JP2007152666A - Liquid droplet observing device - Google Patents

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JP2007152666A JP2005349236A JP2005349236A JP2007152666A JP 2007152666 A JP2007152666 A JP 2007152666A JP 2005349236 A JP2005349236 A JP 2005349236A JP 2005349236 A JP2005349236 A JP 2005349236A JP 2007152666 A JP2007152666 A JP 2007152666A
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Kazukado Miyoshi
一門 三好
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Seiko Epson Corp
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet observing device which can more clearly photograph fine liquid droplets being discharged from a liquid jetting head. <P>SOLUTION: This liquid droplet observing device 1 comprises a control section 3, a light-emitting section 5, and a photographing section 6. In this case, the control section 3 has a driving signal-generating circuit 37 which generates a driving signal and controls the discharge of ink droplets by a recording head 2 by feeding a discharging pulse in the driving signal from the driving signal-generating circuit to a piezoelectric oscillator. The light-emitting section 5 irradiates a flying region A of the ink droplets which have been discharged from the nozzle opening of the recording head with light by making an LED 4 emit the light. The photographing section 6 is confront-arranged on the opposite side from the light-emitting section across the flying region, and photographs the ink droplets flying in the flying region with the light-emitting section as a light source. The control section synchronizes the discharge of the ink droplets by the recording head and the light emission by the light-emitting section, and also, sets the light-emitting frequency at a maximum value which can be synchronized with the discharging motion within a range for which the maximum driving frequency in the design of the light-emitting section as the upper limit. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドから吐出される液滴を観測する液滴観測装置に関する。   The present invention relates to a droplet observation apparatus that observes droplets ejected from a liquid jet head such as an ink jet recording head.

圧力室内の液体をノズル開口から液滴として吐出させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。   Examples of the liquid ejecting head for ejecting the liquid in the pressure chamber as droplets from the nozzle opening include, for example, an ink jet recording head used in an image recording apparatus such as a printer, and a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display. There are an electrode material ejecting head used for forming electrodes such as an organic EL (Electro Luminescence) display and an FED (surface emitting display), and a bioorganic matter ejecting head used for manufacturing a biochip (biochemical element).

この種の液体噴射ヘッドは、極く微小な液滴を、記録紙等の吐出対象物における所望の位置に精度良く着弾させることが求められる。このため、液体噴射ヘッドの製造工程においては、液体噴射ヘッドから液滴を吐出して飛翔中の液滴をカメラによって撮像し、撮像した画像に基づいてノズル開口の目詰まりの有無、飛翔方向、飛翔速度、液量等の検査が行われる。例えば、特許文献1に開示されている微小液滴観察装置では、液体噴射ヘッドから吐出される液滴の飛翔領域を間に挟んで対向する状態でストロボ発光部とCCDカメラを配置し、ストロボの発光周期と液滴の吐出周期を同期させつつ飛翔中の液滴をCCDカメラによって撮像するように構成されている。   This type of liquid ejecting head is required to land extremely fine droplets at a desired position on an ejection target such as recording paper with high accuracy. For this reason, in the manufacturing process of the liquid ejecting head, the droplets are ejected from the liquid ejecting head and the flying droplets are imaged by the camera. Based on the captured images, the nozzle opening is clogged, the flying direction, The flight speed, liquid volume, etc. are inspected. For example, in the micro-droplet observation device disclosed in Patent Document 1, a strobe light emitting unit and a CCD camera are arranged in a state of facing each other with a flying region of a droplet ejected from a liquid ejecting head interposed therebetween. A droplet that is flying is imaged by a CCD camera while synchronizing the light emission cycle and the droplet discharge cycle.

特開2001−239744号公報(第9頁、図1)Japanese Patent Laid-Open No. 2001-239744 (page 9, FIG. 1)

ところで、上記ストロボの光源としては、例えば、電気入力の変化に対する追従性が優れ、比較的高い周波数での点滅動作が可能なキセノン管が好適に用いられていた。しかしながら、キセノン管では輝度を一定にすることが難しく、例えば、輝度が高すぎる場合には、数plのように非常に微小な液滴を鮮明に撮像することができないという問題があった。また、キセノン管を発光させる際には、パルス始動器を用いて数十kVの高電圧に設定された駆動パルスで駆動する必要があるため、液滴をより高い周波数で吐出する場合、キセノン管の発光時の高周波駆動パルスを起因とする輻射ノイズによって液体噴射ヘッドの駆動回路に誤動作が生じるという問題があった。   By the way, as the light source of the strobe, for example, a xenon tube that has excellent followability with respect to a change in electric input and can blink at a relatively high frequency is preferably used. However, with a xenon tube, it is difficult to make the luminance constant. For example, when the luminance is too high, there is a problem that it is impossible to capture very fine droplets as clearly as several pl. Further, when the xenon tube is caused to emit light, it is necessary to drive it with a driving pulse set to a high voltage of several tens of kV using a pulse starter. Therefore, when discharging droplets at a higher frequency, the xenon tube There has been a problem that a malfunction occurs in the drive circuit of the liquid jet head due to radiation noise caused by high-frequency drive pulses during light emission.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射ヘッドから吐出される微小な液滴をより鮮明に撮像することが可能な液滴観測装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a droplet observation apparatus that can capture fine droplets ejected from a liquid ejecting head more clearly. It is in.

上記目的を達成するため、本発明の液滴観測装置は、ノズル開口に連通する圧力室と、当該圧力室内に導入された液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段とを有する液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出される液滴を観測する液滴観測装置であって、
前記圧力発生手段を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路を有し、当該駆動信号発生回路からの駆動信号を圧力発生手段に供給することにより、液体噴射ヘッドによる液滴の吐出を制御する制御部と、
固体発光素子を有し、当該固体発光素子を発光させることにより、前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴の飛翔領域に対して光を照射する発光部と、
前記発光部とは液滴の飛翔領域を挟んで反対側に対向配置され、当該飛翔領域を飛翔中の液滴を多重露光で撮像する撮像部と、を備え、
前記制御部は、液体噴射ヘッドによる液滴の吐出と発光部による固体発光素子の発光とを同期させ、尚且つ、発光周波数を、発光部の設計上の最大駆動周波数を上限とする範囲内で液滴の吐出と同期可能な最大値に設定することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a droplet observation apparatus of the present invention includes a pressure chamber communicating with a nozzle opening, and a nozzle of a liquid ejecting head having pressure generating means for causing a pressure fluctuation in the liquid introduced into the pressure chamber. A droplet observation device for observing a droplet discharged from an opening,
A drive signal generating circuit for generating a drive signal for driving the pressure generating means; and supplying the drive signal from the drive signal generating circuit to the pressure generating means, thereby ejecting droplets by the liquid ejecting head. A control unit to control;
A light emitting unit that has a solid light emitting element and emits light to a flying region of a liquid droplet ejected from a nozzle opening of the liquid jet head by causing the solid light emitting element to emit light;
The light emitting unit is disposed opposite to the opposite side across the flying region of the droplet, and includes an imaging unit that captures images of the flying droplet in the flying region by multiple exposure,
The control unit synchronizes the ejection of droplets by the liquid ejecting head and the light emission of the solid state light emitting element by the light emitting unit, and the light emission frequency is within a range where the maximum driving frequency in the design of the light emitting unit is the upper limit. A maximum value that can be synchronized with the discharge of droplets is set.

上記構成によれば、より低電圧での駆動が可能な固体発光素子を発光源として使用するので、不要な輻射ノイズを抑えて駆動回路の誤動作を防止することができる。また、液体噴射ヘッドによる液滴の吐出と発光部による固体発光素子の発光とを同期させ、尚且つ、発光周波数を、発光部の設計上の最大駆動周波数を上限とする範囲内で液滴の吐出と同期可能な最大値に設定するので、液滴の吐出と発光部の発光とを同期させつつも、固体発光素子を可及的に高い輝度で発光させることが可能となる。これにより、撮像部によって微小な液滴をより鮮明に撮像することができ、その結果、より高精度に液滴の観測を行うことが可能となる。   According to the above configuration, since the solid-state light emitting element that can be driven at a lower voltage is used as the light source, unnecessary radiation noise can be suppressed and malfunction of the drive circuit can be prevented. Further, the ejection of the liquid droplet by the liquid ejecting head and the light emission of the solid state light emitting element by the light emitting unit are synchronized, and the light emission frequency is within the range where the maximum driving frequency in the design of the light emitting unit is the upper limit. Since the maximum value that can be synchronized with the discharge is set, the solid-state light emitting element can emit light with as high luminance as possible while synchronizing the discharge of the droplet and the light emission of the light emitting unit. As a result, a fine droplet can be imaged more clearly by the imaging unit, and as a result, the droplet can be observed with higher accuracy.

上記構成において、液滴の吐出間隔をT、1回の発光に対する吐出回数をNとしたとき、固体発光素子の発光周波数Fを、以下の式(1)
F=1/(T×N)…(1)
に基づいて設定することが望ましい。
In the above configuration, when the droplet discharge interval is T and the number of discharges for one light emission is N, the light emission frequency F of the solid state light emitting element is expressed by the following formula (1).
F = 1 / (T × N) (1)
It is desirable to set based on

また、上記構成において、前記固体発光素子として、発光ダイオードを採用することができる。   In the above configuration, a light emitting diode can be employed as the solid state light emitting device.

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. In the embodiments described below, various limitations are made as preferred specific examples of the present invention. However, the scope of the present invention is not limited to the following description unless otherwise specified. However, the present invention is not limited to these embodiments.

図1は、本発明を適用した液滴観測装置の構成を説明する模式図である。同図に示すように、本実施形態における液滴観測装置1は、液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド(以下、単に記録ヘッドという)2を観測対象としている。この記録ヘッド2は、液体状のインクを液滴の状態で吐出させ、記録紙等の吐出対象物に文字や画像を記録するインクジェット式プリンタ(画像記録装置)に搭載されるものである。液滴観測装置1は、装置全体の統括的な制御を行う制御部3と、発光源として固体発光素子の一種である発光ダイオード、即ち、LED(Light Emitting Diode)4を有する発光部5と、CCD(Charge Coupled Device)カメラから成る撮像部6と、LCD(Liquid Crystal
Display)又はCRT(Cathode-Ray Tube)等から成る表示装置7とを備えて概略構成されている。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating the configuration of a droplet observation apparatus to which the present invention is applied. As shown in the figure, the droplet observation apparatus 1 according to the present embodiment is an observation target of an ink jet recording head (hereinafter simply referred to as a recording head) 2 that is a kind of liquid ejecting head. The recording head 2 is mounted on an ink jet printer (image recording apparatus) that discharges liquid ink in the form of droplets and records characters and images on an ejection target such as recording paper. The droplet observation device 1 includes a control unit 3 that performs overall control of the entire device, a light-emitting diode that is a kind of solid-state light-emitting element as a light-emitting source, that is, a light-emitting unit 5 that has an LED (Light Emitting Diode) 4, An imaging unit 6 composed of a CCD (Charge Coupled Device) camera and an LCD (Liquid Crystal)
And a display device 7 composed of a CRT (Cathode-Ray Tube) or the like.

ここで、液滴観測装置1の各部の説明の前に、観測対象の記録ヘッド2の構造について、図2を用いて説明する。例示した記録ヘッド2は、複数の圧電振動子10、その固定板11、及び、フレキシブルケーブル12等をユニット化したアクチュエータユニット13と、このアクチュエータユニット13を内部に収容するヘッドケース14と、ヘッドケース14の先端面に接合される流路ユニット15を備えている。ヘッドケース14は、アクチュエータユニット13を収容するための収容室16を内部に形成した合成樹脂製のブロック状部材である。この収容室16は、ヘッドケース14の高さ方向を貫通する空部であり、収容されるアクチュエータユニット13の数と同じ数だけ個別に形成されている。そして、アクチュエータユニット13は、圧電振動子10の先端面を収容室16の流路ユニット接合面側の開口に臨ませた状態で収納され、固定板11が収容室16を区画するケース内壁面に接着されている。   Here, before describing each part of the droplet observation apparatus 1, the structure of the recording head 2 to be observed will be described with reference to FIG. The illustrated recording head 2 includes an actuator unit 13 in which a plurality of piezoelectric vibrators 10, a fixing plate 11 thereof, a flexible cable 12, and the like are unitized, a head case 14 that accommodates the actuator unit 13 therein, and a head case 14 is provided with a flow path unit 15 joined to the front end surface of 14. The head case 14 is a block-shaped member made of synthetic resin in which an accommodation chamber 16 for accommodating the actuator unit 13 is formed. The accommodating chambers 16 are empty portions that penetrate the height direction of the head case 14 and are individually formed by the same number as the number of actuator units 13 accommodated. The actuator unit 13 is housed in a state in which the tip surface of the piezoelectric vibrator 10 faces the opening on the flow channel unit joint surface side of the housing chamber 16, and the fixing plate 11 is placed on the inner wall surface of the case that partitions the housing chamber 16. It is glued.

本実施形態の圧電振動子10(圧力発生素子の一種)は、圧電体と内部電極とを交互に積層して構成された積層型の圧電振動子であり、数十μm程度の極めて細い幅の櫛歯状に切り分けられている。この圧電振動子10は、圧電体と内部電極との間の電位差に応じ、電界方向と直交する方向に伸縮する。そして、各圧電振動子10は、所謂片持ち梁の状態で固定板11上に取り付けられている。即ち、各圧電振動子10の基端側部分を固定板11上に接合することで、自由端部分を固定板11の縁よりも外側に突出させている。そして、各圧電振動子10の先端面は、後述する流路ユニット15の島部31に接合されている。また、フレキシブルケーブル12は、固定板11とは反対側となる基端側部分の表面で各圧電振動子10と電気的に接続されている。   A piezoelectric vibrator 10 (a kind of pressure generating element) of this embodiment is a laminated piezoelectric vibrator configured by alternately laminating piezoelectric bodies and internal electrodes, and has an extremely narrow width of about several tens of μm. It is cut into comb teeth. The piezoelectric vibrator 10 expands and contracts in a direction orthogonal to the electric field direction according to a potential difference between the piezoelectric body and the internal electrode. Each piezoelectric vibrator 10 is mounted on the fixed plate 11 in a so-called cantilever state. That is, the base end side portion of each piezoelectric vibrator 10 is joined onto the fixed plate 11, so that the free end portion protrudes outward from the edge of the fixed plate 11. And the front end surface of each piezoelectric vibrator 10 is joined to the island part 31 of the flow path unit 15 mentioned later. Further, the flexible cable 12 is electrically connected to each piezoelectric vibrator 10 on the surface of the base end side portion that is opposite to the fixed plate 11.

流路ユニット15は、流路基板18を間に挟んでノズル基板19を流路基板18の一方の表面に配置し、振動板20をノズル基板19とは反対側となる他方の表面に配置して接着することで構成されている。流路ユニット15におけるノズル基板19は、ドット形成密度に対応したピッチで複数のノズル開口21を列状に開設したステンレス鋼製の薄い板材である。本実施形態では、例えば180dpiのピッチで180個のノズル開口21が列状に開設され、これらのノズル開口21によってノズル列を構成している。   In the flow path unit 15, the nozzle substrate 19 is disposed on one surface of the flow path substrate 18 with the flow path substrate 18 interposed therebetween, and the vibration plate 20 is disposed on the other surface opposite to the nozzle substrate 19. It is composed by bonding. The nozzle substrate 19 in the flow path unit 15 is a thin plate made of stainless steel in which a plurality of nozzle openings 21 are opened in a row at a pitch corresponding to the dot formation density. In the present embodiment, for example, 180 nozzle openings 21 are formed in a row at a pitch of 180 dpi, and these nozzle openings 21 constitute a nozzle row.

上記の流路基板18は、ノズル基板19の各ノズル開口21と同一ピッチで圧力室22となる空部及びインク供給口23となる溝部を複数形成すると共に、共通インク室24となる空部を形成した板状の部材である。上記の圧力室22は、ノズル開口21の列設方向(ノズル列方向)に対して直交する方向に細長い室として形成されている。インク供給口23は、共通インク室24と圧力室22との間を連通する流路幅の狭い溝である。また、圧力室22内におけるインク供給口23とは反対側の端部領域には、ノズル開口21と圧力室22とを連通するためのノズル連通口25が、板厚方向に貫通させた状態で設けられている。   The flow path substrate 18 is formed with a plurality of empty portions that become pressure chambers 22 and groove portions that become ink supply ports 23 at the same pitch as the nozzle openings 21 of the nozzle substrate 19, and empty portions that become common ink chambers 24. It is the formed plate-shaped member. The pressure chamber 22 is formed as a long and narrow chamber in a direction orthogonal to the direction in which the nozzle openings 21 are arranged (nozzle row direction). The ink supply port 23 is a groove having a narrow channel width that communicates between the common ink chamber 24 and the pressure chamber 22. Further, a nozzle communication port 25 for communicating the nozzle opening 21 and the pressure chamber 22 is penetrated in the plate thickness direction in an end region opposite to the ink supply port 23 in the pressure chamber 22. Is provided.

振動板20は、ステンレス鋼等の金属製の支持板26の表面にPPS樹脂等の弾性フィルムから成る弾性体膜27を積層した二重構造である。そして、この振動板20には、圧力室22の一方の開口面を封止するダイヤフラム部28が設けられると共に、共通インク室24の一方の開口面を封止するコンプライアンス部29が設けられている。そして、ダイヤフラム部28は、圧力室22に対応した部分の支持板26を環状にエッチング加工することで作製され、弾性体膜27のみの弾性部30と圧電振動子10が接合される島部31とが設けられている。また、コンプライアンス部29は、共通インク室24に対応する部分の支持板26をエッチング加工で除去し、弾性体膜27のみとしている。   The diaphragm 20 has a double structure in which an elastic film 27 made of an elastic film such as PPS resin is laminated on the surface of a metal support plate 26 such as stainless steel. The diaphragm 20 is provided with a diaphragm portion 28 that seals one opening surface of the pressure chamber 22 and a compliance portion 29 that seals one opening surface of the common ink chamber 24. . The diaphragm portion 28 is manufactured by annularly etching a portion of the support plate 26 corresponding to the pressure chamber 22, and the island portion 31 where the elastic portion 30 only of the elastic film 27 and the piezoelectric vibrator 10 are joined. And are provided. In addition, the compliance unit 29 removes the support plate 26 corresponding to the common ink chamber 24 by etching, and uses only the elastic film 27.

上記構成の記録ヘッド2では、図示しないインクカートリッジ(液体貯留部材の一種)からのインクが共通インク室24に一旦導入された後、この共通インク室24から各圧力室22にインクが分配供給される。そして、後述する吐出タイミングパルスをトリガとして駆動信号中の吐出パルスを圧電振動子10に供給すると、この圧電振動子10は素子長手方向に伸縮変形し、これに伴って島部31が圧力室22から離隔する方向又は圧力室22に近接する方向に変位し、この島部31の変位によって圧力室22の容積が変化する。これにより圧力室22内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動を圧電振動子10の伸縮によって制御することでノズル開口21からインク滴(即ち、液滴の一種)が吐出される。   In the recording head 2 having the above-described configuration, ink from an ink cartridge (one type of liquid storage member) (not shown) is once introduced into the common ink chamber 24 and then distributed from the common ink chamber 24 to each pressure chamber 22. The Then, when an ejection pulse in the drive signal is supplied to the piezoelectric vibrator 10 using a later-described ejection timing pulse as a trigger, the piezoelectric vibrator 10 expands and contracts in the longitudinal direction of the element, and accordingly, the island portion 31 is moved to the pressure chamber 22. The volume of the pressure chamber 22 changes due to the displacement of the island portion 31. As a result, pressure fluctuations occur in the ink in the pressure chamber 22, and ink drops (that is, a kind of liquid droplets) are ejected from the nozzle openings 21 by controlling the pressure fluctuations by the expansion and contraction of the piezoelectric vibrator 10.

次に、液滴観測装置1の制御部3について説明する。本実施形態における制御部3は、ROM33に記憶された制御プログラム等に従って各部を制御するCPU34と、各種データ処理のための制御プログラム等を記憶したROM33と、各種データ等を記憶するRAM35と、撮像部6によって撮像された画像等を表示装置7に表示させる表示制御部36と、記録ヘッド2の圧電振動子10を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路37と、基準クロックパルス信号を発生する発振回路38と、発振回路38が発生する基準クロックパルス信号を分周する分周回路39と、接続機器(記録ヘッド2、発光部5、及び撮像部6)とのデータの入出力を行うインタフェース(I/F)部36とを相互に接続した状態で備えている。この制御部3は、記録ヘッド2によるインク滴の吐出動作、発光部5による発光動作、及び撮像部6による撮像動作を統括的に制御する。   Next, the control unit 3 of the droplet observation apparatus 1 will be described. The control unit 3 in this embodiment includes a CPU 34 that controls each unit according to a control program stored in the ROM 33, a ROM 33 that stores a control program for various data processing, a RAM 35 that stores various data, and an imaging A display control unit 36 that displays an image captured by the unit 6 on the display device 7, a drive signal generation circuit 37 that generates a drive signal for driving the piezoelectric vibrator 10 of the recording head 2, and a reference clock pulse signal Input / output of data between the oscillation circuit 38 for generating the signal, the frequency dividing circuit 39 for dividing the reference clock pulse signal generated by the oscillation circuit 38, and the connected devices (the recording head 2, the light emitting unit 5, and the imaging unit 6). The interface (I / F) unit 36 for performing the above is provided in a mutually connected state. The control unit 3 comprehensively controls the ink droplet ejection operation by the recording head 2, the light emission operation by the light emitting unit 5, and the imaging operation by the imaging unit 6.

駆動信号発生回路37は、記録ヘッド2の圧電振動子10に供給する吐出パルスの電圧値の変化量を示すデータと吐出パルスの電圧を変化させるタイミングを規定するタイミング信号とが入力され、これらのデータ及びタイミング信号に基づいて、例えば、図3に示すような吐出パルスDPを含む駆動信号を発生する。図3に例示した吐出パルスDPは、基準電位(中間電位)VMから最高電位VHまで比較的穏やかな勾配で電位を上昇させる第1充電要素PE1と、最高電位VHを一定の時間維持する第1ホールド要素PE2と、最高電位VHから最低電位VLまで急峻な勾配で電位を降下させる放電要素PE3と、最低電位VLを短い時間維持する第2ホールド要素PE4と、最低電位VLから基準電位VMまで電位を復帰させる第2充電要素PE5とにより構成されている。   The drive signal generation circuit 37 receives data indicating the amount of change in the voltage value of the ejection pulse supplied to the piezoelectric vibrator 10 of the recording head 2 and a timing signal that defines the timing for changing the voltage of the ejection pulse. Based on the data and the timing signal, for example, a drive signal including an ejection pulse DP as shown in FIG. 3 is generated. The ejection pulse DP illustrated in FIG. 3 includes a first charging element PE1 that raises the potential with a relatively gentle gradient from the reference potential (intermediate potential) VM to the maximum potential VH, and a first that maintains the maximum potential VH for a certain period of time. The hold element PE2, the discharge element PE3 that drops the potential with a steep gradient from the highest potential VH to the lowest potential VL, the second hold element PE4 that maintains the lowest potential VL for a short time, and the potential from the lowest potential VL to the reference potential VM And a second charging element PE5 that restores.

上記吐出パルスDPを圧電振動子10に印加すると、次のようにしてインク滴が吐出される。即ち、第1充電要素PE1が供給されると、圧電振動子10が収縮して圧力室22が膨張する。この圧力室22の膨張状態が極く短い間維持された後、放電要素PE3が印加されて圧電振動子10が急激に伸長する。これに伴って、圧力室22の容積が基準容積(圧電振動子10に基準電位VMを印加したときの圧力室22の容積)以下に収縮し、ノズル開口21に露出したメニスカスが外側に向けて急激に加圧される。これにより、所定の液量のインク滴がノズル開口21から吐出される。その後、第2ホールド要素PE4、及び、第2充電要素PE5が圧電振動子10に順次供給され、インク滴の吐出に伴うメニスカスの振動を短時間で収束させるべく、圧力室22が基準容積に復帰する。   When the ejection pulse DP is applied to the piezoelectric vibrator 10, ink droplets are ejected as follows. That is, when the first charging element PE1 is supplied, the piezoelectric vibrator 10 contracts and the pressure chamber 22 expands. After the expansion state of the pressure chamber 22 is maintained for a very short time, the discharge element PE3 is applied and the piezoelectric vibrator 10 is rapidly expanded. Along with this, the volume of the pressure chamber 22 contracts to a reference volume (the volume of the pressure chamber 22 when the reference potential VM is applied to the piezoelectric vibrator 10) or less, and the meniscus exposed to the nozzle opening 21 faces outward. Pressurized rapidly. Thereby, an ink droplet of a predetermined liquid amount is ejected from the nozzle opening 21. Thereafter, the second hold element PE4 and the second charging element PE5 are sequentially supplied to the piezoelectric vibrator 10, and the pressure chamber 22 returns to the reference volume so as to converge the meniscus vibration accompanying the ejection of the ink droplets in a short time. To do.

制御部3における発振回路38は、各部の制御タイミングの基準となる基準クロックパルスを発生する。この基準クロックパルスは、例えば、数MHz〜数百MHz程度の周波数に設定されている。分周回路39は、この発振回路38が出力する基準クロックパルスを分周することにより、各部の制御に応じた周波数のタイミングパルスを出力する。例えば、分周回路39は、基準クロックパルスを分周して数kHz〜数百kHzのパルスを生成し、圧電振動子10への駆動信号(吐出パルスDP)の供給のタイミングを規定する吐出タイミングパルスとして記録ヘッド2に出力する。また、分周回路39は、基準クロックパルスを分周して数百Hz〜数kHzのパルスを生成し、これを発光部5によるLED4の発光タイミングを規定する発光タイミングパルスとして発光部5に出力する。本液滴観測装置1では、吐出タイミングパルスを用いて記録ヘッド2の吐出動作を制御すると共に、発光タイミングパルスを用いて発光部5によるLED4の発光を制御することにより、記録ヘッド2による吐出動作(吐出周期)と発光部5による発光動作(発光周期)を同期させることができるようになっている。   The oscillation circuit 38 in the control unit 3 generates a reference clock pulse that serves as a reference for control timing of each unit. The reference clock pulse is set to a frequency of about several MHz to several hundred MHz, for example. The frequency dividing circuit 39 divides the reference clock pulse output from the oscillation circuit 38 to output a timing pulse having a frequency corresponding to the control of each unit. For example, the frequency dividing circuit 39 divides the reference clock pulse to generate a pulse of several kHz to several hundred kHz, and discharge timing that defines the timing of supplying the drive signal (discharge pulse DP) to the piezoelectric vibrator 10. It outputs to the recording head 2 as a pulse. The frequency dividing circuit 39 divides the reference clock pulse to generate a pulse of several hundred Hz to several kHz, and outputs the pulse to the light emitting unit 5 as a light emission timing pulse that defines the light emission timing of the LED 4 by the light emitting unit 5. To do. In the droplet observation apparatus 1, the ejection operation of the recording head 2 is controlled using the ejection timing pulse, and the ejection operation of the LED 4 by the light emitting unit 5 is controlled using the light emission timing pulse. (Ejection cycle) and the light emission operation (light emission cycle) by the light emitting unit 5 can be synchronized.

上記発光部5は、撮像部6による撮像時の光源となるLED4を備え、記録ヘッド2のノズル開口21から吐出されるインク滴の飛翔領域Aに対してLED4の光軸Lを向ける状態で配置されている。この発光部5は、制御部3からの発光タイミングパルスが入力され、この発光タイミングパルスをトリガとしてLED4を発光させるように構成されている。即ち、発光部5は、発光タイミングパルスによって規定される発光周波数で記録ヘッド2の吐出動作と同期してLED4を発光させるようになっている。LEDに代表される固体発光素子は、キセノン管を発光源として用いる場合と比較して低電圧で駆動することができるので、高周波での発光時に不要な輻射ノイズが発生し難く、輻射ノイズに起因する駆動回路の誤動作などを防止することができる。なお、この発光部5は、LED4を一定以上の光量で発光させるために、設計上の最大駆動周波数が定められている。この最大駆動周波数は、例えば、数kHzであり、これよりも高い周波数での発光駆動は、発光部5の駆動回路が追従できずLED4の光量が十分に得られない。   The light emitting unit 5 includes an LED 4 serving as a light source at the time of image capturing by the image capturing unit 6, and is disposed in a state where the optical axis L of the LED 4 is directed to the flying region A of the ink droplet ejected from the nozzle opening 21 of the recording head 2. Has been. The light emitting unit 5 is configured to receive the light emission timing pulse from the control unit 3 and cause the LED 4 to emit light using the light emission timing pulse as a trigger. That is, the light emitting unit 5 causes the LED 4 to emit light in synchronization with the ejection operation of the recording head 2 at the light emission frequency defined by the light emission timing pulse. Solid-state light emitting devices represented by LEDs can be driven at a lower voltage than when a xenon tube is used as a light source, so that it is difficult for unnecessary radiation noise to occur when light is emitted at high frequencies. It is possible to prevent the malfunction of the driving circuit that performs the operation. The light emitting section 5 has a design maximum drive frequency in order to cause the LED 4 to emit light with a light amount of a certain level or more. The maximum drive frequency is, for example, several kHz, and the light emission drive at a frequency higher than this cannot be followed by the drive circuit of the light emitting unit 5, and the light quantity of the LED 4 cannot be obtained sufficiently.

上記撮像部6は、対物レンズ42やCCD撮像素子43を有するCCDカメラにより構成され、発光部5の光軸L上においてこの発光部5とは飛翔領域Aを挟んで反対側に、対物レンズ42を飛翔領域A側に向けた状態で対向配置されている。この撮像部6は、より微小なインク滴の撮像に対応するため、例えば、XGA(1024×768画素)やSXGA(1280×1024画素)サイズの比較的高解像度のCCD撮像素子43を採用している。そして、この撮像部6は、制御部3による制御の下、発光部5を光源として、飛翔領域Aを飛翔中のインク滴を多重露光で撮像する。この撮像部6によって撮像された画像データは、制御部3に出力される。   The imaging unit 6 is constituted by a CCD camera having an objective lens 42 and a CCD imaging device 43, and on the optical axis L of the light emitting unit 5, the objective lens 42 is opposite to the light emitting unit 5 across the flight region A. Are opposed to each other in a state of facing the flying region A side. The imaging unit 6 employs a relatively high-resolution CCD imaging device 43 having an XGA (1024 × 768 pixels) or SXGA (1280 × 1024 pixels) size, for example, in order to cope with imaging of smaller ink droplets. Yes. Then, under the control of the control unit 3, the imaging unit 6 images the ink droplets flying in the flying region A by multiple exposure using the light emitting unit 5 as a light source. The image data captured by the imaging unit 6 is output to the control unit 3.

上記構成の液滴観測装置1は、吐出タイミングパルスで規定される吐出周波数Fdでノズル開口21からインク滴を連続的に吐出させ、且つ、この記録ヘッド2の吐出に同期させて発光タイミングパルスによって規定される発光周波数Feで発光部5のLED4を発光させると共に、飛翔領域Aを飛翔するインク滴を撮像部6によって撮像する。このようにして撮像された画像では、図4に示すように、輝度が比較的高く白に近い背景に対し、インク滴(メインインク滴Dm及びこれに付随するサテライトインク滴Ds)は発光部5からの光を遮るので黒に近い色で撮像される。この例では、ノズル列を構成する各ノズル開口21から同時にインク滴を吐出した状態で撮像している。そして、この撮像された画像に基づいて、ノズル開口21の目詰まり(ドット抜け)の有無、インク滴の飛翔方向、飛翔速度、液量(粒径)等の検査が行われる。例えば、ある1つのインク滴に着目し、連続的に撮像した複数の画像を用いてこのインク滴が一定の時間にどの程度の距離を飛翔したかを調べることによって、このインク滴の飛翔速度を求めることができる。   The droplet observation apparatus 1 configured as described above continuously ejects ink droplets from the nozzle opening 21 at the ejection frequency Fd defined by the ejection timing pulse, and uses the light emission timing pulse in synchronization with the ejection of the recording head 2. While the LED 4 of the light emitting unit 5 is caused to emit light at the specified light emission frequency Fe, the ink droplets flying in the flying region A are imaged by the imaging unit 6. In the image captured in this way, as shown in FIG. 4, the ink droplets (main ink droplet Dm and satellite ink droplet Ds associated therewith) are emitted from the light emitting unit 5 against a background that is relatively high in brightness and close to white. Since the light from the light is blocked, the image is captured in a color close to black. In this example, imaging is performed in a state where ink droplets are simultaneously ejected from the nozzle openings 21 constituting the nozzle row. Based on the captured image, inspections such as the presence / absence of clogging (dot missing) of the nozzle opening 21, the flying direction of the ink droplet, the flying speed, and the liquid amount (particle diameter) are performed. For example, paying attention to a single ink drop, the flying speed of the ink drop can be determined by examining how far the ink drop flew at a certain time using a plurality of images taken continuously. Can be sought.

ここで、光源としてのLED4は、上述したように低電力での駆動が可能なため、高周波での発光駆動において輻射ノイズを発生し難いという利点がある一方、従来において好適に用いられていたキセノン管に比べて光量が低いという欠点がある。このため、メインインク滴Dmよりもさらに微小なサテライトインク滴Dsを含め、数m/sで飛翔中のインク滴をより鮮明に撮像するには、撮像部6の1回の露光中(1フレーム中)に発光部5によってLED4を可能な限り多く発光させることが重要となる。そこで、制御部3は、記録ヘッド2によるインク滴の吐出周期と発光部5によるLED4の発光周期とを同期させた上で、発光周波数Fe(即ち、発光タイミングパルスの周波数)を、発光部5の最大駆動周波数Fmを上限とする範囲内の最大値に設定するようにしている。具体的には、記録ヘッド2によるインク滴の吐出間隔をT(=1/Fd)、1回の発光に対する吐出回数をNとしたとき、LED4の発光周波数Feが、以下の式(1)に基づいて設定される。
Fe=1/(T×N)…(1)
なお、式(1)における吐出回数Nは、吐出周波数Fdを発光部5の最大駆動周波数Fmで除算するときの小数点以下を削除した回数をn、剰余をaとすると、以下の式(2)によって求められる。
N=n+a …(2)
Here, since the LED 4 as the light source can be driven with low power as described above, there is an advantage that it is difficult to generate radiation noise in light emission driving at a high frequency. On the other hand, xenon that has been suitably used in the past is used. There is a drawback that the amount of light is lower than that of the tube. For this reason, in order to capture a clear image of ink droplets that are flying at several m / s, including satellite ink droplets Ds that are finer than the main ink droplets Dm, the imaging unit 6 is performing one exposure (one frame). It is important that the LED 4 emits as much light as possible by the light emitting unit 5. Therefore, the control unit 3 synchronizes the ejection period of the ink droplets by the recording head 2 and the light emission period of the LED 4 by the light emitting unit 5 and then sets the light emission frequency Fe (that is, the frequency of the light emission timing pulse) to the light emitting unit 5. The maximum drive frequency Fm is set to a maximum value within a range having an upper limit. Specifically, when the ejection interval of the ink droplets by the recording head 2 is T (= 1 / Fd) and the number of ejections for one light emission is N, the light emission frequency Fe of the LED 4 is expressed by the following equation (1). Set based on.
Fe = 1 / (T × N) (1)
The number N of ejections in the equation (1) is expressed by the following equation (2), where n is the number of times after the decimal point when the ejection frequency Fd is divided by the maximum drive frequency Fm of the light emitting unit 5 and a is the remainder. Sought by.
N = n + a (2)

例えば、インク滴の吐出周波数Fdが6840×10Hz、発光部5の最大駆動周波数Fmが1000Hzである場合、n=Fd/Fm=6840×10/1000Hz=6000(a=840)となり、1回の発光に対する吐出回数Nは、上記(2)式に基づき、N=n+a=6000+840=6840Hzとなる。また、吐出間隔Tは、T=1/Fd≒1.462×10−7secである。したがって、LED4の発光周波数Feは、上記(1)式に基づき、Fe=1/(T×N)=1/(1.462×10−7×6840)≒1000Hzと定められる。 For example, the discharge frequency Fd is 6840 × 10 3 Hz ink droplets, when the maximum driving frequency Fm of the light-emitting portion 5 is 1000Hz, n = Fd / Fm = 6840 × 10 3 / 1000Hz = 6000 (a = 840) , and the The ejection number N for one light emission is N = n + a = 6000 + 840 = 6840 Hz based on the above equation (2). Further, the discharge interval T is T = 1 / Fd≈1.462 × 10 −7 sec. Therefore, the light emission frequency Fe of the LED 4 is determined as Fe = 1 / (T × N) = 1 / (1.462 × 10 −7 × 6840) ≈1000 Hz based on the above equation (1).

このように、上記(1)式に基づいて発光周波数Feを定めることにより、インク滴の吐出に発光を同期させつつもLED4を可及的に高い輝度で発光させることが可能となる。これにより、撮像部6によって微小なインク滴をより鮮明に撮像することができ、その結果、撮像された画像に基づいてインク滴の飛翔速度等の検査をより高精度に行うことが可能となる。   Thus, by determining the light emission frequency Fe based on the above equation (1), it is possible to cause the LED 4 to emit light with as high luminance as possible while synchronizing the light emission with the ejection of the ink droplets. Thereby, a fine ink droplet can be imaged more clearly by the imaging part 6, As a result, it becomes possible to test | inspect the flying speed of an ink droplet, etc. with high precision based on the imaged image. .

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。   By the way, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made based on the description of the scope of claims.

上記各実施形態においては、発光部5の発光源としてLED4を用いる例を示したが、これには限らない。例えば、半導体レーザーなどの低電圧駆動が可能な他の固体発光素子を用いることも可能である。   In each said embodiment, although the example which uses LED4 as a light emission source of the light emission part 5 was shown, it is not restricted to this. For example, other solid-state light emitting elements that can be driven at a low voltage, such as a semiconductor laser, can be used.

また、以上では、液滴の観測対象の液体噴射ヘッドとして、記録ヘッド2を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射ヘッドから吐出される液滴(機能液滴)の観測にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機EL(Electro Luminescence)ディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ(生物化学素子)の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等から吐出される液滴の観測にも本発明は好適である。   In the above description, the recording head 2 has been described as an example of a liquid jet head to be observed for droplets. However, the present invention is for observing droplets (functional droplets) ejected from other liquid jet heads. Can also be applied. For example, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an electrode material ejecting head used for forming an electrode such as an organic EL (Electro Luminescence) display, an FED (surface emitting display), a biochip (biochemical element) The present invention is also suitable for observing droplets ejected from a bio-organic matter ejecting head or the like used in the production of

液滴観測装置の構成を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the structure of a droplet observation apparatus. 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part illustrating the configuration of a recording head. 吐出パルスの構成を説明する図である。It is a figure explaining the structure of an ejection pulse. 撮像部によって撮像された画像の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the image imaged by the imaging part.

符号の説明Explanation of symbols

1…液滴観測装置,2…記録ヘッド,3…制御部,4…LED,5…発光部,6…撮像部,7…表示装置,10…圧電振動子,18…流路基板,19…ノズル基板,20…振動板,21…ノズル開口,22…圧力室,33…ROM,34…CPU,35…RAM,37…駆動信号発生回路,38…発振回路,39…分周回路,40…I/F部,42…対物レンズ,43…CCD撮像素子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet observation apparatus, 2 ... Recording head, 3 ... Control part, 4 ... LED, 5 ... Light emission part, 6 ... Imaging part, 7 ... Display apparatus, 10 ... Piezoelectric vibrator, 18 ... Channel substrate, 19 ... Nozzle substrate, 20 ... vibration plate, 21 ... nozzle opening, 22 ... pressure chamber, 33 ... ROM, 34 ... CPU, 35 ... RAM, 37 ... drive signal generation circuit, 38 ... oscillation circuit, 39 ... frequency divider circuit, 40 ... I / F section, 42 ... objective lens, 43 ... CCD image sensor

Claims (3)

ノズル開口に連通する圧力室と、当該圧力室内に導入された液体に圧力変動を生じさせる圧力発生手段とを有する液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出される液滴を観測する液滴観測装置であって、
前記圧力発生手段を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路を有し、当該駆動信号発生回路からの駆動信号を圧力発生手段に供給することにより、液体噴射ヘッドによる液滴の吐出を制御する制御部と、
固体発光素子を有し、当該固体発光素子を発光させることにより、前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴の飛翔領域に対して光を照射する発光部と、
前記発光部とは液滴の飛翔領域を挟んで反対側に対向配置され、発光部を光源として飛翔領域を飛翔中の液滴を撮像する撮像部と、を備え、
前記制御部は、液体噴射ヘッドによる液滴の吐出と発光部による固体発光素子の発光とを同期させ、尚且つ、発光周波数を、発光部の設計上の最大駆動周波数を上限とする範囲内で液滴の吐出と同期可能な最大値に設定することを特徴とする液滴観測装置。
A droplet observation apparatus for observing droplets ejected from a nozzle opening of a liquid ejecting head having a pressure chamber communicating with the nozzle opening and pressure generating means for causing a pressure fluctuation in the liquid introduced into the pressure chamber. And
A drive signal generating circuit for generating a drive signal for driving the pressure generating means; and supplying the drive signal from the drive signal generating circuit to the pressure generating means, thereby ejecting droplets by the liquid ejecting head. A control unit to control;
A light emitting unit that has a solid light emitting element and emits light to a flying region of a liquid droplet ejected from a nozzle opening of the liquid jet head by causing the solid light emitting element to emit light;
The light emitting unit is disposed opposite to the opposite side across the flying region of the liquid droplet, and includes an imaging unit that images the liquid droplet flying in the flying region using the light emitting unit as a light source.
The control unit synchronizes the ejection of droplets by the liquid ejecting head and the light emission of the solid state light emitting element by the light emitting unit, and the light emission frequency is within a range where the maximum driving frequency in the design of the light emitting unit is the upper limit. A droplet observation apparatus characterized in that it is set to a maximum value that can be synchronized with droplet ejection.
前記制御部は、液滴の吐出間隔をT、1回の発光に対する吐出回数をNとしたとき、固体発光素子の発光周波数Fを、以下の式(1)
F=1/(T×N)…(1)
に基づいて設定することを特徴とする請求項1に記載の液滴観測装置。
The control unit sets the emission frequency F of the solid state light emitting element to the following formula (1), where T is the droplet discharge interval and N is the number of discharges for one light emission.
F = 1 / (T × N) (1)
The droplet observation device according to claim 1, wherein the droplet observation device is set based on
前記固体発光素子は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の液滴観測装置。   The droplet observation apparatus according to claim 1, wherein the solid state light emitting element is a light emitting diode.
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