JP2008130966A - 欠陥レビュー方法および装置 - Google Patents
欠陥レビュー方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008130966A JP2008130966A JP2006316903A JP2006316903A JP2008130966A JP 2008130966 A JP2008130966 A JP 2008130966A JP 2006316903 A JP2006316903 A JP 2006316903A JP 2006316903 A JP2006316903 A JP 2006316903A JP 2008130966 A JP2008130966 A JP 2008130966A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- defect
- image
- map
- display
- image list
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2200/00—Indexing scheme for image data processing or generation, in general
- G06T2200/24—Indexing scheme for image data processing or generation, in general involving graphical user interfaces [GUIs]
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】検査装置とレビュー装置から出力されたデータを処理し、同じ検査条件あるいは検査条件を変えて複数回検査した結果の欠陥マップと、その画像一覧とを並べて表示し、かつ、両者の欠陥をリンクさせ、所望の欠陥が検出できているか、大量の画像データから確認・判定する事が出来る欠陥レビュー方法および装置を提供する。
【選択図】図7
Description
Claims (20)
- 被検体の外観を検査する外観検査装置で得られた情報に基いて前記被検体の欠陥をレビューするレビュー装置を用いた欠陥レビュー方法において、
前記被検体の検査領域における欠陥の存在を明示する欠陥マップを画面上に表示するステップ、
この欠陥マップ内の多数の欠陥に対応して用意された欠陥画像表示面を並べた欠陥画像一覧を、前記欠陥マップと並べて画面上に表示するステップ、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥を指定する操作入力信号を受付けるステップ、
前記欠陥画像一覧中における任意の欠陥に対応する表示面を指定する操作信号を受付けるステップ、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥を指定する信号を受付けたとき、前記欠陥画像一覧中における、指定された欠陥に対応する表示面を、他の欠陥の表示画面と区別して表示する画像区別表示ステップ、および
前記欠陥画像一覧中の任意の欠陥を指定する信号を受付けたとき、前記欠陥マップ上における指定された欠陥を、他の欠陥と区別して表示するマップ欠陥の区別表示ステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。 - 請求項1において、前記画像区別表示ステップは、画面の表示範囲外に見えない指定された欠陥に対応する表示面を、画面の表示範囲内へ移動するステップを含むことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記マップ欠陥の区別表示ステップは、前記欠陥マップ上で、対応する欠陥を点滅表示するステップを含むことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の表示面における任意の欠陥を指示する入力を受付けるステップと、この任意欠陥指示入力を受付けたとき、前記欠陥画像一覧の表示面に、当該欠陥の拡大画像を表示するステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の表示面は、光学式レビュー装置によって得られた対応する欠陥の画像を表示することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の表示面は、SEM式レビュー装置によって得られた対応する欠陥の画像を表示することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の表示面は、対応する欠陥の欠陥成分分析スペクトルを表示することを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧には、検査装置で検出した欠陥にそれぞれ対応する欠陥の画像が縦横に並べられ、スクロールバーによりスクロールされることを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の各表示面に表示する画像を、前記検査装置によって得られた欠陥に関する画像か、または、前記レビュー装置によって得られた欠陥に関する画像かの選択入力を受付けるステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧の各表示面に表示する画像を、欠陥像か、または、参照像かの選択入力を受付けるステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥画像一覧に表示中の欠陥を、前記欠陥マップ上で他の欠陥と区別して表示するステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項11において、前記欠陥画像一覧に表示中の欠陥を、前記欠陥マップ上で他の欠陥よりも大きく表示するステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 請求項1において、前記欠陥マップの非表示または前記欠陥画像一覧の拡大表示を要求する入力を受付けるステップと、この要求を受付けたとき、前記欠陥マップの表示を取り消すとともに、前記欠陥画像一覧を拡大して表示するステップを備えたことを特徴とする欠陥レビュー方法。
- 被検体の外観を検査する外観検査装置で得られた情報に基いて前記被検体の欠陥をレビューする欠陥レビュー装置において、
画面上に表示され、前記被検体の検査領域における欠陥の存在を明示する欠陥マップ表示手段と、
この欠陥マップと並べて画面上に表示され、この欠陥マップ内の多数の欠陥の画像を拡大して並べた欠陥画像一覧表示手段と、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥を指定する手段と、
前記欠陥画像一覧中における任意の欠陥画像を指定する手段と、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥が指定されたとき、前記欠陥画像一覧中における、指定された欠陥に対応する欠陥の画像を、他の欠陥の表示画面と区別して表示する画像区別表示手段と、
前記欠陥画像一覧中の任意の欠陥が指定されたとき、前記欠陥マップ上における、指定された欠陥に対応する欠陥を、他の欠陥と区別して表示するマップ欠陥の区別表示手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。 - 請求項14において、前記画像区別表示手段は、画面の表示範囲外に見えない指定された欠陥に対応する表示面を、画面の表示範囲内へ移動する手段を含むことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項14において、前記マップ欠陥の区別表示手段は、前記欠陥マップ上で、対応する欠陥を点滅表示する手段を含むことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項14において、前記欠陥画像一覧の表示面における任意の欠陥画像の拡大を指示する入力を受付ける拡大指示入力受付手段と、この任意欠陥に対する拡大指示入力を受付けたとき、前記欠陥画像一覧の表示面に、当該欠陥の拡大画像を表示する拡大画像表示手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項14において、前記欠陥画像一覧表示手段は、前記検査装置で検出した欠陥にそれぞれ対応する欠陥の画像を縦横に並べて表示する手段と、スクロールバーにより前記欠陥画像一覧をスクロール表示する手段を含むことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 請求項14において、前記欠陥画像一覧の各表示面に表示する画像を、前記検査装置によって得られた欠陥に関する画像か、または、前記レビュー装置によって得られた欠陥に関する画像かの選択入力手段と、前記欠陥画像一覧の各表示面に表示する画像を、欠陥像か、または、参照像かの選択入力手段と、これら選択入力に応じて、対応する表示に切り替える手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
- 被検体の外観を検査する外観検査装置で得られた情報に基いて前記被検体の欠陥をレビューする欠陥レビュー装置において、
画面上に表示され、前記被検体の検査領域における欠陥の存在を明示する欠陥マップ表示手段と、
この欠陥マップと並べて画面上に表示され、この欠陥マップ内の多数の欠陥の画像を拡大して縦横に並べて表示する欠陥画像一覧表示手段と、
スクロールバーにより前記欠陥画像一覧をスクロールするスクロール表示手段と、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥を指定する手段と、
前記欠陥マップ上の任意の欠陥が指定されたとき、前記欠陥画像一覧中における、画面の表示範囲外に見えない指定された欠陥に対応する表示面を、画面の表示範囲内へ移動する表示面移動手段と、
前記欠陥画像一覧中における任意の欠陥画像を指定する手段と、
前記欠陥画像一覧中の任意の欠陥が指定されたとき、前記欠陥マップ上における、指定された欠陥に対応する欠陥を点滅表示するマップ欠陥の点滅表示手段と、
前記欠陥画像一覧の表示面における任意の欠陥画像の拡大を指示する入力を受付ける拡大指示入力受付手段と、
この任意欠陥に対する拡大指示入力を受付けたとき、前記欠陥画像一覧の表示面に、当該欠陥の拡大画像を表示する拡大画像表示手段を備えたことを特徴とする欠陥レビュー装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006316903A JP4976112B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 欠陥レビュー方法および装置 |
TW096141497A TWI369751B (en) | 2006-11-24 | 2007-11-02 | A method of reviewing defects and an apparatus thereon |
US11/984,721 US20080123936A1 (en) | 2006-11-24 | 2007-11-21 | Method of reviewing defects and an apparatus thereon |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006316903A JP4976112B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 欠陥レビュー方法および装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008130966A true JP2008130966A (ja) | 2008-06-05 |
JP4976112B2 JP4976112B2 (ja) | 2012-07-18 |
Family
ID=39463764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006316903A Active JP4976112B2 (ja) | 2006-11-24 | 2006-11-24 | 欠陥レビュー方法および装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080123936A1 (ja) |
JP (1) | JP4976112B2 (ja) |
TW (1) | TWI369751B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011061047A (ja) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥レビュー支援装置,欠陥レビュー装置および検査支援装置 |
WO2013046843A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 画像分類支援を行う荷電粒子線装置 |
WO2018179890A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009272497A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi High-Technologies Corp | レシピパラメータ管理装置およびレシピパラメータ管理方法 |
JP2009270976A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥レビュー方法および欠陥レビュー装置 |
TW201310561A (zh) * | 2011-08-30 | 2013-03-01 | Rexchip Electronics Corp | 晶圓缺陷分析及缺陷原因的尋找方法 |
FR2980870B1 (fr) * | 2011-10-03 | 2013-09-20 | Accelonix | Procede d'agencement d'images pour l'inspection de cartes electroniques, systeme associe |
CN113310997A (zh) * | 2021-07-30 | 2021-08-27 | 苏州维嘉科技股份有限公司 | Pcb板缺陷确认方法、装置、自动光学检测设备及储存介质 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004177139A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 検査条件データ作成支援プログラム及び検査装置及び検査条件データ作成方法 |
WO2006044426A2 (en) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Computer-implemented methods and systems for classifying defects on a specimen |
JP2006170907A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン検査装置 |
JP2006310551A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査支援システム、及び方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6259960B1 (en) * | 1996-11-01 | 2001-07-10 | Joel Ltd. | Part-inspecting system |
JP4583680B2 (ja) * | 2001-09-28 | 2010-11-17 | パナソニック株式会社 | 固体撮像装置 |
US6959251B2 (en) * | 2002-08-23 | 2005-10-25 | Kla-Tencor Technologies, Corporation | Inspection system setup techniques |
US7606409B2 (en) * | 2004-11-19 | 2009-10-20 | Hitachi High-Technologies Corporation | Data processing equipment, inspection assistance system, and data processing method |
JP4699873B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-06-15 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 欠陥データ処理及びレビュー装置 |
-
2006
- 2006-11-24 JP JP2006316903A patent/JP4976112B2/ja active Active
-
2007
- 2007-11-02 TW TW096141497A patent/TWI369751B/zh active
- 2007-11-21 US US11/984,721 patent/US20080123936A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004177139A (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-24 | Renesas Technology Corp | 検査条件データ作成支援プログラム及び検査装置及び検査条件データ作成方法 |
WO2006044426A2 (en) * | 2004-10-12 | 2006-04-27 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Computer-implemented methods and systems for classifying defects on a specimen |
JP2006170907A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン検査装置 |
JP2006310551A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Hitachi High-Technologies Corp | 検査支援システム、及び方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011061047A (ja) * | 2009-09-11 | 2011-03-24 | Hitachi High-Technologies Corp | 欠陥レビュー支援装置,欠陥レビュー装置および検査支援装置 |
WO2013046843A1 (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-04 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 画像分類支援を行う荷電粒子線装置 |
US9280814B2 (en) | 2011-09-29 | 2016-03-08 | Hitachi High-Technologies Corporation | Charged particle beam apparatus that performs image classification assistance |
WO2018179890A1 (ja) * | 2017-03-30 | 2018-10-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム |
JP2018170418A (ja) * | 2017-03-30 | 2018-11-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 検査システム、ウエハマップ表示器、ウエハマップ表示方法、およびコンピュータプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI369751B (en) | 2012-08-01 |
JP4976112B2 (ja) | 2012-07-18 |
US20080123936A1 (en) | 2008-05-29 |
TW200834776A (en) | 2008-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4699873B2 (ja) | 欠陥データ処理及びレビュー装置 | |
JP4976112B2 (ja) | 欠陥レビュー方法および装置 | |
US6973209B2 (en) | Defect inspection system | |
JP2004294358A (ja) | 欠陥検査方法および装置 | |
US8041443B2 (en) | Surface defect data display and management system and a method of displaying and managing a surface defect data | |
JP4774383B2 (ja) | データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
US20080226158A1 (en) | Data Processor and Data Processing Method | |
JP4741936B2 (ja) | データ処理装置,検査作業支援システム、およびデータ処理方法 | |
JP4652917B2 (ja) | 欠陥データ処理方法、およびデータの処理装置 | |
JP2003098112A (ja) | 薄膜デバイスの表面画像の検出・出力方法及びその装置並びにそれを用いた薄膜デバイスの製造方法及びその製造装置 | |
JP2002277412A (ja) | 検査画面の表示方法及び基板検査システム | |
JP6049052B2 (ja) | ウエハ外観検査装置及びウエハ外観検査装置における感度しきい値設定方法 | |
JP2015004641A (ja) | ウエハ外観検査装置 | |
JP4374381B2 (ja) | 検査支援システム,データ処理装置、およびデータ処理方法 | |
JP2001305075A (ja) | 外観検査装置 | |
JP2018091771A (ja) | 検査方法、事前画像選別装置及び検査システム | |
JP2009168476A (ja) | 欠陥検査方法、及び欠陥検査システム | |
JP2000097871A (ja) | レビュー装置 | |
JP2011029324A (ja) | レシピ更新方法およびレシピ更新システム | |
JP4857155B2 (ja) | データ処理装置,検査システム、およびデータ処理方法 | |
JP4436523B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP5291419B2 (ja) | データ処理装置及びデータ処理方法並びにこれを用いた検査作業支援システム | |
JP5039594B2 (ja) | レビュー装置,検査領域設定支援システム、および、欠陥の画像得方法 | |
JP2008215827A (ja) | 外観検査装置の確認画面表示方法 | |
JP2003270159A (ja) | 物体検査装置及び物体検査用コンピュータプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20081212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120113 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120410 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120412 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4976112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150420 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |