JP2007206015A - Lithium leakage detector, and lithium leakage detecting method - Google Patents

Lithium leakage detector, and lithium leakage detecting method Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To quickly and precisely detect lithium leakage. <P>SOLUTION: The lithium leakage detector has: pulse laser irradiation means 3, 5 for plasmatizing a surface deposit substance deposited on a surface of a base material of a measuring object 8, by irradiating the surface of the measuring object convergingly with a laser beam, so as to generate fluorescence; imaging-focusing optical systems 10, 11, 12, 13, 14, 15 for collecting the fluorescence to be image-focused on fluorescence detectors; the fluorescence detectors 18a, 18b for detecting the image-focused fluorescence; and analytical means 19, 20 for detecting lithium by analyzing the detected fluorescence. A laser irradiation energy density is brought into 100 mJ/mm<SP>2</SP>or less in the pulse laser irradiation means, and the imaging-focusing optical systems image-focus 4 mm of range along a direction perpendicular to the surface of the measuring object on the fluorescence detectors. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、電池の電解液などとして使われているリチウムまたはリチウム化合物の漏洩を光学的に検知する装置および方法に関する。   The present invention relates to an apparatus and method for optically detecting leakage of lithium or a lithium compound used as a battery electrolyte or the like.

リチウムおよびリチウム化合物は電池の電解液などとして広く使われているが、電気伝導度が高く、電解液漏洩が発生した不良品を使用すると機械の故障を起こす要因となる。したがって出荷前に電解液漏洩を正確に検知し、不良品を弁別、排除する必要があるが、現状ではリチウムを高精度に検知することは困難で、目視による検査が主体となっている(たとえば特許文献1、2参照)。しかし、リチウム電池の需要増加に伴い、生産ラインにおける検査速度および信頼性の向上の要求があり、これに対応するためには、現状では検査人員を増加する必要がある。   Lithium and lithium compounds are widely used as battery electrolytes, etc., but their electrical conductivity is high, and if defective products with electrolyte leakage are used, they can cause machine failure. Therefore, it is necessary to accurately detect electrolyte leakage before shipment and discriminate and eliminate defective products. However, at present, it is difficult to detect lithium with high accuracy, and visual inspection is mainly used (for example, (See Patent Documents 1 and 2). However, with increasing demand for lithium batteries, there is a demand for improved inspection speed and reliability in the production line. In order to meet this demand, it is necessary to increase the number of inspection personnel at present.

また、リチウム電池などの2次電池の電解液漏洩を検知する技術として、電解液に反応する光や紫外線などを照射して、これによって発生する蛍光を検出する技術が知られている(たとえば特許文献3、4、5参照)。   In addition, as a technique for detecting leakage of an electrolyte in a secondary battery such as a lithium battery, a technique for detecting fluorescence generated by irradiating light or ultraviolet light that reacts with the electrolyte is known (for example, a patent) References 3, 4, and 5).

ここで、オンライン可能なリチウム漏洩検知手段として、レーザー誘起ブレイクダウン分光分析法(LIBS法:Laser Induced Breakdown Spectroscopy法)という手法がある。このLIBS法は、レーザーを測定試料に照射することによってプラズマを発生させ、その発光スペクトルから試料中に含まれる元素を検出するもので、この方法はアルカリ金属検出に高感度であり、リチウムは特に高感度であることが知られている。
特開平10−172618号公報 特開平8−162126号公報 特開2001−297799号公報 特開2002−246072号公報 特開2000−310596号公報
Here, there is a technique called laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS: Laser Induced Breakdown Spectroscopy) as an on-line lithium leakage detection means. In this LIBS method, plasma is generated by irradiating a measurement sample with a laser, and elements contained in the sample are detected from the emission spectrum. This method is highly sensitive to alkali metal detection. It is known to be highly sensitive.
Japanese Patent Laid-Open No. 10-172618 JP-A-8-162126 JP 2001-297799 A JP 2002-246072 A JP 2000-310596 A

微少な電解液の漏洩を測定するために、照射するエネルギー密度を上げることで感度を向上させることは可能であるが、エネルギー密度を上げるとアブレーションによる母材の損傷が大きくなり、製品の外観および性能を損ねる可能性がある。したがって、照射するレーザー強度については必要最低限に抑えなければならない。   In order to measure the leakage of minute electrolytes, it is possible to improve the sensitivity by increasing the energy density to be irradiated. However, increasing the energy density increases the damage to the base material due to ablation. There is a possibility of impairing performance. Therefore, the laser intensity to be irradiated must be minimized.

本発明は上述した課題を解決するためになされたものであり、リチウムまたはリチウム化合物を迅速かつ高精度に検出することが可能な、リチウム漏洩検知装置およびリチウム漏洩検知方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object thereof is to provide a lithium leakage detection device and a lithium leakage detection method capable of detecting lithium or a lithium compound quickly and with high accuracy. To do.

上記目的を達成するため、本発明に係るリチウム漏洩検知装置は、測定対象物の表面にパルスレーザー光を集光照射することにより測定対象物の母材の表面に付着した表面付着物質をプラズマ化して蛍光を発生させるパルスレーザー照射手段と、前記蛍光を収集して蛍光検出器上に結像させる結像光学系と、前記結像された蛍光を検出する蛍光検出器と、前記検出された蛍光を分析することによりリチウムを検出する分析手段と、を有し、前記パルスレーザー照射手段は、レーザー照射エネルギー密度を100mJ/mm以下とし、前記結像光学系は測定対象物の表面に対して垂直方向に4mmの範囲を前記蛍光検出器上へ結像させるものであること、を特徴とする。 In order to achieve the above object, the lithium leakage detection apparatus according to the present invention converts the surface adhering substance adhering to the surface of the base material of the measurement object into plasma by condensing and irradiating the surface of the measurement object with pulsed laser light. Pulse laser irradiation means for generating fluorescence, an imaging optical system for collecting the fluorescence and imaging it on a fluorescence detector, a fluorescence detector for detecting the imaged fluorescence, and the detected fluorescence And an analyzing means for detecting lithium by analyzing the laser, the pulse laser irradiating means has a laser irradiation energy density of 100 mJ / mm 2 or less, and the imaging optical system is connected to the surface of the object to be measured. An image of a range of 4 mm in the vertical direction is formed on the fluorescence detector.

また、本発明に係るリチウム漏洩検知方法は、測定対象物の表面にパルスレーザー光を集光照射することにより測定対象物の母材の表面に付着した表面付着物質をプラズマ化して蛍光を発生させるパルスレーザー照射ステップと、前記蛍光を収集して結像させる結像ステップと、前記結像された蛍光を検出する蛍光検出ステップと、前記検出された蛍光を分析することによりリチウムを検出する分析ステップと、を有し、前記パルスレーザー照射ステップはレーザー照射エネルギー密度を100mJ/mm以下とし、前記結像ステップは測定対象物の表面に対して垂直方向に4mmの範囲を結像させるものであること、を特徴とする。 In addition, the method for detecting lithium leakage according to the present invention generates fluorescence by converting the surface-attached substance attached to the surface of the base material of the measurement object into plasma by condensing and irradiating the surface of the measurement object with pulsed laser light. A pulse laser irradiation step, an imaging step for collecting and imaging the fluorescence, a fluorescence detection step for detecting the imaged fluorescence, and an analysis step for detecting lithium by analyzing the detected fluorescence In the pulse laser irradiation step, the laser irradiation energy density is set to 100 mJ / mm 2 or less, and the imaging step forms an image in a range of 4 mm in a direction perpendicular to the surface of the measurement object. It is characterized by this.

本発明によれば、測定条件および体系の最適化を行うことにより、照射領域の拡大と1パルス当たりの測定精度および信頼性が向上し、リチウムまたはリチウム化合物を迅速かつ高精度に検出することができる。   According to the present invention, by optimizing the measurement conditions and system, the irradiation area can be expanded, the measurement accuracy and reliability per pulse can be improved, and lithium or lithium compounds can be detected quickly and accurately. it can.

以下、図面を参照して本発明の実施形態を説明する。ここで、相互に同一または類似の部分には共通の符号を付して重複説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Here, the same or similar parts are denoted by common reference numerals, and redundant description is omitted.

まず、図1ないし図7を用いて第1の実施形態を説明する。本実施形態のリチウム漏洩検知装置は、レーザー電源1と、発振タイミング調整器2と、レーザー発振器3と、レーザー光を測定場所へ伝送する光ファイバー4とレーザー光を試料上に整形照射する光学系6a、6bを具備する照射ヘッド5と、試料移送装置9と、プラズマからの発光を伝送するライトガイド11と、波長選択素子16a、16bと、蛍光検出器(光電子増倍管)18a、18bと、信号処理判定装置20を有する。   First, the first embodiment will be described with reference to FIGS. The lithium leak detection apparatus of this embodiment includes a laser power source 1, an oscillation timing adjuster 2, a laser oscillator 3, an optical fiber 4 for transmitting laser light to a measurement location, and an optical system 6a for shaping and irradiating the laser light on a sample. , 6b, a sample transfer device 9, a light guide 11 that transmits light emitted from plasma, wavelength selection elements 16a and 16b, fluorescence detectors (photomultiplier tubes) 18a and 18b, A signal processing determination device 20 is included.

試料8は移送装置9により測定場所へ移送される。レーザー発振器3より発振したレーザー光は、光ファイバー4により試料8の上部へ導かれ、照射ヘッド5により、試料表面上に漏洩検知したい範囲をカバーできる形にビーム形状が調整され、照射される。この時、試料表面のレーザー照射位置において、アブレーションによる表面付着物質のプラズマ7が発生する。このプラズマ7からの発光はレンズ10によりライトガイド11上に結像される。   The sample 8 is transferred to the measurement place by the transfer device 9. The laser light oscillated from the laser oscillator 3 is guided to the upper part of the sample 8 by the optical fiber 4, and the irradiation head 5 adjusts the beam shape so as to cover the range where leakage detection is desired, and is irradiated. At this time, plasma 7 of the surface adhering substance by ablation is generated at the laser irradiation position on the sample surface. Light emitted from the plasma 7 is imaged on the light guide 11 by the lens 10.

続いてレーザー照射エネルギーと試料上に刻まれる照射痕の外周高さ、内側深さ、及び蛍光強度の関係をプロットしたものが図2である。図2によれば、レーザー照射エネルギーを100mJ/mm以下にすることで、十分なLi蛍光強度が得られ、かつ、レーザーによる母材の照射痕の深さが−0.34以内、高さが1μm以内にすることが可能であり、板厚0.4mmの約1/1000以下の損傷で収まる。 Next, FIG. 2 is a plot of the relationship between the laser irradiation energy and the outer peripheral height, inner depth, and fluorescence intensity of the irradiation mark engraved on the sample. According to FIG. 2, by setting the laser irradiation energy to 100 mJ / mm 2 or less, sufficient Li fluorescence intensity can be obtained, and the depth of the irradiation mark of the base material by the laser is within −0.34, the height Can be made within 1 μm, and can be accommodated by damage of about 1/1000 or less of the plate thickness of 0.4 mm.

また図3は、Al板上にビーム直径0.7mm、エネルギー密度55mJ/mmのレーザー光を照射した時にできたプラズマを横からカメラで撮影した画像をデジタル変換し、発光強度を色(明暗)別に表示させたものである。ピーク強度が10%以下になる範囲は水平方向でビーム径+1.5mm程度、垂直方向で1.45mm程度の高さとなっている。レーザーの照射エネルギーを上げるとこの範囲は更に広がり、その範囲は母材種類や圧力条件などにより変化するが、大気圧レベルでは大きくても2倍程度の広がりである。これにレーザー照射ポイントの揺らぎ等を考慮すると、観測すべき領域は最大で、水平方向にビーム径+5mm以下、垂直方向に4mm以下であると予想される。 In addition, FIG. 3 shows a digital image of an image obtained by irradiating a laser beam having a beam diameter of 0.7 mm and an energy density of 55 mJ / mm 2 on an Al plate, and the emission intensity is changed to a color (light / dark). ) Displayed separately. The range where the peak intensity is 10% or less is a beam diameter of about +1.5 mm in the horizontal direction and a height of about 1.45 mm in the vertical direction. When the laser irradiation energy is increased, this range further expands, and this range varies depending on the type of the base material and the pressure condition, but at the atmospheric pressure level, it is about twice as large. If the fluctuation of the laser irradiation point is taken into consideration, the region to be observed is expected to be the maximum, the beam diameter +5 mm or less in the horizontal direction and 4 mm or less in the vertical direction.

ここで照射部付近を拡大したものを図4に示す。レーザー強度を100mJ/mm以下とし、大気中で照射した場合、プラズマは表面から4mm程広がるため、直径4mmの範囲を結像できるようにレンズ10の焦点距離とライトガイド11の受光面サイズを決めるものとする。ライトガイド11は、たとえばテーパー状のバンドル光ファイバーのように、入射部の受光面が大きく出射部ではファイバー12の受光面の大きさより小さいものとする。ライトガイド11を出射した光は光ファイバー12により光測定部へ導かれる。 FIG. 4 shows an enlarged view of the vicinity of the irradiated part. When the laser intensity is set to 100 mJ / mm 2 or less and irradiated in the atmosphere, the plasma spreads about 4 mm from the surface. Therefore, the focal length of the lens 10 and the size of the light receiving surface of the light guide 11 are set so that an image with a diameter of 4 mm can be formed. It shall be decided. The light guide 11 is assumed to have a large light-receiving surface at the incident portion and smaller than the light-receiving surface of the fiber 12 at the output portion, such as a tapered bundle optical fiber. The light emitted from the light guide 11 is guided to the light measurement unit by the optical fiber 12.

光ファイバー12より出射した光は、その広がりをレンズ13により平行化された後、ハーフミラー14およびミラー15により分割され光電子増倍管18a、18bに導かれる。光電子増倍管18a、18bにはそれぞれ、高圧電源17a、17bが接続されている。光電子増倍管18a、18bの前にはそれぞれ、干渉フィルター16a、16bを設置し、一方の透過波長はリチウムの蛍光波長である670.5nmあるいは610.4nmとし、他方の透過波長はリチウムの蛍光波長から10nm以上離すことが望ましい。光電子増倍管18a、18bからの信号はゲート機能付きの信号計測装置19によって計測される。測定ゲートは母材によって最適な設定とすることが望ましい。   The light emitted from the optical fiber 12 is collimated by a lens 13 and then divided by a half mirror 14 and a mirror 15 and guided to photomultiplier tubes 18a and 18b. High-voltage power supplies 17a and 17b are connected to the photomultiplier tubes 18a and 18b, respectively. Interference filters 16a and 16b are installed in front of the photomultiplier tubes 18a and 18b, respectively, and one of the transmission wavelengths is 670.5 nm or 610.4 nm, which is the fluorescence wavelength of lithium, and the other transmission wavelength is the fluorescence of lithium. It is desirable to keep the wavelength 10 nm or more away. Signals from the photomultiplier tubes 18a and 18b are measured by a signal measuring device 19 with a gate function. It is desirable to set the measurement gate to an optimum setting depending on the base material.

たとえば、図5はリチウムが付着したアルミニウムの時間波形である。図5によれば、母材がアルミニウムの場合にはバックグラウンドの減衰が比較的速いのでレーザー照射タイミングより0〜100μsの間に設けるとよいことがわかる。リチウム電池の容器材質がステンレス鋼の場合にはバックグラウンドの発光が強いため、バックグラウンドのピークを避けるために、ゲートを5μs以上遅らせることは感度を向上させる効果がある。判定装置20は信号計測装置19からの信号を取り込み、そのレベルによってリチウムの有無を判断する。たとえば、図6に示すように試料ごとのリチウム発光信号強度を測定し、図6のサンプルNo.20のように閾値を超えたものを不良品(漏洩あり)と判定する。   For example, FIG. 5 is a time waveform of aluminum with lithium attached. According to FIG. 5, it can be seen that when the base material is aluminum, the background attenuation is relatively fast, so that the base material is preferably provided between 0 and 100 μs from the laser irradiation timing. Since the background light emission is strong when the container material of the lithium battery is stainless steel, delaying the gate by 5 μs or more in order to avoid the background peak has the effect of improving the sensitivity. The determination device 20 takes in a signal from the signal measurement device 19 and determines the presence or absence of lithium according to the level. For example, as shown in FIG. 6, the lithium emission signal intensity for each sample is measured, and the sample No. in FIG. A product exceeding the threshold, such as 20, is determined as a defective product (with leakage).

図7を参照して測定手順フローの一例を説明する。初めに、新しい試料(測定対象物)をレーザー照射位置にセットする(ステップS1)。次に、レーザーを照射し(ステップS2)、蛍光強度を測定する(ステップS3)。その測定された蛍光強度が所定の閾値を超えているかどうかが判定装置20によって判定される(ステップS4)。   An example of a measurement procedure flow will be described with reference to FIG. First, a new sample (measurement object) is set at the laser irradiation position (step S1). Next, a laser is irradiated (step S2), and the fluorescence intensity is measured (step S3). Whether or not the measured fluorescence intensity exceeds a predetermined threshold value is determined by the determination device 20 (step S4).

蛍光強度が所定の閾値を超えている場合はリチウム漏洩有り(不良品)と判断され、不良品回収装置21が起動して(ステップS5)、試料は不良品として回収場所へ移動される(ステップS6)。蛍光強度が所定の閾値以下である場合は試料が次の工程へ送られる(ステップS7)。以上の各ステップは、試料を次々と取り替えて繰り返され、最後の試料が処理されるまで続けられる(ステップS8)。   When the fluorescence intensity exceeds a predetermined threshold value, it is determined that there is lithium leakage (defective product), the defective product collecting device 21 is activated (step S5), and the sample is moved to the collection place as a defective product (step). S6). If the fluorescence intensity is below a predetermined threshold, the sample is sent to the next process (step S7). Each of the above steps is repeated with the samples replaced one after another, and continues until the last sample is processed (step S8).

本実施の形態によれば、感度を向上させることにより1パルス当たりの照射エネルギーが低く抑えられ、それによって広範囲を一度に測定できるので、従来方法のように、一つの試料について複数箇所パルス照射する必要がなく、迅速にかつ確実に漏洩を検知することができる。   According to the present embodiment, the irradiation energy per pulse can be kept low by improving the sensitivity, and thereby a wide range can be measured at a time. Thus, as in the conventional method, a single sample is irradiated with a plurality of pulses. There is no need to detect leaks quickly and reliably.

次に、図8および図9を用いて第2の実施形態を説明する。この実施形態では、レーザー強度を100mJ/mm以下とし、大気中で照射した場合、プラズマはレーザーのスポット径D1より5mmほど広がるため、蛍光集光系(結像光学系)は図8に示すように試料表面に対し角度を持たせ、斜めから集光することで、空間的に広がる蛍光を一度に測定することができる。集光部を拡大したものを図9に示す。レーザースポット径をD1、蛍光集光系の光軸角度をθとしたとき、以下の式(1)が成り立つようにレンズ焦点距離およびライトガイド入射口径D2を決める。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. In this embodiment, when the laser intensity is 100 mJ / mm 2 or less and irradiation is performed in the atmosphere, the plasma spreads by about 5 mm from the laser spot diameter D1, so the fluorescence condensing system (imaging optical system) is shown in FIG. In this way, by providing an angle with respect to the sample surface and collecting light from an oblique direction, it is possible to measure spatially spread fluorescence at a time. FIG. 9 shows an enlarged view of the condensing part. When the laser spot diameter is D1 and the optical axis angle of the fluorescence condensing system is θ, the lens focal length and the light guide incident aperture D2 are determined so that the following expression (1) is satisfied.

D2≧(D1+5mm)sinθ×f2/f1 … (1)
本実施形態によれば、空間的に広がる蛍光を全て一度に測定することが可能になり、感度向上につながる。
D2 ≧ (D1 + 5 mm) sin θ × f2 / f1 (1)
According to this embodiment, it becomes possible to measure all the fluorescence which spreads spatially at once, and leads to an improvement in sensitivity.

次に、図10および図11を用いて第3の実施形態を説明する。本実施形態では、レーザー光伝送光ファイバー4は、図10に示すように、光ファイバーの出口でコアがリング状に並んでいるバンドル光ファイバー4aとする。図11に示すように、リング状の光ファイバー出射光を、試料上で適切な大きさに結像させて照射し、リング状のプラズマ7を発生させる。蛍光集光系は、リング状プラズマの直径をD1、蛍光集光系の光軸角度をθとしたとき、以下の式(2)が成り立つようにレンズ焦点距離およびライトガイド入射口径D2を決める。   Next, a third embodiment will be described with reference to FIGS. 10 and 11. In this embodiment, the laser light transmission optical fiber 4 is a bundle optical fiber 4a in which cores are arranged in a ring shape at the exit of the optical fiber, as shown in FIG. As shown in FIG. 11, a ring-shaped plasma 7 is generated by irradiating a ring-shaped optical fiber emission light with an appropriate size imaged on the sample. In the fluorescence condensing system, when the diameter of the ring-shaped plasma is D1 and the optical axis angle of the fluorescence condensing system is θ, the lens focal length and the light guide incident aperture D2 are determined so that the following expression (2) is established.

D2≧(D1+5mm)sinθ×f2/f1 … (2)
通常、コインタイプの電池ではOリング周辺が最も漏洩しやすい。したがって、Oリングの内側に沿ってリング状ビームを照射することにより感度向上が期待できる。
D2 ≧ (D1 + 5 mm) sin θ × f2 / f1 (2)
Usually, the coin-type battery is most likely to leak around the O-ring. Therefore, an improvement in sensitivity can be expected by irradiating the ring-shaped beam along the inside of the O-ring.

本実施形態によれば、検査したい場所を一度に照射することが可能になり、検査に必要な照射パルス数を減少させることが可能になる。   According to this embodiment, it is possible to irradiate a place to be inspected at a time, and it is possible to reduce the number of irradiation pulses necessary for the inspection.

次に、図120を用いて第4の実施形態を説明する。本実施形態は、ホモジナイザー40を用いてビームを矩形に整形したものを照射する。レーザービーム22は拡大レンズ23a、23bにより広げられ、シリンドリカルレンズアレイ24a、24bにより分割される。分割されたビームはレンズ25により試料8の表面上に重ね合わせて照射されることで矩形で、かつエネルギー密度が均一になる。集光光学系は矩形ビームの辺の大きさ+5mmの範囲を結像するように設計する。   Next, a fourth embodiment will be described with reference to FIG. In the present embodiment, a beam that has been shaped into a rectangle using the homogenizer 40 is irradiated. The laser beam 22 is expanded by magnifying lenses 23a and 23b and divided by cylindrical lens arrays 24a and 24b. The divided beams are irradiated by being superimposed on the surface of the sample 8 by the lens 25, so that the energy is uniform. The condensing optical system is designed so as to form an image in the range of the size of the side of the rectangular beam + 5 mm.

本実施形態によれば、測定対象が角型である場合に測定に必要な場所を一度に均一に照射することが可能となる。   According to the present embodiment, it is possible to uniformly irradiate a place necessary for measurement at a time when the measurement target is a square shape.

次に、図1および図13を用いて第5の実施形態を説明する。図13のようにプラズマ発光をハーフミラー14で二つに分割し、一方の波長選択素子としてリチウムの蛍光波長のみを通過させる干渉フィルターとし、もう一方の波長選択素子として母材に含まれる元素の発光波長のみを通過させるフィルターを用いる。図13(a)はリチウムの発光波長成分の強度を示し、図13(b)は母材であるアルミニウムの波長成分の信号強度を示している。図13(c)はリチウムの信号強度をアルミニウムの信号強度で割ったものを示す。   Next, a fifth embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 13. As shown in FIG. 13, plasma emission is divided into two by a half mirror 14, an interference filter that passes only the fluorescence wavelength of lithium as one wavelength selection element, and an element contained in the base material as another wavelength selection element. A filter that passes only the emission wavelength is used. FIG. 13A shows the intensity of the emission wavelength component of lithium, and FIG. 13B shows the signal intensity of the wavelength component of aluminum as the base material. FIG. 13 (c) shows the lithium signal intensity divided by the aluminum signal intensity.

図13(a)ではNo.20のサンプルが閾値を超えているが、図13(c)で比較すると他のサンプルと大きな違いはない。すなわち、プラズマ自体の発光強度が高くなった場合、見かけ上信号強度が高くなるが、実際にはリチウム量を反映したものではなく、誤判定の要因となる。したがって、母材に含まれる元素の発光強度との比率を判定に用いることで誤判定を防ぐことになる。   In FIG. Although 20 samples exceed the threshold, there is no significant difference from the other samples when compared in FIG. That is, when the emission intensity of the plasma itself is increased, the signal intensity is apparently increased, but it does not actually reflect the amount of lithium, and causes erroneous determination. Therefore, misjudgment is prevented by using the ratio with the emission intensity of the element contained in the base material for judgment.

本実施の形態によれば、判定精度を向上させることができる。   According to the present embodiment, the determination accuracy can be improved.

次に、図14および図15を用いて第6の実施形態を説明する。図14のように、発生したプラズマ7を集光レンズ10により集光し、CCDカメラ26によりプラズマをイメージ画像として測定する。波長成分を選択するためにリチウム蛍光波長のみを透過させる干渉フィルター16をレンズ10の前に設置する。CCDカメラ26はゲート付きCCDカメラとし、測定ゲートを母材によって最適な設定とすることで測定精度を向上させることが可能になる。CCDカメラ26によって撮影されたイメージ画像は画像処理装置27によってデータ処理され、その結果から判定装置20がリチウム漏洩の有無を判定する。   Next, a sixth embodiment will be described with reference to FIGS. 14 and 15. As shown in FIG. 14, the generated plasma 7 is condensed by the condenser lens 10, and the plasma is measured as an image image by the CCD camera 26. In order to select a wavelength component, an interference filter 16 that transmits only the lithium fluorescence wavelength is installed in front of the lens 10. The CCD camera 26 is a CCD camera with a gate, and the measurement accuracy can be improved by setting the measurement gate to an optimum setting depending on the base material. The image image taken by the CCD camera 26 is subjected to data processing by the image processing device 27, and the determination device 20 determines the presence or absence of lithium leakage from the result.

判定方法の一例を図15に示す。図15(a)に示すリング状の発光イメージ画像において照射ポイントを分割して各場所における信号強度を計算し、各スポットごとの信号強度をプロットすると、図15(b)のようなグラフになる。漏洩箇所が微小領域の場合には、信号を照射領域全体で平均化すると埋もれてしまう可能性がある。そこでイメージ画像で測定し、場所ごとの蛍光強度を評価することにより微小の漏洩も検出可能になる。   An example of the determination method is shown in FIG. When the signal intensity at each location is calculated by dividing the irradiation point in the ring-shaped light emission image shown in FIG. 15A, and the signal intensity for each spot is plotted, a graph as shown in FIG. 15B is obtained. . When the leaked portion is a minute region, the signal may be buried if the signal is averaged over the entire irradiation region. Therefore, it is possible to detect minute leaks by measuring with an image and evaluating the fluorescence intensity at each location.

したがって本実施の形態によれば、測定感度および判定精度を向上させることができる。   Therefore, according to the present embodiment, measurement sensitivity and determination accuracy can be improved.

次に、図16を用いて第7の実施形態を説明する。図16のようにノズル28から希ガスなどの不活性ガスをアシストガスとして照射部に噴射する。レーザーを照射しプラズマを発生させる場合に、アブレーションによって飛ばされた成分がレンズに付着して測定に悪影響を与える場合があるが、リチウムの発光ラインの近傍に発光波長を持たない不活性ガスを照射部に噴射することによって、レンズに付着することを防ぐことができる。たとえばアシストガスをヘリウムガスとし、ヘリウムガスボンベ29より出たヘリウムガスをノズル28により試料表面上に噴射する。   Next, a seventh embodiment will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 16, an inert gas such as a rare gas is injected from the nozzle 28 as an assist gas to the irradiation unit. When plasma is generated by irradiating a laser, the components blown off by ablation may adhere to the lens and adversely affect the measurement, but an inert gas having no emission wavelength is irradiated near the lithium emission line. By spraying on the part, it can be prevented from adhering to the lens. For example, the assist gas is helium gas, and the helium gas emitted from the helium gas cylinder 29 is injected onto the sample surface by the nozzle 28.

レーザーを照射することによって発生したプラズマ発光をハーフミラー14で二つに分割し、一方の波長選択素子としてリチウムの蛍光波長のみを通過させる第1のフィルター(干渉フィルター)を用い、もう一方の波長選択素子としてヘリウムガスに含まれる元素の発光波長のみを通過させる第2のフィルターを用いる。   Plasma emission generated by laser irradiation is divided into two by a half mirror 14, and a first filter (interference filter) that passes only the fluorescence wavelength of lithium is used as one wavelength selection element, and the other wavelength. A second filter that passes only the emission wavelength of the element contained in the helium gas is used as the selection element.

また、第5の実施形態では母材の蛍光強度によりプラズマの変動を校正したが、第7の実施形態ではアシストガスの蛍光強度を用いてプラズマ変動を校正することもできる。その判定方法を図17に示す。   Further, in the fifth embodiment, the plasma fluctuation is calibrated by the fluorescence intensity of the base material, but in the seventh embodiment, the plasma fluctuation can be calibrated by using the fluorescence intensity of the assist gas. The determination method is shown in FIG.

図17(a)はリチウムの発光波長成分の強度を示し、図17(b)はヘリウムガスに含まれる元素の波長成分の信号強度を示している。図17(c)はリチウムの信号強度をヘリウムガスの信号強度で割ったものを示す。図17(a)ではNo.20のサンプルが閾値を超えているが、図17(c)で比較すると他のサンプルと大きな違いはない。すなわち、プラズマ自体の発光強度が高くなった場合、見かけ上信号強度が高くなるが、実際にはリチウム量を反映したものではなく、誤判定の要因となる。母材に含まれる元素の発光強度との比率を判定に用いることで誤判定を防ぐことになる。   FIG. 17A shows the intensity of the emission wavelength component of lithium, and FIG. 17B shows the signal intensity of the wavelength component of the element contained in the helium gas. FIG. 17C shows the signal intensity of lithium divided by the signal intensity of helium gas. In FIG. Although 20 samples exceed the threshold, there is no significant difference from the other samples when compared in FIG. That is, when the emission intensity of the plasma itself is increased, the signal intensity is apparently increased, but it does not actually reflect the amount of lithium, and causes erroneous determination. An erroneous determination is prevented by using the ratio of the light emission intensity of the element contained in the base material for the determination.

本実施の形態によれば、判定精度を向上させることができる。   According to the present embodiment, the determination accuracy can be improved.

第8の実施形態では、漏洩検知の前の工程に水、エタノール等で試料を洗浄し、漏洩以外で付着したリチウムイオンを除去する工程を配置する。電池を組み立てる際に付着した微小量の電解液を検知してしまい、誤判定の原因となる可能性がある。そこで、本実施形態では漏洩検知の前の工程に水、エタノール等で洗浄し、漏洩以外で付着したリチウムイオンを除去する工程を配置することで、漏洩検知したい対象物のリチウムが漏洩を高感度で検出できるようにする。   In the eighth embodiment, a step of washing the sample with water, ethanol or the like and removing lithium ions attached other than leakage is arranged in the step before leakage detection. A minute amount of the electrolytic solution adhering when the battery is assembled may be detected, which may cause erroneous determination. Therefore, in this embodiment, the process before washing detection is performed with water, ethanol, etc., and the process of removing the lithium ions adhering to other than the leakage is arranged, so that the lithium of the object to be leaked is highly sensitive to leakage. So that it can be detected.

本実施の形態によれば、判定精度を向上させることができる。   According to the present embodiment, the determination accuracy can be improved.

本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第1の実施形態の模式的構成図。The typical block diagram of 1st Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. レーザー照射エネルギー密度と蛍光強度及び母材の照射痕の関係を示すグラフ。The graph which shows the relationship between a laser irradiation energy density, fluorescence intensity, and the irradiation trace of a base material. レーザーブレイクダウンプラズマの空間広がりを示すグラフ。Graph showing the spatial spread of laser breakdown plasma. 図1のレーザー照射部の模式的拡大斜視図。The typical expansion perspective view of the laser irradiation part of FIG. 図1の光電子増倍管の出力の時間波形を示すグラフであって、(a)は母材がアルミニウムの場合、(b)は母材がステンレス鋼の場合を示す特性図。It is a graph which shows the time waveform of the output of the photomultiplier tube of FIG. 1, Comprising: (a) is a characteristic figure which shows the case where a base material is aluminum, (b) shows the case where a base material is stainless steel. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第1の実施形態の動作例を説明する図であって、サンプルごとのリチウム蛍光信号強度を示すグラフ。It is a figure explaining the operation example of 1st Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention, Comprising: The graph which shows the lithium fluorescence signal intensity | strength for every sample. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第1の実施形態の操作手順例を示す手順フロー図。The procedure flow figure which shows the example of an operation procedure of 1st Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第2の実施形態の模式的構成図。The typical block diagram of 2nd Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 図8のレーザー照射部の模式的拡大斜視図。The typical expansion perspective view of the laser irradiation part of FIG. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第3の実施形態におけるレーザー光伝送用ファイバーの斜視図。The perspective view of the fiber for laser beam transmission in 3rd Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第3の実施形態におけるレーザー照射部の模式的斜視図。The typical perspective view of the laser irradiation part in 3rd Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第4の実施形態におけるホモジナイザーの構成例を示す模式的斜視図。The typical perspective view which shows the structural example of the homogenizer in 4th Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第5の実施形態の動作例を説明するためのグラフであって、(a)はリチウム蛍光信号強度、(b)はアルミニウム蛍光信号強度、(c)はリチウム蛍光信号強度とアルミニウム蛍光信号強度との比を表すグラフ。It is a graph for demonstrating the operation example of 5th Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention, Comprising: (a) is lithium fluorescence signal intensity | strength, (b) is aluminum fluorescence signal intensity | strength, (c) is lithium The graph showing the ratio of fluorescence signal intensity and aluminum fluorescence signal intensity. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第6の実施形態の模式的構成図。The typical block diagram of 6th Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第6の実施形態によるリチウム漏洩判定方法を示す図であって、(a)はリング状発光部を示す斜視図、(b)は各照射ポイントにおけるリチウム蛍光信号強度を示すグラフ。It is a figure which shows the lithium leak determination method by 6th Embodiment of the lithium leak detection apparatus based on this invention, Comprising: (a) is a perspective view which shows a ring-shaped light emission part, (b) is a lithium fluorescence signal in each irradiation point. A graph showing strength. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第7の実施形態の模式的構成図。The typical block diagram of 7th Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention. 本発明に係るリチウム漏洩検知装置の第7の実施形態の動作例を説明するためのグラフであって、(a)はリチウム信号強度、(b)はヘリウム信号強度、(c)はリチウム信号強度とヘリウム信号強度との比を表すグラフ。It is a graph for demonstrating the operation example of 7th Embodiment of the lithium leak detection apparatus which concerns on this invention, Comprising: (a) is lithium signal strength, (b) is helium signal strength, (c) is lithium signal strength. And a graph showing the ratio of helium signal intensity.

符号の説明Explanation of symbols

1:レーザー電源、2:タイミング調整器、3:パルスレーザー発振器(パルスレーザー照射手段)、4:光ファイバー(パルスレーザー照射手段)、5:照射ヘッド(パルスレーザー照射手段)、6a、6b:集光レンズ、7、7a、7b、7c:ブレイクダウンプラズマ、8:試料(測定対象物)、8a、8b、8c:Oリング、9:試料移送装置、10:蛍光集光レンズ(結像光学系)、11:ライトガイド(結像光学系)、12:光ファイバー(結像光学系)、13:レンズ、14:ハーフミラー、15:ミラー、16a、16b(結像光学系):干渉フィルター、17a、17b:高圧電源、18a、18b:光電子増倍管(蛍光検出器)、19:信号計測装置(分析手段)、20:判定装置(分析手段)、21:不良品回収装置、22:レーザービーム、23a、23b:ビーム拡大用レンズ、24a、24b:シリンドリカルレンズアレイ、25:集光レンズ、26:CCDカメラ、27:画像処理装置、28:ノズル、29:ヘリウムガスボンベ 1: laser power source, 2: timing adjuster, 3: pulse laser oscillator (pulse laser irradiation means), 4: optical fiber (pulse laser irradiation means), 5: irradiation head (pulse laser irradiation means), 6a, 6b: condensing Lens, 7, 7a, 7b, 7c: Breakdown plasma, 8: Sample (object to be measured), 8a, 8b, 8c: O-ring, 9: Sample transfer device, 10: Fluorescent condensing lens (imaging optical system) 11: Light guide (imaging optical system), 12: optical fiber (imaging optical system), 13: lens, 14: half mirror, 15: mirror, 16a, 16b (imaging optical system): interference filter, 17a, 17b: high-voltage power source, 18a, 18b: photomultiplier tube (fluorescence detector), 19: signal measuring device (analyzing means), 20: determination device (analyzing means), 21: defective product collecting device 22: laser beam, 23a, 23b: beam expanding lens, 24a, 24b: cylindrical lens array, 25: condenser lens, 26: CCD camera, 27: image processing device, 28: nozzle, 29: helium gas cylinder

Claims (14)

測定対象物の表面にパルスレーザー光を集光照射することにより測定対象物の母材の表面に付着した表面付着物質をプラズマ化して蛍光を発生させるパルスレーザー照射手段と、
前記蛍光を収集して蛍光検出器上に結像させる結像光学系と、
前記結像された蛍光を検出する蛍光検出器と、
前記検出された蛍光を分析することによりリチウムを検出する分析手段と、
を有し、
前記パルスレーザー照射手段は、レーザー照射エネルギー密度を100mJ/mm以下とし、
前記結像光学系は測定対象物の表面に対して垂直方向に4mmの範囲を前記蛍光検出器上へ結像させるものであること、
を特徴とするリチウム漏洩検知装置。
A pulsed laser irradiation means for generating fluorescence by converting the surface adhering substance adhering to the surface of the base material of the measuring object into plasma by condensing and irradiating the surface of the measuring object with pulsed laser light;
An imaging optical system for collecting the fluorescence and forming an image on a fluorescence detector;
A fluorescence detector for detecting the imaged fluorescence;
Analyzing means for detecting lithium by analyzing the detected fluorescence;
Have
The pulse laser irradiation means has a laser irradiation energy density of 100 mJ / mm 2 or less,
The imaging optical system forms an image of a range of 4 mm on the fluorescence detector in a direction perpendicular to the surface of the measurement object;
Lithium leak detection device characterized by
前記結像光学系はレーザー集光口径+5mmの範囲を前記蛍光検出器上へ結像させるものであること、を特徴とする請求項1に記載のリチウム漏洩検知装置。   2. The lithium leak detection apparatus according to claim 1, wherein the imaging optical system forms an image of a laser condensing aperture of +5 mm on the fluorescence detector. 前記パルスレーザー照射手段はレーザービームをリング状に整形して測定対象物に照射することができ、
前記結像光学系は前記レーザービームがリング状に整形される場合にそのリングの直径+5mmの範囲を前記蛍光検出器上へ結像させるものであること、
を特徴とする請求項1に記載のリチウム漏洩検知装置。
The pulse laser irradiation means can irradiate the measurement object by shaping the laser beam into a ring shape,
The imaging optical system forms an image of a diameter of the ring +5 mm on the fluorescence detector when the laser beam is shaped into a ring shape;
The lithium leakage detection device according to claim 1, wherein:
前記パルスレーザー照射手段は、レーザービームを分割して重ね合わせることによってエネルギー密度を均一化するホモジナイザーを有すること、を特徴とする請求項1に記載のリチウム漏洩検知装置。   2. The lithium leak detection apparatus according to claim 1, wherein the pulse laser irradiation means includes a homogenizer that equalizes energy density by dividing and superimposing laser beams. 前記パルスレーザー照射手段は集光スポットの辺の長さ+5mmの範囲を結像させる光学系を有すること、を特徴とする請求項4に記載のリチウム漏洩検知装置。   5. The lithium leak detection device according to claim 4, wherein the pulse laser irradiation means has an optical system that forms an image of a range of the length of the side of the focused spot + 5 mm. 前記結像光学系は透過波長670.5nmの波長選択素子を具備すること、を特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。   6. The lithium leakage detection apparatus according to claim 1, wherein the imaging optical system includes a wavelength selection element having a transmission wavelength of 670.5 nm. 前記結像光学系は透過波長610.4nmの波長選択素子を具備すること、を特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。   6. The lithium leakage detection apparatus according to claim 1, wherein the imaging optical system includes a wavelength selection element having a transmission wavelength of 610.4 nm. 前記蛍光検出器は少なくとも二つあって、
前記結像光学系は、分光して前記蛍光検出器それぞれに結像するものであって、
一つの蛍光検出器上に結像する光路の途中にはリチウムの蛍光波長を透過する波長選択素子が配置され、他の蛍光検出器上に結像する光路の途中には測定対象物の母材に含まれる元素の蛍光波長を透過する波長選択素子が配置され、
前記分析手段は、前記少なくとも二つの蛍光検出器から得られた発光成分の強度比に基づいてリチウム漏洩有無を判定する手段を有すること、
を特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。
There are at least two fluorescence detectors,
The imaging optical system splits and forms an image on each of the fluorescence detectors,
A wavelength selection element that transmits the fluorescence wavelength of lithium is arranged in the middle of the optical path imaged on one fluorescence detector, and the base material of the measurement object is located in the middle of the optical path imaged on the other fluorescence detector. A wavelength selection element that transmits the fluorescence wavelength of the element contained in
The analyzing means comprises means for determining the presence or absence of lithium leakage based on the intensity ratio of the luminescent components obtained from the at least two fluorescence detectors;
The lithium leakage detection device according to claim 1, wherein
前記蛍光検出器はCCDカメラを含み、そのCCDカメラの出力に基づいてプラズマ中のリチウムの蛍光強度分布をイメージ画像として取得する手段を有すること、を特徴とする請求項1ないし8のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。   9. The fluorescent detector according to claim 1, further comprising a CCD camera, and means for acquiring a fluorescence intensity distribution of lithium in plasma as an image image based on an output of the CCD camera. Lithium leakage detection device according to item. 前記蛍光検出器は、測定対象物の母材の材質がアルミニウムの場合に、ゲート幅をレーザーの照射タイミングに対して100μs以内に設けるゲート調整手段を具備すること、を特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。   The said fluorescence detector is equipped with the gate adjustment means which provides a gate width within 100 microseconds with respect to the irradiation timing of a laser, when the material of the base material of a measuring object is aluminum. 10. The lithium leakage detection device according to any one of 9 above. 前記蛍光検出器は、測定対象物の母材の材質がステンレス鋼の場合に、ゲートをレーザーの照射タイミングに対し5μs以上の遅れを持たせ、ゲート幅を100μs以内とするゲート調整手段を具備すること、を特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。   The fluorescence detector includes a gate adjusting means for delaying the gate by 5 μs or more with respect to the laser irradiation timing and making the gate width within 100 μs when the base material of the measurement object is stainless steel. The lithium leakage detection device according to claim 1, wherein 前記リチウム漏洩検知装置は、前記パルスレーザー光を照射する測定対象物の表面の付近に不活性ガスを噴射させるガス噴射手段をさらに有し、
前記結像光学系は、前記蛍光の光路を二つに分割するハーフミラーと、このハーフミラーで分割された一方の光路に配置されてリチウムの蛍光波長のみを通過させる第1のフィルターと、前記ハーフミラーで分割された他方の光路に配置されて前記不活性ガスに含まれる元素の発光波長のみを通過させる第2のフィルターとを有し、
前記蛍光検出器は、前記第1のフィルターを通過した蛍光と第2のフィルターを通過した蛍光とをそれぞれ検出する別個の蛍光検出器を含み、
前記リチウム漏洩検知装置は、前記蛍光検出器から得られた二つの発光成分の強度比に基づいてリチウム漏洩の有無を判定する手段を有すること、
を特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載のリチウム漏洩検知装置。
The lithium leakage detection device further includes a gas injection means for injecting an inert gas in the vicinity of the surface of the measurement object to be irradiated with the pulsed laser light,
The imaging optical system includes a half mirror that divides the optical path of the fluorescence into two, a first filter that is disposed in one optical path divided by the half mirror and transmits only the fluorescence wavelength of lithium, and A second filter disposed in the other optical path divided by the half mirror and allowing only the emission wavelength of the element contained in the inert gas to pass through,
The fluorescence detector includes separate fluorescence detectors for detecting fluorescence that has passed through the first filter and fluorescence that has passed through the second filter, respectively.
The lithium leakage detection device has means for determining the presence or absence of lithium leakage based on the intensity ratio of two luminescent components obtained from the fluorescence detector,
The lithium leakage detection device according to claim 1, wherein
測定対象物の表面にパルスレーザー光を集光照射することにより測定対象物の母材の表面に付着した表面付着物質をプラズマ化して蛍光を発生させるパルスレーザー照射ステップと、
前記蛍光を収集して結像させる結像ステップと、
前記結像された蛍光を検出する蛍光検出ステップと、
前記検出された蛍光を分析することによりリチウムを検出する分析ステップと、
を有し、
前記パルスレーザー照射ステップはレーザー照射エネルギー密度を100mJ/mm以下とし、
前記結像ステップは測定対象物の表面に対して垂直方向に4mmの範囲を結像させるものであること、
を特徴とするリチウム漏洩検知方法。
A pulsed laser irradiation step for generating fluorescence by converting the surface adhering substance attached to the surface of the base material of the measuring object by condensing and irradiating the surface of the measuring object with pulsed laser light;
An imaging step of collecting and imaging the fluorescence; and
A fluorescence detection step for detecting the imaged fluorescence;
An analyzing step of detecting lithium by analyzing the detected fluorescence;
Have
In the pulse laser irradiation step, a laser irradiation energy density is set to 100 mJ / mm 2 or less,
The imaging step is to image a range of 4 mm in a direction perpendicular to the surface of the measurement object;
A method for detecting lithium leakage.
前記パルスレーザー照射ステップの前に前記測定対象物の表面に付着しているリチウムイオンを除去する洗浄ステップをさらに有すること、を特徴とする請求項13に記載のリチウム漏洩検知方法。   The lithium leak detection method according to claim 13, further comprising a cleaning step of removing lithium ions attached to the surface of the measurement object before the pulse laser irradiation step.
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