジュール及び受光部モジュールと、これら投光部モジュールまたは受光部モジュールを構成し取付けフランジに固定された所定の長さを有する接続管とこれらの接続管の内部の少なくとも一方に配置されレーザ又は受光素子のいずれかが固定された所定の長さを有する内管と、接続管の外周からねじ込まれ内管を接続管の長手方向に対して所定の角度に支持する複数の押しねじを備えた
。
【選択図】 図1
Description
測定ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザ式ガス分析計において、
前記測定ガスが流れる管路に対向して配置された固定フランジと、この固定フランジに取付けフランジを介してそれぞれ固定された投光部モジュール及び受光部モジュールと、 これら投光部モジュールまたは受光部モジュールを構成し前記取付けフランジに固定された所定の長さを有する接続管と
これらの接続管の内部の少なくとも一方に配置されレーザ又は受光素子のいずれかが固定された所定の長さを有する内管と、
前記接続管の外周からねじ込まれ前記内管を前記接続管の長手方向に対して所定の角度に支持する複数の押しねじを備えたことを特徴とする。
前記内管の一端にはレーザ(または集光レンズ)、他端にはコリメートレンズ(または受光素子)が気密に配置され、これらレーザ(または集光レンズ)と他端に配置されたコリメートレンズ(または受光素子)で構成される空間を気体でパージするための貫通孔を設けたことを特徴とする。
前記複数の押しねじは少なくとも3本を一組として前記接続管の外周に所定の距離を隔てて2組設けられ、前記一組のねじのそれぞれは接続管の外周を等分した位置で前記内管を支持することを特徴とする。
前記内管の少なくとも一方の外周に前記接続管の内周に気密に接する弾性部材を設けたことを特徴とする。
前記弾性部材は前記内管の外周に気密に固定されたシールリングの外周に配置され内部に気体が封入されたことを特徴とする。
前記投光部モジュール及び受光部モジュールに前記受光素子の出力をモニタリングするためのインジケータを設けたことを特徴とする。
内管の一端にはレーザ(または集光レンズ)、他端にはコリメートレンズ(または受光素子)を気密に配置して、これらレーザ(または集光レンズ)と他端に配置されたコリメートレンズ(または受光素子)で構成される空間を気体でパージするので、レーザとコリメートレンズの間や集光レンズと受光素子の間を清浄に維持することができ、精度の高いレーザ式ガス分析計を実現することができる。
これらの図において、図3に示す従来例と同一要素には同一符号を付している。
図1(a)において、20aは投光部モジュールであり、接続管21aの一端に固定された投光側ケース18および取付けフランジ6aで構成されており、取付けフランジ6aは固定フランジ3aに取り付けられている。同様に受光部モジュール10bも接続管21bの一端に固定された受光側ケース19および取付けフランジ6bで構成されており、取付けフランジ6aは固定フランジ3aに取り付けられている。
2 測定ガス
3 固定フランジ
4 導管
5 レーザダイオード(LD)
6 取付けフランジ
7 フォトダイオード(PD)
8,18 投光側ケース
9,19 受光側ケース
10a,20a 投光部モジュール
10b,20b 受光部モジュール
11 検出器ユニット
14 リング
15 調節ねじ
21 接続管
22 内管
23 押ねじ
24 コリメートレンズ
25,26 孔
27 シールリング
28 保持リング
29 弾性体(ゴム)
30 インジケータ
Claims (6)
- 測定ガス中にレーザ光を照射し、そのレーザ光の光吸収による光量変化からガス濃度を測定するレーザ式ガス分析計において、
前記測定ガスが流れる管路に対向して配置された固定フランジと、この固定フランジに取付けフランジを介してそれぞれ固定された投光部モジュール及び受光部モジュールと、 これら投光部モジュールまたは受光部モジュールを構成し前記取付けフランジに固定された所定の長さを有する接続管と
これらの接続管の内部の少なくとも一方に配置されレーザ又は受光素子のいずれかが固定された所定の長さを有する内管と、
前記接続管の外周からねじ込まれ前記内管を前記接続管の長手方向に対して所定の角度に支持する複数の押しねじを備えたことを特徴とするレーザ式ガス分析計。 - 前記内管の一端にはレーザ(または集光レンズ)、他端にはコリメートレンズ(または受光素子)が気密に配置され、これらレーザ(または集光レンズ)と他端に配置されたコリメートレンズ(または受光素子)で構成される空間を気体でパージするための貫通孔を設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ式ガス分析計。
- 前記複数の押しねじは少なくとも3本を一組として前記接続管の外周に所定の距離を隔てて2組設けられ、前記一組のねじのそれぞれは接続管の外周を等分した位置で前記内管を支持することを特徴とする請求項1に記載のレーザ式ガス分析計。
- 前記内管の少なくとも一方の外周に前記接続管の内周に気密に接する弾性部材を設けたことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ式ガス分析計。
- 前記弾性部材は前記内管の外周に気密に固定されたシールリングの外周に配置され内部に気体が封入されたことを特徴とする請求項4に記載のレーザ式ガス分析計。
- 前記投光部モジュール及び受光部モジュールに前記受光素子の出力をモニタリングするためのインジケータを設けたことを特徴とする請求項1に記載のレーザ式ガス分析計。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008267628A JP5339046B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | レーザ式ガス分析計 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008267628A JP5339046B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | レーザ式ガス分析計 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010096631A true JP2010096631A (ja) | 2010-04-30 |
JP5339046B2 JP5339046B2 (ja) | 2013-11-13 |
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ID=42258420
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008267628A Active JP5339046B2 (ja) | 2008-10-16 | 2008-10-16 | レーザ式ガス分析計 |
Country Status (1)
Country | Link |
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A621 | Written request for application examination |
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