JP2008087344A - 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液滴吐出ヘッド100は、底壁が振動板8を形成し、液滴を溜めて吐出させる吐出室7が形成されたキャビティ基板3と、振動板8にギャップ18を隔てて対向し、振動板8を駆動する個別電極17が形成されており、個別電極17に接続し個別電極17に電圧を印加するドライバIC15を搭載した電極基板4とを備え、キャビティ基板3には、ドライバIC15を収容するための第1の開口(貫通穴24)が貫通形成されており、第1の開口の壁面にSiO2 83を成膜した。
【選択図】図5
Description
図1は、本発明の実施の形態に係る液滴吐出ヘッド100を分解した状態を示す分解斜視図である。図1に基づいて、液滴吐出ヘッド100の構成について説明する。また、図1は、ドライバIC15に駆動信号を供給するためのFPC(Flexible Printed Circuit)30の一部を含めて示している。
電極基板4は、たとえば、厚さ1mmのホウ珪酸ガラス等のガラスを主要な材料として形成するとよい。ここでは、電極基板4がホウ珪酸ガラスで形成されている場合を例に示すが、たとえば、電極基板4を単結晶シリコンで形成してもよい。この電極基板4の表面には、後述するキャビティ基板3の吐出室7の形状に合わせた凹部(ガラス溝)12が形成されている。この凹部12は、たとえばエッチングにより深さ0.3μmで形成するとよい。
キャビティ基板3は、たとえば厚さ約50μm(マイクロメートル)の(110)面方位のシリコン単結晶基板(以下、単にシリコン基板という)を主要な材料として構成されている。このシリコン基板にドライエッチングまたは異方性ウエットエッチングのいずれかあるいは双方を行い、底壁が可撓性を有する振動板8となる吐出室(または、圧力室)7が複数形成されている。この吐出室7は、個別電極17の電極列に対応して形成されており、インク等の液滴が保持されて吐出圧が加えられるようになっている。
リザーバ基板2は、たとえば単結晶シリコンを主要な材料としており、各吐出室7にインク等の液滴を供給するためのリザーバ10が各吐出室7に共通して形成されている。このリザーバ10の底面には、リザーバ10から吐出室7へ液滴を移送するための供給口9が各吐出室7の位置に合わせて形成されている。また、リザーバ10の底面には、リザーバ10の底面を貫通するインク供給孔11が形成されている。
ノズル基板1は、たとえば厚さ100μmのシリコン基板を主要な材料としており、各々のノズル連通孔6と連通する複数のノズル孔5が形成されている。そして、各ノズル孔5は、各ノズル連通孔6から移送された液滴を外部に吐出するようになっている。なお、ノズル孔5を複数段で形成すると、液滴を吐出する際の直進性の向上が期待できる。ここでは、ノズル孔5を有するノズル基板1を上面とし、電極基板4を下面として説明するが、実際に用いられる場合には、ノズル基板1の方が電極基板4よりも下面となることが多い。
Claims (10)
- 吐出室が形成され、前記吐出室の底壁が振動板となるキャビティ基板と、
前記振動板にギャップを隔てて対向し、前記振動板を駆動する個別電極が形成されており、前記個別電極に接続し、前記個別電極に電圧を印加するドライバICを搭載した電極基板とを備え、
前記キャビティ基板には、
前記ドライバICを収容するための第1の開口が貫通形成されており、
前記第1の開口の壁面に絶縁膜を成膜した
ことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 前記電極基板には、前記個別電極を駆動するための信号を供給するフレキシブルプリント基板を実装するためのFPC実装部が形成されており、
前記キャビティ基板には、
前記FPC実装部に対応する第2の開口が形成されており、
前記絶縁膜を前記第2の開口の壁面にも成膜した
ことを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。 - 前記キャビティ基板には、
前記個別電極と前記振動板との間に形成されるギャップを外気と遮断する封止部を形成するための封止材を封入する封止穴が形成されており、
前記封止穴の壁面にも絶縁膜を成膜した
ことを特徴とする請求項1または2に記載の液滴吐出ヘッド。 - 前記絶縁膜が酸化シリコン膜である
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド。 - 前記請求項1〜4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを搭載した
ことを特徴とする液滴吐出装置。 - 吐出室が形成され、前記吐出室の底壁が振動板となり、前記吐出室に連通する液体流路が形成されるシリコン基板に、前記振動板にギャップを隔てて対向し、前記振動板を駆動する個別電極が形成された電極基板を接合した後、前記シリコン基板に前記液体流路を形成する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
前記シリコン基板の一方の面に、前記電極基板に搭載され、前記個別電極に接続し前記個別電極に電圧を印加するドライバICを収容するための第1の凹部と、前記個別電極を駆動する信号を供給するフレキシブルプリント基板を実装するために前記電極基板に形成されたFPC実装部に対応する第2の凹部とを形成し、
その後、前記シリコン基板の前記第1の凹部及び前記第2の凹部が形成されている側の面に絶縁膜を成膜してから、前記シリコン基板と前記電極基板とを陽極接合する
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記シリコン基板と前記電極基板とを陽極接合してから、
前記個別電極と前記振動板との間に形成されるギャップを外気と遮断する封止部を形成するための封止材を封入する封止穴を前記シリコン基板に形成する
ことを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記封止穴を封止した後に、
前記シリコン基板を所定の厚さに研磨して前記第1の凹部及び前記第2の凹部を開口する
ことを特徴とする請求項7に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記シリコン基板の前記第1の凹部及び前記第2の凹部を開口した後に、
該シリコン基板の表面に絶縁膜を形成し、
それから、前記シリコン基板に前記液体流路を形成する
ことを特徴とする請求項8に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法。 - 前記請求項6〜9のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法を含む
ことを特徴とする液滴吐出装置の製造方法。
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