JP2009034862A - Liquid jetting head unit and liquid jetting apparatus - Google Patents

Liquid jetting head unit and liquid jetting apparatus Download PDF

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JP2009034862A JP2007199783A JP2007199783A JP2009034862A JP 2009034862 A JP2009034862 A JP 2009034862A JP 2007199783 A JP2007199783 A JP 2007199783A JP 2007199783 A JP2007199783 A JP 2007199783A JP 2009034862 A JP2009034862 A JP 2009034862A
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Masaaki Miyamoto
雅昭 宮本
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jetting head unit and a liquid jetting apparatus improved in durability by improving a bonding strength between a liquid jet surface and a holding member. <P>SOLUTION: The liquid jetting head unit is equipped with a liquid jetting head which has the liquid jet surface A where nozzle openings 21 to jet a liquid are opened, and the holding member 250 which is joined via an adhesive 401 to the liquid jet surface A holding the liquid jetting head. Recesses 23 and 255 are formed in a bonding region of the liquid jet surface A and a bonding region of the holding member 250. At the same time, a coupling member 500 other than the adhesive is prepared in the recesses 23 and 255. An interface between the holding member 250 and the liquid jet surface A mutually opposed to the recesses 23 and 255, and the adhesive 401 is formed along the recesses 23 and 255. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head unit and a liquid ejecting apparatus that include a liquid ejecting head that ejects liquid from nozzle openings, and more particularly, to an ink jet recording head unit and an ink jet recording apparatus that eject ink as liquid.

例えば、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを具備するインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、ヘッドユニットとも言う)としては、インクを吐出するノズル開口が開口する液体噴射面を有するインクジェット式記録ヘッドと、インクジェット式記録ヘッドの液体噴射面に接着剤を介して接着される固定板等の保持部材とを具備するものがある(例えば、特許文献1参照)。   For example, an ink jet recording head unit (hereinafter also referred to as a head unit) having an ink jet recording head that ejects ink as a liquid includes an ink jet recording head having a liquid ejecting surface in which a nozzle opening for ejecting ink is opened. And a holding member such as a fixing plate that is bonded to a liquid ejecting surface of an ink jet recording head via an adhesive (for example, see Patent Document 1).

このようなヘッドユニットでは、液体噴射面に撥液膜が設けられていると液体噴射面と保持部材との接着強度が低下してしまうため、液体噴射面の保持部材との接着領域に撥液膜を除去した非撥液領域を形成している。   In such a head unit, if a liquid repellent film is provided on the liquid ejecting surface, the adhesive strength between the liquid ejecting surface and the holding member is lowered. A non-liquid repellent region from which the film has been removed is formed.

特開2005−096419号公報(第7〜12頁、第1〜3図)Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419 (pages 7 to 12, FIGS. 1 to 3)

しかしながら、インクジェット式記録ヘッドの非撥液領域と保持部材とを接着剤を介して接着すると、液体噴射面に付着したインクが、液体噴射面及び保持部材と接着剤との界面から進入し、接着強度が低下してしまいインクジェット式記録ヘッドから保持部材が剥離してしまうという問題がある。   However, when the non-liquid-repellent region of the ink jet recording head and the holding member are bonded via an adhesive, the ink adhering to the liquid jetting surface enters from the interface between the liquid jetting surface and the holding member and the adhesive and adheres. There is a problem that the strength is lowered and the holding member is peeled off from the ink jet recording head.

なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドユニットに限定されず、インク以外の他の液体を噴射する液体噴射ヘッドユニットにおいても同様に存在する。   Such a problem is not limited to an ink jet recording head unit that ejects ink, but also exists in a liquid ejecting head unit that ejects liquid other than ink.

本発明はこのような事情に鑑み、液体噴射面と保持部材との接着強度を向上し、耐久性を向上した液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。   In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a liquid ejecting head unit and a liquid ejecting apparatus that have improved adhesive strength between a liquid ejecting surface and a holding member and improved durability.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面に接着剤を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材とを具備し、前記液体噴射面の接着領域及び前記保持部材の接着領域の何れか一方又は両方に凹部が設けられていると共に、該凹部内に前記接着剤以外の連結部材が設けられており、前記凹部に相対向する前記保持部材及び前記液体噴射面と前記接着剤との界面が、前記凹部に沿って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、凹部と連結部材とが接着剤を介して接着されるため、液体噴射面及び保持部材と接着剤との界面(接着面積)を広くすることができ、液体が接着剤の界面を侵食したとしても短時間で保持部材と液体噴射面とが剥離するのを防止して耐久性を向上することができる。
According to an embodiment of the present invention for solving the above problem, a liquid ejecting head having a liquid ejecting surface in which a nozzle opening for ejecting a liquid is opened, and the liquid ejecting surface are bonded to each other through an adhesive to hold the liquid ejecting head. And a recess is provided in one or both of the adhesive region of the liquid ejection surface and the adhesive region of the holding member, and a connecting member other than the adhesive is provided in the recess. The liquid ejecting head unit is characterized in that an interface between the holding member and the liquid ejecting surface facing the concave portion and the adhesive is provided along the concave portion.
In this aspect, since the recess and the connecting member are bonded via the adhesive, the interface (bonding area) between the liquid ejecting surface and the holding member and the adhesive can be widened, and the liquid has an adhesive interface. Even if erosion occurs, the holding member and the liquid ejecting surface can be prevented from peeling in a short time, and durability can be improved.

ここで、前記凹部は、前記液体噴射面の接着領域に設けられた第1の凹部と、前記保持部材の接着領域の前記第1の凹部に相対向する領域に設けられた第2の凹部とで構成され、前記第1の凹部と前記第2の凹部との間には、前記液体噴射ヘッド及び前記固定部材とは別体の前記連結部材が設けられていることが好ましい。また、他の態様としては、前記凹部が前記液体噴射面に設けられていると共に、前記連結部材が前記保持部材に一体的に設けられて前記凹部内に突出して設けられていることが好ましい。
これによれば、保持部材及び液体噴射面と接着剤との界面が液体噴射面の面内方向に亘って形成されず、凹部に沿って形成されて接着面積を広げることができる。
Here, the concave portion includes a first concave portion provided in the adhesion region of the liquid ejection surface, and a second concave portion provided in a region facing the first concave portion of the adhesion region of the holding member. Preferably, the connecting member separate from the liquid ejecting head and the fixing member is provided between the first recess and the second recess. As another aspect, it is preferable that the recess is provided on the liquid ejection surface, and the connecting member is provided integrally with the holding member and protrudes into the recess.
According to this, the interface between the holding member and the liquid ejecting surface and the adhesive is not formed in the in-plane direction of the liquid ejecting surface, but is formed along the recess, so that the adhesion area can be increased.

また、前記液体噴射面には、前記ノズル開口の周囲に撥液膜が設けられた撥液領域と、該撥液膜が設けられていない非撥液領域とが設けられていると共に、前記液体噴射ヘッドと前記保持部材との接着領域が、前記非撥液領域であることが好ましい。これによれば、撥液領域によって、液体のノズル開口近傍への付着を防止することができると共に、非撥液領域に接着することで、接着強度を向上することができる。   The liquid ejecting surface includes a liquid repellent region in which a liquid repellent film is provided around the nozzle opening and a non-liquid repellent region in which the liquid repellent film is not provided. It is preferable that an adhesion area between the ejection head and the holding member is the non-liquid-repellent area. According to this, the liquid repellent region can prevent the liquid from adhering to the vicinity of the nozzle opening, and the adhesion strength can be improved by adhering to the non-liquid repellent region.

また、前記凹部が、複数のノズル開口の周囲に亘って連続して設けられていることが好ましい。これによれば、複数のノズル開口の周囲に亘って接着強度及び耐久性を向上することができ、信頼性を向上できる。   Moreover, it is preferable that the said recessed part is continuously provided over the circumference | surroundings of several nozzle opening. According to this, adhesive strength and durability can be improved around the plurality of nozzle openings, and reliability can be improved.

本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、耐久性及び信頼性を向上した液体噴射装置を実現できる。
Another aspect of the invention is a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head unit according to the above aspect.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus with improved durability and reliability can be realized.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットを示す分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドユニットの組立斜視図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view showing an ink jet recording head unit which is an example of a liquid jet head unit according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is an assembly perspective view of the ink jet recording head unit.

図示するように、本発明の液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット1(以下、ヘッドユニットとも言う)を構成するカートリッジケース210は、図示しないインク供給手段であるインクカートリッジがそれぞれ装着されるカートリッジ装着部211を有する。例えば、本実施形態では、インクカートリッジは、ブラック及び3色のカラーインクが充填された別体で構成され、カートリッジケース210には、各色のインクカートリッジがそれぞれ装着される。なお、カートリッジケース210の底面には、図示しないが、一端が各カートリッジ装着部211に開口し、他端が後述するヘッドケース230側に開口する複数のインク連通路が設けられている。また、カートリッジ装着部211のインク連通路の開口部分には、インクカートリッジのインク供給口に挿入されるインク供給針213が、インク内の気泡や異物を除去するためにインク連通路に形成されたフィルタ(図示なし)を介して固定されている。   As shown in the drawing, a cartridge case 210 constituting an ink jet recording head unit 1 (hereinafter also referred to as a head unit) which is an example of a liquid ejecting head unit of the present invention is mounted with an ink cartridge which is an ink supply means (not shown). The cartridge mounting portion 211 is provided. For example, in this embodiment, the ink cartridge is configured as a separate body filled with black and three color inks, and the ink cartridges of the respective colors are mounted in the cartridge case 210. Although not shown, the bottom surface of the cartridge case 210 is provided with a plurality of ink communication paths having one end opened to each cartridge mounting portion 211 and the other end opened to the head case 230 side described later. In addition, an ink supply needle 213 that is inserted into the ink supply port of the ink cartridge is formed in the ink communication path in the ink communication path of the cartridge mounting portion 211 to remove bubbles and foreign matters in the ink. It is fixed via a filter (not shown).

また、このようなカートリッジケース210の底面側には、複数のインクジェット式記録ヘッド2が固定されている。   A plurality of ink jet recording heads 2 are fixed to the bottom surface side of such a cartridge case 210.

インクジェット式記録ヘッド2は、インクカートリッジ(図示なし)のインク色毎に対応して複数設けられている。本実施形態では、1つのインクジェット式記録ヘッドユニット1に4つのインクジェット式記録ヘッド2が設けられている。   A plurality of ink jet recording heads 2 are provided for each ink color of an ink cartridge (not shown). In this embodiment, one inkjet recording head unit 1 is provided with four inkjet recording heads 2.

ここで、本実施形態の液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド2について詳細に説明する。図3は、インクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図4はヘッドユニットの要部断面図であり、図5は、ヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。図3及び図4に示すように、インクジェット式記録ヘッド2は、ヘッド本体220と、ヘッド本体220の液体噴射面Aとは反対側に設けられたヘッドケース230とを具備する。   Here, the ink jet recording head 2 which is an example of the liquid jet head of the present embodiment will be described in detail. 3 is an exploded perspective view of the ink jet recording head, FIG. 4 is a cross-sectional view of a main part of the head unit, and FIG. 5 is a plan view and a cross-sectional view of the main part of the head unit. As shown in FIGS. 3 and 4, the ink jet recording head 2 includes a head main body 220 and a head case 230 provided on the side opposite to the liquid ejecting surface A of the head main body 220.

ヘッド本体220を構成する流路形成基板10は、本実施形態では、シリコン単結晶基板からなり、その一方面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜50が形成されている。この流路形成基板10には、その他方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力発生室12が、幅方向に並設された列が2列形成されている。また、各列の圧力発生室12の長手方向外側には、後述するリザーバ形成基板30に設けられるリザーバ部31と連通し、各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成する連通部13が形成されている。また、連通部13は、インク供給路14を介して各圧力発生室12の長手方向一端部とそれぞれ連通されている。すなわち、本実施形態では、流路形成基板10に形成された液体流路として、圧力発生室12、連通部13及びインク供給路14が設けられている。   In this embodiment, the flow path forming substrate 10 constituting the head main body 220 is made of a silicon single crystal substrate, and an elastic film 50 made of silicon dioxide previously formed by thermal oxidation is formed on one surface thereof. This flow path forming substrate 10 is formed with two rows in which pressure generation chambers 12 partitioned by a plurality of partition walls are arranged in parallel in the width direction by anisotropic etching from the other side. Further, on the outer side in the longitudinal direction of the pressure generating chambers 12 in each row, there is communication with a reservoir unit 31 provided on a reservoir forming substrate 30 described later, and a communication composing a reservoir 100 serving as a common ink chamber for each pressure generating chamber 12. A portion 13 is formed. The communication portion 13 is in communication with one end portion in the longitudinal direction of each pressure generating chamber 12 via the ink supply path 14. That is, in the present embodiment, the pressure generation chamber 12, the communication portion 13, and the ink supply path 14 are provided as the liquid flow paths formed on the flow path forming substrate 10.

また、流路形成基板10の開口面側には、ノズル開口21が形成されたノズルプレート20が接着剤400を介して固着されている。具体的には、複数のヘッド本体220に対応するように複数のノズルプレート20が設けられており、当該ノズルプレート20は後で詳述する固定板250の露出開口部251よりも若干広い面積を有して固定板250と重畳する領域で接着剤401によって固定されている。なお、ノズルプレート20のノズル開口21は、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側で連通する位置に穿設されている。本実施形態では、流路形成基板10に圧力発生室12が並設された列を2列設けたため、1つのヘッド本体220にノズル開口21の並設されたノズル列21Aが2列設けられている。そして、本実施形態では、このノズルプレート20のノズル開口21が開口する面が液体噴射面Aとなっている。このようなノズルプレート20としては、例えば、シリコン単結晶基板やステンレス鋼(SUS)等の金属基板などが挙げられる。   Further, the nozzle plate 20 in which the nozzle openings 21 are formed is fixed to the opening surface side of the flow path forming substrate 10 with an adhesive 400. Specifically, a plurality of nozzle plates 20 are provided so as to correspond to the plurality of head main bodies 220, and the nozzle plates 20 have a slightly larger area than an exposed opening 251 of the fixed plate 250 described in detail later. It is fixed by the adhesive 401 in a region that overlaps with the fixing plate 250. The nozzle opening 21 of the nozzle plate 20 is formed at a position communicating with the pressure generation chamber 12 on the side opposite to the ink supply path 14. In this embodiment, since two rows in which the pressure generation chambers 12 are arranged in parallel are provided on the flow path forming substrate 10, two rows of nozzle rows 21A in which the nozzle openings 21 are arranged in parallel are provided in one head body 220. Yes. In this embodiment, the surface on which the nozzle openings 21 of the nozzle plate 20 are opened is the liquid ejection surface A. Examples of such a nozzle plate 20 include a silicon single crystal substrate and a metal substrate such as stainless steel (SUS).

また、図5に示すように、ノズルプレート20のノズル開口21が開口する液体噴射面Aには、撥液膜22が設けられている。撥液膜22は、インクに対して撥水性を有するものであれば特に限定されず、例えば、フッ素系高分子を含む金属膜や、撥液性を有する金属アルコキシドの分子膜などを用いることができる。   Further, as shown in FIG. 5, a liquid repellent film 22 is provided on the liquid ejection surface A where the nozzle openings 21 of the nozzle plate 20 are opened. The liquid repellent film 22 is not particularly limited as long as it has water repellency with respect to ink. For example, a metal film containing a fluorine-based polymer or a metal alkoxide molecular film having liquid repellency may be used. it can.

なお、フッ素系高分子を含む金属膜からなる撥液膜22は、例えば、ノズルプレート20の液体噴射面Aに直接、共析メッキを施すことにより形成することができる。   The liquid repellent film 22 made of a metal film containing a fluorine-based polymer can be formed, for example, by performing eutectoid plating directly on the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20.

このような撥液膜22は、本実施形態では、ノズルプレート20の液体噴射面Aの中央部のみに形成されている。すなわち、ノズルプレート20の液体噴射面Aのノズル開口21が開口する領域を含む中央部は、撥液膜22が設けられた撥液領域25となっている。また、ノズルプレート20の液体噴射面Aには、液体噴射面Aの四方の外周に沿って撥液膜22が設けられていない非撥液領域26が設けられている。この非撥液領域26には、詳しくは後述する保持部材である固定板250が接着剤401を介して接着される。したがって、液体噴射面Aの非撥液領域26が保持部材である固定板250と接着される接着領域となっている。   In the present embodiment, such a liquid repellent film 22 is formed only at the center of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20. That is, a central portion including a region where the nozzle opening 21 of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 is opened is a liquid repellent region 25 provided with a liquid repellent film 22. Further, the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 is provided with a non-liquid repellent region 26 where the liquid repellent film 22 is not provided along the outer periphery of the four sides of the liquid ejection surface A. A fixing plate 250 as a holding member, which will be described in detail later, is bonded to the non-liquid-repellent region 26 via an adhesive 401. Therefore, the non-liquid repellent area 26 of the liquid ejection surface A is an adhesive area that is bonded to the fixing plate 250 that is a holding member.

ここで、ノズルプレート20の液体噴射面Aの非撥液領域26(接着領域)には、第1の凹部23が設けられている。本実施形態では、非撥液領域26がノズルプレート20の中央部に設けられた撥液領域25の四方を囲む周囲に亘って設けられているため、第1の凹部23はノズルプレート20の周方向に亘って連続して設けるようにした。   Here, a first recess 23 is provided in the non-liquid-repellent region 26 (adhesion region) of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20. In the present embodiment, since the non-liquid-repellent region 26 is provided over the periphery surrounding the four sides of the liquid-repellent region 25 provided at the center of the nozzle plate 20, the first recess 23 is formed around the periphery of the nozzle plate 20. It was made to provide continuously over the direction.

そして、このようなノズルプレート20の液体噴射面Aの非撥液領域26には、インクジェット式記録ヘッド2を保持する保持部材である固定板250が接着剤401を介して接合されている。   A fixing plate 250 that is a holding member that holds the ink jet recording head 2 is bonded to the non-liquid-repellent region 26 of the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20 via an adhesive 401.

具体的には、固定板250は、図1及び図4に示すように、平板からなり、ノズル開口21を露出する露出開口部251と、露出開口部251を画成すると共にヘッド本体220の液体噴射面Aのノズル列21Aの両端部側に接合される接合部252とを具備する。   Specifically, as shown in FIGS. 1 and 4, the fixed plate 250 is a flat plate, defines an exposed opening 251 that exposes the nozzle opening 21, an exposed opening 251, and a liquid in the head main body 220. And a joining portion 252 joined to both end portions of the nozzle row 21A on the ejection surface A.

接合部252は、本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッド2に亘って液体噴射面Aの外周に沿って設けられた固定用枠部253と、隣接するインクジェット式記録ヘッド2の間に延設されて露出開口部251を分割する固定用梁部254とで構成され、固定用枠部253及び固定用梁部254からなる接合部252が複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aに同時に接合されている。   In the present embodiment, the joining portion 252 extends between the fixing frame portion 253 provided along the outer periphery of the liquid ejection surface A across the plurality of ink jet recording heads 2 and the adjacent ink jet recording head 2. And a fixing beam portion 254 that divides the exposed opening 251, and a joint portion 252 including the fixing frame portion 253 and the fixing beam portion 254 is formed on the liquid ejecting surface A of the plurality of ink jet recording heads 2. They are joined at the same time.

また、固定板250の接着領域には、第1の凹部23に相対向する領域に第2の凹部255が設けられている。すなわち、本実施形態では、凹部として、ノズルプレート20の液体噴射面A側に設けられた第1の凹部23と、保持部材である固定板250に設けられた第2の凹部255とを具備するものである。   In addition, a second recess 255 is provided in a region opposite to the first recess 23 in the adhesion region of the fixing plate 250. That is, in the present embodiment, the first concave portion 23 provided on the liquid ejection surface A side of the nozzle plate 20 and the second concave portion 255 provided on the fixed plate 250 that is a holding member are provided as the concave portions. Is.

第2の凹部255は、第1の凹部23と同じ開口面積で設けられている。そして、第1の凹部23と第2の凹部255との間には、連結部材500が設けられている。   The second recess 255 is provided with the same opening area as the first recess 23. A connecting member 500 is provided between the first recess 23 and the second recess 255.

連結部材500は、第1の凹部23及び第2の凹部255の幅よりも狭い幅で、且つ第1の凹部23と第2の凹部255とで画成される空間の高さよりも低い高さのものであり、インクジェット式記録ヘッド2と固定板250とを接着する接着剤401によって第1の凹部23及び第2の凹部255とに接着されている。すなわち、第1の凹部23及び第2の凹部255と連結部材500とは、接着剤401を介して接着されている。   The connecting member 500 has a width narrower than the width of the first recess 23 and the second recess 255 and a height lower than the height of the space defined by the first recess 23 and the second recess 255. It is adhered to the first recess 23 and the second recess 255 by an adhesive 401 that bonds the ink jet recording head 2 and the fixing plate 250. That is, the first recess 23 and the second recess 255 and the connecting member 500 are bonded via the adhesive 401.

このため、第1の凹部23及び第2の凹部255に相対向する領域では、液体噴射面A及び固定板250と接着剤401との界面は、液体噴射面Aの面内方向に沿って設けられておらず、第1の凹部23及び第2の凹部255に沿って屈曲して設けられていることになる。   For this reason, in the region opposite to the first recess 23 and the second recess 255, the interface between the liquid ejection surface A and the fixing plate 250 and the adhesive 401 is provided along the in-plane direction of the liquid ejection surface A. In other words, it is bent along the first recess 23 and the second recess 255.

これにより、液体噴射面A及び固定板250と接着剤401との接着面積を広げることができるため、ノズルプレート20の表面にインクが付着して、付着したインクが接着剤401の界面を侵食したとしても、侵食に対して接着面積が広いので、ノズルプレート20から固定板250が短時間で剥離するのを防止して耐久性を向上することができる。また、連結部材500によって、接着面積を広げることができるため、接着強度を向上することができ、ノズルプレート20から固定板250が剥離するのを防止できる。   As a result, the adhesion area between the liquid ejection surface A and the fixing plate 250 and the adhesive 401 can be expanded, so that ink adheres to the surface of the nozzle plate 20 and the adhered ink erodes the interface of the adhesive 401. However, since the adhesion area is large against erosion, the fixing plate 250 can be prevented from peeling off from the nozzle plate 20 in a short time, and durability can be improved. Further, since the bonding area can be increased by the connecting member 500, the bonding strength can be improved, and the fixing plate 250 can be prevented from being peeled from the nozzle plate 20.

さらに、本実施形態では、ノズルプレート20の固定板250が接着される接着領域を非撥液領域26とすることで、接着剤401とノズルプレート20との接着強度を向上することができる。   Furthermore, in this embodiment, the adhesive strength between the adhesive 401 and the nozzle plate 20 can be improved by setting the adhesive region where the fixing plate 250 of the nozzle plate 20 is bonded to the non-liquid-repellent region 26.

なお、このような連結部材500は、インクジェット式記録ヘッド2と固定板250とを接着する接着剤401とは異なる材料で、且つインクによって侵食されない材料、例えば、金属材料や樹脂材料が挙げられる。本実施形態では、ステンレス鋼を用いるようにした。   Such a connecting member 500 is made of a material that is different from the adhesive 401 that bonds the ink jet recording head 2 and the fixing plate 250 and is not eroded by ink, for example, a metal material or a resin material. In this embodiment, stainless steel is used.

また、本実施形態では、ノズルプレート20と流路形成基板10とは接着剤400を介して接着されている。このため、ノズルプレート20の流路形成基板10との接着領域も同様に非撥液領域27となっている。本実施形態では、ノズルプレート20の液体噴射面Aとは反対側の面の全面を非撥液領域27とした。   In the present embodiment, the nozzle plate 20 and the flow path forming substrate 10 are bonded via the adhesive 400. For this reason, the adhesion region of the nozzle plate 20 with the flow path forming substrate 10 is also a non-liquid repellent region 27. In the present embodiment, the entire surface of the nozzle plate 20 opposite to the liquid ejection surface A is the non-liquid repellent region 27.

一方、図4に示すように、流路形成基板10の開口面とは反対側には、弾性膜50上に、金属からなる下電極膜と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなる圧電体層と、金属からなる上電極膜とを順次積層することで形成された圧電素子300が形成されている。このような圧電素子300が形成された流路形成基板10上には、リザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部31を有するリザーバ形成基板30が接合されている。このリザーバ部31は、本実施形態では、リザーバ形成基板30を厚さ方向に貫通して圧力発生室12の幅方向に亘って形成されており、上述のように流路形成基板10の連通部13と連通されて各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100を構成している。   On the other hand, as shown in FIG. 4, on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10, on the elastic film 50, a lower electrode film made of metal and a piezoelectric made of lead zirconate titanate (PZT) or the like. A piezoelectric element 300 formed by sequentially laminating a body layer and an upper electrode film made of metal is formed. On the flow path forming substrate 10 on which such a piezoelectric element 300 is formed, a reservoir forming substrate 30 having a reservoir portion 31 that constitutes at least a part of the reservoir 100 is joined. In this embodiment, the reservoir portion 31 is formed across the reservoir forming substrate 30 in the thickness direction and across the width direction of the pressure generating chamber 12, and as described above, the communication portion of the flow path forming substrate 10 is formed. The reservoir 100 is connected to the pressure generation chamber 12 and serves as a common ink chamber for the pressure generation chambers 12.

また、リザーバ形成基板30の圧電素子300に対向する領域には、圧電素子300の運動を阻害しない程度の空間を有する圧電素子保持部32が設けられている。   A piezoelectric element holding portion 32 having a space that does not hinder the movement of the piezoelectric element 300 is provided in a region facing the piezoelectric element 300 of the reservoir forming substrate 30.

さらに、リザーバ形成基板30上には、各圧電素子300を駆動するための駆動IC110が設けられている。この駆動IC110の各端子は、図示しないボンディングワイヤ等を介して各圧電素子300の個別電極から引き出された引き出し配線と接続されている。そして、駆動IC110の各端子には、フレキシブルプリント基板(FPC)等の外部配線111を介して外部と接続され、外部から外部配線111を介して印刷信号等の各種信号を受け取るようになっている。   Furthermore, a drive IC 110 for driving each piezoelectric element 300 is provided on the reservoir forming substrate 30. Each terminal of the drive IC 110 is connected to a lead wiring drawn from the individual electrode of each piezoelectric element 300 via a bonding wire or the like (not shown). Each terminal of the drive IC 110 is connected to the outside via an external wiring 111 such as a flexible printed circuit (FPC), and receives various signals such as a print signal from the outside via the external wiring 111. .

また、このようなリザーバ形成基板30上には、コンプライアンス基板40が接合されている。コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域には、リザーバ100にインクを供給するためのインク導入口44が厚さ方向に貫通することで形成されている。また、コンプライアンス基板40のリザーバ100に対向する領域のインク導入口44以外の領域は、厚さ方向に薄く形成された可撓部43となっており、リザーバ100は、可撓部43により封止されている。この可撓部43により、リザーバ100内にコンプライアンスを与えている。   In addition, the compliance substrate 40 is bonded onto the reservoir forming substrate 30. An ink inlet 44 for supplying ink to the reservoir 100 is formed in a region facing the reservoir 100 of the compliance substrate 40 by penetrating in the thickness direction. In addition, the region of the compliance substrate 40 other than the ink introduction port 44 in the region facing the reservoir 100 is a flexible portion 43 formed thin in the thickness direction, and the reservoir 100 is sealed by the flexible portion 43. Has been. Compliance is given to the reservoir 100 by the flexible portion 43.

また、各ヘッド本体220の液体噴射面Aとは反対側の面、すなわち、コンプライアンス基板40上には、ヘッドケース230が固定されている。   A head case 230 is fixed on the surface of each head body 220 opposite to the liquid ejection surface A, that is, on the compliance substrate 40.

ヘッドケース230は、インク導入口44に連通すると共にカートリッジケース210のインク連通路に連通して、カートリッジケース210からのインクをインク導入口44に供給するインク供給連通路231が設けられている。このヘッドケース230には、コンプライアンス基板40の可撓部43に対向する領域に溝部232が形成され、可撓部43の撓み変形が適宜行われるようになっている。また、ヘッドケース230には、リザーバ形成基板30上に設けられた駆動IC110に対向する領域に厚さ方向に貫通した駆動IC保持部233が設けられており、外部配線111は、駆動IC保持部233を挿通して駆動IC110と接続されている。   The head case 230 is provided with an ink supply communication passage 231 that communicates with the ink introduction port 44 and also communicates with the ink communication passage of the cartridge case 210 and supplies ink from the cartridge case 210 to the ink introduction port 44. In the head case 230, a groove portion 232 is formed in a region facing the flexible portion 43 of the compliance substrate 40, and the flexible portion 43 is appropriately deformed. The head case 230 is provided with a drive IC holding part 233 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 110 provided on the reservoir forming substrate 30, and the external wiring 111 is connected to the drive IC holding part. The drive IC 110 is connected through the H.233.

このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッド2は、インクカートリッジからのインクをインク連通路及びインク供給連通路231を介してインク導入口44から取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC110からの記録信号に従い、各圧力発生室12に対応するそれぞれの圧電素子300に電圧を印加し、弾性膜50及び圧電素子300をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。   The ink jet recording head 2 according to this embodiment takes in ink from the ink cartridge from the ink introduction port 44 via the ink communication path and the ink supply communication path 231, and the inside from the reservoir 100 to the nozzle opening 21. After filling with ink, according to a recording signal from the driving IC 110, a voltage is applied to each piezoelectric element 300 corresponding to each pressure generating chamber 12 to cause the elastic film 50 and the piezoelectric element 300 to bend and deform, thereby generating each pressure. The pressure in the chamber 12 increases and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

なお、上述したヘッド本体220は、1枚のシリコンウェハ上に多数のチップを同時に形成し、ノズルプレート20及びコンプライアンス基板40を接着して一体化し、その後、図3に示すような1つのチップサイズの流路形成基板10毎に分割することによってヘッド本体220となる。   The head main body 220 described above forms a large number of chips on one silicon wafer at the same time, and bonds and integrates the nozzle plate 20 and the compliance substrate 40. Thereafter, the single chip size as shown in FIG. The head main body 220 is obtained by dividing each flow path forming substrate 10.

このようなインクジェット式記録ヘッド2は、カートリッジケース210の底面に4つ固定されている。本実施形態では、4つのインクジェット式記録ヘッド2は、ノズル列21Aの並び方向に所定の間隔となるように配置されている。すなわち、本実施形態の1つのインクジェット式記録ヘッド2には、ノズル列21Aが8列設けられていることになる。このように複数のインクジェット式記録ヘッド2を用いて並設されたノズル開口21からなるノズル列21Aの多列化を図ることで、1つのインクジェット式記録ヘッド2にノズル列21Aを多列形成するのに比べて歩留まりの低下を防止することができる。また、ノズル列21Aの多列化を図るために複数のインクジェット式記録ヘッド2を用いることで、1枚のシリコンウェハから形成できるヘッド本体220(インクジェット式記録ヘッド2)の取り数を増大させることができ、シリコンウェハの無駄な領域を減少させて製造コストを低減することができる。   Four such ink jet recording heads 2 are fixed to the bottom surface of the cartridge case 210. In the present embodiment, the four ink jet recording heads 2 are arranged at a predetermined interval in the arrangement direction of the nozzle rows 21A. That is, one nozzle type recording head 2 of this embodiment is provided with eight nozzle rows 21A. In this way, the nozzle rows 21A including the nozzle openings 21 arranged side by side using a plurality of ink jet recording heads 2 are arranged in multiple rows, thereby forming a plurality of nozzle rows 21A in one ink jet recording head 2. Compared to the above, the yield can be prevented from decreasing. Further, by using a plurality of ink jet recording heads 2 in order to increase the number of nozzle rows 21A, the number of head main bodies 220 (ink jet recording heads 2) that can be formed from one silicon wafer is increased. It is possible to reduce the use cost of the silicon wafer and reduce the manufacturing cost.

また、このような4つのインクジェット式記録ヘッド2は、上述したように、複数のインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aの非撥液領域26に接着剤401を介して接着された保持部材である固定板250によって位置決めされて保持されている。   Further, as described above, the four ink jet recording heads 2 are holding members that are bonded to the non-liquid-repellent regions 26 of the liquid ejection surfaces A of the plurality of ink jet recording heads 2 via the adhesive 401. It is positioned and held by a fixed plate 250.

さらに、インクジェット式記録ヘッドユニット1には、図1及び図2に示すように、固定板250のインクジェット式記録ヘッド2とは反対側に、複数のインクジェット式記録ヘッド2を覆うような箱形状を有するカバーヘッド240が設けられている。このカバーヘッド240は、固定板250の露出開口部251に対応して開口部241が設けられた固定部242と、ヘッド本体220のインク滴吐出面の側面側に、固定板250の外周に亘って屈曲するように設けられた側壁部245とを具備する。   Further, as shown in FIGS. 1 and 2, the ink jet recording head unit 1 has a box shape that covers the plurality of ink jet recording heads 2 on the opposite side of the fixing plate 250 from the ink jet recording head 2. A cover head 240 is provided. The cover head 240 has a fixing portion 242 provided with an opening 241 corresponding to the exposed opening 251 of the fixing plate 250, and a side surface side of the ink droplet ejection surface of the head main body 220, and extends around the outer periphery of the fixing plate 250. And a side wall portion 245 provided so as to be bent.

固定部242は、本実施形態では、固定板250の固定用枠部253に対応して設けられた枠部243と、固定板250の固定用梁部254に対応して設けられて開口部241を分割する梁部244とで構成されている。また、このような枠部243及び梁部244からなる固定部242は、固定板250の接合部252に接合されている。   In this embodiment, the fixing portion 242 is provided corresponding to the frame portion 243 provided corresponding to the fixing frame portion 253 of the fixing plate 250, and the opening portion 241 provided corresponding to the fixing beam portion 254 of the fixing plate 250. It is comprised with the beam part 244 which divides | segments. Further, the fixing part 242 including the frame part 243 and the beam part 244 is joined to the joining part 252 of the fixing plate 250.

なお、カバーヘッド240の固定部242には、図2に示すように、カバーヘッド240をカートリッジケース210に位置決め固定するための固定孔247が設けられた支持部246が設けられている。この支持部246は、側壁部245から液滴吐出面の面内方向と同一方向に突出するように屈曲して設けられている。そして、本実施形態では、カバーヘッド240は、カートリッジケース210に固定されている。すなわち、カートリッジケース210には、液体噴射面A側に突出して、カバーヘッド240の固定孔247に挿入される突起部215が設けられており、この突起部215をカバーヘッド240の固定孔247に挿入すると共に、突起部215の先端部を加熱してかしめることで、カートリッジケース210にカバーヘッド240が固定されている。   As shown in FIG. 2, the fixing portion 242 of the cover head 240 is provided with a support portion 246 provided with a fixing hole 247 for positioning and fixing the cover head 240 to the cartridge case 210. The support portion 246 is bent and provided so as to protrude from the side wall portion 245 in the same direction as the in-plane direction of the droplet discharge surface. In this embodiment, the cover head 240 is fixed to the cartridge case 210. That is, the cartridge case 210 is provided with a protrusion 215 that protrudes toward the liquid ejecting surface A and is inserted into the fixing hole 247 of the cover head 240. The protrusion 215 is provided in the fixing hole 247 of the cover head 240. The cover head 240 is fixed to the cartridge case 210 by inserting and heating and crimping the tip of the protrusion 215.

このように、インクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aとカバーヘッド240との間が固定板250を介して隙間なく接合されているため、この隙間に記録媒体が入り込むのを防止してカバーヘッド240の変形及び紙ジャムを防止することができる。また、カバーヘッド240の側壁部245が、複数のインクジェット式記録ヘッド2の外周縁部を覆うことで、インクジェット式記録ヘッド2の側面へのインクの回り込みを確実に防止することができる。   As described above, since the liquid ejecting surface A of the ink jet recording head 2 and the cover head 240 are joined to each other through the fixing plate 250 without any gap, it is possible to prevent the recording medium from entering the gap and cover the head. 240 deformation and paper jam can be prevented. Further, since the side wall portion 245 of the cover head 240 covers the outer peripheral edge portions of the plurality of ink jet recording heads 2, it is possible to reliably prevent the ink from flowing into the side surfaces of the ink jet recording heads 2.

なお、上述した例では、カバーヘッド240を固定板250のヘッド本体220とは反対側の面に接合するようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、カバーヘッド240を固定板250に接合せずに、所定の間隔となるように設けるようにしてもよく、当接するように設けるようにしてもよい。   In the above-described example, the cover head 240 is bonded to the surface of the fixing plate 250 opposite to the head body 220. However, the present invention is not limited to this. For example, the cover head 240 is bonded to the fixing plate 250. Instead, it may be provided at a predetermined interval or may be provided so as to abut.

(実施形態2)
図6は、本発明の実施形態2に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニットの要部断面図であり、図7は、ヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。
(Embodiment 2)
6 is a cross-sectional view of main parts of an ink jet recording head unit that is an example of a liquid jet head according to Embodiment 2 of the present invention, and FIG. 7 is a plan view of main parts and a cross-sectional view of main parts of the head unit. .

図示するように、本実施形態では、ノズルプレート20の非撥液領域26(接着領域)には、第1の凹部23が設けられている。また、固定板250Aは、露出開口部251側の端部に、第1の凹部23内に所定の間隔で挿入される屈曲された連結部材500Aを具備する。すなわち、本実施形態では、固定板250Aには、第2の凹部が設けられておらず、ノズルプレート20の液体噴射面Aに第1の凹部23のみが設けられた構成である。   As shown in the drawing, in the present embodiment, a first recess 23 is provided in the non-liquid-repellent region 26 (adhesion region) of the nozzle plate 20. The fixing plate 250A includes a bent connecting member 500A that is inserted into the first recess 23 at a predetermined interval at the end on the exposed opening 251 side. That is, in the present embodiment, the fixing plate 250A is not provided with the second recess, and only the first recess 23 is provided on the liquid ejection surface A of the nozzle plate 20.

そして、インクジェット式記録ヘッドユニット1のノズルプレート20と、固定板250Aとは、接着剤401を介して接着されている。また、第1の凹部23と連結部材500Aとは、接着剤401を介して接着されている。したがって、第1の凹部23に相対向する領域の接着剤401の界面は、液体噴射面Aの面内方向に沿って形成されておらず、第1の凹部23に沿って設けられていることになる。   The nozzle plate 20 of the ink jet recording head unit 1 and the fixing plate 250 </ b> A are bonded via an adhesive 401. The first recess 23 and the connecting member 500 </ b> A are bonded via an adhesive 401. Therefore, the interface of the adhesive 401 in the region facing the first recess 23 is not formed along the in-plane direction of the liquid ejection surface A, and is provided along the first recess 23. become.

このような構成としても、ノズルプレート20と固定板250Aとの接着面積を広げて、インクによりノズルプレート20から固定板250Aが短時間で剥離するのを防止して、耐久性を向上することができる。   Even in such a configuration, the adhesion area between the nozzle plate 20 and the fixing plate 250A can be widened to prevent the fixing plate 250A from being peeled off from the nozzle plate 20 by ink in a short time, thereby improving the durability. it can.

(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態1及び2では、インクジェット式記録ヘッド2として、ノズル開口21が設けられたノズルプレート20を具備する構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッドとして、流路形成基板にノズル開口が形成された構成、すなわち、流路形成基板とノズルプレートとが一体的に形成されたものであっても本発明は適用できる。
(Other embodiments)
As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the first and second embodiments described above, the ink jet recording head 2 is exemplified by the configuration including the nozzle plate 20 provided with the nozzle openings 21, but is not particularly limited thereto, for example, the ink jet recording head. As described above, the present invention can also be applied to a configuration in which nozzle openings are formed in a flow path forming substrate, that is, a flow path forming substrate and a nozzle plate that are integrally formed.

また、上述した実施形態1及び2では、複数のインクジェット式記録ヘッド2を固定板250に接着剤401を介して接着するようにしたが、固定板250を設けずに、複数のインクジェット式記録ヘッド2をカバーヘッド240に接着するようにしてもよい。すなわち、カバーヘッド240がインクジェット式記録ヘッド2の液体噴射面Aを保持する保持部材としてもよい。勿論、本実施形態では、固定板250やカバーヘッド240などの保持部材に4つのインクジェット式記録ヘッド2を接合するようにしたが、保持部材に接合されるインクジェット式記録ヘッド2の数は特にこれに限定されず、保持部材に1つのインクジェット式記録ヘッド2を接合する、すなわち、インクジェット式記録ヘッドユニット1が1つのインクジェット式記録ヘッド2を具備するようにしてもよい。   In the first and second embodiments described above, the plurality of ink jet recording heads 2 are bonded to the fixing plate 250 via the adhesive 401, but a plurality of ink jet recording heads are provided without providing the fixing plate 250. 2 may be bonded to the cover head 240. That is, the cover head 240 may be a holding member that holds the liquid ejection surface A of the ink jet recording head 2. Of course, in the present embodiment, the four ink jet recording heads 2 are joined to the holding members such as the fixed plate 250 and the cover head 240, but the number of ink jet recording heads 2 joined to the holding members is particularly large. The inkjet recording head 2 may be joined to the holding member, that is, the inkjet recording head unit 1 may include one inkjet recording head 2.

そして、上述した実施形態1及び2では、固定板250やカバーヘッド240などの保持部材が、ノズルプレート20の非撥液領域26と接着された構成を例示したが、この際に当該保持部材がノズルプレート20の撥液領域25にかかるように形成されていてもよい。これは、例えば、保持部材とノズルプレート20との接着ずれなどによって、ノズルプレート20の非撥液領域26が保持部材に形成された露出開口部251から露出されるのを防ぐためである。   In the first and second embodiments described above, the holding member such as the fixing plate 250 and the cover head 240 is illustrated as being bonded to the non-liquid-repellent region 26 of the nozzle plate 20. It may be formed so as to cover the liquid repellent area 25 of the nozzle plate 20. This is to prevent the non-liquid-repellent region 26 of the nozzle plate 20 from being exposed from the exposed opening 251 formed in the holding member due to, for example, an adhesive displacement between the holding member and the nozzle plate 20.

また、上述した実施形態1及び2では、ノズルプレート20に第1の凹部23が設けられた構成を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、固定板250に第2の凹部255を設け、ノズルプレート20に第2の凹部255内に突出する連結部材を一体的に設けるようにしてもよい。このような構成としても、凹部(第2の凹部255)に相対向する領域の接着剤401の界面が、液体噴射面Aの面内方向に沿って設けられることがなく、屈曲されて設けられるため、接着面積を広げて耐久性を向上することができる。   In the first and second embodiments described above, the configuration in which the first concave portion 23 is provided in the nozzle plate 20 is illustrated. However, the configuration is not particularly limited thereto. For example, the second concave portion 255 is provided in the fixing plate 250. The nozzle plate 20 may be integrally provided with a connecting member that protrudes into the second recess 255. Even in such a configuration, the interface of the adhesive 401 in the region facing the recess (second recess 255) is not provided along the in-plane direction of the liquid ejection surface A, but is provided by being bent. Therefore, the adhesion area can be expanded to improve durability.

さらに、上述した実施形態1及び2では、液体噴射面Aの外周側の周囲に亘って第1の凹部23を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、凹部は、外周側の周囲の一部に設けられていてもよい。また、上述した実施形態1及び2では、液体噴射面Aに撥液領域25と非撥液領域26とを設けるようにすることで、接着剤401との接着力を向上するようにしたが、撥液膜22を設けないようにしてもよい。   Furthermore, in Embodiment 1 and 2 mentioned above, although the 1st recessed part 23 was provided over the circumference | surroundings of the outer peripheral side of the liquid ejection surface A, it is not limited to this in particular, A recessed part is the circumference | surroundings of the outer peripheral side. It may be provided in a part. In Embodiments 1 and 2 described above, by providing the liquid repellent area 25 and the non-liquid repellent area 26 on the liquid ejection surface A, the adhesive force with the adhesive 401 is improved. The liquid repellent film 22 may not be provided.

また、上述した実施形態1及び2では、圧力発生室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電素子300を有するアクチュエータ装置を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型のアクチュエータ装置や、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型のアクチュエータ装置などを使用することができる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエータなどを使用することができる。   In the first and second embodiments described above, the actuator device having the thin film type piezoelectric element 300 is described as the pressure generating means for causing the pressure change in the pressure generating chamber 12, but the present invention is not particularly limited thereto. For example, a thick film type actuator device formed by a method such as attaching a green sheet, or a longitudinal vibration type actuator device in which piezoelectric materials and electrode forming materials are alternately stacked to expand and contract in the axial direction is used. be able to. Also, as a pressure generating means, a heating element is arranged in the pressure generating chamber, and droplets are discharged from the nozzle opening by bubbles generated by the heat generated by the heating element, or static electricity is generated between the diaphragm and the electrode. Thus, it is possible to use a so-called electrostatic actuator that deforms the diaphragm by electrostatic force and ejects droplets from the nozzle openings.

また、このようなインクジェット式記録ヘッドユニット1は、インクジェット式記録装置Iに搭載される。図8は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図8に示すように、ヘッドユニット1は、インク供給手段を構成するカートリッジ2A、2Bが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット1は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   Such an ink jet recording head unit 1 is mounted on the ink jet recording apparatus I. FIG. 8 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus. As shown in FIG. 8, the head unit 1 is detachably provided with cartridges 2A and 2B constituting ink supply means, and the carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4. Are provided so as to be axially movable. For example, the head unit 1 discharges a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。   Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5. On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown), is conveyed on the platen 8. It is like that.

なお、液体噴射ヘッドとしてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドを一例として説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッドを具備する液体噴射ヘッドユニットを対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(電界放出ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。   Although an ink jet recording head that ejects ink has been described as an example of the liquid ejecting head, the present invention is intended for a liquid ejecting head unit that widely includes the liquid ejecting head. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used for an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an electrode formation such as an FED (field emission display). Electrode material ejecting heads used in manufacturing, bioorganic matter ejecting heads used in biochip production, and the like.

実施形態1に係るヘッドユニットの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの組立斜視図である。FIG. 3 is an assembled perspective view of the head unit according to the first embodiment. 実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドヘッドの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the head head according to the first embodiment. 実施形態1に係るヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view of main parts of a head unit according to Embodiment 1. 実施形態2に係るヘッドユニットの要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part of a head unit according to a second embodiment. 実施形態2に係るヘッドユニットの要部平面図及び要部断面図である。FIG. 6 is a plan view and a cross-sectional view of main parts of a head unit according to a second embodiment. 一実施形態に係る記録装置の一例を示す概略図である。It is the schematic which shows an example of the recording device which concerns on one Embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

I 液体噴射装置、 A 液体噴射面、 1 インクジェット式記録ヘッドユニット(液体噴射ヘッドユニット)、 2 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 20 ノズルプレート(ノズル形成部材)、 21 ノズル開口、 22 撥液膜、 23 第1の凹部、 100 リザーバ、 210 カートリッジケース、 220 ヘッド本体、 230 ヘッドケース、 240 カバーヘッド、 250 固定板(保持部材)、 255 第2の凹部、 300 圧電素子、 400、401 接着剤、 500、500A 連結部材   DESCRIPTION OF SYMBOLS I Liquid ejector, A Liquid ejecting surface, 1 Inkjet recording head unit (liquid ejecting head unit), 2 Inkjet recording head (liquid ejecting head), 10 Flow path formation substrate, 12 Pressure generating chamber, 20 Nozzle plate (nozzle) Forming member), 21 nozzle opening, 22 liquid repellent film, 23 first recess, 100 reservoir, 210 cartridge case, 220 head body, 230 head case, 240 cover head, 250 fixing plate (holding member), 255 second Recess, 300 Piezoelectric element, 400, 401 Adhesive, 500, 500A Connecting member

Claims (6)

液体を噴射するノズル開口が開口する液体噴射面を有する液体噴射ヘッドと、該液体噴射面に接着剤を介して接合されて、前記液体噴射ヘッドを保持する保持部材とを具備し、
前記液体噴射面の接着領域及び前記保持部材の接着領域の何れか一方又は両方に凹部が設けられていると共に、該凹部内に前記接着剤以外の連結部材が設けられており、
前記凹部に相対向する前記保持部材及び前記液体噴射面と前記接着剤との界面が、前記凹部に沿って設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
A liquid ejecting head having a liquid ejecting surface having a nozzle opening for ejecting liquid, and a holding member that is bonded to the liquid ejecting surface via an adhesive and holds the liquid ejecting head;
A concave portion is provided in one or both of the adhesive region of the liquid ejection surface and the adhesive region of the holding member, and a connecting member other than the adhesive is provided in the concave portion,
The liquid ejecting head unit is characterized in that an interface between the holding member, the liquid ejecting surface, and the adhesive facing the recessed portion is provided along the recessed portion.
前記凹部は、前記液体噴射面の接着領域に設けられた第1の凹部と、前記保持部材の接着領域の前記第1の凹部に相対向する領域に設けられた第2の凹部とで構成され、前記第1の凹部と前記第2の凹部との間には、前記液体噴射ヘッド及び前記固定部材とは別体の前記連結部材が設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドユニット。   The concave portion includes a first concave portion provided in an adhesive region of the liquid ejecting surface and a second concave portion provided in a region facing the first concave portion of the adhesive region of the holding member. 2. The liquid according to claim 1, wherein the connecting member separate from the liquid ejecting head and the fixing member is provided between the first concave portion and the second concave portion. Jet head unit. 前記凹部が前記液体噴射面に設けられていると共に、前記連結部材が前記保持部材に一体的に設けられて前記凹部内に突出して設けられていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid ejection according to claim 1, wherein the recess is provided on the liquid ejection surface, and the connecting member is provided integrally with the holding member and protrudes into the recess. Head unit. 前記液体噴射面には、前記ノズル開口の周囲に撥液膜が設けられた撥液領域と、該撥液膜が設けられていない非撥液領域とが設けられていると共に、前記液体噴射ヘッドと前記保持部材との接着領域が、前記非撥液領域であることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid ejecting surface includes a liquid repellent area in which a liquid repellent film is provided around the nozzle opening and a non-liquid repellent area in which the liquid repellent film is not provided, and the liquid ejecting head. The liquid ejecting head unit according to any one of claims 1 to 3, wherein an adhesion area between the holding member and the holding member is the non-liquid-repellent area. 前記凹部が、複数のノズル開口の周囲に亘って連続して設けられていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid ejecting head unit according to claim 1, wherein the concave portion is provided continuously around a plurality of nozzle openings. 請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head unit according to claim 1.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2020172050A (en) * 2019-04-09 2020-10-22 株式会社リコー Head module, head unit, liquid discharge head and device for discharging liquid

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