JP2008112985A - 露光装置、および当該露光装置を用いた半導体装置の作製方法 - Google Patents
露光装置、および当該露光装置を用いた半導体装置の作製方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】フォトリソグラフィ工程における露光用光源として発振周波数が1MHz以上のパルス発振型のレーザ光を出力する固体レーザを用いて露光を行う。その結果、レーザ光が照射される被照射面の露光のばらつきを抑えることができる。
【選択図】図1
Description
(実施の形態1)
図10で示すSRAMの回路配置の他の一例を図16に示す。図16は、半導体層とゲート電極層と、3層の配線層で形成されるSRAMである。nチャネル型トランジスタが形成される半導体層1601、1602と、pチャネル型トランジスタが形成される半導体層1603、1604が設けられている。これに対して、ゲート配線層として機能するゲート電極層1605、1606、1607、1608が絶縁層を介して設けられている。それにより、nチャネル型トランジスタN1、N2、pチャネル型トランジスタP1、P2、及びスイッチS1、S2が形成されている。
本発明を用いて作製した半導体装置を用いてさまざまな電子機器を完成することができる。その具体例を、図20、図21を用いて説明する。
102 ビーム光学系
103 ミラー
104 フォトマスク
105 投影光学系
106 基板ステージ
107 基板
108 レンズ
109 投影レンズ
301 レジスト
302 レーザ光
501 領域
502 レジスト
601 領域
602 レジスト
801 レーザ光
901 レーザ光
902 マスクパターン
903 マスクパターン
1001 インバータ
1002 インバータ
1100 基板
1101 第1絶縁層
1102 半導体層
1103 第2絶縁層
1104 半導体層
1106 第1配線層
1108 第1配線層
1110 第1配線層
1112 第2配線層
1114 第2配線層
1116 第2配線層
1118 第2配線層
1120 第2配線層
1122 第2配線層
1124 マスク層
1126 サイドスペーサ
1128 サイドスペーサ
1130 p型不純物領域
1131 低濃度ドレイン領域
1132 n型不純物領域
1133 低濃度ドレイン領域
1134 第3絶縁層
1136 第4絶縁層
1138 マスク層
1601 半導体層
1602 半導体層
1603 半導体層
1604 半導体層
1605 ゲート電極層
1606 ゲート電極層
1607 ゲート電極層
1608 ゲート電極層
1610 第1配線層
1612 第1配線層
1614 第1配線層
1616 第1配線層
1618 第1配線層
1620 第1配線層
1622 第1配線層
1624 第1配線層
1626 第1配線層
1628 第1配線層
1630 第2配線層
1632 第2配線層
1634 第2配線層
1636 第2配線層
1638 第2配線層
1640 第3配線層
1650 マスク層
1652 密着層
1654 埋込導電層
1656 第5絶縁層
1658 第6絶縁層
1660 第7絶縁層
1662 第8絶縁層
1664 第9絶縁層
2001 筐体
2002 支持台
2003 表示部
2004 スピーカー部
2005 ビデオ入力端子
2011 筐体
2012 表示部
2013 キーボード
2014 外部接続ポート
2015 ポインティングマウス
2111 筐体
2112 表示部
2113 レンズ
2114 操作キー
2115 シャッター
2116 メモリ
2121 筐体
2122 表示部
2123 操作キー
2124 センサ部
2125 メモリ
2130 本体
2131 表示部
2132 メモリ部
2133 操作部
2134 イヤホン
Claims (28)
- 露光工程におけるレーザ光源としてパルス発振型のレーザ光を用い、
前記レーザ光を、マスクを介して被照射面に照射するための露光装置において、
前記レーザ光源には、固体レーザが用いられており、
前記レーザ光の発振周波数は、1MHz以上であることを特徴とする露光装置。 - 露光工程におけるレーザ光源としてパルス発振型のレーザ光を用い、
前記レーザ光を、マスクを介して被照射面に照射するための露光装置において、
前記レーザ光源には、固体レーザが用いられており、
前記レーザ光の発振周波数は、5MHz以上であることを特徴とする露光装置。 - 露光工程におけるレーザ光源としてパルス発振型のレーザ光を用い、
前記レーザ光を、マスクを介して被照射面に照射するための露光装置において、
前記レーザ光源には、固体レーザが用いられており、
前記レーザ光の発振周波数は、50MHz以上であることを特徴とする露光装置。 - 露光工程におけるレーザ光源としてパルス発振型のレーザ光を用い、
前記レーザ光を、マスクを介して被照射面に照射するための露光装置において、
前記レーザ光源には、固体レーザが用いられており、
前記レーザ光の発振周波数は、80MHz以上であることを特徴とする露光装置。 - 請求項1乃至4のいずれか一項において、前記マスクは透明基板上に遮光膜によるパターンを形成したフォトマスクまたはレチクルであることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至4のいずれか一項において、前記マスクはホログラム又は計算機合成ホログラムであることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/100以下であることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/200以下であることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至6のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/500以下であることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至9のいずれか一項において、前記レーザ光は、前記被照射面と相対的に移動させながら、前記被照射面を走査することを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至10のいずれか一項において、前記被照射面は、基板上に形成されたレジスト表面、若しくは感光性ポリイミドまたは感光性アクリルの感光性樹脂の表面であることを特徴とする露光装置。
- 請求項1乃至11のいずれか一項において、前記レーザ光のビーム形状は、線状であることを特徴とする露光装置。
- 基板上のレジスト膜にパルス発振型のレーザ光を照射することにより、露光工程を行う半導体装置の作製方法において、
前記レーザ光のレーザ光源には、固体レーザを用い、
前記レーザ光は、発振周波数を1MHz以上とすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上のレジスト膜にパルス発振型のレーザ光を照射することにより、露光工程を行う半導体装置の作製方法において、
前記レーザ光のレーザ光源には、固体レーザを用い、
前記レーザ光は、発振周波数を5MHz以上とすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上のレジスト膜にパルス発振型のレーザ光を照射することにより、露光工程を行う半導体装置の作製方法において、
前記レーザ光のレーザ光源には、固体レーザを用い、
前記レーザ光は、発振周波数を50MHz以上とすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 基板上のレジスト膜にパルス発振型のレーザ光を照射することにより、露光工程を行う半導体装置の作製方法において、
前記レーザ光のレーザ光源には、固体レーザを用い、
前記レーザ光は、発振周波数を80MHz以上とすることを特徴とする半導体装置の作製方法。 - 請求項13乃至16のいずれか一項において、前記露光工程は、マスクとして、透明基板上に遮光膜によるパターンを形成したフォトマスクまたはレチクルを用いて行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至16のいずれか一項において、前記露光工程は、マスクとして、ホログラム又は計算機合成ホログラムを用いて行われることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至18のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/100以下であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至18のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/200以下であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至18のいずれか一項において、前記レーザ光のパルス幅は、前記レーザ光の一周期における1/500以下であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至21のいずれか一項において、1パルス毎に移動する距離は0.1μm以下であり、且つスキャン速度の最大値は5cm/sec以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至21のいずれか一項において、1パルス毎に移動する距離は0.01μm以下であり、且つスキャン速度の最大値は5cm/sec以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至21のいずれか一項において、パルス間の重畳率が99.9%以上であり、且つスキャン速度の最大値は5cm/sec以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至21のいずれか一項において、パルス間の重畳率が99.99%以上であり、且つスキャン速度の最大値は5cm/sec以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至21のいずれか一項において、パルス間の重畳率が99.999%以上であり、且つスキャン速度の最大値は5cm/sec以上であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至26のいずれか一項において、前記レーザ光を前記被照射面に対し、相対的に移動させながら前記被照射面を走査させることを特徴とする半導体装置の作製方法。
- 請求項13乃至27のいずれか一項において、前記レーザ光のビーム形状は、線状であることを特徴とする半導体装置の作製方法。
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