JP2006289963A - Liquid discharge head - Google Patents

Liquid discharge head Download PDF

Info

Publication number
JP2006289963A
JP2006289963A JP2006069850A JP2006069850A JP2006289963A JP 2006289963 A JP2006289963 A JP 2006289963A JP 2006069850 A JP2006069850 A JP 2006069850A JP 2006069850 A JP2006069850 A JP 2006069850A JP 2006289963 A JP2006289963 A JP 2006289963A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid
piezoelectric element
head
discharge
drive circuit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2006069850A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Yasuhiko Kachi
泰彦 可知
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fuji Photo Film Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fuji Photo Film Co Ltd filed Critical Fuji Photo Film Co Ltd
Priority to JP2006069850A priority Critical patent/JP2006289963A/en
Publication of JP2006289963A publication Critical patent/JP2006289963A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/18Electrical connection established using vias

Landscapes

  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid discharge head which permits the realization of high-density driving elements and wiring to the driving elements in accordance with densely arranged discharge holes and pressure chambers and realization of stable discharge. <P>SOLUTION: In the liquid discharge head, piezoelectric elements 26 two-dimensionally arranged correspondingly to two-dimensionally arranged nozzles 12 and the pressure chambers 14 are joined the pressure chambers 14 of a piezoelectric element arrangement surface 24A and to an SWIC 23 mounted on an electrical wiring structure 45 to be joined to the opposite side through a vertical conducting member 38 vertically formed from a pad 22 and a horizontal conducting member 46. Consequently, electrical wiring to transmit a driving signal can be densely formed. The electrical wiring structure 45 has a structure in which an insulating structural member 40, an insulating member 42, and a heat dissipating member 44 to be joined to the piezoelectric element arrangement surface 24A are sequentially stacked from below from the piezoelectric element arrangement surface 24A and the SWIC 23 is mounted on the heat dissipating member 44. Thus a temperature variation of inks in the head 100 due to the heating of the SWIC 23 can be restrained. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は液体吐出ヘッドに係り、特に、吐出孔から吐出させる液体に吐出力を与える駆動素子の配線及び駆動回路等の高密度化技術に関する。   The present invention relates to a liquid discharge head, and more particularly, to a technology for increasing the density of a drive element wiring, a drive circuit, and the like that apply a discharge force to a liquid discharged from a discharge hole.

近年、画像やドキュメント等のデータ出力装置としてインクジェット記録装置が普及している。インクジェット記録装置は印字ヘッドに備えられたノズルに対応したアクチュエータをデータに応じて駆動し、ノズルからインクを吐出させてメディア上にデータに応じた画像やドキュメントなどを形成する。   In recent years, ink jet recording apparatuses have become widespread as data output apparatuses for images and documents. The ink jet recording apparatus drives an actuator corresponding to a nozzle provided in a print head according to data, and ejects ink from the nozzle to form an image, a document, or the like according to the data on a medium.

インクジェット記録装置では結果画像の高品質化への要求が高くなっている。高密度に配置された微小サイズのドットによって画像を構成することで、結果画像の高品質化が達成されている。ドットサイズを微小化させるにはノズル径を微小化してノズルから1回に吐出されるインク滴の量を微少量化すればよく、また、ドット配置を高密度化するにはノズル密度を上げるとともにドット配置の高密度化に応じた打滴制御を行えばよい。   In the ink jet recording apparatus, there is an increasing demand for higher quality of the result image. A high quality of the resulting image is achieved by constructing the image with minute size dots arranged at high density. In order to reduce the dot size, the nozzle diameter can be reduced to reduce the amount of ink droplets ejected from the nozzle at one time. To increase the dot arrangement, the nozzle density is increased and the dots are increased. Droplet ejection control may be performed according to the high density of the arrangement.

また、圧電素子などのアクチュエータによってインクの吐出力を得る構成では、ノズル配置が高密化されるとノズル配置に応じてアクチュエータも高密度に配置される。アクチュエータが高密度に配置されると、アクチュエータへの駆動信号を伝送する配線をアクチュエータ配設面に配置することが困難になり、該配線は多層化されたフレキシブル基板などの配線部材を用いてアクチュエータ配設面から一旦垂直方向に引き出された後に水平方向に配置され、アクチュエータ及びアクチュエータへの配線の高密度配置が実現されている。   Further, in a configuration in which ink ejection force is obtained by an actuator such as a piezoelectric element, when the nozzle arrangement is increased in density, the actuators are also arranged at a higher density in accordance with the nozzle arrangement. When the actuators are arranged at a high density, it becomes difficult to arrange the wiring for transmitting the drive signal to the actuator on the actuator arrangement surface, and the wiring is formed by using a wiring member such as a multilayered flexible substrate. Once pulled out from the arrangement surface in the vertical direction, it is arranged in the horizontal direction, and high-density arrangement of the actuator and the wiring to the actuator is realized.

特許文献1に記載されたアクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置では、外部配線が接続される実装部が圧電素子とは反対側の領域に設けられ、その一端が実装部に接続されるとともに他端が圧電素子に接続される駆動用配線が設けられる接合部材を有し、この接続部材をノズル及び圧力室などが形成される流路形成基板の圧電素子側に接合することで、インクジェット式記録ヘッドの構造簡略化及び小型化が実現されている。   In the actuator device, the ink jet recording head, and the ink jet recording device described in Patent Document 1, a mounting portion to which external wiring is connected is provided in a region opposite to the piezoelectric element, and one end thereof is connected to the mounting portion. And having a connecting member provided with a driving wiring connected to the piezoelectric element at the other end, and connecting the connecting member to the piezoelectric element side of the flow path forming substrate on which the nozzle and the pressure chamber are formed, Simplification and downsizing of the structure of the ink jet recording head are realized.

また、特許文献2に記載されたインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及び積層型圧電素子では、L字状断面の圧電素子の段部上に引き出された外部電極が積層セラミック基板のスルーホールにワイヤボンディングで配線され、積層セラミック基板の反対面側に外部電極と電気的に接続されるドライバICが実装される構造を有し、圧電素子の配線の作業性、信頼性が高く構造がシンプル、コンパクトなインクジェットヘッドが実現されている。   Further, in the ink jet head, ink jet recording apparatus, and multilayer piezoelectric element described in Patent Document 2, the external electrode drawn on the step portion of the piezoelectric element having an L-shaped cross section is bonded to the through hole of the multilayer ceramic substrate by wire bonding. Wired and mounted on the opposite side of the multilayer ceramic substrate with a driver IC that is electrically connected to the external electrode. The piezoelectric element wiring workability and reliability are high, and the structure is simple and compact. The head is realized.

また、特許文献3に記載された記録ヘッドでは、ノズル、加圧室、振動板、共通インク室等が形成される1枚の接合部のないシリコン単結晶基板と、ヘッド筐体部と、からインクジェット記録ヘッドが構成されるので、構成部品が少なく簡易な構造が実現されている。
特開2003−136721号公報 特開2003−251813号公報 特開平9−327912号公報
In the recording head described in Patent Document 3, a single-crystal silicon substrate without a joint portion on which a nozzle, a pressure chamber, a vibration plate, a common ink chamber, and the like are formed, and a head housing portion are included. Since the ink jet recording head is configured, a simple structure with few components is realized.
JP 2003-136721 A Japanese Patent Laid-Open No. 2003-251813 Japanese Patent Laid-Open No. 9-327912

しかしながら、アクチュエータから配線を水平方向に引き出す際に用いられるフレキシブル基板等の配線部材の電流容量、サイズによって配線の高密度化には限界がある。例えば、配線部材にフレキシブル基板を用いる場合、このフレキシブル基板を多層化することで配線密度を上げることが可能であるが、製造難易性や強度などの面からフレキシブル基板の多層化にも限界がある。   However, there is a limit to increasing the wiring density depending on the current capacity and size of a wiring member such as a flexible substrate used when the wiring is pulled out from the actuator in the horizontal direction. For example, when a flexible substrate is used for the wiring member, it is possible to increase the wiring density by multilayering the flexible substrate, but there is a limit to multilayering of the flexible substrate in terms of manufacturing difficulty and strength. .

また、ヘッドを小型化するために、上述したフレキシブル基板やヘッドの構造部材にアクチュエータを駆動する駆動回路が実装されることがあり、この駆動回路から発生する熱によってインクの温度変動が大きくなることがある。インクの温度変動が大きくなると、吐出が不安定になり、吐出性能を大きく落とすことになる。   In addition, in order to reduce the size of the head, a drive circuit that drives the actuator may be mounted on the above-described flexible substrate or the structural member of the head, and the temperature variation of the ink increases due to the heat generated from the drive circuit. There is. When the temperature fluctuation of the ink becomes large, the ejection becomes unstable and the ejection performance is greatly reduced.

特許文献1に記載されたアクチュエータ装置及びインクジェット式記録ヘッド並びにインクジェット式記録装置では、接合部材と流路形成基板とを接合する際に高精度の位置決めが必要であり、製造難易度が高くなってしまう。また、接合部材に設けられる実装部の放熱設計によっては実装部に搭載される駆動回路(ドライバIC)から発生する熱が流路形成基板に伝導されてしまい、圧力発生室内のインクの温度を変化させてしまう恐れがある。   In the actuator device, the ink jet recording head, and the ink jet recording device described in Patent Document 1, high-precision positioning is required when joining the joining member and the flow path forming substrate, and the manufacturing difficulty increases. End up. Also, depending on the heat dissipation design of the mounting part provided on the joining member, the heat generated from the drive circuit (driver IC) mounted on the mounting part is conducted to the flow path forming substrate, changing the temperature of the ink in the pressure generating chamber. There is a risk of letting you.

また、特許文献2に記載されたインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及び積層型圧電素子では、L字状断面の圧電素子を形成するので、該圧電素子の製造工程が複雑になり圧電素子の製造難易度が高くなってしまう。また、圧電素子の外部電極が引き出される段部が存在するので、圧電素子の高密度配置の妨げになる。   Further, in the ink jet head, the ink jet recording apparatus, and the multilayer piezoelectric element described in Patent Document 2, since the piezoelectric element having an L-shaped cross section is formed, the manufacturing process of the piezoelectric element becomes complicated, and the difficulty in manufacturing the piezoelectric element. Becomes higher. In addition, since there is a step portion from which the external electrode of the piezoelectric element is drawn, this hinders high-density arrangement of the piezoelectric elements.

また、特許文献3に記載された記録ヘッドでは、構成部品が少なく簡易な構造が実現される技術についてのみ開示されており、記録ヘッド内の高密度配置化については開示されていない。   Further, the recording head described in Patent Document 3 discloses only a technique that realizes a simple structure with few components and does not disclose high-density arrangement in the recording head.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、高密度に配置された吐出孔及び圧力室に応じて駆動素子及び該駆動素子への配線の高密度化を実現すると共に、安定した吐出を実現する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and realizes high density of the drive element and wiring to the drive element according to the discharge holes and pressure chambers arranged at high density, and stable discharge. An object of the present invention is to provide a liquid discharge head that realizes the above.

前記目的を達成するために、本発明に係る液体吐出ヘッドは、被吐出媒体上に液体を吐出させる2次元状に並べられた複数の吐出孔と、前記複数の吐出孔に対応して設けられ、前記吐出孔から吐出させる液体が収容される複数の圧力室と、前記複数の圧力室へ液体を供給する共通液室と、前記圧力室を構成する壁のうち前記吐出孔が形成される壁と対向する壁に設けられ、駆動信号が入力される個別電極を有する圧電素子と、前記圧電素子が有する前記個別電極から取り出され、該個別電極と電気的に接合される取出電極と、前記圧力室を構成する壁の前記液体の吐出方向と反対側の面に接合される構造部材と、前記構造部材の大気に接する面に実装され、前記圧電素子へ与える駆動信号が生成される駆動回路と、を備え、前記構造部材は、2以上の部材を積層させた積層構造を有し、少なくとも大気に接する最外層は放熱部材で構成されると共に、少なくとも1層以上の断熱部材を有し、前記構造部材を形成する部材は、前記圧電素子が取り付けられる面に対して略垂直方向に形成される垂直導電部材及び該垂直導電部材と略直交方向に形成される水平導電部材のうち少なくとも前記垂直導電部材を含み、一方の端が前記取出電極に接合され他方の端が前記駆動回路に接合される導電部材を有することを特徴とする。   In order to achieve the above object, a liquid discharge head according to the present invention is provided corresponding to a plurality of discharge holes arranged in a two-dimensional shape for discharging liquid onto a discharge target medium, and the plurality of discharge holes. A plurality of pressure chambers for storing liquid to be discharged from the discharge holes, a common liquid chamber for supplying liquid to the plurality of pressure chambers, and a wall in which the discharge holes are formed among the walls constituting the pressure chamber A piezoelectric element having an individual electrode to which a drive signal is input, a take-out electrode taken out from the individual electrode and electrically connected to the individual electrode, and the pressure A structural member joined to a surface of the wall constituting the chamber opposite to the liquid discharge direction, and a drive circuit mounted on a surface of the structural member that comes into contact with the atmosphere to generate a drive signal applied to the piezoelectric element. The structural member comprises It has a laminated structure in which the above members are laminated, at least the outermost layer in contact with the atmosphere is composed of a heat radiating member, and has at least one heat insulating member, and the member that forms the structural member is the piezoelectric member It includes at least the vertical conductive member among a vertical conductive member formed in a direction substantially perpendicular to a surface to which the element is attached and a horizontal conductive member formed in a direction substantially orthogonal to the vertical conductive member, and one end of the vertical conductive member It has a conductive member joined to the electrode and the other end joined to the drive circuit.

本発明によれば、2次元状に配置された吐出孔及び圧力室を有する液体吐出ヘッドにおいて、各圧力室に対応して設けられる圧電素子に駆動信号を伝送する配線部材を、断熱部
材及び放熱部材を含む構造部材(上部構造体)を貫通するように形成される垂直導電部材及び該垂直導電部材と略直交方向に形成される水平導電部材のうち少なくとも垂直導電部材を含むように構成される。したがって、圧電素子駆動回路と該圧電素子との電気配線の高密度化を容易に実現することができる。
According to the present invention, in a liquid discharge head having discharge holes and pressure chambers arranged two-dimensionally, a wiring member that transmits a drive signal to a piezoelectric element provided corresponding to each pressure chamber is provided with a heat insulating member and a heat dissipation member. A vertical conductive member formed so as to penetrate a structural member (upper structure) including a member and a horizontal conductive member formed in a direction substantially orthogonal to the vertical conductive member are configured to include at least the vertical conductive member. . Therefore, it is possible to easily realize a high density of electrical wiring between the piezoelectric element driving circuit and the piezoelectric element.

また、構造部材は、最外層に設けられる放熱部材と1層以上の断熱部材とから構成され、該放熱部材に圧電素子を駆動する駆動回路を実装するように構成されるので、駆動回路から発生する熱を外部に効率よく放出させると共に、駆動回路から発生する熱が液体吐出ヘッド内(液体吐出ヘッドから吐出する液体)へ与える影響を低減させることができる。   Further, the structural member is composed of a heat radiating member provided in the outermost layer and one or more heat insulating members, and is configured to mount a driving circuit for driving the piezoelectric element on the heat radiating member. The heat generated from the drive circuit can be efficiently released to the outside, and the influence of the heat generated from the drive circuit on the inside of the liquid discharge head (liquid discharged from the liquid discharge head) can be reduced.

導電部材は、1つの垂直導電部材によって構成されてもよいし(1つの垂直導電部材を介して圧電素子と駆動回路とを接合してもよいし)、垂直導電部材及び水平導電部材から構成されてもよい。また、導電部材には、複数の垂直導電部材及び複数の水平導電部材が含まれていてもよい。   The conductive member may be constituted by one vertical conductive member (a piezoelectric element and a drive circuit may be joined via one vertical conductive member), or may be constituted by a vertical conductive member and a horizontal conductive member. May be. The conductive member may include a plurality of vertical conductive members and a plurality of horizontal conductive members.

垂直導電部材は、構造部材全体を貫通するように形成されてもよいし、断熱部材及び放熱部材のうち少なくとも何れか1つの部材を貫通するように形成され、水平導電部材を介して他の垂直導電部材や駆動回路に接合されてもよい。なお、導電部材を絶縁被覆(絶縁処理)すれば、放熱部材として金属を用いることも可能である。   The vertical conductive member may be formed so as to penetrate the entire structural member, or may be formed so as to penetrate at least one member of the heat insulating member and the heat radiating member, and another vertical member via the horizontal conductive member. It may be joined to a conductive member or a drive circuit. Note that if the conductive member is covered with insulation (insulation treatment), a metal can be used as the heat dissipation member.

吐出孔から吐出される液体に吐出力を与える圧電素子は、複数の圧力室に共通の圧電体(圧電部材)を備え、該圧電体に各圧力室に対応して個別電極を備えてもよいし(電極分割)、圧力室ごとに圧電体及び個別電極を備えてもよい(メカ分割)。また、圧電素子は複数の圧電体および電極が交互に積層される積層構造を有していてもよい。   The piezoelectric element that applies discharge force to the liquid discharged from the discharge hole may include a common piezoelectric body (piezoelectric member) in a plurality of pressure chambers, and the piezoelectric body may include individual electrodes corresponding to the pressure chambers. However, a piezoelectric body and individual electrodes may be provided for each pressure chamber (mechanical division). The piezoelectric element may have a laminated structure in which a plurality of piezoelectric bodies and electrodes are alternately laminated.

液体吐出ヘッドには、吐出孔から吐出された液体を受容する被吐出媒体の吐出可能幅に対応する長さの吐出孔列を有するライン型ヘッドや、該吐出可能幅に満たない長さの吐出孔列を有し、被吐出媒体の幅方向に被吐出媒体と液体吐出ヘッドとを相対的に移動させながら被吐出媒体の幅方向の全幅に液体を吐出させるシャトル型ヘッドがある。   The liquid discharge head includes a line-type head having a discharge hole array having a length corresponding to the dischargeable width of a medium to be discharged that receives the liquid discharged from the discharge holes, and a discharge length less than the dischargeable width. There is a shuttle type head that has a hole array and discharges liquid over the entire width in the width direction of the discharge medium while relatively moving the discharge medium and the liquid discharge head in the width direction of the discharge medium.

なお、被吐出媒体には、液体吐出ヘッドによって吐出された液体を受ける媒体(メディア)であり、連続用紙、カット紙、シール用紙、OHPシート等の樹脂シート、フイルム、布、その他材料や形状を問わず、様々な媒体を含む。   Note that the medium to be ejected is a medium (medium) that receives the liquid ejected by the liquid ejection head, and includes resin sheets such as continuous paper, cut paper, seal paper, and OHP sheet, film, cloth, and other materials and shapes. Regardless, it includes various media.

請求項2記載の発明は、請求項1記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記構造部材は、前記圧力室を構成する壁の前記液体の吐出方向と反対側の面に接合される絶縁性構造部材を有することを特徴とする。   A second aspect of the invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to the first aspect, wherein the structural member is bonded to a surface of the wall constituting the pressure chamber opposite to the liquid discharge direction. It has the characteristic structure member.

構造部材の圧力室と接合される面に断熱部材や放熱部材を支持する絶縁性構造部材を設けることで、断熱部材や放熱部材、放熱部材に実装される駆動回路を確実に支持することができ、所定のヘッドの剛性を確保することができる。また、断熱部材や放熱部材に施す絶縁処理が不要になる。   By providing an insulating structural member that supports the heat insulating member and the heat radiating member on the surface joined to the pressure chamber of the structural member, it is possible to reliably support the heat insulating member, the heat radiating member, and the drive circuit mounted on the heat radiating member. The rigidity of a predetermined head can be ensured. Moreover, the insulation process given to a heat insulating member or a heat radiating member becomes unnecessary.

請求項3記載の発明は、請求項1又は2記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記駆動回路は、1以上のICに集積化された構造を有し、前記ICは、前記放熱部材の該駆動回路が実装される面にフリップチップ実装されることを特徴とする。   A third aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to the first or second aspect, wherein the drive circuit has a structure integrated in one or more ICs, and the ICs are the heat radiating members. It is characterized by being flip-chip mounted on the surface on which the driving circuit is mounted.

圧電素子の駆動信号を発生させる駆動回路は、1又は2以上のICに集積化し、このICを放熱部材の駆動回路実装面にフリップチップ実装するので、駆動回路を高密度に実装することができ、駆動回路が実装される面のうち駆動回路が占める領域 (面積)を小さく
することができる。また、駆動回路を分散配置することができるので、それぞれの駆動回路近傍における垂直導電部材及び水平導電部材の配置密度を低くすることが可能になる。
The drive circuit that generates the drive signal for the piezoelectric element is integrated in one or more ICs, and this IC is flip-chip mounted on the drive circuit mounting surface of the heat dissipation member, so that the drive circuits can be mounted with high density. The area (area) occupied by the drive circuit in the surface on which the drive circuit is mounted can be reduced. Further, since the drive circuits can be dispersedly arranged, it is possible to reduce the arrangement density of the vertical conductive members and the horizontal conductive members in the vicinity of each drive circuit.

駆動回路実装面は放熱部材の断熱部材と反対側(放熱部材の上面側)でもよいし、断熱部材側(放熱部材の下面側)でもよい。   The drive circuit mounting surface may be on the side opposite to the heat insulating member of the heat radiating member (upper surface side of the heat radiating member) or on the heat insulating member side (lower surface side of the heat radiating member).

請求項4記載の発明は、請求項1、2又は3記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記放熱部材の熱伝導率α1 と、前記断熱部材の熱伝導率βと、の関係は、次式α1 >βを満たすことを特徴とする。   The invention according to claim 4 relates to an aspect of the liquid discharge head according to claim 1, 2, or 3, wherein the relationship between the thermal conductivity α1 of the heat radiating member and the thermal conductivity β of the heat insulating member is: The following expression α1> β is satisfied.

駆動回路の放熱の点で放熱部材はその熱伝導率α1 が15(W/m・K)を超える部材が好ましく、この条件を満たす部材にはアルミナなどのセラミックや金属部材などがある。また、共通液室内の温度コントロールの点で断熱部材はその熱伝導率βが1(W/m・K)未満の部材が好ましく、この条件を満たす部材にはエポキシ樹脂やガラスなどがある。   In terms of heat dissipation of the drive circuit, the heat dissipation member is preferably a member having a thermal conductivity α1 exceeding 15 (W / m · K), and members satisfying this condition include ceramics such as alumina and metal members. Further, in terms of temperature control in the common liquid chamber, the heat insulating member is preferably a member having a thermal conductivity β of less than 1 (W / m · K), and members satisfying this condition include epoxy resin and glass.

請求項5記載の発明は、請求項1乃至4のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記絶縁性構造部材は、熱硬化型エポキシ樹脂に無機微粒子を含有させた部材を含むことを特徴とする。   A fifth aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to any one of the first to fourth aspects, wherein the insulating structural member contains inorganic fine particles in a thermosetting epoxy resin. It is characterized by including a member.

熱硬化型エポキシ樹脂や熱硬化型エポキシ樹脂に無機微粒子を含有させた材料は耐熱性が高く、駆動回路をフリップチップ接合させるのに好適である。また、電気絶縁性が高く吸水性が低いので、液体吐出ヘッドを構成する構造体に用いるのに好適である。   A material in which inorganic fine particles are contained in a thermosetting epoxy resin or a thermosetting epoxy resin has high heat resistance and is suitable for flip-chip bonding of a drive circuit. In addition, since it has high electrical insulation and low water absorption, it is suitable for use in a structure constituting a liquid discharge head.

請求項6記載の発明は、請求項1乃至5のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記駆動回路は、駆動回路用放熱部材を具備することを特徴とする。   A sixth aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid ejection head according to any one of the first to fifth aspects, wherein the drive circuit includes a heat radiating member for the drive circuit.

駆動回路に駆動回路用放熱部材を具備することで、該駆動回路から発生する熱を効果的に外部に放出させることができる。   By providing the drive circuit with a heat radiating member for the drive circuit, the heat generated from the drive circuit can be effectively released to the outside.

駆動回路用放熱部材には、銅、アルミなど熱伝導率が高い金属部材を用いるとよい。   A metal member having high thermal conductivity such as copper or aluminum may be used for the heat radiating member for the drive circuit.

請求項7に記載の発明は、請求項6記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記駆動回路用放熱部材の熱伝導率α2 と前記断熱部材の熱伝導率βとの関係は、次式α2 >βを満たすことを特徴とする。   A seventh aspect of the invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to the sixth aspect of the invention, and the relationship between the thermal conductivity α2 of the heat radiating member for the drive circuit and the thermal conductivity β of the heat insulating member is expressed by the following equation: It is characterized by satisfying α2> β.

駆動回路用放熱部材の熱伝導率α2 は駆動回路が実装される放熱部材の熱伝導率α1 と同程度でもよい。また、駆動回路用放熱部材の熱伝導率α2 が放熱部材の熱伝導率α1 よりも大きくてもよいし、小さくてもよい。   The thermal conductivity α2 of the heat radiating member for the drive circuit may be approximately the same as the thermal conductivity α1 of the heat radiating member on which the drive circuit is mounted. Further, the heat conductivity α2 of the heat radiating member for the drive circuit may be larger or smaller than the heat conductivity α1 of the heat radiating member.

請求項8に記載の発明は、請求項1乃至7のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記共通液室及び前記圧電素子は、前記圧力室の液体吐出方向と反対側に設けられ、前記導電部材は前記圧電素子が配設される面から立ち上がり前記共通液室を貫通するように設けられ、一方の端が前記取出電極と接合され、他方の端が前記駆動回路に接合されることを特徴とする。   An eighth aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to any one of the first to seventh aspects, wherein the common liquid chamber and the piezoelectric element are arranged in a liquid discharge direction of the pressure chamber. Provided on the opposite side, the conductive member is provided so as to rise from the surface on which the piezoelectric element is disposed and penetrate the common liquid chamber, one end is joined to the extraction electrode, and the other end is the drive It is characterized by being joined to a circuit.

共通液室を圧力室の液体吐出方向側に備えると、吐出孔や圧力室が高密度化された場合に共通液室のサイズが小さくなり、高い吐出周波数で液体を吐出させる際に圧力室への液体供給が間に合わない恐れがある。また、共通液室を大きくすると圧力室から吐出孔までの吐出側流路の長さが長くなってしまい、高い吐出周波数を維持することができない恐れ
がある。したがって、圧力室の液体吐出方向と反対側に所定の面積を持った面状の共通液室を備え、この共通液室から複数の圧力室へ垂直方向に液体を供給することで、高い吐出周波数を維持しながら遅滞なく液体の供給を行うことができる。
When the common liquid chamber is provided on the liquid discharge direction side of the pressure chamber, the size of the common liquid chamber is reduced when the discharge holes and pressure chambers are densified, and the liquid is discharged to the pressure chamber when discharging liquid at a high discharge frequency. The liquid supply may not be in time. Further, if the common liquid chamber is enlarged, the length of the discharge side flow path from the pressure chamber to the discharge hole becomes long, and there is a possibility that a high discharge frequency cannot be maintained. Therefore, a flat common liquid chamber having a predetermined area is provided on the opposite side of the pressure chamber from the liquid discharge direction, and liquid is supplied from the common liquid chamber to a plurality of pressure chambers in the vertical direction, thereby providing a high discharge frequency. The liquid can be supplied without delay while maintaining the above.

また、圧電素子の配設面から立ち上がり共通液室を貫通するように圧電素子への駆動信号を伝送する導電部材が配設される構造を有するので、圧電素子(個別電極)、圧力室、吐出孔を高密度に配置することが可能になる。   In addition, since it has a structure in which a conductive member that transmits a drive signal to the piezoelectric element is provided so as to rise from the arrangement surface of the piezoelectric element and penetrate the common liquid chamber, the piezoelectric element (individual electrode), pressure chamber, discharge It becomes possible to arrange | position a hole with high density.

この導電部材は、共通液室に収容される液体と接触しないように(所定の絶縁性能を確保するように)、絶縁性構造部材によって覆われる。   This conductive member is covered with an insulating structural member so as not to come into contact with the liquid stored in the common liquid chamber (so as to ensure a predetermined insulating performance).

請求項9に記載の発明は、請求項1乃至8のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記駆動回路は、前記放熱部材上に接する領域のうち、前記圧力室又は前記共通液室の非配設領域に対応する領域に配設されることを特徴とする。   A ninth aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid ejection head according to any one of the first to eighth aspects, wherein the drive circuit includes the pressure chamber in a region in contact with the heat radiating member. Or it is arrange | positioned in the area | region corresponding to the non-arrangement | positioning area | region of the said common liquid chamber.

駆動回路は共通液室(液体流路)が配設される領域(液体流路範囲)を避けて配置されるので、駆動回路から発生する熱による該液体流路内の液体の温度変動を低減させることができる。該液体流路内の温度変動を低減させることで、液体の濃度上昇や粘度上昇を抑制することができる。   Since the drive circuit is arranged avoiding the area (liquid flow path range) where the common liquid chamber (liquid flow path) is disposed, the temperature fluctuation of the liquid in the liquid flow path due to heat generated from the drive circuit is reduced. Can be made. By reducing temperature fluctuations in the liquid flow path, it is possible to suppress an increase in liquid concentration and viscosity.

請求項10に記載の発明は、請求項1乃至9のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記被吐出媒体の液体吐出可能幅の全幅に対応する長さにわたって前記吐出孔が並べられる構造を有することを特徴とする。   A tenth aspect of the present invention relates to an aspect of the liquid discharge head according to any one of the first to ninth aspects, wherein the discharge medium has a length corresponding to the entire width of the liquid dischargeable width. It has a structure in which the discharge holes are arranged.

被吐出媒体の全幅に対応するラインヘッドでは、被吐出媒体とヘッドとを被吐出媒体の幅方向と略直交する方向に沿って、液体吐出ヘッド及び被吐出媒体のうち少なくとも何れか一方を1度だけ移動させることで、被吐出媒体の液体吐出可能領域の全域に液体を吐出させることができる。被吐出媒体の幅よりも短い幅のヘッドを被吐出媒体の幅方向に走査させる方式に比べて短い時間で被吐出媒体の液体吐出可能領域の全域に液体を吐出させることができる。   In the line head corresponding to the entire width of the discharge medium, at least one of the liquid discharge head and the discharge medium is set once along the direction substantially perpendicular to the width direction of the discharge medium. By moving only the liquid, it is possible to discharge the liquid over the entire liquid dischargeable area of the discharge target medium. Liquid can be discharged over the entire area of the liquid dischargeable area of the discharged medium in a shorter time compared to a method in which a head having a width shorter than the width of the discharged medium is scanned in the width direction of the discharged medium.

請求項11に記載の発明は、請求項10記載の液体吐出ヘッドの一態様に係り、前記被吐出媒体の液体吐出可能幅の全幅に満たない長さにわたって前記吐出孔が並べられる吐出孔列を有する液体吐出ヘッドモジュールを、前記被吐出媒体の幅方向に複数並べた構造を有することを特徴とする。   According to an eleventh aspect of the present invention, in the liquid ejection head according to the tenth aspect, the ejection hole array in which the ejection holes are arranged over a length that is less than a full width of the liquid ejectable width of the ejection target medium is provided. It has a structure in which a plurality of liquid discharge head modules are arranged in the width direction of the discharge target medium.

大きなサイズ(例えば、ポスターサイズなど)を有する被吐出媒体に対応する長尺ヘッドは、製造時 (組み立て時)のばらつきによって吐出性能が変わってしまい、製造時の難易度が高くなるが、長尺ヘッドに比べて製造容易な短尺ヘッドを複数組み合わせることで、大サイズの被吐出媒体に対応した長尺ヘッドを容易に製造可能である。   Long heads corresponding to ejected media with large sizes (for example, poster size) change the ejection performance due to variations in manufacturing (assembly), and the difficulty in manufacturing becomes high. By combining a plurality of short heads that are easier to manufacture than the head, it is possible to easily manufacture a long head corresponding to a large-sized ejection target medium.

ヘッドモジュールを千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、被吐出媒体の全幅に対応する長さとしてもよい。   The head modules may be arranged in a zigzag pattern and connected to form a length corresponding to the entire width of the medium to be ejected.

本発明によれば、2次元状に配置された圧電素子へ駆動信号を伝送する導電部材を、最外層に放熱部材が設けられるとともに1層以上の断熱部材が設けられた構造部材を圧電素子の取出電極から垂直方向に貫通するように配設し、該構造部材の垂直配線部材と略直交する面に実装される駆動回路と電気的に接合されるので、高密度化された電気配線を容易に実現することができる。   According to the present invention, a conductive member that transmits a drive signal to a two-dimensionally arranged piezoelectric element, a structural member that is provided with a heat dissipating member on the outermost layer and one or more heat insulating members are provided. Since it is arranged so as to penetrate the extraction electrode in the vertical direction and is electrically connected to the drive circuit mounted on the surface of the structural member substantially perpendicular to the vertical wiring member, it is easy to increase the density of the electric wiring. Can be realized.

また、該放熱部材に圧電素子を駆動する駆動回路を実装するように構成されるので、駆動回路から発生する熱を外部に効率よく放出させるとともに、該断熱部材を設けることで、駆動回路から発生する熱の液体吐出ヘッド内への影響を低減させることができる。   In addition, since the driving circuit for driving the piezoelectric element is mounted on the heat radiating member, the heat generated from the driving circuit is efficiently released to the outside, and the heat insulating member is provided to generate the driving circuit. It is possible to reduce the influence of the heat to the inside of the liquid discharge head.

以下添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

〔第1実施形態〕
図1は、本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッド(吐出デバイス、以下、単にヘッドと記載することがある)10の構造を示す平面透視図であり、図2は、ヘッド10の立体構造を示す断面図 (図1中、2−2線に沿う断面図)である。
[First Embodiment]
FIG. 1 is a perspective plan view showing the structure of a liquid discharge head (discharge device, hereinafter simply referred to as a head) 10 according to the first embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the structure (a cross-sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1).

図1に示すヘッド10は、例えば、吐出孔から吐出させるインクによってメディア(被吐出媒体)上に所望の画像を形成するインクジェット記録装置に搭載されるインクジェットヘッドである。なお、ヘッド10には印字ヘッドや記録ヘッドなどと呼ばれるものを含んでいてもよい。   A head 10 shown in FIG. 1 is an ink jet head mounted on an ink jet recording apparatus that forms a desired image on a medium (a medium to be ejected) with ink ejected from ejection holes, for example. The head 10 may include what is called a print head or a recording head.

図1に示すように、ヘッド10は、インク(液体)を吐出させるノズル12 (吐出孔)と、ノズル12から吐出させるインクが収容され、その平面形状が略正方形の圧力室14と、インク供給系 (不図示)から共通液室(共通流路)16を介して圧力室14へインクを供給する供給絞り18と、前記インク供給系から共通液室16へインクが補給される補給口20と、圧力室14に収容されているインクに吐出力を与える圧電素子(図1中不図示、図2に符号26で図示)に備えられる個別電極(図1中不図示、図2に符号28で図示)から該圧電素子の外部に取り出されたパッド22 (取出電極)と、を有している。   As shown in FIG. 1, the head 10 contains a nozzle 12 (ejection hole) for ejecting ink (liquid), ink ejected from the nozzle 12, a pressure chamber 14 having a substantially square shape in plan view, and an ink supply. A supply throttle 18 for supplying ink from a system (not shown) to the pressure chamber 14 via a common liquid chamber (common flow path) 16, and a replenishing port 20 for supplying ink from the ink supply system to the common liquid chamber 16. The individual electrodes (not shown in FIG. 1, not shown in FIG. 1 and indicated by reference numeral 28 in FIG. 2) are provided in a piezoelectric element (not shown in FIG. 1, indicated by reference numeral 26 in FIG. 2) that gives ejection force to the ink accommodated in the pressure chamber 14. And a pad 22 (extraction electrode) extracted from the piezoelectric element to the outside.

図1では圧電素子26の外部にパッド22を設ける態様を示したが、パッド22は圧電素子26の個別電極28が形成される面に形成されてもよい。また、共通電極と兼用される加圧板(図1中不図示、図2に符号24で図示)にパッド22を設ける場合には、加圧板24とパッドとの間には不図示の絶縁層が形成される。   Although FIG. 1 shows a mode in which the pad 22 is provided outside the piezoelectric element 26, the pad 22 may be formed on the surface of the piezoelectric element 26 on which the individual electrode 28 is formed. Further, when a pad 22 is provided on a pressure plate (not shown in FIG. 1 and indicated by reference numeral 24 in FIG. 2) that is also used as a common electrode, an insulating layer (not shown) is provided between the pressure plate 24 and the pad. It is formed.

なお、図1中、符号23(破線で図示)に示した略正方形は、各圧電素子を駆動する駆動信号が生成されるスイッチングIC(駆動回路、SWIC)である。   In FIG. 1, a substantially square indicated by reference numeral 23 (illustrated by a broken line) is a switching IC (drive circuit, SWIC) that generates a drive signal for driving each piezoelectric element.

図1に示すヘッド10は、2個のノズル12が行方向に並べられたノズル群を、列方向に6列有している。なお、図1に示すノズル配列はあくまでも一例であり、1つのノズル群が2以上(又は1つ)のノズル12を有してもよい。また、列方向のノズル群は6列未満でもよいし、6列以上でもよい。   The head 10 shown in FIG. 1 has six rows of nozzle groups in which two nozzles 12 are arranged in the row direction. The nozzle arrangement shown in FIG. 1 is merely an example, and one nozzle group may include two or more (or one) nozzles 12. Further, the number of nozzle groups in the row direction may be less than six rows, or may be six or more rows.

また、図2によれば、ヘッド10は、圧力室14の天面を形成する加圧板24の圧力室14と反対側の面には圧力室14に収容されるインクに吐出力を与える圧電素子(圧電アクチュエータ)26が設けられている。圧電素子26はその上部(加圧板24と反対側の面)に駆動信号が印加される個別電極28を有し、該個別電極28と反対側の面に設けられる共通電極はSUSなどの金属材料 (導電性を備えた材料)によって構成される加圧板24と兼用される。   Further, according to FIG. 2, the head 10 includes a piezoelectric element that applies ejection force to the ink stored in the pressure chamber 14 on the surface opposite to the pressure chamber 14 of the pressure plate 24 that forms the top surface of the pressure chamber 14. A (piezoelectric actuator) 26 is provided. The piezoelectric element 26 has an individual electrode 28 to which a drive signal is applied at the upper part (surface opposite to the pressure plate 24), and the common electrode provided on the surface opposite to the individual electrode 28 is a metal material such as SUS. It is also used as the pressure plate 24 made of (conductive material).

なお、加圧板24が樹脂やセラミックなどの絶縁性を有する材料(絶縁材料、非導電性材料)によって構成される場合には、個別電極28と反対側の面には金属などの導電性部材によって形成される共通電極が設けられる。   When the pressure plate 24 is made of an insulating material (insulating material, non-conductive material) such as resin or ceramic, the surface opposite to the individual electrode 28 is made of a conductive member such as metal. A common electrode to be formed is provided.

図2には、圧電素子26を加圧板24の圧力室14の反対側(即ち、圧力室14の外部
)に備える態様を示したが、圧電素子26に所定の絶縁処理及び耐インク処理を施して圧電素子26を加圧板24の圧力室14側(即ち、圧力室14の内部)に備えてもよい。
FIG. 2 shows a mode in which the piezoelectric element 26 is provided on the opposite side of the pressure chamber 14 of the pressure plate 24 (that is, outside the pressure chamber 14). However, the piezoelectric element 26 is subjected to predetermined insulation treatment and ink resistance treatment. The piezoelectric element 26 may be provided on the pressure chamber 14 side of the pressure plate 24 (that is, inside the pressure chamber 14).

圧電素子26を圧力室14の内部に備える態様では、圧力室14の外部に設けられるパッド22と個別電極28とを電気的に接合させるように、加圧板24を貫通する配線が設けられる。   In the aspect in which the piezoelectric element 26 is provided inside the pressure chamber 14, a wiring that penetrates the pressure plate 24 is provided so as to electrically connect the pad 22 provided outside the pressure chamber 14 and the individual electrode 28.

また、図2に示すように、ヘッド10は複数のキャビティプレートを積層させた積層構造を有している。即ち、ヘッド10は、ノズル12が形成されるノズルプレート30に、圧力室14や共通液室16などの流路、液室が形成される流路プレート32が積層され、流路プレート32には加圧板24が積層される。   As shown in FIG. 2, the head 10 has a laminated structure in which a plurality of cavity plates are laminated. That is, the head 10 includes a nozzle plate 30 in which the nozzles 12 are formed, a flow path such as the pressure chamber 14 and the common liquid chamber 16, and a flow path plate 32 in which a liquid chamber is formed. A pressure plate 24 is laminated.

更に、加圧板24の圧電素子配設面24Aには、個別電極28から圧電素子26の外部へ引き出されたパッド22が設けられ、このパッド22には、パッド22と略直交する垂直方向に形成される垂直導電部材38が電気的に接合されている。   Further, a pad 22 drawn out from the individual electrode 28 to the outside of the piezoelectric element 26 is provided on the piezoelectric element mounting surface 24A of the pressure plate 24. The pad 22 is formed in a vertical direction substantially orthogonal to the pad 22. The vertical conductive member 38 is electrically joined.

垂直導電性部材38は、加圧板24の圧力室14と反対側の面(圧電素子配設面24A)に形成される絶縁性構造部材40及び絶縁性構造部材40の加圧板24と反対側に積層される断熱部材42、断熱部材42の絶縁性構造部材40と反対側に積層される放熱部材44を含む電気配線構造体45を貫通するように形成される。   The vertical conductive member 38 is formed on the surface of the pressure plate 24 opposite to the pressure chamber 14 (piezoelectric element mounting surface 24A) and on the side opposite to the pressure plate 24 of the insulating structure member 40. The heat insulating member 42 is laminated, and the electric wiring structure 45 including the heat radiating member 44 laminated on the side opposite to the insulating structural member 40 of the heat insulating member 42 is formed so as to penetrate.

放熱部材44には、その一方の端部が垂直導電部材38と電気的に接合される水平導電部材46が形成され、水平導電部材46の他方の端部は放熱部材の断熱部材と反対側の面(駆動回路実装面)44Aに実装されるスイッチングIC23と接合される。   The heat radiating member 44 is formed with a horizontal conductive member 46 whose one end is electrically joined to the vertical conductive member 38, and the other end of the horizontal conductive member 46 is opposite to the heat insulating member of the heat radiating member. It joins with switching IC23 mounted in the surface (drive circuit mounting surface) 44A.

即ち、上述したように、水平導電部材46、垂直導電部材38、パッド22を含む駆動信号伝送路を介してスイッチングIC23と圧電素子26が有する個別電極28とは電気的に接合され、スイッチングIC23で生成される駆動信号は該駆動信号伝送路を通って個別電極28へ伝送される。   That is, as described above, the switching IC 23 and the individual electrode 28 of the piezoelectric element 26 are electrically joined via the drive signal transmission path including the horizontal conductive member 46, the vertical conductive member 38, and the pad 22. The generated drive signal is transmitted to the individual electrode 28 through the drive signal transmission path.

本例に示すスイッチングIC23を構成する電子部品(電子デバイス)及びそれらを電気的に接合する電気配線部材(電気配線パターン)は、半導体製造工程や印刷工程などの工程を経てベアチップ (チップコア)50内に形成され、このベアチップ50の入出力端子には水平導電部材46に形成された突起電極(バンプ)52に直接接合される。即ち、スイッチングIC23は放熱部材44にフリップチップ実装される。なお、図2に示す方式では、ベアチップ50の表面が放熱部材44側を向くフェイスダウン実装となる。   An electronic component (electronic device) constituting the switching IC 23 shown in this example and an electrical wiring member (electrical wiring pattern) for electrically connecting them are formed in a bare chip (chip core) 50 through processes such as a semiconductor manufacturing process and a printing process. The input / output terminals of the bare chip 50 are directly joined to the protruding electrodes (bumps) 52 formed on the horizontal conductive member 46. That is, the switching IC 23 is flip-chip mounted on the heat dissipation member 44. In the method shown in FIG. 2, face-down mounting is performed in which the surface of the bare chip 50 faces the heat radiating member 44 side.

上述した突起電極52とベアチップ50との接合には導電性接着剤が用いられる。また、前記駆動信号伝送路を構成する各部材の接合にも導電性接着剤が用いられる。もちろん、これらの部材をはんだによって電気的に接合してもよい。   A conductive adhesive is used for joining the protruding electrode 52 and the bare chip 50 described above. Further, a conductive adhesive is also used for joining the members constituting the drive signal transmission path. Of course, these members may be electrically joined by solder.

本例に示したフリップチップ実装を用いると、リードフレームを持ったICに比べてスイッチングIC23の実装面積を小さくすることができ、駆動回路の高密度配置や分散配置を容易にする。また、フリップチップ実装ではワイヤボンディングに比べて配線長が短くなり、ボンディングワイヤによるインダクタ成分を除去することができる。したがって、電気的特性が向上し(駆動信号の伝送における遅延時間が短くなり)高速動作が可能になる。   When the flip chip mounting shown in this example is used, the mounting area of the switching IC 23 can be reduced as compared with the IC having the lead frame, and the high density arrangement and the distributed arrangement of the drive circuits are facilitated. In flip chip mounting, the wiring length is shorter than in wire bonding, and the inductor component due to the bonding wire can be removed. Therefore, electrical characteristics are improved (delay time in driving signal transmission is shortened), and high-speed operation is possible.

なお、ベアチップ50と突起電極52との接合部を保護するために、ベアチップ50及びその実装領域はエポキシ樹脂やシリコンなどの絶縁部材によって封止(モールド)され
る。
In order to protect the joint between the bare chip 50 and the protruding electrode 52, the bare chip 50 and its mounting region are sealed (molded) with an insulating member such as epoxy resin or silicon.

図2には、放熱部材44の断熱部材反対側面44Aに水平導電部材46を形成する態様を示したが、図3に示すように、水平導電部材46は放熱部材44の断熱部材側面44Bや、断熱部材42の放熱部材側面42A或いは絶縁性構造部材側面42B、絶縁性構造部材40の断熱部材側面40A或いは圧電素子側面40Bに形成されてもよい。   FIG. 2 illustrates an aspect in which the horizontal conductive member 46 is formed on the side surface 44A opposite to the heat insulating member 44 of the heat radiating member 44. As illustrated in FIG. It may be formed on the heat radiating member side surface 42A or the insulating structural member side surface 42B of the heat insulating member 42, or on the heat insulating member side surface 40A or the piezoelectric element side surface 40B of the insulating structural member 40.

即ち、水平導電部材46は、絶縁性構造部材40、断熱部材42、放熱部材44の垂直導電部材38と交差する面の何れの面に形成してもよい。また、水平導電部材46はこれらの面のうち少なくとも何れか1つの面に形成される。   That is, the horizontal conductive member 46 may be formed on any surface of the insulating structural member 40, the heat insulating member 42, and the heat radiating member 44 that intersects the vertical conductive member 38. Further, the horizontal conductive member 46 is formed on at least one of these surfaces.

図3に示す符号46Aは、断熱部材42の放熱部材側面42Aに形成された水平導電部材46を示し、符号46Bは、放熱部材44の断熱部材側面44Bに形成された水平導電部材46を示す。また、符号46C及び46Dはそれぞれ絶縁性構造部材40の断熱部材側面40A及び断熱部材42の絶縁性構造部材側面42Bに形成された水平導電部材46である。   3 indicates the horizontal conductive member 46 formed on the heat radiating member side surface 42 </ b> A of the heat insulating member 42, and reference numeral 46 </ b> B indicates the horizontal conductive member 46 formed on the heat insulating member side surface 44 </ b> B of the heat radiating member 44. Reference numerals 46C and 46D denote horizontal conductive members 46 formed on the heat insulating member side surface 40A of the insulating structural member 40 and the insulating structural member side surface 42B of the heat insulating member 42, respectively.

言い換えると、絶縁性構造部材40、断熱部材42、放熱部材44を圧電素子配設面24A側から順に積層させた構造を有する電気配線構造体45が圧電素子配設面24Aに接合され、この電気配線構造体45を貫通するように圧電素子26へ与える駆動信号が伝送される導電部材が形成される。該導電部材は垂直導電部材38と水平導電部材46とから構成されている。   In other words, the electric wiring structure 45 having a structure in which the insulating structural member 40, the heat insulating member 42, and the heat radiating member 44 are sequentially laminated from the piezoelectric element disposition surface 24A side is joined to the piezoelectric element disposition surface 24A. A conductive member through which a drive signal to be applied to the piezoelectric element 26 is transmitted so as to penetrate the wiring structure 45 is formed. The conductive member includes a vertical conductive member 38 and a horizontal conductive member 46.

このように、電気配線構造体45を多層構造とし、各層の水平面に水平導電部材46を分散させることで、1つの水平面に形成される水平導電部材46の配置密度を低くすることができると共に1つの層に形成される垂直導電部材38を分散させることができ、垂直導電部材38及び水平導電部材46のパターンニングが容易になる。更に、ベアチップ50の入出力端子の位置に合わせて各層の水平面に形成される水平導電部材46をパターンニングするとより好ましい。   As described above, the electrical wiring structure 45 has a multilayer structure, and the horizontal conductive members 46 are dispersed on the horizontal planes of the respective layers, whereby the arrangement density of the horizontal conductive members 46 formed on one horizontal plane can be reduced and 1 The vertical conductive members 38 formed in one layer can be dispersed, and the vertical conductive members 38 and the horizontal conductive members 46 can be easily patterned. Furthermore, it is more preferable to pattern the horizontal conductive member 46 formed on the horizontal plane of each layer in accordance with the position of the input / output terminal of the bare chip 50.

なお、放熱部材44の断熱部材反対側面44Aには垂直導電部材38と電気的に直接接合される突起電極54が形成され、この突起電極54はベアチップ50の入出力端子と電気的に接合される。   Note that a protruding electrode 54 that is directly electrically connected to the vertical conductive member 38 is formed on the side surface 44A opposite to the heat insulating member 44 of the heat radiating member 44. The protruding electrode 54 is electrically connected to the input / output terminal of the bare chip 50. .

ここで、絶縁性構造部材40には、所定の絶縁性能及び所定の強度を持ったエポキシ樹脂などの絶縁材料を用いるとよい。また、絶縁性構造部材40には加圧板24や圧電素子26の変形を阻止しないように、圧電素子26が配設される領域には凹部40Cが形成される。   Here, an insulating material such as an epoxy resin having a predetermined insulating performance and a predetermined strength may be used for the insulating structural member 40. In addition, the insulating structural member 40 is formed with a recess 40 </ b> C in a region where the piezoelectric element 26 is disposed so as not to prevent deformation of the pressure plate 24 and the piezoelectric element 26.

断熱部材42には、エポキシ樹脂やガラスなどの材料が用いられ、スイッチングIC23から発生した熱をヘッド10の内部 (特に、圧力室14や共通液室16などのインク流路)に伝えないように設けられている。この断熱部材42の厚みは、単位時間あたりのインクの置換量と、常温からのインク温度上昇が所定の範囲内になるように、スイッチングIC23の発熱量等より決定される。なお、インクの温度上昇範囲は常温から5℃以内が好ましい。   A material such as epoxy resin or glass is used for the heat insulating member 42 so that heat generated from the switching IC 23 is not transmitted to the inside of the head 10 (particularly, the ink flow path such as the pressure chamber 14 and the common liquid chamber 16). Is provided. The thickness of the heat insulating member 42 is determined by the amount of ink replaced per unit time and the amount of heat generated by the switching IC 23 so that the ink temperature rise from room temperature falls within a predetermined range. The temperature rise range of the ink is preferably within a range from room temperature to 5 ° C.

一方、スイッチングIC23が実装される放熱部材44は、アルミナなどのセラミックや金属材料などの熱伝導率が高い材料を用いることで所定の放熱性能が確保され、スイッチングIC23から発生した熱をヘッド10の外部へ効率よく逃がすことができる。放熱部材44に金属材料を用いる場合、垂直導電部材38及び水平導電部材46との絶縁を確保するために、垂直導電部材38及び水平導電部材46が形成される領域には所定の絶縁処理が施される。   On the other hand, the heat radiating member 44 on which the switching IC 23 is mounted uses a material having high thermal conductivity such as ceramic such as alumina or a metal material, so that a predetermined heat radiating performance is secured, and heat generated from the switching IC 23 is transferred to the head 10. Efficient escape to the outside. When a metal material is used for the heat radiating member 44, a predetermined insulation process is applied to the region where the vertical conductive member 38 and the horizontal conductive member 46 are formed in order to ensure insulation from the vertical conductive member 38 and the horizontal conductive member 46. Is done.

このように、垂直導電部材38及び水平導電部材46が形成される電気配線構造体45を多層化し、この多層構造に放熱層 (放熱部材44)及び断熱層(断熱部材42)を含むことで、ノズル配置領域(ノズルプレート30上のノズルが配置される領域を放熱部材44の断熱部材反対側面44Aに投影させた領域)にスイッチングIC23を実装することが可能になり、ヘッド10の小型化を実現することができる。   Thus, by multilayering the electrical wiring structure 45 in which the vertical conductive member 38 and the horizontal conductive member 46 are formed, and including a heat radiation layer (heat radiation member 44) and a heat insulation layer (heat insulation member 42) in this multilayer structure, The switching IC 23 can be mounted in the nozzle arrangement area (the area in which the nozzle on the nozzle plate 30 is arranged on the side surface 44A opposite to the heat insulating member 44), and the head 10 can be downsized. can do.

また、スイッチングIC23を熱伝導率が高い放熱部材44に実装することで、スイッチングIC23の放熱効果を得ることができ、一方、インク流路に近い少なくとも1層を熱伝導率の低い断熱部材42で構成することで、スイッチングIC23の発熱に伴うインク流路内のインクの温度変動を低減し、吐出デバイスの吐出特性を安定に保つことができる。   Further, by mounting the switching IC 23 on the heat dissipation member 44 having a high thermal conductivity, the heat dissipation effect of the switching IC 23 can be obtained. On the other hand, at least one layer close to the ink flow path is formed by the heat insulating member 42 having a low thermal conductivity. By configuring, the temperature variation of the ink in the ink flow path due to the heat generation of the switching IC 23 can be reduced, and the ejection characteristics of the ejection device can be kept stable.

ここで、放熱部材44の熱伝導率α1 と断熱部材42の熱伝導率βとの関係は、次式〔数1〕を満たし、放熱部材44の熱伝導率α1 と絶縁性構造部材40の熱伝導率γとの関係は、次式〔数2〕を満たしている。   Here, the relationship between the thermal conductivity α1 of the heat radiating member 44 and the thermal conductivity β of the heat insulating member 42 satisfies the following equation [Formula 1], and the thermal conductivity α1 of the heat radiating member 44 and the heat of the insulating structural member 40 The relationship with the conductivity γ satisfies the following equation [Equation 2].

〔数1〕
α1 >β
〔数2〕
α1 >γ
なお、断熱部材42の熱伝導率βと絶縁性構造部材40の熱伝導率γとの関係は、次式〔数3〕を満たす。
[Equation 1]
α1> β
[Equation 2]
α1> γ
Note that the relationship between the thermal conductivity β of the heat insulating member 42 and the thermal conductivity γ of the insulating structural member 40 satisfies the following equation [Equation 3].

〔数3〕
β≦γ
放熱部材44にセラミックを用いる場合の熱伝導率α1 は、次式〔数4〕に示すとおりである。
[Equation 3]
β ≦ γ
The thermal conductivity α1 in the case where ceramic is used for the heat radiating member 44 is as shown in the following equation [Equation 4].

〔数4〕
15(W/m・K)≦α1 ≦30(W/m・K)
また、放熱部材44にアルミナを用いる場合の熱伝導率α1 は、次式〔数5〕に示すとおりである。
[Equation 4]
15 (W / m · K) ≦ α1 ≦ 30 (W / m · K)
Further, the thermal conductivity α1 when alumina is used for the heat radiating member 44 is as shown in the following equation [Formula 5].

〔数5〕
α1 =17(W/m・K)
したがって、放熱部材44には15(W/m・K)以上の熱伝導率を有する材料が好適に用いられる。
[Equation 5]
α1 = 17 (W / m · K)
Therefore, a material having a thermal conductivity of 15 (W / m · K) or more is preferably used for the heat dissipation member 44.

一方、断熱部材42にエポキシ樹脂を用いる場合の熱伝導率βは、次式〔数6〕に示すとおりである。   On the other hand, the thermal conductivity β when an epoxy resin is used for the heat insulating member 42 is as shown in the following formula [Formula 6].

〔数6〕
β=0.19(W/m・K)
また、断熱部材42にガラスを用いる場合の熱伝導率βは、次式〔数7〕に示すとおりである。
[Equation 6]
β = 0.19 (W / m · K)
Further, the thermal conductivity β when glass is used for the heat insulating member 42 is as shown in the following equation [Formula 7].

〔数7〕
0.55≦β≦0.75(W/m・K)
したがって、断熱部材42には1(W/m・K)以下の熱伝導率を有する材料が好適な材料に用いられる。
[Equation 7]
0.55 ≦ β ≦ 0.75 (W / m · K)
Therefore, a material having a thermal conductivity of 1 (W / m · K) or less is used for the heat insulating member 42 as a suitable material.

上記の如く構成された液体吐出ヘッド10は、圧力室14や共通液室16などの流路を構成する流路構造体内に配置される圧電素子26の個別電極28から圧電素子配設面24Aに引き出されたパッド22上には、鉛直方向(インクの吐出方向と反対方向)に垂直導電部材38が形成され、この垂直導電部材38は前記流路構造体のインク吐出方向と反対側に接合される絶縁性構造部材40を貫通し、更に、絶縁性構造部材40に積層される断熱部材42及び放熱部材44を貫通し、放熱部材44の断熱部材反対側面44Aに実装される水平導電部材46を介してスイッチングIC23と接合されるように構成される。したがって、高密度に配置された圧力室14に対応して設けられる圧電素子26(個別電極28)からスイッチングIC23への電気的接続を容易にすることが可能になる。   The liquid discharge head 10 configured as described above is provided on the piezoelectric element disposition surface 24A from the individual electrode 28 of the piezoelectric element 26 disposed in the flow path structure constituting the flow path such as the pressure chamber 14 and the common liquid chamber 16. A vertical conductive member 38 is formed in the vertical direction (opposite to the ink discharge direction) on the drawn pad 22, and the vertical conductive member 38 is joined to the side opposite to the ink discharge direction of the flow path structure. A horizontal conductive member 46 which penetrates through the insulating structural member 40 and further passes through the heat insulating member 42 and the heat radiating member 44 stacked on the insulating structural member 40 and is mounted on the side surface 44A of the heat radiating member 44 opposite to the heat insulating member. It is comprised so that it may join with switching IC23. Therefore, electrical connection from the piezoelectric element 26 (individual electrode 28) provided corresponding to the pressure chambers 14 arranged at high density to the switching IC 23 can be facilitated.

また、スイッチングIC23から発生する熱をヘッド10の外部に放出させる放熱部材44にスイッチングIC23を実装し、スイッチングIC23と前記流路構造部材との間に断熱部材42を備え、スイッチングIC23から発生する熱をヘッド10内に伝えることなく外部に放熱するので、ヘッド10内のインクの温度変動を低減させ、好ましいインク吐出を実現することができる。   Further, the switching IC 23 is mounted on the heat radiating member 44 that releases the heat generated from the switching IC 23 to the outside of the head 10, and a heat insulating member 42 is provided between the switching IC 23 and the flow path structure member, and the heat generated from the switching IC 23. Since the heat is radiated to the outside without being transmitted to the head 10, the temperature variation of the ink in the head 10 can be reduced and preferable ink discharge can be realized.

なお、断熱部材42(断熱層)として複数の層(部材)を積層させた積層構造を有していてもよいし、垂直配線部材38及び水平配線部材46に絶縁被覆(絶縁処理)を施すことで、断熱部材42と絶縁性構造部材40とを兼用する態様も可能である。   The heat insulation member 42 (heat insulation layer) may have a laminated structure in which a plurality of layers (members) are laminated, or the vertical wiring member 38 and the horizontal wiring member 46 are subjected to insulation coating (insulation treatment). Thus, a mode in which the heat insulating member 42 and the insulating structural member 40 are also used is possible.

〔第2実施形態〕
次に、本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。なお、第2実施形態中第1実施形態と同一又は類似する部分には同一の符号を付し、その説明は省略する。
[Second Embodiment]
Next, a liquid ejection head according to a second embodiment of the invention will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the part which is the same or similar to 1st Embodiment in 2nd Embodiment, and the description is abbreviate | omitted.

図4は、マトリクス配置されたノズル12を有するヘッド100の構造例を示す平面透視図であり、図5はヘッド100の立体構造を示す断面図(図4中5−5線に沿う断面図)である。   4 is a plan perspective view showing a structural example of the head 100 having the nozzles 12 arranged in a matrix. FIG. 5 is a cross-sectional view showing the three-dimensional structure of the head 100 (cross-sectional view taken along line 5-5 in FIG. 4). It is.

ヘッド100から吐出されたインクによってメディア上に形成されるドットの密度を高くする(ドットピッチを高密度化する)ためには、ヘッド100におけるノズル12のピッチを高密度化する必要がある。本例のヘッド100は、図4及び図5に示すように、各ノズル12及び各ノズル12に対応する圧力室14を千鳥でマトリクス状に配置させた構造を有し、これにより見かけ上ノズルピッチの高密度化を達成している。   In order to increase the density of dots formed on the medium by the ink ejected from the head 100 (to increase the dot pitch), it is necessary to increase the pitch of the nozzles 12 in the head 100. As shown in FIGS. 4 and 5, the head 100 of this example has a structure in which the nozzles 12 and the pressure chambers 14 corresponding to the nozzles 12 are arranged in a staggered matrix, thereby making the nozzle pitch apparent. High density is achieved.

各ノズル12に対応して設けられる圧力室14は、その平面形状が概略正方形となっており、対角線上の両隅部にノズル12と供給絞り18が設けられている。各圧力室14は供給絞り18を介して共通液室16と連通されている。   The pressure chamber 14 provided corresponding to each nozzle 12 has a substantially square planar shape, and the nozzle 12 and the supply restrictor 18 are provided at both corners on the diagonal line. Each pressure chamber 14 communicates with a common liquid chamber 16 via a supply throttle 18.

かかる構造を有する多数のノズル12及び圧力室14などを主走査方向に沿う行方向及び主走査方向に直交しない一定の角度θを有する斜めの列方向とに沿って一定の配列パターンで格子状に配列させた構造になっている。主走査方向に対してある角度θの方向に沿ってノズル12及び圧力室14など一定のピッチdで複数配列する構造により、主走査方向に投影されたノズルピッチPはd×cosθとなる。   A large number of nozzles 12 and pressure chambers 14 having such a structure are arranged in a grid pattern in a fixed arrangement pattern along a row direction along the main scanning direction and an oblique column direction having a constant angle θ not orthogonal to the main scanning direction. It has an arrayed structure. Due to the structure in which a plurality of nozzles 12 and pressure chambers 14 are arranged at a constant pitch d along the direction of an angle θ with respect to the main scanning direction, the nozzle pitch P projected in the main scanning direction is d × cos θ.

図4には、4行6列のマトリクス配置されたノズル12を有するヘッド100を示したが、ヘッド100には更に多くのノズル12を有していてもよい。   Although FIG. 4 shows the head 100 having the nozzles 12 arranged in a matrix of 4 rows and 6 columns, the head 100 may have more nozzles 12.

即ち、主走査方向については、各ノズル12が一定のピッチPで直線状に配列されたものと等価的に取り扱うことができる。このような構成により、主走査方向に投影されるノズル列が1インチあたり2400個(2400ノズル/インチ)に及ぶ高密度のノズル構成を実現することが可能になる。   That is, in the main scanning direction, each nozzle 12 can be handled equivalently as a linear arrangement with a constant pitch P. With such a configuration, it is possible to realize a high-density nozzle configuration in which the number of nozzle rows projected in the main scanning direction is 2400 per inch (2400 nozzles / inch).

このようなマトリクス状に配列されたノズル12を有するヘッド100では、図1に示すように、放熱部材44の断熱部材反対側面44Aに投影させた各ノズル及び圧力室が配置されるノズル・圧力室領域110(2点破線で図示)内にスイッチングIC23を配置すると、該断熱部材反対側面44Aの電気接続パターン(水平導電部材46)が高密度になり、このような高密度の電気接続パターンを形成することは困難である。   In the head 100 having the nozzles 12 arranged in such a matrix, as shown in FIG. 1, nozzles and pressure chambers in which the nozzles and pressure chambers projected on the heat insulating member opposite side surface 44 </ b> A of the heat radiating member 44 are arranged. When the switching IC 23 is disposed in the region 110 (illustrated by a two-dot broken line), the electrical connection pattern (horizontal conductive member 46) on the opposite side surface 44A of the heat insulating member becomes high density, and such a high density electrical connection pattern is formed. It is difficult to do.

上記の問題点を解決するために、スイッチングIC23が実装される領域の直下(即ち、ノズル・圧力室領域110)にはノズル12を配置しないようなノズル配置が考えられるが、このようなノズル配置ではノズル12のピッチ誤差を拡大させてしまう恐れがある。   In order to solve the above problem, a nozzle arrangement in which the nozzle 12 is not arranged immediately below the area where the switching IC 23 is mounted (that is, the nozzle / pressure chamber area 110) is conceivable. Then, the pitch error of the nozzle 12 may be increased.

したがって、図6に示すように、ヘッド100の構造体120の周囲領域(即ち、ノズル・圧力室領域110を除いた領域)にスイッチングIC23を配置することで、電気配線パターンを容易に形成することができる。   Therefore, as shown in FIG. 6, the electrical wiring pattern can be easily formed by disposing the switching IC 23 in the peripheral area of the structure 120 of the head 100 (that is, the area excluding the nozzle / pressure chamber area 110). Can do.

更に、図7(a) に示すように、ヘッド100内のインク流路が形成される領域を断熱部材反対側面44Aに投影したインク流路範囲130にスイッチングIC23を実装しないように構成すると、スイッチングIC23から発生する熱によってインク流路内の温度上昇を抑制することができ、より好ましい。一般に、図7(a) に示すインク流路範囲130を駆動回路実装面に投影した面積は、図4、図6に示すノズル・圧力室領域110を駆動回路実装面に投影した面積に比べて大きくなっている。   Further, as shown in FIG. 7 (a), when the switching IC 23 is not mounted in the ink flow path range 130 in which the region where the ink flow path is formed in the head 100 is projected on the opposite side surface 44A of the heat insulating member, the switching is performed. It is more preferable because the temperature generated in the ink flow path can be suppressed by the heat generated from the IC 23. In general, the area where the ink flow path range 130 shown in FIG. 7A is projected onto the drive circuit mounting surface is larger than the area where the nozzle / pressure chamber region 110 shown in FIGS. 4 and 6 is projected onto the drive circuit mounting surface. It is getting bigger.

なお、図7(b) に示すように、スイッチングIC23が実装される駆動回路実装面を放熱部材44の断熱部材側面44Bとしてもよい。   As shown in FIG. 7B, the drive circuit mounting surface on which the switching IC 23 is mounted may be a heat insulating member side surface 44B of the heat radiating member 44.

更にまた、図8及び図9に示すように、スイッチングIC23に放熱板140(駆動回路用放熱部材)を備えることで、スイッチングIC23から発生する熱をヘッド100の外部に効率よく逃がすことができ、この熱によるインク流路内のインクの温度上昇を抑制する効果を向上させることが可能になる。図9に示す放熱板140の断面形状が凹字形状を有する態様を示したが、放熱板140の放熱効果を高くするために、凹字形状の窪み部分等に突起や凹部などを設け、放熱板140の表面積を大きくする、更に放熱効果の向上が見込まれる。   Furthermore, as shown in FIGS. 8 and 9, by providing the switching IC 23 with the heat radiating plate 140 (heat radiating member for driving circuit), the heat generated from the switching IC 23 can be efficiently released to the outside of the head 100, It is possible to improve the effect of suppressing the temperature rise of the ink in the ink flow path due to this heat. Although the cross-sectional shape of the heat radiating plate 140 shown in FIG. 9 has a concave shape, in order to increase the heat radiating effect of the heat radiating plate 140, protrusions and concave portions are provided in the concave portions of the concave shape, etc. The surface area of the plate 140 is increased, and further improvement of the heat dissipation effect is expected.

ここで、放熱板140には、熱伝導率が高いセラミックや金属材料が用いられる。放熱板140の熱伝導率α2 と絶縁性構造部材40の熱伝導率γとの関係は、次式〔数8〕を満たす。   Here, the heat sink 140 is made of ceramic or metal material having high thermal conductivity. The relationship between the thermal conductivity α2 of the heat sink 140 and the thermal conductivity γ of the insulating structural member 40 satisfies the following equation [Equation 8].

〔数8〕
α2 >γ
なお、放熱板140の熱伝導率α2 と放熱部材44の熱伝導率α1 との関係は、α2 =α1 でもよいし、α2 >α1 、α2 <α1 の何れでもよい。
[Equation 8]
α2> γ
The relationship between the thermal conductivity α2 of the heat radiating plate 140 and the thermal conductivity α1 of the heat radiating member 44 may be α2 = α1, or α2> α1 and α2 <α1.

上記の如く構成されたヘッド100は、2次元状に配置されたノズル12を断熱部材反対側面44Aに投影したノズル・圧力室領域110の周囲(即ち、ヘッド構造体120の周囲領域)にスイッチングIC23を実装するので、電気配線パターンの配置密度を高密度にすることなく容易に配置することができる。好ましくは、スイッチングIC23はイ
ンク流路が配置される領域に対応するインク流路範囲130を避けて配置する態様であり、更に好ましくは、スイッチングIC23に放熱板140を備える態様である。
The head 100 configured as described above has a switching IC 23 around the nozzle / pressure chamber region 110 (that is, the peripheral region of the head structure 120) obtained by projecting the two-dimensionally arranged nozzles 12 onto the opposite side surface 44A of the heat insulating member. Therefore, it is possible to easily arrange the electric wiring patterns without increasing the arrangement density. Preferably, the switching IC 23 is disposed so as to avoid the ink flow path range 130 corresponding to the region where the ink flow path is disposed, and more preferably, the switching IC 23 includes the heat radiation plate 140.

〔第3実施形態〕
次に、本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。第3実施形態中、上述した第1及び第2の実施形態と同一又は類似する部分には同一の符号を付しその説明は省略する。
[Third Embodiment]
Next, a liquid ejection head according to a third embodiment of the invention will be described. In the third embodiment, parts that are the same as or similar to those in the first and second embodiments described above are given the same reference numerals, and descriptions thereof are omitted.

図10は、第3実施形態に係るヘッド200の立体構造を示す断面図である。図10に示すヘッド200は、第1及び第2実施形態に示すヘッド10、100と同様に、複数のキャビティプレートを積層させた積層構造を有し、加圧板24の圧力室14と反対側には共通液室16や不図示のインク供給系から共通液室16へインクを補給する補給口204などが形成される共通液室プレート202が積層され、更に、共通液室プレート202には、断熱部材42及び放熱部材44が積層される構造を有している。   FIG. 10 is a cross-sectional view showing the three-dimensional structure of the head 200 according to the third embodiment. Similar to the heads 10 and 100 shown in the first and second embodiments, the head 200 shown in FIG. 10 has a laminated structure in which a plurality of cavity plates are laminated, and on the opposite side of the pressure plate 24 from the pressure chamber 14. A common liquid chamber plate 202 in which a supply port 204 for supplying ink from the common liquid chamber 16 or an ink supply system (not shown) to the common liquid chamber 16 is formed is laminated, and the common liquid chamber plate 202 is further insulated. The member 42 and the heat radiating member 44 are stacked.

言い換えると、この共通液室プレート202は第1及び第2実施形態に示した絶縁性構造部材40として機能している。   In other words, the common liquid chamber plate 202 functions as the insulating structural member 40 shown in the first and second embodiments.

即ち、ヘッド200には、ノズル12と供給絞り18を有する圧力室14の天面を構成する加圧板24の圧力室14と反対側の面(圧電素子配設面24A)には圧電素子26が設けられ、圧電素子26の個別電極28から圧電素子配設面24Aに引き出されたパッド22の上には、パッド22と電気的に接合される垂直導電部材38を内部に有する絶縁性構造部材40が共通液室16を貫通するように配設されている。   That is, in the head 200, the piezoelectric element 26 is provided on the surface (piezoelectric element disposition surface 24A) opposite to the pressure chamber 14 of the pressure plate 24 constituting the top surface of the pressure chamber 14 having the nozzle 12 and the supply throttle 18. An insulating structural member 40 having a vertical conductive member 38 electrically connected to the pad 22 on the pad 22 provided and drawn out from the individual electrode 28 of the piezoelectric element 26 to the piezoelectric element disposition surface 24A. Are arranged so as to penetrate the common liquid chamber 16.

この垂直導電部材38のパッド22に接合される端の反対側の端部は、断熱部材42或いは放熱部材44に形成される水平導電部材46や、断熱部材反対側面44Aに実装されるスイッチングIC23に接合される。   The end of the vertical conductive member 38 opposite to the end joined to the pad 22 is connected to the horizontal conductive member 46 formed on the heat insulating member 42 or the heat radiating member 44 or the switching IC 23 mounted on the side surface 44A opposite to the heat insulating member. Be joined.

図10に示すヘッド200において、共通液室16内を貫通するように形成されている垂直導電部材38は、絶縁性構造部材40によって覆われる構造を有し、共通液室16に収容されているインクとの電気的絶縁性が確保されると共にインクから保護される。   In the head 200 shown in FIG. 10, the vertical conductive member 38 formed so as to penetrate the common liquid chamber 16 has a structure covered with the insulating structural member 40 and is accommodated in the common liquid chamber 16. Electrical insulation with ink is ensured and protected from ink.

言い換えると、圧力室14ごとに個別電極28から引き出されて設けられたパッド22上に、垂直に柱のように立ち上がった垂直導電部材38及び絶縁性構造部材40は、断熱部材42、放熱部材44を有し、圧電素子26へ与える駆動信号を伝送する垂直導電部材38及び水平導電部材46が形成される電気配線構造体45を下から支え、共通液室16となる空間が形成されている。このように立ち上がった垂直導電部材38及び絶縁性構造部材40はその形状から、以降エレキ柱と呼ばれることがある。   In other words, the vertical conductive member 38 and the insulating structural member 40 that vertically rise like a column on the pad 22 provided by being drawn out from the individual electrode 28 for each pressure chamber 14 are the heat insulating member 42 and the heat radiating member 44. A space serving as a common liquid chamber 16 is formed by supporting an electrical wiring structure 45 on which a vertical conductive member 38 and a horizontal conductive member 46 that transmit a drive signal applied to the piezoelectric element 26 are formed from below. The vertical conductive member 38 and the insulating structural member 40 that stand up in this way may be hereinafter referred to as electric columns because of their shapes.

図10には、エレキ柱の一方の端部(上端部)の幅が、他方の端部(下端部)の幅よりも大きくなる略テーパ形状を有する態様を示したが、エレキ柱の形状はこれに限定されず、両端部間の全域にわたって略同一幅を持った形状でもよいし、略中央部の幅が両端部の幅より大きい(小さい)形状でもよい。   FIG. 10 shows an aspect in which the width of one end (upper end) of the electric column has a substantially tapered shape that is larger than the width of the other end (lower end). However, the present invention is not limited to this, and it may be a shape having substantially the same width over the entire region between both end portions, or may be a shape in which the width of the substantially central portion is larger (smaller) than the width of both end portions.

この共通液室16は、各圧力室14が配設される全領域にわたって形成される1つの大きな空間となっており、圧力室配設面に対応する面形状を有している。この面状の共通液室16から各圧力室14に対応して加圧板24に設けられる供給絞り18を介して各圧力室14へインクが供給される。   The common liquid chamber 16 is one large space formed over the entire region where each pressure chamber 14 is disposed, and has a surface shape corresponding to the pressure chamber disposition surface. Ink is supplied from the planar common liquid chamber 16 to each pressure chamber 14 via a supply throttle 18 provided on the pressure plate 24 corresponding to each pressure chamber 14.

本例では、全圧力室14へインクを供給する1つの共通液室16を備える態様を示した
が、共通液室16は2以上の領域に分割されていてもよい。
In this example, an aspect in which one common liquid chamber 16 that supplies ink to all the pressure chambers 14 is provided is shown, but the common liquid chamber 16 may be divided into two or more regions.

図10に示すようにヘッド200を構成すると、垂直導電部材38の配置を分散させることができると共に、水平導電部材46を複数の層に分散させることができるので、ノズル12及び圧力室14の配置に関わらずスイッチングIC23の実装位置やスイッチングIC23への電気配線パターンの配置上の制約が少なくなる。   When the head 200 is configured as shown in FIG. 10, the arrangement of the vertical conductive members 38 can be dispersed and the horizontal conductive member 46 can be dispersed in a plurality of layers. Regardless of this, restrictions on the mounting position of the switching IC 23 and the arrangement of the electric wiring pattern on the switching IC 23 are reduced.

また、圧力室14の上側に短いインク流路(本例では、加圧板24の厚さ分の流路長を有する供給絞り18)を介して共通液室16と垂直方向に直結するように構成すると、圧力室14へインクを供給する供給側流路の流路抵抗小さくすることができ、高い吐出周波数のインク吐出に対応した高速リフィルが可能になる。したがって、一般的なインクの粘度よりも高い粘度を持ったインクでも、所定の吐出周波数を確保して安定した吐出を行うことができる。   In addition, it is configured to be directly connected to the common liquid chamber 16 in the vertical direction via a short ink channel (in this example, a supply throttle 18 having a channel length corresponding to the thickness of the pressure plate 24) above the pressure chamber 14. Then, the flow path resistance of the supply side flow path for supplying ink to the pressure chamber 14 can be reduced, and high-speed refilling corresponding to ink discharge at a high discharge frequency is possible. Therefore, even with an ink having a viscosity higher than that of a general ink, a predetermined ejection frequency can be secured and stable ejection can be performed.

図11(a) 〜(f) には、樹脂の一体成形によって共通液室プレート202 (絶縁性構造部材40)を形成し、ヘッド200を製造する製造工程を示す。   11A to 11F show a manufacturing process for manufacturing the head 200 by forming the common liquid chamber plate 202 (insulating structural member 40) by integral molding of resin.

先ず、図11(a) に示すように、樹脂成形によって共通液室16を支持する絶縁性構造部材40を一体成形する。このときに、垂直導電部材38が形成される部分には貫通穴220が形成される。樹脂成形時にこの貫通穴220となる部分にピンを挿入し、成形後ピンを除去して貫通穴220を形成してもよいし、成形後にレーザ加工等によって貫通穴220を形成してもよい。   First, as shown in FIG. 11A, an insulating structural member 40 that supports the common liquid chamber 16 is integrally molded by resin molding. At this time, a through hole 220 is formed in a portion where the vertical conductive member 38 is formed. A pin may be inserted into a portion that becomes the through hole 220 at the time of resin molding, and the through hole 220 may be formed by removing the pin after molding, or the through hole 220 may be formed by laser processing or the like after molding.

次に、図11(b) に示すように、メッキ、導電性ペーストによって垂直導電部材38が貫通穴220内に形成され、絶縁性構造部材40の共通液室16と反対側の上面側には、パターンニングされた水平導電部材46が形成される。   Next, as shown in FIG. 11 (b), a vertical conductive member 38 is formed in the through hole 220 by plating and conductive paste, and on the upper surface side opposite to the common liquid chamber 16 of the insulating structural member 40. Then, a patterned horizontal conductive member 46 is formed.

このようにして、絶縁性構造部材40に垂直導電部材38及び水平導電部材46が形成されると、図11(c) に示すように、絶縁性構造部材40の上面側には、予め垂直導電部材38及び水平導電部材46が形成された断熱部材42及び放熱部材44が積層される。   When the vertical conductive member 38 and the horizontal conductive member 46 are formed on the insulating structural member 40 in this way, the vertical conductive member is previously formed on the upper surface side of the insulating structural member 40 as shown in FIG. The heat insulating member 42 and the heat radiating member 44 on which the member 38 and the horizontal conductive member 46 are formed are laminated.

これと同時に、電気的に接合される垂直導電部材38及び水平導電部材46は導電性接着剤やはんだによって接合される。   At the same time, the vertical conductive member 38 and the horizontal conductive member 46 to be electrically joined are joined by a conductive adhesive or solder.

その後、図11(d) に示すように、ベアチップ50(スイッチングIC23、図11(e)参照)の実装パターン及びバンプ52が形成され、図11(e) に示すように、ベアチップ50が所定の実装位置に実装される。   Thereafter, as shown in FIG. 11 (d), the mounting pattern and bumps 52 of the bare chip 50 (switching IC 23, see FIG. 11 (e)) are formed, and as shown in FIG. Mounted at the mounting position.

このようにして構成された構造体には、図11(f) に示すように、ノズル12、圧力室14、加圧板24、圧電素子26が形成された流路構造体230の圧電素子配設面24Aに形成されたパッド22と、各パッド22に対応する垂直導電部材38と、を接合し、所定の絶縁処理が施され、ヘッド200が完成する。   In the structure thus configured, as shown in FIG. 11 (f), the piezoelectric element arrangement of the flow path structure 230 in which the nozzle 12, the pressure chamber 14, the pressure plate 24, and the piezoelectric element 26 are formed. The pads 22 formed on the surface 24A and the vertical conductive members 38 corresponding to the pads 22 are joined, and a predetermined insulation process is performed, whereby the head 200 is completed.

なお、本例では、圧電素子26ごとに垂直導電部材38を設ける態様を示したが、複数の圧電素子26に共通の垂直導電部材38を設けてもよい。また、垂直導電部材38は圧電素子26の駆動信号だけでなく、圧力室14に設けられているセンサ類から得られる信号を伝送してもよい。   In this example, the vertical conductive member 38 is provided for each piezoelectric element 26. However, a common vertical conductive member 38 may be provided for a plurality of piezoelectric elements 26. Further, the vertical conductive member 38 may transmit not only a drive signal for the piezoelectric element 26 but also a signal obtained from sensors provided in the pressure chamber 14.

〔第4実施形態〕
次に、本発明の第4実施形態に係る液体吐出ヘッドについて説明する。
[Fourth Embodiment]
Next, a liquid ejection head according to a fourth embodiment of the invention will be described.

図12は、第4実施形態に係るヘッド300である。ヘッド300は、上述した第1〜第3実施形態で示したヘッド10、100、200と同一構成のヘッドモジュールを千鳥に複数個並べ、メディアの印字可能幅(吐出可能幅)の全幅に対応する長さを持ったフルライン型ヘッドとなるように構成されている。   FIG. 12 shows a head 300 according to the fourth embodiment. The head 300 includes a plurality of head modules having the same configuration as the heads 10, 100, and 200 shown in the first to third embodiments, and corresponds to the entire printable width (dischargeable width) of the medium. It is configured to be a full-line head with a length.

図12に示すヘッド300は、同一構成から成り、メディアの吐出可能幅よりも短い長さを持った5つのヘッドモジュール302(302-1〜302-5)を千鳥配列させた構造を有している。   The head 300 shown in FIG. 12 has the same configuration, and has a structure in which five head modules 302 (302-1 to 302-5) having a length shorter than the media dischargeable width are arranged in a staggered manner. Yes.

各ヘッドモジュール302には、それぞれが有する圧電素子26(ノズル12)の数に対応したスイッチングIC23が搭載される。本例では、512個(或いは256個)の圧電素子26を駆動可能なスイッチングIC23を複数備えて、各ヘッドモジュール302が有する圧電素子26に対応している。   Each head module 302 is equipped with a switching IC 23 corresponding to the number of piezoelectric elements 26 (nozzles 12) included in each head module 302. In this example, a plurality of switching ICs 23 that can drive 512 (or 256) piezoelectric elements 26 are provided and correspond to the piezoelectric elements 26 included in each head module 302.

言い換えると、1つのヘッドモジュール302に搭載することができるスイッチングIC23が対応可能な数のノズル12を備えるように、ヘッドモジュール302のサイズ(ノズル数)が決められている。   In other words, the size (the number of nozzles) of the head module 302 is determined so that the switching IC 23 that can be mounted on one head module 302 includes the corresponding number of nozzles 12.

図12に示すように、フルライン型ヘッド300を複数のヘッドモジュール302から構成することで、スイッチングIC23を実装することができる領域を拡大することができ、更に、パージや吸引などのメンテナンス動作をヘッドモジュールごとに実行することができる。また、故障の際にもヘッドモジュール単位で交換することができるので、メンテナンス性の向上が見込まれる。   As shown in FIG. 12, by configuring the full-line head 300 from a plurality of head modules 302, the area where the switching IC 23 can be mounted can be expanded, and maintenance operations such as purging and suctioning can be performed. It can be executed for each head module. In addition, since the head module can be replaced in the event of a failure, maintenance is expected to be improved.

なお、スイッチングIC23は、放熱部材44の断熱部材反対側面44A(ヘッドモジュール302の上面側)に実装されてもよいし、断熱部材側面44B(裏面側)に実装されてもよい。   Note that the switching IC 23 may be mounted on the heat insulating member opposite side surface 44 </ b> A (upper surface side of the head module 302) of the heat radiating member 44, or may be mounted on the heat insulating member side surface 44 </ b> B (back surface side).

〔インクジェット記録装置の全体構成〕
次に、上述した第1〜第4実施形態に係る液体吐出ヘッド10(100、200、300)を適用したインクジェット記録装置について説明する。
[Overall configuration of inkjet recording apparatus]
Next, an ink jet recording apparatus to which the liquid discharge head 10 (100, 200, 300) according to the first to fourth embodiments described above is applied will be described.

図13は本発明に係る液体吐出ヘッド(インクジェットヘッド)を搭載したインクジェット記録装置の全体構成図である。同図に示したように、このインクジェット記録装置400は、黒(K),シアン(C),マゼンタ(M),イエロー(Y)の各インクに対応して設けられた複数の印字ヘッド412K,412C,412M,412Yを有する印字部402と、各印字ヘッド(記録ヘッド)412K,412C,412M,412Yに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵/装填部404と、被記録媒体たる記録紙416を供給する給紙部418と、記録紙416のカールを除去するデカール処理部420と、前記印字部412のインク吐出面に対向して配置され、記録紙416の平面性を保持しながら記録紙416を搬送する吸着ベルト搬送部422と、印字部412による印字結果を読み取る印字検出部424と、印画済みの記録紙416(プリント物)を外部に排紙する排紙部426と、を備えている。   FIG. 13 is an overall configuration diagram of an ink jet recording apparatus equipped with a liquid discharge head (ink jet head) according to the present invention. As shown in the drawing, the ink jet recording apparatus 400 includes a plurality of print heads 412K provided corresponding to black (K), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y) inks. A printing unit 402 having 412C, 412M, and 412Y, an ink storage / loading unit 404 for storing ink to be supplied to each printing head (recording head) 412K, 412C, 412M, and 412Y, and a recording paper 416 as a recording medium Is disposed opposite to the ink ejection surface of the printing unit 412 and maintains the flatness of the recording paper 416 while maintaining the flatness of the recording paper 416. A suction belt conveyance unit 422 that conveys 416, a print detection unit 424 that reads a printing result by the printing unit 412, and a printed recording paper 416 (print ) It is provided with a paper discharge unit 426 for discharging, to the outside.

インク貯蔵/装填部414は、各ヘッド412K,412C,412M,412Yに対応する色のインクを貯蔵するインクタンクを有し、各タンクは所要の管路を介してヘッド412K,412C,412M,412Yと連通されている。また、インク貯蔵/装填部414は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段(表示手段、警告音発生手段)を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。   The ink storage / loading unit 414 includes ink tanks that store inks of colors corresponding to the heads 412K, 412C, 412M, and 412Y. Communicated with. In addition, the ink storage / loading unit 414 includes notifying means (display means, warning sound generating means) for notifying when the ink remaining amount is low, and has a mechanism for preventing erroneous loading between colors. ing.

図13では、給紙部418の一例としてロール紙(連続用紙)のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。   In FIG. 13, a magazine for rolled paper (continuous paper) is shown as an example of the paper supply unit 418, but a plurality of magazines having different paper widths, paper quality, and the like may be provided side by side. Further, instead of the roll paper magazine or in combination therewith, the paper may be supplied by a cassette in which cut papers are stacked and loaded.

ロール紙を使用する装置構成の場合、図13のように、裁断用のカッター428が設けられており、該カッター428によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター428は、記録紙416の搬送路幅以上の長さを有する固定刃428Aと、該固定刃428Aに沿って移動する丸刃428Bとから構成されており、印字裏面側に固定刃428Aが設けられ、搬送路をはさんで印字面側に丸刃428Bが配置される。なお、カット紙を使用する場合には、カッター428は不要である。   In the case of an apparatus configuration using roll paper, a cutter 428 for cutting is provided as shown in FIG. 13, and the roll paper is cut into a desired size by the cutter 428. The cutter 428 includes a fixed blade 428A having a length equal to or greater than the conveyance path width of the recording paper 416 and a round blade 428B that moves along the fixed blade 428A. The fixed blade 428A is provided on the back side of the print. The round blade 428B is disposed on the printing surface side across the conveyance path. Note that the cutter 428 is not necessary when cut paper is used.

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコード或いは無線タグなどの情報記録体をカセットに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される記録媒体の種類(メディア種)を自動的に判別し、メディア種に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。   In the case of a configuration in which a plurality of types of recording paper can be used, an information recording body such as a barcode or a wireless tag that records the paper type information is attached to the cassette, and the information on the information recording body is read by a predetermined reading device. Thus, it is preferable to automatically determine the type of recording medium (media type) to be used and perform ink ejection control so as to realize appropriate ink ejection according to the media type.

給紙部418から送り出される記録紙416はマガジンに装填されていたことによる巻きクセが残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部420においてマガジンの巻きクセ方向と逆方向に加熱ドラム430で記録紙416に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。   The recording paper 416 delivered from the paper supply unit 418 retains curl due to having been loaded in the magazine. In order to remove this curl, heat is applied to the recording paper 416 by the heating drum 430 in the direction opposite to the curl direction of the magazine in the decurling unit 420. At this time, it is more preferable to control the heating temperature so that the printed surface is slightly curled outward.

デカール処理された記録紙416は、吸着ベルト搬送部422へと送られる。吸着ベルト搬送部422は、ローラ431、432間に無端状のベルト433が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部412のノズル面に対向する部分が水平面(フラット面)をなすように構成されている。   The decurled recording paper 416 is sent to the suction belt conveyance unit 422. The suction belt conveyance unit 422 has a structure in which an endless belt 433 is wound between rollers 431 and 432, and at least a portion facing the nozzle surface of the printing unit 412 forms a horizontal plane (flat surface). Has been.

ベルト433は、記録紙416の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引穴(不図示)が形成されている。図13に示したとおり、ローラ431、432間に掛け渡されたベルト433の内側において印字部412のノズル面に対向する位置には吸着チャンバ434が設けられており、この吸着チャンバ434をファン435で吸引して負圧にすることによって記録紙416がベルト433上に吸着保持される。   The belt 433 has a width that is greater than the width of the recording paper 416, and a plurality of suction holes (not shown) are formed on the belt surface. As shown in FIG. 13, an adsorption chamber 434 is provided at a position facing the nozzle surface of the printing unit 412 inside the belt 433 spanned between the rollers 431 and 432, and the adsorption chamber 434 is connected to the fan 435. The recording paper 416 is sucked and held on the belt 433 by suctioning at a negative pressure.

ベルト433が巻かれているローラ431、432の少なくとも一方にモータ(図13中不図示、図15に符号488として図示)の動力が伝達されることにより、ベルト433は図13上の時計回り方向に駆動され、ベルト433上に保持された記録紙416は図13の左から右へと搬送される。   When the power of a motor (not shown in FIG. 13, not shown in FIG. 15 is indicated by reference numeral 488) is transmitted to at least one of the rollers 431 and 432 around which the belt 433 is wound, the belt 433 is rotated clockwise in FIG. The recording paper 416 held on the belt 433 is conveyed from left to right in FIG.

縁無しプリント等を印字するとベルト433上にもインクが付着するので、ベルト433の外側の所定位置(印字領域以外の適当な位置)にベルト清掃部36が設けられている。ベルト清掃部436の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、或いはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラ線速度を変えると清掃効果が大きい。   Since ink adheres to the belt 433 when a borderless print or the like is printed, the belt cleaning unit 36 is provided at a predetermined position outside the belt 433 (an appropriate position other than the print region). Although details of the configuration of the belt cleaning unit 436 are not illustrated, for example, there are a method of niping a brush roll, a water absorption roll, etc., an air blow method of spraying clean air, or a combination thereof. In the case where the cleaning roll is nipped, the cleaning effect is great if the belt linear velocity and the roller linear velocity are changed.

なお、吸着ベルト搬送部422に代えて、ローラ・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラ・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面をローラが接触するので画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面を接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。   It is possible to use a roller / nip conveyance mechanism instead of the suction belt conveyance unit 422. However, if the roller / nip conveyance is performed in the printing area, the roller is brought into contact with the printing surface of the sheet immediately after printing, so that the image is likely to spread. There is a problem. Therefore, as in this example, suction belt conveyance that does not bring the image surface into contact with each other in the print region is preferable.

吸着ベルト搬送部422により形成される用紙搬送路上において印字部412の上流側には、加熱ファン440が設けられている。加熱ファン440は、印字前の記録紙416に加熱空気を吹き付け、記録紙416を加熱する。印字直前に記録紙416を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。   A heating fan 440 is provided on the upstream side of the printing unit 412 on the paper conveyance path formed by the suction belt conveyance unit 422. The heating fan 440 heats the recording paper 416 by blowing heated air onto the recording paper 416 before printing. Heating the recording paper 416 immediately before printing makes it easier for the ink to dry after landing.

印字部412の各印字ヘッド412K,412C,412M,412Yは、当該インクジェット記録装置400が対象とする記録紙416の最大紙幅(必要印字幅)に対応する長さを有し、そのノズル面には最大サイズの被記録媒体の少なくとも一辺を超える長さ(描画可能範囲の全幅)にわたりインク吐出用のノズルが複数配列されたフルライン型の印字ヘッドとなっている(図14参照)。   Each print head 412K, 412C, 412M, 412Y of the print unit 412 has a length corresponding to the maximum paper width (required print width) of the recording paper 416 targeted by the inkjet recording apparatus 400, and the nozzle surface has This is a full-line print head in which a plurality of nozzles for ejecting ink are arranged over a length exceeding the length of at least one side of the recording medium of the maximum size (full width of the drawable range) (see FIG. 14).

印字ヘッド412K,412C,412M,412Yは、記録紙416の送り方向(副走査方向)に沿って上流側から黒(K)、シアン(C)、マゼンタ(M)、イエロー(Y)の色順に配置され、それぞれの印字ヘッド412K,412C,412M,412Yが記録紙416の送り方向と略直交する方向に沿って延在するように固定設置される。   The print heads 412K, 412C, 412M, and 412Y are arranged in the order of black (K), cyan (C), magenta (M), and yellow (Y) from the upstream side along the feeding direction (sub-scanning direction) of the recording paper 416. The print heads 412K, 412C, 412M, and 412Y are fixedly installed so as to extend along a direction substantially orthogonal to the feeding direction of the recording paper 416.

吸着ベルト搬送部422により記録紙416を搬送しつつ各ヘッド412K,412C,412M,412Yからそれぞれ異色のインクを吐出することにより記録紙416上にカラー画像を形成し得る。   A color image can be formed on the recording paper 416 by discharging different color inks from the heads 412K, 412C, 412M, and 412Y while conveying the recording paper 416 by the suction belt conveyance unit 422.

このように、紙幅の全域をカバーするノズル列を有するフルライン型の印字ヘッド412K,412C,412M,412Yを色別に設ける構成によれば、記録紙送り方向について記録紙416と印字部412を相対的に移動させる動作を1回行うだけで(即ち、1回の副走査で)、記録紙416の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。   As described above, according to the configuration in which the full-line type print heads 412K, 412C, 412M, and 412Y having nozzle rows covering the entire width of the paper are provided for each color, the recording paper 416 and the printing unit 412 are relatively arranged in the recording paper feeding direction. Thus, the image can be recorded on the entire surface of the recording paper 416 by performing the movement operation only once (that is, by one sub-scan). Thereby, printing can be performed at a higher speed than the shuttle type head in which the print head reciprocates in the direction orthogonal to the paper conveyance direction, and productivity can be improved.

本例では、KCMYの標準色(4色)の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態に限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタなどのライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。また、各色ヘッドの配置順序も特に限定はない。   In this example, the configuration of KCMY standard colors (four colors) is illustrated, but the combination of ink colors and the number of colors is not limited to this embodiment, and light ink and dark ink may be added as necessary. Good. For example, it is possible to add a print head that discharges light ink such as light cyan and light magenta. Also, the arrangement order of the color heads is not particularly limited.

印字部412の後段には後乾燥部442が設けられている。後乾燥部442は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹き付ける方式が好ましい。   A post-drying unit 442 is provided following the printing unit 412. The post-drying unit 442 is means for drying the printed image surface, and for example, a heating fan is used. Since it is preferable to avoid contact with the printing surface until the ink after printing is dried, a method of blowing hot air is preferred.

多孔質のペーパーに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパーの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。   When printing on porous paper with dye-based ink, the weather resistance of the image is improved by preventing contact with ozone or other things that cause dye molecules to break by pressurizing the paper holes with pressure. There is an effect to.

後乾燥部442の後段には、加熱・加圧部444が設けられている。加熱・加圧部444は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面の凹凸形状を有する加圧ローラ445で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。   A heating / pressurizing unit 444 is provided following the post-drying unit 442. The heating / pressurizing unit 444 is a means for controlling the glossiness of the image surface, and pressurizes the image surface with a pressure roller 445 having a concavo-convex shape on a predetermined surface, thereby forming the concavo-convex shape on the image surface. Transcript.

こうして生成されたプリント物は排紙部426から排出される。本来プリントすべき本画像(目的の画像を印刷したもの)とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置400では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排紙部426A、426Bへと送るために排紙経路を切り換える不図示の選別手段が設けられている。なお、ロール紙を用いる構成では、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、不図示のカッター(第2のカッター)によってテスト印字の部分を切り離す。該第2のカッターは、排紙部426の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に本画像とテスト印字部を切断するためのものである。第2のカッターの構造は前述した第1のカッターと同様であり、固定刃と丸刃とから構成される。   The printed matter generated in this manner is outputted from the paper output unit 426. It is preferable that the original image to be printed (printed target image) and the test print are discharged separately. The ink jet recording apparatus 400 is provided with sorting means (not shown) for switching the paper discharge path in order to select the print product of the main image and the print product of the test print and send them to the paper output units 426A and 426B. ing. In the configuration using roll paper, when the main image and the test print are simultaneously formed on a large paper in parallel, the test print portion is separated by a cutter (not shown) (second cutter). The second cutter is provided immediately before the paper discharge unit 426, and cuts the main image and the test print unit when the test print is performed on the image margin. The structure of the 2nd cutter is the same as that of the 1st cutter mentioned above, and comprises a fixed blade and a round blade.

また、図13には示さないが、本画像の排紙部426Aには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられる。   Although not shown in FIG. 13, the paper output unit 426A for the target prints is provided with a sorter for collecting prints according to print orders.

〔制御系の説明〕
図15はインクジェット記録装置400のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置400は、通信インターフェイス470、システムコントローラ472、画像メモリ474、モータドライバ476、ヒータドライバ478、プリント制御部480、画像バッファメモリ482、ヘッドドライバ484等を備えている。
[Explanation of control system]
FIG. 15 is a principal block diagram showing the system configuration of the inkjet recording apparatus 400. The inkjet recording apparatus 400 includes a communication interface 470, a system controller 472, an image memory 474, a motor driver 476, a heater driver 478, a print control unit 480, an image buffer memory 482, a head driver 484, and the like.

通信インターフェイス470は、ホストコンピュータ486から送られてくる画像データを受信するインターフェイス部である。通信インターフェイス470にはUSB、IEEE1394、イーサネット、無線ネットワークなどのシリアルインターフェイスやセントロニクスなどのパラレルインターフェイスを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ(不図示)を搭載してもよい。ホストコンピュータ486から送出された画像データは通信インターフェイス470を介してインクジェット記録装置400に取り込まれ、一旦画像メモリ474に記憶される。   The communication interface 470 is an interface unit that receives image data sent from the host computer 486. As the communication interface 470, a serial interface such as USB, IEEE 1394, Ethernet, or wireless network, or a parallel interface such as Centronics can be applied. In this part, a buffer memory (not shown) for speeding up communication may be mounted. Image data sent from the host computer 486 is taken into the inkjet recording apparatus 400 via the communication interface 470 and temporarily stored in the image memory 474.

画像メモリ474は、通信インターフェイス470を介して入力された画像を一旦記憶する記憶手段であり、システムコントローラ472を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ474は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなど磁気媒体を用いてもよい。   The image memory 474 is a storage unit that temporarily stores an image input via the communication interface 470, and data is read and written through the system controller 472. The image memory 474 is not limited to a memory composed of semiconductor elements, and a magnetic medium such as a hard disk may be used.

システムコントローラ472は、中央演算処理装置(CPU)及びその周辺回路等から構成され、所定のプログラムに従ってインクジェット記録装置400の全体を制御する制御装置として機能するとともに、各種演算を行う演算装置として機能する。即ち、システムコントローラ472は、通信インターフェイス470、画像メモリ474、モータドライバ476、ヒータドライバ478等の各部を制御し、ホストコンピュータ486との間の通信制御、画像メモリ474の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ488やヒータ489を制御する制御信号を生成する。   The system controller 472 includes a central processing unit (CPU) and its peripheral circuits, and functions as a control device that controls the entire inkjet recording apparatus 400 according to a predetermined program, and also functions as an arithmetic device that performs various calculations. . That is, the system controller 472 controls each part such as the communication interface 470, the image memory 474, the motor driver 476, the heater driver 478, etc., performs communication control with the host computer 486, read / write control of the image memory 474, etc. A control signal for controlling the motor 488 and the heater 489 of the transport system is generated.

モータドライバ476は、システムコントローラ472からの指示にしたがってモータ488を駆動するドライバである。ヒータドライバ478は、システムコントローラ472からの指示にしたがって後乾燥部442等のヒータ489を駆動するドライバである。   The motor driver 476 is a driver that drives the motor 488 in accordance with an instruction from the system controller 472. The heater driver 478 is a driver that drives the heater 489 such as the post-drying unit 442 in accordance with an instruction from the system controller 472.

プリント制御部480は、システムコントローラ472の制御に従い、画像メモリ474内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字データをヘッドドライバ484に供給する制御部である。プリント制御部480において所要の信号処理が施され、ヘッドドライバ484を介して印字ヘッド412K,412C,412M,412Yのインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。   The print control unit 480 has a signal processing function for performing various processing and correction processes for generating a print control signal from image data in the image memory 474 according to the control of the system controller 472, and the generated print A control unit supplies data to the head driver 484. Necessary signal processing is performed in the print control unit 480, and the ejection amount and ejection timing of the ink droplets of the print heads 412K, 412C, 412M, and 412Y are controlled via the head driver 484.

プリント制御部480には画像バッファメモリ482が備えられており、プリント制御部480における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ482に一時的に格納される。なお、図15において画像バッファメモリ482はプリント制御部480に付随する態様で示されているが、画像メモリ474と兼用することも可能である。また、プリント制御部480とシステムコントローラ472とを統合して1つのプロセッサで構成する態様も可能である。   The print control unit 480 includes an image buffer memory 482, and image data, parameters, and other data are temporarily stored in the image buffer memory 482 when image data is processed in the print control unit 480. In FIG. 15, the image buffer memory 482 is shown in a mode accompanying the print control unit 480, but it can also be used as the image memory 474. Also possible is an aspect in which the print control unit 480 and the system controller 472 are integrated to form a single processor.

ヘッドドライバ484はプリント制御部480から与えられる印字データに基づいて駆動信号を生成し、この駆動信号によって各色のヘッド412K,412C,412M,412Yの圧電素子を駆動する。ヘッドドライバ484にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。   The head driver 484 generates a drive signal based on the print data given from the print control unit 480, and drives the piezoelectric elements of the heads 412K, 412C, 412M, 412Y of each color by this drive signal. The head driver 484 may include a feedback control system for keeping the head driving condition constant.

印刷すべき画像のデータ(記録紙416のサイズに応じて該画像のサイズ、解像度が変換された画像のデータ)は、通信インターフェイス470を介して外部から入力され、画像メモリ474に蓄えられる。この段階では、RGBの画像データが画像メモリ474に記憶される。   Data of an image to be printed (image data in which the image size and resolution are converted in accordance with the size of the recording paper 416) is input from the outside via the communication interface 470 and stored in the image memory 474. At this stage, RGB image data is stored in the image memory 474.

画像メモリ474に蓄えられた画像データは、システムコントローラ472を介してプリント制御部480に送られ、該プリント制御部480においてインク色ごとのドットデータに変換される。即ち、プリント制御部480は、入力されたRGB画像データをKCMYの4色のドットデータに変換する処理を行う。プリント制御部480で生成されたドットデータは、画像バッファメモリ482に蓄えられる。   The image data stored in the image memory 474 is sent to the print control unit 480 via the system controller 472, and is converted into dot data for each ink color by the print control unit 480. That is, the print control unit 480 performs processing for converting the input RGB image data into KCMY four-color dot data. The dot data generated by the print control unit 480 is stored in the image buffer memory 482.

プログラム格納部490には各種制御プログラムが格納されており、システムコントローラ472の指令に応じて、制御プログラムが読み出され、実行される。プログラム格納部490はROMやEEPROMなどの半導体メモリを用いてもよいし、磁気ディスクなどを用いてもよい。外部インターフェイスを備え、メモリカードやPCカードを用いてもよい。もちろん、これらの記録媒体のうち、複数の記録媒体を備えてもよい。   Various control programs are stored in the program storage unit 490, and the control programs are read and executed in accordance with instructions from the system controller 472. The program storage unit 490 may use a semiconductor memory such as a ROM or an EEPROM, or may use a magnetic disk or the like. An external interface may be provided and a memory card or PC card may be used. Of course, you may provide several recording media among these recording media.

なお、プログラム格納部490は動作パラメータ(システムパラメータ)等の不図示の記録手段(メモリ)と兼用してもよい。   The program storage unit 490 may also be used as recording means (memory) (not shown) such as operation parameters (system parameters).

印字検出部424は、図13で説明したように、ラインセンサを含むブロックであり、記録紙416に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況(吐出の有無、打滴のばらつきなど)を検出し、その検出結果をプリント制御部480に提供する。   As described with reference to FIG. 13, the print detection unit 424 is a block including a line sensor. The print detection unit 424 reads an image printed on the recording paper 416, performs necessary signal processing, etc. And the detection result is provided to the print control unit 480.

プリント制御部480は、必要に応じて印字検出部424から得られる情報に基づいて印字ヘッド412K,412C,412M,412Yに対する各種補正を行う。   The print control unit 480 performs various corrections for the print heads 412K, 412C, 412M, and 412Y based on information obtained from the print detection unit 424 as necessary.

なお、図13に示した例では、印字検出部424が印字面側に設けられており、ラインセンサの近傍に配置された冷陰極管などの光源(不図示)によって印字面を照明し、その反射光をラインセンサで読み取る構成になっているが、本発明の実施に際しては他の構成でもよい。   In the example shown in FIG. 13, the print detection unit 424 is provided on the print surface side, and the print surface is illuminated by a light source (not shown) such as a cold cathode tube arranged near the line sensor. Although the configuration is such that the reflected light is read by the line sensor, other configurations may be used in the implementation of the present invention.

本例では、印字ヘッドに備えられるノズルからインクを吐出させて、記録紙416上に画像を形成するインクジェット記録装置400を示したが、本発明の適用範囲はこれに限定されず、処理液、薬液、水などの液体を被吐出媒体上に吐出させるディスペンサ等の液体吐出装置に広く適用可能である。   In this example, the ink jet recording apparatus 400 that forms an image on the recording paper 416 by ejecting ink from the nozzles provided in the print head is shown, but the scope of the present invention is not limited to this, and the processing liquid, The present invention can be widely applied to a liquid discharge apparatus such as a dispenser that discharges a liquid such as a chemical solution or water onto a discharge medium.

本発明の第1実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造例を示す平面透視図FIG. 2 is a perspective plan view showing a structural example of the liquid ejection head according to the first embodiment of the present invention. 図1中、2−2線に沿う断面図1 is a cross-sectional view taken along line 2-2 in FIG. 図2に示す液体吐出ヘッドの詳細構造を説明する図FIG. 2 is a diagram illustrating a detailed structure of the liquid discharge head shown in FIG. 本発明の第2実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造例を示す平面透視図Plane perspective view showing a structural example of a liquid ejection head according to a second embodiment of the present invention 図4中、5−5線に沿う断面図4 is a sectional view taken along line 5-5 in FIG. 本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造例を示す斜視図The perspective view which shows the structural example of the liquid discharge head which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図6に示すインク流路範囲を説明する図The figure explaining the ink flow path range shown in FIG. 図6に示す液体吐出ヘッドの一態様を示す斜視図The perspective view which shows the one aspect | mode of the liquid discharge head shown in FIG. 図8中、5(9)−5(9)線に沿う断面図8 is a cross-sectional view taken along line 5 (9) -5 (9) in FIG. 本発明の第3実施形態に係る液体吐出ヘッドの構造例を示す断面図Sectional drawing which shows the structural example of the liquid discharge head which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 図10に示す液体吐出ヘッドの製造工程を説明する図The figure explaining the manufacturing process of the liquid discharge head shown in FIG. 本発明の第4実施形態に係るヘッドの構造を示す平面図The top view which shows the structure of the head which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の全体構成図1 is an overall configuration diagram of an ink jet recording apparatus equipped with a liquid discharge head according to the present invention. 図13に示したインクジェット記録装置の印字部周辺の要部平面図FIG. 13 is a plan view of the main part around the printing unit of the ink jet recording apparatus shown in FIG. 図13に示したインクジェット記録装置のシステム構成を示す要部ブロック図FIG. 13 is a principal block diagram showing the system configuration of the ink jet recording apparatus shown in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

10,100,200,300,412K,412C,412M,412Y…液体吐出ヘッド、12…ノズル、14…圧力室、16…共通液室、18…供給絞り、23…スイッチングIC、26…圧電素子、28…個別電極、36…パッド、38…垂直導電部材、40…絶縁性構造部材、42…断熱部材、44…放熱部材、46…水平導電部材、50…ベアチップ、52…突起電極、140…放熱板、302…ヘッドモジュール 10, 100, 200, 300, 412K, 412C, 412M, 412Y ... Liquid discharge head, 12 ... Nozzle, 14 ... Pressure chamber, 16 ... Common liquid chamber, 18 ... Supply throttle, 23 ... Switching IC, 26 ... Piezoelectric element, 28 ... Individual electrode, 36 ... Pad, 38 ... Vertical conductive member, 40 ... Insulating structural member, 42 ... Thermal insulation member, 44 ... Heat radiation member, 46 ... Horizontal conductive member, 50 ... Bare chip, 52 ... Projection electrode, 140 ... Heat radiation Plate, 302 ... head module

Claims (11)

被吐出媒体上に液体を吐出させる2次元状に並べられた複数の吐出孔と、
前記複数の吐出孔に対応して設けられ、前記吐出孔から吐出させる液体が収容される複数の圧力室と、
前記複数の圧力室へ液体を供給する共通液室と、
前記圧力室を構成する壁のうち前記吐出孔が形成される壁と対向する壁に設けられ、駆動信号が入力される個別電極を有する圧電素子と、
前記圧電素子が有する前記個別電極から取り出され、該個別電極と電気的に接合される取出電極と、
前記圧力室を構成する壁の前記液体の吐出方向と反対側の面に接合される構造部材と、
前記構造部材の大気に接する面に実装され、前記圧電素子へ与える駆動信号が生成される駆動回路と、
を備え、
前記構造部材は、2以上の部材を積層させた積層構造を有し、少なくとも大気に接する最外層は放熱部材で構成されると共に、少なくとも1層以上の断熱部材を有し、
前記構造部材を形成する部材は、前記圧電素子が取り付けられる面に対して略垂直方向に形成される垂直導電部材及び該垂直導電部材と略直交方向に形成される水平導電部材のうち少なくとも前記垂直導電部材を含み、一方の端が前記取出電極に接合され他方の端が前記駆動回路に接合される導電部材を有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
A plurality of two-dimensionally arranged discharge holes for discharging liquid onto the discharge medium;
A plurality of pressure chambers provided corresponding to the plurality of discharge holes and containing liquid discharged from the discharge holes;
A common liquid chamber for supplying liquid to the plurality of pressure chambers;
A piezoelectric element provided on a wall facing the wall in which the discharge hole is formed among the walls constituting the pressure chamber, and having an individual electrode to which a drive signal is input;
An extraction electrode that is taken out from the individual electrode of the piezoelectric element and is electrically joined to the individual electrode;
A structural member joined to a surface of the wall constituting the pressure chamber opposite to the liquid discharge direction;
A drive circuit that is mounted on the surface of the structural member in contact with the atmosphere and that generates a drive signal to be applied to the piezoelectric element;
With
The structural member has a laminated structure in which two or more members are laminated, and at least the outermost layer in contact with the atmosphere is composed of a heat dissipation member and has at least one heat insulating member,
The member forming the structural member is at least the vertical conductive member among a vertical conductive member formed in a direction substantially perpendicular to a surface to which the piezoelectric element is attached and a horizontal conductive member formed in a direction substantially orthogonal to the vertical conductive member. A liquid discharge head comprising a conductive member including a conductive member, one end of which is joined to the extraction electrode and the other end is joined to the drive circuit.
前記構造部材は、前記圧力室を構成する壁の前記液体の吐出方向と反対側の面に接合される絶縁性構造部材を有することを特徴とする請求項1記載の液体吐出ヘッド。   The liquid discharging head according to claim 1, wherein the structural member includes an insulating structural member bonded to a surface of the wall constituting the pressure chamber opposite to the liquid discharging direction. 前記駆動回路は、1以上のICに集積化された構造を有し、
前記ICは、前記放熱部材の該駆動回路が実装される面にフリップチップ実装されることを特徴とする請求項1又は2記載の液体吐出ヘッド。
The drive circuit has a structure integrated in one or more ICs,
3. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the IC is flip-chip mounted on a surface of the heat radiating member on which the driving circuit is mounted.
前記放熱部材の熱伝導率α1 と、前記断熱部材の熱伝導率βと、の関係は、次式
α1 >β
を満たすことを特徴とする請求項1、2又は3記載の液体吐出ヘッド。
The relationship between the heat conductivity α1 of the heat radiating member and the heat conductivity β of the heat insulating member is expressed by the following equation: α1> β
The liquid discharge head according to claim 1, wherein:
前記断熱部材は、熱硬化型エポキシ樹脂或いは熱硬化型エポキシ樹脂に無機微粒子を含有させた部材を含むことを特徴とする請求項1乃至4のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッド。   5. The liquid ejection head according to claim 1, wherein the heat insulating member includes a thermosetting epoxy resin or a member in which inorganic fine particles are contained in a thermosetting epoxy resin. 6. 前記駆動回路は、駆動回路用放熱部材を具備することを特徴とする請求項1乃至5のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッド。   The liquid ejection head according to claim 1, wherein the drive circuit includes a heat radiating member for a drive circuit. 前記駆動回路用放熱部材の熱伝導率α2 と前記断熱部材の熱伝導率βとの関係は、次式
α2 >β
を満たすことを特徴とする請求項6記載の液体吐出ヘッド。
The relationship between the thermal conductivity α2 of the heat radiating member for the drive circuit and the thermal conductivity β of the heat insulating member is expressed by the following formula: α2> β
The liquid discharge head according to claim 6, wherein:
前記共通液室及び前記圧電素子は、前記圧力室の液体吐出方向と反対側に設けられ、
前記導電部材は前記圧電素子が配設される面から立ち上がり前記共通液室を貫通するように設けられ、一方の端が前記取出電極と接合され、他方の端が前記駆動回路に接合されることを特徴とする請求項1乃至7のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッド。
The common liquid chamber and the piezoelectric element are provided on the side opposite to the liquid discharge direction of the pressure chamber,
The conductive member is provided so as to rise from the surface on which the piezoelectric element is disposed and penetrate the common liquid chamber, one end is joined to the extraction electrode, and the other end is joined to the drive circuit. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the liquid discharge head is a liquid discharge head.
前記駆動回路は、前記放熱部材上に接する領域のうち、前記圧力室又は前記共通液室の非配設領域に対応する領域に配設されることを特徴とする請求項1乃至8のうち何れか1
項に記載の液体吐出ヘッド。
9. The drive circuit according to claim 1, wherein the drive circuit is disposed in a region corresponding to a non-arrangement region of the pressure chamber or the common liquid chamber among regions in contact with the heat radiating member. Or one
The liquid discharge head according to item.
前記被吐出媒体の液体吐出可能幅の全幅に対応する長さにわたって前記吐出孔が並べられる構造を有することを特徴とする請求項1乃至9のうち何れか1項に記載の液体吐出ヘッド。   10. The liquid discharge head according to claim 1, wherein the discharge holes have a structure in which the discharge holes are arranged over a length corresponding to a full width of the liquid dischargeable width of the discharge medium. 前記被吐出媒体の液体吐出可能幅の全幅に満たない長さにわたって前記吐出孔が並べられる吐出孔列を有する液体吐出ヘッドモジュールを、前記被吐出媒体の幅方向に複数並べた構造を有することを特徴とする請求項10記載の液体吐出ヘッド。   Having a structure in which a plurality of liquid discharge head modules each having a discharge hole array in which the discharge holes are arranged over a length less than the full width of the liquid dischargeable of the discharge medium are arranged in the width direction of the discharge medium. The liquid discharge head according to claim 10.
JP2006069850A 2005-03-18 2006-03-14 Liquid discharge head Pending JP2006289963A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006069850A JP2006289963A (en) 2005-03-18 2006-03-14 Liquid discharge head

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005080162 2005-03-18
JP2006069850A JP2006289963A (en) 2005-03-18 2006-03-14 Liquid discharge head

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006289963A true JP2006289963A (en) 2006-10-26

Family

ID=37411042

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006069850A Pending JP2006289963A (en) 2005-03-18 2006-03-14 Liquid discharge head

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006289963A (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008293549A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Teac Corp Optical disk unit
JP2016165847A (en) * 2015-03-10 2016-09-15 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet head and method for manufacturing liquid jet head
JP2017052133A (en) * 2015-09-08 2017-03-16 セイコーエプソン株式会社 Mems device, liquid jet head, liquid jet device, manufacturing method of mems device, and manufacturing method of liquid jet head
US10507659B2 (en) 2018-03-23 2019-12-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid jetting head and ink-jet printer

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008293549A (en) * 2007-05-22 2008-12-04 Teac Corp Optical disk unit
JP2016165847A (en) * 2015-03-10 2016-09-15 セイコーエプソン株式会社 Liquid jet head and method for manufacturing liquid jet head
JP2017052133A (en) * 2015-09-08 2017-03-16 セイコーエプソン株式会社 Mems device, liquid jet head, liquid jet device, manufacturing method of mems device, and manufacturing method of liquid jet head
US10507659B2 (en) 2018-03-23 2019-12-17 Brother Kogyo Kabushiki Kaisha Liquid jetting head and ink-jet printer

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7621622B2 (en) Liquid ejection head
JP4022674B2 (en) Liquid discharge head, image forming apparatus, and method of manufacturing liquid discharge head
US7429099B2 (en) Liquid ejection head, image forming apparatus, and liquid ejection head manufacturing method
JP4819608B2 (en) Liquid ejection head, liquid ejection apparatus, and image forming apparatus
US7637599B2 (en) Liquid ejection head, method of manufacturing same, and image forming apparatus
JP2006332553A (en) Method of manufacturing wiring substrate, discharge head, and image forming apparatus
JP2006255948A (en) Liquid delivering head and its manufacturing method
JP4288500B2 (en) Liquid discharge head
US7744194B2 (en) Liquid ejection head
JP2007076327A (en) Electrical connection structure, liquid ejection head, manufacturing method for liquid ejection head, and image forming apparatus
JP2006289963A (en) Liquid discharge head
US7628470B2 (en) Liquid ejection head, method of manufacturing same, and image forming apparatus
US7819502B2 (en) Liquid ejection head and image forming apparatus
JP2007176079A (en) Liquid ejection head, its manufacturing method, and image forming apparatus
JP4529739B2 (en) Liquid discharge head, image forming apparatus, and method of manufacturing liquid discharge head
JP2006082343A (en) Liquid jet head, image forming apparatus, and method of manufacturing liquid jet head
JP2008000991A (en) Liquid discharge head, manufacturing method of liquid discharge head and image forming apparatus
JP2006111000A (en) Liquid ejection head and image forming apparatus having it
JP2007112062A (en) Liquid discharge head, image forming device and method of manufacturing liquid discharge head
JP2006240296A (en) Liquid ejecting head, its manufacturing method and image forming apparatus
JP2009234087A (en) Wiring structure, joining method, method of manufacturing liquid discharge head and liquid discharge head
JP4678511B2 (en) Liquid discharge head, method of manufacturing the same, and image forming apparatus including the same
JP2006116949A (en) Liquid ejection head and image formation apparatus having the same
JP2006237387A (en) Wiring board, liquid discharge head and wiring board manufacturing method
JP2006192787A (en) Liquid ejection head

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20070130