JP2006330820A - Production plan decision method - Google Patents

Production plan decision method Download PDF

Info

Publication number
JP2006330820A
JP2006330820A JP2005149561A JP2005149561A JP2006330820A JP 2006330820 A JP2006330820 A JP 2006330820A JP 2005149561 A JP2005149561 A JP 2005149561A JP 2005149561 A JP2005149561 A JP 2005149561A JP 2006330820 A JP2006330820 A JP 2006330820A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lot
time
production plan
formulation method
input
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2005149561A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP4969056B2 (en
Inventor
Hirokichi Kishimoto
博吉 岸本
Kentaro Inui
健太郎 乾
Kenji Morisawa
建司 森澤
Hideki Isachi
英樹 伊佐地
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2005149561A priority Critical patent/JP4969056B2/en
Publication of JP2006330820A publication Critical patent/JP2006330820A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP4969056B2 publication Critical patent/JP4969056B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/30Computing systems specially adapted for manufacturing

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production plan decision method for maximizing productivity while satisfying inter-process time restriction, and for improving a facility operation rate while attaining the interruption of a preferential lot. <P>SOLUTION: In the production plan of a lot where a plurality of processes to be processed are defined according to models, and inter-process time restriction is set, a start adjustment time in each process of this lot is calculated in a step S1, and a neck process is detected, and the dispatching to the leading process of the lot is determined based on the neck process detected by the step S1 in a step S2, and the processing plan of the lot in each process of the lot is prepared on the basis of the dispatiching to the leading process of the lot determined by the step S2 in a step S3 so that it is possible to improve a facility operation rate. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

この発明は、工程間の仕掛り時間を制限した生産計画を策定する生産計画策定方法に関するものである。   The present invention relates to a production plan formulation method for formulating a production plan in which an in-process time between processes is limited.

半導体等の製造工程では、品質等の制約から、工程間の仕掛り時間に時間制限を設けることが多い。時間制限を考慮した従来の生産計画作成方法としては、例えば特許文献1がある。この特許文献1では、半導体の製造工程において、ロットの優先順位や工程間の時間制限を考慮しながらディスパッチング(投入時期)を決定するものである。   In a manufacturing process of a semiconductor or the like, a time limit is often set for an in-process time between processes due to quality restrictions. As a conventional production plan creation method considering time restrictions, there is, for example, Patent Document 1. In this patent document 1, in the semiconductor manufacturing process, dispatching (input time) is determined in consideration of the priority order of lots and the time limit between processes.

特開平9−7912号公報(第5〜11頁、図3)Japanese Patent Laid-Open No. 9-7912 (pages 5-11, FIG. 3)

しかしながら特許文献1では、処理予約の基準となる時間は、全工程において前ロットの処理が最も遅く終了する時間となっているため、生産性を最大化するものではなかった。
また、工程において、複数の設備が使用可能な場合があることを考慮していない。このため、設備の空き時間を有効に利用できておらず、生産性を最大化することができていないという問題があった。
また、特急優先ロットが発生した場合、優先処理のための割り込み制御についても考慮されていなかった。
However, in Patent Document 1, the time used as a reference for processing reservation is the time at which the processing of the previous lot is completed most slowly in all processes, and thus does not maximize productivity.
Moreover, it does not consider that a plurality of facilities may be usable in the process. For this reason, there was a problem that the idle time of the facilities could not be used effectively and the productivity could not be maximized.
In addition, when an express priority lot occurs, interrupt control for priority processing is not taken into consideration.

この発明は、上述のような課題を解決するためになされたものであり、工程間の時間制限を守ると共に、生産性を最大限に向上させ、優先ロットの割り込みを実現するようにしながら、設備稼働率を向上させる生産計画策定方法を得ることを目的にしている。   The present invention has been made to solve the above-described problems, while maintaining the time limit between the processes, improving the productivity to the maximum, and realizing the interruption of the priority lot. The purpose is to obtain a production planning method that improves the operating rate.

この発明に係わる生産計画策定方法においては、それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定されたロットの先頭工程への投入時点を基準にしてロットの各工程についてロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、第一のステップ〜第三のステップは、各ロットの投入のつど実行されるものである。   In the production plan formulation method according to the present invention, a production plan for each lot when a plurality of lots to be processed are defined and a plurality of lots having time restrictions between the processes is sequentially input according to the priority order. In the production plan formulation method to be formulated, a first step of detecting a lot neck process, a second step of determining a lot introduction time point to the leading process based on the neck process detected by the first step, And a third step of creating a lot processing plan for each process of the lot with reference to the time point when the lot determined in the second step is input to the first process, the first step to the third step Is executed for each lot input.

この発明は、以上説明したように、それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定されたロットの先頭工程への投入時点を基準にしてロットの各工程についてロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、第一のステップ〜第三のステップは、各ロットの投入のつど実行されるので、工程間の時間制限を守ると共に、設備稼働率を向上させることができる。   As described above, the present invention formulates a production plan for each lot when a plurality of lots to be processed are defined and a plurality of lots having time limits between the steps are sequentially input according to the priority order. A first step of detecting a lot neck process, a second step of determining a lot introduction time based on the neck process detected by the first step; and The third step includes a third step of creating a lot processing plan for each process of the lot based on the time point when the lot is determined to be input to the first process. Since each lot is executed each time, it is possible to observe the time limit between the processes and improve the equipment operation rate.

実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロット処理予約作成フローを示すフローチャートである。
図2は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のネック工程検出フローを示すフローチャートである。
Embodiment 1 FIG.
FIG. 1 is a flowchart showing a lot processing reservation creation flow of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 2 is a flowchart showing a neck process detection flow of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.

図3は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロットサイズを示す図である。
図3において、連続設備がロットサイズLのロットを加工する所要時間をTR1、TR2とし、ロットサイズが変化した場合の工程所要時間を示している。バッチ設備の場合は、ロットサイズに係わらず、工程所要時間をTB1、TB2としている。
FIG. 3 is a diagram showing the lot size of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 3, the time required for the continuous equipment to process the lot of the lot size L is TR1 and TR2, and the time required for the process when the lot size is changed is shown. In the case of batch equipment, the time required for the process is TB1 and TB2 regardless of the lot size.

図4は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の工程間時間制限を示す図である。
図4において、二つの連続する工程で設定される場合の工程間時間制限TP1−P2、また複数間の工程を跨ぐ場合の工程間時間制限TP2−Pnが示されている。なお、TSは各工程の開始時間、TEは各工程の終了時間である。
FIG. 4 is a diagram showing the inter-process time limit of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 4 shows an inter-process time limit TP1-P2 when set in two successive processes, and an inter - process time limit TP2-Pn when straddling a plurality of processes. TS is the start time of each process, and TE is the end time of each process.

図5は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の着手調整時間を示す図である。
図5(a)は、着手調整時間として1ロット分遅らせ、前後ロット処理の間に処理時間以上の待機時間があれば、その間で処理可能なケースを示す図、
図5(b)は、1ロット遅らせても処理時間以上の待機時間が確保できないため、後続ロットも考慮し、着手調整時間として複数ロット分遅らせる必要があるケースを示す図、
図5(c)は、仮投入時点で処理時間以上の待機時間が確保できており、投入を遅らせる必要は無いケース、つまり着手調整時間のないケースを示す図である。
FIG. 5 is a diagram showing the start adjustment time of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 5 (a) is a diagram showing a case where processing can be performed during a delay of one lot as the start adjustment time, if there is a waiting time equal to or longer than the processing time between the preceding and following lot processing.
FIG. 5 (b) is a diagram showing a case where it is necessary to delay a plurality of lots as the start adjustment time in consideration of the subsequent lots because a waiting time longer than the processing time cannot be secured even if one lot is delayed.
FIG. 5C is a diagram showing a case where a standby time longer than the processing time can be secured at the time of provisional introduction and there is no need to delay the introduction, that is, a case where there is no start adjustment time.

図6は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の着手調整時間算出フローを示すフローチャートである。   FIG. 6 is a flowchart showing a start adjustment time calculation flow of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.

図7は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の工程モデルを示す図である。
図7において、縦軸は設備、横軸は時間軸である。開始時間TSと終了時間TEの間のブロックは、その工程で処理するロットの着手から完了までの処理を表す。工程間時間制限TP−Pを太線で示している。
図8は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種1の工程フローを示す図である。
図8において、工程と設備の関係、及び各設備について連続またはバッチの設備タイプを示している。
図9は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種1の工程間時間制限を示す図である。
図9において、工程間(開始工程と終了工程の間)毎の工程間時間制限を示している。
図10は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種2の工程フローを示す図である。
図10において、工程と設備の関係、及び各設備について連続またはバッチの設備タイプを示している。
図11は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種2の工程間時間制限を示す図である。
図11において、工程間(開始工程と終了工程の間)毎の工程間時間制限を示している。
FIG. 7 is a diagram showing a process model of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 7, the vertical axis is equipment, and the horizontal axis is the time axis. A block between the start time TS and the end time TE represents a process from the start to the completion of a lot processed in the process. The inter-process time limit TP -P is indicated by a bold line.
FIG. 8 is a diagram showing a process flow of the model 1 of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 8, the relationship between a process and equipment, and the equipment type of continuous or batch about each equipment are shown.
FIG. 9 is a diagram showing the inter-process time limit of the model 1 of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 9, the time limit between processes for every process (between a start process and an end process) is shown.
FIG. 10 is a diagram showing a process flow of the model 2 of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 10, the relationship between a process and equipment, and the equipment type of continuous or batch about each equipment are shown.
FIG. 11 is a diagram showing the inter-process time limit of the model 2 of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 11, the time limit between processes for every process (between a start process and an end process) is shown.

図12は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の投入ロットを示す図である。
図12において、図7のモデルに投入するロットを示し、投入ロットの優先度、ロット名、ロットサイズ、機種が示されている。
FIG. 12 is a diagram showing an input lot of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
In FIG. 12, the lots to be input to the model of FIG. 7 are shown, and the priority, lot name, lot size, and model of the input lot are shown.

図13は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロット処理計画作成フローの実施例を示す図である。
図13では、図7の工程モデルに図12のロット名Aを投入する場合を示している。
図14は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の実ネック工程検出の実施例を示す図である。
図14では、図7の工程モデルに図12のロット名Bを投入する場合を示している。
FIG. 13 is a diagram showing an example of a lot processing plan creation flow of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 13 shows a case where the lot name A of FIG. 12 is input to the process model of FIG.
FIG. 14 is a diagram showing an example of actual neck process detection in the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 14 shows a case where the lot name B of FIG. 12 is input to the process model of FIG.

図15は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の特急ロットの優先処理計画方法の実施例を示す図である。
図15では、図7の工程モデルに図12のロット名αを投入する場合を示している。
図16は、この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の設備空き時間有効利用の実施例を示す図である。
図16では、図7の工程モデルに図12のロット名Cを投入する場合を示している。
FIG. 15 is a diagram showing an example of the priority lot priority processing planning method of the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 15 shows a case where the lot name α of FIG. 12 is input to the process model of FIG.
FIG. 16 is a diagram showing an example of effective use of equipment free time in the production plan formulation method according to Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 16 shows a case where the lot name C of FIG. 12 is input to the process model of FIG.

実施の形態1は、図1に示すようなステップにより、投入ロットのロット処理予約作成を行うことにより、工程間時間制限を守りつつ、設備の稼動率を上げ、生産性をアップさせる生産計画を策定するものである。   In the first embodiment, a production plan that increases the operating rate of equipment and increases the productivity while keeping the time limit between processes by creating a lot processing reservation for the input lot by the steps shown in FIG. It is to be formulated.

以下、実施の形態1について、詳述する。
まず、この生産計画で用いられる製品ロットについて説明する。
各ロットにはロット名、投入日、納期等が設定されている。各項目を単独、もしくは総合的に判断してロット優先順位が決定されている。またロットサイズ(1つのロットを構成するワーク数)は、ロットによって異なる場合がある。各ロットは、機種ごとに製造工程フローが定義される。
Hereinafter, the first embodiment will be described in detail.
First, the product lot used in this production plan will be described.
Each lot is set with a lot name, input date, delivery date, and the like. Lot priority is determined by judging each item individually or comprehensively. In addition, the lot size (the number of works constituting one lot) may vary depending on the lot. In each lot, a manufacturing process flow is defined for each model.

次いで、工程処理時間の算出方法について説明する。
工場で使用する設備は、ワーク毎に加工を行う連続設備と、炉のように一度に複数のワークを処理するバッチ設備がある。
図3に示すように、連続設備がロットサイズLのロットを加工する所要時間をTR1、TR2、バッチ設備の場合は、TB1、TB2とし、ロットサイズが変化した場合の工程所要時間は、連続設備では、ロットサイズに比例し、バッチ設備では、ロットサイズに係わらず一定である。
すなわち、連続設備では、設備の1ワークを処理する能力と、ロットサイズによって処理時間が決定される。一方、バッチ設備は、設備能力によってのみ処理時間が決定され、ロットサイズの違いによる変動はない。
Next, a method for calculating the process processing time will be described.
Equipment used in factories includes continuous equipment that processes each workpiece and batch equipment that processes a plurality of workpieces at a time like a furnace.
As shown in FIG. 3, the time required for the continuous equipment to process a lot of the lot size L is TR1, TR2, and in the case of a batch equipment, it is TB1, TB2, and the time required for the process when the lot size is changed is the continuous equipment. Is proportional to the lot size, and in batch equipment, it is constant regardless of the lot size.
That is, in the continuous equipment, the processing time is determined by the ability to process one work of the equipment and the lot size. On the other hand, for batch equipment, the processing time is determined only by the equipment capacity, and there is no fluctuation due to the difference in lot size.

次に、工程間時間制限について説明する。
品質上の制約により、工程フローの一部において、工程間時間制限が定義される。この工程間時間制限は、工程フローごとに設定される。工程間時間制限は、制限開始工程の工程完了時点から、制限終了工程の工程着手時点までの放置可能時間の上限を表す。時間制限イメージを図4に示す。
図4に示すように、二つの連続する工程で設定される場合(図中TP1−P2)、また複数間の工程を跨ぐ場合(図中TP2−Pn)がある。工程Pnにおける着手時間、完了時間をそれぞれTSPn、TEPnとすると、時間制限終了工程の工程着手時間は、
TSP2<TEP1+TP1−P2、TSPn<TEP2+TP2−Pnとなる必要がある。
Next, the time limit between processes will be described.
Due to quality constraints, inter-process time limits are defined in part of the process flow. This inter-process time limit is set for each process flow. The inter-process time limit represents the upper limit of the negligible time from the process completion time of the restriction start process to the process start time of the limit end process. The time limit image is shown in FIG.
As shown in FIG. 4, there are cases where two consecutive steps are set (T P1-P2 in the figure) and cases where a plurality of steps are crossed (T P2-Pn in the figure). When the start time and completion time in the process Pn are TS Pn and TE Pn , respectively, the process start time of the time limit end process is
It is necessary that TS P2 <TE P1 + T P1 -P2 and TS Pn <TE P2 + T P2 -Pn .

以上が、この発明を説明するための前提を示している。
この発明は、上述のとおり、ロット投入のつど、図1のフローを実行することにより、生産効率を上げる生産計画の策定を可能にするものである。
次に、図1について、説明する。
ステップS1(第一のステップ)のネック工程の検出により、最初に、そのロットを製造する全工程中からネック工程を検出する。ここで言うネック工程とは、生産する上で最も処理が混み合う工程を意味する。ステップS1は、後述の図2により、ネック工程検出を行うが、各工程の着手調整時間を算出し、その最大値を検出して、ネック工程とする。
ステップS2(第二のステップ)の先頭工程投入時点決定では、ステップS1で検出したネック工程での着手調整時間先頭工程を投入時点に反映し、該当ロットの先頭工程投入時点はTElast+TKmaxとする。つまり、TKmaxの時間をずらして、ロット投入を行う。
ステップS3(第三のステップ)の計画作成では、ステップS2で決定した先頭工程投入時点に基づき、先頭工程から最終工程までロットの処理計画を作成する。この時点でロットを先頭工程へ投入すると、次以降の全工程は、ロット到着時には前ロットの処理を完了してロット待ち状態になっているため、待ち時間ゼロで工程着手できる。よって工程間時間制限を守ることができ、かつネック工程では待ち時間を最小に抑えることができるため、生産性を最大にすることが可能となる。
The above shows the premise for explaining this invention.
As described above, the present invention makes it possible to formulate a production plan that increases production efficiency by executing the flow of FIG. 1 every time a lot is input.
Next, FIG. 1 will be described.
By detecting the neck process in step S1 (first step), the neck process is first detected from all the processes for manufacturing the lot. The neck process mentioned here means a process that is most crowded in production. In step S1, the neck process is detected according to FIG. 2, which will be described later. The start adjustment time of each process is calculated, and the maximum value is detected to be the neck process.
In the start process input time determination in step S2 (second step), the start process start time in the neck process detected in step S1 is reflected in the input time, and the start process input time of the corresponding lot is set to TElast + TKmax. That is, lots are inserted while shifting the time of TKmax.
In the plan creation in step S3 (third step), a lot processing plan is created from the first process to the last process based on the start process input time determined in step S2. If a lot is input to the first process at this time, all processes after the next process can be started with zero waiting time because the process of the previous lot is completed and the lot is waiting when the lot arrives. Therefore, the time limit between processes can be observed, and the waiting time can be minimized in the neck process, so that the productivity can be maximized.

次に、上記ステップS1のネック工程検出フローについて、図2によりさらに詳細に説明する。
図2では、まず、ステップS11で、工程フローの先頭工程で使用する設備における前ロット完了時間TElastを投入時点として、次に投入するロットの先頭工程から最終工程まで仮投入を行う。この仮投入の各工程の必要処理時間は、実際の各工程の必要処理時間と同じであり、工程間の待ち時間がゼロになるように仮投入される。
次に、ステップS12で、各工程において、直近で処理可能な時間帯を探す。処理可能な時間帯とは、工程において該当ロットを処理するための必要処理時間以上の待機時間のことである。その時間帯を探すために、各工程P1、P2・・・Pnにおいて、着手調整時間(TK_P1、TK_P2・・・TK_Pn)を算出する。この着手調整時間は、工程の重なり時間であり、この分だけ工程をずらす必要のある時間である。着手調整時間のイメージ図を図5に示す。なお、この着手調整時間算出については、図6により後述する。
次に、ステップS13で、各工程の着手調整時間(TK_P1、TK_P2・・・TK_Pn)を比較し、着手調整時間の最大値TKmaxを持つ工程を発見する。 ステップS14で、ステップS13で検出した着手調整時間の最大値TKmaxを持つ工程を、該当ロットを投入する際のネック工程に設定する。
なお、同一のTKmaxを2つ以上の工程で検出した場合、最も先頭工程に近い工程をネック工程とする。
Next, the neck process detection flow in step S1 will be described in more detail with reference to FIG.
In FIG. 2, first, in step S11, the previous lot completion time TElast in the equipment used in the first process of the process flow is set as the input time point, and provisional input is performed from the first process of the next lot to be input to the final process. The required processing time for each process of the temporary input is the same as the actual required processing time of each process, and is temporarily input so that the waiting time between the processes becomes zero.
Next, in step S12, the most recent processable time zone is searched in each process. The processable time zone is a waiting time that is longer than the required processing time for processing the corresponding lot in the process. In order to find the time zone, the start adjustment time (TK_P1, TK_P2... TK_Pn) is calculated in each process P1, P2. This start adjustment time is a process overlap time, and is a time required to shift the process by this amount. An image of the start adjustment time is shown in FIG. This start adjustment time calculation will be described later with reference to FIG.
Next, in step S13, the start adjustment time (TK_P1, TK_P2,... TK_Pn) of each process is compared, and a process having the maximum value TKmax of the start adjustment time is found. In step S14, a process having the maximum value TKmax of the start adjustment time detected in step S13 is set as a neck process when the corresponding lot is input.
When the same TKmax is detected in two or more processes, the process closest to the first process is set as the neck process.

特許文献1では、単純に処理が最も遅く終了する工程を基準としており、これでは、設備能力と工程フローにより決定されるネック工程に空き時間を生じてしまう。本発明では、ロット毎のネック工程の検出、ネック工程を基準とした計画作成を行うことにより、生産性の最大限の向上を可能とする。   In Patent Document 1, the process is simply based on the process that ends most recently, and this causes an idle time in the neck process determined by the equipment capacity and the process flow. In the present invention, the maximum productivity can be improved by detecting a neck process for each lot and creating a plan based on the neck process.

次に、上記ステップS12の着手調整時間算出について、図6により詳述する。
ステップS21で、各工程において、該当ロットを仮投入した時点で、すでに存在するロット(L1、L2・・・Ln−1、Ln)の処理時間外の待機時間において、該当ロットの処理時間以上の待機時間を探す。
ステップS21で、待機時間が確保できない場合には、ステップS22で、他ロットの完了時間まで仮投入ロット着手時間を遅らせる。
待機時間が確保できる場合には、ステップS23で、着手調整時間TK_Pnを算出する。この算出は、最終の仮投入着手時間から、当初の仮投入着手時間を減ずることにより行う。
なお、工程Pnで複数の設備が使用可能な場合、それぞれの設備における着手調整時間(TK_Pn_E1、TK_Pn_E2・・・TK_Pn_En)を算出し、最も小さい設備の着手調整時間を、その工程での着手調整時間として採用する。
Next, the calculation of the start adjustment time in step S12 will be described in detail with reference to FIG.
In step S21, when the corresponding lot is provisionally inserted in each step, the waiting time outside the processing time of the existing lot (L1, L2,... Ln-1, Ln) exceeds the processing time of the corresponding lot. Find the waiting time.
If the waiting time cannot be ensured in step S21, the provisional lot start time is delayed until the completion time of another lot in step S22.
If the standby time can be secured, the start adjustment time TK_Pn is calculated in step S23. This calculation is performed by subtracting the initial temporary input start time from the final temporary input start time.
When a plurality of facilities can be used in the process Pn, the start adjustment time (TK_Pn_E1, TK_Pn_E2... TK_Pn_En) in each facility is calculated, and the start adjustment time of the smallest facility is set as the start adjustment time in the process. Adopt as.

実施の形態1によれば、工程間の時間制限を守ると共に、生産性を最大限に向上させ、設備稼働率を向上させることができる。
また、特急ロットの割り込みを実現することができる。
According to the first embodiment, it is possible to observe the time limit between processes, improve the productivity to the maximum, and improve the equipment operation rate.
Moreover, the interruption of the express lot can be realized.

次に、本発明を、工程モデルを用いて具体的に説明する。
時間制限が存在する一般的な工程モデルを図7に示す。図7中のブロックは、その工程で処理するロットの着手から完了までの処理を示している。また、工程フローと各工程で使用する設備を、機種別に図8、図10に示す。工程によっては複数の設備の使用が可能である。ただし、1つのロットは、1つの設備で処理するものとする。また、設備能力の差異により、処理完了までの所要時間が違う場合がある。
次に、工程間時間制限定義を図9、図11に示す。工程間時間制限は、開始工程の完了から、終了工程の着手までの間の停滞可能上限時間を意味する。工程Pnの着手時間をTSPn、完了時間をTEPnとし、各工程間時間制限と着手・完了時間の条件を以下に示す。
TSP2<TEP1+TP1−P2
TSP3<TEP2+TP2−P3
TSP4<TEP3+TP3−P4
TSP6<TEP4+TP4−P6
Next, the present invention will be specifically described using a process model.
A general process model in which a time limit exists is shown in FIG. The blocks in FIG. 7 indicate processing from the start to completion of a lot processed in the process. Moreover, the process flow and the equipment used in each process are shown in FIGS. Depending on the process, multiple facilities can be used. However, one lot is processed by one facility. In addition, the time required to complete the process may differ due to differences in equipment capacity.
Next, the time limit definition between processes is shown in FIGS. The inter-process time limit means a stagnation upper limit time from the completion of the start process to the start of the end process. The start time of the process Pn is TS Pn , the completion time is TE Pn, and the time limit between each process and the conditions of the start / end time are shown below.
TS P2 <TE P1 + T P1-P2
TS P3 <TE P2 + T P2-P3
TS P4 <TE P3 + T P3-P4
TS P6 <TE P4 + T P4-P6

次に、ロット投入のいくつかの実施例について説明する。
図12は、この実施例で、工程モデルに投入するロットを示し、優先度は生産管理システムなど上位系より指定されるものとする。ロット投入は、優先度の高いロットから順次行う。また、特急ロットは、最高優先度を持つロットであり、生産変動等に応じて突発的に投入指示される。
ロット投入は、そのつど、図1のフローにより生産計画が作成される。
Next, some examples of lot input will be described.
FIG. 12 shows lots to be input to the process model in this embodiment, and the priority is specified by a host system such as a production management system. Lots are inserted in order from the highest priority lot. The express lot is a lot having the highest priority, and is suddenly instructed according to production fluctuations.
Each time a lot is input, a production plan is created according to the flow shown in FIG.

実施例1.
図7のモデルでの図12の優先1のロット(ロットA)投入について、図13により説明する。
まず、現時点(ロットの到着時点)において、先頭工程P1にロットAを仮投入する。ネック工程検出のため、最終工程Pnまで工程間に空き時間を設けずに仮投入を行う。次に、各工程での着手調整時間TK1、TK2・・・・TKn、及び最大値TKmaxを算出する。ここでは工程P2において、着手調整時間が最大となっており、TKmax=TK2となる。そこで先頭工程での投入タイミングをTK2だけ遅らせて実投入を行う。
Example 1.
The introduction of the priority 1 lot (lot A) of FIG. 12 in the model of FIG. 7 will be described with reference to FIG.
First, at the present time (lot arrival time), lot A is provisionally introduced into the leading process P1. In order to detect the neck process, provisional charging is performed without providing an idle time between processes until the final process Pn. Next, the start adjustment time TK1, TK2,... TKn and the maximum value TKmax in each process are calculated. Here, in the process P2, the start adjustment time is the maximum, and TKmax = TK2. Therefore, the actual input is performed by delaying the input timing in the head process by TK2.

実施例2.
図12の優先1のロット(ロットA)投入に続いて、図12の優先2のロット(ロットB)投入について、図14により説明する。この実施例2は、実ネック工程検出の実施例である。
まず、現時点において、先頭工程P1に仮投入する。現時点は、先行ロットAが完了した時間となる。ネック工程検出のため、最終工程Pnまで仮投入を行う。工程P4は、複数設備使用可能であるため、前ロットの処理を行っていない待機中の設備Eeを使用できる。
次に、各工程での着手調整時間を求める。ロットBの場合、工程P6の着手調整時間が最大であるため、TKmax=TK6となる。そこで先頭工程P1の投入をTKmaxだけずらして実投入することで、時間制限を守り、かつネック工程を最大限活用することができる。
この実施例2に示すように、本発明のロジックでは、工程処理時間だけでは見出せない、実際にネックとなる工程の検出を行い、且つそのネック工程の着手調整時間をロットの投入に活用することができる。
Example 2
Following the input of the priority 1 lot (lot A) in FIG. 12, the input of the priority 2 lot (lot B) in FIG. 12 will be described with reference to FIG. Example 2 is an example of actual neck process detection.
First, at the present time, the temporary process P1 is introduced. The current time is the time when the preceding lot A is completed. In order to detect the neck process, provisional charging is performed until the final process Pn. Since a plurality of facilities can be used in the process P4, it is possible to use a facility Ee that is in a standby state where the previous lot is not processed.
Next, start adjustment time in each process is obtained. In the case of lot B, since the start adjustment time of process P6 is the maximum, TKmax = TK6. Therefore, by shifting the introduction of the leading process P1 by TKmax and actually introducing it, the time limit can be maintained and the neck process can be utilized to the maximum extent.
As shown in the second embodiment, in the logic of the present invention, a process that is actually a bottleneck that cannot be found only by the process processing time is detected, and the start adjustment time of the bottleneck process is utilized for lot input. Can do.

実施例3.
図12の優先2のロット(ロットB)に割り込む図12の特急ロット(ロットα)投入について、図15により説明する。この実施例3は、特急ロット割り込み計画方法の実施例である。
実施例3は、図15のように、先頭工程P1において、ロットAとロットBの間に特急ロットαが突発的に投入された時のもので、このときの特急ロットの優先処理計画を作成する例である。
特急ロットα到着時点では、ロットAは、すでに工程P1に投入済みのため、ロットAを追い越すことはできないが、ロットBは、工程P1未投入であり、計画を見直すことが可能である。ここで、仮投入は、割り込みロットが発生した時点、または工程P1でロットAが終了していない場合には、ロットAの工程P1の終了時点で、行われる。
図15の場合には、割り込みロットの発生時点で、仮投入され、特急ロットαの着手調整時間の最大値は、工程P3であり、割り込みロットの発生時点から、この最大値だけ、特急ロットαの投入時間を遅らせる。
ロットBは再計画し、このときのロットBの着手調整時間の最大値は、工程P6であり、この最大値だけロットBの投入時間を遅らせる。
図15に特急ロットα、ロットBの再計画後の結果を示す。このように、先に作成したロットBの計画を全て破棄して、特急ロットα、ロットBの順で再計画することにより、特急ロットαが到着した段階での特急ロットαの割り込みが可能となる。
Example 3
The introduction of the express lot (lot α) of FIG. 12 that interrupts the priority 2 lot (lot B) of FIG. 12 will be described with reference to FIG. The third embodiment is an embodiment of the express lot interrupt planning method.
As shown in FIG. 15, the third embodiment is a case where the express lot α is suddenly introduced between the lot A and the lot B in the first process P1, and the priority processing plan for the express lot at this time is created. This is an example.
When the limited express lot α arrives, the lot A cannot be overtaken because the lot A has already been input to the process P1, but the lot B has not yet input the process P1, and the plan can be reviewed. Here, the temporary insertion is performed when an interrupt lot is generated or when the lot A is not completed in the process P1 and when the process P1 of the lot A is completed.
In the case of FIG. 15, the maximum value of the start adjustment time of the express lot α that is provisionally inserted at the time of occurrence of the interrupt lot is the process P3. Delay the time for
The lot B is rescheduled, and the maximum value of the start adjustment time of the lot B at this time is the process P6, and the charging time of the lot B is delayed by this maximum value.
FIG. 15 shows the result after replanning of the express lot α and lot B. In this way, by discarding all previously created plans for lot B and re-planning in the order of limited express lot α and batch B, it is possible to interrupt the express lot α when the express lot α arrives. Become.

実施例4.
図12の優先2のロット(ロットB)投入に続いて、図12の優先3のロット(ロットC)投入について、図16により説明する。この実施例4は、設備空き時間有効利用の実施例である。
ロットCは、工程フローが、上述の3ロットとは違い、先頭工程がP2である。したがって、図1のロット処理予約作成フローに従い、先頭工程P2での投入済みロットAの終了時点で、実施例1〜実施例3と同様に処理計画を作成する。ロットCは、工程フロー、ロットサイズより、どの工程でも着手調整時間がゼロであるので、図中の現時点より着手可能である。すなわち、ロットα、ロットBより前に着手することができる。
ロットCは、このように、計画済みロットの先頭工程P2の終了時点で、仮投入して、着手調整時間を確認し、どの工程でも着手調整時間がゼロの場合、すなわちどの工程でも設備空き時間で処理可能な場合に投入することができる。
本実施例4に示すように、本発明のロジックでは、処理計画の作成は、ロット優先度に従うが、各設備の空き時間の有効利用を図るために、実際のロット処理順序を変更する場合がある。このため、ロット優先度だけでは判断できない、生産性向上のためのロット処理順序を立案することができる。
Example 4
Next to the priority 2 lot (lot B) input in FIG. 12, the priority 3 lot (lot C) input in FIG. 12 will be described with reference to FIG. This Example 4 is an example of effective use of equipment idle time.
Lot C is different from the above-mentioned three lots in the process flow, and the top process is P2. Therefore, according to the lot processing reservation creation flow of FIG. 1, a processing plan is created in the same manner as in the first to third embodiments at the end of the input lot A in the first process P2. Lot C can be started from the present time in the figure because the start adjustment time is zero in any process from the process flow and lot size. That is, it is possible to start before lot α and lot B.
Lot C is thus temporarily inserted at the end of the first process P2 of the planned lot, and the start adjustment time is confirmed. If the start adjustment time is zero in any process, that is, the equipment idle time in any process. Can be inserted when processing is possible.
As shown in the fourth embodiment, in the logic of the present invention, the processing plan is created according to the lot priority, but the actual lot processing order may be changed in order to effectively use the free time of each facility. is there. For this reason, it is possible to plan a lot processing order for improving productivity, which cannot be determined only by the lot priority.

この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロット処理予約作成フローを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the lot process reservation creation flow of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のネック工程検出フローを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the neck process detection flow of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロットサイズを示す図である。It is a figure which shows the lot size of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の工程間時間制限を示す図である。It is a figure which shows the time limit between processes of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の着手調整時間を示す図である。It is a figure which shows the start adjustment time of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の着手調整時間算出フローを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the start adjustment time calculation flow of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の工程モデルを示す図である。It is a figure which shows the process model of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種1の工程フローを示す図である。It is a figure which shows the process flow of the model 1 of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種1の工程間時間制限を示す図である。It is a figure which shows the time limit between processes of the model 1 of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種2の工程フローを示す図である。It is a figure which shows the process flow of the model 2 of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の機種2の工程間時間制限を示す図である。It is a figure which shows the time limit between processes of the model 2 of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の投入ロットを示す図である。It is a figure which shows the input lot of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法のロット処理計画作成フローの実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the lot processing plan creation flow of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の実ネック肯定検出の実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the real neck positive detection of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の特急ロットの優先処理計画方法の実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the priority processing plan method of the express lot of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention. この発明の実施の形態1による生産計画策定方法の設備空き時間有効利用の実施例を示す図である。It is a figure which shows the Example of the equipment idle time effective utilization of the production plan formulation method by Embodiment 1 of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

L ロット、P 工程、E 設備、
TS 工程開始時間、TE 工程終了時間、TP−P 工程間時間制限、
TK 着手調整時間。
L lot, P process, E equipment,
TS process start time, TE process end time, time limit between TP-P processes,
TK Start adjustment time.

Claims (5)

それぞれ処理される複数の工程が定義されると共に工程間の時間制限を有する複数のロットを、優先順位にしたがって順次投入する場合の各ロットの生産計画を策定する生産計画策定方法において、上記ロットのネック工程を検出する第一のステップ、この第一のステップにより検出されたネック工程に基づき、上記ロットの先頭工程への投入時点を決定する第二のステップ、及びこの第二のステップにより決定された上記ロットの先頭工程への投入時点を基準にして上記ロットの各工程について上記ロットの処理計画を作成する第三のステップを含み、上記第一のステップ〜第三のステップは、上記各ロットの投入のつど実行されることを特徴とする生産計画策定方法。   In the production plan formulation method for formulating a production plan for each lot when a plurality of lots to be processed are defined and a plurality of lots having time restrictions between the processes are sequentially input according to priority, The first step for detecting the neck process, the second step for determining the time point of introduction of the lot into the leading process based on the neck process detected by the first step, and the second step. And a third step of creating a processing plan for the lot for each process of the lot with reference to the time point of introduction of the lot into the first process, wherein the first to third steps A production plan formulation method characterized in that it is executed each time an input is made. 上記第一のステップは、上記ロットの先頭工程に、投入時点が最終の計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点で、上記ロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、計画済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間が最大になる工程をネック工程とすることを特徴とする請求項1記載の生産計画策定方法。   The first step temporarily inserts the lot into the first process of the lot at the end of the first process of the last planned lot so that there is no waiting time between processes. 2. The production plan formulation method according to claim 1, wherein a process in which a start adjustment time in which a processing time with a planned lot overlaps in each process temporarily input is maximized is set as a neck process. 上記第一のステップは、上記工程による処理を実行できる複数の設備を有する場合には、各設備の着手調整時間を算出し、その内の最小の着手調整時間を上記工程の着手調整時間とすることを特徴とする請求項2記載の生産計画策定方法。   In the case where the first step has a plurality of facilities capable of executing the process according to the above process, the start adjustment time of each facility is calculated, and the minimum start adjustment time among them is set as the start adjustment time of the above process. The production plan formulation method according to claim 2, wherein: 上記第一のステップは、割り込みロットが発生したとき、上記割り込みロットの先頭工程に、上記発生した時点または上記発生した時点で投入済みロットの上記先頭工程が処理中の場合には上記投入済みロットの上記先頭工程の終了時点で、上記割り込みロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、投入済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間が最大になる工程をネック工程とすることを特徴とする請求項1記載の生産計画策定方法。   In the first step, when an interrupt lot occurs, the start process of the interrupt lot is set to the start lot of the interrupt lot when the start process or the start process of the input lot is processed at the time of occurrence. At the end of the top process, the interrupt lot is provisionally inserted so that there is no waiting time between processes, and the start adjustment time in which the processing time with the already entered lot is duplicated in each provisionally inserted process The production plan formulation method according to claim 1, wherein the process having the maximum value is a neck process. 上記第一のステップは、上記ロットの先頭工程に、計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点で、上記ロットを工程間の待ち時間を生じないように仮投入し、この仮投入された各工程で、計画済みのロットとの処理時間が重複する着手調整時間がないとき、上記第二のステップは、上記ロットの先頭工程への投入時点を、上記計画済みのロットの上記先頭工程の終了時点とすることを特徴とする請求項1記載の生産計画策定方法。   The first step temporarily inserts the lot into the first process of the lot at the end of the first process of the planned lot so that there is no waiting time between the processes. When there is no start adjustment time that overlaps the processing time with the planned lot in the process, the second step is the end point of the first process of the planned lot when the lot is put into the first process. The production plan formulation method according to claim 1, wherein a time point is set.
JP2005149561A 2005-05-23 2005-05-23 Production planning method Active JP4969056B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005149561A JP4969056B2 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Production planning method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005149561A JP4969056B2 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Production planning method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006330820A true JP2006330820A (en) 2006-12-07
JP4969056B2 JP4969056B2 (en) 2012-07-04

Family

ID=37552481

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005149561A Active JP4969056B2 (en) 2005-05-23 2005-05-23 Production planning method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4969056B2 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007066740A1 (en) 2005-12-07 2007-06-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Secure device, information processing terminal, server, and authentication method
JP2008186334A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Hitachi Ltd Work management system and work management method
JP2009205387A (en) * 2008-02-27 2009-09-10 Hitachi Ltd Scheduling device, program, and scheduling method
CN116757650A (en) * 2023-08-21 2023-09-15 欧特朗(日照)云科技有限公司 Project management and resource scheduling method based on machine learning

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH097912A (en) * 1995-04-18 1997-01-10 Nippondenso Co Ltd Manufacturing controller for semiconductor substrate
JP2005122404A (en) * 2003-10-15 2005-05-12 Kobe Steel Ltd Method and device for creating production plan and its program

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH097912A (en) * 1995-04-18 1997-01-10 Nippondenso Co Ltd Manufacturing controller for semiconductor substrate
JP2005122404A (en) * 2003-10-15 2005-05-12 Kobe Steel Ltd Method and device for creating production plan and its program

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2007066740A1 (en) 2005-12-07 2007-06-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Secure device, information processing terminal, server, and authentication method
JP2008186334A (en) * 2007-01-31 2008-08-14 Hitachi Ltd Work management system and work management method
JP2009205387A (en) * 2008-02-27 2009-09-10 Hitachi Ltd Scheduling device, program, and scheduling method
CN116757650A (en) * 2023-08-21 2023-09-15 欧特朗(日照)云科技有限公司 Project management and resource scheduling method based on machine learning
CN116757650B (en) * 2023-08-21 2023-11-14 欧特朗(日照)云科技有限公司 Project management and resource scheduling method based on machine learning

Also Published As

Publication number Publication date
JP4969056B2 (en) 2012-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5930137A (en) Work supplying method and apparatus to batch process apparatus for semiconductor wafer with preferential treatment to time critical lots
US7925380B2 (en) Integrated transportation control for wafer fabrication facility
JP4969056B2 (en) Production planning method
US7257459B1 (en) Method and apparatus for scheduling pilot lots
US8849446B2 (en) Vacuum processing apparatus and program
Wedel et al. Real-time bottleneck detection and prediction to prioritize fault repair in interlinked production lines
Guo et al. Single-machine rework rescheduling to minimize maximum waiting-times with fixed sequence of jobs and ready times
JP2007188306A (en) Scheduling apparatus considering the probability distribution of processing time
Joo et al. Dispatching rule-based algorithms for a dynamic flexible flow shop scheduling problem with time-dependent process defect rate and quality feedback
US6784003B2 (en) Quick turn around time system and method of use
Shafiq et al. Effect of Scheduling and Manufacturing Flexibility on the Performance of FMS
JP4501740B2 (en) Steelmaking process operation schedule creation system, steelmaking process operation schedule creation method, and computer program
Rodriguez-Verjan et al. Skipping algorithms for defect inspection using a dynamic control strategy in semiconductor manufacturing
JPH11145021A (en) Method and device for production control
JP6856144B2 (en) Simulation system and simulation method
JP2009037406A (en) Production management method and system
US6931295B2 (en) Method and system of calculating lot hold time
JPH03196948A (en) Production planning preparation method
JP3287422B2 (en) Highest priority work selection decision device for production process resources
JP2009181165A (en) Production control device
JP5817476B2 (en) Batch processing control method and batch processing control system
JP2018159994A (en) Simulation device and method
Ciufudean et al. Safety discrete event models for holonic cyclic manufacturing systems
TW200412518A (en) Front end dispatching method and system for long batch processing equipment in semiconductor manufacturing
JP2010040678A (en) Semiconductor manufacturing equipment and production process of semiconductor device

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080404

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101214

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110209

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110817

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110926

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120327

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120403

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413

Year of fee payment: 3

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 4969056

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250