JP2009071340A - Solar cell module - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solar cell module effectively suppressing lowering of output even when an area of the backside of a solar battery cell constituting the solar cell module becomes large. <P>SOLUTION: The solar cell module including a plurality of electrically connected solar battery cells 20, 21, and 22 is configured such that a p+ layer and an n+ layer are formed on the backsides of the solar battery cells 20, 21, and 22; and at least one of bus bar electrodes composed of a bus bar p electrode 13 intersecting with a finger p electrode 11 formed on the p+ layer and a bus bar n electrode 14 intersecting with a finger n electrode 12 formed on the n+ layer is formed inside the backside of the solar battery cells 20, 21, and 22. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は太陽電池モジュールに関し、特に太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でも出力の低下を有効に抑止することができる太陽電池モジュールに関する。   The present invention relates to a solar cell module, and more particularly to a solar cell module that can effectively suppress a decrease in output even when the area of the back surface of a solar cell constituting the solar cell module increases.

近年、エネルギ資源の枯渇の問題や大気中のCO2の増加のような地球環境問題などからクリーンなエネルギの開発が望まれており、特に太陽電池セルを複数接続して構成される太陽電池モジュール用いた太陽光発電が新しいエネルギ源として開発、実用化され、発展の道を歩んでいる。 In recent years, development of clean energy has been desired due to the problem of depletion of energy resources and global environmental problems such as the increase of CO 2 in the atmosphere. In particular, a solar battery module configured by connecting a plurality of solar cells. The solar power generation used has been developed and put into practical use as a new energy source and is on the path of development.

太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルは、従来から、たとえば単結晶または多結晶のシリコン基板の面のうち太陽光が入射する側の面(受光面)にシリコン基板の導電型と反対の導電型となる不純物を拡散することによってpn接合を形成し、シリコン基板の受光面とその反対側にある裏面にそれぞれ電極を形成して製造される。また、シリコン基板の裏面にはシリコン基板と同じ導電型の不純物を高濃度で拡散することによって、裏面電界効果による高出力化を図ることも一般的となっている。しかしながら、このような構造の太陽電池セルにおいては、受光面に形成される電極が入射する太陽光を遮るため、太陽電池セルの出力が低下してしまい、ひいては太陽電池モジュールの出力が低下してしまうという問題があった。   Conventionally, a solar cell constituting a solar cell module has a conductivity type opposite to the conductivity type of the silicon substrate on the surface (light receiving surface) on the side where sunlight enters among the surfaces of a single crystal or polycrystalline silicon substrate, for example. A pn junction is formed by diffusing impurities to be formed, and electrodes are formed on the light receiving surface of the silicon substrate and the back surface on the opposite side. It is also common to increase the output by the back surface field effect by diffusing impurities of the same conductivity type as the silicon substrate at a high concentration on the back surface of the silicon substrate. However, in the solar cell having such a structure, the electrode formed on the light receiving surface blocks sunlight incident thereon, so that the output of the solar cell is reduced, and consequently the output of the solar cell module is reduced. There was a problem that.

そこで、シリコン基板の受光面には電極を形成せず、シリコン基板の裏面のみに異なる導電型の電極を形成するいわゆる裏面接合型太陽電池セルが開発されている。   Therefore, so-called back junction solar cells have been developed in which electrodes are not formed on the light receiving surface of a silicon substrate, but electrodes of different conductivity types are formed only on the back surface of the silicon substrate.

裏面接合型太陽電池セルにおいては、電極が形成されているシリコン基板の裏面側からしか電力を取り出すことができないため、その電極の構造は裏面接合型太陽電池セルおよびこれが複数接続されてなる太陽電池モジュールの出力の観点から非常に重要である。   In a back junction solar cell, since power can be taken out only from the back side of the silicon substrate on which the electrode is formed, the structure of the electrode is a back junction solar cell and a solar cell in which a plurality of these are connected. Very important in terms of module output.

図20に従来の裏面接合型太陽電池セルの一例の模式的な断面図を示す。この従来の裏面接合型太陽電池セルは、たとえばp型のシリコン基板101の受光面に反射防止膜109が形成されており、シリコン基板101の裏面にn+層105とp+層106とが裏面に沿って交互に所定の間隔をあけて形成されている。そして、p+層106上にはフィンガーp電極111が形成され、n+層105上にはフィンガーn電極112が形成されている。   FIG. 20 shows a schematic cross-sectional view of an example of a conventional back junction solar cell. In this conventional back junction solar cell, for example, an antireflection film 109 is formed on the light receiving surface of a p-type silicon substrate 101, and an n + layer 105 and a p + layer 106 are formed on the back surface of the silicon substrate 101. Are formed at predetermined intervals alternately. A finger p electrode 111 is formed on the p + layer 106, and a finger n electrode 112 is formed on the n + layer 105.

この裏面接合型太陽電池セルの受光面に太陽光が入射すると、半導体基板101の受光面近傍で生じたキャリアが裏面に形成されたpn接合まで到達し、フィンガーp電極111およびフィンガーn電極112に電流として収集され、外部に取り出されて太陽電池モジュールの出力となる。   When sunlight is incident on the light receiving surface of the back junction solar cell, carriers generated in the vicinity of the light receiving surface of the semiconductor substrate 101 reach the pn junction formed on the back surface, and reach the finger p electrode 111 and the finger n electrode 112. It is collected as an electric current, taken out outside, and becomes an output of the solar cell module.

図21に従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図を示す。この従来の電極構造においては、太陽電池セルの出力を向上させる観点から、シリコン基板101の裏面の内部にフィンガーp電極111およびフィンガーn電極112が裏面全体を覆うように形成されており、シリコン基板101の裏面の端部にフィンガーp電極111と交差しているバスバーp電極113、フィンガーn電極112と交差しているバスバーn電極114がそれぞれ形成されている。   FIG. 21 shows a schematic plan view of an example of the back surface of a conventional back junction solar cell. In this conventional electrode structure, from the viewpoint of improving the output of the solar battery cell, the finger p electrode 111 and the finger n electrode 112 are formed inside the back surface of the silicon substrate 101 so as to cover the entire back surface. A bus bar p-electrode 113 that intersects the finger p-electrode 111 and a bus-bar n-electrode 114 that intersects the finger n-electrode 112 are formed at the end of the back surface of 101.

ここで、フィンガーp電極111およびフィンガーn電極112は、シリーズ抵抗が大きくなると出力の損失になるため、一般的にシリーズ抵抗を小さくする観点から断面積(電極の幅×高さ)が大きくなるように設計される。しかしながら、太陽電池セルの裏面の面積が大きくなると、フィンガーp電極111およびフィンガーn電極112の長さL0をより長くする必要がある一方、これらの電極の高さには限界があることから、断面積を大きくするためには電極の幅W0を大きくする必要があった。電極の幅W0を大きくした場合には、フィンガーp電極111とフィンガーn電極112との間のピッチP0が大きくなってシリコン基板101内におけるキャリアの移動距離が長くなって太陽電池セルの出力が低下し、ひいては太陽電池モジュール全体の出力が低下してしまうという問題があった。 Here, since the finger p electrode 111 and the finger n electrode 112 lose output when the series resistance increases, the cross-sectional area (electrode width × height) generally increases from the viewpoint of reducing the series resistance. Designed to. However, when the area of the back surface of the solar battery cell becomes large, the length L 0 of the finger p electrode 111 and the finger n electrode 112 needs to be longer, but the height of these electrodes is limited, In order to increase the cross-sectional area, it was necessary to increase the electrode width W 0 . When the electrode width W 0 is increased, the pitch P 0 between the finger p-electrode 111 and the finger n-electrode 112 is increased, and the carrier moving distance in the silicon substrate 101 is increased, so that the output of the solar cell is increased. As a result, there is a problem that the output of the entire solar cell module is lowered.

特開2001−68699号公報JP 2001-68699 A 特開2002−359388号公報JP 2002-359388 A

本発明の目的は、太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でも出力の低下を有効に抑止することができる太陽電池モジュールを提供することにある。   The objective of this invention is providing the solar cell module which can suppress the fall of an output effectively, even when the area of the back surface of the photovoltaic cell which comprises a solar cell module becomes large.

本発明は、電気的に接続されている複数の太陽電池セルを含む太陽電池モジュールであって、太陽電池セルのうち少なくとも1つの裏面にp+層とn+層とが形成されており、p+層上に形成されているフィンガーp電極に交差するバスバーp電極とn+層上に形成されているフィンガーn電極に交差するバスバーn電極とからなるバスバー電極のうち少なくとも1本が裏面の内部に形成されている太陽電池モジュールである。   The present invention is a solar cell module including a plurality of electrically connected solar cells, wherein a p + layer and an n + layer are formed on at least one back surface of the solar cells, and p At least one of the bus bar electrodes consisting of the bus bar p electrode intersecting the finger p electrode formed on the + layer and the bus bar n electrode intersecting the finger n electrode formed on the n + layer is inside the back surface. It is the solar cell module currently formed.

また、本発明は、電気的に接続されている複数の太陽電池セルを含む太陽電池モジュールであって、太陽電池セルのすべての裏面にp+層とn+層とが形成されており、p+層上に形成されているフィンガーp電極に交差するバスバーp電極とn+層上に形成されているフィンガーn電極に交差するバスバーn電極とからなるバスバー電極のうち少なくとも1本が太陽電池セルのそれぞれの裏面の内部に形成されている太陽電池モジュールである。   In addition, the present invention is a solar cell module including a plurality of electrically connected solar cells, wherein p + layers and n + layers are formed on all back surfaces of the solar cells, and p At least one of the bus bar electrodes including the bus bar p electrode intersecting the finger p electrode formed on the + layer and the bus bar n electrode intersecting the finger n electrode formed on the n + layer is a solar cell. It is a solar cell module currently formed in the inside of each back.

ここで、本発明の太陽電池モジュールにおいては、複数の孔が形成されている絶縁体と絶縁体の孔上に形成されている導電体とを含むサブストレートが太陽電池セルのバスバー電極上に設置されており、バスバー電極と導電体とが孔を介して電気的に接続され、1つの太陽電池セルのバスバーp電極と他の太陽電池セルのバスバーn電極とが導電体により電気的に接続されている太陽電池モジュールである。   Here, in the solar cell module of the present invention, the substrate including the insulator formed with a plurality of holes and the conductor formed on the holes of the insulator is installed on the bus bar electrode of the solar cell. The bus bar electrode and the conductor are electrically connected through the hole, and the bus bar p electrode of one solar cell and the bus bar n electrode of the other solar cell are electrically connected by the conductor. It is a solar cell module.

また、本発明の太陽電池モジュールにおいては、導電体上に絶縁性基板が設置されていることが好ましい。   Moreover, in the solar cell module of this invention, it is preferable that the insulating board | substrate is installed on the conductor.

また、本発明の太陽電池モジュールにおいては、太陽電池セルが一対の対向する基板間において透明樹脂により封止されていることが好ましい。   Moreover, in the solar cell module of this invention, it is preferable that the photovoltaic cell is sealed with transparent resin between a pair of board | substrates which oppose.

本発明によれば、太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でも出力の低下を有効に抑止することができる太陽電池モジュールを提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even when the area of the back surface of the photovoltaic cell which comprises a photovoltaic module becomes large, the solar cell module which can suppress effectively the fall of an output can be provided.

本発明に用いられるシリコン基板のインゴッドからのスライス後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after the slice from the ingot of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板のダメージ層のエッチング後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after the etching of the damage layer of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板の拡散防止膜の形成後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after formation of the diffusion prevention film of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板のp+層およびn+層の形成後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after formation of the p <+> layer and n <+> layer of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板のテクスチャ構造の形成後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after formation of the texture structure of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板の拡散保護膜およびペースト材の除去後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after the removal of the diffusion protective film and paste material of a silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板のパッシベーション膜の形成後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after formation of the passivation film of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板のパッシベーション膜の除去後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after the removal of the passivation film of the silicon substrate used for this invention. 本発明に用いられるシリコン基板の電極形成後の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing after electrode formation of the silicon substrate used for this invention. 本発明の太陽電池セルの裏面の好ましい一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of a desirable example of the back of a photovoltaic cell of the present invention. 本発明の太陽電池セルの裏面の好ましい他の一例の模式的な平面図である。It is a schematic plan view of another preferred example of the back surface of the solar battery cell of the present invention. 本発明の太陽電池モジュールに用いられるサブストレートの模式的な上面図である。It is a typical top view of the substrate used for the solar cell module of the present invention. 図12に示されるサブストレートにおける線X13−X13に沿った模式的な断面図である。It is typical sectional drawing along line X13-X13 in the substrate shown by FIG. 本発明の太陽電池モジュールに用いられるサブストレートの好ましい他の一例の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of another preferable example of the substrate used for the solar cell module of this invention. 本発明の太陽電池モジュールの好ましい一例の模式的な上面図である。It is a typical top view of a preferable example of the solar cell module of the present invention. 図15に示される太陽電池モジュールにおける線X16−X16に沿った模式的な断面図である。It is typical sectional drawing along line X16-X16 in the solar cell module shown by FIG. 本発明の太陽電池モジュールの好ましい他の一例の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of another preferable example of the solar cell module of this invention. 本発明の太陽電池モジュールの好ましいさらに他の一例の模式的な拡大断面図である。It is a typical expanded sectional view of another preferable example of the solar cell module of this invention. (A)は本発明の太陽電池モジュールの一例を受光面側から見た模式的な平面図であり、(B)は本発明の太陽電池モジュールの他の一例を受光面側から見た模式的な平面図である。(A) is the typical top view which looked at an example of the solar cell module of this invention from the light-receiving surface side, (B) is the schematic which looked at another example of the solar cell module of this invention from the light-receiving surface side. FIG. 従来の裏面接合型太陽電池セルの一例の模式的な断面図である。It is typical sectional drawing of an example of the conventional back junction type photovoltaic cell. 従来の裏面接合型太陽電池セルの裏面の一例の模式的な平面図である。It is a typical top view of an example of the back surface of the conventional back junction type photovoltaic cell.

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本願の図面において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表わすものとする。また、本明細書において、太陽電池モジュールに太陽光が入射する側の面を受光面とし、受光面の反対側にあって太陽光が入射しない側の面を裏面とする。   Embodiments of the present invention will be described below. In the drawings of the present application, the same reference numerals represent the same or corresponding parts. Moreover, in this specification, let the surface of the side which sunlight injects into a solar cell module be a light-receiving surface, and let the surface on the opposite side of a light-receiving surface and the side which sunlight does not enter be a back surface.

図1から図9の模式的断面図に、本発明の太陽電池モジュールに用いられる太陽電池セルの製造工程の好ましい一例を示す。まず、図1に示すように、シリコン結晶のインゴッドをスライスして得られた半導体基板としてのシリコン基板1は、スライスの際にその表面近傍にダメージ層1aが存在する。そこで、図2に示すように、酸性またはアルカリ性の溶液を用いてダメージ層1aがエッチングされることが好ましい。ここで、シリコン基板1はn型でもp型でもよく、シリコン基板1の大きさや厚さは制限されない。ただし、入射する太陽光の反射の損失を抑制するため、シリコン基板1の受光面にテクスチャと呼ばれるピラミッド状の微細構造を形成する場合にはシリコン基板1の受光面の面方位が(100)であることが好ましい。   The schematic cross-sectional views of FIGS. 1 to 9 show a preferred example of the manufacturing process of the solar cell used in the solar cell module of the present invention. First, as shown in FIG. 1, a silicon substrate 1 as a semiconductor substrate obtained by slicing an ingot of a silicon crystal has a damaged layer 1a in the vicinity of the surface at the time of slicing. Therefore, as shown in FIG. 2, the damaged layer 1a is preferably etched using an acidic or alkaline solution. Here, the silicon substrate 1 may be n-type or p-type, and the size and thickness of the silicon substrate 1 are not limited. However, when a pyramidal microstructure called a texture is formed on the light receiving surface of the silicon substrate 1 in order to suppress the loss of reflection of incident sunlight, the surface orientation of the light receiving surface of the silicon substrate 1 is (100). Preferably there is.

次に、図3に示すように、シリコン基板1の受光面の反対側にある裏面にp型不純物としてたとえばボロンを含むp型ペースト材2と、n型不純物としてたとえばリンを含むn型ペースト材3とを所望のパターン形状に付着させる。そして、これらのペースト材に含まれる有機溶媒成分を蒸発させるためにシリコン基板1をたとえば100℃〜200℃の温度に加熱した後に、ペースト材が付着した裏面全体を拡散防止膜4で覆う。ここで、ペースト材を所望のパターン形状に付着させる手段としては、たとえばスクリーン印刷やインクジェット印刷などを用いることができる。また、パターン形状としては、シリコン基板1内に発生する少数キャリアを効率良く収集するため、図3に示すように、p型ペースト材2とn型ペースト材3とがシリコン基板1の裏面に沿って交互に間隔をあけて形成されることが好ましい。また、拡散防止膜4はたとえば酸化シリコン膜からなり、常圧CVD法による成膜または酸化シリコンを含む塗布液を乾燥させることによって形成することができる。   Next, as shown in FIG. 3, a p-type paste material 2 containing, for example, boron as a p-type impurity on the back surface opposite to the light-receiving surface of the silicon substrate 1, and an n-type paste material containing, for example, phosphorus as an n-type impurity. 3 are attached to a desired pattern shape. And in order to evaporate the organic solvent component contained in these paste materials, after heating the silicon substrate 1 to the temperature of 100 to 200 degreeC, for example, the whole back surface to which the paste material adhered is covered with the diffusion prevention film 4. Here, as means for attaching the paste material to a desired pattern shape, for example, screen printing or ink jet printing can be used. Further, as a pattern shape, in order to efficiently collect minority carriers generated in the silicon substrate 1, a p-type paste material 2 and an n-type paste material 3 are arranged along the back surface of the silicon substrate 1 as shown in FIG. It is preferable that they are formed alternately at intervals. Further, the diffusion preventing film 4 is made of, for example, a silicon oxide film, and can be formed by forming a film by an atmospheric pressure CVD method or drying a coating solution containing silicon oxide.

続いて、シリコン基板1は、たとえば900℃〜1000℃に加熱された石英炉内に投入され、たとえば30分〜60分間石英炉内に設置されることによって、p型ペースト材2に含まれるボロンおよびn型ペースト材3に含まれるリンがシリコン基板1中に拡散し、図4に示すように、シリコン基板1の裏面に沿って複数のp+層6およびn+層5が交互に間隔をあけて形成される。ここで、シリコン基板1の裏面には拡散防止膜4が形成されているため、p型ペースト材2に含まれるボロンおよびn型ペースト材3に含まれるリンはシリコン基板1中に拡散する際にシリコン基板1の外部に拡散することが防止される。   Subsequently, the silicon substrate 1 is put into a quartz furnace heated to, for example, 900 ° C. to 1000 ° C., and placed in the quartz furnace, for example, for 30 minutes to 60 minutes, whereby boron contained in the p-type paste material 2 is contained. Then, phosphorus contained in the n-type paste material 3 diffuses into the silicon substrate 1, and a plurality of p + layers 6 and n + layers 5 are alternately spaced along the back surface of the silicon substrate 1 as shown in FIG. Open and formed. Here, since the diffusion prevention film 4 is formed on the back surface of the silicon substrate 1, boron contained in the p-type paste material 2 and phosphorus contained in the n-type paste material 3 are diffused into the silicon substrate 1. Diffusion outside the silicon substrate 1 is prevented.

次いで、シリコン基板1は、たとえば水酸化ナトリウムや水酸化カリウムなどのアルカリとイソプロピルアルコール(IPA)などを含む高温水溶液に浸漬され、シリコン結晶方位に沿った異方性エッチングが進行することにより、図5に示すように、シリコン基板1の受光面に(111)面による微細なピラミッド状のテクスチャ構造8が形成される。ここで、シリコン基板1の裏面には拡散防止膜4が形成されているため、シリコン基板1の裏面はエッチングされない。   Next, the silicon substrate 1 is immersed in a high-temperature aqueous solution containing, for example, an alkali such as sodium hydroxide or potassium hydroxide and isopropyl alcohol (IPA), and anisotropic etching along the silicon crystal orientation proceeds. As shown in FIG. 5, a fine pyramid-like texture structure 8 having a (111) plane is formed on the light receiving surface of the silicon substrate 1. Here, since the diffusion prevention film 4 is formed on the back surface of the silicon substrate 1, the back surface of the silicon substrate 1 is not etched.

次に、図6に示すように、シリコン基板1はフッ酸などに浸漬させられることにより、シリコン基板1の裏面の拡散保護膜4、p型ペースト材2およびn型ペースト材3が除去される。そして、図7に示すように、シリコン基板1の受光面および裏面にキャリアの表面再結合を抑制するためのパッシベーション膜9、10が形成される。パッシベーション膜9、10としては、たとえば熱酸化によるシリコン酸化膜やプラズマCVD法によるシリコン窒化膜などが用いられ、パッシベーション膜9、10を形成することによってキャリアの表面再結合を有効に抑制することができる。ここで、シリコン基板1の受光面に形成されるパッシベーション膜9としてシリコン窒化膜を用いた場合にはその屈折率が2.1程度となるため、シリコン窒化膜はシリコン基板1の受光面における太陽光の反射を抑制する反射防止膜としても用いることができる。   Next, as shown in FIG. 6, the silicon substrate 1 is immersed in hydrofluoric acid or the like to remove the diffusion protective film 4, the p-type paste material 2, and the n-type paste material 3 on the back surface of the silicon substrate 1. . Then, as shown in FIG. 7, passivation films 9 and 10 for suppressing the surface recombination of carriers are formed on the light receiving surface and the back surface of the silicon substrate 1. As the passivation films 9 and 10, for example, a silicon oxide film formed by thermal oxidation or a silicon nitride film formed by a plasma CVD method is used. By forming the passivation films 9 and 10, it is possible to effectively suppress surface recombination of carriers. it can. Here, when a silicon nitride film is used as the passivation film 9 formed on the light receiving surface of the silicon substrate 1, the refractive index thereof is about 2.1. Therefore, the silicon nitride film is the sun on the light receiving surface of the silicon substrate 1. It can also be used as an antireflection film that suppresses reflection of light.

次に、シリコン基板1の裏面のp+層6およびn+層5との電気的接続を行なうために、図8に示すように、シリコン基板1の裏面に形成されたパッシベーション膜10が所望のパターン形状に除去される。パッシベーション膜10はたとえばドット状またはライン状などの形状で除去され、p+層6およびn+層5の配列に応じてその除去形状が決定されることが好ましい。また、p+層6およびn+層5以外の部分に電極が形成されることがないように、p+層6およびn+層5の端部よりも内部にあるパッシベーション膜10が除去されることが好ましい。   Next, in order to make electrical connection with the p + layer 6 and the n + layer 5 on the back surface of the silicon substrate 1, a passivation film 10 formed on the back surface of the silicon substrate 1 is desired as shown in FIG. Removed into pattern shape. Passivation film 10 is preferably removed in the form of a dot or a line, for example, and the removal shape is preferably determined according to the arrangement of p + layer 6 and n + layer 5. Further, the passivation film 10 inside the end portions of the p + layer 6 and the n + layer 5 is removed so that electrodes are not formed in portions other than the p + layer 6 and the n + layer 5. It is preferable.

最後に、図9に示すように、パッシベーション膜10が除去された部分に合わせて、p+層6上にフィンガーp電極11が形成されるとともにn+層5上にフィンガーn電極12が形成される。ここで、フィンガーp電極11およびフィンガーn電極12の電極材料としては、太陽電池セルに発生する電流を外部に十分に取り出すことができるように、銀またはアルミニウムなどの高導電材料が用いられることが好ましい。また、フィンガーp電極11およびフィンガーn電極12の形成手段としては、たとえば高真空中における電子ビーム加熱による電極材料の蒸着、電極材料を含むペーストのスクリーン印刷または電極材料のメッキなどの手段を用いることができる。さらに、シリコン基板1とフィンガーp電極11およびフィンガーn電極12との良好なオーミック接触を得るために、シリコン基板1への電極材料の付着後に400℃〜500℃の熱処理が行なわれることが好ましい。これらのフィンガー電極とともに、フィンガー電極と交差するバスバー電極も形成される。なお、フィンガーp電極11およびフィンガーn電極12は、主に太陽電池セルに発生した電流を収集する電極のことである。また、バスバー電極は、フィンガー電極が収集した電流を集め、主に他の太陽電池セルとの接続に用いられる電極のことをいう。   Finally, as shown in FIG. 9, the finger p electrode 11 is formed on the p + layer 6 and the finger n electrode 12 is formed on the n + layer 5 in accordance with the portion from which the passivation film 10 has been removed. The Here, as the electrode material of the finger p electrode 11 and the finger n electrode 12, a highly conductive material such as silver or aluminum may be used so that a current generated in the solar battery cell can be taken out sufficiently. preferable. Further, as means for forming the finger p electrode 11 and the finger n electrode 12, for example, means such as vapor deposition of an electrode material by electron beam heating in high vacuum, screen printing of a paste containing the electrode material, or plating of the electrode material is used. Can do. Furthermore, in order to obtain good ohmic contact between the silicon substrate 1 and the finger p-electrode 11 and the finger n-electrode 12, it is preferable that a heat treatment at 400 ° C. to 500 ° C. is performed after the electrode material is attached to the silicon substrate 1. A bus bar electrode intersecting with the finger electrodes is formed together with these finger electrodes. In addition, the finger p electrode 11 and the finger n electrode 12 are electrodes which mainly collect the current generated in the solar battery cell. Moreover, a bus-bar electrode means the electrode which collects the electric current which the finger electrode collected, and is mainly used for a connection with another photovoltaic cell.

図10の模式的平面図に、上記のようにして得られた本発明の太陽電池セルの裏面の好ましい一例を示す。図10に示すように、この太陽電池セルの裏面には、複数のフィンガーp電極11とフィンガーn電極12とが交互に太陽電池セルの裏面全体を覆うように直線状に形成されており、フィンガーp電極11と交差するバスバーp電極13は裏面の端部に形成されているが、フィンガーn電極12と交差するバスバーn電極14は裏面の内部に形成されている。このようにすることによって、本発明と従来とで太陽電池セルの裏面の面積が同じ場合であっても、本発明の太陽電池セルの裏面のフィンガーn電極12およびフィンガーp電極11の長さL1は、図21に示す従来のフィンガーn電極112およびフィンガーp電極111の長さL0よりも短くなる。それゆえ、太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でもシリーズ抵抗を小さく抑えることができ、フィンガーn電極12およびフィンガーp電極11の幅W1だけでなくフィンガーp電極11とフィンガーn電極12の間のピッチP1も小さくすることができる。したがって、本発明においては、太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でもシリコン基板1内におけるキャリアの移動距離が長くならず、フィンガー電極におけるキャリアの収集効率を向上させることが可能になることから、太陽電池セルの出力の低下を有効に抑止することができる。 A schematic plan view of FIG. 10 shows a preferable example of the back surface of the solar battery cell of the present invention obtained as described above. As shown in FIG. 10, a plurality of finger p-electrodes 11 and finger n-electrodes 12 are linearly formed on the back surface of the solar battery cell so as to alternately cover the entire back surface of the solar battery cell. The bus bar p electrode 13 that intersects the p electrode 11 is formed at the end of the back surface, while the bus bar n electrode 14 that intersects the finger n electrode 12 is formed inside the back surface. By doing in this way, even if it is a case where the area of the back surface of a photovoltaic cell is the same by this invention and the conventional, the length L of the finger n electrode 12 and the finger p electrode 11 of the back surface of the photovoltaic cell of this invention 1 becomes shorter than the length L 0 of the conventional finger n electrode 112 and finger p electrode 111 shown in FIG. Therefore, even when the area of the back surface of the solar battery cell is increased, the series resistance can be reduced, and not only the width W 1 of the finger n electrode 12 and the finger p electrode 11 but also the finger p electrode 11 and the finger n electrode 12. The pitch P 1 between these can also be reduced. Therefore, in the present invention, even when the area of the back surface of the solar battery cell becomes large, the moving distance of the carrier in the silicon substrate 1 does not become long, and it becomes possible to improve the carrier collection efficiency in the finger electrode. Thus, a decrease in the output of the solar battery cell can be effectively suppressed.

図11の模式的平面図に、本発明の太陽電池セルの裏面の好ましい他の一例を示す。図11に示すように、この太陽電池セルの裏面の内部には、フィンガーn電極12と交差するバスバーn電極14が2本、フィンガーp電極11と交差するバスバーp電極13が1本形成されている。したがって、太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でもフィンガーn電極12およびフィンガーp電極11の長さL1を短くすることができることから、この場合にも太陽電池セルの出力の低下を有効に抑止することができる。 The schematic plan view of FIG. 11 shows another preferred example of the back surface of the solar battery cell of the present invention. As shown in FIG. 11, two bus bar n electrodes 14 intersecting the finger n electrode 12 and one bus bar p electrode 13 intersecting the finger p electrode 11 are formed inside the back surface of the solar battery cell. Yes. Therefore, even when the area of the back surface of the solar battery cell is increased, the length L 1 of the finger n electrode 12 and the finger p electrode 11 can be shortened. Can be deterred.

図10および図11に示す太陽電池セルおいて、フィンガーn電極12およびフィンガーp電極11の長さL1は、太陽電池セルの裏面のフィンガー電極の長手方向における長さLの1/2以下であることが好ましく、1/4以下であることがより好ましく、1/6以下であることがさらに好ましい。L1がLの1/2よりも大きいときには太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合にシリーズ抵抗が大きくなりすぎて太陽電池セルの出力の低下を有効に抑止することができない傾向にあり、L1がLの1/4以下、特に1/6以下であるときには太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でもシリーズ抵抗があまり大きくならず太陽電池セルの出力の低下を特に有効に抑止することができる傾向にある。 10 and FIG. 11, the length L 1 of the finger n electrode 12 and the finger p electrode 11 is not more than ½ of the length L in the longitudinal direction of the finger electrode on the back surface of the solar battery cell. Preferably, it is preferably 1/4 or less, and more preferably 1/6 or less. When L 1 is larger than 1/2 of L, when the area of the back surface of the solar battery cell becomes large, the series resistance tends to be too large and the decrease in the output of the solar battery cell cannot be effectively suppressed. When L 1 is 1/4 or less of L, particularly 1/6 or less, even when the area of the back surface of the solar battery cell is increased, the series resistance is not so large and the output of the solar battery cell is particularly effectively reduced. It tends to be deterred.

なお、本明細書において、フィンガー電極の長さL1は、図10および図11に示すように、フィンガー電極とバスバー電極の接点からフィンガー電極の先端までの長さのことをいう。また、フィンガー電極が複数ある場合にはその少なくとも1本の長さが上記範囲にあればよいが、すべてのフィンガー電極の長さが上記範囲にあることが好ましい。 In this specification, the length L 1 of the finger electrode refers to the length from the contact between the finger electrode and the bus bar electrode to the tip of the finger electrode, as shown in FIGS. Further, when there are a plurality of finger electrodes, at least one of the finger electrodes may be in the above range, but it is preferable that all finger electrodes have a length in the above range.

図12に、本発明の太陽電池モジュールに用いられるサブストレートの好ましい一例の模式的な上面図を示す。このサブストレート18は、エッチングなどによって孔17が複数形成されている絶縁体16の表面上に導電体15が所定の形状に形成されている。図13は、図12に示されるサブストレート18における線X13−X13に沿った模式的な断面を表わしている。図13に表わされるように、サブストレート18においては、絶縁体16に形成されている複数の孔17上には導電体15が孔17を塞ぐようにして形成されている。また、図14の模式的断面図に示すように、導電体15上にはたとえばガラスや樹脂などの絶縁性基板19が形成されていてもよい。   In FIG. 12, the typical top view of a preferable example of the substrate used for the solar cell module of this invention is shown. In this substrate 18, a conductor 15 is formed in a predetermined shape on the surface of an insulator 16 in which a plurality of holes 17 are formed by etching or the like. FIG. 13 shows a schematic cross section taken along line X13-X13 in the substrate 18 shown in FIG. As shown in FIG. 13, in the substrate 18, the conductor 15 is formed on the plurality of holes 17 formed in the insulator 16 so as to block the holes 17. Further, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 14, an insulating substrate 19 such as glass or resin may be formed on the conductor 15.

図15に、本発明の太陽電池モジュールの好ましい一例の模式的な上面図を示す。この太陽電池モジュールにおいては、太陽電池セル20、21、22のバスバーp電極13上およびバスバーn電極14上に図13に示すサブストレート18が設置されている。そして、このサブストレート18と太陽電池セル20、21、22とがそれぞれ電気的に接続されており、サブストレート18によって太陽電池セル20、21、22が電気的に接続されている。ここで、太陽電池セル21のバスバーp電極13は6箇所でサブストレート18の導電体15と電気的に接続されている。また、太陽電池セル21のバスバーn電極14は4箇所でサブストレート18の導電体15と電気的に接続されている。   In FIG. 15, the typical top view of a preferable example of the solar cell module of this invention is shown. In this solar cell module, the substrate 18 shown in FIG. 13 is installed on the bus bar p electrode 13 and the bus bar n electrode 14 of the solar cells 20, 21, 22. The substrate 18 and the solar battery cells 20, 21, and 22 are electrically connected to each other, and the solar battery cells 20, 21, and 22 are electrically connected by the substrate 18. Here, the bus bar p-electrode 13 of the solar battery cell 21 is electrically connected to the conductor 15 of the substrate 18 at six locations. The bus bar n-electrode 14 of the solar battery cell 21 is electrically connected to the conductor 15 of the substrate 18 at four locations.

図16は、図15に示される太陽電池モジュールにおける線X16−X16に沿った模式的な断面を表わしている。図16の模式的断面図に示すように、サブストレート18の導電体15は孔17を介して太陽電池セル20、21、22のバスバーp電極13およびバスバーn電極14とはんだ23によって電気的に接続されている。そして、図15に示すように、太陽電池セル20のバスバーp電極13と太陽電池セル21のバスバーn電極14とが導電体15によって電気的に接続されており、太陽電池セル21のバスバーp電極13と太陽電池セル22のバスバーn電極14とが導電体15によって電気的に接続されている。このようにすることによって、サブストレートを介して太陽電池セルを複数電気的に直列に接続することができる。また、バイパスダイオードやブロッキングダイオードなどを太陽電池セルとともに電気的に接続することもできる。また、図17の模式的断面図に示すように、導電体15上にはたとえばガラスや樹脂などの絶縁性基板19が形成されていてもよい。   FIG. 16 shows a schematic cross section taken along line X16-X16 in the solar cell module shown in FIG. As shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 16, the conductor 15 of the substrate 18 is electrically connected by the bus bar p electrode 13 and the bus bar n electrode 14 of the solar cells 20, 21, 22 and the solder 23 through the holes 17. It is connected. As shown in FIG. 15, the bus bar p-electrode 13 of the solar battery cell 20 and the bus bar n-electrode 14 of the solar battery cell 21 are electrically connected by the conductor 15, and the bus bar p-electrode of the solar battery cell 21. 13 and the bus bar n-electrode 14 of the solar battery cell 22 are electrically connected by a conductor 15. By doing in this way, a plurality of photovoltaic cells can be electrically connected in series via the substrate. Moreover, a bypass diode, a blocking diode, etc. can also be electrically connected with a photovoltaic cell. Moreover, as shown in the schematic cross-sectional view of FIG. 17, an insulating substrate 19 such as glass or resin may be formed on the conductor 15.

ここで、図16および図17に示すはんだ23は太陽電池セルの製造工程においてあらかじめバスバーp電極13およびバスバーn電極14上に形成することができる。また、サブストレート18と太陽電池セル21との間のバスバーp電極13およびバスバーn電極14が形成されていない空間にはシリコン樹脂などの絶縁性樹脂24が充填されている。また、太陽電池セル20、21、22の裏面の大きさはたとえば幅155mm×長さ155mm程度である。また、サブストレート18の絶縁体16としてはたとえば厚さ25〜500μm程度のポリイミドフィルムなどの絶縁性フィルムが用いられ、導電体15としてはたとえば厚さ50〜500μm程度の銅やニッケルなどの金属が用いられる。   Here, the solder 23 shown in FIGS. 16 and 17 can be formed on the bus bar p electrode 13 and the bus bar n electrode 14 in advance in the manufacturing process of the solar battery cell. In addition, a space between the substrate 18 and the solar battery cell 21 where the bus bar p-electrode 13 and the bus bar n-electrode 14 are not formed is filled with an insulating resin 24 such as silicon resin. Moreover, the size of the back surface of the photovoltaic cells 20, 21, 22 is, for example, about 155 mm wide × 155 mm long. Further, an insulating film such as a polyimide film having a thickness of about 25 to 500 μm is used as the insulator 16 of the substrate 18, and a metal such as copper or nickel having a thickness of about 50 to 500 μm is used as the conductor 15. Used.

また、図18の模式的拡大断面図に示すように、太陽電池セル20、21、22の受光面側にたとえば板ガラスまたは板ガラスの強度を向上させた強化ガラスなどの太陽光を透過する透明な基板25を設置し、太陽電池セル20、21、22の裏面側にたとえば板ガラスまたは強化ガラスなどの基板26を設置して、一対の対向する基板25と基板26との間にEVA(エチレンビニルアセテート)などの透明樹脂27を充填した後に透明樹脂27を架橋させることによって、本発明の太陽電池モジュールを製造することもできる。   Moreover, as shown in the schematic enlarged sectional view of FIG. 18, the transparent substrate which permeate | transmits sunlight, such as tempered glass which improved the intensity | strength of plate glass or plate glass, for example to the light-receiving surface side of the photovoltaic cells 20, 21, and 22 25, and a substrate 26 such as plate glass or tempered glass is installed on the back side of the solar cells 20, 21, 22 and EVA (ethylene vinyl acetate) is interposed between the pair of opposed substrates 25 and 26. The solar cell module of the present invention can also be manufactured by crosslinking the transparent resin 27 after filling with the transparent resin 27.

また、本発明の太陽電池モジュールにおいては、図19(A)の模式的平面図に示すように、1つのサブストレート18によって複数の太陽電池セルが接続されていてもよく、図19(B)の模式的平面図に示すように、複数の太陽電池セルを接続しているサブストレート18が複数設置されていてもよい。   Moreover, in the solar cell module of this invention, as shown to the schematic top view of FIG. 19 (A), the several solar cell may be connected by one substrate 18, FIG.19 (B). As shown in the schematic plan view, a plurality of substrates 18 connecting a plurality of solar cells may be provided.

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。   The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.

本発明によれば太陽電池モジュールを構成する太陽電池セルの裏面の面積が大きくなった場合でも出力の低下を有効に抑止することができる太陽電池モジュールを提供することができることから、本発明は裏面接合型の太陽電池セルを複数電気的に接続した太陽電池モジュールに好適に利用することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a solar cell module capable of effectively suppressing a decrease in output even when the area of the back surface of the solar battery cell constituting the solar cell module is increased. It can be suitably used for a solar cell module in which a plurality of junction type solar cells are electrically connected.

1,101 シリコン基板、2 p型ペースト材、3 n型ペースト材、4 拡散防止膜、5,105 n+層、6,106 p+層、8 テクスチャ構造、9,10 パッシベーション膜、11,111 フィンガーp電極、12,112 フィンガーn電極、13,113 バスバーp電極、14,114 バスバーn電極、15 導電体、16 絶縁体、17 孔、18 サブストレート、19 絶縁性基板、20,21,22 太陽電池セル、23 はんだ、24 絶縁性樹脂、25,26 基板、27 透明樹脂。   1,101 Silicon substrate, 2 p-type paste material, 3 n-type paste material, 4 diffusion prevention film, 5,105 n + layer, 6,106 p + layer, 8 texture structure, 9,10 passivation film, 11,111 Finger p electrode, 12, 112 Finger n electrode, 13, 113 Bus bar p electrode, 14, 114 Bus bar n electrode, 15 Conductor, 16 Insulator, 17 holes, 18 Substrate, 19 Insulating substrate, 20, 21, 22 Solar cell, 23 solder, 24 insulating resin, 25, 26 substrate, 27 transparent resin.

Claims (5)

電気的に接続されている複数の太陽電池セルを含む太陽電池モジュールであって、前記太陽電池セルのうち少なくとも1つの裏面にp+層とn+層とが形成されており、前記p+層上に形成されているフィンガーp電極に交差するバスバーp電極と前記n+層上に形成されているフィンガーn電極に交差するバスバーn電極とからなるバスバー電極のうち少なくとも1本が前記裏面の内部に形成されていることを特徴とする、太陽電池モジュール。   A solar cell module including a plurality of electrically connected solar cells, wherein a p + layer and an n + layer are formed on at least one back surface of the solar cells, and the p + layer At least one of the bus bar electrodes composed of the bus bar p electrode intersecting with the finger p electrode formed on the upper surface and the bus bar n electrode intersecting with the finger n electrode formed on the n + layer is formed inside the back surface. It is formed in the solar cell module characterized by the above-mentioned. 電気的に接続されている複数の太陽電池セルを含む太陽電池モジュールであって、前記太陽電池セルのすべての裏面にp+層とn+層とが形成されており、前記p+層上に形成されているフィンガーp電極に交差するバスバーp電極と前記n+層上に形成されているフィンガーn電極に交差するバスバーn電極とからなるバスバー電極のうち少なくとも1本が前記太陽電池セルのそれぞれの裏面の内部に形成されていることを特徴とする、太陽電池モジュール。   A solar cell module including a plurality of electrically connected solar cells, wherein a p + layer and an n + layer are formed on all back surfaces of the solar cells, and the p + layer is formed on the p + layer. At least one of the bus bar electrodes including the bus bar p electrode intersecting the formed finger p electrode and the bus bar n electrode intersecting the finger n electrode formed on the n + layer is each of the solar cells. A solar cell module, characterized in that it is formed inside the back surface of the solar cell module. 複数の孔が形成されている絶縁体と前記絶縁体の孔上に形成されている導電体とを含むサブストレートが前記太陽電池セルの前記バスバー電極上に設置されており、前記バスバー電極と前記導電体とが前記孔を介して電気的に接続され、1つの太陽電池セルのバスバーp電極と他の太陽電池セルのバスバーn電極とが前記導電体により電気的に接続されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の太陽電池モジュール。   A substrate including an insulator in which a plurality of holes are formed and a conductor formed on the hole of the insulator is disposed on the bus bar electrode of the solar cell, and the bus bar electrode and the A conductor is electrically connected through the hole, and a bus bar p electrode of one solar cell and a bus bar n electrode of another solar cell are electrically connected by the conductor. The solar cell module according to claim 1 or 2. 前記導電体上に絶縁性基板が設置されていることを特徴とする、請求項3に記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to claim 3, wherein an insulating substrate is installed on the conductor. 前記太陽電池セルが一対の対向する基板間において透明樹脂により封止されていることを特徴とする、請求項1から4のいずれかに記載の太陽電池モジュール。   The solar cell module according to any one of claims 1 to 4, wherein the solar cell is sealed with a transparent resin between a pair of opposing substrates.
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