JP2009278015A - 平面光波回路及びこれを備えた波長可変レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】製造条件の変動に起因して方向性結合器のギャップ変化が発生しても、光フィルタの特性が変化しないようにし、これにより歩留まりを向上させる。
【解決手段】波長可変レーザ装置10は、PLC11とSOA12とを備えている。PLC11は、光導波路13,16と、光フィルタ20と、ループミラー24と、薄膜ヒータ31〜33と、非対称MZI41〜47と、を備えている。本発明によれば、PLC11内の光結合部を非対称MZI41〜47としたことにより、製造条件の変動によって方向性結合器のギャップ変化が発生しても光フィルタ20の特性が変化しないので、歩留まりを向上できる。
【選択図】図1
【解決手段】波長可変レーザ装置10は、PLC11とSOA12とを備えている。PLC11は、光導波路13,16と、光フィルタ20と、ループミラー24と、薄膜ヒータ31〜33と、非対称MZI41〜47と、を備えている。本発明によれば、PLC11内の光結合部を非対称MZI41〜47としたことにより、製造条件の変動によって方向性結合器のギャップ変化が発生しても光フィルタ20の特性が変化しないので、歩留まりを向上できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、WDM(Wavelength Division Multiplexing)伝送方式などの光通信に用いる平面光波回路、及びこれを備えた波長可変レーザ装置に関する。以下、「平面光波回路」を「PLC(Planar Lightwave Circuit)」、「半導体光増幅器」を「SOA(Semiconductor Optical Amplifier)」、「マッハツェンダ干渉計」を「MZI(Mach-Zehnder Interferometer)」、とそれぞれ略称する。
光通信において、光ファイバの効率的な活用の実現のために、波長の異なる複数の光信号を多重化して一本の光ファイバで伝送し高速の光通信を実現する、WDM伝送システムの導入が進んでいる。更には、数十の異なる波長の光信号を多重化してより高速な伝送を可能にする高密度WDM(DWDM:Dense WDM)伝送方式の活用も拡がっている。
また、任意の波長の光信号を各ノードでAdd/DropするROADM(Reconfigurable Optical Add/Drop Multiplexer)が実用化に向けて研究されている。このROADMシステムを導入すれば、波長多重による伝送容量の拡大に加え、波長を変えることによる光路切り換えが可能となるので、光ネットワークの自由度が飛躍的に高まる。このとき、光通信ネットワークシステムにおいては、波長毎に対応した光源が必要となる。
WDM伝送システム用の光源として、図4に示す波長可変レーザ装置が知られている(例えば特許文献1)。図4[1]は、本発明に関連する波長可変レーザ装置を示す平面図である。図4[2]は、図4[1]における方向性結合器を拡大して示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。
波長可変レーザ装置70は、PLC71に形成された光フィルタ72と、光フィルタ72へ光を供給するSOA73と、光フィルタ72を透過した光を光フィルタ72を介してSOA73へ戻す高反射コーティング74と、PLC71に形成されるとともにSOA73と光フィルタ72と高反射ミラー74とを結ぶ光導波路75,76と、を備えている。光フィルタ82は、互いに光路長が異なるリング共振器77,78と、リング共振器77,78を結ぶ光導波路79とからなる。リング共振器77,78上には、リング共振器77,78を透過する光の位相を変える薄膜ヒータ80a,80b,81a,81bが設けられている。なお、光の位相を変えることは、すなわち光の波長を変えることである。
光導波路75とリング共振器77とは方向性結合器91を介して、リング共振器77と光導波路79とは方向性結合器92を介して、光導波路79とリング共振器78とは方向性結合器93を介して、リング共振器78と光導波路76とは方向性結合器94を介して、それぞれ光学的に結合されている。
図4[2]では方向性結合器91のみを示すが、他の方向性結合器92〜94も方向性結合器91と同様の構成である。方向性結合器91は、二本の光導波路95,96からなり、これらのギャップgと結合長lとによって決まる特性を有する。光導波路95は光導波路75の一部であり、光導波路96はリング共振器77の一部である。
このように、波長可変レーザ装置70は、PLC71で光フィルタ72を構成するとともに、PLC71上にSOA73を直接実装した構成である。PLC71に形成されている二つのリング共振器77,78は、それぞれの円周がわずかに異なっている。この円周の違いによりバーニア効果が発生するので、薄膜ヒータ80a,…を通電制御することにより、波長の可変範囲の広い出力光82が得られる。
しかしながら、図4に示す波長可変レーザ装置70には、次のような問題があった。
PLC71の製造条件が変動すると、方向性結合器91〜94の特性も変動する。すると、光フィルタ72の波長透過特性が大きくばらつくことにより、波長可変レーザ装置70としての歩留まりが大きく低下する。これは、方向性結合器91〜94が例えば1.5μm程度の極めて狭いギャップgで並列する光導波路95,96から形成されるので、このギャップgが0.1μm変化しても方向性結合器91〜94の結合特性が大きく変化するからである。
そこで、本発明の目的は、方向性結合器のギャップ変化が発生しても光フィルタの特性が変化せず、これにより歩留まりを向上できる、PLC及び波長可変レーザ装置を提供することにある。
本発明に係るPLCは、第一及び第二の光導波路と、光路長の異なる複数のリング共振器が連結されてなるとともに前記第一の光導波路を介して光を入出力する光フィルタと、この光フィルタを透過した光を前記第二の光導波路を介して当該光フィルタへ戻す光反射部と、前記光フィルタを透過する光の位相を変える位相シフタと、前記複数のリング共振器同士を光学的に結ぶとともに前記第一の光導波路と前記光フィルタと前記第二の光導波路とを光学的に結ぶ複数の光結合部とを備え、これらの光結合部の少なくとも一つが非対称MZIからなる、ことを特徴とする。
本発明に係る波長可変レーザ装置は、本発明に係るPLCと、前記第一の光導波路を介して前記光フィルタへ光を供給する光供給部と、を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、PLC内の光結合部を非対称MZIとしたことにより、製造条件の変動によって方向性結合器のギャップ変化が発生しても光フィルタの特性が変化しないので、歩留まりを向上できる。
図1は、本発明の第一実施形態に係るPLC及び波長可変レーザ装置を示す平面図である。図2は、図1における非対称MZIを拡大して示す平面図である。以下、これらの図面に基づき説明する。
波長可変レーザ装置10は、PLC11と、光供給部としてのSOA12と、を備えている。PLC11は、第一の光導波路としての光導波路13と、第二の光導波路としての光導波路16と、光フィルタ20と、光反射部としてのループミラー24と、位相シフタとしての薄膜ヒータ31,32,33と、光結合部としての非対称MZI41,42,43,44,45,46と、を基本的に備えている。
SOA12は、PLC11に実装されるとともに、光導波路13を介して光フィルタ20へ光を供給する。光フィルタ20は、光路長の異なる三つのリング共振器21,22,23が連結されてなる多重リング共振器であり、光導波路13を介して光を入出力する。ループミラー24は、光フィルタ20を透過した光を、光導波路16を介して光フィルタ20へ戻す。薄膜ヒータ31,32,33は、リング共振器21〜23をなす光導波路の温度を変えることにより、光フィルタ20を透過する光の位相を変える。非対称MZI41〜46は、リング共振器21〜23同士を光学的に結ぶとともに、光導波路13と光フィルタ20と光導波路16とを光学的に結ぶ。
リング共振器21,22,23同士は、光導波路14,15及び非対称MZI42〜45を介して光学的に連結されている。光導波路13とリング共振器21とは非対称MZI41を介して、リング共振器21と光導波路14とは非対称MZI42を介して、光導波路14とリング共振器22とは非対称MZI43を介して、リング共振器22と光導波路15とは非対称MZI44を介して、光導波路15とリング共振器23とは非対称MZI45を介して、リング共振器23と光導波路16とは非対称MZI46を介して、それぞれ光学的に結合されている。ループミラー24は、一般的なものと同様に光導波路からなるとともに光結合部を有するが、その光結合部が非対称MZI47になっている。
図2では非対称MZI41についてのみ示すが、他の非対称MZI42〜47も非対称MZI41と同様の構成である。非対称MZI41は、二つの方向性結合器51,52と、方向性結合器51,52に挟まれた二本の光導波路53,54とを有する。光導波路53,54は、光路長が互いに異なり、その光路長差がΔLである。方向性結合器51は光導波路53,54の一端同士を光学的に結合し、方向性結合器52は光導波路53,54の他端同士を光学的に結合する。方向性結合器51,52は同じ形状かつ同じ寸法である。光導波路53は光導波路13の一部であり、光導波路54はリング共振器21の一部である。
PLC11は、シリコン基板上に酸化膜を成膜し、コア部分の屈折率を高めることで埋め込み型の光導波路を形成した構成である。この埋め込み型の光導波路によって、光導波路13〜16、リング共振器21〜23、ループミラー24、非対称MZI41〜47等が形成されている。
光フィルタ20は、リング共振器21〜23が直列に接続された構成である。リング共振器21〜23は、それぞれ光路長(光が伝播する媒質の屈折率と幾何学的な長さとの積)が互いに異なる。光フィルタ20は、リング共振器21〜23が同時に共振するときのみ、共振波長の光を合波及び分波し、バーニア効果によって大きなFSR(Free Spectral Range:自由スペクトル間隔)を得る。
バーニア効果とは、光路長が異なる複数の共振器を組み合わせると、ピーク周期のずれた各共振器の共振周波数が、それらの最小公倍数の周波数で重なる現象である。複数の共振器を組み合わせた多重光共振器は、このバーニア効果を利用することで、見かけ上FSRが各共振器の共振周波数の最小公倍数の周波数となるように機能する。これにより、単一の共振器よりも広い範囲での周波数の特性の制御を行うことができる。
波長可変レーザ装置10は、リング共振器21〜23の各ドロップポートの波長透過特性を利用して、共振モードを選択し単一モード発振を行うものになっている。リング共振器21〜23の各光路長を僅かに異なった設計とすることにより、光フィルタ20の共振波長は数十nmの広い波長範囲でも一箇所でのみ一致し、この一致する波長で単一モード発振が生じる。
例えば、リング共振器21のFSRをITU(International Telecommunication Union)−グリッドに固定する。これにより、リング共振器21〜23のそれぞれの共振波長の最小公倍数の波長となる光フィルタ20における共振波長を、ITU−グリッド上の波長にすることができる。この場合、リング共振器21はITU−グリッド固定用、リング共振器22は微調整用、リング共振器23は粗調整用とするとよい。
薄膜ヒータ31〜33は、それぞれリング共振器21〜23のリング状の光導波路の位置に対応して蒸着されたアルミニウム膜からなる。リング共振器21〜23のリング状の光導波路は、ガラスや化合物半導体で形成されており、温度変化によってその屈折率が変化する。そのため、薄膜ヒータ31〜33は、リング共振器21〜23のリング状の光導波路に熱を加えてその屈折率を個別に変化させる。したがって、リング共振器21〜23の光路長を同時に可変制御することにより、光フィルタ20における共振波長を変化させることができる。
SOA12は、片端面に無反射コーティングが施され、PLC11上に実装されている。SOA12の無反射コーティング側には、PLC11に形成された光導波路13が結合されている。波長選択のための光フィルタ20として、光導波路からなる三段のリング共振器21〜23が導入されている。三段のリング共振器21〜23を通過した光は、ループミラー24によって折り返され、再び三段のリング共振器21〜23を通過してSOA12に戻る。これにより、SOA12の無反射コーティングの面とループミラー24との間でレーザ共振器が構成され、レーザ発振が生じてSOA12の低反射コーティングの面から発振光(出力光17)が出力される。したがって、ターゲットとなる特定波長が選択されるので、所望波長でのレーザ発振動作が行われる。
リング共振器21〜23及びループミラー24の光結合部には、通常の方向性結合器ではなく、非対称MZI41〜47が導入されている。これにより、後述するように、非対称MZI41〜47を構成する方向性結合器51,52のギャップgが製造条件のばらつきによって変動しても、分岐比変化が小さくなるので、素子製造トレランス(許容誤差)を大きく拡大することができる。
SOA12は、PLC11上にパッシブアライメント技術を使って、直接実装されている。パッシブアライメント技術とは、PLC11に形成されたマークパターンとSOA12に形成されたマークパターンとを用いて、位置決めを行う実装方法である。そのため、これまで光モジュール作製の際に行われていた光軸調芯を不要として、光モジュール作製のコストとリードタイムを大きく改善できる。なお、SOA12をPLC11上にマウントせずに、両者を直接結合する形態としてもよい。
次に、波長可変レーザ装置10の特徴について更に詳しく説明する。リング共振器21〜23及びループミラー24は、非対称MZI41〜47によって光結合されている。非対称MZI41〜47の方向性結合器51,52は、狭いギャップgを有する二本の光導波路53,54から形成されている。ギャップgは、例えば1.5μm程度である。そのため、製造条件のばらつきに起因してギャップgが0.1μm程度変化しただけでも、図4の波長可変レーザ装置70ではフィルタ特性が大きく変動する。本実施形態では、プロセス変動等で発生する方向性結合器のギャップ変化に対して、その影響を受けない構造を提供する。そのためには、方向性結合器のみで光分岐を行うのではなく、二つの方向性結合器51,52から構成された非対称MZI41〜47を用いて光分岐を行う。
これについて、図2の非対称MZI41に基づいて詳細に説明する。ここで、位相シフタ(薄膜ヒータ31〜33)により生じる位相差を2φ、方向性結合器51,52の結合効率を位相表示したものをそれぞれθ1,θ2とすると、非対称MZI41の結合効率Rは式(1)のように表せる(例えば非特許文献1の第2306頁に記載の式(8)参照)。
R=cos2(φ)sin2(θ1+θ2)+sin2(φ)sin2(θ1−θ2) ・・・(1)
このとき、図2に示すように与えた入力パワーをPA、そのときの出力パワーをPC,PDとすると、結合効率Rは式(2)のように表せる。
R=PD/(PC+PD) ・・・(2)
R=cos2(φ)sin2(θ1+θ2)+sin2(φ)sin2(θ1−θ2) ・・・(1)
このとき、図2に示すように与えた入力パワーをPA、そのときの出力パワーをPC,PDとすると、結合効率Rは式(2)のように表せる。
R=PD/(PC+PD) ・・・(2)
式(1)の第一項は、設計において薄膜ヒータ31〜33による位相差2φを適当に選ぶことで、第二項に比べ非常に小さくできる。この場合、結合効率Rの変動を考えるには、第二項のみ考えれば良い。φは、薄膜ヒータ31〜33の長さで決まる量であり、パターン付けに用いるマスクの精度で決まるため、製造条件がばらついても変動しない。θ1,θ2は、方向性結合器51,52のギャップgと長さlの関数である。ここで、長さlは、マスクの精度により決まるので、製造条件がばらついても変動しない。したがって、設計の段階において考慮するのは、方向性結合器51,52のギャップgのばらつきであることがわかる。ギャップgは、エッチングや上部クラッドの埋め込みなどの製造条件により変化する。
二つの方向性結合器51,52のギャップgの変動は、両者とも同じ条件で同時に製造されるから、両者ともにほぼ同じになる。特に、方向性結合器51,52のギャップgの設計値が等しくかつ両者が互いに近接する場合、両者の製造条件の差異が極めて小さくなるので、両者のギャップgの変動は極めて等しくなる。そのため、式(1)の第二項の(θ1−θ2)の変化は小さい。これにより、方向性結合器51,52のギャップgが変化しても、分岐比変化の小さなリング共振器21〜23を構成できる。分岐比の調整は、非対称MZI41〜47の両アーム長すなわち光導波路53,54の光路長L,L+ΔLを制御することで、高精度に行える。
このように、非対称MZI41〜47をリング共振器21〜23に導入することで、製造条件のばらつきに起因して方向性結合器51,52のギャップgが変動してもフィルタ特性が変動せず、これにより高い製造トレランスを有する波長可変レーザ装置用の光フィルタ20を実現できる。加えて、分岐比の調整を従来の二本の光導波路の結合状態により制御するのではなく、非対称MZI41〜47の光路長差ΔLにより決定することから、広範囲波長可変動作を安定に行うことができる利点も有する。
したがって、本実施形態のPLC11及び波長可変レーザ装置10によれば、PLC10内の光結合部を非対称マッハツェンダ干渉計41〜47としたことにより、製造条件の変動によって方向性結合器51,52のギャップgの変化が発生しても光フィルタ20の特性が変化しないので、歩留まりを向上できる。
なお、光結合部は、全てを非対称MZI41〜47とすることが望ましいが、少なくとも一つを非対称MZIとし、その残りを例えば方向性結合器としてもよい。光反射部は、ループミラー24に限らず、例えば高反射コーティングとしてもよい。光フィルタは、三段のリング共振器21〜23に限らず、二段のリング共振器や四段以上のリング共振器から構成してもよい。各リング共振器21〜23同士は、光導波路14,15を用いずに、非対称MZI42〜45のみで直結させてもよい。位相シフタは、薄膜ヒータ31〜33に限らず、歪の印加や化合物半導体集積光デバイスで用いられる電流注入等により光導波路の屈折率を変化させる構成としてもよい。光供給部は、SOA12に限らず、レーザダイオードチップを用いることもできる。
以上述べたように、本実施形態の波長可変レーザ装置10によれば、高い作製トレランスが実現でき、これによる歩留まり及びスループットの向上や広範囲に亘る波長可変動作が可能となる。加えて、通常の外部鏡型の波長可変レーザ装置とは異なり可動部が存在せしないので、高信頼性に加え高い振動衝撃特性が実現できる。更に加えて、薄膜ヒータへの投入電力の制御により波長チューニングを行うため、半導体導波路に電流を注入する方式に比較して特性の経年変化が極めて小さい特長を有している。
図3は、本発明の第二実施形態に係るPLC及び波長可変レーザ装置を示す平面図である。以下、この図面に基づき説明する。なお、図1と同じ部分は同じ符号を付すことにより説明を省略する。
本実施形態の波長可変レーザ装置60は、第一実施形態の波長可変レーザ装置10(図1)において、リング共振器21からスルーポート13tを経て光を検出する受光素子61と、受光素子61で検出された光量が少なくなるように薄膜ヒータ31〜33への通電量を調節する制御部62と、を更に備えたものである。
受光素子61は、例えばフォトダイオードである。制御部62は、例えばマイクロコンピュータ、AD変換器、DA変換器、電力供給用トランジスタ等からなり、SOA12への通電量を調節する機能も有する。つまり、制御部62は、他のコンピュータなどから所定の波長を示す信号を入力して、その波長の出力光17が得られるように、薄膜ヒータ31〜33及びSOA12への通電量を調節する。
スルーポート13tを経て受光素子61で検出される光量は、光フィルタ20の共振波長であるときに最も少なくなる。したがって、受光素子61で検出された光量が少なくなるように薄膜ヒータ31〜33への通電量を調節することにより、光フィルタ20の共振波長を得ることができる。なお、受光素子61は、他のリング共振器のスルーポートに設けてもよい。その場合、制御部62は、二個以上の受光素子で検出された光量の和が少なくなるように、薄膜ヒータ31〜33への通電量を調節するようにしてもよい。
波長可変レーザ装置60のその他の構成、作用及び効果については、第一実施形態の波長可変レーザ装置10(図1)と同様である。
以上、上記各実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細については、当業者が理解し得るさまざまな変更を加えることができる。また、本発明には、上記各実施形態の構成の一部又は全部を相互に適宜組み合わせたものも含まれる。
10,60 波長可変レーザ装置
11 PLC
12 SOA(光供給部)
13 光導波路(第一の光導波路)
13t スルーポート
14,15,53,54 光導波路
16 光導波路(第二の光導波路)
20 光フィルタ
21,22,23 リング共振器
24 ループミラー(光反射部)
31,32,33 薄膜ヒータ(位相シフタ)
41,42,43,44,45,46,47 非対称MZI(光結合部)
51,52 方向性結合器
61 受光素子
62 制御部
11 PLC
12 SOA(光供給部)
13 光導波路(第一の光導波路)
13t スルーポート
14,15,53,54 光導波路
16 光導波路(第二の光導波路)
20 光フィルタ
21,22,23 リング共振器
24 ループミラー(光反射部)
31,32,33 薄膜ヒータ(位相シフタ)
41,42,43,44,45,46,47 非対称MZI(光結合部)
51,52 方向性結合器
61 受光素子
62 制御部
Claims (7)
- 第一及び第二の光導波路と、光路長の異なる複数のリング共振器が連結されてなるとともに前記第一の光導波路を介して光を入出力する光フィルタと、この光フィルタを透過した光を前記第二の光導波路を介して当該光フィルタへ戻す光反射部と、前記光フィルタを透過する光の位相を変える位相シフタと、前記複数のリング共振器同士を光学的に結ぶとともに前記第一の光導波路と前記光フィルタと前記第二の光導波路とを光学的に結ぶ複数の光結合部とを備え、
これらの光結合部の少なくとも一つが非対称マッハツェンダ干渉計からなる、
ことを特徴とする平面光波回路。 - 前記非対称マッハツェンダ干渉計は、光路長の異なる二本の光導波路と、これらの光導波路の一端同士及び他端同士をそれぞれ光学的に結ぶ二つの方向性結合器とを有する、
ことを特徴とする請求項1記載の平面光波回路。 - 前記光反射部は光導波路からなる光結合部を有するループミラーであり、当該光結合部にも前記非対称マッハツェンダ干渉計が用いられた、
ことを特徴とする請求項1又は2記載の平面光波回路。 - 請求項1乃至3のいずれか一項記載の平面光波回路と、前記第一の光導波路を介して前記光フィルタへ光を供給する光供給部と、
を備えたことを特徴とする波長可変レーザ装置。 - 前記光供給部は、前記平面光波回路に実装された半導体光増幅器である、
ことを特徴とする請求項4記載の波長可変レーザ装置。 - 前記位相シフタは、前記リング共振器をなす前記光導波路の温度を変える薄膜ヒータである、
ことを特徴とする請求項4又は5記載の波長可変レーザ装置。 - 前記複数のリング共振器の少なくとも一つからスルーポートを経て光を検出する受光素子と、
この受光素子で検出された光量が少なくなるように前記位相シフタへの通電量を調節する制御部と、
を備えた請求項4乃至6のいずれか一項記載の波長可変レーザ装置。
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