JP2008179834A - Electrically-conductive elastic resin - Google Patents

Electrically-conductive elastic resin Download PDF

Info

Publication number
JP2008179834A
JP2008179834A JP2008094868A JP2008094868A JP2008179834A JP 2008179834 A JP2008179834 A JP 2008179834A JP 2008094868 A JP2008094868 A JP 2008094868A JP 2008094868 A JP2008094868 A JP 2008094868A JP 2008179834 A JP2008179834 A JP 2008179834A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
elastic
conductive
resin
filler
bump
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2008094868A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Sano
武 佐野
Hiroshi Kobayashi
寛史 小林
Hideaki Okura
秀章 大倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2008094868A priority Critical patent/JP2008179834A/en
Publication of JP2008179834A publication Critical patent/JP2008179834A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly electrically-conductive resin having high elasticity and capable of reducing its content of a filler for obtaining high electrical conductivity by use of a filler having a high aspect ratio. <P>SOLUTION: The electrically conductive elastic resin comprises a resin having rubbery elasticity and a conductive filler made of a needle-shaped filler with a surface layer thereof coated with Au, Ag, Ni or Cu. A diameter of the needle-shaped filler is in a range between 0.5 to 2.0 μm. A length of the filler is in a range between 10 to 100 μm. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

この発明は、弾性導電樹脂及び弾性導電樹脂による弾性導電接合構造に関するものであり、電子部品の実装、メカニカル接触式コネクタに利用できるものである。   The present invention relates to an elastic conductive resin and an elastic conductive joint structure using an elastic conductive resin, and can be used for mounting electronic components and mechanical contact connectors.

導電性弾性樹脂に関する従来技術として特開平10−242616号公報に記載されているものがある。このものは、回路基板とICチップとの間隙に封止樹脂を充填することなく接続部の高信頼度での実装を可能にするものであり、図11に示すように、バンプ座2がICパッケージ1のパッケージの下部に設けられていて、導電性接着剤3がバンプ座2と導電性弾性樹脂バンプ(集積回路においてワイヤレスボンディング用素子の電極部に形成された突起電極)4とを接続している。導電性弾性樹脂バンプ4はシリコン樹脂に、金メッキを施した180〜200μmの銅粉などの導電体粉体(フィラー)を混入させたもの(混合比2:1)であり、熱歪みおよび機械的歪みによる応力を吸収する。回路基板5の部品取り付け座6があって、導電性弾性樹脂バンプ4と電気的に接続される。
また、他に、特開平10−256304号公報に記載されているものがあり、このものは、図12に示すように、ゴム状弾性を有する導電性接着剤の硬化後、冷却とともに半導体集積回路チップ11と絶縁基板12との熱膨張率の差により導電性接着剤15にせん断応力が加わっても、導電性接着剤15がこのせん断応力を緩和して、剥離や接着剤層の破壊が生じないようにし、硬化収縮の大きな封止樹脂16の採用により発生する縦方向の応力を導電性接着剤15の樹脂成分が妨げることがなく、突起電極13と基板電極14が導電性接着剤15の導電粒子を介して圧接されて良好な電気的接続が得られるようにしたものである。
特開平10−242616号公報 特開平10−256304号公報
Japanese Patent Laid-Open No. 10-242616 discloses a related art relating to a conductive elastic resin. In this case, the connection portion can be mounted with high reliability without filling the gap between the circuit board and the IC chip with a sealing resin. As shown in FIG. The conductive adhesive 3 connects the bump seat 2 and the conductive elastic resin bump (projection electrode formed on the electrode portion of the wireless bonding element in the integrated circuit) 4 provided at the lower part of the package 1. ing. The conductive elastic resin bumps 4 are made of silicon resin mixed with conductive powder (filler) such as 180-200 μm copper powder plated with gold (mixing ratio 2: 1). Absorbs stress due to strain. There is a component mounting seat 6 for the circuit board 5, which is electrically connected to the conductive elastic resin bump 4.
In addition, there is one described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-256304. As shown in FIG. 12, after the conductive adhesive having rubbery elasticity is cured, the semiconductor integrated circuit is cooled and cooled. Even if shear stress is applied to the conductive adhesive 15 due to the difference in coefficient of thermal expansion between the chip 11 and the insulating substrate 12, the conductive adhesive 15 relaxes this shear stress, causing peeling or destruction of the adhesive layer. The resin component of the conductive adhesive 15 does not hinder the longitudinal stress generated by the use of the sealing resin 16 having a large curing shrinkage, and the protruding electrode 13 and the substrate electrode 14 are formed of the conductive adhesive 15. A good electrical connection is obtained by pressure contact through conductive particles.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-242616 JP-A-10-256304

従来、ICパッケージの実装においては、はんだ接合が一般的に行われている。しかし、パッケージ品と配線基板との熱膨張係数差が大きく違うことにより、温度サイクルが負荷された場合に接続部に繰り返し応力が発生してしまう。このため、接続部破断等の異常発生を防止することを目的として樹脂補強がされている。さらに、昨今の多ピン化、大型化が進んでいるパッケージ実装に対しては、上記の特開平10−256304号公報に記載されているもののように、ゴム状弾性を有する導電性接着剤を用いて接続するものがある。このものは確かに接続信頼性を向上させることができるが、応力緩和機能が不充分のため樹脂による補強が必要である。   Conventionally, solder bonding is generally performed in mounting an IC package. However, since the difference in thermal expansion coefficient between the package product and the wiring board is greatly different, a stress is repeatedly generated in the connection portion when a temperature cycle is applied. For this reason, resin reinforcement is performed for the purpose of preventing the occurrence of abnormalities such as breakage of the connecting portion. Furthermore, for the recent package mounting which has been increased in the number of pins and increased in size, a conductive adhesive having rubber-like elasticity is used as described in the above-mentioned JP-A-10-256304. There is something to connect. Although this can surely improve the connection reliability, the stress relaxation function is insufficient, so that reinforcement with a resin is necessary.

また、上記の特開平10−242616号公報に記載されている実装構造は、導電性弾性樹脂をバンプ状に形成し、これを圧接することにより電気的な接続を確保するものであるが、この導電性弾性樹脂がシリコーン系樹脂にAuめっきしたCu粉を混合させたものであることから、弾性率が高くエリアアレイ状に形成された電極に電気的な接続させるには高い圧接力が必要であり、また、バンプ高さを精密に揃えないと、各バンプに対して均等な圧接力がかからず、そのため、全電極の接続の安定的確実性に劣るという問題がある。   In addition, the mounting structure described in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-242616 is to form an electrically conductive elastic resin in the form of a bump and press this to ensure electrical connection. Since the conductive elastic resin is a mixture of Cu-plated Au resin and silicone resin, a high pressure contact force is required to make an electrical connection to the electrode that has a high elastic modulus and is formed in an area array. In addition, if the bump heights are not precisely aligned, a uniform pressure contact force is not applied to each bump, and therefore there is a problem that the stability and reliability of the connection of all the electrodes is inferior.

これまでの弾性導電樹脂は、ゴム状弾性を有するシリコーン樹脂に球状導電粒子あるいはフレーク状導電フィラーを含有したものであり、球状粒子およびフレーク状フィラーを用いて高導電性を確保するためには、フィラー配合量を高めることが必要であるので、硬化物としてはシリコーン樹脂のゴム弾性特性を十分に活用することができなかった。このため、弾性導電バンプによるメカニカル接触で電気的接合を行う場合には、大きな加重で圧接する構造とする必要があり、さらに、バンプ高さのばらつきを高精度で制御する必要がある。
そこでこの発明は、圧縮力に対する変形能力が高いとともに、導電性が高い弾性導電体を提供することを目的とするものであり、そのための具体的な課題は次のとおりである。
The conventional elastic conductive resin is a silicone resin having rubber-like elasticity containing spherical conductive particles or flaky conductive filler, and in order to ensure high conductivity using the spherical particles and flaky filler, Since it is necessary to increase the blending amount of the filler, the rubber elastic property of the silicone resin cannot be fully utilized as a cured product. For this reason, when electrical bonding is performed by mechanical contact using elastic conductive bumps, it is necessary to use a structure in which pressure is applied with a large load, and it is necessary to control the variation in bump height with high accuracy.
Therefore, the present invention aims to provide an elastic conductor having a high deformability with respect to a compressive force and a high conductivity, and specific problems for that purpose are as follows.

〔課題1〕
課題1は、アスペクト比(たてよこ比)の高いフィラーを用いることにより高導電性を得るためのフィラー含有量を低減でき、また、弾力性に富んだ高導電樹脂を工夫することである。
〔課題2〕
また、課題2は、導電フィラーの比重を低減し、ゴム状弾性樹脂中のフィラー沈殿によるフィラー分布の不均一を防止することである。
〔課題3〕
また、課題3は、電子部品交換が容易なメカニカル接触式の接合構造とし、また、対向する電極へのメカニカル接触時の加圧力を低減できるとともに、バンプ高さばらつきの許容範囲を大きくできるようにすることである。
〔課題4〕
さらに課題4は、弾性導電バンプとメカニカル接触にて電気的接続する電極表面に酸化膜および汚れがあっても、安定した接触抵抗を確保できるようにすることである。
〔課題5〕
さらに課題5は、バンプ形状をより圧縮変形しやすい形状とすることにより、バンプ高さばらつき許容範囲を更に大きくできるようにすることである。
〔課題6〕
さらに、課題6は、量産性の高いスクリーン印刷工法により、低抵抗、高弾力性を持ったバンプを形成できるようにすることである。
〔課題7〕
さらに、課題7は、取扱いが容易な弾性導電バンプとその低コスト化が可能な製造方法を工夫することである。
〔課題8〕
さらに、課題8は、低温、短時間での弾性導電バンプ形成を可能とすることである。
[Problem 1]
Problem 1 is to devise a highly conductive resin that can reduce the filler content for obtaining high conductivity by using a filler having a high aspect ratio (longitudinal ratio) and is rich in elasticity.
[Problem 2]
Problem 2 is to reduce the specific gravity of the conductive filler and prevent non-uniform filler distribution due to filler precipitation in the rubber-like elastic resin.
[Problem 3]
In addition, the problem 3 is that a mechanical contact type joining structure that allows easy replacement of electronic components, and that the pressing force during mechanical contact with the opposing electrode can be reduced and the allowable range of variation in bump height can be increased. It is to be.
[Problem 4]
Further, Problem 4 is to ensure a stable contact resistance even when an oxide film and dirt are present on the surface of the electrode electrically connected to the elastic conductive bump by mechanical contact.
[Problem 5]
Furthermore, the problem 5 is to further increase the allowable range of bump height variation by making the bump shape more easily deformable by compression.
[Problem 6]
Furthermore, the problem 6 is to make it possible to form bumps having low resistance and high elasticity by a screen printing method with high mass productivity.
[Problem 7]
Furthermore, the problem 7 is to devise an elastic conductive bump that can be easily handled and a manufacturing method capable of reducing the cost.
[Problem 8]
Furthermore, the problem 8 is to enable formation of elastic conductive bumps at a low temperature in a short time.

〔解決手段1〕
上記課題1を解決するために講じた手段1(請求項1に対応)は、ゴム状弾性を有する樹脂と、針形状フィラーの表層をAu、Ag、Ni又はCuで被覆した導電フィラーと、を含む弾性導電樹脂において、
前記針形状フィラーの径が0.5〜2.0μm、かつフィラー長が10〜100μmの範囲にあることである。
なお、上記「針形状フィラー」は、概略、繊維状のものであって、樹脂中において3次元的な網目構造を形成してフィラー間が接触している特徴を有するものを意味する。
〔作 用〕
フィラーは上記のとおりの針形状フィラーであってその表層をAu、Ag、Ni又はCuで被覆した導電フィラーであるから、そのアスペクト比が高い。そして、アスペクト比が高いので、樹脂の弾性変形に対する拘束力が小さく、したがって樹脂の高い弾力性が維持される。また、アスペクト比が高いので、少ない導電フィラー含有量で樹脂に高い導電性を付与できるので、フィラー含有量を低減できる。
したがって、少量の針形状フィラーを混入させた弾性導電樹脂は、弾力性に富み、かつ安定した高導電性の弾性導電樹脂である。
[Solution 1]
Means 1 (corresponding to claim 1) taken in order to solve the problem 1 includes a resin having rubber-like elasticity and a conductive filler in which a surface layer of a needle-shaped filler is coated with Au, Ag, Ni or Cu. In the elastic conductive resin containing,
The needle-shaped filler has a diameter of 0.5 to 2.0 μm and a filler length of 10 to 100 μm.
The “needle-shaped filler” is generally fibrous and means a three-dimensional network structure formed in the resin so that the fillers are in contact with each other.
[Work]
Since the filler is a needle-shaped filler as described above and is a conductive filler whose surface layer is coated with Au, Ag, Ni, or Cu, its aspect ratio is high. Since the aspect ratio is high, the restraining force against the elastic deformation of the resin is small, and thus the high elasticity of the resin is maintained. Moreover, since the aspect ratio is high, high conductivity can be imparted to the resin with a small conductive filler content, so the filler content can be reduced.
Therefore, the elastic conductive resin mixed with a small amount of needle-shaped filler is a highly elastic elastic conductive resin which is rich in elasticity and stable.

〔実施態様1〕
実施態様1は、解決手段1における上記針形状フィラーのコア材がウイスカーであることである。
〔作 用〕
針形状フィラーのコア材がウイスカーを利用したものであるから、径が小さく高アスペクト比の導電フィラーを容易に製作でき、したがって、弾性導電樹脂の微細化も可能である。
[Embodiment 1]
Embodiment 1 is that the core material of the needle-shaped filler in Solution 1 is a whisker.
[Work]
Since the core material of the needle-shaped filler uses whiskers, a conductive filler having a small diameter and a high aspect ratio can be easily manufactured. Therefore, the elastic conductive resin can be miniaturized.

〔実施態様2〕
実施態様2は、上記実施態様1の針形状フィラーのコア材が、高分子ウイスカーであることである。(請求項2に対応)
因みにいえば、高分子ウイスカーは、その径が0.5〜2.0μm、フィラー長が10〜100μm、アスペクト比が10〜100であり、適当な高分子材料として、ポリ(p−オキシベンゾイル)、ポリ(2−オキシ−6−ナフトイル)を挙げることができる。
〔作 用〕
ウイスカーを利用したコア材が、高分子ウイスカーであるから、導電フィラーの比重が低く、したがって、ゴム状弾性樹脂中で導電フィラーが分散されて沈殿する傾向が小さいので、弾性導電体内での導電フィラー分布が均等である。したがって、導電フィラー分布の偏りにともなう体積抵抗率の不安定さはなく、当該体積抵抗率の安定化が図られる。
[Embodiment 2]
Embodiment 2 is that the core material of the needle-shaped filler of Embodiment 1 is a polymer whisker. (Corresponding to claim 2)
For example, the polymer whisker has a diameter of 0.5 to 2.0 μm, a filler length of 10 to 100 μm, and an aspect ratio of 10 to 100. As a suitable polymer material, poly (p-oxybenzoyl) And poly (2-oxy-6-naphthoyl).
[Work]
Since the core material using the whisker is a polymer whisker, the specific gravity of the conductive filler is low, and therefore, the conductive filler is less likely to be dispersed and precipitated in the rubber-like elastic resin. Distribution is even. Therefore, there is no instability of the volume resistivity due to the bias of the conductive filler distribution, and the volume resistivity can be stabilized.

〔解決手段2〕
解決手段2は、上記課題3を解決するための手段であり、弾性導電体による接合構造について、
弾性導電樹脂を一方の被接合部品の電極上にバンプ状に形成し、他方側にメカニカル接触させることにより電気的接合を行うことである。
〔作 用〕
圧縮力に対する高い変形能力を持ち、高導電性の導電体である弾性導電体をバンプ状に形成したことにより、弾性導電体をメカニカル接触させ、所定量変形させたときの加圧力を低減でき、したがって、バンプ高さばらつきの許容範囲を大きくすることが可能である。
[Solution 2]
Solution means 2 is means for solving the above-mentioned problem 3, and about the joining structure by the elastic conductor,
The elastic conductive resin is formed in a bump shape on the electrode of one of the parts to be joined and is electrically joined by mechanically contacting the other side.
[Work]
By forming the elastic conductor, which is a highly conductive conductor, in a bump shape with a high deformability against compressive force, the elastic conductor can be mechanically contacted and the applied pressure when deformed by a predetermined amount can be reduced, Therefore, it is possible to increase the allowable range of the bump height variation.

〔実施態様1〕
実施態様1は、解決手段2の弾性導電体による接合構造について、ゴム状弾性を有する樹脂と、表層をAu、Ag、Ni又はCuで被覆した針形状フィラーを含む弾性導電樹脂を、一方の被接合部品の電極上にバンプ状に形成し、他方側にメカニカル接触させることにより電気的接合を行うことである。
[Embodiment 1]
In the first embodiment, the bonding structure using elastic conductors of Solution 2 includes a resin having rubber-like elasticity and an elastic conductive resin including a needle-shaped filler whose surface layer is coated with Au, Ag, Ni, or Cu. Electrical bonding is performed by forming bumps on the electrodes of the bonded components and bringing them into mechanical contact with the other side.

〔実施態様2〕
実施態様2は、上記解決手段2又は実施態様1の導電接合におけるバンプ形状について、
弾性導電バンプが先端に向かうに従って細くなっており、アスペクト比が0.1〜1.0であることである。
〔作 用〕
弾性導電バンプが先端に向かうに従って細くなっていて、アスペクト比が0.1〜1.0であることから、接合時に弾性導電バンプにかかる圧縮応力に対するバンプの変形能力が大きい。したがって、メカニカル接触時の加圧力を更に低減でき、バンプ高さばらつきの許容範囲を更に大きくすることができる。
[Embodiment 2]
Embodiment 2 is the bump shape in the conductive bonding of Solution 2 or Embodiment 1 above.
The elastic conductive bumps become thinner toward the tip, and the aspect ratio is 0.1 to 1.0.
[Work]
Since the elastic conductive bumps become thinner toward the tip and the aspect ratio is 0.1 to 1.0, the deformability of the bumps against the compressive stress applied to the elastic conductive bumps during bonding is large. Therefore, the applied pressure at the time of mechanical contact can be further reduced, and the allowable range of the bump height variation can be further increased.

〔実施態様3〕
実施態様3は、上記実施態様2におけるバンプ形状の形成方法について、
加熱硬化型シリコーン樹脂と希釈剤と針形状導電フィラーを含有する導電ペーストを電極上にスクリーン印刷して後、2段階以上の温度上昇プロファイルにて加熱硬化することによりバンプを形成することである。
[Embodiment 3]
Embodiment 3 is a method for forming a bump shape in Embodiment 2 above.
A bump is formed by screen-printing a conductive paste containing a heat-curable silicone resin, a diluent, and a needle-shaped conductive filler on the electrode, and then heat-curing with two or more temperature rise profiles.

〔実施態様4〕
実施態様4は、上記実施態様2におけるゴム状弾性を有する樹脂が、紫外線硬化性及び湿気硬化性を併せ持ったシリコーン樹脂であることである。
〔作 用〕
ゴム状弾性樹脂として紫外線硬化性と湿気硬化性とを有するシリコーン樹脂を利用するものであるから、硬化時間を短縮することができ、また接合のための加熱が不要であるから、加熱することが許されない電子部品でも弾性導電バンプを用いて電気的接合をすることができる。
[Embodiment 4]
Embodiment 4 is that the resin having rubber-like elasticity in Embodiment 2 is a silicone resin having both ultraviolet curable properties and moisture curable properties.
[Work]
Since a silicone resin having ultraviolet curable properties and moisture curable properties is used as a rubber-like elastic resin, the curing time can be shortened, and heating for bonding is not required, so heating can be performed. Even electronic parts that are not allowed can be electrically bonded using elastic conductive bumps.

〔解決手段3〕
解決手段3は、上記課題7を解決するための手段であり、
ゴム状弾性樹脂と針形状導電フィラーを含む弾性導電樹脂に金属箔を付設して弾性導電体を構成したことである。
〔作 用〕
ゴム状弾性樹脂と針形状導電フィラーを含む弾性導電樹脂に金属箔を付設したことによって弾性導電樹脂に単独で保形性が与えられる。したがって、量産性の高いスクリーン印刷と加熱リフロー工程によって、低コストで低抵抗、高弾力性のおわん型バンプを一つの部品として形成することが可能であり、これを所定の構造体等に後付けすることが可能である。
[Solution 3]
Solution means 3 is means for solving the above problem 7;
That is, an elastic conductor is configured by attaching a metal foil to an elastic conductive resin including a rubber-like elastic resin and a needle-shaped conductive filler.
[Work]
By attaching the metal foil to the elastic conductive resin containing the rubber-like elastic resin and the needle-shaped conductive filler, the elastic conductive resin can be given shape retention alone. Therefore, it is possible to form a low-resistance, low-elasticity, high-elasticity bump type bump as a single component by screen printing and a heat reflow process with high productivity, and this is retrofitted to a predetermined structure or the like. It is possible.

〔実施態様1〕
実施態様1は、解決手段3による金属箔付き弾性導電体の製造方法であって、金属箔上に弾性導電樹脂を所定の厚みで一面に塗工した後硬化させ、裁断することにより、所定の弾性導電体を形成することである。
[Embodiment 1]
Embodiment 1 is a method for producing an elastic conductor with a metal foil according to Solution 3, wherein an elastic conductive resin is coated on a metal foil with a predetermined thickness on one side, cured, and cut to obtain a predetermined Forming an elastic conductor.

この発明の効果は、各請求項毎に次のように整理される。
1.請求項1に係る発明の効果
アスペクト比の高い導電フィラーを用いることにより高導電性を得るためのフィラー含有量を低減でき、ゴム状弾性樹脂とを組み合わせることにより弾力性に富んだ導電樹脂が得られる。
2.請求項2に係る発明の効果
針形状フィラーのコア材としてウイスカーを利用することから、径が小さく高アスペクト比の導電フィラーを容易に製作でき、弾性導電樹脂の微細化も可能となる。
また、高分子ウイスカーを使用することから導電フィラーの比重を低減でき、ゴム状弾性樹脂中の導電フィラー沈殿を防止できるので、弾性導電体の体積抵抗率の安定化が図れる。
The effects of the present invention are organized as follows for each claim.
1. Effect of Invention According to Claim 1 By using a conductive filler having a high aspect ratio, the filler content for obtaining high conductivity can be reduced, and a conductive resin rich in elasticity can be obtained by combining with a rubber-like elastic resin. It is done.
2. Effect of the Invention According to Claim 2 Since whiskers are used as the core material of the needle-shaped filler, a conductive filler having a small diameter and a high aspect ratio can be easily manufactured, and the elastic conductive resin can be made finer.
Moreover, since the polymer whisker is used, the specific gravity of the conductive filler can be reduced and precipitation of the conductive filler in the rubber-like elastic resin can be prevented, so that the volume resistivity of the elastic conductor can be stabilized.

次いで、図面を参照して、実施例を説明する。
〔実施例1〕
ゴム状弾性樹脂の代表格であるシリコーン樹脂に針形状導電フィラーを含有させた導電性ゴム状弾性樹脂の体積抵抗率とゴム硬度(JIS A)を図1、図2にそれぞれ示している。この実施例で使用したシリコーン樹脂は加熱硬化型でゴム硬度(JIS A)28のものである。また、針形状導電フィラーとしては無機化合物ウイスカーにAgめっきを施したものを使用しており、フィラー径が約0.5μm、フィラー長が約20μmのものを使用した。
ゴム状弾性樹脂に針形状導電フィラーを混入させて混練して、十分に分散させることにより、図1に示すとおりフレーク状フィラーを含有した場合よりも高い導電性が得られ、また、図2に示すとおりゴム硬度を低くすることができる。
Next, examples will be described with reference to the drawings.
[Example 1]
The volume resistivity and rubber hardness (JIS A) of a conductive rubber-like elastic resin in which a needle-shaped conductive filler is contained in a silicone resin, which is a typical rubber-like elastic resin, are shown in FIGS. 1 and 2, respectively. The silicone resin used in this example is a thermosetting type and has a rubber hardness (JIS A) of 28. Further, as the needle-shaped conductive filler, an inorganic compound whisker with Ag plating was used, and a filler having a filler diameter of about 0.5 μm and a filler length of about 20 μm was used.
By mixing the needle-shaped conductive filler into the rubber-like elastic resin and kneading and sufficiently dispersing, higher conductivity than that obtained when the flaky filler is contained is obtained as shown in FIG. As shown, the rubber hardness can be lowered.

〔実施例2〕
上記の導電性ゴム状弾性樹脂をバンプ状に形成し、メカニカル接触させることにより、電子部品と基板とを電気的に接続させる接合構造を図3に示している。この導電性ゴム状弾性樹脂によるバンプは、図2、図1に示すとおり、圧縮力に対する変形能力が高く、高導電性を確保することができることから、エリアアレイ状に多数形成した電極接合においても低加重にて安定した接触を確保することができ、したがって、バンプを形成した電子部品を基板上に押圧保持させる保持構造を簡略化できる。
この弾性導電樹脂でバンプ径0.5mmφ、バンプ高さ0.15mmのバンプ状に形成した一つの弾性導電バンプについて、その圧縮変形特性と接触抵抗を、径:0.5mmφの圧子ツールにて、加重9.8〜490mNで繰り返し加重をかけて評価した。この場合の繰り返し変形量と針状フィラー混合比(wt%)との関係は図5に示すとおりであり、針状フィラーを40wt%添加したときの圧縮変形特性を、その代表的なデータとして図4に示している。これから、繰り返し圧縮に対する変位量が安定していて、その間、ほぼ弾性変形していることが明らかである。
また、Au電極に対して加重490mNにてこの弾性導電バンプを押しつけたときの接触抵抗と針状フィラー混合比(wt%)との関係は図6に示すとおりである。
[Example 2]
FIG. 3 shows a joint structure for electrically connecting the electronic component and the substrate by forming the conductive rubber-like elastic resin in a bump shape and bringing it into mechanical contact. As shown in FIG. 2 and FIG. 1, the bump made of the conductive rubber-like elastic resin has a high deformability against compressive force and can ensure high conductivity. Therefore, even in electrode bonding formed in a large number of area arrays. A stable contact can be ensured at a low load, and therefore the holding structure for pressing and holding the electronic component on which the bump is formed on the substrate can be simplified.
For one elastic conductive bump formed into a bump shape with a bump diameter of 0.5 mmφ and a bump height of 0.15 mm with this elastic conductive resin, its compression deformation characteristics and contact resistance were measured with an indenter tool with a diameter of 0.5 mmφ. Evaluation was performed with repeated weighting at a weighting of 9.8 to 490 mN. The relationship between the amount of repeated deformation and the needle filler mixing ratio (wt%) in this case is as shown in FIG. 5, and the compression deformation characteristics when 40 wt% of the needle filler is added are shown as representative data. 4 shows. From this, it is clear that the amount of displacement against repeated compression is stable and substantially elastically deformed during that time.
Further, the relationship between the contact resistance and the needle filler mixture ratio (wt%) when this elastic conductive bump is pressed against the Au electrode at a load of 490 mN is as shown in FIG.

以上の評価結果から、低加重で変形するとともに繰り返し圧縮に対しても安定した弾性変形特性が保持され、また接触抵抗も低レベルであることが明らかである。
なお、針形状導電フィラーの配合比については、上記評価結果を参照して、要求される弾性変形量および接触抵抗値に応じて適宜選択することができる。
また、この弾性導電バンプは、メカニカル接触式の導通部材であるから、弾性導電バンプを形成した電子部品は簡単に脱着される。したがって、電子部品の再使用が可能であり、電子部品リユースへの展開も可能となる。
From the above evaluation results, it is clear that the elastic deformation characteristics that are stable with respect to repeated compression are maintained, and that the contact resistance is also at a low level.
In addition, about the compounding ratio of a needle-shaped electrically conductive filler, it can select suitably according to the amount of elastic deformation requested | required and a contact resistance value with reference to the said evaluation result.
Further, since the elastic conductive bump is a mechanical contact type conductive member, the electronic component on which the elastic conductive bump is formed can be easily attached and detached. Therefore, the electronic component can be reused and the electronic component can be reused.

〔実施例3〕
ゴム状弾性を有する樹脂にテトラポット型の導電フィラーを含有させた弾性導電樹脂をバンプ状に形成した例を図7に示している。このテトラポット型導電フィラー21は正4面体の重心から各4頂点に向かって成長した酸化亜鉛結晶体を各種金属(例えばAu、Ag、Ni、Cu)で被覆して導電性を付与したものである。この例のテトラポット型導電フィラー21の平均針状部長は20μm、平均針状基部径は1μm程度である。このテトラポット型導電フィラー21をゴム状弾性樹脂に混入させた導電性弾性体で形成した弾性導電バンプ20はバンプ表面に導電フィラーの針部が無数に突き出している。この弾性導電バンプ20に対向電極を押し当てると弾性導電バンプは変形し、その際バンプ表面から突き出している針部が対向電極の表面をすべる。このため、対向電極の表面が酸化あるいは汚れが付着していてもこれが排除され、針部先端が対向電極の導電表面に確実に当接するので、接合部の接触抵抗が安定することになる。
Example 3
FIG. 7 shows an example in which an elastic conductive resin in which a tetrapot type conductive filler is contained in a resin having rubber-like elasticity is formed in a bump shape. This tetrapot type conductive filler 21 is made by coating a zinc oxide crystal grown from the center of gravity of a regular tetrahedron toward the four vertices with various metals (for example, Au, Ag, Ni, Cu) to provide conductivity. is there. In this example, the tetrapod-type conductive filler 21 has an average needle-like length of 20 μm and an average needle-like base diameter of about 1 μm. The elastic conductive bump 20 formed of a conductive elastic body in which the tetrapot type conductive filler 21 is mixed with a rubber-like elastic resin has numerous conductive filler needles protruding from the bump surface. When the counter electrode is pressed against the elastic conductive bump 20, the elastic conductive bump is deformed, and the needle portion protruding from the bump surface slides on the surface of the counter electrode. For this reason, even if the surface of the counter electrode is oxidized or contaminated, it is eliminated, and the tip of the needle part reliably contacts the conductive surface of the counter electrode, so that the contact resistance of the joint is stabilized.

〔実施例4〕
弾性導電バンプの断面形状が、その先端が緩やかに細くなった形状であれば、先端部分が細い分だけ圧縮力に対する変形量が大きいので、バンプ全体の圧縮力に対するバンプの変形量を大きくすることができる。これにより、バンプ高さばらつきに対する許容範囲が更に大きくなる。図8に示す実施例ではバンプの断面形状をおわん型としているが円錐形状にしても同様の効果がある。ここで、バンプのアスペクト比において0.1以下とすると弾性導電バンプの圧縮変形量を確保できないため、複数電極での電気的接続を安定に確保することができなくなるとともに、1.0以上となると弾性導電バンプの倒れが生じて接触抵抗のばらつきが拡大し、また隣接電極との接触を招いてしまう可能性が生じる。
Example 4
If the cross-sectional shape of the elastic conductive bump is a shape with its tip gradually narrowed, the amount of deformation of the bump against the compressive force of the entire bump should be increased because the amount of deformation of the bump is large by the amount of the tip. Can do. This further increases the tolerance for bump height variation. In the embodiment shown in FIG. 8, the bump has a bowl shape in cross section, but the same effect can be obtained by forming a conical shape. Here, if the bump aspect ratio is 0.1 or less, the amount of compressive deformation of the elastic conductive bumps cannot be secured, so that it is impossible to stably secure electrical connection with a plurality of electrodes, and when the aspect ratio is 1.0 or more. There is a possibility that the elastic conductive bump collapses and the variation of the contact resistance is increased, and contact with the adjacent electrode is caused.

次に、低コストでおわん型の弾性導電バンプを形成するための材料および製造方法について説明する。
この弾性導電樹脂が十分なゴム弾性を有するものであれば、必要な弾性を確保しつつ、樹脂配合比を高くすることができる。他方、ゴム弾性を有する樹脂として加熱硬化型シリコーン樹脂を用い、更に希釈剤を加えることにより、十分なゴム弾性が確保される。この場合、電極上への弾性導電樹脂供給形状が不定形でも、加熱硬化時の高温環境初期で粘度が低くなることから、樹脂および希釈剤の表面張力が作用して、おわん型のバンプが形成されるので、問題はない。したがって、弾性導電樹脂をスクリーン印刷方式にて電極上に供給することによって、能率的におわん型弾性導電バンプを形成することができる。ただし、希釈剤を含んでいるので、いきなり完全硬化温度まで昇温して硬化させるとボイドを巻き込み、このために高抵抗化を招いてしまう恐れがあるので、初期の段階で完全硬化温度よりも低い温度で加熱し、希釈剤をゆっくり飛ばして後、本硬化温度まで昇温し硬化させることが必要である。
Next, a material and a manufacturing method for forming a bowl-shaped elastic conductive bump at a low cost will be described.
If this elastic conductive resin has sufficient rubber elasticity, the resin compounding ratio can be increased while ensuring the necessary elasticity. On the other hand, sufficient rubber elasticity is ensured by using a thermosetting silicone resin as the resin having rubber elasticity and further adding a diluent. In this case, even if the shape of the elastic conductive resin supply on the electrode is indefinite, the viscosity becomes low at the beginning of the high temperature environment during heat curing, so the surface tension of the resin and diluent acts to form a bowl-shaped bump. So there is no problem. Accordingly, by supplying the elastic conductive resin onto the electrodes by the screen printing method, it is possible to efficiently form the bowl-shaped elastic conductive bump. However, since it contains a diluent, if it is suddenly heated to the full curing temperature and cured, voids may be involved and this may lead to higher resistance. It is necessary to heat at a low temperature, slowly blow off the diluent, then raise the temperature to the main curing temperature and cure.

〔実施例5〕
金属箔を付加した弾性導電体の実施例を図9に示している。この実施例における弾性導電樹脂は上記の実施例と異なるものではなく、その片面側に金属箔22を付加している。この金属箔22はCu箔のみでも良いが、弾性導電樹脂30aとの接触抵抗を低減するため、金属箔22の表層にAu、Agめっきが施されていることが望ましい。この金属箔付き弾性導電体30は弾性導電樹脂を直接電極に供給してバンプを形成することが困難な3次元構造体等に弾性導電バンプを形成する場合に有効なものであり、一つの部品として形成して後、これを3次元構造体等に後付けすることが可能である。後付け方法として、はんだ付けや導電性接着剤による接合等を利用することができる。ここで、金属箔のない弾性導電体を電極に接合するに際しては、はんだ付けができないこと、また、弾性樹脂の接着濡れ性が悪いことから、導電性接着剤による接着接合に十分な強度が確保することができないが、金属箔をつけることでこの問題は簡単に解消される。
Example 5
An embodiment of an elastic conductor to which a metal foil is added is shown in FIG. The elastic conductive resin in this embodiment is not different from the above embodiment, and a metal foil 22 is added to one side thereof. The metal foil 22 may be a Cu foil alone, but it is desirable that the surface layer of the metal foil 22 be plated with Au or Ag in order to reduce the contact resistance with the elastic conductive resin 30a. This elastic conductor 30 with metal foil is effective when elastic conductive bumps are formed on a three-dimensional structure or the like where it is difficult to form elastic bumps by directly supplying elastic conductive resin to the electrodes. Then, it can be retrofitted to a three-dimensional structure or the like. As a post-installation method, soldering, joining with a conductive adhesive, or the like can be used. Here, when joining an elastic conductor without a metal foil to an electrode, it cannot be soldered, and the adhesive wettability of the elastic resin is poor, so sufficient strength for adhesive bonding with a conductive adhesive is secured. It is not possible to do this, but this problem can be solved easily by applying metal foil.

〔実施例6〕
次いで、図10を参照して金属箔付き弾性導電体の製造方法について説明する。
金属箔22上に弾性導電樹脂30aを所定の厚みに塗工し、硬化させる。硬化方法はゴム状弾性樹脂の種類に応じて加熱硬化法、湿気硬化法など適宜の方法が採用される。硬化後、弾性導電樹脂と金属箔を一括してカットして、所要のサイズに裁断して、金属箔付き弾性導電体を作成することができる。なお、金属箔の裏面側にUV照射することにより粘着力が失われる粘着テープを予め貼りつけておき、裁断時にこの粘着テープ部を残してカットすることで、カット後の弾性導電体がバラけることを回避することができる。使用時には裏面から使用部のみUV照射して、金属箔付き弾性導電体を取り外すことが可能であるから、作業性が大幅に向上する。
Example 6
Next, a method for producing an elastic conductor with a metal foil will be described with reference to FIG.
The elastic conductive resin 30a is applied to a predetermined thickness on the metal foil 22 and cured. As a curing method, an appropriate method such as a heat curing method or a moisture curing method is employed depending on the type of the rubber-like elastic resin. After curing, the elastic conductive resin and the metal foil can be cut together and cut to a required size to create an elastic conductor with metal foil. In addition, the adhesive tape that loses the adhesive strength by UV irradiation on the back side of the metal foil is attached in advance, and the elastic conductor after cutting is broken by leaving the adhesive tape portion at the time of cutting. You can avoid that. At the time of use, only the used part is irradiated with UV from the back surface, and the elastic conductor with metal foil can be removed, so that workability is greatly improved.

〔実施例7〕
この実施例7の弾性導電樹脂は、導電性フィラーの含有量を少なくしても高導電性が得られること、フィラー形状が針形状をしていることから、フレーク状フィラーを含有した時よりも光が内層まで入り込むことであり、ゴム状弾性樹脂として紫外線硬化性と湿気硬化性を有するシリコーン樹脂により構成している。具体的な材料としてはスリーボンド製紫外線硬化性シリコーン樹脂3164を使用でき、電極上に弾性導電樹脂を供給して後、紫外線を照射することにより内部まで完全硬化する。または、表層のみを硬化後、常温常湿環境で保管し、湿気硬化機能を活用することで、完全硬化させることもできる。両硬化工程においても少なくとも表層近傍の完全な硬化が短時間に完了するとともに、加熱を必要としないから、これにより加熱できない電子部品に弾性導電体を形成することが可能である。
Example 7
The elastic conductive resin of this Example 7 can obtain high conductivity even if the content of the conductive filler is reduced, and the filler shape is needle-shaped, so that it is more than when flaky filler is contained. The light penetrates to the inner layer, and the rubber-like elastic resin is composed of a silicone resin having ultraviolet curing properties and moisture curing properties. As a specific material, an ultraviolet curable silicone resin 3164 manufactured by ThreeBond can be used. After an elastic conductive resin is supplied onto the electrode, it is completely cured to the inside by irradiation with ultraviolet rays. Alternatively, after curing only the surface layer, it can be stored in a normal temperature and humidity environment and fully cured by utilizing the moisture curing function. Even in both curing steps, complete curing at least near the surface layer is completed in a short time and heating is not required, so that an elastic conductor can be formed on an electronic component that cannot be heated.

なお、以上の実施例で説明した他、針状フィラーとしては、コア材としての金属ウイスカー、炭酸カルシウムウイスカー及びチタン酸カリウムウイスカー等の無機ウイスカーの表層に金属被覆した導電性フィラーを使用することが可能であり、また、ゴム状樹脂としてはシリコーン樹脂に限らず、ゴム状弾性を有する樹脂であれば、いずれも使用することが可能である。   In addition, as described in the above embodiment, as the needle filler, it is possible to use a conductive filler that is metal-coated on the surface layer of an inorganic whisker such as a metal whisker, a calcium carbonate whisker, and a potassium titanate whisker as a core material. The rubber-like resin is not limited to the silicone resin, and any resin having rubber-like elasticity can be used.

は、導電フィラー配合比と弾性導電樹脂の体積抵抗率との関係をグラフで示す図である。These are figures which show the relationship between a conductive filler compounding ratio and the volume resistivity of elastic conductive resin with a graph. は、導電フィラー配合比と弾性導電樹脂のゴム硬度との関係のグラフを示す図である。These are figures which show the graph of the relationship between a conductive filler compounding ratio and the rubber hardness of an elastic conductive resin. は、弾性導電バンプの接合構造を拡大して模式的に示す断面図である。These are sectional drawings which expand and show typically the joining structure of an elastic conductive bump. は、弾性導電バンプの繰り返し圧縮変形特性のグラフを示す図である。These are figures which show the graph of the repeated compression deformation characteristic of an elastic conductive bump. は、針状フィラー配合比と弾性導電バンプの繰り返し変形量との関係のグラフを示す図である。These are figures which show the graph of the relationship between a needle filler compounding ratio and the amount of repeated deformations of an elastic conductive bump. は、針状フィラー配合比と弾性導電バンプの接触抵抗との関係のグラフを示す図である。These are figures which show the graph of the relationship between the acicular filler compounding ratio and the contact resistance of an elastic conductive bump. は、実施例の弾性導電バンプを拡大して模式的に示す正面図である。These are the front views which expand and show the elastic conductive bump of an Example typically. は、おわん状バンプ形成方法の一例を模式的に示す図である。These are figures which show typically an example of the bowl-shaped bump formation method. (a)は、金属箔付き弾性導電体の構造等を模式的に示す図であり、(b)は、金属箔付き弾性導電体の使い方を模式的に示す図である。(A) is a figure which shows typically the structure of an elastic conductor with metal foil, etc., (b) is a figure which shows the usage of an elastic conductor with metal foil typically. は、金属箔付き弾性導電体の作り方を模式的に示す図である。These are figures which show typically how to make the elastic conductor with metal foil. は、従来例の断面図である。These are sectional drawings of a prior art example. は、他の従来例の断面図である。These are sectional drawings of other conventional examples.

符号の説明Explanation of symbols

20:弾性導電バンプ
21:テトラポット型導電フィラー
22:金属箔
30:弾性導電体
30a:弾性導電樹脂
20: Elastic conductive bump 21: Tetrapot type conductive filler 22: Metal foil 30: Elastic conductor 30a: Elastic conductive resin

Claims (2)

ゴム状弾性を有する樹脂と、針形状フィラーの表層をAu、Ag、Ni又はCuで被覆した導電フィラーと、を含む弾性導電樹脂において、
前記針形状フィラーの径が0.5〜2.0μm、かつフィラー長が10〜100μmの範囲にあることを特徴とする弾性導電樹脂。
In an elastic conductive resin comprising a resin having rubber-like elasticity and a conductive filler in which a surface layer of a needle-shaped filler is coated with Au, Ag, Ni, or Cu,
An elastic conductive resin, wherein the needle-shaped filler has a diameter of 0.5 to 2.0 μm and a filler length of 10 to 100 μm.
請求項1において、針形状フィラーのコア材が高分子ウイスカーであることを特徴とする弾性導電樹脂。   The elastic conductive resin according to claim 1, wherein the core material of the needle-shaped filler is a polymer whisker.
JP2008094868A 2008-04-01 2008-04-01 Electrically-conductive elastic resin Pending JP2008179834A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008094868A JP2008179834A (en) 2008-04-01 2008-04-01 Electrically-conductive elastic resin

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008094868A JP2008179834A (en) 2008-04-01 2008-04-01 Electrically-conductive elastic resin

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002210181A Division JP2004051755A (en) 2002-07-18 2002-07-18 Elastic electrical conductive resin and elastic electrical conductive joint structure

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2008179834A true JP2008179834A (en) 2008-08-07

Family

ID=39723954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008094868A Pending JP2008179834A (en) 2008-04-01 2008-04-01 Electrically-conductive elastic resin

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2008179834A (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8173723B2 (en) 2008-12-10 2012-05-08 Cheil Industries Inc. EMI/RFI shielding resin composite material and molded product made using the same
DE102011101579A1 (en) * 2011-05-12 2012-11-15 Otto Bock Healthcare Gmbh Conductive polymer material, its use and process for its preparation

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61228065A (en) * 1985-04-01 1986-10-11 Nippon Chem Ind Co Ltd:The Electrically conductive high polymer composition
JPH0260945A (en) * 1988-08-29 1990-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Conductive resin composition
JPH02168698A (en) * 1988-09-08 1990-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Conductive resin film and manufacture thereof
JPH0491167A (en) * 1990-08-03 1992-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electrically conductive resin composition
JPH05194856A (en) * 1991-09-05 1993-08-03 Otsuka Chem Co Ltd Conductive elastomer composition
JPH09169872A (en) * 1995-01-27 1997-06-30 Rogers Corp Elastomer foam filled with conductive fiber and its production

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61228065A (en) * 1985-04-01 1986-10-11 Nippon Chem Ind Co Ltd:The Electrically conductive high polymer composition
JPH0260945A (en) * 1988-08-29 1990-03-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd Conductive resin composition
JPH02168698A (en) * 1988-09-08 1990-06-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd Conductive resin film and manufacture thereof
JPH0491167A (en) * 1990-08-03 1992-03-24 Matsushita Electric Ind Co Ltd Electrically conductive resin composition
JPH05194856A (en) * 1991-09-05 1993-08-03 Otsuka Chem Co Ltd Conductive elastomer composition
JPH09169872A (en) * 1995-01-27 1997-06-30 Rogers Corp Elastomer foam filled with conductive fiber and its production

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8173723B2 (en) 2008-12-10 2012-05-08 Cheil Industries Inc. EMI/RFI shielding resin composite material and molded product made using the same
DE102011101579A1 (en) * 2011-05-12 2012-11-15 Otto Bock Healthcare Gmbh Conductive polymer material, its use and process for its preparation
DE102011101579B4 (en) * 2011-05-12 2015-03-05 Otto Bock Healthcare Gmbh Use of conductive polymer material for medical and orthopedic applications
US9589698B2 (en) 2011-05-12 2017-03-07 Otto Bock Healthcare Gmbh Conductive polymer material, use of same, and a method for the production of same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2004051755A (en) Elastic electrical conductive resin and elastic electrical conductive joint structure
JP6932110B2 (en) Heteroconductive film and connecting structures
US5624268A (en) Electrical connectors using anisotropic conductive films
TWI431746B (en) Semiconductor device
WO2001086716A1 (en) Semiconductor device mounting circuit board, method of producing the same, and method of producing mounting structure using the same
CN1185698C (en) Semiconductor device and manufacture method thereof, circuit board and electronic apparatus
TWI752515B (en) Anisotropically conductive film, method for producing the same, and connecting structure using the anisotropically conductive film and method for producing the same
KR102182945B1 (en) Bump-forming film, semiconductor device, manufacturing method thereof, and connection structure
JPWO2008047918A1 (en) Electronic device package structure and package manufacturing method
JPWO2008136419A1 (en) Semiconductor device, manufacturing method, and repair method
US20110266033A1 (en) Multilayer board
JP3436170B2 (en) Anisotropic conductive film, semiconductor device using the same, and method of manufacturing the same
JP2006108523A (en) Method of connecting electrical component using anisotropic conductive film
KR100629663B1 (en) Semiconductor device and fabrication process thereof
JP2005093826A (en) Connection structure using conductive adhesive and manufacturing method therefor
JP2008192984A (en) Semiconductor device and method of manufacturing the same
JP2008179834A (en) Electrically-conductive elastic resin
JP2010251336A (en) Anisotropic conductive film and method for manufacturing connection structure using the same
KR100874540B1 (en) Anisotropic Conductive Adhesive Capsule
JP5561174B2 (en) Conductive resin composition, method of manufacturing electronic component using the same, bonding method, bonding structure, and electronic component
US20100123258A1 (en) Low Temperature Board Level Assembly Using Anisotropically Conductive Materials
JP4735378B2 (en) Electronic component mounting structure and manufacturing method thereof
JP2020123631A (en) Flexible wiring board
JP2020123632A (en) Flexible wiring board
JPH06136332A (en) Anisotropically conductive adhesive

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Effective date: 20110712

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Effective date: 20111114

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

A02 Decision of refusal

Effective date: 20120416

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02