JP2009055065A - Electrooptical device, and electronic apparatus - Google Patents

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Yojiro Matsueda
洋二郎 松枝
Hayato Nakanishi
早人 中西
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To propose a panel structure of an electrooptical device which achieves correct tone display. <P>SOLUTION: The electrooptical device includes a pixel electrode 27, a common electrode, and an electrooptical element driven by electric power supplied via the pixel electrode 27 and common electrode. The pixel electrode 27 is provided with a connection region to which connection wiring for electrically connecting the pixel electrode 27 to power supply potential, and an arrangement region where a functional layer in which at least a part region of regions other than the connection region constitutes the electrooptical element is arranged. This type of configuration can uniform the film thickness of an emission layer on the pixel electrode 27 and can effectively suppress generation of uneven brightness. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は光取り出し効率に優れたパネル構造を有する電気光学装置に関する。   The present invention relates to an electro-optical device having a panel structure excellent in light extraction efficiency.

図7はボトムエミッション構造を採用するアクティブマトリクス型有機ELディスプレイの画素レイアウトの説明図である。同図において、画素10は、RGB三原色で発光する有機EL素子からなる発光部OLEDと、電源供給線Vddから電源供給を受けて発光部OLEDに順バイアス電流(駆動電流)を供給するための駆動トランジスタTr1と、書き込み制御線Vselによりオン/オフ制御されるスイッチングトランジスタTr2及びTr3と、発光制御線Vgpによりオン/オフ制御されるスイッチングトランジスタTr4と、データ線Idatを介して供給されるデータ信号に対応した電圧を保持する保持容量Cを備えて構成されている。スイッチングトランジスタTr2及びTr3のゲート端子は共に書き込み制御線Vselに接続されており、スイッチングトランジスタTr2のソース端子はスイッチングトランジスタTr3のドレイン端子に接続している。 FIG. 7 is an explanatory diagram of a pixel layout of an active matrix organic EL display adopting a bottom emission structure. In the figure, a pixel 10 is used for supplying a forward bias current (drive current) to the light emitting unit OLED by receiving power from the light emitting unit OLED made of organic EL elements that emit light in RGB three primary colors and the power supply line Vdd . and driving transistors Tr1, a switching transistor Tr2 and Tr3 to be turned on / off controlled by the write control line V sel, the switching transistor Tr4 is turned on / off controlled by the light emission control line V gp, supplied via the data line I dat A holding capacitor C that holds a voltage corresponding to the data signal is provided. The gate terminals of the switching transistors Tr2 and Tr3 are both connected to the write control line Vsel , and the source terminal of the switching transistor Tr2 is connected to the drain terminal of the switching transistor Tr3.

これらの各素子は薄膜製造プロセスによって複数のレイヤに積層されており、バイス層の最上層には個々の画素に形成される発光部OLEDを区画するためのバンク層(図示せず)が積層されている。バンク層には透明画素電極(陽極)38上に開口するバンク開口部h1が形成されており、その開口部h1内にはバンク層の下層に成膜される親水性制御膜が開口している。略円形状の親水性制御膜開口部h2にはインクジェット法などで成膜された発光層が充填されており、発光部OLEDを形成している。また、同図に図示してないが、バンク層の上層には各々の画素の共通電極としての陰極が成膜されている。本明細書では、説明の便宜上、基板上に積層される個々のレイヤの相対的位置関係について、陰極側の層を上層と称し、基板側の層を下層と称する(後述する本発明の実施形態においても同様である。)。   Each of these elements is stacked in a plurality of layers by a thin film manufacturing process, and a bank layer (not shown) for partitioning the light emitting unit OLED formed in each pixel is stacked on the uppermost layer of the vice layer. ing. A bank opening h1 is formed in the bank layer so as to open on the transparent pixel electrode (anode) 38, and a hydrophilic control film formed under the bank layer is opened in the opening h1. . The substantially circular hydrophilic control film opening h2 is filled with a light emitting layer formed by an ink jet method or the like to form a light emitting unit OLED. Although not shown in the figure, a cathode as a common electrode of each pixel is formed on the upper layer of the bank layer. In this specification, for convenience of explanation, regarding the relative positional relationship of individual layers stacked on a substrate, a cathode side layer is referred to as an upper layer, and a substrate side layer is referred to as a lower layer (embodiments of the present invention described later) The same applies to the above).

上記の構成において、画素へのデータ信号の書き込み時において、書き込み制御線Vselから供給される選択信号によりスイッチングトランジスタTr2及びTr3は共に開状態となり、発光階調に対応したデータ信号が保持容量Cに書き込まれる。スイッチングトランジスタTr4は、発光時において、発光制御線Vgpから供給される選択信号により開状態となり、保持容量Cに保持された電圧によって駆動トランジスタTr1が出力する駆動電流を発光部OLEDに供給する。同図において、紙面の表側に陰極が成膜されており、裏側に透明基板が配置されているものとすると、ボトムエミッション構造においては、透明基板側から光を射出する必要があるため、発光部OLEDの下層にはトランジスタ、電源配線、保持容量などが配置されないように画素レイアウトを設計する必要がある。 In the above configuration, at the time of writing the data signal to the pixel, the switching transistors Tr2 and Tr3 are both opened by the selection signal supplied from the write control line Vsel , and the data signal corresponding to the light emission gradation is stored in the storage capacitor C. Is written to. The switching transistor Tr4 is opened by a selection signal supplied from the light emission control line Vgp during light emission, and supplies the drive current output from the drive transistor Tr1 to the light emitting unit OLED by the voltage held in the holding capacitor C. In the figure, assuming that a cathode is formed on the front side of the paper surface and a transparent substrate is disposed on the back side, in the bottom emission structure, it is necessary to emit light from the transparent substrate side. It is necessary to design the pixel layout so that transistors, power supply wirings, storage capacitors, and the like are not arranged below the OLED.

このため、同図に示す例では、2層のメタル層から成る保持容量Cの側面形状を、略円形の発光部OLEDの周部の形状に合わせて多角形状にパターニングし、デバイス層の膜厚方向に直交する投影面への保持容量Cと発光部OLEDとのそれぞれの投影部分が重複しないように設計してある。さらに、透明画素電極38の角の位置h3にコンタクトホールを開口し、発光部OLEDが形成されていない位置において、スイッチングトランジスタTr4のソースメタルと透明画素電極38とのコンタクトを確保している。   For this reason, in the example shown in the figure, the side surface shape of the storage capacitor C composed of two metal layers is patterned into a polygonal shape in accordance with the shape of the peripheral portion of the substantially circular light emitting unit OLED, and the film thickness of the device layer It is designed so that the projected portions of the storage capacitor C and the light emitting unit OLED on the projection plane orthogonal to the direction do not overlap. Further, a contact hole is opened at a corner position h3 of the transparent pixel electrode 38, and a contact between the source metal of the switching transistor Tr4 and the transparent pixel electrode 38 is secured at a position where the light emitting portion OLED is not formed.

尚、同図に示す従来技術の他に、特開平11−24606号(特許文献1)には、配線レイアウトの最適化により低消費電力及び発光効率を向上させることを目的とした表示装置が開示されている。   In addition to the prior art shown in the figure, Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-24606 (Patent Document 1) discloses a display device aimed at improving low power consumption and luminous efficiency by optimizing the wiring layout. Has been.

特開平11−24606号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-24606

しかし、スイッチングトランジスタTr4のソースメタルと透明画素電極38とを導通する場合に、透明画素電極38の下層に開口されたコンタクトホールを通じて両者を導通すると、コンタクト部において透明画素電極38に段差が生じやすく、その上層に成膜されている発光層の膜厚が不均一となるため、発光層内の電流分布に偏りが生じ、輝度ムラが生じやすい。また、データ線Idatは発光階調を担うアナログ電流信号を伝達するための信号線であるから、保持容量Cとの間で寄生容量が形成され易い位置に敷設すると、保持容量Cへのデータ信号の書き込み不足が生じ、正確な階調表示が困難となる。 However, when the source metal of the switching transistor Tr4 and the transparent pixel electrode 38 are made conductive, if the two are made conductive through a contact hole opened in the lower layer of the transparent pixel electrode 38, a step is likely to occur in the transparent pixel electrode 38 at the contact portion. Further, since the thickness of the light emitting layer formed on the upper layer becomes non-uniform, the current distribution in the light emitting layer is biased, and uneven brightness tends to occur. Further, since the data line I dat is a signal line for transmitting an analog current signal that bears the light emission gradation, if the data line I dat is laid at a position where parasitic capacitance is easily formed with the storage capacitor C, the data to the storage capacitor C is stored. Insufficient signal writing occurs, making accurate gradation display difficult.

そこで、本発明は正確な階調表示を実現するためのパネル構造を備えたパネル基板及び電気光学装置を提供することを課題とする。より詳細には、本発明は電気光学素子を構成する機能層の膜厚をできるだけ均一にできるパネル構造を備えたパネル基板及び電気光学装置を提供することを課題とする。また、本発明はデータ線に不要な寄生容量が形成されにくいパネル構造を備えた電気光学装置を提供することを課題とする。さらに本発明は、大型ディスプレイに好適なパネル構造を備えたパネル基板及び電気光学装置を提供することを課題とする。   Accordingly, an object of the present invention is to provide a panel substrate and an electro-optical device having a panel structure for realizing accurate gradation display. More specifically, an object of the present invention is to provide a panel substrate and an electro-optical device having a panel structure that can make the thickness of the functional layer constituting the electro-optical element as uniform as possible. It is another object of the present invention to provide an electro-optical device having a panel structure in which unnecessary parasitic capacitance is hardly formed on a data line. Another object of the present invention is to provide a panel substrate and an electro-optical device having a panel structure suitable for a large display.

上記の課題を解決するため、本発明の電気光学装置は、画素電極と、共通電極と、前記画素電極と前記共通電極とを介して供給される電力により駆動される電気光学素子とを備え、前記画素電極には、前記画素電極と電源電位とを電気的に接続するための接続配線が接続された接続領域が設けられるとともに、前記接続領域以外の領域のうち少なくとも一部の領域に電気光学素子を構成する機能層が配置される配置領域が設けられている。   In order to solve the above problems, an electro-optical device according to the present invention includes a pixel electrode, a common electrode, and an electro-optical element driven by power supplied through the pixel electrode and the common electrode. The pixel electrode is provided with a connection region to which a connection wiring for electrically connecting the pixel electrode and a power supply potential is connected, and at least a part of the region other than the connection region is electro-optic. An arrangement region is provided in which functional layers constituting the element are arranged.

前記接続配線が画素電極と電気的に接続される部分はコンタクトホールなどの影響で段差が生じ易いが、画素電極の配置領域上に電気光学素子を形成することで、機能層の膜厚を均一にできる。これにより、膜厚の不均一に起因する輝度ムラを低減できる。   The step where the connection wiring is electrically connected to the pixel electrode is likely to have a step due to the influence of a contact hole or the like. However, by forming an electro-optic element on the pixel electrode arrangement region, the thickness of the functional layer is made uniform. Can be. Thereby, luminance unevenness due to non-uniform film thickness can be reduced.

特に、ボトムエミッション構造においては、画素電極側から下層方向へ光を射出するため、画素電極の下層には他の電子素子や配線などを自由にレイアウトできず、構造的に画素電極の面積が小さくなり易い。このような画素電極上に電気光学素子を形成する場合には、画素電極の上記接続領域以外の領域に電気光学素子を形成するのが好ましい。   In particular, in the bottom emission structure, since light is emitted from the pixel electrode side toward the lower layer, other electronic elements and wiring cannot be freely laid out below the pixel electrode, and the area of the pixel electrode is structurally small. Easy to be. When forming an electro-optical element on such a pixel electrode, it is preferable to form the electro-optical element in a region other than the connection region of the pixel electrode.

一方、トップエミッション構造においては、共通電極側から上層方向へ光を射出するため、画素電極の下層には他の電子素子や配線などを自由にレイアウトでき、画素電極の面積を大きくできる。加えて、本発明の構成を採用すれば、開口率を高めることができるとともに、電気光学素子を構成する機能層の膜厚を均一にできるため、高精細なディスプレイを実現できる。   On the other hand, in the top emission structure, since light is emitted from the common electrode side toward the upper layer direction, other electronic elements and wirings can be freely laid out below the pixel electrode, and the area of the pixel electrode can be increased. In addition, by adopting the configuration of the present invention, the aperture ratio can be increased and the thickness of the functional layer constituting the electro-optic element can be made uniform, so that a high-definition display can be realized.

ここで、「画素領域」とは、発光表示の基本単位となる画素を構成するための1又は2以上の電子素子が形成された領域をいい、パッシブマトリクス駆動のように単一の発光素子で画素が構成される場合には、当該発光素子を含む領域が画素領域に該当し、アクティブマトリクス型ディスプレイのように発光素子と能動素子で一つの画素が構成される場合には、発光素子と能動素子を含む領域が画素領域に該当する。画素を構成する電子素子が異なるレイヤに形成されている場合には、各々のレイヤにおける電子素子の形成領域を含むものとする。   Here, the “pixel region” refers to a region in which one or more electronic elements for forming a pixel that is a basic unit of light emitting display are formed, and is a single light emitting element as in passive matrix driving. When a pixel is configured, a region including the light-emitting element corresponds to the pixel region, and when one pixel is configured with a light-emitting element and an active element as in an active matrix display, the light-emitting element and the active element are active. A region including an element corresponds to a pixel region. In the case where the electronic elements constituting the pixel are formed in different layers, the electronic element forming region in each layer is included.

また、「電気光学素子」とは、電気的作用により光の光学的状態を変化させる電子素子一般をいい、エレクトロルミネセンス素子などの自発光素子の他に、液晶素子のように光の偏向状態を変化させることで階調表示する電子素子を含む。また、「画素電極」とは、個々の画素領域に形成される個別電極をいい、「共通電極」とは複数の画素領域に共通する電極をいう。また、「機能層」とは、電気光学素子の機能(電気光学効果)を実現するためのデバイス層をいい、1又は2以上のレイヤに形成されている場合を含む。例えば、エレクトロルミネセンス素子の場合は、少なくとも発光層を含み、必要に応じてさらに正孔輸送層、電子輸送層などのデバイス層が含まれる。尚、本明細書において、単に「素子」と表記する場合には、特に断りがない限り、「電子素子」を意味するものとする。   An “electro-optical element” is an electronic element that changes the optical state of light by electrical action. In addition to a self-luminous element such as an electroluminescent element, a light deflection state such as a liquid crystal element. The electronic element which displays a gradation by changing is included. The “pixel electrode” refers to an individual electrode formed in each pixel region, and the “common electrode” refers to an electrode common to a plurality of pixel regions. The “functional layer” refers to a device layer for realizing the function (electro-optical effect) of the electro-optical element, and includes a case where it is formed in one or more layers. For example, in the case of an electroluminescent element, it includes at least a light emitting layer, and further includes device layers such as a hole transport layer and an electron transport layer as necessary. In the present specification, the simple description of “element” means “electronic element” unless otherwise specified.

好ましくは、前記画素電極は反射性電極であり、前記共通電極は光透過性電極である。かかる構成により、共通電極側から射出光を取り出す所謂トップエミッション構造を実現できる。トップエミッション構造にすれば、画素領域内の電子素子のレイアウトを自由に設計できるため、開口率を高めることができる。ここで、「反射性電極」とは、電気光学素子から射出された光の少なくとも一部を反射し、共通電極側に光を射出するための電極である。また、「光透過性電極」とは、電気光学素子から射出された光の少なくとも一部を透過する光透過性の電極であり、ディスプレイとして要求される性能を満たす程度の透過率を具備するものが望ましい。このような電極としては、酸化インジウム錫合金(ITO)、のように光透過性材料で構成された電極のみならず、所望の光透過性を具備する程度に薄膜処理された半透明金属電極であってもよい。   Preferably, the pixel electrode is a reflective electrode, and the common electrode is a light transmissive electrode. With this configuration, a so-called top emission structure in which emitted light is extracted from the common electrode side can be realized. With the top emission structure, the layout of the electronic elements in the pixel region can be freely designed, so that the aperture ratio can be increased. Here, the “reflective electrode” is an electrode for reflecting at least a part of the light emitted from the electro-optic element and emitting the light to the common electrode side. The “light transmissive electrode” is a light transmissive electrode that transmits at least part of the light emitted from the electro-optic element, and has a transmittance that satisfies the performance required for a display. Is desirable. Examples of such an electrode include not only an electrode made of a light transmissive material such as indium tin oxide alloy (ITO) but also a translucent metal electrode that has been thin-film-treated to the extent that it has a desired light transmittance. There may be.

好ましくは、電気光学素子は発光層を備えた発光素子である。このような発光素子によれば、発光階調を電気的に制御できる。特に、電流駆動型の発光素子の場合には、輝度ムラを抑制するには発光層内の電流分布を均一にする必要があり、上記接続領域以外の領域に発光素子を形成することで、発光層の膜厚を均一にできる。   Preferably, the electro-optical element is a light emitting element including a light emitting layer. According to such a light emitting element, the light emission gradation can be electrically controlled. In particular, in the case of a current-driven light-emitting element, it is necessary to make the current distribution in the light-emitting layer uniform in order to suppress luminance unevenness. By forming the light-emitting element in a region other than the connection region, light emission The layer thickness can be made uniform.

好ましくは、隣接する画素電極を隔てるように形成され、かつ、前記接続領域を覆うように形成されたバンク層をさらに含み、前記バンク層が形成されていない前記画素電極の領域は、前記機能層が配置される前記配置領域である。バンク層によって覆われる位置に接続領域を設けることで、電気光学素子の占有面積をできるだけ大きく確保し、開口率を高めつつ、デッドスペースの有効利用が可能となる。特に、ボトムエミッション構造の場合には、画素電極の大きさが制限され易いため、上記接続領域は画素電極の外縁近傍が望ましい。トップエミッション構造によれば、さらに開口率を高めることができる。   Preferably, the pixel electrode region further includes a bank layer formed so as to separate adjacent pixel electrodes and covering the connection region, and the region of the pixel electrode in which the bank layer is not formed includes the functional layer. Is the arrangement area where the By providing the connection region at a position covered by the bank layer, the occupation area of the electro-optical element is ensured as large as possible, and the dead space can be effectively used while increasing the aperture ratio. In particular, in the case of a bottom emission structure, the size of the pixel electrode is likely to be limited. Therefore, the connection region is preferably near the outer edge of the pixel electrode. According to the top emission structure, the aperture ratio can be further increased.

好ましくは、前記画素電極の下地層として、平坦化処理された平坦化膜を含む。平坦化膜上に画素電極を形成することで、画素電極の凹凸を低減し、その上層に積層される電気光学素子の機能層の膜厚を均一にできるため、輝度ムラのない正確な階調表示が可能となる。また、画素電極の凹凸を低減することで、接続領域における接続配線との断線などを効果的に低減できる。特に、トップエミッション構造の場合には、画素電極の下層に積層される薄膜の材質等は制約がないため、平坦化膜として成膜される絶縁膜の種類として、選択の幅が広がり、設計に都合が良い。   Preferably, a flattened film that has been flattened is included as a base layer of the pixel electrode. By forming the pixel electrode on the planarization film, the unevenness of the pixel electrode can be reduced, and the thickness of the functional layer of the electro-optic element stacked on top of it can be made uniform. Display is possible. In addition, by reducing the unevenness of the pixel electrode, disconnection from the connection wiring in the connection region can be effectively reduced. In particular, in the case of the top emission structure, the material of the thin film laminated under the pixel electrode is not limited. convenient.

好ましくは、電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、前記能動素子を駆動するための制御電圧を保持する保持容量とを含み、前記保持容量は絶縁層を介して平坦に成膜された2層のメタル層からなる容量素子から構成され、前記平坦化膜は前記保持容量の上層に成膜されており、前記平坦化膜に開口されたコンタクトホールを通じて前記接続配線と前記画素電極とが前記接続領域において導通されている。   Preferably, an active element that supplies a drive current to the electro-optical element and a storage capacitor that holds a control voltage for driving the active element are formed, and the storage capacitor is formed flat via an insulating layer The capacitor is composed of two metal layers, the planarizing film is formed on the storage capacitor, and the connection wiring and the pixel electrode are connected to each other through a contact hole opened in the planarizing film. Conduction is conducted in the connection region.

保持容量を2層のメタル層から構成することで、保持容量の上層に成膜される平坦化膜の平坦性を高めることができるとともに、保持容量の段差を利用することで、接続配線と画素電極のコンタクトをとるのに都合がよい。特に、トップエミッション構造においては、画素電極の下層に保持容量、平坦化膜などを自由にレイアウトできるため、保持容量のレイアウト位置を工夫することで画素電極の平坦性を高めることができる。   By forming the storage capacitor from two metal layers, it is possible to improve the flatness of the planarization film formed on the upper layer of the storage capacitor, and by using the step of the storage capacitor, the connection wiring and the pixel Convenient for making electrode contact. In particular, in the top emission structure, a storage capacitor, a planarization film, and the like can be laid out freely below the pixel electrode. Therefore, the flatness of the pixel electrode can be improved by devising the layout position of the storage capacitor.

好ましくは、前記画素電極と前記配置領域とは形状が異なる。このように構成することで、バンク層の開口部が形成されない画素電極上の領域に上記接続領域を設けることが可能となる。   Preferably, the pixel electrode and the arrangement region have different shapes. With this configuration, the connection region can be provided in a region on the pixel electrode where the opening of the bank layer is not formed.

好ましくは、前記画素電極は矩形状に形成され、前記配置領域は長円形に形成されている。配置領域を長円形にすることで、矩形状の画素電極のデッドスペースの有効利用が可能となり、開口率を高めることができる。また、バンク層の開口部を長円形とすることで、液状の材料で発光層などを均一に充填することができ、発光層内の電流分布を均一にできる。   Preferably, the pixel electrode is formed in a rectangular shape, and the arrangement region is formed in an oval shape. By making the arrangement region into an oval shape, the dead space of the rectangular pixel electrode can be effectively used, and the aperture ratio can be increased. Further, by making the opening of the bank layer into an oval shape, the light emitting layer can be uniformly filled with a liquid material, and the current distribution in the light emitting layer can be made uniform.

好ましくは、前記画素電極の占有面積は、画素領域の占有面積の60%以上を占めるように形成する。トップエミッション構造では、画素電極の大きさを画素領域の大きさとほぼ同じ大きさに設計できるため、開口率を高めることが可能となる。   Preferably, the pixel electrode occupies 60% or more of the pixel area. In the top emission structure, the size of the pixel electrode can be designed to be approximately the same as the size of the pixel region, so that the aperture ratio can be increased.

好ましくは、前記電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、前記能動素子の制御電圧を保持する保持容量と、前記保持容量に制御電圧を蓄積するためのアナログ電流信号を伝達するデータ線を含み、前記機能層の膜厚方向に直交する投影面への前記データ線の投影部分の大部分が画素電極の前記投影面に対する投影部分と重複しないように前記データ線のレイアウト位置を定める。データ線のレイアウト位置をこのように定めることで、データ線と画素電極との間の寄生容量をできるだけ低減し、保持容量へのデータ信号の書き込み不足を抑制して、正確な発光階調を実現できる。   Preferably, an active element that supplies a drive current to the electro-optic element, a storage capacitor that holds a control voltage of the active element, and a data line that transmits an analog current signal for storing the control voltage in the storage capacitor In addition, the layout position of the data line is determined so that most of the projected portion of the data line on the projection plane orthogonal to the film thickness direction of the functional layer does not overlap with the projected portion of the pixel electrode with respect to the projection plane. By defining the layout position of the data line in this way, the parasitic capacitance between the data line and the pixel electrode is reduced as much as possible, and insufficient writing of the data signal to the storage capacitor is suppressed, thereby realizing an accurate light emission gradation. it can.

好ましくは、前記データ線の中心線の前記投影面への投影位置は、隣接する画素電極の前記投影面への投影位置の間に存在するようにレイアウトする。このようにレイアウトすることで、画素電極とデータ線の間に形成される寄生容量をできるだけ低減できる。   Preferably, the data line is laid out so that a projection position of the center line of the data line on the projection plane exists between projection positions of adjacent pixel electrodes on the projection plane. By laying out in this way, the parasitic capacitance formed between the pixel electrode and the data line can be reduced as much as possible.

好ましくは、前記電気光学素子は、前記画素電極を陽極とし、前記共通電極を陰極とするエレクトロルミネッセンス素子とする。エレクトロルミネセンス素子を用いることで、電流駆動により自発光する電流駆動型発光素子を得ることができる。   Preferably, the electro-optic element is an electroluminescence element having the pixel electrode as an anode and the common electrode as a cathode. By using an electroluminescence element, a current-driven light-emitting element that emits light by current drive can be obtained.

本発明のパネル基板は、複数の画素電極を備えたパネル基板であって、前記複数の画素電極の各々には、各々の画素電極を電源電位に電気的に接続するための接続配線が接続された接続領域が設けられるとともに、前記接続領域上には前記複数の画素電極を互いに隔てる絶縁層が配置されており、前記各々の画素電極には前記絶縁層が配置されていない開口領域が設けられている。   The panel substrate of the present invention is a panel substrate having a plurality of pixel electrodes, and each of the plurality of pixel electrodes is connected to a connection wiring for electrically connecting each pixel electrode to a power supply potential. And an insulating layer that separates the plurality of pixel electrodes from each other, and each pixel electrode includes an opening region in which the insulating layer is not disposed. ing.

前記接続配線が画素電極と電気的に接続される部分はコンタクトホールなどの影響で段差が生じ易いが、画素電極上の領域のうち絶縁層で被覆された領域は電気光学表示に寄与しないため、当該領域に前記接続配線と画素電極を電気的に接続するための接続領域を設けることで、絶縁層が被覆されていない領域(電気光学表示に寄与する領域)の平坦性を確保できる。   A portion where the connection wiring is electrically connected to the pixel electrode is likely to have a step due to an influence of a contact hole or the like, but a region covered with an insulating layer among regions on the pixel electrode does not contribute to electro-optical display. By providing a connection region for electrically connecting the connection wiring and the pixel electrode in the region, it is possible to ensure flatness of a region where the insulating layer is not covered (region contributing to electro-optical display).

本発明のパネル基板を用いてトップエミッション構造の電気光学装置を実現するには、画素電極は反射性電極で構成するのが望ましい。また、画素電極の形状と前記絶縁層が形成されていない領域の形状は相互に異なるよう形成するのが望ましく、例えば、前者の形状を矩形状とする一方、後者の形状を長円形とするのが望ましい。このような形状にすれば、画素電極のデッドスペースを利用して前記接続領域を設けることが可能となる。   In order to realize a top emission structure electro-optical device using the panel substrate of the present invention, it is desirable that the pixel electrode is formed of a reflective electrode. Further, it is desirable that the shape of the pixel electrode and the shape of the region where the insulating layer is not formed are different from each other. For example, the former shape is rectangular and the latter shape is oval. Is desirable. With such a shape, it is possible to provide the connection region using the dead space of the pixel electrode.

また、本発明のパネル基板においては、さらに、電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、前記能動素子を駆動するための制御電圧を保持する保持容量とを含み、前記保持容量は絶縁層を介して平坦に成膜された2層のメタル層からなる容量素子から構成され、前記平坦化膜は前記保持容量の上層に成膜されており、前記平坦化膜に開口されたコンタクトホールを通じて前記接続配線と前記画素電極とが前記接続領域において導通されるよう構成してもよい。   The panel substrate of the present invention further includes an active element that supplies a drive current to the electro-optic element, and a storage capacitor that holds a control voltage for driving the active element, and the storage capacitor is an insulating layer. The planarizing film is formed on an upper layer of the storage capacitor, and is formed through a contact hole opened in the planarizing film. The connection wiring and the pixel electrode may be electrically connected in the connection region.

保持容量を2層のメタル層から構成することで、保持容量の上層に成膜される平坦化膜の平坦性を高めることができるとともに、保持容量の段差を利用することで、接続配線と画素電極のコンタクトをとるのに都合がよい。特に、トップエミッション構造においては、画素電極の下層に保持容量、平坦化膜などを自由にレイアウトできるため、保持容量のレイアウト位置を工夫することで画素電極の平坦性を高めることができる。   By forming the storage capacitor from two metal layers, it is possible to improve the flatness of the planarization film formed on the upper layer of the storage capacitor, and by using the step of the storage capacitor, the connection wiring and the pixel Convenient for making electrode contact. In particular, in the top emission structure, a storage capacitor, a planarization film, and the like can be laid out freely below the pixel electrode. Therefore, the flatness of the pixel electrode can be improved by devising the layout position of the storage capacitor.

また、本発明のパネル基板においては、さらに、前記電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、前記能動素子の制御電圧を保持する保持容量と、前記保持容量に制御電圧を蓄積するためのアナログ電流信号を伝達するデータ線を含み、前記機能層の膜厚方向に直交する投影面への前記データ線の投影部分の大部分が画素電極の前記投影面に対する投影部分と重複しないように前記データ線のレイアウト位置を定める。データ線のレイアウト位置をこのように定めることで、データ線と画素電極との間の寄生容量をできるだけ低減し、保持容量へのデータ信号の書き込み不足を抑制して、正確な発光階調を実現できる。   In the panel substrate of the present invention, an active element that supplies a drive current to the electro-optic element, a storage capacitor that holds a control voltage of the active element, and a storage voltage for storing the control voltage in the storage capacitor Including a data line for transmitting an analog current signal, and the projection part of the data line onto the projection plane orthogonal to the film thickness direction of the functional layer does not overlap the projection part of the pixel electrode with respect to the projection plane. Determine the layout position of the data lines. By defining the layout position of the data line in this way, the parasitic capacitance between the data line and the pixel electrode is reduced as much as possible, and insufficient writing of the data signal to the storage capacitor is suppressed, thereby realizing an accurate light emission gradation. it can.

好ましくは、前記データ線の中心線の前記投影面への投影位置は、隣接する画素電極の前記投影面への投影位置の間に存在するようにレイアウトする。このようにレイアウトすることで、画素電極とデータ線の間に形成される寄生容量をできるだけ低減できる。   Preferably, the data line is laid out so that a projection position of the center line of the data line on the projection plane exists between projection positions of adjacent pixel electrodes on the projection plane. By laying out in this way, the parasitic capacitance formed between the pixel electrode and the data line can be reduced as much as possible.

本発明の電気光学装置は、本発明のパネル基板を実装した電気光学装置であって、前記画素電極の前記開口領域上には機能層が配置された構造を備えている。前記開口領域には前記接続領域が形成されていないため、開口領域の平坦性を確保でき、さらには、機能層の膜厚の均一化及び発光輝度の均一化を実現できる。   The electro-optical device of the present invention is an electro-optical device on which the panel substrate of the present invention is mounted, and has a structure in which a functional layer is disposed on the opening region of the pixel electrode. Since the connection region is not formed in the opening region, the flatness of the opening region can be ensured, and further, the thickness of the functional layer and the emission luminance can be made uniform.

本発明の電子機器は、本発明の電気光学装置を備える。電子機器としては、表示装置を備えるものであれば特に限定はなく、例えば、携帯電話、ビデオカメラ、パーソナルコンピュータ、ヘッドマウントディスプレイ、プロジェクター、ファックス装置、デジタルカメラ、携帯型TV、DSP装置、PDA、電子手帳などに適用できる。   The electronic apparatus of the present invention includes the electro-optical device of the present invention. The electronic device is not particularly limited as long as it includes a display device. For example, a mobile phone, a video camera, a personal computer, a head mounted display, a projector, a fax device, a digital camera, a portable TV, a DSP device, a PDA, It can be applied to electronic notebooks.

以下、各図を参照して本実施形態について説明する。   Hereinafter, this embodiment will be described with reference to the drawings.

図1は本実施形態のアクティブマトリクス型有機ELディスプレイパネル100の全体構成図である。同図に示すように、ディスプレイパネル100は基板20上にてM行N列のマトリクス状に配列された複数の画素10を備える表示領域11と、行方向に並ぶ一群の画素10に接続する走査線に走査信号を出力する走査線ドライバ12と、列方向に並ぶ一群の画素10に接続するデータ線にデータ信号を供給するデータ線ドライバ13とを備えて構成されている。各々の画素10には、RGB三原色で発光する有機EL素子が形成されている。表示領域11の全面には共通電極としての透明陰極31が被覆成膜されており、陰極取り出し電極36を介して外部回路と接続している。透明陰極31は光透過性の導電電極であり、有機EL素子が発する光を透過できるように材質が用いられている。このような材質としては、ITOなどの光透過性導電材料の他に、カルシウム、リチウム、アルミニウムなどの金属薄膜を光透過可能な程度に薄膜処理した導電性半透明金属層を用いることができる。導電性半透明金属層を用いることで、陰極の面積抵抗を小さくし、画素領域11での電流分布を均一化することによって、有機EL素子の発光ムラを防止できる。また、透明陰極31に用いられる材質としては、有機EL素子へ電子をできるだけ多く注入できる材料、つまり、仕事関数が小さい材料が望ましい。   FIG. 1 is an overall configuration diagram of an active matrix organic EL display panel 100 of the present embodiment. As shown in the figure, the display panel 100 scans on a substrate 20 connected to a display region 11 including a plurality of pixels 10 arranged in a matrix of M rows and N columns and a group of pixels 10 arranged in the row direction. The scanning line driver 12 outputs a scanning signal to a line, and the data line driver 13 supplies a data signal to a data line connected to a group of pixels 10 arranged in the column direction. Each pixel 10 is formed with an organic EL element that emits light in RGB three primary colors. A transparent cathode 31 as a common electrode is formed on the entire surface of the display area 11 and is connected to an external circuit through a cathode extraction electrode 36. The transparent cathode 31 is a light-transmitting conductive electrode, and a material is used so that light emitted from the organic EL element can be transmitted. As such a material, in addition to a light-transmitting conductive material such as ITO, a conductive translucent metal layer obtained by thin-film treatment of a metal thin film such as calcium, lithium, or aluminum can be used. By using the conductive semi-transparent metal layer, the area resistance of the cathode is reduced, and the current distribution in the pixel region 11 is made uniform, whereby uneven emission of the organic EL element can be prevented. The material used for the transparent cathode 31 is preferably a material that can inject as many electrons as possible into the organic EL element, that is, a material having a low work function.

尚、本明細書においては、画素10が形成される領域を「画素領域」と称する。「画素領域」の意義については、上述した通りであるが、本実施形態のようにトランジスタを用いたアクティブマトリクス駆動方式の場合には、1画素を構成するための各種の電子素子(有機EL素子、駆動トランジスタ、スイッチングトランジスタ、保持容量)が形成される単位領域が「画素領域」に該当する。   In this specification, an area where the pixel 10 is formed is referred to as a “pixel area”. The meaning of the “pixel region” is as described above. In the case of the active matrix driving method using a transistor as in the present embodiment, various electronic elements (organic EL elements) for forming one pixel are used. , A drive transistor, a switching transistor, and a storage capacitor) corresponds to a “pixel region”.

図3は画素10内の各素子のレイアウトを説明するための平面図である。画素10は、有機EL素子から構成される発光部OLEDと、データ線Idatを介して供給される電流信号に対応した電圧を保持する保持容量Cと、電源供給線Vddから電源供給を受けて発光部OLEDに駆動電流を供給するための駆動トランジスタTr1と、書き込み制御線Vselによりオン/オフ制御されるスイッチングトランジスタTr2及びTr3と、発光制御線Vgpによりオン/オフ制御されるスイッチングトランジスタTr4とを備えて構成されている。これらの各素子は薄膜製造プロセスによって、基板20上において複数のレイヤに積層され、デバイス層を形成している。説明の便宜上、同図には図示されてないが、デバイス層の上層には個々の画素10に形成される発光部OLEDを区画するためのバンク層が積層されている。バンク層とは、各々の画素10に形成される発光部OLEDを隔てるように区画形成するための区画部材をいい、絶縁材料で構成される。バンク層には画素電極27の外縁近傍(後述するコンタクトホールh3を含む領域)を被覆し、画素電極27の一部が表面に露出するように、長円形状に開口するバンク開口部h1が形成されている。また、その開口部h1内にはバンク層の下層に成膜される親水性制御膜が長円形状に開口し、開口部h2を形成している。開口部h2の内部にはインクジェット法などで成膜された正孔輸送層及び発光層(同図に図示せず)が充填されており、発光部OLEDを構成している。また、同図には図示されていないが、バンク層の上層には光透過性を有する透明陰極が成膜されている。開口部h1において、表面に露出する画素電極27の領域には有機EL素子を構成する機能層(デバイス層)が形成されるため、本明細書では当該領域を配置領域と称する場合がある。 FIG. 3 is a plan view for explaining the layout of each element in the pixel 10. The pixel 10 is supplied with power from a light emitting unit OLED composed of organic EL elements, a holding capacitor C that holds a voltage corresponding to a current signal supplied via a data line I dat , and a power supply line V dd. Te and the driving transistor Tr1 for supplying a drive current to the light-emitting portion OLED, a switching transistor Tr2 and Tr3 to be turned on / off controlled by the write control line V sel, a switching transistor which is turned on / off controlled by the light emission control line V gp Tr4 is comprised. Each of these elements is laminated in a plurality of layers on the substrate 20 by a thin film manufacturing process to form a device layer. For convenience of explanation, although not shown in the figure, a bank layer for partitioning the light emitting unit OLED formed in each pixel 10 is laminated on the upper layer of the device layer. The bank layer refers to a partition member for partitioning so as to separate the light emitting units OLED formed in each pixel 10 and is made of an insulating material. The bank layer covers the vicinity of the outer edge of the pixel electrode 27 (a region including a contact hole h3 to be described later), and a bank opening h1 having an oval shape is formed so that a part of the pixel electrode 27 is exposed on the surface. Has been. Further, in the opening h1, a hydrophilic control film formed in the lower layer of the bank layer is opened in an oval shape to form an opening h2. The opening h2 is filled with a hole transport layer and a light emitting layer (not shown in the drawing) formed by an ink jet method or the like, and constitutes a light emitting unit OLED. Although not shown in the figure, a transparent cathode having light transmittance is formed on the upper layer of the bank layer. Since the functional layer (device layer) constituting the organic EL element is formed in the region of the pixel electrode 27 exposed on the surface in the opening h1, the region may be referred to as an arrangement region in this specification.

同図において、紙面の表側に透明陰極が成膜されており、紙面の裏側に基板が配置されているものとする。トップエミッション構造においては、透明陰極側から光を射出する構成となっているため、発光部OLEDの下層にはトランジスタ、走査線、電源配線などが配置されていても光照射の影響はないため、発光部OLEDの占有面積を大きく確保することができ、開口率を高めることができる。また、各素子の配置レイアウトや平面形状などの制約が少ないため、ボトムエミッション構造と比較すると、画素レイアウトの設計の自由度を高めることが可能になる。このため、本実施形態においては、反射電極27が画素10の大部分を占めるように、画素電極27の占有面積を画素10の占有面積よりもやや小さ目に設計している。スイッチングトランジスタTr4のソースメタルと画素電極27との接続領域における確実な電気的接続を確保しつつ、高開口率を得るには、バンク層で覆われる位置に前記接続領域を設けるとともに、反射画素電極27の占有面積は画素10の占有面積の60%以上を占めるのが望ましく、70%以上を占めるのがより望ましく、80%以上がさらに望ましい。   In the figure, it is assumed that a transparent cathode is formed on the front side of the paper surface and a substrate is disposed on the back side of the paper surface. In the top emission structure, since it is configured to emit light from the transparent cathode side, there is no influence of light irradiation even if a transistor, a scanning line, a power supply wiring, etc. are arranged under the light emitting unit OLED, A large occupied area of the light emitting unit OLED can be secured, and the aperture ratio can be increased. In addition, since there are few restrictions on the layout and planar shape of each element, it is possible to increase the degree of freedom in designing the pixel layout as compared with the bottom emission structure. For this reason, in this embodiment, the area occupied by the pixel electrode 27 is designed to be slightly smaller than the area occupied by the pixel 10 so that the reflective electrode 27 occupies most of the pixel 10. In order to obtain a high aperture ratio while ensuring a reliable electrical connection in the connection region between the source metal of the switching transistor Tr4 and the pixel electrode 27, the connection region is provided at a position covered by the bank layer, and the reflective pixel electrode The occupied area of 27 preferably occupies 60% or more of the occupied area of the pixel 10, more preferably 70% or more, and even more preferably 80% or more.

同図に示すように、画素電極27の大きさを画素10内に収まるようできるだけ大きくすると、データ線Idatの敷設位置が問題となる。データ線Idatの敷設位置を画素電極27の下層、つまり、デバイス層の膜厚方向に直交する投影面へのデータ線Idatの投影部分の大部分が画素電極27の前記投影面への投影部分と重複するようにレイアウトすると、層間絶縁膜を介してデータ線Idatと画素電極27との間に寄生容量が生じてしまい、保持容量Cへのデータの書き込み時において、データの書き込み不足が生じる原因となる。データの書き込み不足が生じると、正確な階調表示ができなくなり、ディスプレイの表示性能が低下する。これを解決するために、寄生容量を含めて、保持容量Cに所望の電圧を充電しようとすれば、データ線ドライバ13の電源負荷が大きくなる。ディスプレイが大型化すれば、寄生容量も増大するため、データ線ドライバ13の負荷は益々増大し、大型ディスプレイの実現が困難となる。このような事情に鑑み、本実施形態では、データ線Idatの敷設位置を、寄生容量が可能な限り形成されにくい位置、例えば、同図に示すように、隣接する画素10の画素電極27同士の隙間において、同電極27の長辺と平行に敷設し、デバイス層の膜厚方向に直交する投影面へのデータ線Idatの投影部分の大部分が画素電極27の前記投影面への投影部分と重複しないようにレイアウトしている。つまり、データ線Idatの中心線の前記投影面への投影位置は、隣接する画素電極27の前記投影面への投影位置の間に存在するようにレイアウトするのが望ましい。これにより、ディスプレイの開口率を高めつつ、データ線Idatと画素電極27との寄生容量の発生を可能な限り低減し、大型ディスプレイの実現を可能にしている。特に、トップエミッション構造においては、画素領域の大部分を占める領域に画素電極27を形成することが可能であるため、データ線Idatのレイアウト位置は隣接する画素領域の境界近傍が望ましい。特に、前記投影面へのデータ線Idatの投影部分が画素電極27の前記投影面への投影部分と完全に重複しないようにレイアウトするのが望ましいが、他の素子や配線との位置関係において完全に重複しないようレイアウトするのが困難な場合もあるため、多少重なりが生じても、寄生容量の影響が無視できる程度ならば、差し支えない。 As shown in the figure, when the size of the pixel electrode 27 is made as large as possible to fit within the pixel 10, the laying position of the data line I dat becomes a problem. Under the pixel electrode 27 laying position of the data line I dat, i.e., the projection most of the projection portion of the data line I dat of the projection plane perpendicular to the thickness direction of the device layer to the projection surface of the pixel electrode 27 If the layout overlaps with the portion, a parasitic capacitance is generated between the data line I dat and the pixel electrode 27 via the interlayer insulating film, and there is insufficient data writing when data is written to the storage capacitor C. Cause. If insufficient data writing occurs, accurate gradation display cannot be performed, and the display performance of the display deteriorates. In order to solve this, if a desired voltage is charged to the storage capacitor C including the parasitic capacitance, the power load of the data line driver 13 increases. As the display becomes larger, the parasitic capacitance also increases, so the load on the data line driver 13 increases further, making it difficult to realize a large display. In view of such circumstances, in this embodiment, the laying position of the data line I dat is a position where parasitic capacitance is difficult to form as much as possible, for example, as shown in FIG. In this gap, the projection of the data line I dat onto the projection plane of the pixel electrode 27 is projected on the projection plane, which is laid in parallel with the long side of the electrode 27 and orthogonal to the film thickness direction of the device layer. Lay out so as not to overlap. That is, it is desirable that the layout is such that the projection position of the center line of the data line I dat on the projection plane exists between the projection positions of the adjacent pixel electrodes 27 on the projection plane. Thereby, while increasing the aperture ratio of the display, the generation of the parasitic capacitance between the data line I dat and the pixel electrode 27 is reduced as much as possible, and a large display can be realized. In particular, in the top emission structure, since the pixel electrode 27 can be formed in a region that occupies most of the pixel region, the layout position of the data line I dat is preferably near the boundary between adjacent pixel regions. In particular, it is desirable to lay out the projection portion of the data line I dat on the projection plane so as not to completely overlap the projection portion of the pixel electrode 27 onto the projection plane. However, in the positional relationship with other elements and wirings. Since it may be difficult to lay out so as not to overlap completely, even if there is some overlap, there is no problem if the influence of parasitic capacitance is negligible.

また、本発明においては、画素電極27の下地となる平坦化膜には、配置領域以外の領域において、スイッチングトランジスタTr4のソースメタルと画素電極27とが導通するためのコンタクトホールh3を平坦化膜内に開口する。配置領域の下層にコンタクトホールh3を開口すると、コンタクト部における画素電極27に段差が生じてしまい、その上層に積層される発光層の膜厚が不均一となるため、画素内に供給される電流分布が均一にならない。電流分布のムラは輝度ムラとなって現れるため、ディスプレイの表示性能が低下する。このため、コンタクトホールh3を開口する位置は配置領域以外で画素電極27と導通できる位置、例えば、同図に示すように画素電極27の外縁近傍が望ましく、さらには、バンク層で覆われる領域内に選定するのが望ましい。バンク層で覆われる領域には発光部OLEDを構成する各種機能層が積層されないため、当該領域に接続領域を設けることで、発光部OLEDに段差が生じるのをできるだけ防ぐことができる。   In the present invention, the planarizing film serving as the base of the pixel electrode 27 is provided with a contact hole h3 for conducting the source metal of the switching transistor Tr4 and the pixel electrode 27 in a region other than the arrangement region. Open in. When the contact hole h3 is opened in the lower layer of the arrangement region, a step is generated in the pixel electrode 27 in the contact portion, and the film thickness of the light emitting layer laminated on the upper layer becomes non-uniform. Distribution is not uniform. Since the uneven current distribution appears as uneven brightness, the display performance of the display deteriorates. Therefore, the position where the contact hole h3 is opened is preferably a position where it can be electrically connected to the pixel electrode 27 other than the arrangement region, for example, the vicinity of the outer edge of the pixel electrode 27 as shown in FIG. It is desirable to select Since various functional layers constituting the light emitting unit OLED are not stacked in the region covered with the bank layer, it is possible to prevent a step in the light emitting unit OLED as much as possible by providing a connection region in the region.

発光部OLEDの平面形状と画素電極27の平面形状をそれぞれ異なる形状、例えば、前者を長円形とし、後者を矩形状にすると、画素電極27の角の位置は発光部OLEDが形成されない領域、つまり、デッドスペースとなる。コンタクトホールh3の開口位置をデッドスペース上に設けることによって、デッドスペースの有効利用が可能となる上に、画素電極27上に成膜される発光層の膜厚を均一にできるため、均一な発光を得ることができる。本明細書では、コンタクトホールh3の開口位置に対応する画素電極27の領域を接続領域と称する。画素電極27の形状が矩形(長方形)である場合には、接続領域として、矩形の角部などが好適である。   When the planar shape of the light emitting unit OLED and the planar shape of the pixel electrode 27 are different from each other, for example, when the former is an oval and the latter is a rectangular shape, the corner position of the pixel electrode 27 is a region where the light emitting unit OLED is not formed, It becomes a dead space. By providing the opening position of the contact hole h3 on the dead space, the dead space can be effectively used, and the thickness of the light emitting layer formed on the pixel electrode 27 can be made uniform. Can be obtained. In this specification, the region of the pixel electrode 27 corresponding to the opening position of the contact hole h3 is referred to as a connection region. When the shape of the pixel electrode 27 is a rectangle (rectangle), a rectangular corner or the like is preferable as the connection region.

図2は画素の主要回路構成図であり、電流プログラム方式と呼ばれる回路構成を採用している。図中、駆動トランジスタTr1はpチャネル型FETであり、スイッチングトランジスタTr2〜Tr4はnチャネル型FETである。駆動トランジスタTr1のソース端子は電源供給線Vddに接続する一方、そのゲート端子と電源供給線Vddとの間には保持容量Cが形成されている。また、スイッチングトランジスタTr4のソース端子は発光部OLEDの陽極に接続する一方で、そのドレイン端子は駆動トランジスタTr1のドレイン端子に接続している。また、そのゲート端子は発光制御線Vgpに接続している。スイッチングトランジスタTr2のドレイン端子は保持容量C及び駆動トランジスタTr1のゲート端子に接続されており、そのソース端子はスイッチングトランジスタTr3のドレイン端子及びスイッチングトランジスタTr4のドレイン端子に接続している。スイッチングトランジスタTr2及びTr3のゲート端子は共に書き込み制御線Vselに接続しており、データ線Idatを介して電流源37から供給されるデータ信号を保持容量Cに書き込み可能に構成されている。 FIG. 2 is a diagram showing the main circuit configuration of a pixel, which employs a circuit configuration called a current programming method. In the figure, the drive transistor Tr1 is a p-channel FET, and the switching transistors Tr2 to Tr4 are n-channel FETs. The source terminal of the driving transistor Tr1 while connected to the power supply line V dd, the holding capacitor C is formed between the gate terminal and the power supply line V dd. The source terminal of the switching transistor Tr4 is connected to the anode of the light emitting unit OLED, while the drain terminal is connected to the drain terminal of the drive transistor Tr1. The gate terminal is connected to the light emission control line V gp . The drain terminal of the switching transistor Tr2 is connected to the storage capacitor C and the gate terminal of the drive transistor Tr1, and the source terminal thereof is connected to the drain terminal of the switching transistor Tr3 and the drain terminal of the switching transistor Tr4. The gate terminals of the switching transistors Tr2 and Tr3 are both connected to the write control line Vsel , and the data signal supplied from the current source 37 via the data line Idat can be written to the storage capacitor C.

上記の回路構成において、発光部OLEDを発光させるためには、発光動作の前準備としてのプログラミング期間において、書き込み制御線Vselを選択状態とする一方で、発光制御線Vgpを非選択状態とすることで、スイッチングトランジスタTr2及びTr3を開状態にし、スイッチングトランジスタTr4を閉状態とする。この期間では、発光階調に対応したデータ信号が保持容量Cに書き込まれる。後続する発光期間においては、書き込み制御線Vselを非選択状態とする一方で、発光制御線Vgpを選択状態とすることで、スイッチングトランジスタTr2及びTr3を閉状態にし、スイッチングトランジスタTr4を開状態とする。このとき同時に定電流源37からのデータ信号の供給を遮断する。すると、保持容量Cに記憶された電圧が駆動トランジスタのゲート/ソース間に印加され、データ信号に対応した駆動電流Idが発光部OLEDに供給される。 In the above circuit configuration, in order to cause the light emitting unit OLED to emit light, the write control line V sel is set to the selected state and the light emission control line V gp is set to the non-selected state in the programming period as a preparation for the light emitting operation. Thus, the switching transistors Tr2 and Tr3 are opened, and the switching transistor Tr4 is closed. During this period, a data signal corresponding to the light emission gradation is written in the storage capacitor C. In the subsequent light emission period, the write control line V sel is not selected, while the light emission control line V gp is selected, thereby closing the switching transistors Tr2 and Tr3 and opening the switching transistor Tr4. And At the same time, the supply of the data signal from the constant current source 37 is cut off. Then, the voltage stored in the storage capacitor C is applied between the gate and source of the drive transistor, and the drive current I d corresponding to the data signal is supplied to the light emitting unit OLED.

尚、スイッチングトランジスタTr2のゲート端子はマルチゲート型に構成されており、保持容量Cに蓄積された電荷がスイッチングトランジスタTr2を通じてリークしないように設計されている。リーク電流が生じると、駆動トランジスタTr1のゲート/ソース間電圧を正確に調整できなくなるため、発光部OLEDの輝度にばらつきが生じるが、上記の構成によりリーク電流の低減が可能となる。また、マルチゲート構造とすることで、トランジスタの占有面積をほとんど変えずに保持容量Cにおける保持電圧の変動をできるだけ低減することができる。   Note that the gate terminal of the switching transistor Tr2 is configured as a multi-gate type, and is designed so that charges accumulated in the storage capacitor C do not leak through the switching transistor Tr2. If a leak current occurs, the gate / source voltage of the drive transistor Tr1 cannot be adjusted accurately, and thus the luminance of the light emitting unit OLED varies. However, the above configuration makes it possible to reduce the leak current. In addition, with the multi-gate structure, it is possible to reduce the variation of the holding voltage in the holding capacitor C as much as possible without changing the occupied area of the transistor.

図4は発光部OLEDの断面構造図であり、図3におけるA−A線断面図に相当する。同図に示すように、基板20上には下地保護膜21、ゲート絶縁膜22、データ線Idat、ゲートメタル23、第一層間絶縁膜24、ソースメタル25、第二層間絶縁膜26、ソースメタル35、平坦化膜37、親水性制御膜32、画素電極27、バンク層30、正孔輸送層33、発光層34、及び透明陰極31が積層されている。発光部OLEDは画素電極27、正孔輸送層33、発光層34、及び陰極31から成る有機EL素子である。画素電極27は反射電極28及び陽極29から成る2層積層構造を有しており、発光部OLEDから射出された光を反射電極28で反射し、陰極31側から光を放射する構成となっている。反射電極28として、例えば、アルミニウムが好適である。陽極29としては、ITOのように光透過性のある材質に限らず、酸化錫(NESA)、金、銀、白金、銅などの非光透過性材質であっても利用可能である。ゲートメタル23及びソースメタル25の各々は駆動トランジスタTr1のゲート端子及びソース端子に接続している。ソースメタル35はスイッチングトランジスタTr4のソース端子に接続している。 FIG. 4 is a cross-sectional structural view of the light emitting unit OLED, and corresponds to a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in the figure, on the substrate 20, a base protective film 21, a gate insulating film 22, a data line I dat , a gate metal 23, a first interlayer insulating film 24, a source metal 25, a second interlayer insulating film 26, A source metal 35, a planarization film 37, a hydrophilic control film 32, a pixel electrode 27, a bank layer 30, a hole transport layer 33, a light emitting layer 34, and a transparent cathode 31 are stacked. The light emitting unit OLED is an organic EL element including a pixel electrode 27, a hole transport layer 33, a light emitting layer 34, and a cathode 31. The pixel electrode 27 has a two-layer laminated structure including a reflective electrode 28 and an anode 29, and reflects light emitted from the light emitting unit OLED by the reflective electrode 28 and emits light from the cathode 31 side. Yes. As the reflective electrode 28, for example, aluminum is suitable. The anode 29 is not limited to a light transmissive material such as ITO, but may be a non-light transmissive material such as tin oxide (NESA), gold, silver, platinum, or copper. Each of the gate metal 23 and the source metal 25 is connected to the gate terminal and the source terminal of the drive transistor Tr1. The source metal 35 is connected to the source terminal of the switching transistor Tr4.

本実施形態においては、発光部OLEDの構造として、透明陰極/発光層/正孔輸送層/反射画素電極の層構造を例示するが、これに限らず、透明陰極/発光層/反射画素電極、透明陰極/電子輸送層/発光層/反射画素電極、透明陰極/電子輸送層/発光層/正孔輸送層/反射画素電極などの層構造であってもよい。つまり、正孔輸送層と電子輸送層は必ずしも必須ではなく、これらの機能層は任意に追加できる。正孔輸送層としては、トリフェニルアミン誘導体(TPD)、ヒドラジン誘導体、アリールアミン誘導体などを用いることができる。電子輸送層としては、アルミキレート錯体(Alq3)、ジスチリルビフェニル誘導体(DPVBi)、オキサジアゾール誘導体、ビスチリルアントラセン誘導体、ベンゾオキサゾールチオフェン誘導体、ペリレン類、チアゾール類などを用いることができる。また、発光層は有機材料に限らず、無機材料であってもよい。 In the present embodiment, the structure of the light emitting unit OLED is exemplified by a layer structure of transparent cathode / light emitting layer / hole transport layer / reflective pixel electrode, but is not limited thereto, and the transparent cathode / light emitting layer / reflective pixel electrode, The layer structure may be transparent cathode / electron transport layer / light emitting layer / reflective pixel electrode, transparent cathode / electron transport layer / light emitting layer / hole transport layer / reflective pixel electrode, or the like. That is, the hole transport layer and the electron transport layer are not necessarily essential, and these functional layers can be arbitrarily added. As the hole transport layer, a triphenylamine derivative (TPD), a hydrazine derivative, an arylamine derivative, or the like can be used. As the electron transporting layer, an aluminum chelate complex (Alq 3 ), a distyryl biphenyl derivative (DPVBi), an oxadiazole derivative, a bistyrylanthracene derivative, a benzoxazole thiophene derivative, a perylene, a thiazole, or the like can be used. The light emitting layer is not limited to an organic material, and may be an inorganic material.

トップエミッション構造においては、基板20を介して光を射出する構成ではないため、基板20として、透明基板に限らず、非透明基板を用いることができる。透明基板としては、ソーダライムガラス、低膨張ガラス、石英などが好適であり、非透明基板としては、シリコンカーバイド(SiC)、アルミナ(Al23)、窒化アルミニウム(AlN)などが好適である。下地保護膜21はガラス基板中に含まれるナトリウムイオンなどの可動イオンが半導体層中に混入して半導体層の不純物制御に悪影響を与えないように基板20上に被覆形成されるものであり、酸化珪素膜(SiOx:0<x≦2)、窒化珪素膜(Si3x:0<x≦4)などの絶縁性物質を利用できる。下地保護膜21は、純水やアルコールなどの有機溶剤で洗浄された基板20上に、常圧化学気相堆積法、低圧化学気相堆積法、プラズマ化学気相堆積法などのCVD法或いはスパッタ法などの各種成膜技術を利用して成膜される。 Since the top emission structure is not configured to emit light through the substrate 20, the substrate 20 is not limited to a transparent substrate but can be a non-transparent substrate. As the transparent substrate, soda lime glass, low expansion glass, quartz and the like are suitable, and as the non-transparent substrate, silicon carbide (SiC), alumina (Al 2 O 3 ), aluminum nitride (AlN) and the like are suitable. . The base protective film 21 is formed on the substrate 20 so that mobile ions such as sodium ions contained in the glass substrate are mixed in the semiconductor layer and do not adversely affect impurity control of the semiconductor layer. An insulating material such as a silicon film (SiO x : 0 <x ≦ 2) or a silicon nitride film (Si 3 N x : 0 <x ≦ 4) can be used. The base protective film 21 is formed on a substrate 20 cleaned with an organic solvent such as pure water or alcohol, by CVD such as atmospheric pressure chemical vapor deposition, low pressure chemical vapor deposition, plasma chemical vapor deposition, or sputtering. The film is formed using various film forming techniques such as a method.

ゲート絶縁膜22としては、例えば、テトラ・エチル・オルト・シリケート(TEOS)を原料とする二酸化珪素膜により成膜される。ゲートメタル23としては、例えば、タンタル、タングステン、クロムなどの導電材料を、スパッタ法などで成膜した後、所定の形状にパターニングすることにより得られる。ゲートメタル23と同一のレイヤに位置するデータ線Idatはゲートメタル23の成膜工程と同一の成膜工程でパターニング処理される。第一層間絶縁膜24は、スパッタ法などを用いて、酸化珪素膜、窒化珪素膜などの絶縁膜を成膜することにより得られる。ソースメタル25として、例えば、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどを用いることができ、これらの導電材料をスパッタ法などで成膜した後、電極形状に合わせてパターニングすることにより得られる。第二層間絶縁膜26は、スパッタ法などを用いて、酸化珪素膜、窒化珪素膜などの絶縁膜を成膜することにより得られる。ソースメタル35として、例えば、アルミニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステンなどを用いることができ、これらの導電材料をスパッタ法などで成膜した後、電極形状に合わせてパターニングすることに得られる。平坦化膜37は、膜表面を平坦化することによって、その上層に形成される反射電極27にできるだけ凹凸が生じないように調整するための薄膜であり、発光部OLEDの輝度ムラが生じないようにするための薄膜であり、平坦化プロセスによって平坦化された絶縁膜が用いられる。 The gate insulating film 22 is formed of, for example, a silicon dioxide film using tetraethylorthosilicate (TEOS) as a raw material. The gate metal 23 can be obtained, for example, by depositing a conductive material such as tantalum, tungsten, or chromium by sputtering or the like and then patterning it into a predetermined shape. The data line I dat located in the same layer as the gate metal 23 is subjected to patterning processing in the same film formation process as the gate metal 23 film formation process. The first interlayer insulating film 24 is obtained by forming an insulating film such as a silicon oxide film or a silicon nitride film using a sputtering method or the like. As the source metal 25, for example, aluminum, tantalum, molybdenum, titanium, tungsten, or the like can be used, and these conductive materials can be formed by sputtering or the like and then patterned according to the electrode shape. The second interlayer insulating film 26 is obtained by forming an insulating film such as a silicon oxide film or a silicon nitride film using a sputtering method or the like. As the source metal 35, for example, aluminum, tantalum, molybdenum, titanium, tungsten, or the like can be used. After these conductive materials are formed by a sputtering method or the like, they are obtained by patterning in accordance with the electrode shape. The flattening film 37 is a thin film for adjusting the reflective surface 27 formed on the upper layer thereof to be as uneven as possible by flattening the film surface, so that luminance unevenness of the light emitting unit OLED does not occur. An insulating film flattened by a flattening process is used.

各々の画素10にはバンク層30で囲まれた長円形の開口部h1(図3参照)が形成されており、当該開口部h1内にインクジェット方式により蛍光性物質を含有する薄膜材料液を塗布することにより、発光層34が形成される。インクジェット方式により上記薄膜材料液を塗布するには、発光層34の膜厚が均一となるよう塗布する必要があるため、バンク開口部h1の形状を長円形としている。バンク開口部h1の形状を矩形状にパターニングすると、薄膜材料液の表面張力、粘性、バンク層30に対する親液性などの影響から、薄膜材料液を隅々まで十分にかつ均一に塗布することが困難となるが、バンク開口部h1の形状を長円形にパターニングすることで、隅々まで均一に塗布することが可能になる上に、開口率をできるだけ高めることができる。また、バンク層30は後述する親水性制御膜32よりも上記薄膜材料液に対する親液性が低い材料で構成するのが好ましい。蛍光物質を含有する薄膜材料液に対するバンク層30の親液性を低く調整することで、インクジェット法などでバンク開口部h1内に薄膜材料液を塗布した際に、薄膜材料液に対する撥液性により薄膜材料液をバンク開口部h1内に引き込むことができ、薄膜材料液の膜厚をできるだけ均一なものにすることができる上に、バンク開口部h1からはみ出した薄膜材料液が隣接する画素同士でつながるおそれをできるだけ低減させることができる。バンク層30の材質として、例えば、酸化珪素、窒化珪素、ポリイミドなどを用いることができる。   Each pixel 10 is formed with an oval opening h1 (see FIG. 3) surrounded by a bank layer 30, and a thin film material solution containing a fluorescent substance is applied into the opening h1 by an ink jet method. Thus, the light emitting layer 34 is formed. In order to apply the thin film material solution by the ink jet method, it is necessary to apply the film thickness of the light emitting layer 34 so that the shape of the bank opening h1 is oval. When the shape of the bank opening h1 is patterned into a rectangular shape, the thin film material liquid can be applied sufficiently and uniformly to every corner due to the influence of the surface tension and viscosity of the thin film material liquid, the lyophilicity to the bank layer 30, and the like. Although difficult, by patterning the shape of the bank opening h1 into an oval shape, it is possible to uniformly apply to every corner and to increase the aperture ratio as much as possible. The bank layer 30 is preferably made of a material that is less lyophilic with respect to the thin film material solution than the hydrophilic control film 32 described later. By adjusting the lyophilicity of the bank layer 30 with respect to the thin film material solution containing the fluorescent material to a low level, when the thin film material solution is applied in the bank opening h1 by an inkjet method or the like, The thin film material liquid can be drawn into the bank opening h1, the film thickness of the thin film material liquid can be made as uniform as possible, and the thin film material liquid protruding from the bank opening h1 is adjacent to each other between pixels. The possibility of connection can be reduced as much as possible. As a material of the bank layer 30, for example, silicon oxide, silicon nitride, polyimide, or the like can be used.

バンク層30の下層には親水性制御膜32が成膜されており、バンク開口部h1の内径よりもやや小さ目の開口部h2(図3参照)が形成されている。親水性制御膜32は蛍光物質を含有する薄膜材料液に対して親液性を示す材料、例えば、アルミニウム、タンタルなどの金属、酸化シリコン、窒化シリコン、アモルファスシリコン、ポリシリコン、ポリイミド、フッ素結合を有する有機化合物、フォトレジストのうち何れかから構成される無機化合物又は有機化合物で構成するのが好ましい。親水性制御膜32として、如何なる材料を選択するかは、薄膜材料液の親液性に応じて決定すればよい。例えば、薄膜材料液が極性分子を多数含有する液体であれば、極性基を具備する材料が好ましく、薄膜材料液が極性分子を少数含有する液体であれば、非極性基を具備する材料が好ましい。また、薄膜材料液に含有されている溶剤の表面張力が水よりも小さい場合には、バンク層30が撥水性であっても、薄膜材料液に対して親液性を示すため、薄膜材料液の表面張力との関係においても、バンク層30の親液性を調整できる。つまり、バンク層30の材料として如何なる材料を用いるかは、薄膜材料液との関係で定まる。親水性制御膜32を薄膜材料液に対して親液性に調整することで、バンク開口部h1内の隅々まで均一に薄膜材料液を塗布することができる。   A hydrophilic control film 32 is formed below the bank layer 30, and an opening h2 (see FIG. 3) slightly smaller than the inner diameter of the bank opening h1 is formed. The hydrophilic control film 32 is made of a material that is lyophilic with respect to a thin film material liquid containing a fluorescent substance, such as a metal such as aluminum or tantalum, silicon oxide, silicon nitride, amorphous silicon, polysilicon, polyimide, or fluorine bond. It is preferably composed of an inorganic compound or an organic compound composed of either an organic compound or a photoresist. What material should be selected as the hydrophilic control film 32 may be determined according to the lyophilicity of the thin film material liquid. For example, if the thin film material liquid is a liquid containing a large number of polar molecules, a material having a polar group is preferable, and if the thin film material liquid is a liquid containing a small number of polar molecules, a material having a nonpolar group is preferable. . In addition, when the surface tension of the solvent contained in the thin film material liquid is smaller than that of water, even if the bank layer 30 is water repellent, it exhibits lyophilicity with respect to the thin film material liquid. Also in relation to the surface tension, the lyophilicity of the bank layer 30 can be adjusted. That is, what material is used as the material of the bank layer 30 is determined by the relationship with the thin film material solution. By adjusting the hydrophilic control film 32 to be lyophilic with respect to the thin film material liquid, the thin film material liquid can be uniformly applied to every corner in the bank opening h1.

親水性制御膜32の開口部h2には画素電極27が表面に露出しており、その上層に正孔輸送層33及び発光層34が成膜されている。正孔輸送層33としては、例えば、メタルマスクを用いて、N,N'−ジフェニル−N,N'−ビス −(3−メチルフェニル)−(1,1'−ビフェニル)−4,4'−ジアミンを所定の膜厚に成膜することにより得られる。発光層34としては、例えば、インクジェットヘッド(微小液滴吐出装置)を用いて、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq3)を含有する溶液をバンク開口部h1内に吐出し、溶媒成分を蒸発させることにより成膜する。透明陰極31としては、カルシウムなどの導電材料を光透過可能な程度に薄膜処理したものや、ITOなどの光透過性のある導電材料をメタルマスクを用いて成膜し、フォトリソグラフィ等で所望の形状にパターニングすることにより得られる。 The pixel electrode 27 is exposed on the surface of the opening h2 of the hydrophilic control film 32, and the hole transport layer 33 and the light emitting layer 34 are formed thereon. As the hole transport layer 33, for example, using a metal mask, N, N′-diphenyl-N, N′-bis- (3-methylphenyl)-(1,1′-biphenyl) -4,4 ′ is used. -Obtained by depositing a diamine in a predetermined film thickness. As the light emitting layer 34, for example, using an inkjet head (micro droplet ejection device), a solution containing tris (8-quinolinol) aluminum (Alq 3 ) is ejected into the bank opening h 1 to evaporate the solvent component. To form a film. As the transparent cathode 31, a conductive material such as calcium that has been processed into a thin film to the extent that light can be transmitted, or a light-transmitting conductive material such as ITO is formed using a metal mask, and desired by photolithography or the like. It is obtained by patterning into a shape.

図5は画素電極27とソースメタル35とのコンタクト部における断面構造図であり、図3におけるB−B断面図に相当する。同図に示すように、基板20上には、下地保護膜21、ゲート絶縁膜22、データ線Idat、ゲートメタル23、第一層間絶縁膜24、ソースメタル25、第二層間絶縁膜26、ソースメタル35、平坦化膜37、画素電極27、親水性制御膜32、バンク層30、及び透明陰極31が積層されている。第一層間絶縁膜24を挟んで対向配置されるゲートメタル23及びソースメタル25によって、保持容量Cが形成されている。ゲートメタル23及びソースメタル25は平坦性に優れているため、ソースメタル35の下地層となる第二層間絶縁膜26を平坦に成膜できる。このため、平坦化膜37上に開口されたコンタクトホールh3及びその周辺部の平坦性は良好となり、ソースメタル35と画素電極27との安定したコンタクトを確保できる。さらに、保持容量Cによって段差が形成されているため、ソースメタル35と画素電極27とのコンタクトに都合が良い。特に、トップエミッション構造においては、画素電極27の下層における電子素子のレイアウトは自由に行えるため、保持容量Cのレイアウト位置を工夫するだけで接続領域における画素電極27とスイッチングトランジスタTr4のソースメタルとの導通を確実に行える。 FIG. 5 is a cross-sectional structure diagram of a contact portion between the pixel electrode 27 and the source metal 35, and corresponds to a BB cross-sectional view in FIG. As shown in the figure, on the substrate 20, a base protective film 21, a gate insulating film 22, a data line I dat , a gate metal 23, a first interlayer insulating film 24, a source metal 25, and a second interlayer insulating film 26. The source metal 35, the planarization film 37, the pixel electrode 27, the hydrophilic control film 32, the bank layer 30, and the transparent cathode 31 are laminated. A storage capacitor C is formed by the gate metal 23 and the source metal 25 that are arranged opposite to each other with the first interlayer insulating film 24 interposed therebetween. Since the gate metal 23 and the source metal 25 are excellent in flatness, the second interlayer insulating film 26 serving as a base layer of the source metal 35 can be formed flat. For this reason, the flatness of the contact hole h3 opened on the planarizing film 37 and its peripheral portion is improved, and a stable contact between the source metal 35 and the pixel electrode 27 can be secured. Further, since the step is formed by the storage capacitor C, it is convenient for the contact between the source metal 35 and the pixel electrode 27. In particular, in the top emission structure, the layout of the electronic elements in the lower layer of the pixel electrode 27 can be freely performed. Therefore, the pixel electrode 27 and the source metal of the switching transistor Tr4 in the connection region can be simply devised. Conduction can be performed reliably.

以上、説明したように、本実形態によれば、スイッチングトランジスタTr4のソースメタル35と画素電極27とのコンタクト位置を画素電極27のデッドスペース上にレイアウトしたため、発光層34の膜厚を均一に調整でき、表示性能に優れたディスプレイを提供できる。また、トップエミッション構造を採用することにより、開口率を高めるとともに、デバイス層の膜厚方向に直交する投影面へのデータ線Idatの投影部分の大部分が画素電極27の前記投影面への投影部分と重複しないようにレイアウトしたため、データ線Idatと画素電極27との間に生じる寄生容量を可能な限り低減し、ディスプレイの大型化を可能にできる。 As described above, according to this embodiment, the contact position between the source metal 35 of the switching transistor Tr4 and the pixel electrode 27 is laid out on the dead space of the pixel electrode 27, so that the film thickness of the light emitting layer 34 is made uniform. A display that can be adjusted and has excellent display performance can be provided. Further, by adopting the top emission structure, the aperture ratio is increased, and most of the projected portion of the data line I dat on the projection plane orthogonal to the film thickness direction of the device layer is formed on the projection plane of the pixel electrode 27. Since the layout is made so as not to overlap with the projected portion, the parasitic capacitance generated between the data line I dat and the pixel electrode 27 can be reduced as much as possible, and the display can be enlarged.

図6は本発明の電気光学装置を適用可能な電子機器の例を示す図である。同図(a)は携帯電話への適用例であり、携帯電話230は、アンテナ部231、音声出力部232、音声入力部233、操作部234、及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備えている。このように本発明の有機ELディスプレイパネル100を携帯電話230の表示部として利用可能である。同図(b)はビデオカメラへの適用例であり、ビデオカメラ240は、受像部241、操作部242、音声入力部243、及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備えている。このように本発明の有機ELディスプレイパネル100は、ファインダーや表示部として利用可能である。同図(c)は携帯型パーソナルコンピュータへの適用例であり、コンピュータ250は、カメラ部251、操作部252、及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備えている。このように本発明の有機ELディスプレイパネル100は、表示装置として利用可能である。   FIG. 6 is a diagram illustrating an example of an electronic apparatus to which the electro-optical device of the invention can be applied. FIG. 6A shows an application example to a mobile phone. The mobile phone 230 includes an antenna unit 231, an audio output unit 232, an audio input unit 233, an operation unit 234, and the organic EL display panel 100 of the present invention. Yes. Thus, the organic EL display panel 100 of the present invention can be used as the display unit of the mobile phone 230. FIG. 2B shows an application example to a video camera. The video camera 240 includes an image receiving unit 241, an operation unit 242, an audio input unit 243, and the organic EL display panel 100 of the present invention. Thus, the organic EL display panel 100 of the present invention can be used as a finder or a display unit. FIG. 2C shows an application example to a portable personal computer. The computer 250 includes a camera unit 251, an operation unit 252, and the organic EL display panel 100 of the present invention. Thus, the organic EL display panel 100 of the present invention can be used as a display device.

同図(d)はヘッドマウントディスプレイへの適用例であり、ヘッドマウントディスプレイ260は、バンド261、光学系収納部262及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備えている。このように本発明の有機ELディスプレイパネル100は画像表示源として利用可能である。同図(e)はリア型プロジェクターへの適用例であり、プロジェクター270は、筐体271に、光源272、合成光学系273、ミラー274、ミラー275、スクリーン276、及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備えている。同図(f)はフロント型プロジェクターへの適用例であり、プロジェクター280は、筐体282に光学系281及び本発明の有機ELディスプレイパネル100を備え、画像をスクリーン283に表示可能になっている。このように本発明の有機ELディスプレイパネル100は画像表示源として利用可能である。   FIG. 4D shows an application example to a head mounted display. The head mounted display 260 includes a band 261, an optical system storage unit 262, and the organic EL display panel 100 of the present invention. Thus, the organic EL display panel 100 of the present invention can be used as an image display source. FIG. 6E shows an application example to a rear type projector. The projector 270 includes a housing 271, a light source 272, a composite optical system 273, a mirror 274, a mirror 275, a screen 276, and the organic EL display panel of the present invention. 100. FIG. 5F shows an application example to a front type projector. The projector 280 includes an optical system 281 and the organic EL display panel 100 of the present invention in a housing 282, and can display an image on a screen 283. . Thus, the organic EL display panel 100 of the present invention can be used as an image display source.

本実施形態の有機ELディスプレイパネルの全体構成図である。It is a whole block diagram of the organic EL display panel of this embodiment. 本実施形態の画素の主要回路構成図である。It is a main circuit block diagram of the pixel of this embodiment. 本実施形態における画素領域内の各素子のレイアウト図である。It is a layout diagram of each element in the pixel region in the present embodiment. 図3のA−A線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line AA in FIG. 3. 図3のB−B線断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line BB in FIG. 3. 本実施形態の表示装置の応用例を示す図である。It is a figure which shows the application example of the display apparatus of this embodiment. 従来の画素領域内の各素子のレイアウト図である。It is a layout diagram of each element in a conventional pixel region.

符号の説明Explanation of symbols

10…画素 11…表示領域 12…走査線ドライバ 13…データ線ドライバ 20…基板 21…下地層 22…ゲート絶縁膜 23…ゲートメタル 24…第一層間絶縁膜 25…ソースメタル 26…第二層間絶縁膜 27…画素電極 28…反射画素電極 29…陽極 30…バンク層 31…透明陰極 32…親水性制御膜 33…正孔輸送層 34…発光層 OLED…発光部 Tr1…駆動トランジスタ Tr2,Tr3,Tr4…スイッチングトランジスタ C…保持容量 Idat…データ線 Vdd…電源供給線 Vsel…書き込み制御線 Vgp…発光制御線 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Pixel 11 ... Display area 12 ... Scan line driver 13 ... Data line driver 20 ... Substrate 21 ... Underlayer 22 ... Gate insulating film 23 ... Gate metal 24 ... First interlayer insulating film 25 ... Source metal 26 ... Second interlayer Insulating film 27 ... Pixel electrode 28 ... Reflective pixel electrode 29 ... Anode 30 ... Bank layer 31 ... Transparent cathode 32 ... Hydrophilic control film 33 ... Hole transport layer 34 ... Light emitting layer OLED ... Light emitting portion Tr1 ... Driving transistor Tr2, Tr3 Tr4 ... Switching transistor C ... Holding capacitor Idat ... Data line Vdd ... Power supply line Vsel ... Write control line Vgp ... Light emission control line

Claims (15)

画素電極と、共通電極と、前記画素電極と前記共通電極とを介して供給される電力により駆動される電気光学素子とを備え、
前記画素電極には、前記画素電極と電源電位とを電気的に接続するための接続配線が接続された接続領域が設けられるとともに、
前記接続領域以外の領域のうち少なくとも一部の領域に電気光学素子を構成する機能層が配置される配置領域が設けられている、電気光学装置。
A pixel electrode, a common electrode, and an electro-optic element driven by electric power supplied through the pixel electrode and the common electrode,
The pixel electrode is provided with a connection region to which a connection wiring for electrically connecting the pixel electrode and a power supply potential is connected,
An electro-optical device, wherein an arrangement region in which a functional layer constituting an electro-optic element is arranged is provided in at least a part of the region other than the connection region.
前記画素電極は反射性電極であり、前記共通電極は光透過性電極である、請求項1に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein the pixel electrode is a reflective electrode, and the common electrode is a light transmissive electrode. 前記電気光学素子は発光層を備えた発光素子である、請求項1又は請求項2に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical element is a light-emitting element including a light-emitting layer. 隣接する画素電極を隔てるように形成され、かつ、前記接続領域を覆うように形成されたバンク層をさらに含み、
前記バンク層が形成されていない前記画素電極の領域は、前記機能層が配置される前記配置領域である、請求項1乃至請求項3のうち何れか1項に記載の電気光学装置。
A bank layer formed to separate adjacent pixel electrodes and to cover the connection region;
4. The electro-optical device according to claim 1, wherein the area of the pixel electrode in which the bank layer is not formed is the arrangement area in which the functional layer is arranged. 5.
前記画素電極の下地層として、平坦化処理された平坦化膜を含む、請求項1乃至請求項4のうち何れか1項に記載の電気光学装置。   5. The electro-optical device according to claim 1, comprising a planarized film that is planarized as a base layer of the pixel electrode. 前記電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、
前記能動素子を駆動するための制御電圧を保持する保持容量と、を含み、
前記保持容量は絶縁層を介して平坦に成膜された2層のメタル層からなる容量素子から構成され、
前記平坦化膜は前記保持容量の上層に成膜されており、
前記平坦化膜に開口されたコンタクトホールを通じて前記接続配線と前記画素電極とが前記接続領域において導通されている、請求項5に記載の電気光学装置。
An active element for supplying a driving current to the electro-optic element;
A holding capacitor for holding a control voltage for driving the active element,
The storage capacitor is composed of a capacitor element composed of two metal layers formed flat through an insulating layer,
The planarizing film is formed on the storage capacitor, and
The electro-optical device according to claim 5, wherein the connection wiring and the pixel electrode are electrically connected in the connection region through a contact hole opened in the planarization film.
前記画素電極と前記配置領域とは形状が異なる、請求項1乃至請求項6のうち何れか1項に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 1, wherein the pixel electrode and the arrangement region have different shapes. 前記画素電極は矩形状に形成され、前記配置領域は長円形に形成されている、請求項7に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 7, wherein the pixel electrode is formed in a rectangular shape, and the arrangement region is formed in an oval shape. 前記画素電極の占有面積は、画素領域の占有面積の60%以上を占める、請求項1乃至請求項8のうち何れか1項に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to any one of claims 1 to 8, wherein the area occupied by the pixel electrode occupies 60% or more of the area occupied by the pixel region. 前記電気光学素子に駆動電流を供給する能動素子と、
前記能動素子の制御電圧を保持する保持容量と、
前記保持容量に制御電圧を蓄積するためのアナログ電流信号を伝達するデータ線を含み、
前記機能層の膜厚方向に直交する投影面への前記データ線の投影部分の大部分は、前記画素電極の前記投影面に対する投影部分と重複しないように前記データ線のレイアウト位置が定められている、請求項1に記載の電気光学装置。
An active element for supplying a driving current to the electro-optic element;
A holding capacitor for holding a control voltage of the active element;
Including a data line for transmitting an analog current signal for storing a control voltage in the storage capacitor;
The layout position of the data line is determined so that most of the projected portion of the data line on the projection plane orthogonal to the thickness direction of the functional layer does not overlap the projected portion of the pixel electrode with respect to the projection plane. The electro-optical device according to claim 1.
前記データ線の中心線の前記投影面への投影位置は、隣接する画素電極の前記投影面への投影位置の間に存在する、請求項10に記載の電気光学装置。   The electro-optical device according to claim 10, wherein a projection position of the center line of the data line on the projection plane is between projection positions of adjacent pixel electrodes on the projection plane. 前記電気光学素子は、前記画素電極を陽極とし、前記共通電極を陰極とするエレクトロルミネッセンス素子である、請求項1乃至請求項11のうち何れか1項に記載の電気光学装置。 The electro-optical device according to claim 1, wherein the electro-optical element is an electroluminescence element having the pixel electrode as an anode and the common electrode as a cathode. 複数の画素電極を備えたパネル基板であって、
前記複数の画素電極の各々には、各々の画素電極を電源電位に電気的に接続するための接続配線が接続された接続領域が設けられるとともに、前記接続領域上には前記複数の画素電極を互いに隔てる絶縁層が配置されており、
前記各々の画素電極には前記絶縁層が配置されていない開口領域が設けられている、パネル基板。
A panel substrate having a plurality of pixel electrodes,
Each of the plurality of pixel electrodes is provided with a connection region connected to a connection wiring for electrically connecting each pixel electrode to a power supply potential, and the plurality of pixel electrodes are provided on the connection region. Insulating layers separated from each other are arranged,
A panel substrate, wherein each pixel electrode is provided with an opening region in which the insulating layer is not disposed.
請求項13に記載のパネル基板を実装した電気光学装置であって、前記画素電極の前記開口領域上には機能層が配置されている、電気光学装置。   14. The electro-optical device having the panel substrate according to claim 13 mounted thereon, wherein a functional layer is disposed on the opening region of the pixel electrode. 請求項1乃至請求項12又は請求項14のうち何れか1項に記載の電気光学装置を備える電子機器。   An electronic apparatus comprising the electro-optical device according to claim 1.
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